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JP7706849B2 - Curable resin composition, semiconductor encapsulant, adhesive, adhesive film, prepreg, interlayer insulating material, and printed wiring board - Google Patents

Curable resin composition, semiconductor encapsulant, adhesive, adhesive film, prepreg, interlayer insulating material, and printed wiring board Download PDF

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JP7706849B2
JP7706849B2 JP2022101901A JP2022101901A JP7706849B2 JP 7706849 B2 JP7706849 B2 JP 7706849B2 JP 2022101901 A JP2022101901 A JP 2022101901A JP 2022101901 A JP2022101901 A JP 2022101901A JP 7706849 B2 JP7706849 B2 JP 7706849B2
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curable resin
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Description

本発明は、硬化性樹脂組成物、半導体封止材、接着剤、接着フィルム、プリプレグ、層間絶縁材料及びプリント配線板に関する。 The present invention relates to a curable resin composition, a semiconductor encapsulant, an adhesive, an adhesive film, a prepreg, an interlayer insulating material, and a printed wiring board.

近年、5Gという次世代通信システム(26GHz~80GHzのミリ波領域)が流行しており、さらには6Gという次々世代の通信システムの開発も始まり、今以上の高速、大容量、低遅延通信を実現しようとしている。これらの通信システムを実現するためには、3~80GHzの高周波帯用の材料が必要であり、ノイズ対策として伝送損失の低減が必須となる。
伝送損失は導体損失と誘電損失の和であり、導体損失の低減には使用する金属箔の表面の低粗化が必要である。一方、誘電損失は、比誘電率の平方根と誘電正接の積に比例することから、絶縁材としては誘電特性の優れた(低比誘電率かつ低誘電正接の)絶縁材料の開発が求められている。
その中でも基板用途で、このような誘電特性の優れた絶縁材料が求められている。リジッド基板では反応性ポリフェニレンエーテル樹脂(PPE)、フレキシブルプリント基板(FPC)では液晶ポリマー(LCP)や特性を改良した変性ポリイミド(MPI)と呼ばれる製品が使用されるようになってきている。
In recent years, the next-generation communication system known as 5G (millimeter wave region of 26 GHz to 80 GHz) has become popular, and the development of the next-generation communication system known as 6G has also begun, aiming to realize faster, larger capacity, and lower latency communication than ever before. In order to realize these communication systems, materials for the high frequency band of 3 to 80 GHz are required, and reducing transmission loss as a noise countermeasure is essential.
Transmission loss is the sum of conductor loss and dielectric loss, and reducing conductor loss requires low surface roughness of the metal foil used. On the other hand, since dielectric loss is proportional to the product of the square root of the relative dielectric constant and the dielectric loss tangent, there is a demand for the development of insulating materials with excellent dielectric properties (low relative dielectric constant and low dielectric loss tangent).
Among these, insulating materials with excellent dielectric properties are required for circuit board applications. Reactive polyphenylene ether resin (PPE) is being used for rigid circuit boards, while liquid crystal polymer (LCP) and modified polyimide (MPI) with improved properties are being used for flexible printed circuit boards (FPC).

これに対して、実質的にダイマージアミン骨格(ダイマー酸由来の骨格)を有するマレイミド化合物(特殊マレイミド化合物)を基板用の主要樹脂として使用することが報告されている(特許文献1~4)。一般的なマレイミド樹脂の特性とは逆で、特殊マレイミド化合物は、低ガラス転移温度(Tg)、高熱膨張係数(CTE)であるが、誘電特性に非常に優れ、フレキシブルな特性を有し、金属などへの接着力に優れ、熱硬化樹脂であるために(高)多層化できる可能性があるなど優位な点も多く、広い範囲にわたって研究開発されている。しかし、特殊マレイミド化合物の単独使用が主であった。
また、誘電損失は前述の通り、比誘電率の平方根と誘電正接の積と比例関係にあり、このことから誘電正接を低くすることがより重要である。
In response to this, it has been reported that maleimide compounds (special maleimide compounds) having substantially a dimer diamine skeleton (skeleton derived from dimer acid) are used as the main resin for substrates (Patent Documents 1 to 4). Contrary to the properties of general maleimide resins, special maleimide compounds have a low glass transition temperature (Tg) and a high coefficient of thermal expansion (CTE), but also have excellent dielectric properties, flexible properties, excellent adhesion to metals, and the possibility of (high) multi-layering because they are thermosetting resins, and have many other advantages, and have been researched and developed over a wide range. However, the use of special maleimide compounds alone has been the norm.
As described above, the dielectric loss is proportional to the product of the square root of the relative dielectric constant and the dielectric loss tangent, and therefore it is more important to reduce the dielectric loss tangent.

一方で、トリマートリアミン骨格(トリマー酸由来の骨格)を有するマレイミド化合物を基板用の主要樹脂として用いた樹脂材料が、耐熱性、機械強度、誘電特性などに優れると報告されている(特許文献5、6)。
一般的にダイマー酸とトリマー酸とは混合物であり、総称してダイマー酸と呼ばれている場合が多い。そして、ダイマー酸とトリマー酸から誘導されたダイマージアミンとトリマートリアミンに関しても同様であり、総称してダイマージアミンと呼ばれており、ダイマージアミンと称される化合物の市販品においても、製品によりダイマージアミン及びトリマートリアミンの割合が異なることはよく知られている(特許文献7、非特許文献1)。
On the other hand, it has been reported that resin materials using a maleimide compound having a trimer triamine skeleton (a skeleton derived from trimer acid) as the main resin for substrates have excellent heat resistance, mechanical strength, dielectric properties, etc. (Patent Documents 5 and 6).
Generally, dimer acid and trimer acid are a mixture, and are generally called dimer acid in many cases. The same is true for dimer diamine and trimer triamine derived from dimer acid and trimer acid, and are generally called dimer diamine. It is well known that the ratio of dimer diamine and trimer triamine varies depending on the product even in the commercially available product of the compound called dimer diamine (Patent Document 7, Non-Patent Document 1).

特開2016-131243号公報JP 2016-131243 A 特開2016-131244号公報JP 2016-131244 A 国際公開第2016/114287号International Publication No. 2016/114287 特開2018-201024号公報JP 2018-201024 A 特開2019-182932号公報JP 2019-182932 A 国際公開第2020/45408号WO 2020/45408 特開2017-186551号公報JP 2017-186551 A

有機合成化学協会誌、1967年、25(2)、180-183Journal of the Society of Organic Synthetic Chemistry, 1967, 25(2), 180-183

このような背景のもと、これらのトリマートリアミン骨格由来の構造を有するマレイミド化合物について合成し、検討してみたところ、トリマートリアミン骨格由来の構造を有するマレイミド化合物を含む組成物の硬化物は、貯蔵弾性率や硬度が高いために反りやクラックが発生しやすく、高周波における比誘電率、誘電正接が大きく、また加熱による影響が大きく耐熱性に劣ることがわかった。
従って、本発明は、低弾性、低硬度であるために硬化後の反りが小さく、更に耐クラック性に優れ、高周波でも優れた誘電特性を示し、高温下に長時間置いた後でも誘電特性の変化が小さい硬化物となる硬化性樹脂組成物を提供し、さらにはそれを含有する半導体封止材、接着剤、接着フィルム、プリプレグ、層間絶縁材料及びプリント配線板を提供することを目的とする。
Against this background, we have synthesized and examined maleimide compounds having a structure derived from these trimer triamine skeletons, and have found that cured products of compositions containing maleimide compounds having a structure derived from a trimer triamine skeleton have high storage modulus and hardness, and are therefore prone to warping and cracking, have high relative dielectric constants and dielectric tangents at high frequencies, and are significantly affected by heating, resulting in poor heat resistance.
Therefore, the present invention aims to provide a curable resin composition which has low elasticity and low hardness and therefore little warping after curing, has excellent crack resistance, and exhibits excellent dielectric properties even at high frequencies, and which gives a cured product whose dielectric properties change little even after being left at high temperatures for a long period of time, and further aims to provide a semiconductor encapsulating material, an adhesive, an adhesive film, a prepreg, an interlayer insulating material, and a printed wiring board containing the same.

本発明者らは、上記課題を解決するため鋭意研究を重ねた結果、下記樹脂組成物が、上記目的を達成できることを見出し、本発明を完成した。 As a result of extensive research to solve the above problems, the inventors discovered that the following resin composition can achieve the above objective, and thus completed the present invention.

即ち、本発明は、以下の硬化性樹脂組成物を提供するものである。
[1]
(A)下記一般式(1)で表されるマレイミド化合物

Figure 0007706849000001
(式(1)中、Aは独立してダイマー酸及びトリマー酸由来の炭化水素基を示し、Bは独立して環状構造を含む4価の有機基を示し、nは1~1000である。)
及び
(B)触媒
を含有する硬化性樹脂組成物であって、
式(1)中のAは、ダイマー酸及びトリマー酸由来の炭化水素基のうちダイマー酸由来の炭化水素基が占める割合が95質量%以上であって、かつ水添処理された基である、硬化性樹脂組成物。
[2]
JIS K7244-4:1999に記載の方法に準じ、25℃の測定温度で、動的粘弾性測定装置を用いて、周波数10Hz、温度範囲-50℃~200℃、昇温速度5℃/分で測定した、硬化性樹脂組成物の硬化物の貯蔵弾性率が、1000MPa未満である[1]に記載の硬化性樹脂組成物。
[3]
JIS K 6253-3:2012に記載の方法に準じ、25℃の測定温度で、デュロメータタイプDの硬度計を用いて測定した、硬化性樹脂組成物の硬化物の硬度が、D50以下である[1]又は[2]に記載の硬化性樹脂組成物。
[4]
(B)成分の触媒が有機過酸化物、アニオン重合開始剤及び光硬化開始剤から選ばれる少なくとも1種である[1]~[3]のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物。
[5]
[1]~[4]のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物からなる半導体封止材。
[6]
[1]~[4]のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物からなる接着剤。
[7]
[1]~[4]のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物からなる接着フィルム。
[8]
[1]~[4]のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物と繊維基材からなるプリプレグ。
[9]
[1]~[4]のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物からなる層間絶縁材料。
[10]
[1]~[4]のいずれかに記載の硬化性樹脂組成物の硬化物を有するプリント配線板。 That is, the present invention provides the following curable resin composition.
[1]
(A) A maleimide compound represented by the following general formula (1):
Figure 0007706849000001
(In formula (1), A independently represents a hydrocarbon group derived from a dimer acid or a trimer acid, B independently represents a tetravalent organic group containing a cyclic structure, and n is 1 to 1,000.)
and (B) a catalyst,
A curable resin composition, wherein A in formula (1) is a group in which the proportion of hydrocarbon groups derived from a dimer acid and a trimer acid is 95 mass% or more, and which has been hydrogenated.
[2]
The curable resin composition according to [1], wherein the storage modulus of a cured product of the curable resin composition is less than 1000 MPa, as measured using a dynamic viscoelasticity measuring device at a measurement temperature of 25°C, a frequency of 10 Hz, a temperature range of -50°C to 200°C, and a heating rate of 5°C/min in accordance with the method described in JIS K7244-4:1999.
[3]
[1] or [2], wherein the hardness of a cured product of the curable resin composition is D50 or less, as measured using a durometer type D hardness tester at a measurement temperature of 25 ° C. in accordance with the method described in JIS K 6253-3:2012.
[4]
The curable resin composition according to any one of [1] to [3], wherein the catalyst of the component (B) is at least one selected from the group consisting of organic peroxides, anionic polymerization initiators, and photocuring initiators.
[5]
A semiconductor encapsulant comprising the curable resin composition according to any one of [1] to [4].
[6]
An adhesive comprising the curable resin composition according to any one of [1] to [4].
[7]
An adhesive film comprising the curable resin composition according to any one of [1] to [4].
[8]
A prepreg comprising the curable resin composition according to any one of [1] to [4] and a fiber base material.
[9]
An interlayer insulating material comprising the curable resin composition according to any one of [1] to [4].
[10]
A printed wiring board having a cured product of the curable resin composition according to any one of [1] to [4].

本発明の硬化性樹脂組成物は、低弾性、低硬度であるために硬化後の反りが小さく、更に耐クラック性に優れ、高周波でも優れた誘電特性を示し、高温下に長時間置いた後でも誘電特性の変化が小さい硬化物を与える。したがって、本発明の硬化性樹脂組成物は半導体封止材、接着剤、接着フィルム、プリプレグ、層間絶縁材料及びプリント配線板として有用である。 The curable resin composition of the present invention has low elasticity and low hardness, so warping after curing is small, and further has excellent crack resistance and excellent dielectric properties even at high frequencies, and gives a cured product whose dielectric properties change little even after being left at high temperatures for a long period of time. Therefore, the curable resin composition of the present invention is useful as a semiconductor encapsulant, adhesive, adhesive film, prepreg, interlayer insulating material, and printed wiring board.

本発明のプリプレグの一例を示す切断端面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of the prepreg of the present invention. 本発明の積層板の一例を示す切断端面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing an example of the laminate of the present invention. 本発明のプリント配線板の一例を示す切断端面図である。1 is a cross-sectional view showing an example of a printed wiring board of the present invention.

以下、本発明に関して更に詳しく説明する。 The present invention will be explained in more detail below.

(A)下記一般式(1)で表されるマレイミド化合物
(A)成分は下記一般式(1)で表されるマレイミド化合物である。

Figure 0007706849000002
式(1)中、Aは独立してダイマー酸及びトリマー酸由来の炭化水素基を示し、Bは独立して環状構造を含む4価の有機基を示し、nは1~1000である。 (A) A maleimide compound represented by the following general formula (1): Component (A) is a maleimide compound represented by the following general formula (1).
Figure 0007706849000002
In formula (1), A independently represents a hydrocarbon group derived from a dimer acid or trimer acid, B independently represents a tetravalent organic group containing a cyclic structure, and n is 1 to 1,000.

式(1)中のAは、ダイマー酸及びトリマー酸由来の炭化水素基のうちダイマー酸由来の炭化水素基が占める割合が95質量%以上である。以下、このダイマー酸及びトリマー酸由来の炭化水素基のうちダイマー酸由来の炭化水素基が占める割合を、単に「ダイマー割合」と表記したり、ダイマー:トリマーと表記したりする場合がある。
このダイマー割合が95%質量以上であると(A)成分のマレイミド化合物の粘度が低く、化合物自体のハンドリング性に優れ、また組成物とした際、成形性が高いなどの長所を有する。ダイマー割合は95質量%以上であり、96質量%以上であることが好ましく、97質量%以上であることがより好ましく、98質量%以上であることが更に好ましく、99質量%以上であることが特に好ましい。
また、式(1)中のAは水添処理された基である。すなわち、後記の通り、(A)成分の原料となるアミン化合物の基Aに対応する基には二重結合が含まれ得るが、これを水添処理して二重結合が低減したアミン化合物を原料として用いる。基A中の二重結合が低減されることで二重結合の酸化が抑えられ、熱による劣化及びそれによる誘電特性の悪化を防止することができる。
In formula (1), A is a hydrocarbon group derived from a dimer acid, and the proportion of the hydrocarbon groups derived from a dimer acid among the hydrocarbon groups derived from a dimer acid and a trimer acid is 95% by mass or more. Hereinafter, the proportion of the hydrocarbon groups derived from a dimer acid among the hydrocarbon groups derived from a dimer acid and a trimer acid may be simply referred to as the "dimer proportion" or dimer:trimer.
When the dimer ratio is 95% by mass or more, the maleimide compound of component (A) has low viscosity, excellent handleability of the compound itself, and when made into a composition, has advantages such as high moldability, etc. The dimer ratio is 95% by mass or more, preferably 96% by mass or more, more preferably 97% by mass or more, even more preferably 98% by mass or more, and particularly preferably 99% by mass or more.
Furthermore, A in formula (1) is a hydrogenated group. That is, as described below, the group corresponding to group A of the amine compound serving as the raw material of component (A) may contain a double bond, but this amine compound is hydrogenated to reduce the number of double bonds and used as the raw material. By reducing the number of double bonds in group A, oxidation of the double bonds is suppressed, and deterioration due to heat and the resulting deterioration of dielectric properties can be prevented.

なお、本明細書において、ダイマー割合は下記測定条件で行ったガスクロマトグラフィー(GC)測定のピーク面積比から算出した値である。
測定条件:
装置:GC-2014(島津製作所製)
カラム:DB-5 30m×0.25mm×0.25μm
気化室温度:280℃
温度:50℃→10℃/分→300℃、20分保持
カラム流量:1.00mL/分
パージ流量:3.00mL/分
In this specification, the dimer ratio is a value calculated from the peak area ratio in gas chromatography (GC) measurement carried out under the following measurement conditions.
Measurement conditions:
Equipment: GC-2014 (Shimadzu Corporation)
Column: DB-5 30m x 0.25mm x 0.25μm
Vaporization chamber temperature: 280°C
Temperature: 50° C. → 10° C./min → 300° C., held for 20 min. Column flow rate: 1.00 mL/min Purge flow rate: 3.00 mL/min

前述のように一般的にダイマー酸とトリマー酸とは混合物であり、総称してダイマー酸と呼ばれている場合が多い。そして、ダイマー酸とトリマー酸から誘導されたダイマージアミンとトリマートリアミンに関しても同様であり、総称してダイマージアミンと呼ばれており、ダイマージアミンと称される化合物の市販品においても、製品によりダイマージアミン及びトリマートリアミンの割合が異なることはよく知られている。 As mentioned above, dimer acid and trimer acid are generally mixtures, and are often referred to collectively as dimer acid. The same is true for dimer diamines and trimer triamines derived from dimer acid and trimer acid, which are collectively referred to as dimer diamines. It is well known that the ratio of dimer diamine and trimer triamine varies depending on the product, even among commercially available products of compounds called dimer diamines.

ここで言う、ダイマー酸とは、植物系油脂などの天然物を原料とする炭素数18の不飽和脂肪酸の二量化によって生成された、炭素数36のジカルボン酸を主成分とする液状の二塩基酸であり、ダイマー酸は単一の骨格ではなく、複数の構造を有し、何種類かの異性体が存在する。ダイマー酸の代表的なものは直鎖型(a)、単環型(b)、芳香族環型(c)、多環型(d)という名称で分類される。

Figure 0007706849000003
The dimer acid referred to here is a liquid dibasic acid mainly composed of a dicarboxylic acid having 36 carbon atoms, which is produced by dimerization of unsaturated fatty acids having 18 carbon atoms, which are made from natural products such as vegetable oils and fats, and dimer acids do not have a single skeleton but have multiple structures, and there are several types of isomers. Representative dimer acids are classified into linear (a), monocyclic (b), aromatic (c), and polycyclic (d).
Figure 0007706849000003

また、トリマー酸とは、上記ダイマー酸製造時の副生成物であり、ダイマー酸と同様にトリマー酸は単一の構造ではなく、複数の構造を有し、何種類かの異性体が存在する。代表的な構造として下記式(e)のような構造が挙げられる。

Figure 0007706849000004
(式(e)中のRはエチレン基又はエテニレン基を示す。) Trimer acid is a by-product of the production of dimer acid, and like dimer acid, trimer acid does not have a single structure but has multiple structures, and there are several types of isomers. A representative structure is shown in the following formula (e).
Figure 0007706849000004
(In formula (e), R represents an ethylene group or an ethenylene group.)

式(1)中のBは独立して環状構造を有する4価の有機基を示し、中でも下記構造式で示される4価の有機基のいずれかであることが好ましい。

Figure 0007706849000005
(上記構造式中の置換基が結合していない結合手は、式(1)において環状イミド構造を形成するカルボニル炭素と結合するものである。) In formula (1), B independently represents a tetravalent organic group having a cyclic structure, and among these, any of the tetravalent organic groups represented by the following structural formulas is preferable.
Figure 0007706849000005
(The bond not bonded to a substituent in the above structural formula is bonded to the carbonyl carbon that forms a cyclic imide structure in formula (1).)

式(1)中のnは1~1000であり、好ましくは1~100であり、更に好ましくは3~50である。この範囲であれば、樹脂組成物が未硬化でも強度が高く、さらに溶剤溶解性も良いため好ましい。 In formula (1), n is 1 to 1000, preferably 1 to 100, and more preferably 3 to 50. This range is preferable because the resin composition has high strength even when uncured and also has good solvent solubility.

本発明で用いる(A)成分は、上記ダイマー酸から誘導されたダイマージアミン及びトリマー酸から誘導されたトリマートリアミンの混合物(以下ダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物という)を原料として製造することができる。なお、ダイマー酸から誘導されたダイマージアミンとは、ダイマー酸の2つのカルボキシ基をそれぞれ1級アミノメチル基で置換した構造を有するものであり、同様に、トリマー酸から誘導されたトリマートリアミンとは、トリマー酸の3つのカルボキシ基をそれぞれ1級アミノメチル基で置換した構造を有するものであり、したがって、式(1)中のAがダイマー酸及びトリマー酸由来の炭化水素基を示すとは、基Aがこれらダイマー酸から誘導されたダイマージアミン及びトリマー酸から誘導されたトリマートリアミンの混合物に由来することを意味する。 The component (A) used in the present invention can be produced using as a raw material a mixture of the dimer diamine derived from the dimer acid and the trimer triamine derived from the trimer acid (hereinafter referred to as a mixture of dimer diamine and trimer triamine). The dimer diamine derived from the dimer acid has a structure in which the two carboxy groups of the dimer acid are each replaced with a primary aminomethyl group, and similarly, the trimer triamine derived from the trimer acid has a structure in which the three carboxy groups of the trimer acid are each replaced with a primary aminomethyl group. Therefore, when A in formula (1) indicates a hydrocarbon group derived from a dimer acid and a trimer acid, it means that the group A is derived from a mixture of the dimer diamine derived from the dimer acid and the trimer triamine derived from the trimer acid.

本発明で用いる(A)成分は、BMI-1500、BMI-3000(以上、Designer Molecules Inc.製)等の市販品を用いてもよく、以下の方法で合成したものを用いてもよい。 The component (A) used in the present invention may be a commercially available product such as BMI-1500 or BMI-3000 (both manufactured by Designer Molecules Inc.), or may be synthesized by the following method.

(A)成分の具体的な製造方法としては、例えば、ダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物と、環状構造を有するテトラカルボン酸二無水物と、無水マレイン酸とを反応させる方法が挙げられる。
この反応は、ジアミンとカルボン酸無水物からアミック酸を合成し該アミック酸の脱水反応を行う、公知のポリイミドの合成方法に準じて行うことができる。すなわち、ダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物と、環状構造を有するテトラカルボン酸二無水物とからアミック酸を合成し閉環脱水後、さらに無水マレイン酸を反応させマレアミック酸を合成し閉環脱水する方法が一例として挙げられる。(マレ)アミック酸を合成する反応は、一般的には、有機溶媒(例えば、非極性溶媒又は高沸点非プロトン性極性溶媒)中、室温(25℃)~100℃で反応が進行する。続くアミック酸の閉環脱水反応は、90~120℃の条件で反応した後、縮合反応により副生した水を系中から取り除きながら進行させる。閉環脱水反応を促進させるために有機溶媒(例えば、非極性溶媒、高沸点非プロトン性極性溶媒等)や酸触媒を添加してもよい。有機溶媒としては、トルエン、キシレン、アニソール、ビフェニル、ナフタレン、N,N-ジメチルホルムアミド(DMF)、ジメチルスルホキシド(DMSO)等が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。また酸触媒としては、硫酸、メタンスルホン酸、トリフルオロメタンスルホン酸等が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。
環状構造を有するテトラカルボン酸二無水物とダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物のモル比は、環状構造を有するテトラカルボン酸二無水物/ダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物=0.5~0.999/1.0とすることが好ましい。
また、その後添加する無水マレイン酸は、無水マレイン酸/ダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物=0.1~10.0/1.0となる量で添加することが好ましい。
A specific example of a method for producing the component (A) is to react a mixture of dimer diamine and trimer triamine with a tetracarboxylic dianhydride having a cyclic structure and maleic anhydride.
This reaction can be carried out in accordance with a known method for synthesizing polyimide, in which an amic acid is synthesized from a diamine and a carboxylic anhydride, and the amic acid is dehydrated. That is, an example of a method is to synthesize an amic acid from a mixture of a dimer diamine and a trimer triamine and a tetracarboxylic dianhydride having a cyclic structure, and then ring-closing and dehydrating the amic acid, and then reacting the mixture with maleic anhydride to synthesize maleamic acid and ring-closing and dehydrating the amic acid. The reaction for synthesizing (maleic)amic acid generally proceeds at room temperature (25°C) to 100°C in an organic solvent (e.g., a non-polar solvent or a high-boiling aprotic polar solvent). The subsequent ring-closing and dehydration reaction of the amic acid proceeds while removing water by-produced by the condensation reaction from the system after the reaction under conditions of 90 to 120°C. In order to promote the ring-closing and dehydration reaction, an organic solvent (e.g., a non-polar solvent, a high-boiling aprotic polar solvent, etc.) or an acid catalyst may be added. Examples of the organic solvent include toluene, xylene, anisole, biphenyl, naphthalene, N,N-dimethylformamide (DMF), dimethyl sulfoxide (DMSO), etc. These may be used alone or in combination of two or more. Examples of the acid catalyst include sulfuric acid, methanesulfonic acid, trifluoromethanesulfonic acid, etc. These may be used alone or in combination of two or more.
The molar ratio of the tetracarboxylic dianhydride having a cyclic structure to the mixture of dimer diamine and trimer triamine is preferably tetracarboxylic dianhydride having a cyclic structure/mixture of dimer diamine and trimer triamine=0.5 to 0.999/1.0.
The maleic anhydride added thereafter is preferably added in an amount such that the ratio of maleic anhydride/mixture of dimer diamine and trimer triamine becomes 0.1 to 10.0/1.0.

上記反応において、原料であるダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物中の両者の比率及び水添処理の有無は、得られるマレイミド化合物にそのまま反映されるため、生産性の観点から、原料であるダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物として、ダイマー割合が95質量%以上であり、水添処理されたものを使用することが好ましい。このようなダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物として、以下の市販品が挙げられる。

バーサミン552(コグニクスジャパン(株)製)、ダイマー:トリマー=95:5、水添処理あり
Priamine-1075(クローダジャパン(株)製)、ダイマー:トリマー=98:2、水添処理あり

上記した市販品又は上記以外のダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物の市販品を、薄膜蒸留等の精製方法によりダイマー割合を高めたものを使用してもよいし、ダイマー割合が異なる複数種のダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物を組み合わせてダイマー割合を調整してもよい。また、水添処理されていないダイマージアミン及びトリマートリアミンの混合物の市販品に対してラネーニッケル等の触媒を用いて水素化したものを使用してもよい。
In the above reaction, the ratio of the raw materials dimer diamine and trimer triamine in the mixture and the presence or absence of hydrogenation are directly reflected in the obtained maleimide compound, and therefore, from the viewpoint of productivity, it is preferable to use a mixture of the raw materials dimer diamine and trimer triamine having a dimer ratio of 95 mass% or more and having been hydrogenated. Examples of such a mixture of dimer diamine and trimer triamine include the following commercially available products.

Versamine 552 (manufactured by Cognics Japan Co., Ltd.), dimer:trimer=95:5, hydrogenated Priamine-1075 (manufactured by Croda Japan Co., Ltd.), dimer:trimer=98:2, hydrogenated

The above-mentioned commercial products or other commercial products of mixtures of dimer diamine and trimer triamine may be used with the dimer ratio increased by a purification method such as thin film distillation, or a mixture of multiple types of dimer diamine and trimer triamine with different dimer ratios may be combined to adjust the dimer ratio. Also, a commercial product of a mixture of dimer diamine and trimer triamine that has not been hydrogenated may be hydrogenated using a catalyst such as Raney nickel.

環状構造を有するテトラカルボン酸無水物としては市販のものを使用することができ、例えば無水ピロメリット酸、無水マレイン酸、無水コハク酸、4,4’-カルボニルジフタル酸無水物、4,4’-ジフタル酸無水物、4,4’-スルホニルジフタル酸無水物、4,4’-オキシジフタル酸無水物、4,4’-(4,4’-イソプロピリデンジフェノキシ)ジフタル酸無水物等が挙げられる。これらの酸無水物は目的、用途等に合わせて1種類を単独で用いてもよいし、2種類以上を併用してもよい。マレイミド化合物の電気特性の観点から、酸無水物は、無水ピロメリット酸、4,4’-オキシジフタル酸無水物、4,4’-(4,4’-イソプロピリデンジフェノキシ)ジフタル酸無水物が好ましい。 As the tetracarboxylic acid anhydride having a cyclic structure, commercially available products can be used, such as pyromellitic anhydride, maleic anhydride, succinic anhydride, 4,4'-carbonyldiphthalic anhydride, 4,4'-diphthalic anhydride, 4,4'-sulfonyldiphthalic anhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 4,4'-(4,4'-isopropylidenediphenoxy)diphthalic anhydride, and the like. These acid anhydrides may be used alone or in combination with two or more types depending on the purpose and application. From the viewpoint of the electrical properties of the maleimide compound, the acid anhydride is preferably pyromellitic anhydride, 4,4'-oxydiphthalic anhydride, or 4,4'-(4,4'-isopropylidenediphenoxy)diphthalic anhydride.

また、本発明の組成物を硬化した際に、反りを小さくするために該組成物の硬化物の25℃における貯蔵弾性率は1000MPa未満であることが好ましく、より好ましくは900MPa以下であり、更に好ましくは800MPa以下である。貯蔵弾性率が1000MPa以上だと接着剤やフィルムとして使用した際に硬化後の反りが大きくなってしまう場合がある。
なお、貯蔵弾性率はJIS K7244-4:1999に記載の方法に準拠して、動的粘弾性測定装置、例えばDMA-Q800(TA Instruments製)を用いて、周波数10Hz、温度範囲-50℃~200℃、昇温速度5℃/分の測定条件で測定した値である。
In order to reduce warpage when the composition of the present invention is cured, the storage modulus of the cured product of the composition at 25° C. is preferably less than 1000 MPa, more preferably 900 MPa or less, and even more preferably 800 MPa or less. If the storage modulus is 1000 MPa or more, warpage after curing may be significant when the composition is used as an adhesive or film.
The storage modulus is a value measured in accordance with the method described in JIS K7244-4:1999 using a dynamic viscoelasticity measuring device, for example, a DMA-Q800 (manufactured by TA Instruments), under the measurement conditions of a frequency of 10 Hz, a temperature range of −50° C. to 200° C., and a heating rate of 5° C./min.

また、本発明の組成物の硬化物の耐クラック性を高めるために該硬化物の25℃における硬度はD50以下であることが好ましく、より好ましくはD40以下であり、更に好ましくはD30以下である。硬度がD50より大きいと半導体封止材として使用した際、耐クラック性が悪くなってしまう場合がある。なお、硬度は、JIS K 6253-3:2012に記載の方法に準拠して、デュロメータタイプDの硬度計を用いて25℃で測定した値である。 In order to improve the crack resistance of the cured product of the composition of the present invention, the hardness of the cured product at 25°C is preferably D50 or less, more preferably D40 or less, and even more preferably D30 or less. If the hardness is greater than D50, the crack resistance may be poor when used as a semiconductor encapsulant. The hardness is a value measured at 25°C using a durometer type D hardness tester in accordance with the method described in JIS K 6253-3:2012.

(A)成分は1種単独で用いても、2種以上混合して用いてもよい。
また、本発明の硬化性樹脂組成物中の(A)成分の含有量は、30~99質量%であることが好ましく、60~95質量%であることがより好ましい。
The component (A) may be used alone or in combination of two or more types.
The content of the component (A) in the curable resin composition of the present invention is preferably from 30 to 99 mass %, and more preferably from 60 to 95 mass %.

(B)触媒
本発明で用いる(B)成分は触媒である。本発明における触媒は、(A)成分のマレイミド基及び/又は後述するマレイミド基と反応しうる基の反応を開始させたり、促進させたりするものである。(B)成分としては(A)成分のマレイミド基及び/又は後述するマレイミド基と反応しうる基の反応を開始させたり、促進させたりするものであれば、特に制限はないが、有機過酸化物、アニオン重合開始剤及び光硬化開始剤から選ばれる少なくとも1種が好適に用いられる。
(B) Catalyst The (B) component used in the present invention is a catalyst. The catalyst in the present invention initiates or accelerates the reaction of the maleimide group of the (A) component and/or a group reactive with the maleimide group described below. The (B) component is not particularly limited as long as it initiates or accelerates the reaction of the maleimide group of the (A) component and/or a group reactive with the maleimide group described below, but at least one selected from an organic peroxide, an anionic polymerization initiator, and a photocuring initiator is preferably used.

有機過酸化物の例としては、ジクミルパーオキシド、t-ブチルパーオキシベンゾエート、t-アミルパーオキシベンゾエート、ジベンゾイルパーオキシド、ジウラロイルパーオキシド、2,5-ジメチル-2,5-ジ(t-ブチルパーオキシ)ヘキサン、1,1-ジ(t-ブチルパーオキシ)シクロヘキサン、ジ-t-ブチルパーオキシド、ジベンゾイルパーオキシド等が挙げられる。 Examples of organic peroxides include dicumyl peroxide, t-butyl peroxybenzoate, t-amyl peroxybenzoate, dibenzoyl peroxide, diuraroyl peroxide, 2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexane, 1,1-di(t-butylperoxy)cyclohexane, di-t-butyl peroxide, and dibenzoyl peroxide.

アニオン重合開始剤の例としては、イミダゾール、2-メチルイミダゾール、2-エチルイミダゾール、2-ヘプタデシルイミダゾール、1,2-ジメチルイミダゾール、2-エチル-4-メチルイミダゾール、2-ウンデシルイミダゾール、2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4-メチルイミダゾール、1-ベンジル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-エチル-4-メチルイミダゾール、1-シアノエチル-2-ウンデシルイミダゾール、1-シアノエチル-2-フェニルイミダゾール、2-フェニル-4,5-ジヒドロキシメチルイミダゾール、2-フェニル-4-メチル-5-ヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール化合物;トリブチルホスフィン、トリ(p-メチルフェニル)ホスフィン、トリ(ノニルフェニル)ホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリフェニルホスフィンオキシド、トリフェニルホスフィン・トリフェニルボラン、テトラフェニルホスフィン・テトラフェニルボレート等の有機リン化合物;トリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、α-メチルベンジルジメチルアミン、1,8-ジアザビシクロ[5.4.0]ウンデセン、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール等の第三級アミン化合物が挙げられる。 Examples of anionic polymerization initiators include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-heptadecylimidazole, 1,2-dimethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-undecylimidazole, 2-phenylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, 1-benzyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole, 1-cyanoethyl-2-undecylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole, 2-phenyl-4,5-dihydroxymethylimidazole. imidazole compounds such as 2-phenyl-4-methyl-5-hydroxymethylimidazole; organic phosphorus compounds such as tributylphosphine, tri(p-methylphenyl)phosphine, tri(nonylphenyl)phosphine, triphenylphosphine, triphenylphosphine oxide, triphenylphosphine-triphenylborane, and tetraphenylphosphine-tetraphenylborate; and tertiary amine compounds such as triethylamine, benzyldimethylamine, α-methylbenzyldimethylamine, 1,8-diazabicyclo[5.4.0]undecene, and tris(dimethylaminomethyl)phenol.

光硬化開始剤としては、光によって反応を開始させるものであれば特に限定はないが、例えば、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタノン-1、2,2-ジメトキシ-1,2-ジフェニルエタン-1-オン、1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン、2-メチル-1-(4-(メチルチオ)フェニル)-2-モルフォリノプロパノン-1、2,4-ジエチルチオキサントン、2-エチルアントラキノン、及びフェナントレンキノン等の芳香族ケトン;ベンジルジメチルケタール等のベンジル誘導体;2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-クロロフェニル)-4,5-ジ(m-メトキシフェニル)イミダゾール二量体、2-(o-フルオロフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(o-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2-(p-メトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体、2,4-ジ(p-メトキシフェニル)-5-フェニルイミダゾール二量体、及び2-(2,4-ジメトキシフェニル)-4,5-ジフェニルイミダゾール二量体等の2,4,5-トリアリールイミダゾール二量体;9-フェニルアクリジン、及び1,7-ビス(9,9’-アクリジニル)ヘプタン等のアクリジン誘導体;ビス(2,6-ジメトキシベンゾイル)-2,4,4-トリメチル-ペンチルホスフィンオキサイド、及びビス(2,4,6-トリメチルベンゾイル)-フェニルホスフィンオキサイド等のビスアシルホスフィンオキサイド;1-ヒドロキシ-シクロヘキシル-フェニル-ケトン、2-ベンジル-2-ジメチルアミノ-1-(4-モルホリノフェニル)-ブタノン-1、2-(ジメチルアミノ)-2-[(4-メチルフェニル)メチル]-1-[4-(4-モルホリニル)フェニル]-1-ブタノン等のアルキルフェノン系化合物;2,4,6-トリメチルベンゾイル-ジフェニル-ホスフィンオキサイド等のアシルホスフィンオキサイド系化合物;ベンゾフェノン化合物等が挙げられる。 There are no particular limitations on the photocuring initiator as long as it initiates a reaction by light, but examples include 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-one, 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone, 2-methyl-1-(4-(methylthio)phenyl)-2-morpholinopropanone-1, 2,4-diethylthioxanthone, 2-ethylanthraquinone, and phenanthrenequinone. Aromatic ketones; benzil derivatives such as benzil dimethyl ketal; 2-(o-chlorophenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2-(o-chlorophenyl)-4,5-di(m-methoxyphenyl)imidazole dimer, 2-(o-fluorophenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2-(o-methoxyphenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2-(p-methoxyphenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer, 2,4-di(p-methoxyphenyl) 2,4,5-triarylimidazole dimers such as 2-(2,4-dimethoxyphenyl)-5-phenylimidazole dimer and 2-(2,4-dimethoxyphenyl)-4,5-diphenylimidazole dimer; acridine derivatives such as 9-phenylacridine and 1,7-bis(9,9'-acridinyl)heptane; bisacyl derivatives such as bis(2,6-dimethoxybenzoyl)-2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide and bis(2,4,6-trimethylbenzoyl)-phenylphosphine oxide; Phosphine oxides; alkylphenone compounds such as 1-hydroxy-cyclohexyl-phenyl-ketone and 2-benzyl-2-dimethylamino-1-(4-morpholinophenyl)-butanone-1,2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-[4-(4-morpholinyl)phenyl]-1-butanone; acylphosphine oxide compounds such as 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenyl-phosphine oxide; benzophenone compounds, etc.

(B)成分の配合量は(A)成分100質量部に対して、好ましくは0.1~5.0質量部であり、より好ましくは0.2~4.5質量部であり、更に好ましくは0.5~4.0質量部である。
また、本発明の組成物が後述する(A)成分以外の、マレイミド基と反応しうる反応性基を有する硬化性樹脂を含有する場合、(A)成分及びマレイミド基と反応しうる反応性基を有する硬化性樹脂の合計を硬化性樹脂成分として、(B)成分の配合量は、硬化性樹脂成分100質量部に対して、好ましくは0.1~7.0質量部であり、より好ましくは0.2~6.0質量部であり、更に好ましくは0.5~5.0質量部である。
(A)成分100質量部に対する(B)成分の配合量が0.1質量部未満では硬化の進行が遅くなることがあり、5.0質量部より多くなると保存安定性に欠けるものになってしまう場合がある。
(B)成分は1種単独で用いても、2種以上混合して用いてもよい。
The amount of component (B) blended is preferably 0.1 to 5.0 parts by mass, more preferably 0.2 to 4.5 parts by mass, and even more preferably 0.5 to 4.0 parts by mass, per 100 parts by mass of component (A).
Furthermore, when the composition of the present invention contains a curable resin having a reactive group capable of reacting with a maleimide group other than the component (A) described below, the total of the component (A) and the curable resin having a reactive group capable of reacting with a maleimide group is defined as the curable resin component, and the blending amount of the component (B) is preferably 0.1 to 7.0 parts by mass, more preferably 0.2 to 6.0 parts by mass, and even more preferably 0.5 to 5.0 parts by mass relative to 100 parts by mass of the curable resin component.
If the amount of component (B) is less than 0.1 parts by mass per 100 parts by mass of component (A), the curing process may proceed slowly, whereas if it is more than 5.0 parts by mass, the composition may lack storage stability.
The component (B) may be used alone or in combination of two or more.

その他の添加剤
本発明の硬化性樹脂組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で、更に必要に応じて各種の添加剤を配合することができる。その他の添加剤を以下に例示する。
Other Additives Various additives may be further blended into the curable resin composition of the present invention as necessary within the range not impairing the effects of the present invention. Examples of other additives are listed below.

マレイミド基と反応しうる反応性基を有する硬化性樹脂
本発明ではさらに、マレイミド基と反応しうる反応性基を有する硬化性樹脂を添加してもよい。
硬化性樹脂としてはその種類を限定するものではなく、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、シリコーン樹脂、(A)成分以外のマレイミド化合物を始めとする環状イミド樹脂、ユリア樹脂、熱硬化性ポリイミド樹脂、変性ポリフェニレンエーテル樹脂、(メタ)アクリル樹脂、エポキシ・シリコーンハイブリッド樹脂など(A)成分以外の各種樹脂が挙げられる。また、マレイミド基と反応しうる反応性基としては、エポキシ基、マレイミド基、水酸基、酸無水物基、アリル基やビニル基のようなアルケニル基、(メタ)アクリル基、チオール基などが挙げられる。
Curable resin having a reactive group capable of reacting with a maleimide group In the present invention, a curable resin having a reactive group capable of reacting with a maleimide group may be further added.
The type of the curable resin is not limited, and examples thereof include various resins other than component (A), such as epoxy resins, phenol resins, melamine resins, silicone resins, cyclic imide resins including maleimide compounds other than component (A), urea resins, thermosetting polyimide resins, modified polyphenylene ether resins, (meth)acrylic resins, and epoxy-silicone hybrid resins. Examples of reactive groups that can react with maleimide groups include epoxy groups, maleimide groups, hydroxyl groups, acid anhydride groups, alkenyl groups such as allyl groups and vinyl groups, (meth)acrylic groups, and thiol groups.

反応性の観点から、硬化性樹脂の反応性基は、エポキシ基、マレイミド基、水酸基、及びアルケニル基の中から選ばれるものであることが好ましく、さらに誘電特性の観点からはアルケニル基又は(メタ)アクリル基がより好ましい。
ただし、マレイミド基と反応しうる反応性基を有する硬化性樹脂の配合量は、硬化性樹脂の総和中、0~80質量%である。
From the viewpoint of reactivity, the reactive group of the curable resin is preferably selected from among an epoxy group, a maleimide group, a hydroxyl group, and an alkenyl group, and from the viewpoint of dielectric properties, an alkenyl group or a (meth)acrylic group is more preferable.
However, the blending amount of the curable resin having a reactive group capable of reacting with a maleimide group is 0 to 80 mass % in the total amount of the curable resin.

無機充填材
本発明ではさらに、必要に応じて無機充填材を添加してもよい。無機充填材は、本発明の硬化性樹脂組成物の硬化物の強度や剛性を高めたり、熱膨張係数や硬化物の寸法安定性を調整したりする目的で配合する。無機充填材としては、通常エポキシ樹脂組成物やシリコーン樹脂組成物に配合されるものを使用することができる。例えば、球状シリカ、溶融シリカ及び結晶性シリカ等のシリカ類、アルミナ、窒化珪素、窒化アルミニウム、窒化ホウ素、硫酸バリウム、タルク、クレー、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、ガラス繊維及びガラス粒子等が挙げられる。さらに誘電特性改善のために含フッ素樹脂、コーティングフィラー、及び/又は中空粒子を用いてもよく、導電性の付与などを目的として金属粒子、金属被覆無機粒子、炭素繊維、カーボンナノチューブなどの導電性充填材を添加してもよい。無機充填材は、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。無機充填材の添加量は(A)成分100質量部に対して0~300質量部であればよく、30~300質量部が好ましい。
Inorganic filler In the present invention, an inorganic filler may be added as necessary. The inorganic filler is blended for the purpose of increasing the strength or rigidity of the cured product of the curable resin composition of the present invention, or adjusting the thermal expansion coefficient or dimensional stability of the cured product. As the inorganic filler, those usually blended in epoxy resin compositions or silicone resin compositions can be used. For example, silicas such as spherical silica, fused silica, and crystalline silica, alumina, silicon nitride, aluminum nitride, boron nitride, barium sulfate, talc, clay, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, calcium carbonate, glass fiber, and glass particles can be mentioned. Furthermore, fluorine-containing resins, coating fillers, and/or hollow particles may be used to improve dielectric properties, and conductive fillers such as metal particles, metal-coated inorganic particles, carbon fibers, and carbon nanotubes may be added for the purpose of imparting conductivity. The inorganic filler may be used alone or in combination of two or more types. The amount of inorganic filler added may be 0 to 300 parts by mass relative to 100 parts by mass of component (A), and preferably 30 to 300 parts by mass.

無機充填材の平均粒径及び形状は特に限定されないが、フィルムや基板を成形する場合は特に平均粒径が0.5~5μmの球状シリカが好適に用いられる。なお、平均粒径は、レーザー光回折法による粒度分布測定における質量平均値D50(又はメジアン径)として求めた値である。 The average particle size and shape of the inorganic filler are not particularly limited, but when molding a film or substrate, spherical silica having an average particle size of 0.5 to 5 μm is preferably used. The average particle size is the value determined as the mass average value D50 (or median diameter) in particle size distribution measurement by laser light diffraction method.

さらに無機充填材は特性を向上させるために、マレイミド基と反応しうる有機基を有するシランカップリング剤で表面処理されていることが好ましい。このようなシランカップリング剤としては、エポキシ基含有アルコキシシラン、アミノ基含有アルコキシシラン、(メタ)アクリル基含有アルコキシシラン、及びアルケニル基含有アルコキシシラン等が挙げられる。
前記シランカップリング剤としては、(メタ)アクリル基及び/又はアミノ基含有アルコキシシランが好適に用いられ、具体的には、3-メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3-アクリロキシプロピルトリメトキシシラン、N-フェニル-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、N-2-(アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン等が挙げられる。
Furthermore, in order to improve the properties of the inorganic filler, it is preferable that the inorganic filler is surface-treated with a silane coupling agent having an organic group capable of reacting with a maleimide group. Examples of such silane coupling agents include epoxy group-containing alkoxysilane, amino group-containing alkoxysilane, (meth)acrylic group-containing alkoxysilane, and alkenyl group-containing alkoxysilane.
As the silane coupling agent, a (meth)acrylic group- and/or amino group-containing alkoxysilane is suitably used, and specific examples thereof include 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-acryloxypropyltrimethoxysilane, N-phenyl-3-aminopropyltrimethoxysilane, N-2-(aminoethyl)-3-aminopropyltrimethoxysilane, and 3-aminopropyltrimethoxysilane.

前記シランカップリング剤の配合量としては、特に制限はないが、無機充填材の添加量100質量部に対して0~5質量部であればよく、0.2~2質量部が好ましい。 There are no particular limitations on the amount of the silane coupling agent used, but it should be 0 to 5 parts by mass, and preferably 0.2 to 2 parts by mass, per 100 parts by mass of the inorganic filler added.

その他
上記以外に、無官能シリコーンオイル、反応性希釈剤、熱可塑性樹脂、熱可塑性エラストマー、有機合成ゴム、光増感剤、光安定剤、重合禁止剤、酸化防止剤、難燃剤、顔料、染料、接着助剤、イオントラップ材等を配合してもよい。
また、上述した無機充填材を表面処理するエポキシ基含有アルコキシシラン、アミノ基含有アルコキシシラン、(メタ)アクリル基含有アルコキシシラン及びアルケニル基含有アルコキシシラン等のシランカップリング剤は、別途本発明の硬化性樹脂組成物に配合されていてもよく、具体的なものも上述したものと同様のものが挙げられる。
Others In addition to the above, non-functional silicone oils, reactive diluents, thermoplastic resins, thermoplastic elastomers, organic synthetic rubbers, photosensitizers, light stabilizers, polymerization inhibitors, antioxidants, flame retardants, pigments, dyes, adhesion aids, ion trapping materials, etc. may be blended.
In addition, a silane coupling agent such as an epoxy group-containing alkoxysilane, an amino group-containing alkoxysilane, a (meth)acrylic group-containing alkoxysilane, or an alkenyl group-containing alkoxysilane, which is used to surface treat the above-mentioned inorganic filler, may be separately blended into the curable resin composition of the present invention, and specific examples thereof include the same as those described above.

本発明の硬化性樹脂組成物は、有機溶剤に溶解してワニスとして扱うこともできる。該組成物をワニス化することによってフィルム化しやすくなり、また、Eガラスや低誘電ガラス、石英ガラスなどでできたガラスクロス等の繊維基材へも塗布し、含浸しやすくなる。有機溶剤に関しては(A)成分、(B)成分及びその他の添加剤としてのマレイミド基と反応しうる反応性基を有する硬化性樹脂が溶解するものであれば制限なく使用することができるが、例えば、アニソール、テトラリン、メシチレン、キシレン、トルエン、テトラヒドロフラン(THF)、ジメチルホルムアミド(DMF)、ジメチルスルホキシド(DMSO)、アセトニトリル等が挙げられる。これらは、1種単独で用いてもよいし、2種以上を併用してもよい。 The curable resin composition of the present invention can be dissolved in an organic solvent and treated as a varnish. By making the composition into a varnish, it becomes easier to form a film, and it is also easier to apply and impregnate a fiber substrate such as glass cloth made of E-glass, low dielectric glass, quartz glass, etc. Regarding organic solvents, any organic solvent that dissolves the curable resin having a reactive group that can react with the maleimide group as the component (A) and the component (B) and other additives can be used without restriction. Examples of the organic solvents include anisole, tetralin, mesitylene, xylene, toluene, tetrahydrofuran (THF), dimethylformamide (DMF), dimethyl sulfoxide (DMSO), acetonitrile, etc. These may be used alone or in combination of two or more.

[製造方法]
本発明の硬化性樹脂組成物の製造方法としては、(A)成分及び(B)成分、並びに必要に応じて加えられるその他の添加剤を、例えば、プラネタリーミキサー(井上製作所(株)製)や、攪拌機THINKY CONDITIONING MIXER(シンキー(株)製)を使用して混合する方法が挙げられる。
[Manufacturing method]
Examples of a method for producing the curable resin composition of the present invention include a method in which the components (A) and (B) and other additives added as necessary are mixed using, for example, a planetary mixer (manufactured by Inoue Seisakusho Co., Ltd.) or a mixer such as a THINKY CONDITIONING MIXER (manufactured by Thinky Corporation).

[未硬化樹脂フィルム/硬化樹脂フィルム]
本発明の硬化性樹脂組成物は、前述のワニスを基材に塗工し、有機溶剤を揮発させることで未硬化樹脂シート又は未硬化樹脂フィルムにしたり、さらにそれを硬化させることで硬化樹脂シート又は硬化樹脂フィルムとしたりすることができる。以下にシート及びフィルムの製造方法を例示するが、これに限定されるものではない。
[Uncured resin film/cured resin film]
The curable resin composition of the present invention can be made into an uncured resin sheet or an uncured resin film by applying the above-mentioned varnish to a substrate and volatilizing the organic solvent, and can be made into a cured resin sheet or a cured resin film by curing the uncured resin sheet or the cured resin film. Examples of the manufacturing method of the sheet and the film are shown below, but are not limited thereto.

例えば、有機溶剤に溶解した硬化性樹脂組成物(ワニス)を基材に塗布した後、通常80℃以上、好ましくは100℃以上の温度で0.5~20分加熱することによって有機溶剤を除去し、さらに130℃以上、好ましくは150℃以上の温度で0.5~10時間加熱することで、表面が平坦で強固な樹脂硬化皮膜を形成することができる。
有機溶剤を除去するための乾燥工程、及びその後の加熱硬化工程での温度は、それぞれ一定であってもよいが、段階的に温度を上げていくことが好ましい。これにより、有機溶剤を効率的に組成物外に除去するとともに、樹脂の硬化反応を効率よく進めることができる。
ワニスの塗布方法として、スピンコーター、スリットコーター、スプレー、ディップコーター、バーコーター等が挙げられるが特に制限はない。
For example, a curable resin composition (varnish) dissolved in an organic solvent is applied to a substrate, and then the organic solvent is removed by heating for 0.5 to 20 minutes at a temperature of usually 80° C. or higher, preferably 100° C. or higher, and then further heating for 0.5 to 10 hours at a temperature of 130° C. or higher, preferably 150° C. or higher, to form a strong cured resin coating having a flat surface.
The temperatures in the drying step for removing the organic solvent and the subsequent heat curing step may each be constant, but it is preferable to increase the temperature stepwise, which allows the organic solvent to be efficiently removed from the composition and allows the curing reaction of the resin to proceed efficiently.
The method for applying the varnish includes, but is not limited to, a spin coater, a slit coater, a spray, a dip coater, a bar coater, and the like.

基材としては、一般的な樹脂基材を用いることができ、例えばポリエチレン(PE)樹脂、ポリプロピレン(PP)樹脂、ポリスチレン(PS)樹脂などのポリオレフィン樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、ポリブチレンテレフタレート(PBT)樹脂、ポリカーボネート(PC)樹脂などのポリエステル樹脂、などが挙げられる。該基材の表面を離形処理していてもかまわない。また、塗工層の厚さも特に限定されないが、溶剤留去後の厚さが1~100μm、好ましくは3~80μmの範囲である。さらに塗工層の上にカバーフィルムを使用してもかまわない。 As the substrate, a general resin substrate can be used, for example, polyolefin resins such as polyethylene (PE) resin, polypropylene (PP) resin, and polystyrene (PS) resin, and polyester resins such as polyethylene terephthalate (PET) resin, polybutylene terephthalate (PBT) resin, and polycarbonate (PC) resin. The surface of the substrate may be subjected to a release treatment. The thickness of the coating layer is not particularly limited, but the thickness after distillation of the solvent is in the range of 1 to 100 μm, preferably 3 to 80 μm. Furthermore, a cover film may be used on the coating layer.

他にも、各成分をあらかじめ予備混合し、溶融混練機を用いてシート状又はフィルム状に押し出して未硬化樹脂フィルム又は硬化樹脂フィルムを作製してもよい。 Alternatively, the components may be premixed and extruded into a sheet or film using a melt kneader to produce an uncured or cured resin film.

本発明の硬化性樹脂組成物の硬化により得られる硬化皮膜は、耐熱性、機械的特性、電気的特性、基材に対する接着性及び耐溶剤性に優れている上、低比誘電率を有している。そのため、例えば半導体装置、具体的には半導体素子表面のパッシベーション膜や保護膜、ダイオード、トランジスタ等の接合部のジャンクション保護膜、VLSIのα線遮蔽膜、層間絶縁膜、イオン注入マスク等のほか、プリントサーキットボードのコンフォーマルコート、液晶表面素子の配向膜、ガラスファイバーの保護膜、太陽電池の表面保護膜に応用することができる。更に、前記硬化性樹脂組成物に無機フィラーを配合した印刷用ペースト組成物、導電性充填材を配合した導電性ペースト組成物といったペースト組成物など幅広い範囲に応用することもできる。中でも接着剤用途が好ましい。 The cured film obtained by curing the curable resin composition of the present invention has excellent heat resistance, mechanical properties, electrical properties, adhesion to substrates, and solvent resistance, and also has a low dielectric constant. Therefore, it can be applied to, for example, semiconductor devices, specifically, passivation films and protective films on the surface of semiconductor elements, junction protective films for junctions of diodes and transistors, alpha-ray shielding films for VLSIs, interlayer insulating films, ion implantation masks, etc., as well as conformal coats for printed circuit boards, alignment films for liquid crystal surface elements, protective films for glass fibers, and surface protective films for solar cells. Furthermore, it can be applied to a wide range of paste compositions, such as a printing paste composition in which an inorganic filler is blended with the curable resin composition, and a conductive paste composition in which a conductive filler is blended. Among these, adhesive applications are preferred.

また、未硬化の状態でフィルム状又はシート状にでき、自己接着性があり、誘電特性にも優れることから、特にフレキシブルプリント配線板(FPC)用などのボンディングフィルムやリジッド基板の層間絶縁材料などに好適に用いることができる。また、硬化樹脂フィルムはカバーレイフィルムとして使用することもできる。 In addition, it can be made into a film or sheet in an uncured state, and has self-adhesive properties and excellent dielectric properties, making it particularly suitable for use as a bonding film for flexible printed circuit boards (FPCs) and as an interlayer insulating material for rigid substrates. The cured resin film can also be used as a coverlay film.

他にも、ワニス化した硬化性樹脂組成物をEガラスや低誘電ガラス、石英ガラスなどでできたガラスクロス等の繊維基材へ含浸し、有機溶剤を除去し半硬化状態にすることでプリプレグとして使用することもできる。また、そのプリプレグや銅箔などを積層させることで高多層のものを含む積層板やプリント配線板を作製することができる。 In addition, the varnished curable resin composition can be used as a prepreg by impregnating a fiber substrate such as glass cloth made of E-glass, low dielectric glass, or quartz glass, removing the organic solvent, and semi-curing the substrate. In addition, laminates and printed wiring boards, including those with high multilayers, can be produced by laminating the prepreg and copper foil.

[プリプレグ]
本発明の一実施形態にかかるプリプレグの概略端面図を図1に示す。プリプレグ1は、硬化性樹脂組成物2と繊維基材3とを備える。硬化性樹脂組成物2は、前記硬化性樹脂組成物又は該樹脂組成物の半硬化物である。
なお、半硬化物とは、樹脂組成物をさらに硬化しうる程度に途中まで硬化された状態のものである。すなわち、半硬化物は、樹脂組成物を半硬化した状態、いわゆるBステージ化されたものである。一方、未硬化の状態をAステージということもある。
すなわち、硬化性樹脂組成物2はAステージ状態の前記硬化性樹脂組成物であってもよいし、Bステージ状態の前記硬化性樹脂組成物でであってもよい。
[Prepreg]
A schematic end view of a prepreg according to one embodiment of the present invention is shown in Fig. 1. The prepreg 1 includes a curable resin composition 2 and a fiber base material 3. The curable resin composition 2 is the curable resin composition or a semi-cured product of the resin composition.
The term "semi-cured product" refers to a resin composition that has been partially cured to such an extent that it can be further cured. In other words, the semi-cured product refers to a resin composition that has been semi-cured, or in other words, in the B stage. On the other hand, the uncured state is sometimes called the A stage.
That is, the curable resin composition 2 may be the curable resin composition in an A-stage state, or may be the curable resin composition in a B-stage state.

繊維基材3は前述の通り、Eガラス、低誘電ガラス、石英ガラス、さらにはSガラス、Tガラスなどが挙げられ、使うガラスの種類を問わないが、硬化性樹脂組成物の特性を生かす観点から低誘電特性を有する石英ガラスクロスが好ましい。なお、一般的に使用される繊維基材の厚さは、例えば、0.01mm以上、0.3mm以下である。 As mentioned above, the fiber substrate 3 can be E-glass, low dielectric glass, quartz glass, S-glass, T-glass, etc., and the type of glass used is not important, but quartz glass cloth, which has low dielectric properties, is preferred from the viewpoint of taking advantage of the properties of the curable resin composition. The thickness of the fiber substrate that is generally used is, for example, 0.01 mm or more and 0.3 mm or less.

プリプレグ1を製造する際には、プリプレグを形成するための基材である繊維基材3に含浸するために、硬化性樹脂組成物2は、ワニス状に調製された樹脂ワニスとすることが好ましい。このようなワニス状の樹脂組成物(樹脂ワニス)は、例えば、以下のようにして調製される。
まず、樹脂組成物の組成のうち有機溶媒に溶解できる各成分を、有機溶媒に投入して溶解させる。この際、必要に応じて、加熱してもよい。その後、必要に応じて用いられる、無機充填材など有機溶媒に溶解しない成分を添加して、ボールミル、ビーズミル、プラネタリーミキサー、ロールミル等を用いて、所定の分散状態になるまで分散させることにより、ワニス状の樹脂組成物(樹脂ワニス)が調製される。ここで用いられる有機溶媒としては、硬化反応を阻害しないものであれば、特に限定されない。具体的には、例えば、トルエン、メチルエチルケトン(MEK)、キシレン及びアニソールが挙げられる。
When producing the prepreg 1, the curable resin composition 2 is preferably prepared as a resin varnish in a varnish form in order to impregnate the fiber base material 3, which is a base material for forming the prepreg. Such a varnish-like resin composition (resin varnish) is prepared, for example, as follows.
First, each component of the resin composition that can be dissolved in an organic solvent is put into the organic solvent and dissolved. At this time, heating may be performed as necessary. Then, a component that is not dissolved in an organic solvent, such as an inorganic filler, is added as necessary, and dispersed until a predetermined dispersion state is reached using a ball mill, a bead mill, a planetary mixer, a roll mill, or the like, to prepare a varnish-like resin composition (resin varnish). The organic solvent used here is not particularly limited as long as it does not inhibit the curing reaction. Specific examples include toluene, methyl ethyl ketone (MEK), xylene, and anisole.

プリプレグ1を製造する方法としては、例えば、硬化性樹脂組成物2、例えば、ワニス状に調製された硬化性樹脂組成物2を繊維基材3に含浸させた後、乾燥する方法が挙げられる。硬化性樹脂組成物2は、繊維基材3へ、浸漬及び塗布等によって含浸される。必要に応じて複数回繰り返して含浸することも可能である。また、この際、組成や濃度の異なる複数の樹脂組成物を用いて含浸を繰り返すことにより、最終的に所望の組成及び含浸量に調整することも可能である。硬化性樹脂組成物(樹脂ワニス)2が含浸された繊維基材3は、所望の加熱条件、例えば、80℃以上180℃以下で1分間以上20分間以下加熱される。加熱によって、硬化前(Aステージ)又は半硬化状態(Bステージ)の硬化性樹脂組成物2を備えるプリプレグ1が得られる。なお、前記加熱によって、前記樹脂ワニスから有機溶媒を揮発させ、有機溶媒を減少又は除去させることができる。 As a method for producing the prepreg 1, for example, a method of impregnating the fiber substrate 3 with the curable resin composition 2, for example, the curable resin composition 2 prepared in a varnish form, and then drying the same can be mentioned. The curable resin composition 2 is impregnated into the fiber substrate 3 by immersion, coating, etc. It is also possible to repeat the impregnation several times as necessary. In addition, at this time, it is also possible to adjust to the desired composition and impregnation amount by repeating the impregnation using several resin compositions with different compositions and concentrations. The fiber substrate 3 impregnated with the curable resin composition (resin varnish) 2 is heated under the desired heating conditions, for example, at 80°C or higher and 180°C or lower for 1 minute or longer and 20 minutes or shorter. By heating, a prepreg 1 having the curable resin composition 2 in a pre-cured (A stage) or semi-cured (B stage) state can be obtained. In addition, the organic solvent can be volatilized from the resin varnish by the heating, and the organic solvent can be reduced or removed.

[積層板]
本発明の一実施形態にかかる積層板は、前記硬化性樹脂組成物の硬化物を含む絶縁層又は前記硬化性樹脂組成物の硬化物からなる絶縁層と、絶縁層以外の層とを積層したものである。一般的によく知られている積層板は、金属張積層板であり、その概略端面図を図2に示す。金属張積層板11は、前記硬化性樹脂組成物の硬化物を含む又はからなる絶縁層12と、該絶縁層12の両面に金属箔13とを備える。図2には絶縁層12の両面に金属箔13を備える両面金属張積層板を図示したが、絶縁層12の片面にのみ金属箔13を備える片面金属張積層板であってもよい。
また、絶縁層12は、該硬化性樹脂組成物の硬化物からなるものであってもよいし、前述のプリプレグの硬化物からなるものであってもよく、さらにプリプレグ1の硬化物を複数枚積層させたものであってもよい。また、前記金属箔13の厚みは、最終的に得られる配線板に求められる性能等に応じて異なり、特に限定されない。前記金属箔13の厚みは、所望の目的に応じて、適宜設定することができ、例えば、1~70μmであることが好ましい。また、前記金属箔13としては、例えば、銅箔及びアルミニウム箔等が挙げられ、前記金属箔が薄い場合は、ハンドリング性を向上のために剥離層及びキャリアを備えたキャリア付銅箔であってもよい。
このような積層板を製造する方法としては、一般的な方法であれば特に限定されない。例えば、プリプレグを使用する場合、プリプレグ1(図1)を1枚又は複数枚重ね、さらに、その上下の両面又は片面に銅箔等の金属箔13を重ね、加熱加圧成形して積層一体化することによって、積層板を製造する方法等が挙げられる。
[Laminate]
The laminate according to one embodiment of the present invention is a laminate in which an insulating layer containing a cured product of the curable resin composition or an insulating layer made of a cured product of the curable resin composition is laminated with a layer other than the insulating layer. A commonly known laminate is a metal-clad laminate, and a schematic end view thereof is shown in FIG. 2. The metal-clad laminate 11 includes an insulating layer 12 containing or made of a cured product of the curable resin composition, and metal foils 13 on both sides of the insulating layer 12. Although FIG. 2 illustrates a double-sided metal-clad laminate having metal foils 13 on both sides of the insulating layer 12, the laminate may be a single-sided metal-clad laminate having metal foils 13 only on one side of the insulating layer 12.
The insulating layer 12 may be made of a cured product of the curable resin composition, may be made of a cured product of the prepreg, or may be made by laminating a plurality of cured products of the prepreg 1. The thickness of the metal foil 13 varies depending on the performance required for the final wiring board, and is not particularly limited. The thickness of the metal foil 13 can be appropriately set depending on the desired purpose, and is preferably, for example, 1 to 70 μm. Examples of the metal foil 13 include copper foil and aluminum foil, and when the metal foil is thin, it may be a carrier-attached copper foil having a release layer and a carrier to improve handling properties.
The method for producing such a laminate is not particularly limited as long as it is a general method. For example, when a prepreg is used, a laminate can be produced by stacking one or more prepregs 1 (FIG. 1), stacking a metal foil 13 such as a copper foil on either or both sides of the prepreg 1, and then heating and pressing the stacked sheets to form an integrated laminate.

[プリント配線板]
本発明の一実施形態のプリント配線板は、前記硬化性樹脂組成物の硬化物を含むものであり、その一例として、前記積層板、特に図2に示す金属張積層板を使用して製造されるプリント配線板の概略端面図を図3に示す。前記のように、プリント配線板の製造に使用される金属張積層板の絶縁層12は、前述のプリプレグを使用して製造されたものであってもよい。プリント配線板21は、公知の方法によって、穴開け加工、金属めっき加工、金属箔のエッチング等による回路形成加工及び多層化接着加工を行うことによって製造することができる。
[Printed wiring board]
The printed wiring board according to one embodiment of the present invention contains a cured product of the curable resin composition, and as an example thereof, a schematic end view of a printed wiring board manufactured using the laminate, particularly the metal-clad laminate shown in FIG. 2, is shown in FIG. 3. As described above, the insulating layer 12 of the metal-clad laminate used in the manufacture of the printed wiring board may be manufactured using the prepreg described above. The printed wiring board 21 can be manufactured by performing a circuit formation process and a multi-layer adhesive process by a known method, such as drilling, metal plating, and etching of metal foil.

[半導体封止材]
本発明の硬化性樹脂組成物を半導体封止材に使用する場合は、(A)成分、(B)成分及び必要に応じてその他の成分を所定の組成比で配合し、ミキサー等によって十分に均一に混合した後、熱ロール、ニーダー、エクストルーダー等による溶融混合し、次いで冷却固化させ、適当な大きさに粉砕すればよい。得られた樹脂組成物は封止材料として使用できる。
[Semiconductor encapsulation material]
When the curable resin composition of the present invention is used as a semiconductor encapsulant, the components (A) and (B) and, if necessary, other components are blended in a predetermined composition ratio, thoroughly and uniformly mixed with a mixer or the like, then melt-mixed with a hot roll, kneader, extruder, etc., and then cooled and solidified, and pulverized to an appropriate size. The resulting resin composition can be used as an encapsulant.

半導体封止材として一般的な成形方法としては、トランスファー成形法や圧縮成形法が挙げられる。トランスファー成形法では、トランスファー成形機を用い、成形圧力5~20N/mm2、成形温度120~190℃で成形時間30~500秒、好ましくは成形温度150~185℃で成形時間30~180秒で行う。また、圧縮成形法では、コンプレッション成形機を用い、成形温度は120~190℃で成形時間30~600秒、好ましくは成形温度130~160℃で成形時間120~300秒で行う。更に、いずれの成形法においても、後硬化を150~225℃で0.5~20時間行ってもよい。 Examples of typical molding methods for semiconductor encapsulation materials include transfer molding and compression molding. In the transfer molding method, a transfer molding machine is used, and molding pressure is 5 to 20 N/mm 2 , molding temperature is 120 to 190° C., molding time is 30 to 500 seconds, preferably molding temperature is 150 to 185° C., molding time is 30 to 180 seconds. In the compression molding method, a compression molding machine is used, and molding temperature is 120 to 190° C., molding time is 30 to 600 seconds, preferably molding temperature is 130 to 160° C., molding time is 120 to 300 seconds. In addition, in either molding method, post-curing may be performed at 150 to 225° C. for 0.5 to 20 hours.

以下、実施例及び比較例を示し、本発明を具体的に説明するが、本発明は下記の実施例に制限されるものではない。 The present invention will be specifically explained below with examples and comparative examples, but the present invention is not limited to the following examples.

実施例及び比較例で使用した各成分を以下に示す。尚、以下において数平均分子量(Mn)はポリスチレンを基準として、下記測定条件により測定されたものである。
[測定条件]
展開溶媒:テトラヒドロフラン(THF)
流量:0.35mL/min
検出器:示差屈折率検出器(RI)
カラム:TSK Guardcolumn SuperH-L
TSKgel SuperHZ4000(4.6mmI.D.×15cm×1)
TSKgel SuperHZ3000(4.6mmI.D.×15cm×1)
TSKgel SuperHZ2000(4.6mmI.D.×15cm×2)
(いずれも東ソー社製)
カラム温度:40℃
試料注入量:5μL(濃度0.2質量%のTHF溶液)
The components used in the examples and comparative examples are shown below. In the following, the number average molecular weight (Mn) was measured under the following measurement conditions using polystyrene as the standard.
[Measurement conditions]
Developing solvent: tetrahydrofuran (THF)
Flow rate: 0.35mL/min
Detector: Refractive index detector (RI)
Column: TSK Guard column Super H-L
TSKgel SuperHZ4000 (4.6mm I.D. x 15cm x 1)
TSKgel SuperHZ3000 (4.6mm I.D. x 15cm x 1)
TSKgel SuperHZ2000 (4.6mm I.D. x 15cm x 2)
(Both manufactured by Tosoh Corporation)
Column temperature: 40°C
Sample injection volume: 5 μL (THF solution with a concentration of 0.2% by mass)

また、ダイマー割合(ダイマー:トリマーの質量比)は、下記測定条件で行ったガスクロマトグラフィー(GC)測定のピーク面積比から算出した。
[測定条件]
装置:GC-2014(島津製作所製)
カラム:DB-5 30m×0.25mm×0.25μm
気化室温度:280℃
温度:50℃→10℃/分→300℃、20分保持
カラム流量:1.00mL/分
パージ流量:3.00mL/分
The dimer ratio (mass ratio of dimer:trimer) was calculated from the peak area ratio in gas chromatography (GC) measurement performed under the following measurement conditions.
[Measurement conditions]
Equipment: GC-2014 (Shimadzu Corporation)
Column: DB-5 30m x 0.25mm x 0.25μm
Vaporization chamber temperature: 280°C
Temperature: 50° C. → 10° C./min → 300° C., held for 20 min. Column flow rate: 1.00 mL/min Purge flow rate: 3.00 mL/min

アミン化合物
合成例では、以下の操作により得たアミン化合物又は市販のアミン化合物を使用した。
[アミン化合物1]
Priamine-1075(クローダジャパン(株)製、水添処理済、ダイマー:トリマー≒98:2)
[アミン化合物2]
Priamine-1074(クローダジャパン(株)製、水添処理済、ダイマー:トリマー≒95:5)
[アミン化合物3]
Priamine-1075 300gを、200℃で60分間薄膜蒸留し、アミン化合物3を得た。アミン化合物3の主鎖は水添処理されたものであって、ダイマー:トリマー≒99.2:0.8であった。
[アミン化合物4]
Priamine-1075 80g及びPriamine-1074 161gを混合したものをアミン化合物4として得た。アミン化合物4の主鎖は水添処理されたものであって、ダイマー:トリマー≒96:4であった。
[アミン化合物1'(比較例用)]
Priamine-1073(クローダジャパン(株)製、水添処理なし、ダイマー:トリマー≒95:5)
[アミン化合物2'(比較例用)]
Priamine-1071(クローダジャパン(株)製、水添処理なし、ダイマー:トリマー≒80:20)
[アミン化合物3'(比較例用)]
Priamine-1071 300gを、180℃で60分間薄膜蒸留し、その後、ラネーニッケルにより水素化し、アミン化合物3'を得た。アミン化合物3'の主鎖は水添処理されたものであって、ダイマー:トリマー≒93:7であった。
Amine Compounds In the synthesis examples, amine compounds obtained by the following procedures or commercially available amine compounds were used.
[Amine compound 1]
Priamine-1075 (manufactured by Croda Japan Co., Ltd., hydrogenated, dimer:trimer ≒ 98:2)
[Amine compound 2]
Priamine-1074 (manufactured by Croda Japan Co., Ltd., hydrogenated, dimer:trimer ≒ 95:5)
[Amine compound 3]
300 g of Priamine-1075 was subjected to thin-film distillation at 200° C. for 60 minutes to obtain amine compound 3. The main chain of amine compound 3 was hydrogenated, and the ratio of dimer:trimer was approximately 99.2:0.8.
[Amine compound 4]
A mixture of 80 g of Priamine-1075 and 161 g of Priamine-1074 was obtained as amine compound 4. The main chain of amine compound 4 was hydrogenated, and the ratio of dimer:trimer was approximately 96:4.
[Amine Compound 1' (for Comparative Example)]
Priamine-1073 (manufactured by Croda Japan Co., Ltd., not hydrogenated, dimer:trimer ≒ 95:5)
[Amine compound 2' (for comparison)]
Priamine-1071 (manufactured by Croda Japan Co., Ltd., not hydrogenated, dimer:trimer ≒ 80:20)
[Amine Compound 3' (for Comparative Example)]
300 g of Priamine-1071 was subjected to thin-film distillation at 180° C. for 60 minutes, and then hydrogenated with Raney nickel to obtain amine compound 3′. The main chain of amine compound 3′ was hydrogenated, and the ratio of dimer:trimer was approximately 93:7.

(A)マレイミド化合物
前記アミン化合物を原料として、以下の操作によりマレイミド化合物を合成した。なお、各合成例で得られたマレイミド化合物は、式(1)中のAがダイマー酸及びトリマー酸由来の炭化水素基であって、表1に示すダイマー割合を有し、基Aの水添処理の有無も表1に示す通りのものであり、式(1)中のBが各合成例のテトラカルボン酸無水物に由来する環状構造を有する4価の有機基であるものであった。

[合成例1]
攪拌機、ディーンスターク管、冷却コンデンサー及び温度計を備えた1Lのガラス製4つ口フラスコに、アミン化合物1 241g(0.45モル)、ピロメリット酸無水物87g(0.4モル)、メタンスルホン酸20g及びトルエン300gを加え、110℃に昇温し、副生した水分を留去しながら24時間撹拌した。反応後、無水マレイン酸97g(0.99モル)を加え、110℃で副生した水分を留去しながら6時間撹拌し、反応液を200gのイオン交換水を用いて5回水洗した。その後、ヘキサンに再沈殿することで黄色固体の目的物(A-1)を300g(収率90%、Mn=5000、式(1)中のn=7)得た。
(A) Maleimide Compound Using the amine compound as a raw material, a maleimide compound was synthesized by the following operation. Note that, in the maleimide compound obtained in each synthesis example, A in formula (1) is a hydrocarbon group derived from a dimer acid and a trimer acid, has a dimer ratio shown in Table 1, the presence or absence of hydrogenation of group A is also shown in Table 1, and B in formula (1) is a tetravalent organic group having a cyclic structure derived from the tetracarboxylic acid anhydride of each synthesis example.

[Synthesis Example 1]
A 1L glass four-neck flask equipped with a stirrer, a Dean-Stark tube, a cooling condenser and a thermometer was charged with 241 g (0.45 mol) of amine compound 1, 87 g (0.4 mol) of pyromellitic anhydride, 20 g of methanesulfonic acid and 300 g of toluene, and the mixture was heated to 110 ° C. and stirred for 24 hours while distilling off the by-produced water. After the reaction, 97 g (0.99 mol) of maleic anhydride was added, and the mixture was stirred for 6 hours while distilling off the by-produced water at 110 ° C., and the reaction solution was washed five times with 200 g of ion-exchanged water. Thereafter, 300 g of the target product (A-1) was obtained as a yellow solid by reprecipitation in hexane (yield 90%, Mn = 5000, n = 7 in formula (1)).

[合成例2]
攪拌機、ディーンスターク管、冷却コンデンサー及び温度計を備えた1Lのガラス製4つ口フラスコに、アミン化合物1 428g(0.8モル)、4,4’-オキシジフタル酸無水物186g(0.6モル)、メタンスルホン酸20g及びトルエン200gを加え、110℃に昇温し、副生した水分を留去しながら24時間撹拌した。反応後、無水マレイン酸97.2g(0.99モル)を加え、110℃で副生した水分を留去しながら6時間撹拌し、反応液を200gのイオン交換水を用いて5回水洗した。その後、80℃の減圧ストリップにより室温で褐色固体の目的物(A-2)を540g(収率87%、Mn=3000、式(1)中のn=3)得た。
[Synthesis Example 2]
In a 1L glass four-neck flask equipped with a stirrer, a Dean-Stark tube, a cooling condenser and a thermometer, 428 g (0.8 mol) of amine compound 1, 186 g (0.6 mol) of 4,4'-oxydiphthalic anhydride, 20 g of methanesulfonic acid and 200 g of toluene were added, and the mixture was heated to 110°C and stirred for 24 hours while distilling off the by-produced water. After the reaction, 97.2 g (0.99 mol) of maleic anhydride was added, and the mixture was stirred for 6 hours at 110°C while distilling off the by-produced water, and the reaction solution was washed five times with 200 g of ion-exchanged water. Thereafter, 540 g (yield 87%, Mn = 3000, n = 3 in formula (1)) of the target product (A-2) was obtained as a brown solid at room temperature by vacuum stripping at 80°C.

[合成例3]
合成例1のアミン化合物1を、等モル量のアミン化合物2に変えたのみで他は同様に操作することで、黄色固体の目的物(A-3)を290g(収率88%、Mn=5300、式(1)中のn=7)得た。
[Synthesis Example 3]
The same procedure was carried out except that the amine compound 1 in Synthesis Example 1 was replaced with an equimolar amount of amine compound 2, thereby obtaining 290 g (yield 88%, Mn=5,300, n=7 in formula (1)) of the target product (A-3) as a yellow solid.

[合成例4]
合成例1のアミン化合物1を、等モル量のアミン化合物3に変えたのみで他は同様に操作することで、黄色固体の目的物(A-4)を280g(収率85%、Mn=4500、式(1)中のn=6)得た。
[Synthesis Example 4]
The same procedure was carried out except that the amine compound 1 in Synthesis Example 1 was replaced with an equimolar amount of amine compound 3, thereby obtaining 280 g (yield 85%, Mn=4500, n=6 in formula (1)) of the target product (A-4) as a yellow solid.

[合成例5]
合成例1のアミン化合物1 241gを、アミン化合物4 241gに変えたのみで他は同様に操作することで、黄色固体の目的物(A-5)を290g(収率88%、Mn=5000、式(1)中のn=7)得た。
[Synthesis Example 5]
The same procedure was carried out as in Synthesis Example 1, except that 241 g of amine compound 1 was replaced with 241 g of amine compound 4, to obtain 290 g of the target product (A-5) as a yellow solid (yield 88%, Mn=5000, n=7 in formula (1)).

[合成例6]
合成例2のアミン化合物1を、等モル量のアミン化合物3に変えたのみで他は同様に操作することで、褐色固体の目的物(A-6)を530g(収率86%、Mn=3000、式(1)中のn=3)得た。
[Synthesis Example 6]
The same procedure was carried out except that the amine compound 1 in Synthesis Example 2 was replaced with an equimolar amount of amine compound 3, thereby obtaining 530 g (yield 86%, Mn=3000, n=3 in formula (1)) of the target product (A-6) as a brown solid.

[比較合成例1]
合成例1のアミン化合物1を、等モル量のアミン化合物1'に変えたのみで他は同様に操作することで、黄色固体の目的物(A’-1)を290g(収率88%、Mn=6000、式(1)中のn=8、比較例用)得た。
[Comparative Synthesis Example 1]
The same procedure was carried out except that the amine compound 1 in Synthesis Example 1 was replaced with an equimolar amount of amine compound 1', thereby obtaining 290 g of the target product (A'-1) as a yellow solid (yield 88%, Mn = 6000, n in formula (1) = 8, for comparative example).

[比較合成例2]
合成例1のアミン化合物1を、等モル量のアミン化合物2'に変えたのみで他は同様に操作することで、黄色固体の目的物(A’-2)を300g(収率90%、Mn=7000、式(1)中のn=9、比較例用)得た。
[Comparative Synthesis Example 2]
The same procedure was carried out except that the amine compound 1 in Synthesis Example 1 was replaced with an equimolar amount of amine compound 2', thereby obtaining 300 g of the target product (A'-2) as a yellow solid (yield 90%, Mn = 7000, n in formula (1) = 9, for comparative example).

[比較合成例3]
合成例1のアミン化合物1を、等モル量のアミン化合物3'に変えたのみで他は同様に操作することで、黄色固体の目的物(A’-3)を290g(収率88%、Mn=7000、式(1)中のn=9、比較例用)得た。
[Comparative Synthesis Example 3]
The same procedure was followed except that the amine compound 1 in Synthesis Example 1 was replaced with an equimolar amount of amine compound 3', thereby obtaining 290 g of the target product (A'-3) as a yellow solid (yield 88%, Mn = 7000, n in formula (1) = 9, for comparison).

[比較合成例4]
合成例2のアミン化合物1を、等モル量のアミン化合物2'に変えたのみで他は同様に操作することで、褐色固体の目的物(A’-4)を530g(収率86%、Mn=4000、式(1)中のn=4、比較例用)得た。
[Comparative Synthesis Example 4]
The same procedure was carried out except that the amine compound 1 in Synthesis Example 2 was replaced with an equimolar amount of amine compound 2', thereby obtaining 530 g of the target product (A'-4) as a brown solid (yield 86%, Mn = 4000, n in formula (1) = 4, for comparative example).

(B)触媒
(B-1):2,5-ジメチル-2,5-ジ(t-ブチルパーオキシ)ヘキサン(商品名:トリゴノックス101、化薬ヌーリオン(株)製)
(B) Catalyst (B-1): 2,5-dimethyl-2,5-di(t-butylperoxy)hexane (product name: Trigonox 101, manufactured by Kayaku Nouryon Co., Ltd.)

<サンプルの調製>
表2の配合比で各成分をプラスチック容器に入れ、シンキーミキサー((株)シンキー製、製品名あわとり練太郎ARE-310)を用いて混合し、各樹脂組成物を調製した。
<Sample preparation>
The components were placed in a plastic container in the blending ratios shown in Table 2 and mixed using a Thinky Mixer (manufactured by Thinky Corporation, product name: Awatori Rentaro ARE-310) to prepare each resin composition.

<貯蔵弾性率>
50mm×50mm、1mm厚の枠を用意し、各樹脂組成物を厚さ50μmの離型処理されたPETフィルム(E7006、東洋紡製)2枚で挟み込んで、真空プレス機(ニッコー・マテリアルズ製)を用いて160℃で5分の条件で成形し、硬化物を作製した。作製した硬化物を20mm長×5mm幅×1mm厚にカットし、動的粘弾性測定装置DMA-Q800(TA Instruments製)を用い、温度範囲-50℃~200℃、周波数10Hz、昇温速度5℃/分で25℃における貯蔵弾性率を測定した。
<Storage modulus>
A 50 mm x 50 mm, 1 mm thick frame was prepared, and each resin composition was sandwiched between two 50 μm thick release-treated PET films (E7006, manufactured by Toyobo), and molded using a vacuum press (manufactured by Nikko Materials) at 160 ° C for 5 minutes to produce a cured product. The produced cured product was cut into a size of 20 mm long x 5 mm wide x 1 mm thick, and the storage modulus at 25 ° C was measured using a dynamic viscoelasticity measuring device DMA-Q800 (manufactured by TA Instruments) at a temperature range of -50 ° C to 200 ° C, a frequency of 10 Hz, and a heating rate of 5 ° C / min.

<硬度>
50mm径×10mm厚のアルミニウム製シャーレに調製した各樹脂組成物を流し込み、160℃で5分の条件で成形し、硬化物を作製した。得られた硬化物の硬さをJIS K 6253-3:2012に記載の方法に準拠して、デュロメータタイプD硬度計を用いて25℃で測定した。
<Hardness>
Each prepared resin composition was poured into an aluminum petri dish having a diameter of 50 mm and a thickness of 10 mm, and molded at 160° C. for 5 minutes to produce a cured product. The hardness of the obtained cured product was measured at 25° C. using a durometer type D hardness tester in accordance with the method described in JIS K 6253-3:2012.

<反り特性>
調製した各樹脂組成物を350mm×350mm、100μm厚になるようにフィルム状に塗工した。塗工したフィルムをフィルムラミネーターV-100(ニッコー・マテリアルズ製)を使って、直径300mm、厚さ750μmのシリコンウエハー上にラミネートし、160℃で5分加熱することでシリコンウエハー上に硬化物を作製した。作製した硬化物を25℃まで冷却したあと、シリコンウエハーの一端を机に固定し、固定していないシリコンウエハーの他端の机からの距離(高さ)を測定し、該高さが5mm以下であれば良、5mmより大きければ不良とした。
<Warpage characteristics>
Each prepared resin composition was coated in a film shape of 350 mm x 350 mm and 100 μm thick. The coated film was laminated on a silicon wafer of 300 mm diameter and 750 μm thickness using a film laminator V-100 (manufactured by Nikko Materials), and heated at 160 ° C for 5 minutes to prepare a cured product on the silicon wafer. After cooling the prepared cured product to 25 ° C, one end of the silicon wafer was fixed to a desk, and the distance (height) from the desk to the other end of the silicon wafer that was not fixed was measured, and if the height was 5 mm or less, it was judged as good, and if it was greater than 5 mm, it was judged as bad.

<耐クラック性>
32mm×32mm、厚さ1.6mm厚のガラスエポキシプリント配線基板に10mm×10mm、厚さ0.75mmのシリコンチップを搭載したもの準備し、160℃、6.9N/mm2、硬化時間5分間の条件でトランスファー成形し、硬化性樹脂の成形サイズが28×28mm、成形厚さが1.2mmの半導体装置を作製した。作製した半導体装置20個について、-40℃/30分、150℃/30分、1,000サイクルのサーマルサイクル試験(TCT)をそれぞれ行い、硬化性樹脂にクラックが生じた半導体装置の数を計測した。
<Crack resistance>
A 32mm x 32mm, 1.6mm thick glass epoxy printed wiring board was prepared with a 10mm x 10mm, 0.75mm thick silicon chip mounted thereon, and transfer molded at 160°C, 6.9N/ mm2 , and 5 minutes curing time to produce a semiconductor device with a molded size of the curable resin of 28 x 28mm and a molded thickness of 1.2mm. Twenty of the produced semiconductor devices were subjected to thermal cycle tests (TCT) of -40°C/30min, 150°C/30min, and 1,000 cycles, respectively, and the number of semiconductor devices in which cracks occurred in the curable resin was counted.

<誘電特性および耐熱性>
70mm×70mm、200μm厚の枠を用意し、各樹脂組成物を厚さ50μmの離型処理されたPETフィルム(E7006、東洋紡製)2枚で挟み込んで、真空プレス機(ニッコー・マテリアルズ製)を用いて160℃で5分の条件で成形し、硬化物(成形フィルム)を作製した。前記成形フィルムを180℃で1時間ポストキュアし、硬化樹脂フィルムを得た後、前記硬化樹脂フィルムを用いてネットワークアナライザ(キーサイト製、製品名:E5063-2D5)とストリップライン(キーコム株式会社製)を接続し、上記硬化樹脂フィルムの周波数10GHz及び28GHzにおける比誘電率と誘電正接を測定した。
さらにこの硬化樹脂フィルムを150℃で48時間放置し、同様に硬化樹脂フィルムの周波数10GHz及び28GHzにおける比誘電率と誘電正接を測定した。
<Dielectric properties and heat resistance>
A 70 mm x 70 mm, 200 μm thick frame was prepared, and each resin composition was sandwiched between two 50 μm thick release-treated PET films (E7006, manufactured by Toyobo), and molded at 160 ° C. for 5 minutes using a vacuum press (manufactured by Nikko Materials) to produce a cured product (molded film). The molded film was post-cured at 180 ° C. for 1 hour to obtain a cured resin film, and then the cured resin film was used to connect a network analyzer (manufactured by Keysight, product name: E5063-2D5) and a strip line (manufactured by Keycom Co., Ltd.) to measure the relative dielectric constant and dielectric loss tangent of the cured resin film at frequencies of 10 GHz and 28 GHz.
Furthermore, this cured resin film was left to stand at 150° C. for 48 hours, and the relative dielectric constant and dielectric loss tangent of the cured resin film were similarly measured at frequencies of 10 GHz and 28 GHz.

Figure 0007706849000006
Figure 0007706849000006

Figure 0007706849000007
Figure 0007706849000007

以上から、本発明の組成物の硬化物は低弾性、低硬度であるために硬化後の反りが小さく、更に耐クラック性に優れ、高周波でも優れた誘電特性を示し、高温下に長時間置いた後でも誘電特性の変化の少ないことがわかった。 From the above, it was found that the cured product of the composition of the present invention has low elasticity and low hardness, so that it warps little after curing, has excellent crack resistance, exhibits excellent dielectric properties even at high frequencies, and shows little change in dielectric properties even after being left at high temperatures for long periods of time.

1 プリプレグ
2 硬化性樹脂組成物
3 繊維基材
11 金属張積層板
12 絶縁層
13 金属箔
21 プリント配線板
22 配線層
Reference Signs List 1 Prepreg 2 Curable resin composition 3 Fiber base material 11 Metal-clad laminate 12 Insulating layer 13 Metal foil 21 Printed wiring board 22 Wiring layer

Claims (9)

(A)下記一般式(1)で表されるマレイミド化合物
Figure 0007706849000008
(式(1)中、Aは独立してダイマー酸及びトリマー酸由来の炭化水素基を示し、Bは独立して環状構造を含む4価の有機基を示し、nは1~1000である。)
及び
(B)触媒
を含有する硬化性樹脂組成物であって、
該硬化性樹脂組成物における(A)成分の含有量は、60~99質量%であり、
式(1)中のAは、ダイマー酸及びトリマー酸由来の炭化水素基のうちダイマー酸由来の炭化水素基が占める割合が95質量%以上であって、かつ水添処理された基である、半導体封止用硬化性樹脂組成物。
(A) A maleimide compound represented by the following general formula (1):
Figure 0007706849000008
(In formula (1), A independently represents a hydrocarbon group derived from a dimer acid or a trimer acid, B independently represents a tetravalent organic group containing a cyclic structure, and n is 1 to 1,000.)
and (B) a catalyst,
The content of the component (A) in the curable resin composition is 60 to 99 mass %,
A curable resin composition for semiconductor encapsulation, wherein A in formula (1) is a group in which the proportion of hydrocarbon groups derived from a dimer acid and a trimer acid is 95 mass% or more, and which has been hydrogenated.
JIS K7244-4:1999に記載の方法に準じ、25℃の測定温度で、動的粘弾性測定装置を用いて、周波数10Hz、温度範囲-50℃~200℃、昇温速度5℃/分で測定した、硬化性樹脂組成物の硬化物の貯蔵弾性率が、1000MPa未満である請求項1に記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin composition according to claim 1, wherein the storage modulus of the cured product of the curable resin composition is less than 1000 MPa, as measured at a measurement temperature of 25°C using a dynamic viscoelasticity measuring device at a frequency of 10 Hz, in a temperature range of -50°C to 200°C, and at a heating rate of 5°C/min, in accordance with the method described in JIS K7244-4:1999. JIS K 6253-3:2012に記載の方法に準じ、25℃の測定温度で、デュロメータタイプDの硬度計を用いて測定した、硬化性樹脂組成物の硬化物の硬度が、D50以下である請求項1に記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin composition according to claim 1, wherein the hardness of the cured product of the curable resin composition is D50 or less, measured using a durometer type D hardness tester at a measurement temperature of 25°C according to the method described in JIS K 6253-3:2012. (B)成分の触媒が、有機過酸化物、アニオン重合開始剤及び光硬化開始剤から選ばれる少なくとも1種である請求項1に記載の硬化性樹脂組成物。 The curable resin composition according to claim 1, wherein the catalyst of component (B) is at least one selected from an organic peroxide, an anionic polymerization initiator, and a photocuring initiator. 請求項1~4のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物からなる接着剤。 An adhesive comprising the curable resin composition according to any one of claims 1 to 4. 請求項1~4のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物からなる接着フィルム。 An adhesive film made of the curable resin composition according to any one of claims 1 to 4. 請求項1~4のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物と繊維基材からなるプリプレグ。 A prepreg comprising the curable resin composition according to any one of claims 1 to 4 and a fiber substrate. 請求項1~4のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物からなる層間絶縁材料。 An interlayer insulating material comprising the curable resin composition according to any one of claims 1 to 4. 請求項1~4のいずれか1項に記載の硬化性樹脂組成物の硬化物を有するプリント配線板。

A printed wiring board having a cured product of the curable resin composition according to any one of claims 1 to 4.

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