JP2001188189A - マルチビーム光源装置及び当該装置を用いたマルチビーム走査装置 - Google Patents
マルチビーム光源装置及び当該装置を用いたマルチビーム走査装置Info
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Landscapes
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 光学部品の光軸調整などの位置合わせと複数
の光ビームの副走査方向の間隔の調整が容易であると共
に装置を小型化できるマルチビーム光源装置を提供す
る。 【解決手段】 予め位置調整されたハーフミラー11と
二分割センサ14が一体的に保持された移動台101
を、半導体レーザLD1,LD2、ステッピングモータ
15を搭載した基台100に移動可能に保持する。ステ
ッピングモータ15を回転駆動させて、移動台101を
基台100に対して相対的に移動させることにより、光
ビーム間の間隔の調整を行う。
の光ビームの副走査方向の間隔の調整が容易であると共
に装置を小型化できるマルチビーム光源装置を提供す
る。 【解決手段】 予め位置調整されたハーフミラー11と
二分割センサ14が一体的に保持された移動台101
を、半導体レーザLD1,LD2、ステッピングモータ
15を搭載した基台100に移動可能に保持する。ステ
ッピングモータ15を回転駆動させて、移動台101を
基台100に対して相対的に移動させることにより、光
ビーム間の間隔の調整を行う。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば画像形成装
置等に用いられる、複数の光ビームを間隔をおいて射出
するマルチビーム光源装置およびこれを使用したマルチ
ビーム走査装置に関し、特に、複数の光ビーム間の間隔
を調整するための技術に関する。
置等に用いられる、複数の光ビームを間隔をおいて射出
するマルチビーム光源装置およびこれを使用したマルチ
ビーム走査装置に関し、特に、複数の光ビーム間の間隔
を調整するための技術に関する。
【0002】
【従来の技術】画像形成装置等に用いられるマルチビー
ム走査装置は、複数の光ビームにより被走査面を一度に
走査できるので、単一の光ビームで走査する場合と比較
して画像の書き込み速度を速くすることができるが、そ
の一方で、光ビームの副走査方向の間隔が正しく調整さ
れていないと書き込み画素密度が副走査方向で不均一と
なり良好な再現画像を得ることができない。
ム走査装置は、複数の光ビームにより被走査面を一度に
走査できるので、単一の光ビームで走査する場合と比較
して画像の書き込み速度を速くすることができるが、そ
の一方で、光ビームの副走査方向の間隔が正しく調整さ
れていないと書き込み画素密度が副走査方向で不均一と
なり良好な再現画像を得ることができない。
【0003】光ビームの副走査方向の間隔を調整する技
術として、例えば、ハーフプリズム、ガルバノミラーお
よび二分割センサを用いたものがある。この従来技術に
おいては、2つの半導体レーザから射出された光ビーム
はそれぞれガルバノミラーで反射されてハーフプリズム
に入射して合成され、ほぼ同一方向に射出される。他
方、各光ビームの一部はハーフプリズムによって光ビー
ムの副走査方向の間隔を検出するための二分割センサへ
導かれ、その検出結果に基づきガルバノミラーの角度を
調整して光ビームの副走査方向の間隔を調整するように
している。これらの半導体レーザとハーフプリズム、二
分割センサ、ガルバノミラーは、1つのフレームにそれ
ぞれ光軸合わせしながらネジで固定される。
術として、例えば、ハーフプリズム、ガルバノミラーお
よび二分割センサを用いたものがある。この従来技術に
おいては、2つの半導体レーザから射出された光ビーム
はそれぞれガルバノミラーで反射されてハーフプリズム
に入射して合成され、ほぼ同一方向に射出される。他
方、各光ビームの一部はハーフプリズムによって光ビー
ムの副走査方向の間隔を検出するための二分割センサへ
導かれ、その検出結果に基づきガルバノミラーの角度を
調整して光ビームの副走査方向の間隔を調整するように
している。これらの半導体レーザとハーフプリズム、二
分割センサ、ガルバノミラーは、1つのフレームにそれ
ぞれ光軸合わせしながらネジで固定される。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来技術では、光ビームを被走査面上で副走査方向に所定
間隔をもって走査させるために、ハーフプリズムや二分
割センサ等の光学部品を取り付ける位置をミクロン単位
の精度で調整する必要があり、この調整は非常に難し
い。また、器差による誤差等を補正するため、その調整
が済んだ後にガルバノミラーを用いて光ビームの副走査
方向の間隔を微調整しており、調整に多くの手間がかか
る。
来技術では、光ビームを被走査面上で副走査方向に所定
間隔をもって走査させるために、ハーフプリズムや二分
割センサ等の光学部品を取り付ける位置をミクロン単位
の精度で調整する必要があり、この調整は非常に難し
い。また、器差による誤差等を補正するため、その調整
が済んだ後にガルバノミラーを用いて光ビームの副走査
方向の間隔を微調整しており、調整に多くの手間がかか
る。
【0005】さらに、複写装置のような大きな装置に組
み込んだ後に各光学部品の位置の最終的な調整をするよ
うな場合において、作業員が外部からドライバー等の調
整具を差し込んで確認しながら調整するためのスペース
が必要となり、その分装置が大型化してしまう。本発明
は、上記の問題に鑑み、装置が大型化することなく、光
学部品の位置調整と副走査方向のビーム間隔調整が容易
なマルチビーム光源装置及びこれを使用したマルチビー
ム走査装置を提供することを目的とする。
み込んだ後に各光学部品の位置の最終的な調整をするよ
うな場合において、作業員が外部からドライバー等の調
整具を差し込んで確認しながら調整するためのスペース
が必要となり、その分装置が大型化してしまう。本発明
は、上記の問題に鑑み、装置が大型化することなく、光
学部品の位置調整と副走査方向のビーム間隔調整が容易
なマルチビーム光源装置及びこれを使用したマルチビー
ム走査装置を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係るマルチビーム光源装置では、光学部品
として、複数の光源と、各光源から射出される光ビーム
を合成する合成素子と、当該合成された光ビームの副走
査方向のビーム位置を検出するための検出素子とを有
し、複数の光ビームを間隔をおいて射出するマルチビー
ム光源装置であって、前記光学部品の内、全ての光源と
合成素子の組合わせを除き、少なくとも2以上の光学部
品を保持する保持部材と、前記保持部材を他の残りの光
学部品に対して相対的に移動させる移動手段と、前記検
出素子による検出結果を参照して、光ビームが所定の間
隔になるように前記移動手段を制御する制御手段とを備
えたことを特徴とする。
に、本発明に係るマルチビーム光源装置では、光学部品
として、複数の光源と、各光源から射出される光ビーム
を合成する合成素子と、当該合成された光ビームの副走
査方向のビーム位置を検出するための検出素子とを有
し、複数の光ビームを間隔をおいて射出するマルチビー
ム光源装置であって、前記光学部品の内、全ての光源と
合成素子の組合わせを除き、少なくとも2以上の光学部
品を保持する保持部材と、前記保持部材を他の残りの光
学部品に対して相対的に移動させる移動手段と、前記検
出素子による検出結果を参照して、光ビームが所定の間
隔になるように前記移動手段を制御する制御手段とを備
えたことを特徴とする。
【0007】また、前記移動手段は、前記保持部材を合
成された光ビームの間隔が変化する方向に直線的に移動
させることを特徴とする。さらに、本発明に係るマルチ
ビーム走査装置は、副走査方向に所定の間隔を有する複
数の光ビームにより、被走査面を走査するマルチビーム
走査装置であって、光源として上記マルチビーム光源装
置を使用したことを特徴とする。
成された光ビームの間隔が変化する方向に直線的に移動
させることを特徴とする。さらに、本発明に係るマルチ
ビーム走査装置は、副走査方向に所定の間隔を有する複
数の光ビームにより、被走査面を走査するマルチビーム
走査装置であって、光源として上記マルチビーム光源装
置を使用したことを特徴とする。
【0008】
【発明の実施の形態】〈実施の形態1〉以下、本発明に
係る光源装置を使用したマルチビーム走査装置の一実施
の形態を図面を参照しながら説明する。図1は、当該マ
ルチビーム走査装置10の全体構成を示す概略図であ
る。
係る光源装置を使用したマルチビーム走査装置の一実施
の形態を図面を参照しながら説明する。図1は、当該マ
ルチビーム走査装置10の全体構成を示す概略図であ
る。
【0009】このマルチビーム走査装置10は、光源装
置1と、コリメータレンズ12、ポリゴンミラー3、走
査レンズ群4および折り返しミラー5などから構成され
ている。光源装置1は、2本のレーザビームを副走査方
向に所定の間隔をおいて射出するように構成されてお
り、当該光源装置1から射出された2本のレーザビーム
は、コリメータレンズ12でコリメートされた後、面倒
れ補正のためシリンドリカルレンズ2により副走査方向
に集光されてポリゴンミラー3のミラー面に入射され
る。ポリゴンミラー3は、不図示のモータによりa方向
に回転されているため、2本のレーザビームはそのミラ
ー面で反射して主走査方向に偏向され、走査レンズ群
4、折り返しミラー5を介して感光体ドラム6を走査す
る。
置1と、コリメータレンズ12、ポリゴンミラー3、走
査レンズ群4および折り返しミラー5などから構成され
ている。光源装置1は、2本のレーザビームを副走査方
向に所定の間隔をおいて射出するように構成されてお
り、当該光源装置1から射出された2本のレーザビーム
は、コリメータレンズ12でコリメートされた後、面倒
れ補正のためシリンドリカルレンズ2により副走査方向
に集光されてポリゴンミラー3のミラー面に入射され
る。ポリゴンミラー3は、不図示のモータによりa方向
に回転されているため、2本のレーザビームはそのミラ
ー面で反射して主走査方向に偏向され、走査レンズ群
4、折り返しミラー5を介して感光体ドラム6を走査す
る。
【0010】光源装置1は、光学部品として2個の半導
体レーザLD1、LD2と、それらから射出されたレー
ザビームが同一方向に進行するように合成するハーフミ
ラー11と、集光レンズ13と、レーザビームのビーム
位置を検出するための二分割センサ14を備える。その
他に、光源装置1は、二分割センサ14の検出結果を参
照し、レーザビームの間隔が所定の値になるように制御
するビーム間隔制御部20などを備えている。
体レーザLD1、LD2と、それらから射出されたレー
ザビームが同一方向に進行するように合成するハーフミ
ラー11と、集光レンズ13と、レーザビームのビーム
位置を検出するための二分割センサ14を備える。その
他に、光源装置1は、二分割センサ14の検出結果を参
照し、レーザビームの間隔が所定の値になるように制御
するビーム間隔制御部20などを備えている。
【0011】図2は、上記光源装置1における各光学部
品の取付構造を説明するための斜視図であり、図3は、
その側面図である。半導体レーザLD1、LD2は、そ
れぞれ取付金具121,122に固着され、取付金具1
21,122は、図3に示すように半導体レーザLD
1,LD2から射出されるレーザビームの主光線が直交
するようにネジ123,124で基台100に取り付け
られている。
品の取付構造を説明するための斜視図であり、図3は、
その側面図である。半導体レーザLD1、LD2は、そ
れぞれ取付金具121,122に固着され、取付金具1
21,122は、図3に示すように半導体レーザLD
1,LD2から射出されるレーザビームの主光線が直交
するようにネジ123,124で基台100に取り付け
られている。
【0012】基台100は、その側面が図1に示すポリ
ゴンミラーの回転軸と平行になるように垂直に立てた状
態で設けられ、また、側面視コの字形状に形成されてお
り、コの字をした凹部100aの内側縁の対向する二辺
には、断面が三角形状のレール102,103が設けら
れている。前記凹部100aには平板状の移動台101
が配されている。
ゴンミラーの回転軸と平行になるように垂直に立てた状
態で設けられ、また、側面視コの字形状に形成されてお
り、コの字をした凹部100aの内側縁の対向する二辺
には、断面が三角形状のレール102,103が設けら
れている。前記凹部100aには平板状の移動台101
が配されている。
【0013】移動台101には、基台100のレール1
02,103に対応する端部に、各レールに係合する、
断面が三角形状の溝202,203が設けられている。
このレールと対応する溝がそれぞれ係合することで、移
動台101が基台100に矢印A方向(半導体レーザL
D2から射出されるレーザビームと平行な方向)に摺動
可能に保持される。
02,103に対応する端部に、各レールに係合する、
断面が三角形状の溝202,203が設けられている。
このレールと対応する溝がそれぞれ係合することで、移
動台101が基台100に矢印A方向(半導体レーザL
D2から射出されるレーザビームと平行な方向)に摺動
可能に保持される。
【0014】この移動台101には、取付金具111,
131,142がネジ112、132、143で取付け
られ、各取付金具111,131,142には、ハーフ
ミラー11と、集光レンズ13、二分割センサ14がそ
れぞれ固着されている。ハーフミラー11は、移動台1
01の側面に対して起立した姿勢で、かつ、移動台10
1の摺動方向Aに対して45°の角度をなすように取着
されている。
131,142がネジ112、132、143で取付け
られ、各取付金具111,131,142には、ハーフ
ミラー11と、集光レンズ13、二分割センサ14がそ
れぞれ固着されている。ハーフミラー11は、移動台1
01の側面に対して起立した姿勢で、かつ、移動台10
1の摺動方向Aに対して45°の角度をなすように取着
されている。
【0015】集光レンズ13は、その光軸が、移動台1
01の側面に平行、かつ、移動台101の摺動方向Aに
対して直交する方向に取着されている。二分割センサ1
4は、図1に示すように、受光面141に各受光素子1
41a、141bが並設されている。受光素子141
a,141bは、図2、3に示すようにA方向左側から
順に並び、集光レンズ13の光軸が受光素子141aと
141bのほぼ境界線の位置にくるように取り付けられ
ている。
01の側面に平行、かつ、移動台101の摺動方向Aに
対して直交する方向に取着されている。二分割センサ1
4は、図1に示すように、受光面141に各受光素子1
41a、141bが並設されている。受光素子141
a,141bは、図2、3に示すようにA方向左側から
順に並び、集光レンズ13の光軸が受光素子141aと
141bのほぼ境界線の位置にくるように取り付けられ
ている。
【0016】上記集光レンズ13と二分割センサ14の
間の距離は、半導体レーザLD1、LD2から射出され
るレーザビームがそれぞれハーフミラー11で透過もし
くは反射して(以下、ハーフミラーを透過したレーザビ
ームを「透過ビーム」といい、反射したレーザビームを
「反射ビーム」という。)、集光レンズ13で集光され
たときに、二分割センサ14の受光面141上に結像で
きるような所定の距離を保っている。
間の距離は、半導体レーザLD1、LD2から射出され
るレーザビームがそれぞれハーフミラー11で透過もし
くは反射して(以下、ハーフミラーを透過したレーザビ
ームを「透過ビーム」といい、反射したレーザビームを
「反射ビーム」という。)、集光レンズ13で集光され
たときに、二分割センサ14の受光面141上に結像で
きるような所定の距離を保っている。
【0017】二分割センサ14の背面には、ナット部材
152が接着剤などにより移動台101に固着されてい
る。他方、ナット部材152に対応する基台100側面
上の位置には、ステッピングモータ15がネジ153で
固定されている。このステッピングモータ15の駆動軸
151の先端部に設けられたスクリュー部は上記ナット
部材152に螺合しており、ステッピングモータ15を
駆動すれば、ネジ送り作用により移動台101をA方向
に往復移動させることができる。
152が接着剤などにより移動台101に固着されてい
る。他方、ナット部材152に対応する基台100側面
上の位置には、ステッピングモータ15がネジ153で
固定されている。このステッピングモータ15の駆動軸
151の先端部に設けられたスクリュー部は上記ナット
部材152に螺合しており、ステッピングモータ15を
駆動すれば、ネジ送り作用により移動台101をA方向
に往復移動させることができる。
【0018】また、移動台101の移動量については、
ビーム間隔制御部20からステッピングモータ15に送
られる駆動パルス数により決定される。なお、上記ハー
フミラー11、集光レンズ13、二分割センサ14の位
置調整は、移動台101を基台100に取り付ける前に
実行される。そして、移動台101を基台100に取り
付けた後、半導体レーザLD2の反射ビームが二分割セ
ンサ14の受光素子141a、141bの丁度中央に来
るように半導体レーザLD2の位置が微調整される。図
2,3では見えないが、ネジ124が挿通される取付金
具122のネジ孔が、移動台101の摺動方向Aと直交
する方向に伸びた長孔を有するため、ネジ124を弛め
た状態で取付金具122の位置を長孔に沿って動かせ
ば、半導体レーザLD2の位置を微調整できる。一旦半
導体レーザLD2の位置がこのように微調整されれば、
移動台101の摺動方向は半導体レーザLD2からレー
ザビームが射出される方向と一致しており、かつ、二分
割センサ14とハーフミラー11は同一の移動台101
に搭載されているので、移動台101が移動しても、そ
の反射ビームは必ず受光素子141a、141bの中央
に照射される。
ビーム間隔制御部20からステッピングモータ15に送
られる駆動パルス数により決定される。なお、上記ハー
フミラー11、集光レンズ13、二分割センサ14の位
置調整は、移動台101を基台100に取り付ける前に
実行される。そして、移動台101を基台100に取り
付けた後、半導体レーザLD2の反射ビームが二分割セ
ンサ14の受光素子141a、141bの丁度中央に来
るように半導体レーザLD2の位置が微調整される。図
2,3では見えないが、ネジ124が挿通される取付金
具122のネジ孔が、移動台101の摺動方向Aと直交
する方向に伸びた長孔を有するため、ネジ124を弛め
た状態で取付金具122の位置を長孔に沿って動かせ
ば、半導体レーザLD2の位置を微調整できる。一旦半
導体レーザLD2の位置がこのように微調整されれば、
移動台101の摺動方向は半導体レーザLD2からレー
ザビームが射出される方向と一致しており、かつ、二分
割センサ14とハーフミラー11は同一の移動台101
に搭載されているので、移動台101が移動しても、そ
の反射ビームは必ず受光素子141a、141bの中央
に照射される。
【0019】図4は、上記ビーム間隔制御部20の構成
を示すブロック図である。ビーム間隔制御部20は、C
PU21と、比較部23、ROM24,LD駆動部2
5、ステッピングモータ駆動部26などから構成されて
いる。比較部23は、二分割センサ14の受光素子14
1a,141bの各検出値を比較してその差分を取得
し、正負を含めた差分量をCPU21に出力する。
を示すブロック図である。ビーム間隔制御部20は、C
PU21と、比較部23、ROM24,LD駆動部2
5、ステッピングモータ駆動部26などから構成されて
いる。比較部23は、二分割センサ14の受光素子14
1a,141bの各検出値を比較してその差分を取得
し、正負を含めた差分量をCPU21に出力する。
【0020】ROM24は、作業者が操作パネル22よ
りレーザビームの副走査方向の間隔調整を指示したとき
に、その調整をするための半導体レーザLD1,LD2
やステッピングモータ15の動作を制御するプログラム
を格納する。LD駆動部25は、CPU21からの指示
により半導体レーザLD1,LD2を点灯駆動する。な
お、このLD駆動部25は、レーザビーム走査時におい
ては、画像メモリ(不図示)に格納された画像データに
基づき半導体レーザLD1,LD2を光変調させるもの
である。
りレーザビームの副走査方向の間隔調整を指示したとき
に、その調整をするための半導体レーザLD1,LD2
やステッピングモータ15の動作を制御するプログラム
を格納する。LD駆動部25は、CPU21からの指示
により半導体レーザLD1,LD2を点灯駆動する。な
お、このLD駆動部25は、レーザビーム走査時におい
ては、画像メモリ(不図示)に格納された画像データに
基づき半導体レーザLD1,LD2を光変調させるもの
である。
【0021】ステッピングモータ駆動部26は、CPU
21からの駆動信号を受けてステッピングモータ15を
駆動する。CPU21は、二分割センサ14のセンサ出
力に基づき、ROM24に格納されている制御プログラ
ムに従って、LD駆動部25やステッピングモータ駆動
部26の動作を制御してレーザビームの副走査方向の間
隔の調整を行う。
21からの駆動信号を受けてステッピングモータ15を
駆動する。CPU21は、二分割センサ14のセンサ出
力に基づき、ROM24に格納されている制御プログラ
ムに従って、LD駆動部25やステッピングモータ駆動
部26の動作を制御してレーザビームの副走査方向の間
隔の調整を行う。
【0022】図5は、レーザビームの副走査方向の間隔
を調整するためのビーム間隔制御部20における制御動
作を示すフローチャートである。例えば、装置の組み立
て時などにおいて、作業員が操作パネル22を通してビ
ーム間隔の調整を指示すると(ステップS101:
Y)、半導体レーザLD1のみを点灯する(ステップS
102)。
を調整するためのビーム間隔制御部20における制御動
作を示すフローチャートである。例えば、装置の組み立
て時などにおいて、作業員が操作パネル22を通してビ
ーム間隔の調整を指示すると(ステップS101:
Y)、半導体レーザLD1のみを点灯する(ステップS
102)。
【0023】半導体レーザLD1から射出されたレーザ
ビームは、図6に示すようにハーフミラー11により、
二分割センサ14方向に進む透過ビームLB1と、コリ
メータレンズ12方向へ向かう反射ビームLB2とに分
離される。そのうち、透過ビームLB1は二分割センサ
14の受光素子141a,141b上に照射される。図
7は、受光素子141a,141bに照射される透過ビ
ームLB1のスポット144の位置の例を示し、図7
(a)はスポット144が受光素子141b側にずれ、図
7(b)は二分割センサ14の受光素子141a,14
1bの中央に位置している例を示す。
ビームは、図6に示すようにハーフミラー11により、
二分割センサ14方向に進む透過ビームLB1と、コリ
メータレンズ12方向へ向かう反射ビームLB2とに分
離される。そのうち、透過ビームLB1は二分割センサ
14の受光素子141a,141b上に照射される。図
7は、受光素子141a,141bに照射される透過ビ
ームLB1のスポット144の位置の例を示し、図7
(a)はスポット144が受光素子141b側にずれ、図
7(b)は二分割センサ14の受光素子141a,14
1bの中央に位置している例を示す。
【0024】図7(a)に示すように、例えば、スポッ
ト144が受光素子141b側にずれている場合には、
比較部23からの出力が0以外の値となり、ビーム間隔
制御部20のCPU21(図4)は、透過ビームLB1
のスポット144が二分割センサ14の中央からずれて
いると判断する(ステップS103:N)。そして当該
比較部23からの出力値を参照しながらステッピングモ
ータ15を駆動してその値が0となる方向に移動台10
1を移動させる(ステップS104)。
ト144が受光素子141b側にずれている場合には、
比較部23からの出力が0以外の値となり、ビーム間隔
制御部20のCPU21(図4)は、透過ビームLB1
のスポット144が二分割センサ14の中央からずれて
いると判断する(ステップS103:N)。そして当該
比較部23からの出力値を参照しながらステッピングモ
ータ15を駆動してその値が0となる方向に移動台10
1を移動させる(ステップS104)。
【0025】比較部23からの出力値が0となれば、図
7(b)に示すように透過ビームLB1のスポット14
4が二分割センサ14の中央に位置している(以下、図
7(b)となる移動台101の位置を、「基準位置」と
いう。)と判断し(ステップS105:Y)、ステッピ
ングモータ15を停止すると共に半導体レーザLD1を
消灯する(ステップS106、S107)。
7(b)に示すように透過ビームLB1のスポット14
4が二分割センサ14の中央に位置している(以下、図
7(b)となる移動台101の位置を、「基準位置」と
いう。)と判断し(ステップS105:Y)、ステッピ
ングモータ15を停止すると共に半導体レーザLD1を
消灯する(ステップS106、S107)。
【0026】また、ステップS103の段階で既に透過
ビームLB1のスポット144が、二分割センサ14の
中央に位置していると判断した場合にはそのまま半導体
レーザLD1を消灯する(ステップS107)。以上の
制御により、移動台101は図6に実線で示す基準位置
に調整される。なお、この基準位置において、例えば、
半導体レーザLD1,LD2を点灯すれば、半導体レー
ザLD2からの反射ビームLB4が丁度二分割センサ1
4の中央に入射するように予め調整してあるので、半導
体レーザLD1からの透過ビームLB1は前記反射ビー
ムLB4とほぼ一致する。また、半導体レーザLD1か
らの反射ビームLB2は、半導体レーザLD2からの透
過ビームLB3と副走査方向(移動台101の摺動方向
Aと直交する方向)に距離d1の間隔をもって並進す
る。距離d1は、ハーフミラー11の厚さおよび屈折率
に依存して決まる値である。
ビームLB1のスポット144が、二分割センサ14の
中央に位置していると判断した場合にはそのまま半導体
レーザLD1を消灯する(ステップS107)。以上の
制御により、移動台101は図6に実線で示す基準位置
に調整される。なお、この基準位置において、例えば、
半導体レーザLD1,LD2を点灯すれば、半導体レー
ザLD2からの反射ビームLB4が丁度二分割センサ1
4の中央に入射するように予め調整してあるので、半導
体レーザLD1からの透過ビームLB1は前記反射ビー
ムLB4とほぼ一致する。また、半導体レーザLD1か
らの反射ビームLB2は、半導体レーザLD2からの透
過ビームLB3と副走査方向(移動台101の摺動方向
Aと直交する方向)に距離d1の間隔をもって並進す
る。距離d1は、ハーフミラー11の厚さおよび屈折率
に依存して決まる値である。
【0027】さて、移動台101を基準位置に調整した
後、ステッピングモータ15を所定の駆動パルス分だけ
回転駆動させて(ステップS108)、感光体ドラム6
上の副走査方向における2本のレーザビームの間隔が目
的の値になるように、移動台101を基準位置から移動
させる。この移動台101の基準位置からの移動距離と
2本のレーザビームの間隔について以下に説明する。
後、ステッピングモータ15を所定の駆動パルス分だけ
回転駆動させて(ステップS108)、感光体ドラム6
上の副走査方向における2本のレーザビームの間隔が目
的の値になるように、移動台101を基準位置から移動
させる。この移動台101の基準位置からの移動距離と
2本のレーザビームの間隔について以下に説明する。
【0028】例えば、図6の破線で示すように、移動台
101を基準位置から矢印Aの左方向に距離d3だけ移
動させた場合、ハーフミラー11表面で反射した半導体
レーザLD1からの反射ビームLB2の主光線の位置
は、図中一点鎖線の位置から破線で示す位置まで平行移
動する。このとき、半導体レーザLD1の反射ビームL
B2と、半導体レーザLD2からの透過ビームLB3と
の副走査方向の間隔は、基準位置にあるときよりもさら
にd2大きくなる。
101を基準位置から矢印Aの左方向に距離d3だけ移
動させた場合、ハーフミラー11表面で反射した半導体
レーザLD1からの反射ビームLB2の主光線の位置
は、図中一点鎖線の位置から破線で示す位置まで平行移
動する。このとき、半導体レーザLD1の反射ビームL
B2と、半導体レーザLD2からの透過ビームLB3と
の副走査方向の間隔は、基準位置にあるときよりもさら
にd2大きくなる。
【0029】このレーザビームが副走査方向に移動した
距離d2と、移動台101の基準位置からの移動距離d
3とは比例するため、2本のレーザビームの副走査方向
の間隔の調整を行うには、移動台101の基準位置から
の移動距離を制御すればよい。2本のレーザビームが感
光体ドラム6上で目的の副走査方向の間隔となるときの
移動台101の基準位置からの移動距離は、ステッピン
グモータ15の駆動パルス数として予めROM24(図
4)に格納されており、ステップS8でこの駆動パルス
数だけステッピングモータ15を駆動すれば、レーザビ
ーム間の副走査方向の間隔を目的の値に調整できる。
距離d2と、移動台101の基準位置からの移動距離d
3とは比例するため、2本のレーザビームの副走査方向
の間隔の調整を行うには、移動台101の基準位置から
の移動距離を制御すればよい。2本のレーザビームが感
光体ドラム6上で目的の副走査方向の間隔となるときの
移動台101の基準位置からの移動距離は、ステッピン
グモータ15の駆動パルス数として予めROM24(図
4)に格納されており、ステップS8でこの駆動パルス
数だけステッピングモータ15を駆動すれば、レーザビ
ーム間の副走査方向の間隔を目的の値に調整できる。
【0030】以上のように、本実施の形態では、基台1
00と移動台101に搭載された部品の取り付け位置や
光軸の調整は、装置に組み込む前に予め済ませておき、
組み込み後は、二分割センサ14の検出結果に基づき基
台100と移動台101との位置関係のみを自動的に行
うようにしているので、従来、組み込み後に必要であっ
た調整の手間がなくなる。
00と移動台101に搭載された部品の取り付け位置や
光軸の調整は、装置に組み込む前に予め済ませておき、
組み込み後は、二分割センサ14の検出結果に基づき基
台100と移動台101との位置関係のみを自動的に行
うようにしているので、従来、組み込み後に必要であっ
た調整の手間がなくなる。
【0031】また、組み込み後に外部から微調整するス
ペースを装置内に設ける必要がなくなるので、設計の自
由度が増すと共に装置の小型化が図れる。〈実施の形態
2〉上記実施の形態1では、ハーフミラー11と二分割
センサ14を移動台101に一体的に保持させ、これを
基台100に対して移動させることにより、組み込み後
の微調整の煩わしさをなくすようにした。しかし、移動
台101に搭載される光学部品の組み合わせはこれには
限定されず、2個の半導体レーザおよびハーフミラーを
含む組み合わせで一体的に保持されてさえいなければ、
移動台101の移動により2本のレーザビーム間の間隔
を調整することができる。
ペースを装置内に設ける必要がなくなるので、設計の自
由度が増すと共に装置の小型化が図れる。〈実施の形態
2〉上記実施の形態1では、ハーフミラー11と二分割
センサ14を移動台101に一体的に保持させ、これを
基台100に対して移動させることにより、組み込み後
の微調整の煩わしさをなくすようにした。しかし、移動
台101に搭載される光学部品の組み合わせはこれには
限定されず、2個の半導体レーザおよびハーフミラーを
含む組み合わせで一体的に保持されてさえいなければ、
移動台101の移動により2本のレーザビーム間の間隔
を調整することができる。
【0032】図8は、その組み合わせの一例として、1
個の半導体レーザと二分割センサを移動台に搭載したと
きの光源装置1の構成を示す図である。なお、本実施の
形態2は、一部光学部品やその配置などが異なる以外は
基本的に実施の形態1とほぼ同じ構成であり、共通部分
の説明は省略して、異なる部分を中心に説明を行う。同
図に示すように、基台104は側面視U字形状をしてお
り、U字形状の凹部104aの内側縁の対向する二辺に
は、断面が三角形状をしたレール106,107がそれ
ぞれ設けられ、その凹部104aには平板状の移動台1
05が配されている。
個の半導体レーザと二分割センサを移動台に搭載したと
きの光源装置1の構成を示す図である。なお、本実施の
形態2は、一部光学部品やその配置などが異なる以外は
基本的に実施の形態1とほぼ同じ構成であり、共通部分
の説明は省略して、異なる部分を中心に説明を行う。同
図に示すように、基台104は側面視U字形状をしてお
り、U字形状の凹部104aの内側縁の対向する二辺に
は、断面が三角形状をしたレール106,107がそれ
ぞれ設けられ、その凹部104aには平板状の移動台1
05が配されている。
【0033】移動台105には、基台104のレール1
06,107に対応する端部に、各レールに係合する、
断面が三角形状をした溝206,207が設けられてい
る。各レールと対応する溝がそれぞれ係合することで、
移動台105が基台104に矢印B方向(半導体レーザ
LD1から射出されるレーザビームと平行な方向)に摺
動可能に保持される。
06,107に対応する端部に、各レールに係合する、
断面が三角形状をした溝206,207が設けられてい
る。各レールと対応する溝がそれぞれ係合することで、
移動台105が基台104に矢印B方向(半導体レーザ
LD1から射出されるレーザビームと平行な方向)に摺
動可能に保持される。
【0034】この移動台105は、図2,3の場合と同
様、ステッピングモータ15を駆動源としたネジ送り機
構により移動台105の摺動方向Bに往復移動させるこ
とができる。基台104には、半導体レーザLD1とハ
ーフミラー11、集光レンズ13、が予め光軸調整され
た状態で固定されている。その他に基台104には、集
光レンズ13の背面に取付金具161がネジ162で取
着されている。
様、ステッピングモータ15を駆動源としたネジ送り機
構により移動台105の摺動方向Bに往復移動させるこ
とができる。基台104には、半導体レーザLD1とハ
ーフミラー11、集光レンズ13、が予め光軸調整され
た状態で固定されている。その他に基台104には、集
光レンズ13の背面に取付金具161がネジ162で取
着されている。
【0035】取付金具161には折り返しミラー16が
固着され、折り返しミラー16が基台104の側面に対
して起立した姿勢で、かつ、その反射面が集光レンズ1
3の光軸に対して135°の角度をなすように取着され
ている。移動台105には、半導体レーザLD2と二分
割センサ14が一体保持されている。
固着され、折り返しミラー16が基台104の側面に対
して起立した姿勢で、かつ、その反射面が集光レンズ1
3の光軸に対して135°の角度をなすように取着され
ている。移動台105には、半導体レーザLD2と二分
割センサ14が一体保持されている。
【0036】半導体レーザLD2は、射出されたレーザ
ビームが移動台105の摺動方向Bに直行する方向に進
行して半導体レーザLD1からの透過ビームとハーフミ
ラー11表面で直交するように移動台105に固定され
ている。二分割センサ14は、移動台105の摺動方向
Bに沿った方向に受光素子141a,141bが並設さ
れ、半導体レーザLD1からの透過ビームと、半導体レ
ーザLD2からの反射ビームがほぼ重なるときのレーザ
ビームが、折り返しミラー16により90°折り返され
て受光素子141aと141bのほぼ境界線の位置にく
るように移動台105に固定されている。
ビームが移動台105の摺動方向Bに直行する方向に進
行して半導体レーザLD1からの透過ビームとハーフミ
ラー11表面で直交するように移動台105に固定され
ている。二分割センサ14は、移動台105の摺動方向
Bに沿った方向に受光素子141a,141bが並設さ
れ、半導体レーザLD1からの透過ビームと、半導体レ
ーザLD2からの反射ビームがほぼ重なるときのレーザ
ビームが、折り返しミラー16により90°折り返され
て受光素子141aと141bのほぼ境界線の位置にく
るように移動台105に固定されている。
【0037】実施の形態2における光源装置1は、レー
ザビーム間の副走査方向の間隔調整を図5とほぼ同じ制
御を行っており、以下、その制御の異なる部分を主に説
明し、同じ部分の説明は省略する。ステップS102に
おいては、半導体レーザLD2のみを点灯させる。半導
体レーザLD2から射出されたレーザビームは、図9に
示すようにハーフミラー11により、二分割センサ14
方向に進む透過ビームLB6と、コリメータレンズ12
方向へ向かう反射ビームLB5とに分離される。そのう
ち、反射ビームLB5は、二分割センサ14の受光素子
141a,141b上に照射される。
ザビーム間の副走査方向の間隔調整を図5とほぼ同じ制
御を行っており、以下、その制御の異なる部分を主に説
明し、同じ部分の説明は省略する。ステップS102に
おいては、半導体レーザLD2のみを点灯させる。半導
体レーザLD2から射出されたレーザビームは、図9に
示すようにハーフミラー11により、二分割センサ14
方向に進む透過ビームLB6と、コリメータレンズ12
方向へ向かう反射ビームLB5とに分離される。そのう
ち、反射ビームLB5は、二分割センサ14の受光素子
141a,141b上に照射される。
【0038】ステップS104においては、このときの
当該比較部23からの出力値を参照しながらその値が0
となる方向にステッピングモータ15を駆動して移動台
105を移動させる。比較部23からの出力値が0とな
れば、ステップS105において、図7(b)に示すよ
うに透過ビームLB5が二分割センサ14の中央に位置
している(以下、図7(b)となる移動台105の位置
を、「基準位置」という。)と判断し(ステップS10
5:Y)、ステッピングモータ15を停止すると共に半
導体レーザLD2を消灯する(ステップS106、S1
07)。
当該比較部23からの出力値を参照しながらその値が0
となる方向にステッピングモータ15を駆動して移動台
105を移動させる。比較部23からの出力値が0とな
れば、ステップS105において、図7(b)に示すよ
うに透過ビームLB5が二分割センサ14の中央に位置
している(以下、図7(b)となる移動台105の位置
を、「基準位置」という。)と判断し(ステップS10
5:Y)、ステッピングモータ15を停止すると共に半
導体レーザLD2を消灯する(ステップS106、S1
07)。
【0039】以上の制御により、移動台105は図9に
実線で示す基準位置に調整される。この基準位置から例
えば、移動台105を矢印B方向下側に距離d4だけ移
動した場合、半導体レーザLD2と二分割センサ14は
図9で示す破線の位置に移動する。そのため透過ビーム
LB6の主光線も一点鎖線で示す位置から破線で示す位
置に副走査方向(移動台105の摺動方向B)に距離d
4だけシフトする。したがって透過ビームLB6と、図
示しない半導体レーザLD1から射出される反射ビーム
との副走査方向の間隔も距離d4増加する。
実線で示す基準位置に調整される。この基準位置から例
えば、移動台105を矢印B方向下側に距離d4だけ移
動した場合、半導体レーザLD2と二分割センサ14は
図9で示す破線の位置に移動する。そのため透過ビーム
LB6の主光線も一点鎖線で示す位置から破線で示す位
置に副走査方向(移動台105の摺動方向B)に距離d
4だけシフトする。したがって透過ビームLB6と、図
示しない半導体レーザLD1から射出される反射ビーム
との副走査方向の間隔も距離d4増加する。
【0040】基準位置からの移動台105の移動距離d
4と、透過ビームLB6が副走査方向にずれた距離d4
とはほぼ一致するため、移動台105の基準位置からの
移動距離を制御すれば、上記実施の形態1と同様に感光
体ドラム6表面上でのレーザビームの副走査方向の間隔
を目的の値とすることができる。このように半導体レー
ザLD2と二分割センサ14を一体的に保持する移動台
105を直線的に移動しても、簡単な構成で半導体レー
ザLD2と移動台105との間の基準位置調整を簡単に
行うことができる。さらにレーザビームの副走査方向の
間隔調整もほぼ同時に行うことができるため調整の手間
を省くことができる。
4と、透過ビームLB6が副走査方向にずれた距離d4
とはほぼ一致するため、移動台105の基準位置からの
移動距離を制御すれば、上記実施の形態1と同様に感光
体ドラム6表面上でのレーザビームの副走査方向の間隔
を目的の値とすることができる。このように半導体レー
ザLD2と二分割センサ14を一体的に保持する移動台
105を直線的に移動しても、簡単な構成で半導体レー
ザLD2と移動台105との間の基準位置調整を簡単に
行うことができる。さらにレーザビームの副走査方向の
間隔調整もほぼ同時に行うことができるため調整の手間
を省くことができる。
【0041】また、上記実施の形態1に比べると折り返
しミラー16が必要となるが、従来技術に比べると作業
員が外部からドライバーを差し入れて部品の位置の調整
をするスペースを取らない分、装置自体のコンパクト化
を図ることができる。 〈変形例〉以上、本発明に係るマルチビーム光源装置に
ついて、実施の形態1,2に基づき説明してきたが、本
発明はこれら実施の形態に限定されないのは勿論であ
り、例えば、以下のような形態で実施することができ
る。
しミラー16が必要となるが、従来技術に比べると作業
員が外部からドライバーを差し入れて部品の位置の調整
をするスペースを取らない分、装置自体のコンパクト化
を図ることができる。 〈変形例〉以上、本発明に係るマルチビーム光源装置に
ついて、実施の形態1,2に基づき説明してきたが、本
発明はこれら実施の形態に限定されないのは勿論であ
り、例えば、以下のような形態で実施することができ
る。
【0042】上記実施の形態1では、半導体レーザL
D2の反射ビームLB4のスポットの位置が二分割セン
サ14のセンサ面の丁度中央に来るように、予め当該半
導体レーザの取付位置を調整してから、光源装置1を装
置本体に組み込むようにしたが、この調整をしなくて
も、反射ビームLB4のスポットが二分割センサ14の
受光素子141aと141bに渡るようにさえしておけ
ばよい。
D2の反射ビームLB4のスポットの位置が二分割セン
サ14のセンサ面の丁度中央に来るように、予め当該半
導体レーザの取付位置を調整してから、光源装置1を装
置本体に組み込むようにしたが、この調整をしなくて
も、反射ビームLB4のスポットが二分割センサ14の
受光素子141aと141bに渡るようにさえしておけ
ばよい。
【0043】この場合におけるビーム間隔調整は、ま
ず、半導体レーザLD2だけを点灯させ、そのときの比
較部23の出力値を記憶する。次に半導体レーザLD1
だけを点灯させ、このときの比較部23の出力値が上記
記憶した出力値と等しくなるまで移動台101を移動さ
せる。この値が等しくなったときに半導体レーザLD1
からの透過ビームLB1と半導体レーザLD2の反射ビ
ームLB4が一致したと判断し、このときの移動台10
1の位置を基準位置としてステップS108の処理を実
行すればよい。
ず、半導体レーザLD2だけを点灯させ、そのときの比
較部23の出力値を記憶する。次に半導体レーザLD1
だけを点灯させ、このときの比較部23の出力値が上記
記憶した出力値と等しくなるまで移動台101を移動さ
せる。この値が等しくなったときに半導体レーザLD1
からの透過ビームLB1と半導体レーザLD2の反射ビ
ームLB4が一致したと判断し、このときの移動台10
1の位置を基準位置としてステップS108の処理を実
行すればよい。
【0044】なお、ビーム位置検出素子として、上述の
ような二分割センサ14の代わりにラインCCDセンサ
などを用いてもよい。この場合には、CCDセンサの出
力に基づき2本のビームの間隔を直接検出することがで
きるので、一旦移動台101を基準位置に移動させると
いう処理は不要とすることができる。 上記実施の形態1では、2個の半導体レーザにおける
レーザビームの間隔調整について述べたが、半導体レー
ザが3個以上であっても、移動台を半導体レーザの個数
に合わせて増加させ、他の光学部品に対して相対的に移
動するように構成すれば、複数のレーザビーム間の間隔
調整も可能である。
ような二分割センサ14の代わりにラインCCDセンサ
などを用いてもよい。この場合には、CCDセンサの出
力に基づき2本のビームの間隔を直接検出することがで
きるので、一旦移動台101を基準位置に移動させると
いう処理は不要とすることができる。 上記実施の形態1では、2個の半導体レーザにおける
レーザビームの間隔調整について述べたが、半導体レー
ザが3個以上であっても、移動台を半導体レーザの個数
に合わせて増加させ、他の光学部品に対して相対的に移
動するように構成すれば、複数のレーザビーム間の間隔
調整も可能である。
【0045】なお、複数のレーザビームを射出する半導
体レーザアレイを2個以上使用してもよい。この場合に
は、まず、各半導体レーザアレイを主走査方向に所定角
度傾けて、個々のアレイから発せられるレーザビーム間
の副走査方向の間隔が所定の値になるように調整すると
共に、上述のように一部の光学部品を移動台に搭載し
て、各アレイから射出される複数のレーザビームのまと
まり同士の位置関係を調整することができる。
体レーザアレイを2個以上使用してもよい。この場合に
は、まず、各半導体レーザアレイを主走査方向に所定角
度傾けて、個々のアレイから発せられるレーザビーム間
の副走査方向の間隔が所定の値になるように調整すると
共に、上述のように一部の光学部品を移動台に搭載し
て、各アレイから射出される複数のレーザビームのまと
まり同士の位置関係を調整することができる。
【0046】上記実施の形態1では、副走査方向のレ
ーザビームの間隔調整を組み立て時に行っていたが、さ
らに電源投入時や環境温度の変化にともなって自動調整
させてもよい。このようにすれば、装置の振動や、取付
金具などの熱膨張により、各光学部品の位置がずれて
も、常に被走査面の書き込み画素密度を精度のよい状態
に保つことができる。
ーザビームの間隔調整を組み立て時に行っていたが、さ
らに電源投入時や環境温度の変化にともなって自動調整
させてもよい。このようにすれば、装置の振動や、取付
金具などの熱膨張により、各光学部品の位置がずれて
も、常に被走査面の書き込み画素密度を精度のよい状態
に保つことができる。
【0047】また、印字密度が変更可能な画像形成装置
に採用される場合には、当該印字密度の変更に合わせて
レーザビームの間隔を変更する場合の調整方法としても
利用できる。
に採用される場合には、当該印字密度の変更に合わせて
レーザビームの間隔を変更する場合の調整方法としても
利用できる。
【0048】
【発明の効果】以上説明してきたように、本発明に係る
マルチビーム光源装置によれば、当該光源装置を形成す
る光学部品の内、全ての光源と合成素子の組合わせを除
き、少なくとも2以上の光学部品を同一の保持部材に保
持し、この保持部材を他の残りの光学部品に対して相対
的に移動させる移動手段を備え、前記検出素子による検
出結果を参照して光ビームの間隔が所定の大きさになる
ように前記移動手段を制御するようにしているので、少
なくとも保持部材に搭載する光学部品については、装置
に組み込む前に光軸合わせなどの調整を実行でき、組み
込み後は制御手段により光ビームの間隔が自動的に制御
される。
マルチビーム光源装置によれば、当該光源装置を形成す
る光学部品の内、全ての光源と合成素子の組合わせを除
き、少なくとも2以上の光学部品を同一の保持部材に保
持し、この保持部材を他の残りの光学部品に対して相対
的に移動させる移動手段を備え、前記検出素子による検
出結果を参照して光ビームの間隔が所定の大きさになる
ように前記移動手段を制御するようにしているので、少
なくとも保持部材に搭載する光学部品については、装置
に組み込む前に光軸合わせなどの調整を実行でき、組み
込み後は制御手段により光ビームの間隔が自動的に制御
される。
【0049】これにより、従来のように装置に組み込ん
だ後の面倒な微調整が不要になり組立効率を向上させる
ことができる。また、組み込み後に外部から調整具を挿
入して微調整するスペースを装置本体に設ける必要がな
いので、当該装置の設計の自由度が増すと共に組み込ま
れた装置本体の小型化も図ることができる。
だ後の面倒な微調整が不要になり組立効率を向上させる
ことができる。また、組み込み後に外部から調整具を挿
入して微調整するスペースを装置本体に設ける必要がな
いので、当該装置の設計の自由度が増すと共に組み込ま
れた装置本体の小型化も図ることができる。
【図1】本発明の実施の形態1に係るマルチビーム走査
装置の全体構成を示す斜視図である。
装置の全体構成を示す斜視図である。
【図2】上記マルチビーム走査装置に用いられる光源装
置の斜視図である。
置の斜視図である。
【図3】上記光源装置の側面図である。
【図4】上記光源装置におけるレーザビーム間の調整の
制御を行う制御ブロック図である。
制御を行う制御ブロック図である。
【図5】上記マルチビーム走査装置におけるレーザビー
ムの副走査方向の間隔制御の内容を示すフローチャート
である。
ムの副走査方向の間隔制御の内容を示すフローチャート
である。
【図6】上記光源装置のレーザビームの副走査方向の間
隔の調整を説明するための図である。
隔の調整を説明するための図である。
【図7】レーザビームの副走査方向の位置を検出するた
めの二分割センサを説明するための図である。
めの二分割センサを説明するための図である。
【図8】本発明の実施の形態2に係る光源装置の側面図
である。
である。
【図9】本発明の実施の形態2に係る光源装置のレーザ
ビームの副走査方向の間隔の調整を説明するための図で
ある。
ビームの副走査方向の間隔の調整を説明するための図で
ある。
1 光源装置 10 マルチビーム走査装置 11 ハーフミラー 12 コリメータレンズ 13 集光レンズ 14 二分割センサ 15 ステッピングモータ 20 ビーム間隔制御部 23 比較部 100 基台 101 移動台 102,103 レール 141a,141b 受光素子 LB1,LB2 半導体レーザ
Claims (3)
- 【請求項1】 光学部品として、複数の光源と、各光源
から射出される光ビームを合成する合成素子と、当該合
成された光ビームのビーム位置を検出するための検出素
子とを有し、複数の光ビームを間隔をおいて射出するマ
ルチビーム光源装置であって、 前記光学部品の内、全ての光源と合成素子を含む組合わ
せを除き、少なくとも2以上の光学部品を保持する保持
部材と、 前記保持部材を他の残りの光学部品に対して相対的に移
動させる移動手段と、前記検出素子による検出結果を参
照して、光ビームが所定の間隔になるように前記移動手
段を制御する制御手段とを備えたことを特徴とするマル
チビーム光源装置。 - 【請求項2】 前記移動手段は、前記保持部材を、合成
された光ビームの間隔が変化する方向に直線的に移動さ
せることを特徴とする請求項1記載のマルチビーム光源
装置。 - 【請求項3】 副走査方向に所定の間隔を有する複数の
光ビームにより、被走査面を走査するマルチビーム走査
装置であって、光源として請求項1または2記載のマル
チビーム光源装置を使用したことを特徴とするマルチビ
ーム走査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37507199A JP2001188189A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | マルチビーム光源装置及び当該装置を用いたマルチビーム走査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP37507199A JP2001188189A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | マルチビーム光源装置及び当該装置を用いたマルチビーム走査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001188189A true JP2001188189A (ja) | 2001-07-10 |
Family
ID=18504917
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP37507199A Pending JP2001188189A (ja) | 1999-12-28 | 1999-12-28 | マルチビーム光源装置及び当該装置を用いたマルチビーム走査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001188189A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2018131257A1 (ja) * | 2017-01-10 | 2019-12-12 | ソニー株式会社 | 光源装置、光源制御方法および画像取得システム |
-
1999
- 1999-12-28 JP JP37507199A patent/JP2001188189A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2018131257A1 (ja) * | 2017-01-10 | 2019-12-12 | ソニー株式会社 | 光源装置、光源制御方法および画像取得システム |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20050614 |