JP2003293135A

JP2003293135A - プラスチック容器内面への膜形成装置および内面膜被覆プラスチック容器の製造方法

Info

Publication number: JP2003293135A
Application number: JP2002097626A
Authority: JP
Inventors: Takao Abe; 阿部　　隆夫; Hideo Yamakoshi; 英男山越; Mitsuo Kato; 光雄加藤; Yuji Asahara; 裕司浅原
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 2002-03-29
Filing date: 2002-03-29
Publication date: 2003-10-15

Abstract

(57)【要約】【課題】良好な膜質で、かつ均一な膜厚を有する膜を
プラスチック容器内面にコーティング可能なプラスチッ
ク容器の内面への膜形成装置を提供する。【解決手段】被処理物であるプラスチック容器が挿入
された時にその容器を取り囲む有底円筒状の外部電極
と、容器の口部が位置する側の前記外部電極の上部に取
り付けられた排気管と、外部電極内の前記プラスチック
容器内に挿入され、媒質ガスを吹き出すためのガス吹き
出し管を兼ねる内部電極と、一端が内部電極に連結さ
れ、他端が排気管側に延出された給電端子を兼ねるガス
供給管と、少なくとも外部電極内および容器の口部近傍
の排気管内に位置するガス供給管部分の外周に配置さ
れ、接地されたアースシールド管と、排気管に取り付け
られた排気手段と、ガス供給管に媒質ガスを供給するた
めのガス供給手段と、ガス供給管に接続された高周波電
源とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プラスチック容器
内面への膜形成装置および内面膜被覆プラスチック容器
の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】プラスチック容器、例えばペットボトル
は、外部からの酸素の透過および容器自身に含まれる酸
素の内部への浸み出し、また、内部（例えば炭酸飲料
水）からの二酸化炭素の透過を防止するためにその内面
にＤＬＣ（Diamond Like Carbon）やａ−Ｃ（amorphous
Carbon）のような炭素膜や、ＳｉＯ_２膜などのバリア
膜をはじめとする機能膜をコーティングすることが試み
られている。

【０００３】このようなプラスチック容器内面に膜をコ
ーティングする方法としては、特開平８−５３１１６号
公報および特許第２７８８４１２号公報（特開平８−５
３１１７号公報）に高周波プラズマを用いる方法が開示
されている。特開平９−２７２５６７号公報には、その
応用的な方法として高周波プラズマを用いて膜をフィル
ムにコーティングする方法が開示されている。特許第３
０７２２６９（特開平１０−２２６８８４号公報）に
は、特殊形状容器に対応するコーティング方法が、特許
第３１１５２５２（特開平１０−２５８８２５号公報）
などには量産化技術として複数個の容器に同時にコーテ
ィングする方法が開示されている。また、プラスチック
容器に膜をコーティングする技術が開示された文献とし
て、「K.Takemoto, et al, Proceedings of ADC/FCT '9
9,p285」、「E.Shimamura et al, 10th years IAPRI W
orld Conference 1997,p251 」がある。

【０００４】高周波プラズマＣＶＤを用いてプラスチッ
ク容器に機能膜をコーティングする基本的な発明である
前記特許第２７８８４１２号公報（特開平８−５３１１
７号公報）について、図６を参照して説明する。図６は
この公報に記載されている高周波プラズマＣＶＤを用い
たプラスチック容器への炭素膜コーティング装置の断面
図である。

【０００５】外部電極１０１は、架台１０２上に例えば
ポリテトラフルオロエチレン製のシール板１０３を介し
て設置されている。この外部電極１０１は、収納される
プラスチック容器、例えばボトルＢの外形にほぼ沿った
形の内形状を有する。前記外部電極１０１は、筒状の本
体１０１ａとこの本体１０１ａの上端に取り付けられる
キャップ部１０１ｂとから構成され、真空容器を兼ねて
いる。ガス排気管１０４は、前記架台１０２およびシー
ル板１０３を通して前記外部電極１０１下部に連通され
ている。

【０００６】内部電極１０５は、前記外部電極１０１内
に収納されたボトルＢ内に挿入されている。この内部電
極１０５は、中空構造を有し、表面には複数のガス吹き
出し孔１０６が穿設されている。ＣＶＤ用媒質ガスを供
給するためのガス供給管１０７は、前記架台１０２およ
びシール板１０３を貫通して前記内部電極１０５の下端
に連通されている。ＣＶＤ用媒質ガスは、前記供給管１
０７を通して前記内部電極１０５内に供給され、前記ガ
ス吹き出し孔１０６からボトルＢ内に供給される。

【０００７】ＲＦ入力端子１０８は、前記架台１０２お
よびシール板１０３を通して前記外部電極１０１下部に
接続されている。このＲＦ入力端子１０８は、前記架台
１０２に対して電気的に絶縁されている。また、前記Ｒ
Ｆ入力端子１０８の下端は、整合器１０９を通して高周
波電源１１０に接続されている。前記外部電極１０１
は、高周波電源１１０からプラズマ生成用の高周波電力
が前記整合器１０９およびＲＦ入力端子１０８を通して
印加される。

【０００８】このような構成の装置を用いてペットボト
ル内面に炭素膜をコーティングする方法について説明す
る。

【０００９】まず、外部電極１０１の本体１０１ａ内に
ペットボトルＢを挿入し、前記本体１０１ａにキャップ
１０１ｂを取り付けることにより前記ボトルＢを前記外
部電極１０１内に気密に収納する。外部電極１０１内の
ガスをガス排気管１０４を通して排気する。この時、前
記外部電極１０１に収納したボトルＢ内外の空間のガス
が排気される。規定の真空度（代表値：１０^-2〜１０^-5
Ｔｏｒｒ）に到達した後、媒質ガスをガス供給管１０７
を通して内部電極１０５に例えば１０〜５０ｍＬ／ｍｉ
ｎの流量で供給し、さらに内部電極１０５のガス吹き出
し孔１０６を通してボトルＢ内に吹き出す。なお、この
媒質ガスとしては、例えばアセチレン、ベンゼン、トル
エン、キシレン、シクロヘキサン等の脂肪族炭化水素
類、芳香族炭化水素類、含酸素炭化水素類、含窒素炭化
水素類が用いられる。前記ボトルＢ内の圧力は、ガス供
給量と排気量のバランスによって例えば２×１０^-1〜１
×１０^-2Ｔｏｒｒに設定する。その後、高周波電源１１
０から５０〜１０００Ｗの高周波電力を整合器１０９お
よびＲＦ入力端子１０８を通して外部電極１０１に印加
する。

【００１０】このような高周波電力の外部電極１０１へ
の印加によって、前記外部電極１０１と内部電極１０５
の間にプラズマが生成される。この時、ペットボトルＢ
は外部電極１０１の内にほぼ隙間無く収納されているた
め、プラズマはペットボトルＢ内に発生する。前記媒質
ガスは、前記プラズマによって解離、又は更にイオン化
して、炭素膜を形成するための製膜種が生成され、この
製膜種が前記ボトルＢ内面に堆積し、炭素膜を形成す
る。炭素膜を所定の膜厚まで形成した後、高周波電力の
印加を停止し、媒質ガス供給の停止、残留ガスの排気、
窒素、希ガス、又は空気等を外部電極１０１内に供給
し、この空間内を大気圧に戻す。この後、前記ボトルＢ
を外部電極１０１から取り外す。なお、この方法におい
て炭素膜を厚さ３０ｎｍ成膜するには２〜３秒間要す
る。

【００１１】このような高周波プラズマを用いるコーテ
ィング方法では、プラスチック容器内面の口部から肩部
または肩部近傍に亘る領域の炭素膜の厚さが他の容器内
面箇所に比べて厚くなって、均一なコーティングが困難
になる問題があった。

【００１２】また、コーティング速度が十分とは言えな
い問題があった。たとえばペットボトル用のガス透過防
止バリア膜のコーティングにおいて現状の処理速度は２
００本／分程度であるが、市場ではそれより多い５００
本／分程度が要求されており、そのような処理速度を同
時処理本数が数十本程度の適度な大きさの連続処理装置
で処理するためには１本あたり１〜２秒程度の短時間で
コーティングを行う必要があった。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、良好な膜質
で、かつ均一な膜厚を有する機能膜をプラスチック容器
内面に高速度でコーティングすることが可能なプラスチ
ック容器の内面への膜形成装置を提供することを目的と
する。

【００１４】本発明は、良好な膜質で、かつ均一な膜厚
を有する機能膜が内面に高速度でコーティングされたプ
ラスチック容器の製造方法を提供することを目的とす
る。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明に係るプラスチッ
ク容器内面への膜形成装置は、被処理物であるプラスチ
ック容器が挿入された時にその容器を取り囲む有底円筒
状の外部電極と、前記容器の口部が位置する側の前記外
部電極の上部に取り付けられた排気管と、前記外部電極
内の前記プラスチック容器内に挿入され、媒質ガスを吹
き出すためのガス吹き出し管を兼ねる内部電極と、一端
が前記内部電極に連結され、他端が前記排気管側に延出
された給電端子を兼ねるガス供給管と、少なくとも前記
外部電極内および前記容器の口部近傍の前記排気管内に
位置する前記ガス供給管部分の外周に配置され、接地さ
れたアースシールド管と、前記排気管に取り付けられた
排気手段と、前記ガス供給管に媒質ガスを供給するため
のガス供給手段と、前記ガス供給管に接続された高周波
電源と、を具備したことを特徴とするものである。

【００１６】本発明に係る内面膜被覆プラスチック容器
の製造方法は、前述した本発明の膜形成装置を用いて内
面膜被覆プラスチック容器を製造するにあたり、（ａ）
被処理物であるプラスチック容器を、有底円筒状外部電
極内に囲まれるように挿入する工程と、（ｂ）上記
（ａ）工程と同時、または、前後して、接地されたアー
スシールドを外周に配置したガス供給管が連結され、媒
質ガスを吹き出し管を兼ねる内部電極を、前記プラスチ
ック容器の内部に挿入する工程と、（ｃ）前記容器内の
ガスを排気管手段により前記排気管を通して排気すると
共に、前記ガス供給管手段から媒質ガスを前記内部電極
に供給し、この内部電極のガス吹き出し孔から前記プラ
スチック容器内に媒質ガスを吹き出して前記プラスチッ
ク容器内を含む排気管内を所定のガス圧力に設定する工
程と、（ｄ）高周波電源から高周波電力を前記ガス供給
管を通して前記内部電極に供給し、または、それと略同
時にバイアス用電源から内部電極に与える高周波電力の
周波数より周波数の低い高周波電力を前記外部電極に印
加し、前記プラスチック容器内にプラズマを生成させ、
このプラズマにより前記媒質ガスを解離させて前記プラ
スチック容器内面に膜をコーティングする工程とを含む
ことを特徴とするものである。

【００１７】本発明に係る別のプラスチック容器内面へ
の膜形成装置は、被処理物であるプラスチック容器が挿
入された時にその容器を取り囲む大きさを有する有底円
筒状の外部電極と、被処理物であるプラスチック容器が
挿入された時に少なくともその容器の口部および肩部と
前記外部電極の間に介在された誘電体材料からなるスペ
ーサと、前記容器の口部が位置する側の前記外部電極の
端面に絶縁部材を介して取り付けられた排気管と、前記
外部電極内の前記プラスチック容器内に挿入され、媒質
ガスを吹き出すためのガス吹き出し孔が穿設された内部
電極と、前記排気管に取り付けられた排気手段と、前記
ガス供給管に媒質ガスを供給するためのガス供給手段
と、前記ガス供給管に整合器を通して接続された高高周
波電源と、前記外部電極に整合器を通して接続されたバ
イアス用電源と、前記ガス供給管と前記整合器の間の導
通経路に一端が接続され、他端が接地されたインダクタ
ンスとを具備したことを特徴とするものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明を図面を参照して詳
細に説明する。

【００１９】（第１実施形態）図１は、第１実施形態に
係るプラスチック容器内面への膜形成装置を示す断面図
である。

【００２０】上下端にフランジ１ａ，１ｂを有する円筒
状の電磁シールド部材２は、円環状の下部シールド部材
３上に載置されるとともに、電気的に接続されて高周波
が装置から漏れないように封じている。筒状の金属製の
外部電極本体４は、前記電磁シールド部材電磁シールド
部材２内に上部フランジ１ａより下方に位置するように
配置されている。円板状をなす金属製の外部電極底部材
５は、前記外部電極４の底部に着脱可能に取り付けられ
ている。前記外部電極本体４および前記外部電極底部材
５により炭素被膜を形成するプラスチック容器（例えば
ペットボトル）Ｂを設置可能な大きさの空間をもつ有底
円筒状の外部電極６が構成されている。なお、前記下部
シールド部材３と前記外部電極底部材５の間には円板状
絶縁体７が配置されている。

【００２１】なお、前記外部電極底部材５、前記円板状
絶縁体７および前記下部シールド部材３は図示しないプ
ッシャーにより前記外部電極本体４に対して一体的に上
下動し、前記外部電極本体４の底部を開閉する。

【００２２】内部に挿入されるプラスチック容器（例え
ばペットボトル）Ｂの口部および肩部に対応する円柱お
よび円錐台を組み合わせた形状をなす空洞部８を有する
誘電体材料からなる円柱状スペーサ９は、前記外部電極
６における前記本体４の上部に挿入されている。このス
ペーサ９は、この上に載置される後述する環状絶縁部材
から螺着されたねじ（図示せず）により固定されてい
る。このように円柱状スペーサ９を前記外部電極６にお
ける前記本体４の上部に挿入固定することにより、前記
外部電極６の底部側からペットボトルＢを挿入すると、
そのペットボトルＢ外周の肩部が前記スペーサ９の空洞
部８内面に接触するか、または近接し、かつこれ以外の
ペットボトルＢの外周は前記外部電極６内面に接触する
か、または近接する。

【００２３】前記スペーサ９を構成する誘電体材料とし
ては、例えばプラスチックまたはセラミックを挙げるこ
とができる。プラスチックとしては、種々のものを用い
ることができるが、特に高周波損失が低く、耐熱性に優
れ、軟らかい、ポリテトラフルオロエチレンのようなフ
ッ素系樹脂が好ましい。セラミックとしては、高周波損
失が低いアルミナ、ステアタイトまたは機械加工性が高
く、軟らかいマコールが好ましい。

【００２４】環状絶縁部材１０は、前記外部電極６上面
にその環状絶縁部材１０上面が前記筒状電磁シールド部
材２の上部フランジ１ａと面一になるように載置され、
図示しないねじがその絶縁部材１０から前記スペーサ９
に螺着されて前記スペーサ９を前記外部電極６内に挿
入、固定している。環状絶縁部材１０の下面は、ペット
ボトルＢの口部上端面と一致させても可であるが、むし
ろ口部より肩部側まで厚くしたほうが好ましい。これ
は、ペットボトルＢの内部に発生するプラズマを抑制
し、そのペットボトルＢの口部内面に膜が付くのを防
ぎ、見栄えを良くするためである。上下にフランジ１１
ａ，１１ｂを有するガス排気管１２は、前記電磁シール
ド部材２の上部フランジ１ａおよび前記環状絶縁部材１
０の上面に載置されている。図示しないねじを前記排気
管１２の下部フランジ１１ｂから前記電磁シールド部材
２の上部フランジ１ａに螺着することにより前記ガス排
気管１２が前記電磁シールド部材２に固定されている。
また、図示しないねじを前記排気管１２の下部フランジ
１１ｂから前記環状絶縁部１０を貫通して外部電極６の
本体４に螺着することにより前記排気管１２が前記環状
絶縁部材１７および前記外部電極１４に固定されると共
に、前記環状絶縁部材１０が前記外部電極６に対しても
固定される。なお、前記排気管１２と前記環状絶縁部材
１０および前記外部電極６との固定は、前記排気管１２
と前記外部電極６とがねじにより電気的に導通しない取
り付け構造になっている。分岐ガス排気管１３は、前記
ガス排気管１２の側壁に連結され、その他端に図示しな
い真空ポンプのような排気設備が取り付けられている。

【００２５】例えば１３．５６ＭＨｚの高周波電力をバ
イアス電力として印加するためのバイアス用電源１４
は、同軸ケーブル１５およびＮ型レセプタクル（図示せ
ず）を用いた給電部１６を通して前記外部電極６に接続
されている。整合器１７は、前記同軸ケーブル１５に介
装されている。なお、前記同軸ケーブル１５の外皮シー
ルド（図示せず）により前記排気管１２の下部フランジ
１１ｂが接地され、それに電気的に接続した部材（電磁
シールド部材２など）はすべて接地される。中心部に絶
縁リング１８を有し、前記下部フランジ１１ｂとの電気
的接続により接地された蓋体１９は、前記ガス排気管１
２の上部フランジ１１ａに気密固定されている。筐体２
０は、前記蓋体１９上に取り付けられている。

【００２６】高高周波電力の端子を兼ねるガス供給管２
１は、前記筐体２０内から前記蓋体１９の絶縁リング１
８を貫通し、前記ガス排気管１２を通して前記スペーサ
９内まで挿入されている。このガス供給管２１の上端
は、外部から前記筐体２０を貫通して挿入されたガス導
入管２２の下端に絶縁継手２３を通して連結されてい
る。

【００２７】アースシールド管２４は、その上部のフラ
ンジ部２５を前記蓋体１９に螺着することにより接地さ
れ、前記ガス排気管１２および前記スペーサ９内に位置
する前記ガス供給管２１部分を覆うように配置されてい
る。なお、前記アースシールド管２４は前記スペーサ９
内およびこのスペーサ９近傍の前記ガス排気管１２内に
位置されている。

【００２８】内部電極２６は、前記外部電極６およびス
ペーサ９内に挿入されたペットボトルＢ内にこのペット
ボトルＢの長手方向のほぼ全長に渡って配置され、その
上端が前記ペットボトルＢの口部側に位置する前記ガス
供給管２１の下端に着脱自在に取り付けられている。前
記内部電極２６は、中心軸にガス流路２７がくり抜かれ
ている。

【００２９】なお、ガス吹き出し孔を前記内部電極２６
の下部側壁に前記ガス流路２７と連通するように開口し
てもよい。この場合、ガス吹き出し孔は前記内部電極２
６の底部から前記ペットボトルＢ内に挿入された長さの
２５％までの範囲内の側面領域に開口することが好まし
い。

【００３０】前記内部電極２６の径は、ボトルＢの口金
径以下とし、長さはペットボトルＢの長手方向のほぼ全
長にわたって挿入可能な長さとする。長さの目安として
は、ペットボトルＢの全長に対する割合が｛１−Ｄ／
（２Ｌ）｝程度となるようにする。ここでＤはペットボ
トルの内径、Ｌはペットボトルの全長を表し、Ｌ＞（Ｄ
／２）である。

【００３１】前記内部電極２６は、各種金属材料で製作
できるが、高周波伝送における表皮効果の影響を考慮し
て、その表面はアルミニウムや金などのように電気伝導
率が高く、かつ安定な材料であることが好ましい。ただ
し、コストも考慮するとアルミニウムで全体を製作する
ことが好ましい。また、内部電極２６表面が中途半端に
平滑であると、その内部電極２６の表面に堆積する炭素
膜を剥離し易くなる虞がある。このため、内部電極２６
の表面を予めサンドブラスト処理し、表面粗さを大きく
して表面に堆積する炭素膜を剥離し難くすることが好ま
しい。また、逆に表面を非常に平滑にし、コーティング
処理を行う毎に堆積する炭素膜をふき取りあるいは吹き
飛ばす方法もある。

【００３２】高高周波電力を供給するための高高周波電
源２８は、同軸ケーブル２９および給電部３０を通して
前記ガス供給管２１に接続されている。整合器３１は、
同軸ケーブル２９に介装されている。前記給電部３０は
Ｎ（型）レセプタクル（図示せず）を用いて前記筐体２
０に取り付けられている。同軸ケーブル２９の外皮シー
ルドも前記Ｎ型レセプタクルの外導体（いずれも図示せ
ず）を介して前記筐体２０と接続され、前記高高周波電
源２８とバイアス用電源１４の接地が連通され、すべて
同電位の接地電位となる。本発明の膜形成装置におい
て、前記バイアス用電源１４および高高周波電源２８に
より印加された高高周波およびバイアス用高周波は下部
シールド部材３、円筒状の電磁シールド部材２、排気管
１２、蓋体１９、筐体２０により本装置内に電磁的にシ
ールドされ、空間に放出されないようになっている。次
に、図１に示す膜形成装置を用いて内面炭素膜被覆プラ
スチック容器の製造方法を説明する。

【００３３】図示しないプッシャーにより外部電極底部
材５、円板状絶縁体７および下部シールド部材３を取り
外して外部電極本体４の底部を開放する。つづいて、プ
ラスチック容器、例えばペットボトルＢを開放した外部
電極本体４の底部側からそのボトルＢの口部側から挿入
した後、図示しないプッシャーにより外部電極本体４の
底部側に外部電極底部材５、円板状絶縁体７および下部
シールド部材３をこの順序で取り付けることによって、
図１に示すようにペットボトルＢの口部から肩部を誘電
体材料からなる円柱状スペーサ９の空洞部８内にその内
面に接触または近接させて収納し、かつ前記ボトルＢの
肩部から底部側を前記外部電極６の内面に接触または近
接させて収納する。このとき、前記ペットボトルＢは排
気管１２にその口部を通して連通する。

【００３４】次いで、図示しない排気手段により分岐排
気管１３および排気管１２を通して前記排気管１２およ
び前記ペットボトルＢ内外のガスを排気する。媒質ガス
をガス導入管２２からガス供給管２１を通して内部電極
２５のガス流路２６に供給し、ペットボトルＢ内に吹き
出させる。この媒質ガスは、さらにペットボトルＢの口
部に向かって流れていく。つづいて、ガス供給量とガス
排気量のバランスをとり、前記ペットボトルＢ内を所定
のガス圧力に設定する。

【００３５】次いで、バイアス用電源１４からバイアス
電力をケーブル１５、整合器１７および給電部１６を通
して前記外部電極６に印加する。その後、またはそれと
同時に、高高周波電源２８から高高周波電力をケーブル
２９、整合器３１および給電部３０を通してガス供給管
２１に供給し、このガス供給管２１を通して前記内部電
極２６に高高周波電力を供給する。このとき、前記内部
電極２６の周囲にプラズマが生成される。また、アース
シールド管２４は前記スペーサ９内および環状絶縁部材
１０および前記ガス排気管１２内に位置するように前記
ガス供給管２１外周に配置されていると共にフランジ部
２５を通して接地されているため、このアースシールド
管２４を基準電位として前記外部電極６からバイアス電
圧を生成されたプラズマに向けて印加することができ
る。さらに、前記アースシールド管２４はガス供給管２
１外周に配置されているため、前記ガス供給管２１に印
加されている高高周波電界は遮蔽され、排気管１２内に
は印加されない。さらに、アースシールド管２４をペッ
トボトルＢの口部より内部まで挿入すると、前記ガス供
給管２１および内部電極６に印加された高高周波電界は
このペットボトルＢの口部付近部分でも遮蔽され、口部
の空間に印加されない。その上、環状絶縁部材１０の下
面をペットボトルＢの口部上端から肩部の間の高さにし
てある場合、外部電極６に印加されるバイアス電圧も口
部の空間には印加されない。

【００３６】その結果、ａ）高高周波電力を用いると、
特に低ガス圧力条件にて高周波電力に比べて高い電子密
度が得られるため、媒質ガスとの衝突頻度が上がり製膜
種密度を高くできる、ｂ）バイアス電力を調整するとプ
ラズマ電位との電位差を可変にできるので、ペットボト
ルＢ内面へ入射するイオンエネルギーを調整できる、
ｃ）イオン密度は電子密度に比例するので、前記の電位
差の調整と併用することでペットボトルＢ内面に入射す
るイオンフラックスを制御できる、等の効果により、ペ
ットボトルＢの内部のコーティング速度および膜質が向
上する。

【００３７】さらに、ｄ）アースシールド管２４を設け
ない場合は、ガス供給管２１に印加されている高高周波
電界により前記口部分に強く発生するプラズマが、アー
スシールド管２４の存在により高周波電界が遮蔽され排
気管１２内には印加されないため、強く発生することが
なく、高高周波電力がこのプラズマに消費されてしまい
内部電極に到達する高高周波電力が減じて電力伝送効率
が低下することがないため、ペットボトルＢ内部に発生
するプラズマの密度を高くすることができ、ｅ）スペー
サ９の内径方向の厚さやアースシールド管２４の長さの
調節により、電界の集中による厚膜化が起こりやすいペ
ットボトルＢの肩部のコーティング速度を調節できるた
め、コーティング膜厚および膜質の均一性を向上させる
ことができる、などの効果が得られる。

【００３８】このようなプラズマの生成によって、ペッ
トボトルＢ内面に均一厚さで均質な炭素膜を高速度でコ
ーティングすることができ、良質の内面炭素膜被覆ペッ
トボトルを製造することができる。

【００３９】また、ペットボトルＢの口部分の内面部分
にはバリア膜が付着されないことが外観上好まれるが、
前記のようにアースシールド管２４をペットボトルＢの
口部より内部まで挿入することによりこの部分のプラズ
マ発生が抑えられ、また環状絶縁部材１０の下面をペッ
トボトルＢの口部上端から肩部の間の高さにすることに
より口部にバイアス電界が印加されない。この２つの効
果により当該部分にはバリア膜が付着せず、好ましい商
品価値の高い製品を得ることができる。なお、ペットボ
トルＢが外部電極６の内壁に数ミリ以下に近接している
ことから、ペットボトルＢの外壁と、外部電極６の内壁
の間の空洞部にはプラズマは発生せず、したがって、ペ
ットボトルＢの外壁にはコーティングはなされない。

【００４０】所定の膜厚が形成された後、前記バイアス
用電源１４および高高周波電源２８からのバイアス電
力、高高周波電力の供給を停止し、媒質ガスの供給の停
止、残留ガスの排気を行い、ガスの排気を停止した後、
窒素、希ガス、又は空気等を前記ガス導入管２２からガ
ス供給管２１を通して内部電極２６のガス流路２７を通
してペットボトルＢ内に供給し、このペットボトルＢ内
外を大気圧に戻す。その後、前述した順序に従ってペッ
トボトルＢを交換し、次のペットボトルのコーティング
作業へ移る。

【００４１】内面炭素膜被覆プラスチック容器を製造す
る場合の前記媒質ガスとしては炭化水素を基本とし、例
えばメタン、エタン、プロパン、ブタン、ペンタン、ヘ
キサン等のアルカン類；エチレン、プロピレン、ブテ
ン、ペンテン、ブタジエン等のアルケン類；アセチレン
等のアルキン類；ベンゼン、トルエン、キシレン、イン
デン、ナフタリン、フェナントレン等の芳香族炭化水素
類；シクロプロパン、シクロヘキサン等のシクロパラフ
ィン類；シクロペンテン、シクロヘキセン等のシクロオ
レフィン類；メチルアルコール、エチルアルコール等の
含酸素炭化水素類；メチルアミン、エチルアミン、アニ
リン等の含窒素炭化水素類などが使用でき、その他一酸
化炭素、二酸化炭素なども使用できる。前記高高周波
電力は、一般的に３０〜３００ＭＨｚと定義されている
が、これに限るものではない。また、これら電力の印加
は連続的でも間欠的（パルス的）でもよい。

【００４２】前記バイアス電力は、一般的には１３．５
６ＭＨｚ、範囲としては５０ｋＨｚ〜２０ＭＨｚ、１０
０〜１０００Ｗのものが用いられるが、これに限るもの
ではない。また、このバイアス電力の印加は連続的でも
間欠的（パルス的）でもよい。

【００４３】以上、第１実施形態によれば接地されたア
ースシールド管２４を前記スペーサ９内およびこのスペ
ーサ９近傍のガス排気管１２内に位置するようにガス供
給管２１外周に配置し、ペットボトルＢの少なくとも口
部から肩部を前記スペーサ９の空洞部８内に収納させ、
かつ前記ペットボトルＢの肩部から底部側を前記外部電
極６内に接触させて収納し、ガス供給管２１から媒質ガ
スを吹き出し管を兼ねる内部電極２６の吹き出し孔を通
して穴前記ペットボトルＢ内に供給し、バイアス電力の
外部電極６への印加、高高周波電力の内部電極２６への
供給により前記内部電極２６と前記外部電極６（実質的
に前記ペットボトルＢ内面）との間にプラズマを生成す
る。このようなプラズマの生成によって、前記ペットボ
トルＢの内面に均一な厚さの炭素膜のような機能膜をコ
ーティングすることができる。また、前記外部電極６か
らバイアス電圧を内部電極２６に向けて、つまり生成さ
れたプラズマに向けて印加することにより前記ペットボ
トルＢの口部から肩部を含む内面全体に均一厚さで均質
な炭素膜をコーティングすることができる。特に、高高
周波電力を内部電極２６に供給することによって、前記
ペットボトルＢの内面全体に前記炭素膜を高速度でコー
ティングすることができる。その結果、外部からの酸素
の透過、内部（例えば炭酸飲料水）からの二酸化炭素の
透過を防止したバリア性の優れた内面炭素膜被覆ペット
ボトルを量産的に製造することができる。

【００４４】また、ペットボトルＢの口部および肩部周
囲を覆う部材の形状は複雑であるが、これら部材に対応
するスペーサ１６を例えば射出成形が可能なプラスチッ
クのような誘電体材料により形成することによって、従
来のようにこれら部材を含む全てを外部電極で構成する
場合に比べて簡単に製造することができる。さらに、従
来のようにこれら部材を含む全てを金属のような導電材
料により外部電極で構成する場合に比べて装置全体を軽
量化することができる。これは、高速連続コーティング
装置にロータリー式（回転式）を採用する際に重要な長
所である。

【００４５】さらに、高高周波電力が印加されるガス供
給管２１と接地された排気管１２との間、つまり排気管
１２内でも同様に不要なプラズマを生成し、炭素膜のコ
ーティング効率が低下する。前記ガス供給管２１周囲に
接地されたアースシールド管２４を配置することによっ
て、前記不要なプラズマの生成を防止することができ
る。

【００４６】なお、前述した実施形態では空洞部８を有
する誘電体材料からなる円柱状スペーサ９を外部電極６
の上部にペットボトルＢの口部から肩部に対応するよう
に挿入、固定したが、ペットボトルＢの肩部からさらに
底部に亘って誘電体材料からなる薄膜を延出するように
してもよい。

【００４７】また、アースシールド管２４はその下端を
図１に示すようにペットボトルＢの口部付近に位置させ
る形状に限定されず、例えば図２に示すようにアースシ
ールド管２４下端をペットボトルＢの胴部中央付近まで
位置させ、内部電極２６の長さを実効的に短くしてもよ
い。このようにすることによって、ペットボトルＢの口
部付近や排気管１２内に生じる不要なプラズマを抑制で
きる場合があり、その場合、内部電極に供給する高周波
電力が有効にペットボトルＢ内の有効なプラズマに消費
され、したがって、コーティング速度が向上する。ま
た、このようにすることによって、ペットボトルＢ内の
有効なプラズマに効果的にバイアスがかかり、したがっ
て、コーティング品質が向上する。（実施例１）前述した図１に示す炭素膜形成装置を用
い、ペットボトルＢの口部から肩部を誘電体材料からな
るスペーサ９の空洞部８内にその内面に接触または近接
させて収納させ、かつ前記ボトルＢの肩部から底部側を
前記外部電極６の内面に接触または近接させて収納し、
接地されたアースシールド管２４を前記スペーサ９内お
よびこのスペーサ９近傍のガス排気管１２内に位置する
ようにガス供給管２１外周に配置し、下記条件で前記ペ
ットボトルＢ内面に炭素膜をコーティングした。なお、
円柱状スペーサ９は外部電極６内にその外部電極６に収
納される高さ約２２ｃｍのペットボトルＢの口部および
肩部に対応する部分（上部から１１ｃｍの位置）に挿入
した。

【００４８】＜コーティング条件＞・円柱状スペーサ９：ホトベール（住金セラミックス
製）、・アースシールド管２４：ステンレス製、・内部電極２６のガス流路２７内径：４ｍｍ、・媒質：Ｃ₂Ｈ₂ガス、・媒質のガス流量：４０〜８０ｓｃｃｍ、・ペットボトルＢおよび排気管１２内のガス圧力：０．
０８〜０．２Ｔｏｒｒ、・内部電極２６に供給する高高周波電力：１００ＭＨ
ｚ、２５０Ｗ、・外部電極６に印加する高周波電力：１３．５６ＭＨ
ｚ、出力２５０Ｗ。

【００４９】（比較例１）図８に示す従来の炭素膜形成
装置を用い、高さ約２２ｃｍのペットボトルＢの口部か
ら底部側を外部電極１０１の内面に接触させて収納し、
下記条件で前記ペットボトルＢ内面に炭素膜をコーティ
ングした。

【００５０】＜コーティング条件＞・内部電極１０５のガス吹き出し孔１０６：孔径１ｍ
ｍ、１個、・媒質：Ｃ₂Ｈ₂ガス、・媒質のガス流量：５８ｓｃｃｍ、・ペットボトルＢ内のガス圧力：０．１６Ｔｏｒｒ、・外部電極１０１に供給する高周波電力：１３ＭＨｚ、
７００Ｗ。

【００５１】実施例１および比較例１により炭素膜をコ
ーティングしたペットボトルの口部から底部までの厚さ
を測定した。その結果を図３に示す。

【００５２】図３から明らかなようペットボトルＢの口
部および肩部に対応する外部電極１４内にホトベールか
ら作られた円柱状スペーサ９を挿入した実施例１では、
ペットボトルＢ内面の全体に均一な炭素膜がコーティン
グされていることがわかる。

【００５３】これに対し、ペットボトルＢの口部から底
部側を外部電極１０１の内面に接触させて収納した比較
例１では、ペットボトルＢの内面のうち、口部から肩部
付近の内面に厚い炭素膜がコーティングされ、炭素膜の
厚さが不均一になることがわかる。なお、比較例１にお
いて高さ５ｃｍの箇所の厚さを記入しなかったのはその
箇所での炭素膜の厚さが厚く剥離したためである。

【００５４】（参照例１）前述した図１に示す炭素膜形
成装置において、アースシールド管をガス供給管外周に
配置せず、ペットボトルＢの口部から肩部を誘電体材料
からなるスペーサ９の空洞部８内にその内面に接触また
は近接させて収納させ、かつ前記ボトルＢの肩部から底
部側を前記外部電極６の内面に接触または近接させて収
納した以外、実施例１と同様な条件で前記ペットボトル
Ｂ内面に炭素膜をコーティングした。

【００５５】実施例１および参照例１において、外部電
極６に１３．５６ＭＨｚ、出力２５０Ｗの高周波電力を
印加し、ペットボトルＢおよび排気管１９内のガス圧力
を０．２Ｔｏｒｒとしたときの内部電極２６に対するバ
イアス電圧を測定した。その結果を表１に示す。

【００５６】

【表１】

【００５７】前記表１から明らかなように、実施例１で
は圧力０．２Ｔｏｒｒで、約−４２０Ｖのバイアス電圧
を印加できるのに対し、参照例１では同じ高周波電力を
印加しても内部電極２６に向けてバイアス電圧を殆ど印
加できないことがわかる。これは、実施例１では接地さ
れたアースシールド管２４をガス供給管２１の外周に配
置することによって、この接地されたアースシールド管
２４を外部電極６の基準電位として利用できるためであ
る。

【００５８】このような実施例１によれば、内部電極２
６に高高周波電力を供給して高密度のプラズマを前記ペ
ットボトルＢ内に生成できると共に、前述したバイアス
電圧により前記プラズマを外部電極６に引き込むことが
でき、ペットボトルＢ内面に均一な厚さの高品質な炭素
膜を高速度でコーティングすることができる。

【００５９】（第２実施形態）図４は、第２実施形態に
係るプラスチック容器内面への膜形成装置を示す断面図
である。

【００６０】この第２実施形態の膜形成装置は、アース
シールド管２４がペットボトルＢ内部中央付近まで延出
され、また、その分内部電極２６の長さが短く、かつア
ースシールド管２４に表面積が大きくなるような構造を
していること、外部電極６がペットボトルＢの口付近ま
で延出されていること、ペットボトルＢ口部の外周に設
置したスペーサ９が外部電極６と同様にペットボトルＢ
の口付近まで延出されていること以外は、前述した図１
に示す第１実施形態の膜形成装置と同様な構造を有す
る。

【００６１】図５の（ａ）に示すようにアースシールド
管２４は、表面積を大きくするためにその外周面の一部
（排気管１２に位置する外周面部分および内部電極２６
直上の外周面部分）にフィン３２を取り付けた構造を有
する。なお、図５の（ｂ）に示すようにアースシールド
管２４は、表面積を大きくするためにその外周面の一部
（排気管１２に位置する外周面部分および内部電極２６
直上の外周面部分）にジャバラ状の突起３３を形成して
もよい。

【００６２】本第２実施形態では、外部電極６がペット
ボトルＢの口付近まで延出されているので、内部電極２
６と外部電極６によってプラズマはペットボトルＢおよ
び排気管１２の内部に生じる。このとき、このプラズマ
から見えるアース電極の表面積は前記フィン３２とアー
スシールド管２４の表面積の和であり、この表面積は第
１実施形態と比較して大きくなる。プラズマと電極の間
に生じるシース電圧は、電極の面積比に略反比例するの
で、外部電極６とプラズマの間に生じるシース電圧は外
部電極６の内側のペットボトルＢの内側の表面積と前記
アースシールド管２４の表面積の比が小さくなるため、
前記外部電極６の内側のペットボトルＢの内側に生じる
シース電圧が高くなる。シース電圧が高くなると、そこ
で加速されるイオンのペットボトルＢの内側表面への入
射エネルギーが高くなるため、ペットボトルＢ内面にコ
ーティングされる炭素膜の膜質がさらに良好になる。

【００６３】（第３実施形態）図６は、第３実施形態に
係るプラスチック容器内面への膜形成装置で、炭素膜で
はなく、ＳｉＯ₂膜で被覆を行う場合の構成である。

【００６４】第３実施形態は、図６に示すようにバイア
ス用電源１４からバイアス電力が印加される外部電極６
を電磁シールドするための電磁シールド部材２、絶縁部
材１０が不要である点が第１実施形態と異なるが、これ
以外の構成は前述した第１実施形態と同じである。Ｓｉ
Ｏ₂膜の成膜は、シランガスと酸素ガスを流すことで第
１実施形態と同様に成膜が可能であるが、ＳｉＯ₂膜の
成膜の場合には炭素膜の場合ほど、膜質がバリア性に影
響しないため、外部電極６にバイアス用の高周波電力を
印加しなくてもよい。また、炭素膜の場合にも高いバリ
ア性を必要としない場合にはバイアス用の高周波を印加
しなくてもよい。このような場合、外部電極６がアース
接地されるため、図６に示すようにバイアス用電源だけ
でなく、外部電極６用の電磁シールドが不要となり、簡
易な装置となる。

【００６５】しかし、この際、アースシールド管２４を
ガス供給管２１の周囲に設置しないと、ペットボトルＢ
の口部付近および排気管１２内に不要なプラズマが発生
し、内部電極２６に高高周波電源２８から供給された高
高周波電力が有効に利用されない。また、アースシール
ド管２４をペットボトルＢの内部付近まで長く延出した
方が、前記不要なプラズマの抑制効果が高く、高周波電
力を有効に利用することができ、したがって、成膜速度
を速くすることができる。なお、前記第３実施形態にお
いて高高周波電源２８の代わりに高周波電源をガス供給
管２１に接続してもよい。

【００６６】（第４実施形態）図７は、第４実施形態に
係るプラスチック容器内面への膜形成装置に組み込まれ
る電源系統の等価回路図である。

【００６７】第４実施形態の膜形成装置は、アースシー
ルド管をガス供給管外周に配置しない以外、前述した図
１に示す第１実施形態の膜形成装置と同様な構造を有す
る。

【００６８】図７に示すようにバイアス用電源１４は、
ケーブル１５を通して外部電極６に接続されている。整
合器１７は、前記ケーブル１５に介装されている。この
整合器１７は、前記ケーブル１５に介装された第１可変
コンデンサＣ₁と、一端が前記バイアス用電源１４と前
記第１可変コンデンサＣ₁の間のケーブル１５から分岐
され、他端が接地された分岐ケーブル６１と、この分岐
ケーブル６１に介装された第２可変コンデンサＣ₂とか
ら構成されている。

【００６９】高高周波電源２８は、ケーブル２９を通し
て内部電極２６に接続されている。なお、ケーブル２９
はガス供給管（図示せず）に接続されているが、ここで
は便宜的に内部電極２６に接続させて説明した。整合器
３１は、前記ケーブル２９に介装されている。この整合
器３１は、前記ケーブル２９に介装された第１可変コン
デンサＣ₁’と、一端が前記高高周波電源２８と前記第
１可変コンデンサＣ₁’の間のケーブル２９から分岐さ
れ、他端が接地された分岐ケーブル６２と、この分岐ケ
ーブル６２に介装された第２可変コンデンサＣ₂’とか
ら構成されている。インダクタンスＬは、一端が前記整
合器３１と図示しないガス供給管の間の導通経路に接続
され、他端が接地されている。

【００７０】このような構成によれば、前述した第１実
施形態と同様、バイアス用電源１４からバイアス電力を
ケーブル１５、バイアス用整合器１７を通して外部電極
６に印加するとともに、高高周波電源２８から高高周波
電力をケーブル２９、整合器３１を通して内部電極２６
に高高周波電力を供給することによって、前記内部電極
２６と前記外部電極６との間で放電が生じ、プラズマが
生成される。このとき、前記整合器３１と図示しないガ
ス供給管の間の導通経路にインダクタンスＬの一端を接
続し、その他端を接地することによって、高高周波電力
が印加される内部電極２６を外部電極６に対して接地電
極として機能させることができる。その結果、アースシ
ールド管をガス供給管外周に配置せずに、第１実施形態
と同様に外部電極６からバイアス電圧を内部電極２６に
向けて、つまり生成されたプラズマに向けて印加するこ
とができる。

【００７１】

【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、内
部電極に高高周波電力を供給して高密度のプラズマをプ
ラスチック容器内に生成できると共に、バイアス電圧に
より前記プラズマを前記容器内面に向けて引き込むこと
ができ、良好な膜質で、かつ均一な膜厚を有する膜をプ
ラスチック容器内面全体に高速度でコーティングするこ
とが可能なプラスチック容器の内面への膜形成装置を提
供することができる。特に、炭素膜用の原料ガスを用い
る装置の場合、良質な膜質の炭素膜をコーティングする
ことができる炭素膜形成装置を提供することができる。
また、本発明によれば良好な膜質で、かつ均一な膜厚を
有する炭素膜が内面に高速度でコーティングされ、酸素
および二酸化炭素に対するバリア性が優れたプラスチッ
ク容器を量産的に製造し得る方法を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態に係るプラスチック容器
の内面への炭素膜形成装置を示す断面図。

【図２】本発明の第１実施形態に係るプラスチック容器
の内面への炭素膜形成装置の変形例を示す断面図。

【図３】本発明の実施例１および比較例１におけるペッ
トボトルの口部から底部までの炭素膜の厚さを示す特性
図。

【図４】本発明の第２実施形態に係るプラスチック容器
の内面への炭素膜形成装置を示す断面図。

【図５】図４のアースシールド管の要部断面図。

【図６】本発明の第３実施形態に係るプラスチック容器
の内面への炭素膜形成装置を示す断面図。

【図７】第４実施形態に係るプラスチック容器内面への
炭素膜形成装置に組み込まれる電源系統の等価回路図。

【図８】従来のプラスチック容器の内面への炭素膜形成
装置を示す断面図。

【符号の説明】

２…電磁シールド部材、６…外部電極、９…円柱状スペーサ、１２…排気管、１４…バイアス用電源、２１…ガス供給管、２４…アースシールド管、２６…内部電極、２８…高高周波電源、３２…フィン、３３…ジャバラ状の突起、Ｂ…ペットボトルＬ…インダクタンス。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者加藤光雄神奈川県横浜市金沢区幸浦一丁目８番地１三菱重工業株式会社基盤技術研究所内 (72)発明者浅原裕司広島県広島市西区観音新町四丁目６番22号三菱重工業株式会社広島研究所内Ｆターム(参考） 3E062 AA09 AB02 AC02 JA01 JA07 JB24 JC01 JD01 4K030 BA27 CA07 CA15 FA03 JA09 JA18 KA12 KA14 KA16 KA17 KA20 KA46

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被処理物であるプラスチック容器が挿入
された時にその容器を取り囲む有底円筒状の外部電極
と、前記容器の口部が位置する側の前記外部電極の上部に取
り付けられた排気管と、前記外部電極内の前記プラスチック容器内に挿入され、
媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し管を兼ねる内部
電極と、一端が前記内部電極に連結され、他端が前記排気管側に
延出された給電端子を兼ねるガス供給管と、少なくとも前記外部電極内および前記容器の口部近傍の
前記排気管内に位置する前記ガス供給管部分の外周に配
置され、接地されたアースシールド管と、前記排気管に取り付けられた排気手段と、前記ガス供給管に媒質ガスを供給するためのガス供給手
段と、前記ガス供給管に接続された高周波電源と、を具備したことを特徴とするプラスチック容器内面への
膜形成装置。
【請求項２】前記容器の口部が位置する側の前記外部
電極の上部端面への排気管の取り付けを絶縁部材を介し
て行い、さらに前記外部電極に接続されたバイアス用高
周波電源を備え、このバイアス用高周波電源の高周波周
波数は、前記内部電極に接続された前記高周波電源の高
周波周波数よりも低いことを特徴とする請求項１記載の
プラスチック容器内面への膜形成装置。
【請求項３】前記アースシールド管は、前記プラスチ
ック容器の口部よりも容器の内部側に挿入されることを
特徴とする請求項１または２記載のプラスチック容器内
面への膜形成装置。
【請求項４】被処理物であるプラスチック容器が挿入
された時に少なくともその容器の口部および肩部と前記
外部電極の間に介在される誘電体材料からなるスペーサ
をさらに備えたことを特徴とする請求項１ないし３いず
れか記載のプラスチック容器内面への膜形成装置。
【請求項５】前記容器の口部が位置する側の前記外部
電極の端面への排気管の取り付けは、絶縁部材を介して
行い、その絶縁部材の前記外部電極と接する側の端面は
被処理物であるプラスチック容器が挿入された時にその
容器の口部から肩部にかけた位置に対応することを特徴
とする請求項１ないし４いずれか記載のプラスチック容
器内面への膜形成装置。
【請求項６】前記アースシールド管は、外周面の表面
積を大きくした形状を有することを特徴とする請求項１
ないし５いずれか記載のプラスチック容器内面への膜形
成装置。
【請求項７】前記アースシールド管は、外周面にフィ
ンを取り付けた形状または外周面がジャバラ状の形状を
有することを特徴とする請求項６記載のプラスチック容
器内面への膜形成装置。
【請求項８】前記外部電極は上下を開閉することがで
き、当該開閉部から前記プラスチック容器を出し入れで
きることを特徴とする請求項１ないし７いずれか記載の
プラスチック容器内面への膜形成装置。
【請求項９】請求項１記載の膜形成装置を用いて内面
膜被覆プラスチック容器を製造するにあたり、（ａ）被処理物であるプラスチック容器を、有底円筒状
外部電極内に囲まれるように挿入する工程と、（ｂ）上記（ａ）工程と同時、または、前後して、接地
されたアースシールドを外周に配置したガス供給管が連
結され、媒質ガスを吹き出し管を兼ねる内部電極を、前
記プラスチック容器の内部に挿入する工程と、（ｃ）前記容器内のガスを排気管手段により前記排気管
を通して排気すると共に、前記ガス供給管手段から媒質
ガスを前記内部電極に供給し、この内部電極のガス吹き
出し孔から前記プラスチック容器内に媒質ガスを吹き出
して前記プラスチック容器内を含む排気管内を所定のガ
ス圧力に設定する工程と、（ｄ）高周波電源から高周波電力を前記ガス供給管を通
して前記内部電極に供給し、または、それと略同時にバ
イアス用電源から内部電極に与える高周波電力の周波数
より周波数の低い高周波電力を前記外部電極に印加し、
前記プラスチック容器内にプラズマを生成させ、このプ
ラズマにより前記媒質ガスを解離させて前記プラスチッ
ク容器内面に膜をコーティングする工程とを含むことを
特徴とする内面膜被覆プラスチック容器の製造方法。
【請求項１０】被処理物であるプラスチック容器が挿
入された時にその容器を取り囲む大きさを有する有底円
筒状の外部電極と、被処理物であるプラスチック容器が挿入された時に少な
くともその容器の口部および肩部と前記外部電極の間に
介在された誘電体材料からなるスペーサと、前記容器の口部が位置する側の前記外部電極の端面に絶
縁部材を介して取り付けられた排気管と、前記外部電極内の前記プラスチック容器内に挿入され、
媒質ガスを吹き出すためのガス吹き出し孔が穿設された
内部電極と、前記排気管に取り付けられた排気手段と、前記ガス供給管に媒質ガスを供給するためのガス供給手
段と、前記ガス供給管に整合器を通して接続された高高周波電
源と、前記外部電極に整合器を通して接続されたバイアス用電
源と、前記ガス供給管と前記整合器の間の導通経路に一端が接
続され、他端が接地されたインダクタンスとを具備した
ことを特徴とするプラスチック容器内面への膜形成装
置。