XP-703D半导体特气检漏仪性能参数
﹡较适合于检测半导体特气的微量泄漏。
﹡采用声光报警。
型号 XP-703D
检测对象气体 半导体材料气体等)
检测原理 线型半导体式
采样方式 自动吸引式
可检测浓度
(单位:ppm)
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0
检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁
应答速度 10秒以内
南昌星枫仪器有限公司专注于测距仪,涂层测厚仪,超声波测厚仪,里氏硬度计,测振仪等
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词条说明
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