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DE69731604D1 - Herstellungsverfahren für integrierte Halbleitervorrichtung mit einem chemoresistiven Gasmikrosensor - Google Patents

Herstellungsverfahren für integrierte Halbleitervorrichtung mit einem chemoresistiven Gasmikrosensor

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DE69731604D1
DE69731604D1 DE69731604T DE69731604T DE69731604D1 DE 69731604 D1 DE69731604 D1 DE 69731604D1 DE 69731604 T DE69731604 T DE 69731604T DE 69731604 T DE69731604 T DE 69731604T DE 69731604 D1 DE69731604 D1 DE 69731604D1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
manufacturing
semiconductor device
integrated semiconductor
gas microsensor
chemoresistive gas
Prior art date
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Expired - Lifetime
Application number
DE69731604T
Other languages
English (en)
Inventor
Ubaldo Mastromatteo
Benedetto Vigna
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
STMicroelectronics SRL
Original Assignee
STMicroelectronics SRL
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Filing date
Publication date
Application filed by STMicroelectronics SRL filed Critical STMicroelectronics SRL
Application granted granted Critical
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Expired - Lifetime legal-status Critical Current

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    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
    • G01N27/04—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance
    • G01N27/12—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a solid body in dependence upon absorption of a fluid; of a solid body in dependence upon reaction with a fluid, for detecting components in the fluid

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DE69731604T 1997-01-31 1997-01-31 Herstellungsverfahren für integrierte Halbleitervorrichtung mit einem chemoresistiven Gasmikrosensor Expired - Lifetime DE69731604D1 (de)

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