KR20160021681A

KR20160021681A - 공간 청정도 지지 장치

Info

Publication number: KR20160021681A
Application number: KR1020140107300A
Authority: KR
Inventors: 윤영훈
Original assignee: 윤영훈
Priority date: 2014-08-18
Filing date: 2014-08-18
Publication date: 2016-02-26

Abstract

유기 오염의 원인이 되는 실링재의 사용을 가능한 한 줄여, 한편 2중 구조의 청정 공간을 부속물 용적의 적은 간단한 구조로 얻을 수 있는 공간 청정도 지지 장치를 제공한다.

Description

공간 청정도 지지 장치 {SPATIAL CLEANLINESS RETAINING DEVICE}

본 발명은 초미량 불순물에 관한 분석, 전자공업용 정밀 기기나 고순도 재료 등에 필요한 먼지, 화학물질등이 충분히 제거된 청정 공간 혹은 의료의 분야에서 구할 수 있는 먼지, 대기오염 물질, 세균·바이러스 등이 제거된 청정 공간을 제공하는 공간 청정도 지지 장치에 관한 것이다.

한정된 소공간의 분위기 청정도를 높게 유지하려면 , 먼지에 관해서 더스트 필터를 장비한 클린 벤치·클린 부스 종류가 넓게 사용되고 있다.더스트 필터로서는 플리츠 구조의 여과재를 이용한 HEPA 필터가 일반적이지만, 여과재 성능이 우수한 ULPA 필터도 넓게 사용되고 있다.이 공간 분위기 중의 산, 알칼리, 유기물에 관해서도 제거가 필요한 경우는 이 더스트 필터의 바람이 불어 오는 쪽으로 산용, 알칼리용 혹은 유기물용의 케미컬 필터를 장비한 클린 벤치·클린 부스 종류가 사용되고 있다.

제기술의 진보와 함께 먼지에 관한 청정도도 화학물질에 관한 청정도도 지극히 고도의 요구가 이루어지게 되었다. 예를 들면 최선 구석의 반도체 산업에서는 먼지에 대해서는 미국 연방 규격으로 클래스 1이라든지 클래스 10이 필요하고 있다.덧붙여서 일반의 대기에 있어서는 클래스 수십만으로부터 수백만의 먼지가 있다. 작업 장소 전체를 클래스 1에 보수하는 것은 건설비나 보수의 면에서 경제적으로 문제가 크기 때문에, 클래스 1000 정도의 클린룸 안에 필요한 청정 공간만을 클래스 1의 클린 벤치·클린 부스 종류로 구성하는 경우가 많다. 이러한 벤치나 부스에 상술한 케미컬 필터의 각각을 장비하고, 그 내부 청정 공간의 산성 이온이나 알칼리 이온을 0.1 ppb 이하에, 또 실리콘 웨이퍼를 48시간 폭로해도 클린룸 안에 발생 하기 쉽고 반도체 소자 제조에 유해한 프탈산디옥틸(DOP)이나 실록산 등의 유기물의 부착을 1 ng/cm2이하에 할 수 있게 되어 있다.

또, 의료의 현장에서는, 감염 저항력이 저하한 급성 백혈병이나 면역 기능 부전증등의 환자는, 통상은 무해인 상주균이나 바이러스의 감염 즉 기상 관찰 감염으로 큰일이 되는 일이 있다. 이러한 환자에게는 무균실 즉 HEPA 필터를 사용한 바이오 클린 룸 안에서 간호하는 것이 이상적이다. 그러나 이러한 환경은 설비적으로 대가 빌려되어, 일반적으로는 수술실과 같은 특히 감염으로 위험이 큰 곳 밖에 사용되지 않았다. 그러나, 병원이나 구급차의 침대등의 회전에 간단하게 설치할 수 있는 무균 환경이 있으면 기상 관찰 감염 대책상 매우 바람직하다.

대기중에는 이러한 세균·바이러스 외에 공장이나 자동차등으로부터 발생 하는 연기에 의한 건강 상유해인 먼지가 부유 하고 있다. 또 NO, NO2 , NOx , SOx 등이나 광화학 스모그 주성분의 오존과 같은 호흡기계에 유해한 대기오염 물질도 포함되어 많은 공해병 환자를 괴롭히고 있다.이들을 동시에 제거 할 수 있는 무균 환경이 있으면 게다가 바람직하다.

상기와 같은 먼지와 화학물질의 양쪽 모두에 관해서 지극히 청정한 공간을 초청정 공간이라고 부르기로 하면, 이러한 공간의 청정도를 지지 하기 위해서는 이 초청정 공간을 수납하는 클린 벤치 종류를 클래스 1000 전후의 청정도의 예비실적 클린룸 환경에 설치하지 않는 이상 즉 2중의 청정 공간 지지 구조로 하지 않으면 만족하지 않은 것이 경험적으로 알려져 있다.클래스 수백만의 먼지와 수십 ppb를 넘는 화학물질이 존재하는 일반 환경에 직접 이러한 고성능의 클린 벤치 종류를 설치했을 경우, 매우 적은 환경 분위기의 침입이 다 막을 수 있지 않고, 초청정 공간을 지지 하는 것이 실질적으로 할 수 없다.

또, 소형의 기기나 부품 재료 등을 먼지나 화학물질로 오염하지 않도록 일반 환경에 있어서 수송할 필요는 자주 일어나지만, 통상은 청정한 플라스틱 용기에 청정 분위기와 함께 밀봉해 수송한다. 이 밀봉에는 성능이 좋은 고무 상태의 실링재가 필요하지만, 가장 우수한 것은 실리콘 수지이다. 그러나, 지금부터는 실록산류가 발산해, 또 플라스틱 자체로부터도 그 첨가물질이 아웃 가스가 되어, 용기내 공간에 있는 수송품에 대해 유기 오염을 일으킨다. 이러한 오염은 반도체 관계 예를 들면 웨이퍼 수송이나 환경 중의 유기초미량 성분의 분석관계 예를 들면 샘플의 송부에서는 봉입 시간이 수 시간에서도 유해한 양에 이르는 경우가 있다. 또 봉입 시간이 장시간에 이르는 경우나 실링재를 반복 사용한 경우에는, 이 실링재는 먼지의 침입은 막는 것이 되어있어도, 가스형 불순물인 산분자나 알칼리분 아이가 유입할 우려가 있다.

이들을 근본적으로 피하려면 용기를 상술한 케미컬 필터 부착 클린 벤치와 같은 구조라고 하면 좋다.

그러나 케미컬 필터 모듈을 몇도 사용하면 청정 공간에 대해 부속물이 대형화하고, 내부 청정도를 안전하게 확보하려고 한다고 상기와 같은 2중 구조가 필요해 실용적이지 않다.

또 상술한 실리콘 수지 실재는 현용의 클린룸이나 클린 벤치 종류에는 필요한 구조 재료되고 있다. LSI 공장의 경우, 이들로부터 발생 하는 실록산 아웃 가스는 폭로한 실리콘 표면을 오염하기 쉽다.케미컬 필터의 장비는 청정 공간내에서 발생 하는 불순물에 대해서는 직접 그 효과는 미치지 않다.

또, 의료의 현장에서는, 상기와 같이 병원이나 구급차 침대등의 회전에 간단하게 무균 환경을 설치할 수 있는 것이 요구되고 있지만, 종래 이것에 응하는 것은 알려지지 않았다.

본 발명은 이러한 실링재의 사용을 가능한 한 줄여, 한편 상술한 것 같은 2중 구조의 청정 공간을 부속물 용적의 적은 간단한 구조로 얻을 수 있고 초청정 공간이나 무균 환경도 용이하게 제공할 수 있는 공간 청정도 지지 장치를 제공하는 것이다.

본 발명에 의하면, 필터를 구비한 필터 모듈을 장비한 필터 모듈 지지체와 그 필터 모듈 지지체와 일체화하고 있어 상기 필터를 통과한 하강 공기가 유입하는 공간을 형성, 위요하는 내측벽을 가지며, 하부가 개방하고 있는 동안상자와；외측 벽과 그 외측 벽의 상단에서 일체화한 외측 천정판을 가지며, 하부가 개방하고 있고, 상기 필터 모듈 지지체 및 내측벽의 주위 사이에 공기의 유로가 되는 공간이 존재하도록 해내 상자를 싸는 형태로 설치되는 외상과；상기 필터 모듈에 위쪽으로부터 공기를 보내기 위한 송풍기와；를 구비하여 이루어진 공간 청정도 지지 장치이며, 상기 내측벽의 하단에는해당 장치를 바닥의 위에 두었을 때에 상기 공간을 류 꺾어 오는 공기가 해공간으로부터 상기 내측벽과 상기 외측 벽 사이에 형성된 상기 유로 공간에 유출할 수 있는 간극이 형성되게 되어 있어 이와 같이 해 유출한 공기가 상승해, 해상승 공기가 필터모듈에 이송되어 순환하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 2중벽 구조의 공간 청정도 지지 장치가 제공된다.

또, 본 발명에 의하면, 상기의 구성에 가세해 게다가 상기 외상의 외측 벽의 저부에, 고정적으로 또는 착탈이 자유롭게 끼움식으로 접속 되어 상기 바닥의 기능을 하는 저부재를 갖는 것을 특징으로 하는 상기의 공간 청정도 지지 장치가 제공된다.

또, 본 발명에 의하면, 게다가 상기 내측벽의 일면의 전부 혹은 일부가 개폐 또는 제외가 가능하고, 그 면에 대응하는 외측 벽의 전부 혹은 일부가 개폐 또는 제외가 가능한 상기의 공간 청정도 지지 장치가 제공된다.

본 발명에 있어서, 상기의 외상이 수송 수단의 짐받이에 착탈이 자유롭게 또는 고정적으로 설치되어 있어 상기중 상자가 해외상내에 출입 자유롭게 탑재할 수 있는 것이어도 된다.

게다가 본 발명에 의하면, 에어샤워와 에어 필터를 장비해 개구부를 갖는 벽면을 갖는 상자 모양의 클린 부스를, 그 개구부가 외측 벽의 개구부와 대체로 합치하도록 밀착 부속시킨 공간 청정도 지지 장치가 제공된다.

상기의 필터 모듈은, 바람 방향측의 미립자 제거용 필터와 복수종의 화학물질 제거용 여포를 거듭해부 붐빈 바람이 불어 오는 쪽측 필터를 갖는 것이 바람직하다.

게다가 본 발명에 의하면, 상기의 공간 청정도 지지 장치가 복수개 일체적으로 연결되어 구성된 집합체 목표 공간 청정도 지지 장치가 제공된다.

본 발명의 공간 청정도 지지 장치에 의하면, 먼지도 화확적 불순물도, 필요에 따라 세균·바이러스도 매우 적은 초청정 공간을, 클래스 수백만의 먼지가 있어 화학적으로 많은 불순물을 포함한 일반 환경 혹은 특수 환경내에 간편하게 형성할 수 있고 그 청정도를 확실히 한편 필요 기간 지지 할 수 있다.

외 상자와 내상의 하부가 모두 개방되어 일체의 덮개를 구성하는 본 발명의 장치는 통상 청정 공간이 작은 경우에 적절하다. 초청정 환경을 필요로 하는 물품에 씌우는 것만으로 청정도를 지지 하는 효과가 있다. 본발명의 덮개는 단지 웨이퍼 들어간 카세트에 덮이는 것만으로 초청정 보관의 목적을 달성해, 덮개외 상자의 단면에서 리크가 다소 있어도 문제가 없다. 따라서 내용물의 출입해에 즈음하여 종래의 플라스틱 케이스에서는 피하기 어려웠던 발진이나 화학물질의 발산, 재료로부터의 아웃 가스에 의한 오염의 우려가 거의 없다. 뚜껑의 오르내림만으로 청정 환경 용기로부터의 취출 해를 할 수 있는 것은 자동 제조 라인에 있어서의 웨이퍼 카세트 반입을 코우세 정화하고, 간단화한다.

이러한 플라스틱 케이스는 수송 용기로서도 사용되지만, 본 발명의 덮개에 외감 하는 저부재와의 조합으로 초청정 수송 용기라고 해도 사네, 보관의 경우와 같은 오염을 피할 수 있다.즉, 자체에서는 먼지나 화학물질의 오염원이 되지 않는 장치·부품·재료에 관해서, 초청정 상태로의 보관이나 수송의 경우, 이러한 닫은 공기 순환계의 본 발명의 장치는 매우 유효하다.

외 상자의 하부가 닫혀진 바닥이 되는 본 발명의 장치는 통상 필요한 청정 공간이 큰 경우 즉 클린 부스 정도에 적절하다. 상의 분석 실이나 실험실은 일반 환경에 있고, 청소에 유의해도 클래스 수십만 정도의 환경 밖에 되지 않는다. 발명에 의한 2중벽 클린 부스는 에어샤워 부전실을 이용함으로써, 이러한 환경에서 도 용이하게 초청정 작업 장소를 제공 할 수 있다. 또, 병원 등에 있어 환자의 침대 주위에 용이하게 무균 환경을 형성할 수 있다.

이 장치에서는 케미컬 필터로서 여포 부포함 방식을 이용하면 스페이스 요소-가 좋고, 외상의 높이를 통상의 실내에 들어가는 정도로 낮게 할 수 있다. 또 분석이나 실험의 환경에 있어서 특히 제거하고 싶은 물질이 있는 경우는, 거기에 적합한 여포를 선택해 사용할 수 있고 분석이나 실험의 백그라운드 감소에 기여 할 수 있다. 이온 교환 여포는 열화 했을 경우 재생이 가능한하고, 이러한 이점은, 부포함 방식으로는 여포의 면적이 작아져, 필터 수명이 짧아지는 결점을 충분히 보충할 수 있다.

본 발명에 의한 클린 부스 형 장치는, 외상을 밴 형 트럭(트랙)의 짐받이와함으로써, 공장의 클린룸 안에서 깨끗하게 가동하고 있는 장치를 초깨끗하게 수송해, 다른 공장의 클린룸 안에 깨끗하게 이전하는 도어·트우·도어의 청정 반송을 가능하게 한다.또, 환자를 예를 들면 가정이나 사고 현장에서 병원까지, 또 병원간에서 무균 환경속에서 옮길 수 있다.

또 본 발명에 의한 클린 부스 형 장치는 가동 할 수 있는 상태로 하우스 트레일러와 같이 차량에 견인시켜 이동할 수 있다.이러한 장치를 복수개 연결해 본 발명을 클린룸화한 장치에 적용할 수 있다.

이러한 클린룸을 사용하는 공장은 단기간에 구축 할 수 있고 한편 필요에 따라 이동이 가능하고, LSI제조 라인에 있어서 특정의 공정인 만큼 적용 할 수 있으면 기동성·유연성·경제성이 우수한 디바이스 제조를 실시 할 수 있다.

도 1은 본 발명의 2중벽덮개형 공간 청정도 지지 장치의 일례를 나타내는 사시도.
도 2는 도 1에 나타난 장치의 필터 모듈 설치부를 종단 했을 때의 단면도.
도 3은 도 1에 나타난 장치의 종단면을 간략화해 나타내 보인 그림.
도 4는 본 발명의 2중벽 구조를 갖는 대형 공간 청정도 지지 장치의 일례를 일부 노치해 나타내 보이는 사시도.
도 5는 본 발명의 장치내에 들어가는 작업 원의 갱의·제진용전실을 구비한 본 발명의 청정도 지지 장치의 구성의 대략을 나타내는 종단면도.
도 6은 본 발명의 일례인 대형 2중벽 클린 부스를 3개 연결해 구성한 클린룸의 구축을 설명하기 위한 대략을 나타내는 평면도.
도 7은 도 6에 나타난 장치의, 그림 6에 있어서의 A-A선에 따르는 수직 종단면도.

이하, 본 발명을 상세하게 설명한다.본 발명의 공간 청정도 지지 장치는, 필터로 얻어진 청정 공간이 하부의 개방된 동안상자안에 형성되어 이 내상을 둘러싸는 외상이 2중벽을 구성해, 그 벽면 간극이 공기의 순환로가 되어 필터 작용이 조 돌려주어지게 되어 있어 2중벽의 간극을 상승하는 공기가 내상내 청정도에 대한 완충대가 되는데 최대의 특색이 있다. 거기서, 본 발명의 공간 청정도 지지 장치는 클래스 수백만의 일반 대기 환경안에서도, 내상내를 초청정 공간으로 할 수 있다.

본 발명의 장치는 하부가 개방된 동안상자와 외상과 로 이루어진 것(이하, 2중벽덮개형이라고도 한다)와 외상의 하부가 닫혀진 바닥이 되고 있는 것(이하, 2중벽청정 용기형이라고도 한다)로 나누어진다.

［2중벽덮개형］2중벽덮개형 장치는 바닥의 위에 단지 두어도 외상과 마루 사이가 가능한 한 밀착하듯이 미리 정밀하게 가공 해 둘 필요가 있다. 매우 적은 공기의 리크는 장치의 내압이 조정되는 점에서는 오히려 바람직하다. 또 외계로부터 얼마 안되는 화확적 불순물이나 먼지가 리크 침입해도, 이 침입분은 2중벽면을 상승하고, 필터로 제거된다. 2중벽덮개형 장치는, 본 발명의 대상인 청정도 지지 공간이 소규모의 경우, 즉 25매 정도의 실리콘 웨이퍼를 수납하는 카세트 용무로부터, 측정기 용무나 보관고용의 소형 클린 벤치의 청정 영역 정도까지의 크기에 적용 할 수 있다.일반 환경안으로 이 벤치를 사용하려면 후기의 전실 과 유사한 작업자 박스를 연결해도 되나, 간편하게는 글로브 박스 방식이라고 하면 좋다.내부 감시를 위해 2중벽의 일부를 투명판으로 하고, 2중벽을 관철해 작업 용글로브를 장비할 수 있다.

웨이퍼 카세트 용정도의 소형 장치는, 필터와 송풍기를 장비한 동안상자와 거기에 외상을 맞추어도 경량이므로, 외상하단면이 일평면에 있도록(듯이) 작성한 이 2중벽체형 장치를 덮개로서 평판상에 둔 청정 지지 대상의 물품에 씌우는 것만으로 지극히 간편하게 목적을 달성할 수 있다. 덮개의 오르내림만으로 청정도 지지를 할 수 있는 것은 자동 제조 라인에 있어서의 웨이퍼 카세트의 반송 기구에 있어서 간단화와 무진화의 점으로 바람직한 것이다.

2중벽덮개형 장치는 통상 소형이다 것으로, 이것에 사용하는 필터 모듈은 소형의 것으로는 여포를 원형, 방형등에 절단 해 바람이 불어 가는 쪽에서 먼지용, 유기물용, 양이온 용, 음이온용 여과지 혹은 여포 엘리먼트를 거듭한 것으로 충분하다. 최바람이 불어 가는 쪽의 먼지용 여과지는 케미컬 필터로부터의 발진을 확실히 차단하기 때문에(위해), 내상에 대해 엄밀한 기밀성이 필요하다. 시판의 먼지용 엘리먼트는 통상 유기물 아웃 가스를 얼마 안되는 무늬 발생 시킨다.소형 장치에서는 낮은 유속으로 하는 경우가 많지만 아웃 가스의 영향이 강해지므로, 불소수지 PTFE제 여과지가 바람직하다. 유기물용 엘리먼트는 활성탄 여포를 이용하여 양

이온 용, 음이온 용무는 각각 이온 교환 여포인가 첨착제부의 활성탄 여포를 이용한다.이들의 여과재는 모두당업자에게는 주지이다. 2중벽덮개 형 소형 장치를 작성하는 경우, 내측벽·외측 벽·마루청등의 재료는 유기 아웃 가스의 적은 플라스틱이 바람직하고, 예를 들면, 경질 염화 비닐, 폴리카보네이트가 들 수 있고 그 중에서도 폴리카보네이트가 바람직하다.

［2중벽청정 용기형］이 형태에서는, 외상의 외측 벽의 저부에 고정적으로 저부재 또는 착탈이 자유롭게 틈새 적게 끼워넣을 수 있는 식에서 설치할 수 있는 네모진 나무의 저부재, 가 설치된다. 저부재외감 구조이라고, 꽤 강한 진동을 받아도 외계로부터의 리크의 영향은 무시 할 수 있는 정도이다.축전지로 송풍기를 가동시키면, 이동 가능한 공간 청정도 지지 장치를 제공 할 수 있다.

저부재 고정 구조의 장치는, 소형기기와 그것을 조작하는 작업자를 수용 할 수 있는 정도의 클린 부스의 규모가 적합해, 비교적 넓은 청정 공간이 대상의 대형의 것이 된다. 외상은 저부로 닫고 있으므로, 기기의 반입 반출이나 작업자의 입출을 위해, 내측벽과 외측 벽의 대응하는 측부에 개구가 필요가 있다. 이 개구는 벽의 전면 또는 일부를을 떼냄가능으로 한다든가, 벽의 일부에 개폐 가능한 문 혹은 창을 설치함으로써 달성된다. 내상내에서 초청정 작업이나 초청정 운전을 실시하는 동안은, 이 개구는 당연히 폐쇄 된다. 장치내 공기를 필요한 압력 으로 유지하기 때문에(위해) 외측 벽 개구부의 폐쇄에서는 약간의 리크가 필요하다. 내측벽 개구부의 폐쇄에서는 리크는 바람직하지 않다.

필터 모듈은, 먼지 제거용 필터와 그것의 바람이 불어 오는 쪽 측에 배치되는 화학물질 제거용 필터(케미컬 필터)를 제공하도록 구성된다. 필터 모듈은 일체의 모듈에 이들 2종의 필터를 구비하고도 괜찮고, 각 필터를 각각에 대비한 2종의 모듈을 직렬 배열에 배치하도록 할 수 있다.

바람 방향측의 먼지 제거용 필터로서는 플리츠 형 시판의 HEPA 또는 ULPA 필터를 이용해, 유기 아웃 가스의 적은 것을 선정해 사용한다.

케미컬 필터 모듈로서는, 예를 들면, 특개평7-204439및 특개평7-24246에 나타낸 것 같은, 다른 포집 성능의 여포를 거듭해 부 붐비는, 플리츠 형태 혹은 파형의 것이 바람직하다. 여과재를 거듭하는 순서는, 통상 바람 방향측으로부터 유기물 포집용, 양이온 포집용, 음이온 포집용으로, 유기물용은 활성탄 여포, 양이온 용무는 양이온 교환 여포 또는 산성첨착제입활성탄 여포, 음이온 용무는 음이온 교환 여포 또는 알칼리성 첨가제입활성탄 여포를 사용한다. 이 경우 1개의 모듈로 이들의 포집 성능의 모든 것을 구비하는의로, 소형화한다. 에어 필터의 제거 대상인 화학 오염물질, 즉 반도체 프로세스 상유해인 공기중의 화학 오염물질은, HF, HCl, H2SO4와 같은 산성 가스, NH3이나 아민과 같은 알칼리성 가스, 실리콘이나 실리콘 산화막표면에 흡착하기 쉬운 디옥틸프탈레이트(DOP)류, 부틸 하이드록시 톨루엔(BHT), 헥사메틸디실라잔, 실록산류, 인산 에스테르류등의 유기물이다.이들의 모든 것을 제거하려면 위에서 설명한 바와 같이 3종의 여포가 필요하다.

케미컬 필터로서의 용적이 작은 것은 본 발명으로의 외상상당한 부분이 작아도 되어, 스페이스 요소 뿐만이 아니고 성능상도 바람직하다. 깔아 포함용의 엘리먼트 여포는 상기 2중벽덮개 형 경우와 같고 좋다.

대형 장치의 경우도 내측벽은 유기 아웃 가스의 적은 플라스틱 재료가 바람직하고, 경질 염화비닐수지, 폴리카보네이트 수지를 들 수 있고 수지 가격을 고려하면 폴리카보네이트가 대표적이다.외측 벽은 스테인리스 강의 지주가 바람직하고, 벽판은 예를 들면 스테인리스 혹은 알루미늄으로 하고, 유기 아웃 가스의 적은 도료 예를 들면 우레콘 도료로 도장해 둔다.

대형의 2중벽청정 용기형 장치와 같이 닫혀진 공기 순환계 중(안)에서 작업을 하는 경우는 작업자의 건강의 면으로부터 신선한 외기의 약간의 도입이 필요하다.기기 가동에 의한 계내의 발열에 대한 대책상, 또 작업자에 의해 계내의 습도가 상승하므로, 필요 있으면 도입 외기의 냉각 및 건조를 행동 청정 공간의 온도와 습도를 컨트롤 한다.외기 도입에 대응해 필요량의 배기를 실시해야 한다.그것을 위한 배기 수단으로서는, 예를들면, 그레이팅의 아래까지 연기져 거기서 배기구를 개구를 하는 동시에, 도중에 배기량을 컨트롤 할 수 있는 송풍기를 구비시킨 배기관을 들 수 있다.송풍기로 공간 3의 내부가 약간 양압을 유지하는 정도로 가동시킨다.

2중벽의 개구를 통해서 작업자가 일반 환경에서 내상내에 들어가려면 , 작업자의 착의를 청정화 하기 위한 전실적인 보조 클린 부스(이하, 전실 부스라고 한다)가 필요하고, 이것에는 캐스터를 붙여 이동 가능하게 하는 것이 바람직하다.일전에실 부스에는 외계로부터의 출입구와 청정 공간에 출입구를 설치해 후자의 출입구가 있는 벽을 본 발명 장치의 출입구가 있는 외벽의 외면에 밀착시키고, 작업자 혹은 내부에 반입 기기나 부품·재료 등을 우선 전실부스에 들어갈 수 있고, 그 청정화 시스템으로 예비적인 청정화를 실시한 후, 전실 부스와 클린 부스인 2중벽청정 장치의 경계의 출입구에로부터 내상청정 공간에 입실한다.이 출입 단계에서 내상 내의 하강 공기의 흐름이 극단적이게 흐트러지지 않게, 출입구가 있는 벽면틈의 상단을 댐퍼로 일시적에 닫는 것이 바람직하다.

이 공간 청정도 지지 장치는 클래스 수백만의 일반 대기 환경안에서도, 내상의 하강 공기류속을 0.4m/초로 했을 때, Cl, SO₄ 등의 산성 이온이나 NH₃ 이 모두 검출 한계의 0.02 ppb 이하였다. 열처리 직후의 실리콘 웨이퍼를 24시간 방치했을 경우, 이 표면에 흡착 한 유기 탄소량을1×10¹³원자/cm²이하였다. 먼지에 대해서는 ULPA 필터의 성능 대로의 청정도가 얻어지고 있다.

외 상자의 저부가 닫혀진 2중벽청정 용기형 장치는, 그 일실시 형태로서 그 외상자를 트럭의 짐받이에 고정적으로 또는 착탈이 자유롭게 탑재해 소위 밴의 구조로 하면, 자동차에 탑재한 발전기로 내상의 송풍기를 구동함으로써, 이동 가능해진다. 일반 환경안을 주행해도, 청정 환경에서의 수송이 바람직한 화물을 수납한 상기 구조중 상자는 주행중 청정도가 충분히 만족된다. 이 때내 상자는 외상으로부터 출입이 자유롭게 이동 가능한 것으로 하는 것이 바람직하다. 발송지의 클린룸 안에서 적하는 내상내에 수납해, 일반 환경 이동중은 연장전기 코드로 필터를 1 패스 가동해 짐받이의 외상에 실어, 내상을 고정 한다. 주행 후와 같이 해 수송처 클린룸 안에 옮겨 들이는 것으로, 청정 수송이 달성된다.

따라서, 본 발명의 공간 청정도 지지 장치는 곧 시작할 수 있는 상태로의 수송이 가능하고, 하우스 트레일러와 같이 해 대형의 클린 부스 타입의 것을 차량으로 견인해 이동시키는 것은 용이하다.

또, 이러한 대형의 공간 청정도 지지 장치는 규격화하고, 외상의 복수개를 연결해 클린룸을 구축할 수도 있다.필요에 따라 임의의 장소에 단기간에 클린룸 규모의 외상 집합형 초청정 공간을 구축해, 목적을 완료하면, 개개 로 분리해 대기시킬 수 있다.그러나, 클린룸을 사용하는 제조 공정은 일단 가동이 시작되면 계속이 바람직하다. 따라서, 케미컬 필터를 사용하는 경우는 수명의 긴 것이 필요하다.내상에 장비하는 필터 모듈은 엘리먼트 면적이 크고 스페이스 요소-가 좋은 것이 바람직하고, 음이온·양이온·유기물 각각 부착 박형의 플리츠 형태 필터를 사용하는 것이 바람직하다. 개개의 장치의 외상은 튼튼한 레일 위에 고정 해 연결한다.레일 위에의 옮겨 들여에는 따로 마련한 가이드레일을 사용 전용의 대차를 이용하는 궁리가 필요하다. 부스 사이 연결부의 측벽은 제외, 필터 하단 레벨의 측벽 간극에는 천정판부재를, 작업 원이 작업 하거나 수납 기기를 두는 그레이팅의 레벨의 사이틈에는 바닥판부재를 끼워넣어 리크가 일어나지 않게 한다.각 장치의 연결로 만들어진 클린룸 안의 초청정 공기는 그레이팅을 통해 클린룸을 둘러싸는 2중벽면틈을 상승해 송풍기로부터 필터로 순환한다. 기술의 공간 청정도 지지 장치와 같은 공기 순환 청정화가 일체화한 집합 공간에서 행해지게 된다.

클린룸 규모가 되면 다목적으로 사용되어 통상 순수한 물·약액·가스등을 이용 할 수 없으면 안 된다.

이들의 공급이나 국소적으로 실시하는 배수·배기를 위한 시설이 필요하다.각 부스의 유틸리티 룸은 레일의 아래에 마련해 마루와 그레이팅을 통해 배관을 실시하는 것이 규격화 하기 쉽고, 신속한 시작해·철거에 적절하다.

차에, 본 발명의 공간 청정도 지지 장치를 의료용의 청정 공간, 특히 무균 환경을 제공하는 수단으로서 이용할 수 있는 경우에 대해 설명한다.

통상 대기중의 미생물은 부유티끌에 부착하고 있으므로, HEPA 필터와 같은 먼지 제거 필터-가 제균용으로서 사용되고 있다.그러나 간헐적에 작동시키는 경우, 필터 엘리먼트의 바람이 불어 오는 쪽 측에균이 번식해 필터 엘리먼트로부터 리크 하게 된다. 거기서, 본 발명의 일실시 양태에서는, 먼지 제거 필터의 바람이 불어 오는 쪽 측에 적어도 살균성 여포를 부 붐빈 바람이 불어 오는 쪽측 필터를 설치한다. 보다 구체적으로는, 여포 부포함형 케미컬 필터를 장비하는 경우, 부포함용의 철망으로서 항균력이 있는 천, 예를 들면 구리선의 직포를 사용한다.이것보다 대개 세균등의 미생물의 번식을 억제 할 수 있다.

보다 구체적인 바람직한 예로서는, 부비어 여포를 3매의 활성탄 여포로 하고, 1매는 양성 계면활성제와 같은 살균제를 첨 착용해 살균 용무로 하고, 1매는 과망가니즈산칼륨과 같은 산화제와 알칼리를 첨 착용해 NO류, SOx , 산성 가스등의 포착 용무로 하고, 나머지 1매는 그대로 사용해 유기물질이나 오존의 포착용무로 하는 것을 들 수 있다.NO류, SOx 포집용의 산화제로서는 할로겐 단체(반응으로 형성되는 것도 포함한다)도 유효하고, 또 알칼리의 첨착에는 희 가성소다 수용액이나 희가성칼리 움 수용액을 이용하여 건조 시키면 좋다.이러한 바람이 불어 오는 쪽 측에 배치되는 1개의 케미컬 필터 모듈과 HEPA와의 조합으로 상기 대기오염을 실질적으로 대처 할 수 있게 된다.이들을 본 발명의 2중벽덮개 구조로 장비하면 강한 대기오염 환경안에서도, 침대등에서 휴양 중의 환자에 대해 안전하고 쾌적한 공간을 제공 할 수 있다.이 경우는 전자공업 등으로 요구되는 어려운 제거율은 필요로 하지 않기 때문에, 조립이라고·제외의 간단한 알루미늄재 등에 의한 프리패브 방식으로 충분하다.

필터 상부에 송풍기를 직결해 일체화해 이른바 FFU(필터·팬·유닛) 방식으로 하면 소음으로 환자에게 불쾌감을 주어 장기간의 사용에는 적합하지 않기 때문에, 송풍기는 외벽의 밖이 멀어진 위치에 두어 왕복하는 송풍관에서 연결하는 것이 바람직하다.이 경우는 송풍기 부근에 공조용의 열교환기를 부속 하게 한다.환자 부

재중에 HEPA 필터의 직하에 주파장 184.9 nm의 저압 수은등을 일어나 발광시키면 오존이 발생 하고, 내상내의 의사나 간호 사람들이 반입 균에 대해 살균을 약 1시간에 실시할 수 있다. 또, 빨아들여 용송풍관의 일부에 주파장 253.7 nm의 저압 수은등을 삽입해 두면 도달한 오존의 대부분은 여기서 분해한다.내상내의 오존 소독이 끝난 후, 환자가 복귀하는 몇분전에 내상내의 저압 수은등을 소등해 철거해 두면, 즉시 오존은 환자에게 무해 날것으로 소멸한다.이것은 송풍 관내 수은등의 강력한 분해 작용과 약간 샌 오존은 활성탄 여포로 완전하게 포착 되기 때문에(위해)이다.253.7 nm수은등은 강력한 살균 작용이 있으므로, 상시 점등해 두면 외상의 하단으로부터 비집고 들어가는 외기 중의 상주균을 무해화하고, 여포에 베푼 살균 작용을 보충할 수 있다.

이러한 무균실개념은 환자의 기상 관찰 감염을 방지해 수송하는 차량에 유효하게 적용 할 수 있다. 교통량의 매우 많은 도로나 공장지대의 주행도 있을 수 있기 때문에(위해), 대기오염의 지극히 많은 환경을 통과하는 위험은 피할 수 없다. 이러한 차량에는 본 발명의 장치의 2중벽 구조의 효과를 많이 기대 할 수 있다. 이 경우는, 천정에 송풍기 부착 HEPA 필터를 가지고 마루가 그레이팅인 동안상자에 대해, 밀폐형의 하물실을 갖는 트럭 이른바 밴의 케이스를 외상으로 하는 2중벽 구조라고 하면 좋다.구급차와 같은 후방 열림을 편리라고 생각할 수 있으므로, 이것에 대면한 내벽에 여닫이 문를 설치한다. 내상내에는 필요한 의료기기와 함께 환자를 위한 침대를 장비한다.내상에 오구루마고리를 부속시켜 동안상자 자체가 외부에 반출되어 이동 할 수 있는 구조로 해 두면, 환자를 외기에 노출하는 것 없게 병원으로 옮기기 시작해, 옮겨 들이는 일도 가능해진다.

기술대로, 2중벽방식으로는 내부의 초청정화가 가능해서, 이 차량의 구조에서도 제작할 수 있다. 환경의 초미량 유해 성분의 분석의 경우 이 성분은 일반적으로 지극히 불안정하고 시간과 함께 변질하는 위험이 있다. 따라서, 현지에서 샘플링때 즉시 화학적 전처리를 더해 기기 분석용 시료를 작성해 두는 것이 필요하다.

이러한 화학 전처리 실에는 본 발명의 차재초청정 클린룸이 최적이고, 분석 값의 배경을 인하 고감도화와 고신뢰성이 가능해진다. 이러한 처리에는 소형 초순수 제조장치나 고순도 가스를 위한 정제 장치등의 동행이 바람직하기 때문에, 클린룸 트레일러와 유틸리티 트레일러의 2대 연결 견인의 이동이 호적일 것이다.

이 실시예에서는 장치내에서의 청정도의 평가가 필요하다. 먼지에 관해서는 표준적인 레이저 산란방식의 더스트 카운터로 측정하였다. 현단계에서의 초청정 환경은 0.16μm사이즈로 클래스 1으로 되어 있다. SO₄, Cl등의 음이온 및 NH₃ 에 대해서는, 석영 유리제 임핀저에 채운 초순수에 시료 공기를 바브 링시키고, 이들을 흡수시키는 샘플링 법을 이용하여 이 물을 이온 크로마토그래프로 분석 하고, 이 결과로부터 이들의 이온 종류의 공기중의 농도를 ppb로 요구하였다. 현단계에서의 초청정 환경에서는 이들의 음이온, 양이온은 0.05 ppb 이하이다. 유기물 오염의 평가는, 열산화한 실리콘 표면이 화학적 활성이 강하고 환경 분위기 중의 유기 불순물을 흡착 하기 쉬운 성질을 이용하였다. 실리콘 표면 흡착 유기물의 분석은, ANALYTICAL CHEMISTRY, Vol.71, No.16, 3551-3557페이지에 기재되어 있는 하전입자 방사화 분석법에 의해, 유기 탄소 원자의 농도의 절대량을 요구하였다.활성탄 케미컬 필터가 유효하게 일하고 있는 유기물로서의 청정도의 높은 클린벤치 안에서는 열산화 직후의 웨이퍼를 24시간 폭로해도 흡착 유기 탄소는1×10¹³원자/cm²이하인 것을 알고있다. 상, 균의 감소는 배양에 의한 생물학적 인디케이터로 확인 하였다.

이하의 청정도의 평가는 상술한 수법에 의해 행해지고 있다.

［실시예 1］

(2중벽덮개형) 초LSI용 클린룸 안은 거의 모든 영역에서 먼지의 점으로는 충분한 청정도를 얻을 수 있지만, 웨이퍼 프로세스에 있어서 유해한 DOP나 실록산 등의 유기물이나 암모니아와 같은 알칼리성 물질 및 Cl나 SO₄와 같은 산성 이온은 일반 환경에서(보다) 전반적으로 농도가 높다. 그 주된 발생원이 클린룸 안의 프로세스 장치이기 위해서, 국부적으로는 이러한 불순물의 청정도가 현저하고 나쁜 곳이 있다. 이 실시예는, 카세트에 들어간 웨이퍼를 특히 화학 오염의 높은 영역에 대기시키는 경우에 적합한 공간 청정도 지지 장치에 관한 것이며, 그림 1에 의해 설명한다.

이 공간 청정도 지지 장치는 바닥이 없는 동안상자 및 외상으로 구성된 2중벽 구조의 덮개보다 되어, 이 덮개를 평탄한 판형 마루 6 위에 놓여진 6인치 웨이퍼 10들이의 카세트 11에 씌우는 것에 의해 웨이퍼 11의 청정도가 지지 할 수 있게 되어 있다.

이 내상은 필터 모듈 1을 끼워 넣은 필터 모듈 지지체 2로 측벽(내측벽) 4보다 된다.필터 모듈의 위에는 필터에 송풍 하는 송풍기 9가 장비되고 있다. 이 실시예는 6인치 웨이퍼용 청정도 지지 장치이기 때문에, 내상은 폴리카보네이트 판에 의해 내법으로 필터 모듈 지지체가 19 cm×19 cm, 깊이 20 cm에 만들어졌다. 측벽의 하단은 하강 공기를 측방에 불기 시작할 수 있는 틈새 12나름에 깊이 5 mm의 구덩이 12가 네 귀퉁이를 제외하고 돌진해지고 있다.

외 상자는 지붕 천정판 8으로 측벽(외측 벽) 7보다 되어, 폴리카보네이트 판으로 만들어졌다. 그 형상·치수는 이 내면과 내측벽 4의 외면 사이의 거리가 모두 거의 10 mm가 되어, 또 천정판이 송풍기 9 사이에 약간의 여유의 공간을 가지고 덮여, 측벽 7의 하단은 동일 평면이 되도록 주의해 만들어져 있다.

2중벽 구조의 덮개는, 평판상에 둔 동안상자를 외상이 그림 1과 같이 가린 상태가 되도록 2개의 상자를 지주 13으로 결합 한 것이다.외상의 일부에는 송풍기 9를 가동시키기 위한 전기 콘센트 14가 설치되어 있다.

필터 모듈 1은 그 단면이 그림 2에 나타나고 있도록 내상 필터 모듈 지지체 2에 접착되어 내측에 말이야 글자 잘린 원통형의 벽 15와 그 중에 세트 된 원형의 필터 엘리먼트 16, 17, 18, 19로 외측이 나사 잘린뚜껑 20으로 보다 된다. 16은 먼지용으로 불소수지 PTFE제의 기공 크기 0.1μm의 것으로, 불소수지제 O링 21으로 주위가 나사 잘리고 있는 조임 링 22로 리크가 없게 동안상자의 천정에 붙여 넓힐 수 있다. 17은 활성탄여포로, 18은 양이온용 이온 교환 여포, 19는 음이온용 이온 교환 여포이다. 이 3매는 거듭해 먼지용 필터 엘리먼트의 위에 깔도록(듯이) 배치되어 뚜껑 20을 나사 맺어 밀봉한다.뚜껑 위에는 그림 3에 나타낸 바와 같이 특별히 제작한 소형 송풍기 9가 결합 된다.

이 덮개를 평탄한 표면을 갖는 마루 6 위에 두면, 송풍기의 가동으로 필터를 통해 청정화 한 하강 공기는, 내상의 내부를 청정 공간 3으로 하고, 내측벽 하부의 사방의 구덩이 12로 형성된 구멍 12를 대로, 마루 6으로 외측 벽에 의해 반전 해 사방의 외측 벽과 내측벽 사이의 간극을 상승해, 지붕 천정판 8에 의해 송풍기 9로 돌아와 청정 공기가 순환한다.외측 벽 7으로 마루 6의 사이부터 생기는 외부 환경으로부터의 오염 공기의 리크에 의한 침입은 양으로서는 적어, 한편 측벽 간극을 상승해 필터로 청정화 된다.따라서 이 청정화를 위한 순환계는 엄밀한 의미로의 닫혀진 계는 아니다.따라서 패킹과 같은 실링재는 필요로 하지 않는 곳에 특색이 있어, 그 재료 자체로부터의 오염이나, 수납품 출입해에 즈음하여 패킹이 스쳐 발진 하는 문제등은 무연이 된다.

상 6을 40 cm각의 폴리카보네이트의 평판으로 하고, 이 중앙에 공기 분석 시료 채취용의 불소수지 관이 약 10 cm흘립 하듯이 한편 리크가 없게 관통시키고, 이 위에 본 발명의 상기 2중벽덮개를 씌우고, 공간 3의 청정도 평가를 행하였다.이 마루청을 HCl가 30 ppb가 되도록 고의 오염시킨 환경으로 이동해, 2시간 송풍기를 가동하고, 그 사이 공간 3의 공기를 상기 불소수지 관에 의해 임핀저로 샘플링하고, 이온 크로마토그래프에 의해 Cl 이온의 분석을 실시하였다.송풍기를 조정해 하강 유량을 매분 5 L(유속 0.5 cm/초)로 했을 경우, 공간 3의 HCl 농도는 2.5 ppb로, 환경으로부터의 오염이 충분히 제거 되어 있지 않지만, 하강 유량을 매분 12.5 L(유속 1.2 cm/초)에 증가 하면 공간 3의 HCl 농도는 0.05 ppb가 되어, 초청정 공간에 필요한 0.1 ppb 이하가 충분히 만족되었다.

또 이 마루청을 NH3 농도 25 ppb의 일반 환경으로 옮겨, 상기와 같은 샘플링과 분석을 실시했는데, 공기유량 매분 5 L에서는 공간 3은 3.1 ppb 밖에 청정화 되지 않았지만, 매분 12.5 L에서는 0.07 ppb가 되어, 충분한 청정도를 얻을 수 있고서 유지되었다.

또, 염화 비닐 피복 전선에 과잉 전류를 흐르게 해 DOP의 아웃 가스를 고의로 발생 시키는 환경을 만들어, 40 cm각의 폴리카보네이트의 마루 6에 열산화 직후의 실리콘 웨이퍼를 세트 한 카세트 11을 두어 상기 2중벽덮개를 씌워 하강 공기류속 12.5 L/분에 8시간 가동시킨 후, 웨이퍼에 흡착 한 유기 탄소량을 하전입자 방사화 분석으로 요구하였다.표면 탄소 농도는(4~7)×1012원자/cm2로, 공간 3의 청정도는 유기 오염에 관해서도 충분히 높은 청정도를 얻을 수 있고 지지 할 수 있는 것을 알았다.

［실시예 2］

(2중벽청정 용기) 플라스틱제 웨이퍼 케이스에 밀봉해 보관된 실리콘 웨이퍼는 충분히 청정화 한 생각의 케이스를 사용한 경우에서도, 보관이 24시간 이상이 되면 미량의 케이스 재료로부터의 아웃 가스로부터 유기 오염을 받고 있는 것이 실정이다.따라서 청정화 된 웨이퍼에 잔존하는 초미량의 유기물의 고감도 분석을 원격의 분석 곳에 송부하려면 , 금속제의 웨이퍼 케이스를 사용하지 않으면 안 되게 된다.이 경우는 웨이퍼는 금속 오염을 받아 표면 금속 원소의 분석이 할 수 없게 된다.이 실시예에서는 앞실시예를 이용하고, 지극히 미량의 표면오염물의 분석을 실시하기 위해(때문에), 웨이퍼를 수납하는 내부 공간 청정도를 지지 해 수송하는 장치를 설명한다.

실시예 1의 마루 6을 그림 3의 단면도에 나타나고 있는 23과 같은 네모진 나무의 외상으로 하고, 그상자의 내면 24에 2중벽덮개 외측 벽의 외측 25가 감합 되도록 하고, 공간 청정도 지지 장치가 2중벽덮개와 외상 23으로 수송용 용기로서 구성된다.상 이 실시예에서는 송풍기 9가 지붕 천정판의 외측에 위치하도록 하였다.

청정도 지지 능력을 평가하기 위하여 사용한 웨이퍼는, 세정 직후에 표면의 Na, Fe, Al의 분석 결과가 2×10⁹ 원자/cm²이하, 표면 유기 탄소 농도가7×10¹²원자/cm²이하, 0.16μm로의 더스트 카운트가 6인치 웨이퍼로 10개 이하의 것이다.

이 세정에 있어서의 동일 로트의 웨이퍼 10을 카세트 11에 넣어 폴리에틸렌 제의 웨이퍼 케이스용 쿠션 부재 26으로 전용에 작성한 카세트 고정틀 27으로 카세트와 웨이퍼가 고정하도록 한 2중벽덮개의 바닥에 외상 23을 외감 시켰다.

이것을 쿨러 박스 안에 수납해, 트럭(트랙)의 짐받이상에서 24시간 차재의 전원을 이용하여 공기의 하강 유량이 15 L/분이 되도록 송풍기 9를 가동시켰다.그 후 웨이퍼 표면의 청정도 평가를 행했는데, Na, Fe,Al의 분석 결과, 표면 유기 탄소 농도, 표면의 미립자수의 모두에 대해 세정 직후와 의미가 있는 차이는 볼 수없었다.

1 필터 모듈
2 내 상자 필터 모듈 지지체
3 내 상내초청정 공간
4 내측벽
5 내측벽 하단
6 덮개를 두는 마루
7 외측 벽
8 외 상자 천정판
9 송풍기
10 실리콘 웨이퍼
12 내측벽 하단의 틈새
13 내 상외 상자 결합 지주
16 먼지용 필터 엘리먼트
17 활성탄 여포
18 양이온 교환 여포
19 음이온 교환 여포
23 네모진 나무외 상자
28 외측 벽 개구부
29 내측벽 개구부
30 그레이팅
31 ULPA 필터
32 파 형 여포 부 붐비어 필터
33 전실 클린 부스
34 파 형 여포 부 붐비어 필터
35 ULPA 필터
36 송풍기
37 일반실에서 입출용 개구부
38 청정실에 입출용 개구부
39 캐스터
40 에어샤워 분출구
41 그레이팅
42 댐퍼
43 외기 도입구
44 배기관
45 송풍기
46 박형 음이온용 필터
47 박형 양이온용 필터
48 박형 활성탄 필터
49 ULPA 필터
50 천정판부재
51 바닥판부 재
52 레일
53 레일 받침대
54 순수한 물 도입관
55 가스 도입관
56 배수관
57 유해 가스용 배기관
58 외기 도입관
59 공기 배기관
60 에어샤워 실
61 전실 클린 부스
62 출입용 미닫이문
65 출입용 미닫이문
66 출입용 미닫이문
67 송풍관
68 송풍관
69 저압 수은등
70 열교환기
71 환자용 침대
72 오존 발생 용저압 수은등
73 HEPA 필터
74 파 형 여포 부 붐비어 필터
75 청정실입구 75
76 호구
77 후방 도어
78 호구
79 FFU
80 그레이팅
81 오구루마고리

Claims

필터를 구비한 필터 모듈(1)을 장비한 필터 모듈 지지체(2)와 그 필터 모듈 지지체(2)와 일체화하고 있어 상기 필터를 통과한 하강 공기가 유입하는 공간(3)을 형성, 위요하는 내측벽(4)을 가지며, 하부가 개방하고 있는 동안상자와；외측 벽(7)과 그 외측 벽(7)의 상단에서 일체화한 외측 천정판(8)을 가지며, 하부가 개방하고 있고, 상기 필터 모듈 지지체(2) 및 내측벽(4)의 주위 사이에 공기의 유로가 되는 공간이 존재하도록 해내 상자를 싸는 형태로 설치되는 외상과；상기 필터 모듈(1)에 위쪽으로부터 공기를 보내기 위한 송풍기(9)와；를 구비하여 이루어진 공간 청정도 지지 장치이며,
상기 내측벽의 하단(5)에는, 해당 장치를 바닥의 위(6)에 두었을 때에 상기 공간(3)을 류 꺾어 오는 공기가 해공간(3)으로부터 상기 내측벽과 상기 외측 벽 사이에 형성된 상기 유로 공간에 유출할 수 있는 간극이 형성되게되어 있어 이와 같이 해 유출한 공기가 상승해, 해상승 공기가 필터 모듈(1)에 이송되어 순환하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 2중벽 구조의 공간 청정도 지지 장치.
청구항 1에 있어서, 상기 외상의 외측 벽(7)의 저부에, 고정적으로 또는 착탈이 자유롭게 끼움식으로 접속 되어 상기 바닥의 기능을 하는 저부재를 갖는 것을 특징으로 하는 공간 청정도 지지 장치.
청구항 2에 있어서, 상기 내측벽의 일면의 전부 혹은 일부가 개폐 또는 제외가 가능하고, 그 면에 대응하는 외측 벽의 전부 혹은 일부가 개폐 또는 제외가 가능한 공간 청정도 지지 장치.
청구항 3에 있어서, 상기의 외상이 수송 수단의 짐받이에 착탈이 자유롭게 또는 고정적으로 설치되어 있어 상기중 상자가 해외상내에 출입 자유롭게 탑재할 수 있는 것을 특징으로 하는 공간 청정도 지지 장치.
청구항 3에 있어서, 에어샤워와 에어 필터를 장비해 개구부를 갖는 벽면을 갖는 상자 모양의 클린 부스를, 그 개구부가 외측 벽의 개구부와 대체로 합치하도록 밀착 부속시킨 공간 청정도 지지 장치.
청구항 1에 있어서, 필터 모듈(1)이 바람 방향측의 미립자 제거용 필터와 복수종의 화학물질 제거용 여포를 거듭해 부 붐빈 바람이 불어 오는 쪽측 필터를 공간 청정도 지지 장치.
청구항 1에 있어서, 필터 모듈(1)이 바람 방향측의 미립자 제거용 필터와 적어도 살균성 여포를 부 붐빈 바람이 불어오는 쪽측 필터를 갖는 것을 특징으로 하는 공간 청정도 지지 장치.
청구항 7에 있어서, 상기의 바람이 불어 오는 쪽측 필터가, 적어도 살균제를 첨 착용한 활성탄 여포와 산화제와 알칼리를 첨 착용한 활성탄 여포와 활성탄 여포(유기물질이나 오존의 포착 용무)를 부 붐빈 것인 공간 청정도 지지 장치.
청구항 1에 있어서, 공기류로의 필터 모듈의 바람이 불어 오는 쪽의 위치에 주파장 253.7 nm의 저압 수은등을 설치하는 것을 특징으로 하는 공간 청정도 지지 장치.
청구항 3에 기재의 공간 청정도 지지 장치가 복수개 일체적으로 연결되어 구성된 집합체 목표공간 청정도 지지 장치.