JP6657037B2 - 付加硬化性シリコーン樹脂組成物および半導体装置 - Google Patents
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Description
(A)下記式(1)
(式中、R1は、互いに独立に、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基から選ばれる基であり、R2は、互いに独立に、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基、炭素数2から10のアルケニル基から選ばれる基であり、各々のR1、R2は同一であっても異なっていても良く、ただし該オルガノポリシロキサンは前記アルケニル基を主鎖の両末端のみに有し、aは2〜100の整数、bは5〜100の整数、cは5〜100の整数、0.03≦a/(a+b)<1.0、(R1 2R2SiO1/2)単位の数/(R2SiO3/2)単位の数≦2であり、a、bおよびcのシロキサン鎖の並びはランダムであってもブロックであっても良い)
で示される分岐状オルガノポリシロキサン、
(B)下記式(2)
(R2 3SiO1/2)r(R2 2SiO2/2)s(R2SiO3/2)t(SiO4/2)u (2)
(式中、R2の定義は上記と同じであり、R2の少なくとも2つはアルケニル基であり、rは0から100の整数、sは0から300の整数、tは0から200の整数、uは0から200の整数であり、1≦t+u≦400、2≦r+s+t+u≦800である)
で示されるオルガノポリシロキサン
(A)成分100質量部に対して5〜900重量部の量、
(C)ヒドロシリル基を分子内に少なくとも2つ有するオルガノポリシロキサン
(A)成分と(B)成分中のアルケニル基の合計数に対して(C)成分中のヒドロシリル基の数が0.4〜4.0となる量、および
(D)ヒドロシリル化触媒
ヒドロシリル化反応を進行させるのに十分な量
を含む、半導体素子封止用付加硬化性シリコーン樹脂組成物。
(A)分岐状ポリオルガノシロキサン
本発明の特徴の一つである(A)分岐状ポリオルガノシロキサンは、以下の式によって示される。
(A)下記式(1)
(式中、R1は、互いに独立に、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基から選ばれる基であり、R2は、互いに独立に、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基、炭素数2から10のアルケニル基から選ばれる基であり、各々のR1、R2は同一であっても異なっていても良く、ただしR2のうち少なくとも2つはアルケニル基、aは2〜100の整数、bは5〜100の整数、cは5〜100の整数、0.03≦a/(a+b)<1.0、(R1 2R2SiO1/2)単位の数/(R2SiO3/2)単位の数≦2であり、a、bおよびcのシロキサン鎖の並びはランダムであってもブロックであっても良い)
で示される分岐状オルガノポリシロキサン。
式(1)において、0.03≦a/(a+b)<1.0であり、0.09≦a/(a+b)≦0.9であることが好ましい。
aは2〜100の整数であり、好ましくは2〜75の整数であり、より好ましくは2〜50の整数であり、bは5〜100の整数であり、好ましくは5〜75の整数であり、より好ましくは10〜50の整数であり、cは5〜100の整数であり、好ましくは5〜75の整数であり、より好ましくは10〜50の整数である。(R1 2R2SiO1/2)単位の数/(R2SiO3/2)単位の数≦2であり、a、bのシロキサン鎖の並びはランダムであってもブロックであっても良い。0.03≦a/(a+b)<1.0であり、0.09≦a/(a+b)≦0.9であることが好ましい。
なお、(A)成分において、ケイ素原子に結合する全置換基の合計数の内、1価芳香族炭化水素基の数の割合が3%以上、特に5%以上、90%以下、特に80%以下であることが好ましい。この範囲内であれば、(A)成分の分岐状オルガノポリシロキサンが高屈折率であり、ガス透過性が低いので、当該組成物が半導体装置の封止用途などに好適に用いられることができる。
(式中、R1、R2、cは上記と同じであり、R3は水素原子または炭素数1〜6の飽和炭化水素基である)で示されるオルガノポリシロキサンと、シロキサン類、たとえば、下記式(5)
(式中、R2、R3は上記と同じであり、b’は1以上かつb以下であり、bは上記と同じである)で示される、両末端にアルコキシシリル基またはヒドロキシシリル基(シラノール基)を有するオルガノポリシロキサンとを共縮合させ、次にシラン、たとえば下記式(6)
(式中、R1、R2は上記と同じであり、Xはハロゲン原子またはR3O−[R3は上記と同じである]で示される基である)で示される加水分解性基含有シラン化合物によって末端封鎖を行うことによって製造することができる。
式(4)において、R3は水素原子または炭素数1〜6の飽和炭化水素基でから選ばれる基であり、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソプロピル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基が例示される。この中でも、メチル基、エチル基などが好ましく、メチル基が特に好ましい。
(式中、R1、R2、cは上記と同じであり、R3は水素原子または炭素数1〜6の飽和炭化水素基である)で示されるオルガノポリシロキサンと、他のシラン、シロキサン類とを用いて、公知の方法によって共縮合や末端封鎖を行うことによって製造することができる。ここで、R1、R2、cは上記と同じであり、R3は水素原子または炭素数1〜6の飽和炭化水素基でから選ばれる基であり、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、イソプロピル基、ヘキシル基、シクロヘキシル基が例示される。この中でも、メチル基、エチル基などが好ましく、メチル基が特に好ましい。
(B)オルガノシロキサンは、下記式(2)により示される。
(R2 3SiO1/2)r(R2 2SiO2/2)s(R2SiO3/2)t(SiO4/2)u (2)
(式中、R2の定義は上記と同じであり、R2の少なくとも2つはアルケニル基であり、rは0から100の整数、sは0から300の整数、tは0から200の整数、uは0から200の整数であり、1≦t+u≦400、2≦r+s+t+u≦800である)
ここで、rは0〜100整数であり、好ましくは0〜75の整数であり、さらに好ましくは0〜50の整数であり、sは0〜300の整数であり、好ましくは0〜200の整数であり、さらに好ましくは0〜100の整数であり、tは0〜200の整数であり、好ましくは0〜100の整数であり、さらに好ましくは0〜50の整数であり、uは0〜200の整数であり、好ましくは0〜100の整数であり、さらに好ましくは0〜50の整数であり、1≦t+u≦400であり、好ましくは1≦t+u≦200であり、より好ましくは1≦t+u≦100であり、2≦r+s+t+u≦800であり、好ましくは2≦r+s+t+u≦400であり、より好ましくは2≦r+s+t+u≦200である。
R2の例は、上記(A)成分中のR2のために例示した通りである。
(C)ヒドロシリル基を分子内に少なくとも2つ有するオルガノポリシロキサンは、特に限定されるものではないが、下記式(3)で示されるものが、好ましい。
(R3 3SiO1/2)r’(R3 2SiO2/2)s’(R3SiO3/2)t’(SiO4/2)u’ (3)
(式中、R3は水素原子、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基であるが、R3の少なくとも2つは水素原子であり、r’は0から100整数、s’は0から300の整数、t’は0から200の整数、u’は0から200の整数であり、2≦r’+s’+t’+u’≦800である。)
触媒は、ヒドロシリル化反応を進行させ得る能力を有するものであればよく、特に限定されるものでない。中でも、白金族金属単体および白金族金属化合物から選ばれる触媒が好ましい。例えば、白金(白金黒を含む)、塩化白金、塩化白金酸、白金−ジビニルシロキサン錯体等の白金−オレフィン錯体、白金−カルボニル錯体等の白金触媒、パラジウム触媒、ロジウム触媒等が挙げられる。これらの触媒は、単独で使用しても2種以上を組み合わせて使用しても良い。この中でも特に好ましくは、塩化白金酸、および白金−ジビニルシロキサン錯体等の白金−オレフィン錯体である。
(D)成分の配合量は触媒量でよい。触媒量とは、ヒドロシリル化反応を促進できる量であればよく、希望する硬化速度に応じて適宜調整すればよい。例えば白金族金属触媒である場合には、反応速度の観点から、白金族金属原子に換算した質量基準で、上記(A)〜(C)成分の合計100質量部に対して1.0×10−4〜1.0質量部となる量が好ましく、更には1.0×10−3〜1.0×10−1質量部となる量がより好ましい。
本発明の硬化性組成物は、上述した(A)〜(D)成分以外に、必要に応じて、他の成分、例えば蛍光体、無機充填材、接着助剤、硬化抑制剤等を含有してもよい。以下、各成分について説明する。
蛍光体は、特に制限されるものでなく、従来公知の蛍光体を使用すればよい。例えば、半導体素子、特に窒化物系半導体を発光層とする半導体発光ダイオードからの光を吸収し、異なる波長の光に波長変換するものであることが好ましい。このような蛍光体としては、例えば、Eu、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される窒化物系蛍光体・酸窒化物系蛍光体、Eu等のランタノイド系、Mn等の遷移金属系の元素により主に賦活されるアルカリ土類金属ハロゲンアパタイト蛍光体、アルカリ土類金属ホウ酸ハロゲン蛍光体、アルカリ土類金属アルミン酸塩蛍光体、アルカリ土類金属ケイ酸塩蛍光体、アルカリ土類金属硫化物蛍光体、アルカリ土類金属チオガレート蛍光体、アルカリ土類金属窒化ケイ素蛍光体、ゲルマン酸塩蛍光体、又は、Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される希土類アルミン酸塩蛍光体、希土類ケイ酸塩蛍光体又はEu等のランタノイド系元素で主に賦活される有機及び有機錯体蛍光体、Ca−Al−Si−O−N系オキシ窒化物ガラス蛍光体等から選ばれる1種以上であることが好ましい。
Ce等のランタノイド系元素で主に賦活される希土類アルミン酸塩蛍光体としては、Y3Al5O12:Ce、(Y0.8Gd0.2)3Al5O12:Ce、Y3(Al0.8Ga0.2)5O12:Ce、及び(Y,Gd)3(Al,Ga)5O12の組成式で表されるYAG系蛍光体が挙げられる。また、Yの一部若しくは全部をTb、Lu等で置換したTb3Al5O12:Ce、Lu3Al5O12:Ceなどもある。
上記蛍光体は、所望に応じてEuに代えて、又は、Euに加えてTb、Cu、Ag、Au、Cr、Nd、Dy、Co、Ni、Tiから選択される1種以上を含有させることができる。
無機充填材としては、例えば、シリカ、ヒュームドシリカ、ヒュームド二酸化チタン、アルミナ、炭酸カルシウム、ケイ酸カルシウム、二酸化チタン、酸化第二鉄、及び酸化亜鉛等を挙げることができる。これらは、1種単独でまたは2種以上を併せて使用することができる。無機充填材の配合量は特に制限されないが、(A)〜(D)成分の合計100質量部あたり20質量部以下、好ましくは0.1〜10質量部の範囲で適宜配合すればよい。
本発明の硬化性組成物は、接着性を付与するため、必要に応じて接着助剤を含有してよい。接着助剤としては、例えば、一分子中にケイ素原子に結合した水素原子、アルケニル基、アルコキシ基、エポキシ基から選ばれる官能性基を少なくとも2種、好ましくは3種有するオルガノシロキサンオリゴマーが挙げられる。該オルガノシロキサンオリゴマーは、ケイ素原子数4〜50個であることが好ましく、より好ましくは4〜20個である。また、接着助剤として、下記一般式(7)で示されるオルガノオキシシリル変性イソシアヌレート化合物、及びその加水分解縮合物(オルガノシロキサン変性イソシアヌレート化合物)を使用することができる。
上記式(7)中、R4は互いに独立に、下記(8)で示される有機基、又は脂肪族不飽和結合を含有する一価炭化水素基である。
R5は水素原子又は炭素数1〜6の一価炭化水素基であり、kは1〜6の整数、好ましくは1〜4の整数である。
本発明の硬化性組成物は、反応性を制御して貯蔵安定性を高めるために、硬化抑制剤を含んで良い。硬化抑制剤としては、トリアリルイソシアヌレート、アルキルマレエート、アセチレンアルコール類、及びそのシラン変性物及びシロキサン変性物、ハイドロパーオキサイド、テトラメチルエチレンジアミン、ベンゾトリアゾール、及びこれらの混合物からなる群から選ばれる化合物が挙げられる。硬化抑制剤の配合量は、(A)〜(D)成分の合計100質量部あたり、0.001〜1.0質量部が好ましく、より好ましくは0.005〜0.5質量部である。
本発明の硬化性組成物には、上記成分のほかに、その他の添加剤を配合することができる。その他の添加剤としては、例えば、老化防止剤、ラジカル禁止剤、難燃剤、界面活性剤、オゾン劣化防止剤、光安定剤、増粘剤、可塑剤、酸化防止剤、熱安定剤、導電性付与剤、帯電防止剤、放射線遮断剤、核剤、リン系過酸化物分解剤、滑剤、顔料、金属不活性化剤、物性調整剤、有機溶剤等が挙げられる。これらの任意成分は、一種を単独で用いても二種以上を併用してもよい。
[GPC測定条件]
展開溶媒:テトラヒドロフラン
流速:0.6mL/min
カラム:TSK Guardcolumn SuperH−L
TSKgel SuperH4000(6.0mmI.D.×15cm×1)
TSKgel SuperH3000(6.0mmI.D.×15cm×1)
TSKgel SuperH2000(6.0mmI.D.×15cm×2)
(いずれも東ソー社製)
カラム温度:40℃
試料注入量:20μL (試料濃度:0.5wt%−テトラヒドロフラン溶液)
検出器:示差屈折率計(RI)
(a−1)
トルエン溶媒中にリチウムトリメチルシラノレート96.3g、ヘキサメチルシクロトリシロキサン1,560g、ヘキサフェニルシクロトリシロキサン4,160gを加え、100℃で12時間撹拌した。その後、酢酸90.0gを加えて中和し、得られた生成物を濾過した。その後、メチルトリメトキシシラン408g、Sr(OH)2・8H2Oを8.10g加え、60℃で3時間撹拌した。その後、酢酸12.2gを加えて中和し、得られた生成物を、濾過し、メタノールとトルエンを減圧留去することで下記の、片末端に2つのアルコキシを有するオルガノポリシロキサン(a−1)を合成した。Mw=6,000であることがわかった。
(式中、c=c’=20)
(a−1)で合成したオルガノポリシロキサン600g、ポリメチルフェニルシロキサン−α,ω−ジオール(Mw=530)140g、Sr(OH)2・8H2Oを0.810g加え、60℃で18時間撹拌した。その後、酢酸1.22gを加えて中和し、クロロジメチルビニルシラン17.1gを加え、60℃で8時間撹拌した。得られた生成物を、濾過し、水洗し、共沸脱水し、減圧留去することで下記分岐状シリコーンオイルを合成した。Mw=27,000、Vi価=7.41×10−3mol/100gでを有し、29Si−NMRスペクトルからa=4、b=40、c=20、c’=20のオルガノポリシロキサン(A−1)であることがわかった。
(a−2)
トルエン溶媒中にリチウムトリメチルシラノレート96.3g、ヘキサメチルシクロトリシロキサン222g、ヘキサフェニルシクロトリシロキサン595gを加え、100℃で3時間撹拌した。その後、酢酸90.0gを加えて中和し、得られた生成物を濾過した。その後、メチルトリメトキシシラン408g、Sr(OH)2・8H2Oを8.10g加え、60℃で3時間撹拌した。その後、酢酸12.2gを加えて中和し、得られた生成物を、濾過し、メタノールとトルエンを減圧留去することで下記片末端ジアルコキシオルガノポリシロキサン(a−2)を合成した。Mw=1,000であることがわかった。
(式中、c=c’=3)
(a−2)で合成したオルガノポリシロキサン100g、ポリメチルフェニルシロキサン−α,ω−ジオール(Mw=530)27.9g、Sr(OH)2・8H2Oを0.640g加え、60℃で3時間撹拌した。その後、酢酸0.960gを加えて中和し、クロロジメチルビニルシラン24.4gを加え、60℃で8時間撹拌した。得られた生成物を、濾過し、水洗し、共沸脱水し、減圧留去することで下記分岐状シリコーンオイルを合成した。Mw=3,300、Vi価=6.06×10−2mol/100gを有し、29Si−NMRスペクトルからa=3、b=6、c=3、c’=3のオルガノポリシロキサンであることがわかった。
(a−3)
アセトニトリル溶媒中にトリメチルシラノール90.1g、ヘキサメチルシクロトリシロキサン6,660g、ジカテコールフェニルシロキシナトリウム121gを加え、60℃で12時間撹拌した。得られた生成物を濾過し、メチルトリメトキシシラン408g、Sr(OH)2・8H2Oを8.10g加え、60℃で3時間撹拌した。その後、酢酸12.2gを加えて中和し、得られた生成物を、濾過し、メタノールとトルエンを減圧留去することで下記片末端ジアルコキシオルガノポリシロキサンを合成した。Mw=6,800であることがわかった。
(式中、c=90)
(a−3)で合成したオルガノポリシロキサン680g、ポリジメチルシロキサン−α,ω−ジオール(Mw=280)72.0g、Sr(OH)2・8H2Oを3.76g加え、60℃で18時間撹拌した。その後、酢酸5.64gを加えて中和し、クロロジメチルビニルシラン13.0gを加え、60℃で8時間撹拌した。得られた生成物を、濾過し、水洗し、共沸脱水し、減圧留去することで下記分岐状シリコーンオイルを合成した。Mw=73,000、Vi価=2.74×10−3mol/100gを有し、29Si−NMRスペクトルからa=10、b=90、c=90のオルガノポリシロキサンであることがわかった。
(a−4)
アセトニトリル溶媒中にトリメチルシラノール90.1g、ヘキサメチルシクロトリシロキサン890g、ジカテコールフェニルシロキシナトリウム121gを加え、60℃で6時間撹拌した。得られた生成物を濾過し、メチルトリメトキシシラン408g、Sr(OH)2・8H2Oを8.10g加え、60℃で3時間撹拌した。その後、酢酸12.2gを加えて中和し、得られた生成物を、濾過し、メタノールとトルエンを減圧留去することで下記片末端ジアルコキシオルガノポリシロキサンを合成した。Mw=1,000であることがわかった。
(式中、c=12)
(a−4)で合成したオルガノポリシロキサン1,000g、ポリジメチルシロキサン−α,ω−ジオール(Mw=280)12.0g、Sr(OH)2・8H2Oを5.06g加え、60℃で18時間撹拌した。その後、酢酸7.59gを加えて中和し、クロロジメチルビニルシラン340gを加え、60℃で8時間撹拌した。得られた生成物を、濾過し、水洗し、共沸脱水し、減圧留去することで下記分岐状シリコーンオイルを合成した。Mw=81,000、Vi価=2.47×10−3mol/100gを有し、29Si−NMRスペクトルからa=80、b=12、c=12のオルガノポリシロキサンであることがわかった。
(A−3’)
1,1−ジフェニル−1,3−ジメチル−3,3−ジメトキシジシロキサン63.7g、ポリメチルフェニルシロキサン−α,ω−ジオール(Mw=530)1,200gおよびジメチルビニルメトキシシラン48.8gを攪拌し、60℃に調節した。その後、Sr(OH)2・8H2Oを3.15g加え、60℃で3時間反応を行った。得られた生成物から、濾過により触媒を除去し、メタノールと水を減圧留去することで下記分岐状シリコーンオイルを合成した。Mw=5,700、Vi価=3.51×10−2mol/100gを有し、29Si−NMRスペクトルからn=37、m=1のオルガノポリシロキサンであることがわかった。
以下に、実施例において使用した(B)成分、(C)成分および(D)成分を示す。
(B−1)下記式で表されるフェニル系シリコーンレジン(信越化学工業株式会社製、Vi価=0.147mol/100g)
(B−2)下記式で表されるメチル系シリコーンレジン(信越化学工業株式会社製、Vi価=9.12×10−2mol/100g)
(C−2)下記式で表される、側鎖にヒドロシリル基を有するシリコーンオイル(信越化学工業株式会社製、SiH価=1.63mol/100g)
(A−1)100質量部と(B−1)300質量部、(C−1)81質量部を混合し、塩化白金酸のジビニルシロキサン錯体を白金量として5ppm加えて混合し、硬化性組成物を調製した。
各成分の配合量を表1に記載の通り変更した他は実施例1と同様の操作を繰返し、硬化性組成物を調製した。
[硬化性組成物の粘度]
JIS Z 8803:2011に準じ、B型粘度計を用いて23℃での硬化性組成物の粘度を測定した。結果を表1に記載する。
[硬化物の硬さ]
調製した硬化性組成物を50mm径×10mm厚のアルミシャーレに流し込み、60℃×1時間、100℃×1時間、150℃×4時間の順でステップキュアして、硬化物を得た。硬化物の硬さ(デュロメータShoreAもしくはShoreD)をJIS K 6253−3:2012に準拠して測定した。結果を表1に記載する。
[硬化物の光透過率]
50mm×20mm×1mm厚のスライドガラス2枚の間に凹型の1mm厚テフロン(登録商標)スペーサーを挟み、それらを固定した後、硬化性組成物を流し込み、60℃×1時間、100℃×1時間、150℃×4時間の順でステップキュアして、透過率測定サンプルを作製した。得られたサンプルの450nmにおける光透過率を分光光度計U−4100(株式会社日立ハイテクノロジーズ製)にて測定した。結果を表1に記載する。
[硬化物の引張強さおよび切断時伸び]
150mm×200mm×2mm厚の凹型テフロン(登録商標)金型に調製した硬化性組成物を流し込み、60℃×1時間、100℃×1時間、150℃×4時間の順でステップキュアして、サンプルを作製した。JIS K 6251:2010に準拠して、EZ TEST(EZ−L、株式会社島津製作所製)を用いて、試験速度500mm/min、つかみ具間距離80mm、標点間距離40mmの条件でサンプルの引張強さと切断時伸びを測定した。
結果を表1に記載する。
[硬化物のガラス転移温度]
上記[硬化物の引張強さおよび切断時伸び]の項に記載のようにして作製した硬化物サンプルの貯蔵弾性率(MPa)をDMA Q800(TAインスツルメント株式会社製)により、−140℃〜150℃の範囲で測定し、得られた貯蔵弾性率と損失弾性率の値から導き出されるTanδの値をプロットしたグラフから得られるピークトップの温度をガラス転移温度(Tg)とした。
測定条件は、20mm長×5mm幅×1mm厚のサンプル、昇温速度5℃/min、マルチ周波数モード、引っ張りモード、振幅15μmで行った。結果を表1に記載する。実施例1(実線)および比較例1(点線)の硬化物の貯蔵弾性率のグラフおよびTanδのグラフである。図1に、実施例1(実線)および比較例1(点線)の硬化物の貯蔵弾性率のグラフおよびTanδのグラフを示す。
[温度サイクル試験]
Tiger3528パッケージ(信越化学株式会社製)に硬化性組成物をディスペンスし、60℃×1時間、100℃×1時間、150℃×4時間の順でステップキュアして、硬化物でパッケージを封止した試験体を製造した。該試験体の20個について、−50℃〜140℃、1,000回のサーマルサイクル試験(TCT)を行い、封止物にクラックが生じた試験体の数を計測した。結果を表1に記載する。
Claims (10)
- (A)下記式(1)
(式中、R1は、互いに独立に、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基から選ばれる基であり、R2は、互いに独立に、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基、炭素数2から10のアルケニル基から選ばれる基であり、各々のR1、R2は同一であっても異なっていても良く、ただし該オルガノポリシロキサンは前記アルケニル基を主鎖の両末端のみに有し、aは2〜100の整数、bは5〜100の整数、cは5〜100の整数、0.03≦a/(a+b)<1.0、(R1 2R2SiO1/2)単位の数/(R2SiO3/2)単位の数≦2であり、a、bおよびcのシロキサン鎖の並びはランダムであってもブロックであっても良い)
で示される分岐状オルガノポリシロキサン、
(B)下記式(2)
(R2 3SiO1/2)r(R2 2SiO2/2)s(R2SiO3/2)t(SiO4/2)u (2)
(式中、R2の定義は上記と同じであり、R2の少なくとも2つはアルケニル基であり、rは0から100の整数、sは0から300の整数、tは0から200の整数、uは0から200の整数であり、1≦t+u≦400、2≦r+s+t+u≦800である)
で示されるオルガノポリシロキサン
(A)成分100質量部に対して5〜900質量部の量、
(C)ヒドロシリル基を分子内に少なくとも2つ有するオルガノポリシロキサン
(A)成分と(B)成分中のアルケニル基の合計数に対して(C)成分中のヒドロシリル基の数が0.4〜4.0となる量、および
(D)ヒドロシリル化触媒
ヒドロシリル化反応を進行させるのに十分な量
を含む、半導体素子封止用付加硬化性シリコーン樹脂組成物。 - 式(1)において、0.09≦a/(a+b)≦0.9である、請求項1に記載の半導体素子封止用付加硬化性シリコーン樹脂組成物。
- 式(1)において、R1の少なくとも1つが炭素数6から12の芳香族炭化水素基である、請求項1〜2のいずれか1項に記載の半導体素子封止用付加硬化性シリコーン樹脂組成物。
- (A)成分において、ケイ素原子に結合する全置換基の数の内、1価芳香族炭化水素基の数の割合が3%以上、90%以下であることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の半導体素子封止用付加硬化性シリコーン樹脂組成物。
- (C)成分が下記式(3)
(R3 3SiO1/2)r’(R3 2SiO2/2)s’(R3SiO3/2)t’(SiO4/2)u’ (3)
(式中、R3は、互いに独立に、水素原子、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基であるが、R3の少なくとも2つは水素原子であり、r’は0から100整数、s’は0から300の整数、t’は0から200の整数、u’は0から200の整数であり、2≦r’+s’+t’+u’≦800である)
で示される、請求項1〜4のいずれか1項に記載の半導体素子封止用付加硬化性シリコーン樹脂組成物。 - 請求項1〜5のいずれか1項記載の半導体素子封止用付加硬化性シリコーン樹脂組成物の硬化物によって半導体素子が封止されていることを特徴とする半導体装置。
- 半導体素子が発光素子であることを特徴とする、請求項6記載の半導体装置。
- 下記式(4)
(式中、R1は、互いに独立に、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基から選ばれる基であり、R2は、互いに独立に、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基であり、各々のR1、R2は同一であっても異なっていても良く、cは5〜100の整数であり、R3は水素原子または炭素数1〜6の飽和炭化水素基である)で示されるオルガノポリシロキサンと、下記式(5)
(式中、R2、R3は上記と同じであり、b’は1以上かつb以下であり、bは5〜100の整数である)で示される、両末端にアルコキシシリル基またはヒドロキシシリル基(シラノール基)を有するオルガノポリシロキサンとを共縮合させ、次に下記式(6)
(式中、R 1 は上記と同じであり、R 2 は炭素数2から10のアルケニル基であり、Xはハロゲン原子またはR3O−[R3は上記と同じである]で示される基である)で示される加水分解性基含有シラン化合物によって末端封鎖を行う工程、及び、前記工程により製造された反応生成物(A)と、
(B)下記式(2)
(R2 3SiO1/2)r(R2 2SiO2/2)s(R2SiO3/2)t(SiO4/2)u (2)
(式中、R2の定義は上記と同じであり、R2の少なくとも2つはアルケニル基であり、rは0から100の整数、sは0から300の整数、tは0から200の整数、uは0から200の整数であり、1≦t+u≦400、2≦r+s+t+u≦800である)
で示されるオルガノポリシロキサン
(A)成分100質量部に対して5〜900質量部の量、
(C)ヒドロシリル基を分子内に少なくとも2つ有するオルガノポリシロキサン
(A)成分と(B)成分中のアルケニル基の合計数に対して(C)成分中のヒドロシリル基の数が0.4〜4.0となる量、および
(D)ヒドロシリル化触媒
ヒドロシリル化反応を進行させるのに十分な量
とを混合する工程を含む、半導体素子封止用付加硬化性シリコーン樹脂組成物を製造する方法。 - (A)反応生成物において、ケイ素原子に結合する全置換基の数の内、1価芳香族炭化水素基の数の割合が3%以上、90%以下であることを特徴とする請求項8に記載の、半導体素子封止用付加硬化性オルガノポリシロキサン組成物を製造する方法。
- (C)成分が下記式(3)
(R3 3SiO1/2)r’(R3 2SiO2/2)s’(R3SiO3/2)t’(SiO4/2)u’ (3)
(式中、R3は、互いに独立に、水素原子、炭素数1から12の置換または非置換の飽和炭化水素基もしくは炭素数6から12の置換または非置換の芳香族炭化水素基であるが、R3の少なくとも2つは水素原子であり、r’は0から100整数、s’は0から300の整数、t’は0から200の整数、u’は0から200の整数であり、2≦r’+s’+t’+u’≦800である)
で示される、請求項8〜9のいずれか1項に記載の、半導体素子封止用付加硬化性シリコーン樹脂組成物を製造する方法。
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