JP2011502194A

JP2011502194A - 極性のポリジメチルシロキサンの型、この型の製造方法、およびパターン転写のためのこの型の使用方法

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Publication number: JP2011502194A
Application number: JP2010531228A
Authority: JP
Inventors: ウェイチェン; ブライアンハークネス; マイケルスタンガ; ジェーウングリム
Original assignee: Dow Corning Corp
Current assignee: Dow Silicones Corp
Priority date: 2007-10-29
Filing date: 2008-10-23
Publication date: 2011-01-20
Anticipated expiration: 2028-10-23
Also published as: EP2206015A2; WO2009021249A2; TW200932471A; KR20100097656A; WO2009021249A3; CN101842745B; JP5576284B2; WO2009021249A4; CN101842745A; US8734708B2; US20100206470A1

Abstract

方法は、（Ｉ）硬化されたシリコーン製品を製造する工程と、（ＩＩ）この硬化されたシリコーン製品をパターン形成技法で使用する工程とを含む。この硬化されたシリコーン製品は、（Ａ）シリコーン硬化パッケージおよび（Ｂ）ポリアルキレンオキシド官能性および反応性官能性を有する極性の添加剤の反応生成物である。この方法はソフトリソグラフィー用途において有用である。
【選択図】なし

Description

（関連出願の相互参照）
本願は、米国特許法第１１９条第（ｅ）項に基づき、２００７年１０月２９日出願の米国仮特許出願第６０／９８３，２５１号の利益を主張する。米国仮特許出願第６０／９８３，２５１号は、参照により本願明細書に援用する。

（連邦政府による資金提供を受けた研究開発の記載）
なし。

本発明は、極性の添加剤が直接架橋されている硬化されたシリコーン製品を製造するための化学的経路に関する。

ポリジメチルシロキサン（ＰＤＭＳ）の型（ｍｏｌｄ）は、ソフトリソグラフィー、特にマイクロコンタクトプリンティング（μＣＰ）およびソフトマイクロモールディング（ｓｏｆｔｍｉｃｒｏｍｏｌｄｉｎｇ）プロセスのための型（ｓｔａｍｐ）を作製するために広く使用されてきた。ＤＯＷＣＯＲＮＩＮＧ（登録商標）ＳＹＬＧＡＲＤ（登録商標）１８４はこれらの用途のための最も一般的な型製造材料である。ＰＤＭＳは弾性、ぴったりとした接触（ｃｏｎｆｏｒｍａｌｃｏｎｔａｃｔ）、低表面エネルギー、良好な表面剥離、および透明性などのいくつかの望ましい特性を提供する。ロールプリンティングまたはμＣＰプロセスなどのパターン転写技法においては、極性のインキの使用は、インキと疎水性のＰＤＭＳの型の表面との間の非相溶性の問題を発生させる可能性がある。マイクロモールディングプロセスでは、溶媒ベースのポリマーはプリンティング媒体として使用され、ＰＤＭＳベースの型はより極性の溶媒に対しては限られた透過性しか有しない。

極性の溶媒ベースのポリマー膜のパターン形成、次いでその型の中の溶媒除去を必要とする用途については、ＰＤＭＳの溶媒拡散速度は、十分には実用的ではない場合がある。これは、主にＰＤＭＳの非極性に起因している。ＰＤＭＳの型の極性を上昇させるための典型的な方法は、その表面を酸素ベースのプラズマで処理することである。しかしながら、誘導された表面親水性は持続的なものではなく、２、３時間の内には消失するであろうことが当該技術分野で知られている。多くの有機の親水性エラストマーの型が、μＣＰのために極性のインキとともに機能すると報告されている。有機の型の使用は、ＰＤＭＳの型ほどには広くは認められてはいない。パターン転写は、変性ＰＤＭＳの型を使用して溶媒ベースのポリマー膜の上で成功裏に実証されてきた。型の下からの溶媒除去は、パターン形成工程における決定的因子である。パターン転写の成功のために溶媒除去を増強するために、型の中での高い溶媒拡散速度または高い溶媒吸着を得ることが望ましい。

ある方法は、
（Ａ）ポリアルキレンオキシド官能性および反応性官能性を含む極性の添加剤と、
（Ｂ）シリコーン硬化パッケージと
を含む硬化性シリコーン組成物を硬化させる工程を含むプロセスによって硬化されたシリコーン製品を製造する工程を含む。硬化されたシリコーン製品は、パターン転写技法で使用されてもよい。

後述される実施例１で調製されたＥＯ−ＰＯ変性ＰＤＭＳの型の表面へと複製された５マイクロメートルサイズの特徴を示す。この実施例では、５％ＥＯ−ＰＯがＳＹＬＧＡＲＤ（登録商標）１８４配合物の中に添加された。図１の型におけるＥＯ−ＰＯのレベルの増加に伴う水接触角および表面エネルギーの変化を示す（● 接触角、○ 表面エネルギー）。ＥＯ−ＰＯの量の関数として、変性されたＳＹＬＧＡＲＤ（登録商標）１８４型膜を通るエタノールの透過性を示す。実施例１で調製されたＳＹＬＧＡＲＤ（登録商標）１８４型の中のＥＯ−ＰＯ添加剤の量の関数としてエタノール飽和重量増加を示す。実施例６、７、１３、および１４で調製されたＳＹＬＧＡＲＤ（登録商標）１８４型のＥＯ−ＰＯ添加剤の量の関数として、溶媒取り込みを示す。

極性の添加剤が直接架橋されている硬化されたシリコーン製品を製造するための化学的経路が開示される。この硬化されたシリコーン製品は、例えばパターン転写およびパターン形成などのパターニング技法において有用である。この硬化されたシリコーン製品は、ソフトリソグラフィー用途用のシリコーンの型として使用されてもよい。この硬化されたシリコーン製品は、極性の溶媒に対して高い表面エネルギーおよび高い拡散速度を示し得る。この硬化されたシリコーン製品は、複数回のプリンティングプロセスの間に機械的特性および表面特性を損なう化学的に結合されていない添加剤分子の問題がなく、極性の添加剤を含まない製品よりも高い表面極性を有することができる。

（硬化性シリコーン組成物）
上記の方法で有用な硬化性シリコーン組成物は、成分（Ａ）、ポリアルキレンオキシド官能性および反応性官能性を含む極性の添加剤であって、この反応性官能性は成分（Ｂ）、シリコーン硬化パッケージの少なくとも１つの成分と反応性である、極性の添加剤を含む。このシリコーン硬化パッケージは、縮合反応硬化性組成物、ヒドロシリル化硬化性組成物、ラジカル硬化性組成物、開環重合性組成物（例えば、エポキシ硬化性組成物）、付加硬化性組成物（イソシアネート硬化性組成物またはヒドロシリル化硬化性組成物など）、またはこれらの組み合わせからなる群から選択されてもよい。

（極性の添加剤）
この極性の添加剤は、ポリ（アルキレンオキシド）官能性を含む。この極性の添加剤は、シリコーン硬化パッケージの少なくとも１つの成分と反応性であり、それゆえこの極性の添加剤は反応性基をさらに含む。この反応性基は末端またはペンダントであってもよい。あるいは、この反応性基は末端であってもよい。例えば、この極性の添加剤は１つの末端反応性基または複数の末端反応性基を有していてもよい。この反応性基の選択は、上記シリコーン硬化パッケージの選択に応じて変わる。例えば、ヒドロシリル化硬化性組成物がシリコーン硬化パッケージとして使用される場合、この反応性基は脂肪族の不飽和有機基、ケイ素に結合した水素原子、またはこれらの組み合わせであってもよい。あるいは、この反応性基はビニルのようなアルケニル基またはアルキニル基であってもよい。縮合反応硬化性組成物が使用される場合、この反応性基は、例えばハロゲン原子、アセトアミド基、アシルオキシ基（アセトキシなど）、アルコキシ基、アミド基、アミノ基、アミノキシ基、ヒドロキシル基、オキシモ基、ケトキシモ基、メチルアセトアミド基、アルコキシシリルヒドロカルビレン基、またはこれらの組み合わせ、あるいはヒドロキシル基またはアルコキシ基またはこれらの組み合わせであってもよい。あるいは、エポキシ硬化性組成物が使用される場合、この反応性基はエポキシ官能性有機基またはヒドロキシル基またはこれらの組み合わせであってもよい。

極性の添加剤の量は、選択された極性の添加剤および選択されたシリコーン硬化パッケージの種類を含めた種々の要因によって変わるが、しかしながら、極性の添加剤の量は、硬化性シリコーン組成物の重量基準で０．５％〜２０％の範囲であってもよい。理論に拘束されることは望まないが、０．５％未満が使用される場合、当該硬化性シリコーン組成物を硬化することによって調製される硬化されたシリコーン製品はいくつかのパターン形成技法のための十分な親水性を欠くであろうが、極性の添加剤の量が２０％よりも大きいと、これは当該硬化性シリコーン組成物の粘度を望ましくないレベルまで上昇させるか、または硬化されたシリコーン製品の表面を滑らかなものではなく凹凸のあるものにするか、またはこれらの両方を引き起こす可能性があると考えられる。

この極性の添加剤は、プロピレンオキシド官能性シロキサンなどのポリアルキレンオキシド官能性シロキサンを含んでいてもよい。適切なプロピレンオキシド官能性シロキサンの例としては、ジメチル、メチル（プロピルグリシドオキシ）、メチル（プロピル（ポリ（ＰＯ））メチル）シクロシロキサン；ジメチル、メチル（グリシドオキシプロピル）、メチル（プロピル（ポリ（ＰＯ））メチル）シロキサン；およびこれらの組合せが挙げられる。本願の目的のために、「ＥＯ」はエチレンオキシドを表し、「ＰＯ」はプロピレンオキシドを表す。あるいは、この極性の添加剤は、ビニル官能性末端基、ヒドロキシル官能性末端基、またはこれらの組み合わせを有するエチレンオキシド−プロピレンオキシド分子鎖などのポリ（エチレンオキシド／プロピレンオキシド）ポリマーを含んでいてもよい。

当該極性の添加剤は、実験式：

（式中、各Ｒ^Ｅは独立に、上記の反応性基によって例示される反応性末端基であり、添え字ａは１〜２０、あるいは７．８〜１８の範囲の値を有し、添え字ｂは０〜２０、あるいは４〜１８の範囲の値を有する）を有していてもよい。

例示的な極性の添加剤としては、米国、ミシガン州、ミッドランドのダウケミカル社（ＴｈｅＤｏｗＣｈｅｍｉｃａｌＣｏｍｐａｎｙ）から入手できるポリグリコールＡＥ４００およびＡＥ５０１が挙げられる。これらは、式：

（式中、添え字ｃは、それぞれ７．８または１１．２の平均値を有する）のアリル官能性ポリ（アルキレンオキシド）ポリマーである。

別の極性の添加剤はモノアリルオキシ末端ポリ（エチレンオキシド／プロピレンオキシド）ポリマーである。この極性の添加剤は、例えばヒドロシリル化硬化性組成物、縮合反応硬化性組成物、または二重硬化（ｄｕａｌｃｕｒｅ）（ヒドロシリル化および縮合）反応硬化性組成物とともに使用されてもよい。１つのかかる極性の添加剤の例である、米国、ミシガン州、ミッドランドのダウケミカル社から市販されているＸＵＳ−１３４６１は、式：

（式中、添え字ｄ＝１０および添え字ｅ＝４）を有する。同じくダウケミカルから入手できる別の極性の添加剤はＸＦ１３５０７（ｄが１８でありｅが１８である以外は同じ式を有する）である。

Ｐ１０３、Ｐ１０４、およびＰ１０５などのプルロニック（Ｐｌｕｒｏｎｉｃ）（登録商標）ポリマーは、米国、ニュージャージー州、フローラムパーク（ＦｌｏｒｈａｍＰａｒｋ）のビーエーエスエフ社（ＢＡＳＦＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）から市販されている。これらは、３９００から６５００まで変わる平均分子量を有するヒドロキシル末端ポリ（オキシエチレン−オキシプロピレン）共重合体である。これらの極性の添加剤は、例えば縮合反応硬化性組成物とともに使用されてもよい。

（シリコーン硬化パッケージ）
本発明の硬化性シリコーン組成物は硬化して、硬化されたシリコーン製品を形成する。当該硬化性シリコーン組成物の中のこのシリコーン硬化パッケージの硬化メカニズムは、一液型または二液型室温硬化（ＲＴＶ）組成物などの湿気硬化性、常温または高温で硬化する熱硬化性一液型組成物または二液型組成物などのヒドロシリル化硬化性、開環硬化系（例えばエポキシ硬化性組成物）、ラジカル硬化性組成物（放射線によるメカニズムによってラジカルを発生するＵＶ硬化系、または放射線によらないメカニズムによってラジカルを発生するアルキルボラン硬化系）、付加硬化系（例えば、イソシアネート付加硬化性組成物またはヒドロシリル化硬化性組成物）、またはこれらの組み合わせであってもよい。典型的には、各シリコーン硬化パッケージは、ベースポリマー、架橋剤、および触媒のうちの少なくとも２つを含む。

（湿気硬化パッケージ）
湿気硬化パッケージは、１００重量部の（Ｉ）ベースポリマー、この組成物を硬化させるのに十分な量の（ＩＩ）架橋剤、および任意に、この組成物の硬化を加速させるのに十分な量の（ＩＩＩ）触媒を含んでいてもよい。

成分（Ｉ）ベースポリマー
この湿気硬化パッケージの中の成分（Ｉ）は、１分子あたり平均少なくとも２つの加水分解性置換基（ハロゲン原子、アセトアミド基、アセトキシなどのアシルオキシ基、アルコキシ基、アミド基、アミノ基、アミノキシ基、ヒドロキシル基、オキシモ基、ケトキシモ基、メチルアセトアミド基、アルコキシシリルヒドロカルビレン基、またはこれらの組み合わせなど）を有するポリオルガノシロキサンである。成分（Ｉ）の加水分解性置換基は、末端位置、ペンダント位置、または末端位置およびペンダント位置の両方に存在してよい。成分（Ｉ）は直鎖状または分枝状の構造を有していてもよい。成分（Ｉ）はホモポリマーまたは共重合体であってもよい。

成分（Ｉ）は、アルコキシで末端封鎖されたポリジオルガノシロキサン、アルコキシシリルヒドロカルビレンで末端封鎖されたポリジオルガノシロキサン、ヒドロキシルで末端封鎖されたポリジオルガノシロキサン、またはこれらの組み合わせを含んでいてもよい。

成分（Ｉ）は式（ｉ）のポリジオルガノシロキサン：

（式中、各Ｒ^１は独立に加水分解性置換基であり、各Ｒ^２は独立に一価の有機基であり、各Ｒ^３は独立に酸素原子または二価の炭化水素基であり、各添え字ａは独立に０、１、または２であり、添え字ｂは当該ポリジオルガノシロキサンに２５℃で少なくとも１００ｍＰａ・ｓの粘度を与えるのに十分な値を有する整数である）
を含んでいてもよい。

Ｒ^１についての適切な加水分解性置換基としては、ハロゲン原子、アセトアミド基、アセトキシ基、アシルオキシ基、アルコキシ基、アミド基、アミノ基、アミノキシ基、ヒドロキシル基、オキシモ基、ケトキシモ基、およびメチルアセトアミド基が挙げられるが、これらに限定されない。

Ｒ^２についての適切な有機基としては、一価の置換および非置換の炭化水素基が挙げられるが、これらに限定されない。Ｒ^２についての一価の非置換の炭化水素基の例としては、メチル、エチル、プロピル、ペンチル、オクチル、ウンデシル、およびオクタデシルなどのアルキル、シクロヘキシルなどのシクロアルキル、フェニル、トリル、キシリル、ベンジル、および２−フェニルエチルなどのアリールが挙げられるが、これらに限定されない。Ｒ^２についての一価の置換炭化水素基の例としては、クロロメチルおよびクロロプロピル基などの塩素化アルキル基、フルオロメチル、２−フルオロプロピル、３，３，３−トリフルオロプロピル、４，４，４−トリフルオロブチル、４，４，４，３，３−ペンタフルオロブチル、５，５，５，４，４，３，３−ヘプタフルオロペンチル、６，６，６，５，５，４，４，３，３−ノナフルオロヘキシル、および８，８，８，７，７−ペンタフルオロオクチルなどのフッ素化アルキル基、２，２−ジクロロシクロプロピル、２，３−ジクロロシクロペンチルなどの塩素化シクロアルキル基、および２，２−ジフルオロシクロプロピル、２，３−ジフルオロシクロブチル、３，４−ジフルオロシクロヘキシル、および３，４−ジフルオロ−５−メチルシクロヘプチルなどのフッ素化シクロアルキル基、などの一価のハロゲン化炭化水素基が挙げられるが、これらに限定されない。Ｒ^２についての一価の置換炭化水素基の例としては、グリシドオキシアルキルなどの酸素原子で置換された炭化水素基、およびアミノアルキルなどの窒素原子で置換された炭化水素基およびシアノエチルおよびシアノプロピルなどのシアノ官能基が挙げられるが、これらに限定されない。あるいは、各Ｒ^２はアルキル基であってもよい。

上記の式（ｉ）において各ａが２であり、かつ各Ｒ^３が酸素原子である場合は、成分（Ｉ）は、α，ω−二官能性ポリジオルガノシロキサンを含んでいてもよい。例えば、成分（Ｉ）は、式（ｉｉ）：Ｒ^１Ｒ^２ _２ＳｉＯ−（Ｒ^２ _２ＳｉＯ）_ｂ−ＳｉＲ^２ _２Ｒ^１（式中、Ｒ^１およびＲ^２は上記のとおりであり、かつｂは５０〜１，０００、あるいは２００〜７００の範囲の値を有する整数である）を有してもよい。

成分（Ｉ）は、各Ｒ^１がヒドロキシル基であってもよく、各Ｒ^２がメチルなどのアルキル基であってもよく、かつｂが、ヒドロキシル官能性ポリジオルガノシロキサンが２５℃で少なくとも１００ｍＰａ・ｓの粘度を有するような値を有していてもよい上記の式のヒドロキシル官能性ポリジオルガノシロキサンを含んでいてもよい。あるいは、ｂは、５０〜７００の範囲の値を有していてもよい。例示的なヒドロキシルで末端封鎖されたポリジオルガノシロキサンはヒドロキシルで末端封鎖されたポリジメチルシロキサンである。成分（Ａ）として使用するのに適したヒドロキシルで末端封鎖されたポリジオルガノシロキサンは、対応するオルガノハロシランの加水分解および縮合または環状ポリジオルガノシロキサンの平衡化などの当該技術分野で公知の方法によって調製してもよい。

成分（Ｉ）はさらに、１つの末端がトリオルガノシリル基（例えば、（ＣＨ_３）_３Ｓｉ−）で末端封鎖され、他の末端がヒドロキシル基で末端封鎖されたポリジメチルシロキサンを含んでいてもよい。ヒドロキシル末端基およびトリオルガノシリル末端基の両方を有するポリジオルガノシロキサンは、全末端基の５０％超、あるいは７５％超をヒドロキシル基として有していてもよい。このポリマー中のトリオルガノシリル基の量は、得られた硬化されたシリコーン製品のモジュラスを制御するために使用されてもよい。理論に拘束されることは望まないが、より高い濃度のトリオルガノシリル末端基は、硬化されたシリコーン製品においてより低いモジュラスをもたらすと考えられる。

あるいは、例えば上記の式（ｉ）において各Ｒ^３が二価の炭化水素基または二価の炭化水素基と二価のシロキサン基との組み合わせである場合は、成分（Ｉ）は、アルコキシシリルヒドロカルビレンで末端封鎖されたポリジオルガノシロキサンを含んでいてもよい。Ｒ^３は、エチレン、プロピレン、またはヘキシレンなどのアルキレン基、フェニレンなどのアリーレン基、または

などのアルキルアリーレン基であってもよい。あるいは、各Ｒ^１および各Ｒ^２はアルキルであってもよく、各Ｒ^３はエチレンであってもよく、ａは０であってもよい。

成分（Ｉ）は、単一のベースポリマーまたは以下の特性、平均分子量、シロキサン単位、配列、および粘度、のうちの少なくとも１つが異なる２つ以上のベースポリマーを含む組み合わせであることができる。

アルコキシシリルヒドロカルビレンで末端封鎖されたポリジオルガノシロキサンは、ビニル末端、ポリジメチルシロキサンを（アルコキシシリルヒドロカルビル）テトラメチルジシロキサンと反応させることによって調製してもよい。アルコキシシリルヒドロカルビレンで末端封鎖されたポリジオルガノシロキサンは当該技術分野で公知であり、米国特許第４，９６２，０７６号；同第５，０５１，４５５号；および同第５，０５３，４４２号に開示されている。

成分（Ｉ）はさらに、式Ｒ^１ _ｚＲ^２ _３−ｚＳｉＯ_１／２およびＳｉＯ_４／２のシロキサン単位（式中、Ｒ^１およびＲ^２は上記のとおりであり、添え字ｚの各事例は０、１、または２である）を含むＭＱ樹脂を含んでいてもよい。このＭＱ樹脂は、０．５〜１．２のＭ単位とＱ単位との比（Ｍ：Ｑ）を有していてもよい。ＭＱ樹脂を調製する方法は当該技術分野で公知である。例えば、ＭＱ樹脂は、米国特許第２，６７６，１８２号に開示されるＤａｕｄｔらのシリカヒドロゾルキャッピングプロセスによって製造される生成物を処理することによって調製されてもよい。手短に述べると、Ｄａｕｄｔらの方法は、シリカヒドロゾルを酸性条件下で加水分解性トリオルガノシラン（トリメチルクロロシランなど）、シロキサン（ヘキサメチルジシロキサンなど）またはこれらの組み合わせと反応させること、およびＭおよびＱ単位を含む生成物（ＭＱ樹脂）を回収することを含む。得られたＭＱ樹脂は２〜５重量％のケイ素に結合したヒドロキシル基を含んでいてもよい。

成分（ＩＩ）架橋剤
湿気硬化パッケージの中の成分（ＩＩ）は、硬化反応の縮合生成物からのあまりに大きい重量減少なく当該硬化性シリコーン組成物を硬化させるのに十分な量でかつ湿気不透過性のパッケージの中での数ヶ月間の保存の間に当該硬化性シリコーン組成物が硬化することを可能にするには不十分な量でこの硬化性シリコーン組成物に加えられる架橋剤である。成分（ＩＩ）の正確な量は、成分（Ｉ）および（ＩＩ）の加水分解性置換基を含めた種々の要因に応じて変わるが、しかしながら成分（ＩＩ）の量は、成分（Ｉ）の１００重量部基準で０．５〜１５部の範囲であってよい。成分（ＩＩ）は、加水分解性基を有するシラン架橋剤またはその部分もしくは完全加水分解生成物を含んでいてもよい。適切なシラン架橋剤の例は、一般式（ｉｉｉ）Ｒ^４ _ｃＳｉ（Ｒ^５）_４−ｃ（式中、各Ｒ^４は独立に、アルキル基などの一価の炭化水素基であり、各Ｒ^５は加水分解性置換基、例えばハロゲン原子、アセトアミド基、アセトキシなどのアシルオキシ基、アルコキシ基、アミド基、アミノ基、アミノキシ基、ヒドロキシル基、オキシモ基、ケトキシモ基、またはメチルアセトアミド基であり、添え字ｃは０、１、２、または３である）を有していてもよい。あるいは、各Ｒ^５は独立に、ヒドロキシル、アルコキシ、アセトキシ、アミド、またはオキシムから選択される。あるいは、成分（ＩＩ）はアシルオキシシラン、アルコキシシラン、ケトキシモシラン、およびオキシモシランから選択されてもよい。

成分（ＩＩ）は、ジアルキルジアルコキシシランなどのジアルコキシシラン、アルキルトリアルコキシシランなどのトリアルコキシシラン、テトラアルコキシシランによって例示されるアルコキシシラン、またはそれらの部分もしくは完全加水分解生成物、またはそれらの別の組み合わせを含んでいてもよい。適切なトリアルコキシシランの例としては、メチルトリメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、エチルトリメトキシシラン、エチルトリエトキシシラン、およびこれらの組み合わせ、およびあるいはメチルトリメトキシシランが挙げられる。適切なテトラアルコキシシランの例としては、テトラエトキシシランが挙げられる。当該硬化性シリコーン組成物で使用されるアルコキシシランの量は、成分（Ａ）の１００重量部あたり０．５〜１５重量部の範囲であってもよい。アルコキシシラン架橋剤の例は、米国特許第４，９６２，０７６号；同第５，０５１，４５５号；および同第５，０５３，４４２号に開示されている。

成分（ＩＩ）は、アセトキシシランなどのアシルオキシシランを含んでいてもよい。アセトキシシランとしては、テトラアセトキシシラン、オルガノトリアセトキシシラン、ジオルガノジアセトキシシラン、またはこれらの組み合わせが挙げられる。このアセトキシシランは、メチル、エチル、プロピル、イソプロピル、ブチル、および三級ブチルなどのアルキル基、ビニル、アリル、またはヘキセニルなどのアルケニル基、フェニル、トリル、またはキシリルなどのアリール基、ベンジルまたは２−フェニルエチルなどのアラルキル基、および３，３，３−トリフルオロプロピルなどのフッ素化アルキル基を含んでいてもよい。あるいは、成分（ＩＩ）は、オルガノトリアセトキシシラン、例えばメチルトリアセトキシシランおよびエチルトリアセトキシシランを含む混合物を含んでいてもよい。当該硬化性シリコーン組成物で使用されるアセトキシシランの量は、成分（Ｉ）１００重量部あたり０．５〜１５重量部、あるいは成分（Ｉ）１００重量部あたり３〜１０重量部のアセトキシシランの範囲であってよい。

成分（ＩＩＩ）触媒
成分（ＩＩＩ）は、硬化を加速するために任意に湿気硬化パッケージに加えられてもよい触媒である。この湿気硬化パッケージの中の成分（ＩＩＩ）は、金属のカルボン酸塩、スズ化合物、チタン化合物、またはジルコニウム化合物を含んでいてもよい。

成分（ＩＩＩ）は、金属の起電列において鉛からマンガンまでの範囲（鉛およびマンガンを含む）の金属のカルボン酸塩を含んでいてもよい。あるいは、成分（ＩＩＩ）は、キレート化されたチタン化合物、テトラアルコキシチタネートなどのチタン酸エステル、またはこれらの組み合わせを含んでいてもよい。適切なチタン化合物の例としては、ジイソプロポキシチタニウムビス（エチルアセトアセテート）、テトラブトキシチタネート、テトラブチルチタネート、テトライソプロピルチタネート、およびビス−（エトキシアセトアセトナート）ジイソプロポキシチタン（ＩＶ）、およびこれらの組み合わせが挙げられるが、これらに限定されない。あるいは成分（ＩＩＩ）は、ジブチルスズジアセタート、ジブチルスズジラウレート、ジブチルスズオキシド、オクチル酸スズ、酸化スズ、またはこれらの組み合わせなどのスズ化合物を含んでいてもよい。触媒の例は、米国特許第４，９６２，０７６号；同第５，０５１，４５５号；および同第５，０５３，４４２号に開示されている。

これらの湿気硬化パッケージを含む硬化性シリコーン組成物がこれらの湿気硬化パッケージが湿気に曝露されるのを防ぐ容器の中で保存されるときは、これらの湿気硬化パッケージは安定であるが、この組成物は、湿気に曝露されたときには直ちに硬化する。

（ヒドロシリル化硬化パッケージ）
当該硬化性シリコーン組成物は、上記湿気硬化パッケージに加えてまたは上記湿気硬化パッケージの代わりに、ヒドロシリル化硬化パッケージを含んでいてもよい。このヒドロシリル化硬化パッケージは、当該組成物の重量基準で５０％〜９５％の（Ｉ’）ベースポリマー、当該組成物の重量基準で５％〜５０％の（ＩＩ’）架橋剤、および当該組成物の硬化を開始するのに十分な量の（ＩＩＩ’）触媒を含んでいてもよい。

成分（Ｉ’）ベースポリマー
当該ヒドロシリル化硬化パッケージの成分（Ｉ’）は、１分子あたり平均で少なくとも２つの脂肪族の不飽和有機基を有するポリオルガノシロキサンを含んでいてもよい。成分（Ｉ’）は、直鎖状、分枝状または樹脂状構造、またはこれらの組み合わせを有していてもよい。あるいは、成分（Ｉ’）は直鎖状であってもよい。成分（Ａ’）は、ホモポリマーまたは共重合体、またはこれらの組み合わせであってもよい。脂肪族の不飽和有機基は、アルケニル基、アルキニル基、（メタ）アクリレート官能基、またはこれらの組合せであってもよい。このアルケニル基は、２〜１２個の炭素原子を有していてもよく、例としてはビニル、アリル、ブテニル、およびヘキセニルが挙げられるが、これらに限定されない。このアルキニル基は２〜１２個の炭素原子を有していてもよく、例としてはエチニル、プロピニル、およびブチニルが挙げられるが、これらに限定されない。この（メタ）アクリレート官能基としては、アクリロイルオキシプロピルなどのアクリロイルオキシアルキルおよびメタクリロイルオキシプロピルなどのメタクリロイルオキシアルキルが挙げられるが、これらに限定されない。成分（Ｉ’）の脂肪族の不飽和有機基は、末端位置、ペンダント位置、または末端位置およびペンダント位置の両方に存在してよい。

成分（Ｉ’）の残りのケイ素に結合した有機基は、脂肪族不飽和を有しない一価の有機基であってもよい。これらの一価の有機基は、１〜２０個の炭素原子、あるいは１〜１０個の炭素原子を有していてもよく、例としては、メチル、エチル、プロピル、ペンチル、オクチル、ウンデシル、およびオクタデシルなどのアルキル基、シクロヘキシルなどのシクロアルキル基、ならびにフェニル、トリル、キシリル、ベンジル、および２−フェニルエチルなどの芳香族基、およびシアノアルキル基（例としてはシアノエチルおよびシアノプロピルが挙げられる）などのシアノ官能基が挙げられるが、これらに限定されない。

成分（Ｉ’）は、
式（ｉｖ）：Ｒ^６ _２Ｒ^７ＳｉＯ（Ｒ^６ _２ＳｉＯ）_ｄ（Ｒ^６Ｒ^７ＳｉＯ）_ｅＳｉＲ^６ _２Ｒ^７、
式（ｖ）：Ｒ^６ _３ＳｉＯ（Ｒ^６ _２ＳｉＯ）_ｆ（Ｒ^６Ｒ^７ＳｉＯ）_ｇＳｉＲ^６ _３、
またはこれらの組み合わせのポリオルガノシロキサンを含んでいてもよい。

式（ｉｖ）および（ｖ）において、各Ｒ^６は独立に、脂肪族不飽和を有しない一価の有機基であり、各Ｒ^７は独立に、脂肪族の不飽和有機基であり、添え字ｄは０〜２０００の範囲の平均値を有し、添え字ｅは０〜２０００の範囲の平均値を有し、添え字ｆは０〜２０００の範囲の平均値を有し、添え字ｇは２〜２０００の範囲の平均値を有する。Ｒ^６についての適切な一価の有機基としては、メチル、エチル、プロピル、ペンチル、オクチル、ウンデシル、およびオクタデシルなどのアルキル、シクロヘキシルなどのシクロアルキル、ならびにフェニル、トリル、キシリル、ベンジル、および２−フェニルエチルなどのアリールが挙げられるが、これらに限定されない。各Ｒ^７は独立に、脂肪族の不飽和の一価の有機基である。Ｒ^７としては、ビニル、アリル、およびブテニルなどのアルケニル基、エチニルおよびプロピニルなどのアルキニル基、ならびにアクリロイルオキシプロピルおよびメタクリロイルオキシプロピルなどの（メタ）アクリレート官能基が挙げられる。

成分（Ｉ’）は、
ｉ）ジメチルビニルシロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
ｉｉ）ジメチルビニルシロキシ末端ポリ（ジメチルシロキサン／メチルビニルシロキサン）、
ｉｉｉ）ジメチルビニルシロキシ末端ポリメチルビニルシロキサン、
ｉｖ）トリメチルシロキシ末端ポリ（ジメチルシロキサン／メチルビニルシロキサン）、
ｖ）トリメチルシロキシ末端ポリメチルビニルシロキサン、
ｖｉ）ジメチルビニルシロキシ末端ポリ（ジメチルシロキサン／メチルフェニルシロキサン）、
ｖｉｉ）ジメチルビニルシロキシ末端ポリ（ジメチルシロキサン／ジフェニルシロキサン）、
ｖｉｉｉ）フェニル、メチル、ビニル−シロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
ｉｘ）ジメチル−アクリロイルオキシプロピル−シロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
ｘ）ジメチル−メタクリロイルオキシプロピル−シロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
ｘｉ）ジメチルヘキセニルシロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
ｘｉｉ）ジメチルヘキセニルシロキシ末端ポリ（ジメチルシロキサン／メチルヘキセニルシロキサン）、
ｘｉｉｉ）ジメチルヘキセニルシロキシ末端ポリメチルヘキセニルシロキサン、
ｘｉｖ）トリメチルシロキシ末端ポリ（ジメチルシロキサン／メチルヘキセニルシロキサン）、
ｘｖ）ジメチルビニルシロキシ末端ポリ（ジメチルシロキサン／メチルシアノプロピルシロキサン）、および
ｘｖｉ）これらの組み合わせ、
などのポリジオルガノシロキサンを含んでいてもよい。

対応するオルガノハロシランの加水分解および縮合または環状ポリジオルガノシロキサンの平衡化などの、成分（Ｉ’）として使用するのに適したポリジオルガノシロキサンを調製する方法は、当該技術分野で周知である。

成分（Ｉ’）はさらに、実質的にＲ^８ _３ＳｉＯ_１／２単位およびＳｉＯ_４／２単位からなるＭＱ樹脂、実質的にＲ^８ＳｉＯ_３／２単位およびＲ^８ _２ＳｉＯ_２／２単位からなるＴＤ樹脂、実質的にＲ^８ _３ＳｉＯ_１／２単位およびＲ^８ＳｉＯ_３／２単位からなるＭＴ樹脂、実質的にＲ^８ _３ＳｉＯ_１／２単位、Ｒ^８ＳｉＯ_３／２単位、およびＲ^８ _２ＳｉＯ_２／２単位からなるＭＴＤ樹脂、またはこれらの組み合わせなどの樹脂を含んでいてもよい。

各Ｒ^８は一価の有機基である。Ｒ^８によって表される一価の有機基は１〜２０個の炭素原子、あるいは１〜１０個の炭素原子を有していてもよい。一価の有機基の例としては、一価の炭化水素基および一価の置換炭化水素基が挙げられるが、これらに限定されない。一価の有機基の例としては、アクリルオキシアルキル基またはメタクリルオキシアルキル基などの（メタ）アクリレート官能基、シアノ官能基、および一価の炭化水素基が挙げられるが、これらに限定されない。一価の炭化水素基としては、メチル、エチル、プロピル、ペンチル、オクチル、ウンデシル、およびオクタデシルなどのアルキル、シクロヘキシルなどのシクロアルキル、ビニル、アリル、ブテニル、およびヘキセニルなどのアルケニルエチニル、プロピニル、およびブチニルなどのアルキニル、ならびにフェニル、トリル、キシリル、ベンジル、および２−フェニルエチルなどのアリールが挙げられるが、これらに限定されない。シアノ官能基としては、シアノエチルおよびシアノプロピルなどのシアノアルキル基が挙げられるが、これらに限定されない。

当該樹脂は平均３〜３０ｍｏｌ％の脂肪族の不飽和有機基を含んでいてもよい。この脂肪族の不飽和有機基はアルケニル基、アルキニル基、（メタ）アクリレート官能基、またはこれらの組み合わせであってもよい。この樹脂中の脂肪族の不飽和有機基のｍｏｌ％は、この樹脂中のシロキサン単位の全モル数に対するこの樹脂中の不飽和基含有シロキサン単位のモル数の比に１００を掛け算したものである。

樹脂の調製方法は当該技術分野で周知である。例えば、樹脂は、Ｄａｕｄｔらのシリカヒドロゾルキャッピングプロセスによって製造された樹脂共重合体を少なくとも１つのアルケニル含有末端封鎖試薬で処理することによって、調製されてもよい。Ｄａｕｄｔらの方法は、米国特許第２，６７６，１８２号に開示されている。

手短に述べると、Ｄａｕｄｔらの方法は、シリカヒドロゾルを酸性条件下で加水分解性トリオルガノシラン（トリメチルクロロシランなど）、シロキサン（ヘキサメチルジシロキサンなど）またはこれらの組み合わせと反応させること、およびＭおよびＱ単位を含む共重合体を回収することを含む。得られた共重合体は一般に２〜５重量％のヒドロキシル基を含む。

典型的には２重量％未満のケイ素に結合したヒドロキシル基を含む樹脂は、Ｄａｕｄｔらの生成物を、最終生成物において３〜３０ｍｏｌ％の不飽和有機基をもたらすのに十分な量の不飽和有機基含有末端封鎖剤（ｅｎｄｂｌｏｃｋｉｎｇａｇｅｎｔ）および脂肪族不飽和を有しない末端封鎖剤と反応させることによって調製してもよい。末端封鎖剤の例としては、シラザン、シロキサン、およびシランが挙げられるが、これらに限定されない。適切な末端封鎖剤は当該技術分野で公知であり、米国特許第４，５８４，３５５号；同第４，５９１，６２２号；および同第４，５８５，８３６号に例示されている。上記樹脂を調製するために、単一の末端封鎖剤またはかかる薬剤の混合物が使用されてもよい。

成分（Ｉ’）は、単一のベースポリマーまたは以下の特性、構造、粘度、平均分子量、シロキサン単位、および配列、のうちの少なくとも１つが異なる２つ以上のベースポリマーを含む組み合わせであることができる。

成分（ＩＩ’）オルガノハイドロジェンポリシロキサン
当該ヒドロシリル化硬化パッケージの中の成分（ＩＩ’）は、１分子あたり平均少なくとも２個のケイ素に結合した水素原子を有するオルガノハイドロジェンポリシロキサンである。成分（ＩＩ’）は、ホモポリマーまたは共重合体、またはこれらの組み合わせであることができる。成分（ＩＩ’）は、直鎖状、分枝状、環状、または樹脂状構造、またはこれらの組み合わせを有することができる。成分（ＩＩ’）の中のケイ素に結合した水素原子は、末端位置、ペンダント位置、または末端位置およびペンダント位置の両方に存在してよい。

成分（ＩＩ’）は、ＨＲ^９ _２ＳｉＯ_１／２、Ｒ^９ _３ＳｉＯ_１／２、ＨＲ^９ＳｉＯ_２／_２、Ｒ^９ _２ＳｉＯ_２／２、Ｒ^９ＳｉＯ_３／２、およびＳｉＯ_４／２単位を含む（これらに限定されない）シロキサン単位を含んでいてもよい。前述の式において、各Ｒ^９は独立に一価の有機基から選択される。

成分（ＩＩ’）は、式
（ＶＩ）Ｒ^９ _３ＳｉＯ（Ｒ^９ _２ＳｉＯ）_ｈ（Ｒ^９ＨＳｉＯ）_ｉＳｉＲ^９ _３、
（ＶＩＩ）Ｒ^９ _２ＨＳｉＯ（Ｒ^９ _２ＳｉＯ）_ｊ（Ｒ^９ＨＳｉＯ）_ｋＳｉＲ^９ _２Ｈ、または
（ＶＩＩＩ）これらの組み合わせ、
の化合物を含んでいてもよい。

上記の式において、添え字ｈは０〜２０００の範囲の平均値を有し、添え字ｉは２〜２０００の範囲の平均値を有し、添え字ｊは０〜２０００の範囲の平均値を有し、添え字ｋは０〜２０００の範囲の平均値を有する。各Ｒ^９は独立に一価の有機基である。適切な一価の有機基としては、メチル、エチル、プロピル、ペンチル、オクチル、ウンデシル、およびオクタデシルなどのアルキル、シクロヘキシルなどのシクロアルキル、ビニル、アリル、ブテニル、およびヘキセニルなどのアルケニル、エチニル、プロピニル、およびブチニルなどのアルキニル、ならびにフェニル、トリル、キシリル、ベンジル、および２−フェニルエチルなどのアリールが挙げられる。あるいは、各Ｒ^９は独立に、脂肪族不飽和を有しない一価の有機基である。適切な脂肪族不飽和を有しない一価の有機基としては、メチル、エチル、プロピル、およびブチルなどのアルキル基、フェニル、トリル、およびキシリルなどの芳香族基、ならびにシアノエチルおよびシアノプロピルなどのシアノアルキル基が挙げられるシアノ官能基が挙げられる。

成分（ＩＩ’）としては、
ａ）ジメチルハイドロジェンシロキシ末端ポリジメチルシロキサン、
ｂ）ジメチルハイドロジェンシロキシ末端ポリ（ジメチルシロキサン／メチルハイドロジェンシロキサン）、
ｃ）ジメチルハイドロジェンシロキシ末端ポリメチルハイドロジェンシロキサン、
ｄ）トリメチルシロキシ末端ポリ（ジメチルシロキサン／メチルハイドロジェンシロキサン）、
ｅ）トリメチルシロキシ末端ポリメチルハイドロジェンシロキサン、
ｆ）実質的にＨ（ＣＨ_３）_２ＳｉＯ_１／２単位およびＳｉＯ_４／２単位からなる樹脂、および
ｇ）これらの組み合わせ、
が挙げられる。

成分（ＩＩ’）は、以下の特性：構造、平均分子量、粘度、シロキサン単位、および配列、のうちの少なくとも１つが異なる２つ以上のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの組み合わせであってもよい。

オルガノハロシランの加水分解および縮合などの、成分（ＩＩ’）としての使用に適した直鎖状、分枝状、および環状のオルガノハイドロジェンポリシロキサンの調製方法は当該技術分野で周知である。成分（ＩＩ’）としての使用に適したオルガノハイドロジェンポリシロキサン樹脂の調製方法もまた、米国特許第５，３１０，８４３号；同第４，３７０，３５８号；および同第４，７０７，５３１号に例示されるとおり、周知である。

成分（ＩＩＩ’）ヒドロシリル化触媒
当該ヒドロシリル化硬化パッケージの成分（ＩＩＩ’）はヒドロシリル化触媒である。成分（ＩＩＩ’）は、当該硬化性シリコーン組成物の重量基準で１〜１０００ｐｐｍ、あるいは２〜５００ｐｐｍ、あるいは２〜２００、あるいは５〜１５ｐｐｍの範囲の白金族金属量で当該ヒドロシリル化硬化パッケージに加えられてもよい。

適切なヒドロシリル化触媒は当該技術分野で公知であり、市販されている。成分（ＩＩＩ’）は、白金、ロジウム、ルテニウム、パラジウム、オスミウムもしくはイリジウム金属から選択される白金族金属またはその有機金属化合物、あるいはこれらの組み合わせを含んでいてもよい。成分（ＩＩＩ’）としては、塩化白金酸、塩化白金酸六水和物、白金黒、塩化白金（ＩＩ）などの化合物、および当該化合物と低分子量オルガノポリシロキサンとの錯体、またはマトリクスまたはコアシェル型構造の中にマイクロカプセル化された白金化合物が挙げられる。１，３−ジエテニル−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサンと白金との錯体などの白金とオレフィンまたは低分子量オルガノポリシロキサンとの錯体。これらの錯体は、樹脂マトリクスまたはコアシェル構造の中にマイクロカプセル化されていてもよい。あるいは、この触媒は、１，３−ジエテニル−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサンと白金との錯体を含んでいてもよい。この触媒が低分子量オルガノポリシロキサンとの白金錯体である場合、触媒の量は、当該硬化性シリコーン組成物の重量基準で０．０４〜０．４％の範囲であってもよい。

成分（ＩＩＩ’）に適したヒドロシリル化触媒は、例えば、米国特許第３，１５９，６０１号；同第３，２２０，９７２号；同第３，２９６，２９１号；同第３，４１９，５９３号；同第３，５１６，９４６号；同第３，８１４，７３０号；同第３，９８９，６６８号；同第４，７８４，８７９号；同第５，０３６，１１７号；および同第５，１７５，３２５号および欧州特許第０３４７８９５Ｂ号に記載されている。マイクロカプセル化されたヒドロシリル化触媒およびそれらの調製方法は、米国特許第４，７６６，１７６号；および米国特許第５，０１７，６５４号に例示されているとおり、当該技術分野で公知である。

このヒドロシリル化硬化パッケージは、室温でまたは加熱によって硬化されてもよい。このヒドロシリル化硬化パッケージは、常温で少なくとも４８時間硬化されてもよい。あるいは、このヒドロシリル化硬化パッケージは、５０℃〜２００℃、あるいは１００℃〜１５０℃の範囲の温度で１分間〜６０分間、あるいは３０〜４５分間の範囲の時間、加熱することによって硬化されてもよい。

（ラジカル硬化パッケージ）
あるいは、当該シリコーン硬化パッケージは、ラジカル硬化性組成物を含んでいてもよい。例示的なラジカル硬化性組成物としては、ＵＶ放射もしくは熱、またはその両方への曝露によって硬化可能な組成物性およびアルキルボラン硬化性組成物が挙げられる。

（さらなる成分）
当該硬化性シリコーン組成物は、１以上のさらなる成分をさらに含んでいてもよい。この硬化性シリコーン組成物は、（ＩＶ）強化充填剤、増量充填剤（ｅｘｔｅｎｄｉｎｇｆｉｌｌｅｒ）、伝導性充填剤（例えば電気伝導性、熱伝導性、またはその両方）、またはこれらの組み合わせなどの充填剤；（Ｖ）充填剤処理剤、（ＶＩ）安定剤（例えば、ヒドロシリル化硬化パッケージが使用される場合のヒドロシリル化硬化調整剤などの硬化調整剤（ｃｕｒｅｍｏｄｉｆｉｅｒ）、熱安定剤、ＵＶ安定剤、またはこれらの組み合わせ）、（ＶＩＩ）ボイド抑制剤（ｖｏｉｄｒｅｄｕｃｉｎｇａｇｅｎｔ）、（ＶＩＩＩ）可塑剤、（ＩＸ）鎖延長剤（二次可塑剤または加工助剤と呼ばれることがある）、（Ｘ）接着促進剤、（ＸＩ）殺菌剤、（ＸＩＩ）レオロジー添加剤、（ＸＩＩＩ）難燃剤、（ＸＩＶ）色素、およびこれらの組み合わせからなる群から選択されるさらなる成分をさらに含んでいてもよい。

成分（ＩＶ）充填剤
成分（ＩＶ）は充填剤である。当該硬化性シリコーン組成物に加えられる成分（ＩＶ）の量は、選択される充填剤の種類に応じて変わる。しかしながら、成分（ＩＶ）は、当該硬化性シリコーン組成物の重量基準で０％〜９０％、あるいは０．１〜９０重量％の量で添加されてもよい。適切な充填剤としては、強化充填剤および増量充填剤、およびこれらの組合せが挙げられる。適切な強化充填剤の例としては、ヒュームシリカ（ｆｕｍｅｓｉｌｉｃａ）、シリカエーロゲル、シリカゼロゲル、および沈降シリカなどの強化用シリカ充填剤が挙げられる。ヒュームドシリカは当該技術分野で公知であり、マサチューセッツのカボット社（ＣａｂｏｔＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）によってＣＡＢ−Ｏ−ＳＩＬの名称で販売されているヒュームドシリカなど、市販されている。適切な増量充填剤の例としては、破砕石英、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化亜鉛、タルク、珪藻土、酸化鉄、クレー、二酸化チタン、ジルコニア、砂、カーボンブラック、グラファイト、またはこれらの組み合わせが挙げられる。増量充填剤は当該技術分野で公知であり、ウエストバージニア州、バークレースプリングス（ＢｅｒｋｅｌｅｙＳｐｒｉｎｇｓ）のユーエス・シリカ（Ｕ．Ｓ．Ｓｉｌｉｃａ）によってＭＩＮ−Ｕ−ＳＩＬの名称で販売されている粉末化シリカなど、市販されている。

伝導性充填剤（すなわち、熱伝導性、電気伝導性、またはその両方である充填剤）も、強化充填剤および／もしくは増量充填剤に加えてまたは強化充填剤および／もしくは増量充填剤の代わりに成分（ＩＶ）として使用されてもよい。適切な伝導性充填剤としては、金属粒子、金属酸化物粒子、およびこれらの組み合わせが挙げられる。適切な熱伝導性充填剤としては、窒化アルミニウム、酸化アルミニウム、チタン酸バリウム、酸化ベリリウム、窒化ホウ素、ダイアモンド、グラファイト、酸化マグネシウム、銅、金、ニッケル、または銀などの金属微粒子、炭化ケイ素、炭化タングステン、酸化亜鉛、およびこれらの組み合わせが挙げられる。

伝導性充填剤は当該技術分野で公知であり、市販されている；例えば、米国特許第６，１６９，１４２号（第４欄、第７〜３３行参照）。例えば、ＣＢ−Ａ２０ＳおよびＡｌ−４３−Ｍｅは昭和電工（Ｓｈｏｗａ−Ｄｅｎｋｏ）から市販されている異なる粒径の酸化アルミニウム充填剤であり、ＡＡ−０４、ＡＡ−２、およびＡＡ１８は住友化学（ＳｕｍｉｔｏｍｏＣｈｅｍｉｃａｌＣｏｍｐａｎｙ）から市販されている酸化アルミニウム充填剤である。銀充填剤は、米国、マサチューセッツ州、アトルボロ（Ａｔｔｌｅｂｏｒｏ）のメタロー・テクノロジーズ・ユーエスエー社（ＭｅｔａｌｏｒＴｅｃｈｎｏｌｏｇｉｅｓＵ．Ｓ．Ａ．Ｃｏｒｐ．）から市販されている。窒化ホウ素充填剤は、米国、オハイオ州、クリーブランドのアドバンスト・セラミック社（ＡｄｖａｎｃｅｄＣｅｒａｍｉｃｓＣｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ）から市販されている。

充填剤粒子の形状は特に制限されないが、しかしながら、丸いまたは球状の粒子は、当該硬化性シリコーン組成物の中で充填剤を高充填量にした際に、望ましくないレベルまでの粘度上昇を防止し得る。

異なる粒径および異なる粒度分布を有する充填剤の組み合わせを使用してもよい。例えば、より大きい平均粒径を有する第１の充填剤とより小さい平均粒径を有する第２の充填剤とを最密充填理論分布曲線（ｃｌｏｓｅｓｔｐａｃｋｉｎｇｔｈｅｏｒｙｄｉｓｔｒｉｂｕｔｉｏｎｃｕｒｖｅ）を満たす比率で組み合わせることが望ましい場合がある。これは充填効率を改善し、そして粘度を減少させかつ伝熱を増強する可能性がある。

成分（Ｖ）充填剤処理剤
上記充填剤は、任意に処理剤で表面処理されてもよい。処理剤および処理方法は当該技術分野で公知である。例えば、米国特許第６，１６９，１４２号（第４欄、第４２行〜第５欄、第２行）を参照。上記充填剤は、その充填剤を当該硬化性シリコーン組成物の他の成分と合わせる前に処理剤で処理されてもよく、または上記充填剤は当該硬化性シリコーン組成物の中で（ｉｎｓｉｔｕ）処理されてもよい。成分（Ｖ）は、アルコキシシラン、アルコキシ官能性オリゴシロキサン、環状ポリオルガノシロキサン、ヒドロキシル官能性オリゴシロキサン（ジメチルシロキサンまたはメチルフェニルシロキサンなど）、または脂肪酸を含んでいてもよい。ステアリン酸塩の例としては、ステアリン酸カルシウムが挙げられる。充填剤処理剤およびその使用方法の例は、例えば欧州特許第１１０１１６７Ａ２号および米国特許第５，０５１，４５５号、同第５，０５３，４４２号、および同第６，１６９，１４２号（第４欄、第４２行〜第５欄、第２行）に開示されている。

当該処理剤は、式Ｒ^１３ _ｕＳｉ（ＯＲ^１４）_{（４−ｕ）}（式中、添え字ｕは１、２、または３であるか、あるいはｕは３である）を有するアルコキシシランを含んでいてもよい。各Ｒ^１３は独立に、１〜５０個の炭素原子、あるいは８〜３０個の炭素原子を有する一価の有機基である。Ｒ^１３としては、ヘキシル、オクチル、ドデシル、テトラデシル、ヘキサデシル、およびオクタデシルなどのアルキル基、ならびにベンジル、フェニルおよびフェニルエチルなどの芳香族基が挙げられる。各Ｒ^１４は、独立に、１〜４個あるいは１〜２個の炭素原子を有する一価の炭化水素基である。

この処理剤としては、ヘキシルトリメトキシシラン、オクチルトリエトキシシラン、デシルトリメトキシシラン、ドデシルトリメチルオキシシラン、テトラデシルトリメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、フェニルエチルトリメトキシシラン、オクタデシルトリメトキシシラン、オクタデシルトリエトキシシラン、およびこれらの組み合わせが挙げられる。

アルコキシ官能性オリゴシロキサンもまた、処理剤として使用することができる。アルコキシ官能性オリゴシロキサンおよびそれらの調製方法は、当該技術分野で公知である。例えば欧州特許第１１０１１６７Ａ２号を参照。例えば、適切なアルコキシ官能性オリゴシロキサンとしては、式（Ｒ^１５Ｏ）_ｖＳｉ（ＯＳｉＲ^１６ _２Ｒ^１７）_{（４−ｖ）}のアルコキシ官能性オリゴシロキサンが挙げられる。この式において、添え字ｖは１、２、または３であるか、あるいはｖは３である。各Ｒ^１５は独立にアルキル基であってもよい。各Ｒ^１６は独立に、１〜１０個の炭素原子を有する一価の炭化水素基から選択されてもよい。各Ｒ^１７は独立に、少なくとも１１個の炭素原子を有する一価の炭化水素基であってもよい。

金属充填剤は、オクタデシルメルカプタンなどのアルキルチオール、およびオレイン酸、ステアリン酸などの脂肪酸、チタネート、チタネートカップリング剤、ジルコネートカップリング剤、およびこれらの組み合わせで処理することができる。

アルコキシシリル官能性アルキルメチルポリシロキサン（例えば、Ｒ^１８ _ｗＲ^１９ _ｘＳｉ（ＯＲ^２０）_{（４−ｗ−ｘ）}の部分加水分解縮合物または共加水分解縮合物または混合物）、加水分解性基がシラザン、アシルオキシまたはオキシモであろうような類似の物質もまた処理剤として使用することができる。これらのうちのすべてにおいて、Ｓｉに結合されている基（上記の式のＲ^１８など）は、長鎖不飽和一価の炭化水素または一価の芳香族官能性炭化水素である。Ｒ^１９は一価の炭化水素基であり、Ｒ^２０は１〜４個の炭素原子の一価の炭化水素基である。上記の式では、添え字ｗは１、２、または３であり、添え字ｘは０、１、または２であるが、ただし量（ｗ＋ｘ）は１、２、または３である。成分（Ｖ）の量は、選択された充填剤の種類および量を含めた種々の要因に応じて変わる。しかしながら、成分（Ｖ）は、当該充填剤の重量基準で１〜１５重量％の量で当該硬化性シリコーン組成物に加えられてもよい。

成分（ＶＩ）安定剤
成分（ＶＩＩ）は安定剤である。この安定剤は、例えばヒドロシリル化硬化パッケージが使用される場合のヒドロシリル化硬化調整剤などの硬化調整剤、熱安定剤、ＵＶ安定剤、またはこれらの組み合わせから選択されてもよい。ヒドロシリル化硬化パッケージ用の安定剤としては、メチルブチノール、エチニルシクロヘキサノール、ジメチルヘキシノール、１，１−ジメチル−２−プロピニル）オキシ）トリメチルシラン、メチル（トリス（１，１−ジメチル−２−プロピニルオキシ））シラン、およびこれらの組み合わせなどのアセチレンアルコール；メチルビニルシクロシロキサンなどのシクロアルケニルシロキサン（１，３，５，７−テトラメチル−１，３，５，７−テトラビニルシクロテトラシロキサン、１，３，５，７−テトラメチル−１，３，５，７−テトラヘキセニルシクロテトラシロキサン、およびこれらの組み合わせが挙げられる）；３−メチル−３−ペンテン−１−イン、３，５−ジメチル−３−ヘキセン−１−インなどのエン−イン化合物；ベンゾトリアゾールなどのトリアゾール；ホスフィン；メルカプタン；ヒドラジン；イソシアネート；テトラメチルエチレンジアミンなどのアミン、フマル酸ジアルキル、フマル酸ジアルケニル、フマル酸ジアルコキシアルキル、マレイン酸エステル（マレイン酸ジアリルなど）、およびこれらの組み合わせが挙げられる。あるいは、この安定剤は、フェニルブチノールを含んでいてもよい。適切なヒドロシリル化硬化パッケージ安定剤は、例えば、米国特許第３，４４５，４２０号；同第３，９８９，６６７号；同第４，５８４，３６１号；および同第５，０３６，１１７号によって開示される。

当該硬化性シリコーン組成物に加えられる安定剤の量は、使用される特定の安定剤および組成物ならびにシリコーン硬化パッケージの量に応じて変わるであろう。しかしながら、ヒドロシリル化硬化パッケージ安定剤の量は当該ヒドロシリル化硬化パッケージの重量基準で０．００２５％〜０．０２５％の範囲であってもよい。

当業者ならば、当該硬化性シリコーン組成物が複数のシリコーン硬化パッケージを含んでいてもよいことを認識するであろう。例えば、湿気硬化性でありかつヒドロシリル化硬化性である二重硬化パッケージは、本発明の範囲内にある。当業者ならば、所望の粘稠度を有する硬化生成物（ゴムまたはゲルなど）を調製するために、上記の各硬化パッケージにおける成分およびその量を選択することができるであろう。

鎖延長剤
この鎖延長剤は粘度調整のために当該硬化性シリコーン組成物に添加される反応性添加剤であってもよい。例えば、ヒドロシリル化硬化パッケージが使用される場合、この鎖延長剤は、水素末端ポリジオルガノシロキサンであってもよい。さらに、この鎖延長剤はヒドロシリル化硬化性シリコーン組成物のＳｉＨ／ビニル比の調整のためにも使用されてもよい。この鎖延長剤は、硬化されたシリコーン製品の機械的特性を改善するという恩恵ももたらし得る。この鎖延長剤は、上記架橋剤に加えて、または上記架橋剤の代わりに使用されてもよい。例えば、ヒドロシリル化硬化性組成物に適した鎖延長剤は、式Ｒ^９ _２ＨＳｉＯ（Ｒ^９ _２ＳｉＯ）_ｊ（Ｒ^９ＨＳｉＯ）_ｋＳｉＲ^９ _２Ｈ（式中、添え字ｋは０であり、Ｒ^９および添え字ｊは上記のとおりである）の化合物を含む。

（硬化性シリコーン組成物の製造方法）
当該硬化性シリコーン組成物は、例えば混合などのいずれかの簡便な手段によってすべての成分を合わせることによって一液型組成物として調製されてもよい。あるいは、当該硬化性シリコーン組成物は、架橋剤および触媒が別々の部分に保存され、かつそれらの部分が当該硬化性シリコーン組成物の使用の直前に合わされる多液型（ｍｕｌｔｉｐｌｅｐａｒｔ）組成物として調製されてもよい。例えば、２液型の硬化性シリコーン組成物は、ベースポリマーおよび触媒を含む成分、および１以上のさらなる成分を、混合などのいずれかの簡便な手段によって第１の部分の中で合わせることによって調製されてもよい。第２の部分は、ベースポリマーおよび架橋剤を含む成分、および１以上のさらなる成分を、混合などのいずれかの簡便な手段によって合わせることによって調製されてもよい。これらの成分は、選択されたシリコーン硬化パッケージに応じて、常温または高温で、および周囲条件下または無水条件下で合わされてもよい。この硬化性シリコーン組成物は、硬化してエラストマーを形成してもよい。このエラストマーは、２０〜７０のショアＡによって測定されるデュロメーターを有していてもよい。当該極性の添加剤は、その極性の添加剤上の反応性基に応じて、硬化性シリコーン組成物の１以上の部分に存在してもよい。

（組成物の使用方法）
上記の硬化性シリコーン組成物は、
（Ｉ）（Ａ）上記の成分を含むシリコーン硬化パッケージと、
（Ｂ）ポリアルキレンオキシド官能性および反応性官能性を含む極性の添加剤であって、この反応性官能性は、上記シリコーン硬化パッケージの少なくとも１つの成分と反応性である極性の添加剤と
を含む硬化性シリコーン組成物を硬化する工程を含むプロセスによって、硬化されたシリコーン製品を製造する工程と、
（ＩＩ）この硬化されたシリコーン製品をパターン転写技法で使用する工程と
を含む方法で使用されてもよい。

工程（Ｉ）は、選択されたシリコーン硬化パッケージに応じて種々の手段によって行われてもよい。例えば、湿気硬化性組成物が使用される場合、この硬化性シリコーン組成物は、周囲の湿気に曝露されてもよい。あるいは、ヒドロシリル化硬化性組成物が使用される場合、この硬化性シリコーン組成物は、加熱する工程を含む方法によって硬化されてもよい。あるいは、ラジカル硬化性組成物が使用される場合、この組成物は、放射線、熱、またはこれらの両方に曝露する工程を含む方法によって硬化することができる。この硬化性シリコーン組成物は、任意に、工程（ＩＩ）の前に基材（プラスチックなど）の上にコーティングされてもよい。

本願明細書に記載される方法では、パターン転写技法は、インプリント成形（ｉｍｐｒｉｎｔｍｏｌｄｉｎｇ）、ステップアンドフラッシュインプリント成形（ｓｔｅｐａｎｄｆｌａｓｈｉｍｐｒｉｎｔｍｏｌｄｉｎｇ）、溶媒支援マイクロモールディング（ｓｏｌｖｅｎｔａｓｓｉｓｔｅｄｍｉｃｒｏｍｏｌｄｉｎｇ）、マイクロトランスファ成形（ｍｉｃｒｏｔｒａｎｓｆｅｒｍｏｌｄｉｎｇ）、キャピラリー内での微細成型（ｍｉｃｒｏｍｏｌｄｉｎｇｉｎｃａｐｉｌｌａｒｉｅｓ）、マイクロコンタクトプリンティング、およびロールプリンティング（ｒｏｌｌｐｒｉｎｔｉｎｇ）からなる群から選択されてもよい。例えば、本願明細書に記載される硬化されたシリコーン製品は、米国特許出願公開第２００６／０２５４４４０号に開示される方法で有用であり得る。

例えば、パターン転写方法は、
（ｉ）型を転写媒体で満たす工程と、
（ｉｉ）この転写媒体が硬化されたシリコーン製品の上へと転写されるように、硬化されたシリコーン製品をこの転写媒体と接触させる工程と、
（ｉｉｉ）この硬化されたシリコーン製品を基材と接触させて、これにより上記転写媒体をこの基材に転写する工程と
を含む。この硬化されたシリコーン製品は、平坦な（パターン形成されていない）表面を有していてもよい。

この方法で使用される硬化されたシリコーン製品は、上記の硬化性シリコーン組成物の反応生成物であってもよい。例えば、この方法で有用な硬化性シリコーン組成物は、
任意に（Ｉ）１分子あたり平均で少なくとも２つの不飽和有機基を有するポリオルガノシロキサンと、
任意に（ＩＩ）オルガノハイドロジェンポリシロキサンと（ただし成分（Ｉ）および成分（ＩＩ）のうちの少なくとも１つは存在する）、
（ＩＩＩ）ヒドロシリル化反応触媒と、
（ＩＶ）ポリアルキレンオキシド官能性と不飽和有機基およびケイ素に結合した水素原子から選択される反応性官能性とを含む極性の添加剤と（ただし、成分（Ｉ）が存在しない場合は、成分（ＩＶ）の反応性官能性は、不飽和有機基を含み、成分（ＩＩ）が存在しない場合は、成分（ＩＶ）の反応性官能性はケイ素に結合した水素原子を含む）
を含む。

当該方法は、任意にさらに、（ｉｖ）工程（ｉｉ）を繰り返した後に工程（ｉｉｉ）を１回以上繰り返す工程を含んでもよい。理論に拘束されることは望まないが、この硬化されたシリコーン製品はパターン転写技法で繰り返し使用されてもよいこと、および本願明細書に記載される硬化されたシリコーン製品はサイクルの増加という恩恵を提供し得る、すなわち、工程（ｉｉ）および（ｉｉｉ）は従来のシリコーンの型を用いた場合よりも多数回繰り返してもよいということが考えられる。しかしながら、上記転写媒体は伝導性物質に限定されず、伝導性インキおよび伝導性ペーストなどの伝導性媒体、非伝導性媒体、耐エッチング性層（ｅｔｃｈｒｅｓｉｓｔｌａｙｅｒ）、オーバーコーティング／フォトスペーサ層（ｐｈｏｔｏ−ｓｐａｃｅｒｌａｙｅｒ）（光学層）、およびカラーフィルターからなる群から選択されてもよい。

あるいは、この硬化されたシリコーン製品は、ソフトリソグラフィー法で使用されてもよい。例えば、ある方法は、
ｉ）パターン形成された特徴を有するマスターに接して硬化性シリコーン組成物をキャストする工程と、
ｉｉ）この硬化性シリコーン組成物を硬化してシリコーンの型を形成する工程と、
ｉｉｉ）このシリコーンの型をそのマスターから取り外す工程と
を含む。この方法は、任意にさらに、
ｉｖ）このシリコーンの型を転写媒体と接触させる工程と、
ｖ）この転写媒体を、基材の表面上にパターン形成された特徴へと形成する工程と
を含んでもよい。工程ｉ）は、上記のとおりの硬化性シリコーン組成物を使用して行われる。例えば、この方法で使用される硬化性シリコーン組成物は、
任意に（Ｉ）１分子あたり平均で少なくとも２つの不飽和有機基を有するポリオルガノシロキサンと、
任意に（ＩＩ）オルガノハイドロジェンポリシロキサンと（ただし成分（Ｉ）および成分（ＩＩ）のうちの少なくとも１つは存在する）、
（ＩＩＩ）ヒドロシリル化反応触媒と、
（ＩＶ）ポリアルキレンオキシド官能性と不飽和有機基およびケイ素に結合した水素原子から選択される反応性官能性とを含む極性の添加剤と（ただし、成分（Ｉ）が存在しない場合は、成分（ＩＶ）の反応性官能性は、不飽和有機基を含み、成分（ＩＩ）が存在しない場合は、成分（ＩＶ）の反応性官能性はケイ素に結合した水素原子を含む）
を含んでいてもよい。

この方法は、任意にさらに、ｖｉ）工程ｉｖ）を繰り返した後に工程ｖ）を１回以上繰り返す工程を含んでもよい。理論に拘束されることは望まないが、シリコーンの型はパターン形成技法で繰り返し使用されてもよいと考えられる。

上記の方法は、種々の基材上にパターンを作製するために使用されてもよい。例えば、この基材は、フラットパネルディスプレイ、液晶ディスプレイ、太陽電池、プリント配線基板、プラズマディスプレイパネル、またはＲＦＩＤの構成要素であってもよい。上記の方法は、カラーマトリクス製造（ｃｏｌｏｒｍａｔｒｉｘｆａｂｒｉｃａｔｉｏｎ）、電極堆積（ｅｌｅｃｔｏｒｏｄｅｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）、プラズマディスプレイパネル製造、電磁波シールド（ｅｌｅｃｔｒｏｍａｇｎｅｔｉｃｉｎｔｅｒｆｅｒｅｎｃｅｓｈｉｅｌｄｉｎｇ）、およびレジストパターン形成において使用するために有用であり得る。

これらの実施例は本発明を実証するために含まれており、当業者は、本開示を参酌して、開示されている特定の実施形態において多くの変更をなすことができることが分かるはずであり、本発明の趣旨および範囲から逸脱することなく依然として同じまたは同様の結果を得るはずである。すべての量、比、および百分率は、特記されない限りは、重量による。以下の構成成分をこれらの実施例で使用した。

ベースポリマーＡは、６８％ジメチルビニルシロキシ末端、ポリジメチルシロキサン；３１％ジメチルビニル化およびトリメチル化シリカ、および１％テトラ（トリメチルシロキシ）シランの混合物であった。

ベースポリマーＢは、６７％ジメチルビニルシロキシ末端、ポリジメチルシロキサン、３１％ジメチルビニル化およびトリメチル化シリカ、１％テトラ（トリメチルシロキシ）シラン、および１％不純物の混合物であった。

ベースポリマーＣはジメチルビニルシロキシ末端ポリジメチルシロキサンであった。

ベースポリマーＤはジメチルビニルシロキシ末端ポリジメチルシロキサンであった。

ベースポリマーＥは、７１％ジメチルビニルシロキシ末端ポリジメチルシロキサン、２７％ジメチルビニル化およびトリメチル化シリカ、および１％不純物の混合物であった。

ベースポリマーＦはジメチルビニルシロキシ末端ポリジメチルシロキサンであった。

架橋剤Ａはトリメチルシロキシ末端、ポリ（ジメチル／メチルハイドロジェンシロキサン）共重合体であった。

架橋剤Ｂは水素末端ポリジメチルシロキサンであった。

鎖延長剤Ａは、９２％水素末端ポリジメチルシロキサン、５％オクタメチルシクロテトラシロキサン、および２％デカメチルシクロペンタシロキサンの混合物であった。これらの実施例では、鎖延長剤Ａは、硬化性シリコーン組成物に対して、ＳｉＨ／Ｖｉ比の調整および４０００〜８０００ｃＰへの粘度調整のために加えた。

鎖延長剤Ｂはテトラメチルテトラビニルシクロテトラシロキサンであった。

触媒Ａは、１．５％白金と１，３−ジエテニル−１，１，３，３−テトラメチルジシロキサンとの錯体、６％テトラメチルジビニルジシロキサン、および９２％ジメチルビニルシロキシ末端、ポリジメチルシロキサンの混合物であった。

極性の添加剤Ａは、１重量部のジメチル、メチル（プロピルグリシドオキシ）、メチル（プロピル（ポリ（ＰＯ））メチル）シクロシロキサンおよび９重量部のジメチル、メチル（グリシドオキシプロピル）、メチル（プロピル（ポリ（ＰＯ））メチル）シロキサンの混合物であった。極性の添加剤Ａは、ポリプロピレンオキシドモノアリルメチルエーテル、アリルグリシジルエーテル、およびトリメチルシロキシ末端ポリジメチル−ｃｏ−メチルハイドロジェンシロキサンのヒドロシリル化生成物である。

阻害剤Ａは、ジメチルビニルシロキシ末端ポリジメチルシロキサン中の０．５％フェニルブチノールの混合物であった。

ＢＣＡはＣＡＳ番号１２４−１７−４のブチルカルビトールアセテートであった。

ＰＧＭＥＡはプロピレングリコールメチルエーテルアセテートであった。

（実施例１）
極性の添加剤、つまり米国、ミシガン州、ミッドランドのダウケミカル社（ＴｈｅＤｏｗＣｈｅｍｉｃａｌＣｏｍｐａｎｙ）から入手したＸＵＳ１３４６１エチレンオキシド−プロピレンオキシド（ＥＯ−ＰＯ）を、米国、ミシガン州、ミッドランドのダウケミカル社から入手したＤＯＷＣＯＲＮＩＮＧ（登録商標）ＳＹＬＧＡＲＤ（登録商標）１８４配合物に加えた。ＥＯ−ＰＯの量は、１〜２０重量％で変えた。これらの試料において、ＥＯ−ＰＯの量がＳＹＬＧＡＲＤ（登録商標）１８４において２０重量％を超える場合は、得られた型はいくつかのソフトリソグラフィプロセスで使用するには粘着性が高すぎるようになる場合があることを見出した。

ＥＯ−ＰＯと混合した後、得られた組成物は、ＥＯ−ＰＯを含まないＳＹＬＧＡＲＤ（登録商標）１８４配合物よりも著しく粘性が高かった。加熱プレス硬化方法を使用して、ミクロスケールの特徴を有する型を製造した。このプレス硬化方法は、この粘性の高い組成物をマスター型へと押込み、極性の型に高忠実度のパターンを生成した。硬化後、マスター型からのパターン形成された特徴のネガティブな像が、図１に示すように、変性ＰＤＭＳの型の表面に複製された。

この変性ＰＤＭＳの型を製造した後、表面エネルギー測定を行った。図２は、ＥＯ−ＰＯ量の関数として表面エネルギーおよび水接触角の値を示す。ＥＯ−ＰＯ添加後に、型の極性の著しい増加がある。同様に、水接触角の劇的な減少が観察された。

ＥＯ−ＰＯの結果として、極性溶媒の透過性および極性溶媒の吸着は増加する。図３は、変性ＰＤＭＳの型の中へのエタノールの透過性を示す。図４は、変性シリコーンの型をエタノールの中に浸漬した後の、変性シリコーンの型のエタノール取り込みを示す。

（比較例２ − 極性の添加剤を含まない２液型試料）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表１に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は１．５であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．４５であった。この混合物中の樹脂の量は２９％であった。

（実施例３）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表２に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は１．６であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．４５であった。この混合物中の樹脂の量は２８％であった。

（比較例４）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表３に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は１．６であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．２８であった。この混合物中の樹脂の量は１９％であった。

（比較例５）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表４に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は１．４であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．４５であった。この混合物中の樹脂の量は２７％であった。

（実施例６）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表５に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は２．５であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は．１７であった。この混合物中の樹脂の量は１１％であった。

（実施例７）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表６に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は２．４であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．１７であった。この混合物中の樹脂の量は１２％であった。

（実施例８）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表７に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は２．４であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．１７であった。この混合物中の樹脂の量は１１％であった。

（実施例９）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表８に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は２．４であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．１７であった。この混合物中の樹脂の量は１１％であった。

（実施例１０）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表９に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は２．４であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．１７であった。この混合物中の樹脂の量は１１％であった。

（実施例１１）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表１０に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は２．４であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．１７であった。この混合物中の樹脂の量は９％であった。

（実施例１２）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表１１に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は２．４であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．１７であった。この混合物中の樹脂の量は８％であった。

（実施例１３）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表１２に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は２．４であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．１７であった。この混合物中の樹脂の量は７％であった。

（実施例１４）
Ａ部およびＢ部を形成するために、表１３に示す量の構成成分を混合することによって、２液型の試料を調製した。Ａ部およびＢ部を１：１の比で混合した。この混合物のＳｉＨ／Ｖｉモル比は２．４であった。この混合物の樹脂／ポリマー比は０．１７であった。この混合物中の樹脂の量は６％であった。

試料６、７、１１、および１３を溶媒に５分間曝露した。溶媒取り込み（％）を測定し、結果を表１４および図５に示した。

これらの結果は、これらの実施例について配合物中の極性の添加剤の量が増加するにつれて、溶媒取り込みは増加することを示す。取り込みはＰＧＭＥＡおよびＢＣＡ溶媒の両方について増加した。しかしながら、これらの配合物では、極性の添加剤Ａの量があまりに高い場合は、これは、この硬化性シリコーン組成物の粘度が望ましくないレベルまで上昇すること、または膜表面が滑らかではなくて凹凸があるようになること、またはこの両方を引き起こす可能性がある。それゆえ、これらの配合物では、５０％までの極性の添加剤Ａ、あるいは２０％までの極性の添加剤Ａが加えられてもよい。

理論に拘束されることは望まないが、本願明細書に記載される極性の添加剤は、転写媒体（伝導性インキなど）から硬化されたシリコーン製品への極性物質の取り込みを可能にするという恩恵をもたらす場合があり、そして硬化されたシリコーン製品の濡れを改善する場合があり、これにより硬化されたシリコーン製品に対して従来の極性のインキを使用して調製されたパターンの品質を改善する場合があると考えられる。理論に拘束されることは望まないが、本発明の硬化されたシリコーン製品はサイクル寿命の耐久性および／または親水性の耐久性を改善した、すなわち、その親水性は、酸素プラズマ処理または表面との反応に供されたポリエチレングリコールのいずれかによって処理された表面である従来のシリコーンの型の親水性よりも長く持続すると考えられる。さらに、アリルオキシ末端ポリ（エチレンオキシド／プロピレンオキシド）共重合体などの本願明細書に記載されるポリアルキレンオキシド添加剤は市販の、低コスト中間体である。理論に拘束されることは望まないが、これらの共重合体はベースポリマー、またはヒドロシリル化硬化性組成物に対する阻害剤のいずれか、またはこれらの両方として作用するというさらなる恩恵をもたらし得ること、およびこれは、ヒドロシリル化硬化パッケージが使用される場合には、別個のベースポリマー、別個の安定剤、またはその両方を加える必要性を最小にする可能性があると考えられる。

Claims

（ｉ）型を転写媒体で満たす工程と、
（ｉｉ）前記転写媒体が硬化されたシリコーン製品の上に転写されるように、前記硬化されたシリコーン製品を前記転写媒体と接触させる工程であって、前記硬化されたシリコーン製品は、
任意に（Ｉ）１分子あたり平均で少なくとも２つの不飽和有機基を有するポリオルガノシロキサンと、
任意に（ＩＩ）オルガノハイドロジェンポリシロキサンと（ただし成分（Ｉ）および成分（ＩＩ）のうちの少なくとも１つは存在する）、
（ＩＩＩ）ヒドロシリル化反応触媒と、
（ＩＶ）ポリアルキレンオキシド官能性と不飽和有機基およびケイ素に結合した水素原子から選択される反応性官能性とを含む極性の添加剤と（ただし、成分（Ｉ）が存在しない場合は、成分（ＩＶ）の反応性官能性は、前記不飽和有機基を含み、成分（ＩＩ）が存在しない場合は、成分（ＩＶ）の反応性官能性はケイ素に結合した水素原子を含む）
を含む硬化性シリコーン組成物の反応生成物である工程と、
（ｉｉｉ）前記硬化されたシリコーン製品を基材と接触させて、これにより前記転写媒体を前記基材に転写する工程と
を含む、方法。
さらに、（ｉｖ）工程（ｉｉ）を繰り返した後に、工程（ｉｉｉ）を１回以上繰り返す工程を含む、請求項１に記載の方法。
ｉ）パターン形成された特徴を有するマスターに接して硬化性シリコーン組成物をキャストする工程であって、前記硬化性シリコーン組成物は、
任意に（Ｉ）１分子あたり平均で少なくとも２つの不飽和有機基を有するポリオルガノシロキサンと、
任意に（ＩＩ）オルガノハイドロジェンポリシロキサンと（ただし成分（Ｉ）および成分（ＩＩ）のうちの少なくとも１つは存在する）、
（ＩＩＩ）ヒドロシリル化反応触媒と、
（ＩＶ）ポリアルキレンオキシド官能性と不飽和有機基およびケイ素に結合した水素原子から選択される反応性官能性とを含む極性の添加剤と（ただし、成分（Ｉ）が存在しない場合は、成分（ＩＶ）の反応性官能性は、前記不飽和有機基を含み、成分（ＩＩ）が存在しない場合は、成分（ＩＶ）の反応性官能性はケイ素に結合した水素原子を含む）
を含む工程と、
ｉｉ）前記硬化性シリコーン組成物を硬化してシリコーンの型を形成する工程と、
ｉｉｉ）前記シリコーンの型を前記マスターから取り外す工程と、
ｉｖ）前記シリコーンの型を、伝導性インキおよび伝導性ペーストから選択される転写媒体と接触させる工程と、
ｖ）前記転写媒体を、基材の表面上にパターン形成された特徴へと形成する工程と
を含む、方法。
ｖｉ）工程ｉｖ）を繰り返した後に、工程ｖ）を１回以上繰り返す工程をさらに含む、請求項３に記載の方法。
前記転写媒体が伝導性インキまたは伝導性ペーストである、請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の方法。
前記基材が、フラットパネルディスプレイ、太陽電池、プリント配線基板、プラズマディスプレイパネル、またはＲＦＩＤの構成要素である、請求項１、請求項２、および請求項４のいずれか１項に記載の方法。
（Ｉ）（Ａ）シリコーン硬化パッケージと、
（Ｂ）ポリアルキレンオキシド官能性および反応性官能性を含む極性の添加剤と
を含む硬化性シリコーン組成物を硬化する工程を含むプロセスによって、硬化されたシリコーン製品を製造する工程と、
（ＩＩ）前記硬化されたシリコーン製品を、インプリント成形、ステップアンドフラッシュインプリント成形、溶媒支援マイクロモールディング、マイクロトランスファ成形、キャピラリー内での微細成型、マイクロコンタクトプリンティング、およびロールプリンティングからなる群から選択されるパターン転写技法で使用する工程と
を含む方法。
前記シリコーン硬化パッケージが、ヒドロシリル化硬化性組成物、縮合硬化性組成物、ラジカル硬化性組成物、開環重合性組成物、付加硬化性組成物、およびこれらの組み合わせからなる群から選択される、請求項７に記載の方法。
前記パターン形成技法が、インプリント成形、ステップアンドフラッシュインプリント成形、溶媒支援マイクロモールディング、マイクロトランスファ成形、キャピラリー内での微細成型、マイクロコンタクトプリンティング、およびロールプリンティングからなる群から選択される、請求項８に記載の方法。
前記極性の添加剤がポリ（エチレンオキシド／プロピレンオキシド）共重合体である、請求項１、請求項２、請求項４、および請求項７から請求項９のいずれか１項に記載の方法。
前記極性の添加剤がポリアルキレンオキシド官能性シロキサンである、請求項１、請求項２、請求項４、および請求項７から請求項９のいずれか１項に記載の方法。
前記極性の添加剤が反応性末端基を有するポリアルキレンオキシドである、請求項１、請求項２、請求項４、および請求項７から請求項９のいずれか１項に記載の方法。
前記極性の添加剤が、ジメチル、メチル（プロピルグリシドオキシ）、メチル（プロピル（ポリ（プロピレンオキシド））メチル）シクロシロキサン；ジメチル、メチル（グリシドオキシプロピル）、メチル（プロピル（ポリ（プロピレンオキシド））メチル）シロキサン；およびこれらの組合せからなる群から選択される、請求項１、請求項２、請求項４、および請求項７から請求項９のいずれか１項に記載の方法。
前記極性の添加剤が、一般式：

（式中、各Ｒ^Ｅは独立に反応性末端基であり、添え字ａは１〜２０の範囲の値を有し、添え字ｂは０〜２０の範囲の値を有する）を有する、請求項１、請求項２、請求項４、および請求項７から請求項９のいずれか１項に記載の方法。