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WO2021220621A1 - 搬送車システム - Google Patents

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WO2021220621A1
WO2021220621A1 PCT/JP2021/008998 JP2021008998W WO2021220621A1 WO 2021220621 A1 WO2021220621 A1 WO 2021220621A1 JP 2021008998 W JP2021008998 W JP 2021008998W WO 2021220621 A1 WO2021220621 A1 WO 2021220621A1
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WO
WIPO (PCT)
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article
traveling
transport
carriage
buffer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2021/008998
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
靖久 伊藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
Priority to US17/920,958 priority Critical patent/US12148643B2/en
Priority to JP2022517529A priority patent/JP7323059B2/ja
Priority to CN202180029801.9A priority patent/CN115427329A/zh
Publication of WO2021220621A1 publication Critical patent/WO2021220621A1/ja
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    • H01L21/67769—Storage means

Definitions

  • One aspect of the present invention relates to a transport vehicle system.
  • Patent Document 1 discloses a system in which a trolley transports an article (container) on a grid-like traveling path.
  • an object of one aspect of the present invention is to provide a transport vehicle system capable of improving the transport efficiency of articles.
  • the transport vehicle system transfers an article between a first traveling portion traveling on a track and a mounting portion moving along a horizontal direction with respect to the first traveling portion.
  • a transport trolley having a transfer portion, a second traveling portion that travels on the track on which the transport trolley travels, and a second traveling portion that are integrally movable are provided, and the transfer portion of the transport trolley provides an article. It is provided with an article loading portion provided so that it can be delivered, and a buffer trolley having the article placing portion.
  • the transport trolley and the buffer trolley move in a row, or the articles held by the transport trolley are temporarily retracted to the buffer trolley to temporarily retract one transport trolley. It is possible to improve the transport efficiency of the goods in.
  • the article placing section may be provided so that a plurality of articles can be placed.
  • the existing transport carts so that a plurality of articles are transported by one transport cart and the transport efficiency of the articles is improved. Conceivable.
  • the size of the transport trolley in a plan view from above has an upper limit. ..
  • an article placing section for placing a plurality of articles is provided. , The size of the dolly can be maintained. As a result, many articles can be transported at one time, so that the efficiency of transporting the articles can be improved.
  • the transport vehicle system may further have a first rotating portion that rotates the article placing portion along the horizontal direction.
  • the article loading portion of the buffer trolley can arbitrarily change the posture when delivering the article to the transport trolley, so that the transport trolley can deliver the article to the buffer trolley from various directions. It will be possible.
  • the transport vehicle system further has a guide portion having a function of preventing the article from jumping out from the article placing portion to the outside of the article placing portion, and the first rotating portion is for placing the article.
  • the guide part is not arranged between the part and the outside, and the guide part is arranged between the article placing part and the outside in the first state where the pop-out prevention function is disabled, and the pop-out prevention function is enabled.
  • the article placing portion may be rotated between the second state and the second state. In this configuration, the pop-out prevention function can be easily realized by utilizing the function of the first rotating portion that rotates the article placing portion.
  • the transport vehicle system further includes a controller for controlling the buffer carriage, and the controller prohibits traveling in the second traveling portion when the article loading portion is in the first state, and the article loading portion May be permitted to travel in the second traveling unit when is in the second state.
  • the transfer portion includes an article holding portion for holding an article, an elevating drive portion for raising and lowering the article holding portion, and a slide for sliding the elevating drive portion in a horizontal direction. Even if it has a mechanism, a second rotating portion that rotates the slide mechanism in the horizontal direction, and a third rotating portion that rotates the article holding portion or the elevating drive portion in the horizontal direction. good.
  • the transfer section having this configuration can deliver the article to the article loading section of the buffer carriage from various directions in a predetermined posture.
  • FIG. 1 is a perspective view showing an example of a transport vehicle system according to an embodiment.
  • FIG. 2 is a perspective view showing an example of a transport carriage.
  • FIG. 3 is a side view showing an example of a transport carriage.
  • FIG. 4 is a perspective view showing an example of a buffer carriage.
  • FIG. 5 is a side view showing an example of the buffer carriage.
  • FIG. 6 (A) is a diagram showing an article placing portion in the first state seen from the IV-IV direction
  • FIG. 6 (B) is a diagram showing an article placing portion in the second state seen from the IV-IV direction. It is a figure which shows.
  • FIG. 7 is a block diagram showing a functional configuration of the transport vehicle system.
  • FIG. 8 is a side view showing a delivery state of an article between the transport carriage and the buffer carriage.
  • 9 (A) to 9 (D) are explanatory views showing variations in the positional relationship between the transport carriage and the buffer carriage.
  • the transport vehicle system SYS according to one embodiment will be described with reference to the drawings.
  • the same elements are designated by the same reference numerals, and duplicate description will be omitted.
  • the dimensional ratios in the drawings do not always match those described.
  • the XYZ coordinates are set in FIGS. 1 to 5.
  • a plane parallel to the horizontal plane is defined as an XY plane.
  • One direction along the XY plane is referred to as the X direction
  • the Y direction the direction orthogonal to the X direction
  • the direction perpendicular to the XY plane is referred to as the Z direction.
  • the direction indicated by the arrow in the drawing is the + direction
  • the direction opposite to the direction indicated by the arrow is the ⁇ direction.
  • the direction of rotation around the vertical axis or the Z axis is referred to as the ⁇ Z direction.
  • the transport vehicle system SYS shown in FIG. 1 is a grid system for transporting an article M by a transport carriage V in, for example, a clean room of a semiconductor manufacturing factory.
  • the transport vehicle system SYS includes the first transport carriage V1 to the nth transport carriage Vn (hereinafter, may be collectively referred to as the transport carriage V) and the first buffer carriage VB1 to the nth buffer carriage.
  • It includes VBn (hereinafter, may be collectively referred to as a buffer carriage VB) and a system controller 5 that controls a plurality of transport carriages V and a plurality of buffer carriages VB.
  • the transport carriage V and the buffer carriage VB move along the rail (track) R of the transport vehicle system SYS.
  • the rail R is a traveling path of the transport carriage V and the buffer carriage VB.
  • the transport carriage V and the buffer carriage VB move along the rail R of the transport vehicle system SYS and convey an article M such as a FOUP accommodating a semiconductor wafer or a reticle Pod accommodating a reticle.
  • an example of the article M an example in which a FOUP having a front surface Mb provided with a lid and a back surface Mc facing the front surface Mb is transported will be described. do.
  • the rail R is laid on or near the ceiling of a building such as a clean room.
  • the rail R is provided adjacent to, for example, a processing device, a stocker (automated warehouse), or the like.
  • the processing apparatus is, for example, an exposure apparatus, a coater developer, a film forming apparatus, an etching apparatus, or the like, and various processes are applied to the semiconductor wafer in the container transported by the transport carriage V.
  • the stocker stores the article M transported by the transport carriage V and the buffer carriage VB.
  • the rail R is an example of the form of the traveling path.
  • the rails R are arranged in a grid pattern in a plan view.
  • the rail R is a rail that extends in the horizontal direction and is suspended from the ceiling or the like.
  • the rail R has a plurality of first rails R1, a plurality of second rails R2, and a plurality of intersections R3.
  • the rail R will be referred to as a grid-like rail R.
  • the plurality of first rails R1 extend along the X direction, respectively.
  • the plurality of second rails R2 extend along the Y direction, respectively.
  • the grid-like rail R is formed in a grid pattern in a plan view by the plurality of first rails R1 and the plurality of second rails R2.
  • the grid-like rail R forms a plurality of squares by the plurality of first rails R1 and the plurality of second rails R2.
  • the intersection R3 is arranged at a portion where the first rail R1 and the second rail R2 intersect.
  • the intersection R3 is adjacent to the first rail R1 in the X direction and adjacent to the second rail R2 in the Y direction.
  • the intersection R3 is a connection track that connects the first rail R1 and the second rail R2, connects the first rail R1 to each other, and connects the second rail R2 to each other.
  • the transport carriage V and the buffer carriage VB travel along the first rail R1
  • the transport carriage V and the buffer carriage VB travel along the second rail R2
  • the transport carriage V and the buffer This is a track used when the bogie VB travels from the first rail R1 to the second rail R2 or from the second rail R2 to the first rail R1.
  • the grid-like rail R is provided in a direction in which the plurality of first rails R1 and the plurality of second rails R2 are orthogonal to each other, so that a plurality of grid cells (cells) 2 are adjacent to each other in a plan view.
  • One grid cell 2 corresponds to one grid, and is surrounded by two first rails R1 adjacent to each other in the Y direction and two second rails R2 adjacent to each other in the X direction in a plan view. It is a rectangular area.
  • FIG. 1 shows a part of the grid-like rail R, and the grid-like rail R has the same structure continuously formed in the X direction and the Y direction from the structure shown in the figure.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection R3 are suspended and supported by a hanging member H (see FIG. 1) on a ceiling (not shown).
  • the suspending member H includes a first portion H1 for suspending the first rail R1, a second portion H2 for suspending the second rail R2, and a third portion H3 for suspending the intersection R3. Have.
  • the first portion H1 and the second portion H2 are provided at two locations sandwiching the third portion H3, respectively.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection R3 each have traveling surfaces R1a, R2a, and R3a on which the traveling wheels 21 of the transport carriage V and the buffer carriage VB, which will be described later, travel.
  • a gap is formed between the first rail R1 and the intersection R3, and between the second rail R2 and the intersection R3, respectively.
  • the gap between the first rail R1 and the intersection R3 and between the second rail R2 and the intersection R3 is such that the transport carriage V and the buffer carriage VB travel on the first rail R1 and pass through the second rail R2.
  • This is a portion through which the first connecting portion 30 described later, which is a part of the transport carriage V and the buffer carriage VB, passes when crossing or when traveling on the second rail R2 and crossing the first rail R1.
  • the gaps between the first rail R1 and the intersection R3 and between the second rail R2 and the intersection R3 are provided with a width through which the first connecting portion 30 can pass.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection R3 are provided along the same horizontal plane.
  • the first rail R1, the second rail R2, and the intersection R3 are arranged on the same horizontal plane as the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a.
  • the transport vehicle system SYS is equipped with a communication system (not shown).
  • the communication system is used for communication between the transport carriage V and the system controller 5.
  • the transport carriage V, the buffer carriage VB, and the system controller 5 are connected to each other so as to be able to communicate with each other via a communication system.
  • the configuration of the transport carriage V will be explained. As shown in FIGS. 1 to 3 and 7, the transport carriage V is provided so as to be able to travel along the grid rail R.
  • the transport carriage V includes a first main body portion 10, a first traveling portion 20, a first connecting portion 30, and a transport carriage controller 50.
  • the first main body portion 10 is arranged below the grid-like rail R (on the side in the ⁇ Z direction).
  • the first main body portion 10 is formed, for example, in a rectangular shape in a plan view.
  • the first main body portion 10 is formed so as to fit in one grid cell 2 on the grid-like rail R in a plan view. Therefore, a space is secured that allows the carrier carriage V and the buffer carriage VB traveling on the adjacent first rail R1 or second rail R2 to pass each other.
  • the first main body portion 10 includes an upper unit 17 and a transfer device (transfer portion) 18.
  • the upper unit 17 is suspended from the first traveling portion 20 via the first connecting portion 30.
  • the upper unit 17 has, for example, a rectangular shape in a plan view, and has four corners on the upper surface 17a and the lower surface 17b.
  • the first main body portion 10 has a traveling wheel 21, a first connecting portion 30, and a direction changing mechanism 34 at each of the four corner portions on the upper surface 17a.
  • the first main body 10 can be stably suspended and supported by the traveling wheels 21 arranged at the four corners of the upper surface 17a of the first main body 10, and the first main body 10 can be suspended and supported. Can be run stably.
  • the transfer device 18 moves along the horizontal direction with respect to the first traveling unit 20 to transfer the article M between the load port P or the article loading portion 61 of the buffer carriage VB. do.
  • the transfer device 18 is provided below the upper unit 17.
  • the transfer device 18 is rotatable around the rotation shaft AX1 in the Z direction.
  • the transfer device 18 has an article holding portion 13 that holds the article M under the grid rail R, an elevating drive portion 14 that raises and lowers the article holding portion 13 in the vertical direction, and an elevating drive portion 14 that moves up and down in the horizontal direction. It has a third rotating portion 16 for rotating the moving portion 16, a side-out mechanism (slide mechanism) 11 for sliding and moving the elevating drive portion 14 in the horizontal direction, and a second rotating portion 12 for holding the side-out mechanism 11. ..
  • the load port P is a transfer destination or transfer source of the transport trolley V, and is a point at which the article M is delivered to and from the transport trolley V.
  • the buffer carriage VB will be described in detail later.
  • the article holding portion 13 suspends and holds the article M by gripping the flange portion Ma of the article M.
  • the article holding portion 13 is, for example, a chuck having a claw portion 13a that can move in the horizontal direction, and the claw portion 13a is advanced below the flange portion Ma of the article M to raise the article holding portion 13 to raise the article. Hold M.
  • the article holding portion 13 is connected to a hanging member 13b such as a wire or a belt.
  • the elevating drive unit 14 is, for example, a hoist, and the article holding portion 13 is lowered by feeding out the hanging member 13b, and the article holding portion 13 is raised by winding up the hanging member 13b.
  • the elevating drive unit 14 is controlled by the transport carriage controller 50 to lower or raise the article holding unit 13 at a predetermined speed. Further, the elevating drive unit 14 is controlled by the transport carriage controller 50 to hold the article holding unit 13 at a target height.
  • the third rotating portion 16 is provided between the side-out mechanism 11 and the elevating drive portion 14.
  • the third rotating portion 16 has a rotating member 16a and a rotating driving portion 16b.
  • the rotating member 16a is provided so as to be rotatable in the axial direction in the Z direction.
  • the rotating member 16a supports the elevating drive unit 14.
  • an electric motor or the like is used to rotate the rotation member 16a in the axial direction of the rotation shaft AX3.
  • the third rotating unit 16 rotates the rotating member 16a by the driving force from the rotating driving unit 16b, and rotates the elevating driving unit 14 and the article holding unit 13 in the axial direction of the rotating shaft AX3. Can be done.
  • the side-out mechanism 11 has, for example, a plurality of movable plates arranged so as to be stacked in the Z direction.
  • An elevating drive unit 14 is attached to the lowermost movable plate.
  • the movable plate moves in a direction perpendicular to the traveling direction of the transport carriage V in the horizontal plane, and the elevating drive unit 14 and the article holding portion 13 attached to the lowermost movable plate travel the transport carriage V. Sideways (slide movement) in the direction perpendicular to the direction.
  • the second rotating portion 12 is provided between the side-out mechanism 11 and the upper unit 17.
  • the second rotating portion 12 has a rotating member 12a and a rotating driving portion 12b.
  • the rotating member 12a is provided so as to be rotatable in the axial direction in the Z direction.
  • the rotating member 12a supports the side-out mechanism 11.
  • an electric motor or the like is used to rotate the rotation member 12a in the axial direction of the rotation shaft AX1.
  • the second rotating unit 12 rotates the rotating member 12a by the driving force from the rotating driving unit 12b, and causes the side-out mechanism 11 (elevating drive unit 14 and the article holding unit 13) to rotate around the axis of the rotating shaft AX1. It can be rotated in a direction.
  • the transport carriage V can deliver the article M to the load port P and the buffer carriage VB (see FIG. 8). The delivery of the article M with the buffer carriage VB in the transport carriage V will be described in detail later.
  • the rotation shaft AX1 and the rotation shaft AX3 coincide with each other in a state where the side-out mechanism 11 does not slide the elevating drive unit 14 and the article holding unit 13.
  • the transport carriage V may be provided with a cover W.
  • the cover W surrounds the transfer device 18 and the article M held by the transfer device 18.
  • the cover W has a shape in which the lower end is open and has a shape in which a portion where the movable plate of the lateral protrusion mechanism 11 protrudes is cut out.
  • the upper end of the cover W is attached to the rotating member 12a of the second rotating portion 12, and the cover W rotates around the axis of the rotating shaft AX1 as the rotating member 12a rotates.
  • the first traveling unit 20 has a traveling wheel 21 and an auxiliary wheel 22.
  • the traveling wheels 21 are arranged at the four corners of the upper surface 17a of the upper unit 17 (first main body 10). Each of the traveling wheels 21 is attached to an axle provided on the first connecting portion 30.
  • Each of the traveling wheels 21 is rotationally driven by the driving force of the traveling driving unit 33.
  • Each of the traveling wheels 21 rolls on the grid rail R.
  • Each of the traveling wheels 21 rolls the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a of the first rail R1, the second rail R2, and the intersection R3, and travels the transport carriage V. It should be noted that not all of the four traveling wheels 21 are rotationally driven by the driving force of the traveling driving unit 33, and a part of the four traveling wheels 21 may be rotationally driven.
  • the traveling wheel 21 is provided so as to be rotatable in the ⁇ Z direction about the rotation shaft AX2.
  • the traveling wheel 21 is rotated in the ⁇ Z direction by the direction changing mechanism 34 described later, and as a result, the traveling direction of the transport carriage V can be changed.
  • One auxiliary wheel 22 is arranged before and after the traveling wheel 21 in the traveling direction.
  • Each of the auxiliary wheels 22, like the traveling wheels 21, is rotatable around an axle parallel or substantially parallel along the XY plane.
  • the lower end of the auxiliary wheel 22 is set to be higher than the lower end of the traveling wheel 21. Therefore, when the traveling wheel 21 is traveling on the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a, the auxiliary wheel 22 does not come into contact with the traveling surfaces R1a, R2a, and R3a.
  • the auxiliary wheel 22 causes the traveling surfaces R1a, R2a, and the auxiliary wheel 22 to pass. It comes into contact with R3a and suppresses the depression of the traveling wheel 21. It should be noted that the present invention is not limited to providing two auxiliary wheels 22 on one traveling wheel 21, and for example, one auxiliary wheel 22 may be provided on one traveling wheel 21, or one auxiliary wheel 22 may not be provided. May be good.
  • the first connecting portion 30 connects the upper unit 17 of the first main body portion 10 and the first traveling portion 20.
  • the first connecting portion 30 is provided at each of the four corners of the upper surface 17a of the upper unit 17 (first main body portion 10).
  • the first main body portion 10 is suspended from the first traveling portion 20 by the first connecting portion 30, and is arranged below the grid-like rail R.
  • the first connecting portion 30 has a support member 31 and a connecting member 32.
  • the support member 31 rotatably supports the rotation shaft of the traveling wheel 21 and the rotation shaft of the auxiliary wheel 22.
  • the support member 31 holds a relative position between the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22.
  • the support member 31 is formed in a plate shape, for example, and has a thickness that allows it to pass through a gap between the first rail R1 and the intersection R3 and between the second rail R2 and the intersection R3.
  • the connecting member 32 extends downward from the support member 31 and is connected to the upper surface 17a of the upper unit 17 to hold the upper unit 17.
  • the connecting member 32 internally includes a transmission mechanism for transmitting the driving force of the traveling drive unit 33, which will be described later, to the traveling wheels 21.
  • This transmission mechanism may be configured to use a chain or a belt, or may be configured to use a gear train.
  • the connecting member 32 is provided so as to be rotatable in the ⁇ Z direction about the rotation shaft AX2. By rotating the connecting member 32 around the rotation shaft AX2, the traveling wheel 21 can be rotated in the ⁇ Z direction around the rotation shaft AX2 via the support member 31.
  • the first connecting portion 30 is provided with a traveling drive portion 33 and a direction changing mechanism 34.
  • the traveling drive unit 33 is attached to the connecting member 32.
  • the traveling drive unit 33 is a drive source for driving the traveling wheels 21, and for example, an electric motor or the like is used.
  • the four traveling wheels 21 are drive wheels driven by the traveling drive unit 33, respectively.
  • the four traveling wheels 21 are controlled by the transport carriage controller 50 so as to have the same rotation speed.
  • the direction changing mechanism 34 rotates the connecting member 32 of the first connecting portion 30 around the rotating shaft AX2, thereby rotating the traveling wheel 21 in the ⁇ Z direction around the rotating shaft AX2.
  • the traveling direction of the transport vehicle V is changed from the first state in which the traveling direction is the X direction to the second state in which the traveling direction is the Y direction, or the traveling direction is the Y direction. It is possible to switch from the state to the first state in which the traveling direction is the X direction. Due to the rotation of the direction changing mechanism 34, each of the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22 arranged at the four corners of the upper surface 17a rotates in the range of 90 degrees in the ⁇ Z direction around the rotation axis AX2.
  • the drive of the direction change mechanism 34 is controlled by the transport carriage controller 50.
  • the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22 By rotating the traveling wheel 21 and the auxiliary wheel 22, the traveling wheel 21 shifts from the state of being in contact with one of the first rail R1 and the second rail R2 to the state of being in contact with the other. Therefore, it is possible to switch between the first state in which the traveling direction of the transport carriage V is the X direction and the second state in which the traveling direction is the Y direction.
  • the transport carriage V includes a position detection unit 38 that detects position information.
  • the position detection unit 38 detects the current position of the transport carriage V by detecting a position marker (not shown) indicating the position information.
  • the position detection unit 38 detects the position marker by non-contact.
  • the position marker is installed for each grid cell 2 of the grid rail R.
  • the transport carriage controller 50 comprehensively controls the transport carriage V.
  • the transport trolley controller 50 is a computer including a CPU (Central Processing Unit), a ROM (Read Only Memory), a RAM (Random Access Memory), and the like.
  • the transport carriage controller 50 can be configured as software in which, for example, a program stored in the ROM is loaded on the RAM and executed by the CPU.
  • the transport carriage controller 50 may be configured as hardware using an electronic circuit or the like.
  • the transport carriage controller 50 may be composed of one device or a plurality of devices. When composed of a plurality of devices, one carrier trolley controller 50 is logically constructed by connecting them via a communication network such as the Internet or an intranet.
  • the transport carriage controller 50 is provided in the first main body 10 in the present embodiment (see FIG. 3), it may be provided outside the first main body 10.
  • the transport carriage controller 50 controls the traveling of the transport carriage V based on the transport command.
  • the transport carriage controller 50 controls the travel of the transport carriage V by controlling the traveling drive unit 33, the direction changing mechanism 34, and the like.
  • the transport carriage controller 50 controls, for example, a traveling speed, an operation related to stopping, and an operation related to a change of direction.
  • the transport carriage controller 50 controls the transfer operation of the transport carriage V based on the transport command.
  • the transport carriage controller 50 controls the transfer operation of the transport carriage V by controlling the transfer device 18 and the like.
  • the transport trolley controller 50 operates a load grab that grips the article M arranged in the article loading portion 61 of the predetermined load port P or the buffer trolley VB, and holds the article M in the predetermined load port P or the buffer. It controls the operation of unloading the trolley VB to the article loading portion 61.
  • the configuration of the buffer carriage VB will be explained. As shown in FIGS. 1 and 4 to 8, the buffer carriage VB is provided so as to be able to travel along the grid-like rail R on which the transport carriage V travels. The buffer carriage VB shares the traveling surface of the grid-like rail R on which the first traveling portion 20 of the transport carriage V travels.
  • the buffer carriage VB has a second main body portion 10A, a second traveling portion 20A, a second connecting portion 30A, and a buffer carriage controller 50A.
  • the second traveling unit 20A, the second connecting unit 30A, and the position detecting unit 38 provided in the buffer carriage VB are the first traveling unit 20, the first connecting unit 30, and the position detecting unit 38 provided in the transport carriage V. Since the configuration is the same as that of the above, detailed description thereof will be omitted here.
  • the second main body portion 10A is arranged below the grid-like rail R (on the -Z direction side).
  • the second main body portion 10A is formed, for example, in a rectangular shape in a plan view.
  • the second main body portion 10A is formed so as to fit in one grid cell 2 on the grid-like rail R in a plan view. Therefore, it is possible to pass the other transport carriage V and the buffer carriage VB traveling on the adjacent first rail R1 or second rail R2.
  • the second main body portion 10A includes an upper unit 17, a guide portion 65, and a mounting device 60.
  • the upper unit 17 is suspended and supported from the second traveling portion 20A via the second connecting portion 30A.
  • the upper unit 17 has, for example, a rectangular shape in a plan view, and has four corners on the upper surface 17a.
  • the second main body portion 10A has a traveling wheel 21, a second connecting portion 30A, and a direction changing mechanism 34 at each of the four corner portions of the upper surface 17a.
  • the second main body 10A can be stably suspended and supported by the traveling wheels 21 arranged at the four corners of the upper surface 17a of the second main body 10A, and the second main body 10A can be suspended and supported. Can be run stably.
  • the guide portion 65 is provided at each of the four corner portions of the lower surface 17b of the upper unit 17.
  • the guide portion 65 is a member of a triangular prism extending from the lower surface 17b as a base end toward the lower tip.
  • the guide portion 65 has a function of preventing the article M placed on the article placing portion 61 from jumping out to the outside E.
  • the mounting device 60 is a device in which the article M is placed by the transfer device 18 of the transport trolley V, and the article M is taken out by the transfer device 18 of the transport trolley V.
  • the mounting device 60 is provided below the upper unit 17.
  • the mounting device 60 can rotate around the rotation axis AX4 in the Z direction.
  • the mounting device 60 includes an article mounting portion 61 and a first rotating portion 63.
  • the article loading section 61 is provided so as to be movable integrally with the second traveling section 20A, and the article M can be delivered by the transfer device 18 of the transport carriage V.
  • the article mounting portion 61 includes a plate-shaped mounting portion 61a on which the article M is placed so as to support the bottom surface of the article M from below, and a mounting portion 61a that covers the side of the article M and covers the sides of the article M. It has a plate-shaped side portion 61b that connects to and from the first rotating portion 63.
  • the article placing portion 61 is formed in a U shape when viewed from the X direction in FIG. 4, for example, by bending a plate-shaped member by press working or the like.
  • the article placing portion 61 has openings 61c formed at both ends in the + X direction and the ⁇ X direction, so that the article M can be delivered (taken in and out) from both the + X direction and the ⁇ X direction. .. That is, the opening 61c of the article placing portion 61 is formed so that the movable plate of the side-drawing mechanism 11 holding the article M can enter.
  • the article placing portion 61 is formed in a size capable of placing two articles M and M. More specifically, the article placing portion 61 is formed in a size one size smaller than that of the upper unit 17 in a plan view, and is formed in a size that can be rotated within the range of the upper unit 17.
  • the article placing portion 61 may be provided with a positioning pin with which a groove or the like formed on the bottom surface of the article M is engaged.
  • the first rotating portion 63 is provided between the article placing portion 61 and the upper unit 17.
  • the first rotating portion 63 has a rotating member 63a and a rotating driving portion 63b.
  • the rotating member 63a is provided so as to be rotatable in the axial direction in the Z direction.
  • the rotating member 63a supports the article placing portion 61.
  • an electric motor or the like is used to rotate the rotation member 63a in the axial direction of the rotation shaft AX4.
  • the first rotating portion 63 can rotate the rotating member 63a by the driving force from the rotating driving unit 63b, and can rotate the article mounting portion 61 in the axial direction of the rotating shaft AX4. That is, the first rotating portion 63 rotates the rotating member 63a by the driving force from the rotating driving portion 63b, and rotates the article mounting portion 61 along the horizontal direction in the axial direction of the rotating shaft AX4. Can be moved.
  • the first rotating portion 63 rotates the article placing portion 61 according to the position of the transport carriage V. More specifically, the first rotating portion 63 aligns the position of the opening 61c of the article loading portion 61 with the feeding direction of the movable plate of the lateral feeding mechanism 11 in the transport carriage V. Is rotated. In the first rotating portion 63, when one article M is placed on the article loading portion 61, the article M is placed in the feeding direction of the movable plate of the lateral feeding mechanism 11 in the transport carriage V. The article placing portion 61 is rotated so as to align the position of the opening 61c on the side not provided.
  • the first rotating portion 63 delivers the article M to the transport carriage V that stops at a predetermined position from four directions, front, back, left, and right (FIG. 9). 8) is possible, and the article placing portion 61 is rotated.
  • the first rotating portion 63 is provided so that at least the article placing portion 61 can rotate 270 degrees.
  • the guide portion 65 is not arranged between the opening 61c of the article placing portion 61 and the external E, and the pop-out prevention function is invalidated.
  • the guide portion 65 is arranged between the first state (see FIG. 6A) and the opening 61c of the article placing portion 61 and the external E to enable the pop-out prevention function (FIG. 6). (Refer to 6 (B)), the article placing portion 61 is rotated.
  • the first state shown in FIG. 6A is the state of the article placing portion 61 when the article M is delivered to and from the transport carriage V (see FIG. 8).
  • the first state is a state in which the movable plate of the side-out mechanism 11 holding the article M can be inserted. That is, in the first state, the operation of the movable plate of the side-drawing mechanism 11 holding the article M is not hindered by the side portion 61b and the guide portion 65.
  • the back surface Mc of the article M placed in the predetermined mounting position slightly protrudes outward (slightly protrudes from the outer shape of the upper unit 17 in a plan view).
  • the second state shown in FIG. 6B is the state of the article placing portion 61 when the article M is conveyed.
  • the second state is a state in which the movable plate of the side-out mechanism 11 holding the article M cannot enter. That is, in the second state, the operation of the movable plate of the side-drawing mechanism 11 holding the article M is hindered by the side portion 61b and the guide portion 65. Since the guide portion 65 prevents the article M placed on the article placing portion 61 from jumping out from the opening 61c of the article placing portion 61 to the outside E, the article M jumps out of the article placing portion 61. Can be prevented. In the second state, the article M placed in the predetermined mounting position does not have the back surface Mc protruding outward (it does not protrude from the outer shape of the upper unit 17 in a plan view).
  • the buffer carriage controller 50A comprehensively controls the buffer carriage VB.
  • the buffer carriage controller 50A is a computer including a CPU, ROM, RAM, and the like, and may have the same computer configuration as the transport carriage controller 50 described above.
  • the buffer carriage controller 50A controls the running of the buffer carriage VB based on the transport command.
  • the buffer carriage controller 50A controls the traveling of the buffer carriage VB by controlling the traveling drive unit 33, the direction changing mechanism 34, and the like.
  • the buffer carriage controller 50A controls, for example, a traveling speed, an operation related to a stop, and an operation related to a change of direction.
  • the buffer carriage controller 50A controls the transfer operation of the buffer carriage VB based on the transport command.
  • the buffer carriage controller 50A controls the first rotation unit 63 to interlock with the transfer operation in the transport carriage V. Specifically, the buffer carriage controller 50A rotates the article loading portion 61 in accordance with the sliding direction of the movable plate of the side-drawing mechanism 11 of the transport carriage V. The buffer carriage controller 50A prohibits traveling in the second traveling unit 20A when the article loading unit 61 is in the first state, and permits traveling in the second traveling unit 20A when the article loading unit 61 is in the second state. do.
  • the system controller 5 is a computer including a CPU, a ROM, a RAM, and the like, and may have the same configuration as the transport carriage controller 50 described above.
  • the system controller 5 selects one of a plurality of transport trolleys V capable of transporting the article M, and assigns a transport command to the selected transport trolley V.
  • the transport command includes a travel command for executing the travel to the article loading portion 61 of the load port P of the transport carriage V or the buffer carriage VB, and the article M arranged at the article loading portion 61 of the load port P or the buffer carriage VB. Includes a load-grabbing command or a unloading command for the load port P of the holding article M or the article loading portion 61 of the buffer carriage VB.
  • the transport trolley V receives the loading command of the article M arranged in the article loading section 61 of the buffer trolley VB or the unloading command of the holding article M to the article loading section 61 of the buffer trolley VB of the article M, As shown in FIG. 8, it moves to the grid adjacent to the buffer carriage VB instructed by the command.
  • the buffer carriage VB rotates the article loading portion 61 so that the opening 61c is aligned with the sliding direction of the movable plate in the transfer device 18 of the transport carriage V that has moved to the adjacent grid.
  • the transport trolley V By sliding the movable plate of the transfer device 18, the transport trolley V positions the article holding portion 13 for holding the article M above the loading portion 61a in the article loading portion 61, and operates the elevating drive unit 14. By doing so, the article holding portion 13 that holds the article M is moved downward. As a result, the transfer of the article M from the transport carriage V to the buffer carriage VB is completed. The transfer of the article M from the buffer carriage VB to the transport carriage V is performed by carrying out the reverse procedure of the above.
  • the transport vehicle system SYS of the above embodiment for example, the transport carriage V and the buffer carriage VB move in succession, or the article M held by the transport carriage V is temporarily retracted to the buffer carriage VB. Therefore, it is possible to improve the transport efficiency of the article M in one transport carriage V.
  • a temporary evacuation portion (buffer port) of the article M provided by being suspended from the ceiling or the like or being installed on the floor surface is constructed as a buffer carriage VB. can do.
  • the article placing portion 61 of the buffer carriage VB is provided so that two (plurality) articles M and M can be placed.
  • the article loading section 61 on which the two articles M and M are placed is provided, so that the size of the carriage is conveyed. It can be maintained at the same size as the dolly.
  • the transport vehicle system SYS of the above embodiment has a first rotating portion 63 that rotates the article placing portion 61 along the horizontal direction.
  • the article loading portion 61 of the buffer carriage VB can arbitrarily change the posture when delivering the article to the transport carriage V, so that the transport carriage V can send the article M to the buffer carriage VB from various directions. It will be possible to deliver.
  • the transport carriage V does not have to move to a predetermined position (position of the opening 61c) with respect to the buffer carriage VB, so that the transport efficiency can be further improved.
  • the guide portion 65 is not arranged between the opening 61c of the article placing portion 61 and the external E, and the pop-out prevention function is invalidated.
  • a guide portion 65 is arranged between one state (see FIG. 6A) and the opening 61c of the article placing portion 61 and the external E to enable the pop-out prevention function (FIG. 6 (FIG. 6). B)), the article placing portion 61 is rotated.
  • the function of the first rotating portion 63 that rotates the article placing portion 61 is used to enable the first state of disabling the pop-out prevention function of the article M and the pop-out prevention function of the article. It is possible to easily switch between the second state and the second state.
  • the buffer carriage controller 50A of the transport vehicle system SYS of the above embodiment prohibits traveling in the second traveling unit 20A when the article loading unit 61 is in the first state, and when the article loading unit 61 is in the second state. Traveling in the second traveling unit 20A is permitted. As a result, it is possible to prevent the article M from falling from the running buffer carriage VB.
  • the configuration in which two articles M can be placed on the buffer carriage VB of the above embodiment has been described as an example, a configuration in which only one article M can be placed may be used, or three or more articles M may be placed. May be configured so that can be placed.
  • the buffer carriage VB of the above embodiment has been described with reference to an example of realizing a function of preventing the article M from popping out during transportation by rotation by the guide portion 65 and the first rotating portion 63. By providing a stopper or the like for locking the article M, the article M may be prevented from popping out.
  • transport carriage V of the above embodiment has been described with reference to an example including the second rotating portion 12 and the third rotating portion 16, it does not include both the second rotating portion 12 and the third rotating portion 16. It may be configured to include only one of the second rotating portion 12 and the third rotating portion 16.
  • the transport vehicle system SYS of the above-described embodiment and modified example can be used as follows, for example.
  • One example is an example in which the transport carriage V and the buffer carriage VB form a set and move to the designated load port P.
  • the transport trolley V scoops the article M, transfers the article M to the buffer trolley VB, and then unloads the article M placed on the buffer trolley VB to the load port P.
  • When delivering the article M between the transport trolley V and the buffer trolley VB by rotating the article placing portion 61 of the buffer trolley VB, both the transport trolley V and the buffer trolley VB are placed in the first designated positions. Two articles M can be delivered without traveling (moving) from. In this way, when the article M is taken out from one load port P and another article M is placed on the article M, efficient processing becomes possible.
  • a predetermined grid range (rail range) is mainly set to a range in which the buffer carriage VB travels.
  • the transport carriage V delivers the article M to and from the buffer carriage VB traveling in the predetermined grid range (rail range) at the boundary portion of the predetermined grid range (rail range).
  • the predetermined grid range (rail range) can be used as an area mainly for the purpose of transporting or temporarily storing the article M.
  • the inter-building portion that connects the buildings in which the processing devices are deployed can be set as the above-mentioned predetermined grid range (rail range). That is, the inter-building portion is mainly a section in which the buffer carriage VB travels.
  • the transport trolley V delivers the article M to the buffer trolley VB at both ends of the inter-building portion. Since there is no part to transfer the article M in the inter-building part, or there are few places to transfer the article M, the article M is transported to the buffer carriage VB capable of transporting a plurality of articles M having no transfer function. By doing so, efficient transportation of the article M becomes possible.
  • the buffer trolley VB is not equipped with a transfer device, so that the weight of the trolley is reduced. As a result, the transport speed of the buffer carriage can be increased, so that the transport efficiency of the article M can be improved.
  • the transport vehicle system SYS of the above-described embodiment and the modified example has been described with reference to an example in which the transport carriage V and the buffer carriage VB travel on the rails arranged in a grid pattern, but along the rail extending in one direction.
  • the transport carriage V and the buffer carriage VB of the above-described embodiments and modifications may be applied to a conventional transport vehicle system traveling in one direction (including branching and merging).

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Abstract

搬送車システム（ＳＹＳ）は、軌道（Ｒ）を走行する第一走行部（２０）と、第一走行部（２０）に対して水平方向に沿って移動して物品（Ｍ）を移載する移載部（１８）と、を有する搬送台車（Ｖ）と、搬送台車（Ｖ）が走行する軌道（Ｒ）を走行する第二走行部（２０Ａ）と、第二走行部（２０Ａ）と一体的に移動可能に設けられる共に、搬送台車（Ｖ）の移載部（１８）によって物品（Ｍ）の受け渡しが可能に設けられている物品載置部（６１）と、を有するバッファ台車（ＶＢ）と、を備える。

Description

搬送車システム
　本発明の一側面は、搬送車システムに関する。
　複数の搬送台車と、複数の搬送台車を制御するコントローラと、を備えた搬送車システムが知られている。この種の技術として、例えば特許文献１には、台車がグリッド状の走行路上で物品（コンテナ）を搬送するシステムが開示されている。
国際公開第２０１９／１０１７２５号
　近年、このような搬送車システムでは、物品の処理量の増大化にも伴い、物品の搬送効率の向上が望まれている。
　そこで、本発明の一側面の目的は、物品の搬送効率を向上させることができる搬送車システムを提供することにある。
　本発明の一側面に係る搬送車システムは、軌道を走行する第一走行部と、第一走行部に対して水平方向に沿って移動して被載置部との間で物品を移載する移載部と、を有する搬送台車と、搬送台車が走行する軌道を走行する第二走行部と、第二走行部と一体的に移動可能に設けられる共に、搬送台車の移載部によって物品の受け渡しが可能に設けられている物品載置部と、を有するバッファ台車と、を備える。
　この構成の搬送車システムでは、例えば、搬送台車とバッファ台車とが連なって移動したり、搬送台車が保持している物品をバッファ台車に一時的に退避させたりすることにより、一台の搬送台車における物品の搬送効率を高めることができる。
　本発明の一側面に係る搬送車システムでは、物品載置部は、複数の物品を載置可能に設けられていてもよい。ここで、一台の搬送台車における物品の搬送効率を高めるためには、既存の搬送台車を改良することにより、一台の搬送台車に複数の物品を搬送させ、物品の搬送効率を高めることが考えられる。しかしながら、搬送車システムに用いられる搬送台車には、他の物体等に干渉することなく軌道を走行する必要があるため、上方から見た平面視における搬送台車のサイズには上限が定められている。このため、既存の搬送台車に複数の物品を保持する構成を持たせることは容易なことではないが、移載部の構成に代えて複数の物品を載置する物品載置部を設けたので、台車のサイズを維持することができる。これにより、一度に多くの物品の搬送が可能となるので物品の搬送効率を向上させることができる。
　本発明の一側面に係る搬送車システムは、物品載置部を水平方向に沿って回動させる第一回動部を更に有していてもよい。この構成では、バッファ台車の物品載置部は、搬送台車に対して物品を受け渡しする際の姿勢を任意に変えることができるので、搬送台車は種々の方向からバッファ台車に物品を受け渡すことが可能になる。
　本発明の一側面に係る搬送車システムは、物品が物品載置部から物品載置部の外部への飛出防止機能を有するガイド部を更に有し、第一回動部は、物品載置部と外部との間にガイド部が配置されず、飛出防止機能を無効にする第一状態と、物品載置部と外部との間にガイド部が配置され、飛出防止機能を有効にする第二状態との間で物品載置部を回動させてもよい。この構成では、物品載置部を回動させる第一回動部の機能を利用して飛出防止機能を容易に実現することができる。
　本発明の一側面に係る搬送車システムは、バッファ台車を制御するコントローラを更に備え、コントローラは、物品載置部が第一状態のときに第二走行部における走行を禁止し、物品載置部が第二状態のときに第二走行部における走行を許可してもよい。この構成では、走行中のバッファ台車から物品が落下することを防止できる。
　本発明の一側面に係る搬送車システムでは、移載部は、物品を保持する物品保持部と、物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、昇降駆動部を水平方向に沿ってスライド移動させるスライド機構と、スライド機構を水平方向に沿って回動させる第二回動部と、物品保持部又は昇降駆動部を水平方向に沿って回動させる第三回動部と、を有していてもよい。この構成の移載部は、バッファ台車の物品載置部に対して、種々の方向から所定の姿勢で物品を受け渡すことができる。
　本発明の一側面によれば、物品の搬送効率を向上させることができる。
図１は、一実施形態に係る搬送車システムの一例を示す斜視図である。 図２は、搬送台車の一例を示す斜視図である。 図３は、搬送台車の一例を示す側面図である。 図４は、バッファ台車の一例を示す斜視図である。 図５は、バッファ台車の一例を示す側面図である。 図６（Ａ）は、ＩＶ－ＩＶ方向から見た第一状態の物品載置部を示す図であり、図６（Ｂ）は、ＩＶ－ＩＶ方向から見た第二状態の物品載置部を示す図である。 図７は、搬送車システムの機能構成を示すブロック図である。 図８は、搬送台車とバッファ台車との間の物品の受け渡し状態を示す側面図である。 図９（Ａ）～（Ｄ）は、搬送台車とバッファ台車との位置関係のバリエーションを示した説明図である。
　以下、図面を参照して一実施形態に係る搬送車システムＳＹＳについて説明する。図面の説明において、同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。説明の便宜のため、図１～図５においてＸＹＺ座標を設定する。ＸＹＺ座標系では、水平面に平行な平面をＸＹ平面とする。ＸＹ平面に沿った一方向をＸ方向と表記し、Ｘ方向に直交する方向をＹ方向と表記する。ＸＹ平面に垂直な方向はＺ方向と表記する。Ｘ方向、Ｙ方向及びＺ方向のそれぞれは、図中の矢印の指す方向が＋方向であり、矢印の指す方向と反対の方向が－方向であるとして説明する。また、垂直軸まわり又はＺ軸まわりの回動方向をθＺ方向と表記する。
　図１に示される搬送車システムＳＹＳは、例えば半導体製造工場のクリーンルームにおいて、物品Ｍを搬送台車Ｖにより搬送するためのグリッドシステムである。搬送車システムＳＹＳは、図７に示されるように、第一搬送台車Ｖ１～第ｎ搬送台車Ｖｎ（以下、搬送台車Ｖと総称する場合もある）と、第一バッファ台車ＶＢ１～第ｎバッファ台車ＶＢｎ（以下、バッファ台車ＶＢと総称する場合もある）と、複数の搬送台車Ｖ及び複数のバッファ台車ＶＢを制御するシステムコントローラ５と、を備える。
　本実施形態では、搬送台車Ｖ（図２及び図３参照）及びバッファ台車ＶＢ（図４及び図５参照）が天井搬送台車である例を説明する。搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢは、搬送車システムＳＹＳのレール（軌道）Ｒに沿って移動する。レールＲは、搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢの走行路である。搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢは、搬送車システムＳＹＳのレールＲに沿って移動し、半導体ウエハを収容するＦＯＵＰ、あるいはレチクルを収容するレチクルＰｏｄ等の物品Ｍを搬送する。本実施形態では、図６（Ａ）に示されるように、物品Ｍの一例として、蓋が設けられた前面Ｍｂと前面Ｍｂに対向する背面Ｍｃとを有するＦＯＵＰが搬送される例を挙げて説明する。
　図１に示されるように、レールＲは、クリーンルーム等の建屋の天井又は天井付近に敷設されている。レールＲは、例えば、処理装置、ストッカ（自動倉庫）等に隣接して設けられる。処理装置は、例えば、露光装置、コータディベロッパ、製膜装置、エッチング装置等であり、搬送台車Ｖが搬送する容器内の半導体ウエハに各種処理を施す。ストッカは、搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢが搬送する物品Ｍを保管する。レールＲは、走行路の形態の一例である。レールＲは、平面視で格子状に配置されている。レールＲは、水平方向に沿って延び且つ天井等から吊り下げられたレールである。レールＲは、複数の第一レールＲ１と、複数の第二レールＲ２と、複数の交差部Ｒ３と、を有する。以下、レールＲを格子状レールＲと称する。
　複数の第一レールＲ１は、それぞれＸ方向に沿って延在する。複数の第二レールＲ２は、それぞれＹ方向に沿って延在する。格子状レールＲは、複数の第一レールＲ１と複数の第二レールＲ２とにより、平面視において格子状に形成されている。格子状レールＲは、複数の第一レールＲ１と複数の第二レールＲ２とにより複数のマス目を形成する。交差部Ｒ３は、第一レールＲ１と第二レールＲ２とが交差する部分に配置される。交差部Ｒ３は、第一レールＲ１に対してＸ方向に隣り合うと共に第二レールＲ２に対してＹ方向に隣り合っている。交差部Ｒ３は、第一レールＲ１と第二レールＲ２との接続、第一レールＲ１同士の接続、第二レールＲ２同士の接続をする接続軌道である。交差部Ｒ３は、搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢが第一レールＲ１に沿って走行する際と、搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢが第二レールＲ２に沿って走行する際と、搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢが第一レールＲ１から第二レールＲ２又は第二レールＲ２から第一レールＲ１に走行する際と、の何れの際にも用いられる軌道である。
　格子状レールＲは、複数の第一レールＲ１と複数の第二レールＲ２とが直交する方向に設けられることで、平面視で複数のグリッドセル（セル）２が隣り合う状態となっている。一つのグリッドセル２は、一つのマス目に相当し、平面視において、Ｙ方向に隣り合った二つの第一レールＲ１と、Ｘ方向に隣り合った二つの第二レールＲ２と、に囲まれた矩形領域である。なお、図１では格子状レールＲの一部について示しており、格子状レールＲは、図示している構成からＸ方向及びＹ方向に同様の構成が連続して形成されている。
　第一レールＲ１、第二レールＲ２、及び交差部Ｒ３は、吊り下げ部材Ｈ（図１参照）によって不図示の天井に吊り下げ支持されている。吊り下げ部材Ｈは、第一レールＲ１を吊り下げるための第一部分Ｈ１と、第二レールＲ２を吊り下げるための第二部分Ｈ２と、交差部Ｒ３を吊り下げるための第三部分Ｈ３と、を有する。第一部分Ｈ１及び第二部分Ｈ２は、それぞれ第三部分Ｈ３を挟んだ二か所に設けられている。
　第一レールＲ１、第二レールＲ２、及び交差部Ｒ３は、それぞれ、搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢの後述する走行車輪２１が走行する走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを有する。第一レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第二レールＲ２と交差部Ｒ３との間には、それぞれ間隙が形成される。第一レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第二レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙は、搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢが第一レールＲ１を走行して第二レールＲ２を横切る際、あるいは第二レールＲ２を走行して第一レールＲ１を横切る際に、搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢの一部である後述の第一連結部３０が通過する部分である。従って、第一レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第二レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙は、第一連結部３０が通過可能な幅に設けられている。第一レールＲ１、第二レールＲ２、及び交差部Ｒ３は、同一の水平面に沿って設けられる。本実施形態において、第一レールＲ１、第二レールＲ２、及び交差部Ｒ３は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａが同一の水平面上に配置される。
　搬送車システムＳＹＳは、通信システム（図示せず）を備える。通信システムは、搬送台車Ｖ及びシステムコントローラ５の通信に用いられる。搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢと、システムコントローラ５とは、それぞれ通信システムを介して通信可能に接続される。
　搬送台車Ｖの構成について説明する。図１～図３及び図７に示されるように、搬送台車Ｖは、格子状レールＲに沿って走行可能に設けられている。搬送台車Ｖは、第一本体部１０と、第一走行部２０と、第一連結部３０と、搬送台車コントローラ５０とを有する。
　第一本体部１０は、格子状レールＲの下方（－Ｚ方向側）に配置される。第一本体部１０は、平面視で例えば矩形状に形成される。第一本体部１０は、平面視で格子状レールＲにおける一つのグリッドセル２に収まる寸法に形成される。このため、隣り合う第一レールＲ１又は第二レールＲ２を走行する他の搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢとすれ違うことを可能とするスペースが確保される。第一本体部１０は、上部ユニット１７と、移載装置（移載部）１８とを備える。上部ユニット１７は、第一連結部３０を介して第一走行部２０から吊り下げられる。上部ユニット１７は、例えば平面視で矩形状であり、上面１７ａ及び下面１７ｂに四つのコーナー部を有する。
　第一本体部１０は、上面１７ａの四つのコーナー部のそれぞれに走行車輪２１、第一連結部３０、方向転換機構３４を有する。この構成において、第一本体部１０の上面１７ａの四つのコーナー部に配置された走行車輪２１により、第一本体部１０を安定して吊り下げ支持することができ、且つ、第一本体部１０を安定して走行させることができる。
　移載装置１８は、第一走行部２０に対して水平方向に沿って移動してロードポートＰ又はバッファ台車ＶＢの物品載置部６１等の被載置部との間で物品Ｍを移載する。移載装置１８は、上部ユニット１７の下方に設けられている。移載装置１８は、Ｚ方向の回動軸ＡＸ１まわりに回動可能である。移載装置１８は、格子状レールＲの下側で物品Ｍを保持する物品保持部１３と、物品保持部１３を鉛直方向に昇降させる昇降駆動部１４と、昇降駆動部１４を水平方向に沿って回動させる第三回動部１６と、昇降駆動部１４を水平方向にスライド移動させる横出し機構（スライド機構）１１と、横出し機構１１を保持する第二回動部１２と、を有する。
　ロードポートＰは、搬送台車Ｖの移載先又は移載元であって、搬送台車Ｖとの間で物品Ｍの受け渡しをする地点である。バッファ台車ＶＢについては、後段にて詳述する。
　物品保持部１３は、物品Ｍのフランジ部Ｍａを把持することにより、物品Ｍを吊り下げて保持する。物品保持部１３は、例えば、水平方向に移動可能な爪部１３ａを有するチャックであり、爪部１３ａを物品Ｍのフランジ部Ｍａの下方に進入させ、物品保持部１３を上昇させることで、物品Ｍを保持する。物品保持部１３は、ワイヤあるいはベルト等の吊り下げ部材１３ｂに接続されている。
　昇降駆動部１４は、例えばホイストであり、吊り下げ部材１３ｂを繰り出すことにより物品保持部１３を下降させ、吊り下げ部材１３ｂを巻き取ることにより物品保持部１３を上昇させる。昇降駆動部１４は、搬送台車コントローラ５０に制御され、所定の速度で物品保持部１３を下降あるいは上昇させる。また、昇降駆動部１４は、搬送台車コントローラ５０に制御され、物品保持部１３を目標の高さに保持する。
　第三回動部１６は、横出し機構１１と昇降駆動部１４との間に設けられる。第三回動部１６は、回動部材１６ａ及び回動駆動部１６ｂを有する。回動部材１６ａは、Ｚ方向の軸周り方向に回動可能に設けられる。回動部材１６ａは、昇降駆動部１４を支持する。回動駆動部１６ｂは、例えば電動モータ等が用いられ、回動部材１６ａを回動軸ＡＸ３の軸周り方向に回動させる。第三回動部１６は、回動駆動部１６ｂからの駆動力によって回動部材１６ａを回動させ、昇降駆動部１４及び物品保持部１３を回動軸ＡＸ３の軸周り方向に回動させることができる。
　横出し機構１１は、例えばＺ方向に重ねて配置された複数の可動板を有する。最下層の可動板には、昇降駆動部１４が取り付けられている。横出し機構１１では、水平面内において搬送台車Ｖの走行方向と直角な方向に可動板が移動し、最下層の可動板に取り付けられた昇降駆動部１４及び物品保持部１３が搬送台車Ｖの走行方向と直角な方向に横出し（スライド移動）する。
　第二回動部１２は、横出し機構１１と上部ユニット１７との間に設けられる。第二回動部１２は、回動部材１２ａ及び回動駆動部１２ｂを有する。回動部材１２ａは、Ｚ方向の軸周り方向に回動可能に設けられる。回動部材１２ａは、横出し機構１１を支持する。回動駆動部１２ｂは、例えば電動モータ等が用いられ、回動部材１２ａを回動軸ＡＸ１の軸周り方向に回動させる。第二回動部１２は、回動駆動部１２ｂからの駆動力によって回動部材１２ａを回動させ、横出し機構１１（昇降駆動部１４及び物品保持部１３）を回動軸ＡＸ１の軸周り方向に回動させることができる。搬送台車Ｖは、移載装置１８を用いることにより、ロードポートＰ及びバッファ台車ＶＢ（図８参照）に対して物品Ｍの受け渡しをすることができる。なお、搬送台車Ｖにおけるバッファ台車ＶＢとの物品Ｍの受け渡しについては、後段にて詳述する。
　なお、横出し機構１１が昇降駆動部１４及び物品保持部１３をスライド移動させていない状態において、回動軸ＡＸ１と回動軸ＡＸ３とは一致する。
　搬送台車Ｖには、カバーＷが設けられてもよい。カバーＷは、移載装置１８及び移載装置１８に保持している物品Ｍを囲む。カバーＷは、下端を開放した形状であって、且つ、横出し機構１１の可動板が突出する部分を切り欠いた形状を有している。カバーＷは、上端が第二回動部１２の回動部材１２ａに取り付けられており、回動部材１２ａの回動に伴って回動軸ＡＸ１の軸周りに回動する。
　第一走行部２０は、走行車輪２１及び補助車輪２２を有する。走行車輪２１は、上部ユニット１７（第一本体部１０）の上面１７ａの四つのコーナー部にそれぞれ配置される。走行車輪２１のそれぞれは、第一連結部３０に設けられた車軸に取り付けられている。走行車輪２１のそれぞれは、走行駆動部３３の駆動力により回転駆動する。走行車輪２１のそれぞれは、格子状レールＲ上を転動する。走行車輪２１のそれぞれは、第一レールＲ１、第二レールＲ２、及び交差部Ｒ３の走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを転動し、搬送台車Ｖを走行させる。なお、四つの走行車輪２１の全てが走行駆動部３３の駆動力により回転駆動することに限定されず、四つの走行車輪２１のうち一部について回転駆動させる構成であってもよい。
　走行車輪２１は、回動軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に回動可能に設けられている。走行車輪２１は、後述する方向転換機構３４によってθＺ方向に回動し、その結果、搬送台車Ｖの走行方向を変更することができる。補助車輪２２は、走行車輪２１の走行方向の前後にそれぞれ一つずつ配置される。補助車輪２２のそれぞれは、走行車輪２１と同様に、ＸＹ平面に沿って平行又はほぼ平行な車軸の軸周りに回転可能である。補助車輪２２の下端は、走行車輪２１の下端より高くなるように設定されている。従って、走行車輪２１が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａを走行しているときは、補助車輪２２は、走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触しない。
　また、第一レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第二レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙を走行車輪２１が通過する際には、補助車輪２２が走行面Ｒ１ａ、Ｒ２ａ、Ｒ３ａに接触して、走行車輪２１の落ち込みを抑制している。なお、一つの走行車輪２１に二つの補助車輪２２を設けることに限定されず、例えば、一つの走行車輪２１に一つの補助車輪２２が設けられてもよいし、補助車輪２２が設けられなくてもよい。
　第一連結部３０は、第一本体部１０の上部ユニット１７と第一走行部２０とを連結する。第一連結部３０は、上部ユニット１７（第一本体部１０）の上面１７ａの四つのコーナー部にそれぞれ設けられている。この第一連結部３０によって第一本体部１０は、第一走行部２０から吊り下げられた状態となり、格子状レールＲよりも下方に配置される。第一連結部３０は、支持部材３１及び接続部材３２を有する。支持部材３１は、走行車輪２１の回転軸及び補助車輪２２の回転軸を回転可能に支持する。支持部材３１は、走行車輪２１と補助車輪２２との相対位置を保持する。支持部材３１は、例えば板状に形成され、第一レールＲ１と交差部Ｒ３との間、及び、第二レールＲ２と交差部Ｒ３との間の間隙を通過可能な厚さに形成される。
　接続部材３２は、支持部材３１から下方に延びて上部ユニット１７の上面１７ａに連結され、上部ユニット１７を保持する。接続部材３２は、後述する走行駆動部３３の駆動力を走行車輪２１に伝達する伝達機構を内部に備える。この伝達機構は、チェーン又はベルトが用いられる構成であってもよいし、歯車列が用いられる構成であってもよい。接続部材３２は、回動軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に回動可能に設けられる。この接続部材３２が回動軸ＡＸ２を中心として回動することで、支持部材３１を介して走行車輪２１を回動軸ＡＸ２周りのθＺ方向に回動させることができる。
　第一連結部３０には、走行駆動部３３及び方向転換機構３４が設けられている。走行駆動部３３は、接続部材３２に装着される。走行駆動部３３は、走行車輪２１を駆動する駆動源であり、例えば電動モータ等が用いられる。四つの走行車輪２１は、それぞれ走行駆動部３３によって駆動される駆動輪である。四つの走行車輪２１は、同一の回転数となるように搬送台車コントローラ５０によって制御される。
　方向転換機構３４は、第一連結部３０の接続部材３２を、回動軸ＡＸ２を中心として回動させることにより、走行車輪２１を回動軸ＡＸ２周りのθＺ方向に回動させる。走行車輪２１をθＺ方向に回動させることにより、搬送台車Ｖの走行方向をＸ方向とする第一状態から走行方向をＹ方向とする第二状態に、又は走行方向をＹ方向とする第二状態から走行方向をＸ方向とする第一状態に切り替えることが可能である。方向転換機構３４の回動により、上面１７ａの四つのコーナー部に配置された走行車輪２１及び補助車輪２２のそれぞれが回動軸ＡＸ２を中心としてθＺ方向に９０度の範囲で回動する。
　方向転換機構３４の駆動は、搬送台車コントローラ５０によって制御される。走行車輪２１及び補助車輪２２を回動させることにより、走行車輪２１が第一レールＲ１及び第二レールＲ２の一方に接触した状態から他方に接触した状態に移行する。このため、搬送台車Ｖの走行方向をＸ方向とする第一状態と、走行方向をＹ方向とする第二状態とで切り替えることができる。
　搬送台車Ｖは、位置情報を検出する位置検出部３８を備える。位置検出部３８は、位置情報を示す位置マーカ（図示せず）を検出することにより、搬送台車Ｖの現在位置を検出する。位置検出部３８は、非接触により位置マーカを検出する。位置マーカは、格子状レールＲの各グリッドセル２毎に設置される。
　搬送台車コントローラ５０は、搬送台車Ｖを統括的に制御する。搬送台車コントローラ５０は、ＣＰＵ（Central　Processing　Unit）、ＲＯＭ（Read　Only　Memory）及びＲＡＭ（Random　Access　Memory）等からなるコンピュータである。搬送台車コントローラ５０は、例えばＲＯＭに格納されているプログラムがＲＡＭ上にロードされてＣＰＵで実行されるソフトウェアとして構成することができる。搬送台車コントローラ５０は、電子回路等によるハードウェアとして構成されてもよい。搬送台車コントローラ５０は、一つの装置で構成されてもよいし、複数の装置で構成されてもよい。複数の装置で構成されている場合には、これらがインターネット又はイントラネット等の通信ネットワークを介して接続されることで、論理的に一つの搬送台車コントローラ５０が構築される。搬送台車コントローラ５０は、本実施形態では第一本体部１０に設けられる例を示すが（図３参照）、第一本体部１０の外部に設けられてもよい。
　搬送台車コントローラ５０は、搬送指令に基づいて、搬送台車Ｖの走行を制御する。搬送台車コントローラ５０は、走行駆動部３３、方向転換機構３４等を制御することにより、搬送台車Ｖの走行を制御する。搬送台車コントローラ５０は、例えば、走行速度、停止に関する動作、方向転換に関する動作を制御する。搬送台車コントローラ５０は、搬送指令に基づいて、搬送台車Ｖの移載動作を制御する。搬送台車コントローラ５０は、移載装置１８等を制御することにより、搬送台車Ｖの移載動作を制御する。搬送台車コントローラ５０は、所定のロードポートＰ又はバッファ台車ＶＢの物品載置部６１に配置されている物品Ｍを把持する荷つかみの動作、保持している物品Ｍを所定のロードポートＰ又はバッファ台車ＶＢの物品載置部６１に下ろす荷下ろしの動作を制御する。
　バッファ台車ＶＢの構成について説明する。図１及び図４～図８に示されるように、バッファ台車ＶＢは、搬送台車Ｖが走行する格子状レールＲに沿って走行可能に設けられている。バッファ台車ＶＢは、搬送台車Ｖの第一走行部２０が走行する格子状レールＲの走行面を共有する。
　バッファ台車ＶＢは、第二本体部１０Ａと、第二走行部２０Ａと、第二連結部３０Ａと、バッファ台車コントローラ５０Ａとを有する。なお、バッファ台車ＶＢに備えられる第二走行部２０Ａ、第二連結部３０Ａ、及び位置検出部３８は、搬送台車Ｖに備えられる第一走行部２０、第一連結部３０、及び位置検出部３８と同様の構成であるので、ここでは詳細な説明を省略する。
　第二本体部１０Ａは、格子状レールＲの下方（－Ｚ方向側）に配置される。第二本体部１０Ａは、平面視で例えば矩形状に形成される。第二本体部１０Ａは、平面視で格子状レールＲにおける一つのグリッドセル２に収まる寸法に形成される。このため、隣り合う第一レールＲ１又は第二レールＲ２を走行する他の搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢとすれ違うことが可能となる。第二本体部１０Ａは、上部ユニット１７と、ガイド部６５と、被載置装置６０と、を備える。上部ユニット１７は、第二連結部３０Ａを介して第二走行部２０Ａから吊り下げ支持される。上部ユニット１７は、例えば平面視で矩形状であり、上面１７ａに四つのコーナー部を有する。
　第二本体部１０Ａは、上面１７ａの四つのコーナー部のそれぞれに走行車輪２１、第二連結部３０Ａ、方向転換機構３４を有する。この構成において、第二本体部１０Ａの上面１７ａの四つのコーナー部に配置された走行車輪２１により、第二本体部１０Ａを安定して吊り下げ支持することができ、且つ、第二本体部１０Ａを安定して走行させることができる。
　ガイド部６５は、上部ユニット１７の下面１７ｂの四つのコーナー部のそれぞれに設けられている。ガイド部６５は、下面１７ｂを基端として下方の先端に向かって延在する三角柱の部材である。ガイド部６５は、物品載置部６１に載置された物品Ｍの外部Ｅへの飛出防止機能を有している。
　被載置装置６０は、搬送台車Ｖの移載装置１８によって物品Ｍが載置され、搬送台車Ｖの移載装置１８によって物品Ｍが取り出される装置である。被載置装置６０は、上部ユニット１７の下方に設けられている。被載置装置６０は、Ｚ方向の回動軸ＡＸ４まわりに回動可能である。被載置装置６０は、物品載置部６１と、第一回動部６３と、を有する。
　物品載置部６１は、第二走行部２０Ａと一体的に移動可能に設けられる共に、搬送台車Ｖの移載装置１８によって物品Ｍの受け渡しが可能に設けられている。物品載置部６１は、物品Ｍの底面を下方から支持する状態となるように物品Ｍが載置される板状の載置部６１ａと、物品Ｍの側方を覆うと共に載置部６１ａと第一回動部６３との間を接続する板状の側方部６１ｂと、を有している。物品載置部６１は、例えば、板状部材がプレス加工等により折り曲げられることにより、図４のＸ方向から見たときの形状がＵ字状に形成されている。また、物品載置部６１は、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向の両端に開口部６１ｃが形成されており、＋Ｘ方向及び－Ｘ方向の両方から物品Ｍの受け渡し（出し入れ）が可能に形成されている。すなわち、物品載置部６１の開口部６１ｃは、物品Ｍを保持した横出し機構１１の可動板が進入可能に形成されている。
　物品載置部６１には、二個の物品Ｍ、Ｍの前面Ｍｂ，Ｍｂ同士が互いに対向するように、二個（複数）の物品Ｍ，Ｍが載置される（図６（Ａ）参照）。物品載置部６１は、二個の物品Ｍ，Ｍを載置可能なサイズに形成されている。より詳細には、物品載置部６１は、平面視において上部ユニット１７より一回り小さなサイズに形成されていると共に、上部ユニット１７の範囲内で回動可能なサイズに形成されている。物品載置部６１には、物品Ｍの底面に形成されている溝等が係合する位置決めピンを設けてもよい。
　第一回動部６３は、物品載置部６１と上部ユニット１７との間に設けられる。第一回動部６３は、回動部材６３ａ及び回動駆動部６３ｂを有する。回動部材６３ａは、Ｚ方向の軸周り方向に回動可能に設けられる。回動部材６３ａは、物品載置部６１を支持する。回動駆動部６３ｂは、例えば電動モータ等が用いられ、回動部材６３ａを回動軸ＡＸ４の軸周り方向に回動させる。第一回動部６３は、回動駆動部６３ｂからの駆動力によって回動部材６３ａを回動させ、物品載置部６１を回動軸ＡＸ４の軸周り方向に回動させることができる。すなわち、第一回動部６３は、回動駆動部６３ｂからの駆動力によって回動部材６３ａを回動させ、物品載置部６１を水平方向に沿って回動軸ＡＸ４の軸周り方向に回動させることができる。
　図９（Ａ）～図９（Ｄ）に示されるように、第一回動部６３は、搬送台車Ｖの位置に合わせて物品載置部６１を回動させる。より詳細には、第一回動部６３は、搬送台車Ｖにおける横出し機構１１の可動板の送り出し方向に、物品載置部６１の開口部６１ｃの位置を合わせるように、物品載置部６１を回動させる。第一回動部６３は、物品載置部６１に一つの物品Ｍが載置されている場合には、搬送台車Ｖにおける横出し機構１１の可動板の送り出し方向に、物品Ｍが載置されていない側の開口部６１ｃの位置を合わせるように、物品載置部６１を回動させる。
　第一回動部６３は、図９（Ａ）～図９（Ｄ）に示されるように、所定の位置に停止する搬送台車Ｖに対して、前後左右の四方向から物品Ｍの受け渡し（図８参照）が可能となるように、物品載置部６１を回動させる。第一回動部６３は、少なくとも物品載置部６１を２７０度回転可能に設けられている。
　図４～図８に示されるように、第一回動部６３は、物品載置部６１の開口部６１ｃと外部Ｅとの間にガイド部６５が配置されず、飛出防止機能を無効にする第一状態（図６（Ａ）参照）と、物品載置部６１の開口部６１ｃと外部Ｅとの間にガイド部６５が配置され、飛出防止機能を有効にする第二状態（図６（Ｂ）参照）との間で物品載置部６１を回動させる。
　図６（Ａ）に示される第一状態は、搬送台車Ｖとの間で物品Ｍの受け渡し（図８参照）を行うときの物品載置部６１の状態である。第一状態は、物品Ｍを保持した横出し機構１１の可動板が挿入可能な状態である。すなわち、第一状態では、物品Ｍを保持した横出し機構１１の可動板の動作が側方部６１ｂ及びガイド部６５によって阻害されることはない。第一状態において、所定の載置位置に載置された物品Ｍは、背面Ｍｃが外側に少し飛び出す（平面視において上部ユニット１７の外形から少しはみ出る）ようになっている。
　図６（Ｂ）に示される第二状態は、物品Ｍを搬送するときの物品載置部６１の状態である。第二状態は、物品Ｍを保持した横出し機構１１の可動板が進入不能な状態である。すなわち、第二状態では、物品Ｍを保持した横出し機構１１の可動板の動作が側方部６１ｂ及びガイド部６５によって阻害される。物品載置部６１に載置された物品Ｍは、ガイド部６５によって物品載置部６１の開口部６１ｃから外部Ｅへ飛び出すことが阻害されるので、物品Ｍが物品載置部６１から飛び出すことを防止できる。第二状態において、所定の載置位置に載置された物品Ｍは、背面Ｍｃが外側に飛び出さない（平面視において上部ユニット１７の外形からはみ出ない）ようになっている。
　バッファ台車コントローラ５０Ａは、バッファ台車ＶＢを統括的に制御する。バッファ台車コントローラ５０Ａは、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなるコンピュータであり、上述の搬送台車コントローラ５０と同様のコンピュータの構成であってもよい。
　バッファ台車コントローラ５０Ａは、搬送指令に基づいて、バッファ台車ＶＢの走行を制御する。バッファ台車コントローラ５０Ａは、走行駆動部３３、方向転換機構３４等を制御することにより、バッファ台車ＶＢの走行を制御する。バッファ台車コントローラ５０Ａは、例えば、走行速度、停止に関する動作、方向転換に関する動作を制御する。バッファ台車コントローラ５０Ａは、搬送指令に基づいて、バッファ台車ＶＢの移載動作を制御する。
　バッファ台車コントローラ５０Ａは、第一回動部６３を制御することにより、搬送台車Ｖにおける移載動作に連動させる。具体的には、バッファ台車コントローラ５０Ａは、搬送台車Ｖの横出し機構１１の可動板のスライド方向に合わせて、物品載置部６１を回動させる。バッファ台車コントローラ５０Ａは、物品載置部６１が第一状態のときに第二走行部２０Ａにおける走行を禁止し、物品載置部６１が第二状態のときに第二走行部２０Ａにおける走行を許可する。
　システムコントローラ５は、ＣＰＵ、ＲＯＭ及びＲＡＭ等からなるコンピュータであり、上述の搬送台車コントローラ５０と同様の構成であってもよい。システムコントローラ５は、物品Ｍを搬送可能な複数の搬送台車Ｖのうちの何れかを選択し、選択した搬送台車Ｖに搬送指令を割付ける。搬送指令は、搬送台車ＶのロードポートＰ又はバッファ台車ＶＢの物品載置部６１までの走行を実行させる走行指令と、ロードポートＰ又はバッファ台車ＶＢの物品載置部６１に配置された物品Ｍの荷つかみ指令又は保持している物品ＭのロードポートＰ又はバッファ台車ＶＢの物品載置部６１への荷下ろし指令と、を含む。
　次に、搬送台車Ｖとバッファ台車ＶＢとの物品Ｍの受け渡しについて説明する。搬送台車Ｖが、バッファ台車ＶＢの物品載置部６１に配置された物品Ｍの荷つかみ指令又は保持している物品Ｍのバッファ台車ＶＢの物品載置部６１への荷下ろし指令を受信すると、図８に示されるように、指令によって指示されたバッファ台車ＶＢに隣接するグリッドに移動する。バッファ台車ＶＢは、隣接するグリッドに移動してきた搬送台車Ｖの移載装置１８における可動板のスライド方向に開口部６１ｃを一致させるように、物品載置部６１を回動させる。
　搬送台車Ｖは、移載装置１８の可動板をスライドさせることにより、物品Ｍを保持する物品保持部１３を物品載置部６１における載置部６１ａの上方に位置させ、昇降駆動部１４を作動させることにより、物品Ｍを保持する物品保持部１３を下方に移動させる。これにより、搬送台車Ｖからバッファ台車ＶＢへの物品Ｍの移載が完了する。バッファ台車ＶＢから搬送台車Ｖへの物品Ｍの移載は、上記と逆の手順を実施することにより行われる。
　上記実施形態の搬送車システムＳＹＳにおける作用効果について説明する。上記実施形態の搬送車システムＳＹＳでは、例えば、搬送台車Ｖとバッファ台車ＶＢとが連なって移動したり、搬送台車Ｖが保持している物品Ｍをバッファ台車ＶＢに一時的に退避させたりすることにより、一台の搬送台車Ｖにおける物品Ｍの搬送効率を高めることができる。また、上記実施形態の搬送車システムＳＹＳでは、天井等に吊り下げられたり、床面に設置されたりすることによって設けられる一時的な物品Ｍの退避部（バッファポート）を、バッファ台車ＶＢとして構築することができる。
　上記実施形態の搬送車システムＳＹＳでは、バッファ台車ＶＢの物品載置部６１は、二個（複数）の物品Ｍ、Ｍを載置可能に設けられている。上記実施形態の構成では、通常の搬送台車が備えている移載部の構成に代えて、二個の物品Ｍ，Ｍを載置する物品載置部６１を設けたので、台車のサイズを搬送台車と同等のサイズに維持することができる。
　上記実施形態の搬送車システムＳＹＳでは、物品載置部６１を水平方向に沿って回動させる第一回動部６３を有している。これにより、バッファ台車ＶＢの物品載置部６１は、搬送台車Ｖに対して物品を受け渡しする際の姿勢を任意に変えることができるので、搬送台車Ｖは種々の方向からバッファ台車ＶＢに物品Ｍを受け渡すことが可能になる。この結果、搬送台車Ｖがバッファ台車ＶＢに対する所定位置（開口部６１ｃの位置）に移動しなくても済むので、搬送効率をより一層向上させることができる。
　上記実施形態の搬送車システムＳＹＳでは、第一回動部６３は、物品載置部６１の開口部６１ｃと外部Ｅの間にガイド部６５が配置されず、飛出防止機能を無効にする第一状態（図６（Ａ）参照）と、物品載置部６１の開口部６１ｃと外部Ｅとの間にガイド部６５が配置され、飛出防止機能を有効にする第二状態（図６（Ｂ）参照）との間で物品載置部６１を回動させている。この構成では、物品載置部６１を回動させる第一回動部６３の機能を利用して、物品Ｍの飛出防止機能を無効にする第一状態と、物品の飛出防止機能を有効にする第二状態とを、容易に切り替えることができる。
　上記実施形態の搬送車システムＳＹＳのバッファ台車コントローラ５０Ａは、物品載置部６１が第一状態のときに第二走行部２０Ａにおける走行を禁止し、物品載置部６１が第二状態のときに第二走行部２０Ａにおける走行を許可している。これにより、走行中のバッファ台車ＶＢから物品Ｍが落下することを防止できる。
　以上、一実施形態について説明したが、本発明の一側面は、上記実施形態に限られない。発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。
　上記実施形態のバッファ台車ＶＢには二つの物品Ｍを載置可能な構成を例に挙げて説明したが、一つの物品Ｍのみ載置できる構成であってもよいし、三つ以上の物品Ｍが載置できる構成であってもよい。また、上記実施形態のバッファ台車ＶＢは、ガイド部６５及び第一回動部６３による回動によって搬送時の物品Ｍの飛び出しを防止する機能を実現する例を挙げて説明したが、例えば、物品Ｍを係止するストッパ等を備えることにより、物品Ｍの飛び出しを防止してもよい。
　上記実施形態の搬送台車Ｖは、第二回動部１２及び第三回動部１６を備える例を挙げて説明したが、第二回動部１２及び第三回動部１６の両方を備えない構成であってもよいし、第二回動部１２及び第三回動部１６の一方のみを備える構成であってもよい。
　上記実施形態及び変形例の搬送車システムＳＹＳは、例えば下記のような使用が可能となる。その一例は、搬送台車Ｖとバッファ台車ＶＢとが一組となり、指定されたロードポートＰまで移動する例である。搬送台車Ｖは、物品Ｍを荷すくいし、その物品Ｍをバッファ台車ＶＢに移載した後、バッファ台車ＶＢに載置されていた物品ＭをロードポートＰに荷下ろしする。搬送台車Ｖとバッファ台車ＶＢとの間で物品Ｍを受け渡しする際は、バッファ台車ＶＢの物品載置部６１を回動させることで、搬送台車Ｖとバッファ台車ＶＢの両方が、最初の指定位置から走行（移動）しなくても二つの物品Ｍの受け渡しができる。このように、一つのロードポートＰから物品Ｍを取り出して他の物品Ｍを載置する場合、効率的な処理が可能となる。
　また、使用方法の他の例は、搬送台車Ｖとバッファ台車ＶＢとが、走行するレールの走行面を共有しつつも、主に走行する部分を役割分担する例である。例えば、所定のグリッド範囲（レール範囲）を主にバッファ台車ＶＢが走行する範囲に設定する。搬送台車Ｖは、所定のグリッド範囲（レール範囲）を走行するバッファ台車ＶＢとの間で、所定のグリッド範囲（レール範囲）の境界部で物品Ｍを受け渡しする。これにより、所定のグリッド範囲（レール範囲）を、主に物品Ｍの搬送又は一時貯留を目的とするエリアとして使用することができる。
　例えば、処理装置が配備された建物同士を接続する棟間部分を、上記の所定のグリッド範囲（レール範囲）とすることができる。すなわち、上記棟間部分を、主にバッファ台車ＶＢが走行する区間とする。搬送台車Ｖは棟間部分の両端にてバッファ台車ＶＢに物品Ｍを受け渡す。棟間部分には、物品Ｍを移載する部分がないか、あってもその箇所が少ないことから、移載機能を有さない複数の物品Ｍを搬送可能なバッファ台車ＶＢに物品Ｍを搬送させることで効率的な物品Ｍの搬送が可能となる。また、バッファ台車ＶＢは、移載装置を搭載していない分、台車としての重量が軽量化される。これにより、バッファ台車の搬送速度を上げることができるので、物品Ｍの搬送効率を向上させることができる。
　上記実施形態及び変形例の搬送車システムＳＹＳは、格子状に配置されたレールＲに搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢが走行する例を挙げて説明したが、一方向に延在するレールに沿って（分岐及び合流を含む）一方向に走行する従来の搬送車システムに、上記実施形態及び変形例の搬送台車Ｖ及びバッファ台車ＶＢを適用してもよい。
　１０…第一本体部、１０Ａ…第二本体部、１２…第二回動部、１３…物品保持部、１４…昇降駆動部、１６…第三回動部、１７…上部ユニット、１８…移載装置、２０…第一走行部、２０Ａ…第二走行部、５０…搬送台車コントローラ、５０Ａ…バッファ台車コントローラ、６０…被載置装置、６１…物品載置部、６３…第一回動部、６５…ガイド部、Ｍ…物品、ＳＹＳ…搬送車システム、Ｖ…搬送台車、ＶＢ…バッファ台車。

Claims (6)

  1. 　軌道を走行する第一走行部と、前記第一走行部に対して水平方向に沿って移動して被載置部との間で物品を移載する移載部と、を有する搬送台車と、
    　前記搬送台車が走行する前記軌道を走行する第二走行部と、前記第二走行部と一体的に移動可能に設けられる共に、前記搬送台車の前記移載部によって前記物品の受け渡しが可能に設けられている物品載置部と、を有するバッファ台車と、を備える、搬送車システム。
  2. 　前記物品載置部は、複数の前記物品を載置可能に設けられている、請求項１記載の搬送車システム。
  3. 　前記物品載置部を水平方向に沿って回動させる第一回動部を更に有する、請求項１又は２記載の搬送車システム。
  4. 　前記物品が前記物品載置部から前記物品載置部の外部への飛出防止機能を有するガイド部を更に有し、
    　前記第一回動部は、前記物品載置部と前記外部との間に前記ガイド部が配置されず、前記飛出防止機能を無効にする第一状態と、前記物品載置部と前記外部との間に前記ガイド部が配置され、前記飛出防止機能を有効にする第二状態との間で前記物品載置部を回動させる、請求項３記載の搬送車システム。
  5. 　前記バッファ台車を制御するコントローラを更に備え、
    　前記コントローラは、前記物品載置部が前記第一状態のときに前記第二走行部における走行を禁止し、前記物品載置部が前記第二状態のときに前記第二走行部における走行を許可する、請求項４記載の搬送車システム。
  6. 　前記移載部は、前記物品を保持する物品保持部と、前記物品保持部を昇降させる昇降駆動部と、前記昇降駆動部を水平方向に沿ってスライド移動させるスライド機構と、前記スライド機構を水平方向に沿って回動させる第二回動部と、前記物品保持部又は前記昇降駆動部を水平方向に沿って回動させる第三回動部と、を有する、請求項１～５の何れか一項記載の搬送車システム。
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