DE1961339A1 - Verfahren zur Durchfuehrung chemischer Reaktionen - Google Patents
Verfahren zur Durchfuehrung chemischer ReaktionenInfo
- Publication number
- DE1961339A1 DE1961339A1 DE19691961339 DE1961339A DE1961339A1 DE 1961339 A1 DE1961339 A1 DE 1961339A1 DE 19691961339 DE19691961339 DE 19691961339 DE 1961339 A DE1961339 A DE 1961339A DE 1961339 A1 DE1961339 A1 DE 1961339A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- plasma
- reaction
- liquid
- anode
- reactants
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims description 34
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 15
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 18
- 239000000376 reactant Substances 0.000 claims description 12
- 238000010891 electric arc Methods 0.000 claims description 10
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 claims description 8
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 3
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 229910052752 metalloid Inorganic materials 0.000 claims 5
- 150000002738 metalloids Chemical class 0.000 claims 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims 4
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 7
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 5
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 5
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 4
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 4
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 4
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 4
- XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J titanium tetrachloride Chemical compound Cl[Ti](Cl)(Cl)Cl XJDNKRIXUMDJCW-UHFFFAOYSA-J 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000003776 cleavage reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 3
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 2
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 238000010791 quenching Methods 0.000 description 2
- 230000000171 quenching effect Effects 0.000 description 2
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004408 titanium dioxide Substances 0.000 description 2
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006004 Quartz sand Substances 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000005265 energy consumption Methods 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229910052756 noble gas Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000033116 oxidation-reduction process Effects 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 239000011541 reaction mixture Substances 0.000 description 1
- 230000006641 stabilisation Effects 0.000 description 1
- 238000011105 stabilization Methods 0.000 description 1
- MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N tantalum nitride Chemical compound [Ta]#N MZLGASXMSKOWSE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OEIMLTQPLAGXMX-UHFFFAOYSA-I tantalum(v) chloride Chemical compound Cl[Ta](Cl)(Cl)(Cl)Cl OEIMLTQPLAGXMX-UHFFFAOYSA-I 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/3405—Arrangements for stabilising or constricting the arc, e.g. by an additional gas flow
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J12/00—Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor
- B01J12/002—Chemical processes in general for reacting gaseous media with gaseous media; Apparatus specially adapted therefor carried out in the plasma state
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B13/00—Oxygen; Ozone; Oxides or hydroxides in general
- C01B13/14—Methods for preparing oxides or hydroxides in general
- C01B13/20—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state
- C01B13/22—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state of halides or oxyhalides
- C01B13/28—Methods for preparing oxides or hydroxides in general by oxidation of elements in the gaseous state; by oxidation or hydrolysis of compounds in the gaseous state of halides or oxyhalides using a plasma or an electric discharge
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/0615—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with transition metals other than titanium, zirconium or hafnium
- C01B21/0617—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with transition metals other than titanium, zirconium or hafnium with vanadium, niobium or tantalum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B21/00—Nitrogen; Compounds thereof
- C01B21/06—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron
- C01B21/064—Binary compounds of nitrogen with metals, with silicon, or with boron, or with carbon, i.e. nitrides; Compounds of nitrogen with more than one metal, silicon or boron with boron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B32/00—Carbon; Compounds thereof
- C01B32/90—Carbides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
- C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
- C01B33/113—Silicon oxides; Hydrates thereof
- C01B33/12—Silica; Hydrates thereof, e.g. lepidoic silicic acid
- C01B33/18—Preparation of finely divided silica neither in sol nor in gel form; After-treatment thereof
- C01B33/181—Preparation of finely divided silica neither in sol nor in gel form; After-treatment thereof by a dry process
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G23/00—Compounds of titanium
- C01G23/02—Halides of titanium
- C01G23/026—Titanium trichloride
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G23/00—Compounds of titanium
- C01G23/04—Oxides; Hydroxides
- C01G23/047—Titanium dioxide
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C01—INORGANIC CHEMISTRY
- C01G—COMPOUNDS CONTAINING METALS NOT COVERED BY SUBCLASSES C01D OR C01F
- C01G23/00—Compounds of titanium
- C01G23/04—Oxides; Hydroxides
- C01G23/047—Titanium dioxide
- C01G23/07—Producing by vapour phase processes, e.g. halide oxidation
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/341—Arrangements for providing coaxial protecting fluids
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
- B01J2219/08—Processes employing the direct application of electric or wave energy, or particle radiation; Apparatus therefor
- B01J2219/0894—Processes carried out in the presence of a plasma
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05H—PLASMA TECHNIQUE; PRODUCTION OF ACCELERATED ELECTRICALLY-CHARGED PARTICLES OR OF NEUTRONS; PRODUCTION OR ACCELERATION OF NEUTRAL MOLECULAR OR ATOMIC BEAMS
- H05H1/00—Generating plasma; Handling plasma
- H05H1/24—Generating plasma
- H05H1/26—Plasma torches
- H05H1/32—Plasma torches using an arc
- H05H1/34—Details, e.g. electrodes, nozzles
- H05H1/3468—Vortex generators
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Environmental & Geological Engineering (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Geology (AREA)
- Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
- Carbon And Carbon Compounds (AREA)
- Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
- Plasma Technology (AREA)
- Soil Working Implements (AREA)
Description
Essen, den 4. Dez. 1969 ( 792/Gl)
Patentanmeldung
LQITZA AG, Gampel/Wallis (Schweiz)
(Geschäftsleitung: BASEL)
VERFAHREN ZUR DURCHFÜEHRUNG CHEMISCHER REAKTIONEN
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur
Durchführung chemischer Reaktionen, bei dem die Reaktionsteilnehmer
unter der Wärmewirkung des Plasmas einer durch
eine wirbelnde Flüssigkeit stabilisierten Bogenentladung
zur Reaktion gebracht werden.
Es ist bekannt, ein Edelgas oder ein zweiatomiges Gas, z.B. Wasserstoff, als Plasmagas zu verwenden,
die Bogenentladung durch einen Wasserwirbel zu stabilisieren und die Reaktionsteilnehmer dem als Wärmeträger
dienenden Plasmastrahl auszusetzen.
Dabei gelangt wegen der Wärmeverluste nur ein
Teil der Wärmeenergie des Plasmas in den Reaktionsraum,
und dieser Teil kommt nur unvollständig zum Wärmeausgleich
mit den Reaktionsteilnehmern.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, die Energieausbeute zu verbessern.
00982S/ 1 91S
Dies wird erfindungsgemäss dadurch erreicht,
dass wenigstens einer der Reaktionsteilnehmer in flüssiger
Phase zum Stabilisieren der Bogenentladung verwirbelt wird, .
Dabei verdampft ein Teil dieses Reaktionsteilnehmers und bildet wenigstens einen Teil des Plasmas,
so dass das Plasma nicht nur wie bisher Wärmeträger, sondern auch Reakti ons teilnehmer ist. Das Plasma kann
entweder ohne Gaszufuhr nur durch aus dem Wirbel verdampfte Flüssigkeit oder- teils durch zugeführtes Gas und
teils durch verdampfte Flüssigkeit gebildet werden, wobei Gas und Dampf im letzteren Falle innig und völlig
gleichmässig miteinander vermischt sind. In beidai Fällen
wird erreicht, dass der eine Reaktionsteilnehmer bereits
die Temperatur des Plasmas hat, wenn er mit dem anderen in Berührung kommt, so dass der grösstmögliche Teil der
Wärmenergie des Plasmas bei der Reaktion unmittelbar
wirksam wird. Das erfindungsgemässe Verfahren ermöglicht
es auch, die Reakt ions teij£L nehmer im Entladungsraum
zwischen den Elektroden zur Reaktion zu bringen.
Das erfindungsgemässe Verfahren wird im folgenden an Beispielen der Anwendung zur Reduktion, Spaltung
sreaktiön, Zersetzung und Rekombinbation, Oxydationsreaktion, Carbid- und Nitridbildung näher beschrieben.
009826/191S-
Bei diesen Beispielen wird das erfindungsgemässe
Verfahren mittels eines Plasmareaktors durchgeführt, der in der einzigen Figur der beiliegenden Zeichnung
in einem Längsschnitt schematisch dargestellt ist.
Der dargestellte Plasmareaktor hat ein Entladungsgefäss mit einem zylindrischen Mantel 1, einer
vorderen Düse 2, durch welche der Plasmastrahl 3 austritt, und einer Rückwand 4. Im Entladungsgefäss sind
drei Blenden 5, 6 und 7 voneinander und von der Düse und der Rückwand 4 distanziert angeordnet. Zwischen
der Rückwand 4 und der Blende 5 ist eine Blende 8 und zwischen den Blenden 6 und 7 sind zwei Blenden 9 und
koaxial zum Mantel 1 angeordnet. Der Aussendurchmesser
der Blenden 8, 9 und 10 ist kleiner als der Innendurchmesser
des Mantels 1. Der Lochdurehmesser der Blende ist etwa gleich dem der Blenden 5,6 und 7, der Lochdurehmesser
der Blenden 8 und 9 ist etwas kleiner. Die Blende 8 ist von der Rückwand 4 und von der Blende 5,
die Blenden 9 und 10 sind voneinander und von den Blenden
6 und 7 durch Ringe 11 distanziert, deren Aussendurchmesser dem der Blenden 8, 9 und 10 entspricht. Der Innendurchmesser
der Ringe U ist grosser als der Lochdurchmesser
der Blenden 5 bis 10, wodurch mehrere, axial
durch je zwei benachbarte Blenden und radial durch je einen Ring begrenzte Ringräunie für die Flüssigkeitswirbel
zum Stabilisieren der Bogenentladung gebildet sind.
009826/1915
Die Ringe 11 haben zu ihrem Lochrand tangentiale-}
durchgehende Bohrungen. In die Ringräume zwischen den Blenden 8, 9', 10 sowie den Ringen 11 und dem
Mantel 1 führt je eine Zuleitung 12 bzw. 13 für die Flüssigkeit zur Erzeugung der Flüssigkeitswirbel.
Jede der Blenden 5, 6 und 7 hat eine axial vorstehende Ringlippe. Aus den Ringräumen zwischen diesen
Ringlippen und dem Mantel 1 führen Ableitungen 14 und ^ 15 für den nicht verdampften Rest dieser Flüssigkeit,
welcher gekühlt und zusammen mit neuer Flüssigkeit den Einlassen 12 und 13 wieder zugeführt wird. In die
z.B. Rückwand 4 ist eine Stabkathode 16/aus Graphit koaxial
eingesetzt. Vor der Düse 2 rotiert eine hohle, wassergekühlte, kreisseheibenförmige Anode 17, die je nach
z.B. der durchzuführenden Reaktion/aus Kupfer, Kohlenstoff,
Titan oder Aluminium besteht. Die Achse der'Anode 17
verläuft parallel zur Achse des Entladungsgefässes, und der Rand der Anode hat von der Achse des Entladungs-
W gefässes etwa denselben Abstand wie der Lochrarid der
Düse 2. Mit 18 ist der Antrieb und mit 19 ist das Kühlsystem für die Anode 17 bezeichnet. Die Anode 17 ist
in einem Ansatz einer Reaktionskammer 20 angeordnet, die für bestimmte Reaktionen z.B. aus keramischem$ oxidisehen
Material besteht, an die Düse 2 anschliesst und mit einer Zuleitung 21 und zwei Auslassftutzen 22
0098 26/191 S
und 23 ausgerüstet ist. Für bestimmte Reaktionen
kann die Reaktionskammer 20 wärmeisoliert, mit einer
Heiz- oder Kühlvorrichtung verselm sein, eine Ringbrause
24 zum Abschrecken der Reaktionsprodukte, eine feststehende, wassergekühlte zweite Kupferanode 25
und einen Auslass 26 haben.
Reduktion:.
Zur Reduktion von TiCl4 zu TiCIo wird der
im Zusammenhang mit der Zeichnung beschriebene Plasmareaktor
mit einer Kupferanode 17, aber ohne die Teile 24, 25, 26 verwendet.
Der eine Reaktionsteilnehmer, TiCl4, wird
in die Einlasse 12 und 13 geleitet, strömt durcljüie
tangentialen Bohrungen der Ringe 11 und bildet Flüssigkeitswirbel im Entladungsraum, wobei er teilweise unter
Bildung des Plasmagases verdampft. Als zweiter Reaktionsteilnehmer wird Wasserstoff durch die Zuleitung 21 in
die Reaktionskammer 20 geleitet. Die Bogenentladung erfolgt beispielsweise mit einer Stromstärke von 500 Amp,
Der Pläsmastrahl 3 hat beispielsweise einen Durchmesser von 7 bis 13 mm und wird durch die aus TiCl4- bestehenden
Flüssigkeitswirbel stabilisiert.
0 0 9 8 2 6 / 1 9 1 S
Es finden zwei, stufenweise aufeinander
folgende Reaktionen statt. Als e^rste Reaktion werden
aus dem Kohlenstoff der Kathode und einem Teil des TiCl. im Raum zwischen den Lippen der Blenden 5 und
6 Titancarbid und Chlor gebildet. Diese Reaktionsprodukte werden durch den Auslass 14 zusammen mit
abgezogen, wobei sie abgeschreckt werden. Die Menge dieser Reaktionsprodukte hängt u.a. von der Grosse des
Raumes zwischen den Lippen der Blenden 5 und 6 und von
der Abzugsgeschwindigkeit ab. Die zweite Reaktion findet an der Anode 17 statt und erfolgt nach der Gleichung
TiCl4 + iH2 >
TiCl3 + HCl.
Die Reaktionsprodukte werden bei 22 und 23 abgezogen»
Zur Reduktion von TiCl4 zu Ti wird der Plasmareaktor mit der Aluminiumanode 17, ohne die Tei3£ 21,
24, 25, 26 verwendet. Dabei entstehen flüssiges Ti und unter allmählichem Verbrauch der Anode Äluminiumchloridgas.
Spaltungsreaktion:
Zur Spaltungsreaktion von SiGl. wird der
der *
Plasmareaktor mit/Kupferanode 17 und mit der zweiten Kupferanode 25 sowie dem Auslass 26, jedoch ohne die
Brause 24 verwendet. An die zweite Anode 25 wird eine Spannung gelegt, die positiver ist als die Spannung an
. - . - - - 7 009826/1915
der Anode 17, so dass die Entladung sich von der
Kathode 16 zur Anode 17 und von dleser weiter zur
zweiten Anode 25 erstreckt.
Durch die Einlasse 12 und 13 wird SiCl4
zur Bildung und Stabilisierung des Plasmas zugeführt und die Stromstärke (etwa 500 Amp.) sowie der Lochdurchmesser
der Blenden/werden so gewählt, dass,die Temperatur des Plasmagases die.für die Durchführung
der Reaktion SiCl4-—^Si + 2Cl2 erforderliche Höhe
erreicht. Die Spaltung sr eakt'ion findet in der Reaktionskammer 20 statt. Das Siliciummetall kondensiert
an der zweiten Anode 25, tropft von dieser ab und wird durch den Auslass 26 entfernt. Das Restprodukt, gasförmiges
Chlor, wird durch die Auslässe 22 und 23 abgezogen. Eine Rekombination im Reaktionsgefäss 20
wird durch den sich zwischen der Anode 17 und der zweiten Anode 25 erstreckenden Teil der Bogenentladung
weitgehend verhindert.
Zur Zersetzung und Rekombination vm SiOp
wird der beschriebene Plasmareaktor mit der Kupferanode
17 und mit der Brause 24, aber ohne die Teile und 26 verwendet.
003826/1915
Den Einlassen 12 und 13 wird Wasser zur
Bildung und zum Stabilisieren des Plasmas zugeführt. In den aus der Düse 2 austretenden Plasmastrahl 3
wird durch die Zuleitung 21 feinpulvriger Quarzsand mit Hilfe von Luft eingeblasen. Zwischen dem verdampften
Quarz und dem Wasserplasma findet eine Austauschreaktion statt, indem mindestens ein Teil des
Sauerstoffs des SiO2 durch Sauerstoff des HpO ersetzt
ψ wird. Die gasförmige!Reaktionsprodukte werden durch
Wasser, das durch die Ringbrause 24 eingedüst wird, abgeschreckt, wodurch feinstverteiltes Si02 mit einer
Teilchengrösse unter 0,001 mm Durchmesser im Wasser '
erhalten werden. *
Zur Herstellung von Titandioxid/Qurch Oxydationsreduktion
von TiCl^ wird der beschriebene Plasma-
^ reaktor ohne die Teile 24, 25, 26 mit Titananode 17,
einer aus keramischem oxidischen Material bestehenden Reaktionskammer 20, einer zusätzlichen (nicht dargestellten)
Düse, die gegenüber der Anode 17 auf den Plasmastrahl 3 gerichtet ist und einer zusätzlichen
(nicht dargestellten) Zuleitung, die zwischen der Kathode
16 und der Düse 2 in den Entladungsraum führt, verwendet.
009826/1915
Titantetrachlorid wird zur Bildung eines Teiles des Plasmas und zur Stabilisierung des Plasmas
den Zuleitungen 12 und 13 zugeführt. Durch die zusätzliche Zuleitung wird reiner Sauerstoff in das Plasma
geleitet und durch die zusätzliche Düse wird weiteres TiCl^ dem Plasmastrahl zugeführt. Nach diesem Verfahren
wurden beispielsweise 60 kg pigmentäres Titandioxid bei einem Energieaufwand von ca. 120 kWh gewonnen.
Zur. Herstellung von Titancarbid wird der beschriebene
Plasmareaktor mit Kohlenstoffanode 17, gekühlter
Reaktionskammer 20, ohne die Teile 21,25, 26, aber mit der Brause 24 und mit einer zusätzlichen (nicht dargestellten)
Düse, die gegenüber der Anode 17 auf den Plasmastrahl 3 gerichtet ist, verwendet.
Ein flüssiger Kohlenwasserstoff, z.B. ein Kohlenwasserstoff mit einem durchschnittlichen C-Gehalt
von 10 bis 15 C-Atomen pro Molekül, wird als Stabilisie
rungsflüssigkeit und zur Bildung des Plasmas durch die
Zuleitungen 12 und 13 zugeführt, Durch die zusätzliche Düse wird Titantetrachlorid dem Plasmastrahl 3 zugeführt.
Dabei findet die Reaktion TiCl4 + Kohlenwasserstoff >
TiC +Salzsäure statt. Das resultierende Reaktionsgemisch
- 10 009 8 26/1915
wird mit einer aus gleichen Teilen Wasserstoff und
Methan bestehenden Mischung mittels der Ring^brause 24 abgeschreckt. Auf diese Weise wurden mit einer Brennerleistung
von ca. 120 kW stündlich 10 kg TiC mit einer Teilchengrösse unter 0,001 mm erhalten.
Statt Titantetrachlorid dem Kohlenwasserstoffplasmastrahl
zuzuführen kann auch umgekehrt Titantetrachlorid als Stabilisierungsflüssigkeit und zur Bildung
des Plasmas verwendet und der Kohlenwasserstoff dem Plasmastrahl zugeführt werden.
Zur Herstellung von Bornitrid wird der beschriebene Plasmareaktor mit Kupferanode 17, ohne die
Teile 21, 25, 26, aber mit der Brause 24 und mit einer
zusätzlichen (nicht dargestellten) Düse, die gegenüber der Anode 17 auf den Plasmastrahl 3 gerichtet ist, verwendet.
Als Stabilisierungsflüssigkeit und als ein .
Teil eines Reaktionsteilnehmers wird verflüssigtes NH3 durch die Einlasse 12 und 13 zugeführt» Gasförmiges HN3
als restlicher Teil des einen Reaktionsteilnehmers und Boroxyd als zweiter Reaktionsteilnehmer werden durch
die zusätzliche Düse dem Plasmastrahl 3 zugeführt. Dabei findet die Reaktion B9Oo + 2NH,,—»2BN +■ 3H9O statt.
- 11 009826/ 191S
Die Reaktionsgase werden mittels der Brause 24 auf
400° C abgeschreckt und durch die Auslassstutzen 22 und 23 getrennt abgezogen.
Auf entsprechende Weise kann z.B. Tantalnitrid hergestellt werden) indem anstelle des Boroxids
Tantalchlorid zusammen mit dem gasförmigen Ammoniak durch die Zuleitung 21 dem Plasmastrahl zugeführt wird,
wobei die Reaktion nach der Gleichung TaCIc + NH3 >
Die Reaktionsteilnehmer sind vertauschbar mit der Einschränkung) dass nur ein bei einer geeigneten
Temperatur flüssiger Reaktionsteilnehmer als Stabilisierungsflüssigkeit und gleichzeitig zur Bildung des
Plasmas verwendbar 1st.
A η s ρ r ü c h e :
- 12 -009826/1915
Claims (8)
- PatentansprücheflJ Verfahren zur Durchführung chemischer Reaktionen, bei dem die Reaktionsteilnehmer unter der Wärmewirkung des Plasmas einer durch eine wirbelnde Flüssigkeit stabilisierte Bogenentladung zur Reaktion gebracht werden, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Reaktionsteilnehmer in flüssiger Phase zum Stabilisieren der Bogenentladung verwirbelt wird.
- 2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass das Plasma ohne Gaszufuhr nur durch aus dem Wirbel verdampfte Flüssigkeit gebildet wird.
- 3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Reaktionsteilnehmer im Entladung sraum zwischen den Elektroden zur Reaktion gebracht werden.
- 4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Flüssigkeitswirbel aus einer Mischung mehrerer Reaktionsteilnehmer gebildet wird. ·
- 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, dass der Flüssigkeitswirbel in Form mehrerer, längs des Entladungsraumes aufeinander- 13 009826/191^folgender und je aus wenigstens einem Reaktionsteilnehmer bestehender Teilwirbel erzeugt wird.
- 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass verschiedene Reaktionsprodukte an längs der Bogenentladung von einander distanzierten Stellen aus dem Entladungsraum abgeleitet werden.
- 7. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 6 zur Durchführung von Reaktionen, deren Reaktionsprodukt wenigstens eine Metall- oder Metalloidkomponente enthält, dadurch gekennzeichnet, dass die Bogenentladung mittels einer aus dem Metall oder Metalloid bestehenden Anode erzeugt wird.
- 8. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 7 zur Durchführung von Reaktionen, deren Reaktionsprodukt wenigstens eine Metall- oder Metalloidpomponente enthält, dadurch gekennzeichnet, dass der Flüssigkeitswirbel wenigstens teilweise aus einer das Metall oder Metalloid enthaltenden Flüssigkeit gebildet wird.LONZA AG. PAe Dr.Andrejewski, Dr.HonkeK/jp - 3949 - 3960
27. November 19690098 2 6/19 1 SLeerseite
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH1925968A CH508412A (de) | 1968-12-24 | 1968-12-24 | Verwendung von vortex-stabilisierten Plasmabrennern zur Durchführung von chemischen Reaktionen |
| CH494969A CH525705A (de) | 1968-12-24 | 1969-04-01 | Verwendung von vortex-stabilisierten Plasmabrennern zur Durchführung von chemischen Reaktionen |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE1961339A1 true DE1961339A1 (de) | 1970-06-25 |
Family
ID=25696596
Family Applications (2)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19691961339 Pending DE1961339A1 (de) | 1968-12-24 | 1969-12-06 | Verfahren zur Durchfuehrung chemischer Reaktionen |
| DE19691962989 Pending DE1962989A1 (de) | 1968-12-24 | 1969-12-16 | Verfahren zur Durchfuehrung chemischer Reaktionen |
Family Applications After (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19691962989 Pending DE1962989A1 (de) | 1968-12-24 | 1969-12-16 | Verfahren zur Durchfuehrung chemischer Reaktionen |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US3658673A (de) |
| JP (1) | JPS5022986B1 (de) |
| BE (1) | BE743039A (de) |
| CH (1) | CH525705A (de) |
| DE (2) | DE1961339A1 (de) |
| FR (2) | FR2027608A1 (de) |
| GB (2) | GB1297388A (de) |
| NL (2) | NL6919179A (de) |
| NO (2) | NO127094B (de) |
| SE (1) | SE381575B (de) |
Families Citing this family (26)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3938988A (en) * | 1971-01-04 | 1976-02-17 | Othmer Donald F | Method for producing aluminum metal from its salts |
| BE791550A (fr) * | 1971-11-20 | 1973-03-16 | Max Planck Gesellschaft | Procede et dispositif pour le traitement d'un materiau au moyendu plasma d'un arc electrique |
| US4206190A (en) * | 1974-03-11 | 1980-06-03 | Westinghouse Electric Corp. | Plasma arc production of silicon nitride |
| US4022872A (en) * | 1975-11-12 | 1977-05-10 | Ppg Industries, Inc. | Process for preparing finely-divided refractory powders |
| US4051043A (en) * | 1976-01-26 | 1977-09-27 | O-3 Company | Apparatus for fluid treatment by electron emission |
| US4102764A (en) * | 1976-12-29 | 1978-07-25 | Westinghouse Electric Corp. | High purity silicon production by arc heater reduction of silicon intermediates |
| US4102765A (en) * | 1977-01-06 | 1978-07-25 | Westinghouse Electric Corp. | Arc heater production of silicon involving alkali or alkaline-earth metals |
| US4102767A (en) * | 1977-04-14 | 1978-07-25 | Westinghouse Electric Corp. | Arc heater method for the production of single crystal silicon |
| US4102766A (en) * | 1977-04-14 | 1978-07-25 | Westinghouse Electric Corp. | Process for doping high purity silicon in an arc heater |
| CH616348A5 (de) * | 1977-04-29 | 1980-03-31 | Alusuisse | |
| US4145403A (en) * | 1977-09-29 | 1979-03-20 | Fey Maurice G | Arc heater method for producing metal oxides |
| US4292342A (en) * | 1980-05-09 | 1981-09-29 | Motorola, Inc. | High pressure plasma deposition of silicon |
| JPS579890A (en) * | 1980-06-20 | 1982-01-19 | Inoue Japax Res Inc | Treatment of rare earth concentrate |
| GB2116810B (en) * | 1982-02-15 | 1986-01-08 | Ceskoslovenska Akademie Ved | Method for stabilization of low-temperature plasma of an arc burner, and the arc burner for carrying out said method |
| US6096109A (en) * | 1996-01-18 | 2000-08-01 | Molten Metal Technology, Inc. | Chemical component recovery from ligated-metals |
| US5948294A (en) * | 1996-08-30 | 1999-09-07 | Mcdermott Technology, Inc. | Device for cathodic cleaning of wire |
| RU2157060C2 (ru) * | 1998-12-15 | 2000-09-27 | Предтеченский Михаил Рудольфович | Плазмохимический реактор |
| US6579805B1 (en) * | 1999-01-05 | 2003-06-17 | Ronal Systems Corp. | In situ chemical generator and method |
| JP2004501752A (ja) | 2000-06-27 | 2004-01-22 | プレチェチェンスキ・ミハイル・ルドルフォビチ | プラズマ化学リアクター |
| RU2200058C1 (ru) * | 2002-02-12 | 2003-03-10 | Открытое акционерное общество "ТВЭЛ" | Способ проведения гомогенных и гетерогенных химических реакций с использованием плазмы |
| US7375035B2 (en) | 2003-04-29 | 2008-05-20 | Ronal Systems Corporation | Host and ancillary tool interface methodology for distributed processing |
| US7429714B2 (en) * | 2003-06-20 | 2008-09-30 | Ronal Systems Corporation | Modular ICP torch assembly |
| WO2007068085A1 (en) * | 2005-12-12 | 2007-06-21 | Albonia Innovative Technologies Ltd. | Method and apparatus for treating contaminated material |
| US8276568B2 (en) | 2006-02-20 | 2012-10-02 | Aisan Kogyo Kabushiki Kaisha | Fuel supply apparatuses |
| RU2532676C2 (ru) | 2011-11-28 | 2014-11-10 | Юрий Александрович Чивель | Способ плазмохимического синтеза и реактор плазмохимического синтеза для его осуществления |
| WO2017119326A1 (ja) * | 2016-01-05 | 2017-07-13 | 株式会社Helix | 渦水流発生器、水プラズマ発生装置、分解処理装置、分解処理装置搭載車両及び分解処理方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1065385B (de) * | 1955-01-05 | 1959-09-17 | Chemische Werke Hüls Aktiengesellschaft, Marl (Kr, Recklinghausen) | Verfahren zur Durchführung chemischer und physikalischer Prozesse mit Hilfe elektrischer Entladungen |
| US2854392A (en) * | 1955-09-22 | 1958-09-30 | Tokumoto Shin-Ichi | Arc discharge production of low valency halides of titanium |
| CH357378A (de) * | 1956-04-02 | 1961-10-15 | Berghaus Elektrophysik Anst | Verfahren und Einrichtung zur Durchführung technischer Prozesse |
| FR1294283A (fr) * | 1960-04-13 | 1962-05-26 | Ici Ltd | Procédé permettant de conduire des réactions chimiques dans des décharges électriques |
| DE1206399B (de) * | 1963-04-27 | 1965-12-09 | Bayer Ag | Verfahren zur Durchfuehrung von Gasphasenreaktionen |
| GB1066651A (en) * | 1965-01-18 | 1967-04-26 | British Titan Products | Oxides |
| US3494762A (en) * | 1967-11-27 | 1970-02-10 | Iwatani & Co | Method of manufacturing microfine metal powder |
| US3516921A (en) * | 1968-03-26 | 1970-06-23 | Allis Chalmers Mfg Co | Apparatus for magnetic stirring of discharge plasma in chemical synthesis |
-
1969
- 1969-04-01 CH CH494969A patent/CH525705A/de unknown
- 1969-12-05 NO NO04820/69A patent/NO127094B/no unknown
- 1969-12-06 DE DE19691961339 patent/DE1961339A1/de active Pending
- 1969-12-11 GB GB1297388D patent/GB1297388A/en not_active Expired
- 1969-12-12 BE BE743039D patent/BE743039A/xx unknown
- 1969-12-16 DE DE19691962989 patent/DE1962989A1/de active Pending
- 1969-12-17 US US885929A patent/US3658673A/en not_active Expired - Lifetime
- 1969-12-17 US US885927A patent/US3649497A/en not_active Expired - Lifetime
- 1969-12-22 NL NL6919179A patent/NL6919179A/xx unknown
- 1969-12-23 NO NO05095/69A patent/NO127095B/no unknown
- 1969-12-23 GB GB1297389D patent/GB1297389A/en not_active Expired
- 1969-12-23 NL NL6919285A patent/NL6919285A/xx unknown
- 1969-12-23 SE SE6917835A patent/SE381575B/xx unknown
- 1969-12-24 JP JP44103547A patent/JPS5022986B1/ja active Pending
- 1969-12-24 FR FR6945016A patent/FR2027608A1/fr not_active Withdrawn
- 1969-12-24 FR FR6945017A patent/FR2027085A1/fr not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| SE381575B (sv) | 1975-12-15 |
| FR2027608A1 (de) | 1970-10-02 |
| US3658673A (en) | 1972-04-25 |
| FR2027085A1 (de) | 1970-09-25 |
| JPS5022986B1 (de) | 1975-08-04 |
| CH525705A (de) | 1972-07-31 |
| BE743039A (de) | 1970-05-14 |
| GB1297388A (de) | 1972-11-22 |
| NO127094B (de) | 1973-05-07 |
| DE1962989A1 (de) | 1970-07-09 |
| NL6919285A (de) | 1970-06-26 |
| NO127095B (de) | 1973-05-07 |
| US3649497A (en) | 1972-03-14 |
| GB1297389A (de) | 1972-11-22 |
| NL6919179A (de) | 1970-06-26 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE1961339A1 (de) | Verfahren zur Durchfuehrung chemischer Reaktionen | |
| DE1667044C3 (de) | Verfahren zur Herstellung feinteiliger Oxide aus Halogeniden | |
| DE2650869C3 (de) | Verfahren zur Herstellung eines feuerfesten Pulvers | |
| DE2912661C2 (de) | Verfahren zur Abscheidung von reinem Halbleitermaterial und Düse zur Durchführung des Verfahrens | |
| US3211548A (en) | Process for the production of tantalum or niobium in a hydrogen plasma jet | |
| US3332870A (en) | Method and apparatus for effecting chemical reactions by means of an electric arc | |
| DE1206399B (de) | Verfahren zur Durchfuehrung von Gasphasenreaktionen | |
| DE1262250B (de) | Verfahren zur Herstellung von pigmentfoermigem Titandioxyd | |
| DE2260338A1 (de) | Verfahren zur reduktion von metallooiden in einem lichtbogen-erhitzer | |
| DE1767938A1 (de) | Verfahren zur Durchfuehrung chemischer Reaktionen im Plasma und hierfuer geeignete Vorrichtung | |
| DE1592445C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Titandioxyd durch Dampfphasenoxydation von Titantetrachlorid | |
| DE1226082B (de) | Verfahren zur Herstellung von feinzerteilten Metall- oder Metalloidoxyden | |
| CH497914A (de) | Verfahren zur Durchführung von Reaktionen zwischen gas- bzw. dampfförmigen oder zwischen gasförmigen und festen Reaktionspartnern | |
| DE1132897B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Durchfuehrung von Gasreaktionen | |
| DE69006256T2 (de) | Verfahren zur Behandlung von schmelzflüssigen Materialien. | |
| DE1183482B (de) | Verfahren zum Zufuehren von Waerme bei der UEberfuehrung von Metallhalogeniden in ihre Oxyde durch Umsetzen mit Sauerstoff bzw. Wasserdampf | |
| DE1266278B (de) | Verfahren zur Herstellung feinteiliger Metalloxyde durch Oxydation von Metallhalogeniden | |
| DE1249226B (de) | Verfahren zum Überführen von Metallhalogeniden in ihre Oxide | |
| DE2010357A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von aluminoxidhaltigen Mischoxiden | |
| DE1277209B (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Herstellung von Metalloxyden | |
| DE2512719A1 (de) | Verfahren zur gaserwaermung und plasmachemischer lichtbogen-reaktor zu dessen durchfuehrung | |
| DE2121997A1 (de) | ||
| EP4010286B1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur erzeugung siliziumhaltiger materialien | |
| DE2139446A1 (de) | Verfahren zur Herstellung von Pulvermaterialien | |
| DE1667003A1 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Durchfuehrung von Reaktionen im Lichtbogen |