WO2023249070A1

WO2023249070A1 - 感光性樹脂組成物、硬化物及びその形成方法、隔壁並びに画像表示装置

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Publication number: WO2023249070A1
Application number: PCT/JP2023/023061
Authority: WO
Inventors: 紫陽平岡; 昌聡池田; 和裕中谷; 知子砂留
Original assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Current assignee: Mitsubishi Chemical Corp
Priority date: 2022-06-22
Filing date: 2023-06-22
Publication date: 2023-12-28
Anticipated expiration: 2024-12-22
Also published as: JPWO2023249070A1; TW202411266A; CN119404143A; KR20250025624A

Abstract

（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合開始剤及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物を含有する感光性樹脂組成物であって、前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）が５以上であり、前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物が、アルキレンオキサイド基を有し、かつエチレン性不飽和基を３個以上有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

Description

感光性樹脂組成物、硬化物及びその形成方法、隔壁並びに画像表示装置

　本発明は、感光性樹脂組成物に関する。また該感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化物及びその形成方法と、該硬化物で形成される隔壁、該隔壁を備える画像表示装置に関する。

　有機電界発光素子（有機エレクトロルミネセンス、有機ＥＬともいう。）を含む画像表示装置は、コントラストや視野角等の視認性や応答性に優れ、低消費電力化、薄型軽量化、及び、ディスプレイ本体のフレキシブル化が可能であることから、次世代のフラットパネルディスプレイ（ＦＰＤ）として注目を集めている。

　有機電界発光素子は、少なくとも一方が透光性を有する一対の電極間に、発光層あるいは種々の機能層を含む有機層が狭持された構造を有するものである。
　画像表示装置は画素毎に有機電界発光素子が配置されたパネルを駆動させることにより、画像表示を行うものである。
　従来、このような有機電界発光素子は、基板上に、隔壁（バンク）を形成した後に、隔壁に囲まれた領域内に、発光層あるいは種々の機能層を積層して製造されている。

　隔壁を容易に形成する方法としては、感光性樹脂組成物を用いたフォトリソグラフィー法により形成する方法が知られている。また、遮光性機能を付与した着色隔壁も開発されている。例えば、特許文献１には、特定の有機顔料と特定の分散剤と特定の樹脂を組み合わせた感光性着色樹脂組成物が記載されている。

　フォトリソグラフィー法により着色隔壁を製造する場合、まず感光性着色樹脂組成物を基板上に塗布した後に真空乾燥装置にて減圧乾燥し、その後ホットプレートにて加熱乾燥させ、さらに画像露光、現像した後、高温処理により硬化（キュア）させる。
　この硬化工程では、高温処理による基板上の電極等へのダメージを防ぐ目的で、窒素などの不活性雰囲気下で硬化させることがある。

国際公開第２０１８／１０１３１４号

　本発明者が検討したところ、特許文献１に記載の感光性着色樹脂組成物では、窒素雰囲気下において酸素による硬化阻害が起こらないため、熱フローが起こる前に速やかに硬化し、この結果、隔壁の側面が基板面に対して垂直に近くなる、即ち、隔壁の側面のテーパ角が大きくなる問題が見出された。隔壁の側面のテーパ角が大きくなると、種々の機能層を積層した際に各層が不連続となり、表示不良の原因となる。

　本発明は、不活性雰囲気下の硬化でもテーパ形状に優れた硬化物を形成可能な感光性樹脂組成物を提供することを目的とする。
　また、本発明は、前記感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化物及びその形成方法、該硬化物から形成される隔壁、該隔壁を備える画像表示装置を提供することを目的とする。

　本発明者らは、アルカリ可溶性樹脂と特定のエチレン性不飽和化合物とを所定の割合で組み合わせて配合した感光性樹脂組成物により、上記課題を解決できることを見出し、本発明に至った。
　即ち本発明の要旨は以下の通りである。

［１］　（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合開始剤及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物を含有する感光性樹脂組成物であって、
　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）が５以上であり、
　前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物が、アルキレンオキサイド基を有し、かつエチレン性不飽和基を３個以上有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

［２］　（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合開始剤及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物を含有する感光性樹脂組成物であって、
　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有量（質量）をそれぞれのエチレン性不飽和結合のモル数で除した数値の加重平均値である、前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物の合計二重結合当量が２７０ｇ／ｍｏｌ以上であり、
　前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物が、アルキレンオキサイド基を有し、かつエチレン性不飽和基を３個以上有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。

［３］　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物の合計二重結合当量が３８０ｇ／ｍｏｌ以上である、［２］に記載の感光性樹脂組成物。

［４］　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物の合計二重結合当量が４１０ｇ／ｍｏｌ以上である、［３］に記載の感光性樹脂組成物。

［５］　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）が６以上である、［１］に記載の感光性樹脂組成物。

［６］　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）が８以上である、［５］に記載の感光性樹脂組成物。

［７］　前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物における前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１）の含有割合が、５０質量％以上である、［１］～［６］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。

［８］　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１）が、側鎖にアルキレンオキサイド基を有する、［１］～［７］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。

［９］　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１）が、アルキレンオキサイド変性されたエチレン性不飽和基を３個以上有する、［１］～［８］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。

［１０］　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１）が下記一般式（ｃ１－１－１）で表される化合物（ｃ１－１）を含有する、［１］～［９］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。

（式（ｃ１－１－１）中のＸは下記一般式（ｃ１－１－２）で表される。Ｘは各々異なっていても、同一であってもよい。Ｙはメチル基又は下記一般式（ｃ１－１－４）で表される。）

（式（ｃ１－１－２）中のＲ^１は炭素数２～４のアルキレン基を表す。ａは１～９の整数を表す。ａが２以上の場合、複数のＲ^１は、各々異なっていても、同一であってもよい。Ｒ^２は下記一般式（ｃ１－１－３）で表される。＊は結合手を表す。）

（式（ｃ１－１－３）中のＲ^３は水素原子又はメチル基を表す。＊は結合手を表す。）

（式（ｃ１－１－４）中のｍは０又は１である。＊は結合手を表す。Ｘは上記一般式（ｃ１－１－２）で表され、Ｘは各々異なっていても、同一であってもよい。）

［１１］　前記式（ｃ１－１－２）中のａが２～９の整数を表す、［１０］に記載の感光性樹脂組成物。

［１２］　前記式（ｃ１－１－１）中のＹが前記式（ｃ１－１－４）で表され、かつ前記式（ｃ１－１－４）中のｍが１である、［１０］又は［１１］に記載の感光性樹脂組成物。

［１３］　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂が、カルド骨格を有するアルカリ可溶性樹脂（ａ１）を含有する、［１］～［１２］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。

［１４］　前記アルカリ可溶性樹脂（ａ１）が、下記一般式（ａ１－０）で表される部分構造を有する、［１３］に記載の感光性樹脂組成物。

（式（ａ１－０）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。Ｑは、Ｏ、Ｓ、ＣＯ、又は直接結合を示す。＊は結合手を表す。）

［１５］　前記アルカリ可溶性樹脂（ａ１）が、下記一般式（ａ１－１）で表される部分構造を有する、［１４］に記載の感光性樹脂組成物。

（式（ａ１－１）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。Ｒ^９は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。Ｑは、Ｏ、Ｓ、ＣＯ、又は直接結合を示す。ｎは０～４の整数を表す。複数のＱは、各々異なっていても、同一であってもよい。＊は結合手を表す。）

［１６］　さらに（ｄ）着色剤を含有する、［１］～［１５］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物。

［１７］　前記（ｄ）着色剤が、有機黒色顔料を含有する、［１６］に記載の感光性樹脂組成物。

［１８］　前記有機黒色顔料が、下記一般式（ｄ１）で表される化合物、前記化合物の幾何異性体、前記化合物の塩、及び前記化合物の幾何異性体の塩からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む、［１７］に記載の感光性樹脂組成物。

（式（ｄ１）中、Ｒ¹¹及びＲ¹⁶は各々独立に、水素原子、ＣＨ₃、ＣＦ₃、フッ素原子又は塩素原子を表す。
　Ｒ¹²、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴、Ｒ¹⁵、Ｒ¹⁷、Ｒ¹⁸、Ｒ¹⁹及びＲ²⁰は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、Ｒ²¹、ＣＯＯＨ、ＣＯＯＲ²¹、ＣＯＯ^-、ＣＯＮＨ₂、ＣＯＮＨＲ²¹、ＣＯＮＲ²¹Ｒ²²、ＣＮ、ＯＨ、ＯＲ²¹、ＣＯＣＲ²¹、ＯＯＣＮＨ₂、ＯＯＣＮＨＲ²¹、ＯＯＣＮＲ²¹Ｒ²²、ＮＯ₂、ＮＨ₂、ＮＨＲ²¹、ＮＲ²¹Ｒ²²、ＮＨＣＯＲ²²、ＮＲ²¹ＣＯＲ²²、Ｎ＝ＣＨ₂、Ｎ＝ＣＨＲ²¹、Ｎ＝ＣＲ²¹Ｒ²²、ＳＨ、ＳＲ²¹、ＳＯＲ²¹、ＳＯ₂Ｒ²¹、ＳＯ₃Ｒ²¹、ＳＯ₃Ｈ、ＳＯ₃ ^-、ＳＯ₂ＮＨ₂、ＳＯ₂ＮＨＲ²¹又はＳＯ₂ＮＲ²¹Ｒ²²を表す。
　Ｒ¹²とＲ¹³、Ｒ¹³とＲ¹⁴、Ｒ¹⁴とＲ¹⁵、Ｒ¹⁷とＲ¹⁸、Ｒ¹⁸とＲ¹⁹、及びＲ¹⁹とＲ²⁰からなる群から選ばれる少なくとも１つの組み合わせは、互いに直接結合してもよく、又は酸素原子、硫黄原子、ＮＨ若しくはＮＲ²¹ブリッジを介して互いに結合してもよい。
　Ｒ²¹及びＲ²²は各々独立に、炭素数１～１２のアルキル基、炭素数３～１２のシクロアルキル基、炭素数２～１２のアルケニル基、炭素数３～１２のシクロアルケニル基又は炭素数２～１２のアルキニル基を表す。）

［１９］　［１］～［１８］のいずれかに記載の感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化物。

［２０］　［１９］に記載の硬化物から形成される隔壁。

［２１］　［２０］に記載の隔壁を備える画像表示装置。

［２２］　（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合開始剤及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物を含有し、前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物がアルキレンオキサイド基を有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１’）を含有する感光性樹脂組成物を用い、少なくとも下記工程（１）～工程（４）を行うことを特徴とする硬化物の形成方法。
工程（１）：前記感光性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程。
工程（２）：工程（１）で形成した塗膜の少なくとも一部を露光する工程。
工程（３）：工程（２）で露光された塗膜を現像する工程。
工程（４）：工程（３）で現像された塗膜を不活性雰囲気下で焼成する工程。

［２３］　前記工程（４）が、不活性雰囲気下又は真空下で、前記工程（３）で現像された塗膜を焼成する工程である、［２２］に記載の硬化物の形成方法。

［２４］　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１’）がエチレン性不飽和基を３個以上有する、［２２］又は［２３］に記載の硬化物の形成方法。

［２５］　前記感光性樹脂組成物中の前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）が５以上である、［２２］～［２４］のいずれかに記載の硬化物の形成方法。

［２６］　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１’）が、側鎖にアルキレンオキサイド基を有する、［２２］～［２５］のいずれかに記載の硬化物の形成方法。

［２７］　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１’）が、アルキレンオキサイド変性されたエチレン性不飽和基を３個以上有する、［２２］～［２６］のいずれかに記載の硬化物の形成方法。

　本発明により、不活性雰囲気下の硬化でもテーパ形状に優れた硬化物を形成可能な感光性樹脂組成物、硬化物、それから形成される隔壁、さらにはこのような隔壁を備える画像表示装置を提供することができる。

図１は、なだらかなテーパ形状を示す隔壁の模式断面図である。

　以下、本発明を詳細に説明する。以下の記載は本発明の実施形態の一例であり、本発明はその要旨を超えない限り、これらに特定されない。

　本発明において、「（メタ）アクリル」とは、「アクリル及びメタクリルのいずれか一方又は両方」を意味する。「（メタ）アクリレート」、「（メタ）アクリロイル」についても同様である。
　「全固形分」とは、感光性樹脂組成物における溶剤以外の全成分を意味する。溶剤以外の成分が常温で液体であっても、その成分は溶剤には含めず、全固形分に含める。
　本発明において「～」を用いて表される数値範囲は、「～」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。

　本発明において、隔壁材とはバンク材、壁材、ウォール材をさし、同様に、隔壁とはバンク、壁、ウォールをさす。
　隔壁とは、例えば、アクティブ駆動型有機電界発光素子における機能層（有機層）を区画するためのものであり、区画された領域（画素領域）に機能層を構成するための材料を蒸着あるいはインクジェット等による塗布、乾燥を行うことで、機能層及び隔壁からなる画素等を形成させていくために使用されるものである。

　本発明において、重量平均分子量とは、ＧＰＣ（ゲルパーミエーションクロマトグラフィー）によるポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）をさす。
　本発明において、「アミン価」とは、特に断りのない限り、有効固形分換算のアミン価を表し、分散剤の固形分１ｇあたりの塩基量と当量のＫＯＨの質量で表される値である。
　アミン価の測定方法については後述する。
　「酸価」とは、特に断りのない限り、有効固形分換算の酸価を表し、中和滴定により算出される。

　本明細書において、「質量」で表される百分率や部は「重量」で表される百分率や部におけると同義である。

［１］感光性樹脂組成物
　本発明の感光性樹脂組成物は、（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合開始剤、及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物を必須成分として含有し、必要に応じて、さらに（ｄ）着色剤、分散剤、顔料誘導体、界面活性剤、撥液剤、紫外線吸収剤、重合禁止剤、熱重合開始剤、アミノ化合物、シランカップリング剤、無機充填剤、密着向上剤、その他の配合成分を含むものであり、通常、各配合成分が、溶剤に溶解又は分散した状態で使用される。

［１－１］感光性樹脂組成物の成分および組成
　本発明の感光性樹脂組成物を構成する成分およびその組成について順に説明する。

［１－１－１］（ａ）アルカリ可溶性樹脂
　本発明の感光性樹脂組成物は、（ａ）アルカリ可溶性樹脂を含有する。（ａ）アルカリ可溶性樹脂を含有することにより、アルカリ現像液で現像可能となり、隔壁等のパターンを作成することができる。

　本発明の感光性樹脂組成物における（ａ）アルカリ可溶性樹脂は、カルド骨格を有するアルカリ可溶性樹脂（ａ１）を含有することができる。
　アルカリ可溶性樹脂（ａ１）を含有することで、テーパ角が小さくなる傾向がある。

［アルカリ可溶性樹脂（ａ１）］
　アルカリ可溶性樹脂（ａ１）としては、カルド骨格を含有するものであれば、特に限定されないが、テーパ角の観点からは下記一般式（ａ１－０）で表される部分構造を有することが好ましい。

　アルカリ可溶性樹脂（ａ１）中に含まれる、前記式（ａ１－０）で表される部分構造は、１種でも２種以上でもよい。

　上記一般式（ａ１－０）において、テーパ角の観点からはＱは直接結合が好ましい。

　式（ａ１－０）中のベンゼン環は無置換であるか、又はさらに任意の置換基により置換されていてもよい。任意の置換基としては、例えば、メチル基、メトキシ基が挙げられる。合成容易性の観点から、無置換が好ましい。

　また、前記式（ａ１－０）で表される部分構造は、現像性の観点から、下記一般式（ａ１－１）で表される部分構造を有することが好ましい。

　上記式（ａ１－１）において、テーパ角の観点から、ｎ≦３が好ましく、ｎ≦２がより好ましく、ｎ＝０がさらに好ましい。Ｒ^９は水素原子であることが好ましい。

　上記式（ａ１－１）において、テーパ角の観点からはＱは直接結合が好ましい。

　式（ａ１－１）中のベンゼン環は無置換であるか、又はさらに任意の置換基により置換されていてもよい。任意の置換基としては、例えば、メチル基、メトキシ基が挙げられる。合成容易性の観点から、無置換が好ましい。

　また、前記式（ａ１－１）で表される部分構造は、現像性の観点から、下記式（ａ１－２）で表される部分構造であることが好ましい。

（式（ａ１－２）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。Ｒ^９、Ｑ、及びｎは式（ａ１－１）におけると同義である。Ｒ^X１、Ｒ^X２、Ｒ^X３は各々独立に、水素原子又は多塩基酸残基を表す。＊は結合手を表す。）

　多塩基酸残基とは、多塩基酸からＯＨ基を１又は２つ除した、１価又は２価の基を意味する。
　前記多塩基酸としては、例えば、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸が挙げられる。
　これらの中でもパターニング特性の観点から、好ましくはマレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸であり、より好ましくはテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸であり、さらに好ましくはテトラヒドロフタル酸である。

　アルカリ可溶性樹脂（ａ１）の酸価は特に限定されないが、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がさらに好ましく、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がよりさらに好ましく、１００ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が特に好ましい。また、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、１３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がさらに好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がよりさらに好ましい。
　アルカリ可溶性樹脂（ａ１）の酸価を前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向がある。アルカリ可溶性樹脂（ａ１）の酸価を前記上限値以下とすることで解像性が向上する傾向がある。

　アルカリ可溶性樹脂（ａ１）の重量平均分子量（Ｍｗ）は特に限定されないが、通常１０００以上、好ましくは２０００以上、より好ましくは３０００以上、さらに好ましくは４０００以上、特に好ましくは４５００以上である。また、通常２００００以下、好ましくは１５０００以下、より好ましくは１００００以下、さらに好ましくは８０００以下、特に好ましくは６０００以下である。
　アルカリ可溶性樹脂（ａ１）のＭｗを前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向がある。アルカリ可溶性樹脂（ａ１）のＭｗを前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。

　（ａ）アルカリ可溶性樹脂の総量に対するアルカリ可溶性樹脂（ａ１）の含有割合は、１０質量％以上が好ましく、２０質量％以上がより好ましく、４０質量％以上がさらに好ましく、６０質量％以上が特に好ましい。
　アルカリ可溶性樹脂（ａ１）の含有割合を前記下限値以上とすることでテーパ角が改善する傾向がある。アルカリ可溶性樹脂（ａ１）の含有割合を前記上限値以下とすることで現像形態が改善する傾向がある。

　本発明の感光性樹脂組成物における（ａ）アルカリ可溶性樹脂は、アルカリ可溶性樹脂（ａ１）以外のアルカリ可溶性樹脂、即ち、カルド骨格を有さないアルカリ可溶性樹脂（以下、「その他のアルカリ可溶性樹脂」と称する場合がある。）を含有してもよい。

　（ａ）アルカリ可溶性樹脂中に含まれる、その他のアルカリ可溶性樹脂は、１種でも２種以上でもよい。

　その他のアルカリ可溶性樹脂としては、現像性の観点から、下記一般式（ａ２－１）で表される部分構造を有するアルカリ可溶性樹脂（ａ２）を含む事が好ましい。

（式（ａ２－１）中のＲ¹⁰は水素原子又はメチル基を表す。＊は結合手を表す。

　上記一般式（ａ２－１）において、残渣を低減する観点からはＲ¹⁰はメチル基が好ましい。

　アルカリ可溶性樹脂（ａ２）中に含まれる、前記式（ａ２－１）で表される部分構造は、１種でも２種以上でもよい。

　また、前記式（ａ２－１）で表される部分構造は、現像性の観点から、下記式（ａ２－２）で表される部分構造であることが好ましい。

（式（ａ２－２）中のＲ¹⁰は式（ａ２－１）におけると同義である。＊は結合手を表す。Ｒ^Yは水素原子又は多塩基酸残基を表す。）

　多塩基酸残基とは、前記式（ａ１－２）におけると同義である。
　前記多塩基酸としては、例えば、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸が挙げられる。
　これらの中でもパターニング特性の観点から、好ましくはマレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸であり、より好ましくはテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸であり、さらに好ましくはテトラヒドロフタル酸である。

　アルカリ可溶性樹脂（ａ２）の酸価は特に限定されないが、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、６０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がさらに好ましく、８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がよりさらに好ましく、９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が特に好ましい。また、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、１３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がさらに好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がよりさらに好ましい。
　アルカリ可溶性樹脂（ａ２）の酸価を前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向がある。アルカリ可溶性樹脂（ａ２）の酸価を前記上限値以下とすることで解像性が向上する傾向がある。

　アルカリ可溶性樹脂（ａ２）の重量平均分子量（Ｍｗ）は特に限定されないが、通常１０００以上、好ましくは１５００以上、より好ましくは２０００以上であり、さらに好ましくは２５００以上であり、特に好ましくは３０００以上である。また、通常２００００以下、好ましくは１５０００以下、より好ましくは１００００以下、さらに好ましくは６０００以下、特に好ましくは４０００以下である。
　アルカリ可溶性樹脂（ａ２）のＭｗを前記下限値以上とすることで現像密着性が向上する傾向がある。アルカリ可溶性樹脂（ａ２）のＭｗを前記上限値以下とすることで現像性が良好となる傾向がある。

　（ａ）アルカリ可溶性樹脂の総量に対するアルカリ可溶性樹脂（ａ２）の含有割合は、１質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましく、１０質量％以上が特に好ましく、また、９０質量％以下が好ましく、７０質量％以下がより好ましく、５０質量％以下がさらに好ましく、３０質量％以下が特に好ましい。
　アルカリ可溶性樹脂（ａ２）の含有割合を前記下限値以上とすることで現像形態が改善する傾向がある。アルカリ可溶性樹脂（ａ２）の含有割合を前記上限値以下とすることでテーパ角が改善する傾向がある。

　また、その他のアルカリ可溶性樹脂としては、側鎖にエチレン性不飽和基を有するアクリル共重合樹脂（Ａ１１）（以下、「アクリル共重合樹脂（Ａ１１）」と略記する場合がある。）を含んでいてもよい。また、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）を含んでいてもよい。

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）について以下に詳述する。

［アクリル共重合樹脂（Ａ１１）］
　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）は、側鎖にエチレン性不飽和基を有してもよい。

（一般式（Ｉ）で表される部分構造）
　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）が有する、エチレン性不飽和基を有する側鎖を含む部分構造は特に限定されないが、膜の柔軟性に伴うラジカルの発散しやすさの観点から、例えば、下記一般式（Ｉ）で表される部分構造を有することが好ましい。

（式（Ｉ）中、Ｒ¹¹¹及びＲ¹¹²は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。＊は結合手を表す。）

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）中に含まれる、前記式（Ｉ）で表される部分構造は、１種でも２種以上でもよい。

　また、前記式（Ｉ）で表される部分構造の中でも、感度やアルカリ現像性の観点から、下記一般式（Ｉ’）で表される部分構造が好ましい。

（式（Ｉ’）中、Ｒ¹¹¹及びＲ¹¹²は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。Ｒ^xは水素原子又は多塩基酸残基を表す。＊は結合手を表す。）

（Ｒ^x）
　前記式（Ｉ’）において、Ｒ^xは水素原子又は多塩基酸残基を表す。
　多塩基酸残基とは、多塩基酸からＯＨ基を１又は２つ除した１価又は２価の基を意味する。
　前記多塩基酸としては、例えば、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸が挙げられる。
　これらの中でもパターニング特性の観点から、好ましくはマレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸であり、より好ましくはテトラヒドロフタル酸、コハク酸である。

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）が前記式（Ｉ）で表される部分構造を含む場合、その含有割合は特に限定されないが、例えば、アクリル共重合樹脂（Ａ１１）の構成単位の総モル数に対して１０モル％以上、９０モル％以下である。

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）が前記式（Ｉ’）で表される部分構造を含む場合、その含有割合は特に限定されないが、例えばアクリル共重合樹脂（Ａ１１）の構成単位の総モル数に対して１０モル％以上、８０モル％以下である。

（一般式（ＩＩ）で表される部分構造）
　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）が前記式（Ｉ）で表される部分構造を含む場合、他に含まれる部分構造は特に限定されないが、現像密着性の観点から、例えば、下記一般式（ＩＩ）で表される部分構造を有していてもよい。

（上記式（ＩＩ）中、Ｒ¹¹³は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ¹¹⁴は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい芳香族環基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。＊は結合手を表す。）

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）中に含まれる、前記式（ＩＩ）で表される部分構造は、１種でも２種以上でもよい。

（Ｒ¹¹⁴）
　前記式（ＩＩ）において、Ｒ¹¹⁴は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい芳香族環基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。
　Ｒ¹¹⁴におけるアルキル基としては直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、例えば１以上、２０以下である。

　Ｒ¹¹⁴のアルキル基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、ドデカニル基が挙げられる。
　該アルキル基が有していてもよい置換基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基が挙げられる。

　Ｒ¹¹⁴における芳香族環基としては、１価の芳香族炭化水素環基及び１価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は例えば６以上、２４以下である。

　芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環が挙げられる。
　芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよく、例えば、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環が挙げられる。

　該芳香族環基が有していてもよい置換基としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシ基が挙げられる。

　Ｒ¹¹⁴におけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、例えば２以上、２２以下である。

　該アルケニル基が有していてもよい置換基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシ基が挙げられる。

　Ｒ¹¹⁴は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよい芳香族環基、又は置換基を有していてもよいアルケニル基を表す。

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）が前記式（ＩＩ）で表される部分構造を含む場合、その含有割合は特に限定されないが、アクリル共重合樹脂（Ａ１１）の構成単位の総モル数に対して例えば１モル％以上、７０モル％以下である。

（一般式（ＩＩＩ）で表される部分構造）
　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）が前記式（Ｉ）で表される部分構造を含む場合、他に含まれる部分構造として、耐熱性、膜強度の観点から下記一般式（ＩＩＩ）で表される部分構造が含むことができる。

（上記式（ＩＩＩ）中、Ｒ¹¹⁵は水素原子又はメチル基を表す。Ｒ¹¹⁶は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルキニル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。ｔは０～５の整数を表す。ｔが２以上の場合、複数のＲ¹¹⁶は各々異なっていても、同一であってもよい。＊は結合手を表す。）

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）中に含まれる、前記式（ＩＩＩ）で表される部分構造は、１種でも２種以上でもよい。

（Ｒ¹¹⁶）
　前記式（ＩＩＩ）においてＲ¹¹⁶は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルキニル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。

　Ｒ¹¹⁶におけるアルキル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキル基が挙げられる。その炭素数は、例えば１以上、２０以下である。

　Ｒ¹¹⁶のアルキル基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、シクロヘキシル基、ジシクロペンタニル基、ドデカニル基が挙げられる。
　該アルキル基が有していてもよい置換基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基などが挙げられる。

　Ｒ¹¹⁶におけるアルケニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルケニル基が挙げられる。その炭素数は、例えば２以上、２２以下である。
　該アルケニル基が有していてもよい置換基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシ基が挙げられる。

　Ｒ¹¹⁶におけるアルキニル基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキニル基が挙げられる。その炭素数は、例えば２以上、２０以下である。

　該アルキニル基が有していてもよい置換基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシ基が挙げられる。

　Ｒ¹¹⁶におけるハロゲン原子としては、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子が挙げられる。

　Ｒ¹¹⁶におけるアルコキシ基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルコキシ基が挙げられる。その炭素数は、例えば、１以上、２０以下である。
　

　該アルコキシ基が有していてもよい置換基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基が挙げられる。

　Ｒ¹¹⁶におけるアルキルスルフィド基としては、直鎖状、分岐鎖状又は環状のアルキルスルフィド基が挙げられる。その炭素数は、例えば、１以上、２０以下である。

　該アルキルスルフィド基におけるアルキル基が有していてもよい置換基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基、クロロ基、ブロモ基、フルオロ基、ヒドロキシ基、アミノ基、エポキシ基、オリゴエチレングリコール基、フェニル基、カルボキシ基、アクリロイル基、メタクリロイル基が挙げられる。

　Ｒ¹¹⁶は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアルケニル基、置換基を有していてもよいアルキニル基、ヒドロキシ基、カルボキシ基、ハロゲン原子、置換基を有していてもよいアルコキシ基、チオール基、又は置換基を有していてもよいアルキルスルフィド基を表す。

　前記式（ＩＩＩ）においてｔは０～５の整数を表す。

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）が前記式（ＩＩＩ）で表される部分構造を含む場合、その含有割合は特に限定されないが、アクリル共重合樹脂（Ａ１１）の構成単位の総モル数に対して例えば、０．５モル％以上、５０モル％以下である。

（一般式（ＩＶ）で表される部分構造）
　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）が前記式（Ｉ）で表される部分構造を有する場合、他に含まれる部分構造として、下記一般式（ＩＶ）で表される部分構造を有していてもよい。

（式（ＩＶ）中、Ｒ¹¹⁷は水素原子又はメチル基を表す。＊は結合手を表す。）

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）中に含まれる、前記式（ＩＶ）で表される部分構造は、１種でも２種以上でもよい。

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）が前記式（ＩＶ）で表される部分構造を含む場合、その含有割合は特に限定されないが、アクリル共重合樹脂（Ａ１１）の構成単位の総モル数に対して例えば５モル％以上、８０モル％以下である。
　

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）の酸価は特に限定されないが例えば、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）の重量平均分子量（Ｍｗ）は特に限定されないが、例えば１０００以上、３００００以下である。

　（ａ）アルカリ可溶性樹脂の総量に対するアクリル共重合樹脂（Ａ１１）の含有割合は特に限定されないが、例えば、３質量％以上、７０質量％以下である。

　アクリル共重合樹脂（Ａ１１）の具体例としては、例えば、日本国特開平８－２９７３６６号公報や日本国特開２００１－８９５３３号公報に記載の樹脂が挙げられる。

　次に、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）について詳述する。

［エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）］
　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）は、エポキシ樹脂にエチレン性不飽和モノカルボン酸及び／又はそのエステル化合物を付加し、任意でイソシアネート基含有化合物を反応させた後、さらに多塩基酸及び／又はその無水物を反応させた樹脂である。中でも主鎖に芳香族環を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂を好適に用いることができる。
　例えば、エポキシ樹脂のエポキシ基に、不飽和モノカルボン酸のカルボキシ基が開環付加されることにより、エポキシ化合物にエステル結合（－ＣＯＯ－）を介してエチレン性不飽和結合が付加されると共に、その際生じた水酸基に、多塩基酸無水物の一方のカルボキシ基が付加されたものが挙げられる。また多塩基酸及び／又はその無水物を付加するときに、多価アルコールを同時に添加して付加されたものも挙げられる。

　また上記反応で得られた樹脂のカルボキシ基に、さらに反応し得る官能基を有する化合物を反応させて得られる樹脂も、上記エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）に含まれる。
　このように、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂は化学構造上、実質的にエポキシ基を有さず、かつ「（メタ）アクリレート」に限定されるものではないが、エポキシ化合物（エポキシ樹脂）が原料であり、かつ、「（メタ）アクリレート」が代表例であるので慣用に従いこのように命名されている。

　ここで、エポキシ樹脂とは、熱硬化により樹脂を形成する以前の原料化合物をも含めて言うこととする。そのエポキシ樹脂としては、公知のエポキシ樹脂の中から適宜選択して用いることができる。また、エポキシ樹脂は、フェノール性化合物とエピハロヒドリンとを反応させて得られる化合物を用いることができる。フェノール性化合物としては、２価もしくは２価以上のフェノール性水酸基を有する化合物が好ましく、単量体でも重合体でもよい。

　原料となるエポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡエポキシ樹脂、ビスフェノールＦエポキシ樹脂、ビスフェノールＳエポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、ビフェニルノボラックエポキシ樹脂、トリスフェノールエポキシ樹脂、ジハイドロオキシルフルオレン型エポキシ樹脂、ジハイドロオキシルアルキレンオキシルフルオレン型エポキシ樹脂、１，１－ビス（４’－ヒドロキシフェニル）アダマンタンのジグリシジルエーテル化物が挙げられ、このように主鎖に芳香族環を有するものを好適に用いることができる。

　中でも、高い硬化膜強度の観点から、ビスフェノールＡエポキシ樹脂、フェノールノボラックエポキシ樹脂、クレゾールノボラックエポキシ樹脂、などが好ましい。

　エポキシ樹脂としては、例えば、ビスフェノールＡ型エポキシ樹脂（例えば、三菱ケミカル社製の「ｊＥＲ（登録商標、以下同じ。）８２８」、「ｊＥＲ１００１」、「ｊＥＲ１００２」、「ｊＥＲ１００４」、日本化薬社製の「ＮＥＲ－１３０２」（エポキシ当量３２３，軟化点７６℃）等）；ビスフェノールＦ型樹脂（例えば、三菱ケミカル社製の「ｊＥＲ８０７」、「ｊＥＲ４００４Ｐ」、「ｊＥＲ４００５Ｐ」、「ｊＥＲ４００７Ｐ」、日本化薬社製の「ＮＥＲ－７４０６」（エポキシ当量３５０，軟化点６６℃）等）、ビスフェノールＳ型エポキシ樹脂；ビフェニルグリシジルエーテル（例えば、三菱ケミカル社製の「ｊＥＲＹＸ－４０００」）；フェノールノボラック型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＰＰＮ（登録商標、以下同じ。）－２０１」、三菱ケミカル社製の「ｊＥＲ１５２」、「ｊＥＲ１５４」、ダウケミカル社製の「ＤＥＮ－４３８」）；（ｏ，ｍ，ｐ－）クレゾールノボラック型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＯＣＮ（登録商標、以下同じ。）－１０２Ｓ」、「ＥＯＣＮ－１０２０」、「ＥＯＣＮ－１０４Ｓ」）；トリグリシジルイソシアヌレート（例えば、日産化学社製の「ＴＥＰＩＣ（登録商標）」）；トリスフェノールメタン型エポキシ樹脂（例えば、日本化薬社製の「ＥＰＰＮ－５０１」、「ＥＰＰＮ－５０２」、「ＥＰＰＮ－５０３」）；脂環式エポキシ樹脂（例えば、ダイセル社製の「セロキサイド（登録商標、以下同じ。）２０２１Ｐ」、「セロキサイドＥＨＰＥ」）；下記一般式（ｉ－１２）及び（ｉ－１３）で表されるエポキシ樹脂を好適に用いることができる。
　具体的には、下記一般式（ｉ－１２）で表されるエポキシ樹脂として日本化薬社製の「ＮＣ－３０００」が挙げられる。

（式（ｉ－１２）において、ｂは平均値であり、０～１０の数を表す。Ｒ¹²¹は各々独立に水素原子、ハロゲン原子、炭素数１～８のアルキル基、炭素数３～１０のシクロアルキル基、フェニル基、ナフチル基、又はビフェニル基を表す。１分子中に存在する複数のＲ¹²¹は、それぞれ同じであっても異なっていてもよい。）

（式（ｉ－１３）において、Ｚは下記一般式（ｉ－１３－１）又は（ｉ－１３－２）で表される連結基を表す。但し、分子構造中に１つ以上のアダマンタン構造を含む。ｃは２又は３を表す。）

（式（ｉ－１３－１）及び（ｉ－１３－２）において、Ｒ¹³¹～Ｒ¹³⁴及びＲ¹³⁵～Ｒ¹³⁷は、各々独立に、置換基を有していてもよいアダマンチル基、水素原子、置換基を有していてもよい炭素数１～１２のアルキル基、又は置換基を有していてもよいフェニル基を表す。＊は結合手を表す。）

　これらの中で、式（ｉ－１２）及び（ｉ－１３）のいずれかで表されるエポキシ樹脂を用いることが好ましい。

　エチレン性不飽和モノカルボン酸としては、例えば、（メタ）アクリル酸、クロトン酸、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、シトラコン酸等、および、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート無水コハク酸付加物、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート無水コハク酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート無水フタル酸付加物、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートテトラヒドロ無水フタル酸付加物、（メタ）アクリル酸とε－カプロラクトンとの反応生成物が挙げられる。中でも、感度の観点から、（メタ）アクリル酸が好ましい。

　多塩基酸及び／又はその無水物としては、例えば、コハク酸、マレイン酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、３－メチルテトラヒドロフタル酸、４－メチルテトラヒドロフタル酸、３－エチルテトラヒドロフタル酸、４－エチルテトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、３－メチルヘキサヒドロフタル酸、４－メチルヘキサヒドロフタル酸、３－エチルヘキサヒドロフタル酸、４－エチルヘキサヒドロフタル酸、トリメリット酸、ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、ビフェニルテトラカルボン酸、およびそれらの無水物が挙げられる。中でも、アウトガスの観点から、コハク酸無水物、マレイン酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物、ヘキサヒドロフタル酸無水物が好ましく、コハク酸無水物、テトラヒドロフタル酸無水物がより好ましい。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の原料として多価アルコールを用いることで、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の分子量を増大させ、分子中に分岐を導入することができ、分子量と粘度のバランスをとることができる傾向がある。また、分子中への酸基の導入率を増やすことができ、感度や密着性等のバランスがとれやすい傾向がある。
　多価アルコールとしては、例えば、トリメチロールプロパン、ジトリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリメチロールエタン、１，２，３－プロパントリオールの中から選ばれる１種又は２種以上の多価アルコールが好ましい。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）としては、前述のもの以外に、例えば、韓国公開特許第１０－２０１３－００２２９５５号公報に記載のものが挙げられる。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の酸価は特に限定されないが、１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が好ましく、２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がより好ましく、３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がさらに好ましく、４０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上がよりさらに好ましく、５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上が特に好ましく、また、２００ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が好ましく、１８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がより好ましく、１５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がさらに好ましく、１２０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下がよりさらに好ましく、１１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下が特に好ましい。
　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の酸価を前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向がある。エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の酸価を前記上限値以下とすることで膜強度が向上する傾向がある。
　例えば、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の酸価は１０～２００ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、２０～１８０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、３０～１５０ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましく、４０～１２０ｍｇＫＯＨ／ｇがよりさらに好ましく、５０～１１０ｍｇＫＯＨ／ｇが特に好ましい。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の重量平均分子量（Ｍｗ）は特に限定されないが、通常１０００以上、好ましくは２０００以上、より好ましくは３０００以上、さらに好ましくは３５００以上であり、また、通常３００００以下、好ましくは１５０００以下、より好ましくは１００００以下、さらに好ましくは８０００以下、特に好ましくは６０００以下である。
　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）のＭｗを前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）のＭｗを前記上限値以下とすることで残渣が低減する傾向がある。
　例えば、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の重量平均分子量（Ｍｗ）は１０００～３００００が好ましく、２０００～１５０００がより好ましく、３０００～１００００がさらに好ましく、３５００～８０００がよりさらに好ましく、３５００～６０００が特に好ましい。

　（ａ）アルカリ可溶性樹脂がエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）を含む場合、（ａ）アルカリ可溶性樹脂の総量に対するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の含有割合は特に限定されないが、例えば５０質量％以上が好ましく、６０質量％以上がより好ましく、７０質量％以上がさらに好ましく、８０質量％以上が特に好ましい。
　この含有割合を前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向がある。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）は、従来公知の方法により合成することができる。具体的には、前記エポキシ樹脂を有機溶剤に溶解させ、触媒と熱重合禁止剤の共存下、前記エチレン性不飽和結合を有する酸及び／又はそのエステル化合物を加えて付加反応させ、さらに多塩基酸及び／又はその無水物を加えて反応を続ける方法を用いることができる。例えば、日本国特許第３９３８３７５号公報、日本国特許第５１６９４２２号公報に記載されている方法を用いることができる。

　ここで、反応に用いる有機溶剤としては、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、ジエチレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテートなどの有機溶剤の１種または２種以上が挙げられる。
　上記触媒としては、例えば、トリエチルアミン、ベンジルジメチルアミン、トリベンジルアミン等の第３級アミン類、テトラメチルアンモニウムクロライド、メチルトリエチルアンモニウムクロライド、テトラエチルアンモニウムクロライド、テトラブチルアンモニウムクロライド、トリメチルベンジルアンモニウムクロライドなどの第４級アンミニウム塩類、トリフェニルホスフィンなどの燐化合物、トリフェニルスチビンなどのスチビン類などの１種または２種以上が挙げられる。
　熱重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルハイドロキノンなどの１種または２種以上が挙げられる。

　エチレン性不飽和モノカルボン酸及び／又はそのエステル化合物の使用量としては、エポキシ樹脂のエポキシ基の１化学当量に対して通常０．７～１．３化学当量、好ましくは０．９～１．１化学当量となる量とすることができる。
　多塩基酸及び／又はその無水物の使用量としては、前記付加反応で生じた水酸基の１化学当量に対して、通常０．１～１．２化学当量、好ましくは０．２～１．１化学当量となる量とすることができる。
　付加反応時の温度としては、通常６０～１５０℃、好ましくは８０～１２０℃の温度とすることができる。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の中でも、膜強度や直線性の観点から、下記一般式（ｉ）、下記一般式（ｉｉ－１）、下記一般式（ｉｉ－２）、下記一般式（ｉｉｉ）で表される部分構造のうち、少なくとも１種を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂が好ましい。

（式（ｉ）中、Ｒ^aは水素原子又はメチル基を表す。Ｒ^bは置換基を有してもよい直鎖状若しくは分岐鎖状の２価の脂肪族基、置換基を有してもよい２価の芳香族環基、又は置換基を有してもよい１以上の２価の脂肪族基と１以上の２価の芳香族環基とを連結した基を表す。式（ｉ）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。＊は結合手を表す。）

（式（ｉｉ－１）中、Ｒ^cは各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。Ｒ^αは、置換基を有していてもよい１価の環状炭化水素基を表す。ｑは１以上の整数である。式（ｉｉ－１）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。）

（式（ｉｉ－２）中、Ｒ^cは各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。Ｒ^βは、置換基を有していてもよい２価の環状炭化水素基を表す。式（ｉｉ－２）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。）

（式（ｉｉｉ）中、Ｒ^eは水素原子又はメチル基を表す。δは単結合、－ＣＯ－、置換基を有していてもよいアルキレン基、又は置換基を有していてもよい２価の環状炭化水素基を表す。式（ｉｉｉ）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。＊は結合手を表す。）

　下記一般式（ｉ）で表される部分構造を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（以下、「エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－１）」と称する場合がある。）について詳述する。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－１）中に含まれる、前記式（ｉ）で表される部分構造は、１種でも２種以上でもよい。

（Ｒ^b）
　前記式（ｉ）において、Ｒ^bは置換基を有してもよい直鎖状若しくは分岐鎖状の２価の脂肪族基、置換基を有してもよい２価の芳香族環基、又は置換基を有してもよい１以上の２価の脂肪族基と１以上の２価の芳香族環基とを連結した基を表す。

　２価の脂肪族基は、直鎖状、分岐鎖状の脂肪族基が挙げられる。その炭素数は通常１以上であり、３以上が好ましく、６以上がより好ましく、また、２０以下が好ましく、１５以下がより好ましく、１０以下がさらに好ましい。
　炭素数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。炭素数を前記上限値以下とすることで解像性が向上する傾向がある。
　例えば、２価の脂肪族基の炭素数は１～２０が好ましく、１～１５がより好ましく、１～１０がさらに好ましい。

　２価の直鎖状脂肪族基の具体例としては、例えば、メチレン基、エチレン基、ｎ－プロピレン基、ｎ－ブチレン基、ｎ－ヘキシレン基、ｎ－ヘプチレン基が挙げられる。これらの中でも解像性や製造コストの観点から、メチレン基が好ましい。

　２価の分岐鎖状脂肪族基の具体例としては、例えば、前述の２価の直鎖状脂肪族基に、側鎖としてメチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、イソブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基を有する構造が挙げられる。

　２価の脂肪族基が有していてもよい置換基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基等の炭素数１～５のアルコキシ基；水酸基；ニトロ基；シアノ基；カルボキシ基が挙げられる。これらの中でも合成容易性の観点から、無置換であることが好ましい。

　２価の芳香族環基としては、２価の芳香族炭化水素環基及び２価の芳香族複素環基が挙げられる。その炭素数は通常４以上であり、５以上が好ましく、６以上がより好ましく、また、２０以下が好ましく、１５以下がより好ましく、１０以下がさらに好ましい。
　炭素数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。炭素数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、２価の芳香族環基の炭素数は４～２０が好ましく、５～１５がより好ましく、６～１０がさらに好ましい。

　２価の芳香族炭化水素環基における芳香族炭化水素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。２価の芳香族炭化水素環基としては、例えば、２個の遊離原子価を有する、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、ペリレン環、テトラセン環、ピレン環、ベンズピレン環、クリセン環、トリフェニレン環、アセナフテン環、フルオランテン環、フルオレン環が挙げられる。

　芳香族複素環基における芳香族複素環としては、単環であっても縮合環であってもよい。２価の芳香族複素環基としては、例えば、２個の遊離原子価を有する、フラン環、ベンゾフラン環、チオフェン環、ベンゾチオフェン環、ピロール環、ピラゾール環、イミダゾール環、オキサジアゾール環、インドール環、カルバゾール環、ピロロイミダゾール環、ピロロピラゾール環、ピロロピロール環、チエノピロール環、チエノチオフェン環、フロピロール環、フロフラン環、チエノフラン環、ベンゾイソオキサゾール環、ベンゾイソチアゾール環、ベンゾイミダゾール環、ピリジン環、ピラジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、イソキノリン環、シノリン環、キノキサリン環、フェナントリジン環、ペリミジン環、キナゾリン環、キナゾリノン環、アズレン環が挙げられる。

　これらの中でも製造コストの観点から、２個の遊離原子価を有するベンゼン環、ナフタレン環が好ましく、２個の遊離原子価を有するベンゼン環がより好ましい。

　２価の芳香族環基が有していてもよい置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基が挙げられる。これらの中でも硬化性の観点から、無置換が好ましい。

　１以上の２価の脂肪族基と１以上の２価の芳香族環基とを連結した基としては、前述の２価の脂肪族基を１以上と、前述の２価の芳香族環基の１以上とを連結した基が挙げられる。
　２価の脂肪族基の数は特に限定されないが、通常１以上であり、２以上が好ましく、通常１０以下であり、５以下が好ましく、３以下がより好ましい。
　２価の脂肪族基の数を前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向がある。２価の脂肪族基の数を前記上限値以下とすることで膜強度が向上する傾向がある。
　例えば、２価の脂肪族基の数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３がさらに好ましい。
　２価の芳香族環基の数は特に限定されないが、通常１以上であり、２以上が好ましく、通常１０以下であり、５以下が好ましく、３以下がより好ましい。
　２価の芳香族環基の数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。２価の芳香族環基の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、２価の芳香族環基の数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、１～３がさらに好ましい。

　１以上の２価の脂肪族基と１以上の２価の芳香族環基とを連結した基の具体例としては、例えば、下記式（ｉ－Ａ）～（ｉ－Ｆ）で表される基が挙げられる。これらの中でも骨格の剛直性と膜の疎水化の観点から、下記式（ｉ－Ａ）で表される基が好ましい。以下において、＊は結合手を表す。

　前記のとおり、式（ｉ）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、１つでもよいし、２つ以上でもよい。
　これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。

　前記式（ｉ）で表される部分構造は、現像溶解性の観点から、下記式（ｉ－１）で表される部分構造であることが好ましい。

（式（ｉ－１）中、Ｒ^a及びＲ^bは、前記式（ｉ）におけると同義である。Ｒ^yは水素原子又は多塩基酸残基を表す。＊は結合手を表す。式（ｉ－１）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。）

（Ｒ^y）
　Ｒ^ｙは水素原子又は多塩基酸残基を表す。
　多塩基酸残基とは、多塩基酸からＯＨ基を１又は２つ除した、１価又は２価の基を意味する。
　前記多塩基酸としては、例えば、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸が挙げられる。
　これらの中でもパターニング特性の観点から、好ましくはマレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸であり、より好ましくはテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸である。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－１）１分子中に含まれる、前記式（ｉ－１）で表される部分構造は、１種でも２種以上でもよい。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－１）１分子中に含まれる、前記式（ｉ）で表される部分構造の数は特に限定されないが、１以上が好ましく、２以上がより好ましく、３以上がさらに好ましく、また、１０以下が好ましく、８以下がさらに好ましい。
　この部分構造の数を前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向がある。この部分構造の数を前記上限値以下とすることで膜強度が向上する傾向がある。
　例えば、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－１）１分子中に含まれる、前記式（ｉ）で表される部分構造の数は１～１０が好ましく、２～８がより好ましく、３～８がさらに好ましい。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－１）１分子中に含まれる、前記式（ｉ－１）で表される部分構造の数は特に限定されないが、１以上が好ましく、２以上がより好ましく、３以上がさらに好ましく、また、１０以下が好ましく、８以下がさらに好ましい。
　この部分構造の数を前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向がある。この部分構造の数を前記上限値以下とすることで膜強度が向上する傾向がある。
　例えば、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－１）１分子中に含まれる、前記式（ｉ－１）で表される部分構造の数は１～１０が好ましく、２～８がより好ましく、３～８がさらに好ましい。

　以下にエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－１）の具体例を挙げる。

　次に、下記一般式（ｉｉ－１）で表される部分構造を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂及び一般式（ｉｉ－２）で表される部分構造を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂について詳述する。（以下、両方をまとめて「エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－２）」と称する場合がある。）

（式（ｉｉ－１）中、Ｒ^cは水素原子又はメチル基を表す。Ｒ^αは、置換基を有していてもよい１価の環状炭化水素基を表す。ｑは１以上の整数である。式（ｉｉ－１）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。）

　式（ｉｉ－１）で表される部分構造を有することで、遮光性が良好となる傾向がある。

（Ｒ^α）
　前記式（ｉｉ－１）において、Ｒ^αは、置換基を有していてもよい１価の環状炭化水素基を表す。
　Ｒ^αにおける１価の環状炭化水素基としては、脂肪族環基、芳香族環基が挙げられる。

　脂肪族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常１以上であり、２以上が好ましく、また、通常６以下であり、４以下が好ましく、３以下がより好ましい。
　脂肪族環基が有する環の数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。脂肪族環基が有する環の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、脂肪族環基が有する環の数は１～６が好ましく、１～４がより好ましく、１～３がさらに好ましく、２～３が特に好ましい。
　また、脂肪族環基の炭素数は通常４以上であり、６以上が好ましく、８以上がより好ましく、また、４０以下が好ましく、３０以下がより好ましく、２０以下がさらに好ましく、１５以下が特に好ましい。
　炭素数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。炭素数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、脂肪族環基の炭素数は４～４０が好ましく、４～３０がより好ましく、６～２０がさらに好ましく、８～１５が特に好ましい。

　該脂肪族環基における脂肪族環の具体例としては、例えば、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環が挙げられる。これらの中でも膜強度と現像性の両立の観点から、アダマンタン環が好ましい。

　芳香族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常１以上であり、２以上が好ましく、３以上がより好ましく、また、通常１０以下であり、５以下が好ましい。
　芳香族環基が有する環の数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。芳香族環基が有する環の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、芳香族環基が有する環の数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、２～５がさらに好ましい。

　該芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基、芳香族複素環基が挙げられる。
　芳香族環基の炭素数は通常４以上であり、５以上が好ましく、６以上がより好ましく、また、３０以下が好ましく、２０以下がより好ましく、１５以下がさらに好ましい。
　炭素数の数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。炭素数の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、芳香族環基の炭素数は４～３０が好ましく、５～２０がより好ましく、６～１５がさらに好ましい。

　芳香族環基における芳香族環の具体例としては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環、フルオレン環が挙げられる。これらの中でも膜強度と現像性の両立の観点から、フルオレン環が好ましい。

　Ｒ^αの環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、アミル基、イソアミル基等の炭素数１～５のアルキル基；メトキシ基、エトキシ基等の炭素数１～５のアルコキシ基；ニトロ基；シアノ基；カルボキシ基が挙げられる。これらの中でも合成の容易性の観点から、無置換が好ましい。

　これらの中でも、膜強度と現像性の両立の観点から、Ｒ^αが１価の脂肪族環基であることが好ましく、アダマンチル基であることがより好ましい。

　ｑは１以上の整数を表すが、２以上が好ましく、また、３以下が好ましい。
　ｑを前記下限値以上とすることで現像性が向上する傾向がある。ｑを前記上限値以下とすることで膜強度が向上する傾向がある。
　例えば、ｑは１以上３以下の整数であることが好ましく、２以上３以下の整数であることがより好ましい。

　前記のとおり、式（ｉｉ－１）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、１つでもよいし、２つ以上でもよい。これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。

　以下に前記式（ｉｉ－１）で表される部分構造の具体例を挙げる。以下において、＊は結合手を表す。

　次に、下記一般式（ｉｉ－２）で表される部分構造を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂について詳述する。

（式（ｉｉ－２）中、Ｒ^cは水素原子又はメチル基を表す。Ｒ^βは、置換基を有していてもよい２価の環状炭化水素基を表す。式（ｉｉ－２）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。）

　式（ｉｉ－２）で表される部分構造を有することで、遮光性が良好となる傾向がある。

（Ｒ^β）
　前記式（ｉｉ－２）において、Ｒ^βは、置換基を有していてもよい２価の環状炭化水素基を表す。
　Ｒ^βにおける２価の環状炭化水素基としては、２価の脂肪族環基、２価の芳香族環基が挙げられる。

　２価の脂肪族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常１以上であり、２以上が好ましく、また、通常１０以下であり、５以下が好ましい。
　２価の脂肪族環基が有する環の数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。２価の脂肪族環基が有する環の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、２価の脂肪族環基が有する環の数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、２～５がさらに好ましい。

　２価の脂肪族環基の炭素数は通常４以上であり、６以上が好ましく、８以上がより好ましく、また、４０以下が好ましく、３５以下がより好ましく、３０以下がさらに好ましい。
　炭素数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。炭素数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、２価の脂肪族環基の炭素数は４～４０が好ましく、６～３５がより好ましく、８～３０がさらに好ましい。

　２価の脂肪族環基における脂肪族環の具体例としては、例えば、シクロヘキサン環、シクロヘプタン環、シクロデカン環、シクロドデカン環、ノルボルナン環、イソボルナン環、アダマンタン環、シクロドデカン環が挙げられる。これらの中でも膜強度と現像性の両立の観点から、アダマンタン環が好ましい。

　２価の芳香族環基が有する環の数は特に限定されないが、通常１以上であり、２以上が好ましく、３以上がより好ましく、また、通常１０以下であり、５以下が好ましい。
　２価の芳香族環基が有する環の数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。２価の芳香族環基が有する環の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、２価の芳香族環基が有する環の数は１～１０が好ましく、１～５がより好ましく、２～５がさらに好ましく、３～５が特に好ましい。

　２価の芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基、芳香族複素環基が挙げられる。
　２価の芳香族環基の炭素数は通常４以上であり、６以上が好ましく、８以上がより好ましく、１０以上がさらに好ましく、また、４０以下が好ましく、３０以下がより好ましく、２０以下がさらに好ましく、１５以下が特に好ましい。
　炭素数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。炭素数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、２価の芳香族環基の炭素数は４～４０が好ましく、６～３０がより好ましく、８～２０がさらに好ましく、１０～１５が特に好ましい。

　２価の芳香族環基における芳香族環の具体例としては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環が挙げられる。これらの中でも膜強度と現像性の観点から、ベンゼン環が好ましい。

　２価の環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、ヒドロキシ基、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、アミル基、イソアミル基等の炭素数１～５のアルキル基；メトキシ基、エトキシ基等の炭素数１～５のアルコキシ基；ニトロ基；シアノ基；カルボキシ基が挙げられる。これらの中でも合成の簡易性の観点から、無置換が好ましい。

　これらの中でも、膜強度と現像性の両立の観点から、Ｒ^βが２価の脂肪族環基であることが好ましく、２価のアダマンタン環基であることがより好ましい。

　前記のとおり、式（ｉｉ－２）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、１つでもよいし、２つ以上でもよい。これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。

　以下に前記式（ｉｉ－２）で表される部分構造の具体例を挙げる。以下において、＊は結合手を表す。

　前記式（ｉｉ－１）で表される部分構造は、現像性の観点から、下記式（ｉｉ－３）で表される部分構造であることが好ましい。

（式（ｉｉ－３）中、Ｒ^c、Ｒ^α、及びｑは前記式（ｉｉ－１）におけると同義である。Ｒ^ｚ１、Ｒ^ｚ２は各々独立に、水素原子又は多塩基酸残基を表す。）

　前記式（ｉｉ－２）で表される部分構造は、現像性の観点から、下記式（ｉｉ－４）で表される部分構造であることが好ましい。

（式（ｉｉ－４）中、Ｒ^c、Ｒ^βは式（ｉｉ－２）におけると同義である。Ｒ^ｖ１、Ｒ^ｖ２は各々独立に、水素原子又は多塩基酸残基を表す。）

　多塩基酸残基とは、多塩基酸からＯＨ基を１又は２つ除した、１価又は２価の基を意味する。
　前記多塩基酸としては、例えば、マレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸、メチルヘキサヒドロフタル酸、エンドメチレンテトラヒドロフタル酸、クロレンド酸、メチルテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸が挙げられる。
　これらの中でもパターニング特性の観点から、好ましくはマレイン酸、コハク酸、イタコン酸、フタル酸、テトラヒドロフタル酸、ヘキサヒドロフタル酸、ピロメリット酸、トリメリット酸、ビフェニルテトラカルボン酸であり、より好ましくはテトラヒドロフタル酸、ビフェニルテトラカルボン酸である。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－２）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉ－１）、前記式（ｉｉ－２）、前記式（ｉｉ－３）、又は前記式（ｉｉ－４）で表される部分構造は、１種でも２種以上でもよい。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－２）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉ－１）で表される部分構造の数は特に限定されないが、１以上が好ましく、３以上がより好ましく、また、２０以下が好ましく、１５以下がより好ましく、１０以下がさらに好ましい。
　前記式（ｉｉ－１）で表される部分構造の数を前記下限値以上とすることで解像性が向上する傾向がある。前記式（ｉｉ－１）で表される部分構造の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－２）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉ－１）で表される部分構造の数は１～２０が好ましく、１～１５がより好ましく、３～１０がさらに好ましい。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－２）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉ－２）で表される部分構造の数は特に限定されないが、１以上が好ましく、３以上がより好ましく、また、２０以下が好ましく、１５以下がより好ましく、１０以下がさらに好ましい。
　前記式（ｉｉ－２）で表される部分構造の数を前記下限値以上とすることで解像性が向上する傾向がある。前記式（ｉｉ－２）で表される部分構造の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－２）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉ－２）で表される部分構造の数は１～２０が好ましく、１～１５がより好ましく、３～１０がさらに好ましい。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－２）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉ－３）で表される部分構造の数は特に限定されないが、１以上が好ましく、３以上がより好ましく、また、２０以下が好ましく、１５以下がより好ましく、１０以下がさらに好ましい。
　前記式（ｉｉ－３）で表される部分構造の数を前記下限値以上とすることで解像性が向上する傾向がある。前記式（ｉｉ－３）で表される部分構造の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－２）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉ－３）で表される部分構造の数は１～２０が好ましく、１～１５がより好ましく、３～１０がさらに好ましい。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－２）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉ－４）で表される部分構造の数は特に限定されないが、１以上が好ましく、３以上がより好ましく、また、２０以下が好ましく、１５以下がより好ましく、１０以下がさらに好ましい。
　、前記式（ｉｉ－４）で表される部分構造の数を前記下限値以上とすることで解像性が向上する傾向がある。、前記式（ｉｉ－４）で表される部分構造の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－２）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉ－４）で表される部分構造の数は１～２０が好ましく、１～１５がより好ましく、３～１０がさらに好ましい。

　次に、下記一般式（ｉｉｉ）で表される部分構造を有するエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（以下、「エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－３）」と称する場合がある。）について詳述する。

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－３）中に含まれる、前記式（ｉｉｉ）で表される部分構造は、１種でも２種以上でもよい。

（δ）
　前記式（ｉｉｉ）において、δは単結合、－ＣＯ－、置換基を有していてもよいアルキレン基、又は置換基を有していてもよい２価の環状炭化水素基を表す。

　δにおけるアルキレン基は直鎖でも、分岐鎖でもよいが、現像溶解性の観点からは直鎖であることが好ましく、現像密着性の観点からは分岐鎖であることが好ましい。
　アルキレン基の炭素数は特に限定されないが、通常１以上であり、２以上が好ましく、また、通常６以下であり、４以下が好ましい。
　炭素数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。炭素数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、アルキレン基の炭素数は１～６が好ましく、１～４がより好ましく、２～４がさらに好ましい。

　アルキレン基の具体例としては、例えば、メチレン基、エチレン基、プロピレン基、ブチレン基、へキシレン基、ヘプチレン基が挙げられ、膜強度と現像性の両立の観点から、エチレン基、プロピレン基が好ましく、プロピレン基がより好ましい。

　アルキレン基が有していてもよい置換基としては、例えば、メトキシ基、エトキシ基等の炭素数１～５のアルコキシ基；水酸基；ニトロ基；シアノ基；カルボキシ基が挙げられる。これらの中でも合成容易性の観点から、無置換であることが好ましい。

　δにおける２価の環状炭化水素基としては、２価の脂肪族環基、２価の芳香族環基が挙げられる。

　２価の芳香族環基としては、２価の芳香族炭化水素環基、２価の芳香族複素環基が挙げられる。
　２価の芳香族環基の炭素数は通常４以上であり、６以上が好ましく、８以上がより好ましく、１０以上がさらに好ましく、また、４０以下が好ましく、３０以下がより好ましく、２０以下がさらに好ましく、１５以下が特に好ましい。
　炭素数を前記下限値以上とすることで膜強度が向上する傾向がある。炭素数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、２価の芳香族環基の炭素数は４～４０が好ましく、６～３０がより好ましく、８～２０がさらに好ましく、１０～１５が特に好ましい。

　２価の芳香族環基における芳香族環の具体例としては、例えば、ベンゼン環、ナフタレン環、アントラセン環、フェナントレン環が挙げられる。これらの中でも膜強度と現像性の両立の観点から、ベンゼン環が好ましい。

　２価の環状炭化水素基が有していてもよい置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、メチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、アミル基、イソアミル基等の炭素数１～５のアルキル基；メトキシ基、エトキシ基等の炭素数１～５のアルコキシ基；水酸基；ニトロ基；シアノ基；カルボキシ基が挙げられる。これらの中でも合成の簡易性の観点から、無置換が好ましい。

　これらの中でも、現像性の観点から、δは置換基を有していてもよいアルキレン基であることが好ましく、ジメチルメチレン基であることがより好ましい。

　前記のとおり、式（ｉｉｉ）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。該置換基としては、例えば、ヒドロキシ基、メチル基、メトキシ基、エチル基、エトキシ基、プロピル基、プロポキシ基が挙げられる。置換基の数も特に限定されず、１つでもよいし、２つ以上でもよい。これらの中でも硬化性の観点から、無置換であることが好ましい。

　前記式（ｉｉｉ）で表される部分構造は、現像溶解性の観点から、下記式（ｉｉｉ－１）で表される部分構造であることが好ましい。

（式（ｉｉｉ－１）中、Ｒ^e及びδは前記式（ｉｉｉ）におけると同義である。Ｒ^Wは水素原子又は多塩基酸残基を表す。＊は結合手を表す。式（ｉｉｉ－１）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。）

　エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－３）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉｉ）で表される部分構造の数は特に限定されないが、１以上が好ましく、５以上がより好ましく、１０以上がさらに好ましく、また、１８以下が好ましく、１５以下がさらに好ましい。
　前記式（ｉｉｉ）で表される部分構造の数を前記下限値以上とすることで解像性が向上する傾向がある。前記式（ｉｉｉ）で表される部分構造の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－３）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉｉ）で表される部分構造の数は１～１８が好ましく、５～１５がより好ましく、１０～１５がさらに好ましい。

　また、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－３）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉｉ－１）で表される部分構造の数は特に限定されないが、１以上が好ましく、３以上がより好ましく、５以上がさらに好ましく、また、１８以下が好ましく、１５以下がさらに好ましい。
　前記式（ｉｉｉ－１）で表される部分構造の数を前記下限値以上とすることで解像性が向上する傾向がある。前記式（ｉｉｉ－１）で表される部分構造の数を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－３）１分子中に含まれる、前記式（ｉｉｉ－１）で表される部分構造の数は１～１８が好ましく、３～１５がより好ましく、５～１５がさらに好ましい。

　以下にエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２－３）の具体例を挙げる。

　（ａ）アルカリ可溶性樹脂がアクリル共重合樹脂（Ａ１１）とエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の両方を含む場合、アクリル共重合樹脂（Ａ１１）の含有割合は、アクリル共重合樹脂（Ａ１１）とエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）との合計含有量に対して、１０質量％以上が好ましく、２０質量％以上がより好ましく、３０質量％以上がさらに好ましく、４０質量％以上が特に好ましく、また９０質量％以下が好ましく、７５質量％以下がより好ましく、６０質量％以下がさらに好ましく、５０質量％以下が特に好ましい。
　この含有割合を前記下限値以上とすることで残渣が低減する傾向がある。この含有割合を前記上限値以下とすることで密着性が向上する傾向がある。
　（ａ）アルカリ可溶性樹脂がアクリル共重合樹脂（Ａ１１）とエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）の両方を含む場合、例えば、アクリル共重合樹脂（Ａ１１）とエポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）との合計含有量に対する、アクリル共重合樹脂（Ａ１１）の含有割合は１０～９０質量％が好ましく、２０～７５質量％がより好ましく、３０～６０質量％がさらに好ましく、４０～５０質量％が特に好ましい。

　本発明における（ａ）アルカリ可溶性樹脂は、アクリル共重合樹脂（Ａ１１）や、エポキシ（メタ）アクリレート樹脂（Ａ１２）以外に、その他のアルカリ可溶性樹脂を含んでいてもよい。

　本発明の感光性樹脂組成物中における（ａ）アルカリ可溶性樹脂の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常５質量％以上、好ましくは１０質量％以上、より好ましくは２０質量％以上、さらに好ましくは３０質量％以上、よりさらに好ましくは４０質量％以上、特に好ましくは５０質量％以上、また、通常９０質量％以下、好ましくは８０質量％以下、より好ましくは７０質量％以下である。
　この含有割合を前記下限値以上とすることで解像性が良好となる傾向がある。この含有割合を前記上限値以下とすることで表面硬度が向上する傾向がある。
　例えば、感光性樹脂組成物の全固形分に対する（ａ）アルカリ可溶性樹脂の含有割合は５～９０質量％が好ましく、１０～９０質量％がより好ましく、２０～８０質量％がさらに好ましく、３０～８０質量％がよりさらに好ましく、４０～７０質量％がとりわけ好ましく、５０～７０質量％が特に好ましい。

　感光性樹脂組成物の全固形分に対する後述の（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有割合及び（ａ）アルカリ可溶性樹脂の含有割合の総和は、特に限定されないが、１０質量％以上が好ましく、３０質量％以上がより好ましく、５０質量％以上がさらに好ましく、６０質量％以上が特に好ましく、また、９０質量％以下が好ましく、８５質量％以下がより好ましく、８０質量％以下がさらに好ましく、７５質量％以下がさらに好ましい。
　この含有割合を前記下限値以上とすることで密着性が向上する傾向がある。この含有割合を前記上限値以下とすることで隔壁の形状が良好となる傾向がある。
　例えば、感光性樹脂組成物の全固形分に対する（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有割合及び（ａ）アルカリ可溶性樹脂の含有割合の総和は１０～９０質量％が好ましく、３０～８０質量％がより好ましく、５０～８０質量％がさらに好ましく、６０～７５質量％が特に好ましい。

［１－１－２］（ｂ）光重合開始剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、（ｂ）光重合開始剤を含有する。（ｂ）光重合開始剤は、光を直接吸収し、分解反応又は水素引き抜き反応を起こし、重合活性ラジカルを発生する機能を有する成分である。必要に応じて、（ｂ）光重合開始剤に加えて、重合促進剤（連鎖移動剤）、増感色素等の付加剤を添加して使用してもよい。

　本発明の感光性樹脂組成物は、（ｂ）光重合開始剤として、この分野で通常用いられている光重合開始剤を使用することができる。このような光重合開始剤としては、例えば、日本国特開昭５９－１５２３９６号公報、日本国特開昭６１－１５１１９７号公報に記載のチタノセン化合物を含むメタロセン化合物；日本国特開２０００－５６１１８号公報に記載のヘキサアリールビイミダゾール誘導体；日本国特開平１０－３９５０３号公報記載のハロメチル化オキサジアゾール誘導体、ハロメチル－ｓ－トリアジン誘導体、Ｎ－フェニルグリシン等のＮ－アリール－α－アミノ酸類、Ｎ－アリール－α－アミノ酸塩類、Ｎ－アリール－α－アミノ酸エステル類等のラジカル活性剤、α－アミノアルキルフェノン誘導体；日本国特開２０００－８００６８号公報、日本国特開２００６－３６７５０号公報等に記載されているオキシムエステル系化合物が挙げられる。

　具体的には、例えば、メタロセン化合物としては、ジシクロペンタジエニルチタニウムジクロリド、ジシクロペンタジエニルチタニウムビスフェニル、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス（２，３，４，５，６－ペンタフルオロフェニル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス（２，３，５，６－テトラフルオロフェニル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムビス（２，４，６－トリフルオロフェニル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ（２，６－ジフルオロフェニル）、ジシクロペンタジエニルチタニウムジ（２，４－ジフルオロフェニル）、ジ（メチルシクロペンタジエニル）チタニウムビス（２，３，４，５，６－ペンタフルオロフェニル）、ジ（メチルシクロペンタジエニル）チタニウムビス（２，６－ジフルオロフェニル）、ジシクロペンタジエニルチタニウム〔２，６－ジ－フルオロ－３－（ピロ－１－イル）－フェニル〕が挙げられる。

　ヘキサアリールビイミダゾール誘導体としては、例えば、２－（２’－クロロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール２量体、２－（２’－クロロフェニル）－４，５－ビス（３’－メトキシフェニル）イミダゾール２量体、２－（２’－フルオロフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール２量体、２－（２’－メトキシフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール２量体、（４’－メトキシフェニル）－４，５－ジフェニルイミダゾール２量体が挙げられる。

　ハロメチル化オキサジアゾール誘導体としては、例えば、２－トリクロロメチル－５－（２’－ベンゾフリル）－１，３，４－オキサジアゾール、２－トリクロロメチル－５－〔β－（２’－ベンゾフリル）ビニル〕－１，３，４－オキサジアゾール、２－トリクロロメチル－５－〔β－（２’－（６’’－ベンゾフリル）ビニル）〕－１，３，４－オキサジアゾール、２－トリクロロメチル－５－フリル－１，３，４－オキサジアゾールが挙げられる。

　ハロメチル－ｓ－トリアジン誘導体としては、例えば、２－（４－メトキシフェニル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－メトキシナフチル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－エトキシナフチル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジン、２－（４－エトキシカルボニルナフチル）－４，６－ビス（トリクロロメチル）－ｓ－トリアジンが挙げられる。

　α－アミノアルキルフェノン誘導体としては、例えば、２－メチル－１〔４－（メチルチオ）フェニル〕－２－モルフォリノプロパン－１－オン、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）－ブタノン－１、２－ベンジル－２－ジメチルアミノ－１－（４－モルフォリノフェニル）ブタン－１－オンが挙げられる。

　光重合開始剤としては、特に、感度や製版性の点でオキシムエステル系化合物が有効である。
　フェノール性水酸基を含むアルカリ可溶性樹脂を用いる場合などは、感度の点で不利になるため、特にこのような感度に優れたオキシムエステル系化合物が有用である。オキシムエステル系化合物は、光反応の量子収率が高く、生成するラジカルの活性が高いため、感度が高く、かつ、熱反応に対して安定であり、少量で高感度な感光性樹脂組成物を得ることが可能である。

　オキシムエステル系化合物としては、例えば、下記一般式（ｂ１）で表される化合物が挙げられる。

　上記式（ｂ１）中、Ｒ^21aは、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。
　Ｒ^21bは芳香環を含む任意の置換基を表す。
　Ｒ^22aは、置換基を有していてもよいアルカノイル基、又は置換基を有していてもよいアロイル基を表す。
　ｎｘは０又は１の整数を表す。

　Ｒ^21aは、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、又は置換基を有していてもよい芳香族環基を表す。

　Ｒ^21aにおけるアルキル基の炭素数は特に限定されないが、溶媒への溶解性や感度の観点から、通常１以上、好ましくは２以上、また、通常２０以下、好ましくは１５以下、より好ましくは１０以下である。
　アルキル基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、シクロペンチルメチル基、シクロペンチルエチル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘキシルエチル基が挙げられる。
　該アルキル基が有していてもよい置換基としては、例えば、芳香族環基、水酸基、カルボキシ基、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基、４－（２－メトキシ－１－メチル）エトキシ－２－メチルフェニル基、Ｎ－アセチル－Ｎ－アセトキシアミノ基が挙げられ、感度の観点からは、Ｎ－アセチル－Ｎ－アセトキシアミノ基であることが好ましい。

　Ｒ^21aにおける芳香族環基としては、芳香族炭化水素環基及び芳香族複素環基が挙げられる。芳香族環基の炭素数は特に限定されないが、感光性樹脂組成物への溶解性の観点から５以上であることが好ましい。また、現像性の観点から３０以下であることが好ましく、２０以下であることがより好ましく、１２以下であることがさらに好ましい。

　芳香族環基の具体例としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、ピリジル基、フリル基が挙げられ、これらの中でも現像性の観点から、フェニル基、ナフチル基が好ましく、フェニル基がより好ましい。
　該芳香族環基が有していてもよい置換基としては、例えば、水酸基、カルボキシ基、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基、アルキル基、アルコキシ基、これらの置換基が連結した基が挙げられ、現像性の観点からアルキル基、アルコキシ基、これらを連結した基が好ましく、連結したアルコキシ基がより好ましい。

　Ｒ^21bは芳香環を含む任意の置換基を表す。
　Ｒ^21bとしては、好ましくは置換されていてもよいカルバゾリル基、置換されていてもよいチオキサントニル基、置換されていてもよいフルオレニル基、置換されていてもよいジフェニルスルフィド基、又は置換されていてもよいインドリル基が挙げられる。これらの中でも、感度の観点から、置換されていてもよいカルバゾリル基が好ましい。

　Ｒ^22aは置換基を有していてもよいアルカノイル基、又は置換基を有していてもよいアロイル基を表す。
　Ｒ^22aにおけるアルカノイル基の炭素数は特に限定されないが、溶媒への溶解性や感度の観点から、好ましくは２以上である。また、好ましくは２０以下、より好ましくは１５以下、さらに好ましくは１０以下、よりさらに好ましくは５以下である。
　アルカノイル基の具体例としては、例えば、アセチル基、エチロイル基、プロパノイル基、ブタノイル基が挙げられる。
　該アルカノイル基が有していてもよい置換基としては、例えば、芳香族環基、水酸基、カルボキシ基、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基が挙げられ、合成容易性の観点からは、無置換であることが好ましい。

　Ｒ^22aにおけるアロイル基の炭素数は特に限定されないが、溶媒への溶解性や感度の観点から、好ましくは７以上である。また、好ましくは２０以下、好ましくは１５以下、より好ましくは１０以下である。
　アロイル基の具体例としては、例えば、ベンゾイル基、ナフトイル基が挙げられる。
　該アロイル基が有していてもよい置換基としては、例えば、水酸基、カルボキシ基、ハロゲン原子、アミノ基、アミド基、アルキル基が挙げられ、合成容易性の観点からは、無置換であることが好ましい。

　これらの中でも、感度の観点から、Ｒ^22aは置換基を有していてもよいアルカノイル基であることが好ましく、無置換のアルカノイル基であることがより好ましく、アセチル基であることがさらに好ましい。

　前記式（ｂ１）で表されるオキシムエステル系化合物としては、例えば、日本国特許４４５４０６７号公報、国際公開第２００２／１００９０３号、国際公開第２０１２／４５７３６号、国際公開第２０１５／３６９１０号、国際公開第２００６／１８９７３号、国際公開第２００８／７８６７８号、日本国特許４８１８４５８号公報、国際公開第２００５／８０３３８号、国際公開第２００８／７５５６４号、国際公開第２００９／１３１１８９号、国際公開第２０１０／１３３０７７号、国際公開第２０１０／１０２５０２号、国際公開第２０１２／６８８７９号に記載されている光重合開始剤などが使用できる。

　（ｂ）光重合開始剤は、１種類を単独で用いても、２種類以上を組み合わせて使用してもよい。

　（ｂ）光重合開始剤には、必要に応じて、感応感度を高める目的で、画像露光光源の波長に応じた増感色素、重合促進剤を配合させることができる。
　増感色素としては、例えば、日本国特開平４－２２１９５８号公報、日本国特開平４－２１９７５６号公報に記載のキサンテン色素、日本国特開平３－２３９７０３号公報、日本国特開平５－２８９３３５号公報に記載の複素環を有するクマリン色素、日本国特開平３－２３９７０３号公報、日本国特開平５－２８９３３５号公報に記載の３－ケトクマリン化合物、日本国特開平６－１９２４０号公報に記載のピロメテン色素、その他、日本国特開昭４７－２５２８号公報、日本国特開昭５４－１５５２９２号公報、日本国特公昭４５－３７３７７号公報、日本国特開昭４８－８４１８３号公報、日本国特開昭５２－１１２６８１号公報、日本国特開昭５８－１５５０３号公報、日本国特開昭６０－８８００５号公報、日本国特開昭５９－５６４０３号公報、日本国特開平２－６９号公報、日本国特開昭５７－１６８０８８号公報、日本国特開平５－１０７７６１号公報、日本国特開平５－２１０２４０号公報、日本国特開平４－２８８８１８号公報に記載のジアルキルアミノベンゼン骨格を有する色素を挙げることができる。

　これらの増感色素のうち好ましいものは、アミノ基含有増感色素であり、さらに好ましいものは、アミノ基及びフェニル基を同一分子内に有する化合物である。
　特に、好ましい増感色素としては、例えば、４，４’－ジメチルアミノベンゾフェノン、４，４’－ジエチルアミノベンゾフェノン、２－アミノベンゾフェノン、４－アミノベンゾフェノン、４，４’－ジアミノベンゾフェノン、３，３’－ジアミノベンゾフェノン、３，４－ジアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン系化合物；２－（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ベンゾオキサゾール、２－（ｐ－ジエチルアミノフェニル）ベンゾオキサゾール、２－（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ベンゾ［４，５］ベンゾオキサゾール、２－（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ベンゾ［６，７］ベンゾオキサゾール、２，５－ビス（ｐ－ジエチルアミノフェニル）－１，３，４－オキサゾール、２－（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ベンゾチアゾール、２－（ｐ－ジエチルアミノフェニル）ベンゾチアゾール、２－（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ベンズイミダゾール、２－（ｐ－ジエチルアミノフェニル）ベンズイミダゾール、２，５－ビス（ｐ－ジエチルアミノフェニル）－１，３，４－チアジアゾール、（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ピリジン、（ｐ－ジエチルアミノフェニル）ピリジン、（ｐ－ジメチルアミノフェニル）キノリン、（ｐ－ジエチルアミノフェニル）キノリン、（ｐ－ジメチルアミノフェニル）ピリミジン、（ｐ－ジエチルアミノフェニル）ピリミジン等のｐ－ジアルキルアミノフェニル基含有化合物が挙げられる。このうち最も好ましいものは、４，４’－ジアルキルアミノベンゾフェノンである。
　増感色素もまた１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

　重合促進剤としては、例えば、４－ジメチルアミノ安息香酸エチル、４－ジメチルアミノ安息香酸２－エチルへキシル、４－ジメチルアミノアセトフェノン、４－ジメチルアミノプロピオフェノン等の芳香族アミン；ｎ－ブチルアミン、Ｎ－メチルジエタノールアミン、安息香酸２－ジメチルアミノエチル等の脂肪族アミンが用いられる。
　重合促進剤は、１種類を単独で用いても、２種以上を組み合わせて使用してもよい。

　また上記（ｂ）光重合開始剤と併用して、連鎖移動剤を用いてもよい。
　連鎖移動剤としては、例えば、メルカプト基含有化合物や、四塩化炭素が挙げられ、連鎖移動効果が高い傾向があることからメルカプト基を有する化合物を用いることがより好ましい。これは、Ｓ－Ｈ結合エネルギーが小さいことによって結合開裂が起こりやすく、水素引きぬき反応や連鎖移動反応を起こしやすいためであると考えら、感度向上や表面硬化性に有効である。

　メルカプト基含有化合物としては、２－メルカプトベンゾチアゾール、２－メルカプトベンゾイミダゾール、２－メルカプトベンゾオキサゾール、３－メルカプト－１，２，４－トリアゾール、２－メルカプト－４（３Ｈ）－キナゾリン、β－メルカプトナフタレン、１，４－ジメチルメルカプトベンゼン等の芳香族環を有するメルカプト基含有化合物；へキサンジチオール、デカンジチオール、ブタンジオールビス（３－メルカプトプロピオネート）、ブタンジオールビスチオグリコレート、エチレングリコールビス（３－メルカプトプロピオネート）、エチレングリコールビスチオグリコレート、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトプロピオネート）、トリメチロールプロパントリスチオグリコレート、トリスヒドロキシエチルトリスチオプロピオネート、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールトリス（３－メルカプトプロピオネート）、ブタンジオールビス（３－メルカプトブチレート）、エチレングリコールビス（３－メルカプトブチレート）、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールトリス（３－メルカプトブチレート）、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオン等の脂肪族系のメルカプト基含有化合物；特に、メルカプト基を複数有する化合物が挙げられる。

　このうち、芳香族環を有するメルカプト基含有化合物の中では２－メルカプトベンゾチアゾール、２－メルカプトベンゾイミダゾールが好ましく、脂肪族系のメルカプト基含有化合物の中では、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールトリス（３－メルカプトプロピオネート）、トリメチロールプロパントリス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）、ペンタエリスリトールトリス（３－メルカプトブチレート）、１，３，５－トリス（３－メルカプトブチルオキシエチル）－１，３，５－トリアジン－２，４，６（１Ｈ，３Ｈ，５Ｈ）－トリオンが好ましい。
　これらは種々のものが１種を単独で、或いは２種以上を混合して使用できる。

　これらの中でも、感度の観点から、２－メルカプトベンゾチアゾール、２－メルカプトベンゾイミダゾール、及び２－メルカプトベンゾオキサゾールよりなる群から選択された１又は２以上と、光重合開始剤とを組み合わせて、光重合開始剤系として使用することが好適である。例えば、２－メルカプトベンゾチアゾールを用いてもよく、２－メルカプトベンゾイミダゾールを用いてもよく、２－メルカプトベンゾチアゾールと２－メルカプトベンゾイミダゾールとを併用して用いてもよい。また、（ｂ）光重合開始剤として、ビイミダゾール誘導体類とを組み合わせて使用することが好適である。
　また、感度の観点から、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）よりなる群から選択された１又は２以上を用いることが好ましい。さらに、感度の観点から、２－メルカプトベンゾチアゾール、２－メルカプトベンゾイミダゾール、及び２－メルカプトベンゾオキサゾールよりなる群から選択された１又は２以上と、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトプロピオネート）、ペンタエリスリトールテトラキス（３－メルカプトブチレート）よりなる群から選択された１又は２以上と、（ｂ）光重合開始剤とを組み合わせて用いることが好ましい。

　本発明の感光性樹脂組成物における（ｂ）光重合開始剤の含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常０．０１質量％以上、好ましくは０．１質量％以上、より好ましくは１質量％以上、さらに好ましくは２質量％以上、特に好ましくは３質量％以上であり、通常２５質量％以下、好ましくは２０質量％以下、より好ましくは１５質量％以下、さらに好ましくは１０質量％以下、よりさらに好ましくは７質量％以下、特に好ましくは５質量％以下である。
　この含有割合を前記下限値以上とすることで表面平滑性が向上する傾向がある。この含有割合を前記上限値以下とすることで解像性が向上する傾向がある。

　また、感光性樹脂組成物中の後述の（ｃ）エチレン性不飽和化合物に対する（ｂ）光重合開始剤の配合比としては、（ｃ）エチレン性不飽和化合物１００質量部に対して、５質量部以上が好ましく、１０質量部以上がより好ましく、２０質量部以上がさらに好ましく、２５質量部以上がよりさらに好ましく、３０質量部以上が特に好ましく、また、２００質量部以下が好ましく、１００質量部以下がより好ましく、５０質量部以下がさらに好ましく、４０質量部以下が特に好ましい。
　この配合比を前記下限値以上とすることで表面平滑性が改善する傾向がある。この配合比を前記上限値以下とすることで解像性が向上する傾向がある。

［１－１－３］（ｃ）エチレン性不飽和化合物
　本発明の感光性樹脂組成物は、（ｃ）エチレン性不飽和化合物を含有する。（ｃ）エチレン性不飽和化合物を含むことで、塗膜の硬化性が上がり、また密着性が向上すると考えられる。

　本発明の感光性樹脂組成物における（ｃ）エチレン性不飽和化合物は、アルキレンオキサイド基を含有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１’）を含み、中でもアルキレンオキサイド基を有し、かつエチレン性不飽和基を３個以上有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１）であることが好ましく、さらに好ましくは側鎖にアルキレンオキサイド基を有するエチレン性不飽和化合物である。特に側鎖にアルキレンオキサイド基を含有することで、アルキレンオキサイド基に含まれる酸素原子が親水性であることから、現像液に対する親和性が高まり、前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）が大きく、（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有量が少ない場合においても溶解時間が短くなると考えられる。

　（ｃ）エチレン性不飽和化合物は、エチレン性不飽和結合を分子内に１個以上有する化合物を意味するが、重合性、架橋性、およびそれに伴う露光部と非露光部の現像液溶解性の差異を拡大できる等の点から、エチレン性不飽和結合を分子内に２個以上有する化合物であることが好ましく、また、その不飽和結合は（メタ）アクリロイルオキシ基に由来するもの、つまり、（メタ）アクリレート化合物であることがさらに好ましい。
　エチレン性不飽和化合物（ｃ１）は、アルキレンオキサイド変性されたエチレン性不飽和基を３個以上有することが、感度の観点から好ましい。

　本発明においては、（ｃ）エチレン性不飽和化合物としては、特に、１分子中にエチレン性不飽和結合を２個以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが望ましい。
　多官能エチレン性単量体が有するエチレン性不飽和基の数は特に限定されないが、好ましくは２個以上、より好ましくは３個以上であり、また、好ましくは１５個以下、より好ましくは１０個以下、さらに好ましくは８個以下、特に好ましくは６個以下である。
　エチレン性不飽和基の数を前記下限値以上とすることで表面平滑性が向上する傾向がる。エチレン性不飽和基の数を前記上限値以下とすることで現像性がより良好となる傾向がある。
　例えば、多官能エチレン性単量体が有するエチレン性不飽和基の数は２～１５個が好ましく、２～１０個がより好ましく、２～８個がさらに好ましく、３～８個がよりさらに好ましく、３～６個が特に好ましい。

　エチレン性不飽和化合物（ｃ１’）の中のエチレン性不飽和化合物（ｃ１）の具体例としては、例えば、側鎖にアルキレンオキサイド基を含む脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルが挙げられる。

　前記アルキレンオキサイド基としては、例えば、任意の繰り返し単位をもつポリエチレングリコールおよびポリプロピレングリコール等が挙げられる。

　前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物としては、例えば、エチレングリコール、トリエチレングリコール、トリメチロールプロパン、トリメチロールエタン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、グリセロール等が挙げられる。

　前記不飽和カルボン酸としては、例えば、アクリル酸、メタクリル酸が挙げられる。

　これらの中でも、溶解速度の観点からエチレン性不飽和化合物（ｃ１）として、以下の構造をもつものを用いるのが好ましい。

　これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

　さらに、エチレン性不飽和化合物（ｃ１）は下記一般式（ｃ１－１－１）で表されるエチレン性不飽和化合物（ｃ１－１）を含有することが好ましい。

　溶解速度の点から、前記一般式（ｃ１－１－１）中のＹは、上記一般式（ｃ１－１－４）で表されることが好ましく、上記一般式（ｃ１－１－４）中のｍが１であることが好ましい。
　また、合成容易性の点から、Ｘは同一であることが好ましい。

　式（ｃ１－１－２）中のＲ^１における炭素数２～４のアルキレン基は、直鎖状でも、分岐鎖状でも、環状でも、それらの組み合わせでもよい。溶剤溶解性、耐溶剤性の観点から直鎖状のアルキレン基が好ましい。
　アルキレン基の炭素数は２～４であれば特に限定されないが、２～３が好ましく、２がさらに好ましい。炭素数を前記範囲内とすることで塗膜感度、耐溶剤性が向上する傾向がある。

　Ｒ^１のアルキレン基としては、例えば、エチレン基、ｎ－プロピレン基、ｎ－ブチレン基、イソプロピレン基が挙げられる。溶解速度の観点から、ｎ－プロピレン基、エチレン基が好ましく、エチレン基がより好ましい。

　溶解速度の点から、前記一般式（ｃ１－１－２）中のａは、２～９の整数であることが好ましく、２～４の整数であることがさらに好ましい。

　これらの中でも、溶解速度の観点からエチレン性不飽和化合物（ｃ１－１）として、以下の構造をもつものを用いるのが好ましい。

　本発明の感光性樹脂組成物中の（ｃ）エチレン性不飽和化合物は、アルキレンオキサイド基を有し、かつエチレン性不飽和基を３個以上有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１）の他に、その他のエチレン性不飽和化合物を含むことができる。

　ここで使用されるその他のエチレン性不飽和化合物は、エチレン性不飽和結合を分子内に１個以上有する化合物を意味するが、重合性、架橋性、およびそれに伴う露光部と非露光部の現像液溶解性の差異を拡大できる等の点から、エチレン性不飽和結合を分子内に２個以上有する化合物であることが好ましく、また、その不飽和結合は（メタ）アクリロイルオキシ基に由来するもの、つまり、（メタ）アクリレート化合物であることがさらに好ましい。

　本発明においては、その他のエチレン性不飽和化合物としては、特に、１分子中にエチレン性不飽和結合を２個以上有する多官能エチレン性単量体を使用することが望ましい。
　多官能エチレン性単量体が有するエチレン性不飽和基の数は特に限定されないが、好ましくは２個以上、より好ましくは３個以上であり、また、好ましくは１５個以下、より好ましくは１０個以下、さらに好ましくは８個以下、特に好ましくは６個以下である。
　エチレン性不飽和基の数を前記下限値以上とすることで表面平滑性が向上する傾向がある。エチレン性不飽和基の数を前記上限値以下とすることで現像性がより良好となる傾向がある。
　例えば、多官能エチレン性単量体が有するエチレン性不飽和基の数は２～１５個が好ましく、２～１０個がより好ましく、２～８個がさらに好ましく、３～８個がよりさらに好ましく、３～６個が特に好ましい。

　その他のエチレン性不飽和化合物の具体例としては、例えば、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル；芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル；脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルが挙げられる。

　前記脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、例えば、エチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、グリセロールアクリレート等の脂肪族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル、これら例示化合物のアクリレートをメタクリレートに代えたメタクリル酸エステル、同様にイタコネートに代えたイタコン酸エステル、クロトネートに代えたクロトン酸エステルもしくはマレエートに代えたマレイン酸エステルが挙げられる。

　芳香族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステルとしては、例えば、ハイドロキノンジアクリレート、ハイドロキノンジメタクリレート、レゾルシンジアクリレート、レゾルシンジメタクリレート、ピロガロールトリアクリレート等の芳香族ポリヒドロキシ化合物のアクリル酸エステル及びメタクリル酸エステルが挙げられる。

　脂肪族ポリヒドロキシ化合物、芳香族ポリヒドロキシ化合物等の多価ヒドロキシ化合物と、不飽和カルボン酸及び多塩基性カルボン酸とのエステル化反応により得られるエステルとしては必ずしも単一物ではないが、代表的な具体例としては、例えば、アクリル酸、フタル酸、及びエチレングリコールの縮合物；アクリル酸、マレイン酸、及びジエチレングリコールの縮合物；メタクリル酸、テレフタル酸及びペンタエリスリトールの縮合物；アクリル酸、アジピン酸、ブタンジオール及びグリセリンの縮合物；が挙げられる。

　その他、本発明に用いられるその他の多官能エチレン性単量体の例としては、例えば、ポリイソシアネート化合物と水酸基含有（メタ）アクリル酸エステル又はポリイソシアネート化合物とポリオール及び水酸基含有（メタ）アクリル酸エステルを反応させて得られるようなウレタン（メタ）アクリレート類；多価エポキシ化合物とヒドロキシ（メタ）アクリレート又は（メタ）アクリル酸との付加反応物のようなエポキシアクリレート類；エチレンビスアクリルアミド等のアクリルアミド類；フタル酸ジアリル等のアリルエステル類；ジビニルフタレート等のビニル基含有化合物が挙げられる。

　ウレタン（メタ）アクリレート類としては、例えば、ＤＰＨＡ－４０Ｈ、ＵＸ－５０００、ＵＸ－５００２Ｄ－Ｐ２０、ＵＸ－５００３Ｄ、ＵＸ－５００５（日本化薬社製）、Ｕ－２ＰＰＡ、Ｕ－６ＬＰＡ、Ｕ－１０ＰＡ、Ｕ－３３Ｈ、ＵＡ－５３Ｈ、ＵＡ－３２Ｐ、ＵＡ－１１００Ｈ（新中村化学工業社製）、ＵＡ－３０６Ｈ、ＵＡ－５１０Ｈ、ＵＦ－８００１Ｇ（協栄社化学社製）、ＵＶ－１７００Ｂ、ＵＶ－７６００Ｂ、ＵＶ－７６０５Ｂ、ＵＶ－７６３０Ｂ、ＵＶ７６４０Ｂ（日本合成化学工業社製）が挙げられる。

　これらの中でも、解像性の観点からその他のエチレン性不飽和化合物として、脂肪族ポリヒドロキシ化合物と不飽和カルボン酸とのエステル類又はウレタン（メタ）アクリレート類を用いることが好ましく、トリメチロールプロパントリアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレート、２，２，２－トリス（メタ）アクリロイロキシメチルエチルフタル酸、ペンタエリスリトールテトラ（メタ）アクリレート、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ（メタ）アクリレートの二塩基酸無水物付加物、ペンタエリスリトールトリ（メタ）アクリレートの二塩基酸無水物付加物を用いることがより好ましい。
　これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

　本発明において、（ｃ）エチレン性不飽和化合物の分子量は特に限定されないが、解像性の観点から、好ましくは１００以上、より好ましくは３００以上で、特に好ましくは４００以上であり、好ましくは２０００以下、より好ましくは１５００以下である。
　例えば、（ｃ）エチレン性不飽和化合物の分子量は１００～２０００が好ましく、３００～２０００がより好ましく、４００～１５００が特に好ましい。

　（ｃ）エチレン性不飽和化合物の炭素数は特に限定されないが、解像性の観点から、好ましくは７以上、より好ましくは１０以上、さらに好ましくは１５以上、好ましくは５０以下、より好ましくは４０以下、さらに好ましくは３０以下、特に好ましくは２０以下である。
　例えば、（ｃ）エチレン性不飽和化合物の炭素数は７～５０が好ましく、１０～４０がより好ましく、１５～３０がさらに好ましく、１５～２０がよりさらに好ましい。

　本発明の感光性樹脂組成物中の（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有割合は、特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常１質量％以上、好ましくは５質量％以上、通常２０質量％以下、さらに好ましくは１０質量％以下である。
　この含有割合を前記下限値以上とすることで溶解速度が良好となる傾向がある。この含有割合を前記上限値以下とすることでテーパ角が良好となる傾向がある。
　例えば、感光性樹脂組成物の全固形分に対する（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有割合は１～２０質量％が好ましく、５～１０質量％がより好ましい。

　また、（ｃ）エチレン性不飽和化合物中のエチレン性不飽和化合物（ｃ１）の含有割合は、特に限定されないが、（ｃ）エチレン性不飽和化合物の全固形分に対して、好ましくは３０質量％以上、より好ましくは５０質量％以上、さらに好ましくは８０質量％以上、特に好ましくは１００質量％である。この含有割合を前記下限値以上とすることで溶解速度が速くなる傾向がある。

［（ａ）アルカリ可溶性樹脂と（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有量比］
　本発明の一態様において、感光性樹脂組成物中の前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）は５以上であり、好ましくは６以上、より好ましくは８以上である。この質量比は、１５以下であることが好ましく、より好ましくは１２以下である。
　（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物を前記下限値以上とすることでテーパ角が小さくなる傾向がある。（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物を前記上限値以下とすることで溶解速度が速くなる傾向がある
　例えば、前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性飽和化合物）は５～１５であることが好ましく、６～１２であることがより好ましく、８～１２であることがさらに好ましい。

　また、本発明の別の態様において、感光性樹脂組成物中の前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有量（質量）をそれぞれのエチレン性不飽和結合のモル数で除した数値の加重平均値である、前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物の合計二重結合当量は３５０ｇ／ｍｏｌ以上であり、好ましくは３８０ｇ／ｍｏｌ以上、より好ましくは４１０ｇ／ｍｏｌ以上である。一方、この合計二重結合当量は６００ｇ／ｍｏｌ以下であり、好ましくは５５０ｇ／ｍｏｌ以下、より好ましくは５００ｇ／ｍｏｌ以下である。
　この合計二重結合当量が上記下限値以上であれば、テーパ角が低くなる傾向があるである。この合計二重結合当量が上記上限値以下であれば、十分な架橋密度を得られつつレジストの溶解性を確保できるの傾向がある。
　例えば、この合計二重結合当量は好ましくは３５０～６００ｇ／ｍｏｌであり、より好ましくは３８０～５５０ｇ／ｍｏｌ、さらに好ましくは４１０～５００ｇ／ｍｏｌである。
　本発明の感光性樹脂組成物は、上記（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物質量比と合計二重結合当量を共に満たすことが好ましい。

［１－１－４］（ｄ）着色剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、（ｄ）着色剤を含有してもよい。（ｄ）着色剤を含有することで、適度な光吸収性、特に着色隔壁などの遮光部材を形成する用途に用いる場合には適度な遮光性を得ることができる。

　（ｄ）着色剤の含有割合は、特に限定されないが、遮光性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、５質量％以上が好ましく、１０質量％以上がより好ましく、１５質量％以上が特に好ましい。一方、表面平滑性及び現像性の観点から、６０質量％以下が好ましく、５０質量％以下がより好ましく、４０質量％以下が特に好ましい。

　本発明で用いる（ｄ）着色剤は特に限定されないが、比誘電率や解像性の観点からは、有機顔料を含有することが好ましい。

　有機顔料の種類としては、特に限定されないが、遮光性の観点からは、有機黒色顔料や有機着色顔料が好ましく、有黒色顔料がさらに好ましい。ここで、有機着色顔料とは、黒色以外の色を呈する有機顔料のことを意味し、例えば、赤色顔料、橙色顔料、青色顔料、紫色顔料、緑色顔料、黄色顔料が挙げられる。有機着色顔料は、１種を単独で使用してもよいが、２種以上を併用してもよい。

　特に、遮光性の用途に用いる場合には、色の異なる有機着色顔料を組み合わせて用いることがより好ましく、黒に近い色を呈する有機着色顔料の組み合わせを用いることがさらに好ましい。

　これらの有機顔料の化学構造は特に限定されないが、例えば、アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、インダンスレン系、ペリレン系が挙げられる。以下、使用できる顔料の具体例をピグメントナンバーで示す。以下に挙げる「Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド２」等の用語は、カラーインデックス（Ｃ．Ｉ．）を意味する。

　赤色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１、２、３、４、５、６、７、８、９、１２、１４、１５、１６、１７、２１、２２、２３、３１、３２、３７、３８、４１、４７、４８、４８：１、４８：２、４８：３、４８：４、４９、４９：１、４９：２、５０：１、５２：１、５２：２、５３、５３：１、５３：２、５３：３、５７、５７：１、５７：２、５８：４、６０、６３、６３：１、６３：２、６４、６４：１、６８、６９、８１、８１：１、８１：２、８１：３、８１：４、８３、８８、９０：１、１０１、１０１：１、１０４、１０８、１０８：１、１０９、１１２、１１３、１１４、１２２、１２３、１４４、１４６、１４７、１４９、１５１、１６６、１６８、１６９、１７０、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１７７、１７８、１７９、１８１、１８４、１８５、１８７、１８８、１９０、１９３、１９４、２００、２０２、２０６、２０７、２０８、２０９、２１０、２１４、２１６、２２０、２２１、２２４、２３０、２３１、２３２、２３３、２３５、２３６、２３７、２３８、２３９、２４２、２４３、２４５、２４７、２４９、２５０、２５１、２５３、２５４、２５５、２５６、２５７、２５８、２５９、２６０、２６２、２６３、２６４、２６５、２６６、２６７、２６８、２６９、２７０、２７１、２７２、２７３、２７４、２７５、２７６を挙げることができる。
　この中でも、遮光性、分散性の観点から好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントレッド４８：１、１２２、１４９、１６８、１７７、１７９、１９４、２０２、２０６、２０７、２０９、２２４、２４２、２５４、さらに好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２０９、２２４、２５４を挙げることができる。
　分散性や遮光性の点で、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２５４、２７２を用いることが好ましい。
　感光性樹脂組成物を紫外線で硬化させる場合には、赤色顔料としては紫外線吸収率の低いものを使用することが好ましく、係る観点からはＣ．Ｉ．ピグメントレッド２５４、２７２を用いることがより好ましい。

　橙色（オレンジ）顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１、２、５、１３、１６、１７、１９、２０、２１、２２、２３、２４、３４、３６、３８、３９、４３、４６、４８、４９、６１、６２、６４、６５、６７、６８、６９、７０、７１、７２、７３、７４、７５、７７、７８、７９を挙げることができる。
　この中でも分散性や遮光性の観点から、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ１３、４３、６４、７２を用いることが好ましい。
　感光性樹脂組成物を紫外線で硬化させる場合には、オレンジ顔料としては紫外線吸収率の低いものを使用することが好ましく、係る観点からはＣ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４、７２を用いることがより好ましく、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ６４を用いることがより好ましい。

　青色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１、１：２、９、１４、１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、１６、１７、１９、２５、２７、２８、２９、３３、３５、３６、５６、５６：１、６０、６１、６１：１、６２、６３、６６、６７、６８、７１、７２、７３、７４、７５、７６、７８、７９を挙げることができる。
　この中でも、遮光性の観点から、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５、１５：１、１５：２、１５：３、１５：４、１５：６、６０、さらに好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６を挙げることができる。
　分散性や遮光性の点で、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、１６、６０を用いることが好ましい。
　感光性樹脂組成物を紫外線で硬化させる場合には、青色顔料としては紫外線吸収率の低いものを使用することが好ましく、係る観点からはＣ．Ｉ．ピグメントブルー６０を用いることがより好ましい。

　紫色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット１、１：１、２、２：２、３、３：１、３：３、５、５：１、１４、１５、１６、１９、２３、２５、２７、２９、３１、３２、３７、３９、４２、４４、４７、４９、５０を挙げることができる。この中でも、遮光性の観点から、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット１９、２３、さらに好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３を挙げることができる。
　分散性や遮光性の点で、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、２９を用いることが好ましい。
　感光性樹脂組成物を紫外線で硬化させる場合には、紫色顔料としては紫外線吸収率の低いものを使用することが好ましく、係る観点からはＣ．Ｉ．ピグメントバイオレット２９を用いることがより好ましい。

　赤色顔料、橙色顔料、青色顔料、紫色顔料の他に用いることができる有機着色顔料としては例えば、緑色顔料、黄色顔料を挙げることができる。

　緑色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン１、２、４、７、８、１０、１３、１４、１５、１７、１８、１９、２６、３６、４５、４８、５０、５１、５４、５５を挙げることができる。この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントグリーン７、３６を挙げることができる。

　黄色顔料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー１、１：１、２、３、４、５、６、９、１０、１２、１３、１４、１６、１７、２４、３１、３２、３４、３５、３５：１、３６、３６：１、３７、３７：１、４０、４１、４２、４３、４８、５３、５５、６１、６２、６２：１、６３、６５、７３、７４、７５、８１、８３、８７、９３、９４、９５、９７、１００、１０１、１０４、１０５、１０８、１０９、１１０、１１１、１１６、１１７、１１９、１２０、１２６、１２７、１２７：１、１２８、１２９、１３３、１３４、１３６、１３８、１３９、１４２、１４７、１４８、１５０、１５１、１５３、１５４、１５５、１５７、１５８、１５９、１６０、１６１、１６２、１６３、１６４、１６５、１６６、１６７、１６８、１６９、１７０、１７２、１７３、１７４、１７５、１７６、１８０、１８１、１８２、１８３、１８４、１８５、１８８、１８９、１９０、１９１、１９１：１、１９２、１９３、１９４、１９５、１９６、１９７、１９８、１９９、２００、２０２、２０３、２０４、２０５、２０６、２０７、２０８を挙げることができる。
　この中でも、好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、１１７、１２９、１３８、１３９、１５０、１５４、１５５、１８０、１８５、さらに好ましくはＣ．Ｉ．ピグメントイエロー８３、１３８、１３９、１５０、１８０を挙げることができる。

　これらの中でも、遮光性や、形状のコントロールの観点から、以下の赤色顔料及び橙色顔料からなる群から選ばれる少なくとも１種と、青色顔料及び紫色顔料からなる群から選ばれる少なくとも１種を含有することが好ましい。
　赤色顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド１７７、２５４、２７２
　橙色顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ４３、６４、７２
　青色顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー１５：６、６０
　紫色顔料：Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット２３、２９

　有機黒色顔料としては、特に限定されないが、遮光性の観点からは、下記一般式（ｄ１）で表される化合物（以下、「化合物（ｄ１）」ともいう。）、化合物（ｄ１）の幾何異性体、化合物（ｄ１）の塩、及び化合物（ｄ１）の幾何異性体の塩からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む有機黒色顔料（以下、「一般式（ｄ１）で表される有機黒色顔料」と称する場合がある。）を用いることが好ましい。

　化合物（ｄ１）及び化合物（ｄ１）の幾何異性体は、以下のコア構造を有し（ただし、構造式中の置換基は省略している）、トランス－トランス異性体がおそらく最も安定である。

　化合物（ｄ１）がアニオン性である場合、その電荷を任意の公知の適したカチオン、例えば金属、有機、無機又は金属有機カチオン、具体的にはアルカリ金属、アルカリ土類金属、遷移金属、一級アンモニウム、二級アンモニウム、トリアルキルアンモニウムなどの三級アンモニウム、テトラアルキルアンモニウムなどの四級アンモニウム又は有機金属錯体によって補償した塩であることが好ましい。また、化合物（ｄ１）の幾何異性体がアニオン性である場合、同様の塩であることが好ましい。

　式（ｄ１）の置換基及びそれらの定義においては、遮蔽率が高くなる傾向があることから、以下のものが好ましい。これは、以下の置換基は吸収がなく、顔料の色相に影響しないと考えられるからである。
　Ｒ¹²、Ｒ¹⁴、Ｒ¹⁵、Ｒ¹⁷、Ｒ¹⁹及びＲ²⁰は各々独立に、好ましくは水素原子、フッ素原子、又は塩素原子であり、さらに好ましくは水素原子である。
　Ｒ¹³及びＲ¹⁸は各々独立に、好ましくは水素原子、ＮＯ₂、ＯＣＨ₃、ＯＣ₂Ｈ₅、臭素原子、塩素原子、ＣＨ₃、Ｃ₂Ｈ₅、Ｎ（ＣＨ₃）₂、Ｎ（ＣＨ₃）（Ｃ₂Ｈ₅）、Ｎ（Ｃ₂Ｈ₅）₂、ＳＯ₃Ｈ又はＳＯ₃ ^-であり、さらに好ましくは水素原子又はＳＯ₃Ｈであり、特に好ましくは水素原子である。

　Ｒ¹¹及びＲ¹⁶は各々独立に、好ましくは水素原子、ＣＨ₃又はＣＦ₃であり、さらに好ましくは水素原子である。
　好ましくはＲ¹¹とＲ¹⁶、Ｒ¹²とＲ¹⁷、Ｒ¹³とＲ¹⁸、Ｒ¹⁴とＲ¹⁹、及びＲ¹⁵とＲ²⁰からなる群から選ばれる少なくとも１つの組み合わせが同一であり、より好ましくはＲ¹¹はＲ¹⁶と同一であり、Ｒ¹²はＲ¹⁷と同一であり、Ｒ¹³はＲ¹⁸と同一であり、Ｒ¹⁴はＲ¹⁹と同一であり、かつ、Ｒ¹⁵はＲ²⁰と同一である。

　Ｒ²¹及びＲ²²の炭素数１～１２のアルキル基は、例えばメチル基、エチル基、ｎ－プロピル基、イソプロピル基、ｎ－ブチル基、ｓｅｃ－ブチル基、イソブチル基、ｔｅｒｔ－ブチル基、２－メチルブチル基、ｎ－ペンチル基、２－ペンチル基、３－ペンチル基、２，２－ジメチルプロピル基、ｎ－ヘキシル基、ｎ－ヘプチル基、ｎ－オクチル基、１，１，３，３－テトラメチルブチル基、２－エチルヘキシル基、ノニル基、デシル基、ウンデシル基、ドデシル基である。

　Ｒ²¹及びＲ²²の炭素数３～１２のシクロアルキル基は、例えば、シクロプロピル基、シクロプロピルメチル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、メチルシクロヘキシル基、トリメチルシクロヘキシル基、ツジル基、ノルボルニル基、ボルニル基、ノルカリル基、カリル基、メンチル基、ノルピニル基、ピニル基、アダマンタン－１－イル基、アダマンタン－２－イル基である。

　Ｒ²¹及びＲ²²の炭素数２～１２のアルケニル基は、例えば、ビニル基、アリル基、２－プロペン－２－イル基、２－ブテン－１－イル基、３－ブテン－１－イル基、１，３－ブタジエン－２－イル基、２－ペンテン－１－イル基、３－ペンテン－２－イル基、２－メチル－１－ブテン－３－イル基、２－メチル－３－ブテン－２－イル基、３－メチル－２－ブテン－１－イル基、１，４－ペンタジエン－３－イル基、ヘキセニル基、オクテニル基、ノネニル基、デセニル基、ドデセニル基である。

　Ｒ²¹及びＲ²²の炭素数３～１２のシクロアルケニル基は、例えば、２－シクロブテン－１－イル基、２－シクロペンテン－１－イル基、２－シクロヘキセン－１－イル基、３－シクロヘキセン－１－イル基、２，４－シクロヘキサジエン－１－イル基、１－ｐ－メンテン－８－イル基、４（１０）－ツジェン－１０－イル基、２－ノルボルネン－１－イル基、２，５－ノルボルナジエン－１－イル基、７，７－ジメチル－２，４－ノルカラジエン－３－イル基、カンフェニル基である。

　Ｒ²¹及びＲ²²の炭素数２～１２のアルキニル基は、例えば、１－プロピン－３－イル基、１－ブチン－４－イル基、１－ペンチン－５－イル基、２－メチル－３－ブチン－２－イル基、１，４－ペンタジイン－３－イル基、１，３－ペンタジイン－５－イル基、１－ヘキシン－６－イル基、シス－３－メチル－２－ペンテン－４－イン－１－イル基、トランス－３－メチル－２－ペンテン－４－イン－１－イル基、１，３－ヘキサジイン－５－イル基、１－オクチン－８－イル基、１－ノニン－９－イル基、１－デシン－１０－イル基、１－ドデシン－１２－イル基である。

　ハロゲン原子は、例えば、フッ素原子、塩素原子、臭素原子、ヨウ素原子である。

　式（ｄ１）で表される有機黒色顔料は、好ましくは下記構造式（２）で表される化合物（以下、「化合物（２）」ともいう。）、及び化合物（２）の幾何異性体からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む有機黒色顔料である。

　化合物（２）の有機黒色顔料の具体例としては、商品名で、Ｉｒｇａｐｈｏｒ（登録商標）　Ｂｌａｃｋ　Ｓ　０１００　ＣＦ（ＢＡＳＦ社製）が挙げられる。

　有機黒色顔料は、好ましくは後述される分散剤、溶剤、方法によって分散して使用される。また、分散の際に化合物（ｄ１）のスルホン酸誘導体、特に化合物（２）のスルホン酸誘導体が存在すると、分散性や保存性が向上する場合があるため、有機黒色顔料がこれらのスルホン酸誘導体を含むことが好ましい。

　化合物（ｄ１）以外の有機黒色顔料としては、例えば、アニリンブラックやペリレンブラックが挙げられる。

　さらに、これらの有機顔料以外に、無機顔料を含有してもよい。無機顔料としては、遮光性の観点から、無機黒色顔料を含有することが好ましい。

　無機黒色顔料としては、例えば、カーボンブラック、アセチレンブラック、ランプブラック、ボーンブラック、黒鉛、鉄黒、シアニンブラック、チタンブラックが挙げられる。
　これらの中でも、遮光性、画像特性の観点からカーボンブラックを好ましく用いることができる。カーボンブラックの例としては、以下のようなカーボンブラックが挙げられる。

　三菱ケミカル社製：ＭＡ７、ＭＡ８、ＭＡ１１、ＭＡ７７、ＭＡ１００、ＭＡ１００Ｒ、ＭＡ１００Ｓ、ＭＡ２２０、ＭＡ２３０、ＭＡ６００、ＭＣＦ８８、＃５、＃１０、＃２０、＃２５、＃３０、＃３２、＃３３、＃４０、＃４４、＃４５、＃４７、＃５０、＃５２、＃５５、＃６５０、＃７５０、＃８５０、＃９００、＃９５０、＃９６０、＃９７０、＃９８０、＃９９０、＃１０００、＃２２００、＃２３００、＃２３５０、＃２４００、＃２６００、＃２６５０、＃３０３０、＃３０５０、＃３１５０、＃３２５０、＃３４００、＃３６００、＃３７５０、＃３９５０、＃４０００、＃４０１０、ＯＩＬ７Ｂ、ＯＩＬ９Ｂ、ＯＩＬ１１Ｂ、ＯＩＬ３０Ｂ、ＯＩＬ３１Ｂ
　デグサ社製：Ｐｒｉｎｔｅｘ（登録商標、以下同じ。）３、Ｐｒｉｎｔｅｘ３ＯＰ、Ｐｒｉｎｔｅｘ３０、Ｐｒｉｎｔｅｘ３０ＯＰ、Ｐｒｉｎｔｅｘ４０、Ｐｒｉｎｔｅｘ４５、Ｐｒｉｎｔｅｘ５５、Ｐｒｉｎｔｅｘ６０、Ｐｒｉｎｔｅｘ７５、Ｐｒｉｎｔｅｘ８０、Ｐｒｉｎｔｅｘ８５、Ｐｒｉｎｔｅｘ９０、Ｐｒｉｎｔｅｘ　Ａ、Ｐｒｉｎｔｅｘ　Ｌ、Ｐｒｉｎｔｅｘ　Ｇ、Ｐｒｉｎｔｅｘ　Ｐ、Ｐｒｉｎｔｅｘ　Ｕ、Ｐｒｉｎｔｅｘ　Ｖ、ＰｒｉｎｔｅｘＧ、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ５５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ３５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ２５０、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ１００、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ６、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ５、ＳｐｅｃｉａｌＢｌａｃｋ４、Ｃｏｌｏｒ　Ｂｌａｃｋ　ＦＷ１、Ｃｏｌｏｒ　Ｂｌａｃｋ　ＦＷ２、Ｃｏｌｏｒ　Ｂｌａｃｋ　ＦＷ２Ｖ、Ｃｏｌｏｒ　Ｂｌａｃｋ　ＦＷ１８、Ｃｏｌｏｒ　Ｂｌａｃｋ　ＦＷ２００、Ｃｏｌｏｒ　Ｂｌａｃｋ　Ｓ１６０、Ｃｏｌｏｒ　Ｂｌａｃｋ　Ｓ１７０
　キャボット社製：Ｍｏｎａｒｃｈ（登録商標、以下同じ。）１２０、Ｍｏｎａｒｃｈ２８０、Ｍｏｎａｒｃｈ４６０、Ｍｏｎａｒｃｈ８００、Ｍｏｎａｒｃｈ８８０、Ｍｏｎａｒｃｈ９００、Ｍｏｎａｒｃｈ１０００、Ｍｏｎａｒｃｈ１１００、Ｍｏｎａｒｃｈ１３００、Ｍｏｎａｒｃｈ１４００、Ｍｏｎａｒｃｈ４６３０、ＲＥＧＡＬ（登録商標、以下同じ。）９９、ＲＥＧＡＬ９９Ｒ、ＲＥＧＡＬ４１５、ＲＥＧＡＬ４１５Ｒ、ＲＥＧＡＬ２５０、ＲＥＧＡＬ２５０Ｒ、ＲＥＧＡＬ３３０、ＲＥＧＡＬ４００Ｒ、ＲＥＧＡＬ５５０Ｒ、ＲＥＧＡＬ６６０Ｒ、ＢＬＡＣＫ　ＰＥＡＲＬＳ４８０、ＰＥＡＲＬＳ１３０、ＶＵＬＣＡＮ（登録商標、以下同じ。）　ＸＣ７２Ｒ、ＥＬＦＴＥＸ（登録商標）－８
　ビルラー社製：ＲＡＶＥＮ（登録商標、以下同じ。）１１、ＲＡＶＥＮ１４、ＲＡＶＥＮ１５、ＲＡＶＥＮ１６、ＲＡＶＥＮ２２ＲＡＶＥＮ３０、ＲＡＶＥＮ３５、ＲＡＶＥＮ４０、ＲＡＶＥＮ４１０、ＲＡＶＥＮ４２０、ＲＡＶＥＮ４５０、ＲＡＶＥＮ５００、ＲＡＶＥＮ７８０、ＲＡＶＥＮ８５０、ＲＡＶＥＮ８９０Ｈ、ＲＡＶＥＮ１０００、ＲＡＶＥＮ１０２０、ＲＡＶＥＮ１０４０、ＲＡＶＥＮ１０６０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１０８０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１１７０、ＲＡＶＥＮ１１９０Ｕ、ＲＡＶＥＮ１２５０、ＲＡＶＥＮ１５００、ＲＡＶＥＮ２０００、ＲＡＶＥＮ２５００Ｕ、ＲＡＶＥＮ３５００、ＲＡＶＥＮ５０００、ＲＡＶＥＮ５２５０、ＲＡＶＥＮ５７５０、ＲＡＶＥＮ７０００

　カーボンブラックは、樹脂で被覆されたものを使用してもよい。樹脂で被覆されたカーボンブラックを使用すると、ガラス基板への密着性や体積抵抗値が向上する効果がある。
　樹脂で被覆されたカーボンブラックとしては、例えば日本国特開平０９－７１７３３号公報に記載されているカーボンブラック等が好適に使用できる。体積抵抗や誘電率の点で、樹脂被覆カーボンブラックが好適に用いられる。

　樹脂による被覆処理に供するカーボンブラックとしては、ＮａとＣａの合計含有量が１００ｐｐｍ以下であることが好ましい。カーボンブラックは、通常、製造時の原料油や燃焼油（又はガス）、反応停止水や造粒水、さらには反応炉の炉材等から混入したＮａやＣａ、Ｋ、Ｍｇ、Ａｌ、Ｆｅ等を組成とする灰分が含有されている。この内、ＮａやＣａは、各々数百ｐｐｍ以上含有されていることが一般的であるが、これらを少なくすることで、透明電極（ＩＴＯ）やその他の電極への浸透を抑制して、電気的短絡を防止できる傾向がある。

　これらのＮａやＣａを含む灰分の含有量を低減する方法としては、カーボンブラックを製造する際の原料油や燃料油（又はガス）並びに反応停止水として、これらの含有量が極力少ない物を厳選すること及びストラクチャーを調整するアルカリ物質の添加量を極力少なくすることにより可能である。他の方法としては、炉から製出したカーボンブラックを水や塩酸等で洗いＮａやＣａを溶解し除去する方法が挙げられる。

　具体的にはカーボンブラックを水、塩酸、又は過酸化水素水に混合分散させた後、水に難溶の溶媒を添加していくとカーボンブラックは溶媒側に移行し、水と完全に分離すると共にカーボンブラック中に存在した殆どのＮａやＣａは、水や酸に溶解、除去される。ＮａとＣａの合計量を１００ｐｐｍ以下に低減するためには、原材料を厳選したカーボンブラック製造過程単独、又は水や酸溶解方式単独でも可能な場合もあるが、この両方式を併用することによりさらに容易にＮａとＣａの合計量を１００ｐｐｍ以下とすることができる。

　また樹脂被覆カーボンブラックは、ｐＨ６以下のいわゆる酸性カーボンブラックであることが好ましい。水中での分散径（アグロメレート径）が小さくなるので、微細ユニットまでの被覆が可能となり好適である。さらに平均粒子径４０ｎｍ以下、ジブチルフタレート（ＤＢＰ）吸収量１４０ｍＬ／１００ｇ以下であることが好ましい。前記範囲内とすることで、遮光性の良好な塗膜が得られる傾向がある。平均粒子径は数平均粒子径を意味し、電子顕微鏡観察により数万倍で撮影された写真を数視野撮影し、これらの写真の粒子を画像処理装置により２０００～３０００個程度計測する粒子画像解析により求められる円相当径を意味する。

　樹脂で被覆されたカーボンブラックを調製する方法には特に限定がないが、例えばカーボンブラック及び樹脂の配合量を適宜調整した後、以下の１～４の方法などを採用することができる。
１．樹脂とシクロヘキサノン、トルエン、キシレンなどの溶剤とを混合して加熱溶解させた樹脂溶液と、カーボンブラック及び水を混合した懸濁液とを混合撹拌し、カーボンブラックと水とを分離させた後、水を除去して加熱混練して得られた組成物をシート状に成形し、粉砕した後、乾燥させる方法
２．前記と同様にして調製した樹脂溶液と懸濁液とを混合撹拌してカーボンブラック及び樹脂を粒状化した後、得られた粒状物を分離、加熱して残存する溶剤及び水を除去する方法
３．前記例示した溶剤にマレイン酸、フマル酸などのカルボン酸を溶解させ、カーボンブラックを添加、混合して乾燥させ、溶剤を除去してカルボン酸添着カーボンブラックを得た後、これに樹脂を添加してドライブレンドする方法
４．被覆させる樹脂を構成する反応性基含有モノマー成分と水とを高速撹拌して懸濁液を調製し、重合後冷却して重合体懸濁液から反応性基含有樹脂を得た後、これにカーボンブラックを添加して混練し、カーボンブラックと反応性基とを反応させ（カーボンブラックをグラフトさせ）、冷却及び粉砕する方法

　被覆処理する樹脂の種類も特に限定されるものではないが、合成樹脂が一般的であり、さらに構造の中にベンゼン環を有する樹脂の方が両性系界面活性剤的な働きがより強いため、分散性及び分散安定性の点から好ましい。
　具体的な合成樹脂としては、フェノール樹脂、メラミン樹脂、キシレン樹脂、ジアリルフタレート樹脂、グリプタル樹脂、エポキシ樹脂、アルキルベンゼン樹脂等の熱硬化性樹脂や、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、変性ポリフェニレンオキサイド、ポリスルホン、ポリパラフェニレンテレフタルアミド、ポリアミドイミド、ポリイミド、ポリアミノビスマレイミド、ポリエーテルスルフォポリフェニレンスルホン、ポリアリレート、ポリエーテルエーテルケトン、等の熱可塑性樹脂が使用できる。
　被覆樹脂の量は、カーボンブラックと樹脂の合計量に対し１～３０質量％が好ましい。
　被覆樹脂量を前記下限値以上とすることで被覆を十分なものとすることができる傾向がある。被覆樹脂量を前記上限値以下とすることで、樹脂同士の粘着を防ぎ、分散性が良好なものとすることができる傾向がある。

　このようにして樹脂で被覆処理してなるカーボンブラックは、常法に従い着色隔壁の着色剤として用いることができる。このようなカーボンブラックを用いると、高遮光率でかつ表面反射率が低い着色隔壁が低コストで形成できる傾向がある。また、カーボンブラック表面を樹脂で被覆したことにより、ＮａやＣａを含む灰分をカーボンブラック中に封じ込める働きがあることも推測される。

　顔料の平均一次粒子径は、通常０．２μｍ以下、好ましくは０．１μｍ以下、さらに好ましくは０．０５μｍ以下である。顔料の平均一次粒子径は透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）、または走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）を使用して、その電子顕微鏡写真から一次粒子の大きさを直接計測する方法などで測定される。

　また、（ｄ）着色剤として、上述の有機着色顔料、黒色顔料の他に、染料を使用してもよい。着色剤として使用できる染料としては、例えば、アゾ系染料、アントラキノン系染料、フタロシアニン系染料、キノンイミン系染料、キノリン系染料、ニトロ系染料、カルボニル系染料、メチン系染料が挙げられる。

　アゾ系染料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１１、Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ７、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド３７、Ｃ．Ｉ．アシッドレッド１８０、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー２９、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド２８、Ｃ．Ｉ．ダイレクトレッド８３、Ｃ．Ｉ．ダイレクトイエロー１２、Ｃ．Ｉ．ダイレクトオレンジ２６、Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン２８、Ｃ．Ｉ．ダイレクトグリーン５９、Ｃ．Ｉ．リアクティブイエロー２、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド１７、Ｃ．Ｉ．リアクティブレッド１２０、Ｃ．Ｉ．リアクティブブラック５、Ｃ．Ｉ．ディスパースオレンジ５、Ｃ．Ｉ．ディスパースレッド５８、Ｃ．Ｉ．ディスパースブルー１６５、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー４１、Ｃ．Ｉ．ベーシックレッド１８、Ｃ．Ｉ．モルダントレッド７、Ｃ．Ｉ．モルダントイエロー５、Ｃ．Ｉ．モルダントブラック７が挙げられる。

　アントラキノン系染料としては、例えば、Ｃ．Ｉ．バットブルー４、Ｃ．Ｉ．アシッドブルー４０、Ｃ．Ｉ．アシッドグリーン２５、Ｃ．Ｉ．リアクティブブルー１９、Ｃ．Ｉ．リアクティブブルー４９、Ｃ．Ｉ．ディスパースレッド６０、Ｃ．Ｉ．ディスパースブルー５６、Ｃ．Ｉ．ディスパースブルー６０が挙げられる。

　フタロシアニン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．バットブルー５が挙げられる。
　キノンイミン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー３、Ｃ．Ｉ．ベーシックブルー９が挙げられる。
　キノリン系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．ソルベントイエロー３３、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー３、Ｃ．Ｉ．ディスパースイエロー６４が挙げられる。
　ニトロ系染料として、例えば、Ｃ．Ｉ．アシッドイエロー１、Ｃ．Ｉ．アシッドオレンジ３、Ｃ．Ｉ．ディスパースイエロー４２が挙げられる。

［１－１－５］分散剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、（ｄ）着色剤を微細に分散させ、かつその分散状態を安定化させるため、分散剤を含むことが好ましい。
　本発明における分散剤としては、官能基を有する高分子分散剤が好ましく、さらに、分散安定性の面からカルボキシ基；リン酸基；スルホン酸基；又はこれらの塩基；一級、二級又は三級アミノ基；四級アンモニウム塩基；ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の官能基を有する高分子分散剤が好ましい。中でも特に、一級、二級又は三級アミノ基；四級アンモニウム塩基；ピリジン、ピリミジン、ピラジン等の含窒素ヘテロ環由来の基、等の塩基性官能基を有する高分子分散剤が顔料を分散する際に少量の分散剤で分散することができるとの観点から特に好ましい。

　高分子分散剤としては、例えばウレタン系分散剤、アクリル系分散剤、ポリエチレンイミン系分散剤、ポリアリルアミン系分散剤、アミノ基を持つモノマーとマクロモノマーからなる分散剤、ポリオキシエチレンアルキルエーテル系分散剤、ポリオキシエチレンジエステル系分散剤、ポリエーテルリン酸系分散剤、ポリエステルリン酸系分散剤、ソルビタン脂肪族エステル系分散剤、脂肪族変性ポリエステル系分散剤を挙げることができる。

　このような分散剤の具体例としては、例えば、商品名で、ＥＦＫＡ（登録商標。ＢＡＳＦ社製。）、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ（登録商標。ビックケミー社製。）、ディスパロン（登録商標。楠本化成社製。）、ＳＯＬＳＰＥＲＳＥ（登録商標。ルーブリゾール社製。）、ＫＰ（信越化学工業社製）、ポリフロー（共栄社化学社製）、アジスパー（登録商標。味の素社製。）を挙げることができる。
　これらの高分子分散剤は１種を単独で使用してもよく、又は２種以上を併用してもよい。

　高分子分散剤の重量平均分子量（Ｍｗ）は通常７００以上、好ましくは１０００以上であり、また通常１０００００以下、好ましくは５００００以下である。例えば、高分子分散剤の重量平均分子量（Ｍｗ）は７００～１０００００が好ましく、１０００～５００００がより好ましい。

　これらのうち、顔料の分散性の観点から、分散剤は官能基を有するウレタン系高分子分散剤及びアクリル系高分子分散剤のいずれか一方又は両方を含むことが好ましく、アクリル系高分子分散剤を含むことが特に好ましい。
　また分散性、保存性の面から、塩基性官能基を有し、ポリエステル結合及びポリエーテル結合のいずれか一方又は両方を有する高分子分散剤が好ましい。

　ウレタン系及びアクリル系高分子分散剤としては、例えばＤＩＳＰＥＲＢＹＫ－１６０～１６７、１８２シリーズ（いずれもウレタン系）、ＤＩＳＰＥＲＢＹＫ－２０００、２００１、ＢＹＫ－ＬＰＮ２１１１６等（いずれもアクリル系）（以上すべてビックケミー社製）が挙げられる。

　ウレタン系高分子分散剤として好ましい化学構造を具体的に例示するならば、例えば、ポリイソシアネート化合物と、同一分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００～１００００の化合物と、同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物とを反応させることによって得られる、重量平均分子量１０００～２０００００の分散樹脂等が挙げられる。これらをベンジルクロリド等の四級化剤で処理することで、３級アミノ基の全部又は一部を４級アンモニウム塩基にすることができる。

　上記のポリイソシアネート化合物の例としては、例えば、パラフェニレンジイソシアネート、２，４－トリレンジイソシアネート、２，６－トリレンジイソシアネート、４，４’－ジフェニルメタンジイソシアネート、ナフタレン－１，５－ジイソシアネート、トリジンジイソシアネート等の芳香族ジイソシアネート；ヘキサメチレンジイソシアネート、リジンメチルエステルジイソシアネート、２，４，４－トリメチルヘキサメチレンジイソシアネート、ダイマー酸ジイソシアネート等の脂肪族ジイソシアネート；イソホロンジイソシアネート、４，４’－メチレンビス（シクロヘキシルイソシアネート）、ω，ω’－ジイソシアネートジメチルシクロヘキサン等の脂環族ジイソシアネート；キシリレンジイソシアネート、α，α，α’，α’－テトラメチルキシリレンジイソシアネート等の芳香環を有する脂肪族ジイソシアネート；リジンエステルトリイソシアネート、１，６，１１－ウンデカントリイソシアネート、１，８－ジイソシアネート－４－イソシアネートメチルオクタン、１，３，６－ヘキサメチレントリイソシアネート、ビシクロヘプタントリイソシアネート、トリス（イソシアネートフェニルメタン）、トリス（イソシアネートフェニル）チオホスフェート等のトリイソシアネート；及びこれらの三量体、水付加物、及びこれらのポリオール付加物が挙げられる。ポリイソシアネートとして好ましいのは有機ジイソシアネートの三量体で、最も好ましいのはトリレンジイソシアネートの三量体とイソホロンジイソシアネートの三量体である。
　これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

　イソシアネートの三量体の製造方法としては、前記ポリイソシアネート化合物を適当な三量化触媒、例えば第３級アミン類、ホスフィン類、アルコキシド類、金属酸化物、カルボン酸塩類等を用いてイソシアネート基の部分的な三量化を行い、触媒毒の添加により三量化を停止させた後、未反応のポリイソシアネート化合物を溶剤抽出、薄膜蒸留により除去して目的のイソシアヌレート基含有ポリイソシアネートを得る方法が挙げられる。

　同一分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００～１００００の化合物としては、ポリエーテルグリコール、ポリエステルグリコール、ポリカーボネートグリコール、ポリオレフィングリコール等、及びこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数１～２５のアルキル基でアルコキシ化されたもの及びこれら２種類以上の混合物が挙げられる。

　ポリエーテルグリコールとしては、ポリエーテルジオール、ポリエーテルエステルジオール、及びこれら２種類以上の混合物が挙げられる。
　ポリエーテルジオールとしては、アルキレンオキシドを単独又は共重合させて得られるもの、例えばポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリエチレン－プロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール、ポリオキシヘキサメチレングリコール、ポリオキシオクタメチレングリコール及びそれらの２種以上の混合物が挙げられる。
　ポリエーテルエステルジオールとしては、エーテル基含有ジオールもしくは他のグリコールとの混合物をジカルボン酸又はそれらの無水物と反応させるか、又はポリエステルグリコールにアルキレンオキシドを反応させることによって得られるもの、例えばポリ（ポリオキシテトラメチレン）アジペート等が挙げられる。
　ポリエーテルグリコールとして最も好ましいのはポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコール、ポリオキシテトラメチレングリコール又はこれらの化合物の片末端水酸基が炭素数１～２５のアルキル基でアルコキシ化された化合物である。

　ポリエステルグリコールとしては、ジカルボン酸（コハク酸、グルタル酸、アジピン酸、セバシン酸、フマル酸、マレイン酸、フタル酸等）又はそれらの無水物と、グリコール（エチレングリコール、ジエチレングリコール、トリエチレングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレングリコール、トリプロピレングリコール、１，２－ブタンジオール、１，３－ブタンジオール、１，４－ブタンジオール、２，３－ブタンジオール、３－メチル－１，５－ペンタンジオール、ネオペンチルグリコール、２－メチル－１，３－プロパンジオール、２－メチル－２－プロピル－１，３－プロパンジオール、２－ブチル－２－エチル－１，３－プロパンジオール、１，５－ペンタンジオール、１，６－ヘキサンジオール、２－メチル－２，４－ペンタンジオール、２，２，４－トリメチル－１，３－ペンタンジオール、２－エチル－１，３－ヘキサンジオール、２，５－ジメチル－２，５－ヘキサンジオール、１，８－オクタメチレングリコール、２－メチル－１，８－オクタメチレングリコール、１，９－ノナンジオール等の脂肪族グリコール；ビスヒドロキシメチルシクロヘキサン等の脂環族グリコール；キシリレングリコール、ビスヒドロキシエトキシベンゼン等の芳香族グリコール；Ｎ－メチルジエタノールアミン等のＮ－アルキルジアルカノールアミン等）とを重縮合させて得られたもの、例えばポリエチレンアジペート、ポリブチレンアジペート、ポリヘキサメチレンアジペート、ポリエチレン／プロピレンアジペート等、又は前記ジオール類又は炭素数１～２５の１価アルコールを開始剤として用いて得られるポリラクトンジオール又はポリラクトンモノオール、例えばポリカプロラクトングリコール、ポリメチルバレロラクトン及びこれらの２種以上の混合物が挙げられる。
　ポリエステルグリコールとして最も好ましいのはポリカプロラクトングリコール又は炭素数１～２５のアルコールを開始剤としたポリカプロラクトンである。

　ポリカーボネートグリコールとしては、ポリ（１，６－ヘキシレン）カーボネート、ポリ（３－メチル－１，５－ペンチレン）カーボネート等が挙げられる。
　ポリオレフィングリコールとしてはポリブタジエングリコール、水素添加型ポリブタジエングリコール、水素添加型ポリイソプレングリコール等が挙げられる。
　これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

　同一分子内に水酸基を１個又は２個有する化合物の数平均分子量は、通常３００～１００００、好ましくは５００～６０００、より好ましくは１０００～４０００である。

　同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物を説明する。
　活性水素、即ち、酸素原子、窒素原子又は硫黄原子に直接結合している水素原子としては、水酸基、アミノ基、チオール基等の官能基中の水素原子が挙げられ、中でもアミノ基、特に１級のアミノ基の水素原子が好ましい。

　３級アミノ基は、特に限定されないが、例えば炭素数１～４のアルキル基を有するアミノ基、又はヘテロ環構造、より具体的にはイミダゾール環又はトリアゾール環などが挙げられる。

　このような同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物としては、例えば、Ｎ，Ｎ－ジメチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチルエチレンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジメチル－１，４－ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチル－１，４－ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジプロピル－１，４－ブタンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジブチル－１，４－ブタンジアミン等が挙げられる。

　また、３級アミノ基が含窒素ヘテロ環構造である場合の該含窒素ヘテロ環としては、ピラゾール環、イミダゾール環、トリアゾール環、テトラゾール環、インドール環、カルバゾール環、インダゾール環、ベンズイミダゾール環、ベンゾトリアゾール環、ベンゾオキサゾール環、ベンゾチアゾール環、ベンゾチアジアゾール環等の含窒素ヘテロ５員環、ピリジン環、ピリダジン環、ピリミジン環、トリアジン環、キノリン環、アクリジン環、イソキノリン環等の含窒素ヘテロ６員環が挙げられる。これらの含窒素ヘテロ環のうち好ましいものはイミダゾール環又はトリアゾール環である。

　これらのイミダゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、１－（３－アミノプロピル）イミダゾール、ヒスチジン、２－アミノイミダゾール、１－（２－アミノエチル）イミダゾール等が挙げられる。また、トリアゾール環とアミノ基を有する化合物を具体的に例示するならば、３－アミノ－１，２，４－トリアゾール、５－（２－アミノ－５－クロロフェニル）－３－フェニル－１Ｈ－１，２，４－トリアゾール、４－アミノ－４Ｈ－１，２，４－トリアゾール－３，５－ジオール、３－アミノ－５－フェニル－１Ｈ－１，３，４－トリアゾール、５－アミノ－１，４－ジフェニル－１，２，３－トリアゾール、３－アミノ－１－ベンジル－１Ｈ－２，４－トリアゾール等が挙げられる。中でも、Ｎ，Ｎ－ジメチル－１，３－プロパンジアミン、Ｎ，Ｎ－ジエチル－１，３－プロパンジアミン、１－（３－アミノプロピル）イミダゾール、３－アミノ－１，２，４－トリアゾールが好ましい。
　これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

　ウレタン系高分子分散剤を製造する際の原料の好ましい配合比率は、ポリイソシアネート化合物１００質量部に対し、同一分子内に水酸基を１個又は２個有する数平均分子量３００～１００００の化合物が１０～２００質量部、好ましくは２０～１９０質量部、さらに好ましくは３０～１８０質量部、同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物が０．２～２５質量部、好ましくは０．３～２４質量部である。

　ウレタン系高分子分散剤の製造はポリウレタン樹脂製造の公知の方法に従って行われる。
　製造する際に用いるの溶媒としては、通常、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロペンタノン、シクロヘキサノン、イソホロン等のケトン類；酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸セロソルブ等のエステル類；ベンゼン、トルエン、キシレン、ヘキサン等の炭化水素類；ダイアセトンアルコール、イソプロパノール、第二ブタノール、第三ブタノール等一部のアルコール類；塩化メチレン、クロロホルム等の塩化物；テトラヒドロフラン、ジエチルエーテル等のエーテル類；ジメチルホルムアミド、Ｎ－メチルピロリドン、ジメチルスルホキサイド等の非プロトン性極性溶媒；等が用いられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

　上記製造に際して、通常、ウレタン化反応触媒が用いられる。この触媒としては、例えば、ジブチルチンジラウレート、ジオクチルチンジラウレート、ジブチルチンジオクトエート、スタナスオクトエート等の錫系；鉄アセチルアセトナート、塩化第二鉄等の鉄系；トリエチルアミン、トリエチレンジアミン等の３級アミン系；等が挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用して用いてもよい。

　同一分子内に活性水素と３級アミノ基を有する化合物の導入量は反応後のアミン価で１～１００ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲に制御することが好ましく、より好ましくは５～９５ｍｇＫＯＨ／ｇの範囲である。アミン価は、塩基性アミノ基を酸により中和滴定し、酸価に対応させてＫＯＨのｍｇ数で表した値である。
　アミン価を前記下限値以上とすることで分散能力が良化する傾向がある。アミン価を前記上限値以下とすることで現像性が良化する傾向がある。

　なお、以上の反応で高分子分散剤にイソシアネート基が残存する場合にはさらに、アルコールやアミノ化合物でイソシアネート基を不活性化させると生成物の経時安定性が高くなるので好ましい。

　ウレタン系高分子分散剤の重量平均分子量（Ｍｗ）は通常１０００～２０００００、好ましくは２０００～１０００００、より好ましくは３０００～５００００の範囲である。
　ウレタン系高分子分散剤のＭｗを前記下限値以上とすることで分散性及び分散安定性が良化する傾向がある。ウレタン系高分子分散剤のＭｗを前記上限値以下とすることで溶解性が向上し分散性が良化する傾向がある。

　アクリル系高分子分散剤としては、官能基（ここでいう官能基とは、高分子分散剤に含有される官能基として前述した官能基である。）を有する不飽和基含有単量体と、官能基を有さない不飽和基含有単量体とのランダム共重合体、グラフト共重合体、ブロック共重合体を使用することが好ましい。これらの共重合体は公知の方法で製造することができる。

　官能基を有する不飽和基含有単量体としては、例えば、（メタ）アクリル酸、２－（メタ）アクリロイロキシエチルコハク酸、２－（メタ）アクリロイロキシエチルフタル酸、２－（メタ）アクリロイロキシエチルヘキサヒドロフタル酸、アクリル酸ダイマー等のカルボキシ基を有する不飽和単量体、ジメチルアミノエチル（メタ）アクリレート、ジエチルアミノエチル（メタ）アクリレート及びこれらの４級化物などの３級アミノ基、４級アンモニウム塩基を有する不飽和単量体が挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

　官能基を有さない不飽和基含有単量体としては、例えば、メチル（メタ）アクリレート、エチル（メタ）アクリレート、プロピル（メタ）アクリレート、イソプロピル（メタ）アクリレート、ｎ－ブチル（メタ）アクリレート、イソブチル（メタ）アクリレート、ｔ－ブチル（メタ）アクリレート、ベンジル（メタ）アクリレート、フェニル（メタ）アクリレート、シクロヘキシル（メタ）アクリレート、フェノキシエチル（メタ）アクリレート、フェノキシメチル（メタ）アクリレート、２－エチルヘキシル（メタ）アクリレート、イソボルニル（メタ）アクリレート、トリシクロデカン（メタ）アクリレート、テトラヒドロフルフリル（メタ）アクリレート、Ｎ－ビニルピロリドン、スチレン及びその誘導体、α－メチルスチレン、Ｎ－シクロヘキシルマレイミド、Ｎ－フェニルマレイミド、Ｎ－ベンジルマレイミドなどのＮ－置換マレイミド、アクリロニトリル、酢酸ビニル及びポリメチル（メタ）アクリレートマクロモノマー、ポリスチレンマクロモノマー、ポリ２－ヒドロキシエチル（メタ）アクリレートマクロモノマー、ポリエチレングリコールマクロモノマー、ポリプロピレングリコールマクロモノマー、ポリカプロラクトンマクロモノマーなどのマクロモノマーが挙げられる。
　これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

　アクリル系高分子分散剤は、特に好ましくは官能基を有するＡブロックと官能基を有さないＢブロックからなるＡ－Ｂ又はＢ－Ａ－Ｂブロック共重合体である。この場合、Ａブロック中には上記官能基を含む不飽和基含有単量体由来の部分構造の他に、上記官能基を含まない不飽和基含有単量体由来の部分構造が含まれていてもよく、これらが該Ａブロック中においてランダム共重合又はブロック共重合のいずれの態様で含有されていてもよい。官能基を含まない部分構造の、Ａブロック中の含有量は、通常８０質量％以下であり、好ましくは５０質量％以下、さらに好ましくは３０質量％以下である。

　Ｂブロックは、上記官能基を含まない不飽和基含有単量体由来の部分構造からなるものであるが、１つのＢブロック中に２種以上の単量体由来の部分構造が含有されていてもよく、これらは、該Ｂブロック中においてランダム共重合又はブロック共重合のいずれの態様で含有されていてもよい。

　該Ａ－Ｂ又はＢ－Ａ－Ｂブロック共重合体は、例えば、以下に示すリビング重合法にて調製される。
　リビング重合法には、アニオンリビング重合法、カチオンリビング重合法、ラジカルリビング重合法がある。

　アクリル系高分子分散剤を合成するに際しては、例えば、日本国特開平９－６２００２号公報や、Ｐ．Ｌｕｔｚ，　Ｐ．Ｍａｓｓｏｎ　ｅｔ　ａｌ，　Ｐｏｌｙｍ．　Ｂｕｌｌ．　１２，　７９　（１９８４），　Ｂ．Ｃ．Ａｎｄｅｒｓｏｎ，　Ｇ．Ｄ．Ａｎｄｒｅｗｓ　ｅｔ　ａｌ，　Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，　１４，　１６０１（１９８１），　Ｋ．Ｈａｔａｄａ，　Ｋ．Ｕｔｅ，ｅｔ　ａｌ，　Ｐｏｌｙｍ．　Ｊ．　１７，
　９７７（１９８５），　１８，　１０３７（１９８６），　右手浩一、畑田耕一、高分子加工、３６，　３６６（１９８７），東村敏延、沢本光男、高分子論文集、４６，　１８９（１９８９），　Ｍ．Ｋｕｒｏｋｉ，　Ｔ．Ａｉｄａ，　Ｊ．　Ａｍ．　Ｃｈｅｍ．
　Ｓｉｃ，　１０９，　４７３７（１９８７）、相田卓三、井上祥平、有機合成化学、４３，　３００（１９８５），　Ｄ．Ｙ．Ｓｏｇｏｈ，　Ｗ．Ｒ．Ｈｅｒｔｌｅｒ　ｅｔ　ａｌ，　Ｍａｃｒｏｍｏｌｅｃｕｌｅｓ，　２０，　１４７３（１９８７）に記載の公知の方法を採用することができる。

　本発明で用いることができるアクリル系高分子分散剤はＡ－Ｂブロック共重合体であっても、Ｂ－Ａ－Ｂブロック共重合体であってもよい。その共重合体を構成するＡブロック／Ｂブロック比は１／９９～８０／２０、特に５／９５～６０／４０（質量比）であることが好ましい。この範囲内にすることで分散性と保存安定性のバランスの確保ができる傾向がある。

　本発明で用いることができるＡ－Ｂブロック共重合体、Ｂ－Ａ－Ｂブロック共重合体１ｇ中の４級アンモニウム塩基の量は、通常０．１～１０ｍｍｏｌであることが好ましく、この範囲内にすることで良好な分散性を確保できる傾向がある。

　このようなブロック共重合体中には、通常、製造過程で生じたアミノ基が含有される場合があるが、そのアミン価は１～１００ｍｇＫＯＨ／ｇ程度であり、分散性の観点から、好ましくは１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、より好ましくは３０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、さらに好ましくは５０ｍｇＫＯＨ／ｇ以上、また、好ましくは９０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、より好ましくは８０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下、さらに好ましくは７５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下である。例えば、ブロック共重合体のアミン価は１０～９０ｍｇＫＯＨ／ｇが好ましく、３０～８０ｍｇＫＯＨ／ｇがより好ましく、５０～７５ｍｇＫＯＨ／ｇがさらに好ましい。

　ここで、これらのブロック共重合体等のアクリル系高分子分散剤のアミン価は、分散剤試料中の溶剤を除いた固形分１ｇあたりの塩基量と当量のＫＯＨの質量で表し、次の方法により測定する。
　１００ｍＬのビーカーに分散剤試料の０．５～１．５ｇを精秤し、５０ｍＬの酢酸で溶解する。ｐＨ電極を備えた自動滴定装置を使って、この溶液を０．１ｍｏｌ／ＬのＨＣｌＯ₄酢酸溶液にて中和滴定する。滴定ｐＨ曲線の変曲点を滴定終点とし次式によりアミン価を求める。
　アミン価［ｍｇＫＯＨ／ｇ］＝（５６１×Ｖ）／（Ｗ×Ｓ）
〔但し、Ｗ：分散剤試料秤取量［ｇ］、Ｖ：滴定終点での滴定量［ｍＬ］、Ｓ：分散剤試料の固形分濃度［質量％］を表す。〕

　アクリル系高分子分散剤の酸価は、その酸価の元となる酸性基の有無及び種類にもよるが、一般に低い方が好ましく、通常１０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下であり、その重量平均分子量（Ｍｗ）は、１０００～１０００００の範囲が好ましい。前記範囲内とすることで良好な分散性を確保できる傾向がある。

　アクリル系高分子分散剤が４級アンモニウム塩基を官能基として有する場合、その具体的な構造については特に限定されないが、分散性の観点からは、下記式（ｅ１）で表される繰り返し単位（以下、「繰り返し単位（ｅ１）」ということがある。）を有することが好ましい。

（式（ｅ１）中、Ｒ³¹～Ｒ³³は各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアラルキル基を表す。Ｒ³¹～Ｒ³³のうち２つ以上が互いに結合して環状構造を形成してもよい。Ｒ³⁴は水素原子又はメチル基である。Ｘ³¹は２価の連結基である。Ｅ^-は対アニオンである。）

　上記式（ｅ１）のＲ³¹～Ｒ³³における、置換基を有していてもよいアルキル基の炭素数は特に限定されないが、１以上であって、また、１０以下であることが好ましく、６以下であることがより好ましい。例えば、アルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、１～６がより好ましい。
　該アルキル基は、直鎖状、分枝状のいずれであってもよい。また、該アルキル基は、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基などの環状構造を含んでもよい。
　アルキル基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基が挙げられ、これらの中でも、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基であることが好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基であることがより好ましい。

　上記式（ｅ１）のＲ³¹～Ｒ³³における、置換基を有していてもよいアリール基の炭素数は特に限定されないが、通常６以上であり、また、１６以下であることが好ましく、１２以下であることがより好ましい。例えば、アリール基の炭素数は６～１６が好ましく、６～１２がより好ましい。
　アリール基の具体例としては、例えば、フェニル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基、ジメチルフェニル基、ジエチルフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基が挙げられ、これらの中でもフェニル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基、ジメチルフェニル基、ジエチルフェニル基であることが好ましく、フェニル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基であることがより好ましい。

　上記式（ｅ１）のＲ³¹～Ｒ³³における、置換基を有していてもよいアラルキル基の炭素数は特に限定されないが、通常７以上であり、また、１６以下であることが好ましく、１２以下であることがより好ましい。例えば、アラルキル基の炭素数は７～１６が好ましく、７～１２がより好ましい。
　アラルキル基の具体例としては、例えば、フェニルメチル基（ベンジル基）、フェニルエチル基（フェネチル基）、フェニルプロピル基、フェニルブチル基、フェニルイソプロピル基が挙げられ、これらの中でも、フェニルメチル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基、フェニルブチル基であることが好ましく、フェニルメチル基、フェニルエチル基であることがより好ましい。

　これらの中でも、分散性の観点から、Ｒ³¹～Ｒ³³が各々独立に、アルキル基、アラルキル基であることが好ましく、Ｒ³¹及びＲ³³が各々独立に、メチル基、エチル基であり、かつ、Ｒ³²がフェニルメチル基、フェニルエチル基であることがより好ましく、Ｒ³¹及びＲ³³がメチル基であり、かつ、Ｒ³²がフェニルメチル基であることがさらに好ましい。

　また、前記高分子分散剤が官能基として３級アミンを有する場合、分散性の観点からは、下記式（ｅ２）で表される繰り返し単位（以下、「繰り返し単位（ｅ２）」ということがある。）を有することが好ましい。

（式（ｅ２）中、Ｒ³⁵及びＲ³⁶は各々独立に、水素原子、置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアラルキル基である。Ｒ³⁵及びＲ³⁶が互いに結合して環状構造を形成してもよい。Ｒ³⁷は水素原子又はメチル基である。Ｘ^３２は２価の連結基である。）

　上記式（ｅ２）のＲ³⁵及びＲ³⁶における、置換基を有していてもよいアルキル基としては、上記式（ｅ１）のＲ³¹～Ｒ³³として例示したものを好ましく採用することができる。
　上記式（ｅ２）のＲ³⁵及びＲ³⁶における、置換基を有していてもよいアリール基としては、上記式（ｅ１）のＲ³¹～Ｒ³³として例示したものを好ましく採用することができる。
　上記式（ｅ２）のＲ³⁵及びＲ³⁶における、置換基を有していてもよいアラルキル基としては、上記式（ｅ１）のＲ³¹～Ｒ³³として例示したものを好ましく採用することができる。

　これらの中でも、Ｒ³⁵及びＲ³⁶が各々独立に、置換基を有していてもよいアルキル基であることが好ましく、メチル基、エチル基であることがより好ましい。

　上記式（ｅ１）のＲ³¹～Ｒ³³及び上記式（ｅ２）のＲ³⁵及びＲ³⁶におけるアルキル基、アラルキル基又はアリール基が有していてもよい置換基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基、ベンゾイル基、水酸基が挙げられる。

　上記式（ｅ１）及び（ｅ２）において、２価の連結基Ｘ^３１及びＸ^３２としては、例えば、炭素数１～１０のアルキレン基、炭素数６～１２のアリーレン基、－ＣＯＮＨ－Ｒ⁴³－基、－ＣＯＯ－Ｒ⁴⁴－基〔但し、Ｒ⁴³及びＲ⁴⁴は単結合、炭素数１～１０のアルキレン基、炭素数２～１０のエーテル基（アルキルオキシアルキル基）である〕が挙げられ、好ましくは－ＣＯＯ－Ｒ⁴⁴－基である。
　また、上記式（ｅ１）において、対アニオンのＥ^-としては、例えば、Ｃｌ^-、Ｂｒ^-、Ｉ^-、ＣｌＯ₄ ^-、ＢＦ₄ ^-、ＣＨ₃ＣＯＯ^-、ＰＦ₆ ^-が挙げられる。

　アクリル系高分子分散剤中の前記式（ｅ１）で表される繰り返し単位の含有割合は特に限定されないが、分散性の観点から、高分子分散剤の全繰り返し単位に占める前記式（ｅ１）で表される繰り返し単位の含有割合と前記式（ｅ２）で表される繰り返し単位の含有割合の合計に対して、好ましくは６０モル％以下であり、より好ましくは５０モル％以下であり、さらに好ましくは４０モル％以下であり、特に好ましくは３５モル％以下であり、また、好ましくは５モル％以上であり、より好ましくは１０モル％以上であり、さらに好ましくは２０モル％以上であり、特に好ましくは３０モル％以上である。
　例えば、前記式（ｅ１）で表される繰り返し単位の含有割合と前記式（ｅ２）で表される繰り返し単位の含有割合の合計に対する、前記式（ｅ１）で表される繰り返し単位の含有割合５～６０モル％が好ましく、１０～５０モル％がより好ましく、２０～４０モル％がさらに好ましく、３０～３５モル％が特に好ましい。

　アクリル系高分子分散剤の全繰り返し単位に占める前記式（ｅ１）で表される繰り返し単位の含有割合は特に限定されないが、分散性の観点から、１モル％以上であることが好ましく、５モル％以上であることがより好ましく、１０モル％以上であることがさらに好ましく、また、５０モル％以下であることが好ましく、３０モル％以下であることがより好ましく、２０モル％以下であることがさらに好ましく、１５モル％以下であることが特に好ましい。
　例えば、アクリル系高分子分散剤の全繰り返し単位に占める前記式（ｅ１）で表される繰り返し単位の含有割合は１～５０モル％が好ましく、５～３０モル％がより好ましく、１０～２０モル％がさらに好ましく、１０～１５モル％が特に好ましい。

　アクリル系高分子分散剤の全繰り返し単位に占める前記式（ｅ２）で表される繰り返し単位の含有割合は特に限定されないが、分散性の観点から、５モル％以上であることが好ましく、１０モル％以上であることがより好ましく、１５モル％以上であることがさらに好ましく、２０モル％以上であることが特に好ましく、また、６０モル％以下であることが好ましく、４０モル％以下であることがより好ましく、３０モル％以下であることがさらに好ましく、２５モル％以下であることが特に好ましい。
　例えば、アクリル系高分子分散剤の全繰り返し単位に占める前記式（ｅ２）で表される繰り返し単位の含有割合は５～６０モル％が好ましく、１０～４０モル％がより好ましく、１５～３０モル％がさらに好ましく、２０～２５モル％が特に好ましい。

　アクリル系高分子分散剤は、溶媒等のバインダー成分に対する相溶性を高め、分散安定性を向上させるとの観点から、下記式（ｅ３）で表される繰り返し単位（以下、「繰り返し単位（ｅ３）」ということがある。）を有することが好ましい。

（上記式（ｅ３）中、Ｒ⁴⁰はエチレン基又はプロピレン基である。Ｒ⁴¹は置換基を有していてもよいアルキル基である。Ｒ⁴²は水素原子又はメチル基である。ｋは１～２０の整数である。）

　上記式（ｅ３）のＲ⁴¹における、置換基を有していてもよいアルキル基の炭素数は特に限定されないが、１以上であって、２以上であることが好ましく、また、１０以下であることが好ましく、６以下であることがより好ましい。例えば、アルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、２～６がより好ましい。
　該アルキル基は、直鎖状、分枝状のいずれであってもよい。また、該アルキル基は、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基などの環状構造を含んでもよい。
　アルキル基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基が挙げられ、これらの中でも、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基であることが好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基であることがより好ましい。

　また、上記式（ｅ３）におけるｋは溶媒等バインダー成分に対する相溶性と分散性の観点から、１以上であって、２以上であることが好ましく、また、１０以下であることが好ましく、５以下であることがより好ましい。例えば、ｋは、１～１０が好ましく、２～５がより好ましい。

　アクリル系高分子分散剤の全繰り返し単位に占める前記式（ｅ３）で表される繰り返し単位の含有割合は特に限定されないが、１モル％以上であることが好ましく、２モル％以上であることがより好ましく、４モル％以上であることがさらに好ましく、また、３０モル％以下であることが好ましく、２０モル％以下であることがより好ましく、１０モル％以下であることがさらに好ましい。この含有割合が前記範囲内の場合には溶媒等バインダー成分に対する相溶性と分散安定性の両立が可能となる傾向がある。
　例えば、アクリル系高分子分散剤の全繰り返し単位に占める前記式（ｅ３）で表される繰り返し単位の含有割合は１～３０モル％が好ましく、２～２０モル％がより好ましく、４～１０モル％がさらに好ましい。

　アクリル系高分子分散剤は、分散剤の溶媒等バインダー成分に対する相溶性を高め、分散安定性を向上させるという観点から、下記式（ｅ４）で表される繰り返し単位（以下、「繰り返し単位（ｅ４）」ということがある。）を有することが好ましい。

（上記式（ｅ４）中、Ｒ³⁸は置換基を有していてもよいアルキル基、置換基を有していてもよいアリール基、又は置換基を有していてもよいアラルキル基である。Ｒ³⁹は水素原子又はメチル基である。）

　上記式（ｅ４）のＲ³⁸における、置換基を有していてもよいアルキル基の炭素数は特に限定されないが、１以上であって、２以上であることが好ましく、４以上であることがより好ましく、また、１０以下であることが好ましく、８以下であることがより好ましい。例えば、アルキル基の炭素数は１～１０が好ましく、２～８がより好ましく、４～８がさらに好ましい。
　該アルキル基は、直鎖状、分枝状のいずれであってもよい。また、該アルキル基は、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基などの環状構造を含んでもよい。
　アルキル基の具体例としては、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基が挙げられ、これらの中でも、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基、ペンチル基、ヘキシル基であることが好ましく、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチル基であることがより好ましい。

　上記式（ｅ４）のＲ³⁸における、置換基を有していてもよいアリール基の炭素数は特に限定されないが、通常６以上であり、また、１６以下であることが好ましく、１２以下であることがより好ましく、８以下であることがさらに好ましい。例えば、アリール基の炭素数は６～１６が好ましく、６～１２がより好ましく、８～１２がさらに好ましい。
　アリール基の具体例としては、例えば、フェニル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基、ジメチルフェニル基、ジエチルフェニル基、ナフチル基、アントラセニル基が挙げられ、これらの中でもフェニル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基、ジメチルフェニル基、ジエチルフェニル基であることが好ましく、フェニル基、メチルフェニル基、エチルフェニル基であることがより好ましい。

　上記式（ｅ４）のＲ³⁸における、置換基を有していてもよいアラルキル基の炭素数は特に限定されないが、通常７以上であり、また、１６以下であることが好ましく、１２以下であることがより好ましく、１０以下であることがさらに好ましい。例えば、アラルキル基の炭素数は、７～１６が好ましく、７～１２がより好ましく、７～１０がさらに好ましい。
　アラルキル基の具体例としては、例えば、フェニルメチル基（ベンジル基）、フェニルエチル基（フェネチル基）、フェニルプロピル基、フェニルブチル基、フェニルイソプロピル基が挙げられ、これらの中でも、フェニルメチル基、フェニルエチル基、フェニルプロピル基、フェニルブチル基であることが好ましく、フェニルメチル基、フェニルエチル基であることがより好ましい。

　これらの中でも、溶剤相溶性と分散安定性の観点から、Ｒ³⁸がアルキル基、アラルキル基であることが好ましく、メチル基、エチル基、フェニルメチル基であることがより好ましい。

　Ｒ³⁸における、アルキル基が有していてもよい置換基としては、例えば、ハロゲン原子、アルコキシ基が挙げられる。また、アリール基、アラルキル基が有していてもよい置換基としては、例えば、アルキル基、ハロゲン原子、アルコキシ基が挙げられる。

　アクリル系高分子分散剤の全繰り返し単位に占める前記式（ｅ４）で表される繰り返し単位の含有割合は、分散性の観点から、３０モル％以上であることが好ましく、４０モル％以上であることがより好ましく、５０モル％以上であることがさらに好ましく、また、８０モル％以下であることが好ましく、７０モル％以下であることがより好ましい。
　例えば、高分子分散剤の全繰り返し単位に占める前記式（ｅ４）で表される繰り返し単位の含有割合は３０～８０モル％が好ましく、４０～７０モル％がより好ましく、５０～７０モル％がさらに好ましい。

　アクリル系高分子分散剤は、繰り返し単位（ｅ１）、繰り返し単位（ｅ２）、繰り返し単位（ｅ３）及び繰り返し単位（ｅ４）以外の繰り返し単位を有していてもよい。そのような繰り返し単位の例としては、例えば、スチレン、α－メチルスチレンなどのスチレン系単量体；（メタ）アクリル酸クロリドなどの（メタ）アクリル酸塩系単量体；（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロールアクリルアミドなどの（メタ）アクリルアミド系単量体；酢酸ビニル；アクリロニトリル；アリルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジルエーテル；Ｎ－メタクリロイルモルホリン等の単量体に由来する繰り返し単位が挙げられる。

　アクリル系高分子分散剤は、分散性をより高めるとの観点から、繰り返し単位（ｅ１）及び繰り返し単位（ｅ２）を有するＡブロックと、繰り返し単位（ｅ１）及び繰り返し単位（ｅ２）を有さないＢブロックとを有する、ブロック共重合体であることが好ましい。該ブロック共重合体は、Ａ－Ｂブロック共重合体又はＢ－Ａ－Ｂブロック共重合体であることが好ましい。Ａブロックに４級アンモニウム塩基だけでなく３級アミノ基も導入することにより、分散剤の分散能力が著しく向上する傾向がある。また、Ｂブロックが繰り返し単位（ｅ３）を有することが好ましく、さらに繰り返し単位（ｅ４）を有することがより好ましい。

　Ａブロック中において、繰り返し単位（ｅ１）及び繰り返し単位（ｅ２）は、ランダム共重合、ブロック共重合のいずれの態様で含有されていてもよい。また、繰り返し単位（ｅ１）及び繰り返し単位（ｅ２）は、１つのＡブロック中に各々２種以上含有されていてもよく、その場合、各々の繰り返し単位は、該Ａブロック中においてランダム共重合、ブロック共重合のいずれの態様で含有されていてもよい。

　また、繰り返し単位（ｅ１）及び繰り返し単位（ｅ２）以外の繰り返し単位が、Ａブロック中に含有されていてもよく、そのような繰り返し単位の例としては、前述の（メタ）アクリル酸エステル系単量体由来の繰り返し単位等が挙げられる。繰り返し単位（ｅ１）及び繰り返し単位（ｅ２）以外の繰り返し単位の、Ａブロック中の含有量は、好ましくは０～５０モル％、より好ましくは０～２０モル％であるが、かかる繰り返し単位はＡブロック中に含有されないことが最も好ましい。

　繰り返し単位（ｅ３）及び（ｅ４）以外の繰り返し単位がＢブロック中に含有されていてもよく、そのような繰り返し単位の例としては、例えば、スチレン、α－メチルスチレンなどのスチレン系単量体；（メタ）アクリル酸クロリドなどの（メタ）アクリル酸塩系単量体；（メタ）アクリルアミド、Ｎ－メチロールアクリルアミドなどの（メタ）アクリルアミド系単量体；酢酸ビニル；アクリロニトリル；アリルグリシジルエーテル、クロトン酸グリシジルエーテル；Ｎ－メタクリロイルモルホリン等の単量体に由来する繰り返し単位が挙げられる。繰り返し単位（ｅ３）及び繰り返し単位（ｅ４）以外の繰り返し単位の、Ｂブロック中の含有量は、好ましくは０～５０モル％、より好ましくは０～２０モル％であるが、かかる繰り返し単位はＢブロック中に含有されないことが最も好ましい。

　本発明の感光性樹脂組成物が分散剤を含有する場合、その含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、１質量％以上が好ましく、２質量％以上がより好ましく、４質量％以上が特に好ましい。また、１２質量％以下が好ましく、１０質量％以下がより好ましく、９質量％以下が特に好ましい。
　この含有割合を前記下限値以上とすることで凝集物による残渣発生を抑制できる傾向がある。この含有割合を前記上限値以下とすることで現像性が向上する傾向がある。
　例えば、感光性樹脂組成物が分散剤を含有する場合、感光性樹脂組成物の全固形分に対する分散剤の含有割合は１～１２質量％が好ましく、２～１０質量％がより好ましく、４～９質量％が特に好ましい。

［１－１－６］顔料誘導体
　本発明の感光性樹脂組成物には、分散性、保存性向上のため、分散助剤として顔料誘導体を含有させてもよい。
　顔料誘導体としては、例えば、アゾ系、フタロシアニン系、キナクリドン系、ベンズイミダゾロン系、キノフタロン系、イソインドリノン系、ジオキサジン系、アントラキノン系、インダンスレン系、ペリレン系、ペリノン系、ジケトピロロピロール系、ジオキサジン系の誘導体が挙げられるが、中でもフタロシアニン系、キノフタロン系が好ましい。
　顔料誘導体の置換基としては、例えば、スルホン酸基、スルホンアミド基及びその４級塩、フタルイミドメチル基、ジアルキルアミノアルキル基、水酸基、カルボキシ基、アミド基等が顔料骨格に直接又はアルキル基、アリール基、複素環基等を介して結合したものが挙げられ、好ましくはスルホン酸基である。またこれら置換基は一つの顔料骨格に複数置換していてもよい。

　顔料誘導体の具体例としては、例えば、フタロシアニンのスルホン酸誘導体、キノフタロンのスルホン酸誘導体、アントラキノンのスルホン酸誘導体、キナクリドンのスルホン酸誘導体、ジケトピロロピロールのスルホン酸誘導体、ジオキサジンのスルホン酸誘導体が挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

［１－１－７］界面活性剤
　本発明の感光性樹脂組成物には、塗布性向上ため、界面活性剤を含有させてもよい。

　界面活性剤としては、例えば、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、非イオン系界面活性剤、両性界面活性剤等の各種のものを用いることができる。中でも、諸特性に悪影響を及ぼす可能性が低い点で、非イオン系界面活性剤を用いるのが好ましく、中でもフッ素系やシリコーン系の界面活性剤が塗布性の面で効果的である。

　フッ素系界面活性剤の市販品としては、例えば、ＢＭ　Ｃｈｅｍｉｅ社製「ＢＭ－１０００」、「ＢＭ－１１００」、ＤＩＣ社製「メガファックＦ－１４２Ｄ」、「メガファックＦ－１７２」、「メガファックＦ－１７３」、「メガファックＦ－１８３」、「メガファックＦ－４７０」、「メガファックＦ－４７５」、「メガファックＦ－４７８」、「メガファックＦ－５５４」、「メガファックＦ－５５９」、スリーエムジャパン社製「ＦＣ４３０」、ネオス社製「ＤＦＸ－１８」を挙げることができる。

　シリコーン系界面活性剤としては、例えば、東レ・ダウコーニング社製「ＤＣ３ＰＡ」、「ＳＨ７ＰＡ」、「ＤＣ１１ＰＡ」、「ＳＨ２１ＰＡ」、「ＳＨ２８ＰＡ」、「ＳＨ２９ＰＡ」、「８０３２Ａｄｄｉｔｉｖｅ」、「ＳＨ８４００」、ビックケミー社製「ＢＹＫ３００」、「ＢＹＫ３２３」、「ＢＹＫ３２５」、「ＢＹＫ３３０」、信越シリコーン社製「ＫＰ３４０」の市販品を挙げることができる。

　界面活性剤として、フッ素系界面活性剤及びシリコーン系界面活性剤以外のものを含んでいてもよく、その他の界面活性剤としては、例えば、非イオン系界面活性剤、アニオン系界面活性剤、カチオン系界面活性剤、両性界面活性剤が挙げられる。

　界面活性剤は、１種類を単独で用いてもよく、２種類以上を任意の組み合わせ及び比率で併用してもよい。中でも、シリコーン系界面活性剤／フッ素系界面活性剤の組み合わせが好ましい。このシリコーン系界面活性剤／フッ素系界面活性剤の組み合わせでは、例えば、ビックケミー社製「ＢＹＫ－３００」又は「ＢＹＫ－３３０」／ＤＩＣ社製「Ｆ－４７５」「Ｆ－４７８」「Ｆ－５５４」又は「Ｆ－５５９」が挙げられる。

　本発明の感光性樹脂組成物が界面活性剤を含有する場合、本発明の感光性樹脂組成物中の界面活性剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して通常０．０１質量％以上、好ましくは０．０３質量％以上、より好ましくは０．０５質量％以上で、通常２質量％以下、好ましくは１．５質量％以下、より好ましくは１質量％以下である。この含有割合を前記下限値以上とすることで塗布性が良好になる傾向がある。この含有割合を前記上限値以下とすることで残渣が発生しやすい傾向がある。

［１－１－８］撥液剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、撥液剤を含有していてもよい。特に本発明の感光性樹脂組成物を用いて隔壁を作成し、インクジェット法で有機電界発光素子を作成する場合には、撥液剤を含有することが好ましい。撥液剤を含有することでそれが隔壁の表面に撥液性を付与できることから、得られる隔壁を有機層の画素ごとの混色を防ぐものとすることができる。

　撥液剤としては、シリコーン含有化合物やフッ素系化合物が挙げられ、好ましくは架橋基を有する撥液剤（以下、「架橋基含有撥液剤」と称す場合がある。）が挙げられる。
　架橋基としては、エポキシ基又はエチレン性不飽和基が挙げられ、現像液の撥液成分の流出抑制の観点から、好ましくはエチレン性不飽和基である。

　架橋基含有撥液剤を用いる場合には、形成した塗膜を露光する際にその表面での架橋反応を加速することができ、撥液剤が現像処理で流出しにくくなり、その結果、得られる隔壁を高い撥液性を示すものとすることができると考えられる。

　撥液剤としてフッ素系化合物を用いた場合には、当該フッ素系化合物が隔壁の表面に配向して、インキのにじみや混色を防止する働きをする傾向がある。さらに詳しくは、フッ素原子を有する基が、インキをはじき、インキが隔壁を越えて隣接する領域にオーバーフローすることによるインキのにじみや混色を防ぐ働きをする傾向がある。

　架橋基含有撥液剤、特にエチレン性不飽和基含有フッ素系化合物の具体例としては、例えば、パーフルオロアルキルスルホン酸、パーフルオロアルキルカルボン酸、パーフルオロアルキルアルキレンオキシド付加物、パーフルオロアルキルトリアルキルアンモニウム塩、パーフルオロアルキル基と親水基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキル基と親油基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキル基と親水基と親油基を含むオリゴマー、パーフルオロアルキルと親水基を含むウレタン、パーフルオロアルキルエステル、パーフルオロアルキル燐酸エステルなどのフッ素含有有機化合物を挙げることができる。

　これらのフッ素含有化合物の市販品としては、例えば、ＤＩＣ社製「ＤＥＦＥＮＳＡＭＣＦ－３００」、「ＤＥＦＥＮＳＡＭＣＦ－３１０」、「ＤＥＦＥＮＳＡＭＣＦ－３１２」、「ＤＥＦＥＮＳＡＭＣＦ－３２３」、「メガファックＲＳ－７２－Ｋ」、スリーエムジャパン社製「フロラードＦＣ－４３１」、「フロラードＦＣ－４４３０」、「フロラードＦＣ－４４３２」、旭硝子社製「アサヒガードＡＧ７１０」、「サーフロンＳ－３８２」、「サーフロンＳＣ－１０１」、「サーフロンＳＣ－１０２」、「サーフロンＳＣ－１０３」、「サーフロンＳＣ－１０４」、「サーフロンＳＣ－１０５」、「サーフロンＳＣ－１０６」、ダイキン工業社製「オプツールＤＡＣ―ＨＰ」、「ＨＰ－６５０」の商品名で市販されているフッ素含有化合物を使用することができる。

　撥液剤としてフッ素系化合物を用いる場合において、撥液剤中のフッ素原子の含有割合は特に制限されないが、好ましくはフッ素原子含有割合が１質量％以上が好ましく、５質量％以上がより好ましく、また、５０質量％以下が好ましく、２５質量％以下がより好ましい。
　この含有割合を前記下限値以上とすることで高い接触角を示す傾向がある。この含有割合を前記上限値以下とすることで画素部への流出を抑制できる傾向がある。

　撥液剤の分子量は特に制限されない。

　本発明の感光性樹脂組成物が撥液剤を含有する場合、本発明の感光性樹脂組成物中の撥液剤の含有割合は、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、例えば０．０１質量％以上、１質量％以下である。
　この含有割合を前記下限値以上とすることで高い撥液性を示す傾向がある。この含有割合を前記上限値以下とすることで撥液剤の画素部への流出を抑制できる傾向がある。

［１－１－９］紫外線吸収剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、紫外線吸収剤を含有してもよい。紫外線吸収剤は、露光に用いられる光源の特定の波長を紫外線吸収剤によって吸収させることにより、光硬化分布を制御する目的で添加されるものである。紫外線吸収剤の添加により、現像後の隔壁側面の垂直性を改善したり、現像後に非露光部に残る残渣をなくしたりするなどの効果が得られる。

　紫外線吸収剤としては、（ｂ）光重合開始剤の光吸収の阻害抑制の観点から、例えば、波長２５０ｎｍから４００ｎｍの間に吸収極大を有する化合物を用いることができる。

　紫外線吸収剤としては、ベンゾトリアゾール系化合物及びトリアジン系化合物のいずれか一方又は両方を含むことが望ましい。ベンゾトリアゾール系化合物及びトリアジン系化合物のいずれか一方又は両方を含むことで（ｂ）光重合開始剤の光吸収率が減少し、光硬化性が低くなることによって、膜の焼成時のメルトフローが大きくなり、テーパ角が低くなる効果が得られると考えられる。

　ベンゾトリアゾール系化合物としては、例えば、２－（５メチル－２－ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２－ヒドロキシ－５－ｔ－ブチルフェニル）－２Ｈ－ベンゾトリアゾール、３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－５－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－ヒドロキシフェニル］プロピオン酸オクチル、３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－５－（５－クロロ－２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－ヒドロキシフェニル］プロピオン酸エチルヘキシル、２－［２－ヒドロキシ－３，５－ビス（α，α－ジメチルベンジル）フェニル］－２Ｈ－ベンゾトリアゾール、２－（３－ｔブチル－５－メチル－２－ヒドロキシフェニル）－５－クロロベンゾトリアゾール、２－（３，５－ジ－ｔ－アミル－２－ヒドロキシフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２’－ヒドロキシ－５’－ｔ－オクチルフェニル）ベンゾトリアゾール、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４，６－ビス（１－メチル－１－フェニルエチル）フェノール、２－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－６－（１－メチル－１－フェニルエチル）－４－（１，１，３，３－テトラメチルブチル）フェノール、３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－５－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－ヒドロキシフェニル］プロピオン酸へプチル、３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－５－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－ヒドロキシフェニル］プロピオン酸オクチル、３－［３－ｔｅｒｔ－ブチル－５－（２Ｈ－ベンゾトリアゾール－２－イル）－４－ヒドロキシフェニル］プロピオン酸ノニルが挙げられる。

　市販されているベンゾトリアゾール系化合物としては、例えば、スミソーブ（登録商標、以下同じ。）２００、スミソーブ２５０、スミソーブ３００、スミソーブ３４０、スミソーブ３５０（住友化学社製）；ＪＦ７７、ＪＦ７８、ＪＦ７９、ＪＦ８０、ＪＦ８３（城北化学工業社製）；ＴＩＮＵＶＩＮ（登録商標、以下同じ。）ＰＳ、ＴＩＮＵＶＩＮ９９－２、ＴＩＮＵＶＩＮ１０９、ＴＩＮＵＶＩＮ３８４－２、ＴＩＮＵＶＩＮ　３２６、ＴＩＮＵＶＩＮ９００、ＴＩＮＵＶＩＮ９２８、ＴＩＮＵＶＩＮ１１３０（ＢＡＳＦ社製）；ＥＶＥＲＳＯＲＢ７０、ＥＶＥＲＳＯＲＢ７１、ＥＶＥＲＳＯＲＢ７２、ＥＶＥＲＳＯＲＢ７３、ＥＶＥＲＳＯＲＢ７４、ＥＶＥＲＳＯＲＢ７５、ＥＶＥＲＳＯＲＢ７６、ＥＶＥＲＳＯＲＢ２３４、ＥＶＥＲＳＯＲＢ７７、ＥＶＥＲＳＯＲＢ７８、ＥＶＥＲＳＯＲＢ８０、ＥＶＥＲＳＯＲＢ８１（台湾永光化学工業社製）；トミソーブ（登録商標、以下同じ。）１００、トミソーブ６００（エーピーアイコーポレーション社製）；ＳＥＥＳＯＲＢ（登録商標、以下同じ。）７０１、ＳＥＥＳＯＲＢ７０２、ＳＥＥＳＯＲＢ７０３、ＳＥＥＳＯＲＢ７０４、ＳＥＥＳＯＲＢ７０６、ＳＥＥＳＯＲＢ７０７、ＳＥＥＳＯＲＢ７０９（シプロ化成社製）；ＲＵＶＡ－９３（大塚化学社製）が挙げられる。

　トリアジン系化合物としては、例えば、２－［４，６－ジ（２，４－キシリル）－１，３，５－トリアジン－２－イル］－５－オクチルオキシフェノール、２－［４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジン－２－イル］－５－［３－（ドデシルオキシ）－２－ヒドロキシプロポキシ］フェノール、２－（２，４－ジヒドロキシフェニル）－４，６－ビス（２，４－ジメチルフェニル）－１，３，５－トリアジンと２－エチルヘキシルグリシジルエーテルの反応生成物、２，４－ビス［２－ヒドロキシ－４－ブトキシフェニル］－６－（２，４－ジブトキシフェニル）－１，３－５－トリアジンが挙げられる。これらの中でも、隔壁側面の垂直性と解像性の観点から、ヒドロキシフェニルトリアジン化合物が好ましい。
　市販されているトリアジン系化合物としては、例えば、ＴＩＮＵＶＩＮ４００、ＴＩＮＵＶＩＮ４０５、ＴＩＮＵＶＩＮ４６０、ＴＩＮＵＶＩＮ４７７、ＴＩＮＵＶＩＮ４７９（ＢＡＳＦ社製）を挙げることができる。

　その他の紫外線吸収剤としては、例えば、ベンゾフェノン化合物、ベンゾエート化合物、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体、アントラセン及びその誘導体、ジナフタレン化合物、フェナントロリン化合物、染料が挙げられる。
　より具体的には、例えば、スミソーブ１３０（住友化学社製）、ＥＶＥＲＳＯＲＢ１０、ＥＶＥＲＳＯＲＢ１１、ＥＶＥＲＳＯＲＢ１２（台湾永光化学工業社製）、トミソーブ８００（エーピーアイコーポレーション社製）、ＳＥＥＳＯＲＢ１００、ＳＥＥＳＯＲＢ１０１、ＳＥＥＳＯＲＢ１０１Ｓ、ＳＥＥＳＯＲＢ１０２、ＳＥＥＳＯＲＢ１０３、ＳＥＥＳＯＲＢ１０５、ＳＥＥＳＯＲＢ１０６、ＳＥＥＳＯＲＢ１０７、ＳＥＥＳＯＲＢ１５１（シプロ化成社製）などのベンゾフェノン化合物；スミソーブ４００（住友化学社製）、サリチル酸フェニルなどのベンゾエート化合物；桂皮酸２－エチルヘキシル、パラメトキシ桂皮酸２－エチルヘキシル、メトキシケイ皮酸イソプロピル、メトキシケイ皮酸イソアミル等の桂皮酸誘導体；α－ナフトール、β－ナフトール、α－ナフトールメチルエーテル、α－ナフトールエチルエーテル、１，２－ジヒドロキシナフタレン、１，３－ジヒドロキシナフタレン、１，４－ジヒドロキシナフタレン、１，５－ジヒドロキシナフタレン、１，６－ジヒドロキシナフタレン、１，７－ジヒドロキシナフタレン、１，８－ジヒドロキシナフタレン、２，３－ジヒドロキシナフタレン、２，６－ジヒドロキシナフタレン、２，７－ジヒドロキシナフタレン等のナフタレン誘導体；アントラセン、９，１０－ジヒドロキシアントラセン等のアントラセン及びその誘導体；アゾ系染料、ベンゾフェノン系染料、アミノケトン系染料、キノリン系染料、アントラキノン系染料、ジフェニルシアノアクリレート系染料、トリアジン系染料、ｐ－アミノ安息香酸系染料等の染料；が挙げられる。これらの中でも、解像性の観点から、桂皮酸誘導体、ナフタレン誘導体を用いることが好ましく、桂皮酸誘導体を用いることが特に好ましい。これらの光吸収剤は、単独又は２種以上組み合わせて用いることができる。

　これらの中でも、テーパ形状の観点から、ベンゾトリアゾール化合物及びヒドロキシフェニルトリアジン化合物のいずれか一方又は両方が好ましく、ベンゾトリアゾール化合物が特に好ましい。

　紫外線吸収剤としては１種類の化合物を単独で用いてもよいし、２種類以上の化合物を併用してもよい。

　本発明の感光性樹脂組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、その含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、例えば、０．０１～１５質量％である。

　また、本発明の感光性樹脂組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、（ｂ）光重合開始剤に対する配合比としては、（ｂ）光重合開始剤１００質量部に対する紫外線吸収剤の配合量として、通常１質量部以上、好ましくは１０質量部以上、より好ましくは３０質量部以上、さらに好ましくは５０質量部以上であり、特に好ましくは８０質量部以上、通常５００質量部以下、好ましくは３００質量部以下、より好ましくは２００質量部以下、さらに好ましくは１００質量部以下である。
　この配合比を前記下限値以上とすることで解像性が良好となる傾向がある。この配合比を前記上限値以下とすることで密着性が高くなる傾向がある。
　本発明の感光性樹脂組成物が紫外線吸収剤を含有する場合、（ｂ）光重合開始剤１００質量部に対する紫外線吸収剤の配合量は、例えば、１～５００質量部が好ましく、１０～３００質量部がより好ましく、３０～２００質量部がさらに好ましく、５０～１００質量部がよりさらに好ましく、８０～１００質量部が特に好ましい。

［１－１－１０］重合禁止剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、重合禁止剤を含有することが好ましい。重合禁止剤を含有することでそれがラジカル重合を阻害することから、得られる隔壁のテーパ形状を整えることができる傾向がある。

　重合禁止剤としては、例えば、ハイドロキノン、ハイドロキノンモノメチルエーテル、メチルハイドロキノン、メトキシフェノール、２，６－ジ－ｔｅｒｔ－ブチル－４－クレゾール（ＢＨＴ）が挙げられる。これらの中でも重合禁止能力の観点から、ハイドロキノン、メトキシフェノールが好ましく、メチルハイドロキノンがより好ましい。
　重合禁止剤は、１種又は２種以上を含有することが好ましい。

　通常、（ａ）アルカリ可溶性樹脂を製造する際に、当該樹脂中に重合禁止剤が含まれることがあり、そのまま用いてもよいし、樹脂中に含まれる重合禁止剤の他に、それと同一、又は異なる重合禁止剤を感光性樹脂組成物製造時に添加してもよい。

　本発明の感光性樹脂組成物が重合禁止剤を含有する場合、その含有割合は特に限定されないが、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常０．０００５質量％以上、好ましくは０．００１質量％以上、より好ましくは０．０１質量％以上であり、また通常０．１質量％以下、好ましくは０．０８質量％以下、より好ましくは０．０５質量％以下である。
　この含有割合を前記下限値以上とすることで解像性が向上する傾向がある。この含有割合を前記上限値以下とすることで硬化性が向上する傾向がある。
　例えば、感光性樹脂組成物が重合禁止剤を含有する場合、感光性樹脂組成物の全固形分に対する重合禁止剤の含有割合は０．０００５質量～０．１％が好ましく、０．００１～０．０８質量％がより好ましく、０．０１～０．０５質量％がさらに好ましい。

［１－１－１１］熱重合開始剤
　さらに、本発明の感光性樹脂組成物には、熱重合開始剤が含有されていてもよい。熱重合開始剤を含有することで、塗膜の架橋度を高くできる傾向がある。
　このような熱重合開始剤の具体例としては、例えば、アゾ系化合物、有機過酸化物、過酸化水素が挙げられる。これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。

　光重合開始剤に、解像性の向上や塗膜の架橋密度の増大を期待して熱重合開始剤を併用する場合、これらの含有割合の合計が、感光性樹脂組成物中の光重合開始剤の含有割合となるようにすることが好ましい。また、光重合開始剤と熱重合開始剤との併用割合としては、残渣を低減する観点から、光重合開始剤１００質量部に対して熱重合開始剤を５～３００質量部とすることが好ましい。

［１－１－１２］アミノ化合物
　本発明の感光性樹脂組成物には、熱硬化を促進するためにアミノ化合物が含まれていてもよい。

　アミノ化合物としては、例えば、官能基としてメチロール基、それを炭素数１～８のアルコール縮合変性したアルコキシメチル基を少なくとも２個有するアミノ化合物が挙げられる。具体的には、例えば、メラミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたメラミン樹脂；ベンゾグアナミンとホルムアルデヒドとを重縮合させたベンゾグアナミン樹脂；グリコールウリルとホルムアルデヒドとを重縮合させたグリコールウリル樹脂；尿素とホルムアルデヒドとを重縮合させた尿素樹脂；メラミン、ベンゾグアナミン、グリコールウリル、または尿素などの２種以上とホルムアルデヒドとを共重縮合させた樹脂；上述の樹脂のメチロール基をアルコール縮合変性した変性樹脂が挙げられる。
　これらは１種を単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。
　アミノ化合物としては中でも、メラミン樹脂およびその変性樹脂が好ましく、メチロール基の変性割合が、７０％以上の変性樹脂がさらに好ましく、８０％以上の変性樹脂が特に好ましい。

　上記アミノ化合物の具体例として、メラミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」（登録商標、以下同じ。）３００、３０１、３０３、３５０、７３６、７３８、３７０、７７１、３２５、３２７、７０３、７０１、２６６、２６７、２８５、２３２、２３５、２３８、１１４１、２７２、２５４、２０２、１１５６、１１５８、三和ケミカル社製の「ニカラック」（登録商標、以下同じ。）ＭＷ－３９０、ＭＷ－１００ＬＭ、ＭＸ－７５０ＬＭ、ＭＷ－３０Ｍ、ＭＸ－４５、ＭＸ－３０２が挙げられる。また、上記ベンゾグアナミン樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」１１２３、１１２５、１１２８が挙げられる。また、上記グリコールウリル樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「サイメル」１１７０、１１７１、１１７４、１１７２、三和ケミカル社製の「ニカラック」ＭＸ－２７０が挙げられる。また、上記尿素樹脂およびその変性樹脂としては、例えば、サイテック社製の「ＵＦＲ」（登録商標）６５、３００、三和ケミカル社製の「ニカラック」ＭＸ－２９０が挙げられる。

　本発明の感光性樹脂組成物がアミノ化合物を含有する場合、アミノ化合物の含有割合としては、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、通常４０質量％以下、好ましくは３０質量％以下である。また、通常０．５質量％以上、好ましくは１質量％以上である。
　この含有割合を前記上限値以下とすることで保存安定性を維持できる傾向がある。この含有割合を前記下限値以上とすることで十分な熱硬化性を確保できる傾向がある。
　例えば、感光性樹脂組成物がアミノ化合物を含有する場合、感光性樹脂組成物の全固形分に対する含有割合は、０．５～４０質量％が好ましく、１～３０質量％がより好ましい。

［１－１－１３］シランカップリング剤
　本発明の感光性樹脂組成物には、基板との密着性を改善するため、シランカップリング剤を添加することも好ましい。シランカップリング剤の種類としては、エポキシ系、メタクリル系、アミノ系、イミダゾール系など種々の物が使用できるが、密着性向上の観点から、特にエポキシ系、イミダゾール系のシランカップリング剤が好ましい。
　本発明の感光性樹脂組成物がシランカップリング剤を含有する場合、その含有量は、密着性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、例えば、０．１質量％～１質量％が好ましい。

［１－１－１４］無機充填剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、さらに、硬化物としての強度の向上と共に、アルカリ可溶性樹脂との適度な相互作用（マトリックス構造の形成）による塗膜の優れた垂直性とテーパ角の向上等を目的として、無機充填剤を含有していてもよい。そのような無機充填剤としては、例えば、タルク、シリカ、アルミナ、硫酸バリウム、酸化マグネシウム、酸化チタン、或いは、これらを各種シランカップリング剤により表面処理したものなどが挙げられる。

　これら無機充填剤の平均粒子径としては、通常０．００５～２μｍ、好ましくは０．０１～１μｍである。ここで本実施の形態にいう平均粒子径とは、ベックマン・コールター社製などのレーザ回折散乱粒度分布測定装置にて測定した値である。これらの無機充填剤のうち、特に、シリカゾルおよびシリカゾル変性物は、分散安定性と共にテーパ角の向上効果に優れる傾向があるため、好ましく配合される。
　本発明の感光性樹脂組成物がこれらの無機充填剤を含む場合、その含有量は、解像性の観点から、感光性樹脂組成物の全固形分に対して、例えば、５質量％以上、８０質量％以下である。

［１－１－１５］密着性向上剤
　本発明の感光性樹脂組成物には、基板との密着性を付与する目的でリン酸系のエチレン性単量体を含有させてもよい。リン酸系のエチレン性単量体としては、（メタ）アクリロイルオキシ基含有ホスフェート類が好ましく、下記一般式（ｇ１）、（ｇ２）、（ｇ３）で表されるものが好ましい。

（式（ｇ１）、（ｇ２）及び（ｇ３）において、Ｒ⁵¹は水素原子又はメチル基を表す。ｅ及びｅ’は各々独立に１～１０の整数である。ｆは１、２又は３である。）

　これらのリン酸系エチレン性単量体は、１種類を単独で用いても、２種以上を組み合わせて使用してもよい。

　本発明の感光性樹脂組成物がこれらのリン酸系エチレン性単量体を含有する場合、その含有割合は、例えば感光性樹脂組成物の全固形分に対して０．０２～４質量％である。

［１－１－１６］溶剤
　本発明の感光性樹脂組成物は、通常溶剤を含有し、前述の各成分を溶剤に溶解または分散させた状態で使用される。その溶剤としては、特に制限は無いが、例えば、以下に記載する有機溶剤が挙げられる。

　エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、プロピレングリコール－ｔ－ブチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、３－メチル－３－メトキシブタノール、３－メトキシ－１－ブタノール、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル、トリプロピレングリコールメチルエーテルのようなグリコールモノアルキルエーテル類；
　エチレングリコールジメチルエーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコールジプロピルエーテル、ジエチレングリコールジブチルエーテル、ジプロピレングリコールジメチルエーテルのようなグリコールジアルキルエーテル類；
　エチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、エチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノブチルエーテルアセテート、３－メトキシ－１－ブチルアセテート、メトキシペンチルアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコールモノ－ｎ－ブチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、トリエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、３－メチル－３－メトキシブチルアセテートのようなグリコールアルキルエーテルアセテート類；
　エチレングリコールジアセテート、プロピレングリコールジアセテート、１，３－ブチレングリコールジアセテート、１，４－ブタンジオールジアセテート、１，６－ヘキサノールジアセテートなどのグリコールジアセテート類；
　シクロヘキサノールアセテートなどのアルキルアセテート類；
　アミルエーテル、ジエチルエーテル、ジプロピルエーテル、ジイソプロピルエーテル、ジブチルエーテル、ジアミルエーテル、エチルイソブチルエーテル、ジヘキシルエーテルのようなエーテル類；
　アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソプロピルケトン、メチルアミルケトン、メチルイソアミルケトン、ジイソプロピルケトン、ジイソブチルケトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、エチルアミルケトン、メチルブチルケトン、メチルヘキシルケトン、メチルノニルケトン、メトキシメチルペンタノンのようなケトン類；
　メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、プロピレングリコール、ブタンジオール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、メトキシメチルペンタノール、グリセリン、ベンジルアルコールのような１価又は多価アルコール類；
　ｎ－ペンタン、ｎ－オクタン、ジイソブチレン、ｎ－ヘキサン、ヘキセン、イソプレン、ジペンテン、ドデカンのような脂肪族炭化水素類；
　シクロヘキサン、メチルシクロヘキサン、メチルシクロヘキセン、ビシクロヘキシルのような脂環式炭化水素類；
　ベンゼン、トルエン、キシレン、クメンのような芳香族炭化水素類；
　アミルホルメート、エチルホルメート、酢酸エチル、酢酸プロピル、酢酸ブチル、酢酸アミル、メチルイソブチレート、エチルプロピオネート、プロピルプロピオネート、酪酸ブチル、酪酸イソブチル、イソ酪酸メチル、エチルカプリレート、安息香酸エチル、３－エトキシプロピオン酸メチル、３－エトキシプロピオン酸エチル、３－メトキシプロピオン酸メチル、３－メトキシプロピオン酸エチル、３－メトキシプロピオン酸プロピル、３－メトキシプロピオン酸ブチル、γ－ブチロラクトンのような鎖状又は環状エステル類；
　３－メトキシプロピオン酸、３－エトキシプロピオン酸のようなアルコキシカルボン酸類；
　ブチルクロライド、アミルクロライドのようなハロゲン化炭化水素類；
　メトキシメチルペンタノンのようなエーテルケトン類；
　アセトニトリル、ベンゾニトリルのようなニトリル類；
　テトラヒドロフラン、ジメチルテトラヒドロフラン、ジメトキシテトラヒドロフランのようなテトラヒドロフラン類：

　上記に該当する市販の溶剤としては、例えば、ミネラルスピリット、バルソル＃２、アプコ＃１８ソルベント、アプコシンナー、ソーカルソルベントＮｏ．１およびＮｏ．２、ソルベッソ＃１５０、シェルＴＳ２８　ソルベント、カルビトール、エチルカルビトール、ブチルカルビトール、メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、エチルセロソルブアセテート、メチルセロソルブアセテート、ジグライム（いずれも商品名）が挙げられる。

　上記溶剤は、感光性樹脂組成物中の各成分を溶解または分散させることができるもので、本発明の感光性樹脂組成物の使用方法に応じて選択されるが、塗布性の観点から、大気圧下における沸点が６０～２８０℃の範囲のものを選択することが好ましい。より好ましくは７０℃以上、２６０℃以下の沸点をもつものであり、例えば、プロピレングリコールモノメチルエーテル、３－メトキシ－１－ブタノール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、３－メトキシ－１－ブチルアセテートが好ましい。

　これらの溶剤は１種を単独でもしくは２種以上を混合して使用することができる。

　これらの溶剤は、感光性樹脂組成物の全固形分の割合が、通常１質量％以上、好ましくは５質量％以上、より好ましくは７質量％以上、さらに好ましくは１０質量％以上、通常９０質量％以下、好ましくは５０質量％以下、より好ましくは４５質量％以下、さらに好ましくは４０質量％以下となるように使用されることが好ましい。
　感光性樹脂組成物の全固形分を前記下限値以上とすることで塗布ムラの発生を抑制できる傾向がある。感光性樹脂組成物の全固形分を前記上限値以下とすることで異物、ハジキ等の発生を抑制できる傾向がある。
　例えば、溶剤は、感光性樹脂組成物の全固形分の割合が、好ましくは１～９０質量％、より好ましくは５～５０質量％、さらに好ましくは７～４５質量％、特に好ましくは１０～４０質量％となるように使用されることが好ましい。

［１－２］感光性樹脂組成物の調製方法
　本発明の感光性樹脂組成物は、上記の各成分を撹拌機で混合することにより調製される。
　例えば、（ｄ）着色剤として顔料等の溶剤不溶成分を含む場合には、予めペイントコンディショナー、サンドグラインダー、ボールミル、ロールミル、ストーンミル、ジェットミル、ホモジナイザー等を用いて分散処理することが好ましい。分散処理により（ｄ）着色剤が微粒子化されるため、感光性樹脂組成物の塗布特性が向上する。

　分散処理は、通常、（ｄ）着色剤、溶剤、及び分散剤に加えて分散助剤並びに（ａ）アルカリ可溶性樹脂の一部又は全部を併用した系にて行うことが好ましい（以下、分散処理に供する混合物、及び該処理にて得られた組成物を「インク」又は「顔料分散液」と称することがある）。特に分散剤として高分子分散剤を用いると、得られたインク及び感光性樹脂組成物の経時の増粘が抑制される（分散安定性に優れる）ので好ましい。
　このように、感光性樹脂組成物を製造する工程において、（ｄ）着色剤、溶剤、及び分散剤を少なくとも含有する顔料分散液を製造することが好ましい。
　顔料分散液に用いることができる（ｄ）着色剤、溶剤、及び分散剤としては、それぞれ感光性樹脂組成物に用いることができるものとして記載したものを好ましく採用することができる。また、顔料分散液における（ｄ）着色剤の各着色剤の含有割合としても、感光性樹脂組成物における含有割合として記載したものを好ましく採用することができる。

　サンドグラインダーで（ｄ）着色剤を分散させる場合には、０．１～８ｍｍ程度の粒子径のガラスビーズ又はジルコニアビーズが好ましく用いられる。分散処理条件は、温度は通常０℃から１００℃であり、好ましくは室温から８０℃の範囲である。分散時間は液の組成及び分散処理装置のサイズ等により適正時間が異なるため適宜調節する。感光性樹脂組成物の２０度鏡面光沢度（ＪＩＳ　Ｚ８７４１）が５０～３００の範囲となるように、インキの光沢を制御することが分散の目安である。

　また、インク中に分散した顔料の分散粒径は通常０．０３～０．３μｍであり、動的光散乱法等により測定される。
　動的光散乱（ＤＬＳ）による分散粒径測定は、十分に希釈されたインク（通常は希釈して、顔料濃度０．００５～０．２質量％程度に調製する。但し、測定機器により推奨された濃度があれば、その濃度に従う。）に対して行い、２５℃にて測定する。

　上記分散処理後は、得られたインクと、感光性樹脂組成物中に含まれる、上記以外の他の成分を混合し、均一な溶液とする。感光性樹脂組成物の製造工程においては、微細なゴミが液中に混じることがあるため、得られた感光性樹脂組成物はフィルター等により濾過処理することが望ましい。

［２］硬化物、隔壁及びその形成方法
　本発明の感光性樹脂組成物を硬化させることで、本発明の硬化物を得ることができる。

　例えば、本発明の硬化物の形成方法に従って、（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合開始剤及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物を含有し、前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物がアルキレンオキサイド基を有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１’）、好ましくは前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１）を含有する感光性樹脂組成物を用い、少なくとも下記工程（１）～工程（４）を行うことで硬化物を形成することができる。
工程（１）：前記感光性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程。
工程（２）：工程（１）で形成した塗膜の少なくとも一部を露光する工程。
工程（３）：工程（２）で露光された塗膜を現像する工程。
工程（４）：工程（３）で現像された塗膜を不活性雰囲気下で焼成する工程。

　また、本発明の感光性樹脂組成物は隔壁を形成するために用いることができ、特に有機電界発光素子の有機層を区画するための隔壁を形成するために好適に用いることができる。
　すなわち、本発明の硬化物により隔壁が形成されることになり、本発明の感光性樹脂組成物自体が隔壁材となる。

　以上説明した感光性樹脂組成物を用いて隔壁を形成する方法は特に限定されず、従来公知の方法を採用することができる。
　隔壁の形成方法としては、例えば、感光性樹脂組成物を、基板上に塗布し、感光性樹脂組成物層を形成する塗布工程（工程（１））と、感光性樹脂組成物層を露光する露光工程（工程（２））と、を含む方法が挙げられる。このようなバンクの形成方法の具体例としては、インクジェット法とフォトリソグラフィー法とが挙げられる。

　インクジェット法では、溶剤による希釈等により粘度調整された感光性樹脂組成物をインクとして用い、所定の隔壁のパターンに沿ってインクジェット法によりインク液滴を基板上に吐出することで感光性樹脂組成物を基板上に塗布して未硬化の隔壁のパターンを形成する。そして、未硬化の隔壁のパターンを露光して、基板上に硬化した隔壁を形成する。未硬化の隔壁のパターンの露光は、マスクを用いないことの他は、後述するフォトリソグラフィー法における露光工程と同様に行われる。

　フォトリソグラフィー法では、感光性樹脂組成物を、基板の隔壁が形成される領域全面に塗布して感光性樹脂組成物層を形成する。形成された感光性樹脂組成物層を、所定の隔壁のパターンに応じて露光した後、露光された感光性樹脂組成物層を現像して、基板上に隔壁が形成される。

　フォトリソグラフィー法における、感光性樹脂組成物を基板上に塗布する塗布工程では、隔壁が形成されるべき基板上に、ロールコーター、リバースコーター、バーコーター等の接触転写型塗布装置やスピンナー（回転式塗布装置）、カーテンフローコーター等の非接触型塗布装置を用いて感光性樹脂組成物を塗布し、必要に応じて、乾燥により溶媒を除去して、感光性樹脂組成物層を形成する。

　次いで、露光工程では、ネガ型のマスクを利用して、感光性樹脂組成物に紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射し、感光性樹脂組成物層をバンクのパターンに応じて部分的に露光する。露光には、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、キセノンランプ、カーボンアーク灯等の紫外線を発する光源を用いることができる。露光量は感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば１０～４００ｍＪ／ｃｍ²程度が好ましい。

　次いで、現像工程（工程（３））では、隔壁のパターンに応じて露光された感光性樹脂組成物層を現像液で現像することにより隔壁を形成する。現像方法は特に限定されず、浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液の具体例としては、ジメチルベンジルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、４級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。又、現像液には、消泡剤や界面活性剤を添加することもできる。

　その後、現像後の隔壁にポストベークを施して加熱硬化する（工程（４））。ポストベークは、１５０～２５０℃で１５～６０分間が好ましい。また、ポストベークは通常空気中で行われるが、基板上に形成された電極や、隔壁以外の層がある場合、これらへの高温下での酸化ダメージを低減する目的で、窒素雰囲気等の不活性雰囲気下ないしは真空下でポストベークを行うことが好ましい。

　隔壁の形成に用いる基板は特に限定されず、例えば隔壁が形成された基板を用いて製造される有機電界発光素子の種類に合わせて適宜選択される。
　好適な基板の材料としては、ガラスや、各種の樹脂材料が挙げられる。樹脂材料の具体例としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート等のポリエステル；ポリエチレン、及びポリプロピレン等のポリオレフィン；ポリカーボネート；ポリ（メタ）メタアクリル樹脂；ポリスルホン；ポリイミドが挙げられる。これらの基板の材料の中では、耐熱性に優れることからガラス、ポリイミドが好ましい。また、製造される有機電界発光素子の種類に応じて、隔壁が形成される基板の表面には、予めＩＴＯやＺｎＯ等の透明電極層を設けておいてもよい。

　本発明の隔壁の膜厚は通常０．１μｍ以上であり、好ましくは０．５μｍ以上、より好ましくは１μｍ以上、さらに好ましくは１．５μｍ以上、通常１０μｍ以下、好ましくは８μｍ以下、より好ましくは４μｍ以下、さらに好ましくは３μｍ以下、特に好ましくは２μｍ以下である。
　隔壁の膜厚を前記下限値以上とすることで遮光性が向上する傾向がある。隔壁の膜厚を前記上限値以下とすることで密着性が向上する傾向がある。
　隔壁の膜厚は段差・表面粗さ・微細形状測定装置、走査型白色干渉顕微鏡、エリプソメーター、反射分光膜厚計、電子顕微鏡で測定される。

［３］画像表示装置
　本発明の画像表示装置は、本発明の隔壁を含む。
　画像表示装置としては、画像や映像を表示する装置であれば特に限定は受けないが、液晶表示装置や有機ＥＬ表示装置等が挙げられる。
　例えば、「有機ＥＬディスプレイ」（オーム社、平成１６年８月２０日発行、時任静士、安達千波矢、村田英幸著）に記載されているような方法で、本発明の画像表示装置を形成することができる。白色光を発光する有機電界発光素子とカラーフィルターとを組み合わせて画像表示させてもよいし、ＲＧＢ等の発光色の異なる有機電界発光素子を組み合わせて画像表示させてもよい。

　次に、合成例、実施例及び比較例を挙げて本発明をより具体的に説明する。本発明はその要旨を超えない限り以下の実施例に限定されるものではない。

［合成例］
　以下の実施例及び比較例で用いた感光性樹脂組成物の構成成分は以下の方法で合成した。

＜合成例１：アルカリ可溶性樹脂－Ｉ＞
　ＤＩＣ社製ＥＰＩＣＬＯＮ　ＨＰ７２００ＨＨ（ジシクロペンタジエン・フェノール重合物のポリグリシジルエーテル、重量平均分子量１０００、エポキシ当量２７０）１５５質量部、メタクリル酸４９質量部、ｐ－メトキシフェノール０．１質量部、トリフェニルホスフィン２．５質量部、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート２８０質量部を反応容器に仕込み、１００℃で酸価が３．０ｍｇＫＯＨ／ｇ以下になるまで加熱撹拌をした。酸価が目標に達するまで９時間を要した（酸価２．９ｍｇＫＯＨ／ｇ）。次いでさらにテトラヒドロ無水フタル酸７７ｇを添加し、１２０℃で４時間反応させ、酸価１００ｍｇＫＯＨ／ｇ、重量平均分子量３５００のアルカリ可溶性樹脂－Ｉを得た。
　アルカリ可溶性樹脂－Ｉは、カルド骨格を有する樹脂には該当しない。

＜合成例２：アルカリ可溶性樹脂－ＩＩ＞

　上記構造式で表されるエポキシ化合物（エポキシ当量２３０）２３０質量部、アクリル酸７２質量部、メトキシブチルアセテート３００質量部、トリフェニルホスフィン５質量部、及びパラメトキシフェノール０．１３質量部を、温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら９０℃で酸価が５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下になるまで１５時間反応させた。
　次いで、ビフェニルテトラカルボン酸２無水物（ＢＰＤＡ）８２．４質量部、テトラヒドロフタル酸無水物（ＴＨＰＡ）３０．４質量部、及びメトキシブチルアセテート１２０質量部を入れ、攪拌しながら１０５℃までゆっくり昇温し反応させ、酸価１１０ｍｇＫＯＨ／ｇ、ＧＰＣで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）５２００であるアルカリ可溶性樹脂－ＩＩを得た。
　アルカリ可溶性樹脂－ＩＩはカルド骨格を有し、前記式（ａ１－０）で表される部分構造を有する。

＜合成例３：アルカリ可溶性樹脂－ＩＩＩ＞

　上記構造式で表されるエポキシ化合物（エポキシ当量２６４）５０ｇ、アクリル酸１３．６５ｇ、メトキシブチルアセテート６０．５ｇ、トリフェニルホスフィン０．９３６ｇ、及びパラメトキシフェノール０．０３２ｇを、温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら９０℃で酸価が５ｍｇＫＯＨ／ｇ以下になるまで反応させた。反応には１２時間を要し、エポキシアクリレート溶液を得た。
　上記エポキシアクリレート溶液２５質量部及び、トリメチロールプロパン（ＴＭＰ）０．７４質量部、ビフェニルテトラカルボン酸２無水物（ＢＰＤＡ）３．９５質量部、テトラヒドロフタル酸無水物（ＴＨＰＡ）２．７質量部を、温度計、攪拌機、冷却管を取り付けたフラスコに入れ、攪拌しながら１０５℃までゆっくり昇温し反応させた。
　樹脂溶液が透明になったところで、メトキシブチルアセテートで希釈し、固形分５０質量％となるよう調製し、酸価１１２ｍｇＫＯＨ／ｇ、ＧＰＣで測定したポリスチレン換算の重量平均分子量（Ｍｗ）４１００のアルカリ可溶性樹脂－ＩＩＩを得た。
　アルカリ可溶性樹脂－ＩＩＩはカルド骨格を有さず、前記式（ａ１－０）で表される部分構造を有さない。

＜合成例４：光重合開始剤－Ｉ＞
（ジケトン体）
　エチルカルバゾール（５ｇ、２５．６１ｍｍｏｌ）とｏ－ナフトイルクロリド（５．１３ｇ、２６．８９ｍｍｏｌ）を３０ｍｌのジクロロメタンに溶解し、氷水バスにて２℃に冷却して攪拌し、ＡｌＣｌ_３（３．４１ｇ、２５．６１ｍｍｏｌ）を添加した。さらに室温にて３時間攪拌後、反応液にクロトノイルクロリド（２．８１ｇ、２６．８９ｍｍｏｌ）の１５ｍｌジクロロメタン溶液を加え、ＡｌＣｌ₃（４．１ｇ、３０．７３ｍｍｏｌ）を添加し、さらに１時間３０分攪拌した。反応液を氷水２００ｍｌにあけ、ジクロロメタン２００ｍｌを添加し有機層を分液した。回収した有機層を無水硫酸マグネシウムで乾燥後、減圧下濃縮し、白色固体（１０ｇ）のジケトン体を得た。

（オキシム体）
　ジケトン体（３．００ｇ、７．１９ｍｍｏｌ）、ＮＨ₂ＯＨ・ＨＣｌ（１．０９ｇ、１５．８１ｍｍｏｌ）、及び酢酸ナトリウム（１．２３ｇ、１５．０８ｍｍｏｌ）を溶剤としてイソプロパノール３０ｍｌを用いて、３時間還流した。
　反応終了後、反応液を濃縮し、得られた残渣に酢酸エチル３０ｍｌを加え、飽和炭酸水素ナトリウム水溶液３０ｍｌ、飽和食塩水３０ｍｌで洗浄した後、無水硫酸マグネシウムで乾燥した。ろ過後、有機層を減圧下濃縮し、固体１．８２ｇを得た。これをカラムクロマトグラフィーで精製し、淡黄色固体２．２２ｇのオキシム体を得た。

（オキシムエステル体）
　オキシム体（２．２２ｇ、４．７７ｍｍｏｌ）とアセチルクロリド（１．３４ｇ、１７．０ｍｍｏｌ）をジクロロメタン２０ｍｌに加えて２℃まで氷冷し、トリエチルアミン（１．７７ｇ、１７．５ｍｍｏｌ）を滴下して、そのまま１時間反応した。薄層クロマトグラフィーにより原料の消失を確認した後、水を加えて反応を停止した。反応液を飽和炭酸水素ナトリウム水溶液５ｍｌで２回、飽和食塩水５ｍｌで２回洗浄した後、無水硫酸ナトリウムで乾燥した。濾過後、有機層を減圧下濃縮し、得られた残渣をカラムクロマトグラフィー（酢酸エチル／ヘキサン＝２／１）で精製して、０．７９ｇの淡黄色固体の光重合開始剤－Ｉ（オキシムエステル体）を得た。

　光重合開始剤－Ｉの構造は以下の通りである。

［感光性樹脂組成物の構成成分］
　以下の実施例及び比較例で用いた感光性樹脂組成物の構成成分は次の通りである。

＜着色剤＞
　有機黒色顔料、ＢＡＳＦ社製、Ｉｒｇａｐｈｏｒ（登録商標）　Ｂｌａｃｋ　Ｓ　０１００　ＣＦ（前記化合物（２）に該当する。）

＜分散剤－Ｉ＞
　側鎖に４級アンモニウム塩基及び３級アミノ基を有するＡブロックと、４級アンモニウム塩基及び３級アミノ基を有さないＢブロックからなる、アクリル系Ａ－Ｂブロック共重合体。
　アミン価：７０ｍｇＫＯＨ／ｇ
　酸価：１ｍｇＫＯＨ／ｇ以下
　分散剤－ＩのＡブロック中には、下記式（１ａ）及び（２ａ）の繰り返し単位が含まれ、Ｂブロック中には下記式（３ａ）の繰り返し単位が含まれる。分散剤－Ｉの全繰り返し単位に占める下記式（１ａ）、（２ａ）、及び（３ａ）の繰り返し単位の含有割合はそれぞれ１１．１モル％、２２．２モル％、６．７モル％である。

＜溶剤＞
　ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート
　ＭＢ：３－メトキシ－１－ブタノール

＜アルカリ可溶性樹脂＞
　アルカリ可溶性樹脂－Ｉ：合成例１に記載の樹脂
　アルカリ可溶性樹脂－ＩＩ：合成例２に記載の樹脂
　アルカリ可溶性樹脂－ＩＩＩ：合成例３に記載の樹脂

＜エチレン性不飽和化合物＞
　ＤＰＥＡ－１２：日本化薬社製「ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＥＡ－１２」（多官能アクリレート）。エチレン性不飽和化合物（ｃ１）に該当する。
　ＡＴＭ－４Ｅ：新中村化学工業社製「ＮＫエステル　ＡＴＭ－４Ｅ」（多官能アクリレート）。エチレン性不飽和化合物（ｃ１）に該当する。
　Ａ－９５５０：新中村化学工業社製「Ａ－９５５０」（多官能アクリレート）。エチレン性不飽和化合物（ｃ１）に該当しない。
　ＤＰＨＡ－４０Ｈ：日本化薬社製「ＫＡＹＡＲＡＤ　ＤＰＨＡ－４０Ｈ」（多官能アクリレート）。エチレン性不飽和化合物（ｃ１）に該当しない。
　ＴＭＰ－Ａ：共栄社化学社製「ライトアクリレート　ＴＭＰ－Ａ」（多官能アクリレート）。エチレン性不飽和化合物（ｃ１）に該当しない。

＜光重合開始剤＞
　光重合開始剤－Ｉ：合成例４に記載の光重合開始剤
　光重合開始剤－ＩＩ：以下の化学構造を有するオキシムエステル系化合物

＜界面活性剤＞
　ＢＹＫ－３３０：ビックケミー社製　「ＢＹＫ－３３０」（シリコーン系界面活性剤）

［顔料分散液１の調製］
　混合液中の配合割合が、質量比で有機黒色顔料が１００質量部、分散剤－Ｉが２４．１質量部、アルカリ可溶性樹脂－Ｉが５０質量部、ＰＧＭＥＡが５５７質量部、ＭＢが１３９質量部となるように混合して混合液を得た。なお溶剤の配合割合には、分散剤及びアルカリ可溶性樹脂由来の溶剤の量も含まれる。
　この混合液をペイントシェーカーにより２５～４５℃の範囲で３時間分散処理を行った。ビーズとしては、０．５ｍｍφのジルコニアビーズを用い、分散液の２．５倍の質量を加えた。分散終了後、フィルターによりビーズと分散液を分離して、顔料分散液１を調製した。

［実施例１～７、比較例１～６］
＜感光性樹脂組成物の調製＞
　上記調製した顔料分散液１を用いて、全固形分に対する各成分の固形分の比率が表１Ａ，１Ｂの配合割合となるように各成分を加え、さらに全固形分の含有割合が１７質量％となり、さらには溶剤中の比率がＰＧＭＥＡ／ＭＢが８０／２０質量％となるようにＰＧＭＥＡとＭＢを加え、攪拌、溶解させて、感光性樹脂組成物である組成物１～１３を調製した。
　組成物１～１３について、後述する方法で評価を行った。

＜テーパ角評価用基板の作製と現像時の溶解時間の評価＞
　ガラス基板上の全面に膜厚８ｎｍのＩＴＯ、膜厚１２０ｎｍの銀、膜厚１０ｎｍのＩＴＯがこの順で蒸着された電極基板の上に、感光性樹脂組成物を加熱硬化後の膜厚が１．５μｍとなるようにスピンコーターにて塗布し、１分間減圧乾燥した後に、ホットプレートで１００℃にて１２０秒間乾燥した。得られた塗膜に、格子状の開口部を有するマスクを使用し、３６５ｎｍでの強度が５００ｍＷ／ｃｍ^２である紫外線を用いて、露光量が１００ｍＪ／ｃｍ²となるよう露光処理を施した。
　続いて、２．３８質量％のＴＭＡＨ（水酸化テトラメチルアンモニウム）水溶液よりからなる現像液を用い、２４℃において水圧０．０５ＭＰａのシャワー現像した後、純水にて現像を停止し、水洗スプレーにて洗浄した。このとき、未露光部の塗膜が溶解除去される時間を溶解時間とし、シャワー現像時間は溶解時間の２倍とした。現像時の溶解時間を表１Ａ，１Ｂに示す。
　その後、当該基板を真空減圧したオーブン中、２３０℃で３０分間加熱硬化（キュア）させることで格子状の隔壁とし、テーパ角評価用基板を得た。
　窒素雰囲気下などの不活性雰囲気下又は真空下で焼成することにより、テーパ角が垂直化してしまう理由を以下のように考察する。
　通常焼成開始後、開始剤が活性状態となり不飽和結合と反応して架橋が進行していくが、大気中等、酸素含有雰囲気下で焼成した場合は、同時に酸素などのラジカルの働きを阻害する成分が多く存在しているため、その反応進行が、熱による樹脂のメルトフローと時間的に拮抗しながら進行する。
　しかし、不活性雰囲気下又は真空下で焼成した場合は、膜の硬化阻害を引き起こす酸素などの存在が極めて少ないため、大気等の酸素含有雰囲気下と比較すると加熱による膜のメルトフローが発生するよりも早期に膜の硬化が進行してしまうことが考えられる。
　このことから、同一の感光性樹脂組成物を同一の温度・時間条件で焼成した場合でも、不活性雰囲気下又は真空下で焼成した場合の方がテーパ角が垂直化する傾向がみられる。これが本発明の課題の原因と考察される。

＜隔壁のテーパ角の評価＞
　得られたテーパ角評価用基板を厚さ方向に切断して断面観察用のサンプルを作製し、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ、キーエンス社製）を用いて断面形状を観察し、隔壁のテーパ角を測定した。
　即ち、テーパ角評価用基板を切断すると、図１の通り、ガラス基板３のＩＴＯ膜２上に形成された隔壁１の側面はなだらかなテーパ形状を示す。この隔壁１の側面において、隔壁１とＩＴＯ膜２との境界面Ｓと、境界面Ｓと接する斜辺の接線Ｔとの交差角を隔壁１のテーパ角として測定した。Ｈは隔壁１の高さであり、Ｈ＝１．５μｍである。
　テーパ角の測定結果を表１Ａ，１Ｂに示す。

　表１Ａ，１Ｂ中、「アルカリ可溶性樹脂／エチレン性不飽和化合物」は、感光性樹脂組成物中の（ａ）アルカリ可溶性樹脂と（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）である。
　「二重結合当量」は、（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有量（質量）をそれぞれのエチレン性不飽和結合のモル数で除した数値の加重平均値で、即ち、（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物の合計二重結合当量である。

　表１Ａ，１Ｂに示した比較例２～５から明らかなように、テーパ角度を低減させるためには、（ｃ）エチレン性不飽和化合物に対する（ａ）アルカリ可溶性樹脂の質量比を大きくすることが有効であるが、一方で溶解時間が長くなるという問題がある。これは、（ａ）アルカリ可溶性樹脂の分子量が（ｃ）エチレン性不飽和化合物よりも大きいため、現像液に対して溶解しにくいからである。

　実施例１、２及び比較例１の比較から明らかなように、（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物の質量比が大きい場合でも、アルキレンオキサイド基を含むエチレン性不飽和化合物（ｃ１）を用いることで、溶解時間が短く、テーパ角の小さい硬化物を形成可能であることがわかる。

　（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物の質量比が大きい場合、感光性樹脂組成物中の（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有量は少なく、その影響は小さい。
　しかし、実施例１、２においては、エチレン性不飽和化合物（ｃ１）のアルキレンオキサイド基に含まれる酸素原子が親水性であることから、現像液に対する親和性が高まり、溶解時間が短くなったと考えられる。さらに、アルキレンオキサイド基に含まれる酸素原子が（ａ）アルカリ可溶性樹脂のヒドロキシ基やカルボキシ基と水素結合することによって、エチレン性不飽和化合物（ｃ１）と（ａ）アルカリ可溶性樹脂とが複合体を形成し、（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有量が少量であっても溶解時間を短くする効果があったと考えられる。

　本発明を特定の態様を用いて詳細に説明したが、本発明の意図と範囲を離れることなく様々な変更が可能であることは当業者に明らかである。
　本出願は、２０２２年６月２２日付で出願された日本特許出願２０２２－１０００２０に基づいており、その全体が引用により援用される。

　１：隔壁
　２：ＩＴＯ膜
　３：ガラス基板
　Ｔ：境界面Ｓと接する斜辺の接線
　Ｈ：隔壁の高さ
　Ｓ：隔壁とＩＴＯ膜との境界面

Claims

　（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合開始剤及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物を含有する感光性樹脂組成物であって、
　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）が５以上であり、
　前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物が、アルキレンオキサイド基を有し、かつエチレン性不飽和基を３個以上有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
　（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合開始剤及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物を含有する感光性樹脂組成物であって、
　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物の含有量（質量）をそれぞれのエチレン性不飽和結合のモル数で除した数値の加重平均値である、前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物の合計二重結合当量が３５０ｇ／ｍｏｌ以上であり、
　前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物が、アルキレンオキサイド基を有し、かつエチレン性不飽和基を３個以上有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１）を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物の合計二重結合当量が３８０ｇ／ｍｏｌ以上である、請求項２に記載の感光性樹脂組成物。
　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂及び前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物の合計二重結合当量が４１０ｇ／ｍｏｌ以上である、請求項３に記載の感光性樹脂組成物。
　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）が６以上である、請求項１に記載の感光性樹脂組成物。
　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）が８以上である、請求項５に記載の感光性樹脂組成物。
　前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物における前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１）の含有割合が、５０質量％以上である、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１）が、側鎖にアルキレンオキサイド基を有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１）が、アルキレンオキサイド変性されたエチレン性不飽和基を３個以上有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１）が下記一般式（ｃ１－１－１）で表される化合物（ｃ１－１）を含有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。

（式（ｃ１－１－１）中のＸは下記一般式（ｃ１－１－２）で表される。Ｘは各々異なっていても、同一であってもよい。Ｙはメチル基又は下記一般式（ｃ１－１－４）で表される。）

（式（ｃ１－１－２）中のＲ^１は炭素数２～４のアルキレン基を表す。ａは１～９の整数を表す。ａが２以上の場合、複数のＲ^１は、各々異なっていても、同一であってもよい。Ｒ^２は下記一般式（ｃ１－１－３）で表される。＊は結合手を表す。）

（式（ｃ１－１－３）中のＲ^３は水素原子又はメチル基を表す。＊は結合手を表す。）

（式（ｃ１－１－４）中のｍは０又は１である。＊は結合手を表す。Ｘは上記一般式（ｃ１－１－２）で表され、Ｘは各々異なっていても、同一であってもよい。）
　前記式（ｃ１－１－２）中のａが２～９の整数を表す、請求項１０に記載の感光性樹脂組成物。
　前記式（ｃ１－１－１）中のＹが前記式（ｃ１－１－４）で表され、かつ前記式（ｃ１－１－４）中のｍが１である、請求項１０に記載の感光性樹脂組成物。
　前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂が、カルド骨格を有するアルカリ可溶性樹脂（ａ１）を含有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
　前記アルカリ可溶性樹脂（ａ１）が、下記一般式（ａ１－０）で表される部分構造を有する、請求項１３に記載の感光性樹脂組成物。

（式（ａ１－０）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。Ｑは、Ｏ、Ｓ、ＣＯ、又は直接結合を示す。＊は結合手を表す。）
　前記アルカリ可溶性樹脂（ａ１）が、下記一般式（ａ１－１）で表される部分構造を有する、請求項１４に記載の感光性樹脂組成物。

（式（ａ１－１）中のベンゼン環は、さらに任意の置換基により置換されていてもよい。Ｒ^９は各々独立に、水素原子又はメチル基を表す。Ｑは、Ｏ、Ｓ、ＣＯ、又は直接結合を示す。ｎは０～４の整数を表す。複数のＱは、各々異なっていても、同一であってもよい。＊は結合手を表す。）
　さらに（ｄ）着色剤を含有する、請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物。
　前記（ｄ）着色剤が、有機黒色顔料を含有する、請求項１６に記載の感光性樹脂組成物。
　前記有機黒色顔料が、下記一般式（ｄ１）で表される化合物、前記化合物の幾何異性体、前記化合物の塩、及び前記化合物の幾何異性体の塩からなる群から選ばれる少なくとも１種を含む、請求項１７に記載の感光性樹脂組成物。

（式（ｄ１）中、Ｒ¹¹及びＲ¹⁶は各々独立に、水素原子、ＣＨ₃、ＣＦ₃、フッ素原子又は塩素原子を表す。
　Ｒ¹²、Ｒ¹³、Ｒ¹⁴、Ｒ¹⁵、Ｒ¹⁷、Ｒ¹⁸、Ｒ¹⁹及びＲ²⁰は各々独立に、水素原子、ハロゲン原子、Ｒ²¹、ＣＯＯＨ、ＣＯＯＲ²¹、ＣＯＯ^-、ＣＯＮＨ₂、ＣＯＮＨＲ²¹、ＣＯＮＲ²¹Ｒ²²、ＣＮ、ＯＨ、ＯＲ²¹、ＣＯＣＲ²¹、ＯＯＣＮＨ₂、ＯＯＣＮＨＲ²¹、ＯＯＣＮＲ²¹Ｒ²²、ＮＯ₂、ＮＨ₂、ＮＨＲ²¹、ＮＲ²¹Ｒ²²、ＮＨＣＯＲ²²、ＮＲ²¹ＣＯＲ²²、Ｎ＝ＣＨ₂、Ｎ＝ＣＨＲ²¹、Ｎ＝ＣＲ²¹Ｒ²²、ＳＨ、ＳＲ²¹、ＳＯＲ²¹、ＳＯ₂Ｒ²¹、ＳＯ₃Ｒ²¹、ＳＯ₃Ｈ、ＳＯ₃ ^-、ＳＯ₂ＮＨ₂、ＳＯ₂ＮＨＲ²¹又はＳＯ₂ＮＲ²¹Ｒ²²を表す。
　Ｒ¹²とＲ¹³、Ｒ¹³とＲ¹⁴、Ｒ¹⁴とＲ¹⁵、Ｒ¹⁷とＲ¹⁸、Ｒ¹⁸とＲ¹⁹、及びＲ¹⁹とＲ²⁰からなる群から選ばれる少なくとも１つの組み合わせは、互いに直接結合してもよく、又は酸素原子、硫黄原子、ＮＨ若しくはＮＲ²¹ブリッジを介して互いに結合してもよい。
　Ｒ²¹及びＲ²²は各々独立に、炭素数１～１２のアルキル基、炭素数３～１２のシクロアルキル基、炭素数２～１２のアルケニル基、炭素数３～１２のシクロアルケニル基又は炭素数２～１２のアルキニル基を表す。）
　請求項１又は２に記載の感光性樹脂組成物を硬化して得られる硬化物。
　請求項１９に記載の硬化物から形成される隔壁。
　請求項２０に記載の隔壁を備える画像表示装置。
　（ａ）アルカリ可溶性樹脂、（ｂ）光重合開始剤及び（ｃ）エチレン性不飽和化合物を含有し、前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物がアルキレンオキサイド基を有するエチレン性不飽和化合物（ｃ１’）を含有する感光性樹脂組成物を用い、少なくとも下記工程（１）～工程（４）を行うことを特徴とする硬化物の形成方法。
工程（１）：前記感光性樹脂組成物の塗膜を基板上に形成する工程。
工程（２）：工程（１）で形成した塗膜の少なくとも一部を露光する工程。
工程（３）：工程（２）で露光された塗膜を現像する工程。
工程（４）：工程（３）で現像された塗膜を不活性雰囲気下で焼成する工程。
　前記工程（４）が、不活性雰囲気下又は真空下で、前記工程（３）で現像された塗膜を焼成する工程である、請求項２２に記載の硬化物の形成方法。
　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１’）がエチレン性不飽和基を３個以上有する、請求項２２に記載の硬化物の形成方法。
　前記感光性樹脂組成物中の前記（ａ）アルカリ可溶性樹脂と前記（ｃ）エチレン性不飽和化合物との質量比（（ａ）アルカリ可溶性樹脂／（ｃ）エチレン性不飽和化合物）が５以上である、請求項２２に記載の硬化物の形成方法。
　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１’）が、側鎖にアルキレンオキサイド基を有する、請求項２２に記載の硬化物の形成方法。
　前記エチレン性不飽和化合物（ｃ１’）が、アルキレンオキサイド変性されたエチレン性不飽和基を３個以上有する、請求項２２に記載の硬化物の形成方法。