DE67987T1

DE67987T1 - Flache luftleere dichtung zur isolierung eines luftkissens.

Info

Publication number: DE67987T1
Application number: DE1981900255
Authority: DE
Inventors: L. Wayne Fox, Deceased
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1979-12-26
Filing date: 1980-12-23
Publication date: 1983-04-14

Claims

Ebene Vakuum-Dichtung zum Abtrennen einer Luftkissen-Lagerung Ansprüche

1. Vorrichtung zum Behandeln eines Werkstücks in hohem Vakuum, gekennzeichnet durch Mittel (12, 14; 112, 116; 132, 142), die eine Vakuumkammer (16; 114; 134) bilden sowie erste und zweite auf engem Abstand befindliche ebene Bereiche (62, 64; 118, 120; 148,150)aufweisen,welche eine ebene Dichtung für die Vakuumkammer (16; 114; 134) bilden, wobei ein Bereich (62, 64; 118, 120; 148, 150) ein inneres Volumen der Vakuumkammer (16; 114; 134) wenigstens teilweise umschließt, und wobei ein Bereich (62, 64; 118, 120; 148 , 150) relativ zu dem anderen Bereich (64, 62; 120, 118; 150, 148) parallel zu der Dichtungsebene zum Volumen hin und vom Volumen weg bewegbar ist;

GE/RG/iml

einen Halter zum Halten des Werkstücks (20) in der Vakuumkammer (16;114;134) gegenüber einer zu der Dichtungsebene mit dem beweglichen Bereich parallelen Bewegung;

eine Einrichtung (10; 100; 13 0) zum Behandeln des Werkstücks (2 0) nach der Bewegung; und eine Absaugeinrichtung (42, 44, 46, 48, 50, 52, 54, 56, 58, 6 0) für zwischen den ebenen Bereichen (62, 64; 118, 120; 148, 150) befindliches Gas zwecks Bildung der Dichtung, wobei das Absaugen quer zu der Dichtungsebene erfolgt.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaugeinrichtung (42, 44, 48, 50, 52, 54, 58) erste und zweite Stufen (42, 44) aufweist, die in einer parallel zu der Dichtungsebene verlaufenden Richtung voneinander beabstandet angeordnet sind, um eine abgestufte Dichtung zu bilden.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaugeinrichtung (42, 44, 46, 48, 50, 52, 54, 56, 58, 60) drei Stufen (42, 44, 46) aufweist, die in einer parallel zu der Dichtungsebene verlaufenden Richtung voneinander beanstandet angeordnet sind, um eine abgestufte Dichtung zu bilden.

4. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die der Vakuumkammer (16; 114; 134) am nächsten liegende Stufe (46) die größte Kapazität hat.

5. Vorrichtung nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Absaug-Stufen (42, 44, 46) in einem der ebenen Bereiche (62, 64; 118, 120; 148, 150) Kanäle (42, 44, 46) aufweisen, die am Außenumfang der Vakuumkammer (16; 114; 134) um diese herum verlaufen und an eine Vakuumpumpe (50, 58,

60) anschließbar sind.

6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens einer der Kanäle (42, 44, 46) durch verzweigte, voneinander beabstandete Bohrungen im Kanalboden mit der Vakuumpumpe (50, 58, 60) verbindbar ist.

7. Vorrichrung nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch ein Gaskissen-Lager (22, 24, 26, 32, 34, 36, 38) zwischen den ebenen Bereichen (62, 64; 118, 120; 148, 150), wobei die Absaugeinrichtung (42, 44, 46, 48, 52, 54, 56) zwischen der Vakuumkammer (16; 114; 134) und dem Gaskissen-Lager (22, 24, 26, 36, 38) angeordnet ist.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Gaskissen-Lager (22, 24, 26, 36, 38) Versorgungsöffnungen (22, 24) aufweist, die in einem der ebenen Bereiche (62, 64; 118, 120; 148, 150) um die Vakuumkammer (16; 114, 134) herum mit gegenseitigem Abstand außerhalb der Absaugeinrichtung (42, 44, 46, 48, 52 , 54, 56) angeordnet sind.

006738?

S>. Vorrichtung nach Anspruch 8.,. ..dadurch gekerin,- ,7i& ich.net, daß Axe. Gasversorgungsöf fn.u.ngen (22, ,24); ίη mehreren,, voneinander beabständeten .Reihen , . entlang einer parallel zu de^r Dichtungsebene verlaufenden Richtung angeordnet sind.

tO-, .Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichrxet,; daß jede Gasversorgungsöf fnun.g (22, 24) mit einer in dem einen ebenen Bereich (62, 64;_; 1· ^S, 1:20:; 1:48_Λ 15_;Θ): verlaufenden Nut (26); in Verbindung steht,, und daß die Hüten (2.6). eine unv.die Vakuümkarartier ti 6 ^ 11;4; 1:'3^:4)/ herum verlaufende Einfassung bilden...

1.1. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,, daß' die Nuten (26); voneinander Abstand. haben,, sq. daß. die Einfassung unterbrec.hun.gen. besitzt.

1;2;. Vorrichtung nach Anspruch 8:, dadurch gek.ennzeichneit, daß sich in jeder Gasversorgungsöffnung: (;2;2,. 2,4); eine gebogene Zürne ssungs;stange (28 )i befindet.

1-!3:., Vqrrichtun,g_:. nach. Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Stangen (28), an der Oberfläche d;es ebenen Bereichs (62, 64; 1; 18 ,_ä 1:2.0.-;.. 148, 150): genutet sind.

1;.4., Vorrichtun-g nach Anspruch \, dadurch gekennzeiehnet, #aß d-ie/ einander gegenüberstehenden; Oberflächen der eben_;en_; Bereiche (·:6·2;, 64;_: 1:18, 120;;.- 1ί4·&, 1; 5;0)

15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächen so geläppt sind, daß die Rauhigki
inches)ist.

die Rauhigkeit nicht größer als 0,1 · 10 m(4 micro-

16. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Oberflächen so geläppt sind, daß die Abweichung von der Ebene nicht größer als 5,08 · i0~⁶m(0,0002 inch)ist.

17. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung (10; 100; 130) zum Behandeln des Werkstücks (20) eine säulenförmige Elektronenstrahl-Anordnung (10; 100; 130) aufweist, die mit der Vakuumkammer (16; 114; 134) in Verbindung steht.

18. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der ebene Bereich (64; 118; 148), der dem beweglichen Bereich (62; 120; 150) zugekehrt ist, eine das Volumen bildende Aussparung aufweist.