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JP2001168147A - Method for manufacturing film carrier tape for mounting electronic components - Google Patents

Method for manufacturing film carrier tape for mounting electronic components

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JP2001168147A
JP2001168147A JP35348899A JP35348899A JP2001168147A JP 2001168147 A JP2001168147 A JP 2001168147A JP 35348899 A JP35348899 A JP 35348899A JP 35348899 A JP35348899 A JP 35348899A JP 2001168147 A JP2001168147 A JP 2001168147A
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plating
carrier tape
tin plating
layer
film carrier
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JP3630398B2 (en
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Yutaka Iguchi
口 裕 井
Kazuo Ikuta
田 一 雄 生
Hirofumi Kawamura
村 浩 文 河
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsui Kinzoku Co Ltd
Original Assignee
Mitsui Mining and Smelting Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【解決手段】本発明の電子部品実装用フィルムキャリア
テープの製造方法は、可撓性絶縁性フィルムに形成され
た配線パターンの少なくともリード部に、好適にはSn
2+濃度が13〜50g/リットルの無電解スズメッキ浴
を用いて短時間プレスズメッキを行った後に、該プレメ
ッキが施された少なくともリード部に、Sn2+濃度が1
3〜50g/リットルの範囲内にある無電解スズメッキ
浴を用いて本スズメッキを少なくとも1回行うことを特
徴としている。また、ソルダーレジスト層を形成する前
にプレスズメッキ層を形成してもよい。 【効果】本発明によれば無電解スズメッキ浴中に含有さ
れるSn2+濃度の調整により、ソルダーレジスト層下部
にメッキ液が浸入して生ずるリードえぐれの発生を抑制
することができ、また発生したリードえぐれの深さを低
減できる。
(57) Abstract: A method of manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention is characterized in that at least a lead portion of a wiring pattern formed on a flexible insulating film is preferably Sn.
After performing press plating for a short time using an electroless tin plating bath having a 2+ concentration of 13 to 50 g / liter, at least a lead portion on which the pre-plating has been applied has an Sn 2+ concentration of 1%.
The tin plating is performed at least once using an electroless tin plating bath in the range of 3 to 50 g / liter. Further, a press plating layer may be formed before forming the solder resist layer. According to the present invention, by adjusting the concentration of Sn 2+ contained in the electroless tin plating bath, it is possible to suppress and prevent the occurrence of lead clogging caused by the infiltration of the plating solution below the solder resist layer. The depth of the formed lead can be reduced.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープ(例えば、TAB(Tape Automat
ed Bonding)テープ、T-BGA(Tape Ball Grid Arra
y)テープ、ASIC(Application Specific Integrate
d Circuit)テープなど)を製造する方法に関する。
The present invention relates to a film carrier tape for mounting electronic parts (for example, TAB (Tape Automat).
ed Bonding) tape, T-BGA (Tape Ball Grid Arra)
y) Tape, ASIC (Application Specific Integrate)
d Circuit) tape).

【0002】[0002]

【従来の技術】エレクトロニクス産業の発達に伴い、I
C(集積回路)、LSI(大規模集積回路)などの電子
部品を実装するプリント配線板の需要が急激に増加して
いるが、電子機器の小型化、軽量化、高機能化が要望さ
れ、これら電子部品の実装方法として、最近では電子部
品実装用フィルムキャリアテープを用いた実装方式が採
用されており、特にパーソナルコンピュータなどのよう
に高精細化、薄型化、液晶画面の額縁面積の狭小化が要
望されている液晶表示素子(LCD)を使用する電子産
業においてその重要性が高まっている。
2. Description of the Related Art With the development of the electronics industry,
The demand for printed wiring boards on which electronic components such as C (integrated circuits) and LSIs (large-scale integrated circuits) are mounted has been rapidly increasing, but there has been a demand for smaller, lighter, and more sophisticated electronic devices. As a method for mounting these electronic components, a mounting method using a film carrier tape for mounting electronic components has recently been adopted. In particular, high definition and thinness, such as a personal computer, and a reduction in a frame area of a liquid crystal screen have been adopted. Is increasingly important in the electronics industry using liquid crystal display elements (LCDs).

【0003】従来からこのような電子部品実装用フィル
ムキャリアテープは、例えば下記のような工程を経て製
造されている。すなわち、先ず、ポリイミドフィルムの
ような基材となる可撓性絶縁性フィルムをプレス機でパ
ターン打ち抜きを行った後、この可撓性絶縁性フィルム
に銅箔のような導電体箔を積層する。そして、この導電
体箔の上面にフォトレジストを塗布して、このフォトレ
ジストを使用して所望のパターン形状に紫外線により露
光し、この露光されたフォトレジスト部分を現像液によ
って溶解除去する。このフォトレジストで覆われていな
い導電体箔部分を、酸などで化学的に溶解(エッチン
グ)して除去した後、フォトレジストをアルカリ液にて
溶解除去することによって絶縁フィルム上に残った導電
体箔により所望の配線パターンを形成する。
Conventionally, such a film carrier tape for mounting electronic parts has been manufactured through the following steps, for example. That is, first, after a flexible insulating film serving as a base material such as a polyimide film is punched by a press machine, a conductor foil such as a copper foil is laminated on the flexible insulating film. Then, a photoresist is applied to the upper surface of the conductive foil, and the photoresist is exposed to ultraviolet rays in a desired pattern using the photoresist, and the exposed photoresist portions are dissolved and removed by a developer. The conductive foil portion not covered with the photoresist is removed by chemically dissolving (etching) with an acid or the like, and then the photoresist is dissolved and removed with an alkali solution to remove the conductive material remaining on the insulating film. A desired wiring pattern is formed from the foil.

【0004】そして、実装時のゴミの付着、ウィスカ
ー、マイグレーションの発生による短絡を防止し、配線
間の保護並びに絶縁のために、配線パターンのうち、I
Cなどのデバイス(電子部品)に接続されるインナーリ
ード、アウターリードおよび液晶表示素子などに接続さ
れる出力側アウターリードなどのリード部分を除いて、
絶縁樹脂であるソルダーレジストを、スクリーン印刷法
を利用して塗布した後、硬化させてソルダーレジスト層
を形成する。
[0004] In order to prevent short-circuiting due to adhesion of dust, whiskers and migration during mounting, and to protect and insulate between wirings, one of the wiring patterns I
Except for lead parts such as inner leads and outer leads connected to devices (electronic parts) such as C and output outer leads connected to liquid crystal display elements, etc.
A solder resist, which is an insulating resin, is applied using a screen printing method, and then cured to form a solder resist layer.

【0005】その後、露出したリード部分の酸化、変色
を防止すると共に、リード部分に接続されるデバイスの
バンプ電極などの接続部分との接合強度(ボンダビリテ
ィ−)を確保するために、リード部分を、メッキ処理す
る。このメッキ処理には種々の金属が使用されている
が、デバイスのバンプ電極が金で形成されていることか
ら、金-スズ共晶物の形成により接続が可能なように無
電解スズメッキが比較的広汎に使用されている。
Thereafter, in order to prevent oxidation and discoloration of the exposed lead portion and to secure bonding strength (bondability) with a connection portion such as a bump electrode of a device connected to the lead portion, the lead portion is formed. , Plating. Various metals are used in this plating process.Because the bump electrodes of the device are made of gold, electroless tin plating is relatively easy to connect by forming a gold-tin eutectic. Widely used.

【0006】このような無電解スズメッキは、ソルダー
レジスト層を形成した後、スズメッキ浴に浸漬してソル
ダーレジスト層によって被覆されていない部分の配線パ
ターンの表面にスズメッキ層を形成することにより行わ
れている。通常の場合、ソルダーレジスト層はスズメッ
キに対するマスキング材になり、このソルダーレジスト
層が塗布された部分の配線パターンはメッキ液と接触す
ることはないはずである。
[0006] Such electroless tin plating is performed by forming a solder resist layer and then immersing it in a tin plating bath to form a tin plating layer on the surface of the wiring pattern not covered by the solder resist layer. I have. In a normal case, the solder resist layer becomes a masking material for tin plating, and the wiring pattern at the portion where the solder resist layer is applied should not come into contact with the plating solution.

【0007】しかしながら、現実にはソルダーレジスト
層には、その縁部において配線パターンあるいは可撓性
絶縁性フィルムとの密着が不完全である部分が存在し、
こうした部分からメッキ液がソルダーレジスト下部に浸
入ことがある。そして、このようにしてメッキ液がソル
ダーレジスト下部に浸入した部分では、配線パターンの
金属銅と既に析出した金属スズの間で局部電池が形成さ
れ、配線パターンの金属銅の異常溶出が発生する。この
ようなソルダーレジスト下の配線パターンの異常溶出
は、通常「えぐれ」と呼ばれている。
However, in reality, the solder resist layer has a portion at its edge where the adhesion with the wiring pattern or the flexible insulating film is incomplete,
From such a portion, the plating solution may enter the lower part of the solder resist. Then, in the portion where the plating solution has penetrated into the lower portion of the solder resist, a local battery is formed between the metal copper of the wiring pattern and the already deposited metal tin, and abnormal elution of the metal copper of the wiring pattern occurs. Such abnormal elution of the wiring pattern under the solder resist is usually called “egure”.

【0008】従来は、配線パターンを形成する導電体箔
の厚さが数十μmと厚かったため、こうしたえぐれが生
じたとしてもリードの強度低下あるいは断線などの重大
な問題となることは少なかった。しかしながら、リード
の幅が25μm以下になり、このような細線のリードを
形成するために導電体箔の厚さが18μm以下になって
いる昨今のファインピッチの要請下においては、深さが
十数μmにも及ぶことがあるえぐれ部は、リード強度に
多大な影響を与えるばかりでなく、このようなえぐれ部
の形成によってリードの断線を招来する虞もある。
Conventionally, since the thickness of the conductive foil forming the wiring pattern is as large as several tens of μm, even if such scuffing occurs, there is little occurrence of a serious problem such as a decrease in lead strength or disconnection. However, under the recent demand for fine pitch in which the width of the lead is 25 μm or less and the thickness of the conductor foil is 18 μm or less in order to form such a fine wire lead, the depth is more than The scorched portion, which may be as large as μm, not only greatly affects the strength of the lead, but also may lead to disconnection of the lead due to the formation of such a scoured portion.

【0009】[0009]

【発明の目的】本発明は、上記のようなソルダーレジス
ト下部の配線パターンにえぐれ部が形成されにくい電子
部品実装用フィルムキャリアテープを製造する方法を提
供することを目的としている。また、本発明は、上記の
ようにソルダーレジスト下部の配線パターンにえぐれ部
が形成されにくいと共に、形成されるメッキ層のフクレ
あるいは剥がれが生じにくい電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープを製造する方法を提供することを目的とし
ている。
SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a film carrier tape for mounting electronic parts, in which a curled portion is hardly formed in a wiring pattern below a solder resist as described above. Further, the present invention provides a method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components, in which a curving portion is not easily formed in a wiring pattern below a solder resist as described above, and a blister or peeling of a formed plating layer is hard to occur. It is intended to be.

【0010】[0010]

【発明の概要】本発明の電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの製造方法は、可撓性絶縁性フィルムに形成さ
れた配線パターンの少なくともリード部に、Sn2+濃度
が13〜50g/リットルの無電解スズメッキ浴を用い
て短時間プレスズメッキを行った後に、該プレメッキが
施された少なくともリード部に、Sn2+濃度が13〜5
0g/リットルの範囲内にある無電解スズメッキ浴を用
いて本スズメッキを少なくとも1回行うことを特徴とし
ている。
SUMMARY OF THE INVENTION According to a method of manufacturing a film carrier tape for mounting electronic parts of the present invention, at least a lead portion of a wiring pattern formed on a flexible insulating film has a Sn 2+ concentration of 13 to 50 g / liter. After a short press plating using an electrolytic tin plating bath, the Sn 2+ concentration is 13 to 5 at least in the pre-plated lead portion.
The present tin plating is performed at least once using an electroless tin plating bath within a range of 0 g / liter.

【0011】また、本発明の電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの製造方法は、可撓性絶縁性フィルムに形
成された配線パターンのリード部に、Sn2+濃度が13
〜50g/リットルの範囲内にある無電解スズメッキ浴
を用いて本スズメッキを少なくとも1回行うことを特徴
としている。本発明の方法では、上記プレスズメッキあ
るいは本スズメッキを行う前に、スズメッキ予定面をソ
フトエッチング処理することが好ましい。
Further, according to the method of manufacturing a film carrier tape for mounting electronic parts of the present invention, the lead portion of the wiring pattern formed on the flexible insulating film has a Sn 2+ concentration of 13 %.
It is characterized in that the present tin plating is performed at least once using an electroless tin plating bath in the range of 5050 g / liter. In the method of the present invention, it is preferable that a surface to be tin-plated is soft-etched before the press plating or the tin plating is performed.

【0012】また、本発明の方法では、無電解スズメッ
キ層を形成する工程をプレスズメッキと本スズメッキと
に分けて行うことができ、この場合にはプレスズメッキ
層の厚さを、本スズメッキの厚さよりも薄くすることが
好ましい。本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテ
ープの製造方法では、無電解スズメッキを行うメッキ浴
中におけるSn2+濃度を所定の範囲に制御してスズメッ
キを行っており、このようにSn2+濃度を制御すること
により、上記えぐれの発生を抑制することができる。ま
た、本スズメッキ層の形成前にプレスズメッキ層を形成
することにより、えぐれ部が形成されてしまう場合であ
っても、その深さを最低限度に抑制することができる、
Further, in the method of the present invention, the step of forming the electroless tin plating layer can be performed separately by press plating and tin plating. In this case, the thickness of the press plating layer is determined by the thickness of the tin plating. It is preferable that the thickness be smaller than the thickness. The film carrier tape for mounting electronic components production method of the present invention has been tinned by controlling the Sn 2+ concentration in a predetermined range in the plating bath to conduct electroless tin plating, the thus Sn 2+ concentration By controlling, generation of the screeching can be suppressed. Further, by forming the press plating layer before the formation of the tin plating layer, even in the case where an undercut portion is formed, the depth can be suppressed to the minimum.

【0013】[0013]

【発明の具体的な説明】次に本発明の電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープの製造方法について具体的に説明
する。本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテープ
の製造方法では、可撓性絶縁性フィルムに導電体箔を積
層し、この導電体箔の上面にフォトレジストを塗布し
て、このフォトレジストを、所望の配線パターンが形成
されるように露光し、余剰のフォトレジストを除去し残
留したフォトレジストをマスキング材として導電体箔を
エッチングして所望の配線パターンを形成する。次い
で、デバイスなどをボンディングするリード部を残して
絶縁樹脂であるソルダーレジストを塗布し、硬化させた
後、ソルダーレジストが塗布されていない配線パターン
部分(即ち、主としてリード部)をスズメッキすること
により製造されている。
Next, a method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic parts according to the present invention will be described in detail. In the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, a conductive foil is laminated on a flexible insulating film, a photoresist is applied to the upper surface of the conductive foil, and the photoresist is coated with a desired photoresist. Exposure is performed so that a wiring pattern is formed, the excess photoresist is removed, and the conductive foil is etched using the remaining photoresist as a masking material to form a desired wiring pattern. Next, a solder resist, which is an insulating resin, is applied and hardened after leaving a lead portion for bonding a device or the like. Then, a wiring pattern portion on which the solder resist is not applied (that is, a lead portion) is tin-plated. Have been.

【0014】本発明の方法において使用される可撓性絶
縁性フィルムは可撓性を有する絶縁性の樹脂フィルムで
ある。また、この可撓性絶縁性フィルムは、エッチング
する際に酸などと接触することからこうした薬品に侵さ
れない耐薬品性およびデバイスをボンディングする際の
加熱によっても変質しないような耐熱性を有している。
このような可撓性絶縁性フィルムを素材の例としては、
ポリエステル、ポリアミドおよびポリイミドなどを挙げ
ることができる。特に本発明ではポリイミドからなるフ
ィルムを用いることが好ましい。
The flexible insulating film used in the method of the present invention is a flexible insulating resin film. In addition, this flexible insulating film has chemical resistance not to be attacked by such a chemical because it comes into contact with an acid or the like at the time of etching, and heat resistance that does not deteriorate even by heating when bonding the device. I have.
Examples of such a flexible insulating film as a material include:
Examples include polyester, polyamide, and polyimide. Particularly, in the present invention, it is preferable to use a film made of polyimide.

【0015】可撓性絶縁性フィルムを構成するポリイミ
ドフィルムの例としては、ピロメリット酸2無水物と芳
香族ジアミンとから合成される全芳香族ポリイミド、ビ
フェニルテトラカルボン酸2無水物と芳香族ジアミンと
から合成されるビフェニル骨格を有する全芳香族ポリイ
ミドを挙げることができる。特に本発明ではビフェニル
骨格を有する全芳香族ポリイミド(例;商品名:ユーピ
レックス、宇部興産(株)製)が好ましく使用される。
このような可撓性絶縁性フィルムの厚さは、通常は25
〜125μm、好ましくは50〜75μmの範囲内にあ
る。
Examples of the polyimide film constituting the flexible insulating film include wholly aromatic polyimide synthesized from pyromellitic dianhydride and aromatic diamine, biphenyltetracarboxylic dianhydride and aromatic diamine. And a wholly aromatic polyimide having a biphenyl skeleton. Particularly, in the present invention, a wholly aromatic polyimide having a biphenyl skeleton (eg, trade name: Upilex, manufactured by Ube Industries, Ltd.) is preferably used.
The thickness of such a flexible insulating film is usually 25
125125 μm, preferably 50-75 μm.

【0016】本発明で使用する可撓性絶縁性フィルムに
は、デバイスホール、スプロケットホール、アウターリ
ードホール、さらに屈曲部を有する場合には、屈曲位置
にフレックススリット等がパンチングにより形成されて
いる。配線パターンは、上記のような所定の穴が形成さ
れた可撓性絶縁性フィルムの少なくとも一方の面に積層
された金属箔をエッチングすることにより形成される。
金属箔は、接着剤を用いてあるいは用いることなく可撓
性絶縁性フィルムの少なくとも一方の面に積層される。
ここで接着剤を用いて金属箔を貼着する場合には、絶縁
性の接着剤を使用して接着剤層を形成する。
When the flexible insulating film used in the present invention has a device hole, a sprocket hole, an outer lead hole, and a bent portion, a flex slit or the like is formed at the bent position by punching. The wiring pattern is formed by etching a metal foil laminated on at least one surface of the flexible insulating film having the predetermined holes as described above.
The metal foil is laminated on at least one surface of the flexible insulating film with or without an adhesive.
Here, when attaching a metal foil using an adhesive, an adhesive layer is formed using an insulating adhesive.

【0017】接着剤を使用する場合に、使用する接着剤
には、耐熱性、耐薬品性、接着力、可撓性等の特性が必
要になる。このような特性を有する接着剤の例として
は、エポキシ系接着剤、ポリイミド系接着剤およびフェ
ノール系接着剤を挙げることができる。このような接着
剤は、ウレタン樹脂、メラミン樹脂、ポリビニルアセタ
ール樹脂などで変性されていてもよく、またエポキシ樹
脂自体がゴム変性されていてもよい。このような接着剤
は通常は加熱硬化性である。接着剤層の厚さは、通常は
8〜23μm、好ましくは10〜21μmの範囲内にあ
る。
When an adhesive is used, the adhesive used must have properties such as heat resistance, chemical resistance, adhesive strength, and flexibility. Examples of the adhesive having such properties include an epoxy-based adhesive, a polyimide-based adhesive, and a phenol-based adhesive. Such an adhesive may be modified with a urethane resin, a melamine resin, a polyvinyl acetal resin, or the like, or the epoxy resin itself may be modified with a rubber. Such adhesives are usually heat-curable. The thickness of the adhesive layer is usually in the range of 8 to 23 μm, preferably 10 to 21 μm.

【0018】また、本発明の電子部品実装用フィルムキ
ャリアテープの製造方法では、上記のような可撓性絶縁
性フィルムに金属箔を積層する際に、接着剤を用いるこ
となく積層することもできる。また、上記のような金属
箔を用いる方法とは別に、例えば蒸着法あるいはメッキ
法等によっても金属層を形成することができ、また、こ
のような場合に、薄い金属箔を用いて金属薄層を形成
し、さらにこの金属薄層に上記蒸着法あるいはメッキ法
により金属を析出させ所定厚さの金属層を形成しても良
い。
In the method of manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components according to the present invention, when laminating a metal foil on a flexible insulating film as described above, the metal foil can be laminated without using an adhesive. . Further, apart from the method using a metal foil as described above, a metal layer can be formed by, for example, a vapor deposition method or a plating method, and in such a case, a metal thin layer is formed using a thin metal foil. And a metal layer having a predetermined thickness may be formed by depositing a metal on the thin metal layer by the vapor deposition method or the plating method.

【0019】接着剤を使用する場合、接着剤層は、可撓
性絶縁性フィルムの表面に接着剤を塗布して設けても良
いし、また金属箔の表面に接着剤を塗布して設けても良
い。本発明で使用される金属箔は導電性を有しており、
このような金属箔としては、銅箔およびアルミニウム箔
を挙げることができる。特に本発明では金属箔として銅
箔を使用することが好ましい。本発明で金属箔として使
用される銅箔には、電解銅箔および圧延銅箔があり、本
発明ではいずれの銅箔を使用することも可能であるが、
ファインピッチの電子部品実装用フィルムキャリアテー
プを製造するに際しては、金属箔として電解銅箔を使用
することが好ましい。
When an adhesive is used, the adhesive layer may be provided by applying an adhesive to the surface of the flexible insulating film, or may be provided by applying an adhesive to the surface of the metal foil. Is also good. The metal foil used in the present invention has conductivity,
Examples of such a metal foil include a copper foil and an aluminum foil. In particular, in the present invention, it is preferable to use a copper foil as the metal foil. Copper foil used as a metal foil in the present invention, there are electrolytic copper foil and rolled copper foil, in the present invention, it is possible to use any copper foil,
When producing a fine pitch film carrier tape for mounting electronic components, it is preferable to use an electrolytic copper foil as the metal foil.

【0020】ここで使用される電解銅箔としては電子部
品実装用フィルムキャリアテープの製造に通常使用され
ている厚さの電解銅箔を使用することができるが、ファ
インピッチの電子部品実装用フィルムキャリアテープを
製造するためには、平均厚さが通常は3〜150μm、
好ましくは6〜70μmの範囲内、特に好ましく8〜3
5μm、さらに好ましくは8〜18μmの範囲内にある
電解銅箔を使用する。このような平均厚さを有する電解
銅箔を使用することにより、狭ピッチ幅のインナーリー
ドを容易に形成することができる。このような電解銅箔
は表面が機械研磨、化学研磨、電解研磨あるいはこれら
を組み合わせた処理により整面処理されていてもよい。
As the electrolytic copper foil used here, an electrolytic copper foil having a thickness usually used in the production of a film carrier tape for mounting electronic components can be used. For producing carrier tape, the average thickness is usually 3 to 150 μm,
Preferably within the range of 6 to 70 μm, particularly preferably 8 to 3 μm.
An electrolytic copper foil having a size of 5 μm, more preferably 8 to 18 μm is used. By using the electrolytic copper foil having such an average thickness, inner leads having a narrow pitch can be easily formed. The surface of such an electrolytic copper foil may be surface-regulated by mechanical polishing, chemical polishing, electrolytic polishing, or a combination thereof.

【0021】上記のような可撓性絶縁性フィルムと金属
箔とを積層して可撓性絶縁性フィルムの少なくとも一方
の面に金属からなる層(金属箔層、さらに、この金属か
らなる層は薄い金属箔層にメッキまたは金属蒸着して所
定の厚さにした金属メッキ層、金属蒸着層であってもよ
く、またこれらの複合金属層などであってもよい)が形
成されたベースフィルムを製造する。
The above-described flexible insulating film and a metal foil are laminated, and a layer made of a metal (a metal foil layer, and a layer made of the metal is formed on at least one surface of the flexible insulating film). A base film on which a thin metal foil layer is plated or metal-deposited to a predetermined thickness, which may be a metal plating layer, a metal deposition layer, or a composite metal layer thereof may be used. To manufacture.

【0022】そして、このベースフィルムの金属層表面
にフォトレジストを塗布し、このフォトレジストに所定
の配線パターンを焼き付けて、不要部分のフォトレジス
トを除去してベースフィルムの金属層表面に所定のパタ
ーンを形成し、このパターンをマスキング材として、金
属層をエッチングする。即ち、ベースフィルムの金属層
表面に、フィトレジストを塗布し、所定の配線パターン
を露光して焼き付けして、水性媒体に可溶な部分と不溶
な部分とを形成し、可溶部を水性媒体などで除去するこ
とにより、不溶性フォトレジストからなるマスキング材
を金属層表面に形成することができる。なお、ここで不
溶性フォトレジストからなるマスキング材は、露光する
ことにより硬化するフォトレジストから形成されていて
もよいし、また、逆に、露光することにより水性媒体な
どの特定の溶媒に溶解可能となるフォトレジストを用い
て露光した後、特定の溶媒により可溶化された部分のフ
ォトレジストを除去することによって形成することもで
きる。
Then, a photoresist is applied to the surface of the metal layer of the base film, and a predetermined wiring pattern is baked on the photoresist to remove unnecessary portions of the photoresist. Is formed, and the metal layer is etched using this pattern as a masking material. That is, a phytoresist is applied to the surface of the metal layer of the base film, and a predetermined wiring pattern is exposed and baked to form a soluble portion and an insoluble portion in the aqueous medium. By removing the masking material, a masking material made of an insoluble photoresist can be formed on the surface of the metal layer. Here, the masking material made of an insoluble photoresist may be formed of a photoresist that cures by exposure, or, conversely, can be dissolved in a specific solvent such as an aqueous medium by exposure. After exposure using a photoresist, the photoresist may be formed by removing a portion of the photoresist solubilized by a specific solvent.

【0023】こうしてフォトレジストによりマスキング
されたベースフィルムを、エッチング液と接触すること
により、マスキングされていない部分の金属は溶出し
て、マスキングされた部分の金属が可撓性絶縁性フィル
ム上に残り、可撓性絶縁性フィルム上に溶出しなかった
金属箔(あるいは金属層)からなる配線パターンが形成
される。ここで使用されるエッチング液としては通常使
用されている酸性のエッチング液を用いることができ
る。
By contacting the base film masked by the photoresist with the etching solution, the metal of the unmasked portion elutes, and the metal of the masked portion remains on the flexible insulating film. Then, a wiring pattern composed of the metal foil (or metal layer) that has not been eluted is formed on the flexible insulating film. As the etchant used here, a commonly used acidic etchant can be used.

【0024】こうして形成される配線パターンにおい
て、インナーリードの各ピッチ幅は、通常は20〜50
0μm、好ましくは25〜100μmであり、本発明は、
特に30〜80μmのファインピッチの電子部品実装用
フィルムキャリアテープに対して有用性が高い。本発明
では、通常は、このように所定の配線パターンを形成し
た後、次の工程でメッキするインナーリードの先端部お
よびアウターリードの先端部を除いてソルダーレジスト
層を形成する。
In the wiring pattern thus formed, the pitch width of the inner leads is usually 20 to 50.
0 μm, preferably 25-100 μm.
In particular, it is highly useful for a film carrier tape for mounting electronic components having a fine pitch of 30 to 80 μm. In the present invention, usually, after a predetermined wiring pattern is formed as described above, a solder resist layer is formed except for a tip portion of an inner lead and a tip portion of an outer lead to be plated in the next step.

【0025】本発明では、このようなソルダーレジスト
層は、ソルダーレジスト塗布液をスクリーン印刷技術を
利用して所定の位置に塗布することにより形成される。
本発明の方法において、ソルダーレジストの塗布平均厚
さは、硬化後の厚さ換算で、通常は1〜80μm、好ま
しくは5〜50μmの範囲内にある。このようなソルダ
ーレジスト塗布液中に含有される硬化性樹脂は、エポキ
シ系樹脂、エポキシ系樹脂のエラストマー変性物、ウレ
タン樹脂、ウレタン樹脂のエラストマー変性物、ポリイ
ミド樹脂、ポリイミド樹脂のエラストマー変性物および
アクリル樹脂よりなる群から選ばれる少なくとも一種類
の樹脂成分を含有するものであることが好ましい。特に
エラストマー変性物を使用することが好ましい。
In the present invention, such a solder resist layer is formed by applying a solder resist coating solution to a predetermined position using a screen printing technique.
In the method of the present invention, the coating average thickness of the solder resist is usually in the range of 1 to 80 μm, preferably 5 to 50 μm in terms of the thickness after curing. The curable resin contained in such a solder resist coating liquid is an epoxy resin, an elastomer-modified epoxy resin, a urethane resin, an elastomer-modified urethane resin, a polyimide resin, an elastomer-modified polyimide resin, and an acrylic resin. It is preferable that the resin contains at least one resin component selected from the group consisting of resins. In particular, it is preferable to use a modified elastomer.

【0026】また、本発明において、ソルダーレジスト
塗布液中には、上記のような樹脂成分の他に、硬化促進
剤、充填剤、添加剤、チキソ剤および溶剤等、通常ソル
ダーレジスト塗布液に添加される物質を添加することが
できる。さらに、ソルダーレジスト層の可撓性等の特性
を向上させるために、ゴム微粒子のような弾性を有する
微粒子などを配合することも可能である。
In the present invention, in addition to the resin components described above, the solder resist coating solution usually contains a curing accelerator, a filler, an additive, a thixotropic agent, a solvent and the like. Can be added. Further, in order to improve the properties such as flexibility of the solder resist layer, fine particles having elasticity such as rubber fine particles can be blended.

【0027】こうしてソルダーレジストを塗布硬化させ
ると、塗布されたソルダーレジストの縁部において、ソ
ルダーレジスト塗布液が塗布予定位置から外側に流れ出
すことがあり、また塗工されたソルダーレジスト層の縁
部は、配線パターンとの密着性が良好でない場合があ
る。そして、図1に示すように、このようなソルダーレ
ジストの縁部からメッキ液がソルダーレジスト下部に浸
入することがあり、こうしたメッキ液がソルダーレジス
ト下部に浸入した部分では、配線パターンの金属銅と既
に析出した金属スズの間で局部電池が形成され、配線パ
ターンの金属銅の異常溶出が発生することにより所謂
「えぐれ部」が形成される。このようなえぐれ部の深さ
が一般に5.5μmを超えると、昨今のファインピッチ
化の電子部品実装用フィルムキャリアテープではこのえ
ぐれ部の存在が具体的にリード強度の低下などとして表
在化して通常の使用に耐えないことがある。
When the solder resist is applied and hardened in this manner, the solder resist coating solution may flow outward from the application position at the edge of the applied solder resist, and the edge of the applied solder resist layer may In some cases, the adhesion to the wiring pattern is not good. Then, as shown in FIG. 1, the plating solution may penetrate into the lower portion of the solder resist from the edge of the solder resist. A local battery is formed between the already deposited metallic tins, and abnormal elution of metallic copper in the wiring pattern occurs, so-called “screebling portions” are formed. When the depth of such an undercut generally exceeds 5.5 μm, the presence of the undercut is specifically expressed as a decrease in lead strength in a recent fine pitch electronic component mounting film carrier tape. May not endure normal use.

【0028】そこで、本発明者はこのようなえぐれ部の
形成を抑制する方法について検討したところ、メッキ液
中のSn2+の濃度によってえぐれ部の深さが著しく異な
るとの知見を得た。本発明において、このスズメッキに
は、プレスズメッキと本スズメッキとがあり、本発明で
はプレスズメッキを行った後、本スズメッキを行うか、
プレスズメッキを行うことなく、直接本スズメッキをす
るいずれの方法をも採用することができる。
The inventors of the present invention have studied a method for suppressing the formation of such a scoring portion, and have found that the depth of the scouring portion varies significantly depending on the concentration of Sn 2+ in the plating solution. In the present invention, the tin plating includes press plating and the present tin plating. In the present invention, after performing the press plating, the present tin plating is performed.
Any method of directly performing tin plating without performing press plating can be employed.

【0029】そして、本発明においてスズメッキをする
際にメッキ浴中のSn2+濃度が13g/リットル〜50
g/リットル、好ましくは15〜30g/リットルの範
の範囲内にある無電解スズメッキ浴を用いてスズメッキ
をする。本発明の電子部品実装用フィルムキャリアテー
プの製造方法において、スズメッキ層は種々の方法によ
り形成することができる。
In the present invention, when tin plating is performed, the Sn 2+ concentration in the plating bath is 13 g / liter to 50 g / l.
The tin is plated using an electroless tin plating bath in the range of g / l, preferably 15-30 g / l. In the method for producing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, the tin plating layer can be formed by various methods.

【0030】例えば、本発明で使用することができるス
ズメッキ浴としては以下に記載するような成分を含有す
るメッキ浴を使用することができる。 (1) チオ尿素 (NH2)2CS ホウフッ化スズ Sn(BF4)2 次亜リン酸 H3PO4 カチオン系界面活性剤 (2) チオ尿素 (NH2)2CS 有機スルホン酸スズ 次亜リン酸 H3PO4 界面活性剤 そして、このようなスズメッキ浴中において、Sn2+
度は、13〜50g/リットルの範囲内、好ましくは1
5〜30g/リットルの範囲内に調整することが必要で
ある。本発明で使用するスズメッキ浴中におけるSn2+
濃度を上記範囲内に調整して無電解スズメッキを行うこ
とにより、えぐれ部が形成された場合であっても、えぐ
れ部がリード強度などに影響を及ぼす程深くなく、また
リード部などの断線の原因となることがない。
For example, as a tin plating bath that can be used in the present invention, a plating bath containing the following components can be used. (1) Thiourea (NH 2 ) 2 CS tin borofluoride Sn (BF 4 ) secondary phosphorous acid H 3 PO 4 cationic surfactant (2) Thiourea (NH 2 ) 2 CS tin organic sulfonate phosphoric acid H 3 PO 4 surfactant and, in such a tin plating bath, Sn 2+ concentration is in the range of 13~50G / liter, preferably 1
It is necessary to adjust within the range of 5 to 30 g / liter. Sn 2+ in the tin plating bath used in the present invention
By performing the electroless tin plating by adjusting the concentration within the above range, even if the scorched portion is formed, the scorched portion is not so deep as to affect the lead strength, etc. No cause.

【0031】本発明の方法において、スズメッキ層は単
層であっても複数の層から形成されていても良い。即
ち、上記のようにスズメッキをする前に、リード部ある
いは配線パターンにプレスズメッキをした後、Sn2+
度が上記範囲内にあるスズメッキ浴を用いてスズメッキ
を行っても良い。即ち、図3に示されるように、リード
部にプレスズメッキを行った後、このプレスズメッキ層
上に本スズメッキを行うことができ、また、本スズメッ
キ層を2層以上形成してもよい。こうした場合、プレス
ズメッキ層の厚さを本スズメッキ層の厚さよりも薄くす
ることが好ましい。このようにプレスズメッキを行った
後、本スズメッキをすることにより、例えばソルダーレ
ジストの縁部に剥離した部分があったとしても、このソ
ルダーレジスト下部の配線パターン表面に薄いプレスズ
メッキ層が形成されるので、本スズメッキの際にメッキ
液がこの剥離部に残留しても配線パターンを形成する導
電体箔(電解銅箔)が溶出せず、従ってえぐれ部の発生
を抑制することができる。このように2層のスズメッキ
層を形成する場合、プレスズメッキ層の厚さと、本スズ
メッキ層の厚さとの比は、通常は0.5:10〜2:1
0、好ましくは0.5:10〜1:8、特に好ましくは
0・5:10〜1:10の範囲内にする。このようにプ
レスズメッキ層の厚さを薄くすることにより、えぐれ部
の発生抑制効果が良好になる。
In the method of the present invention, the tin plating layer may be a single layer or may be formed from a plurality of layers. That is, before performing the tin plating as described above, the lead portion or the wiring pattern may be press-plated, and then the tin plating may be performed using a tin plating bath having a Sn 2+ concentration within the above range. That is, as shown in FIG. 3, after the lead portion is press-plated, the present tin plating can be performed on the press-plated layer, and two or more tin-plated layers may be formed. In such a case, it is preferable that the thickness of the press plating layer be smaller than the thickness of the tin plating layer. After performing the press plating in this manner, by performing the present tin plating, a thin press plating layer is formed on the surface of the wiring pattern below the solder resist, for example, even if there is a peeled portion at the edge of the solder resist. Therefore, even if a plating solution remains in the stripped portion during the tin plating, the conductive foil (electrolytic copper foil) forming the wiring pattern does not elute, and thus the generation of a scoured portion can be suppressed. When two tin plating layers are formed as described above, the ratio of the thickness of the press plating layer to the thickness of the tin plating layer is usually 0.5: 10 to 2: 1.
0, preferably 0.5: 10 to 1: 8, particularly preferably 0.5: 10 to 1:10. By reducing the thickness of the press plating layer in this manner, the effect of suppressing the generation of the scuffed portion is improved.

【0032】図2に、プレスズメッキと本スズメッキと
を組み合わせて行う際に、プレスズメッキに用いるメッ
キ浴中におけるSn2+濃度を変えたときのえぐれ部の深
さとの関係の例を示す。図2において、「A」は、ソル
ダーレジスト塗布液を塗布し硬化させた後、スズメッキ
浴中のSn2+濃度を変えてプレスズメッキ層を形成し次
いで本スズメッキ条件を、Sn2+濃度;20g/リット
ル、温度70℃、時間;210秒に設定して本スズメッ
キを行ったときに発生したえぐれ部の深さとSn2+濃度
との関係を示すグラフであり、「B」は、上記と同様に
してソルダーレジスト層を形成した後、メッキされる部
分をソフトエッチングした後に同様にして同様にしてS
2+濃度を変えてプレスズメッキを行った後、上記と同
様にして本スズメッキした際に発生したえぐれ部の深さ
とSn2+濃度との関係を示すグラフである。
FIG. 2 shows an example of the relationship between the depth of the recess and the Sn 2+ concentration in the plating bath used for press plating when the press plating is combined with the present tin plating. In FIG. 2, “A” indicates that after applying and curing a solder resist coating solution, the Sn 2+ concentration in the tin plating bath was changed to form a press plating layer, and then the tin plating conditions were changed to Sn 2+ concentration: 20 g. / Liter, temperature 70 ° C., time; 210 seconds, this is a graph showing the relationship between the depth of the scoured portion and the Sn 2+ concentration generated when performing the tin plating, where “B” is the same as above. After the solder resist layer is formed as described above, the portion to be plated is soft-etched, and then S
It is a graph which shows the relationship between Sn2 + density | concentration and the depth of the scorched part which generate | occur | produced at the time of carrying out press plating with changing n2 + density | concentration and this tin plating similarly to the above.

【0033】上記図2から明らかなように、プレスズメ
ッキ液中のSn2+濃度が7g/リットル以下では非常に
深いえぐれ部が生ずる。そして、Sn2+濃度が高くなる
に従って次第にえぐれ部の深さが浅くなり、13g/リ
ットル以上、好ましくは15g/リットル以上のSn2+
濃度を有するプレスズメッキ液を使用することにより発
生するえぐれ部の深さが5.5μm以下でほぼ安定す
る。
As is apparent from FIG. 2, when the Sn 2+ concentration in the press plating solution is 7 g / liter or less, a very deep undercut occurs. Then, Sn 2+ concentration depth gradually curtailed portion becomes shallow accordance higher, 13 g / l or more, preferably 15 g / l or more of Sn 2+
The use of a press plating solution having a high concentration substantially stabilizes the depth of the undercut portion generated at 5.5 μm or less.

【0034】また、図5に示すように、プレスズメッキ
時間によっても、えぐれ量の低下が見られる。図5は、
プレスズメッキ条件を、プレスズメッキ浴におけるSn
2+濃度;15g/リットル、温度;常温(25℃)、そ
してプレスズメッキ時間を10〜210秒の範囲内で変
え、本スズメッキ条件をSn2+濃度;15g/リット
ル、温度;常温(25℃)、時間;210秒にしてスズ
メッキを行ったときに生ずるえぐれ部の深さを測定した
グラフである。なお、このメッキされるリード部は、ソ
フトエッチングされていない。
As shown in FIG. 5, the amount of scouring is also reduced depending on the press plating time. FIG.
The press plating conditions were changed to Sn in the press plating bath.
2+ concentration: 15 g / l, temperature: normal temperature (25 ° C), and press plating time was changed within the range of 10 to 210 seconds, and the tin plating conditions were changed to Sn 2+ concentration: 15 g / l, temperature: normal temperature (25 ° C). ), Time: 210 sec, and a graph showing the depth of a scoured portion generated when tin plating is performed. The lead to be plated is not soft-etched.

【0035】図5から明らかなように、プレスズメッキ
を行わないと7.25μmを超える深さのえぐれ部が形
成されるが、プレスズメッキ時間を10秒、30秒と長
くするにつれてえぐれ部の深さは次第に浅くなり、プレ
メッキ時間が30秒では6.5μmとプレメッキを行わ
ない場合と比較してえぐれ部の深さは約0.75μmの
低下する。
As is apparent from FIG. 5, if the press plating is not performed, a scoured portion having a depth exceeding 7.25 μm is formed. However, as the press plating time is increased to 10 seconds and 30 seconds, the depth of the scoured portion is increased. The depth gradually becomes shallow, and the pre-plating time is 6.5 μm when the pre-plating time is 30 seconds, which is about 0.75 μm lower than the depth when the pre-plating is not performed.

【0036】そして、プレスズメッキ時間が40〜50
秒付近にえぐれ深さに対するプレスズメッキ時間の臨界
点があると推定され、特にプレメッキ時間を50秒以
上、好ましくは55秒以上では、えぐれ部の深さは5〜
5.5μmの間でほぼ一定する。従って、本発明の方法
では、プレメッキ時間を通常は20秒以上、好ましくは
40秒以上、特に好ましくは50秒以上、さらに好まし
くは55秒以上に設定する。なお、このプレスズメッキ
は長時間行ってもえぐれ深さにはそれほど影響を及ぼさ
ないので、通常はこのプレスズメッキ時間の上限は、2
10秒程度である。
The press plating time is 40 to 50.
It is estimated that there is a critical point of the press plating time with respect to the scouring depth in the vicinity of second, and particularly when the pre-plating time is 50 seconds or more, preferably 55 seconds or more, the depth of the scouring part is 5 to 5.
It is almost constant between 5.5 μm. Therefore, in the method of the present invention, the pre-plating time is usually set to 20 seconds or more, preferably 40 seconds or more, particularly preferably 50 seconds or more, and more preferably 55 seconds or more. In addition, since the press plating does not significantly affect the scouring depth even when the press plating is performed for a long time, the upper limit of the press plating time is usually 2 times.
It is about 10 seconds.

【0037】上記はプレスズメッキと本スズメッキとを
行う態様によりえぐれ部の深さを低減できることを示し
たが、プレスズメッキを行わずに本スズメッキだけ行う
場合であってもSn2+濃度を変えることによりえぐれ部
の深さを低減することができる。例えば、ソフトエッチ
ングしプレスズメッキを行っていないリード部にメッキ
温度;70℃、メッキ時間;210秒の条件で、Sn2+
濃度を15g/リットル、20g/リットル、27g/
リットルと変えて本スズメッキを行い、発生したえぐれ
部の深さを測定したところ、次表1に記載するようにな
る。
Although the above shows that the depth of the undercut portion can be reduced by performing the press plating and the tin plating, it is necessary to change the Sn 2+ concentration even when only the tin plating is performed without the press plating. Thereby, the depth of the undercut portion can be reduced. For example, Sn 2+ is applied to a lead portion which has been soft-etched and not subjected to press plating to a plating temperature of 70 ° C. and a plating time of 210 seconds.
Concentration of 15 g / l, 20 g / l, 27 g / l
This tin plating was performed in place of liter, and the depth of the generated scorched portion was measured. The results are shown in Table 1 below.

【0038】[0038]

【表1】 [Table 1]

【0039】上記のように、本スズメッキの際における
Sn2+濃度を13〜50g/リットルの範囲内、好まし
くは15〜30g/リットルの範囲内にすることによ
り、えぐれ部の深さが低減される。また、このえぐれ部
の深さを低減するには、メッキを行う前にメッキ予定面
をソフトエッチングすることが有効である。
As described above, by setting the Sn 2+ concentration in the present tin plating within the range of 13 to 50 g / liter, preferably within the range of 15 to 30 g / liter, the depth of the undercut portion is reduced. You. In order to reduce the depth of the undercut, it is effective to soft-etch the surface to be plated before plating.

【0040】特に図2において、「B」で示されるソフ
トエッチングした後にプレスズメッキを行いさらに本ス
ズメッキを行うことにより、えぐれ部の深さは3.5μ
m以下になり、えぐれ部の深さが3.5μm以下であれ
ば、えぐれ部の発生によるリード強度の低下あるいはリ
ードの変形が生じにくくなり、さらにえぐれ部が生ずる
ことによるリードの断線も生じない。即ち、図2に
「B」で示すように、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープの製造方法では、スズメッキする前にメ
ッキ予定部分をソフトエッチングすることが好ましい。
In particular, in FIG. 2, the depth of the recessed portion is 3.5 μm by performing the press plating after performing the soft etching indicated by “B” and further performing the tin plating.
m or less, and if the depth of the scoring portion is 3.5 μm or less, the reduction in lead strength or deformation of the lead due to the occurrence of the scouring portion is less likely to occur, and furthermore, the disconnection of the lead due to the formation of the scouring portion does not occur. . That is, as shown by "B" in FIG. 2, in the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, it is preferable to soft-etch a portion to be plated before tin plating.

【0041】このソフトエッチングは、配線パターンを
形成するためのエッチングとは異なり、形成された配線
パターンの表面の状態を整えて次の工程においてメッキ
をより均一に行うためにメッキ予定面(銅箔などからな
るリード部など)を化学研磨する工程であり、配線パタ
ーンを形成するためのエッチング速度の1/3〜1/20
程度の速度で配線パターンの表面をエッチングする。
This soft etching is different from the etching for forming a wiring pattern, in order to prepare the surface of the formed wiring pattern and perform plating more uniformly in the next step (a copper foil surface). Etc.), which is a step of chemically polishing the lead portion, which is 1/3 to 1/20 of the etching rate for forming the wiring pattern.
The surface of the wiring pattern is etched at a moderate speed.

【0042】即ち、このソフトエッチングは、メッキ予
定面を酸等を用いて非常に軽度に化学研磨する処理であ
り、このソフトエッチングによりメッキ予定面の表面が
清浄になるとともに、メッキ予定面にある金属酸化膜、
有機物質などが除去され、このソフト処理面に均一なス
ズメッキ層が形成されやすくなる。さらにこのソフトエ
ッチング処理をすることにより、均一なスズメッキ層が
形成されるので、えぐれ部が形成されたとしてもその深
度が浅くなるという作用がある。
That is, the soft etching is a treatment for chemically polishing the surface to be plated with acid or the like very slightly using acid or the like. Metal oxide film,
Organic substances and the like are removed, and a uniform tin plating layer is easily formed on the soft-treated surface. Further, by performing the soft etching process, a uniform tin plating layer is formed, so that even if a scorched portion is formed, the depth thereof is reduced.

【0043】このようなソフトエッチング液は、本質的
には、配線パターン表面を化学研磨することができる酸
性液である。このようなソフトエッチング液としては、
例えば以下に記載するものを挙げることができる。 (1)硫酸・・・2容量部 硝酸・・・1容量部 塩酸・・・0.8・・・ミリリットル/リットル (2)硫酸・・・7〜150ミリリットル/リットル 過酸化水素・・・50〜150ミリリットル/リットル 安定剤・・・50ミリリットル/リットル程度 (3)クロム酸・・・270g/リットル程度 (4)リン酸・・・55%程度 硝酸・・・29%程度 酢酸・・・25%程度 (5)硫酸・・・50〜100ミリリットル/リットル 塩酸・・・100〜200ミリリットル/リットル ホウフッ酸・・・50〜100ミリリットル/リットル (7)加硫酸アンモニウム・・・120g/リットル (8)K228、H2SO4を主成分とし、さらに、銅など
の金属イオンを含有する酸性水溶液であるソフトエッチ
ング液 (9)過硫酸塩、過酸化水素、硫酸を含有する酸性水溶液
であるソフトエッチング液 (10)硝酸、硫酸を含有する酸性水溶液であるソフトエッ
チング液。
Such a soft etching liquid is essentially an acidic liquid capable of chemically polishing the surface of a wiring pattern. As such a soft etching solution,
For example, the following can be mentioned. (1) Sulfuric acid: 2 parts by volume Nitric acid: 1 part by volume Hydrochloric acid: 0.8 ml / liter (2) Sulfuric acid: 7 to 150 ml / liter Hydrogen peroxide: 50 ~ 150ml / l Stabilizer ・ ・ ・ about 50ml / l (3) Chromic acid ・ ・ ・ about 270g / l (4) Phosphoric acid ・ ・ ・ about 55% Nitric acid ・ ・ ・ about 29% Acetic acid ・ ・ ・ 25 % (5) Sulfuric acid: 50 to 100 ml / liter Hydrochloric acid: 100 to 200 ml / liter Borofluoric acid: 50 to 100 ml / liter (7) Ammonium sulfate: 120 g / liter (8) K 2 S 2 O 8, H 2 and SO 4 as a main component, further, a soft etching solution is an acidic aqueous solution containing metal ions such as copper (9) persulfate, hydrogen peroxide, acids containing sulfuric acid Soft etching solution is an aqueous solution (10) nitrate, soft etching solution is an acidic aqueous solution containing sulfuric acid.

【0044】本発明では、上記のようなソフトエッチン
グ液のほか、電子部品実装用フィルムキャリアテープに
導電性箔から形成される配線パターンを軽度にエッチン
グ可能な酸性液体であれば上記例示したソフトエッチン
グ液以外のものを使用することができる。特に本発明で
は、過硫酸アンモニウムを含有するソフトエッチング液
を用いることが好ましい。
In the present invention, in addition to the soft etching liquid described above, the soft etching liquid exemplified above can be used as long as it is an acidic liquid that can slightly etch a wiring pattern formed from a conductive foil on a film carrier tape for mounting electronic components. Anything other than a liquid can be used. Particularly in the present invention, it is preferable to use a soft etching solution containing ammonium persulfate.

【0045】上記のようなソフトエッチング液による処
理は、ソフトエッチング予定面とソフトエッチング液と
を通常は20〜50℃の温度で3〜60秒間接触させる
ことにより実施される。このようなソフトエッチング液
を用いてメッキ予定部分をソフトエッチング処理するこ
とにより、メッキ予定面の表面にある酸化物膜、有機質
膜などが除去され(通常は2μm以下の深さでエッチン
グされて除去される)、均一化することができ、非常に
均質なスズメッキ層を形成することが可能になる。さら
に、図2に示すように、このようなソフトエッチング処
理を行った後、スズメッキすることにより、同一のメッ
キ液を使用した場合に、えぐれ部の深度が約2μm程度
浅くなるという効果がある。
The above-described treatment with the soft etching solution is carried out by bringing the surface to be soft-etched into contact with the soft etching solution at a temperature of usually 20 to 50 ° C. for 3 to 60 seconds. By subjecting the portion to be plated to soft etching using such a soft etching solution, an oxide film, an organic film, and the like on the surface of the surface to be plated are removed (usually etched to a depth of 2 μm or less and removed). ), And it is possible to form a very uniform tin plating layer. Further, as shown in FIG. 2, after performing such a soft etching treatment, tin plating is performed, so that when the same plating solution is used, there is an effect that the depth of the undercut portion is reduced by about 2 μm.

【0046】このように本発明の電子部品実装用フィル
ムキャリアテープの製造方法では、ソルダーレジスト層
を形成した後、リード部などに無電解スズメッキ層を形
成するに際して、スズメッキ浴中におけるSn2+濃度を
所定の範囲内にすることにより、えぐれ部の形成を抑制
することができる。さらに本発明ではソルダーレジスト
層を塗設する前に形成された配線パターンの表面にプレ
スズメッキ層を形成することにより、えぐれ部の発生を
抑制できると共に、プレスズメッキ層および本スズメッ
キ層を形成することでメッキ層のフクレあるいは剥離を
防止することが可能となる。
As described above, in the method of manufacturing a film carrier tape for mounting electronic parts according to the present invention, when forming an electroless tin plating layer on a lead or the like after forming a solder resist layer, the Sn 2+ concentration in a tin plating bath is reduced. Is within a predetermined range, it is possible to suppress the formation of the scorched portion. Further, in the present invention, by forming a press-plated layer on the surface of the wiring pattern formed before applying the solder resist layer, it is possible to suppress the occurrence of the scoured portion, and to form the press-plated layer and the tin-plated layer. Thus, blistering or peeling of the plating layer can be prevented.

【0047】即ち、図3に示すように、本発明の電子部
品実装用フィルムキャリアテープの製造方法では、上記
のようにソルダーレジストを塗布した後にスズメッキ層
を形成することもできるし、また、図4に示すように、
ソルダーレジストを塗布する前に薄いプレスズメッキ層
を形成し、次いでソルダーレジストを塗布、硬化させた
後に再度スズメッキを行い本スズメッキ層を形成するこ
ともできる。このようにソルダーレジスト層を形成する
前に形成されるプレスズメッキ層の厚さは、通常は0.
005〜0.3μm、好ましくは0.01〜0.1μmの
範囲内にあり、このプレスズメッキ層は、ソルダーレジ
スト層を形成後にメッキされる本スズメッキ層よりも薄
く形成される。このようにソルダーレジストを塗布する
前に薄いプレスズメッキ層を形成し、次いでソルダーレ
ジスト層を形成した後、さらに本スズメッキ層を形成す
ることにより、えぐれ部の発生を防止できる。
That is, as shown in FIG. 3, in the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, a tin plating layer can be formed after applying a solder resist as described above. As shown in 4,
It is also possible to form a thin press-plated layer before applying the solder resist, then apply and cure the solder resist, and then tin-plate again to form the tin-plated layer. The thickness of the press-plated layer formed before the formation of the solder resist layer as described above is usually 0.1 mm.
The thickness is in the range of 005 to 0.3 μm, preferably 0.01 to 0.1 μm, and this press plating layer is formed thinner than the present tin plating layer which is plated after forming the solder resist layer. By forming a thin press-plated layer before applying the solder resist, then forming the solder resist layer, and then forming the tin plated layer, generation of a scorched portion can be prevented.

【0048】なお、上記のようにソルダーレジスト層を
形成する前に薄いプレスズメッキ層を形成する場合に、
上記と同様に配線パターンの表面をソフトエッチングす
ることもできる。上記のように本発明の電子部品実装用
フィルムキャリアテープの製造方法では、このようにし
て形成されるスズメッキ層の厚さ(プレスズメッキ層と
本スズメッキ層との合計の厚さ)は、通常は、0.2〜
0.7μm、好ましくは0.3〜0.5μmである。こ
のような厚さにスズメッキ層をすることにより、こうし
てスズメッキされたリードなどにデバイスのバンプ電極
などを良好にボンディングすることができると共に、リ
ード部などの耐食性が良好になる。なお、上記スズメッ
キ層の厚さは、複数のスズメッキ層を形成した場合には
合計の厚さである。
When forming a thin press-plated layer before forming a solder resist layer as described above,
Similarly to the above, the surface of the wiring pattern can be soft-etched. As described above, in the method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components of the present invention, the thickness of the tin plating layer thus formed (the total thickness of the press plating layer and the tin plating layer) is usually , 0.2-
It is 0.7 μm, preferably 0.3 to 0.5 μm. By providing a tin plating layer having such a thickness, a bump electrode of a device can be satisfactorily bonded to the tin-plated lead and the like, and the corrosion resistance of the lead portion and the like can be improved. The thickness of the tin plating layer is the total thickness when a plurality of tin plating layers are formed.

【0049】このように所定のSn2+濃度のメッキ液を
使用してスズメッキ層を形成した後、通常は加熱処理し
て、形成されたスズメッキ層を形成するスズと配線パタ
ーンを形成する金属とを相互に拡散させる。ここで加熱
処理は、スズメッキ層を通常は90〜150℃、好まし
くは110〜140℃に、通常は30〜180分間、好
ましくは40〜120分間加熱することにより実施され
る。
After a tin plating layer is formed by using a plating solution having a predetermined Sn 2+ concentration in this way, it is usually subjected to a heat treatment to form a tin for forming the formed tin plating layer and a metal for forming a wiring pattern. Are mutually diffused. Here, the heat treatment is performed by heating the tin plating layer to usually 90 to 150 ° C, preferably 110 to 140 ° C, usually for 30 to 180 minutes, preferably for 40 to 120 minutes.

【0050】こうして特定のSn2+濃度を有するスズメ
ッキ浴を用いて無電解スズメッキ層を形成することによ
り、メッキ液による浸食作用によってえぐれ部の深度が
浅くなる。このようなSn2+濃度を有するスズメッキ浴
を用いることによりえぐれ部の深度が浅くなる詳細な理
由は不明であるが、上記のような特定のSn2+濃度を有
するスズメッキ浴を用いてスズメッキ層を形成すること
により、メッキ液の浸漬電位が貴な方向で維持され、局
部電池の形成を阻害するためであろうと考えられる。
By forming the electroless tin plating layer using a tin plating bath having a specific Sn 2+ concentration in this way, the depth of the undercut is reduced by the erosion effect of the plating solution. The detailed reason why the depth of the undercut is reduced by using the tin plating bath having such a Sn 2+ concentration is unknown, but the tin plating layer is formed using the tin plating bath having the specific Sn 2+ concentration as described above. It is thought that this is because the formation of the slag maintains the immersion potential of the plating solution in a noble direction and inhibits the formation of a local battery.

【0051】このようにして本発明の方法で製造された
電子部品実装用フィルムキャリアテープは、通常の方法
で製造されたものと同様に使用することができる。
The film carrier tape for mounting electronic parts thus manufactured by the method of the present invention can be used in the same manner as that manufactured by the usual method.

【0052】[0052]

【発明の効果】本発明の電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの製造方法では、特定のSn 2+濃度を有するス
ズメッキ浴を用いてスズメッキ層を形成することによ
り、ソルダーレジストの下部におけるえぐれ部の発生を
抑制することができる。また、無電解スズメッキをする
ことによりソルダーレジスト層下面にある配線パターン
にえぐれ部が形成されたとしても、そのえぐれ部の深さ
が浅くなり、リードの強度低下、リードの断線などを防
止することができる。
The film carrier for mounting electronic parts according to the present invention.
In the method of manufacturing the tape, the specific Sn 2+With concentration
Forming a tin plating layer using a tin plating bath
Of the undercut of the solder resist
Can be suppressed. Also electroless tin plating
The wiring pattern on the underside of the solder resist layer
Depth of the undercut, even if it is formed
To reduce the lead strength and prevent lead disconnection.
Can be stopped.

【0053】特に本発明の電子部品実装用フィルムキャ
リアテープの製造方法は、ファイピッチ化されたフィル
ムキャリアテープの製造において有用性が高く、例えば
リード幅が25μm以下のような非常にファインピッチ
のリード部を有するフィルムキャリアテープにおいて
も、実質的なリード強度の低下、リードの断線などフィ
ルムキャリアテープの重大な欠陥となり得るようなえぐ
れ部の発生を抑制することができる。
In particular, the method for producing a film carrier tape for mounting electronic parts according to the present invention is highly useful in producing a film carrier tape having a fine pitch. Also in a film carrier tape having a portion, it is possible to suppress the occurrence of a curled portion which may be a serious defect of the film carrier tape such as a substantial decrease in lead strength and disconnection of a lead.

【0054】また、ソルダーレジスト層を形成する前に
プレスズメッキ層を形成し、次いでソルダーレジスト層
を形成した後に上記のようにしてリード部に無電解メッ
キ層を形成することにより、えぐれ部の発生を抑制でき
る。また、スズメッキをプレスズメッキと本スズメッキ
とに分けて形成することにより、メッキ層の剥離、フク
レなどメッキ欠陥も殆ど発生しない。
Also, by forming a press plating layer before forming a solder resist layer, and then forming a solder resist layer and then forming an electroless plating layer on a lead portion as described above, the generation of a scoured portion Can be suppressed. Further, by forming the tin plating separately into the press plating and the tin plating, plating defects such as peeling of the plating layer and blistering hardly occur.

【0055】従って、本発明の電子部品実装用フィルム
キャリアテープの製造方法により調製された電子部品実
装用フィルムキャリアテープを用いることにより、デバ
イスをより確実に実装することができ、また、フィルム
キャリアテープの経時的な強度の低下、断線などによる
不良も生じにくい。
Therefore, the device can be mounted more reliably by using the electronic component mounting film carrier tape prepared by the method of manufacturing the electronic component mounting film carrier tape of the present invention. Of the strength over time and failure due to disconnection and the like hardly occur.

【0056】[0056]

【実施例】次に本発明の電子部品実装用フィルムキャリ
アテープの製造方法について実施例を示して詳細に説明
するが、本発明はこれらによって限定されるものではな
い。
EXAMPLES Next, the method for producing a film carrier tape for mounting electronic parts of the present invention will be described in detail with reference to examples, but the present invention is not limited thereto.

【0057】[0057]

【実施例1〜3および比較例1〜3】幅70mm、厚さ5
0μmのポリイミドフィルムに、パンチングにより、デ
バイスホール、スプロケットホール、アウターリードの
切断スリットを形成した。次いで、このポリイミドフィ
ルム表面に、エポキシ系接着剤を塗布し、厚さ18μm
の電解銅箔を貼着した。
Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3 Width 70 mm, thickness 5
Device holes, sprocket holes, and cutting slits for outer leads were formed in a 0 μm polyimide film by punching. Next, an epoxy-based adhesive was applied to the surface of the polyimide film, and the thickness was 18 μm.
Was adhered.

【0058】さらに、この電解銅箔上にフォトレジスト
を塗布し、このフォトレジストを露光し、さらにエッチ
ングすることにより銅箔に配線パターンを形成した。形
成した配線パターンにおけるリードのピッチ幅は50μ
mである。こうして形成された配線パターンのリード部
を残してウレタン系ソルダーレジスト塗布液を塗布し、
加熱硬化させた。こうして形成されたソルダーレジスト
層の平均厚さは30μmである。
Further, a photoresist was applied on the electrolytic copper foil, and the photoresist was exposed to light and etched to form a wiring pattern on the copper foil. The lead pitch width in the formed wiring pattern is 50 μm.
m. A urethane-based solder resist coating solution is applied leaving the lead portions of the wiring pattern formed in this manner,
Heat cured. The average thickness of the solder resist layer thus formed is 30 μm.

【0059】上記のようにしてソルダーレジスト層を形
成した後、以下に示す組成のソフトエッチング液を用い
てリード表面をソフトエッチングした。 K228 ・・・100g/リットル H2SO4 ・・・ 10g/リットル 銅イオン濃度(硫酸銅換算量)・・・0.3g/リットル 上記成分に水を加えて全量を1リットルとした。
After forming the solder resist layer as described above, the lead surface was soft-etched using a soft etching solution having the following composition. K 2 S 2 O 8 ··· 100 g / L H 2 SO 4 ··· 10 g / L Copper ion concentration (copper sulfate equivalent) ··· 0.3 g / L Water is added to the above components to make a total volume of 1 L. And

【0060】このソフトエッチング液とリード表面との
接触時間を10秒間に設定し、ソフトエッチング液の温
度を30℃に設定した。水洗後、このテープを以下に示
す組成を有する無電解スズメッキ液に室温(25℃)で
10秒間浸漬してリード部にプレスズメッキ層を形成し
た。 チオ尿素 (NH2)2CS ・・・ 15重量% ホウフッ化スズ Sn(BF4)2・・・ 所定量 次亜リン酸 H3PO4・・・ 6重量% カチオン系界面活性剤・・・ 1重量%以下 上記の成分に水を加えて全量を1リットルとした。
The contact time between the soft etching solution and the lead surface was set to 10 seconds, and the temperature of the soft etching solution was set to 30 ° C. After washing with water, this tape was immersed in an electroless tin plating solution having the following composition at room temperature (25 ° C.) for 10 seconds to form a press plating layer on the lead portion. Thiourea (NH 2 ) 2 CS ··· 15% by weight Tin borofluoride Sn (BF 4 ) 2 ··· Predetermined amount Hypophosphorous acid H 3 PO 4 ··· 6% by weight Cationic surfactant ··· 1% by weight or less Water was added to the above components to make a total volume of 1 liter.

【0061】なお、上記無電解スズメッキ浴におけるホ
ウフッ化スズは、スズメッキ浴中におけるSn2+の濃度
が2g/リットル(比較例1)、3g/リットル(比較
例2)、8g/リットル(比較例3)、14g/リット
ル(実施例1)、18g/リットル(実施例2)、27
g/リットル(実施例3)になるような量で配合した。
The tin borofluoride in the electroless tin plating bath had a Sn 2+ concentration of 2 g / liter (Comparative Example 1), 3 g / liter (Comparative Example 2), and 8 g / liter (Comparative Example) in the tin plating bath. 3), 14 g / liter (Example 1), 18 g / liter (Example 2), 27
g / liter (Example 3).

【0062】上記プレスズメッキの条件は、温度;25
℃(室温)、メッキ時間10秒である。こうしてプレメ
ッキした後、本スズメッキを行った。上記無電解本スズ
メッキの条件は、メッキ浴の温度;70℃、接触時間;
210秒間、Sn2+濃度;20g/リットルに設定して
リード部に平均厚さ0.45μmのスズメッキ層を形成
した。第1層目の無電解スズメッキ層の厚さ:第2層目
の無電解メッキ層の厚さの比は1:10であり、第1層
目の無電解メッキ層が第2層目の無電解メッキ層よりも
薄く形成されている。
The conditions for the above press plating are as follows: temperature;
° C (room temperature) and a plating time of 10 seconds. After pre-plating in this way, the present tin plating was performed. The conditions of the electroless tin plating are as follows: temperature of plating bath; 70 ° C., contact time;
An Sn 2+ concentration of 20 g / liter was set for 210 seconds, and a tin plating layer having an average thickness of 0.45 μm was formed on the lead portion. The ratio of the thickness of the first electroless tin plating layer to the thickness of the second electroless plating layer is 1:10, and the first electroless plating layer is the second electroless plating layer. It is formed thinner than the electrolytic plating layer.

【0063】こうして無電解スズメッキを行った後、水
洗しメッキ層を130℃の加熱することにより電子部品
実装用フィルムキャリアテープを製造した。得られた電
子部品実装用フィルムキャリアテープのリード部を観察
してリードえぐれが生じたリードを選んで、この部分の
断面写真を撮影した。この断面写真からリードえぐれの
深さを測定した。結果を図2に示す。
After performing the electroless tin plating in this manner, the substrate was washed with water and heated at 130 ° C. to produce a film carrier tape for mounting electronic components. By observing the leads of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead having a chipped lead was selected, and a photograph of a cross section of this part was taken. The depth of the lead was measured from this cross-sectional photograph. The results are shown in FIG.

【0064】[0064]

【実施例4〜6および比較例4〜7】実施例1〜3およ
び比較例1〜3において、ソフトエッチング処理を行わ
なかった以外は同様にして電子部品実装用フォルムキャ
リアテープを製造した。得られた電子部品実装用フィル
ムキャリアテープのリード部を観察してリードえぐれが
生じたリードを選んで、この部分の断面写真を撮影し
た。
Examples 4 to 6 and Comparative Examples 4 to 7 Form carrier tapes for mounting electronic components were manufactured in the same manner as in Examples 1 to 3 and Comparative Examples 1 to 3, except that the soft etching treatment was not performed. By observing the leads of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead having a chipped lead was selected, and a photograph of a cross section of this part was taken.

【0065】この断面写真からリードえぐれの深さを測
定した。結果を図2に示す。
From the photograph of the cross section, the depth of the lead burrow was measured. The results are shown in FIG.

【0066】[0066]

【実施例7】実施例2において、リード部の無電解本ス
ズメッキを1段階で行った以外は同様にして電子部品実
装用フィルムキャリアテープを製造した。こうして形成
された無電解スズメッキの合計の厚さは0.45μmで
あった。得られた電子部品実装用フィルムキャリアテー
プのリード部を観察してリードえぐれが生じたリードを
選んで、この部分の断面写真を撮影した。
Example 7 A film carrier tape for mounting electronic components was produced in the same manner as in Example 2, except that the electroless tin plating of the lead portion was performed in one stage. The total thickness of the thus formed electroless tin plating was 0.45 μm. By observing the leads of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead having a chipped lead was selected, and a photograph of a cross section of this part was taken.

【0067】この断面写真からリードえぐれの深さを測
定したところ、発生したリードえぐれの深さは4μmで
あり、実施例2よりも深かった。
When the depth of the lead digging was measured from this cross-sectional photograph, the depth of the generated lead digging was 4 μm, which was deeper than that of Example 2.

【0068】[0068]

【実施例8】実施例2において、ソルダーレジストを塗
布する前に配線パターンをソフトエッチングし、次い
で、厚さ0.03μmのプレスズメッキ層を無電解スズ
メッキにより形成し、このプレスズメッキ層の上に実施
例2と同様にしてソルダーレジスト層を形成し、ソルダ
ーレジスト層から延出しているリード部に実施例2と同
様にして無電解本スズメッキ層を形成した。なお、こう
して形成されたスズメッキ層の合計の厚さは0.45μ
mであった。
Embodiment 8 In Embodiment 2, before applying a solder resist, the wiring pattern is soft-etched, and then a 0.03 μm-thick press-plated layer is formed by electroless tin plating. A solder resist layer was formed in the same manner as in Example 2, and an electroless tin plating layer was formed in the lead portion extending from the solder resist layer in the same manner as in Example 2. The total thickness of the tin plating layer thus formed was 0.45 μm.
m.

【0069】得られた電子部品実装用フィルムキャリア
テープのリード部を観察してリードえぐれが生じたリー
ドを探したがリードえぐれは発生していなかった。
The lead portion of the obtained film carrier tape for mounting electronic components was observed to find a lead in which the chipping occurred, but no chipping occurred.

【0070】[0070]

【実施例9】実施例2において、プレスズメッキ浴にお
けるSn2+濃度15g/リットルに変え、常温におい
て、10秒、30秒、60秒、120秒、210秒間そ
れぞれプレスズメッキを行った後、本メッキ条件を温
度;70℃、時間;210秒、Sn2+濃度20g/リッ
トルに設定して本スズメッキを行った。なお、この被メ
ッキ面はソフトエッチングされていない。
Example 9 In Example 2, the Sn 2+ concentration in the press plating bath was changed to 15 g / liter, and press plating was performed at room temperature for 10 seconds, 30 seconds, 60 seconds, 120 seconds and 210 seconds, respectively. The present tin plating was carried out under the conditions of a plating temperature of 70 ° C., a time of 210 seconds, and a Sn 2+ concentration of 20 g / liter. The surface to be plated is not soft-etched.

【0071】上記のようにして時間を変えてプレスズメ
ッキを行い、本スズメッキした後のリード部を観察し
た。得られた電子部品実装用フィルムキャリアテープの
リード部を観察してリードえぐれが生じたリードを選ん
で、この部分の断面写真を撮影した。この断面写真から
リードえぐれの深さを測定したところ、プレスズメッキ
時間が長くなるに従って、えぐれ深さは次第に浅くな
り、30秒と60秒との間でえぐれ深さが5μm程度に
安定する。
Press plating was carried out for various times as described above, and the lead portion after the tin plating was observed. By observing the leads of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead having a chipped lead was selected, and a photograph of a cross section of this part was taken. When the depth of the lead digging was measured from this cross-sectional photograph, the depth of the digging gradually became shallower as the press plating time became longer, and the depth of the digging became stable at about 5 μm between 30 seconds and 60 seconds.

【0072】この結果を図5に示す。FIG. 5 shows the result.

【0073】[0073]

【実施例10】実施例1において、ソフトエッチングし
たリード表面にプレスズメッキを行わずにSn2+濃度を
15g/リットル、20g/リットル、27g/リット
ルと変えて本スズメッキを行った。得られた電子部品実
装用フィルムキャリアテープのリード部を観察してリー
ドえぐれが生じたリードを選んで、この部分の断面写真
を撮影した。
Embodiment 10 The tin plating was carried out in the same manner as in Embodiment 1 except that the Sn 2+ concentration was changed to 15 g / L, 20 g / L and 27 g / L without performing press plating on the soft-etched lead surface. By observing the leads of the obtained film carrier tape for mounting electronic components, a lead having a chipped lead was selected, and a photograph of a cross section of this part was taken.

【0074】この断面写真からリードえぐれの深さを測
定し、結果を次表2に示す。
The depth of the lead burrow was measured from the photograph of the cross section, and the results are shown in Table 2 below.

【0075】[0075]

【表2】 [Table 2]

【0076】なお、この本スズメッキ条件は、メッキ温
度;70℃、メッキ時間;210秒の条件である。上記
の結果から本スズメッキの際におけるSn2+濃度を本発
明で規定する範囲にすることにより、プレスズメッキを
行わなくてもえぐれ部の深さが低減される。
The tin plating conditions are as follows: plating temperature: 70 ° C., plating time: 210 seconds. From the above results, by setting the Sn 2+ concentration in the present tin plating within the range specified in the present invention, the depth of the undercut can be reduced without performing press plating.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】図1は、無電解スズメッキにより生ずるリード
のえぐれ部を模式的に示す図である。
FIG. 1 is a diagram schematically showing a scoured portion of a lead generated by electroless tin plating.

【図2】図2は、プレスズメッキ浴におけるSn2+の濃
度とリードのえぐれ深さ(えぐれ量)との関係を示すグ
ラフである。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the Sn 2+ concentration in a press plating bath and the scouring depth (screw amount) of a lead.

【図3】図3は、プレスズメッキ層と本メッキ層とを設
けた態様を示す図である。
FIG. 3 is a diagram showing an embodiment in which a press plating layer and a main plating layer are provided.

【図4】図4は、ソルダーレジスト下にプレスズメッキ
層を設けた態様を示す図である。
FIG. 4 is a diagram showing an embodiment in which a press plating layer is provided below a solder resist.

【図5】図5は、プレスズメッキ時間とえぐれ深さとの
関係を示すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing a relationship between a press plating time and a scouring depth.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河 村 浩 文 山口県下関市彦島西山町1丁目1−1 株 式会社エム・シー・エス内 Fターム(参考) 5F044 MM03 MM23 MM48  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuing from the front page (72) Inventor Hirofumi Kawamura 1-1-1 Hikoshima Nishiyamacho, Shimonoseki-shi, Yamaguchi FMC Term FMC (Reference) 5F044 MM03 MM23 MM48

Claims (12)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 可撓性絶縁性フィルムに形成された配線
パターンの少なくともリード部に、Sn2+濃度が13〜
50g/リットルの無電解スズメッキ浴を用いて短時間
プレスズメッキを行った後に、該プレメッキが施された
少なくともリード部に、Sn2+濃度が13〜50g/リ
ットルの範囲内にある無電解スズメッキ浴を用いて本ス
ズメッキを少なくとも1回行うことを特徴とする電子部
品実装用フィルムキャリアテープの製造方法。
1. The method according to claim 1, wherein at least the lead portion of the wiring pattern formed on the flexible insulating film has a Sn 2+ concentration of 13 to 13.
After performing short-time press plating using a 50 g / liter electroless tin plating bath, at least the pre-plated lead portion has an Sn2 + concentration of 13 to 50 g / liter in an electroless tin plating bath. A method for producing a film carrier tape for mounting electronic components, wherein the present tin plating is performed at least once using the method.
【請求項2】 上記プレスズメッキを行う前に、スズメ
ッキ予定面をソフトエッチング処理することを特徴とす
る請求項第1項記載の電子部品実装用フィルムキャリア
テープの製造方法。
2. The method for producing a film carrier tape for mounting electronic parts according to claim 1, wherein a surface to be tin-plated is subjected to soft etching before the press plating.
【請求項3】 上記配線パターン上にソルダーレジスト
層を形成した後に、該ソルダーレジスト層によって被覆
されていないリード部をプレスズメッキし、さらに該リ
ード部に本スズメッキを少なくとも1回行うことを特徴
とする請求項第1項または第2項記載の電子部品実装用フ
ィルムキャリアテープの製造方法。
3. After forming a solder resist layer on the wiring pattern, a lead portion not covered with the solder resist layer is press-plated, and the lead portion is further subjected to at least one tin plating. 3. The method for producing a film carrier tape for mounting electronic components according to claim 1, wherein
【請求項4】 上記配線パターン上にソルダーレジスト
層を形成する前に配線パターン全体にプレスズメッキを
行った後、リード部を残してソルダーレジスト層を形成
し、次いで該ソルダーレジスト層によって被覆されてい
ないリード部に本スズメッキを少なくとも一回行うこと
を特徴とする請求項第1項または第2項記載の電子部品実
装用フィルムキャリアテープの製造方法。
4. After forming a solder resist layer on the entire wiring pattern before press-forming the solder resist layer on the wiring pattern, leaving a lead portion, a solder resist layer is formed, and then covered with the solder resist layer. 3. The method for producing a film carrier tape for mounting electronic components according to claim 1, wherein the tin plating is performed at least once on a lead portion that is not provided.
【請求項5】 上記プレスズメッキ時間が10〜210
秒間の範囲内にあることを特徴とする請求項第1項また
は第2項項記載の電子部品実装用フィルムキャリアテー
プの製造方法。
5. The press plating time is 10 to 210.
3. The method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic parts according to claim 1, wherein the time is within a range of seconds.
【請求項6】上記本スズメッキ層をプレスズメッキ層よ
りも厚く形成することを特徴とする請求項第1項または
第2項記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープの
製造方法。
6. The method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic parts according to claim 1, wherein said tin plating layer is formed thicker than a press plating layer.
【請求項7】上記スズメッキ層が形成されたリード部に
おけるプレスズメッキ層と本スズメッキ層との合計の平
均厚さが0.2〜0.7μmの範囲内にあることを特徴
とする請求項第1項または第2項記載の電子部品実装用
フィルムキャリアテープの製造方法。
7. The method according to claim 1, wherein the total thickness of the press-plated layer and the tin-plated layer in the lead portion on which the tin-plated layer is formed is in the range of 0.2 to 0.7 μm. 3. The method for producing a film carrier tape for mounting electronic components according to claim 1 or 2.
【請求項8】上記配線パターンが、平均厚さ7〜35μ
mの電解銅箔をエッチングすることにより形成されたも
のであることを特徴とする請求項第1項記載の電子部品
実装用フィルムキャリアテープの製造方法。
8. The wiring pattern having an average thickness of 7 to 35 μm.
2. The method for manufacturing a film carrier tape for mounting electronic components according to claim 1, wherein the film carrier tape is formed by etching an electrolytic copper foil having a thickness of m.
【請求項9】 可撓性絶縁性フィルムに形成された配線
パターンのリード部に、Sn2+濃度が13〜50g/リ
ットルの範囲内にある無電解スズメッキ浴を用いて本ス
ズメッキを少なくとも1回行うことを特徴とする電子部
品実装用フィルムキャリアテープの製造方法。
9. The present tin plating is performed at least once on a lead portion of a wiring pattern formed on a flexible insulating film using an electroless tin plating bath having a Sn 2+ concentration in a range of 13 to 50 g / liter. A method for producing a film carrier tape for mounting electronic components, which is performed.
【請求項10】 上記可撓性絶縁性フィルムに形成され
た配線パターンにスズメッキを行う前に、スズメッキ予
定面をソフトエッチング処理することを特徴とする請求
項第9項記載の電子部品実装用フィルムキャリアテープ
の製造方法。
10. The electronic component mounting film according to claim 9, wherein a tin-plated surface is soft-etched before tin-plating the wiring pattern formed on the flexible insulating film. Manufacturing method of carrier tape.
【請求項11】 上記本スズメッキ層のリード部におけ
る平均厚さが0.2〜0.7μmの範囲内にあることを
特徴とする請求項第9項または第10項項記載の電子部
品実装用フィルムキャリアテープの製造方法。
11. The electronic component mounting according to claim 9, wherein an average thickness of the lead portion of the tin plating layer is in a range of 0.2 to 0.7 μm. A method for manufacturing a film carrier tape.
【請求項12】上記本スズメッキ層が形成される配線パ
ターンが、平均厚さ7〜35μmの電解銅箔を用いて形
成されたものであることを特徴とする請求項第9項また
は第10項記載の電子部品実装用フィルムキャリアテー
プの製造方法。
12. A wiring pattern according to claim 9, wherein said tin plating layer is formed using an electrolytic copper foil having an average thickness of 7 to 35 μm. The method for producing a film carrier tape for mounting electronic components according to the above.
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