DE19835072A1 - Anordnung zur Beleuchtung und/oder Detektion in einem Mikroskop - Google Patents
Anordnung zur Beleuchtung und/oder Detektion in einem MikroskopInfo
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Abstract
Laser-Scanning-Mikroskop mit mindestens einer selektiv schaltbaren Mikrospiegelanordnung (DMD) im Beleuchtungs- und/oder Detektionsstrahlengang, der zur Wellenlängenselektion dispersiv aufgespaltenen Beleuchtungs- und/oder Objektlichtes, wie Reflexion, Fluoreszenz, dient, DOLLAR A sowie DOLLAR A Kombination mindestens einer DMD-Anordnung mit mindestens einem Dispersionselement zur wellenlängenselektiven Einkopplung von Beleuchtungslicht in Richtung des Objektes und wellenlängenselektiven Auskopplung von Objektlicht in Richtung der Detektion in einem Mikroskop, mit bevorzugter Anwendung der Kombination in einem Laser-Scanning-Mikroskop.
Description
Die Erfindung beschreibt ein Laser Scanning Mikroskop, bestehend aus einer
Lasereinheit, einem Scanmittel, einem Mikroskopstativ, einer Detektionseinheit und
einer Ansteuer-/Aufnahme-Einheit, wobei die spektralen Eigenschaften der
Detektionseinheit über ein, in einen Monochromator integriertes Schaltspiegel-Array
frei programmierbar sind. Das Schaltspiegel-Array (1- oder 2-dimensional) kann
beispielhaft als ein DMD ausgeführt sein (Digital Mirror Device). Das
erfindungsgemäße Laser Scanning Mikroskop erlaubt verschiedene Betriebsmodi.
Zum einen kann auf jedem gescannten Pixel (in der Probe) das emittierte Spektrum
hochaufgelöst detektiert werden; zum anderen kann das emittierte Spektrum in eine
Anzahl von spektralen Abschnitten zerlegt werden (Zonen auf dem Schaltspiegel-
Array) und jeder dieser Abschnitte als ein separater elektronischer Detektionskanal
behandelt werden (was z. B. zur Aufnahme von Mehrfach-Fluoreszenzen vorteilhaft
ist). Darüber hinaus ist mittels eines weiteren Schaltspiegel-Arrays, das in eine zur
Objektebene konjugierte Ebene eingebracht wird, eine frei programmierbare
konfokale Blende (Pinhole) realisierbar.
Laser Scanning Mikroskope für die Untersuchung von (fluoreszierenden) Proben
bestehen heute in der Regel aus einer Detektionseinheit, die die aus dem Präparat
emittierte (Fluoreszenz-)Strahlung mittels dichroitischer Teiler- und Filterschichten
in eine gewisse Anzahl (i. a. bis zu 4) von Detektionskanälen aufteilt (Prinzip eines
"Optical Multichannel Analysers, OMA"). Diese Teiler/Filter werden in der Regel in
drehbaren Revolverrädern oder linear-verschiebbaren Schiebern gehaltert. Dadurch
ist bis zu einem gewissen Grade eine spektrale Anpassung der Kanäle an die
spektralen Eigenschaften der Probenstrahlung möglich. Da jedoch in jedem Halter
nur eine endliche Anzahl von dielektrischen Teilern und Filtern aufgenommen
werden kann und die spektralen Eigenschaften jedes einzelnen Teilers/Filters im
Herstellungsprozeß festgelegt werden, ist diese Anordnung in vielen
Anwendungsfällen nicht flexibel genug, um an das Probenspektrum optimal
angepaßt zu werden (Fig. 1).
In US 5587832 ist ein konfokales Mikroskop mit DMD-Spiegelarrays zur
Beleuchtung und/oder Detektion beschrieben.
Aufgabe der Erfindung ist ein bezüglich seiner Anregung und/oder Detektion
wesentlich flexibleres Laser- Scanning- Mikroskop.
Die Erfindung beschreibt ein Laser Scanning Mikroskop mit einer Detektionseinheit,
deren spektrale Eigenschaften über ein, in einen Monochromator integriertes
Schaltspiegel-Array frei programmierbar sind.
Das erfindungsgemäße Laser Scanning Mikroskop bestehend aus einer
Lasereinheit, einem Scanmittel, einem Mikroskopstativ, einer Detektionseinheit und
einer Ansteuer-/Aufnahme-Einheit. Die (Fluoreszenz-)Strahlung, die aus der Probe
emittiert wird, kann (im Falle konfokaler Anwendungen) auf ein in einer konjugierten
Objektebene positioniertes konfokales Pinhole fokussiert werden. Dieses Pinhole
stellt dann gleichzeitig die Eintrittsöffnung eines (Gitter-)Monochromators dar, der
durch seine dispersive Wirkung die Probenstrahlung in ihre spektralen
Komponenten zerlegt. In der Fokalebene des dispersiven Mediums (Gitters) befindet
sich ein mindestens 1-dimensionales Schaltspiegel-Array, auf das das
Probenspektrum optisch abgebildet wird (Fig. 2).
Das mindestens 1-dimensionales Schaltspiegel-Array besteht aus einer Anzahl
individuell ansteuerbarer Schaltspiegel. Während das Scanmittel im wesentlichen
auf einem Probenpunkt verweilt, kann nun z. B. sequentiell ein Spiegel nach dem
anderen individuell angesteuert (und damit umgeschaltet) werden und so die
einzelnen spektralen Komponenten der Probenstrahlung sequentiell, zur Aufnahme
des gesamten Spektrums, auf einem geeignet synchronisierten Detektor
ausgespiegelt werden.
Alternativ können ganzen spektralen Bändern entsprechende benachbarte
Spiegelzonen parallel angesteuert werden, um auf diese Art und Weise gesamte
Frequenzbänder gleichzeitig zur Detektion zu bringen (ein Band nach dem anderen
oder mehrere Bänder simultan). Im Falle von Fluoreszenzstrahlung können dabei
diejenigen Spiegelpixel, die der Anregungsstrahlung entsprechen, vorteilhaft aus
dem detektierten Spektrum ausgespart werden.
In einer Variante kann über die Spiegelpixel, die der Anregung entsprechen,
vorteilhaft die Anregungsstrahlung in das System eingekoppelt werden (Fig. 3a, b).
Dadurch wird die Notwendigkeit eines Hauptstrahlteilers (DBS) umgangen und so
ein deutlich kompakterer Systemaufbau realisierbar. Zudem durchläuft die
Anregungsstrahlung in diesem Falle automatisch das "Detektions"-Pinhole als
"Beleuchtungs"-Pinhole, was zu einer Verbesserung der Strahlqualität (räumliche
Filterung) und damit besseren räumlichen Auflösung des gesamten Mikroskop-
Systems führt. Zudem kann durch Oszillation des zur Einspiegelung der
Anregungsstahlung genutzten Spiegels zwischen zwei möglichen Spiegelstellungen
die Beleuchtungsintensität quasi-kontinuierlich eingestellt werden, bzw. Scan-Pixel
synchron verändert werden (Shading-Kompensation, Intensitätsmodulation, etc.).
Darüber hinaus ist mittels eines weiteren Schaltspiegel-Arrays, das in eine zur
Objektebene konjugierte Ebene eingebracht wird, eine frei programmierbare
konfokale Blende (Pinhole) realisierbar (Fig. 4). Dieses Pinhole ist sowohl in Form
und Größe (einstellbares konfokales Volumen), als auch in der lateralen Position frei
programmierbar, was die Flexibilität des Systems erhöht und für die Justage des
optischen System von großem Vorteil ist (Pinhole-Autojustage). Bei "Mehrkanal"-
Anwendungen, kann zudem die Pinholegröße mit dem im Augenblick zur Detektion
gebrachten Spektralband synchronisiert werden, um von der Wellenlänge
unabhängige optische Schnitte mit dem konfokalen Mikroskop zu realisieren. Zudem
kann vorteilhaft auch die Pinholegröße an die Intensität der Fluoreszenzstrahlung
angepaßt werden, wenn verschiedene sehr unterschiedlich intensive Fluoreszenzen
simultan in der Probe vorhanden sind und detektiert werden sollen.
In einer vorteilhaften Variante kann ein gekrümmtes Gitter eingesetzt werden, was
gleichermaßen die Kollimation und die Dispersion der zu detektierenden Strahlung
übernimmt und damit in einer kleineren Anzahl optischer Komponenten resultiert
(Fig. 5). Damit wird die Baugröße der gesamten erfindungsgemäßen Anordnung
vorteilhaft verkleinert. Hieraus resultiert vor allem eine höhere optische Stabilität des
Detektionssystems.
In einer Variante kann das optische Gitter durch ein Prisma ersetzt werden. Dadurch
ist potentiell, insbesondere bei der Detektion unpolarisierten Lichtes, eine Erhöhung
der Effizienz des optischen Systems möglich (Fig. 6).
In einer Variante kann das erfindungsgemäße spektroskopische System auch an ein
bestehendes "Stand-der-Technik" Laser Scanning Mikroskop angepaßt werden, um
die Emissionsstrahlung der mikroskopischen Probe spektral zu charakterisieren.
Dies kann insbesondere über eine Faserkopplung der spektrometrischen Einheit an
das Laser Scanning Mikroskop erfolgen, wobei die Faser beispielhaft direkt hinter
eines der konfokalen Pinholes angebracht werden kann (Fig. 7).
In einer Variante, die die Anregung von Multi-Photonen-Fluoreszenz zum
Gegenstand hat, kann aufgrund der 3D-ortsaufgelösten Anregung vollends auf eine
konfokale Blende verzichtet werden (Fig. 8). In diesem Falle kann in der
erfindungsgemäßen Anordnung die konfokale Blende in der Monochromator-
Eintrittsblendenebene entfallen und das Emissionslicht kann direkt auf das
dispersive Medium eingestrahlt werden.
In der Fluoreszenz-Mikroskopie im biomedizinischen Bereich konzentriert sich die
Anwendung i. a. auf das Wellenlängenband von ca. 350 bis 800 nm. Die applikativ
erforderliche Wellenlängenauflösung liegt im Bereich von ca. 0,5 nm. Schaltspiegel-
Arrays sind heute in verschiedensten Ausführungsformen (auch kommerziell)
erhältlich (z. B. von Texas Instruments, Inc., Dallas, TX), so z. B. auch in der "Display-
Form" 576 × 864 Pixel2. Bei Abbildung des Spektrums längs der 864 Pixel läßt sich
damit eine Auflösung von ca. 0,5 nm realisieren. Die individuellen Spiegel lassen,
digital angesteuert, sich zwischen zwei hochstabilen Positionen umschalten (± 10°),
wobei der Umschaltprozeß innerhalb von etwa 300 ns abgeschlossen ist. Die
reflektierenden Spiegel sind frei und unabhängig voneinander digital
programmierbar.
Als dispersive Medien in den oben beschriebenen Aufbauten können z. B. Gitter,
Prismen oder Kombinationen davon eingesetzt werden. Bei Einsatz dieser
Komponenten in einer "doublepass"-Konfiguration kann die wirksame Dispersion
verdoppelt werden und damit vorteilhaft eine besonders kompakten Aufbau des
Laser Scanning Mikroskops realisiert werden. Linienzahl . . .; Blazewellenlänge . . .;
Basiswinkel . . .; Material . . .).
Grundsätzlich sind alle die hier beschriebenen Anordnungen auch im
Transmissions-Modus realisierbar, indem ein Transmissions-Array (LCD-Array;
liquid crystal) anstelle des Schaltspiegel-Arrays zur Einsatz kommt (Fig. 9).
Ein Linien-scanendes Laser Scanning Mikroskop kann realisiert werden, indem der
Laserstrahl auf eine Linie aufgeweitet wird und diese mittels nur eines Scanners
(eine Scanachse) über das Objekt geführt wird (Fig. 10). Ersetzt man in Abb. 2
das punktförmige Pinhole durch ein Schlitzpinhole längs des linienförmigen
Laserstrahls, den DMD durch ein 2-dimensionales Schaltspiegel-Array und den
Detektor durch eine (sensitivity-enhanced) CCD, so kann das System im Line-
Scanning Mode betrieben werden. In der einen Dimension des DMD-Arrays wird die
gescannte Linie abgebildet, in der anderen Koordinate das Spektrum dieser
Objektlinie.
Durch Auswechseln des optischen Gitters oder durch Verschieben und Drehen des
Gitters (Monochromatorgröße) kann das Auflösungsvermögen des
spektrometrischen Systems an die jeweiligen applikativen Bedürfnisse angepaßt
werden.
In Fig. 1 sind schematisch eine Mikroskopeinheit M und ein Scankopf S dargestellt,
die eine gemeinsame optische Schnittstelle über eine Zwischenabbildung
aufweisen und ein LSM bilden.
Der Scankopf S kann sowohl an den Phototubus eines aufrechten Mikroskopes
sowie auch an einen seitlichen Ausgang eines inversen Mikroskopes angesetzt
werden.
Es ist ein zwischen Auflichtscan und Durchlichtscan mitttels eines schwenkbaren
Spiegels 14 umschaltbarer mikroskopischer Strahlengang dargestellt,
mit Lichtquelle 1, Beleuchtungsoptik 2, Strahlteiler 3, Objektiv 4, Probentisch 5,
Kondensor 6, Lichtquelle 7, Empfängeranordnung 8, einer ersten Tubuslinse 9,
einem Beobachtungsstrahlengang mit einer zweiten Tubuslinse 10 und einem Okular
11 sowie einem Strahlteiler zur Einkopplung des Scanstrahls dargestellt.
Ein Lasermodul 13.1, 13.2 nimmt die Laser auf und ist über Monomode-
Lichtleitfasern 14.1, 14.2 mit der Lasereinkoppeleinheit des Scankopfes S
verbunden.
Die Einkopplung der Lichtleitfasern 14.1, 14.2 erfolgt mittels einer verschieblichen
Kollimationsoptik 16 sowie Strahlumlenkelementen 17.1, 17.2.
Mittels eines teildurchlässigen Spiegels 18 wird ein Überwachungsstrahlengang in
Richtung einer Monitordiode 19, der, vorteilhaft auf einem nicht dargestellten
drehbaren Filterrad Linienfilter 21 sowie Neutralfilter 20 vorgeordnet sind,
ausgeblendet.
Die eigentliche Scaneinheit besteht aus Scanningobjektiv 22, X/Y- Scanner 23,
Hauptstrahlteiler 24 und einer gemeinsamen Abbildungsoptik 25 für
Detektionskanäle 26.1-26.4.
Ein Umlenkprisma 27 hinter der Abbildungsoptik 25 spiegelt die vom Objekt 5
kommende Strahlung in Richtung dichroitischer Strahlteiler 28 im konvergenten
Strahlengang der Abbildungsoptik 25, denen in Richtung und senkrecht zur
optischen Achse verstellbare und in ihrem Durchmesser veränderbare Pinholes 29,
individuell für jeden Detektionskanal sowie Emissionsfilter 30 und
geeignete Empfängerelemente 31 (PMT) nachgeordnet sind.
Eine Ansteuereinheit/Rechnereinheit 34 ist vorgesehen, die unter anderem mit dem
Tisch 5 und den Scannern 23 verbunden ist und sie ansteuert.
Fig. 2 zeigt eine mögliche Ausführungsform des erfindungsgemäßen Laser Scanning
Mikroskops bestehend aus einer Lasereinheit L mit nachgeordneten Shutter S.
Kollimationsoptik KO, Strahlteiler ST1 zur Auskopplung eines Monitorstrahlengangs
MO, einem Strahlteiler ST2 zur Einleitung in ein Scanmittel SC bzw. in Richtung der
Detektion, einem Mikroskop analog Fig. 1, mit zusätzlicher Detektion DT1 außerhalb
des Scanstrahlenganges, wobei Spiegel 12 hier als Strahlteiler ausgebildet ist, einer
Detektionseinheit und einer Ansteuer-/Aufnahme-Einheit. Die Strahlung, die aus der
Probe emittiert wird, kann (im Falle konfokaler Anwendungen) auf ein in einer
konjugierten Objektebene positioniertes konfokales Pinhole PH1 fokussiert werden.
Dieses Pinhole PH1 stellt dann gleichzeitig die Eintrittsöffnung eines (beispielhaft
"Gitter"-GT und abbildende Spiegel SP1, SP2) Monochromators dar, der durch seine
dispersive Wirkung die Probenstrahlung in ihre spektralen Komponenten zerlegt. In
der Fokalebene des dispersiven Mediums (beispielhaft "Gitter") befindet sich ein
mindestens 1-dimensionales Schaltspiegel-Array DMD1, auf das das
Probenspektrum optisch abgebildet wird und dem eine Fokussieroptik FO und ein
Detektor DT3 nachgeordnet sind.
In einer vorteilhaften Ausführung kann über die Spiegelpixel, die der Anregung
entsprechen, vorteilhaft die Anregungsstrahlung in das System eingekoppelt
werden. Dadurch wird die Notwendigkeit eines Hauptstrahlteilers (DBS) umgangen
und so ein deutlich kompakterer Systemaufbau realisierbar. Zudem durchläuft die
Anregungsstrahlung in diesem Falle automatisch das "Detektions"-Pinhole als
"Beleuchtungs"-Pinhole, was zu einer Verbesserung der Strahlqualität (räumliche
Filterung) und damit besseren räumlichen Auflösung des gesamten Mikroskop-
Systems führt. Zudem kann durch Oszillation des zur Einspiegelung der
Anregungsstahlung genutzten Spiegels zwischen zwei möglichen Spiegelstellungen
die Beleuchtungsintensität quasi-kontinuierlich eingestellt werden, bzw. Scan-Pixel
synchron verändert werden (Shading-Kompensation, Intensitätsmodulation, etc.).
In Fig. 3a ist schematisch eine Lichteinkoppelfaser F dargestellt.
Das eingekoppelte Laserlicht gelangt auf ein Gitter GT2, wird spektral zerlegt und
auf eine DMD - Anordnung, hier schematisch anhand einer Zeile, die sich entlang
der Dispersionsrichtung erstreckt über eine Feldlinse FL1 zur Parallelisierung,
reflektiert.
Durch selektive Schaltung einzelner Spiegelelemente, anhand Fig. 3b schematisch
dargestellt, werden bestimmte Wellenlängen oder Wellenlängenbereiche in der
Stellung on in Richtung des Gitters zurückreflektiert, andere gelangen bei der off-
Stellung der Spiegel nicht auf das Gitter GT2 zurück und werden beispielsweise
ausgeblendet.
Für die auf das Gitter GT2 zurückreflektierten Wellenlängenanteile wird die
Dispersion wieder aufgehoben und sie werden, da sie versetzt auf dem Gitter
auftreffen, auf ein Pinhole PH2 im Eingang des Mikroskopes abgebildet.
Das vom Objekt zurückkehrende Licht gelangt über PH2, GT2, FL1, DMD, eine
weitere
Feldlinse FL2 in Richtung einer schematisch dargestellten Detektionseinheit DE.
Es wird am Gitter GT2 in Einzelwellenlängen aufgespalten.
Mittels eines weiteren Schaltspiegel-Arrays DMD1, das in eine zur Objektebene
konjugierte Ebene eingebracht wird, ist anstatt PH1 in Fig. 2 eine frei
programmierbare konfokale Blende (Pinhole) realisierbar. Dieses Pinhole ist sowohl
in Form und Größe (einstellbares konfokales Volumen), als auch in der lateralen
Position frei programmierbar, was die Flexibilität des Systems erhöht und für die
Justage des optischen System von großem Vorteil ist (Pinhole-Autojustage). Bei
"Mehrkanal"-Anwendungen, kann zudem die Pinholegröße mit dem im Augenblick
zur Detektion gebrachten Spektralband synchronisiert werden, um von der
Wellenlänge unabhängige optische Schnitte mit dem konfokalen Mikroskop zu
realisieren. Zudem kann vorteilhaft auch die Pinholegröße an die Intensität der
Fluoreszenzstrahlung angepaßt werden, wenn verschiedene sehr unterschiedlich
intensive Fluoreszenzen simultan in der Probe vorhanden sind und detektiert
werden sollen.
In einer Variante kann ein gekrümmtes Gitter GT3 eingesetzt werden, was
gleichermaßen die Kollimation und die Dispersion der zu detektierenden Strahlung
übernimmt und damit durch Wegfall der abbildenden Spiegel SP1, SP2 in Fig. 2 in
einer kleineren Anzahl optischer Komponenten resultiert. Damit wird die Baugröße
der gesamten erfindungsgemäßen Anordnung vorteilhaft verkleinert. Hieraus
resultiert vor allem eine höhere optische Stabilität des Detektionssystems.
Das optische Gitter kann in einer anderen Ausführungsform auch durch ein Prisma P
ersetzt werden. Dadurch ist potentiell, insbesondere bei der Detektion
unpolarisierten Lichtes, eine Erhöhung der Effizienz des optischen Systems möglich.
zeigt ein "Stand-der-Technik" Laser Scanning Mikroskop analog Fig. 1, hier ohne
Bezugszeichen, an das mittels einer weiteren Faser F1 eine mögliche
Ausführungsform des erfindungsgemäßen spektroskopische Detektionssystems wie
beispielsweise in Fig. 5 beschrieben, aus einem der Detektionsstrahlengänge (26.1
in Fig. 1) direkt nach dem Pinhole ausgekoppelt ist, um die Emissionsstrahlung der
mikroskopischen Probe spektral zu charakterisieren.
Im Falle der Anregung von Multi-Photonen-Fluoreszenz kann in der
erfindungsgemäßen Anordnung die konfokale Blende (PH1 in Fig. 2, DMD1 in Fig. 4)
in der Monochromator-Eintrittsblendenebene entfallen und das Emissionslicht kann
direkt auf das dispersive Medium eingestrahlt werden, wie anhand der Anordnung
mit gekrümmten Spiegel gemäß Fig. 5 dargestellt wird.
zeigt eine weitere Ausführung wie in Fig. 2, aber anstatt des DMD nach dem Gitter
GT1 mit einem transmittiven Modulator MT, beispielsweise eines LCD-Arrays, das
nur die interessierenden Wellenlängen des dispergierten Spektrums auf den
Detektor gelangen läßt.
Zeigt, daß ein Linien-scanendes Laser Scanning Mikroskop kann realisiert werden,
indem der Laserstrahl auf eine Linie aufgeweitet wird und diese mittels nur eines
Scanners (eine Scanachse), hier beispielhaft in Y-Richtung über das Objekt geführt
wird. Ersetzt man in Fig. 2 das punktförmige Pinhole durch ein Schlitzpinhole längs
des linienförmigen Laserstrahls, realisiert durch 2-dimensionales Schaltspiegel-
Array DMD1, dargestellt anhand der dunklen Spiegel in Streifenform und den
Detektor durch eine (sensitivity-enhanced) CCD, so kann das System im Line-
Scanning Mode betrieben werden. In der einen Dimension des DMD-Arrays wird die
gescannte Linie abgebildet, in der anderen Koordinate das Spektrum dieser
Objektlinie.
Claims (9)
1. Laser-Scanning-Mikroskop mit mindestens einer selektiv schaltbaren
Mikrospiegelanordnung (DMD) im Beleuchtungs- und/oder Detektionsstrahlengang,
die zur Wellenlängenselektion dispersiv aufgespaltenen Beleuchtungs und/oder
Objektlichtes wie Reflexion, Fluoreszenz, dient.
2. Kombination mindestens einer DMD-Anordnung mit mindestens einem
Dispersionselement zur wellenlängenselektiven Einkopplung von Beleuchtungslicht
in Richtung des Objektes und wellenlängenselektiven Auskopplung von Objektlicht
in Richtung der Detektion in einem Mikroskop.
3. Anwendung der Kombination gemäß Anspruch 2 in einem Laser-Scanning-
Mikroskop.
4. Anordnung nach einem der Ansprüche 1-3, mit mindestens einem Gitter und/oder
Prisma als dispersives Element.
5. Anordnung einer DMD-Anordnung anstelle einer konfokalen Lochblende im
Detektionsstrahlengang eines Laser-Scanning-Mikroskopes.
6. Optischer Anschluß einer Anordnung nach einem der Ansprüche 1-5 an den
Detektionsstrahlengang eines Laser-Scanning-Mikroskopes mit dichroitischen
Strahlteilern zur Aufspaltung des Detektionsstrahlenganges in Einzelkanäle.
7. Anordnung nach Anspruch 6, wobei der optische Anschluß über eine Lichtleitfaser
erfolgt.
8. Laser-Scanning-Mikroskop mit schlitzförmiger Abtastung in mindestens einer
Richtung, die durch Schaltung mindestes einer DMD-Anordnung erzeugt wird.
9. Kombination mindestens eines dispersiven Elements mit einer selektiv
schaltbaren Transmissionsblende im Detektionsstrahlengang.
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|---|---|---|---|
| DE19835072A DE19835072A1 (de) | 1998-08-04 | 1998-08-04 | Anordnung zur Beleuchtung und/oder Detektion in einem Mikroskop |
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| US10/943,566 US7212338B2 (en) | 1998-08-04 | 2004-09-16 | Arrangement for illumination and/or detection in a microscope |
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| DE19835072A DE19835072A1 (de) | 1998-08-04 | 1998-08-04 | Anordnung zur Beleuchtung und/oder Detektion in einem Mikroskop |
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