JP7036505B2 - ガラス様層を含む複合構造物及び形成方法 - Google Patents
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Description
-CH2CH2(OCH2CH2)nOCH2CH2-
などである。
本明細書に記載される複合構造物は、移行層も含む。図1に見られるように、移行層120は、第1の層110とガラス様層130との間に位置する。移行層120は、第1の表面121及び反対側の表面又は第2の表面122を有する。第1の層110は、移行層120の第1の表面121と隣接しており、ガラス様層130は、移行層120の第2の表面122と隣接している。移行層は、第1の層又は第1の層を構成する材料から形成されているとして説明することができる。移行層は、第1の表面121における実質的に第1の層110の組成から、第2の表面122における実質的にガラス様層130の組成へと組成が進行する、段階的層として説明することができる。
本明細書においては、ガラス様層を含む構造物又は開示される複合構造物を形成する方法も開示される。一部の実施形態において、このような方法は、シリコーンブロックコポリマーを含む層を堆積させる工程と、この層をプラズマ処理して、シリコーンブロックコポリマーの少なくとも一部をガラス様層へと変換することとを含みうる。依拠するわけではないが、プラズマ処理によって、シリコーンブロックコポリマーのケイ素に結合していた炭素の少なくとも一部が酸素原子で置き換えられるものと考えられる。プラズマ処理の工程は、より具体的には、移行層及びガラス様層を形成することとして説明することができる。一部の実施形態において、プラズマ処理は、移行層をまず形成することであり得、次いで、後続のプラズマ処理が、この移行層の一部をガラス様層へと変換することであり得る。
各Rは、独立して、1~12個の炭素原子を有し、且つ、例えばトリフルオロアルキル若しくはビニル基、ビニルラジカル、若しくは式R2(CH2)aCH=CH2(式中、R2は、-(CH2)b-又は-(CH2)cCH=CH-であり、aは1、2又は3であり、bは0、3又は6であり、cは3、4又は5である)によって表される高級アルケニルラジカルで置換されていてもよいアルキル部分、6~12個の炭素原子を有し、且つ、アルキル、フルオロアルキル、若しくはビニル基で置換されていてもよいシクロアルキル部分、又は6~20個の炭素原子を有し、且つ、例えばアルキル、シクロアルキル、フルオロアルキル、及びビニル基で置換されていてもよいアリール部分であるか、あるいはRは、ペルフルオロアルキル基、又はフッ素含有基、又はペルフルオロエーテル含有基であり;各Jは、6~20個の炭素原子を有するアリーレンラジカル又はアラルキレンラジカル、6~20個の炭素原子を有するアルキレン又はシクロアルキレンラジカルである多価ラジカルであり;各Eは、独立して、1~10個の炭素原子のアルキレンラジカル、6~20個の炭素原子を有するアラルキレンラジカル又はアリーレンラジカルである多価ラジカルであり;各Dは、水素、1~10個の炭素原子のアルキルラジカル、フェニル、及びA又はEを含む環構造を完結させて複素環を形成するラジカルからなる群から選択され;各Aは、アルキレン、アラルキレン、シクロアルキレン、フェニレン、ヘテロアルキレン、及びこれらの混合物からなる群から選択される多価ラジカルであり;mは、0~1000である数であり;qは、少なくとも1である数であり;rは、少なくとも10である数である、このような複合構造物。第1の層が、
実施例1(表ではE1)は、シリコーンポリオキサミドPSAの厚さ5マイクロメートルの層であった。使用されたMQ樹脂がR1であったという変更を伴って、米国特許第7,371,464号の実施例5に従ってPSAを調製するために使用した41K PDMSジアミン(米国特許第6,534,615号の実施例4に記載されているように調製された、分子量がおよそ41,000のポリジメチルシロキサンジアミン)から形成された。シリコーンポリオキサミド対R1の比は、50:50であった。使用した溶媒は、30:70の比のIPA及びトルエンであった。結果として得られた溶液の最終的な固形分%は、コーティング前に20%であった。このシリコーン接着剤溶液を、ライナーL1上にダイコーティングした。摂氏72度の溶媒オーブンを使用して溶媒を除去した後、ライナーL2を乾燥した表面に対して積層した。この実施例は、ライナーL1を取り外し、評価を行った後、下に記載されるプラズマ処理を使用して更に加工することによって、更に加工した。
以下の一般的手順に従って、実施例(E1~E3及びC1、C2)をプラズマに曝した:シラン基及びシロキサン基を有する表面層を、反応性イオンエッチング(RIE)用に構成された、26インチの下部電力電極及び中央ガス排気を伴う商用バッチプラズマシステム(Plasmathermモデル3032)を使用して、PSA上に形成した。チャンバは、ドライメカニカルポンプ(EdwardsモデルiQDP80)によって補強されたルーツブロアー(EdwardsモデルEH1200)によってポンプ処理した。RF電力は、5kWの13.56Mhzソリッドステート発生器(RFPPモデルRF50S0)によって、インピーダンスマッチングネットワークを介して送達した。このシステムは、5mTorrの公称ベース圧力を有する。ガスの流速は、MKS流量調節器によって制御した。すべてのフィルムサンプルを、下部電力電極に繋いだ。縁部シールサンプルを、ガラスプレートを使用することで持ち上げてシース領域から出した。サンプルを挿入した後、反応器チャンバを、ポンプによって1.3Pa(10mTorr)未満のベース圧力まで下げた。プラズマ処理は、規定された流速で、適切な種類のガス及び/又は液体前駆物質を供給することによって実現された。使用した条件のうちの一方は、750ワットのrf電力で300秒間、500sccmのO2であった。他方の条件は、750ワットのrf電力で300秒間、500sccmのO2の後、750ワットのrf電力で300秒間、25sccmのO2-SiMe4(テトラメチルシラン)及び500sccmのO2で、堆積層を開始した。一旦流れが安定化したら、rf電力を電極に対して印加して、プラズマを発生させた。プラズマは、上で詳述したように、規定量の時間の間、付けられたままであった。この処理の後、RF電力及びガスの供給を止め、チャンバは大気圧に戻した。
時間の関数としての接触角
プラズマ処理されていないサンプル及びプラズマ処理されたサンプルにおいて、Kruss(Hamburg,Germany)DSA100接触角装置(5マイクロリットルの液滴を、毎分195マイクロリットルで送達する)を使用して、静的水接触角を室温で測定した。5回の反復の平均値(0.5~5度の範囲内の標準偏差)を、下の表1に与える。これらの結果は、E1及びE2が、プラズマ処理の10日後でも低減された接触角を保持した(より親水性のガラス状表面と一貫している)一方で、比較サンプルでは、プラズマ処理の10日後には疎水性の回復が起こったことを示している。
O2プラズマ処理後又はO2-SiMe4プラズマ処理後のE1及びE2の表面を、スパッタリング(イオンガン 2keV Ar+、3mm×3mmラスター)によるXPS(Physical Electronics Quantera II(商標))で特性評価して、深さ/スパッタ時間の関数として組成を判定した。これらの表面は、表面から10~170nmの範囲の距離にわたって、第1の層に向かう組成勾配を有する、ガラス状二酸化ケイ素の組成を有することが示された。表2は、複合構造について概説したものであり、表3は、炭素(C)、酸素(O)及びケイ素(Si)のXPS原子百分率、並びにE1に関するC:O(Oについて正規化した)対スパッタ時間について示している。このグラフは、図2において見ることができる(表面から170nm(左側)から最終プラトー/層勾配の開始(中心~右側)まで)。表3の網掛け部は移行層を示している。
E1のサンプル(ライナーL1を取り外した)を、スライドガラスに積層させた。次いで、第2のライナーL2を取り外し、E1頂部のPSA表面に対して第2のスライドガラスを積層させた。その後、上の手順に従って、E1の露出した縁部を、O2-SiMe4プラズマで処理した。O2-SiMe4プラズマ処理後のE1の表面を、SEMで特性評価した。プラズマによって生成されたガラス状材料は、両方のサンプルの表面において見ることができた。2つの倍率での2枚の縁部画像を示しているが、ガラス状の断片を見ることができる。図6は、倍率1500倍の縁部を示しており、図7は、倍率15,000倍の縁部を示している。
六角構造のE3 Hexシリコーンポリオキサミド層の表面の光学顕微鏡及びSEM画像(構造化ライナーを取り外した後)を、図8及び図14において見ることができ、直線構造のE3 Linearシリコーンポリオキサミド層の表面の画像(構造化ライナーを取り外した後)を、図9及び図12において見ることができる。
実施例2(E2)のサンプルからL1ライナーを取り外した。4インチ×6インチのFILM1のサンプル(ライナーは取り外した)を、露出面に積層させた。次いで、L2ライナーを取り外し、サンプルを1方向に延伸させてサンプルの長さを2倍にして、定位置で保持した。サンプルを、上述した通り、O2-SiMe4プラズマ処理した。処理が完了したら、サンプルを元々の寸法に弛緩させた。SEM画像を撮影したが、これは図16(倍率1500倍)及び図17(倍率5000倍)において見ることができる。
O2プラズマ処理前及びその11日後のサンプルE1及びC2に、MARKERで線を引いた。両方のサンプルに、MARKERで2本の平行な線を引き、画像を撮った。図18は、処理前のE1の画像を示しており、図19は、プラズマ処理の11日後のE1を示しており、図20は、プラズマ処理の11日後のC2を示している。結果を表4に示す。なしは、湿潤なしに相当する。有りは、湿潤に相当する。
Claims (6)
- シリコーンブロックコポリマーを含む第1の層、
前記第1の層と隣接し、前記第1の層の前記シリコーンブロックコポリマーから形成されている、移行層、
前記第1の層の反対側で前記移行層と隣接するガラス様層であって、前記ガラス様層の少なくとも一部が前記移行層から形成されている、ガラス様層、
を備え、
前記シリコーンブロックコポリマーが、シリコーンポリオキサミドコポリマー、シリコーンポリウレアコポリマー、又はこれらの組み合わせを含み、
前記第1の層が、酸素について正規化した炭素対酸素の比を有し、前記移行層が、酸素について正規化した炭素対酸素の比を有し、前記ガラス様層が、酸素について正規化した炭素対酸素の比を有し、
前記第1の層の酸素について正規化した炭素対酸素の比が、前記移行層及び前記ガラス様層の両方よりも高く、
前記移行層の酸素について正規化した炭素対酸素の比が、前記ガラス様層のものよりも高い、
複合構造物。 - 前記第1の層が、
を含み、
式中、
各Rは、独立して、
1~12個の炭素原子を有し、且つ、トリフルオロアルキル、若しくはビニル基、ビニルラジカル、若しくは式R2(CH2)aCH=CH2(式中、R2は、-(CH2)b-又は-(CH2)cCH=CH-であり、aは1、2又は3であり、bは0、3又は6であり、cは3、4又は5である)によって表される高級アルケニルラジカルで置換されていてもよいアルキル部分、
6~12個の炭素原子を有し、且つ、アルキル、フルオロアルキル、若しくはビニル基で置換されていてもよいシクロアルキル部分、又は
6~20個の炭素原子を有し、且つ、アルキル、シクロアルキル、フルオロアルキル、若しくはビニル基で置換されていてもよいアリール部分であるか、あるいは
Rは、ペルフルオロアルキル基、フッ素含有基、又はペルフルオロエーテル含有基であり、
各Jは、6~20個の炭素原子を有するアリーレンラジカル又はアラルキレンラジカル、6~20個の炭素原子を有するアルキレン又はシクロアルキレンラジカルである多価ラジカルであり、
各Eは、独立して、1~10個の炭素原子のアルキレンラジカル、6~20個の炭素原子を有するアラルキレンラジカル又はアリーレンラジカルである多価ラジカルであり、
各Dは、水素、1~10個の炭素原子のアルキルラジカル、フェニル、及びA又はEを含む環構造を完結させて複素環を形成するラジカルからなる群から選択され、
各Aは、アルキレン、アラルキレン、シクロアルキレン、フェニレン、ヘテロアルキレン、及びこれらの混合物からなる群から選択される多価ラジカルであり、
mは、0~1000である数であり、
qは、少なくとも1である数であり、
rは、少なくとも10である数である、請求項1に記載の複合構造物。 - 前記第1の層が、
を含み、
式中、
各R2は、独立して、アルキル、ハロアルキル、アラルキル、アルケニル、アリール、又はアルキル、アルコキシ若しくはハロで置換されたアリールであり、R2基の少なくとも50パーセントはメチルであり、
各Xは、独立して、アルキレン、アラルキレン、又はこれらの組み合わせであり、
Gは、式R3HN-G-NHR3のジアミンから、2個の-NHR3基を除いたものに等しい残存単位である2価の基であり、
R3は、水素若しくはアルキルであるか、又はR3は、Gとこれら両方が結合している窒素と一緒になって複素環式基を形成し、
nは、独立して、40~1500の整数であり、
下付きのpは、1~10の整数である、請求項1に記載の複合構造物。 - 前記ガラス様層が、95°以下の静的水接触角を有する、請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の複合構造物。
- 前記ガラス様層が、前記接触角を少なくとも10日間実質的に維持する、請求項4に記載の複合構造物。
- 一次構造物、および
前記一次構造物の少なくとも一部の表面上に配置された請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の複合構造物
を備える、物品。
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