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KR102781188B1 - 천장 반송차 및 반송차 시스템 - Google Patents

천장 반송차 및 반송차 시스템 Download PDF

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KR102781188B1
KR102781188B1 KR1020237018579A KR20237018579A KR102781188B1 KR 102781188 B1 KR102781188 B1 KR 102781188B1 KR 1020237018579 A KR1020237018579 A KR 1020237018579A KR 20237018579 A KR20237018579 A KR 20237018579A KR 102781188 B1 KR102781188 B1 KR 102781188B1
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transport vehicle
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마코토 코바야시
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무라다기카이가부시끼가이샤
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Abstract

천장 반송차(搬送車)(1)는, 복수의 현수 지지(吊持) 부재(B)의 감기(捲取) 및 풀기(繰出)를 행함으로써, 승강부(昇降部)(7)를 승강시키는 권취 드럼(63)과, 권취 드럼(63)으로부터 풀어내어지는 현수 지지 부재(B)가 감기는 적어도 하나의 안내 롤러(65B)와, 권취 드럼(63) 및 안내 롤러(65B)를 지지하는 본체부(61)와, 본체부(61)에 대한 안내 롤러(65)의 상대 위치를 이동시킴으로써, 현수 지지 부재(B)의 승강부(7)에 대한 접속 부분을 승강 방향으로 이동시키는, 적어도 하나의 위치 조정부(67)와, 승강부(7)에 있어서의 기울기에 관한 정보에 근거하여 위치 조정부(67)에 있어서의 안내 롤러(65B)의 이동을 제어하는 제어부(8)를 구비한다.

Description

천장 반송차 및 반송차 시스템
[0001] 본 발명의 일 측면은, 천장 반송차(搬送車) 및 반송차 시스템에 관한 것이다.
[0002] 천장 등에 부설(敷設)된 궤도를 주행하는 주행부와, 선반 또는 로드 포트 등의 이재(移載; 옮겨 싣기)부에 물품을 이재하는 파지부를 가지는 승강부(昇降部)가 설치된 천장 반송차가 알려져 있다. 승강부는, 벨트 등의 복수의 현수 지지(吊持) 부재에 의해 매달려 지지(保持)되어 있고, 해당 현수 지지 부재를 감거나 풀어냄으로써 승강된다.
[0003] 예컨대, 특허문헌 1에는, 이중 감김된 2개의 현수 지지 부재(승강 벨트)가 다음 층(次層)의 권취로 이행되는 타이밍의 어긋남에 기인하는 드럼 일회전당 권취 차이(差)의 누적이, 승강부(하물 적재대(荷臺))를 필요한 수평도로 지지(保持)할 수 있는 소정치 미만이 되도록, 양쪽 현수 지지 부재의 드럼에 대한 고정단 위치와, 드럼의 권취면으로부터 연장되는 양쪽 현수 지지 부재의 권출각(捲出角)이 설정되어 있는 천장 반송차가 개시되어 있다. 이 천장 반송차에 의하면, 2개의 현수 지지 부재의 권취 차이를 허용 범위 내로 억제하여, 승강 높이에 관계없이 물품을 수평으로 파지할 수 있다.
[0004] 1. 일본 특허공개공보 H10-194410호
[0005] 그러나, 승강부의 기울기는, 이중 감김된 현수 지지 부재의 다음 층에 대한 권취 타이밍에 기인할 뿐만 아니라, 현수 지지 부재의 두께의 오차 또는 권취 드럼의 직경의 오차에도 기인하는 경우도 있으므로, 승강부의 기울기를 더 간단하게 조정하고자 하는 요망이 있다. 또한, 승강부의 기울기는, 물품을 수평으로 홀딩(保持)하고자 하는 요망뿐만 아니라, 물품을 원하는 각도로 파지하고자 하는 요망도 있다. 이들 요망에 대응하기 위해서는, 사람의 손을 통하지 않고 승강부의 기울기를 적절히 조정하는 구성이 필요해진다.
[0006] 따라서, 본 발명의 일 측면의 목적은, 사람의 손을 통하지 않고, 승강부의 기울기를 적절히 조정하는 것이 가능한 천장 반송차 및 반송차 시스템을 제공하는 데 있다.
[0007] 본 발명의 일 측면에 따른 천장 반송차는, 물품을 파지하는 파지부를 가지는 승강부를 복수의 현수 지지 부재에 의해 승강시키도록 한 천장 반송차로서, 복수의 현수 지지 부재의 감기(捲取) 및 풀기(繰出)를 행함으로써, 승강부를 승강시키는 권취 드럼과, 권취 드럼으로부터 풀어내어지는 현수 지지 부재가 감기는 적어도 하나의 안내 롤러와, 권취 드럼 및 안내 롤러를 지지하는 본체부와, 본체부에 대한 안내 롤러의 상대 위치를 이동시킴으로써, 현수 지지 부재의 승강부에 대한 접속 부분을 승강 방향으로 이동시키는, 적어도 하나의 위치 조정부와, 승강부에 있어서의 기울기에 관한 정보에 근거하여 위치 조정부에 의한 안내 롤러의 이동을 제어하는 제어부를 구비한다.
[0008] 이 구성의 천장 반송차에서는, 위치 조정부를 작동시킴으로써 승강부에 있어서의 기울기를 조정할 수 있다. 그리고, 위치 조정부는, 승강부에 있어서의 기울기에 관한 정보에 근거하여 자동적으로 조정되므로, 승강부를 원하는 기울기로 조정할 수 있다. 즉, 본 발명의 천장 반송차는, 사람의 손을 통하지 않고, 승강부의 기울기를 적절히 조정하는 것이 가능해진다.
[0009] 본 발명의 일 측면에 따른 천장 반송차는, 기울기에 관한 정보에 근거하여 결정되는 안내 롤러의 이동량 또는 기울기에 관한 정보를 기억하는 기억부를 더 구비하며, 제어부는, 상기의 이동량 또는 기울기에 관한 정보에 근거하여 위치 조정부에 의한 안내 롤러의 이동을 제어해도 된다. 이 구성에서는, 승강부의 기울기에 관한 정보를 상시 취득하지 않더라도, 기억부에 기억된 현재의 승강부의 상태를 나타내는 것으로 생각되는 정보에 근거하여, 승강부를 원하는 기울기로 조정할 수 있다.
[0010] 본 발명의 일 측면에 따른 천장 반송차에서는, 기억부는, 천장 반송차와의 사이에서 물품의 주고받기가 행해지는 이재부마다, 이동량 또는 기울기에 관한 정보를 기억하고, 제어부는, 이재부마다의 이동량 또는 기울기에 관한 정보에 근거하여 위치 조정부에 의한 안내 롤러의 이동을 제어해도 된다. 이 구성에서는, 이재부마다, 최적의 승강부의 기울기로 조정할 수 있다.
[0011] 본 발명의 일 측면에 따른 천장 반송차는, 승강부에 설치되며, 기울기에 관한 정보를 취득하는 취득부를 더 구비해도 된다. 이 구성에서는, 간이한 구성으로, 승강부의 기울기를 취득할 수 있다.
[0012] 본 발명의 일 측면에 따른 천장 반송차는, 승강부에 설치되며, 기울기에 관한 정보를 취득하는 취득부를 더 구비하고, 취득부는, 정기적으로 기울기에 관한 정보를 취득하고, 기억부는, 정기적으로 취득되는 기울기에 관한 정보에 근거하여 결정되는 안내 롤러의 이동량 또는 정기적으로 취득되는 기울기에 관한 정보를 기억해도 된다. 이 구성에서는, 현재 상태(現狀)에 가까운 승강부의 기울기에 관한 정보가 취득되므로, 승강부를 원하는 기울기로 적절히 조정할 수 있다.
[0013] 본 발명의 일 측면에 따른 반송차 시스템은, 상기의 천장 반송차와, 천장 반송차와는 별개의 개체(別體)로서 설치되며, 기울기에 관한 정보를 취득하는 취득부와, 취득부에 의해 취득된 기울기에 관한 정보를 천장 반송차에 송신하는 통신부를 구비해도 된다. 이 구성에서는, 천장 반송차에 큰 개조를 가하지 않더라도, 각 천장 반송차의 승강부의 기울기를 사람의 손을 통하지 않고 적절히 조정하는 것이 가능해진다.
[0014] 본 발명의 일 측면에 따른 반송차 시스템은, 천장 반송차를 정기적으로 취득부가 기울기에 관한 정보를 취득할 수 있는 위치로 이동시키는 제어 장치를 더 구비하고, 통신부는, 정기적으로 취득부에 의해 취득되는 기울기에 관한 정보를 천장 반송차에 송신해도 된다. 이 구성에서는, 현재 상태에 가까운 승강부의 기울기에 관한 정보가 취득되므로, 승강부를 원하는 기울기로 적절히 조정할 수 있다.
[0015] 본 발명의 일 측면에 의하면, 사람의 손을 통하지 않고, 승강부의 기울기를 적절히 조정하는 것이 가능해진다.
[0016] 도 1은, 일 실시형태의 천장 반송차의 측면도이다.
도 2는, 홀딩(保持) 유닛의 정면도이다.
도 3은, 제1 완충 기구(機構) 및 제2 완충 기구의 사시도이다.
도 4는, 승강 구동 유닛의 정면도이다.
도 5는, 승강 구동 유닛의 측면도이다.
도 6의 (A) 및 도 6의 (B)는, 승강 구동 유닛의 동작을 나타내는 정면도이다.
도 7의 (A) 및 도 7의 (B)는, 승강 구동 유닛의 동작을 나타내는 측면도이다.
도 8은, 측정 유닛 및 피(被)측정 유닛의 사시도이다.
도 9는, 측정 유닛이 피측정 유닛을 측정할 때의 각 거리 센서의 측정 대상을 나타내는 모식도이다.
도 10의 (A)~(C)는, 유닛 컨트롤러가 천장 반송차의 상태를 산출하는 방법을 나타내는 모식도이다.
도 11은, 반송차 시스템의 기능 구성을 나타내는 블록도이다.
도 12의 (A)는, 메인터넌스 가대(架臺)를 나타내는 측면도이고, 도 12의 (B)는, 도 12의 (A)의 B방향에서 본 메인터넌스 가대를 나타내는 평면도이다.
도 13의 (A) 및 도 13의 (B)는, 메인터넌스 가대를 이용하여 천장 반송차의 상태를 취득하는 순서를 설명하는 도면이다.
도 14의 (A) 및 도 14의 (B)는, 메인터넌스 가대를 이용하여 천장 반송차의 상태를 취득하는 순서를 설명하는 도면이다.
도 15는, 메인터넌스 가대를 이용하여 천장 반송차의 상태를 취득하는 순서를 설명하는 도면이다.
도 16은, 천장 반송차의 상태를 취득하는 변형예에 따른 수단을 설명하는 도면이다.
[0017] 이하에서는, 도면을 참조하여, 본 발명의 일 측면의 바람직한 일 실시형태에 대해 상세히 설명한다. 또한, 도면의 설명에 있어서, 동일 요소에는 동일 부호를 달고, 중복되는 설명을 생략한다.
[0018] 일 실시형태의 반송차 시스템(100)은, 복수의 천장 반송차(1)(도 1 참조)와, 천장 반송차(1)의 주행로를 형성하는 궤도(20)(도 1 참조)와, 에어리어 컨트롤러(제어 장치)(110)(도 11 참조)와, 측정 유닛(취득부)(80)(도 11 참조)과, 피측정 유닛(취득부)(90)(도 8 참조)을 구비하고 있다. 복수의 천장 반송차(1) 중 적어도 1대는, 수평면에 대한 홀딩 유닛(승강부)(7)의 기울기를 조정하는 직동(直動) 기구(위치 조정부)(67)(도 4 참조)를 구비하고 있다.
[0019] 도 1에 나타난 바와 같이, 일 실시형태의 천장 반송차(1)는, 반도체 디바이스가 제조되는 클린 룸의 천장 부근에 부설된 궤도(20)를 따라 주행한다. 일 실시형태의 천장 반송차(1)는, 복수의 반도체 웨이퍼가 수용된 FOUP(Front Opening Unified Pod)(물품)(200)의 반송, 및, 반도체 웨이퍼에 각종 처리를 실시하는 처리 장치에 설치된 로드 포트(이재부)(300) 등에 대한 FOUP(200)의 이재를 행한다.
[0020] 도 1 및 도 11에 나타난 바와 같이, 천장 반송차(1)는, 프레임 유닛(2)과, 주행 유닛(3)과, 래터럴 유닛(4)과, 세타 유닛(5)과, 승강 구동 유닛(6)과, 홀딩 유닛(7)과, 반송차 컨트롤러(제어부)(8)와, 기억부(8A)와, 통신부(9)를 구비하고 있다. 프레임 유닛(2)은, 센터 프레임(15)과, 프런트 프레임(16)과, 리어 프레임(17)을 가지고 있다. 프런트 프레임(16)은, 센터 프레임(15)에 있어서의 전측(前側)(천장 반송차(1)의 주행 방향에 있어서의 전측)의 단부(端部)로부터 하측으로 연장되어 있다. 리어 프레임(17)은, 센터 프레임(15)에 있어서의 후측(천장 반송차(1)의 주행 방향에 있어서의 후측)의 단부로부터 하측으로 연장되어 있다.
[0021] 주행 유닛(3)은, 센터 프레임(15)의 상측에 배치되어 있다. 주행 유닛(3)은, 예컨대, 궤도(20)를 따라 부설된 고주파 전류선으로부터 비접촉으로 전력의 공급을 받음으로써, 궤도(20)를 따라 주행한다. 래터럴 유닛(4)은, 센터 프레임(15)의 하측에 배치되어 있다. 래터럴 유닛(4)은, 세타 유닛(5), 승강 구동 유닛(6) 및 홀딩 유닛(7)을 횡방향(천장 반송차(1)의 주행 방향에 있어서의 측방)으로 이동시킨다. 세타 유닛(5)은, 래터럴 유닛(4)의 하측에 배치되어 있다. 세타 유닛(5)은, 승강 구동 유닛(6) 및 홀딩 유닛(7)을 수평면 내에 있어서 회동(回動)시킨다.
[0022] 승강 구동 유닛(6)은, 세타 유닛(5)의 하측에 배치되어 있다. 승강 구동 유닛(6)은, 홀딩 유닛(7)을 승강시킨다. 홀딩 유닛(7)은, 승강 구동 유닛(6)의 하측에 배치되어 있다. 홀딩 유닛(7)은, FOUP(200)의 플랜지(201)를 홀딩(保持)한다.
[0023] 반송차 컨트롤러(8)는, 센터 프레임(15)에 배치되어 있다. 반송차 컨트롤러(8)는, CPU(Central Processing Unit), ROM(Read only memory) 및 RAM(Random access memory) 등에 의해 구성된 전자 제어 유닛이다. 반송차 컨트롤러(8)는, 천장 반송차(1)의 각부(各部)를 제어한다.
[0024] 이상과 같이 구성된 천장 반송차(1)는, 일례로서, 다음과 같이 동작한다. 로드 포트(300)로부터 천장 반송차(1)로 FOUP(200)를 이재하는 경우에는, FOUP(200)를 홀딩하고 있지 않은 천장 반송차(1)가 로드 포트(300)의 상방의 미리 정해진 위치에 정지한다. 정지 위치에 있어서 하강시키는 홀딩 유닛(7)의 위치가, 로드 포트(300)(로드 포트(300)에 놓인 FOUP(200))에 대한 소정 위치로부터 어긋나는 경우에는, 래터럴 유닛(4) 및 세타 유닛(5)을 구동함으로써, 홀딩 유닛(7)의 수평 위치 및 수평 각도를 조정한다. 또한, 벨트(현수 지지 부재)(B)가 풀어내어짐으로써 하강된 홀딩 유닛(7)이 수평면에 대해 기울어지는 경우에는, 직동 기구(67)(도 4 참조)를 작동시킴으로써 홀딩 유닛(7)의 기울기를 조정한다.
[0025] 반송차 컨트롤러(8)는, 기억부(8A)에 기억된 설정치에 근거하여, 홀딩 유닛(7)의 수평 위치 및 수평 각도, 그리고 홀딩 유닛(7)의 기울기의 조정을 실시한다. 이어서, 승강 구동 유닛(6)이 홀딩 유닛(7)을 하강시키고, 홀딩 유닛(7)이, 로드 포트(300)에 놓여 있는 FOUP(200)의 플랜지(201)를 홀딩한다. 이어서, 승강 구동 유닛(6)이 홀딩 유닛(7)을 상승단까지 상승시켜, 프런트 프레임(16)과 리어 프레임(17) 사이에 FOUP(200)를 배치한다. 이어서, FOUP(200)를 홀딩한 천장 반송차(1)가 주행을 개시한다.
[0026] 한편, 천장 반송차(1)로부터 로드 포트(300)로 FOUP(200)를 이재하는 경우에는, FOUP(200)를 홀딩한 천장 반송차(1)가 로드 포트(300)의 상방의 미리 정해진 위치에 정지한다. 정지 위치에 있어서 하강시키는 홀딩 유닛(7)(FOUP(200))의 위치가, 로드 포트(300)에 대한 소정 위치로부터 어긋나는 경우에는, 래터럴 유닛(4) 및 세타 유닛(5)을 구동함으로써, 홀딩 유닛의 수평 위치 및 수평 각도를 조정한다. 또한, 벨트(B)가 풀어내어짐으로써 하강된 홀딩 유닛(7)이 수평면에 대해 기울어지는 경우에는, 직동 기구(67)(도 4 참조)를 작동시킴으로써 홀딩 유닛(7)의 기울기를 조정한다.
[0027] 반송차 컨트롤러(8)는, 기억부(8A)에 기억된 설정치에 근거하여, 홀딩 유닛(7)의 수평 위치 및 수평 각도, 그리고 홀딩 유닛(7)의 기울기의 조정을 실시한다. 이어서, 승강 구동 유닛(6)이 홀딩 유닛(7)을 하강시켜, 로드 포트(300)에 FOUP(200)를 올려놓고, 홀딩 유닛(7)이 FOUP(200)의 플랜지(201)의 홀딩을 해방한다. 이어서, 승강 구동 유닛(6)이 홀딩 유닛(7)을 상승단까지 상승시킨다. 이어서, FOUP(200)를 홀딩하고 있지 않은 천장 반송차(1)가 주행을 개시한다.
[0028] 다음으로, 홀딩 유닛(7)의 구성에 대해 상세히 설명한다. 도 1 및 도 2에 나타난 바와 같이, 홀딩 유닛(7)은, 베이스(11)와, 한 쌍의 그리퍼(파지부)(12, 12)와, 케이스(筐體)(13)를 가지고 있다. 한 쌍의 그리퍼(12, 12)는, 수평 방향을 따라 개폐 가능해지도록 베이스(11)에 의해 지지되어 있다. 한 쌍의 그리퍼(12, 12)는, 구동 모터(도시 생략) 및 링크 기구(도시 생략)에 의해 개폐된다. 본 실시형태에서는, 한 쌍의 그리퍼(12, 12)가 열림(開) 상태일 때, 그리퍼(12)의 홀딩면(保持面)이 플랜지(201)의 하면의 높이보다 하방이 되도록, 홀딩 유닛(7)의 높이 위치가 조정된다. 그리고, 이 상태에서 한 쌍의 그리퍼(12, 12)가 닫힘(閉) 상태가 됨으로써, 그리퍼(12)의 홀딩면이 플랜지(201)의 하면의 하방으로 진출하고, 이 상태에서 승강 구동 유닛(6)을 상승시킴으로써, 한 쌍의 그리퍼(12, 12)에 의해 플랜지(201)가 홀딩(파지)되어, FOUP(200)가 지지된다. 홀딩 유닛(7)에 있어서, 베이스(11)는, 케이스(13)의 바닥벽(底壁)을 구성하고 있고, 케이스(13)에 대한 위치가 고정되어 있다.
[0029] 도 3에 나타난 바와 같이, 본 실시형태의 홀딩 유닛(7)에는, 제1 완충 기구(50) 및 제2 완충 기구(40)를 통해 벨트(B)의 일단(一端)이 접속된다. 여기서, 제1 완충 기구(50) 및 제2 완충 기구(40)에 대해 상세히 설명을 실시한다. 제1 완충 기구(50) 및 제2 완충 기구(40)는, 벨트(B)와 홀딩 유닛(7)(도 1 참조)을 연결하는 기구이며, 주행 유닛(3)이 주행할 때 또는 홀딩 유닛(7)이 승강할 때의 진동이 FOUP(200)에 전달되는 것을 억제하는 기구이다.
[0030] 제1 완충 기구(50)는, 연직 방향 하방으로부터 베이스(11)를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 탄성 부재(58)를 가지며, 연직 방향에서 본 평면 뷰(平面視)에 있어서 천장 반송차(1)의 주행 방향에 직교하는 폭 방향의 한쪽에 배치된다. 본 실시형태에서는, 제1 완충 기구(50)는, 좌우 방향에 있어서 홀딩 유닛(7)의 우측에 설치되어 있다. 제1 완충 기구(50)는, 접속 부재(51)와, 요동 부재(53)와, 제1 본체 부재(54)와, 제2 본체 부재(56)와, 한 쌍의 탄성 부재(58, 58)를 가지고 있다. 또한, 본 실시형태에 있어서의 좌우 방향이란, 천장 반송차(1)를 주행 방향 전방에서 보았을 때의 좌우 방향을 의미한다.
[0031] 접속 부재(51)는, 벨트(B)에 부착되는 부재이다. 요동 부재(53)는, 접속 부재(51)에 연결되는 부재이다. 요동 부재(53)는, 핀 부재(52)를 통해 접속 부재(51)에 쌍방향으로 회전 가능하게 연결된다. 제1 본체 부재(54)는, 대략 L자 형상의 부재이며, 그 바닥부(底部)는, 평탄해지도록 형성되어 있다. 제1 본체 부재(54)는, 그 상단(上端)이 요동 부재(53)에 접속되어 있다. 제1 본체 부재(54)는, 바닥부가 제2 본체 부재(56)에 볼트 등에 의해 접속되어 있다. 제2 본체 부재(56)는, 탄성 부재(58)를 하방으로부터 지지하는 동시에, 제1 본체 부재(54)의 바닥부를 지지한다.
[0032] 한 쌍의 탄성 부재(58, 58)는, 소정의 스프링 상수를 가지는 코일 스프링이다. 한 쌍의 탄성 부재(58, 58)는, 제2 본체 부재(56)에 지지되는 동시에 베이스(11)를 하방으로부터 지지한다. 탄성 부재(58)의 하단(下端)은, 제2 본체 부재(56)에 고정되어 있다. 탄성 부재(58)의 상단은, 베이스(11)에는 고정되어 있지 않고, 접촉함으로써 베이스(11)를 지지한다. 즉, 한 쌍의 탄성 부재(58, 58) 각각은, 제2 본체 부재(56)와 베이스(11) 양쪽 모두에 접촉한 상태로 압축된 상태에 있을 때, 제2 본체 부재(56)와 베이스(11)를 서로 멀리하는 방향으로 가세(付勢)한다. 탄성 부재(58)는, 서로 접촉하는 부재 간에 전달되는 진동을 저감하는 역할을 가진다. 또한, 베이스(11)에 고정되고, 제2 본체 부재(56)에 분리/접촉(離接) 가능하게 설치되어도 된다.
[0033] 제2 완충 기구(40)는, 연직 방향 하방으로부터 베이스(11)를 연직 방향으로 이동 가능하게 지지하는 탄성 부재(48)를 가지며, 연직 방향에서 본 평면 뷰에 있어서 천장 반송차(1)의 주행 방향에 직교하는 폭 방향의 다른 쪽(폭 방향에 있어서 제1 완충 기구(50)와는 반대측)에 배치된다. 본 실시형태에서는, 제2 완충 기구(40)는, 좌우 방향에 있어서 홀딩 유닛(7)의 좌측에 설치되어 있다. 제2 완충 기구(40)는, 접속 부재(41, 41)와, 요동 부재(43)와, 제3 본체 부재(45)와, 제4 본체 부재(46)와, 규제 부재(47)와, 한 쌍의 탄성 부재(48, 48)를 가지고 있다.
[0034] 접속 부재(41, 41)는, 벨트(B, B)가 부착되는 부재이다. 요동 부재(43)는, 한 쌍의 접속 부재(41, 41)와, 제3 본체 부재(45)를 연결하는 부재이다. 한 쌍의 접속 부재(41, 41)와 요동 부재(43)는, 쌍방향으로 회전 가능하게 연결되며, 한 쌍의 핀 부재(42, 42)를 통해 연결된다. 요동 부재(43)와 제3 본체 부재(45)는, 쌍방향으로 회전 가능하게 연결되며, 핀 부재(44)를 통해 연결되어 있다. 제4 본체 부재(46)는, 탄성 부재(48, 48)를 하방으로부터 지지한다.
[0035] 한 쌍의 탄성 부재(48, 48)는, 소정의 스프링 상수를 가지는 코일 스프링이다. 한 쌍의 탄성 부재(48, 48)는, 제4 본체 부재(46)에 지지되어 있는 동시에 베이스(11)를 하방으로부터 지지한다. 탄성 부재(48)의 하단은, 제4 본체 부재(46)에 고정되어 있다. 규제 부재(47)는, 제4 본체 부재(46)에 대해 베이스(11)가 소정 거리 이상 이격되는 것을 규제한다. 보다 상세하게는, 규제 부재(47)는, 제4 본체 부재(46)에 대해 소정 거리 이상 이격되려고 하는 베이스(11)의 상면을 걸림고정(係止)한다. 탄성 부재(48)의 상단은, 베이스(11)에는 고정되어 있지 않고, 접촉함으로써 베이스(11)를 지지한다. 즉, 한 쌍의 탄성 부재(48, 48) 각각은, 제4 본체 부재(46)와 베이스(11) 양쪽 모두에 접촉한 상태에 있을 때, 제4 본체 부재(46) 및 베이스(11)를 서로 멀리하는 방향으로 가세한다. 탄성 부재(48)는, 서로 접촉하는 부재 간에 전달되는 진동을 저감하는 역할을 가진다. 또한, 탄성 부재(48)는, 베이스(11)에 고정되고, 제4 본체 부재(46)에 분리/접촉 가능하게 설치되어도 된다.
[0036] 또한, 도시는 하지 않지만, 홀딩 유닛(7)은, 제1 완충 기구(50)와 제2 완충 기구(40)를 연결하는 동시에, 연직 방향에 있어서의 제1 완충 기구(50)와 베이스(11) 사이의 거리와, 연직 방향에 있어서의 제2 완충 기구(40)와 베이스(11) 사이의 거리를 서로 가까이하도록 동작하는 링크 기구를 구비하고 있어도 된다.
[0037] 다음으로, 승강 구동 유닛(6)의 구성에 대해 상세히 설명한다. 도 4 및 도 5에 나타난 바와 같이, 승강 구동 유닛(6)은, 베이스(본체부)(61)와, 지지부(62)와, 4개(복수)의 권취 드럼(63)과, 구동 모터(권취 구동부)(63A)와, 제1 아이들러 롤러(안내 롤러)(65A)와, 제2 아이들러 롤러(안내 롤러)(65B)와, 제3 아이들러 롤러(안내 롤러)(64)와, 직동 기구(위치 조정부)(67)와, 요동 부재(68)와, 4개(복수)의 벨트(B)를 가지고 있다.
[0038] 베이스(61)는, 지지부(62)를 통해 권취 드럼(63), 제1 아이들러 롤러(65A) 및 제3 아이들러 롤러(64)를 지지하고 있다. 지지부(62)는, 4개의 권취 드럼(63)을 회전 가능하게 지지한다. 4개의 권취 드럼(63)은, 전후 방향으로 배열되어 있고, 구동 모터(63A)에 의한 구동에 의해 4개의 벨트(B) 각각을 감거나 또는 풀어낸다. 지지부(62)는, 제1 아이들러 롤러(65A) 및 요동 부재(68)의 일단부(一端部)(68A)를 요동 가능하게 지지하고 있다.
[0039] 각 권취 드럼(63)은, 회전 가능해지도록 지지부(62)를 통해 베이스(61)에 부착되어 있다. 구동 모터(63A)는, 각 권취 드럼(63)을 회전시키기 위한 구동원이며, 베이스(61)에 고정되어 있다. 4개의 권취 드럼(63)은, 도시되지 않은 공통의 회동축에 부착됨으로써, 혹은 도시되지 않은 연동 기구로 연결됨으로써, 하나의 구동 모터(63A)에 의해 구동된다.
[0040] 각 벨트(B)의 일단은 홀딩 유닛(7)에 접속되어 있고, 각 벨트(B)의 타단은 각 권취 드럼(63)에 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 4개의 벨트(B)는, 홀딩 유닛(7)의 세 점을 매달도록 설치되어 있다. 보다 상세하게는, 홀딩 유닛(7)은, 4개의 벨트(B)에 의해 매달려 있고, 4개 중 2개의 벨트(B)는, 홀딩 유닛(7)에 대해 요동 가능하게 설치된 1개의 요동 부재(43)(도 3 참조)에 접속 부재(41)를 통해 접속되어 있고, 4개 중 나머지 2개의 벨트 각각은, 홀딩 유닛(7)에 대해 요동 가능하게 설치된 2개의 요동 부재(53) 각각에 접속 부재(51)를 통해 접속되어 있다.
[0041] 제1 아이들러 롤러(65A) 및 제2 아이들러 롤러(65B)는, 제1 완충 기구(50)에 접속되는 벨트(B)의 이동을 안내한다. 제1 완충 기구(50)에 접속되는 벨트(B)는 2개가 있고, 제1 아이들러 롤러(65A) 및 제2 아이들러 롤러(65B)도, 각각의 벨트(B)에 대응하여 설치된다. 제1 아이들러 롤러(65A)는 지지부(62)에 설치되어 있고, 베이스(61)에 대해 상대적으로 이동하지 않는다. 제2 아이들러 롤러(65B)는, 후술하는 요동 부재(68)에 설치되어 있고, 베이스(61)에 대해 상대적으로 이동한다. 또한, 제2 아이들러 롤러(65B)가 베이스(61)에 대해 상대적으로 이동하는 구성은 뒷 단락에서 설명한다. 제3 아이들러 롤러(64)는, 제2 완충 기구(40)에 접속되는 벨트(B)의 이동을 안내한다. 제2 완충 기구(40)에 접속되는 벨트(B)는 2개가 있고, 제3 아이들러 롤러(64)도, 각각의 벨트(B)에 대응하여 설치된다.
[0042] 직동 기구(67)는, 주로, 구동 모터(67A)와, 나사축(67B)과, 볼 너트(67C)를 가지고 있고, 구동 모터(67A)의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하는 공지된 기구이다. 직동 기구(67)는, 브래킷(66)을 통해 베이스(61)에 고정되어 있다. 구동 모터(67A)의 구동에 의해, 나사축(67B)을 따라 이동하는 볼 너트(67C)에는, 요동 부재(68)의 타단부(他端部)(68B)가 접속되어 있다. 본 실시형태에서는, 나사축(67B)을 따라 볼 너트(67C)가 이동함으로써 요동 부재(68)가 요동하고, 해당 요동 부재(68)의 요동에 따라 제2 아이들러 롤러(65B)가 베이스(61)에 대해 상대적으로 이동한다. 이와 같이, 직동 기구(67)는, 벨트(B)의 홀딩 유닛(7)(제1 완충 기구(50))에 대한 접속 부분(벨트(B)의 일단)이 승강 방향으로 이동하도록, 제2 아이들러 롤러(65B)의 위치를 이동시킨다. 또한, 요동 부재(68)를 직동 기구(67)에 의해 편측 지지되며 자유자재로 상하 이동(上下動) 가능한 부재로 변경하고, 이 부재를 상하 이동시킴으로써 제2 아이들러 롤러(65B)의 위치를 직선적으로 이동시키도록 해도 된다.
[0043] 예컨대, 도 6의 (A)에 나타난 바와 같이, 양쪽의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제2 아이들러 롤러(65B)를 상방으로(베이스(61)에 가까이하도록) 이동시키면, 홀딩 유닛(7)의 우측을 상방으로 기울일 수 있다. 또한, 예컨대, 도 6의 (B)에 나타난 바와 같이, 양쪽의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제2 아이들러 롤러(65B)를 하방으로(베이스(61)로부터 멀리하도록) 이동시키면, 홀딩 유닛(7)의 우측을 하방으로 기울일 수 있다.
[0044] 또한, 예컨대 도 7의 (A)에 나타난 바와 같이, 2개의 직동 기구(67) 중 한쪽(전측)의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제2 아이들러 롤러(65B)를 상방으로(베이스(61)에 가까이하도록) 이동시키면, 홀딩 유닛(7)의 전측을 상방으로 기울일 수 있다. 홀딩 유닛(7)의 전측을 상방으로 기울이고자 하는 경우에는, 2개의 직동 기구(67) 중 다른 쪽(후측)의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제2 아이들러 롤러(65B)를 하방으로(베이스(61)로부터 멀리하도록) 이동시켜도 된다.
[0045] 또한, 예컨대 도 7의 (B)에 나타난 바와 같이, 2개의 직동 기구(67) 중 다른 쪽(후측)의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제2 아이들러 롤러(65B)를 상방으로(베이스(61)에 가까이하도록) 이동시키면, 홀딩 유닛(7)의 후측을 상방으로 기울일 수 있다. 홀딩 유닛(7)의 후측을 상방으로 기울이고자 하는 경우에는, 2개의 직동 기구(67) 중 한쪽(전측)의 직동 기구(67)를 작동시켜, 제2 아이들러 롤러(65B)를 하방으로(베이스(61)로부터 멀리하도록) 이동시켜도 된다.
[0046] 상술한 바와 같이, 본 실시형태의 천장 반송차(1)는, 2개의 직동 기구(67) 양쪽 모두 또는 그 중 한쪽을 작동시킴으로써 홀딩 유닛(7)의 수평면에 대한 기울기를 조정할 수 있다. 또한, 본 실시형태의 천장 반송차(1)에서는, 천장 반송차(1)의 상태(승강부에 있어서의 기울기에 관한 정보)에 근거하여, 직동 기구(67)의 동작이 제어된다. 천장 반송차(1)의 상태는, 예컨대, 센터 프레임(15)에 설치된 기억부(8A)에 기억되어 있다. 또한, 천장 반송차(1)의 상태는, 티칭(teaching) 시에 취득되는 천장 반송차(1)의 상태와, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)에 의해 취득되는 천장 반송차(1)의 상태가 포함된다.
[0047] 여기서, 천장 반송차(1) 각각은, 반송차 시스템(100)을 가동시키기 전에 티칭이 실시된다. 티칭이란, 천장 반송차(1)가 로드 포트(300)에 있어서 FOUP(200)의 이재를 행하기 위해, 천장 반송차(1)가 궤도(20)의 미리 정해진 소정 위치에 정지하는 동시에 홀딩 유닛(7)이 소정 거리 하강한 상태에서, 홀딩 유닛(7)의 위치(더욱 상세하게는, 그리퍼(12)의 위치)가 목표 위치로부터 얼마나 어긋나는지를 알아내기 위해 천장 반송차(1)의 상태를 취득하고, 이 천장 반송차(1)의 상태에 근거하여, 반송차 시스템(100)의 가동 시에 목표 위치로부터의 어긋남이 허용 범위에 들도록, 천장 반송차(1)에 실시해야 할 동작을 기억시키는 것을 말한다. 천장 반송차(1)의 상태의 예는, 로드 포트(300)의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제(實) 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 각도 θ, 각도 αx 및 각도 αy 등의 정보이다.
[0048] 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)에 대해 상세히 설명한다. 도 8 및 도 9에 나타난 바와 같이, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)은, 천장 반송차(1)의 상태를, 사람의 손을 통하지 않고 취득하기 위한 유닛이다. 도 8은, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)의 사시도이고, 도 9는, 측정 유닛(80)이 피측정 유닛(90)을 측정할 때의 각 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)의 측정 대상을 나타내는 모식도이다. 도 8 및 도 9에 나타난 실선 화살표 및 파선 화살표는, 각 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)에 있어서의 레이저의 출력 방향을 나타내고 있다.
[0049] 본 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 때, 천장 반송차(1)에 피측정 유닛(90)이 탑재되고, 로드 포트(300)에 측정 유닛(80)이 탑재된다. 즉, 피측정 유닛(90)은, 한 쌍의 그리퍼(12, 12)에 의해 파지되어 이용되고, 측정 유닛(80)은, 로드 포트(300)에 놓여 이용된다. 천장 반송차(1)는, 궤도(20)의 소정 위치에 정지하고, 홀딩 유닛(7)이 소정 거리 하강되어, 피측정 유닛(90)이 로드 포트(300)의 상방에 있어서 측정 유닛(80)으로부터 이격(離間)된 상태로, 천장 반송차(1)의 상태가 취득된다.
[0050] 측정 유닛(80)은, 본체부(81)와, 유닛 컨트롤러(82)(도 11 참조)와, 복수의 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)와. 부착부(84)와, 지지부(85)와, 가이드부(86)를 구비하고 있다. 본체부(81)는, 유닛 컨트롤러(82), 부착부(84) 및 가이드부(86)를 지지하는 평판 형상의 부재이다. 유닛 컨트롤러(82)는, 본체부(81)에 지지된 상태로 설치되어 있고, 측정 유닛(80)에 있어서의 전기적인 각종 처리를 행한다.
[0051] 각 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)는, 예컨대 레이저식의 거리 센서이며, 부착부(84)에 부착되어 있다. 거리 센서(83X1)는, X축 방향을 따라 본체부(81)의 내방(內方)을 향해 레이저광을 출사함으로써, 대상물과의 거리를 측정한다. 거리 센서(83Y1, 83Y2)는, Y축 방향을 따라 본체부(81)의 내방을 향해 레이저광을 출사함으로써, 대상물과의 거리를 측정한다. 거리 센서(83Z1, 83Z2, 83Z3)는, Z축 방향을 따라 상방을 향해 레이저광을 출사함으로써, 대상물과의 거리를 측정한다.
[0052] 부착부(84)는, 각 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)가 부착되는 부분이며, 본체부(81)에 세워져 설치(立設)되어 있다. 지지부(85)는, 피측정 유닛(90)을 지지하는 부분이며, 본체부(81)에 세워져 설치되어 있다. 가이드부(86)는, 피측정 유닛(90)을 지지부(85)에 지지시킬 때, 피측정 유닛(90)이 소정 위치로 위치 결정되도록 안내하는 부분이다. 가이드부(86)는, 본체부(81)에 세워져 설치되어 있다.
[0053] 피측정 유닛(90)은, 플랜지(91)와, 베이스 플레이트(92)와, 복수의 타깃 플레이트(93, 94, 95)와, 다리부(脚部)(97)를 구비하고 있다. 플랜지(91)는, 그리퍼(12)에 의해 파지 가능하게 설치되는 부분이다. 베이스 플레이트(92)는, 플랜지(91)에 접속되어 있고, 복수의 타깃 플레이트(93, 94, 95)가 세워져 설치된다. 베이스 플레이트(92) 및 복수의 타깃 플레이트(93, 94, 95)는, 각 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3)에 의한 측정 대상면을 형성하는 부분이다.
[0054] 각 타깃 플레이트(93, 94, 95)는, 베이스 플레이트(92)의 소정 위치에 고정되어 있다. 타깃 플레이트(93)에 있어서 거리 센서(83X1)와 대향하는 표면(93a)은, X축 방향에 수직인 면이며, 로드 포트(300)의 기준 위치(로드 포트(300)의 재치면(載置面)의 중심 위치)와 소정의 위치 관계를 가지고 있다. 타깃 플레이트(94)에 있어서 거리 센서(83Y1)와 대향하는 표면(94a), 및 타깃 플레이트(95)에 있어서 거리 센서(83Y2)와 대향하는 표면(95a)은, Y축 방향에 수직인 면이며, 로드 포트(300)의 기준 위치와 소정의 위치 관계를 가지고 있다. 다리부(97)는, 타깃 플레이트(93, 94, 95)의 하부에 각각 설치되어 있고, 측정 유닛(80)에 의해 피측정 유닛(90)이 지지될 때, 측정 유닛(80)의 본체부(81)에 접촉한다.
[0055] 이상에 따라, 측정 유닛(80)의 유닛 컨트롤러(82)는, 거리 센서(83X1)에 의한 측정 거리 X1, 거리 센서(83Y1)에 의한 측정 거리 Y1, 거리 센서(83Y2)에 의한 측정 거리 Y2, 거리 센서(83Z1)에 의한 측정 거리 Z1, 거리 센서(83Z2)에 의한 측정 거리 Z2 및 거리 센서(83Z3)에 의한 측정 거리 Z3을 취득할 수 있다. 그리고, 유닛 컨트롤러(82)는, 취득한 복수의 측정 거리 X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3에 근거하여, 로드 포트(300)의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 그리고, 각도 θ, 각도 αx 및 각도 αy를 산출할 수 있다.
[0056] 여기서, 각도 θ는, 도 10의 (A)에 나타난 바와 같이, 피측정 유닛(90)에 대해 측정 유닛(80)이 Z축 둘레로 회전하고 있는 회전 각도(즉, 로드 포트(300)에 대해 그리퍼(12)가 Z축 둘레로 회전하고 있는 회전 각도)이다. 거리 센서(83Y1)와 거리 센서(83Y2) 사이의 거리를 L1이라 하면, 각도 θ는, θ=tan-1[(Y1-Y2)/L1]로 나타내어진다. 또한, 도 10의 (A)에서는, 거리 센서(83X1, 83Z1, 83Z2, 83Z3) 등의 도시가 생략되어 있다.
[0057] 또한, 각도 αx는, 도 10의 (B)에 나타난 바와 같이, 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92)의 표면(92a)에 대해 측정 유닛(80)이 Y축 둘레로 기울어져 있는 경사 각도(즉, 로드 포트(300)의 기준면에 대해 그리퍼(12)가 Y축 둘레로 기울어져 있는 경사 각도)이다. 거리 센서(83Z1)와 거리 센서(83Z3) 사이의 거리를 L2라 하면, 각도 αx는, αx=tan-1[(Z3-Z1)/L2]로 나타내어진다. 또한, 도 10의 (B)에서는, 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95) 등의 도시가 생략되어 있다.
[0058] 또한, 각도 αy는, 도 10의 (C)에 나타난 바와 같이, 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92)의 표면(92a)에 대해 측정 유닛(80)이 X축 둘레로 기울어져 있는 경사 각도(즉, 로드 포트(300)의 기준면에 대해 그리퍼(12)가 X축 둘레로 기울어져 있는 경사 각도)이다. 거리 센서(83Z1)에 의한 측정 거리 Z1과 거리 센서(83Z3)에 의한 측정 거리 Z3의 평균치(즉, (Z1+Z3)/2)를 Z13이라 하고, 거리 센서(83Z1)와 거리 센서(83Z3)를 잇는 직선과 거리 센서(83Z2) 사이의 거리를 L3이라 하면, 각도 αy는, αy=tan-1[(Z2-Z13)/L3]으로 나타내어진다. 또한, 도 10의 (C)에서는, 거리 센서(83X1, 83Y1, 83Y2) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95) 등의 도시가 생략되어 있다.
[0059] 본 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 소정의 로드 포트(300)에 있어서, 로드 포트(300)의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 그리고, 각도 θ, 각도 αx 및 각도 αy(이하, 단순히 「천장 반송차(1)의 상태」라고도 칭함.)를 취득하는 대신에, 도 12의 (A) 및 도 12의 (B)에 나타난 메인터넌스 가대(150)에 설치된 제1 재치대(載置臺)(151), 제2 재치대(152) 및 한 쌍의 제3 재치대(153, 153)에 놓이는 측정 유닛(80)과, 적어도 하나의 피측정 유닛(90)을 이용하여 천장 반송차(1)의 상태를 취득한다.
[0060] 다음으로, 메인터넌스 가대(150)에 대해 상세히 설명한다. 도 12의 (A)에 나타난 바와 같이, 메인터넌스 가대(150)는, 궤도(20)를 따른 소정 위치에 설치되어 있다. 제1 재치대(151), 제2 재치대(152), 및 한 쌍의 제3 재치대(153, 153)는, 프레임(154)에 지지되어 있다. 제1 재치대(151)는, 궤도(20)의 하방이며, 제2 재치대(152)에 대해 상대적으로 낮은 위치(다시 말해, FOUP(200)를 올려놓기 위한 벨트(B)의 풀림량(繰出量)이 상대적으로 큰 위치)에 설치되어 있다.
[0061] 제2 재치대(152)는, 궤도(20)의 하방이며, 제1 재치대(151)에 대해 상대적으로 높은 위치(다시 말해, FOUP(200)를 올려놓기 위한 벨트(B)의 풀림량이 상대적으로 작은 위치)에 설치되어 있다. 제2 재치대(152)는, 전후 방향으로 슬라이딩 가능하게 설치되어 있고, 제1 재치대(151)의 상방의 영역에 위치하는 진출 위치와, 제1 재치대(151)의 상방의 영역에 위치하지 않는 퇴피 위치 사이에서 이동 가능하게 설치되어 있다. 퇴피 위치는, 연직 방향 상방에서 본 평면 뷰에 있어서, 제1 재치대(151)와 어긋난 위치(본 실시형태에서는 후방으로 어긋난 위치)에 설치되어 있다. 제2 재치대(152)를 이용하여 천장 반송차(1)의 상태를 취득하는 경우에는, 제2 재치대(152)를 진출 위치로 이동시킨다.
[0062] 한 쌍의 제3 재치대(153, 153)는, 상방에서 본 평면 뷰에 있어서 궤도(20)를 사이에 두도록 배치되어 있다. 한 쌍의 제3 재치대(153, 153)는, 래터럴 유닛(4)을 작동시키지 않으면 FOUP(200)를 이재할 수 없는 위치에 설치되어 있다. 한 쌍의 제3 재치대(153, 153)는, 제2 재치대(152)와는 달리 이동 불가능하게 고정되어 있다.
[0063] 상술한 바와 같이 제1 재치대(151), 제2 재치대(152) 및 한 쌍의 제3 재치대(153, 153)를 가지는 메인터넌스 가대(150)에서는, 제1 재치대(151), 제2 재치대(152) 및 한 쌍의 제3 재치대(153, 153)마다 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 수 있다. 즉, 메인터넌스 가대(150)에서는, 제1 재치대(151)를 이용하여, 벨트(B)의 풀림량이 상대적으로 클 때의 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 수 있고, 제2 재치대(152)를 이용하여, 벨트(B)의 풀림량이 상대적으로 작을 때의 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 수 있고, 한 쌍의 제3 재치대(153, 153)를 이용하여, 래터럴 유닛(4)을 작동시켜 벨트(B)를 풀어내었을 때의 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 수 있다.
[0064] 다음으로, 메인터넌스 가대(150)를 이용하여, 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 때의 흐름을 설명한다. 도 13의 (A)에 나타난 바와 같이, 에어리어 컨트롤러(110)는, 소정의 타이밍에 천장 반송차(1)를 메인터넌스 가대(150)로 이동시킨다. 에어리어 컨트롤러(110)(도 11 참조)는, 미리 정해진 스케줄에 따라(정기적으로) 천장 반송차(1)를 메인터넌스 가대(150)로 이동시킨다. 메인터넌스 가대(150)의 제1 재치대(151)에는, 피측정 유닛(90)이 측정 유닛(80)에 지지된 상태로 놓여 있다(도 8 참조).
[0065] 천장 반송차(1)는, 도 13의 (B)에 나타난 바와 같이, 제1 재치대(151)의 상방에 정지한 상태로 벨트(B)를 풀어내어, 홀딩 유닛(7)을 강하시킨다. 천장 반송차(1)는, 소정량의 벨트(B)를 풀어낸 후, 그리퍼(12)를 작동시켜, 피측정 유닛(90)의 플랜지(91)를 파지한다. 그 후, 소정량의 벨트(B)를 감아, 측정 유닛(80)에 지지된 상태의 피측정 유닛(90)을 측정 유닛(80)으로부터 이격(離反)시킨다. 제1 재치대(151)에 놓인 측정 유닛(80)은, 이 상태로 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95)까지의 거리 X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3을 측정한다.
[0066] 제1 재치대(151)에 놓인 측정 유닛(80)에 의한 측정 후, 천장 반송차(1)는, 피측정 유닛(90)을 파지한 상태로 벨트(B)를 감아, 제2 재치대(152)보다 높은 높이 위치까지 홀딩 유닛(7)을 이동시킨다. 다음으로, 도 14의 (A)에 나타난 바와 같이, 제2 재치대(152)를 슬라이딩시켜, 제1 재치대(151)의 상방의 진출 위치까지 이동시킨다. 천장 반송차(1)는, 벨트(B)를 풀어내어, 피측정 유닛(90)을 홀딩한 홀딩 유닛(7)을 강하시킨다. 천장 반송차(1)는, 소정량의 벨트(B)를 풀어내어, 제2 재치대(152)에 놓인 측정 유닛(80)으로부터 소정량 이격되는 상태가 되도록 피측정 유닛(90)을 위치시킨다. 제2 재치대(152)에 놓인 측정 유닛(80)은, 이 상태로 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95)까지의 거리 X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3을 측정한다.
[0067] 제2 재치대(152)에 놓인 측정 유닛(80)에 의한 측정 후, 천장 반송차(1)는, 피측정 유닛(90)을 파지한 상태로 벨트(B)를 감고, 다음으로는, 래터럴 유닛(4)을 작동시켜, 홀딩 유닛(7)을 한 쌍의 제3 재치대(153) 중 한쪽의 상방으로 이동시킨다. 천장 반송차(1)는, 벨트(B)를 풀어내어, 피측정 유닛(90)을 홀딩한 홀딩 유닛(7)을 강하시킨다. 천장 반송차(1)는, 소정량의 벨트(B)를 풀어내어, 한 쌍의 제3 재치대(153) 중 한쪽에 놓인 측정 유닛(80)으로부터 소정량 이격되는 상태가 되도록 피측정 유닛(90)을 위치시킨다. 한 쌍의 제3 재치대(153) 중 한쪽에 놓인 측정 유닛(80)은, 이 상태로 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95)까지의 거리 X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3을 측정한다.
[0068] 한 쌍의 제3 재치대(153) 중 한쪽에 놓인 측정 유닛(80)에 의한 측정 후, 천장 반송차(1)는, 피측정 유닛(90)을 파지한 상태로 벨트(B)를 감고, 래터럴 유닛(4)을 작동시켜, 이번에는, 홀딩 유닛(7)을 한 쌍의 제3 재치대(153) 중 다른 쪽의 상방으로 이동시킨다. 천장 반송차(1)는, 벨트(B)를 풀어내어, 피측정 유닛(90)을 홀딩한 홀딩 유닛(7)을 강하시킨다. 천장 반송차(1)는, 소정량의 벨트(B)를 풀어내어, 한 쌍의 제3 재치대(153) 중 다른 쪽에 놓인 측정 유닛(80)으로부터 소정량 이격되는 상태가 되도록 피측정 유닛(90)을 위치시킨다. 한 쌍의 제3 재치대(153) 중 다른 쪽에 놓인 측정 유닛(80)은, 이 상태로 피측정 유닛(90)의 베이스 플레이트(92) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95)까지의 거리 X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3을 측정한다.
[0069] 한 쌍의 제3 재치대(153) 중 다른 쪽에 놓인 측정 유닛(80)에 의한 측정 후, 천장 반송차(1)는, 피측정 유닛(90)을 파지한 상태로 벨트(B)를 감고, 래터럴 유닛(4)을 작동시켜, 이번에는, 홀딩 유닛(7)을 제1 재치대(151)의 상방으로 이동시킨다. 다음으로, 도 14의 (B)에 나타난 바와 같이, 제2 재치대(152)는, 제1 재치대(151)의 상방으로부터 퇴피한 퇴피 위치로 이동한다. 또한, 제2 재치대(152)에 있어서의 퇴피 위치로의 이동은, 제2 재치대(152)에 놓인 측정 유닛(80)에 의한 측정 후, 적시의 타이밍에 실행되어도 된다.
[0070] 천장 반송차(1)는, 제1 재치대(151)의 상방에 정지한 상태로 벨트(B)를 풀어내어, 피측정 유닛(90)을 홀딩한 홀딩 유닛(7)을 강하시킨다. 도 15에 나타난 바와 같이, 천장 반송차(1)는, 피측정 유닛(90)이, 제1 재치대(151)에 놓인 측정 유닛(80)에 지지되는 상태가 될 때까지 벨트(B)를 풀어낸 후, 그리퍼(12)를 작동시켜, 피측정 유닛(90)에 있어서의 플랜지(91)의 파지를 개방한다. 피측정 유닛(90)은, 제1 재치대(151)에 놓인 측정 유닛(80)에 지지된 상태가 된다. 그 후, 천장 반송차(1)는, 홀딩 유닛(7)이 주행 가능한 상태가 될 때까지 벨트(B)를 감는다. 에어리어 컨트롤러(110)는, 천장 반송차(1)를 메인터넌스 가대(150)로부터 퇴출시킨다.
[0071] 이상의 흐름에 따라, 베이스 플레이트(92) 및 타깃 플레이트(93, 94, 95)까지의 거리 X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3을 측정한 제1 재치대(151), 제2 재치대(152) 및 한 쌍의 제3 재치대(153, 153) 각각에 놓인 피측정 유닛(90) 각각은, 측정한 거리 X1, Y1, Y2, Z1, Z2, Z3에 근거하여, 각 재치대의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 각도 θ, 각도 αx 및 각도 αy 등의 정보가 산출된다. 이들 정보는, 메인터넌스 가대(150)에 설치된 통신부(88)를 통해, 천장 반송차(1)의 통신부(9)로 송신된다. 메인터넌스 가대(150)의 통신부(88)와 천장 반송차(1)의 통신부(9)는, 광 통신, 무선 통신 등의 적절한 수단에 의해 통신할 수 있다.
[0072] 반송차 컨트롤러(8)는, 통신부(9)를 통해 수신한, 각 재치대의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 각도 θ, 각도 αx 및 각도 αy 등의 정보를 기억부(8A)(도 11 참조)에 기억시킨다. 즉, 반송차 컨트롤러(8)는, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)에 의해 취득한 최신의 천장 반송차(1)의 상태를 기억부(8A)에 기억(갱신)시킨다. 반송차 컨트롤러(8)는, 이 기억부(8A)에 기억된 천장 반송차(1)의 상태에 근거하여, 직동 기구(67)의 동작을 제어한다.
[0073] 상기 실시형태의 천장 반송차(1)에 있어서의 작용 효과에 대해 설명한다. 상기 실시형태의 천장 반송차(1)에서는, 직동 기구(67)를 작동시킴으로써 홀딩 유닛(7)에 있어서의 수평면에 대한 기울기를 조정할 수 있다. 그리고, 직동 기구(67)의 작동량(안내 롤러의 이동량)은, 천장 반송차(1)의 상태인 홀딩 유닛(7)에 있어서의 기울기에 관한 정보(각도 αx 및 각도 αy 등의 정보)에 근거하여 자동적으로 조정되므로, 홀딩 유닛(7)을 원하는 기울기로 조정할 수 있다. 즉, 본 실시형태의 천장 반송차(1)는, 사람의 손을 통하지 않고, 홀딩 유닛(7)의 기울기를 적절히 조정하는 것이 가능해진다.
[0074] 상기 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 천장 반송차(1)의 상태를 취득하는 취득부로서의 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)이, 천장 반송차(1)와는 별개의 개체로서 설치되어 있다. 이 구성에서는, 천장 반송차(1)에 큰 개조를 가하지 않더라도, 각 천장 반송차(1)의 홀딩 유닛(7)의 기울기를 사람의 손을 통하지 않고 적절히 조정하는 것이 가능해진다.
[0075] 상기 실시형태의 반송차 시스템(100)에서는, 각 천장 반송차(1)가 정기적으로 메인터넌스 가대(150)로 이동되어, 천장 반송차(1)의 상태가 정기적으로 취득된다. 이에 의해, 천장 반송차(1)의 상태가 경년적(經年的)으로 변화하는 경우라 하더라도, 현재 상태에 가까운 천장 반송차(1)의 상태가 취득되므로, 홀딩 유닛(7)을 원하는 기울기로 적절히 조정할 수 있다.
[0076] 이상, 일 실시형태에 대해 설명하였지만, 본 발명의 일 측면은, 상기 실시형태에 한정되지 않는다. 발명의 일 측면의 취지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경이 가능하다.
[0077] (변형예 1)
상기 실시형태의 천장 반송차(1)에서는, 메인터넌스 가대(150)에 천장 반송차(1)를 입장시킴으로써, 천장 반송차(1)의 상태를 취득하는 예를 들어 설명하였지만, 반송차 시스템(100)을 구축하는 로드 포트(300)마다, 천장 반송차(1)의 상태를 취득해도 된다. 이 구성에서는, 홀딩 유닛(7)을, 실제로 FOUP(200)가 놓이는 로드 포트(300)마다 최적의 기울기로 조정할 수 있다.
[0078] (변형예 2)
상기 실시형태 및 상기 변형예의 천장 반송차(1)에서는, 홀딩 유닛(7)이 피측정 유닛(90)을 파지함으로써, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)으로부터 천장 반송차(1)의 상태를 취득하는 예를 들어 설명하였지만, 각 재치대에 놓인 피측정 유닛(90)에 대해, 측정 유닛(80)을 파지한 홀딩 유닛(7)을 이격(離反)·접근시킴으로써, 천장 반송차(1)의 상태를 취득해도 된다. 이 구성에서는, 메인터넌스 가대(150)의 각 재치대에는, 측정 유닛(80)에 비해 염가인 피측정 유닛(90)이 배치되므로, 메인터넌스 가대(150)를 염가로 구축할 수 있다.
[0079] (변형예 3)
상기 실시형태 및 상기 변형예의 천장 반송차(1)에서는, 천장 반송차(1)의 상태를 취득하는 방법으로서, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)을 예로 들어 설명하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 도 16에 나타난 바와 같이, 제1 카메라(160A) 및 제2 카메라(160B)가 설치된 메인터넌스 가대(150A)를 이용하여 천장 반송차(1)의 상태를 취득해도 된다. 메인터넌스 가대(150A)는, 예컨대, 제2 카메라(160B)에 대해 상대적으로 낮은 위치에 설치된 제1 카메라(160A)와, 해당 제1 카메라(160A)보다 높은 위치에 설치된 제2 카메라(160B)와, 컨트롤러(155)를 가지고 있다. 제1 카메라(160A)는, 상기의 제1 재치대(151)에 설치된 측정 유닛(80)과 마찬가지로, 벨트(B)의 풀림량이 상대적으로 클 때의 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 수 있다. 제2 카메라(160B)는, 상기의 제2 재치대(152)에 설치된 측정 유닛(80)과 마찬가지로, 벨트(B)의 풀림량이 상대적으로 작을 때의 천장 반송차(1)의 상태를 취득할 수 있다.
[0080] 컨트롤러(155)는, 제1 카메라(160A) 및 제2 카메라(160B)가 촬상하는 화상에 근거하여, 천장 반송차(1)의 상태(예컨대, 홀딩 유닛(7)의 기울기)를 해석한다. 천장 반송차(1)의 상태의 해석은, 예컨대 패턴 매칭 등, 공지된 해석 수법을 이용할 수 있다.
[0081] (변형예 4)
상기 실시형태 및 상기 변형예의 천장 반송차(1)에서는, 기억부(8A)에 기억시키는 천장 반송차(1)의 상태로서, 소정의 기준 위치를 원점으로 한 경우의 그리퍼(12)의 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 각도 θ, 각도 αx 및 각도 αy 등의 정보를 예로 들어 설명하였지만, 이와 같은 실제 위치(X좌표, Y좌표, Z좌표), 각도 θ, 각도 αx 및 각도 αy 등의 정보에 근거하여 결정되는 직동 기구(67)의 작동량(안내 롤러의 이동량) 등의 설정치여도 된다.
[0082] (변형예 5)
상기 실시형태 및 상기 변형예의 일부에서는, 메인터넌스 가대(150)의 각 재치대에, 측정 유닛(80)의 측정 대상이 되는 피측정 유닛(90)이 배치되어 있는 예를 들어 설명하였지만, 예컨대, 로드 포트(300)라면, 피측정 유닛(90)을 올려놓는 대신에 FOUP(200)가 놓이는 부분에 형성된 위치 결정 핀 등을 측정 유닛(80)의 측정 대상으로서 이용해도 되고, 메인터넌스 가대(150)의 각 재치대에 측정 대상이 되는 타깃을 직접 형성해도 된다.
[0083] (변형예 6)
상기 실시형태 및 상기 변형예에서는, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90)에 의해 천장 반송차(1)의 상태를 취득하는 예를 들어 설명하였지만, 이에 한정되지 않는다. 예컨대, 측정 유닛(80) 및 피측정 유닛(90) 대신에, 홀딩 유닛(7)의 수평 방향에 대한 기울기를 취득하는 기울기 검출부를, 예컨대 홀딩 유닛(7)에 설치해도 된다. 기울기 검출부의 예에는, 3축 센서 및 가속도 센서 등이 포함된다.
[0084] (기타 변형예)
상기 실시형태의 천장 반송차(1)에 있어서, 벨트(B)의 일단을 승강 방향으로 이동시키기 위해 적어도 하나의 제2 아이들러 롤러(65B)의 위치를 이동시키는 기능을 가지는 직동 기구(67) 대신에, 동일한 기능을 가지는 캠 기구(위치 조정부)를 설치해도 된다.
[0085] 상기 실시형태의 천장 반송차(1)에서는, 적어도 하나의 제2 아이들러 롤러(65B)의 위치를 이동시킴으로써, 벨트(B)의 일단을 승강 방향으로 이동시키는 예를 들어 설명하였지만, 제2 아이들러 롤러(65B) 대신에 제1 아이들러 롤러(65A)의 위치를 이동시킴으로써, 벨트(B)의 일단을 승강 방향으로 이동시키는 구성으로 해도 된다.
[0086] 상기 실시형태 및 변형예에서는, 직동 기구(67)로서 볼나사를 채용한 예를 들어 설명하였지만, 실린더, 리니어 가이드 등을 채용해도 된다.
[0087] 상기 실시형태 및 변형예의 홀딩 유닛(7)은, 제1 완충 기구(50) 및 제2 완충 기구(40)를 통해 벨트(B)의 일단과 접속되어 있는 예를 들어 설명하였지만, 홀딩 유닛(7)에 직접 접속되어도 된다. 또한, 4개의 벨트(B)가, 그대로 직접 홀딩 유닛(7)에 접속되어도 된다. 또한, 3개의 벨트(B)에 의해 홀딩 유닛(7)에 접속되어도 된다.
[0088] 상기 실시형태 및 변형예에서는, 천장 반송차(1)와 측정 유닛(80) 간에, 통신부를 통해 직접 주고받는 예를 들어 설명하였지만, 에어리어 컨트롤러(110)를 통해 각종 정보를 주고받아도 된다.
[0089] 상기 실시형태 및 상기 변형예의 측정 유닛(80)의 구성에 더하여, 배터리 및 통신부를 구비하고, 이들이 일체적으로 구성된 측정 유닛을 이용해도 된다.
[0090] 1…천장 반송차, 7…홀딩 유닛, 8…반송차 컨트롤러(제어부), 61…베이스(본체부), 64…제3 아이들러 롤러(안내 롤러), 65A…제1 아이들러 롤러(안내 롤러), 65B…제2 아이들러 롤러(안내 롤러), 67…직동 기구(위치 조정부), 80…측정 유닛(취득부), 82…유닛 컨트롤러, 83X1, 83Y1, 83Y2, 83Z1, 83Z2, 83Z3…거리 센서, 88…통신부, 90…피측정 유닛(취득부), 93, 94, 95…타깃 플레이트, 100…반송차 시스템, 110…에어리어 컨트롤러(제어 장치).

Claims (7)

  1. 물품을 파지하는 파지부를 가지는 승강부(昇降部)를 복수의 현수 지지(吊持) 부재에 의해 승강시키도록 한 천장 반송차(搬送車)로서,
    상기 복수의 현수 지지 부재의 감기(捲取) 및 풀기(繰出)를 행함으로써, 상기 승강부를 승강시키는 권취 드럼과,
    상기 권취 드럼으로부터 풀어내어지는 상기 현수 지지 부재가 감기는 적어도 하나의 안내 롤러와,
    상기 권취 드럼 및 상기 안내 롤러를 지지하는 본체부와,
    상기 본체부에 대한 상기 안내 롤러의 상대 위치를 이동시킴으로써, 상기 현수 지지 부재의 상기 승강부에 대한 접속 부분을 승강 방향으로 이동시키는, 적어도 하나의 위치 조정부와,
    상기 승강부에 있어서의 기울기에 관한 정보에 근거하여 상기 위치 조정부에 의한 상기 안내 롤러의 이동을 제어하는 제어부와,
    상기 기울기에 관한 정보에 근거하여 결정되는 상기 안내 롤러의 이동량 또는 상기 기울기에 관한 정보를 기억하는 기억부를 구비하며,
    상기 제어부는, 상기 이동량 또는 상기 기울기에 관한 정보에 근거하여 상기 위치 조정부에 의한 상기 안내 롤러의 이동을 제어하고,
    상기 기억부는, 상기 천장 반송차와의 사이에서 상기 물품의 주고받기가 행해지는 이재부(移載部)마다, 상기 이동량 또는 상기 기울기에 관한 정보를 기억하며,
    상기 제어부는, 상기 이재부마다의 상기 이동량 또는 상기 기울기에 관한 정보에 근거하여 상기 위치 조정부에 의한 상기 안내 롤러의 이동을 제어하는, 천장 반송차.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 승강부에 설치되며, 상기 기울기에 관한 정보를 취득하는 취득부를 더 구비하는, 천장 반송차.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 승강부에 설치되며, 상기 기울기에 관한 정보를 취득하는 취득부를 더 구비하고,
    상기 취득부는, 정기적으로 상기 기울기에 관한 정보를 취득하고,
    상기 기억부는, 정기적으로 취득되는 상기 기울기에 관한 정보에 근거하여 결정되는 상기 안내 롤러의 이동량 또는 정기적으로 취득되는 상기 기울기에 관한 정보를 기억하는, 천장 반송차.
  4. 제1항에 기재된 천장 반송차와,
    상기 천장 반송차와는 별개의 개체(別體)로서 설치되며, 상기 기울기에 관한 정보를 취득하는 취득부와,
    상기 취득부에 의해 취득된 상기 기울기에 관한 정보를 상기 천장 반송차에 송신하는 통신부를 구비하는, 반송차 시스템.
  5. 물품을 파지하는 파지부를 가지는 승강부를 복수의 현수 지지 부재에 의해 승강시키도록 한 천장 반송차로서,
    상기 복수의 현수 지지 부재의 감기 및 풀기를 행함으로써, 상기 승강부를 승강시키는 권취 드럼과,
    상기 권취 드럼으로부터 풀어내어지는 상기 현수 지지 부재가 감기는 적어도 하나의 안내 롤러와,
    상기 권취 드럼 및 상기 안내 롤러를 지지하는 본체부와,
    상기 본체부에 대한 상기 안내 롤러의 상대 위치를 이동시킴으로써, 상기 현수 지지 부재의 상기 승강부에 대한 접속 부분을 승강 방향으로 이동시키는, 적어도 하나의 위치 조정부와,
    상기 승강부에 있어서의 기울기에 관한 정보에 근거하여 상기 위치 조정부에 의한 상기 안내 롤러의 이동을 제어하는 제어부를 구비하는,
    천장 반송차와,
    상기 천장 반송차와는 별개의 개체로서 설치되며, 상기 기울기에 관한 정보를 취득하는 취득부와,
    상기 취득부에 의해 취득된 상기 기울기에 관한 정보를 상기 천장 반송차에 송신하는 통신부를 구비하는, 반송차 시스템.
  6. 제4항 또는 제5항에 있어서,
    상기 천장 반송차를 정기적으로 상기 취득부가 상기 기울기에 관한 정보를 취득할 수 있는 위치로 이동시키는 제어 장치를 더 구비하며,
    상기 통신부는, 정기적으로 상기 취득부에 의해 취득되는 상기 기울기에 관한 정보를 상기 천장 반송차에 송신하는, 반송차 시스템.
  7. 삭제
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