[go: up one dir, main page]

RU2041261C1 - Способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей - Google Patents

Способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей Download PDF

Info

Publication number
RU2041261C1
RU2041261C1 RU93040897/13A RU93040897A RU2041261C1 RU 2041261 C1 RU2041261 C1 RU 2041261C1 RU 93040897/13 A RU93040897/13 A RU 93040897/13A RU 93040897 A RU93040897 A RU 93040897A RU 2041261 C1 RU2041261 C1 RU 2041261C1
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
gel
layer
sublayer
substrate
matrix
Prior art date
Application number
RU93040897/13A
Other languages
English (en)
Other versions
RU93040897A (ru
Inventor
Г.М. Ершов
А.Д. Мирзабеков
Original Assignee
Институт молекулярной биологии им.В.А.Энгельгардта РАН
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт молекулярной биологии им.В.А.Энгельгардта РАН filed Critical Институт молекулярной биологии им.В.А.Энгельгардта РАН
Priority to RU93040897/13A priority Critical patent/RU2041261C1/ru
Priority to US08/411,794 priority patent/US5770721A/en
Priority to PCT/RU1994/000180 priority patent/WO1995004834A1/ru
Publication of RU93040897A publication Critical patent/RU93040897A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2041261C1 publication Critical patent/RU2041261C1/ru

Links

Images

Classifications

    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07H—SUGARS; DERIVATIVES THEREOF; NUCLEOSIDES; NUCLEOTIDES; NUCLEIC ACIDS
    • C07H21/00—Compounds containing two or more mononucleotide units having separate phosphate or polyphosphate groups linked by saccharide radicals of nucleoside groups, e.g. nucleic acids
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J19/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J19/0046—Sequential or parallel reactions, e.g. for the synthesis of polypeptides or polynucleotides; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making molecular arrays
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12Q—MEASURING OR TESTING PROCESSES INVOLVING ENZYMES, NUCLEIC ACIDS OR MICROORGANISMS; COMPOSITIONS OR TEST PAPERS THEREFOR; PROCESSES OF PREPARING SUCH COMPOSITIONS; CONDITION-RESPONSIVE CONTROL IN MICROBIOLOGICAL OR ENZYMOLOGICAL PROCESSES
    • C12Q1/00—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions
    • C12Q1/68—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions involving nucleic acids
    • C12Q1/6813—Hybridisation assays
    • C12Q1/6834—Enzymatic or biochemical coupling of nucleic acids to a solid phase
    • C12Q1/6837—Enzymatic or biochemical coupling of nucleic acids to a solid phase using probe arrays or probe chips
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C12—BIOCHEMISTRY; BEER; SPIRITS; WINE; VINEGAR; MICROBIOLOGY; ENZYMOLOGY; MUTATION OR GENETIC ENGINEERING
    • C12Q—MEASURING OR TESTING PROCESSES INVOLVING ENZYMES, NUCLEIC ACIDS OR MICROORGANISMS; COMPOSITIONS OR TEST PAPERS THEREFOR; PROCESSES OF PREPARING SUCH COMPOSITIONS; CONDITION-RESPONSIVE CONTROL IN MICROBIOLOGICAL OR ENZYMOLOGICAL PROCESSES
    • C12Q1/00—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions
    • C12Q1/68—Measuring or testing processes involving enzymes, nucleic acids or microorganisms; Compositions therefor; Processes of preparing such compositions involving nucleic acids
    • C12Q1/6869—Methods for sequencing
    • C12Q1/6874—Methods for sequencing involving nucleic acid arrays, e.g. sequencing by hybridisation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/00497—Features relating to the solid phase supports
    • B01J2219/00527—Sheets
    • B01J2219/00529—DNA chips
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00277—Apparatus
    • B01J2219/00497—Features relating to the solid phase supports
    • B01J2219/00527—Sheets
    • B01J2219/00531—Sheets essentially square
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00639—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being trapped in or bound to a porous medium
    • B01J2219/00644—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being trapped in or bound to a porous medium the porous medium being present in discrete locations, e.g. gel pads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00646—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being bound to beads immobilised on the solid supports
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00646—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being bound to beads immobilised on the solid supports
    • B01J2219/00648—Making arrays on substantially continuous surfaces the compounds being bound to beads immobilised on the solid supports by the use of solid beads
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00583—Features relative to the processes being carried out
    • B01J2219/00603—Making arrays on substantially continuous surfaces
    • B01J2219/00659—Two-dimensional arrays
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00274—Sequential or parallel reactions; Apparatus and devices for combinatorial chemistry or for making arrays; Chemical library technology
    • B01J2219/00718—Type of compounds synthesised
    • B01J2219/0072—Organic compounds
    • B01J2219/00722—Nucleotides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C40—COMBINATORIAL TECHNOLOGY
    • C40B—COMBINATORIAL CHEMISTRY; LIBRARIES, e.g. CHEMICAL LIBRARIES
    • C40B40/00—Libraries per se, e.g. arrays, mixtures
    • C40B40/04—Libraries containing only organic compounds
    • C40B40/06—Libraries containing nucleotides or polynucleotides, or derivatives thereof

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Proteomics, Peptides & Aminoacids (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Zoology (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Wood Science & Technology (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Biotechnology (AREA)
  • Genetics & Genomics (AREA)
  • Microbiology (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Biophysics (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Bioinformatics & Cheminformatics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Measuring Or Testing Involving Enzymes Or Micro-Organisms (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Apparatus Associated With Microorganisms And Enzymes (AREA)

Abstract

Использование: относится к молекулярной биологии, к способам изготовления матриц для детектирования мисматчей. Сущность изобретения: способ состоит в том, что на жесткую подложку наносят промежуточный фигурный подслой вещества, поглощающего лазерное излучение. Конфигурация подслоя полностью соответствует топологии изготавливаемой матрицы. Затем на промежуточный фигурный слой наносят сплошной слой геля, при этом гель и материал подложки выбирают прозрачным для лазерного излучения. Облучают слой геля лазерным пучком с экспозицией, обеспечивающей испарение геля в местах, расположенных над подслоем поглощающего излучение вещества одновременно с самим этим веществом и на сформированных участках геля закрепляют по одному олигонуклеотиду из выбранного набора. 2 з.п. ф-лы, 3 ил.

Description

Изобретение относится к молекулярной биологии и касается способа изготовления матрицы для детектирования мисматчей, применяемой в биотехнологии, например, в процессе определения нуклеотидной последовательности ДНК.
Известен способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей, содержащей набор олигонуклеотидов заданной длины А, Т, G, C, C, T,(PCT/GB 89/00460, 1989).
Способ состоит в том, что олигонуклеотиды, входящие в выбранный набор, синтезируют непосредственно на поверхности стеклянной подложки путем последовательного маскирования участков поверхности подложки с использованием полосок разной ширины из силоксанового каучука. Маскирование выполняют, например, следующим образом.
Первый набор из четырех оснований А, Т, G, C получают, накладывая четыре широких полоски на прямоугольную стеклянную пластину (подложку).
Второй набор получают, накладывая четыре полоски, равные по ширине первым и ортогонально расположенные относительно них. Получают матрицу, включающую набор из 16 динуклеотидов, затем накладывают третий и четвертый слои каждый из четырех узких полосок, ширина которых составляет 1/4 от ширины полосок первого слоя.
При этом каждый слой из четырех узких полосок находится в пределах одного слоя из более широких полосок. В итоге получают матрицу, содержащую набор из 256 тетрануклеотидов.
Процесс повторяют, накладывая каждый раз два слоя с ортогонально расположенными полосками, которые по ширине составляют 1/4 от ширины полосок двух предыдущих слоев. Каждый прибавляемый слой удлиняет олигонуклеотиды на одно основание и увеличивает в четыре раза количество уникальных олигонуклеотидных последовательностей в наборе.
Размеры полученных этим способом матриц определяются шириной полосок. При использовании самых узких полосок шириной примерно 1 мм матрица, содержащая набор из 256 олигонуклеотидов, занимает площадь 256 мм2. При увеличении количества олигонуклеотидов в наборе размеры матрицы соответственно увеличиваются, что делает ее неудобной в использовании, в частности становится затруднительным одновременный контроль всех ее элементов, особенно при реализации метода с использованием флюоресцентных меток.
Кроме того, описанный способ изготовления матрицы за счет большего числа последовательных операций требует длительного времени для своего осуществления.
Известен, кроме того, способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей, содержащей набор олигонуклеотидов заданной длины, состоящий в том, что на жесткую подложку наносят сплошной слой геля, затем удаляют часть этого слоя и формируют в соответствии с заданной топологией матрицы на поверхности подложки множество по числу олигонуклеотидов в наборе участков геля, отделенных один от другого промежутками, после чего на каждом из полученных участков геля закрепляют по одному олигонуклеотиды из набора АТТGCC. синтезированные предварительно, (РСТ/RU 92/00052, 1992). При осуществлении известного способа частичное удаление слоя геля в местах расположения промежутков осуществляют механическим скрайбированием по шаблону.
Этот способ позволяет изготавливать матрицы с меньшими затратами времени, поскольку микродозы олигонуклеотидов, синтезированных заранее, закрепляют на всех участках слоя геля одновременно за одну операцию.
Кроме того, матрица, элементы которой сформированы объемными участками слоя геля, характеризуется при той же мощности выходного сигнала меньшими размерами по сравнению с матрицей, элементы которой сформированы путем синтеза олигонуклеотидов непосредственно в околоповерхностном слое подложки.
Однако формирование участков и промежутков в слое геля механическим скрайбированием не позволяет получать участки со стороной меньшей 100 мкм. Дальнейшая минимизация размеров приводит, как правило, к механической деструкции геля на краях участков, к искажению топологии матрицы, участки получаютcя со скругленными углами, возможно отслаивание геля от подложки, что сопровождается снижением уровня или даже потерей полезного сигнала.
В основу изобретения положена задача создать способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей, в котором бы операция формирования участков в слое геля в соответствии с топологией матрицы осуществлялась таким образом, чтобы стало возможным получить эти участки с размером стороны ≈10-50 мкм с высокой точностью и надежным закреплением их на подложке, что позволило бы, в свою очередь, миниатюризировать матрицу при одновременном увеличении количества ее элементов.
Эта задача решается тем, что в способе изготовления матрицы для детектирования мисматчей, содержащей набор олигонуклеотидов заданной длины, состоящем в том, что на жесткую подложку наносят сплошной слой геля, затем удаляют часть этого слоя и формируют в соответствии с заданной топологией матрицы на поверхности подложки множество по числу олигонуклеотидов в наборе участков геля, отделенных один от другого промежутками, после чего на каждом участке геля закрепляют по одному олигонуклеотиды из набора, согласно изобретению, перед нанесением слоя геля на подложку в местах расположения промежутков изготавливаемой матрицы наносят промежуточный подслой вещества, поглощающего лазерное излучение, гель и материал подложки выбирают по существу прозрачными для лазерного излучения и удаление части cлоя геля осуществляют облучая сплошной слой геля лазерным пучком с экспозицией, обеспечивающей испарение геля в местах, расположенных над подслоем поглощающего вещества одновременно с веществом подслоя.
Предпочтительно в качестве вещества, поглощающего лазерное излучение использовать алюминий.
При этом желательно толщину промежуточного подслоя выбирать пропорциональной толщине слоя геля. При этом под пропорциональной мы подразумеваем толщину, которая достаточна для обеспечения испарения при облучении слоя геля в местах промежутков, но исключает возможность термической деструкции поверхности подложки и кромок участков геля, которые остаются после облучения.
Способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей, осуществленный в соответствии с настоящим изобретением, позволяет получать матрицы со стороной участков ≈10-30 мкм с высокой точностью, отличается высоким быстродействием и не требует для своего осуществления конструктирования дополнительного оборудования. Способ, согласно изобретению, может быть реализован с привлечением оборудования широко применяемого в производстве микроэлектронных деталей и приборов.
На фиг. 1 изображена в изометрии матрица для детектирования мисматчей; на фиг. 1 матрица в изометрии в процессе изготовления, после нанесения промежуточного подслоя; на фиг. 3 то же, что и на фиг. 1, матрица в процессе изготовления, в момент облучения слоя геля лазерным пучком, поперечный разрез.
Матрица для детектирования мисматчей (фиг. 1) содержит жесткую подложку 1, в данном случае прямоугольную стеклянную пластину, на поверхности которой в соответствии c заданной топологией матрицы закреплено множество участков 2, отделенных один от другого промежутками 3. Поверхность каждого участка 2 имеет преимущественно форму квадрата, а сами участки 2 выполнены из геля, преимущественно полиакриламидного. Участки 2 являются элементами матрицы и в тело каждого из них иммобилизованы олигонуклеотиды заданной длины из выбранного набора, причем в каждый участок 2 иммобилизованы олигонуклеотиды строго одного типа.
На химически обработанную рабочую поверхность подложки 1 в местах расположения промежутков изготавливаемой матрицы наносят промежуточный подслой 4 (фиг. 2) вещества, поглощающего лазерное излучение. В качестве такого вещества может быть использован металл, например, Ni или Аl, предпочтительно Аl.
Химическую обработку проводят с целью подготовки рабочей поверхности подложки 1 для нанесения на нее качественной пленки вещества, поглощающего лазерное излучение. Например, если в качестве такого вещества выбран алюминий, поверхность стеклянной подложки отмывают перекисно-аммиачной смесью и затем промывают в ванне с деионизированной водой.
Формирование фигурного подслоя 4 может быть осуществлено в два этапа: нанесение на отмытую подложку 1 сплошной металлической пленки алюминия и фотолитография по металлической пленке с учетом заданной топологии матрицы.
Нанесение пленки алюминия можно выполнить, например, методом термического вакуумного испарения из резистивных испарителей. Толщина напыленного подслоя 4 предпочтительно составляет 0,1-0,3 мкм.
Метод фотолитографии по металлу широко описан в технической литературе и может быть применен без каких-либо особенностей.
Затем на подложку 1 с фигурным подслоем 4 вещества, поглощающего лазерное излучение, наносят сплошной слой 5 (фиг. 3) геля. При этом гель и материал подложки 1 выбирают по существу прозрачными для лазерного излучения. Для этой цели подходящим является полиакриламидный гель или агарозный гель. Предпочтительным является использование полиакриламидного геля и стеклянной подложки.
Для обеспечения лучшей адгезии полиакриламидного геля и образования ковалентной связи между гелем и поверхностью стекла подложку покрывают слоем Bind-Silane (гаммаметакрилоксипропилтриметоксисилан), выдерживают ≈30 мин, удаляют этот слой с помощью подходящего растворителя, промывают подложку деионизированной водой и высушивают струей газообразного азота или на воздухе.
Тонкую пленку полиакриламидного геля на поверхность стеклянной подложки наносят путем заливки раствора геля в капиллярный зазор, образованный между подложкой и покровным стеклом, поверхность которого, обращенную к подложке, предварительно обрабатывают с целью придания ей гидрофобных свойств.
Подложку и покровное стекло, между которыми помещены фторопластовые прокладки (толщиной 20 мкм), сдавливают зажимами и в зазор подают приготовленный полиакриламидный гель. Последний капиллярными силами втягивается в зазор и через некоторое время (5-10 мин) полимеризуется. Покровное стекло удаляют, подложку промывают деионизированной водой и сушат на воздухе. После этого осуществляют облучение сплошного слоя 5 геля лазерным пучком (на фиг. 3 показан вертикальными стрелками) с экспозицией, обеспечивающей испарение геля в местах 6, расположенных над подслоем 4 поглощающего вещества, а также испарение самого подслоя 4. В результате облучения на поверхности подложки 1 формируется множество участков 2 (фиг. 1) геля, отделенных один от другого промежутками 3, в которых гель и вещество подслоя 4 отсутствуют, а поверхность промежутков 3 является поверхностью стеклянной подложки 1.
В качестве источника лазерного излучения здесь может быть использован любой промышленно выпускаемый лазер, работающий в диапазоне длин волн 0,53; 0,55; 0,63; 0,69; 1,06 мкм.
В этом диапазоне длин волн коэффициент поглощения полиакриламидного геля и стекла не превышает долей процента, в то время как в этом же диапазоне коэффициент поглощения металлической пленки, в частности алюминиевой, существенно отличен от коэффициента поглощения геля и составляет десятки процентов.
Проникновение энергии излучения Е(х) в материалы описывается уравнением:
E(x) E0(1 R)e-ax, где Е0 энергия, падающая на поверхность,
R коэффициент отражения поверхности,
а коэффициент поглощения.
Количество энергии, поглощаемой в слое толщиной Δ х,
Δ Е Е0(1 R)ae-ax Δ x. Таким образом, поглощенная энергия максимальна на поверхности слоя и монотонно уменьшается с его глубиной. Большая часть энергии поглощается в приповерхностном слое толщиной 1/а. Для металлов значение а, как правило, составляет 104-105 см-1, поэтому для металлов толщина этого слоя составит 10-5-10-6 см.
Количество энергии лазерного излучения, которое может быть поглощено промежуточным подслоем 4 прямо пропор- ционально толщине Δ х этого подслоя и времени экспозиции до его испарения.
В то же время этой энергии должно хватить для полного испарения не только подслоя 4, но и части слоя 5 геля, расположенной над подслоем 4. При недостатке энергии происходит неполная деструкция подлежащей удалению части слоя 5 геля. При избытке этой энергии возможна термическая деструкция в поверхностном слое стеклянной подложки 1. Оптимальное количество энергии облучения, подводимой к слою 5 геля, можно выбрать, варьируя либо экспозицию при облучению, либо толщину подслоя 4.
Однако максимальное время экспозиции ограничено теплопроводностью стекла и геля и опасностью начала термодеструкции на подлежащей сохранению при облучении части слоя 5 геля. С учетом изложенного оптимальное количество энергии облучения обеспечивают выбором толщины Δ х промежуточного подслоя 4, пропорциональной толщине слоя 5 геля. После облучения слоя 5 геля, в результате чего на поверхности стеклянной подложки 1 получают множество участков 2 геля, отделенных один от другого промежутками, осуществляют иммобилизацию олигонуклеотидов в геле по известной технологии.
Для более четкого понимания существа настоящего способа ниже приводится конкретный пример изготовления заготовки матрицы на 65000 элементов.
П р и м е р. Брали предметное стекло микроскопа размером 45х45, толщиной 1,5 мм, отмывали его перекисно-аммиачной смесью, содержащей:
аммиак водный 1 ч. перекись водорода 1 ч. деионизированная вода 6 ч.
Время отмывки две ванны по 15 мин при температуре раствора 70-75оС.
После этого осуществляли промывку подложки в трехкаскадной ванне с проточной деионизированной водой. Затем сушили струей газообразного азота, после чего на всю поверхность обработанной подложки методом термического вакуумного испарения из резистивных испарителей напыляли сплошную пленку алюминия толщиной 0,2 мкм. На алюминиевую пленку методом центрифугирования наносили фоторезист, который после просушки экспонировали через фотошаблон с изображением изготавливаемой матрицы и получали на поверхности алюминиевой пленки защитный рельеф из фоторезиста, повторяющий рисунок фотошаблона. Травлением в 50%-ной ортофосфорной кислоте при температуре 60-70оС удаляли незащищенные фоторезистом участки алюминиевой пленки и получали на поверхности подложки фигурный промежуточный подслой из алюминия, который состоял из пересекающихся под прямым углом дорожек (промежутков) шириной 60 мкм, отстоящих одна от другой на расстоянии 30 мкм, при этом между дорожками было образовано множество квадратных участков 30х30 мкм незащищенных алюминиевой пленкой, расположенных упорядоченными рядами.
После этого на подложку наносили слой полиакриламидного геля толщиной 20 мкм. Подложку обрабатывали Bind-Silane и располагали дистанционно (с помощью прокладок толщиной 20 мкм) относительно нее покровное стекло, обработанное предварительно Repel-Silane (LKB) и покрытое тонким слоем Triton Х-100. Образованный зазор между ними заполняли раствором 8%-ного акриламида, 30:1 N, N'-метиленбисакриламида, персульфата аммония и ТЕМЕD и оставляли для полимеризации на 1 ч. При этом между предметным стеклом и подложкой формировался слой геля толщиной 20 мкм и с размерами, которые определяются размерами предметного стекла. После полимеризации покровное стекло снимали. Подложку со слоем полиакриламида обрабатывали в течение часа при комнатной температуре 50%-ным гидразином.
Приготовленный таким образом слой геля на подложке с промежуточным металлизированным подслоем, повторяющим полностью топологию изготавливаемой матрицы, направляли на лазерную обработку.
Для облучения использовали лазер со следующими характеристиками:
излучение на длине волны λ 1,06 мкм;
максимальная выходная мощность в режиме свободной генерации 1 кДж;
длительность импульса свободной генерации 3-5 мс;
активный элемент стекло с Nd+ +(630х15 мм);
частота следования импульсов 0,03 Гц;
охлаждение водяное.
Время экспозиции составляло 10-7 с.
В процессе облучения промежуточный подслой алюминия испарился полностью. За счет выделяющегося при испарении алюминиевой пленки тепла произошло испарение участков геля, расположенных над промежуточным подслоем. Участки геля, расположенные непосредственно на поверхности подложки остались неповрежденными, как и поверхность стеклянной подложки под испарившимся подслоем.
В результате была получена заготовка микроматрицы, содержащая на площади 1 см2 12000 участков геля 30х30 мкм, толщиной 20 мкм, отделенные один от дpугого промежутками шириной 60 мкм. Поверхность участков не имела повреждений, грани участков были четкими, отслаивания геля от поверхности подложки обнаружено не было. Поверхность самой подложки также не имела повреждений. В дальнейшем из полученной заготовки изготавливали микроматрицу для детектирования мисматчей путем иммобилизации олигонуклеотидов в геле.

Claims (3)

1. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МАТРИЦЫ ДЛЯ ДЕТЕКТИРОВАНИЯ МИСМАТЧЕЙ, содержащей набор олигонуклеотидов заданной длины, состоящий в том, что на жесткую подложку наносят сплошной слой геля, затем удаляют часть этого слоя и формируют в соответствии с заданной топологией матрицы на поверхности подложки множество по числу олигонуклеотидов в наборе участков геля, отделенных один от другого промежутками, после чего на каждом участке геля закрепляют по одному олигонуклеотиды из набора, отличающийся тем, что перед нанесением слоя на подложку в местах расположения промежутков изготовляемой матрицы наносят промежуточный подслой вещества, поглощающего лазерное излучение, гель и материал подложки выбирают по существу прозрачными для лазерного излучения и удаление части слоя геля осуществляют, облучая сплошной слой геля лазерным пучком с экспозицией, обеспечивающей испарение геля в местах, расположенных над слоем поглощающего вещества одновременно с веществом подслоя.
2. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве вещества, поглощающего лазерное излучение, используют алюминий.
3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что толщину слоя, поглощающего лазерное излучение, выбирают пропорционально толщине слоя геля.
RU93040897/13A 1993-08-11 1993-08-11 Способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей RU2041261C1 (ru)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93040897/13A RU2041261C1 (ru) 1993-08-11 1993-08-11 Способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей
US08/411,794 US5770721A (en) 1993-08-11 1994-08-05 Method of manufacturing a matrix for the detection of mismatches
PCT/RU1994/000180 WO1995004834A1 (en) 1993-08-11 1994-08-05 Method of manufacturing a matrix for the detection of mismatches

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
RU93040897/13A RU2041261C1 (ru) 1993-08-11 1993-08-11 Способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU93040897A RU93040897A (ru) 1995-03-27
RU2041261C1 true RU2041261C1 (ru) 1995-08-09

Family

ID=20146479

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU93040897/13A RU2041261C1 (ru) 1993-08-11 1993-08-11 Способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей

Country Status (3)

Country Link
US (1) US5770721A (ru)
RU (1) RU2041261C1 (ru)
WO (1) WO1995004834A1 (ru)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2206615C1 (ru) * 2001-10-22 2003-06-20 Институт молекулярной биологии им. В.А. Энгельгардта РАН Способ частичного секвенирования днк для определения мутаций в коротких фрагментах одноцепочечной днк с использованием микрочипа
RU2673288C2 (ru) * 2013-09-24 2018-11-23 Энтопсис Детектируемые матрицы, системы для диагностики и способы их получения и применения
RU2760391C2 (ru) * 2016-12-22 2021-11-24 Иллюмина, Инк. Биочипы, включающие пленку смолы и структурированный слой полимера

Families Citing this family (93)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5547839A (en) 1989-06-07 1996-08-20 Affymax Technologies N.V. Sequencing of surface immobilized polymers utilizing microflourescence detection
US6040138A (en) * 1995-09-15 2000-03-21 Affymetrix, Inc. Expression monitoring by hybridization to high density oligonucleotide arrays
AU675054B2 (en) 1991-11-22 1997-01-23 Affymetrix, Inc. Combinatorial strategies for polymer synthesis
US6071699A (en) 1996-06-07 2000-06-06 California Institute Of Technology Nucleic acid mediated electron transfer
US5824473A (en) * 1993-12-10 1998-10-20 California Institute Of Technology Nucleic acid mediated electron transfer
US5952172A (en) 1993-12-10 1999-09-14 California Institute Of Technology Nucleic acid mediated electron transfer
US5620850A (en) * 1994-09-26 1997-04-15 President And Fellows Of Harvard College Molecular recognition at surfaces derivatized with self-assembled monolayers
US20010018514A1 (en) 1998-07-31 2001-08-30 Mcgall Glenn H. Nucleic acid labeling compounds
US6864059B2 (en) 1996-01-23 2005-03-08 Affymetrix, Inc. Biotin containing C-glycoside nucleic acid labeling compounds
EP0880598A4 (en) 1996-01-23 2005-02-23 Affymetrix Inc RAPID EVALUATION OF NUCLEIC ACID ABUNDANCE DIFFERENCE, WITH A HIGH-DENSITY OLIGONUCLEOTIDE SYSTEM
US7291463B2 (en) 1996-01-23 2007-11-06 Affymetrix, Inc. Nucleic acid labeling compounds
US7423143B2 (en) 1996-01-23 2008-09-09 Affymetrix. Inc. Nucleic acid labeling compounds
US7282327B2 (en) 1996-01-23 2007-10-16 Affymetrix, Inc. Nucleic acid labeling compounds
US6965020B2 (en) 1996-01-23 2005-11-15 Affymetrix, Inc. Nucleic acid labeling compounds
ES2288760T3 (es) 1996-04-25 2008-01-16 Bioarray Solutions Ltd. Ensamblaje electrocinetico controlado por luz de particulas proximas a superficies.
US7160678B1 (en) 1996-11-05 2007-01-09 Clinical Micro Sensors, Inc. Compositions for the electronic detection of analytes utilizing monolayers
US7014992B1 (en) 1996-11-05 2006-03-21 Clinical Micro Sensors, Inc. Conductive oligomers attached to electrodes and nucleoside analogs
US7045285B1 (en) 1996-11-05 2006-05-16 Clinical Micro Sensors, Inc. Electronic transfer moieties attached to peptide nucleic acids
US7393645B2 (en) * 1996-11-05 2008-07-01 Clinical Micro Sensors, Inc. Compositions for the electronic detection of analytes utilizing monolayers
US7381525B1 (en) 1997-03-07 2008-06-03 Clinical Micro Sensors, Inc. AC/DC voltage apparatus for detection of nucleic acids
US6096273A (en) 1996-11-05 2000-08-01 Clinical Micro Sensors Electrodes linked via conductive oligomers to nucleic acids
US6458584B1 (en) 1996-12-23 2002-10-01 University Of Chicago Customized oligonucleotide microchips that convert multiple genetic information to simple patterns, are portable and reusable
US6013459A (en) * 1997-06-12 2000-01-11 Clinical Micro Sensors, Inc. Detection of analytes using reorganization energy
US6686150B1 (en) 1998-01-27 2004-02-03 Clinical Micro Sensors, Inc. Amplification of nucleic acids with electronic detection
US7090804B2 (en) 1998-01-27 2006-08-15 Clinical Mirco Sensors, Inc. Amplification of nucleic acids with electronic detection
US6376619B1 (en) 1998-04-13 2002-04-23 3M Innovative Properties Company High density, miniaturized arrays and methods of manufacturing same
DE19819537A1 (de) * 1998-04-30 2000-03-16 Biochip Technologies Gmbh Analyse- und Diagnostikinstrument
US20050244954A1 (en) * 1998-06-23 2005-11-03 Blackburn Gary F Binding acceleration techniques for the detection of analytes
US6761816B1 (en) * 1998-06-23 2004-07-13 Clinical Micro Systems, Inc. Printed circuit boards with monolayers and capture ligands
US7087148B1 (en) 1998-06-23 2006-08-08 Clinical Micro Sensors, Inc. Binding acceleration techniques for the detection of analytes
US6740518B1 (en) 1998-09-17 2004-05-25 Clinical Micro Sensors, Inc. Signal detection techniques for the detection of analytes
AU1241000A (en) * 1998-10-27 2000-05-15 Clinical Micro Sensors, Inc. Detection of target analytes using particles and electrodes
US6391937B1 (en) * 1998-11-25 2002-05-21 Motorola, Inc. Polyacrylamide hydrogels and hydrogel arrays made from polyacrylamide reactive prepolymers
US6833267B1 (en) 1998-12-30 2004-12-21 Clinical Micro Sensors, Inc. Tissue collection devices containing biosensors
US20020177135A1 (en) * 1999-07-27 2002-11-28 Doung Hau H. Devices and methods for biochip multiplexing
US7312087B2 (en) 2000-01-11 2007-12-25 Clinical Micro Sensors, Inc. Devices and methods for biochip multiplexing
US6942771B1 (en) 1999-04-21 2005-09-13 Clinical Micro Sensors, Inc. Microfluidic systems in the electrochemical detection of target analytes
US6174683B1 (en) 1999-04-26 2001-01-16 Biocept, Inc. Method of making biochips and the biochips resulting therefrom
WO2000065098A2 (en) * 1999-04-27 2000-11-02 University Of Chicago Nucleotide extension on a microarray of gel-immobilized primers
US6664061B2 (en) 1999-06-25 2003-12-16 Amersham Biosciences Ab Use and evaluation of a [2+2] photoaddition in immobilization of oligonucleotides on a three-dimensional hydrogel matrix
US6372813B1 (en) 1999-06-25 2002-04-16 Motorola Methods and compositions for attachment of biomolecules to solid supports, hydrogels, and hydrogel arrays
US7935481B1 (en) 1999-07-26 2011-05-03 Osmetech Technology Inc. Sequence determination of nucleic acids using electronic detection
WO2001021838A2 (en) * 1999-09-22 2001-03-29 Motorola Inc. Three-dimensional microarray system for parallel genotyping of single nucleotide polymorphisms
US6518024B2 (en) 1999-12-13 2003-02-11 Motorola, Inc. Electrochemical detection of single base extension
US6482638B1 (en) * 1999-12-09 2002-11-19 3M Innovative Properties Company Heat-relaxable substrates and arrays
JP2003516165A (ja) * 1999-12-09 2003-05-13 モトローラ・インコーポレイテッド 核酸反応の電気的検出に関する方法および組成物
US6824669B1 (en) * 2000-02-17 2004-11-30 Motorola, Inc. Protein and peptide sensors using electrical detection methods
AU3986501A (en) * 2000-02-23 2001-09-03 Zyomyx Inc Chips having elevated sample surfaces
US7205104B2 (en) * 2000-03-24 2007-04-17 Eppendorf Array Technologies Sa (Eat) Identification of biological (micro) organisms by detection of their homologous nucleotide sequences on arrays
US7875442B2 (en) * 2000-03-24 2011-01-25 Eppendorf Array Technologies Identification and quantification of a plurality of biological (micro)organisms or their components
US7202026B2 (en) * 2000-03-24 2007-04-10 Eppendorf Array Technologies Sa (Eat) Identification of a large number of biological (micro)organisms groups at different levels by their detection on a same array
US20080085515A1 (en) * 2000-03-24 2008-04-10 Eppendorf Array Technologies Sa (Eat) Identification of multiple biological (micro) organisms by detection of their nucleotide sequences on arrays
US7829313B2 (en) * 2000-03-24 2010-11-09 Eppendorf Array Technologies Identification and quantification of a plurality of biological (micro)organisms or their components
EP1164201A1 (en) * 2000-06-14 2001-12-19 Facultés Universitaires Notre-Dame de la Paix Reverse detection for identification and/or quantification of nucleotide target sequences on biochips
US9709559B2 (en) 2000-06-21 2017-07-18 Bioarray Solutions, Ltd. Multianalyte molecular analysis using application-specific random particle arrays
ATE319087T1 (de) 2000-06-21 2006-03-15 Bioarray Solutions Ltd Multianalytische molekularanalyse durch verwendung anwendungsspezifischer zufallspartikelarrays
JP4382265B2 (ja) * 2000-07-12 2009-12-09 日本電気株式会社 酸化シリコン膜の形成方法及びその形成装置
JP2004510147A (ja) * 2000-09-27 2004-04-02 サーモディックス，インコーポレイティド 高密度アレイ
US20030082604A1 (en) * 2000-09-27 2003-05-01 Swanson Melvin J. High density arrays
US20050100951A1 (en) * 2000-10-26 2005-05-12 Biocept, Inc. 3D format biochips and method of use
US6892140B1 (en) 2000-11-27 2005-05-10 Enteron, Inc. Immunogenic cancer peptides and uses thereof
AU2002258502A1 (en) 2001-03-12 2002-09-24 Affymetrix, Inc. Nucleic acid labeling compounds
US7262063B2 (en) 2001-06-21 2007-08-28 Bio Array Solutions, Ltd. Directed assembly of functional heterostructures
RU2206575C2 (ru) * 2001-07-25 2003-06-20 Институт молекулярной биологии им. В.А. Энгельгардта РАН Композиция для иммобилизации биологических макромолекул в гидрогелях, способ приготовления композиции, биочип, способ проведения пцр на биочипе
WO2003020978A1 (en) * 2001-09-01 2003-03-13 Samsung Electronics Co., Ltd. Method for manufacturing hydrogel biochip by using star-like polyethylene glycol derivative having epoxy group
JP4377689B2 (ja) 2001-10-15 2009-12-02 バイオアレイ ソリューションズ リミテッド 同時尋問及び酵素仲介検出による多型遺伝子座の複合分析
US7267958B2 (en) * 2001-11-01 2007-09-11 Rensselaer Polytechnic Institute Biocatalytic solgel microarrays
US7842498B2 (en) * 2001-11-08 2010-11-30 Bio-Rad Laboratories, Inc. Hydrophobic surface chip
US20050221283A1 (en) * 2001-12-11 2005-10-06 Mahant Vijay K Biochip
US7267751B2 (en) * 2002-08-20 2007-09-11 Nanogen, Inc. Programmable multiplexed active biologic array
WO2004047007A1 (en) 2002-11-15 2004-06-03 Bioarray Solutions, Ltd. Analysis, secure access to, and transmission of array images
US7927796B2 (en) 2003-09-18 2011-04-19 Bioarray Solutions, Ltd. Number coding for identification of subtypes of coded types of solid phase carriers
AU2004276761B2 (en) 2003-09-22 2009-12-24 Bioarray Solutions, Ltd. Surface immobilized polyelectrolyte with multiple functional groups capable of covalently bonding to biomolecules
CA2544041C (en) 2003-10-28 2015-12-08 Bioarray Solutions Ltd. Optimization of gene expression analysis using immobilized capture probes
ES2533876T3 (es) 2003-10-29 2015-04-15 Bioarray Solutions Ltd Análisis multiplexado de ácidos nucleicos mediante fragmentación de ADN bicatenario
US7338763B2 (en) * 2004-06-02 2008-03-04 Eppendorf Array Technologies S.A. Method and kit for the detection and/or quantification of homologous nucleotide sequences on arrays
US7848889B2 (en) 2004-08-02 2010-12-07 Bioarray Solutions, Ltd. Automated analysis of multiplexed probe-target interaction patterns: pattern matching and allele identification
EP1816473A4 (en) * 2004-11-24 2007-10-31 Inst Molekulyarnoi Biolog Im V PROCESS FOR THE QUANTITATIVE DETECTION OF BIOLOGICAL TOXINS
WO2006071132A1 (fr) * 2004-12-28 2006-07-06 Institut Molekulyarnoi Biologii Im. V.A. Engelgardta Rossiiskoi Akademii Nauk Micropuce a adn destinee au dosage immunologique parallele multiple de composes, et procedes de dosage immunologique faisant appel a ladite micropuce
US8486629B2 (en) 2005-06-01 2013-07-16 Bioarray Solutions, Ltd. Creation of functionalized microparticle libraries by oligonucleotide ligation or elongation
RU2309959C1 (ru) * 2006-02-22 2007-11-10 Институт Молекулярной Биологии Им. В.А. Энгельгардта Российской Академии Наук Применение немодифицированных полимерных материалов для изготовления подложки биочипов, биочип на их основе и способ его изготовления, способ иммобилизации гидрогелей на немодифицированных полимерных материалах
US7572990B2 (en) * 2007-03-30 2009-08-11 Intermec Ip Corp. Keypad overlay membrane
US10125388B2 (en) 2007-10-31 2018-11-13 Akonni Biosystems, Inc. Integrated sample processing system
US8680025B2 (en) * 2008-05-09 2014-03-25 Akonni Biosystems, Inc. Microarray system
US8680026B2 (en) 2008-05-09 2014-03-25 Akonni Biosystems, Inc. Flow cell device
EP2703500B1 (en) 2008-05-09 2020-01-08 Akonni Biosystems Microarray system
WO2011034620A2 (en) 2009-09-21 2011-03-24 Akonni Biosystems Integrated cartridge
RU2411180C1 (ru) * 2009-12-22 2011-02-10 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный университет информационных технологий, механики и оптики" Подложка для биочипа и способ ее изготовления
CN103403545B (zh) 2010-12-09 2018-06-22 阿科尼生物系统公司 样本分析系统
US20130345085A1 (en) 2011-02-10 2013-12-26 Mitsubishi Rayon Co., Ltd. Method for detecting nucleic acid
WO2012142397A2 (en) 2011-04-13 2012-10-18 Akonni Biosystems, Inc. Microarray based sample detection system
EP2718465B1 (en) 2011-06-09 2022-04-13 Illumina, Inc. Method of making an analyte array
WO2015195918A1 (en) 2014-06-19 2015-12-23 Akonni Biosystems, Inc. Molecular analysis system and use thereof

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4050898A (en) * 1976-04-26 1977-09-27 Eastman Kodak Company Integral analytical element
CA1260372A (en) * 1984-04-27 1989-09-26 Elazar Rabbani Hybridization method for the detection of genetic materials
US4912032A (en) * 1986-04-17 1990-03-27 Genetec Systems Corporation Methods for selectively reacting ligands immobilized within a temperature-sensitive polymer gel
EP0322311B1 (en) * 1987-12-21 1994-03-23 Applied Biosystems, Inc. Method and kit for detecting a nucleic acid sequence
GB8810400D0 (en) * 1988-05-03 1988-06-08 Southern E Analysing polynucleotide sequences
US5212050A (en) * 1988-11-14 1993-05-18 Mier Randall M Method of forming a permselective layer
RU1794088C (ru) * 1991-03-18 1993-02-07 Институт Молекулярной Биологии Ан@ Ссср Способ определени нуклеотидной последовательности ДНК и устройство дл его осуществлени
AU3919293A (en) * 1992-03-27 1993-11-08 University Of Maryland At Baltimore Detection of gene mutations with mismatch repair enzymes
US5376526A (en) * 1992-05-06 1994-12-27 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Genomic mismatch scanning

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
Заявка РСТ N 89/00460, кл. C 12Q 1/68, публ. 1989. *
Заявка РСТ N 92/00052, кл. C 12Q 1/68, 1992. *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2206615C1 (ru) * 2001-10-22 2003-06-20 Институт молекулярной биологии им. В.А. Энгельгардта РАН Способ частичного секвенирования днк для определения мутаций в коротких фрагментах одноцепочечной днк с использованием микрочипа
RU2673288C2 (ru) * 2013-09-24 2018-11-23 Энтопсис Детектируемые матрицы, системы для диагностики и способы их получения и применения
RU2760391C2 (ru) * 2016-12-22 2021-11-24 Иллюмина, Инк. Биочипы, включающие пленку смолы и структурированный слой полимера
US11512339B2 (en) 2016-12-22 2022-11-29 Illumina, Inc. Arrays including a resin film and a patterned polymer layer
US11932900B2 (en) 2016-12-22 2024-03-19 Illumina, Inc. Arrays including a resin film and a patterned polymer layer
US12398416B2 (en) 2016-12-22 2025-08-26 Illumina, Inc. Arrays including a resin film and a patterned polymer layer

Also Published As

Publication number Publication date
WO1995004834A1 (en) 1995-02-16
US5770721A (en) 1998-06-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2041261C1 (ru) Способ изготовления матрицы для детектирования мисматчей
JP4316677B2 (ja) 単一分子種の構造化された自己組織型単分子膜、特に物質ライブラリの作製方法
US5861247A (en) Rapid method to detect duplex formation in sequencing by hybridization methods
JP2003213437A5 (ru)
US4235958A (en) Photosensitive film usable in microgravure
JP2693645B2 (ja) 表面の電気化学的処理
KR850007488A (ko) 폴리실란계 양판용(陽版用) 감광성 내식막재료의 사용방법
US9823568B2 (en) Ordering block copolymers
DE58902536D1 (de) Verfahren zur herstellung einer schicht aus einem metalloxidischen supraleitermaterial mittels laser-verdampfens.
PT1868738E (pt) Revestimentos funcionalizados com tiol e método para produção dos mesmos
ATE86794T1 (de) Verfahren zur herstellung einer niedergeschlagenen schicht.
KR20030056328A (ko) 어븀이 도핑된 실리콘 나노 점 어레이 제조 방법 및 이에이용되는 레이저 기화 증착 장비
EP0077577B1 (en) Photographic articles comprising a compound having acetylenic bonds and methods for producing the articles
US20230012890A1 (en) Method for nanostructuring a substrate
KR880004351A (ko) 열저항형성층의 제조방법
JP2009298911A (ja) ブロック共重合体および基板の加工方法
US6465174B1 (en) Rapid method to detect duplex formation in sequencing by hybridization methods, a method for constructing containment structures for reagent interaction
JPS60260946A (ja) パタ−ン形成用材料及びパタ−ン形成方法
JP3208290B2 (ja) 薄膜部材の形成方法
JPH029196A (ja) 金属パターン製造方法とそれを用いた金属配線の製造方法
RU2099810C1 (ru) Способ формирования топологии интегральной микросхемы
JPS6048023B2 (ja) ポジ型レジスト
CN101924032B (zh) 掩蔽方法
JPH0727215B2 (ja) 単分子累積膜パタ−ン形成方法
KR20220123399A (ko) 콘트라스트 층을 형성하도록 의도된 프리폴리머 조성물 및 계면 재료를 구조화하는 방법

Legal Events

Date Code Title Description
NF4A Reinstatement of patent
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20120812