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WO2023032265A1 - チタン合金、及びチタン合金の製造方法 - Google Patents

チタン合金、及びチタン合金の製造方法 Download PDF

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Publication number
WO2023032265A1
WO2023032265A1 PCT/JP2022/008831 JP2022008831W WO2023032265A1 WO 2023032265 A1 WO2023032265 A1 WO 2023032265A1 JP 2022008831 W JP2022008831 W JP 2022008831W WO 2023032265 A1 WO2023032265 A1 WO 2023032265A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
titanium alloy
phase
titanium
strain
stress
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2022/008831
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
敬純 久保
真洋 新澤
勇貴 木村
真幸 新井
史也 中崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Piston Ring Co Ltd
Original Assignee
Nippon Piston Ring Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Piston Ring Co Ltd filed Critical Nippon Piston Ring Co Ltd
Priority to JP2023545024A priority Critical patent/JPWO2023032265A1/ja
Priority to CN202280059008.8A priority patent/CN117881806A/zh
Publication of WO2023032265A1 publication Critical patent/WO2023032265A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C14/00—Alloys based on titanium
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22F—CHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22F—CHANGING THE PHYSICAL STRUCTURE OF NON-FERROUS METALS AND NON-FERROUS ALLOYS
    • C22F1/00—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working
    • C22F1/16—Changing the physical structure of non-ferrous metals or alloys by heat treatment or by hot or cold working of other metals or alloys based thereon
    • C22F1/18—High-melting or refractory metals or alloys based thereon
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P10/00—Technologies related to metal processing
    • Y02P10/25—Process efficiency

Definitions

  • the present invention relates to a titanium alloy and a method for producing a titanium alloy.
  • titanium alloys containing tantalum and tin have been proposed as titanium alloys (see, for example, Japanese Patent No. 5855588).
  • the titanium alloy is cold-worked and then heat-treated at a predetermined temperature to remove the residual strain caused by the cold-working and convert the ⁇ -phase and ⁇ -phase into the ⁇ -phase.
  • a method for producing a titanium alloy for example, columnar titanium and a wire-shaped or thin-plate-shaped additive metal are set in a crucible of a levitation melting apparatus, melted under predetermined melting conditions, and melted in the crucible.
  • a titanium alloy is obtained by natural cooling at 2002-012923.
  • a method for producing a titanium alloy for example, titanium powder and vanadium group element powder are mixed, set in a heating container, and pressurized and heated to be sintered to produce a titanium alloy. There was something to be gained (see, for example, Japanese Patent No. 3375083).
  • the stress-strain diagram has such a characteristic that a two-step yield point occurs. , the elastic limit strain decreased. For this reason, the titanium alloy has characteristics such that it is easily deformed even by a small force. For example, if a titanium alloy bar (workpiece) that has undergone heat treatment is further lathe-processed, if a cutting tool is brought into contact with the titanium alloy bar, the bar will easily bend due to the force. Cutting becomes difficult.
  • the first invention aims to provide a titanium alloy with a higher oxygen content than conventional ones.
  • the second invention seeks to provide a method for producing a titanium alloy that can homogenize the whole while controlling the composition ratio contained in the titanium alloy with high precision.
  • the titanium alloy of the first invention comprises 15 to 27 at% tantalum (Ta), 1 to 8 at% tin (Sn), and 0.4 to 1 .7 atomic % of oxygen (O) and the balance of titanium (Ti) and unavoidable impurities.
  • the titanium alloy of the first invention is characterized in that the average grain size of the equiaxed ⁇ phase is within the range of 0.01 ⁇ m to 1.0 ⁇ m.
  • the titanium alloy of the first invention is characterized in that the area occupied by the equiaxed ⁇ phase per unit area is in the range of 0.1% to 10%.
  • the stress at 0.5% strain when the stress when the permanent strain reaches 0.5% in the tensile test is defined as the stress at 0.5% strain, the stress at 0.5% strain is in the range of 400 MPa to 1200 MPa.
  • the method for producing a titanium alloy according to the second aspect of the present invention includes at least a mixing step of mixing a titanium powder containing titanium (Ti) as a main component and a vanadium group powder containing a vanadium group element as a main component to obtain a mixed powder. a solidifying step of heating the mixed powder mixed in the mixing step to solid phase diffusion bond to obtain a solidified body; and a melting step of heating and melting the solidified body to form a titanium alloy. It is characterized by
  • the solidification step is characterized in that the mixed powder is solid phase diffusion bonded by heating at any temperature between 900 and 1400°C.
  • the solidification step is characterized in that the mixed powder is placed under a vacuum, and the mixed powder is solid-phase diffusion bonded by heating and pressing.
  • the solidified matter is melted by a vacuum arc remelting method or a cold crucible induction melting method.
  • the titanium alloy contains 0.4 to 1.7 at % of oxygen (O) when the whole is 100 atomic % (at %).
  • the vanadium group powder is characterized by containing tantalum (Ta) or niobium (Nb) as a main component.
  • the titanium alloy contains 1 to 8 at % of tin (Sn) when the whole is 100 atomic % (at %).
  • the method for producing a titanium alloy according to the second aspect of the present invention further comprises a heat treatment step of heat-treating the titanium alloy produced in the melting step, and an aging treatment of aging the heat-treated titanium alloy. and a treatment step, wherein the titanium alloy that has undergone the melting step contains 15 to 27 at% tantalum (Ta) and 1 to 8 at% tin (Sn ), 0.4 to 1.7 atomic percent of oxygen (O), and the balance of titanium (Ti) and unavoidable impurities.
  • the titanium alloy in the aging treatment step, is subjected to aging treatment for 24 hours or less to precipitate an ⁇ phase in the titanium alloy. .
  • the excellent effect of being able to easily control the precipitation of the equiaxed ⁇ phase can be achieved.
  • the method for producing a titanium alloy according to the second aspect of the present invention it is possible to obtain an excellent effect that each component of the titanium alloy can be homogenized while controlling the composition ratio contained in the titanium alloy with high accuracy.
  • the first invention and the second invention are collectively referred to simply as the present invention.
  • FIG. 2 is a Ta—Ti binary phase diagram.
  • FIG. When the total is 100 atomic % (at %), a titanium alloy (Ti-23Ta -xSn-0.26O) is a graph showing the results of a cold workability evaluation test.
  • a titanium alloy (Ti -23.4Ta-3.4Sn-xO) is a table showing the results of a cold workability evaluation test.
  • (A) shows the surface of a comparative titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.26O), which is a comparative example, observed at a magnification of 2000 using a scanning transmission electron microscope (STEM). It is a photograph of a STEM image.
  • STEM scanning transmission electron microscope
  • (B) is a photograph of an STEM image when the surface of the first titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.75O) was observed using a scanning transmission electron microscope (STEM) at a magnification of 2000.
  • (C) is a photograph of an STEM image when the surface of the second titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.92O) was observed using a scanning transmission electron microscope (STEM) at a magnification of 2000. is.
  • the numerical values attached to the elements of Ta, Sn, and O in parentheses corresponding to the comparative titanium alloys and the first and second titanium alloys are the comparative titanium alloys and the first and second titanium alloys.
  • (A) shows the surface of a tertiary titanium alloy (Ti-23Ta-3Sn-0.65O) aged at 400°C for 12 hours, observed at a magnification of 2000 using a scanning transmission electron microscope (STEM). It is the photograph of the STEM image at the time of doing.
  • (B) shows the surface of a tertiary titanium alloy (Ti-23Ta-3Sn-0.65O) aged at 500°C for 12 hours, observed at a magnification of 2000 using a scanning transmission electron microscope (STEM). It is the photograph of the STEM image at the time of doing.
  • FIG. 5B is an enlarged view of the dotted square area of FIG. 5A;
  • A is a table showing the compositions of test pieces H1 and T1 produced using a titanium alloy according to an embodiment of the present invention.
  • B is a stress-strain diagram showing the results of a tensile test on each of test pieces H1 and T1.
  • (A) is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which stress-strain was repeatedly applied to the test piece H1.
  • (B) is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which the test piece T1 was subjected to repeated stress-strain.
  • (C) is a diagram in which the stress-strain diagrams of (A) and (B) are superimposed.
  • (A) is a table showing compositions of test pieces H2 and T2 produced using a titanium alloy according to an embodiment of the present invention.
  • (B) is a stress-strain diagram showing the results of a tensile test on each of test pieces H2 and T2.
  • (A) is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which stress-strain was repeatedly applied to the test piece H2.
  • (B) is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which the test piece T2 was subjected to repeated stress-strain.
  • (C) is a diagram in which the stress-strain diagrams of (A) and (B) are superimposed.
  • (A) is a drawing in which stress-strain diagrams, which are the results of tensile tests on test pieces T1 and T2, are superimposed.
  • (B) is a diagram in which the stress-strain diagrams obtained as a result of performing a tensile test in which stress-strain was repeatedly applied to each of the test piece T1 and the test piece T2 are superimposed.
  • 0.5 when a tensile test is performed on each test piece of a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-xO (where 0.4 ⁇ x ⁇ 1.7) before aging treatment and after aging treatment 4 is a graph showing the relationship between the stress at % strain ⁇ and the oxygen content x.
  • (A) is a table showing compositions of test pieces H3, T3, and T4 produced using a titanium alloy according to an embodiment of the present invention.
  • (B) is a graph showing the results of a Vickers hardness test on each of a plurality of test pieces H3, T3, T4 with different heat treatment temperatures.
  • 1 is a flow chart showing the flow of a method for producing a titanium alloy according to an embodiment of the present invention
  • (A) is a schematic diagram of a HIP apparatus used in a method for producing a titanium alloy according to an embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a schematic diagram of an apparatus for performing a vacuum arc remelting method (VAR) used in a method for producing a titanium alloy according to an embodiment of the present invention
  • A is a photograph of an SEM image of a solidified body produced by HIP treatment, observed with a scanning electron microscope (SEM) at a magnification of 400 times.
  • SEM scanning electron microscope
  • B is a photograph of an SEM image when elemental analysis of Ti was performed using X-rays in the range of (A).
  • C is a photograph of an SEM image when elemental analysis of Ta was performed using X-rays in the range of (A).
  • D is a photograph of an SEM image when elemental analysis of Sn was performed using X-rays in the range of (A).
  • the titanium alloy in the embodiment of the present invention contains 15 to 27 at% tantalum (Ta), 1 to 8 at% tin (Sn), and 0.4 Oxygen (O) of ⁇ 1.7 at % and the remainder consisting of titanium (Ti) and unavoidable impurities.
  • Ti tantalum
  • Sn at% tin
  • O Oxygen
  • Ti titanium
  • unavoidable impurities the content of titanium (Ti) in the balance is not particularly limited, and it is sufficient that titanium (Ti) is the most abundant element among the contained elements when considered in terms of atomic ratio.
  • the titanium alloy includes an ⁇ -type titanium alloy having a hexagonal close-packed (HCP) ⁇ -phase as a parent phase, a ⁇ -type titanium alloy having a body-centered cubic (BCC) ⁇ -phase as a parent phase, a close-packed It is roughly classified into three types of ⁇ + ⁇ type titanium alloys in which the ⁇ phase, which is a hexagonal crystal (HCP), and the ⁇ phase, which is a body-centered cubic crystal (BCC) coexist, but the type of titanium alloy according to the present invention is particularly limited. not.
  • HCP hexagonal close-packed
  • BCC body-centered cubic crystal
  • Tantalum (Ta) causes the titanium alloy in the present embodiment to undergo thermoelastic martensite transformation.
  • Ta has the function of lowering the transformation temperature from the ⁇ phase to the ⁇ phase, stabilizing the ⁇ phase at room temperature, and making slip deformation (plastic deformation) less likely to occur.
  • the content of Ta is preferably 15 to 27 at%, more preferably 19 to 25 at%, and 22 to 24 at% when the entire titanium alloy is 100 atomic% (at%). Most preferred.
  • the upper limit of the Ta content is set based on the melting point of the titanium alloy.
  • FIG. 1 is a Ta—Ti binary phase diagram. As shown in FIG. 1, if the Ta content exceeds 27%, the melting point of the titanium alloy may be about 2000 K or higher, requiring a special melting furnace and increasing the production cost. In addition, since the melting of the Ta raw material may be incomplete, the quality of the titanium alloy is deteriorated.
  • the lower limit of the Ta content is set based on the above-mentioned ⁇ -phase stabilizing function and the mechanical properties of the titanium alloy as a material for medical devices, biomaterials, and the like. That is, the ⁇ -phase stabilizing function decreases as the Ta content decreases, and when the Ta content is less than 15 at %, it becomes difficult to maintain the ⁇ -phase up to room temperature. Therefore, when the Ta content is less than 15 atomic %, even if tin (Sn) is added, the mechanical properties (Young's modulus, tensile strength, and elastic deformation strain) becomes difficult to obtain. Therefore, the Ta content is preferably 15 at % or more, more preferably 19 at % or more, and most preferably 22 at % or more when the entire titanium alloy is 100 at %.
  • Tin (Sn) has an ⁇ -phase stabilizing function of increasing the transformation temperature and stabilizing the ⁇ -phase.
  • Sn has the function of suppressing the precipitation of the ⁇ phase, which is a factor that increases the Young's modulus, and enhancing the superelastic effect of the titanium alloy.
  • the Sn content is preferably 1 to 8 at %, more preferably 2 to 6 at %, when the entire titanium alloy is 100 atomic % (at %).
  • the upper limit of the Sn content is set based on the workability (cold workability) of the titanium alloy.
  • 2 is a graph showing the results of a cold workability evaluation test for a titanium alloy (Ti-23Ta-xSn-0.26O) having a Ta content of 23 at % when the entire titanium alloy is 100 at %.
  • x is the Sn content (at %) when the entire titanium alloy is 100 at %.
  • a plurality of test pieces with the Sn content x changed to 0 at%, 1.5 at%, 3 at%, 6 at% and 9 at% when the entire titanium alloy is 100 at%. (thickness: 1 mm, no heat treatment) was prepared.
  • test pieces were cold-rolled to a thickness of 0.1 mm (reduction rate: 86%), and the number of cracks with a length of 1 mm or longer in each test piece after cold rolling was counted.
  • the crack count was performed within a range of 140 mm in the rolling direction of each test piece.
  • the Sn content is preferably 8 at % or less, more preferably 6 at % or less, in order to obtain good workability when the entire titanium alloy is 100 at %.
  • the lower limit of the Sn content is not particularly limited, but in order to sufficiently exhibit the above-described ⁇ -phase suppressing function, the Sn content is 1 at% or more when the entire titanium alloy is 100 at%. is preferred.
  • Oxygen (O) has an ⁇ -phase stabilizing function of raising the transformation temperature and stabilizing the ⁇ -phase. O has a stronger ⁇ -phase stabilizing function than Sn. In addition, oxygen (O) has a function of constraining deformation of crystals and preventing appearance of shape memory and softening.
  • the content of O is preferably 0.4 to 1.7 at %, more preferably 0.6 to 1.0 at %, when the entire titanium alloy is 100 atomic % (at %).
  • the upper limit of the O content is set based on the workability (cold workability) of the titanium alloy. If the content of O is too high, the titanium alloy becomes too hard due to the function of preventing softening of O, resulting in poor workability.
  • FIG. 3 shows a titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-xO) with a Ta content of 23.4 at% and a Sn content of 3.4 at% when the entire titanium alloy is 100 at%. It is a table showing the results of a cold workability evaluation test for. Note that x is the content of O (at %) when the entire titanium alloy is 100 at %.
  • the titanium alloy used in the cold workability evaluation test was prepared by the below-described ⁇ Production method of titanium alloy>.
  • test pieces with an O content of 0.26 to 1.14 at% can be rotary forged at a processing rate of 75% or more without any problem. was confirmed.
  • a test piece with an O content of 1.4 at% was subjected to rotary forging at a processing rate of 50 to 75% without any problem, but cracks occurred when the processing rate exceeded 75%.
  • a test piece having an O content of 1.59 at% was cracked when rotary forging was performed at a processing rate exceeding 50%. Therefore, in order to obtain good workability, the content of O is preferably 1.7 at% or less, more preferably 1.4 at% or less, when the entire titanium alloy is 100 at%. It is more preferable if it is 1.2 at % or less.
  • the lower limit of the O content is set particularly based on mechanical properties.
  • conventional titanium alloys have a large amount of ⁇ phase, and since deformation occurs with a small force, there is a problem that the shape after forming cannot be maintained.
  • the titanium alloy according to the present embodiment will be described later in ⁇ Method for producing titanium alloy>.
  • the heat treatment temperature is, for example, preferably in the range of 600°C to 1000°C, more preferably in the range of 700°C to 900°C.
  • the aging treatment temperature is preferably in the range of 200°C to 550°C, more preferably in the range of 300°C to 500°C.
  • Ta as a ⁇ -stable element functions more than O as an ⁇ -stable element, and even if aging treatment is performed, the equiaxed ⁇ -phase does not readily precipitate.
  • the precipitation of the equiaxed ⁇ phase may require aging treatment for several days. Then, when the content of O is less than 0.4 at%, as in the comparative example titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.26O) in FIG. Even if the treatment is carried out for about 2 hours, the amount of equiaxed ⁇ -phase precipitated is not sufficient, so it is difficult to maintain the shape after molding. Therefore, the content of O is preferably 0.4 at% or more, more preferably 0.6 at% or more, most preferably 0.75 at% or more when the entire titanium alloy is 100 at%. preferable.
  • FIG. 4A shows a photograph of an STEM image of a comparative titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.26O) as a comparative example under the same conditions as above.
  • the first and second titanium alloys and the comparative titanium alloys were heat treated at 700° C. for 2 hours and then aged at 300° C. for 2 hours.
  • the surface of the third titanium alloy (Ti-23Ta-3Sn-0.65O) was observed using a scanning transmission electron microscope (STEM) at a magnification of 2000 times.
  • the third titanium alloy shown in FIG. 5(A) was heat treated at 900° C. for 2 hours and then aged at 400° C. for 12 hours.
  • the third titanium alloy shown in FIG. 5(B) was heat-treated at 900° C. for 2 hours and then aged at 500° C. for 12 hours.
  • the third titanium alloy is produced by ⁇ Method for producing titanium alloy> described later.
  • FIG. 6 is an enlarged view of the rectangular area in FIG. 5(A).
  • the white portion in FIG. 6 is the equiaxed ⁇ phase.
  • the equiaxed ⁇ -phase in FIG. 5(A) can be confirmed by referring to FIG.
  • the photograph shown in FIG. 5(B) (the third titanium alloy aged at 500° C. for 12 hours) is the photograph shown in FIG. 5(A) (the third titanium alloy aged at 400° C. for 12 hours).
  • a larger amount of equiaxed ⁇ phase is precipitated than in the case of . From the above results, it was confirmed that the higher the aging treatment temperature, the larger the precipitation amount of the equiaxed ⁇ phase.
  • the precipitation amount of the equiaxed ⁇ phase in the titanium alloy can be controlled by the O content, the aging treatment time, and the aging treatment temperature. From this, the content of O when the entire titanium alloy is 100 at% is preferably 0.4 at% or more, more preferably 0.6 at% or more, and 0.75 at% or more. is found to be most preferred.
  • the first titanium alloy and the second titanium alloy When comparing the first titanium alloy and the second titanium alloy with the third titanium alloy, the first titanium alloy and the second titanium alloy have a larger amount of precipitation of the equiaxed ⁇ phase.
  • the reason for this is that the first titanium alloy and the second titanium alloy were subjected to heat treatment at a temperature (700 ° C.) corresponding to the ⁇ + ⁇ phase region of the first titanium alloy and the second titanium alloy, and then to aging treatment, so that the ⁇ phase
  • the tertiary titanium alloy was heat treated at a temperature (900°C) corresponding to the ⁇ phase region of the tertiary titanium alloy and then subjected to aging treatment, so the precipitation of the ⁇ phase was not promoted. This is because the.
  • the amount of ⁇ -phase precipitation can be adjusted by the heat treatment temperature before the aging treatment.
  • the amount of precipitation of the ⁇ phase in the aging treatment can be controlled.
  • the heat treatment before the aging treatment may or may not be performed.
  • the average grain size of the equiaxed ⁇ -phase was 0.03 ⁇ m.
  • the average grain size of the equiaxed ⁇ -phase was 0.05 ⁇ m. From this result, it can be inferred that the average grain size of the precipitated equiaxed ⁇ phase tends to increase as the aging treatment temperature increases.
  • the average grain size P of the equiaxed ⁇ phase is preferably in the range of 0.01 ⁇ m to 1.00 ⁇ m (0.01 ⁇ m ⁇ P ⁇ 1.00 ⁇ m), and is preferably 0.02 ⁇ m It is more preferably in the range of ⁇ 0.50 ⁇ m (0.02 ⁇ m ⁇ P ⁇ 0.50 ⁇ m), and preferably in the range of 0.03 ⁇ m to 0.30 ⁇ m (0.03 ⁇ m ⁇ P ⁇ 0.30 ⁇ m). More preferred.
  • the area ratio of the equiaxed ⁇ phase was 1.89%.
  • the area ratio of the equiaxed ⁇ phase in the second titanium alloy (Ti-23.4Ta-3.4Sn-0.92O) shown in FIG. 4(C) was 5.24%.
  • the area ratio of the equiaxed ⁇ phase refers to the ratio of the area occupied by the equiaxed ⁇ phase per unit area in the photographs of the cross-sectional STEM images shown in FIGS. . From this result, it can be inferred that as the O content increases, the area occupation ratio of the equiaxed ⁇ phase precipitated by the aging treatment increases accordingly.
  • the area ratio of the equiaxed ⁇ phase in is 0%.
  • the amount of precipitation of the equiaxed ⁇ phase increases, and if the content of O in the titanium alloy is low, the precipitation of the equiaxed ⁇ phase increases. less quantity. Therefore, when a specific amount of equiaxed ⁇ phase is precipitated in a titanium alloy by aging treatment, a titanium alloy with a high O content requires a shorter aging treatment time than a titanium alloy with a low O content. Also, even in titanium alloys having the same composition, the amount of equiaxed ⁇ phase precipitated increases when the aging treatment temperature is high, and the precipitation amount of the equiaxed ⁇ phase decreases when the aging treatment temperature is low.
  • the equiaxed ⁇ phase increases the strength of the titanium alloy.
  • the solubility limit of O is exceeded, TiO and TiO 2 are produced, and workability is lowered. This is shown in the cold workability evaluation test shown in FIG.
  • a general titanium alloy also contains a small amount of oxygen as an unavoidable impurity.
  • Ta as a ⁇ -stable element functions more than O as an ⁇ -stable element, and even if aging treatment is performed, the equiaxed ⁇ phase does not precipitate easily, and the equiaxed ⁇ phase precipitates. requires aging treatment for several days.
  • the aging treatment time is preferably in the range of 1 to 24 hours, more preferably in the range of 1 to 4 hours.
  • the titanium alloy according to the present embodiment has an extremely small amount of elution of metal ions of the constituent elements Ti, Ta, and Sn, exhibits excellent corrosion resistance, has low cytotoxicity, has high biocompatibility, and can be used in an external magnetic field. It is a non-magnetic material that is difficult to be magnetized by , and has a very low risk of adversely affecting medical equipment (such as MRI) that dislikes magnetism, and has high elasticity, moderate rigidity, and high workability. That is, the titanium alloy according to the present embodiment has lower cytotoxicity than conventional titanium alloys, and is excellent in magnetic properties, corrosion resistance, mechanical properties and workability.
  • medical guide wires such as vein filters, dental cleansers, reamers, files, orthodontic wires, etc., and artificial bones.
  • Suitable for medical instruments such as orthopedic field.
  • the titanium alloy according to the present invention is not limited to the above-described embodiment, and it goes without saying that various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
  • catheter fields such as medical guide wires, delivery wires, stents, aneurysm embolization coils or vein filters, or dental cleansers, reamers, files or orthodontic wires etc.
  • Conventionally known methods can be employed for molding in the field of dentistry, orthopedics such as artificial bones, and the like, and examples thereof include wire drawing, drawing, casting, forging, and press working.
  • test pieces T1 to T4 and H1 to H3 were prepared by the method of manufacturing titanium alloys, which will be described later.
  • FIG. 7A is a table showing compositions of test pieces T1 and H1 to be subjected to tensile tests.
  • the test pieces T1 and H1 are round wires with a diameter of ⁇ 0.406 mm, which are subjected to cold working (wire drawing) such that the working ratio is 75%.
  • test piece H1 according to Comparative Example 1 was produced using a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.25O, and the O content was small.
  • a test piece T1 according to Example 1 was produced using a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.8O.
  • the titanium alloys constituting the test pieces T1 and H1 were heat-treated at 890° C. for 1 minute, but not aged.
  • a tensile test was performed on the above test pieces T1 and H1 using a tensile tester. As the measurement conditions, the distance between marks was 50 mm, and the tensile speed was 2 mm/min.
  • Fig. 7(B) shows the stress-strain diagram obtained as a result of performing a tensile test on the test pieces T1 and H1. Until the stress reaches around 200 MPa, the test pieces T1 and H1 are deformed so that similar strain occurs.
  • the graph has an inflection point K1 when the stress is around 200 MPa.
  • the slope of the graph becomes much gentler than the slope up to that point, and it is presumed that there is a yield region in the middle. (Refer to the dotted circle area in FIG. 7B).
  • the test piece T1 shows the test piece T1 in FIG.
  • the slope of the graph becomes gentler than the slope up to that point, as in the case of the test piece H1. is steeper than that of the test piece H1 (see the dotted circle area in FIG. 7(B)). That is, regardless of the presence or absence of aging treatment, the test piece T1 of Example 1, which has a high O content, can be said to have harder (harder to yield) material properties than the test piece H1 of Comparative Example 1. It can be said that the shape of the product can be stabilized.
  • FIG. 8(A) is a stress-strain diagram obtained as a result of performing a tensile test in which stress-strain was repeatedly applied to the test piece H1 of Comparative Example 1 under the same measurement conditions as in Tensile Test 1. be.
  • FIG. 8(B) is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which the test piece T1 of Example 1 was subjected to repeated stress-strain under the same measurement conditions as in Tensile Test 1. be.
  • FIG. 8(C) is a diagram in which the stress-strain diagrams of FIGS. 8(A) and (B) are superimposed. As is clear from FIGS.
  • FIG. 9(A) is a table showing the composition of the test pieces T2 and H2 to be subjected to the tensile test.
  • the composition of the titanium alloys constituting the test pieces T2 and H2 is obtained by adding aging treatment at 300° C. for 1 hour to the titanium alloys constituting the test piece T1 of Example 1 and the test piece H2 of Comparative Example 1. becomes.
  • a tensile test was performed on the above test pieces T2 and H2 using a tensile tester. As the measurement conditions, the distance between marks was 50 mm, and the tensile speed was 2 mm/min.
  • Fig. 9(B) shows the stress-strain diagram obtained as a result of performing a tensile test on the test pieces T2 and H2. Until the stress reaches around 200 MPa, the test pieces T2 and H2 are deformed so that similar strain occurs.
  • the graph has an inflection point K2 when the stress is around 200 MPa.
  • the slope of the graph after the point of inflection K2 becomes much gentler than the previous slope (see the dotted circle area in FIG. 9(B)).
  • the test piece T2 as shown in FIG.
  • the slope of the graph after the inflection point K2 becomes gentler than the slope up to that point as in the case of the test piece H2, but the slope of the graph is steeper than that of test piece H2 (see the dotted circle area in FIG. 9B).
  • the test piece T2 has material properties that are harder (harder to yield) than the test piece H2, and it can be said that the shape of the molded product can be stabilized.
  • the degree of inclination of the graph after the point of inflection is steeper for the test pieces T2 and H2 than for the test pieces T1 and H1.
  • the aged titanium alloy contains more equiaxed ⁇ -phase than the unaged titanium alloy, so it has the properties of a hard metal. do.
  • the titanium alloy of the present embodiment that has undergone aging treatment is easier to form after cold working.
  • the maximum stress value (tensile strength) of the test piece T1 is about 870 (MPa)
  • the maximum stress value (tensile strength) of the test piece T2 is about 840 (MPa).
  • the test piece T2 has about 1.2 times the strain at which it breaks as compared with the test piece T1. From this result, the titanium alloy that was subjected to aging treatment, compared to the titanium alloy that was not subjected to aging treatment, precipitated more equiaxed ⁇ -phase and exhibited harder properties, and also improved ductility. I can say
  • FIG. 10(A) is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which the test piece H2 was subjected to repeated stress-strain under the same measurement conditions as in the tensile test 3.
  • FIG. 10B is a stress-strain diagram obtained as a result of a tensile test in which the test piece T2 was subjected to repeated stress-strain under the same measurement conditions as in tensile test 3.
  • FIG. 10(C) is a diagram in which the stress-strain diagrams of FIGS. 10(A) and (B) are superimposed. As is clear from FIGS.
  • the test piece T1 that has not been subjected to aging treatment is strained by about 2% by applying a tensile stress of about 490 (MPa) and then unloading to a strain of 0.2%.
  • MPa tensile stress
  • the test piece T2 subjected to aging treatment is strained by about 2% by applying a tensile stress of about 580 (MPa) and then unloaded, only a little less than 0.1% strain is generated. In other words, it can be said that the aged titanium alloy has a higher elastic limit strain than the unaged titanium alloy.
  • the test piece T1 that has not been subjected to aging treatment has a tensile stress of about 625 (MPa) applied, strained about 2.6%, and then unloaded to 0.
  • a strain of 0.5% occurs in the specimen T2 that has undergone aging treatment, but when a tensile stress of about 768 (MPa) is applied to strain about 3% and then the load is removed, a strain of 0.5% occurs.
  • MPa tensile stress of about 768
  • the stress at 0.5% strain ⁇ (MPa).
  • the stress ⁇ at 0.5% strain in the test piece T1 is 625 (MPa).
  • the stress ⁇ at 0.5% strain in the test piece T2 is 768 (MPa). That is, in a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.8O, the stress ⁇ at 0.5% strain before and after aging treatment falls within the range of 625 to 768 (MPa).
  • the stress ⁇ at 0.5% strain in the test piece H1 is 503 (MPa).
  • the stress ⁇ at 0.5% strain in the test piece H2 is 616 (MPa). That is, in a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.25O, the stress ⁇ at 0.5% strain before and after aging treatment falls within the range of 503 to 616 (MPa).
  • a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-xO (however, the content of O is 0.4 (at%) ⁇ x ⁇ 1.7 (at %)) can be approximately represented by a linear function with x as a variable.
  • This graph is shown in FIG.
  • the stress ⁇ at 0.5% strain satisfies at least 536 (MPa) ⁇ ⁇ ⁇ 1016 (MPa) before and after the aging treatment in the range of 0.4 ⁇ x ⁇ 1.7. .
  • the time stress ⁇ is preferably 400 (MPa) or more and 1200 (MPa) or less, that is, within the range of 400 MPa to 1200 MPa (400 MPa ⁇ 1200 MPa).
  • the stress ⁇ at 0.5% strain is desirably 500 (MPa) or more, more desirably 530 (MPa) or more.
  • the stress ⁇ at 0.5% strain is desirably 1000 (MPa) or less, more desirably 900 (MPa) or less, and even more desirably 830 (MPa) or less.
  • the stress at 0.2% strain is 490 (MPa).
  • the stress at 0.2% strain in the test piece T2 is approximately 700 (MPa). That is, in the titanium alloy having the composition Ti-23Ta-3Sn-0.8O, the stress at 0.2% strain before and after the aging treatment falls within the range of 490 to 700 (MPa).
  • the stress at 0.2% strain in test piece H2 is 500 (MPa).
  • the stress ⁇ at 0.2% strain becomes 500 (MPa) or less.
  • the stress at a permanent strain of 0.2% is a region where variation is likely to occur depending on the test piece, so originally, as described above, the stress at 0.5% strain should be used for analysis.
  • the stress at 0.2% strain in a titanium alloy with a composition of Ti-23Ta-3Sn-xO (where 0.4 ⁇ x ⁇ 1.7) before aging treatment can be estimated to generally satisfy the range of 400 ⁇ 700 (MPa).
  • the stress at 0.2% strain in a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-xO (where 0.4 ⁇ x ⁇ 1.7) is approximately 600 ⁇ ⁇ ⁇ 900 It can be inferred that the range is satisfied.
  • the stress at 0.2% strain in a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-xO (where 0.4 ⁇ x ⁇ 1.7) is approximately 400 ⁇ ⁇ ⁇ 900 before and after aging treatment. It can be inferred that the relational expression of
  • Example 3-1 ⁇ Vickers hardness test>
  • test piece T3 of Example 3-1 and the test piece T4 of Example 3-2 which were prepared using the titanium alloy according to the embodiment of the present invention with a different O content.
  • a Vickers hardness test was performed. In this Vickers hardness test, 10 measurement points were used, and a load of 0.1 (N) was applied to the measurement points.
  • a test piece H3 of Comparative Example 3 was also prepared and subjected to the Vickers hardness test in the same manner.
  • FIG. 13(A) is a table showing the compositions of test pieces T3, T4, and H3 to be subjected to the Vickers hardness test.
  • the test pieces T3, T4, and H3 are round wires with a diameter of ⁇ 0.517 mm.
  • the test piece H3 was produced using a titanium alloy having a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.25O, and the O content was small.
  • the test piece T3 was made using a titanium alloy with a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.6O
  • the test piece T4 was made using a titanium alloy with a composition of Ti-23Ta-3Sn-0.8O.
  • test pieces T3, T4, and H3 were not heat-treated, and the test pieces T3, T4, and H3 were heat-treated at 450°C, 500°C, 550°C, 650°C, 700°C, and 750°C. A product after 30 minutes was prepared.
  • the results of this Vickers hardness test are shown in Fig. 13(B).
  • the test pieces T3, T4, and H3 did not change significantly due to the heat treatment up to the heat treatment temperature of 550°C.
  • the heat treatment temperature is preferably in the range of 600°C to 1000°C, and more preferably in the range of 700°C to 900°C.
  • Ti powder containing titanium (Ti) as the main component, Ta powder containing tantalum (Ta) as the main component, and Sn powder containing tin (Sn) as the main component were prepared. , and a mixing step of mixing them at a predetermined mixing ratio (step S100).
  • the Ti powder, Ta powder, and Sn powder are all sieved with a sieve having a mesh size of 325 (mesh: mesh/inch) or less, and can pass through the sieve. It is assumed to have a particle size (particle size).
  • the Ti powder preferably contains 90% or more of titanium (Ti), more preferably contains 95% or more of titanium (Ti), and further preferably contains 99% or more of titanium (Ti). .
  • the remaining components of the Ti powder include components other than titanium (Ti).
  • the titanium (Ti) in the Ti powder may include pure titanium (Ti) or may include titanium (Ti) having an oxide film.
  • the Ta powder preferably contains 90% or more of tantalum (Ta), more preferably 95% or more of tantalum (Ta), and even more preferably 99% or more of tantalum (Ta). In this case, the remaining components of the Ta powder include components other than tantalum (Ta).
  • the tantalum (Ta) in the Ta powder may include pure tantalum (Ta), or may include tantalum (Ta) having an oxide film.
  • the Sn powder preferably contains 90% or more of tin (Sn), more preferably 95% or more of tin (Sn), and even more preferably 99% or more of tin (Sn).
  • the remaining components of the Sn powder include components other than tin (Sn).
  • the tin (Sn) in the Sn powder may include pure tin (Sn) or tin (Sn) having an oxide film.
  • a powder with a small particle size has more grains than a powder with a large particle size.
  • a powder with a smaller particle size has a larger surface area that reacts to oxygen than a powder with a larger particle size when compared at the same weight.
  • Titanium powder (Ti) and tantalum powder (Ta) are in a stable state in the atmosphere due to an oxide film.
  • mixing titanium powder (Ti) and tantalum powder (Ta) with a small particle size increases the O content in the final product titanium alloy than powder with a large particle size.
  • the particle size of titanium powder (Ti) and tantalum powder (Ta) affects the content of O in the titanium alloy, and the content of O in the titanium alloy should be determined by appropriately selecting the particle size of each powder. can be adjusted by Therefore, in order to provide a plurality of titanium alloys having different oxygen contents, the grain size of at least one of the Ti powder and the Ta powder should be changed. In addition, if the desired oxygen content cannot be achieved only by reducing the particle size of the Ti powder and/or Ta powder, the titania powder itself contains oxygen. You can mix. It is possible to change the O content by changing the grain size of the Sn powder. It is difficult to influence the rate.
  • Ti powder or titania powder, Ta powder, and Sn powder are uniformly mixed in a mixing ratio such that the balance consists of titanium (Ti) and unavoidable impurities.
  • Ta is 40 to 56 wt %
  • Sn is 2 to 10 wt %
  • O is 0.1 to 0.1 wt % when the whole is 100 wt % (wt %).
  • Ti-23.4Ta-3.4Sn-xO titanium alloy when the whole is 100% by weight, Ta powder is 52% by weight, Sn powder is 5% by weight, and the rest is Ti powder or Mix to form titania powder.
  • the O content is adjusted by adjusting the particle size of Ti powder or Ta powder having an oxide film on the surface, or by using titania powder.
  • the Sn powder content is small in the present embodiment, it is presumed that the Sn powder has little effect on the O content.
  • the display of at % represents atomic %
  • the display of at % below represents the atomic % of the corresponding element when the entire corresponding titanium alloy is 100 atomic % (at %). shall be used.
  • the numerical values attached to the elements of Ta, Sn, and O representing the composition of the titanium alloy are 100 atomic % (at % ) represents the numerical value of atomic % (at %) of each element (Ta, Sn, O).
  • the mixed powder of Ti powder or titania powder, Ta powder, and Sn powder uniformly mixed in the mixing step (hereinafter simply referred to as mixed powder) is placed under vacuum, A solidification step is performed in which the mixed powder is solidified by solid-phase diffusion bonding (step S101).
  • the mixed powder becomes a solidified body by the solidification step.
  • the term "solidified body” refers to a mass obtained by subjecting the mixed powder to solid-phase diffusion bonding.
  • HIP hot isostatic pressing
  • SIP spark isostatic pressing
  • SPS spark plasma sintering
  • the pressure under vacuum where the mixed powder is arranged is preferably 1.0 ⁇ 10 ⁇ 1 (Pa) or less, and 1.0 ⁇ 10 ⁇ 2 to 1.0 ⁇ 10 ⁇ 5 (Pa), more preferably 1.0 ⁇ 10 ⁇ 2 to 1.0 ⁇ 10 ⁇ 3 (Pa).
  • the HIP container 2 is filled with the mixed powder 5 under pressure.
  • the HIP container 2 is composed of, for example, a cylindrical container with one end face open and the other end face closed, and a lid.
  • the mixed powder 5 is filled into a cylindrical container while being compressed, and the cylindrical container is placed in a vacuum chamber of an electron beam device (not shown).
  • the pressure in the vacuum chamber is set to a vacuum state within a range of, for example, 1.0 ⁇ 10 ⁇ 2 to 1.0 ⁇ 10 ⁇ 3 (Pa), and electron beam welding is performed to the opening of the HIP container 2.
  • the lid is welded to seal the HIP container 2 .
  • the mixed powder is placed under vacuum in the HIP container 2 .
  • the HIP container 2 is made of the same material as the material with the highest melting point (here, Ta) in the mixed powder 5 .
  • the HIP container 2 is installed inside the heat insulation part 3A of the HIP furnace 3 of the HIP device 1.
  • the HIP apparatus 1 is configured so that the inner region of the heat insulating portion 3A of the HIP furnace 3 can be brought into a high-temperature, high-pressure atmosphere by heating with a substantially inert gas such as argon and the heater 4.
  • the gas is supplied to the inside of the HIP furnace 3 from the outside through the gas introduction passage 3B of the HIP furnace 3 .
  • the mixed powder 5 is pressurized and heated through the HIP container 2 .
  • the mixed powder 5 is solidified by solid-phase diffusion bonding.
  • the mixed powder 5 is sealed in the HIP container 2 in a vacuum state, even if the mixed powder 5 is pressurized and heated through the HIP container 2, unexpected oxygen (O) is added to the solidified body from the outside air. entry can be restricted.
  • O oxygen
  • the HIP container 2 and the solidified body are in a state of being strongly bonded. Therefore, in order to separate the HIP container 2 and the solidified material, the HIP container 2 and the layer in which the HIP container 2 and the solidified material are mixed are cut by a machine tool. As a result, only the solidified body remains. Thereby, a cylindrical solidified body is formed.
  • the temperature inside the HIP furnace 3 of the HIP apparatus is set to, for example, 1000°C, the pressure is set to 98 MPa, and the HIP container is placed under these conditions for about a predetermined time to form a solidified body.
  • the temperature inside the HIP furnace 3 may be any range as long as the HIP container 2 is not damaged or melted.
  • the temperature inside the HIP furnace 3 is, for example, preferably 700.degree. C. to 1600.degree. C., more preferably 900.degree. C. to 1400.degree.
  • the pressure inside the HIP furnace 3 is preferably 50 to 200 (MPa), more preferably 70 to 180 (MPa), and even more preferably 90 to 120 (MPa).
  • the melting point of Ta is a fairly high temperature of 3017°C. Even if the internal temperature of the HIP furnace 3 is, for example, about 900° C. to 1400° C., in the case of a high Ta content ratio of 15 at % or more like the titanium alloy of the present embodiment, each powder is completely uniform. less likely to spread to That is, the solidified body produced by the HIP treatment does not uniformly diffuse Ta, Sn, Ti and O, and may include a region where any one of Ta, Sn, Ti and O is unevenly distributed. . In order to confirm this, the inventor of the present application set the internal temperature of the HIP furnace 3 to 1000° C. and the internal pressure of the HIP furnace 3 to 98 MPa.
  • FIG. 16A is a photograph of an SEM image of the solidified body observed at a magnification of 400 using a scanning electron microscope (SEM).
  • SEM scanning electron microscope
  • FIGS. 16B to 16D the distribution of Ti, Ta, and Sn in the range of the SEM image of FIG. 16A is not uniformly distributed, and Ti powder, Ta powder, and It can be seen that the Sn powder is not uniformly dispersed. From the above, when the internal temperature of the HIP furnace 3 is about 900° C. to 1400° C., the Ti powder, Ta powder, and Sn powder are completely alloyed by diffusing each other in this composition with a very high Ta ratio. It was actually confirmed that the probability is low.
  • the HIP container 2 itself will be damaged, and the HIP furnace 3 itself will easily fail. Also, in order to realize heating at a temperature higher than 1400° C., it is conceivable to form the HIP container 2 from a material (for example, Ta) that can withstand high temperatures. If Ta material is used, it will be extremely expensive, so it is not realistic.
  • a material for example, Ta
  • a dissolving step of dissolving the solidified mixed powder solidified in the solidifying step is performed (step S102).
  • the solidified body is melted by the melting process to form a titanium alloy ingot.
  • each component is not uniformly dispersed, but by performing the melting process, each component is uniformly melted (dissolved), and a titanium alloy ingot in which each component is uniformly dispersed is obtained.
  • the melting step in order to simultaneously melt Ta, Sn, and Ti having different melting points and diffuse them uniformly, it is preferable to melt the solidified body at a temperature at which all of Ta, Sn, and Ti can be simultaneously melted. .
  • VAR Vacuum Arc Remelting
  • ESR ElectroSlag Remelting
  • VIM Vacuum Induction Melting
  • CCIM Coldcrucible Induction Melting cold crucible induction melting method
  • PAM Plasma Arc Melting
  • EBM Electron Beam Melting
  • VAR vacuum arc remelting method
  • the cylindrical solidified body provided in the solidification process is used as the consumable electrode 6 and connected to the rod 9 suspended in the arc melting furnace 8 .
  • the consumable electrode 6 is suspended from the rod 9 in the arc melting furnace 8 with the molten metal pool 10 positioned directly below.
  • an electric current is passed through the consumable electrode 6 via the rod 9
  • an arc discharge occurs between the consumable electrode 6 and the molten metal pool 10.
  • the high heat generated by the arc discharge heats and melts the consumable electrode 6, which pools underneath to form an ingot 11 of titanium alloy.
  • the titanium alloy ingot 11 may be used as the consumable electrode 6, connected to the rod 9, placed in the arc melting furnace 8 as described above, and melted again by applying an electric current. This treatment can be repeated more than once, since the reliability of homogenization of each component can be improved by performing this treatment a plurality of times.
  • a titanium alloy is provided as described above.
  • a heat treatment step is performed to heat-treat the titanium alloy workpiece provided in the cold working step (step S104).
  • the heat treatment temperature is, for example, preferably 600°C to 1000°C, more preferably 700°C to 900°C. Note that the heat treatment step may be omitted.
  • an aging treatment step of aging the titanium alloy that has been heat treated in the heat treatment step or the titanium alloy that has undergone the cold working step and has not been subjected to the heat treatment step. (step S105).
  • the aging treatment temperature is preferably 200°C to 550°C, more preferably 300°C to 500°C.
  • an equiaxed ⁇ phase or the like precipitates in the titanium alloy.
  • the ⁇ -phase is not limited to equiaxed texture, and may include other forms.
  • the equiaxed ⁇ phase As mentioned in the explanation of the third titanium alloy shown in FIGS. 5A and 5B produced by this production method, if the titanium alloy has the same composition, the higher the aging treatment temperature, the equiaxed ⁇ phase There is a large amount of precipitation of Along with this, the average grain size of the precipitated equiaxed ⁇ phase and the area occupation ratio of the equiaxed ⁇ phase increase.
  • a general titanium alloy also contains a small amount of oxygen as an unavoidable impurity. becomes.
  • Ta as a ⁇ -stable element functions more than O as an ⁇ -stable element, and even if aging treatment is performed, the equiaxed ⁇ phase does not precipitate easily, and the equiaxed ⁇ phase precipitates. requires aging treatment for several days.
  • O functions as an ⁇ -stabilizing element, and the minimum The equiaxed ⁇ phase is precipitated, and sufficient equiaxed ⁇ phase is precipitated by the aging treatment for 24 hours.
  • the aging treatment time is preferably in the range of 1 to 24 hours, more preferably in the range of 1 to 4 hours.
  • the method for producing a titanium alloy according to the present invention is not limited to the above-described embodiment.
  • group 5a element vanadium group element
  • group 5a powder vanadium group powder
  • the composition of the titanium alloy may contain vanadium (V) or niobium (Nb), which is another element of the vanadium group, together with or instead of tantalum (Ta).
  • the titanium alloy obtained by this manufacturing method is extremely stable in quality.
  • vanadium (V) or niobium (Nb) also has a high melting point, so if only solid-phase diffusion bonding is used, the internal composition of the titanium alloy tends to be uneven, and the quality of metal parts after cold working is reduced. Warranty becomes difficult.
  • the melting points of V, Nb and Ta are respectively 1910°C, 2477°C and 3017°C, and the melting point of titanium is 1668°C. That is, the melting point of V is slightly higher than that of titanium, but the melting points of Nb and Ta are about 1.5 times or more that of titanium. For this reason, it is presumed that Nb and Ta cannot diffuse uniformly more than V in the solidification process. As a result, Nb, like Ta, can have a distribution similar to that shown in FIG. 3 during the solidification process. Therefore, it can be said that it is particularly important for Nb and Ta to be homogenized in the dissolution process as compared to V.
  • the titanium alloy and the method for producing the titanium alloy according to the present invention are not limited to the above-described embodiments, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
  • medical guide wires, delivery wires, stents, clips, aneurysm embolization coils or vein filters, or dental cleansers, reamers, files or orthodontic wires are formed from the titanium alloy according to the present invention.
  • a conventionally known method can be adopted as a method, and examples thereof include wire drawing, drawing, casting, forging, press working, and the like.
  • the titanium alloy of the present invention is used in the field of catheters such as guide wires, delivery wires, stents, clips, aneurysm embolization coils or vein filters for medical use, or in the dental field such as cleansers, reamers, files or orthodontic wires for dental treatment. It can be used in fields such as orthopedic fields such as artificial bones.

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Abstract

本発明のチタン合金は、従来よりも酸素の含有率を上げたものであり、全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、１５～２７ａｔ％のタンタル（Ｔａ）と、１～８ａｔ％のスズ（Ｓｎ）と、０．４～１．７ａｔ％の酸素（Ｏ）と、残部がチタン（Ｔｉ）と不可避不純物とからなる。そして、本発明のチタン合金における等軸α相の平均粒径は、０．０１μｍ～１．０μｍの範囲内が好ましい。また、本発明のチタン合金における単位面積当たりに等軸α相が占める面積率は、０．１％～１０％の範囲内が好ましい。

Description

チタン合金、及びチタン合金の製造方法
　本発明は、チタン合金、及びチタン合金の製造方法に関する。
　従来、チタン合金として、タンタルとスズを含むチタン合金が提案されていた（例えば、特許第５８５５５８８号公報参照）。このチタン合金に対して冷間加工を行った後に所定温度で熱処理することにより、その冷間加工で出来た残留歪みを除去しつつ、α相やω相をβ相に変えていた。
　また、従来、チタン合金の製造方法として、例えば、柱状のチタンと、ワイヤ状又は薄板状の添加金属を浮揚溶解装置のるつぼ内にセットし、これらを所定の溶解条件で溶解させて、るつぼ内で自然冷却してチタン合金を得るものがあった（例えば、特開２００２－０１２９２３号公報参照）。また、従来、チタン合金の製造方法として、例えば、チタン粉末と、バナジウム族元素の粉末を混合して加熱容器内にセットし、これらを加圧・加熱して焼結されることでチタン合金を得るものがあった（例えば、特許第３３７５０８３号公報参照）。
　しかしながら、本発明者らの研究において、特許文献１に記載のチタン合金は、冷間加工後に８００℃以上で熱処理を行うと、応力－歪み線図において２段階降伏点が発生するような特性となり、弾性限歪みが低下することが明らかとされた。このため、そのチタン合金は、小さな力でも変形が生じ易くなるような特性となってしまう。例えば、熱処理を行ったそのチタン合金製の棒材（ワーク）に対して、更に旋盤加工する場合、チタン合金棒材に切削工具を接触させると、その力で棒材が容易に曲がってしまうため切削が困難となる。
　本発明者らの未公知の研究の過程において、上記状況を解決するために、特許文献１に記載のチタン合金に対する熱処理の後に、時効処理を行おうとしたが、特許文献１に記載のチタン合金は、β安定化元素のタンタルの含有量が多く、α相の析出に数日間の時効処理を必要とするという課題が生じた。
　本第一発明は、斯かる実情に鑑み、従来よりも酸素の含有率を上げたチタン合金を提供しようとするものである。
　一方で、積極的にチタン合金に酸素を含有させようとする場合、上記特許文献２のチタン合金の製造方法では、溶解中において、大気中の元素がチタン合金に混入するので、チタン合金の組成を高精度に制御することが難しい。結果、特許文献２の製造方法では、そもそも酸素量のコントロールができないという問題があった。
　また、本発明者らの研究によると、上記特許文献３のチタン合金の製造方法では、焼結後のチタン合金において、チタンとバナジウム族元素が不均一に拡散してしまうという問題があった。結果、特許文献３の製造方法では、チタン粉末の酸化被膜に含まれる酸素も不均一に拡散してしまうという問題があった。
　本第二発明は、斯かる実情に鑑み、チタン合金に含有する組成比率を高精度に制御しつつ、全体を均質化可能なチタン合金の製造方法を提供しようとするものである。
　本第一発明のチタン合金は、全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、１５～２７ａｔ％のタンタル（Ｔａ）と、１～８ａｔ％のスズ（Ｓｎ）と、０．４～１．７ａｔ％の酸素（Ｏ）と、残部がチタン（Ｔｉ）と不可避不純物とからなることを特徴とする。
　また、本第一発明のチタン合金において、等軸α相の平均粒径が０．０１μｍ～１．０μｍの範囲内であることを特徴とする。
　また、本第一発明のチタン合金において、単位面積当たりに等軸α相が占める面積占有率が０．１％～１０％の範囲内であることを特徴とする。
　また、本第一発明のチタン合金において、引張試験において、永久歪みが０．５％に到達したときの応力を０．５％歪み時応力と定義した場合に、前記０．５％歪み時応力が、４００ＭＰａ～１２００ＭＰａの範囲内であることを特徴とする。
　本第二発明のチタン合金の製造方法は、少なくとも、チタン（Ｔｉ）を主成分とするチタン粉末と、バナジウム族元素を主成分とするバナジウム族粉末とを混合して混合粉末を得る混合工程と、前記混合工程で混合された前記混合粉末を加熱して固相拡散結合させることで固化体を得る固化工程と、前記固化体を加熱溶解して、チタン合金を生成する溶解工程と、を備えることを特徴とする。
　また、本第二発明のチタン合金の製造方法において、前記固化工程では、９００～１４００℃の間のいずれかの温度で加熱することで前記混合粉末を固相拡散結合させることを特徴とする。
　また、本第二発明のチタン合金の製造方法において、前記固化工程では、前記混合粉末を真空下とし、加熱及び加圧によって前記混合粉末を固相拡散結合させることを特徴とする。
　また、本第二発明のチタン合金の製造方法において、前記溶解工程では、真空アーク再溶解法、又はコールドクルーシブル誘導溶解法によって前記固化物を溶解することを特徴とする。
　また、本第二発明のチタン合金の製造方法において、前記チタン合金が、全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、０．４～１．７ａｔ％の酸素（Ｏ）を含むことを特徴とする。
　また、本第二発明のチタン合金の製造方法において、前記バナジウム族粉末が、タンタル（Ｔａ）又はニオブ（Ｎｂ）を主成分とすることを特徴とする。
　また、本第二発明のチタン合金の製造方法において、前記チタン合金が、全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、１～８ａｔ％のスズ（Ｓｎ）を含むことを特徴とする。
　また、本第二発明のチタン合金の製造方法は、更に前記溶解工程で生成された前記チタン合金に対して熱処理を行う熱処理工程と、前記熱処理された前記チタン合金に対して時効処理を行う時効処理工程と、を備え、前記溶解工程を経た前記チタン合金が、全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、１５～２７ａｔ％のタンタル（Ｔａ）と、１～８ａｔ％のスズ（Ｓｎ）と、０．４～１．７ａｔ％の酸素（Ｏ）と、残部がチタン（Ｔｉ）と不可避不純物とからなるようにしたことを特徴とする。
　また、本第二発明のチタン合金の製造方法において、前記時効処理工程では、前記チタン合金に対して２４時間以下の時効処理を行って、前記チタン合金にα相を析出させることを特徴とする。
　本第一発明のチタン合金によれば、等軸α相の析出を容易にコントロールすることができるという優れた効果を奏し得る。本第二発明のチタン合金の製造方法によれば、チタン合金に含有する組成比率を高精度に制御しつつ、チタン合金の各成分を均質化することができるという優れた効果を奏し得る。なお、以下において、本第一発明及び本第二発明をまとめて単に本発明と呼ぶこととする。
Ｔａ－Ｔｉの２元系状態図である。 全体を１００原子％（ａｔ％）とした時、Ｔａの含有率が２３ａｔ％で、Ｓｎの含有率がｘ（ａｔ％）で、Ｏの含有率が０．２６ａｔ％のチタン合金（Ｔｉ－２３Ｔａ－ｘＳｎ―０．２６Ｏ）についての冷間加工性評価試験の結果を示したグラフである。 全体を１００原子％（ａｔ％）とした時、Ｔａの含有率が２３．４ａｔ％で、Ｓｎの含有率が３．４ａｔ％で、Ｏの含有率がｘ（ａｔ％）のチタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―ｘＯ）についての冷間加工性評価試験の結果を示した表である。 （Ａ）は、比較例となる比較例チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．２６Ｏ）の表面を、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）を用いて倍率２０００倍で観察した際のＳＴＥＭ像の写真である。（Ｂ）は、第一チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．７５Ｏ）の表面を、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）を用いて倍率２０００倍で観察した際のＳＴＥＭ像の写真である。（Ｃ）は、第二チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．９２Ｏ）の表面を、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）を用いて倍率２０００倍で観察した際のＳＴＥＭ像の写真である。なお、比較例チタン合金、及び第一，第二チタン合金に対応する各括弧内のＴａ、Ｓｎ、Ｏの元素表示に付された数値は、比較例チタン合金、及び第一，第二チタン合金のそれぞれの全体を１００原子％（ａｔ％）とした時の、各元素（Ｔａ、Ｓｎ、Ｏ）の原子％（ａｔ％）の数値を表す。 （Ａ）は、４００℃で１２時間時効処理を施された第三チタン合金（Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．６５Ｏ）の表面を、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）を用いて倍率２０００倍で観察した際のＳＴＥＭ像の写真である。（Ｂ）は、５００℃で１２時間時効処理を施された第三チタン合金（Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．６５Ｏ）の表面を、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）を用いて倍率２０００倍で観察した際のＳＴＥＭ像の写真である。なお、第三チタン合金に対応する各括弧内のＴａ、Ｓｎ、Ｏの元素表示に付された数値は、第三チタン合金のそれぞれの全体を１００原子％（ａｔ％）とした時の、各元素（Ｔａ、Ｓｎ、Ｏ）の原子％（ａｔ％）の数値を表す。 図５（Ａ）の点線四角領域を拡大した拡大図である。 （Ａ）は、本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した試験片Ｈ１，Ｔ１の組成を示す表である。（Ｂ）は、試験片Ｈ１，Ｔ１のそれぞれに対する引張試験の結果である応力―歪み線図である。 （Ａ）は、試験片Ｈ１に対して繰り返し応力－歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力－歪み線図である。（Ｂ）は、試験片Ｔ１に対して繰り返し応力－歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力－歪み線図である。（Ｃ）は、（Ａ），（Ｂ）の応力－歪み線図を重ね合わせた図である。 （Ａ）は、本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した試験片Ｈ２，Ｔ２の組成を示す表である。（Ｂ）は、試験片Ｈ２，Ｔ２のそれぞれに対する引張試験の結果である応力―歪み線図である。 （Ａ）は、試験片Ｈ２に対して繰り返し応力－歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力－歪み線図である。（Ｂ）は、試験片Ｔ２に対して繰り返し応力－歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力－歪み線図である。（Ｃ）は、（Ａ），（Ｂ）の応力－歪み線図を重ね合わせた図である。 （Ａ）は、試験片Ｔ１、試験片Ｔ２のそれぞれに対する引張試験の結果である応力―歪み線図を重ね合わせた図である。（Ｂ）は、試験片Ｔ１、試験片Ｔ２のそれぞれに対して繰り返し応力－歪を付与した引張試験を行った結果得られたそれぞれの応力－歪み線図を重ね合わせた図である。 時効処理前、時効処理後のＴｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―ｘＯの組成のチタン合金（ただし、０．４≦ｘ≦１．７）の試験片それぞれに対して引張試験を行った時の０．５％歪み時応力σと酸素含有率ｘの関係を示すグラフである。 （Ａ）は、本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した試験片Ｈ３，Ｔ３，Ｔ４の組成を示す表である。（Ｂ）は、熱処理温度を変えた複数の試験片Ｈ３，Ｔ３，Ｔ４のそれぞれに対するビッカース硬さ試験の結果を示すグラフである。 本発明の実施形態におけるチタン合金の製造方法の流れを示すフローチャートである。 （Ａ）は、本発明の実施形態におけるチタン合金の製造方法で用いられるＨＩＰ装置の概略図である。（Ｂ）は、本発明の実施形態におけるチタン合金の製造方法で用いられる真空アーク再溶解法（ＶＡＲ）を行う装置の概略図である。 （Ａ）は、ＨＩＰ処理により生成された固化体を、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて倍率４００倍で観察した際のＳＥＭ像の写真である。（Ｂ）は、（Ａ）の範囲においてＸ線を用いてＴｉの元素分析を行った際のＳＥＭ像の写真である。（Ｃ）は、（Ａ）の範囲においてＸ線を用いてＴａの元素分析を行った際のＳＥＭ像の写真である。（Ｄ）は、（Ａ）の範囲においてＸ線を用いてＳｎの元素分析を行った際のＳＥＭ像の写真である。
　以下、本発明の実施形態におけるチタン合金について添付図面を参照して説明する。
　＜チタン合金の構成＞
本発明の実施の形態におけるチタン合金は、全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、１５～２７ａｔ％のタンタル（Ｔａ）と、１～８ａｔ％のスズ（Ｓｎ）と、０．４～１．７ａｔ％の酸素（Ｏ）と、残部がチタン（Ｔｉ）及び不可避不純物から成る。なお、残部のチタン（Ｔｉ）の含有率は特に限定されるものではなく、原子比率で考えたときに、含有元素中で最も多い元素がチタン（Ｔｉ)であればよい。
　また、チタン合金は、最密六方晶（ＨＣＰ）であるα相を母相とするα型チタン合金、体心立方晶（ＢＣＣ）であるβ相を母相とするβ型チタン合金、最密六方晶（ＨＣＰ）であるα相と体心立方晶（ＢＣＣ）であるβ相とが共存するα＋β型チタン合金の３種類に大きく分類されるが、本発明に係るチタン合金の種類は特に限定されない。
　＜タンタル（Ｔａ）＞
タンタル（Ｔａ）は、本実施形態におけるチタン合金を、熱弾性型マルテンサイト変態を起こすチタン合金にする。Ｔａは、β相からα相への変態温度を低温側に下げ、室温においてβ相を安定化させるとともに、すべり変形（塑性変形）を起こしにくくする機能を有する。
　Ｔａの含有率は、チタン合金全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、１５～２７ａｔ％とするのが好ましく、１９～２５ａｔ％であればより好ましく、２２～２４ａｔ％であることが最も好ましい。
　Ｔａの含有率の上限値は、チタン合金の融点に基づいて設定される。図１は、Ｔａ－Ｔｉの２元系状態図である。図１に示されるように、Ｔａの含有率が２７％を超えると、チタン合金の融点が約２０００Ｋ以上となる可能性があるため、特殊な溶解炉が必要となり、生産コストが増大する。また、Ｔａ原料の溶融が不完全となる可能性が生じるため、チタン合金の品質低下を招くこととなる。
　Ｔａの含有率の下限値は、上述のβ相安定化機能、およびチタン合金の医療機器用材料や生体用材料等としての機械的性質に基づいて設定される。すなわち、β相安定化機能は、Ｔａの含有率が低下する程低下し、Ｔａの含有率を１５ａｔ％未満とした場合にはβ相を常温まで維持することが困難となる。このため、Ｔａの含有率が１５ａｔ％未満である場合、例えスズ（Ｓｎ）を添加したとしても医療機器用材料や生体用材料等に要求される機械的性質（ヤング率、引張強度、および弾性変形歪み）を得ることが難しくなる。従って、チタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＴａの含有率は、１５ａｔ％以上であることが好ましく、１９ａｔ％以上であればより好ましく、２２ａｔ％以上であることが最も好ましい。
　＜スズ（Ｓｎ）＞
スズ（Ｓｎ）は、変態温度を上昇させ、α相を安定させるα相安定化機能を有する。また、Ｓｎは、ヤング率を上昇させる要因となるω相の析出を抑制し、チタン合金の超弾性効果を高める機能を有する。
　Ｓｎの含有率は、チタン合金全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、１～８ａｔ％とするのが好ましく、２～６ａｔ％であればより好ましい。
　Ｓｎの含有率の上限値は、チタン合金の加工性（冷間加工性）に基づいて設定される。チタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＴａの含有率が２３ａｔ％のチタン合金（Ｔｉ－２３Ｔａ－ｘＳｎ―０．２６Ｏ）についての冷間加工性評価試験の結果を示したグラフである。なお、ｘはチタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＳｎの含有率（ａｔ％）である。本冷間加工性評価試験では、まずチタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＳｎの含有率ｘを０ａｔ％、１．５ａｔ％、３ａｔ％、６ａｔ％および９ａｔ％と変化させた複数の試験片（厚さ：１ｍｍ、熱処理なし）を用意した。そして、これらの試験片を０．１ｍｍの厚さまで冷間圧延（加工率８６％）し、冷間圧延後の各試験片における１ｍｍ以上の長さの亀裂の個数をカウントした。なお、この亀裂のカウントは、各試験片における圧延方向に１４０ｍｍの範囲内で行った。
　図２に示されるように、この評価試験の結果、Ｓｎの含有率を９ａｔ％とした場合に、急激に１ｍｍ以上の亀裂の発生が増加する、すなわち加工性が急激に悪化することが確認された。また、Ｔａの含有率が異なる場合においても、同様の傾向を示す結果となった。従って、チタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＳｎの含有率は、良好な加工性を得るためには、８ａｔ％以下であることが好ましく、６ａｔ％以下であればより好ましい。
　Ｓｎの含有率の下限値は、特に限定されないが、上述のω相抑制機能を十分に発揮させるためには、チタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＳｎの含有率は、１ａｔ％以上であることが好ましい。
　＜酸素（Ｏ）＞
酸素（Ｏ）は、変態温度を上昇させ、α相を安定させるα相安定化機能を有する。そして、Ｏは、Ｓｎよりもα相安定化機能が強い。また、酸素（Ｏ）は、結晶の変形を拘束し、形状記憶性の発現や軟化を防ぐ機能を有する。
　Ｏの含有率は、チタン合金全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、０．４～１．７ａｔ％とするのが好ましく、０．６～１．０ａｔ％であればより好ましい。
　＜Ｏの含有率の上限について（冷間加工評価）＞
Ｏの含有率の上限値は、チタン合金の加工性（冷間加工性）に基づいて設定される。Ｏの含有率を高くし過ぎると、Ｏの軟化を防ぐ機能によりチタン合金が硬くなり過ぎて、加工性が悪くなる。図３は、チタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＴａの含有率が２３．４ａｔ％で、Ｓｎの含有率が３．４ａｔ％のチタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―ｘＯ）についての冷間加工性評価試験の結果を示した表である。なお、ｘはチタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＯの含有率（ａｔ％）である。また、冷間加工性評価試験で用いられたチタン合金は、後述する＜チタン合金の製造方法＞により作成されたものである。
　本冷間加工性評価試験では、まずチタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―ｘＯ）全体を１００ａｔ％としたときのＯの含有率ｘを０．２６ａｔ％、０．５９ａｔ％、０．７５ａｔ％、０．９２ａｔ％、１．１４ａｔ％、１．４ａｔ％および１．５９ａｔ％に変化させた複数の試験片（直径φが１０ｍｍの丸線形状、熱処理なし）を用意した。これらの試験片に対して回転鍛造を行った。この際、どれくらいの加工率まで回転鍛造を行うことができるか否かについて、各試験片に対して評価を行った。
　図３に示されるように、この評価試験の結果、Ｏの含有率が０．２６～１．１４ａｔ％の試験片は、７５％以上の加工率となるように回転鍛造を行っても問題ないことが確認された。Ｏの含有率が１．４ａｔ％の試験片は、５０～７５％の加工率となるように回転鍛造を行っても問題なかったが、加工率が７５％を超えると亀裂が発生した。Ｏの含有率が１．５９ａｔ％の試験片は、５０％を超える加工率となるように回転鍛造を行うと亀裂が発生した。従って、良好な加工性を得るためには、チタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＯの含有率は、１．７ａｔ％以下であることが好ましく、１．４ａｔ％以下であればより好ましく、１．２ａｔ％以下であれば更に好ましい。
　＜Ｏの含有率の下限について（チタン合金の組織の評価）＞
Ｏの含有率の下限値は、特に機械的性質に基づいて設定される。つまり、従来のチタン合金では、β相が多く、小さい力で変形が生じてしまうため、成形後の形状を維持できない問題があった。このため、本実施形態のチタン合金では、結晶の変形を拘束し、その合金の強度を高めて軟化を防止する機能を有する等軸α相がある程度の量を析出していることが好ましい。本実施形態におけるチタン合金は、後述する＜チタン合金の製造方法＞で説明するが、冷間加工後に、熱処理を行った後に、時効処理を行うと、等軸α相が析出する。ちなみに、熱処理温度は、例えば、６００℃～１０００℃の範囲内が好ましく、７００℃～９００℃の範囲内がより好ましい。また、時効処理温度は、２００℃～５５０℃の範囲内が好ましく、３００℃～５００℃の範囲内がより好ましい。しかしながら、チタン合金においてＯの含有率が十分でないと、α安定元素としてのＯよりもβ安定元素としてのＴａの方が機能して、時効処理を行っても等軸α相がなかなか析出せず、等軸α相の析出に数日間にも亘る時効処理が必要となることがある。そして、Ｏの含有率が０．４ａｔ％未満であると、以下で説明する図４（Ａ）の比較例チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．２６Ｏ）のように、時効処理を２時間程度行っても等軸α相の析出量が十分でないため、成形後の形状を維持することが困難である。従って、チタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＯの含有率は、０．４ａｔ％以上であることが好ましく、０．６ａｔ％以上であればより好ましく、０．７５ａｔ％以上であることが最も好ましい。
　図４（Ｂ），（Ｃ）に、本実施形態における第一チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．７５Ｏ）、第二チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．９２Ｏ）の表面を、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）を用いて倍率２０００倍で観察した際のＳＴＥＭ像の写真を示す。そして、図４（Ａ）には、比較例となる比較例チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．２６Ｏ）の上記と同様の条件でのＳＴＥＭ像の写真を示す。第一、二チタン合金及び比較例チタン合金は、７００℃で２時間熱処理を施された後に、３００℃で２時間時効処理を施されている。
　図４（Ｂ），（Ｃ）に示す第一チタン合金および第二チタン合金のＳＴＥＭ像の写真には、等軸α相（図４（Ｂ），（Ｃ）の写真の粒状の白い部分参照）が析出している。そして、Ｏの含有率が多い図４（Ｃ）に示す写真の方が、図４（Ｂ）に示す写真の方よりも多くの等軸α相が析出している。一方、図４（Ａ）に示す比較例のチタン合金のＳＴＥＭ像の写真には、等軸α相に相当する白い部分がなく、等軸α相がほとんど析出してしない。図４（Ｂ），（Ｃ）に示すようなＯの含有率が高いものは、２時間程度の時効処理でも等軸α相が析出するが、図４（Ａ）に示すようなＯの含有率が低いものは、２時間程度の時効処理では等軸α相が析出しないことが確認できた。
　また、第三チタン合金（Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．６５Ｏ）の表面を、走査透過電子顕微鏡（ＳＴＥＭ）を用いて倍率２０００倍で観察した際のＳＴＥＭ像の写真を図５（Ａ），（Ｂ）に示す。図５（Ａ）に示す第三チタン合金は、９００℃で２時間熱処理を施された後に、４００℃で１２時間時効処理を施されている。図５（Ｂ）に示す第三チタン合金は、９００℃で２時間熱処理を施された後に、５００℃で１２時間時効処理を施されている。なお、第三チタン合金は、後述する＜チタン合金の製造方法＞で作成されたものである。
　図５（Ａ），（Ｂ）、及び図６に示す第三チタン合金のＳＴＥＭ像の写真には、等軸α相（粒状の白い部分参照）が析出している。ちなみに、図６は、図５（Ａ）の四角領域を拡大した拡大図である。図６の白い部分が等軸α相である。図５（Ａ）の等軸α相は、図６を参照すると確認可能である。そして、図５（Ｂ）に示す写真（５００℃で１２時間時効処理の第三チタン合金）の方が、図５（Ａ）に示す写真（４００℃で１２時間時効処理の第三チタン合金）の方よりも多くの等軸α相（図５（Ａ），（Ｂ）の写真の白い部分参照）が析出している。以上の結果から時効処理温度が高い方が等軸α相の析出量が多いことが確認できた。
　以上の結果から、Ｏの含有率、時効処理の時間、及び時効処理温度でチタン合金における等軸α相の析出量をコントロールできることが確認できた。このことからも、チタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＯの含有率は、０．４ａｔ％以上であることが好ましく、０．６ａｔ％以上であればより好ましく、０．７５ａｔ％以上であることが最も好ましいことがわかる。
　なお、第一チタン合金および第二チタン合金と、第三チタン合金を比較すると、第一チタン合金および第二チタン合金の方が等軸α相の析出量が多い。この理由は、第一チタン合金および第二チタン合金は、第一チタン合金および第二チタン合金のα＋β相領域に対応する温度（７００℃）で熱処理を施した後に時効処理を施したため、α相の析出が促進されたが、第三チタン合金は、第三チタン合金のβ相領域に対応する温度（９００℃）で熱処理を施した後に時効処理を施したため、α相の析出が促進されなかったからである。このため、α相の析出量は、時効処理前の熱処理温度により調整可能である。つまり、チタン合金の相状態を熱処理により制御することにより、時効処理でのα相の析出量を制御することができる。ちなみに、時効処理前の熱処理は、行ってもよいし、行わなくてもよい。
　ちなみに、図４（Ｂ）に示す第一チタン合金のＳＴＥＭ像の写真を解析した結果、第一チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．７５Ｏ）における等軸α相の平均粒径は、０．１３μｍであった。また、図４（Ｃ）に示す第二チタン合金のＳＴＥＭ像の写真を解析した結果、第二チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．９２Ｏ）における等軸α相の平均粒径は、０．１７μｍであった。この結果から、Ｏの含有率が増えると、それに伴って、時効処理により析出する等軸α相の平均粒径は大きくなる傾向にあると推測できる。
　また、図５（Ａ）に示す第三チタン合金のＳＴＥＭ像の写真を解析した結果、４００℃で１２時間時効処理を施された第三チタン合金（Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．６５Ｏ）における等軸α相の平均粒径は、０．０３μｍであった。また、図５（Ｂ）に示す第三チタン合金のＳＴＥＭ像の写真を解析した結果、５００℃で１２時間時効処理を施された第三チタン合金（Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．６５Ｏ）における等軸α相の平均粒径は、０．０５μｍであった。この結果から、時効処理温度が高くなるに従って、析出する等軸α相の平均粒径は大きくなる傾向にあると推測できる。
　そして、本発明のチタン合金において、等軸α相の平均粒径Ｐは、０．０１μｍ～１．００μｍの範囲内（０．０１μｍ≦Ｐ≦１．００μｍ）であることが好ましく、０．０２μｍ～０．５０μｍの範囲内（０．０２μｍ≦Ｐ≦０．５０μｍ）であることがより好ましく、０．０３μｍ～０．３０μｍの範囲内（０．０３μｍ≦Ｐ≦０．３０μｍ）であることが更に好ましい。
　また、図４（Ｂ）に示す第一チタン合金のＳＴＥＭ像の写真を解析した結果、第一チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．７５Ｏ）における等軸α相の面積率は、１．８９％であった。また、図４（Ｃ）に示す第二チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．９２Ｏ）における等軸α相の面積率は、５．２４％であった。なお、等軸α相の面積率とは、図４（Ｂ），（Ｃ）に示す断面のＳＴＥＭ像の写真において単位面積当たりに等軸α相が占める面積の割合（面積占有率）を指す。この結果から、Ｏの含有率が増えると、それに伴って、時効処理により析出する等軸α相の面積占有率は大きくなると推測できる。ちなみに、図４（Ａ）に示す比較例チタン合金（Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―０．２６Ｏ）のＳＴＥＭ像の写真では、等軸α相が確認できなかったので、比較例チタン合金における等軸α相の面積率は、０％となる。
　また、図５（Ａ）に示す第三チタン合金のＳＴＥＭ像の写真を解析した結果、４００℃で１２時間時効処理を施された第三チタン合金（Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．６５Ｏ）における等軸α相の面積率は、０．２１％であった。また、図５（Ｂ）に示す５００℃で１２時間時効処理を施された第三チタン合金（Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．６５Ｏ）における等軸α相の面積率は、１．４９％であった。この結果から、時効処理温度が高くなるに従って、時効処理により析出する等軸α相の面積占有率は大きくなると推測できる。
　そして、上記結果をベースとして本発明者らが解析した結果、１５～２７ａｔ％のタンタル（Ｔａ）と、１～８ａｔ％のスズ（Ｓｎ）と、０．４～１．７ａｔ％の酸素（Ｏ）と、残部がチタン（Ｔｉ）と不可避不純物とから成る本発明のチタン合金における等軸α相の面積占有率Ｑは、０．１％～１０％の範囲内（０．１％≦Ｑ≦１０％）であることが好ましく、０．１％～８％の範囲内（０．１％≦Ｑ≦８％）であることがより好ましく、０．１％～６％の範囲内（０．１％≦Ｑ≦６％）であることが更に好ましいことが確認された。
　以上のように、時効処理時間が同じでもチタン合金におけるＯの含有率が多いと、等軸α相の析出量は多くなり、チタン合金におけるＯの含有率が少ないと、等軸α相の析出量は少なくなる。従って、チタン合金において等軸α相を時効処理で特定の量析出させる場合、Ｏの含有率が多いチタン合金の方がＯの含有率が少ないチタン合金よりも短い時効処理時間で済む。また、組成が同じチタン合金でも時効処理温度が高いと等軸α相の析出量は増大し、時効処理温度が低いと等軸α相の析出量は減少する。
　ただし、等軸α相は、チタン合金の強度を上げる。しかし、Ｏの含有率が多くなり過ぎると、Ｏの固溶限界を超えてしまい、ＴｉＯやＴｉＯ２が生成されて加工性が低下する。このことが、図３に示す冷間加工性評価試験に表れている。
　なお、一般的なチタン合金にも、不可避不純物としての酸素がわずかに含有するが、その場合のチタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＯの含有率は０．２ａｔ％以下となる。そのようなチタン合金では、α安定元素としてのＯよりもβ安定元素としてのＴａの方が機能して、時効処理を行っても等軸α相がなかなか析出せず、等軸α相の析出に数日間にも亘る時効処理が必要となる。一方で、本実施形態のチタン合金のように、積極的にＯの含有率を上げ、Ｏの含有率が０．４ａｔ％に達すれば、α安定元素としてのＯが機能して、１２時間の時効処理で最低限の等軸α相が析出し、２４時間の時効処理で十分な等軸α相が析出する。また、チタン合金におけるＯの含有率が１．７ａｔ％に達すると、α安定元素としてのＯが十分に機能して、１時間の時効処理でも十分な等軸α相が析出する。このため、時効処理時間は、１～２４時間の範囲内が好ましく、１～４時間の範囲内がより好ましい。
　本実施形態に係るチタン合金は、構成元素であるＴｉ、Ｔａ、Ｓｎの金属イオンの溶出量が極めて少ない上に、優れた耐食性を示し、細胞毒性が低く、生体親和性が高く、外部の磁界により磁化がされにくい非磁性体であって磁気を嫌う医療機器（ＭＲＩ等）に悪影響を及ぼすおそれが極めて低く、高弾性で適度な剛性を有し、加工性の高い合金である。すなわち、本実施形態に係るチタン合金は、従来のチタン合金に比べて細胞毒性が低く、磁気特性、耐食性、機械的性質および加工性に優れたチタン合金となっている。このため、医療用のガイドワイヤ、デリバリーワイヤ、ステント、動脈瘤塞栓コイルもしくは静脈フィルタ等のカテーテル分野、または歯科治療用のクレンザー、リーマー、ファイルもしくは歯列矯正ワイヤ等の歯科分野や人工骨等の整形分野などの医療器具に好適である。
　なお、本発明に係るチタン合金は、上記した実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、本発明に係るチタン合金から、医療用のガイドワイヤ、デリバリーワイヤ、ステント、動脈瘤塞栓コイルもしくは静脈フィルタ等のカテーテル分野、または歯科治療用のクレンザー、リーマー、ファイルもしくは歯列矯正ワイヤ等の歯科分野や人工骨等の整形分野等を成形する方法は、従来公知の方法を採用することができ、例えば、伸線加工、引抜加工、鋳造、鍛造、プレス加工などが挙げられる。
　次に、本発明に係るチタン合金の実施例について説明する。なお、以下の試験片Ｔ１～Ｔ４、Ｈ１～Ｈ３は、後述する＜チタン合金の製造方法＞により作成されたものである。
　＜引張試験１＞
本願発明者は、Ｏの含有率を変えた本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した実施例１にかかる試験片Ｔ１と、比較例１にかかる試験片Ｈ１に対して引張試験を行った。図７（Ａ）は、引張試験を行う対象の試験片Ｔ１，Ｈ１の組成を表す表である。試験片Ｔ１，Ｈ１は、加工率が７５％となるような冷間加工（伸線加工）を行った直径φ０．４０６ｍｍの丸線形状である。また、比較例１にかかる試験片Ｈ１は、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．２５Ｏの組成のチタン合金を用いて作成されたものであり、Ｏの含有量が少ない。実施例１にかかる試験片Ｔ１は、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．８Ｏの組成のチタン合金を用いて作成されたものである。そして、試験片Ｔ１，Ｈ１を構成するチタン合金には、８９０℃で熱処理を１分行い、時効処理は行っていない。以上の試験片Ｔ１，Ｈ１に対して引張試験機を用いて引張試験を実施した。測定条件としては、評点間距離を５０ｍｍ、引張速度を２ｍｍ／分とした。
　試験片Ｔ１，Ｈ１に対して引張試験を行った結果として得られた応力－歪み線図を図７（Ｂ）に示す。応力が２００ＭＰａ付近までは、試験片Ｔ１，Ｈ１は同様の歪みが生ずるように変形している。そして、応力が２００ＭＰａ付近においてグラフは、変曲点Ｋ１を有する。図７（Ｂ）に示すように、試験片Ｈ１では、変曲点Ｋ１以降はグラフの傾斜がそれまでの傾斜に比べてかなり緩やかになり、途中において降伏領域を有していると推測される（図７（Ｂ）の点線円領域参照）。一方、試験片Ｔ１では、図７（Ｂ）に示すように、試験片Ｈ１の場合と同様に変曲点Ｋ１以降はグラフの傾斜がそれまでの傾斜に比べて緩やかになるが、グラフの傾斜は試験片Ｈ１のものと比較すると急となっている（図７（Ｂ）の点線円領域参照）。つまり、時効処理の有無に関係なく、Ｏの含有量が多い実施例１の試験片Ｔ１は、比較例１の試験片Ｈ１よりも硬い（降伏しにくい）材料特性を有すると言え、成形後の製品の形状を安定させることができると言える。
　＜引張試験２＞
図８（Ａ）は、引張試験１と同様の測定条件で、比較例１の試験片Ｈ１に対して繰り返し応力－歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力－歪み線図である。図８（Ｂ）は、引張試験１と同様の測定条件で、実施例１の試験片Ｔ１に対して繰り返し応力－歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力－歪み線図である。図８（Ｃ）は、図８（Ａ），（Ｂ）の応力－歪み線図を重ね合わせた図である。図８（Ａ）、（Ｃ）から明らかなように、４７０（ＭＰａ）の引張応力を加えて、試験片Ｈ１を０から２％程度歪ませた後に除荷すると、約０．３５％程度の永久歪みが残る。一方、図８（Ｂ）、（Ｃ）から明らかなように、同様に、４９０（ＭＰａ）の引張応力を加えて、試験片Ｔ１を０から２％程度歪ませた後に除荷すると、約０．２％程度の永久歪みしか残らない。結果、Ｏの含有率を増加させた実施例１の試験片Ｔ１の方が、比較例１の試験片Ｈ１よりも弾性限歪みが高いことが確認できた。
　更に、図８（Ａ）、（Ｃ）から明らかなように、５０３（ＭＰａ）の引張応力を加えて、試験片Ｈ１を０から２．２％程度歪ませた後に除荷すると、約０．５％程度の永久歪みが残る。一方、図８（Ｂ）、（Ｃ）から明らかなように、試験片Ｔ１に約０．５％程度の永久歪みを残そうとする場合、６２５（ＭＰａ）の引張応力を加えて０から２．６％程度ひずませた後に除荷する必要がある。結果、Ｏの含有率を増加させた実施例１の試験片Ｔ１の方が、比較例１の試験片Ｈ１よりも弾性限歪みが高いことが確認できた。
　＜引張試験３＞
また、本願発明者は、Ｏの含有率を変えた本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した実施例２にかかる試験片Ｔ２と、比較例２にかかる試験片Ｈ２に対して引張試験を行った。図９（Ａ）は、引張試験を行う対象の試験片Ｔ２，Ｈ２の組成を表す表である。試験片Ｔ２，Ｈ２を構成するチタン合金の組成は、実施例１の試験片Ｔ１，比較例１の試験片Ｈ２を構成するチタン合金に対して、更に３００℃で時効処理を１時間追加したものとなる。以上の試験片Ｔ２，Ｈ２に対して，引張試験機を用いて引張試験を実施した。測定条件としては、評点間距離を５０ｍｍ、引張速度を２ｍｍ／分とした。
　試験片Ｔ２，Ｈ２に対して引張試験を行った結果として得られた応力－歪み線図を図９（Ｂ）に示す。応力が２００ＭＰａ付近までは、試験片Ｔ２，Ｈ２は同様の歪みが生ずるように変形している。そして、応力が２００ＭＰａ付近においてグラフは、変曲点Ｋ２を有する。図９（Ｂ）に示すように、試験片Ｈ２では、変曲点Ｋ２以降はグラフの傾斜がそれまでの傾斜に比べてかなり緩やかになる（図９（Ｂ）の点線円領域参照）。一方、試験片Ｔ２では、図９（Ｂ）に示すように、試験片Ｈ２の場合と同様に変曲点Ｋ２以降はグラフの傾斜がそれまでの傾斜に比べて緩やかになるが、グラフの傾斜は試験片Ｈ２のものと比較すると急となっている（図９（Ｂ）の点線円領域参照）。つまり、時効処理後でも、試験片Ｔ２は、試験片Ｈ２に比べて硬い（降伏しにくい）材料特性を有すると言え、成形後の製品の形状を安定させることができると言える。
　そして、試験片Ｔ２，Ｈ２と、試験片Ｔ１，Ｈ１を比較すると、変曲点以降のグラフの傾斜度合いが試験片Ｔ２，Ｈ２の方が試験片Ｔ１，Ｈ１よりも急である。これは、時効処理を行っていないチタン合金と比較して、時効処理を行った方のチタン合金の方が、等軸α相が多く含まれてるため、硬質な金属の特性を有することに起因する。結果、時効処理を行った本実施形態のチタン合金の方が冷間加工後に成形をし易いと言える。
　更に、実施例１の試験片Ｔ１の引張試験１の結果（図７（Ｂ）参照）と、実施例２の試験片Ｔ２の引張試験３の結果（図９（Ｂ）参照）を比較すると、図１１（Ａ）に示すように、互いのグラフが交わる応力が８００（ＭＰａ）弱の区間までは、同じ応力を加えても試験片Ｔ２の方が試験片Ｔ１よりも生じる歪みが小さい。また、試験片Ｔ１，Ｔ２のそれぞれの応力が最大値（引張強さ）に至った以降は、試験片Ｔ１，Ｔ２共にほぼ一定の応力（引張強さ）で歪みが増大していく。ちなみに、試験片Ｔ１の応力の最大値（引張強さ）は、略８７０（ＭＰａ）程度で、試験片Ｔ２の応力の最大値（引張強さ）は、略８４０（ＭＰａ）程度である。そして、試験片Ｔ２は、試験片Ｔ１に比べて破断に至る歪みが略１．２倍程度大きくなっている。この結果から、時効処理を行った方のチタン合金は、時効処理を行っていないチタン合金に比べて、等軸α相がより多く析出してより硬質な特性を示すと共に、より延性が向上すると言える。
　＜引張試験４＞
図１０（Ａ）は、引張試験３と同様の測定条件で、試験片Ｈ２に対して繰り返し応力－歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力－歪み線図である。図１０（Ｂ）は、引張試験３と同様の測定条件で、試験片Ｔ２に対して繰り返し応力－歪を付与した引張試験を行った結果として得られた応力－歪み線図である。図１０（Ｃ）は、図１０（Ａ），（Ｂ）の応力－歪み線図を重ね合わせた図である。図１０（Ａ）、（Ｃ）から明らかなように、５００（ＭＰａ）弱の引張応力を加えて、試験片Ｈ２を０から２％程度歪ませた後に除荷すると、約０．２％程度の永久歪みが残る。一方、図１０（Ｂ）、（Ｃ）から明らかなように、５８０（ＭＰａ）の引張応力を加えて、同様に試験片Ｔ２を０から２％程度歪ませた後に除荷すると、約０．１％弱程度の永久歪しか残らない。結果、Ｏの含有率を増加させた試験片Ｔ２の方が試験片Ｈ２よりも弾性限歪みが高いことが確認できた。
　更に、図１０（Ａ）、（Ｃ）から明らかなように、６１６（ＭＰａ）の引張応力を加えて、試験片Ｈ２を０から２．６％程度歪ませた後に除荷すると、約０．５％程度の永久歪みが残る。一方、図１０（Ｂ）、（Ｃ）から明らかなように、試験片Ｔ２に約０．５％程度の永久歪みを残そうとする場合、７６８（ＭＰａ）の引張応力を加えて０から３．０％程度ひずませた後に除荷する必要がある。結果、Ｏの含有率を増加させた実施例２の試験片Ｔ２の方が、比較例２の試験片Ｈ２よりも弾性限歪みが高いことが確認できた。
　更に、実施例１の試験片Ｔ１の引張試験２の結果（図８（Ｂ）参照）と、実施例２の試験片Ｔ２の引張試験４の結果（図１０（Ｂ）参照）を比較すると、図１１（Ｂ）に示すように、例えば、時効処理を行っていない試験片Ｔ１は、４９０（ＭＰａ）程度の引張応力を加えて２％程度歪ませた後に除荷すると０．２％の歪みが生じるが、時効処理を行った試験片Ｔ２は、５８０（ＭＰａ）程度の引張応力を加えて２％程度歪ませた後に除荷すると０．１％弱程度の歪みしか発生しない。つまり、時効処理を行っていないチタン合金に比べて、時効処理を行ったチタン合金の方が、弾性限歪みが高いと言える。
　同様に、図１１（Ｂ）に示すように、例えば、時効処理を行っていない試験片Ｔ１は、６２５（ＭＰａ）程度の引張応力を加えて２．６％程度歪ませた後に除荷すると０．５％の歪みが生じるが、時効処理を行った試験片Ｔ２は、７６８（ＭＰａ）程度の引張応力を加えて３％程度歪ませた後に除荷すると０．５％の歪みが生じる。つまり、時効処理を行っていないチタン合金に比べて、時効処理を行ったチタン合金の方が、弾性限歪みが高いと言える。
　ここで、引張試験において、永久歪みが０．５％に到達したときの応力を０．５％歪み時応力σ（ＭＰａ）と定義する。図８（Ｂ）から明らかなように、試験片Ｔ１における０．５％歪み時応力σは、６２５（ＭＰａ）となる。また、図１０（Ｂ）から明らかなように、試験片Ｔ２における０．５％歪み時応力σは、７６８（ＭＰａ）となる。つまり、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．８Ｏの組成のチタン合金では、時効処理前後で０．５％歪み時応力σは、６２５～７６８（ＭＰａ）の範囲のいずれかになる。
　一方、図８（Ａ）から明らかなように、試験片Ｈ１における０．５％歪み時応力σは、５０３（ＭＰａ）となる。また、図１０（Ａ）から明らかなように、試験片Ｈ２における０．５％歪み時応力σは、６１６（ＭＰａ）となる。つまり、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．２５Ｏの組成のチタン合金では、時効処理前後で０．５％歪み時応力σは、５０３～６１６（ＭＰａ）の範囲のいずれかになる。
　上記の実験結果をベースとした本発明者らの解析により、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―ｘＯの組成のチタン合金（ただし、Ｏの含有率ｘが０．４（ａｔ％）≦ｘ≦１．７（ａｔ％））の０．５％歪み時応力σは、ｘを変数とする１次関数に近似的に表せることが明らかとなった。このグラフを図１２に示す。時効処理前（無し）のチタン合金の場合、０．５％歪み時応力σは、σ＝２２１．８２ｘ＋４４７．５５の関数で表すことができる。また、時効処理後なら、０．５％歪み時応力σは、σ＝２７６．３６ｘ＋５４６．９１の関数で表すことができる。図１２から明らかなように、時効処理前なら、Ｏ含有率ｘ＝０．４（ａｔ％）の時、０．５％歪み時応力σ＝５３６（ＭＰａ）となり、Ｏ含有率ｘ＝１．７（ａｔ％）の時、０．５％歪み時応力σ＝８２４（ＭＰａ）となる。つまり、時効処理前なら、０．４≦ｘ≦１．７の範囲では、５３６≦σ≦８２４を満たす。また、図１２から明らかなように、時効処理後なら、ｘ＝０．４の時、０．５％歪み時応力σ＝６５７（ＭＰａ）、ｘ＝１．７の時、０．５％歪み時応力σ＝１０１６（ＭＰａ）を満たす。つまり、時効処理後なら、０．４≦ｘ≦１．７の範囲では、６５７≦σ≦１０１６となる。以上から、０．４≦ｘ≦１．７の範囲で、０．５％歪み時応力σは、時効処理前後において、少なくとも５３６（ＭＰａ）≦σ≦１０１６（ＭＰａ）を満たすことが検証された。
　以上の結果を考慮すると、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―ｘＯの組成のチタン合金（ただし、０．４≦ｘ≦１．７）の試験片に対して引張試験を行った時の０．５％歪み時応力σは、４００（ＭＰａ）以上が好ましく、１２００（ＭＰａ）以下、つまり、４００ＭＰａ～１２００ＭＰａの範囲内（４００ＭＰａ≦σ≦１２００ＭＰａ）が好ましい。更に、０．５％歪み時応力σは、望ましくは、５００（ＭＰａ）以上とし、より望ましくは５３０（ＭＰａ）以上とする。また、０．５％歪み時応力σは、１０００（ＭＰａ）以下が望ましく、更に望ましくは、９００（ＭＰａ）以下とし、より望ましくは８３０（ＭＰａ）以下とする。
　参考として、引張試験において、永久歪みが０．２％に到達したときの応力（０．２％歪み時応力）について考えると、図８（Ｂ）から明らかなように、試験片Ｔ１における０．２％歪み時応力は、４９０（ＭＰａ）となる。また、図１０（Ｂ）から明らかなように、試験片Ｔ２における０．２％歪み時応力は概ね７００（ＭＰａ）となる。つまり、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．８Ｏの組成のチタン合金では、時効処理前後で０．２％歪み時応力が、４９０～７００（ＭＰａ）の範囲のいずれかになる。なお、図１０（Ａ）から明らかなように、試験片Ｈ２における０．２％歪み時応力は、５００（ＭＰａ）となることから、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．２５Ｏの組成のチタン合金では、０．２％歪み時応力σが５００（ＭＰａ）以下となってくる。
　永久歪み０．２％時の応力は、試験片によって変動が生じやすい領域であることから、元来、上述の通り０．５％歪み時応力を利用して解析すべきであるが、仮に永久歪み０．２％時応力側で解析すると、時効処理前なら、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―ｘＯの組成のチタン合金（ただし、０．４≦ｘ≦１．７）における０．２％歪み時応力は、概ね、４００≦σ≦７００（ＭＰａ）の範囲を満たすと推測できる。また、時効処理後なら、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―ｘＯの組成のチタン合金（ただし、０．４≦ｘ≦１．７）における０．２％歪み時応力は、概ね、６００≦σ≦９００の範囲を満たすと推測できる。このため、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―ｘＯの組成のチタン合金（ただし、０．４≦ｘ≦１．７）における０．２％歪み時応力は、時効処理前後において、概ね、４００≦σ≦９００の関係式が成り立つと推測できる。
　＜ビッカース硬さ試験＞
また、本願発明者は、Ｏの含有率を変えた本発明の実施形態におけるチタン合金を用いて作成した実施例３－１の試験片Ｔ３、および実施例３－２の試験片Ｔ４に対してビッカース硬さ試験を行った。本ビッカース硬さ試験では、測定点を１０点とし、０．１（Ｎ）の荷重を測定点に掛けた。なお、比較例３の試験片Ｈ３も用意して同様にビッカース硬さ試験を行った。
　図１３（Ａ）は、ビッカース硬さ試験を行う対象の試験片Ｔ３、Ｔ４、Ｈ３の組成を表す表である。試験片Ｔ３、Ｔ４、Ｈ３は、直径φ０．５１７ｍｍの丸線形状である。また、試験片Ｈ３は、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．２５Ｏの組成のチタン合金を用いて作成されたものであり、Ｏの含有量が少ない。試験片Ｔ３は、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．６Ｏの組成のチタン合金を用いて作成されたものであり、試験片Ｔ４は、Ｔｉ－２３Ｔａ－３Ｓｎ―０．８Ｏの組成のチタン合金を用いて作成されたものである。そして、試験片Ｔ３、Ｔ４、Ｈ３に対して熱処理を施していないもの及び、試験片Ｔ３、Ｔ４、Ｈ３に対して４５０℃、５００℃、５５０℃、６５０℃、７００℃、７５０℃で熱処理を３０分施したものを用意した。
　本ビッカース硬さ試験の結果を図１３（Ｂ）に示す。図１３（Ｂ）に示すように、熱処理温度が５５０℃までは、試験片Ｔ３、Ｔ４、Ｈ３は、熱処理による大きな変化はなかった。一方、６５０℃以上の熱処理では、Ｏの含有率が多いほどチタン合金の硬さが大きくなる傾向にあることが確認できた。つまり、Ｏの含有率を高めた場合は、熱処理温度は、例えば、６００℃～１０００℃の範囲内が好ましく、７００℃～９００℃の範囲内がより好ましいことがわかる。
　以上の＜引張試験１＞～＜引張試験４＞及び＜ビッカース硬さ試験＞により、Ｏの含有率を増加させることにより弾性限歪み及び材料の強度が向上することが確認できた。結果、Ｏの含有率を適度に増やせば、後加工がしやすい適度な硬さと弾性限歪みを有するチタン合金となることがわかった。
＜チタン合金の製造方法＞
以下、本発明の実施形態におけるチタン合金の製造方法について添付図面を参照して説明する。図１４及び図１５を参照して、本発明の実施形態におけるチタン合金の製造方法について以下説明する。
　＜混合工程＞
まず、図１４に示すように、チタン（Ｔｉ）を主成分とするＴｉ粉末と、タンタル（Ｔａ）を主成分とするＴａ粉末と、スズ（Ｓｎ）を主成分とするＳｎ粉末を用意して、それらを所定の混合比で混合する混合工程を行う（ステップＳ１００）。なお、本実施形態においてＴｉ粉末、Ｔａ粉末、Ｓｎ粉末は、いずれも３２５（メッシュ：ｍｅｓｈ／ｉｎｃｈ）以下のいずれかの大きさの網目を有する篩で篩い分けして、その篩を通過可能な粒度（粒径）を有するものを想定している。なお、上記Ｔｉ粉末は、チタン（Ｔｉ）が９０％以上含まれるものが好ましく、チタン（Ｔｉ）が９５％以上含まれるものがより好ましく、チタン（Ｔｉ）が９９％以上含まれるものが更に好ましい。この場合、Ｔｉ粉末の残りの成分にはチタン（Ｔｉ）とは別の成分が含まれる。また、上記Ｔｉ粉末におけるチタン（Ｔｉ）には、純粋なチタン（Ｔｉ）が含まれてもよいし、酸化皮膜を有するチタン（Ｔｉ）が含まれてもよい。上記Ｔａ粉末は、タンタル（Ｔａ）が９０％以上含まれるものが好ましく、タンタル（Ｔａ）が９５％以上含まれるものがより好ましく、タンタル（Ｔａ）が９９％以上含まれるものが更に好ましい。この場合、Ｔａ粉末の残りの成分にはタンタル（Ｔａ）とは別の成分が含まれる。また、上記Ｔａ粉末におけるタンタル（Ｔａ）には、純粋なタンタル（Ｔａ）が含まれてもよいし、酸化皮膜を有するタンタル（Ｔａ）が含まれてもよい。上記Ｓｎ粉末は、スズ（Ｓｎ）が９０％以上含まれるものが好ましく、スズ（Ｓｎ）が９５％以上含まれるものがより好ましく、スズ（Ｓｎ）が９９％以上含まれるものが更に好ましい。この場合、Ｓｎ粉末の残りの成分にはスズ（Ｓｎ）とは別の成分が含まれる。また、上記Ｓｎ粉末におけるスズ（Ｓｎ）には、純粋なスズ（Ｓｎ）が含まれてもよいし、酸化皮膜を有するスズ（Ｓｎ）が含まれてもよい。
　同じ重量なら、粒度が小さい粉末は、粒度が大きい粉末よりも粉末を構成する粒の数が多くなる。結果、同じ重量で比較した場合、粒度が小さい粉末の方が、粒度が大きい粉末よりも酸素に反応する表面面積が大きい。チタン粉末（Ｔｉ）やタンタル粉末（Ｔａ）は、酸化被膜によって大気中で安定状態となっている。結果、同じ重量で比較した場合、粒度が小さいチタン粉末（Ｔｉ）やタンタル粉末（Ｔａ）を混ぜた方が、粒度が大きい粉末よりも最終生成物であるチタン合金におけるＯの含有率は増える。従って、チタン粉末（Ｔｉ）やタンタル粉末（Ｔａ）の粒度は、チタン合金におけるＯの含有率に影響するものであり、チタン合金におけるＯの含有率は、各粉末の粒度を適切に選択することにより調整することができる。このため、チタン合金における酸素の含有率が異なるものを複数設けるには、Ｔｉ粉末、Ｔａ粉末のうち少なくとも１つの粒度を変更すればよい。なお、Ｔｉ粉末及び／又はＴａ粉末の粒径を小さくするのみでは、希望する酸素含有量が達成できない場合に、チタニア粉末は、それ自身が酸素を含有していることから、追加でチタニア粉末を混ぜてもよい。なお、Ｓｎ粉末の粒度を変えることによりＯの含有率を変えることは可能であるが、本実施形態においてＳｎ粉末の含有量は少ないため、Ｓｎ粉末の粒度を変えてもチタン合金におけるＯの含有率に影響を与えづらい。
　例えば、全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、１５～２７ａｔ％のタンタル（Ｔａ）と、１～８ａｔ％のスズ（Ｓｎ）と、０．４～１．７ａｔ％の酸素（Ｏ）と、残部がチタン（Ｔｉ）及び不可避不純物から成るような混合比でＴｉ粉末又はチタニア粉末、Ｔａ粉末、Ｓｎ粉末を均一に混合する。以上を、重量％に換算すると、全体を１００重量％（ｗｔ％）としたときに、Ｔａは、４０～５６ｗｔ％となり、Ｓｎは、２～１０ｗｔ％となり、Ｏは、０．１～０．３ｗｔ％のＯとなり、残部がチタン（Ｔｉ）及び不可避不純物となる。例えば、Ｔｉ－２３．４Ｔａ－３．４Ｓｎ―ｘＯのチタン合金の場合、全体を１００重量％としたときに、Ｔａ粉末が５２重量％で、Ｓｎ粉末が５重量％で、残りがＴｉ粉末又はチタニア粉末となるように混合する。そして、Ｏの含有率は、表面に酸化皮膜を有するＴｉ粉末やＴａ粉末の粒度で調整したり、チタニア粉末を用いたりして調整する。なお、本実施形態ではＳｎ粉末の含有量が少ないため、Ｓｎ粉末がＯの含有率に与える影響は少ないと推測される。なお、ａｔ％の表示は原子％を表すものであり、以下においてａｔ％の表示は、対応するチタン合金全体を１００原子％（ａｔ％）としたとき、対応する元素の原子％を表すものとして用いるものとする。また、以下において、チタン合金の組成を表すＴａ、Ｓｎ、Ｏの元素表示に付された数値（以下におけるチタン合金の直後の括弧内を参照。）は、チタン合金全体を１００原子％（ａｔ％）とした時の、各元素（Ｔａ、Ｓｎ、Ｏ）の原子％（ａｔ％）の数値を表す。
　＜固化工程＞
次に、図１４に示すように、上記混合工程で均一に混合されたＴｉ粉末又はチタニア粉末、Ｔａ粉末、及びＳｎ粉末の混合粉末（以下、単に、混合粉末と呼ぶ。）を真空下とし、混合粉末を固相拡散結合させることで固化する固化工程を行う（ステップＳ１０１）。固化工程により上記混合粉末が固化体となる。なお、混合粉末は、真空下に配置された状態で固相拡散結合されるため、固化体に、外気から想定しない酸素（Ｏ）が入り込むことを制限することができる。また、本実施形態において固化体とは、混合粉末を固相拡散結合させて一つの塊となったものを言う。また、固化工程では、例えば、通常の加熱処理（例えば、加熱による焼結処理）、加圧と加熱を同時に行う加圧・加熱処理等が採用される。加圧・加熱処理としては、例えば、熱間等方圧加圧法（ＨＩＰ：Hot Isostatic Pressing）、スパーク・アイソスタティック・プレス法（ＳＩＰ：Spark Isostatic Pressing）、放電プラズマ焼結法（ＳＰＳ：Spark Plasma Sintering）のいずれかが用いられ、それらのいずれかにより混合粉末が固化される。ちなみに、ＨＩＰ，ＳＩＰは、等方（静水）加圧であり、ＳＰＳは、プレス機械及び金型を用いるので方向性を有する加圧（軸方向加圧）である。また、本実施形態において混合粉末が配置される真空下での圧力は、例えば、１．０×１０－１（Ｐａ）以下が好ましく、１．０×１０－２～１．０×１０－５（Ｐａ）の範囲内がより好ましく、１．０×１０－２～１．０×１０－３（Ｐａ）の範囲内が更に好ましい。
　ここでは、図１５（Ａ）を参照して、固化工程で熱間等方圧加圧法による処理（以下、ＨＩＰ処理と呼ぶ。）を用いる場合を例にとって説明する。まず、ＨＩＰ用容器２に上記混合粉末５を加圧充填する。ＨＩＰ用容器２は、例えば、一方の端面側が開口し、他方の端面側が閉塞された円筒容器と、蓋とにより構成される。円筒容器に対して混合粉末５を圧縮しながら充填して、その円筒容器を電子ビーム装置（図示せず）の真空チャンバー内に設置する。そして、真空チャンバー内の圧力を、例えば、１．０×１０－２～１．０×１０－３（Ｐａ）の範囲内の真空状態にして電子ビーム溶接を行い、ＨＩＰ用容器２の開口に蓋を溶接してＨＩＰ用容器２を密封する。これにより、混合粉末は、ＨＩＰ用容器２内で真空下に配置される。
　ＨＩＰ用容器２の素材は、Ｔａ以外の材料が採用されることが好ましいが、Ｔａは極めて高価であり、量産で用いるには現実的ではない。このため、例えば、ＨＩＰ用容器２の素材として、Ｔｉまたは鉄を主成分とする素材が用いることが好ましく、望ましくは鉄を主成分とするものがより好ましい。ちなみに、一般的なＨＩＰ処理では、混合粉末５の中で最も融点の高い素材（ここではＴａ）と同一材料でＨＩＰ用容器２を製作する。
　そして、ＨＩＰ装置１が有するＨＩＰ炉３の断熱部３Ａの内側にＨＩＰ用容器２を設置する。なお、ＨＩＰ装置１は、アルゴンなどの実質的に不活性なガス及びヒーター４の加熱によりＨＩＰ炉３の断熱部３Ａの内側領域を高温・高圧の雰囲気にすることができるように構成される。また、ガスは、ＨＩＰ炉３のガス導入通路３Ｂを通じて外部からＨＩＰ炉３の内部に供給される。そして、ＨＩＰ用容器２に対して高温・高圧が所定時間加わると、ＨＩＰ用容器２を通じて混合粉末５は加圧および加熱される。結果、混合粉末５は、固相拡散結合して固化体となる。なお、混合粉末５は、真空状態でＨＩＰ用容器２内に密封されるため、ＨＩＰ用容器２を通じて混合粉末５が加圧および加熱されても、固化体に、外気から想定しない酸素（Ｏ）が入り込むことを制限することができる。ちなみに、ＨＩＰ処理の直後には、ＨＩＰ用容器２と固化体は、強固に結合された状態になっている。このため、ＨＩＰ用容器２と固化体を分離するには、ＨＩＰ用容器２、及びＨＩＰ用容器２と固化体が混合している層を工作機械により切削する。結果、固化体のみが残る。これにより、円柱形状の固化体が形成される。
　ＨＩＰ処理においてＨＩＰ装置のＨＩＰ炉３の内部の温度を、例えば、１０００℃とし、圧力を９８ＭＰａとし、その条件下でＨＩＰ用容器を所定時間程度置くと固化体が出来上がる。なお、ＨＩＰ炉３の内部の温度は、ＨＩＰ用容器２が破損したり、溶解したりしない範囲なら、いずれであってもよい。そのようなＨＩＰ炉３の内部の温度として、例えば、７００℃～１６００℃が好ましく、９００℃～１４００℃がより好ましく、１０００℃～１２００℃が更に好ましい。また、ＨＩＰ炉３の内部の圧力は、５０～２００（ＭＰａ）が好ましく、７０～１８０（ＭＰａ）がより好ましく、９０～１２０（ＭＰａ）が更に好ましい。
　なお、Ｔａの融点は、３０１７℃とかなり高温である。ＨＩＰ炉３の内部温度を、例えば、９００℃～１４００℃程度にしても、本実施形態のチタン合金のように、Ｔａの割合が１５ａｔ％以上の高い含有比率の場合、各粉末が完全に均一に拡散する可能性は低い。つまり、ＨＩＰ処理で生成された固化体には、Ｔａ、Ｓｎ、Ｔｉ及びＯが均一に拡散されず、Ｔａ、Ｓｎ、Ｔｉ及びＯのいずれかが偏在する領域が含まれてしまう可能性がある。そのことを確認するため、本願発明者は、ＨＩＰ炉３の内部温度を１０００℃とし、ＨＩＰ炉３の内部圧力を９８ＭＰａとして上記のように混合粉末（Ｔａ粉末の含有率が２３．４ａｔ％で、Ｓｎ粉末の含有率が３．４ａｔ％で、残りがＴｉ粉末で、各粉末の粒度が１０～４５μｍ）を固化体にした際、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）及びＸ線を用いて、固化体においてＴａ、Ｓｎ、Ｔｉがどのように分布しているのかを調べた。その結果を図１６（Ａ）～（Ｄ）に示す。図１６（Ａ）は、走査電子顕微鏡（ＳＥＭ）を用いて倍率４００倍で固化体を観察した際のＳＥＭ像の写真である。図１６（Ｂ）～（Ｄ）に示すように、図１６（Ａ）のＳＥＭ像の範囲におけるＴｉ、Ｔａ、Ｓｎの分布は、一様に分布しておらず、Ｔｉ粉末、Ｔａ粉末、及びＳｎ粉末は、均一に拡散していないことがわかる。以上から、Ｔｉ粉末、Ｔａ粉末、及びＳｎ粉末は、ＨＩＰ炉３の内部温度を９００℃～１４００程度では、Ｔａの割合が非常に高いこの組成では各粉末同士が拡散して完全に合金化する可能性が低いことが実際に確認された。
　一方で、ＨＩＰ炉３の内部温度を上記温度よりも高温にすると、ＨＩＰ用容器２自体の破損を招き、ひいては、ＨＩＰ炉３自体の故障も生じやすい。また、１４００℃よりも高温の加熱を実現するために、ＨＩＰ用容器２を高温に耐え得る材料（例えば、Ｔａ）で形成することも考えられるが、既に述べたように、ＨＩＰ用容器２をＴａ材料にすると、極めて高額となるため、現実的ではない。
　＜溶解工程＞
次に、図１４に示すように、上記固化工程で固化された混合粉末の固化体を溶解する溶解工程を行う（ステップＳ１０２）。溶解工程により固化体が溶解され、チタン合金のインゴットとなる。上記のように、固化体は、各成分が均一に拡散していないが、溶解工程を行うことにより各成分が均一に溶融（溶解）し、各成分が均一に分散されたチタン合金のインゴットを得ることができる。なお、溶解工程では、融点が異なるＴａ、Ｓｎ、及びＴｉを同時に溶解させて均一に拡散させるために、Ｔａ、Ｓｎ、及びＴｉの全てを同時に溶解することができる温度で固化体を溶解させる好ましい。溶解工程では、例えば、真空アーク再溶解法（ＶＡＲ：Vacuum Arc Remelting）、エレクトロスラグ再溶解法（ＥＳＲ：ElectroSlag Remelting）、真空誘導溶解法（ＶＩＭ：Vacuum Induction Melting）、コールドクルーシブル誘導溶解法（ＣＣＩＭ:Cold Crucible Induction Melting）、プラズマアーク溶解法（ＰＡＭ:Plasma Arc Melting）、電子ビーム溶解法（ＥＢＭ：Electron Beam Melting）のいずれかが用いられ、それらのいずれかにより固化体が溶解される。
　ここでは、図１５（Ｂ）を参照して、溶解工程で真空アーク再溶解法（ＶＡＲ）を用いる場合を例にとって説明する。まず、固化工程で設けられた円柱形状の固化体を消耗電極６として、アーク溶解炉８内において吊下げられるロッド９に連結する。結果、消耗電極６は、アーク溶解炉８内において真下に溶湯プール１０が位置する状態で、ロッド９に吊下げ支持される。この状態において、ロッド９を経て消耗電極６に電流を流すと、消耗電極６と溶湯プール１０の間にアーク放電が生じる。アーク放電により発する高熱により、消耗電極６が加熱されて溶解され、それがその下に溜まってチタン合金のインゴット１１となる。
　なお、上記チタン合金のインゴット１１を消耗電極６として、ロッド９に連結した後に、上記のようにアーク溶解炉８内に設置して、再度、電流を流して溶解してもよい。そして、この処理は、複数回行うことにより、各成分の均一化の信頼性を高めることができるため、更に繰り返し行ってもよい。以上のようにしてチタン合金が設けられる。
　＜冷間加工工程＞
次に、図１４に示すように、上記溶解工程で設けられたチタン合金のインゴットに対して冷間加工を行う（ステップＳ１０３）。チタン合金のインゴットに対する冷間加工により、線材や棒材等のチタン合金の加工物が形成される。
　＜熱処理工程＞
次に、図１４に示すように、上記冷間加工工程で設けられたチタン合金の加工物に対して熱処理をする熱処理工程を行う（ステップＳ１０４）。熱処理温度は、例えば、６００℃～１０００℃が好ましく、７００℃～９００℃がより好ましい。なお、熱処理工程は省略されてもよい。
　＜時効処理工程＞
次に、図１４に示すように、上記熱処理工程で熱処理を施されたチタン合金、又は、冷間加工工程を経て、熱処理工程を施されていないチタン合金に対して時効処理をする時効処理工程を行う（ステップＳ１０５）。時効処理温度は、２００℃～５５０℃が好ましく、３００℃～５００℃がより好ましい。本実施形態におけるチタン合金に所定時間、上記時効処理をすると、チタン合金に等軸α相等が析出する。なお、α相は、等軸組織化されたものに限定されるものではなく、その他の態様のものが含まれてもよい。
　なお、本製造方法で製造された図５（Ａ），（Ｂ）に示す第三チタン合金の説明でも触れているが、同じ組成のチタン合金なら、時効処理温度が高い方が等軸α相の析出量が多い。これに伴って、析出する等軸α相の平均粒径、等軸α相の面積占有率は大きくなる。
　そして、繰り返しになるが、一般的なチタン合金にも、不可避不純物としての酸素がわずかに含有するが、その場合のチタン合金全体を１００ａｔ％としたときのＯの含有率は０．２ａｔ％以下となる。そのようなチタン合金では、α安定元素としてのＯよりもβ安定元素としてのＴａの方が機能して、時効処理を行っても等軸α相がなかなか析出せず、等軸α相の析出に数日間にも亘る時効処理が必要となる。一方で、本製造方法により積極的にＯの含有率を上げ、Ｏの含有率が０．４ａｔ％に達すれば、α安定元素としてのＯが機能して、１２時間の時効処理で最低限の等軸α相が析出し、２４時間の時効処理で十分な等軸α相が析出する。また、チタン合金におけるＯの含有率が１．７ａｔ％に達すると、α安定元素としてのＯが十分に機能して、１時間の時効処理でも十分な等軸α相が析出する。このため、時効処理時間は、１～２４時間の範囲内が好ましく、１～４時間の範囲内がより好ましい。
　なお、本発明に係るチタン合金の製造方法は、上記した実施形態に限定されるものではなく、例えば、タンタル（Ｔａ）粉末と一緒に又はタンタル（Ｔａ）粉末に代えて、バナジウム族（５ａ族）の他の元素（５ａ族元素：バナジウム族元素）であるバナジウム（Ｖ）またはニオブ（Ｎｂ）で構成される粉末（５ａ族粉末：バナジウム族粉末）を用いてもよい。つまり、チタン合金の組成として、タンタル（Ｔａ）と一緒に又はタンタル（Ｔａ）に代えて、バナジウム族の他の元素であるバナジウム（Ｖ）またはニオブ（Ｎｂ）を含有させてもよい。本製造方法で得られるチタン合金によって、品質が極めて安定する。ちなみに、バナジウム（Ｖ）またはニオブ（Ｎｂ）も、タンタルと同様に融点が高いため、固相拡散結合のみでは、チタン合金の内部組成が不均一になりやすく、冷間加工後の金属部品の品質保証が困難となる。
　ただし、Ｖ、Ｎｂ、Ｔａの融点は、それぞれ順に、１９１０℃、２４７７℃、３０１７℃であり、チタンの融点は、１６６８℃である。つまり、Ｖの融点は、チタンの融点に比べて若干大きい程度であるが、Ｎｂ，Ｔａの融点は、チタンの融点に比べて約１．５倍以上ある。このため、固化工程においてＮｂ，Ｔａは、均一に拡散できない度合いがＶよりも大きいと推測される。結果、Ｎｂは、Ｔａと同様に、固化工程において図３に示す分布に類似したものになり得る。従って、Ｎｂ，Ｔａは、Ｖに比べて溶解工程で均一化されることが特に重要であると言える。
　なお、本発明に係るチタン合金、及びチタン合金の製造方法は、上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。例えば、本発明に係るチタン合金から、医療用のガイドワイヤ、デリバリーワイヤ、ステント、クリップ、動脈瘤塞栓コイルもしくは静脈フィルタ、または歯科治療用のクレンザー、リーマー、ファイルもしくは歯列矯正ワイヤなどを成形する方法は、従来公知の方法を採用することができ、例えば、伸線加工、引抜加工、鋳造、鍛造、プレス加工などが挙げられる。
　本発明のチタン合金は、医療用のガイドワイヤ、デリバリーワイヤ、ステント、クリップ、動脈瘤塞栓コイルもしくは静脈フィルタ等のカテーテル分野、または歯科治療用のクレンザー、リーマー、ファイルもしくは歯列矯正ワイヤ等の歯科分野や人工骨等の整形分野等に利用することができる。
　１　ＨＩＰ装置
　２　ＨＩＰ用容器
　３　ＨＩＰ炉
　３Ａ　断熱部
　３Ｂ　ガス導入通路
　４　ヒーター
　５　混合粉末
　６　消耗電極
　８　アーク溶解炉
　９　ロッド
　１０　溶湯プール
　１１　インゴット

Claims (13)

  1. 　全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、
    　１５～２７ａｔ％のタンタル（Ｔａ）と、
    　１～８ａｔ％のスズ（Ｓｎ）と、
    　０．４～１．７ａｔ％の酸素（Ｏ）と、
    　残部がチタン（Ｔｉ）と不可避不純物とからなることを特徴とする、
    　チタン合金。
  2. 　等軸α相を有し、
    　前記等軸α相の平均粒径が０．０１μｍ～１．０μｍの範囲内であることを特徴とする、
    　請求の範囲１に記載のチタン合金。
  3. 　等軸α相を有し、
    　断面における単位面積当たりに前記等軸α相が占める面積占有率が０．１％～１０％の範囲内であることを特徴とする、
    　請求の範囲１に記載のチタン合金。
  4. 　引張試験において、永久歪みが０．５％に到達したときの応力を０．５％歪み時応力と定義した場合に、
    　前記０．５％歪み時応力が、４００ＭＰａ～１２００ＭＰａの範囲内であることを特徴とする、
    　請求の範囲１～３のいずれか一項に記載のチタン合金。
  5. 　少なくとも、チタン（Ｔｉ）を主成分とするチタン粉末と、バナジウム族元素を主成分とするバナジウム族粉末とを混合して混合粉末を得る混合工程と、
    　前記混合工程で混合された前記混合粉末を加熱して固相拡散結合させることで固化体を得る固化工程と、
    　前記固化体を加熱溶解して、チタン合金を生成する溶解工程と、
    　を備えることを特徴とする、
    　チタン合金の製造方法。
  6. 　前記固化工程では、９００～１４００℃の間のいずれかの温度で加熱することで前記混合粉末を固相拡散結合させることを特徴とする、
    　請求の範囲５に記載のチタン合金の製造方法。
  7. 　前記固化工程では、前記混合粉末を真空下とし、加熱及び加圧によって前記混合粉末を固相拡散結合させることを特徴とする、
    　請求の範囲５または６に記載のチタン合金の製造方法。
  8. 　前記溶解工程では、真空アーク再溶解法又はコールドクルーシブル誘導溶解法によって前記固化体を溶解することを特徴とする、
    　請求の範囲５～７のいずれか一項に記載のチタン合金の製造方法。
  9. 　前記チタン合金が、全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、０．４～１．７ａｔ％の酸素（Ｏ）を含むことを特徴とする、
    　請求の範囲５～８のいずれか一項に記載のチタン合金の製造方法。
  10. 　前記バナジウム族粉末が、タンタル（Ｔａ）又はニオブ（Ｎｂ）を主成分とすることを特徴とする、
    　請求の範囲５～９のいずれか一項に記載のチタン合金の製造方法。
  11. 　前記チタン合金が、全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、１～８ａｔ％のスズ（Ｓｎ）を含むことを特徴とする、
    　請求の範囲５～１０のいずれか一項に記載のチタン合金の製造方法。
  12. 　前記溶解工程で生成された前記チタン合金に対して熱処理を行う熱処理工程と、
    　前記熱処理された前記チタン合金に対して時効処理を行う時効処理工程と、
    　を備え、
    　前記溶解工程を経た前記チタン合金が、全体を１００原子％（ａｔ％）としたときに、１５～２７ａｔ％のタンタル（Ｔａ）と、１～８ａｔ％のスズ（Ｓｎ）と、０．４～１．７ａｔ％の酸素（Ｏ）と、残部がチタン（Ｔｉ）と不可避不純物とからなるようにしたことを特徴とする、
    　請求の範囲５～８のいずれか一項に記載のチタン合金の製造方法。
  13. 　前記時効処理工程では、前記チタン合金に対して２４時間以下の時効処理を行って、前記チタン合金にα相を析出させることを特徴とする、
    　請求の範囲１２に記載のチタン合金の製造方法。
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