[go: up one dir, main page]

DE19829953A1 - Laser-Scanning-Mikroskop - Google Patents

Laser-Scanning-Mikroskop

Info

Publication number
DE19829953A1
DE19829953A1 DE19829953A DE19829953A DE19829953A1 DE 19829953 A1 DE19829953 A1 DE 19829953A1 DE 19829953 A DE19829953 A DE 19829953A DE 19829953 A DE19829953 A DE 19829953A DE 19829953 A1 DE19829953 A1 DE 19829953A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
range
laser scanning
scanning microscope
beam splitter
dichroic beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
DE19829953A
Other languages
English (en)
Other versions
DE19829953B4 (de
Inventor
Michael Stock
Ulrich Simon
Ralf Wolleschensky
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Carl Zeiss Microscopy GmbH
Original Assignee
VEB Carl Zeiss Jena GmbH
Carl Zeiss Jena GmbH
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by VEB Carl Zeiss Jena GmbH, Carl Zeiss Jena GmbH filed Critical VEB Carl Zeiss Jena GmbH
Priority to DE19829953.2A priority Critical patent/DE19829953B4/de
Priority to US09/217,747 priority patent/US6278555B1/en
Publication of DE19829953A1 publication Critical patent/DE19829953A1/de
Application granted granted Critical
Publication of DE19829953B4 publication Critical patent/DE19829953B4/de
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Lifetime legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes
    • G02B21/0024Confocal scanning microscopes (CSOMs) or confocal "macroscopes"; Accessories which are not restricted to use with CSOMs, e.g. sample holders
    • G02B21/0052Optical details of the image generation
    • G02B21/0064Optical details of the image generation multi-spectral or wavelength-selective arrangements, e.g. wavelength fan-out, chromatic profiling
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B21/00Microscopes
    • G02B21/0004Microscopes specially adapted for specific applications
    • G02B21/002Scanning microscopes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Microscoopes, Condenser (AREA)

Description

In Fig. 1 sind schematisch eine Mikroskopeinheit M und ein Scankopf S dargestellt, die eine gemeinsame optische Schnittstelle über eine Zwischenabbildung aufweisen und ein LSM bilden.
Der Scankopf S kann sowohl an den Phototubus eines aufrechten Mikroskopes sowie auch an einen seitlichen Ausgang eines inversen Mikroskopes angesetzt werden.
Es ist ein zwischen Auflichtscan und Durchlichtscan mittels eines schwenkbaren Spiegels 14 umschaltbarer mikroskopischer Strahlengang dargestellt, mit Lichtquelle 1, Beleuchtungsoptik 2, Strahlteiler 3, Objektiv 4, Probentisch 5, Kondensor 6, Lichtquelle 7, Empfängeranordnung 8, einer ersten Tubuslinse 9, einem Beobachtungsstrahlengang mit einer zweiten Tubuslinse 10 und einem Okular 11 sowie einem Strahlteiler zur Einkopplung des Scanstrahls dargestellt. Ein Lasermodul 13.1, 13.2 nimmt die Laser auf und ist über Monomode- Lichtleitfasern 14.1, 14.2 mit der Lasereinkoppeleinheit des Scankopfes S verbunden.
Auch die Mischung der Strahlung verschiedener Laser am Fasereingang ist möglich und kann anhand der schematisch dargestellten, auswechselbaren und schaltbaren Teilerspiegel 39 im Modul 13.2 erfolgen.
Die Einkopplung der Lichtleitfasern 14.1, 14.2 erfolgt mittels einer verschieblichen Kollimationsoptik sowie Strahlumlenkelementen 17.1, 17.2.
Mittels eines teildurchlässigen Spiegels 18 wird ein Überwachungsstrahlengang in Richtung einer Monitordiode 19, der, vorteilhaft auf einem nicht dargestellten drehbaren Filterrad Linienfilter 21 sowie Neutralfilter 20 vorgeordnet sind, ausgeblendet.
Die eigentliche Scaneinheit besteht aus Scanningobjektiv 22, X/Y-Scanner 23, Hauptstrahlteiler 24 und einer gemeinsamen Abbildungsoptik 25 für Detektionskanäle 26.1-26.4.
Ein Umlenkprisma 27 hinter der Abbildungsoptik 25 spiegelt die vom Objekt 5 kommende Strahlung in Richtung dichroitischer Strahleiler 28 im konvergenten Strahlengang der Abbildungsoptik 25, denen in Richtung und senkrecht zur optischen Achse verstellbare und in ihrem Durchmesser veränderbare Pinholes 29, individuell für jeden Detektionskanal sowie Emissionsfilter 30 und geeignete Empfängerelemente 31 (PMT) nachgeordnet sind.
Eine Ansteuereinheit/Rechnereinheit 34 ist vorgesehen, die unter anderem mit dem Tisch 5 und den Scannern 23 verbunden ist und sie ansteuert.
In Fig. 2a sind seitenverkehrt die Strahlumlenkelemente 17.2 und 17.1 sowie der Hauptstrahlenteiler 24 dargestellt, der dichroitisch ausgebildet ist und zur Trennung des Beleuchtungsstrahlenganges bl vom Detektionsstrahlengang dl dient.
Vorteilhaft ist der Strahlteiler 17.1 als dichroitischer Strahlteiler bezüglich seiner Reflektivität so ausgebildet, daß er einen Transmissionsbereich im UV-Bereich und einen Transmissionsbereich im IR-Bereich, wie in Fig. 2b als Abhängigkeit der Reflexion von der eingestrahlten Wellenlänge dargestellt, aufweist.
Hierdurch kann am Eingang E1 ein Wechsel von einem Laser im IR-Bereich zu einem Laser im UV-Bereich erfolgen oder ein Laser in mehreren Betriebsarten betrieben werden, was den Einsatzbereich des Laser-Scanning-Mikroskopes erweitert, ohne daß ein zusätzlicher lichtschwächender Strahlteiler vorgesehen sein muß oder ein Austausch eines Strahlteilers erfolgen muß.
Am Eingang E2 wird hier ein Laser im sichtbaren Bereich über einen Spiegel 17.1 eingekoppelt.
In Fig. 3 weist der Spiegel 17.2, der wiederum als dichroitischer Spiegel ausgebildet ist, ein Reflexionsband im sichtbaren Bereich auf und ist im UV- Bereich und im IR-Bereich durchlässig ausgebildet. Das ermöglicht hier am Eingang E1 den Austausch zwischen dem UV-Bereich und dem IR-Bereich.
In Fig. 4 sind beide Strahlteiler 17.1 und 17.2 dichroitisch ausgebildet, wobei Strahlteiler 17.1 im sichtbaren Bereich reflektiert und Strahlteiler 17.2 im UV- Bereich. Teiler 17.1 und 17.2 sind für den IR-Bereich durchlässig, 17.2 auch für den sichtbaren Bereich.
Auf diese Weise können sowohl ein IR-Laser über Eingang E3 sowie ein Laser im sichtbaren Bereich und ein Laser im UV-Bereich über E2 und E1 eingekoppelt werden und die verschiedenen Betriebsarten ohne Auswechslung von Lasern oder Strahlteilern mit den damit verbundenen Justierproblemen kann entfallen.

Claims (4)

1. Laser- Scanning-Mikroskop mit rasterförmiger Beleuchtung, unter unterschiedlichen Wellenlängen, vorzugsweise mittels über Lichtleitfaser eingekoppelter Laserstrahlung, wobei die Einkopplung der Beleuchtung über mindestens einen dichroitischen Strahlteiler erfolgt, der in mindestens einem Wellenlängenbereich reflektiert und in mindestens einem zweiten Wellenlängenbereich transmittiert.
2. Laser-Scanning-Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der dichroitische Strahlteiler im UV- und IR-Bereich reflektierend und im sichtbaren Bereich transmittierend ausgebildet ist.
3. Laser-Scanning-Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der dichroitische Strahlteiler im sichtbaren Bereich reflektierend und im IR- und UV-Bereich transmittierend ausgebildet ist.
4. Laser-Scanning-Mikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein erster dichroitischer Strahlteiler im sichtbaren Bereich reflektierend und im UV- und IR-Bereich transmittierend und ein zweiter dichroitischer Strahlteiler im UV-Bereich reflektierend und im sichtbaren-und IR-Bereich transmittierend ausgebildet ist.
DE19829953.2A 1998-07-04 1998-07-04 Laser-Scanning-Mikroskop Expired - Lifetime DE19829953B4 (de)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19829953.2A DE19829953B4 (de) 1998-07-04 1998-07-04 Laser-Scanning-Mikroskop
US09/217,747 US6278555B1 (en) 1998-07-04 1998-12-21 Laser scanning microscope

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19829953.2A DE19829953B4 (de) 1998-07-04 1998-07-04 Laser-Scanning-Mikroskop

Publications (2)

Publication Number Publication Date
DE19829953A1 true DE19829953A1 (de) 2000-01-05
DE19829953B4 DE19829953B4 (de) 2016-09-29

Family

ID=7872993

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19829953.2A Expired - Lifetime DE19829953B4 (de) 1998-07-04 1998-07-04 Laser-Scanning-Mikroskop

Country Status (2)

Country Link
US (1) US6278555B1 (de)
DE (1) DE19829953B4 (de)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004010202A1 (de) * 2002-07-19 2004-01-29 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Optische vorrichtung zum vereinigen von lichtstrahlen
DE10350918B3 (de) * 2003-10-31 2005-04-14 Evotec Technologies Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Transmission eines Objekts
DE102009006729B4 (de) 2009-01-29 2021-12-23 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050111089A1 (en) * 1994-07-15 2005-05-26 Baer Stephen C. Superresolving microscopy apparatus
JP4521155B2 (ja) * 2002-11-27 2010-08-11 オリンパス株式会社 顕微鏡画像処理装置
US20040200844A1 (en) * 2003-04-11 2004-10-14 David Watzke Dual chamber salad container
JP2005030831A (ja) * 2003-07-09 2005-02-03 Aisin Seiki Co Ltd セルソータ用光照射装置
EP3225966B1 (de) * 2016-03-31 2020-04-22 Konica Minolta Laboratory U.S.A., Inc. Laser scanning leak detection und visualisierung vorrichtung
WO2018089839A1 (en) 2016-11-10 2018-05-17 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Rapid high-resolution imaging methods for large samples

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1986002730A1 (en) * 1984-10-22 1986-05-09 Hightech Network Sci Ab A fluorescence imaging system
DE4221063A1 (de) * 1992-06-26 1994-01-05 Thomas Dr Heiden Optisches System für Auflicht-Fluoreszenz-Mikroskopie
DE4330347A1 (de) * 1993-09-08 1995-03-16 Leica Lasertechnik Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls
DE29609959U1 (de) * 1996-06-05 1996-10-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Strahlteiler für ein konfokales Scanningmikroskop
US5798867A (en) * 1997-02-04 1998-08-25 Miyachi Technos Corporation Laser beam-splitting apparatus

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA1163797A (en) * 1982-01-14 1984-03-20 Queen's University At Kingston Laser interferometer
DE4025136A1 (de) * 1990-08-08 1992-02-13 Grundig Emv Projektionsgeraet fuer die grossbildprojektion
US5535052A (en) * 1992-07-24 1996-07-09 Carl-Zeiss-Stiftung Laser microscope
JP3343276B2 (ja) * 1993-04-15 2002-11-11 興和株式会社 レーザー走査型光学顕微鏡
US5952668A (en) * 1994-07-15 1999-09-14 Baer; Stephen C. Resolution in microscopy and microlithography
US5874726A (en) * 1995-10-10 1999-02-23 Iowa State University Research Foundation Probe-type near-field confocal having feedback for adjusting probe distance
DE19622359B4 (de) * 1996-06-04 2007-11-22 Carl Zeiss Jena Gmbh Vorrichtung zur Einkopplung der Strahlung von Kurzpulslasern in einem mikroskopischen Strahlengang
US6167173A (en) * 1997-01-27 2000-12-26 Carl Zeiss Jena Gmbh Laser scanning microscope
US5910963A (en) * 1997-04-08 1999-06-08 Carl Zeiss Jena Gmbh Laser resonator design with improved signal-to-noise level (S/N) at the output of a single-mode fiber-coupled multi-wavelength laser providing illumination for a laser scanning microscope
US5936728A (en) * 1998-04-14 1999-08-10 Noran Instruments, Inc. Flash photolysis method and apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1986002730A1 (en) * 1984-10-22 1986-05-09 Hightech Network Sci Ab A fluorescence imaging system
DE4221063A1 (de) * 1992-06-26 1994-01-05 Thomas Dr Heiden Optisches System für Auflicht-Fluoreszenz-Mikroskopie
DE4330347A1 (de) * 1993-09-08 1995-03-16 Leica Lasertechnik Vorrichtung zur Selektion und Detektion mindestens zweier Spektralbereiche eines Lichtstrahls
DE29609959U1 (de) * 1996-06-05 1996-10-10 Zeiss Carl Jena Gmbh Strahlteiler für ein konfokales Scanningmikroskop
US5798867A (en) * 1997-02-04 1998-08-25 Miyachi Technos Corporation Laser beam-splitting apparatus

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004010202A1 (de) * 2002-07-19 2004-01-29 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Optische vorrichtung zum vereinigen von lichtstrahlen
DE10233074B4 (de) * 2002-07-19 2005-05-19 Leica Microsystems Heidelberg Gmbh Optische Vorrichtung zum Vereinigen von Lichtstrahlen und Scanmikroskop
US7428104B2 (en) 2002-07-19 2008-09-23 Leica Microsystems Cms Gmbh Optical device for the combination of light beams
DE10350918B3 (de) * 2003-10-31 2005-04-14 Evotec Technologies Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Messung der Transmission eines Objekts
DE102009006729B4 (de) 2009-01-29 2021-12-23 Carl Zeiss Microscopy Gmbh Laser-Scanning-Mikroskop

Also Published As

Publication number Publication date
DE19829953B4 (de) 2016-09-29
US6278555B1 (en) 2001-08-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE19758745C2 (de) Laser-Scanning-Mikroskop
DE102011106916B4 (de) Konfokales Auflicht-Rastermikroskop, Verfahren und Programm zum Betrieb eines solchen Mikroskops
EP1184701B1 (de) Beleuchtungseinrichtung
DE19835072A1 (de) Anordnung zur Beleuchtung und/oder Detektion in einem Mikroskop
DE19906757B4 (de) Mikroskop
EP1714187B1 (de) Mikroskop mit einer lichtquelle mit mehreren mikrostrukturierten optischen elementen
DE19861383B4 (de) Laserscanmikroskop
EP3132299B1 (de) Lichtrastermikroskop mit vereinfachter optik, insbesondere mit veränderlicher pupillenlage
EP1664888A1 (de) Rastermikroskop mit evaneszenter beleuchtung
DE102012017922A1 (de) Optikanordnung und Lichtmikroskop
DE10115589A1 (de) Beleuchtungseinrichtung
DE102007018922A1 (de) Mikroskop
DE202008016287U1 (de) Anordnung zur Durchstimmung von Farbstrahlteilern
EP1882970A1 (de) Laser-Scanning-Mikroskop zur Fluoreszenzuntersuchung
DE10233074A1 (de) Optische Vorrichtung zum Vereinigen von Lichtstrahlen und Scanmikroskop
DE19829953A1 (de) Laser-Scanning-Mikroskop
DE60108044T2 (de) Laser Mikroskop
EP1678545B1 (de) Mikroskop mit evaneszenter probenbeleuchtung
DE10120424B4 (de) Scanmikroskop und Auskoppelelement
EP1697781B1 (de) Mikroskop mit evaneszenter beleuchtung
DE102004034983A1 (de) Lichtrastermikroskop
EP1752809B1 (de) Mikroskop
EP1372012B1 (de) Optische Anordnung zur Beobachtung einer Probe oder eines Objekts
DE3853637T2 (de) Achromatisches abtastsystem.
WO2008012056A1 (de) Laser-scanning-mikroskop

Legal Events

Date Code Title Description
OM8 Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law
8110 Request for examination paragraph 44
R081 Change of applicant/patentee

Owner name: CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH, DE

Free format text: FORMER OWNER: CARL ZEISS JENA GMBH, 07745 JENA, DE

Effective date: 20130206

R016 Response to examination communication
R018 Grant decision by examination section/examining division
R020 Patent grant now final
R071 Expiry of right