JP6066472B2 - フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体、フランジ付き耐熱性ガラス容器及びそれらの製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体、及びフランジ付き耐熱性ガラス容器、特に大型のフランジ付き耐熱性ガラス容器、及びそれらの製造方法、並びに耐熱性ガラス部材接着構造体及びその製造方法に関し、特に、太陽電池や有機ＥＬなどの大型基板を加熱処理するときに用いられる大型の耐熱性ガラス容器として好適に用いられるフランジ付き耐熱性ガラス容器およびその製造方法に関する。

従来の大型耐熱性ガラス容器は、石英ガラスなどが主に使用されてきたが（特許文献１）、フランジ付きの大型耐熱性ガラス容器の場合には、フランジ部で石英ガラス部材を重ね合わせることで、長さを任意に調整することが可能であった。しかしながら、このフランジ同士を積み重ねて溶接する場合には、フランジが厚く、火炎加工による溶接が非常に難しく、加工中に割れてしまうことが多く、手間隙がかかって生産性が悪かった。また、溶接後にはアニールをする必要があり、大きな大型耐熱性ガラス容器を製造するためには、大きなアニール炉も必要となり、大型のアニール炉を導入するといったところでは、生産設備にも限界があった。

さらに、最近は太陽電池や有機ＥＬの基板がますます大型化が加速され、加熱処理するための大型耐熱性ガラス容器もさらに大型化が求められることになっている。残念ながら前述したように大型耐熱性ガラス容器、例えば大型の石英ガラス容器を製造することは限界を迎えている。

また、大口径になると外形や肉厚の公差が悪くなる一方であり、現状の火炎加工による溶接では大きさが５００ｍｍ以上では、長さの公差は±５０ｍｍ程度、平面度は±５ｍｍ程度となり、また溶接面で十分ガスシール性を確保することができない状況であった。

こうした寸法公差が悪いと、雰囲気中の酸素濃度をコントロールすることができなくなり、特に大口径の有機ＥＬのＴＶを製造するプロセスでは、有機ＥＬが酸素によって劣化してしまったり、有機ＥＬ基板と背面キャッププレートを張り合わせるエポキシ樹脂の品質が劣化してしまい貼りあわせ時に隙間が生じてしまう問題が発生している。

さらに、最近ではプロセスの低温化が進み、石英ガラス以外のガラス、例えば高珪酸ガラス、パイレックス（登録商標）、バイコール（登録商標）、テンパックス（登録商標）、ネオセラム（登録商標）、ネオレックス、ファイアライト（登録商標）が使用されることが検討されている、または一部使用が開始している。

実公平７−１４１９４号公報 特表２００８−５１１５２７号公報

本発明は、優れた寸法精度を有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体、及びフランジ付き耐熱性ガラス容器、特に大型のフランジ付き耐熱性ガラス容器、及びそれらの製造方法並びに耐熱性ガラス部材接着構造体及びその製造方法を提供することを目的とし、特に、太陽電池や有機ＥＬなどの大型基板を加熱処理するときに用いられる大型の耐熱性ガラス容器として好適に用いられるフランジ付き耐熱性ガラス容器およびその製造方法を提供することを目的とする。さらに、大型化が可能なフランジ付き耐熱性ガラス容器を簡単に製造することができるフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法および大型化が可能なフランジ付き耐熱性ガラス容器を提供することを目的とする。

上記課題を達成するために、本発明者らは、フランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法について鋭意研究を重ねた結果、溝部を有するフランジ部をＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤で接着することで、大型の耐熱性ガラス容器を簡単に製造することが可能であることを見出し、本発明を完成したものである。また、本発明の製造方法で得られた大型の耐熱性ガラス容器は優れた寸法精度を有していることも確認した。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法は、少なくとも一端部にフランジ部を有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体の複数個を互いに相対向する一対のフランジ付き耐熱性ガラス筒体の対向するフランジ部の対向面を当接接合し接着することによって製造するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法であって、
（Ａ）前記フランジ部の対向面となる全て又は一部のフランジ面に溝部を有する複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を用意する工程と、
（Ｂ）互いに相対向するフランジ面のうちの少なくとも一方が溝部を有するように前記複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を相対向するように設定する工程と、
（Ｃ）前記設定された複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を相対向するそれぞれのフランジ面の少なくとも一方が溝部を有するように相対向して当接させた状態で該溝部に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤で接合しフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体を形成する工程と、
（Ｄ）前記接合体を５００℃以上の温度で加熱し、前記接合されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体のフランジ部同士を接着してフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体とする工程と、
を含み、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とする。

上記（Ａ）〜（Ｄ）の工程を繰り返すことにより３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた構造体を製造することができ、また上記（Ａ）〜（Ｃ）の工程を繰り返して３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた接合体を最初に形成し、この接合体を加熱して、即ち上記（Ｄ）工程を行うことにより一度の加熱処理により３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた構造体を製造することもできる。

前記（Ｃ）工程において、前記設定された複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を相対向するそれぞれのフランジ面の少なくとも一方が溝部を有するように相対向して挟持状態で当接させた後、該相対向するフランジ部の側面に開口する溝部開口部から該溝部内にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を注入することによって接合しフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体を形成するように構成するのが好適である。

また、前記（Ｃ）工程において、前記設定された複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を上下方向に相対向せしめ、下方に位置するフランジ面は溝部を有するとともに上方に位置するフランジ面は溝部を有することなく平坦面であり、該下方側のフランジ面の溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を注入し、その後、上方側のフランジ面を該下方側のフランジ面に当接接合しフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体を形成するように構成することも可能である。

前記ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤としては、Ｂ型粘度計で３０ｒｐｍ、２３℃の条件下で測定したときに、該スラリー状の接着剤の粘度が、３０００ｍＰａ・ｓ以上であるものが好ましい。

前記（Ｃ）工程を室温で行い、また前記（Ｄ）工程を５００℃以上で行うのが好適である。

前記フランジ付き耐熱性ガラスとしては、石英ガラスが好適に用いられる。また、前記フランジ面に形成した溝部の幅がフランジ面の半分以下で、個数が２ケ以上とするのが好ましい。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第１の態様は、本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法において製造されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は中間形成物として形成されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体からフランジ付き耐熱性ガラス容器を製造する方法であって、
（ａ）前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体と、該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体の開放口を閉塞する形状を有しかつ該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体の開放口に対向する面に溝部を形成し又は溝部を形成することなく平坦面とした耐熱性ガラス蓋体とを用意する工程と、
（ｂ）互いに対向する前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面のうち少なくとも一方が溝部を有するように両者を相対向するように設定する工程と、
（ｃ）前記設定されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面とを相対向するフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面及び蓋体対向面のそれぞれの少なくとも一方が溝部を有するように相対向して当接させた状態で該溝部に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤で接合しフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体を形成する工程と、
（ｄ）前記フランジ付き耐熱性ガラス容器接合体を５００℃以上の温度で加熱し、前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体と耐熱性ガラス蓋体を接着してフランジ付き耐熱性ガラス容器とする工程と、
を含み、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とする。

上記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体を用いる場合には、前記した（Ａ）〜（Ｄ）の工程を繰り返して３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた構造体を製造し、この積み重ね構造体に対して上記（ａ）〜（ｄ）の工程を行うことにより３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた構造を有する耐熱性ガラス容器を製造することができる。

また、上記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体を用いる場合には、前記した（Ａ）〜（Ｃ）の工程を繰り返して３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた接合体を最初に形成し、この積み重ね接合体に対して上記（ａ）〜（ｄ）の工程を行うことにより３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた構造を有する耐熱性ガラス容器を製造することができる。

前記（ｃ）工程において、前記設定されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面とを相対向するフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面及び蓋体対向面のそれぞれの少なくとも一方が溝部を有するように相対向して挟持状態で当接させた後、該相対向するフランジ部と蓋体の側面に開口する溝部開放口から該溝部内にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を注入することによって接合しフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体を形成するように構成するのが好適である。

また、前記（ｃ）工程において、前記設定されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体と耐熱性ガラス蓋体を上下方向に相対向せしめ、下方に位置するフランジ面（又はフランジ部の存在しない端部面）又は蓋体対向面は溝部を有するとともに上方に位置する蓋体対向面又はフランジ面（又はフランジ部の存在しない端部面）は溝部を有することなく平坦面であり、該下方側のフランジ面（又はフランジ部の存在しない端部面）又は蓋体対向面の溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を注入し、その後、上方側の蓋体対向面又はフランジ面（又はフランジ部の存在しない端部面）を該下方側のフランジ面（又はフランジ部の存在しない端部面）又は蓋体対向面に当接接合しフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体を形成するように構成することもできる。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第２の態様は、本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体からフランジ付き耐熱性ガラス容器を製造する方法であって、
（i）前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体と該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の開口部を閉塞する形状を有する耐熱性ガラス蓋体とを用意する工程と、
（ii）互いに対向する前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面とが相対向するように設定する工程と、
（iii）前記設定されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面とを溶接してフランジ付き耐熱性ガラス容器とする工程と、
を含むことを特徴とする。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第３の態様は、一端側開放口を蓋体で閉塞しかつ他端側開放口にフランジ部を設けてなるフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と少なくとも一端部にフランジ部を有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体の１個又は複数個とを互いに相対向するフランジ部の対向面を当接接合し接着することによって製造するフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法であって、
（１）前記フランジ部の対向面となる全て又は一部のフランジ面に溝部を有するように前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体及び１個又は複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を用意する工程と、
（２）互いに相対向するフランジ面のうちの少なくとも一方が溝部を有するように前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と前記１個又は複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体とを相対向するように設定する工程と、
（３）前記設定されたフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と１個または複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体とが相対向するそれぞれのフランジ面の少なくとも一方が溝部を有するように相対向して当接させた状態で該溝部に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤で接合しフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体を形成する工程と、
（４）前記接合体を５００℃以上の温度で加熱し、前記接合されたフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体のフランジ部同士を接着してフランジ付き耐熱性ガラス容器とする工程と、
を含み、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とする。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体は、本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法によって製造されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体であって、
少なくとも一端部にフランジ部を有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体の複数個を互いに相対向する一対のフランジ付き耐熱性ガラス筒体の対向するフランジ部の対向面部分に形成された溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を充填し、該接着剤を介してフランジ付き耐熱性ガラス筒体同士が当接接合されかつ加熱接着された構造を有し、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とする。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の第１の態様は、本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第１の態様によって製造されるフランジ付き耐熱性ガラス容器であって、
端部側にフランジ部を有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体と、該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体の開放口を閉塞する形状を有する耐熱性ガラス蓋体とを有し、互いに相対向するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体の端部側のフランジ部の対向面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面の少なくとも一方に形成された溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を充填し、該接着剤を介してフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体と耐熱性ガラス蓋体が当接接合されかつ加熱接着された構造を有し、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とする。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の第２の態様は、本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第２の態様によって製造されるフランジ付き耐熱性ガラス容器であって、
前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体と、該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の開放口を閉塞する形状を有する耐熱性ガラス蓋体とを有し、互いに相対向するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面とが溶接された構造を有することを特徴とする。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の第３の態様は、本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第３の態様によって製造されるフランジ付き耐熱性ガラス容器であって、
一端側開放口を耐熱性ガラス蓋体で閉塞しかつ他端側開放口にフランジ部を設けてなるフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と、１個又は複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体とを有し、前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と１個または複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体とが相対向するそれぞれのフランジ面の少なくとも一方が溝部を有するように相対向して当接させた状態で該溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を充填し、該接着剤を介して前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と１個または複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体とが当接接合されかつ加熱接着された構造を有し、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とする。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器及びその製造方法において、耐熱性ガラス蓋体によって閉塞されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体の開放口側のフランジ部は必須の構成ではなく、フランジ部の設置がなくても開放口側の端部面に耐熱性ガラス蓋体を直接的に接合接着又は溶接する構成を採用することもできる。なお、後述する実施の形態の説明や図示例ではフランジ部を介して耐熱性ガラス蓋体を設けた構成について説明し、開放口側の端部面に耐熱性ガラス蓋体を直接取り付ける構成についての説明は冗長を避けるために省略する。

本発明の耐熱性ガラス部材接着構造体の製造方法は、一対の耐熱性ガラス部材の対向面を当接接合し接着する耐熱性ガラス部材接着構造体の製造方法であって、
（イ）前記耐熱性ガラス部材の対向面となる双方又は一方の面に溝部を有する一対の耐熱性ガラス部材を用意する工程と、
（ロ）互いに相対向する耐熱性ガラス部材の面のうちの少なくとも一方が溝部を有するように前記一対の耐熱性ガラス部材を相対向するように設定する工程と、
（ハ）前記設定された一対の耐熱性ガラス部材を相対向するそれぞれの面の少なくとも一方が溝部を有するように相対向して当接させた状態で該溝部に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤で接合し耐熱性ガラス部材接合体を形成する工程と、
（ニ）前記耐熱性ガラス部材接合体を５００℃以上の温度で加熱し、前記一対の耐熱性ガラス部材同士を接着して耐熱性ガラス部材接着構造体とする工程と、
を含み、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とする。

前記（ハ）工程において、前記設定された一対の耐熱性ガラス部材を相対向するそれぞれの面の少なくとも一方が溝部を有するように相対向して挟持状態で当接させた後、該相対向する耐熱性ガラス部材の側面に開口する溝部開口部から該溝部内にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を注入することによって接合し耐熱性ガラス部材接合体を形成するようにするのが好ましい。

前記（ハ）工程において、前記設定された一対の耐熱性ガラス部材を上下方向に相対向せしめ、下方に位置する耐熱性ガラス部材の対向面は溝部を有するとともに上方に位置する耐熱性ガラス部材の対向面は溝部を有することなく平坦面であり、該下方側の耐熱性ガラス部材の対向面の溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を注入し、その後、上方側の耐熱性ガラス部材の対向面を該下方側の耐熱性ガラス部材の対向面に当接接合し耐熱性ガラス部材接合体を形成するようにすることもできる。

本発明の耐熱性ガラス部材接着構造体は、本発明の耐熱性ガラス部材接着構造体の製造方法によって製造される耐熱性ガラス部材接着構造体であって、
相対向する一対の耐熱性ガラス部材の対向する面部分に形成された溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を充填し、該接着剤を介して耐熱性ガラス部材同士が当接接合されかつ接着された構造を有し、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とする。

本発明によれば、優れた寸法精度を有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体、及びフランジ付き耐熱性ガラス容器、特に大型のフランジ付き耐熱性ガラス容器、及びそれらの製造方法、並びに耐熱性ガラス部材接着構造体及びその製造方法を提供することでき、特に、太陽電池や有機ＥＬなどの大型基板を加熱処理するときに用いられる大型の耐熱性ガラス容器として好適に用いられるフランジ付き耐熱性ガラス容器およびその製造方法を提供することができる。また、優れた寸法精度を有し、大型化が可能なフランジ付き耐熱性ガラス容器、特に石英ガラス容器を提供できるという著大な効果を奏する。さらに、本発明によれば、大型の場合も優れた寸法精度と優れたガスシール性を有する大型耐熱性ガラス容器、例えば耐熱性ガラス角型容器を簡単に製造することができる製造方法を提供することができるという著大な効果を奏する。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の一つの実施形態を示す側面的説明図である。 図１の要部の摘示斜視説明図である。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の他の実施形態を示す側面的説明図である。 図３の要部の摘示斜視説明図である。 （ａ）（ｂ）（ｃ）は溝部の形状の３つの例を示す上面的説明図である。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の一つの実施形態を示す側面的説明図である。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の他の実施形態を示す側面的説明図である。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の別の実施形態を示す側面的説明図である。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス角形容器の一例を示す斜視説明図である。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス丸形容器の一例を示す斜視説明図である。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法の工程順を示すフローチャートである。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第１の態様の工程順の一例を示すフローチャートである。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第２の態様の工程順の一例を示すフローチャートである。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第３の態様の工程順の一例を示すフローチャートである。 本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器のさらに別の実施形態を示す側面的説明図である。 本発明の耐熱性ガラス部材接着構造体の一例を示す斜視説明図である。 本発明の耐熱性ガラス部材接着構造体の他の例を示す斜視説明図である。 本発明の耐熱性ガラス部材接着構造体の製造方法の工程順の一例を示すフローチャートである。

以下に本発明の実施の形態を添付図面に基づいて説明するが、図示例は例示的に示されるもので、本発明の技術思想から逸脱しない限り種々の変形が可能なことはいうまでもない。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６は、図１〜図２に示したように、少なくとも一端部（図示例では両端部）にフランジ部１０ａ、１０ｂを有する複数個（図示例では２個）のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂの互いに相対向するフランジ部１０ａ、１０ｂの対向面１４ａ，１４ｂの双方又は一方（図示例では双方）に溝部１８ａ、１８ｂを形成し、該溝部１８ａ、１８ｂにＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を充填し、該接着剤２０を介してフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂを当接接合し接着することによって製造されるものである。なお、フランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂは複数個（２個以上）を積み重ねて製造されるが、説明の都合上、図示例では２個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂを積み重ねる場合について示してある。

さらに、図１１に示したフローチャートによってフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法について説明する。まず、前記フランジ部１０ａ、１０ｂの対向面となる全て又は一部のフランジ面１４ａ、１４ｂに溝部１８ａ、１８ｂを有する複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂを用意する（工程１００）。前記フランジ部１０ａ、１０ｂは耐熱性ガラス筒体基体部１１ａ、１１ｂに接着（例えば、特許文献２に記載されたような方法により接着）もしくは溶接されている。前記溝部１８ａ、１８ｂはマシニング等の公知手段で形成される。

ついで、互いに相対向するフランジ面１４ａ、１４ｂのうちの少なくとも一方が溝部を有するように（図１の例ではフランジ面１４ａ、１４ｂのそれぞれに３個の溝部１８ａ、１８ｂが形成されている）前記複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂを相対向するように設定する（工程１０２）。

前記設定された複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂを相対向するそれぞれのフランジ面１４ａ、１４ｂの少なくとも一方が溝部を有するように（図１の例ではフランジ面１４ａ、１４ｂのそれぞれに３個の溝部１８ａ、１８ｂが形成されている）相対向して当接させた状態で該溝部１８ａ、１８ｂに充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０で接合し積み重ね接合体１６ａを形成する（工程１０４）。この状態で、ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤が乾燥するまで、一晩程度放置し乾燥させる。

この接合工程は室温で行うのが好適である。フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体１６ａとフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６とは前者が加熱前の状態で、後述するように後者が加熱処理を受けた後の状態を意味するものであるが、図面上は同一の形状で示されるので、図１においてはフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体１６ａの引き出し線を仮想線とし、フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６の引き出し線を実線で示して両者を区別してある。

前記工程１０４において、ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を溝部１８ａ、１８ｂに充填する手法としては、種々の手法が考えられるが、例えば、図１〜図２に示されるように、前記設定された複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂを相対向するそれぞれのフランジ面１４ａ、１４ｂの少なくとも一方が溝部を有するように相対向して挟持状態で当接（例えば、フランジ部をクランプなどで当接固定）させた後、該相対向するフランジ部１０ａ、１０ｂの側面に開口する溝部開口部１９ａ，１９ｂから該溝部１８ａ、１８ｂ内にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を注入することによって接合し積み重ね接合体１６ａを形成するように構成するのが好適である。

また、前記工程１０４において、ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を溝部１８ａ、１８ｂに充填するその他の手法としては、例えば、図３〜図４に示されるように、前記設定された複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂを上下方向に相対向せしめ、下方に位置するフランジ面１４ａは溝部１８ａを有するとともに上方に位置するフランジ面１４ｂは溝部を有することなく平坦面であり、該下方側のフランジ面１４ａの溝部１８ａにＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を注入し、その後、上方側のフランジ面１４ｂを該下方側のフランジ面１４ａに当接接合し積み重ね接合体１６ａを形成するように構成することも可能である。なお、図３〜図４においては、フランジ面１４ｂには溝部を形成することなく平坦面のままとした構成を示したが、その他の構成は図１〜図２と同様であるので、同一部材には同一の符号を用いて図示してある。図３〜図４の構成では、前記溝部開口部１９ａ，１９ｂを介することなく接着剤を充填注入することができる利点がある。

最後に、前記接合体１６ａを一晩程度放置して乾燥させた後に（クランプ等が取り付けられている場合はそれを外して）、前記接合体１６ａを焼成炉にセットし、１００℃以上の温度で加熱し、前記一対のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂのフランジ部同士１０ａ、１０ｂを接着して積み重ね構造体１６とする（工程１０６）。

前記耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂの材質としては石英ガラスが好ましいが、石英ガラスの場合には、焼成炉で５００℃以上、好ましくは１０００℃以上１４００℃以下で加熱する。前記耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂの材質が、高珪酸ガラス、パイレックス（登録商標）、バイコール（登録商標）、テンパックス（登録商標）、ネオセラム（登録商標）、ファイアライト（登録商標）の場合には２００℃以上、好ましくは４００℃以上５００℃以下で加熱することが好適である。

図１及び図２によって、本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６の構造の一例について説明する。図１において、耐熱性ガラスフランジ１０ａ、１０ｂに形成した溝部１８ａ、１８ｂにＳｉＯ_２を主成分とするスラリー状の接着剤２０を充填し（具体的には流し込み）、当接状態のフランジ部１０ａ、１０ｂは当初は接合されてフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体１６ａになり、この接合体１６ａはさらに加熱されることによって当該接着剤２０を介して耐熱性ガラスフランジ部１０ａ、１０ｂが強固に接着されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６となる。

また、図３及び図４によって、本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６の構造の他の例について説明する。図３において、耐熱性ガラスフランジ１０ａに形成した溝部１８ａにＳｉＯ_２を主成分とするスラリー状の接着剤２０を充填し（具体的には流し込み）、当接状態のフランジ部１０ａ、１０ｂは当初は接合されてフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体１６ａになり、この接合体１６ａはさらに加熱されることによって当該接着剤２０を介して耐熱性ガラスフランジ部１０ａ、１０ｂが強固に接着されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６となる。

前記ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤において、ＳｉＯ_２微粒子としては、非晶質ＳｉＯ_２微粒子が好ましく、具体的には、高珪酸もしくは石英ガラスの微粒子が好適である。

前記ＳｉＯ_２微粒子の粒径は５００μｍ以下が好ましく、１００μｍ以下がより好ましく、粒径をコントロールして最密充填になる粒度分布で溶媒に溶かすことが特に好適である。高珪酸もしくは石英ガラス微粒子は、ガラス材料を粉砕し、粒度を揃えるなどして調整することも可能である。

前記接着剤に用いられる溶媒としては、ＳｉＯ_２微粒子を溶解しスラリー状の接着剤が得られるものであれば特に制限はないが、例えば純水やアルコール、その他高純度な化学薬品（例えばＳｉのアルコキシド）などから選択すればよい。例えば純水に高珪酸もしくは石英ガラス微粒子を溶かし込んだ場合には、接着剤は白濁した粘性をもったスラリーとなる。

前記接着剤の特性に関しては、特に制限はないが、粘性が小さすぎる場合には接着するときに乾燥までに接着剤が流れてしまい工業的に使用できない。また、粘性が大きすぎると、接着剤を取り扱うことが難しくなる。

こうしたことから、当該接着剤の粘性は、Ｂ型粘度計で３０ｒｐｍ、２３℃の条件下で測定したときの接着剤の粘度が３０００ｍＰａ・ｓ以上であることが好ましく、４０００から１５０００ｍＰａ・ｓ程度が好ましい。

該ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤の固形分は６５％以上が好ましく、８０％以上がより好ましいく、８３％以上がさらに好ましい。

前記ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤としては、例えば、特許文献２に記載される非晶質ＳｉＯ_２粒子を含有する水性スラリーが好適である。

また、フランジ同士の接着強度を上げるには、フランジ面に形成される溝部の個数を多くすればよい。また溝部の形状は特に規制されることはなく、任意に形状を決めれば構わない。基本的には、ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤が流し込めて、フランジ面を接着できる形状であれば構わない。また溝部の加工は、通常のマシニングセンターでプログラムを組んで研削すればよく、プログラムによって溝部の形状は任意にデザインできる。

前記フランジ面に形成される溝部の形状に関しては、特に限定されるものではないが、ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤が溝部内に充填又は注入できる形状であればどんな形状でも構わない。使用可能な溝部形状の例示として、図５（ａ）（ｂ）（ｃ）に前記フランジ面１４ａに形成される溝部１８ａの形状の３つの例を示した。また、ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を乾燥焼成する過程でスラリー状の接着剤から溶媒が効率よく蒸発できるように、石英ガラスプレート等の耐熱性ガラスプレートのフランジ部の端面に形成される溝部開口部はなるべく多くなるように溝部の形状を設計することが好ましい。

前記耐熱性ガラス筒体及び後述するフランジ付き耐熱性ガラス容器に使用される耐熱性ガラス材料の材質としては、公知の耐熱性ガラスが使用可能であり、特に制限はないが、２０℃〜７００℃の範囲における熱膨張係数が１×１０^−７〜１×１０^−５（Ｋ^−１）のガラスが好ましく、具体的には、８５質量％以上のＳｉＯ_２を含有するドープ又はノンドープの珪酸塩ガラスが好適である。該珪酸塩ガラスとしては、例えば、高珪酸ガラス、パイレックス（登録商標）、バイコール（登録商標）、テンパックス（登録商標）、ネオセラム（登録商標）、ネオレックス、ファイライト（登録商標）および石英ガラスなどの高耐熱性ガラスが挙げられ、石英ガラスがより好ましい。

前記耐熱性ガラス材料の形状は特に制限はなく、フランジ付き耐熱性ガラス筒体の形状及び後述するフランジ付き耐熱性ガラス容器の形状に合わせて適宜選択すればよい。前記耐熱性ガラス材料の製造法については特に制限はなく、公知の方法により入手可能である。例えば、耐熱性ガラス板を使用する場合は、例えばブロック形状の塊からスライスしたり、高温で加熱して成型する方法で入手できる。

図１及び図３に示した本発明において用いられるフランジ付き耐熱性ガラス筒体の形状寸法について述べる。該フランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂのフランジ部１０ａ、１０ｂは、幅２０ｍｍ×肉厚２０ｍｍ×長さ５０ｃｍ以上で、このフランジ部１０ａ、１０ｂに幅５〜１０ｍｍ、深さ５〜１０ｍｍの溝部１８ａ、１８ｂを片面２本以上形成し、フランジ同士を合わせた場合に、この溝部１８ａ、１８ｂにスラリー状接着剤２０を流し込む構成とするのが好適である。このとき、溝部１８ａ、１８ｂの形状は直線でも、曲線でも構わない。

続いて、本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第１の態様について説明する。本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第１の態様は、本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法において製造されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は中間形成物として形成されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体から、図６又は図７に示したようなフランジ付き耐熱性ガラス容器３０を製造する方法である。なお、フランジ付き耐熱性ガラス容器３０は角型耐熱性ガラス容器及び丸型耐熱性ガラス容器に分類されるので、理解を助けるために図９及び図１０の斜視説明図によって角型耐熱性ガラス容器３０及び丸型耐熱性ガラス容器３０の形状を示した。

図９は角型耐熱性ガラス容器３０を示す斜視説明図である。該角型耐熱性ガラス容器３０は、フランジ部１０ａ、１０ａを有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、フランジ部１０ｂ、１０ｂを有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂ、フランジ部１０ｃ、１０ｃを有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｃの３個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ね、さらにその最上部のフランジ部１２ｃの上面に耐熱性ガラス蓋体２２を載置し、それぞれの溝部１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、３４、３６に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を介してそれぞれのフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ〜１２ｃ、耐熱性ガラス蓋体２２を互いに接合及び接着してなるものである。

図１０は丸型耐熱性ガラス容器３０を示す斜視説明図である。該丸型耐熱性ガラス容器３０は、フランジ部１０ａ、１０ａを有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、フランジ部１０ｂ、１０ｂを有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂ、フランジ部１０ｃ、１０ｃを有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｃの３個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ね、さらにその最上部のフランジ部１０ｃの上面に耐熱性ガラス蓋体２２を載置し、それぞれの溝部１８ａ、１８ｂ、１８ｃ、３４、３６に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を介してそれぞれのフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ〜１２ｃ、耐熱性ガラス蓋体２２を互いに接合及び接着してなるものである。なお、図１０において図９における部材と同様の部材は同一の符号を用いて図示してある。

さらに、図６に示した耐熱性ガラス容器３０の側面的説明図及び図１２に示したフローチャートによって本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第１の態様について説明する。本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法においては、前記した本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法において製造されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は中間形成物として形成されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体を用いてフランジ付き耐熱性ガラス容器３０を製造するものであるが、フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６及びフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体１６ａを同等の手順で共に利用することができるので、冗長を避けるために別手順とならない限り、並列的に表示して説明する。

まず、前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａ（図示したように上下の両方向に開口している）と耐熱性ガラス蓋体２２を用意する（工程２００）。該蓋体２２は、該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａの一方の開放口（図６の例では上部側の開放口）２４を閉塞する形状を有しかつ該開放口２４側の最上端部のフランジ部２６のフランジ面２８に対向する蓋体対向面３２に溝部を形成し又は溝部を形成することなく平坦面とした（図６の例ではフランジ面２８には溝部３４が形成され、蓋体面３２には溝部３６を形成）ものを用いる。

次に、互いに対向する前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａのフランジ面２８と耐熱性ガラス蓋体２２の対向面３２のうち少なくとも一方が溝部を有するように（図６の例では両者に溝部が形成されている）両者を相対向するように設定する（工程２０２）。

前記設定されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａの最上端部のフランジ面２８と耐熱性ガラス蓋体２２の対向面３２とを相対向するフランジ面２８及び蓋体対向面３２のそれぞれの少なくとも一方が溝部（図６の例では両者に溝部３４，３６が形成されている）を有するように相対向して当接させた状態で該溝部３４，３６に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０で接合しフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体３０ａを形成する（工程２０４）。

最後に、前記接合体３０ａを１００℃以上の温度で加熱し、前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａと耐熱性ガラス蓋体２２を接着してフランジ付き耐熱性ガラス容器３０とする（工程２０６）。なお、図６の図示例では、フランジ付き耐熱性ガラス容器接合体３０ａとフランジ付き耐熱性ガラス容器３０は同一形状で示されるので、前者の引出線を仮想線とし、後者の引出線を実線として区別してある。

前記工程２０４において、図６に示したように、前記設定されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａのフランジ面２８と耐熱性ガラス蓋体２２の対向面３２とを相対向するフランジ面２８及び蓋体対向面３２のそれぞれの少なくとも一方が溝部（図６の例では溝部３４，３６が形成されている）を有するように相対向して挟持状態で当接させた後、該相対向するフランジ部２６と蓋体２２の側面に開口する溝部開口部３４ａ、３６ａから該溝部内にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を注入することによって接合しフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体３０ａを形成するように構成するのが好適である。

また、前記工程２０４において、図７に示したように、前記設定されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａと耐熱性ガラス蓋体２２を上下方向に相対向せしめ、下方に位置するフランジ面２８又は蓋体対向面３２は溝部（図７の例ではフランジ面２８に溝部３４を有する）を有するとともに上方に位置する蓋体対向面又はフランジ面は溝部を有することなく平坦面のまま（図７の例では蓋体対向面３２には溝部を形成せず平坦面のまま）とし、該下方側のフランジ面又は蓋体対向面の溝部（図７の例ではフランジ面２８の溝部３４）にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を注入し、その後、上方側の蓋体対向面又はフランジ面（図７の例では蓋体２２）を該下方側のフランジ面又は蓋体対向面（図７の例ではフランジ面２８）に当接接合しフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体を形成するように構成することもできる。図７において図６と同一の部材は同一の符号で示されている。

上記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６を用いる場合には、図１１に示した工程１００〜１０６を繰り返して３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた構造体を製造し、この積み重ね構造体に対して図１２の工程２００〜２０６を行うことにより３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた構造を有する耐熱性ガラス容器を製造することができる。

また、上記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体１６ａを用いる場合には、図１１に示した工程１００〜１０４を繰り返して３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた接合体を最初に形成し、この積み重ね接合体に対して図１２の工程２００〜２０６を行うことにより３個以上のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねた構造を有する耐熱性ガラス容器を製造することができる。

なお、フランジ付き耐熱性ガラス容器３０に使用される耐熱性ガラス材料の材質やＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤については、前述したフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造において使用されるものが同様に使用可能であるので、再度の説明は省略する。

さらに、図８に示した耐熱性ガラス容器３０の側面的説明図及び図１３に示したフローチャートによって本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第２の態様について説明する。本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法においては、前記した本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法において製造されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６を用いて耐熱性ガラス蓋体２２を溶接することによってフランジ付き耐熱性ガラス容器３０を製造するものである。

まず、前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６と該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６の開口部２４を閉塞する形状を有する耐熱性ガラス蓋体２２とを用意する（工程２１０）。

次に、互いに対向する前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６のフランジ面２８と耐熱性ガラス蓋体２２の対向面３２とが相対向するように設定する（工程２１２）。

最後に、前記設定されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６のフランジ面２８と耐熱性ガラス蓋体２２の対向面３２とを溶接してフランジ付き耐熱性ガラス容器３０とする（工程２１４）。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６は、図１及び図３に示したように、少なくとも一端部にフランジ部１０ａ，１０ｂを有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ，１２ｂの複数個を互いに相対向する一対のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ，１２ｂの対向するフランジ部１０ａ、１０ｂの対向面部分１４ａ、１４ｂに形成された溝部１８ａ、１８ｂにＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を充填し、該接着剤２０を介してフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａ、１２ｂ同士が当接接合されかつ加熱接着された構造を有するものである。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器３０の第１の態様は、図６及び図７に示したように、端部側にフランジ部１０ｂを有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａと、該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａの開放口２４を閉塞する形状を有する耐熱性ガラス蓋体２２とを有し、互いに相対向するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａの端部側のフランジ部１０ｂの対向面と耐熱性ガラス蓋体２２の対向面の少なくとも一方に形成された溝部（図６では双方に溝部３４、３６を形成し、図７ではフランジ部１０ｂのみに溝部３４を形成した例を示してある）にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を充填し、該接着剤２０を介してフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａと耐熱性ガラス蓋体２２が当接接合されかつ加熱接着された構造を有するものである。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器３０の第２の態様は、図８に示したように、前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６と、該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６の開放口２４を閉塞する形状を有する耐熱性ガラス蓋体２２とを有し、互いに相対向するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６のフランジ面２８と耐熱性ガラス蓋体２２の対向面３２とが溶接Ｗされた構造を有するものである。

上記した本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器及びその製造方法の実施の形態についての説明では、耐熱性ガラス蓋体２２によって閉塞されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体１６又は接合体１６ａの開放口２４側のフランジ部は必須の構成ではなく、フランジ部の設置がなくても開放口側の端部面に耐熱性ガラス蓋体を直接的に接合接着又は溶接する構成を採用することもできる。なお、上記した実施の形態の説明や図示例ではフランジ部を介して耐熱性ガラス蓋体を設けた構成について説明し、開放口側の端部面に耐熱性ガラス蓋体を直接取り付ける構成についての説明は煩雑をさけるために省略してある。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造にあたっては、フランジ付き耐熱性ガラス筒体の一端側開放口を蓋体で閉塞しかつ他端側開放口にフランジ部を設けてなるフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体を予め製造しておき、このフランジ付き耐熱性ガラス容器本体を用いてフランジ付き耐熱性ガラス容器を製造することもでき、以下に図１４及び図１５によって説明する。図１４は本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第３の態様の工程順の一例を示すフローチャートであり、図１５は本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器のさらに別の実施形態を示す側面的説明図である。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第３の態様は、図１４に示すように、一端側開放口２４ａを耐熱性ガラス蓋体２２で閉塞しかつ他端側開放口２４ｂにフランジ部１０ａを設けてなるフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体１３と少なくとも一端部にフランジ部１０ｂを有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂの１個又は複数個とを互いに相対向するフランジ部１０ａ、１０ｂの対向面１４ａ、１４ｂを当接接合し接着することによって製造するフランジ付き耐熱性ガラス容器３０の製造方法である。図１４ではフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体１３にフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂを取り付ける場合が図示されているが、フランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂにさらにフランジ付き耐熱性ガラス筒体を順次取り付けることも可能である。なお、耐熱性ガラス蓋体２２をフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体１３の一端側開放口の端部面に耐熱性ガラス蓋体２２は接合接着又は溶接することによって予め取り付ければよい。なお、図１４においては図１と同様の構成は同一の符号によって図示し、再度の説明は省略してある。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法の第３の態様について、図１４及び図１５によって説明する。
まず、前記フランジ部１０ａ、１０ｂの対向面となる全て又は一部のフランジ面１４ａ、１４ｂに溝部１８ａ、１８ｂを有するように前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体１３及び１個又は複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂを用意する（工程２２０）。

次いで、互いに相対向するフランジ面１４ａ、１４ｂのうちの少なくとも一方が溝部１８ａ、１８ｂを有するように前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体１３と前記１個又は複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂとを相対向するように設定する（工程２２２）。

さらに、前記設定されたフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体１３と１個または複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂとが相対向するそれぞれのフランジ面１４ａ、１４ｂの少なくとも一方が溝部１８ａ、１８ｂを有するように相対向して当接させた状態で該溝部１８ａ、１８ｂに充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０で接合しフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体３０ａを形成する（工程２２４）。

最後に、前記接合体３０ａを１００℃以上の温度で加熱し、前記接合されたフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体３０ａのフランジ部１０ａ、１０ｂ同士を接着してフランジ付き耐熱性ガラス容器３０とする（工程２２６）。

本発明のフランジ付き耐熱性ガラス容器の第３の態様３０は、図１４に示したように、フランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ａの一端側開放口２４ａを耐熱性ガラス蓋体２２で閉塞しかつ他端側開放口２４ｂにフランジ部１０ａを設けてなるフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体１３と、１個又は複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂとを有している。前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体１３と１個または複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂとが相対向するそれぞれのフランジ面１４ａ、１４ｂの少なくとも一方が溝部１８ａ、１８ｂを有するように相対向して当接させた状態で該溝部１８ａ、１８ｂにＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を充填する。該接着剤２０を介して前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体１３と１個または複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体１２ｂとが当接接合されかつ加熱接着されてフランジ付き耐熱性ガラス容器３０となるものである。

本発明において使用される溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を充填することによって耐熱性ガラス部材同士を接着する方法は種々の応用が可能なものであり、以下に耐熱性ガラス部材同士の接着方法について図１６〜図１８によって説明する。

図１６は本発明の耐熱性ガラス部材接着構造体の一例を示す側面説明図である。図１６に示すように一対の耐熱性ガラス部材４２，４４のそれぞれの対向面４６，４８の一方又は双方（図示例では双方）に形成された溝部５０，５２に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０によって当該一対の耐熱性ガラス部材４２，４４が接着されて耐熱性ガラス部材接着構造体４０が形成される。図１７は本発明の耐熱性ガラス部材接着構造体の他の例を示す側面説明図であるが、図１７では耐熱性ガラス部材４２のみに溝部５０を形成した例が示されている。

図１８は本発明の耐熱性ガラス部材接着構造体の製造方法の工程順を示すフローチャートである。前記耐熱性ガラス部材４２，４４の対向面４６，４８となる双方又は一方（図１６の図示例では双方）の面に溝部５０，５２を有する一対の耐熱性ガラス部材４２，４２を用意する（工程３００）。

次に、互いに相対向する耐熱性ガラス部材４２，４４の面４６，４８のうちの少なくとも一方（図１６の図示例では双方）が溝部５０，５２を有するように前記一対の耐熱性ガラス部材４２，４４を相対向するように設定する（工程３０２）。

前記設定された一対の耐熱性ガラス部材４２，４４を相対向するそれぞれの面４６，４８の少なくとも一方（図１６の図示例では双方）が溝部５０，５２を有するように相対向して当接させた状態で該溝部５０，５２に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０で接合し耐熱性ガラス部材接合体４０ａ（図１６では耐熱性ガラス部材接着構造体４０と同様の形状を有するので、符号４０ａで示し、その引出線を仮想線とした。）を形成する（工程３０４）。

最後に、前記耐熱性ガラス部材接合体４０ａを１００℃以上の温度で加熱し、前記一対の耐熱性ガラス部材同士を接着して耐熱性ガラス部材接着構造体４０とする（工程３０６）。

上記したＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０の充填方法の具体的手法としては、次のような方法を適用すればよい。前記工程３０４において、前記設定された一対の耐熱性ガラス部材４２，４４を相対向するそれぞれの面の少なくとも一方（図１６の図示例では双方）が溝部５０，５２を有するように相対向して挟持状態で当接させた後、該相対向する耐熱性ガラス部材４２，４４の側面に開口する溝部開口部５０ａ、５２ａから該溝部５０、５２内にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を注入することによって接合し耐熱性ガラス部材接合体４０ａを形成するようにするのが好ましい。

また、前記工程３０４において、図１７に示したように、前記設定された一対の耐熱性ガラス部材４２，４４を上下方向に相対向せしめ、下方に位置する耐熱性ガラス部材４２の対向面４６は溝部５０を有するとともに上方に位置する耐熱性ガラス部材の対向面４８は溝部を有することなく平坦面であり、該下方側の耐熱性ガラス部材４２の対向面４６の溝部５０にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤２０を注入し、その後、上方側の耐熱性ガラス部材４４の対向面４８を該下方側の耐熱性ガラス部材４２の対向面４６に当接接合し耐熱性ガラス部材接合体４０ａを形成するようにすることもできる。

なお、耐熱性ガラス部材接着構造体４０に使用される耐熱性ガラス材料の材質やＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤については、前述したフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造において使用されるものが同様に使用可能であるので、再度の説明は省略する。

本発明では、ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を用いて耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体、耐熱性ガラス容器及び耐熱性ガラス部材接着構造体を製作することで、これらの耐熱性ガラス構造体や耐熱性ガラス容器の熱膨張などによる伸び縮みを小さくすることができる。また、本発明の耐熱性ガラス容器では、分割したフランジ付き耐熱性ガラス筒体をフランジ部を介して接着して組み立てることができるので、コンパクトに耐熱性ガラス容器を製造できる利点がある。

また、分割したフランジ付き耐熱性ガラス筒体をフランジ部を介して組み立てることができるので、寸法精度、垂直度なども、フランジ部で調整することができるという有利さがある。

さらに、大きな耐熱性ガラス容器を運搬するには、非常に手間が必要であるが、分割したフランジ付き耐熱性ガラス筒体を利用して実際に使用する場所でこのフランジ付き耐熱性ガラス筒体を積み重ねて組み立て、その場所でフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体から作られた耐熱性ガラス容器接合体を焼成して耐熱性ガラス容器とすれば、運搬にかかるコストも低減することができるという大きな効果が達成される。

以下、実施例により本発明を具体的に説明するが、本発明は下記実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
石英ガラスの微粉を調整し、１μｍ以下の細かい粒子、５−１０μｍの中間粒子、５０−１００μｍの大きな粒子を準備し、最密充填になる比率で混合し、これを純水に溶かしこんで、ＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を調製した。水分量としては約１０％程度で、Ｂ型粘度計での３０ｒｐｍでの回転条件、室温（２３℃）での上記接着剤の粘度は６５００ｍＰａ・ｓｅｃとなった。

また、幅５０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ、肉厚２０ｍｍの石英ガラス板に、図２のような幅５ｍｍ、深さ５ｍｍの溝部を２ケを形成した。この溝部が互いに同じ位置にならないように、セットして、この溝部に上記の調製したスラリー状の接着剤を注入した。この石英ガラス板２枚を張り合わせた状態で一晩乾燥させて石英ガラス板接合体とし、この接合体を１２００℃で１時間加熱した。この石英ガラス板２枚の張り合わせた状態の石英ガラス板接着体の端部を厚さ５ｍｍにカットして、ＪＡＳ１級試験 単板積層試験に準拠し、三点曲げ試験を行った。

支点間距離３０ｍｍで置いた２本の支持棒の上にサンプルを載せ、サンプルの表面を上面として、スパン中央に直交するように置いた。加重棒の有効長さの上に荷重速度０．５ｍｍ／分の条件で荷重を加え、室温で耐荷重を測定した。その結果、得られた接着剤で接着された石英ガラス板接着体は十分なる耐加重性能を有することを確認した。

（実施例２〜４）
実施例１と同様の３枚の石英ガラス板に図５（ａ）（ｂ）（ｃ）で示した幾何学模様で溝部をそれぞれ形成し（図５（ａ）：実施例２、図５（ｂ）：実施例３、図５（ｃ）：実施例４）、実施例１と同様のＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤をそれぞれの溝部に注入した後、溝部を有さない石英ガラス板を接合し、石英ガラス板２枚を張り合わせた状態で一晩乾燥させて石英ガラス板接合体とした。その後これらを６００℃で加熱した。実施例１と同じように端部を５ｍｍカットした。これらのサンプルに対して実施例１と同じように３点曲げ試験行った。その結果、得られた接着剤で接着された石英ガラス板接着体のそれぞれは十分なる耐加重性能を有することを確認した。

（実施例５）
１０００ｍｍ×５００ｍｍ×肉厚７ｍｍの石英ガラス板を８枚準備し、この板を各４枚ずつ使用して角筒状の石英ガラス筒体を２個作成した。この角筒状の石英ガラス筒体の下部４辺に幅５０ｍｍ×肉厚２０ｍｍ×長さ１０００ｍｍのフランジ部をあわせて溶接した。このフランジ部に幅１０ｍｍ×深さ５ｍｍ×長さ４０ｍｍの溝部をピッチ５０ｍｍで２０個形成した。

これらの溝部が上下のフランジで交互になるように形成し、このフランジ部を重ね合わせた。４辺フランジ部のうち一辺のフランジ部の溝部に、実施例１と同様のＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を流し込み、一晩乾燥した。その後、上記角筒状の石英ガラス筒体を９０度回転させて、次のフランジ部の溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を流し込み、一晩乾燥した。これを繰り返して、２個の石英ガラス筒体の対向するすべてのフランジ部の溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を流し込み、フランジ部同士を接合させ、２個の石英ガラス筒体の積み重ね接合体を作製した。

その後、この石英ガラス筒体積み重ね接合体を１２００℃で加熱して、接着剤の焼成を行い、石英ガラス筒体積み重ね構造体を作製した。この石英ガラス筒体積み重ね構造体の上端部に１０００ｍｍ×１０００ｍｍ×肉厚７ｍｍの石英ガラス板（蓋体）を溶接して、フランジ付き角型石英ガラス容器を作製した。

この角型石英ガラス容器内で、有機ＥＬ照明の基板の熱処理プロセスを行ったが、水分を低減できた雰囲気であったので、有機ＥＬ成分の劣化が発生することなく、有機ＥＬ照明の照度を維持することが可能であった。

（実施例６）
幅５０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ、肉厚８ｍｍのネオセラム（登録商標）２枚を準備し、このネオセラム（登録商標）の表面に幅１０ｍｍ、深さ３ｍｍ、長さ１５０ｍｍの溝部を１０ｍｍ間隔で上下の板に重ならないように形成し、この溝部の中にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を注入し、一晩乾燥後、５００℃で加熱した。この板２枚は、十分な強度で接着されていた。

（実施例７）
外径７００ｍｍ、肉厚８ｍｍ、長さ５００ｍｍの石英ガラス管を５本準備した。各石英ガラス管の上下には、外径８００ｍｍ、内径７００ｍｍ、肉厚２０ｍｍの石英ガラスフランジをガラス管外周部に石英ガラス部材を肉もり後研削して形成した。このフランジ部に、直径方向に２０度間隔で、円の中心に向かって、幅１０ｍｍ、深さ１０ｍｍ、長さ３０ｍｍの溝部を形成し、溝部が重ならないように、２本のガラス管を上下に重ねて、このフランジ部をクランプで固定した。この溝部に、注射器で奥の方からＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を充填し、一晩乾燥させた。その後、フランジ部分だけを温度６００℃で加熱した。その後さらに、この接着した石英ガラス管のフランジ部に、次の石英ガラス管をフランジ部で重ねて、フランジ部に形成された溝部に、注射器で石英ガラススラリーを注入した。

この操作を繰り返し、５本の石英ガラス管を全てつなぎ合わせて、外径７００ｍｍ、長さ２５００ｍｍの石英ガラス管積み重ね接合体を形成した。最後にこの石英ガラス管積み重ね接合体の最上端部のフランジ部の上面の溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を注入し、その最上端部のフランジ部に肉厚１０ｍｍの石英ガラス板を載置し接合し、フランジ付き丸型石英ガラス容器接合体を作製した。この丸型石英ガラス容器接合体を１２００℃で加熱して、接着剤の焼成を行い、接着構造体となった丸型石英ガラス容器を作製した。

（比較例１）
幅５０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ、肉厚２０ｍｍの石英ガラス板を２枚溶接しようとしたが、肉厚が厚く、溶接時にクラックが入ってしまった。クラックが入らなかった部分から、サンプルを切り出して実施例１と同じように３点曲げ試験を行ったが、溶接がしっかりされていなかったために、簡単に溶接面から、板同士が剥離してしまった。

（比較例２）
幅５０ｍｍ、長さ１５０ｍｍ、肉厚２０ｍｍの石英ガラス２枚を準備し、この石英ガラスの板２枚を幅３ｍｍの隙間を形成し、この隙間にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を注入した。この石英ガラス板の張り合わせたものを１２００℃まで加熱したが、途中で石英ガラス板が外れてしまった。

１０ａ、１０ｂ、１０ｃ、２６：耐熱性ガラスフランジ部、１１ａ、１１ｂ：耐熱性ガラス筒体基体部、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ：耐熱性ガラス筒体、１３:フランジ付き耐熱性ガラス容器本体、１４ａ、１４ｂ、２８：フランジ対向面、１６：フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体、１６ａ：フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体、１８ａ、１８ｂ、１８ｃ：溝部、１９ａ、１９ｂ：溝部開口部、２０：接着剤、２２：耐熱性ガラス蓋体、２４，２４ａ、２４ｂ：開放口、３０：耐熱性ガラス容器、３０ａ：耐熱性ガラス容器接合体、３２：蓋体対向面、３４、３６：溝部、３４ａ、３６ａ：溝部開口部、４０：耐熱性ガラス部材接着構造体、４０ａ：耐熱性ガラス部材接合体、４２、４４：耐熱性ガラス部材、４６、４８：対向面、５０ａ、５２ａ：溝部開口部、５０、５２：溝部、Ｗ：溶接。

Claims (10)

1. 少なくとも一端部にフランジ部を有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体の複数個を互いに相対向する一対のフランジ付き耐熱性ガラス筒体の対向するフランジ部の対向面を当接接合し接着することによって製造するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法であって、
   （Ａ）前記フランジ部の対向面となる全て又は一部のフランジ面に溝部を有する複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を用意する工程と、
   （Ｂ）互いに相対向するフランジ面のうちの少なくとも一方が溝部を有するように前記複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を相対向するように設定する工程と、
   （Ｃ）前記設定された複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を相対向するそれぞれのフランジ面の少なくとも一方が溝部を有するように相対向して当接させた状態で該溝部に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤で接合しフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体を形成する工程と、
   （Ｄ）前記接合体を５００℃以上の温度で加熱し、前記接合されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体のフランジ部同士を接着してフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体とする工程と、
   を含み、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とするフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の製造方法。
2. 請求項１記載の製造方法において製造されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は中間形成物として形成されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね接合体からフランジ付き耐熱性ガラス容器を製造する方法であって、
   （ａ）前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体と、該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体の開口部を閉塞する形状を有しかつ該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体の開口部に対向する面に溝部を形成し又は溝部を形成することなく平坦面とした耐熱性ガラス蓋体とを用意する工程と、
   （ｂ）互いに対向する前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面のうち少なくとも一方が溝部を有するように両者を相対向するように設定する工程と、
   （ｃ）前記設定されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面とを相対向するフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面及び蓋体対向面のそれぞれの少なくとも一方が溝部を有するように相対向して当接させた状態で該溝部に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤で接合しフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体を形成する工程と、
   （ｄ）前記フランジ付き耐熱性ガラス容器接合体を５００℃以上の温度で加熱し、前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体と耐熱性ガラス蓋体を接着してフランジ付き耐熱性ガラス容器とする工程と、
   を含み、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とするフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法。
3. 請求項１記載の製造方法により製造されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体からフランジ付き耐熱性ガラス容器を製造する方法であって、
   （i）前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体と該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の開口部を閉塞する形状を有する耐熱性ガラス蓋体とを用意する工程と、
   （ii）互いに対向する前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面とが相対向するように設定する工程と、
   （iii）前記設定されたフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面とを溶接してフランジ付き耐熱性ガラス容器とする工程と、
   を含むことを特徴とするフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法。
4. 請求項１記載の製造方法によって製造されるフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体であって、
   少なくとも一端部にフランジ部を有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体の複数個を互いに相対向する一対のフランジ付き耐熱性ガラス筒体の対向するフランジ部の対向面部分に形成された溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を充填し、該接着剤を介してフランジ付き耐熱性ガラス筒体同士が当接接合されかつ加熱接着された構造を有し、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とするフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体。
5. 請求項２記載の製造方法によって製造されるフランジ付き耐熱性ガラス容器であって、
   端部側にフランジ部を有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体と、該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体の開放口を閉塞する形状を有する耐熱性ガラス蓋体とを有し、互いに相対向するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体の端部側のフランジ部の対向面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面の少なくとも一方に形成された溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を充填し、該接着剤を介してフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体又は接合体と耐熱性ガラス蓋体が当接接合されかつ加熱接着された構造を有し、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とするフランジ付き耐熱性ガラス容器。
6. 請求項３記載の製造方法によって製造されるフランジ付き耐熱性ガラス容器であって、
   前記フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体と、該フランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体の開放口を閉塞する形状を有する耐熱性ガラス蓋体とを有し、互いに相対向するフランジ付き耐熱性ガラス筒体積み重ね構造体のフランジ面又はフランジ部の存在しない端部面と耐熱性ガラス蓋体の対向面とが溶接された構造を有することを特徴とするフランジ付き耐熱性ガラス容器。
7. 一端側開放口を蓋体で閉塞しかつ他端側開放口にフランジ部を設けてなるフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と少なくとも一端部にフランジ部を有するフランジ付き耐熱性ガラス筒体の１個又は複数個とを互いに相対向するフランジ部の対向面を当接接合し接着することによって製造するフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法であって、
   （１）前記フランジ部の対向面となる全て又は一部のフランジ面に溝部を有するように前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体及び１個又は複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体を用意する工程と、
   （２）互いに相対向するフランジ面のうちの少なくとも一方が溝部を有するように前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と前記１個又は複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体とを相対向するように設定する工程と、
   （３）前記設定されたフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と１個または複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体とが相対向するそれぞれのフランジ面の少なくとも一方が溝部を有するように相対向して当接させた状態で該溝部に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤で接合しフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体を形成する工程と、
   （４）前記接合体を５００℃以上の温度で加熱し、前記接合されたフランジ付き耐熱性ガラス容器接合体のフランジ部同士を接着してフランジ付き耐熱性ガラス容器とする工程と、
   を含み、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とするフランジ付き耐熱性ガラス容器の製造方法。
8. 請求項７記載の製造方法によって製造されるフランジ付き耐熱性ガラス容器であって、
   一端側開放口を蓋体で閉塞しかつ他端側開放口にフランジ部を設けてなるフランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と、１個又は複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体とを有し、前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と１個または複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体とが相対向するそれぞれのフランジ面の少なくとも一方が溝部を有するように相対向して当接させた状態で該溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を充填し、該接着剤を介して前記フランジ部付き耐熱性ガラス容器本体と１個または複数個のフランジ付き耐熱性ガラス筒体とが当接接合されかつ加熱接着された構造を有し、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とするフランジ付き耐熱性ガラス容器。
9. 一対の耐熱性ガラス部材の対向面を当接接合し接着する耐熱性ガラス部材接着構造体の製造方法であって、
   （イ）前記耐熱性ガラス部材の対向面となる双方又は一方の面に溝部を有する一対の耐熱性ガラス部材を用意する工程と、
   （ロ）互いに相対向する耐熱性ガラス部材の面のうちの少なくとも一方が溝部を有するように前記一対の耐熱性ガラス部材を相対向するように設定する工程と、
   （ハ）前記設定された一対の耐熱性ガラス部材を相対向するそれぞれの面の少なくとも一方が溝部を有するように相対向して当接させた状態で該溝部に充填されたＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤で接合し耐熱性ガラス部材接合体を形成する工程と、
   （ニ）前記耐熱性ガラス部材接合体を５００℃以上の温度で加熱し、前記一対の耐熱性ガラス部材同士を接着して耐熱性ガラス部材接着構造体とする工程と、
   を含み、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とする耐熱性ガラス部材接着構造体の製造方法。
10. 請求項９記載の製造方法によって製造される耐熱性ガラス部材接着構造体であって、
    相対向する一対の耐熱性ガラス部材の対向する面部分に形成された溝部にＳｉＯ_２微粒子を主成分とするスラリー状の接着剤を充填し、該接着剤を介して耐熱性ガラス部材同士が当接接合されかつ接着された構造を有し、前記ＳｉＯ _２ 微粒子が石英ガラス微粒子であることを特徴とする耐熱性ガラス部材接着構造体。

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