DE4327876C2 - Meßstrecke für einen elektromagnetischen Durchflußmesser und Verfahren zu ihrer Herstellung - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft eine Meßstrecke für einen elek­ tromagnetischen Durchflußmesser mit einem metallischen Meßrohr aus einem nicht-magnetischen Material, einem Satz von Magnetspulen zur Erzeugung eines Magnetfelds mit einer Richtung im wesentlichen senkrecht zur Durch­ flußrichtung, mit einer Elektrodenanordnung, die im wesentlichen senkrecht zur Magnetfeldrichtung und im wesentlichen senkrecht zur Durchflußrichtung angeordnet ist, und mit einem elektrischen Isolator auf der Innen­ seite des Meßrohres, und ein Verfahren zur Herstellung einer Meßstrecke für einen elektromagnetischen Durch­ flußmesser mit einem metallischen Meßrohr aus einem nicht-magnetischen Material, einem Satz von Magnetspu­ len zur Erzeugung eines Magnetfelds mit einer Richtung im wesentlichen senkrecht zur Durchflußrichtung, mit einer Elektrodenanordnung, die im wesentlichen senk­ recht zur Magnetfeldrichtung und im wesentlichen senk­ recht zur Durchflußrichtung angeordnet ist, und mit einem elektrischen Isolator auf der Innenseite des Meß­ rohres.

Derartige Meßstrecken dienen zur Bestimmung der Durch­ flußmenge von Flüssigkeiten, beispielsweise um die Flüssigkeiten im richtigen Maß dosieren zu können. Hierbei reicht der Anwendungsbereich von sehr kleinen Meßrohren mit wenigen Quadratmillimetern Strömungsquer­ schnitt zu recht großen Meßrohren, die einen erheblich größeren Strömungsquerschnitt aufweisen. Insbesondere die letztgenannten Rohre müssen das Gewicht und den Druck der durchfließenen Flüssigkeit aufnehmen können, ohne darunter zu leiden. Aus diesem Grund wählt man in vielen Fällen ein metallisches Material, wie Aluminium oder Edelstahl. Um das Magnetfeld nicht zu stören, ist hierbei Voraussetzung, daß das Material des Meßrohres nicht magnetisch ist, also das Magnetfeld nicht beein­ flußt. Da die meisten metallischen Materialien aber elektrisch leitfähig sind, muß eine elektrische Isolie­ rung zwischen der Flüssigkeit und dem Metallrohr vor­ gesehen sein. Andernfalls würde das Meßrohr selbst die durch die vorbeiströmende Flüssigkeit und das Magnet­ feld erzeugte Spannung kurzschließen und eine Messung verhindern. Die Isolation muß hierbei verschiedene An­ forderungen erfüllen. Sie muß einerseits den notwendi­ gen, sehr großen elektrischen Widerstand aufweisen, um als elektrischer Isolator wirken zu können. Anderer­ seits muß sie natürlich auch gegen die durchfließenden Flüssigkeiten beständig sein. In vielen Fällen kommt hinzu, daß auch eine gewisse Temperaturbeständigkeit erforderlich ist, insbesondere dann, wenn der Durch­ flußmesser in Systemen eingesetzt wird, die von Zeit zu Zeit gereinigt werden müssen, beispielsweise in der Lebensmittelindustrie, wo aus Hygienegründen die Reini­ gung mit Temperaturen von weit über 100°C und teilwei­ se aggressiven Reinigungsmitteln durchgeführt werden muß. Kunststoffe, die an sich die notwendigen dielek­ trischen und Isolationseigenschaften aufweisen, kommen hierfür in der Regel nicht in Betracht, weil sie die erhöhten Temperaturen nicht aushalten.

DE 39 17 975 A1 zeigt ein Meßrohr für einen elektroma­ gnetischen Durchmesser mit einer Auskleidung aus Email, die auch zur elektrischen Isolierung dient. Diese Emailschicht weist eine beträchtliche Dicke auf, die im Ausführungsbeispiel etwa 0,3 mm beträgt.

JP 62-35 224 A zeigt einen elektromagnetischen Durch­ flußmesser mit einem Meßrohr, das gebildet ist durch eine Rohrleitung aus Edelstahl, auf dessen Innenseite NiCr durch Plasmasprühen aufgebracht wird. Diese aufge­ sprühte Schicht wird dann mit einem hochpolymerem Mate­ rial, beispielsweise Fluorharz beschichtet.

JP 58-53 718 A zeigt ein ähnliches Meßrohr, bei dem ein Zylinderkörper aus Aluminium oder einer Aluminiumlegie­ rung mit einem Aluminiumoxid beschichtet wird. Diese Beschichtung ihrerseits wird durch ein Isoliermaterial, beispielsweise Teflon abgedeckt. Hierdurch erspart man sich eine Verstärkungsstruktur in der Isolierschicht.

W. Schatt: Werkstoffe des Maschinen-, Anlagen- und Ap­ paratebaus, 2. Auflage, Leipzig: VEB-Verlag, 1982, S. 240-244 offenbart, daß man Metalle dadurch schützen kann, daß man sie mit einer Aluminiumbeschichtung ver­ sieht oder eine keramische Schutzschicht aufspritzt.

US 3 750 468 zeigt eine Meßstrecke für einen elektroma­ gnetischen Durchflußmesser, bei der in ein Rohr aus Titan ein rohrförmiger Einsatz aus Aluminiumoxid einge­ setzt ist. Dabei handelt es sich um ein gesondertes Teil, nämlich eine Hülse, die in das Meßrohr hineinge­ schoben ist. Dieser Einsatz dient elektrisch als Isola­ tor. Er ist für die meisten Anwendungszwecke auch wi­ derstandsfähig genug, insbesondere ist er auch gegen höhere Temperatur beständig und weist eine gewisse Wi­ derstandskraft gegen aggressive Flüssigkeiten auf.

Allerdings ist die Herstellung einer derartigen Meß­ strecke nicht ganz problemlos. Der Einsatz muß überall, d. h. auf seiner gesamten Länge und an seinem gesamten Umfang, möglichst dicht an dem Metallrohr anliegen. Dies erfordert eine sehr präzise Vorarbeit, damit die Außenseite des Einsatzes und die Innenseite des Metall­ rohres einen Querschnitt aufweisen, der möglichst genau kreisrund ist. Außerdem müssen das Außenmaß des Einsat­ zes und das Innenmaß des Rohres exakt aneinander ange­ paßt werden, damit der Halt des Einsatzes im Rohr bei­ spielsweise durch Einschrumpfen erzielt werden kann. Selbst wenn das Einschrumpfen, bei dem das Metallrohr erwärmt, auf den Einsatz aufgeschoben und danach abge­ kühlt wird, mit der notwendigen Sorgfalt durchgeführt wird, kann es hin und wieder vorkommen, daß der Einsatz den dabei entstehenden mechanischen Beanspruchungen nicht standhält und beschädigt wird. In vielen Fällen wird eine derartige Beschädigung, die sich etwa in Ge­ stalt von Haarrissen zeigen kann, nicht bemerkt, so daß die Meßstrecke nicht mit der geforderten Genauigkeit arbeiten kann.

Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Meßstrecke mit einer höheren Zuverlässigkeit herzustel­ len, wobei diese Meßstrecke auch bei extremen Einsatz­ bedingungen verwendbar ist.

Diese Aufgabe wird bei einer Meßstrecke der eingangs genannten Art dadurch gelöst, daß der Isolator durch eine Oberflächenschicht aus Metalloxid oder Metallni­ trit auf der Innenseite des Meßrohres gebildet ist, die eine Dicke größer als 10 µm aufweist, wobei an dem Meß­ rohr eine Metallschicht aus dem Metall der Oberflächen­ schicht angelagert und innig mit dem Meßrohr verbunden ist und die Oberflächenschicht an die Metallschicht angelagert ist.

Der Isolator wird also nicht mehr durch ein getrenntes Bauelement gebildet, das im Meßrohr befestigt werden muß, sondern durch eine Metalloxid- oder Metallnitrit- Schicht, die als Oberflächenschicht ausgebildet ist. Durch die Dicke größer als 10 µm werden die notwendigen elektrischen Isolationseigenschaften gewährleistet. Me­ talloxid bzw. Metallnitrit haben auch die notwendige Widerstandsfähigkeit gegen erhöhte Temperaturen bzw. aggressive Flüssigkeiten.

Die Metallschicht läßt sich einerseits sehr fest mit dem Metall des Meßrohres verbinden. Im Grenzbereich entsteht hierbei eine Legierung zwischen dem Metall des Meßrohres und dem Metall der Metallschicht. Anderer­ seits kann die Metallschicht an ihrer Oberfläche oxi­ dieren oder nitrieren bzw. oxidiert werden oder ni­ triert werden, so daß die darauf liegende Oberflächen­ schicht aus Metalloxid oder Metallnitrit eine Grundlage findet, an der sie sich sehr innig befestigen kann. Es hat sich nämlich herausgestellt, daß in vielen Fällen ein Anlagern eines Oxids an einem Oxid bzw. eines Ni­ trits an einem Nitrit leichter möglich ist als das An­ lagern eines Oxids bzw. eines Nitrits am Metall selbst. Mit dieser Vorgehensweise kann man die Oberflächen­ schicht innig mit der Metallschicht verbinden. Diese Verbindung geht über ein reines Anhaften oder Kleben am Meßrohr hinaus. Es handelt sich vielmehr um eutektische Verbindungen, kovaltene oder Ionenverbindungen oder ähnliches auf atomarer Basis.

Hierbei ist besonders bevorzugt, daß das Meßrohr und die Metallschicht aus dem gleichen Material gebildet sind. Metallrohr und Metallschicht können hierbei sogar einstückig ausgebildet sein, so daß die Metallschicht nicht mehr erkennbar ist. Trotzdem ist sie funktionell als Träger für die anfängliche Oxid- oder Nitrit- Schicht vorhanden, auf der die Oberflächenschicht auf­ gebaut ist.

Vorzugsweise besteht zwischen dem Meßrohr und der Me­ tallschicht eine eutektische Verbindung oder das Meß­ rohr und die Metallschicht sind einteilig ausgebildet und die Oberflächenschicht ist als Kristallanordnung an die Metallschicht angelagert. Durch die eutektische Verbindung zwischen Meßrohr und Metallschicht läßt sich eine besonders innige Verbindung zwischen diesen beiden Abschnitten des Meßrohres erzielen. Diese kann prak­ tisch genauso innig sein, wie bei einer einteiligen Ausbildung. Da an der Innenseite des Meßrohres (bei einteiliger Ausbildung) bzw. der Metallschicht bereits eine dünne Oxid- oder Nitrit-Schicht entsteht, sind hier hervorragende Anknüpfungs- oder Verbindungspunkte für die Kristallanordnung gegeben, die sich als Ober­ flächenschicht anlagern kann.

In einer besonders bevorzugten Ausgestaltung ist die Metallschicht aus Tantal und die Oberflächenschicht aus Tantalpentoxid gebildet. Hiermit läßt sich eine hohe Festigkeit mit einer guten elektrischen Isolierung ver­ binden.

In einer anderen Alternative ist die Metallschicht aus Titan und die Oberflächenschicht aus Titannitrit gebil­ det. Titan hat ebenfalls eine hohe mechanische Festigkeit. Titannitrit zeigt gegenüber vielen, auch aggressiven Flüssigkeiten, eine gute Widerstandsfähig­ keit.

Die Aufgabe wird bei einem Verfahren der eingangs ge­ nannten Art dadurch gelöst, daß die Innenseite des Meß­ rohres oxidiert bzw. nitriert wird und ein Metalloxid oder ein Metallnitrit an die so entstandene Oxid- bzw. Nitrit-Schicht angelagert wird.

Die meisten Metalle oxidieren bereits unter dem Einfluß des Luftsauerstoffs. Allerdings erreicht die so entste­ hende Oxid-Schicht nicht die geforderte Dicke von 10 µm. Vielmehr bewegt sich die Dicke der durch natür­ liche Oxidation entstandenen Schicht im Bereich von etwa 1 µm, was in der Regel für die notwendige elektri­ sche Isolierung nicht ausreichen wird. Die Herstellung einer dickeren Oxidschicht ist aber mit Schwierigkeiten verbunden. Hierzu müßten Sauerstoffatome bis in die Tiefe der Oberfläche des Metalls vorgebracht werden. Andererseits ist die Anlagerung eines Metalloxids an das reine Metall nicht ganz einfach, weil hier oft nicht die notwendigen Bindungskräfte im atomaren Be­ reich erzielt werden können. Durch die Vorbereitung der Innenseite des Meßrohres, nämlich die Oxidierung bzw. Nitrierung, wird an der Innenseite aber bereits eine Art Verbindungs- oder Halteschicht erreicht, an der die Oxid- bzw. Nitrit-Schicht mit der notwendigen Dicke angelagert werden kann.

Bevorzugterweise wird vor dem Oxidieren bzw. Nitrieren der Innenseite des Meßrohres eine Metallschicht an der Innenseite des Meßrohres angelagert und diese Metall­ schicht wird oxidiert bzw. nitriert. Das Anlagern einer Metallschicht kann in der Regel mit der notwendigen Bindungskraft erfolgen. Hierbei gibt es eine recht gro­ ße Vielzahl von Kombinationsmöglichkeiten verschiedener Metalle untereinander, die fast alle über ausreichende Bindungskräfte verfügen, um die notwendige innige Ver­ bindung zwischen Metallrohr und Metallschicht zu erzie­ len. Man kann das Metall der Metallschicht nun danach auswählen, daß die an seiner Oberfläche durch natürli­ che oder künstliche Oxidierung oder Nitrierung hervor­ gerufene Schicht die gewünschte Bindung zur Oxid- bzw. Nitrit-Schicht, die angelagert werden soll, eingeht.

Bevorzugterweise wird die Metallschicht durch Elektro­ lyse aufgetragen. Elektrolyse an sich ist ein bekanntes Verfahren. Im Zusammenhang mit der Erfindung ist dieses Auftragsverfahren aber besonders vorteilhaft, weil hiermit die gewünschte Schichtdicke der Metallschicht relativ schnell und mit der gewünschten hohen Genauig­ keit erzielt werden kann.

Vorzugsweise ist das Metall der Metallschicht das glei­ che wie das der Oxid- bzw. Nitrit-Schicht. Da die Me­ tallschicht an ihrer freien Oberfläche oxidiert bzw. nitriert wird, ergibt sich hier bereits eine, wenn auch dünne, Oxid- bzw. Nitrit-Schicht, an der sich das nach­ folgend aufzutragene Oxid bzw. Nitrit mit der notwendi­ gen Festigkeit anlagern kann.

Hierbei ist besonders bevorzugt, daß die Oxid- bzw. Nitrit-Schicht durch Kristallzüchtung an der oxidierten bzw. nitrierten Oberfläche erzeugt wird. Hierzu läßt sich beispielsweise ein sogenanntes Sol-Gel-Verfahren anwenden, bei dem die bereits oxidierte Oberfläche auf der Innenseite des Rohres einer Keramik- oder Metall­ oxidlösung ausgesetzt wird. Da die auf natürliche Weise entstandene oder künstlich erzeugte Oxid- bzw. Nitrit- Schicht an der Innenseite des Metallrohres die notwendigen Kristallisationskeime bereit stellt, läßt sich die Kristallisation mit der notwendigen Zuverlässig­ keit, Geschwindigkeit und Genauigkeit durchführen.

In einer anderen Alternative wird die Oxid- bzw. Ni­ trit-Schicht durch Gasphasenabscheidung oder Sputtering erzeugt. Das Verfahren der Gasphasenabscheidung ist auch unter der Abkürzung CVD (chemical vapour deposi­ tion) bekannt. In beiden Verfahren wird das Oxid bzw. Nitrit der Oberfläche mit einer gewissen Energie zuge­ führt, durch die sich die notwendige Verhaftung des Nitrits bzw. Oxids an der Oberfläche ergibt.

Die Oxid- bzw. Nitritschicht läßt sich in einer anderen vorteilhaften Ausgestaltung auch durch eine beschleu­ nigte Oxidation bzw. Nitrierung der Innenseite des Meß­ rohres erzeugen. Hierzu lassen sich beispielsweise Ver­ fahren wie Ionenimplantation, Plasmaspritzen oder Be­ handlung mit stark oxidierenden Reagenzien, insbesonde­ re Oxalsäure, verwenden. In allen Fällen ist es zwar möglich, die notwendige Dicke der Oxidschicht von 10 µm oder mehr zu erreichen, die Verfahren bedingen jedoch einen relativ großen Aufwand.

Die Erfindung wird im folgenden anhand eines bevorzug­ ten Ausführungsbeispiels in Verbindung mit der Zeich­ nung beschrieben. Hierin zeigen:

Fig. 1 eine schematische Darstellung einer Meß­ strecke und

Fig. 2 bis 5 vier Abschnitt der Herstellung eines Meß­ rohres.

Eine Meßeinrichtung 1 weist ein Meßrohr 2 auf, durch das Flüssigkeit in Richtung eines Pfeiles 3 strömt. Eine Magnetanordnung 4 erzeugt ein Magnetfeld in Rich­ tung eines Pfeiles 5, wobei die Richtung des Magnetfel­ des 6 senkrecht zur Durchflußrichtung 3 liegt. Ferner ist eine Elektrodenanordnung 6 im wesentlichen senk­ recht zur Durchflußrichtung 3 und zur Richtung des Ma­ gnetfeldes 5 vorgesehen, die mit einem Spannungsmesser 8 verbunden ist und Komponenten eines elektrischen Fel­ des mißt, die in Richtung des Pfeiles 7 verlaufen, die wiederum senkrecht sowohl zur Durchflußrichtung 3 als auch zur Magnetfeldrichtung 5 ist.

Das Meßrohr 2 ist aus einem nicht-magnetischen Material gebildet, wie Edelstahl, Aluminium, Titan oder Tantal. Nicht-magnetisch soll hierbei bedeuten, daß das durch die Magnetanordnung 4 erzeugte Magnetfeld 5 durch das Meßrohr 2 nicht beeinflußt oder gestört wird.

Derartige Metalle sind zwar nicht-magnetisch, sie wei­ sen jedoch eine elektrische Leitfähigkeit auf, so daß sie gegenüber der durchfließenden Flüssigkeit isoliert werden müssen. Die Isolierung erfolgt mit Hilfe einer Metalloxidschicht auf der Innenseite des Rohres, deren Herstellung im folgenden näher erläutert werden soll. In gleicher Weise läßt sich natürlich auch ein Metall­ nitrit an der inneren Oberfläche des Metallrohres 2 anlagern.

An das "nackte" Metallrohr 2 aus Fig. 2 wird zunächst eine Metallschicht 9 angelagert (Fig. 3). Dies kann beispielsweise mit Hilfe eines Elektrolyse-Verfahrens geschehen. Hierbei entsteht zwischen dem Meßrohr 2 und der Metallschicht 9 eine eutektische Verbindung, d. h. das Meßrohr 2 und die Metallschicht 9 sind sehr innig miteinander verbunden.

Wie in Fig. 4 dargestellt, läßt man nun die Metall­ schicht 9 oxidieren, d. h. es entsteht an ihrer Oberflä­ che eine dünne Oxidschicht 10, die durch Punkte ange­ deutet ist. Diese Oxidschicht hat allerdings nur eine relativ kleine Dicke von meist nicht mehr als 1 µm, was zur elektrischen Isolierung meistens nicht ausreicht. Die Oxidschicht 10 dient jedoch als Anlagefläche für eine Oberflächenschicht 11 aus einem Metalloxid (Fig. 5), das beispielsweise durch eine Kristallzüchtung an der durch Oxidierung der Oberfläche erzeugten Oxid­ schicht 10 erzeugt wird. Es verbindet sich hierbei nicht mehr ein Oxid mit einem Metall, sondern ein Oxid mit einem Oxid, was eine hervorragende Verbindung gibt. Wenn das Metall der Metallschicht 9 und das Metall der Oberflächenschicht 11, das das Metalloxid bildet, iden­ tisch sind, lassen sich hier mit einfachen Mitteln sehr innige und feste Verbindungen zwischen der Oberflächen­ schicht 11 und dem Meßrohr 2 herstellen. Die Oberflä­ chenschicht kann durch verschiedene Verfahren erzeugt werden. Neben der Kristallzüchtung kommt auch eine Gas­ phasenabscheidung oder Sputtering in Betracht.

Natürlich läßt sich die Oxidschicht auch durch eine beschleunigte Oxidation der Innenseite des Meßrohres erzeugen. Hierzu kann man beispielsweise Verfahren wie Ionenimplantation, Plasmaspritzen oder Behandlung mit stark oxidierenden Reagenzien verwenden.

Die Oberflächenschicht 11 kann man nun sukzessive so weit aufbauen, daß sie die geforderte Dicke von 10 µm oder mehr hat. Die so hergestellte Schicht hat nicht nur die notwendige elektrische Widerstandskraft, sie ist auch ausreichend widerstandsfähig gegenüber den meisten durchfließenden Flüssigkeiten, auch wenn diese eine erhöhte Temperatur aufweisen.

Statt einer Oxidschicht 11 läßt sich auch eine Nitrit­ schicht verwenden, die im Prinzip auf gleiche Weise hergestellt werden kann. Wenn man das Meßrohr 2 aus dem gleichen Material wie die Metallschicht 9 wählt (oder umgekehrt) kann man natürlich auch das Meßrohr 2 und die Metallschicht 9 einstückig ausbilden.

Bevorzugte Werkstoffkombinationen sind hierbei Tantal für die Metallschicht 9 und Tantalpentoxid für die Oberflächenschicht 11 oder Titan für die Metallschicht 9 und Titannitrit für die Oberflächenschicht 11.

Claims (12)

1. Meßstrecke für einen elektromagnetischen Durchfluß­ messer mit einem metallischen Meßrohr aus einem nicht-magnetischen Material, einem Satz von Magnet­ spulen zur Erzeugung eines Magnetfelds mit einer Richtung im wesentlichen senkrecht zur Durchfluß­ richtung, mit einer Elektrodenanordnung, die im wesentlichen senkrecht zur Magnetfeldrichtung und im wesentlichen senkrecht zur Durchflußrichtung angeordnet ist, und mit einem elektrischen Isolator auf der Innenseite des Meßrohres, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Isolator durch eine Oberflächen­ schicht (11) aus Metalloxid oder Metallnitrit auf der Innenseite des Meßrohres (2) gebildet ist, die eine Dicke größer als 10 µm aufweist, wobei an dem Meßrohr (2) eine Metallschicht (9) aus dem Metall der Oberflächenschicht (11) angelagert und innig mit dem Meßrohr (2) verbunden ist und die Oberflä­ chenschicht (11) an die Metallschicht (9) angela­ gert ist.

2. Meßstrecke nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Meßrohr (2) und die Metallschicht (9) aus dem gleichen Material gebildet sind.

3. Meßstrecke nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekenn­ zeichnet, daß zwischen dem Meßrohr (2) und der Me­ tallschicht (9) eine eutektische Verbindung besteht oder das Meßrohr (2) und die Metallschicht (9) ein­ teilig ausgebildet sind und die Oberflächenschicht (11) als Kristallanordnung an die Metallschicht (9) angelagert ist.

4. Meßstrecke nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, daß die Metallschicht (9) aus Tantal und die Oberflächenschicht (11) aus Tantal­ pentoxid gebildet ist.

5. Meßstrecke nach einem der Ansprüche 1 bis 3, da­ durch gekennzeichnet, daß die Metallschicht (9) aus Titan und die Oberflächenschicht (11) aus Titanni­ trit gebildet ist.

6. Verfahren zur Herstellung einer Meßstrecke für ei­ nen elektromagnetischen Durchflußmesser mit einem metallischen Meßrohr aus einem nicht-magnetischen Material, einem Satz von Magnetspulen zur Erzeugung eines Magnetfelds mit einer Richtung im wesentli­ chen senkrecht zur Durchflußrichtung, mit einer Elektrodenanordnung, die im wesentlichen senkrecht zur Magnetfeldrichtung und im wesentlichen senk­ recht zur Durchflußrichtung angeordnet ist, und mit einem elektrischen Isolator auf der Innenseite des Meßrohres, dadurch gekennzeichnet, daß die Innen­ seite des Meßrohres (2) oxidiert bzw. nitriert wird und ein Metalloxid oder ein Metallnitrit an die so entstandene Oxid- bzw. Nitrit-Schicht (10) angela­ gert wird.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß vor dem Oxidieren bzw. Nitrieren der Innenseite des Meßrohres (2) eine Metallschicht (9) an der Innenseite des Meßrohres (2) angelagert und diese Metallschicht (9) oxidiert bzw. nitriert wird.

8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallschicht (9) durch Elektrolyse aufge­ tragen wird.

9. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Metall der Metallschicht (9) das gleiche ist wie das der Oxid- bzw. Nitrit- Schicht (11).

10. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, da­ durch gekennzeichnet, daß die Oxid- bzw. Nitrit- Schicht (11) durch Kristallzüchtung an der oxidier­ ten bzw. nitrierten Oberfläche (10) erzeugt wird.

11. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, da­ durch gekennzeichnet, daß die Oxid- bzw. Nitrit- Schicht (11) durch Gasphasenabscheidung oder Sput­ tering erzeugt wird.

12. Verfahren nach einem der Ansprüche 6 bis 9, da­ durch gekennzeichnet, daß die Oxid- bzw. Nitrit­ schicht durch eine beschleunigte Oxidation bzw. Nitrierung der Innenseite des Meßrohres (2) erzeugt wird.