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CN111303781B - 粘结模组及其制造方法 - Google Patents

粘结模组及其制造方法 Download PDF

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CN111303781B
CN111303781B CN202010262836.4A CN202010262836A CN111303781B CN 111303781 B CN111303781 B CN 111303781B CN 202010262836 A CN202010262836 A CN 202010262836A CN 111303781 B CN111303781 B CN 111303781B
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CN
China
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bonding
isolation
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bonding part
cured
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蔡昕宏
周高旭
黄保业
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Oufei Microelectronics Nanchang Co ltd
Original Assignee
Jiangxi OMS Microelectronics Co Ltd
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    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C09DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09JADHESIVES; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES
    • C09J5/00Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers
    • C09J5/06Adhesive processes in general; Adhesive processes not provided for elsewhere, e.g. relating to primers involving heating of the applied adhesive

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  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Micromachines (AREA)

Abstract

本申请提供一种粘结模组及其制造方法,所述粘结模组包括器件、基板、固化粘结部和隔离粘结部,所述固化粘结部和所述隔离粘结部粘合固定在所述基板上,所述隔离粘结部围设在所述固化粘结部的周向,所述器件通过所述固化粘结部粘合固定在所述基板上,且在沿垂直于所述基板与所述器件相粘合的表面的方向,所述固化粘结部在所述基板上的投影轮廓区域,落入所述器件在所述基板上的投影轮廓区域内,所述隔离粘结部用于使所述固化粘结部与外界相隔离。在使用本申请所述粘结模组时,既能保持所述器件和所述基板之间较好的粘合固定效果,又能对所述固化粘结部起到隔离保护作用。

Description

粘结模组及其制造方法
技术领域
本发明涉及产品加工技术领域,特别涉及一种粘结模组及其制造方法。
背景技术
随着工业的发展,用户对产品的质量要求越来越高,因此,为保证产品的耐用性,在将产品内的器件与基板进行粘结时,需要保证较好的粘结效果。然而,在传统的加工工艺中,使用抗拉系数较高的固化粘结部时,固化粘结部的隔离性较差,在使用产品的过程中,不可避免的会接触到水汽,容易导致固化粘结部的黏性效果变差,进而影响产品质量。因此,急需一种粘结模组及其制造方法,既能将器件粘结固定在基板上并保持较好的粘结效果,又能对固化粘结部起到隔离保护作用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种粘结模组及其制造方法,将器件粘结固定在基板上并保持较好的粘结效果,又能对固化粘结部起到隔离保护作用。
本申请所述粘结模组包括器件、基板、固化粘结部和隔离粘结部,所述固化粘结部和所述隔离粘结部粘合固定在所述基板上,所述隔离粘结部围设在所述固化粘结部的周向,所述器件通过所述固化粘结部粘合固定在所述基板上,且在沿垂直于所述基板与所述器件相粘合的表面的方向,所述固化粘结部在所述基板上的投影轮廓区域,落入所述器件在所述基板上的投影轮廓区域内,所述隔离粘结部用于使所述固化粘结部与外界相隔离。
在使用本申请所述粘结模组时,既能保持所述器件和所述基板之间较好的粘合固定效果,又能对所述固化粘结部起到隔离保护作用。
一种实施方式中,所述固化粘结部与所述隔离粘结部间隔设置,所述固化粘结部与所述隔离粘结部之间的间隔距离范围为50μm-100μm。由于在常温状态下,所述隔离粘结部具有一定的黏性,在将所述固化粘结部和所述隔离粘结部按要求排版放置在一起时,若两者之间间隔较小,容易互相粘粘,从而影响排版效果,并且,在后续加热压合过程中,所述固化粘结部和所述隔离粘结部会因受到挤压而扩散,若两者之间间隔距离较小,所述固化粘结部和所述隔离粘结部之间可能会因扩散而导致重叠,重叠部分厚度较厚,导致所述粘结结构整体厚度不均匀,从而影响粘结效果;若两者之间间隔距离较大,间隔区域会进入空气,导致粘结结构填充不完整,从而影响粘结效果。当所述固化粘结部与所述隔离粘结部之间的间隔距离处于50μm-100μm范围内时,能够更好的保证所述粘结结构的粘结效果。
一种实施方式中,所述隔离粘结部为压敏胶膜。使用压敏胶膜作为隔离粘结部,能够起到较好的隔离效果,从而使所述固化粘结部与外界相隔绝。
一种实施方式中,所述固化粘结部为非导电胶膜。使用非导电胶膜作为固化粘结部,能够起到较好的粘结效果,从而使所述器件更好的粘结固定在所述基板上。
一种实施方式中,在沿垂直于所述基板与所述器件相粘合的表面的方向,所述器件边缘在所述基板上的投影,落入所述隔离粘结部在所述基板上的投影轮廓内。在此结构下,所述器件已完全覆盖所述固化粘结部的上表面,并延伸在所述隔离粘结部上,从而使得所述固化粘结部得到更好的隔离保护,使其粘结效果不会因与外界接触受到影响。
一种实施方式中,在沿垂直于所述基板与所述器件相粘合的表面的方向,所述器件边缘在所述基板上的投影,与所述隔离粘结部外边缘在所述基板上的投影重合。由于所述隔离粘结部也具有一定的粘结效果,在此结构下,能最大限度的利用所述固化粘结部和隔离粘结部上的粘结空间,从而降低成本。
本申请所述粘结模组的制造方法包括:
提供器件、基板、固化粘结部和隔离粘结部;
将所述固化粘结部和所述隔离粘结部放置在所述基板上,且所述隔离粘结部围设在所述固化粘结部的周向,将所述器件单独放置在所述固化粘结部上,或同时放置在所述固化粘结部和所述隔离粘结部上,在沿垂直于所述基板与所述器件相粘合的表面的方向,使所述固化粘结部在所述基板上的投影轮廓区域,落入所述器件在所述基板上的投影轮廓区域内;
加热压合所述器件及所述基板,使所述器件通过所述固化粘结部的单独作用,或通过所述固化粘结部和所述隔离粘结部的共同作用而粘合固定在所述基板上。
使用本申请所述粘结模组的制造方法,既能保持所述器件和所述基板之间较好的粘结效果,又能对所述固化粘结部起到隔离保护作用。
一种实施方式中,在将所述固化粘结部和所述隔离粘结部放置在所述基板上之前,提供离型膜;,将所述固化粘结部和隔离粘结部贴合在所述离型膜上,使所述离型膜承载所述固化粘结部和隔离粘结部,在将所述器件单独放置在所述固化粘结部上或同时放置在所述固化粘结部和所述隔离粘结部上之前,撕除所述离型膜,以使加热压合工艺不受影响。在粘结所述器件与所述基板之前,所述固化粘结部与所述隔离粘结部整体结构较软,因此在排布放置所述固化粘结部与所述隔离粘结部时,难以达到较高的平整性,而在所述固化粘结部和所述隔离粘结部上贴合离型膜后,所述离型膜的硬度相对较高,提供给所述固化粘结部和所述隔离粘结部一个承载空间,使得所述固化粘结部和所述隔离粘结部能够平整的排布,从而保证粘结效果。
一种实施方式中,所述加热压合过程包括第一次热压和第二次热压,在将所述固化粘结部和所述隔离粘结部放置在所述基板上之后,进行第一次热压,对所述固化粘结部和所述隔离粘结部进行加压加热,使所述固化粘结部和所述隔离粘结部粘合在所述基板上,在将所述器件单独放置在所述固化粘结部上,或同时放置在所述固化粘结部和所述隔离粘结部上之后,进行第二次热压,对所述器件、所述固化粘结部和所述隔离粘结部进行加压加热,使所述器件单独粘合在所述固化粘结部上,或同时粘合在所述固化粘结部和所述隔离粘结部上。采用两次热压工艺,使所述粘结结构能够更好的将所述器件与所述基板相粘合,且两次热压工艺分开进行,能有效控制和降低工艺误差。
一种实施方式中,在通过所述加热压合过程之后,对所述固化粘结部和所述隔离粘结部进行冷却处理,使所述固化粘结部和所述隔离粘结部硬化,以将所述器件粘结固定在所述基板上。在通过所述加热压合过程之后,提供冷却处理能够较快的使所述固化粘结部和所述隔离粘结部硬化成型,从而提高了作业效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本申请实施例提供的粘结模组的结构示意图。
图2是图1所示粘结模组在A-A方向上的剖视图。
图3是粘结模组中固化粘结部和隔离粘结部的结构示意图。
图4是将固化粘结部和隔离粘结部粘合在基板上的结构示意图。
图5是图4所示结构在B-B方向上的剖视图。
图6是粘结模组在另一种实施方式下的结构示意图。
图7是图6所示结构在A-A方向上的剖视图。
图8是粘结模组在第三种实施方式下的结构示意图。
图9是图8所示结构在A-A方向上的剖视图。
图10是本申请实施例提供的一种粘结模组的制造方法的流程示意图。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
此外,以下各实施例的说明是参考附加的图示,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。若无特别说明,本发明中所提到的方向用语,例如,“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“内”、“外”、“侧面”等,仅是参考附加图式的方向,因此,使用的方向用语是为了更好、更清楚地说明及理解本发明,而不是指示或暗指所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
在本发明的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸地连接,或者一体地连接;可以是机械连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
此外,在本发明的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。若本说明书中出现“工序”的用语,其不仅是指独立的工序,在与其它工序无法明确区别时,只要能实现该工序所预期的作用则也包括在本用语中。另外,本说明书中用“-”表示的数值范围是指将“-”前后记载的数值分别作为最小值及最大值包括在内的范围。在附图中,结构相似或相同的单元用相同的标号表示。
本申请实施例提供的粘结模组1000中,器件200和基板100不仅限于电子元器件和固定基板,可以为任意需要粘结在一起的部件,在此不进行具体的限定。
请一并参阅图1至图5,图1是本申请实施例提供的粘结模组1000的结构示意图。
图2是图1所示粘结模组1000在A-A方向上的剖视图。
图3是粘结模组1000中固化粘结部10和隔离粘结部20的结构示意图。
图4是将固化粘结部10和隔离粘结部20粘合在基板100上的结构示意图。
图5是图4所示结构在B-B方向上的剖视图。
本申请实施例提供的粘结模组1000包括器件200、基板100、固化粘结部10和隔离粘结部20,固化粘结部10和隔离粘结部20粘合固定在基板100上,隔离粘结部20围设在固化粘结部10的周向,器件200通过固化粘结部10的单独作用,或通过固化粘结部10和隔离粘结部200的共同作用而粘合固定在基板100上,且在沿垂直于基板100与器件200相粘合的表面的方向,固化粘结部10在基板100上的投影轮廓区域,落入器件200在基板100上的投影轮廓区域内,隔离粘结部20用于使固化粘结部10与外界相隔离。
使用本申请实施例提供的粘结模组1000,由于固化粘结部10以及隔离粘结部20的存在,能够保证器件200粘结在基板100上有着较好的粘结效果,并且由于固化粘结部10被隔离粘结部20、器件200以及基板100保护在内部,使其与外界相隔离,从而对固化粘结部10起到较好的隔离保护作用。
其中,固化粘结部10在基板100上的投影轮廓区域,落入器件200在基板100上的投影轮廓内,即器件200和基板100完全覆盖固化粘结部10的上下表面;隔离粘结部20围设在固化粘结部10的周向,即隔离粘结部20在边缘位置包围固化粘结部10。由此可知,器件200、隔离粘结部20和基板100形成一个封闭空间,固化粘结部10位于该封闭空间内,从而达到将固化粘结部10与外界相隔离的目的。
其中,隔离粘结部20在常温条件下具有一定的黏性,且具有较好的隔离特性,能够用于隔绝液体,固化粘结部10在常温状态下黏性较弱,而在经过加热压合作用后产生较强的黏性,并在冷却硬化后,能够牢固粘结器件200和基板100,且硬化后的固化粘结部10比隔离粘结部20具有更高的抗拉强度。在一种具体的实施方式中,隔离粘结部20为压敏胶膜,固化粘结部10为非导电胶膜,可以理解的是,隔离粘结部20和固化粘结部10不仅限于压敏胶膜和非导电胶膜,可以为任意满足相应功能需求的粘结物,在此不进行具体的限定。
需要说明的是,本申请实施例提到的与外界相隔离,不仅限于外界的水,还可以为其他对固化粘结部10造成影响的液体,如油等,同时,还可以为与外界汽雾状物质相隔离,如水汽等,或与其他会对固化粘结部10造成影响的气体或固体相隔离,在此不进行一一赘述。
在一种实施方式中,固化粘结部10与隔离粘结部20间隔设置,固化粘结部10与隔离粘结部20之间的间隔距离范围为50μm-100μm。在常温状态下,隔离粘结部20具有一定的黏性,因此在将固化粘结部10和隔离粘结部20按要求排版放置在一起时,若两者之间间隔距离小于50μm,固化粘结部10与隔离粘结部20之间容易发生粘合作用,即两者之间相互粘合拉扯,使得固化粘结部10和隔离粘结部20难以按照规定的位置进行排版放置,从而影响工艺流程的顺利进行,并且,在后续加热压合过程中,固化粘结部10和隔离粘结部20会在加热加压的条件下产生一定的扩散,若两者之间间隔距离小于50μm,由于扩散作用,固化粘结部10和隔离粘结部20之间相邻的位置可能会发生重叠,重叠部分的厚度必然比其他部分的厚度要厚,导致固化粘结部10与隔离粘结部组成的整体厚度不均匀,从而影响粘结效果。
若固化粘结部10与隔离粘结部20之间的间隔距离大于100μm,在经过加热压合过程之后,固化粘结部10和隔离粘结部20之间可能还会存在间隙,间隙内进入空气,会导致基板100和器件200之间填充不完整,从而使得器件200与基板100之间的粘结效果较差。
当固化粘结部10与隔离粘结部20之间的间隔距离处于50μm-100μm范围内时,既能较好的将固化粘结部10和隔离粘结部20按照规定位置进行排版放置,又能够保证器件200和基板100之间具有较好的粘结效果。
请一并参阅图6和图7,图6是粘结模组1000在另一种实施方式下的结构示意图。
图7是图6所示结构在A-A方向上的剖视图。
在一种实施方式中,在沿垂直于基板100与器件200相粘合的表面的方向,器件200边缘在基板100上的投影,落入隔离粘结部20在基板100上的投影轮廓区域内。在此结构下,器件200已完全覆盖固化粘结部10的上表面,器件200的边缘延伸到隔离粘结部20上,进一步保证了由器件200、隔离粘结部20和基板100组成的密封空间的密封性能,固化粘结部10位于密封空间内,从而使得固化粘结部10得到更好的隔离保护,使固化粘结部10的粘结效果不会因与外界接触而受到影响。
请一并参阅图8和图9,图8是粘结模组1000在第三种实施方式下的结构示意图。
图9是图8所示结构在A-A方向上的剖视图。
在一种实施方式中,沿垂直于基板100与器件200相粘合的表面的方向,器件200边缘在基板100上的投影,与隔离粘结部20外边缘在基板100上的投影重合。在此结构下,器件200已完全覆盖固化粘结部10上表面,器件200延伸到隔离粘结部20上,器件200的边缘与隔离粘结部20的边缘平齐,进一步保证了由器件200、隔离粘结部20和基板100组成的密封空间的密封性能,使得固化粘结部10得到更好的隔离保护,并且,由于隔离粘结部20也具有一定的粘结效果,器件200由固化粘结部10和隔离粘结部20共同粘结到基板100上,依然能够满足较好的粘结效果,在此结构下,能最大限度的利用固化粘结部10和隔离粘结部20上的粘结空间,使固化粘结部10和隔离粘结部20能够适用于更大的器件200,从而降低成本。
使用本申请实施例提供的粘结模组1000,由于固化粘结部10以及隔离粘结部20的存在,能够保证器件200粘结在基板100上有着较好的粘结效果,并且由于固化粘结部10被隔离粘结部20、器件200以及基板100保护在内部,使其与外界相隔离,从而对固化粘结部10起到较好的隔离保护作用。
请一并参阅图10,图10是本申请实施例提供的一种粘结模组1000的制造方法的流程示意图。
本申请实施例提供一种粘结模组1000的制造方法,包括以下步骤:
步骤1:提供器件200、基板100、固化粘结部10和隔离粘结部20;
步骤2:将固化粘结部10和隔离粘结部20放置在基板100上,且隔离粘结部20围设在固化粘结部10的周向,将器件200单独放置在固化粘结部10上,或同时放置在固化粘结部10和隔离粘结部20上,在沿垂直于基板100与器件200相粘合的表面的方向,使固化粘结部10在基板100上的投影轮廓区域,落入器件200在基板100上的投影轮廓区域内;
步骤3:加热压合器件200及基板100,使器件200通过固化粘结部10的单独作用,或通过固化粘结部10和隔离粘结部20的共同作用而粘合固定在基板100上。
使用本申请实施例提供的粘结模组1000的制造方法,既能保持器件200和基板100之间较好的粘结效果,又能对固化粘结部10起到隔离保护作用。
在一种实施方式中,在将固化粘结部10和隔离粘结部20放置在基板100上之前,提供离型膜(图未示);将固化粘结部10和隔离粘结部20贴合在离型膜上,使离型膜承载固化粘结部10和隔离粘结部20,在将器件200单独放置在固化粘结部10上或同时放置在固化粘结部10和隔离粘结部20上之前,撕除离型膜,以使加热压合工艺不受影响。
可以理解的是,在对粘结模组1000进行流水线加工的过程中,应保证其中固化粘结部10和隔离粘结部20的结构稳定性和平整性,然而,在常温状态下,固化粘结部10和隔离粘结部20的整体结构较软,在排版布置固化粘结部10与隔离粘结部20的过程中,两者的形态和位置容易发生变化,并且在运输过程中很难保证整体结构的平整性,容易对后续粘结过程造成不良影响。而在固化粘结部10和隔离粘结部20上贴合离型膜后,离型膜的硬度相对较高,提供给固化粘结部10和隔离粘结部20一个承载依靠,使得固化粘结部10和隔离粘结部20能够平整的排布,从而保证粘结效果,并且,离型膜的存在还能对固化粘结部10和隔离粘结部20起到一定的保护作用,使其结构不受到外界损伤,进一步保证了结构稳定性。
在一种实施方式中,加热压合过程包括第一次热压和第二次热压,在将固化粘结部10和隔离粘结部20放置在基板100上之后,进行第一次热压,对固化粘结部10和隔离粘结部20进行加压加热,使固化粘结部10和隔离粘结部20粘合在基板100上,在将器件200单独放置在固化粘结部10上,或同时放置在固化粘结部10和隔离粘结部20上之后,进行第二次热压,对器件200、固化粘结部10和隔离粘结部20进行加压加热,使器件200单独粘合在固化粘结部10上,或同时粘合在固化粘结部10和隔离粘结部20上。采用两次热压工艺,分别使得固化粘结部10和隔离粘结部20粘合在基板100上,以及使器件200粘合在固化粘结部10上,或固化粘结部10和隔离粘结部20形成的整体上,两个过程分开进行,能够更好的保证固化粘结部10和隔离粘结部20的粘结效果,使得器件200能够更加牢固的粘结在基板100上,并且,依次将粘结结构100与基板100和器件200进行粘结,而不是三者同时进行粘结,使得操作精度能够得到更好的保证,有效控制并降低了工艺误差。
在一种实施方式中,在通过加热压合过程之后,对固化粘结部10和隔离粘结部20进行冷却处理,使固化粘结部10和隔离粘结部20硬化,以将器件200粘结固定在基板100上。在通过加热压合过程之后,提供冷却处理能够较快的使固化粘结部10和隔离粘结部20硬化成型,从而提高了作业效率。
使用本申请实施例提供的粘结模组1000的制造方法,由于固化粘结部10和隔离粘结部20设置在器件200和基板100之间,通过加热压合过程,能够保证器件200和基板100之间的粘结效果较好,同时,固化粘结部10设置在隔离粘结部20、器件200和基板100共同围设形成的密封空间中,能够对固化粘结部10起到较好的隔离保护作用。
以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合,为使描述简介,未对上述实施例中的各个技术特征所以可能的组合都进行描述,然而,只要这些技术特征的组合不存在矛盾,可应当认为是本说明书记载的范围。
以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式,其描述较为具体和详细,但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是,对于本领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干变形和改进,这些都属于本发明的保护范围。因此,本发明的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (9)

1.一种粘结模组,其特征在于,所述粘结模组包括器件、基板、固化粘结部和隔离粘结部,所述固化粘结部和所述隔离粘结部粘合固定在所述基板上,所述隔离粘结部围设在所述固化粘结部的周向,所述器件通过所述固化粘结部粘合固定在所述基板上,且在沿垂直于所述基板与所述器件相粘合的表面的方向,所述固化粘结部在所述基板上的投影轮廓区域,落入所述器件在所述基板上的投影轮廓区域内,所述隔离粘结部用于使所述固化粘结部与外界相隔离,所述固化粘结部与所述隔离粘结部间隔设置,所述固化粘结部与所述隔离粘结部之间的间隔距离范围为50μm-100μm。
2.根据权利要求1所述的粘结模组,其特征在于,所述隔离粘结部为压敏胶膜。
3.根据权利要求1所述的粘结模组,其特征在于,所述固化粘结部为非导电胶膜。
4.根据权利要求1所述的粘结模组,其特征在于,在沿垂直于所述基板与所述器件相粘合的表面的方向,所述器件边缘在所述基板上的投影,落入所述隔离粘结部在所述基板上的投影轮廓内。
5.根据权利要求1所述的粘结模组,其特征在于,在沿垂直于所述基板与所述器件相粘合的表面的方向,所述器件边缘在所述基板上的投影,与所述隔离粘结部外边缘在所述基板上的投影重合。
6.一种根据权利要求1-5任一项所述的粘结模组的制造方法,其特征在于,包括:
提供器件、基板、固化粘结部和隔离粘结部;
将所述固化粘结部和所述隔离粘结部放置在所述基板上,且所述隔离粘结部围设在所述固化粘结部的周向,将所述器件单独放置在所述固化粘结部上,或同时放置在所述固化粘结部和所述隔离粘结部上,在沿垂直于所述基板与所述器件相粘合的表面的方向,使所述固化粘结部在所述基板上的投影轮廓区域,落入所述器件在所述基板上的投影轮廓区域内;
加热压合所述器件及所述基板,使所述器件通过所述固化粘结部的单独作用,或通过所述固化粘结部和所述隔离粘结部的共同作用而粘合固定在所述基板上。
7.根据权利要求6所述的制造方法,其特征在于,在将所述固化粘结部和所述隔离粘结部放置在所述基板上之前,提供离型膜;将所述固化粘结部和隔离粘结部贴合在所述离型膜上,使所述离型膜承载所述固化粘结部和隔离粘结部,在将所述器件单独放置在所述固化粘结部上或同时放置在所述固化粘结部和所述隔离粘结部上之前,撕除所述离型膜,以使加热压合工艺不受影响。
8.根据权利要求6所述的制造方法,其特征在于,所述加热压合过程包括第一次热压和第二次热压,在将所述固化粘结部和所述隔离粘结部放置在所述基板上之后,进行第一次热压,对所述固化粘结部和所述隔离粘结部进行加压加热,使所述固化粘结部和所述隔离粘结部粘合在所述基板上,在将所述器件单独放置在所述固化粘结部上,或同时放置在所述固化粘结部和所述隔离粘结部上之后,进行第二次热压,对所述器件、所述固化粘结部和所述隔离粘结部进行加压加热,使所述器件单独粘合在所述固化粘结部上,或同时粘合在所述固化粘结部和所述隔离粘结部上。
9.根据权利要求6所述的制造方法,其特征在于,在通过所述加热压合过程之后,对所述固化粘结部和所述隔离粘结部进行冷却处理,使所述固化粘结部和所述隔离粘结部硬化,以将所述器件粘结固定在所述基板上。
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