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KR20160081460A - 이동식 미스트 포집장치 - Google Patents

이동식 미스트 포집장치 Download PDF

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KR20160081460A
KR20160081460A KR1020140195328A KR20140195328A KR20160081460A KR 20160081460 A KR20160081460 A KR 20160081460A KR 1020140195328 A KR1020140195328 A KR 1020140195328A KR 20140195328 A KR20140195328 A KR 20140195328A KR 20160081460 A KR20160081460 A KR 20160081460A
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KR
South Korea
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mist
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air
collecting
washing water
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KR1020140195328A
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English (en)
Inventor
정동진
Original Assignee
주식회사 케이씨텍
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Publication date
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Abstract

본 발명은 이동식 미스트 포집장치에 관한 것으로, 기판 처리장치의 내에서 이동 설치가 가능하며, 유입된 미스트가 혼합된 공기로부터 미스트를 액상의 세정수로 포집하여, 상기 기판 처리장치의 바닥면으로 배출하는 본체부와, 상기 본체부의 상면에 결합되어, 공기의 공급여부에 따라 회전축을 회전시키는 에어모터와, 상기 본체부의 내측에 마련되어 상기 회전축과 함께 회전하면서 미스트를 포집할 수 있도록 기류를 형성하는 송풍팬과, 상기 송풍팬의 둘레에 마련되어 상기 본체부에 유입된 상기 미스트가 혼합된 공기에서 상기 송풍팬에 의해 형성된 기류에 의해 미스트를 하향으로 포집할 수 있도록 분리하는 분리격벽부를 포함한다.

Description

이동식 미스트 포집장치{Removable mist collecion device}
본 발명은 이동식 미스트 포집장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 기판 처리장치 내에서 사용되는 이동식 미스트 포집장치에 관한 것이다.
일반적으로, 기판 세정장치는 기판을 이송하면서 세정수를 기판에 분사하여 세정을 하게 된다. 이때 사용된 세정수는 대부분 기판 세정장비의 저면에 마련된 수집부를 통해 세정장치의 바닥측에 마련된 탱크에 집수되어 재활용되며, 일부는 미스트(mist)화 되어 기판 세정장치의 배기구를 통해 배기된다.
미스트화된 세정수가 기판에 다시 부착되는 경우에 미스트가 건조되면서 물얼룩을 발생시킬 수 있기 때문에 이를 배기하여 기판에 재부착을 방지하는 것이지만, 미스트화된 세정수를 배기하기 때문에 세정수의 재활용률이 감소하게 되는 문제점이 있었다.
이러한 문제를 해결하기 위하여 종래에는 기판 세정장치의 배기구 내에 미스트를 포집할 수 있는 장치를 부가하여, 배기되는 공기로부터 미스트를 포집하여 액상으로 만들어 탱크로 재순환시키는 방법을 사용하였다.
이러한 기술은 등록특허 10-1284682호(기판 세정장비의 배기장치, 2013년 7월 4일 등록)와 같이 경사진 판들을 배기관 내에 설치하여 배기경로를 증가시켜 미스트와 공기를 분리하여 미스트를 포집하는 구조를 사용할 수 있으며,
공개실용신안공보 20-2013-0003480호(대면적 기판 세정장치의 세정약액 회수장치, 2013년 6월 12일 공개)와 같이 열교환을 통해 미스트를 응축시키는 장치를 배기관에 부가한 구조를 사용할 수 있다.
그러나 이와 같은 종래의 미스트 포집장치는 공통적으로 기판 세정장치의 배기관에 설치되는 것으로 정해져 있다. 즉, 설치위치가 항상 고정되어 있으며, 공장 배기를 사용하기 때문에 배기압력도 항상 일정 범위에 있는 특징이 있다.
이와 같은 경우 발생할 수 있는 문제점은, 미스트가 많이 발생하는 영역은 가변적이지만 배기관의 위치는 고정되어 있기 때문에 미스트를 효과적으로 배기 포집하기 어렵다는 것이다.
앞서 설명한 바와 같이 미스트는 세정장치 내에서 부유하는 경우 기판에 얼룩을 발생시키는 문제점을 가지고 있는 것으로, 빨리 효과적으로 포집하는 것이 요구되지만 미스트가 주로 발생하는 샤워노즐의 하부 위치와 배기관의 배기구 위치가 먼 경우 미스트의 배기 경로가 길어지면서 기판에 재부착될 수 있는 등의 문제점이 있다.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판 세정장치의 미스트 발생이 많은 영역에 손쉽게 설치할 수 있으며, 필요에 따라 위치를 이동시킬 수 있는 이동식 미스트 포집장치를 제공함에 있다.
또한 본 발명은 습한 조건에서 이물의 발생 없이 용이하게 동작할 수 있는 이동식 미스트 포집장치를 제공함에 있다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 기판 처리장치의 내에서 이동 설치가 가능하며, 유입된 미스트가 혼합된 공기로부터 미스트를 액상의 세정수로 포집하여, 상기 기판 처리장치의 바닥면으로 배출하는 본체부와, 상기 본체부의 상면에 결합되어, 공기의 공급여부에 따라 회전축을 회전시키는 에어모터와, 상기 본체부의 내측에 마련되어 상기 회전축과 함께 회전하면서 미스트를 포집할 수 있도록 기류를 형성하는 송풍팬과, 상기 송풍팬의 둘레에 마련되어 상기 본체부에 유입된 상기 미스트가 혼합된 공기에서 상기 송풍팬에 의해 형성된 기류에 의해 미스트를 하향으로 포집할 수 있도록 분리하는 분리격벽부를 포함한다.
상기 본체부는, 내경의 직경이 아래로 갈수록 작아지도록 내측면이 경사진 것이며, 내경의 하부에는 미스트가 배출될 수 있는 미스트배출공이 마련된 것일 수 있다.
상기 미스트배출공에 연결되어, 배출되는 미스트를 액상의 세정수로 포집하는 트랩부와, 상기 트랩부에서 포집된 액상의 세정수를 상기 기판 처리장치의 바닥면으로 배출하는 세정수배출관을 더 포함할 수 있다.
상기 트랩부는, 상기 본체부의 측면측으로 형성되되 상하로 절곡된 부분을 포함하는 관일 수 있다.
본 발명 이동식 미스트 포집장치는, 세정장치에 마련된 배기관과 무관하게 이동이 가능하기 때문에 미스트의 발생량이 많은 위치에 직접 이동설치함으로써, 미스트의 포집 효율을 높일 수 있으며, 미스트의 이동을 최소화하여 미스트의 이동중 기판을 재오염시키는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한 본 발명은 에어모터를 사용하여 공기와 미스트를 분리하여, 미스트를 포집하기 때문에 습한 분위기에서도 누전 등의 문제가 발생하지 않으며, 이물이 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치의 단면 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치의 평면 투시도이다.
이하, 본 발명 이동식 미스트 포집장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치의 단면 구성도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치의 평면 투시도이다.
도 1과 도 2를 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치는, 원통형의 구조이며 내측면이 상향으로 갈수록 직경이 넓어지도록 경사진 구조를 가지며, 공기와 미스트의 혼합물에서 미스트를 포집하여 배출하는 본체부(10)와, 상기 본체부(10)의 내부 공간을 습공간부(14)와 건공간부(15)로 분리하는 원통형의 분리격벽부(40)와, 상기 본체부(10)의 상부에 마련되어 공기의 공급에 의해 상기 분리격벽부(40) 내의 송풍팬(31)을 회전시키는 에어모터(30)와, 상기 분리격벽부(40)의 일부에 연통되어 미스트가 제거된 공기를 외부로 배출하는 배기덕트부(50)를 포함하여 구성된다.
이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치의 구성과 작용에 대하여 보다 상세히 설명한다.
먼저, 본체부(10)는 측면의 상부측 일부에 각각 흡기덕트부(20)와 배기덕트부(50)가 연결되는 통공이 마련되어 있으며, 내측은 중공의 형상이다. 도 2에 도시한 바와 같이 흡기덕트부(20)와 배기덕트부(50)는 각각 상기 본체부(10)의 외면과 법선 방향으로 결합되되, 상기 본체부(10)의 중심과는 편심된 위치를 향한다.
이는 흡기덕트부(20)를 통해 공급된 미스트와 공기가 본체부(10) 내에서 회전하도록 하기 위한 구성이다.
특히 본체부(10)의 내측면은 아래로 갈수록 내경의 직경이 좁아지는 원통형의 구조이며, 중공된 내측의 하부에는 미스트배출구(13)가 형성된다.
상기 미스트배출구(13)는 측면측으로 상하 절곡된 관 형상의 트랩부(12)와 연결되며 트랩부(12)의 반대편은 세정수배출관(11)과 연결된다.
이와 같은 구조의 본체부(10)의 상면 중앙은 통공이 마련되어 있으며, 그 상면에 결합되는 에어모터(30)의 회전축이 본체부(10) 내로 삽입되며, 에어모터(30)의 회전축에 결합된 송풍팬(11)이 본체부(10)의 중공부 내에 위치하게 된다.
이와 같은 상태에서 상기 송풍팬(11)의 외측에는 원통형 구조의 분리격벽부(40)가 상기 본체부(10) 상면의 저면부에 결합되어 있어, 상기 송풍팬(11) 하부의 건공간부(15)와 분리격벽부(40)와 본체부(10) 내면 사이의 습공간부(14)를 분리하게 된다.
상기 분리격벽부(40)의 측면 일부에는 상기 배기덕트부(50)가 연결되어 미스트가 분리된 공기를 외부인 기판 처리장치의 내로 배출하게 된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 작용을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저 본 발명은 기판 처리장치의 내에서 이동시킬 수 있는 것으로, 특히 미스트의 발생이 많은 세정 노즐의 하부 등 작업자가 필요하다고 판단하는 위치로 이동시켜 설치할 수 있다.
이는 본체부(10)가 기판 처리장치의 다른 설비에 결합이 되어 있지 않은 상태이기 때문에 가능하며, 본 발명을 하나 이상으로 기판 처리장치의 미스트 발생 요인이 많은 곳에 위치시킬 수 있다.
이와 같은 상태에서 상기 에어모터(30)에 공기를 공급하여 그 에어모터(30)의 회전축에 연결된 송풍팬(31)을 회전시키게 되면, 본체부(10) 내부의 공기가 배기덕트부(50)를 통해 배기되며, 본체부(10) 내부 압력이 낮아지게 된다.
상기 본체부(10) 내부 압력이 낮아짐에 따라 흡기덕트부(20)를 통해 미스트와 공기가 유입되며, 이는 상기 분리격벽부(40)의 측면 외측과 본체부(10)의 내측면 사이의 습공간부(14)로 유입된다.
이때 상기 본체부(10)의 내측면은 깔대기 모양이며, 습공간부(14)로 유입된 미스트와 공기는 그 본체부(10)의 내측면을 따라 회전하면서 하향으로 이동하게 된다.
상기 미스트와 혼합된 공기는 상기 분리격벽부(40)의 하부 끝단과 상기 본체부(10)의 경사진 측면의 사이를 지나면서 상기 분리격벽부(40)의 내측에서 상기 송풍팬(31)에 의해 상향으로 이동하여 상기 배기덕트부(50)를 통해 다시 기판 처리장치의 내부로 배출된다.
이때 미스트는 상기 공기와는 분리되어 미스트배출구(13)를 통해 배출된다.
상기 미스트배출구(13)를 지난 미스트는 트랩부(12)를 지나면서 액상으로 포집된다. 이는 미스트가 트랩부(12)의 절곡면에 충돌하면서 입자의 크기가 커지게 되며, 이는 세정수배출관(11)을 통해 본체부(10)가 놓여진 기판 처리장치의 바닥면으로 배출된다.
상기 기판 처리장치의 바닥면에는 세정수를 집수하는 집수관이 마련되어 있기 때문에 본체부(10)의 세정수배출관(11)을 통해 미스트를 포집한 결과물인 세정수를 직접 배출하더라도 별다른 문제가 발생하지 않게 된다.
이처럼 본 발명은 공장의 배기덕트에 의존하지 않고, 기판 처리장치의 내에서 이동이 가능하며, 미스트의 포집이 가능한 구조를 제공함으로써, 미스트의 이동을 방지하여 미스트에 의한 기판의 재오염을 방지할 수 있게 된다.
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
10:본체부 11:세정수배출관
12:트랩부 13:미스트배출구
14:습공간부 15:건공간부
20:흡기덕트부 30:에어모터
31:송풍팬 40:분리격벽부
50:배기덕트부

Claims (4)

  1. 기판 처리장치의 내에서 이동 설치가 가능하며, 유입된 미스트가 혼합된 공기로부터 미스트를 액상의 세정수로 포집하여, 상기 기판 처리장치의 바닥면으로 배출하는 본체부;
    상기 본체부의 상면에 결합되어, 공기의 공급여부에 따라 회전축을 회전시키는 에어모터;
    상기 본체부의 내측에 마련되어 상기 회전축과 함께 회전하면서 미스트를 포집할 수 있도록 기류를 형성하는 송풍팬; 및
    상기 송풍팬의 둘레에 마련되어 상기 본체부에 유입된 상기 미스트가 혼합된 공기에서 상기 송풍팬에 의해 형성된 기류에 의해 미스트를 하향으로 포집할 수 있도록 분리하는 분리격벽부를 포함하는 이동식 미스트 포집장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 본체부는,
    내경의 직경이 아래로 갈수록 작아지도록 내측면이 경사진 것이며,
    내경의 하부에는 미스트가 배출될 수 있는 미스트배출공이 마련된 것을 특징으로 하는 이동식 미스트 포집장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 미스트배출공에 연결되어, 배출되는 미스트를 액상의 세정수로 포집하는 트랩부와, 상기 트랩부에서 포집된 액상의 세정수를 상기 기판 처리장치의 바닥면으로 배출하는 세정수배출관을 더 포함하는 이동식 미스트 포집장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 트랩부는,
    상기 본체부의 측면측으로 형성되되 상하로 절곡된 부분을 포함하는 관인 것을 특징으로 하는 이동식 미스트 포집장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102113249B1 (ko) * 2019-12-12 2020-05-20 (주) 엠엠티케이 사이클론을 이용한 부산물 포집장치

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