Claims (1)
Ebene Vakuum-Dichtung zum Abtrennen einer Luftkissen-Lagerung AnsprücheLevel vacuum seal for separating air cushion storage claims
1. Vorrichtung zum Behandeln eines Werkstücks in hohem Vakuum, gekennzeichnet durch Mittel (12, 14;
112, 116; 132, 142), die eine Vakuumkammer (16; 114; 134) bilden sowie erste und zweite auf engem Abstand
befindliche ebene Bereiche (62, 64; 118, 120; 148,150)aufweisen,welche
eine ebene Dichtung für die Vakuumkammer (16; 114; 134) bilden, wobei ein Bereich (62, 64;
118, 120; 148, 150) ein inneres Volumen der Vakuumkammer (16; 114; 134) wenigstens teilweise umschließt,
und wobei ein Bereich (62, 64; 118, 120; 148 , 150) relativ zu dem anderen Bereich (64, 62; 120, 118;
150, 148) parallel zu der Dichtungsebene zum Volumen hin und vom Volumen weg bewegbar ist;1. Apparatus for treating a workpiece in a high vacuum, characterized by means (12, 14;
112, 116; 132, 142) forming a vacuum chamber (16; 114; 134) and the first and second closely spaced
located flat areas (62, 64; 118, 120; 148,150) which
form a planar seal for the vacuum chamber (16; 114; 134), wherein a region (62, 64;
118, 120; 148, 150) at least partially encloses an inner volume of the vacuum chamber (16; 114; 134),
and wherein one area (62, 64; 118, 120; 148, 150) is relative to the other area (64, 62; 120, 118;
150, 148) is movable parallel to the sealing plane towards the volume and away from the volume;
GE/RG/imlGE / RG / iml
einen Halter zum Halten des Werkstücks (20) in der Vakuumkammer (16;114;134) gegenüber einer zu der
Dichtungsebene mit dem beweglichen Bereich parallelen Bewegung;a holder for holding the workpiece (20) in the vacuum chamber (16; 114; 134) opposite one to the
Sealing plane with movement parallel to the movable area;
eine Einrichtung (10; 100; 13 0) zum Behandeln des
Werkstücks (2 0) nach der Bewegung; und eine Absaugeinrichtung (42, 44, 46, 48, 50, 52, 54,
56, 58, 6 0) für zwischen den ebenen Bereichen (62, 64; 118, 120; 148, 150) befindliches Gas zwecks
Bildung der Dichtung, wobei das Absaugen quer zu der Dichtungsebene erfolgt.a device (10; 100; 13 0) for handling the
Workpiece (2 0) after the movement; and a suction device (42, 44, 46, 48, 50, 52, 54,
56, 58, 6 0) for gas located between the flat areas (62, 64; 118, 120; 148, 150) for the purpose of
Formation of the seal, the suction taking place transversely to the sealing plane.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß die Absaugeinrichtung (42, 44, 48, 50, 52, 54, 58) erste und zweite Stufen (42, 44) aufweist,
die in einer parallel zu der Dichtungsebene verlaufenden Richtung voneinander beabstandet angeordnet
sind, um eine abgestufte Dichtung zu bilden.2. Device according to claim 1, characterized in that
that the suction device (42, 44, 48, 50, 52, 54, 58) has first and second stages (42, 44),
which are arranged at a distance from one another in a direction running parallel to the sealing plane
to form a tiered seal.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaugeinrichtung (42, 44, 46, 48,
50, 52, 54, 56, 58, 60) drei Stufen (42, 44, 46) aufweist, die in einer parallel zu der Dichtungsebene
verlaufenden Richtung voneinander beanstandet angeordnet sind, um eine abgestufte Dichtung zu bilden.3. Apparatus according to claim 1, characterized in that the suction device (42, 44, 46, 48,
50, 52, 54, 56, 58, 60) has three steps (42, 44, 46), which in a parallel to the sealing plane
spaced from one another in the extending direction to form a stepped seal.
4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die der Vakuumkammer (16; 114; 134)
am nächsten liegende Stufe (46) die größte Kapazität hat.4. Apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that the vacuum chamber (16; 114; 134)
the closest stage (46) has the greatest capacity.
5. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaug-Stufen (42, 44, 46)
in einem der ebenen Bereiche (62, 64; 118, 120; 148, 150) Kanäle (42, 44, 46) aufweisen, die am
Außenumfang der Vakuumkammer (16; 114; 134) um diese
herum verlaufen und an eine Vakuumpumpe (50, 58,5. Apparatus according to claim 2 or 3, characterized in that the suction stages (42, 44, 46)
in one of the flat areas (62, 64; 118, 120; 148, 150) have channels (42, 44, 46) which on the
Outer circumference of the vacuum chamber (16; 114; 134) around this
run around and connect to a vacuum pump (50, 58,
60) anschließbar sind.60) can be connected.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß mindestens einer der Kanäle (42, 44, 46) durch verzweigte, voneinander beabstandete
Bohrungen im Kanalboden mit der Vakuumpumpe (50, 58, 60) verbindbar ist.6. Apparatus according to claim 5, characterized in that
that at least one of the channels (42, 44, 46) by branched, spaced apart
Bores in the channel bottom can be connected to the vacuum pump (50, 58, 60).
7. Vorrichrung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein Gaskissen-Lager (22, 24, 26, 32, 34, 36,
38) zwischen den ebenen Bereichen (62, 64; 118, 120; 148, 150), wobei die Absaugeinrichtung (42, 44, 46,
48, 52, 54, 56) zwischen der Vakuumkammer (16; 114; 134) und dem Gaskissen-Lager (22, 24, 26, 36, 38)
angeordnet ist.7. Vorrichrung according to claim 1, characterized by a gas cushion bearing (22, 24, 26, 32, 34, 36,
38) between the flat areas (62, 64; 118, 120; 148, 150), the suction device (42, 44, 46,
48, 52, 54, 56) between the vacuum chamber (16; 114; 134) and the gas cushion bearing (22, 24, 26, 36, 38)
is arranged.
8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Gaskissen-Lager (22, 24, 26, 36,
38) Versorgungsöffnungen (22, 24) aufweist, die in einem der ebenen Bereiche (62, 64; 118, 120; 148, 150)
um die Vakuumkammer (16; 114, 134) herum mit gegenseitigem Abstand außerhalb der Absaugeinrichtung
(42, 44, 46, 48, 52 , 54, 56) angeordnet sind.8. Apparatus according to claim 7, characterized in that the gas cushion bearing (22, 24, 26, 36,
38) has supply openings (22, 24) which in one of the flat areas (62, 64; 118, 120; 148, 150)
around the vacuum chamber (16; 114, 134) at a mutual distance outside the suction device
(42, 44, 46, 48, 52, 54, 56) are arranged.
006738?006738?
S>. Vorrichtung nach Anspruch 8.,. ..dadurch gekerin,-
,7i& ich.net, daß Axe. Gasversorgungsöf fn.u.ngen (22, ,24);
ίη mehreren,, voneinander beabständeten .Reihen , .
entlang einer parallel zu der Dichtungsebene verlaufenden
Richtung angeordnet sind.S>. Device according to claim 8.,. ..by gekerin, - , 7i & ich.net, that Ax. Gas supply openings (22, 24); ίη several ,, spaced apart .Rehen,. are arranged along a parallel to de r sealing plane direction.
tO-, .Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichrxet,;
daß jede Gasversorgungsöf fnun.g (22, 24)
mit einer in dem einen ebenen Bereich (62, 64;; 1· ^S,
1:20:; 1:48Λ 15;Θ): verlaufenden Nut (26); in Verbindung
steht,, und daß die Hüten (2.6). eine unv.die Vakuümkarartier
ti 6 ^ 11;4; 1:'3:4)/ herum verlaufende Einfassung
bilden... TO, .Device according to Claim 8, characterized in; that each Gasversorgungsöf fnun.g (22, 24) with a in the a planar region (62, 64; 1 ^ S · 1:20 1:48 :; Λ 15; Θ): extending groove (26); is related, and that the hats (2.6). an unv. the Vakuümkarartier ti 6 ^ 11; 4; 1: '3 : 4) / create a surrounding border ...
1.1. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,,
daß' die Nuten (26); voneinander Abstand.
haben,, sq. daß. die Einfassung unterbrec.hun.gen. besitzt.1.1. Device according to claim 10, characterized in that,
that 'the grooves (26); distance from each other.
have ,, sq. that. interrupt the edging. owns.
1;2;. Vorrichtung nach Anspruch 8:, dadurch gek.ennzeichneit,
daß sich in jeder Gasversorgungsöffnung:
(;2;2,. 2,4); eine gebogene Zürne ssungs;stange (28 )i befindet.1; 2 ;. Device according to claim 8 :, characterized gek.ennzeichneit,
that in every gas supply opening:
(; 2; 2,. 2,4); a curved ssung; rod (28) i is located.
1-!3:., Vqrrichtun,g:. nach. Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Stangen (28), an der Oberfläche
d;es ebenen Bereichs (62, 64; 1; 18 ,ä 1:2.0.-;.. 148, 150):
genutet sind.1-! 3:., Device, g :. after. Claim 12, characterized in that the rods (28) are grooved on the surface of the flat area (62, 64; 1; 18, ä 1: 2.0 .-; .. 148, 150).
1;.4., Vorrichtun-g nach Anspruch \, dadurch gekennzeiehnet,
#aß d-ie/ einander gegenüberstehenden; Oberflächen
der eben;en; Bereiche (·:6·2;, 64;: 1:18, 120;;.- 1ί4·&,
1; 5;0)1; .4., Device according to claim \, characterized in that # aß d-ie / facing each other; Surfaces of the flat ; en ; Regions (:;: 1:18, 120 ;; .- 1ί4 ·, 1, 5, 0 · 6 · 2 ;, 64)
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächen so geläppt sind, daß
die Rauhigki
inches)ist.15. The apparatus according to claim 14, characterized in that the surfaces are lapped so that the Rauhigki
inches) is.
die Rauhigkeit nicht größer als 0,1 · 10 m(4 micro-the roughness is not greater than 0.1 x 10 m (4 micro-
16. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß die Oberflächen so geläppt sind, daß die Abweichung von der Ebene nicht größer als
5,08 · i0~6m(0,0002 inch)ist.16. Apparatus according to claim 14, characterized in that the surfaces are lapped so that the deviation from the plane is no greater than 5.08 · 10 ~ 6 m (0.0002 inches).
17. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (10; 100; 130) zum
Behandeln des Werkstücks (20) eine säulenförmige Elektronenstrahl-Anordnung (10; 100; 130) aufweist,
die mit der Vakuumkammer (16; 114; 134) in Verbindung
steht.17. The device according to claim 1, characterized in that the device (10; 100; 130) for
Treating the workpiece (20) has a columnar electron beam arrangement (10; 100; 130),
with the vacuum chamber (16; 114; 134) in connection
stands.
18. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der ebene Bereich (64; 118; 148), der
dem beweglichen Bereich (62; 120; 150) zugekehrt ist, eine das Volumen bildende Aussparung aufweist.18. The device according to claim 1, characterized in that the flat region (64; 118; 148), the
facing the movable area (62; 120; 150) has a recess forming the volume.