DE3524189C2

DE3524189C2 - Infrarot-Gasanalysator

Info

Publication number: DE3524189C2
Application number: DE3524189A
Authority: DE
Inventors: Takao Nagaokakyo Kyoto Imaki
Original assignee: Horiba Ltd
Current assignee: Horiba Ltd
Priority date: 1984-07-07
Filing date: 1985-07-05
Publication date: 1987-01-08
Also published as: CN85105061B; JPH0217327Y2; JPS6117654U; CN85105061A; DE3524189A1

Abstract

Die Erfindung betrifft einen Infrarot-Gasanalysator mit wenigstens einer Infrarotstrahlenquelle (11, 15a, 15b, 17a, 17b), einer Probenkammer (12, 14a, 14b, 16a, 16b) und einem pneumatischen Detektor (24) mit einer ersten und einer zweiten Detektorkammer (24a, 24b), einer ersten Lichtaufnahmekammer (21), die mit der ersten Detektorkammer des pneumatischen Detektors verbunden ist und Infrarotstrahlung empfängt, die durch die Probenkammer (12, 14a, 16a) hindurchgelaufen ist, einer zweiten Lichtaufnahmekammer (22), die mit der zweiten Detektorkammer des pneumatischen Detektors verbunden ist, im Strahlengang hinter der ersten Lichtaufnahmekammer (21) liegt und Infrarotstrahlung empfängt, die die erste Lichtaufnahmekammer (21) durchsetzt hat, und mit einer dritten Lichtaufnahmekammer (23), die mit der zweiten Detektorkammer des pneumatischen Detektors verbunden ist und Infrarotstrahlung empfängt, die durch die Probenkammer (12, 14b, 16b) und durch ein Filter (F2) hindurchgelaufen ist, dessen Filterbereich mit dem Absorptionswellenlängenbereich einer Interferenz- bzw. Störgaskomponente in der Probenkammer übereinstimmt.

Description

Die Erfindung bezieht sich auf einen Infrarot-Gasanalysator gemäß der im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegebenen Art.
Ein derartiger Infrarot-Gasanalysator ist bereits aus der DE-OS 28 03 586 bekannt. Bei diesem Infrarot-Gasanalysator läßt sich die Querempfindlichkeit in den Strahlenwegen weitestgehend kompensieren, so daß ein das Meßergebnis verfälschender Einfluß von Störgasen innerhalb einer zu untersuchenden Gasprobe weitestgehend beseitigt werden kann.
Hierzu sind jedoch kippbare Interferenzfilter erforderlich, so daß der Infrarot-Gasanalysator einen komplizierten und relativ empfindlichen Aufbau aufweist.
Anhand eines in Fig. 5 dargestellten herkömmlichen Infrarot- Gasanalysators zur Bestimmung der Konzentration von Gaskomponenten innerhalb eines Probengases soll nachfolgend näher erläutert werden, warum bei einer Messung Fehler aufgrund der Absorption der Infrarotstrahlung durch Interferenz- bzw. Störgaskomponenten innerhalb des Probengases auftreten.
Der in Fig. 5 gezeigte Infrarot-Gasanalysator besitzt eine Referenzzelle 1 und eine Meßzelle 2, die nebeneinander bzw. in parallel zueinander verlaufenden Strahlenwegen liegen. Ferner weist der herkömmliche Infrarot-Gasanalysator (vgl. DE-OS 30 26 953) eine der Referenzzelle 1 zugeordnete Infrarotlichtquelle 3 und eine der Meßzelle 2 zugeordnete Infrarotlichtquelle 4 auf. In Strahlenrichtung hinter den Zellen 1 und 2 sind ein Meßdetektor 5 und ein Kompensationsdetektor 6 angeordnet. Der Meßdetektor 5 liegt dabei optisch in Reihe mit der Referenzzelle 1, während der Kompensationsdetektor 6 optisch in Reihe mit der Meßzelle 2 liegt. Besteht beispielsweise das Probengas aus der zu bestimmenden Gaskomponente SO₂ (Schwefeldioxid) und der Interferenz- bzw. Störgaskomponenten H₂O (Wasserdampf), so liefert der Meßdetektor 5 ein Detektorausgangssignal a + b, das den komponenten SO₂ + H₂O zugeordnet ist. Dagegen liefert der Kompensationsdetektor 6 ein Ausgangssignal b, das dem SO₂-Anteil entspricht. Beide Signale werden über Verstärker einer Signalverarbeitungsstufe 7 , beispielsweise einem Subtrahierglied, zugeführt, um auf diese Weise den Signalanteil der Interferenz- bzw. Störkomponente H₂O zu kompensieren. Zwischen den Zellen 1 und 2 und dem Meßdetektor 5 ist weiterhin ein Chopper 8 angeordnet.
Ist die Konzentration der zu bestimmenden Gaskomponente SO₂ im Probengas gering und die Konzentration von H₂O-Gas und CH₄-Gas (Methangas), die als Interferenz- bzw. Störkomponenten im Probengas anzusehen sind, hoch, so ist es schwierig, gleichzeitig eine Kalibrierung für H₂O-Gas und CH₄-Gas durchzuführen. Üblicherweise wird zunächst das CH₄-Gas aus dem Probengas durch besondere Behandlung des Probengases entfernt. Andererseits kann ein spezielles Gas im Kompensationsdetektor 6 vorhanden sein. Messungen haben jedoch gezeigt, daß sich der Einfluß beider Störkomponenten durch diese Maßnahmen nicht vollständig beseitigen läßt. Vielmehr müssen die Ausgangssignale der Detektoren 5 und 6 mit Hilfe elektronischer Einrichtungen weiter verarbeitet werden, insbesondere im Hinblick darauf, daß sich die Konzentration des eingeschlossenen Gases ändern kann (Dispersion der Konzentration) . Eine vollständige Beseitigung der Störeinflüsse durch die H₂O- bzw. CH₄ -Gaskomponenten ist aber auch in diesem Fall nicht möglich.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, einen Infrarot- Gasanalysator der eingangs genannten Art zur Kompensation des Einflusses mehrerer Störgaskomponenten auf das Meßergebnis zu schaffen, der einen robusteren Aufbau aufweist.
Die Lösung der gestellten Aufgabe ist im kennzeichnenden Teil des Patentanspruchs 1 angegeben.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.
Der Infrarot-Gasanalysator nach der Erfindung weist wenigstens

- eine Infrarotstrahlenquelle,
- eine Probenkammer,
- eine Modulationseinrichtung für die Infrarotstrahlung,
- einen pneumatischen Detektor mit einer ersten und einer zweiten Detektorkammer,
- eine erste Lichtaufnahmekammer, die mit der ersten Detektorkammer verbunden ist,
- eine zweite Lichtaufnahmekammer, die mit dem pneumatischen Detektor verbunden ist, und die im selben Strahlengang wie die erste Lichtaufnahmekammer liegt,
- eine dritte Lichtaufnahmekammer, die mit der zweiten Detektorkammer verbunden ist, und
- ein Filter vor der dritten Lichtaufnahmekammer auf, dessen Filterbereich mit dem Absorptionswellenbereich einer Interferenz- bzw. Störgaskomponente in der Probenkammer übereinstimmt.

Die zweite Lichtaufnahmekammer ist dabei im Strahlengang hinter der ersten Lichtaufnahmekammer angeordnet und mit der zweiten Detektorkammer verbunden.
Entsprechend der Erfindung können die Einflüsse von wenigstens zwei im Probengas enthaltenen Störgaskomponenten auf das Meßergebnis mit hoher Genauigkeit beseitigt werden. Die Kompensation erfolgt dabei durch den Detektorbereich der Meßanordnung selbst, die eine hohe Zuverlässigkeit besitzt und Signale mit hohem Signal/Rausch-Verhältnis liefert.
Nach einer vorteilhaften Ausbildung der Erfindung ist zwischen der Probenkammer und der ersten Lichtaufnahmekammer ein weiteres Filter angeordnet, dessen Filterbereich mit dem Absorptionswellenlängenbereich einer zu bestimmenden Gaskomponente in der Probenkammer übereinstimmt. Diese Maßnahme ist ebenfalls aus der DE-OS 28 03 586 bekannt. Das Filter läßt also nur Strahlung in die erste Lichtaufnahmekammer hinein, die im Arsorptionswellenlängenbereich der zu untersuchenden bzw. zu bestimmenden Gaskomponente liegt. Demgegenüber ist das zweite Filter vor der dritten Lichtaufnahmekammer so ausgelegt, daß es nur Infrarotstrahlung in die dritte Lichtaufnahmekammer hineinläßt, die im Absorptionswellenlängenbereich der Interferenz- bzw. Störkomponente liegt.
Nach einer anderen vorteilhaften Weiterbildung der Erfindung sind die Länge der Probenkammer im Bereich der ersten Lichtaufnahmekammer und die Länge der Probenkammer im Bereich der dritten Lichtaufnahmekammer voneinander verschieden. Auch diese Maßnahme ist grundsätzlich aus der DE-OS 30 30 002 bekannt. Hierdurch wird erreicht, daß die Meßempfindlichkeit im Bereich der dritten Lichtaufnahmekammer 23 gesteigert werden kann. Zu diesem Zweck können auch zwei Infrarotlichtquellen vorgesehen sein, die unterschiedlich stark strahlen. Die eine Lichtquelle ist dabei der ersten Lichtaufnahmekammer und die andere Lichtquelle der dritten Lichtaufnahmekammer zugeordnet.
Nach einer besonderen Ausgestaltung der Erfindung besteht die Probenkammer aus zwei in Gasflußrichtung hintereinander angeordneten Teilprobekammern, die jeweils auf einem Strahlenweg liegen, der parallel zum anderen Strahlenweg verläuft.
Eine andere Ausgestaltung der Erfindung besteht darin, daß die Probenkammer aus zwei in Gasflußrichtung parallel zueinander angeordnete Teilprobenkammern besteht, die auf einem einzigen Strahlenweg liegen. Die beiden zuletzt genannten Maßnahmen sind für sich gesehen jeweils der DE-OS 30 30 002 bzw. der DE-OS 23 26 123 zu entnehmen.
Zweischichten-Detektoren sind grundsätzlich aus der DE-OS 21 12 525 bekannt.
Die Zeichnung stellt neben dem Stand der Technik Ausführungsbeispiele der Erfindung dar. Es zeigt
Fig. 1 eine schematische Darstellung eines Infrarot-Gasanalysators gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel der Erfindung,
Fig. 2 eine schematische Darstellung eines Infrarot- Gasanalysators mit einer Gasmodulationseinrichtung,
Fig. 3 eine schematische Darstellung eines Infrarot- Gasanalysators gemäß einem zweiten Ausführungsbeispiels der Erfindung,
Fig. 4 eine schematische Darstellung eines Infrarot- Gasanalysators gemäß einem dritten Ausführungsbeispiel der Erfindung, und
Fig. 5 eine schematische Darstellung eines herkömmlichen Infrarot-Gasanalysators.
Im folgenden werden anhand der Fig. 1 bis 4 Ausführungsbeispiele von Infrarot-Gasanalysatoren beschrieben. Die zu bestimmende Gaskomponente sei SO₂, während die Interferenz- bzw. Störkomponenten H₂O-Gas und CH₄-Gas sind.
Entsprechend der Fig. 1 besitzt ein Infrarot-Gasanalysator eine Infrarotstrahlenquelle 11 zur Aussendung von Infrarotstrahlung, eine Probenkammer 12, die einen Eingang 12 a und einen Ausgang 12 b besitzt und von der Infrarotstrahlung der Infrarotstrahlenquellen 11 durchstrahlt wird, eine nicht dargestellte Gasversorgungsstation zur Versorgung der Probenkamer 12 mit Probengas, sowie einer zwischen der Infrarotstrahlenquelle 11 und der Probenkammer 12 angeordneten Modulationseinrichtung 13, die durch eine nicht dargestellte Antriebseinrichtung zur Modulation der Infrarotstrahlung der Infrarotstrahlenquelle 11 gedreht werden kann.
In Strahlenrichtung hinter der Probenkammer 12 befindet sich eine Detektoreinrichtung 20, die im wesentlichen drei Lichtaufnahmekammern 21, 22, 23, einen pneumatischen Detektor 24, beispielsweise vom Kondensatormikrophon-Typ, und zwei Filter F 1, F 2 besitzt. Das Filter F 1 ist allerdings nicht in jedem Fall erforderlich.
Die erste Lichtaufnahmekammer 21 ist mit einer ersten Detektorkammer 24 a des pneumatischen Detektors 24 verbunden und empfängt Infrarotstrahlung, die zuvor die Probenkammer 12 und das Filter F 1 durchlaufen hat. Die zweite Lichtaufnahmekammer 22 ist mit der zweiten Detektorkammer 24 b des pneumatischen Detektors 24 verbunden und optisch in Reihe bzw. in Strahlrichtung hinter der ersten Lichtaufnahmekammer 21 angeordnet. Die zweite Lichtaufnahmekammer 22 empfängt also die Infrarotstrahlung, welche bereits die erste Lichtaufnahmekammer 21 durchlaufen hat. Die dritte Lichtaufnahmekammer 23 ist ebenfalls mit der zweiten Detektorkammer 24 b des pneumatischen Detektors 24 verbunden, mit der auch die zweite Lichtaufnahmekammer 22 verbunden ist. Die dritte Lichtaufnahmekammer 23 empfängt Infrarotstrahlung, welche die Probenkammer 12 und das zweite Filter F 2 durchlaufen hat. Eine Membran 24 c innerhalb des pneumatischen Detektors 24 wird aufgrund einer Druckdifferenz zwischen den beiden Detektorkammern 24 a und 24 b relativ zu einer Elektrode verschoben, die erforderlichenfalls mit einem Verstärker 25 zur Verstärkung des Detektorausgangssignals vom pneumatischen Detektor 24 verbunden ist.
Das Filter F 1 ist ein positives Filter mit einem Filterbereich im Gebiet der Absorptionswellenlänge von SO₂, also der zu bestimmenden Gaskomponente. Das Filter F 1 kann beispielsweise ein Festkörper-Bandpaßfilter sein, das Infrarotstrahlung im Absorptionsband von SO₂ hindurchläßt. Das Filter F 2 ist ebenfalls ein positives Filter mit einem Filterbereich im Gebiet der Absorptionswellenlänge von CH₄, das die Interferenz- bzw. Störkomponente bildet. Auch das Filter F 2 kann ein Festkörper- Bandpaßfilter sein, das Infrarotstrahlung im Absorptionsband von CH₄ hindurchläßt.
Die erste Lichtaufnahmekammer 21, die zweite Lichtaufnahmekammer 22 und die dritte Lichtaufnahmekammer 23 sind mit einem Gas gefüllt, welches Infrarotstrahlen absorbiert, die eine Absorptionswellenlänge von SO₂, also von der zu bestimmenden Gaskomponente, besitzen. In den genannten Lichtaufnahmekammern befindet sich genauer gesagt mit Stickstoff verdünntes SO₂-Gas mit jeweils gleicher Konzentration. Darüber hinaus sind die Länge der ersten Lichtaufnahmekammer 21 und die Länge der zweiten Lichtaufnahmekammer 22, jeweils in Richtung der Strahlung gesehen, vor der Bestrahlung mit Infrarotstrahlung von der Infrarotstrahlenquelle 11 auf einen bestimmten Wert eingestellt, so daß der Einfluß der Interferenz- bzw. Störkomponente H₂O kompensiert ist.
Die zu bestimmende Gaskomponente bzw. das Probengas wird zunächst in die Probenkammer 12 hineingelassen und anschließend von der Infrarotstrahlung der Infrarotstrahlenquelle 11 durchstrahlt. Die erste Lichtaufnahmekammer 21 besitzt an ihrer Lichteingangsseite das erste positive Filter F 1 mit einem Filtergebiet im Bereich der Absorptionswellenlänge von SO₂, während die dritte Lichtaufnahmekammer 23 parallel zur ersten Lichtaufnahmekammer 21 liegt und an ihrer Lichteingangsseite das zweite positive Filter F 2 besitzt, dessen Filterbereich der Absorptionswellenlänge von CH₄ zugeordnet ist. Das bedeutet, daß die erste Lichtaufnahmekammer 21 nur Infrarotstrahlung mit einer Wellenlänge empfängt, die der Absorptionswellenlänge von SO₂ entspricht, während die dritte Lichtaufnahmekammer 23 nur Infrarotstrahlung empfängt, deren Wellenlänge der Absorptionswellenlänge von CH₄-Gas entspricht. Da die erste Lichtaufnahmekammer 21 mit der ersten Detektorkammer 24 a des pneumatischen Detektors 24 und die zweite Lichtaufnahmekammer 22, die optisch in Reihe bzw. hinter der ersten Lichtaufnahmekammer 21 liegt, sowie die dritte Lichtaufnahmekammer 23, die optisch parallel zur ersten Lichtaufnahmekammer 21 angeordnet ist, beide mit der zweiten Detektorkammer 24 b des pneumatischen Detektors 24 verbunden sind, können sowohl der Interferenz- bzw. Störeinfluß durch H₂O durch die erste Lichtaufnahmekammer 21 und die zweite Lichtaufnahmekammer 22 als auch der Interferenz- bzw. Störeinfluß durch CH₄-Gas durch die erste Lichtaufnahmekammer 21 und die dritte Lichtaufnahmekammer 23 kompensiert werden. Es wird daher nur ein Detektorausgangssignal vom pneumatischen Detektor 24 erhalten, in welchem bereits die Einflüsse der Interferenz- bzw. Störkomponenten H₂O- und CH₄-Gas kompensiert sind.
Der in Fig. 2 dargestellte Infrarot-Gasanalysator besitzt zusätzlich einen Gasumschalter 30, beispielsweise ein rotierendes Ventil, um die Probengasströmung zu modulieren. Der Gasumschalter 30 besitzt Öffnungen 31, 32, 33 und 34 sowie ein drehbares, plattenartig ausgebildetes Zwischenelement 35. Die Öffnung 31 des Gasumschalters 30 ist mit einer nicht dargestellten Gasversorgungsstation verbunden, die das Probengas liefert, während die Öffnung 32 des Gasumschalters mit einer nicht dargestellten Gasversorgungsstation verbunden ist, die ein Referenzgas liefert. Die Öffnung 33 ist mit dem Eingang 12 a der Probenkammer 12 verbunden, um eine bestimmte Menge an Probengas A oder Referenzgas B abwechselnd nacheinander in die Probenkammer 12 durch Betätigung des Gasumschalters 30 zu liefern.
Auch bei diesem Infrarot-Gasanalysator wird nur ein SO₂- Ausgangssignal vom pneumatischen Detektor 24 erhalten, in welchem die Interferenz- bzw. Störeinflüsse durch H₂O- und CH₄-Gas kompensiert sind.
Ist die Meßempfindlichkeit für SO₂, welches in der ersten Lichtaufnahmekammer 21, in der zweiten Lichtaufnahmekammer 22 und in der dritten Lichtaufnahmekammer 23 eingeschlossen ist, in der dritten Lichtaufnahmekammer 23 gering, so daß die Interferenz- bzw. Störeinflüsse durch CH₄-Gas in den genannten Einrichtungen nach den Fig. 1 und 2 nicht hinreichend kompensiert werden können, so kann ein geringer Betrag an CH₄-Gas hinzugefügt werden, um die Meßempfindlichkeit der dritten Lichtaufnahmekammer 23 zu verbessern. Die Kompensation der Interferenz- bzw. Störeinflüsse durch H₂O durch die erste Lichtaufnahmekammer 21 und die zweite Lichtaufnahmekammer 22 wird dadurch nicht beeinträchtigt. Zusätzlich kann die Länge der Probenkammer im Bereich der ersten Lichtaufnahmekammer 21 und die Länge der Probenkammer im Bereich der dritten Lichtaufnahmekammer 23 unterschiedlich gewählt werden. Andererseits ist es auch möglich, zwei Infrarotlichtquellen zu verwenden, die unterschiedlich stark strahlen.
Anhand der Fig. 3 wird ein so ausgebildeter Infrarot-Gasanalysator näher beschrieben. Auch hier sind gleiche Teile wie in den Fig. 1 und 2 mit gleichen Bezugszeichen versehen. Der Infrarot-Gasanalysator nach Fig. 3 besitzt zwei Probenkammern 14 a und 14 b mit unterschiedlicher Länge in Richtung der optischen Strahlenwege. Beide Probenkammern 14 a und 14 b sind beispielsweise über eine Röhre untereinander verbunden, so daß ein Gasaustausch erfolgen kann. Auf diese Weise kann die Meßempfindlichkeit zur Kompensation des Einflusses des CH₄-Gases durch unterschiedliche Längen der Probenkammer 14 in den jeweiligen Bereichen der Lichtaufnahmekammern 21 und 23 eingestellt werden. Entsprechend der Fig. 3 sind weiterhin zwei Infrarotstrahlenquellen 15 a und 15 b vorgesehen, die unterschiedlich stark strahlen. Die Strahlungsstärke ist individuell einstellbar, so daß die Probenkammern 14 a und 14 b jeweils unterschiedlich stark bestrahlt werden. Auch auf diese Weise ist es möglich, die Meßempfindlichkeit zur Kompensation des Einflusses des CH₄-Gases einzustellen.
Wie in Fig. 3 dargestellt, sind die beiden Probenkammern 14 a und 14 b in Reihe bzw. in Gasflußrichtung hintereinandergeschaltet. Demgegenüber liegen in Fig. 4 zwei Probenkammern 16 a und 16 b in Gasflußrichtung parallel zueinander.
Entsprechend der Fig. 4 besitzen die beiden Probenkammern 16 a und 16 b eine unterschiedliche Länge in Richtung der optischen Achse des Systems. Beide Probenkammern 16 a und 16 b werden durch Infrarotstrahlenquellen 17 a und 17 b jeweils individuell bestrahlt. Der Gasumschalter 30 ist über eine Rohrleitung 18 sowohl mit dem Eingang 16&min; a der Probenkammer 16 a und dem Eingang 16&min; b der Probenkammer 16 b verbunden. Durch den Gasumschalter 30 wird entweder das Probengas A oder das Referenzgas B gleichzeitig in beide Probenkammern 16 a und 16 b geleitet.
Statt eines pneumatischen Detektors 24 vom Kondensatormikrophon-Typ kann auch ein solcher vom Mikroflußsensor-Typ verwendet werden. Bei diesem Detektortyp wird eine Strömung an einem zwischen beiden Detektorkammern liegenden heißen Draht, beispielsweise einem Platindraht, durch den Differenzdruck zwischen beiden Detektorkammern erzeugt. Aufgrund der Strömung wird der genannte Draht gekühlt, was den Detektor in die Lage versetzt, ein entsprechendes Ausgangssignal zu liefern. Statt der positiven Filter F 1, F 2 können selbstverständlich auch negative Filter, z. B. Gasfilter, verwendet werden.
Bei dem Infrarot-Gasanalysator nach Fig. 4 liegen die Infrarotstrahlenquellen 17 a, 17 b , die Probenkammern 16 a, 16 b, die Filter F 1, F 2 und die Lichtaufnahmekammern 21, 22 und 23 auf nur einer einzigen optischen Achse. Auch hier sind die Lichtaufnahmekammern 22 und 23 über ein Rohrleitungsstück direkt miteinander verbunden. Die Verbindung der dritten Lichtaufnahmekammer 23 mit der zweiten Detektorkammer 24 b des pneumatischen Detektors 24 erfolgt über die zweite Lichtaufnahmekammer 22.

Claims

1. Infrarot-Gasanalysator mit wenigstens

- einer Infrarotstrahlenquelle (11; 15 a, b; 17 a, b),

- einer Probenkammer (12; 14 a, b; 16 a, b),

- einer Modulationseinrichtung (13; 30),

- einem pneumatischen Detektor (24) mit einer ersten und einer zweiten Detektorkammer (24 a, b),

- einer ersten Lichtaufnahmekammer (21), die mit der ersten Detektorkammer (24 a) verbunden ist,

- einer zweiten Lichtaufnahmekammer (22), die mit dem pneumatischen Detektor (24) verbunden ist, und die im selben Strahlengang wie die erste Lichtaufnahmekammer (21) liegt,

- einer dritten Lichtaufnahmekammer (23), die mit der zweiten Detektorkammer (24 b) verbunden ist, und mit

- einem Filter (F 2) vor der dritten Lichtaufnahmekammer (23), dessen Filterbereich mit dem Absorptionswellenlängenbereich einer Interferenz- bzw. Störgaskomponente in der Probenkammer übereinstimmt,

dadurch gekennzeichnet, daß die zweite Lichtaufnahmekammer (22) im Strahlengang hinter der ersten Lichtaufnahmekammer (21) angeordnet und mit der zweiten Detektorkammer (24 b) verbunden ist.

2. Infrarot-Gasanalysator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Probenkammer (12; 14 a; 16 a) und der ersten Lichtaufnahmekammer (21) ein Filter (F 1) angeordnet ist, dessen Filterbereich mit dem Absorptionswellenlängenbereich einer zu bestimmenden Gaskomponente in der Probenkammer übereinstimmt.

3. Infrarot-Gasanalysator nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Länge der Probenkammer (14 a; 16 a) im Bereich der ersten Lichtaufnahmekammer (21) und die Länge der Probenkammer (14 b; 16 b) im Bereich der dritten Lichtaufnahmekammer (23) voneinander verschieden sind.

4. Infrarot-Gasanalysator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenkammer aus zwei in Gasflußrichtung hintereinander angeordneten Teilprobenkammern (14 a, 14 b) besteht, die jeweils auf einem Strahlenweg liegen, der parallel zum anderen verläuft.

5. Infrarot-Gasanalysator nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Probenkammer aus zwei in Gasflußrichtung parallel zueinander angeordneten Teilprobenkammern (16 a, 16 b) besteht, die auf einem einzigen Strahlenweg liegen.