KR20160081460A - Removable mist collecion device - Google Patents
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Abstract
본 발명은 이동식 미스트 포집장치에 관한 것으로, 기판 처리장치의 내에서 이동 설치가 가능하며, 유입된 미스트가 혼합된 공기로부터 미스트를 액상의 세정수로 포집하여, 상기 기판 처리장치의 바닥면으로 배출하는 본체부와, 상기 본체부의 상면에 결합되어, 공기의 공급여부에 따라 회전축을 회전시키는 에어모터와, 상기 본체부의 내측에 마련되어 상기 회전축과 함께 회전하면서 미스트를 포집할 수 있도록 기류를 형성하는 송풍팬과, 상기 송풍팬의 둘레에 마련되어 상기 본체부에 유입된 상기 미스트가 혼합된 공기에서 상기 송풍팬에 의해 형성된 기류에 의해 미스트를 하향으로 포집할 수 있도록 분리하는 분리격벽부를 포함한다.The present invention relates to a mobile mist collecting apparatus, and more particularly, to a mobile mist collecting apparatus capable of moving and installing in a substrate processing apparatus and collecting mist from a mixed air of mist with liquid cleansing water, An air motor coupled to an upper surface of the main body to rotate the rotating shaft according to whether air is supplied or not, an air blower provided inside the main body to form an air flow to rotate the rotating shaft together with the mist, And a partition wall part provided around the blower fan and separating the mist from the air mixed in the main body part so that the mist can be collected downward by the airflow formed by the blower fan.
Description
본 발명은 이동식 미스트 포집장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 기판 처리장치 내에서 사용되는 이동식 미스트 포집장치에 관한 것이다.
The present invention relates to a mobile mist collecting apparatus, and more particularly to a mobile mist collecting apparatus used in a substrate treating apparatus.
일반적으로, 기판 세정장치는 기판을 이송하면서 세정수를 기판에 분사하여 세정을 하게 된다. 이때 사용된 세정수는 대부분 기판 세정장비의 저면에 마련된 수집부를 통해 세정장치의 바닥측에 마련된 탱크에 집수되어 재활용되며, 일부는 미스트(mist)화 되어 기판 세정장치의 배기구를 통해 배기된다.Generally, a substrate cleaning apparatus blows cleaning water onto a substrate to clean the substrate while transferring the substrate. Most of the used washing water is collected in a tank provided on the bottom side of the washing apparatus through a collecting unit provided on the bottom of the substrate washing apparatus and recycled, and some of the washing water is misted and exhausted through the exhaust port of the substrate washing apparatus.
미스트화된 세정수가 기판에 다시 부착되는 경우에 미스트가 건조되면서 물얼룩을 발생시킬 수 있기 때문에 이를 배기하여 기판에 재부착을 방지하는 것이지만, 미스트화된 세정수를 배기하기 때문에 세정수의 재활용률이 감소하게 되는 문제점이 있었다.
In the case where the mist cleaning water is adhered to the substrate, the mist is dried to cause water stains, so that the water mist can be discharged to prevent re-adhesion to the substrate. However, since the mist- .
이러한 문제를 해결하기 위하여 종래에는 기판 세정장치의 배기구 내에 미스트를 포집할 수 있는 장치를 부가하여, 배기되는 공기로부터 미스트를 포집하여 액상으로 만들어 탱크로 재순환시키는 방법을 사용하였다.
In order to solve such a problem, conventionally, a device capable of collecting mist is added to the exhaust port of the substrate cleaning apparatus, and the mist is captured from the air to be exhausted and made into a liquid phase and recirculated to the tank.
이러한 기술은 등록특허 10-1284682호(기판 세정장비의 배기장치, 2013년 7월 4일 등록)와 같이 경사진 판들을 배기관 내에 설치하여 배기경로를 증가시켜 미스트와 공기를 분리하여 미스트를 포집하는 구조를 사용할 수 있으며,Such a technique is disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open No. 10-1284682 (exhaust apparatus of a substrate cleaning apparatus, registered July 4, 2013), in which oblique plates are installed in an exhaust pipe to increase the exhaust path to separate mist and air to collect mist Structure can be used,
공개실용신안공보 20-2013-0003480호(대면적 기판 세정장치의 세정약액 회수장치, 2013년 6월 12일 공개)와 같이 열교환을 통해 미스트를 응축시키는 장치를 배기관에 부가한 구조를 사용할 수 있다.
A structure in which an apparatus for condensing mist through heat exchange is added to the exhaust pipe such as disclosed in Japanese Utility Model Laid-Open Publication No. 20-2013-0003480 (cleaning liquid recovery apparatus of large area substrate cleaning apparatus, published on June 12, 2013) .
그러나 이와 같은 종래의 미스트 포집장치는 공통적으로 기판 세정장치의 배기관에 설치되는 것으로 정해져 있다. 즉, 설치위치가 항상 고정되어 있으며, 공장 배기를 사용하기 때문에 배기압력도 항상 일정 범위에 있는 특징이 있다.
However, such a conventional mist collecting apparatus is commonly determined to be installed in an exhaust pipe of a substrate cleaning apparatus. That is, since the installation position is always fixed and factory exhaust is used, the exhaust pressure is always in a certain range.
이와 같은 경우 발생할 수 있는 문제점은, 미스트가 많이 발생하는 영역은 가변적이지만 배기관의 위치는 고정되어 있기 때문에 미스트를 효과적으로 배기 포집하기 어렵다는 것이다.A problem that may occur in this case is that the mist generating region is difficult to collect effectively because the region where the mist is generated is variable but the position of the exhaust pipe is fixed.
앞서 설명한 바와 같이 미스트는 세정장치 내에서 부유하는 경우 기판에 얼룩을 발생시키는 문제점을 가지고 있는 것으로, 빨리 효과적으로 포집하는 것이 요구되지만 미스트가 주로 발생하는 샤워노즐의 하부 위치와 배기관의 배기구 위치가 먼 경우 미스트의 배기 경로가 길어지면서 기판에 재부착될 수 있는 등의 문제점이 있다.
As described above, the mist has a problem of causing stains on the substrate when it floats in the cleaning apparatus, and it is required to collect the mist quickly and effectively. However, when the position of the lower part of the shower nozzle where the mist mainly occurs and the position of the exhaust port of the exhaust pipe is long There is a problem that the exhaust path of the mist can be reattached to the substrate with an increase in length.
상기와 같은 문제점을 감안한 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 기판 세정장치의 미스트 발생이 많은 영역에 손쉽게 설치할 수 있으며, 필요에 따라 위치를 이동시킬 수 있는 이동식 미스트 포집장치를 제공함에 있다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is an object of the present invention to provide a mobile mist collecting apparatus which can easily be installed in a mist generating area of a substrate cleaning apparatus and can move a position as needed.
또한 본 발명은 습한 조건에서 이물의 발생 없이 용이하게 동작할 수 있는 이동식 미스트 포집장치를 제공함에 있다.
Another object of the present invention is to provide a mobile mist collecting apparatus which can operate easily without generating foreign matter under humid conditions.
상기와 같은 과제를 해결하기 위한 본 발명은, 기판 처리장치의 내에서 이동 설치가 가능하며, 유입된 미스트가 혼합된 공기로부터 미스트를 액상의 세정수로 포집하여, 상기 기판 처리장치의 바닥면으로 배출하는 본체부와, 상기 본체부의 상면에 결합되어, 공기의 공급여부에 따라 회전축을 회전시키는 에어모터와, 상기 본체부의 내측에 마련되어 상기 회전축과 함께 회전하면서 미스트를 포집할 수 있도록 기류를 형성하는 송풍팬과, 상기 송풍팬의 둘레에 마련되어 상기 본체부에 유입된 상기 미스트가 혼합된 공기에서 상기 송풍팬에 의해 형성된 기류에 의해 미스트를 하향으로 포집할 수 있도록 분리하는 분리격벽부를 포함한다.According to an aspect of the present invention, there is provided a substrate processing apparatus comprising: a substrate processing apparatus including a substrate processing apparatus, An air motor coupled to the upper surface of the main body to rotate the rotation shaft according to whether air is supplied or not, and an air motor provided inside the main body to rotate together with the rotation shaft to form an airflow And a partition wall part provided around the blower fan and separating the mist from the mixed air introduced into the main body part so as to collect the mist downward by the airflow formed by the blower fan.
상기 본체부는, 내경의 직경이 아래로 갈수록 작아지도록 내측면이 경사진 것이며, 내경의 하부에는 미스트가 배출될 수 있는 미스트배출공이 마련된 것일 수 있다.The main body may have an inner surface inclined so that the inner diameter becomes smaller as the inner diameter decreases, and a mist discharge hole may be provided in the lower portion of the inner diameter to discharge the mist.
상기 미스트배출공에 연결되어, 배출되는 미스트를 액상의 세정수로 포집하는 트랩부와, 상기 트랩부에서 포집된 액상의 세정수를 상기 기판 처리장치의 바닥면으로 배출하는 세정수배출관을 더 포함할 수 있다.And a cleaning water discharge pipe connected to the mist discharge hole for collecting the discharged mist by the liquid washing water and a washing water discharge pipe for discharging the liquid washing water collected in the trapping portion to the bottom surface of the substrate processing apparatus can do.
상기 트랩부는, 상기 본체부의 측면측으로 형성되되 상하로 절곡된 부분을 포함하는 관일 수 있다.
The trap portion may be a tube formed on the side of the main body portion and including a vertically bent portion.
본 발명 이동식 미스트 포집장치는, 세정장치에 마련된 배기관과 무관하게 이동이 가능하기 때문에 미스트의 발생량이 많은 위치에 직접 이동설치함으로써, 미스트의 포집 효율을 높일 수 있으며, 미스트의 이동을 최소화하여 미스트의 이동중 기판을 재오염시키는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.Since the mobile mist collecting apparatus of the present invention can move regardless of the exhaust pipe provided in the washing apparatus, the mist collecting efficiency can be increased by moving the mist collecting apparatus directly to a position where the amount of generated mist is large, It is possible to prevent the substrate from being re-contaminated during the movement.
또한 본 발명은 에어모터를 사용하여 공기와 미스트를 분리하여, 미스트를 포집하기 때문에 습한 분위기에서도 누전 등의 문제가 발생하지 않으며, 이물이 발생되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
Further, according to the present invention, air and mist are separated by using an air motor to collect mist, so that there is no problem such as electric leakage in a humid atmosphere, and foreign matter is prevented from being generated.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치의 단면 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치의 평면 투시도이다.1 is a cross-sectional view of a mobile mist collecting apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
2 is a plan perspective view of a mobile mist collecting apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
이하, 본 발명 이동식 미스트 포집장치에 대하여 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a mobile mist collecting apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치의 단면 구성도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치의 평면 투시도이다.FIG. 1 is a cross-sectional view of a mobile mist collecting apparatus according to a preferred embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan perspective view of a mobile mist collecting apparatus according to a preferred embodiment of the present invention.
도 1과 도 2를 각각 참조하면 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치는, 원통형의 구조이며 내측면이 상향으로 갈수록 직경이 넓어지도록 경사진 구조를 가지며, 공기와 미스트의 혼합물에서 미스트를 포집하여 배출하는 본체부(10)와, 상기 본체부(10)의 내부 공간을 습공간부(14)와 건공간부(15)로 분리하는 원통형의 분리격벽부(40)와, 상기 본체부(10)의 상부에 마련되어 공기의 공급에 의해 상기 분리격벽부(40) 내의 송풍팬(31)을 회전시키는 에어모터(30)와, 상기 분리격벽부(40)의 일부에 연통되어 미스트가 제거된 공기를 외부로 배출하는 배기덕트부(50)를 포함하여 구성된다.
Referring to FIGS. 1 and 2, a mobile mist collecting apparatus according to a preferred embodiment of the present invention has a cylindrical structure and has an inclined structure such that its inner side increases in diameter toward the upper side. In the mixture of air and mist, A cylindrical
이하, 상기와 같이 구성되는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이동식 미스트 포집장치의 구성과 작용에 대하여 보다 상세히 설명한다.
Hereinafter, the configuration and operation of the mobile mist collecting apparatus according to the preferred embodiment of the present invention will be described in detail.
먼저, 본체부(10)는 측면의 상부측 일부에 각각 흡기덕트부(20)와 배기덕트부(50)가 연결되는 통공이 마련되어 있으며, 내측은 중공의 형상이다. 도 2에 도시한 바와 같이 흡기덕트부(20)와 배기덕트부(50)는 각각 상기 본체부(10)의 외면과 법선 방향으로 결합되되, 상기 본체부(10)의 중심과는 편심된 위치를 향한다.First, the
이는 흡기덕트부(20)를 통해 공급된 미스트와 공기가 본체부(10) 내에서 회전하도록 하기 위한 구성이다.
This is a configuration for allowing the mist and air supplied through the
특히 본체부(10)의 내측면은 아래로 갈수록 내경의 직경이 좁아지는 원통형의 구조이며, 중공된 내측의 하부에는 미스트배출구(13)가 형성된다.Particularly, the inner surface of the
상기 미스트배출구(13)는 측면측으로 상하 절곡된 관 형상의 트랩부(12)와 연결되며 트랩부(12)의 반대편은 세정수배출관(11)과 연결된다.
The
이와 같은 구조의 본체부(10)의 상면 중앙은 통공이 마련되어 있으며, 그 상면에 결합되는 에어모터(30)의 회전축이 본체부(10) 내로 삽입되며, 에어모터(30)의 회전축에 결합된 송풍팬(11)이 본체부(10)의 중공부 내에 위치하게 된다.
The
이와 같은 상태에서 상기 송풍팬(11)의 외측에는 원통형 구조의 분리격벽부(40)가 상기 본체부(10) 상면의 저면부에 결합되어 있어, 상기 송풍팬(11) 하부의 건공간부(15)와 분리격벽부(40)와 본체부(10) 내면 사이의 습공간부(14)를 분리하게 된다.
In this state, a
상기 분리격벽부(40)의 측면 일부에는 상기 배기덕트부(50)가 연결되어 미스트가 분리된 공기를 외부인 기판 처리장치의 내로 배출하게 된다.
The
상기와 같이 구성되는 본 발명의 작용을 보다 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the operation of the present invention will be described in more detail.
먼저 본 발명은 기판 처리장치의 내에서 이동시킬 수 있는 것으로, 특히 미스트의 발생이 많은 세정 노즐의 하부 등 작업자가 필요하다고 판단하는 위치로 이동시켜 설치할 수 있다.First, the present invention can be moved within the substrate processing apparatus, and can be installed by moving to a position that a worker, such as a lower portion of a cleaning nozzle having a lot of mist generation, deems necessary.
이는 본체부(10)가 기판 처리장치의 다른 설비에 결합이 되어 있지 않은 상태이기 때문에 가능하며, 본 발명을 하나 이상으로 기판 처리장치의 미스트 발생 요인이 많은 곳에 위치시킬 수 있다.
This is possible because the
이와 같은 상태에서 상기 에어모터(30)에 공기를 공급하여 그 에어모터(30)의 회전축에 연결된 송풍팬(31)을 회전시키게 되면, 본체부(10) 내부의 공기가 배기덕트부(50)를 통해 배기되며, 본체부(10) 내부 압력이 낮아지게 된다.When air is supplied to the
상기 본체부(10) 내부 압력이 낮아짐에 따라 흡기덕트부(20)를 통해 미스트와 공기가 유입되며, 이는 상기 분리격벽부(40)의 측면 외측과 본체부(10)의 내측면 사이의 습공간부(14)로 유입된다.As the internal pressure of the
이때 상기 본체부(10)의 내측면은 깔대기 모양이며, 습공간부(14)로 유입된 미스트와 공기는 그 본체부(10)의 내측면을 따라 회전하면서 하향으로 이동하게 된다.At this time, the inner side surface of the
상기 미스트와 혼합된 공기는 상기 분리격벽부(40)의 하부 끝단과 상기 본체부(10)의 경사진 측면의 사이를 지나면서 상기 분리격벽부(40)의 내측에서 상기 송풍팬(31)에 의해 상향으로 이동하여 상기 배기덕트부(50)를 통해 다시 기판 처리장치의 내부로 배출된다.The air mixed with the mist flows from the inside of the
이때 미스트는 상기 공기와는 분리되어 미스트배출구(13)를 통해 배출된다.
At this time, the mist is separated from the air and discharged through the
상기 미스트배출구(13)를 지난 미스트는 트랩부(12)를 지나면서 액상으로 포집된다. 이는 미스트가 트랩부(12)의 절곡면에 충돌하면서 입자의 크기가 커지게 되며, 이는 세정수배출관(11)을 통해 본체부(10)가 놓여진 기판 처리장치의 바닥면으로 배출된다.
The mist passing through the mist outlet (13) is collected in the liquid phase through the trap portion (12). This causes the mist to collide with the folded surface of the
상기 기판 처리장치의 바닥면에는 세정수를 집수하는 집수관이 마련되어 있기 때문에 본체부(10)의 세정수배출관(11)을 통해 미스트를 포집한 결과물인 세정수를 직접 배출하더라도 별다른 문제가 발생하지 않게 된다.
Since the bottom of the substrate processing apparatus is provided with the collecting pipe for collecting the washing water, even if the washing water, which is the result of collecting the mist through the washing
이처럼 본 발명은 공장의 배기덕트에 의존하지 않고, 기판 처리장치의 내에서 이동이 가능하며, 미스트의 포집이 가능한 구조를 제공함으로써, 미스트의 이동을 방지하여 미스트에 의한 기판의 재오염을 방지할 수 있게 된다.
As described above, according to the present invention, it is possible to move within the substrate processing apparatus without depending on the exhaust duct of the factory and to provide a structure capable of collecting the mist, thereby preventing the mist from moving and preventing the substrate from being re- .
본 발명은 상기 실시예에 한정되지 않고 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 아니하는 범위 내에서 다양하게 수정, 변형되어 실시될 수 있음은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 있어서 자명한 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit and scope of the invention will be.
10:본체부 11:세정수배출관
12:트랩부 13:미스트배출구
14:습공간부 15:건공간부
20:흡기덕트부 30:에어모터
31:송풍팬 40:분리격벽부
50:배기덕트부10: main body part 11: rinse water discharge pipe
12: trap portion 13: mist outlet
14: wet space part 15: gun space part
20: intake duct section 30: air motor
31: blower fan 40: partition wall part
50: exhaust duct part
Claims (4)
상기 본체부의 상면에 결합되어, 공기의 공급여부에 따라 회전축을 회전시키는 에어모터;
상기 본체부의 내측에 마련되어 상기 회전축과 함께 회전하면서 미스트를 포집할 수 있도록 기류를 형성하는 송풍팬; 및
상기 송풍팬의 둘레에 마련되어 상기 본체부에 유입된 상기 미스트가 혼합된 공기에서 상기 송풍팬에 의해 형성된 기류에 의해 미스트를 하향으로 포집할 수 있도록 분리하는 분리격벽부를 포함하는 이동식 미스트 포집장치.
A main body portion capable of being installed in the substrate processing apparatus and capable of collecting the mist from the mixed air with the liquid washing water and discharging the mist to the bottom surface of the substrate processing apparatus;
An air motor coupled to an upper surface of the main body to rotate the rotating shaft according to whether air is supplied or not;
A blowing fan provided inside the main body to form an air flow so as to collect the mist while rotating together with the rotating shaft; And
And a separating partition wall portion provided around the blowing fan to separate the mist mixed with the air introduced into the main body portion so as to collect mist downward by the air flow formed by the blowing fan.
상기 본체부는,
내경의 직경이 아래로 갈수록 작아지도록 내측면이 경사진 것이며,
내경의 하부에는 미스트가 배출될 수 있는 미스트배출공이 마련된 것을 특징으로 하는 이동식 미스트 포집장치.
The method according to claim 1,
Wherein,
The inner side is inclined so that the diameter of the inner diameter becomes smaller as it goes down,
And a mist discharge hole is provided at a lower portion of the inner diameter to discharge the mist.
상기 미스트배출공에 연결되어, 배출되는 미스트를 액상의 세정수로 포집하는 트랩부와, 상기 트랩부에서 포집된 액상의 세정수를 상기 기판 처리장치의 바닥면으로 배출하는 세정수배출관을 더 포함하는 이동식 미스트 포집장치.
3. The method of claim 2,
And a cleaning water discharge pipe connected to the mist discharge hole for collecting the discharged mist by the liquid washing water and a washing water discharge pipe for discharging the liquid washing water collected in the trapping portion to the bottom surface of the substrate processing apparatus A mobile mist collecting device.
상기 트랩부는,
상기 본체부의 측면측으로 형성되되 상하로 절곡된 부분을 포함하는 관인 것을 특징으로 하는 이동식 미스트 포집장치.
The method of claim 3,
The trap portion
Wherein the filter is a tube formed on the side of the main body and including a portion bent up and down.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102113249B1 (en) * | 2019-12-12 | 2020-05-20 | (주) 엠엠티케이 | By-product collection device using cyclone |
-
2014
- 2014-12-31 KR KR1020140195328A patent/KR20160081460A/en not_active Ceased
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102113249B1 (en) * | 2019-12-12 | 2020-05-20 | (주) 엠엠티케이 | By-product collection device using cyclone |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| PA0109 | Patent application |
Patent event code: PA01091R01D Comment text: Patent Application Patent event date: 20141231 |
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Comment text: Notification of reason for refusal Patent event date: 20151203 Patent event code: PE09021S01D |
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| E601 | Decision to refuse application | ||
| PE0601 | Decision on rejection of patent |
Patent event date: 20160608 Comment text: Decision to Refuse Application Patent event code: PE06012S01D Patent event date: 20151203 Comment text: Notification of reason for refusal Patent event code: PE06011S01I |
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| PG1501 | Laying open of application |