WO2021060318A1

WO2021060318A1 - 放熱シート、放熱シート積層体、構造体及び発熱素子の放熱処理方法

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Publication number: WO2021060318A1
Application number: PCT/JP2020/035908
Authority: WO
Inventors: 光祐和田; 金子　政秀; 良三野々垣
Original assignee: Denka Co Ltd
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Priority date: 2019-09-25
Filing date: 2020-09-24
Publication date: 2021-04-01
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Also published as: JPWO2021060318A1

Abstract

本発明の放熱シート（１Ｄ）は第１の方向（Ａ）に延びる複数の第１の溝（１０）を表面（２）に備える。本発明の放熱シート積層体は本発明の放熱シート及び放熱グリース層を含む。本発明の構造体は本発明の放熱シート、放熱シートに載置された発熱素子、及び放熱シート及び発熱素子の間に介在する放熱グリースを備える。本発明の発熱素子の放熱処理方法は本発明の放熱シートに熱グリースを塗布する工程、及び放熱グリースを塗布した面に発熱素子を配置する工程を含む。本発明によれば、発熱素子と放熱シートとの間に放熱グリース層を介在させたとき、放熱グリース層の広がり現象を抑制できる放熱シート、その放熱シートを含む放熱シート積層体、その放熱シートを備える構造体及びその放熱シートを用いた発熱素子の放熱処理方法を提供できる。

Description

放熱シート、放熱シート積層体、構造体及び発熱素子の放熱処理方法

　本発明は、放熱シート、その放熱シートを含む放熱シート積層体、その放熱シートを備える構造体及びその放熱シートを用いた発熱素子の放熱処理方法に関する。

　パワーデバイス、トランジスタ、サイリスタ、ＣＰＵなどの発熱素子においては、使用時に発生する熱を如何に効率的に放熱するかが重要な課題となっている。従来から、このような放熱対策としては、発熱素子から発生した熱をヒートシンクなどの放熱部品へ伝導させ放熱することが一般的に行われてきた。発熱素子から発生した熱を放熱部品へ効率よく熱伝導させるために、発熱素子と放熱部品との間に接触界面におけるエアーギャップを放熱材料で埋めることが望ましい。取り扱いが容易であることから、そのような放熱材料として、従来から放熱シートが用いられていた（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１２－３９０６０号公報

　しかしながら、放熱シートは発熱素子の実装面におけるミクロな凹凸に対して追従できないため、発熱素子に対する放熱シートの密着性が不十分となる場合がある。このため、発熱素子と放熱シートとの間の接触熱抵抗が大きくなる場合がある。

　本発明者らは、鋭意研究を進めたところ、発熱素子と放熱シートとの間に放熱グリースを介在させることにより、発熱素子と放熱シートとの間の接触熱抵抗を低減できることを見出した。しかし、本発明者らは、発熱素子と放熱シートとの間の接触熱抵抗を低減するのに十分な量の放熱グリースを発熱素子と放熱シートとの間に介在させると、放熱グリースの広がりが非常に大きくなることも見出した。このため、十分な量の放熱グリースを発熱素子と放熱シートとの間に介在させたとき、放熱グリースの広がりを抑制できることが好ましい。

　そこで、本発明は、発熱素子と放熱シートとの間に放熱グリースを介在させたとき、放熱グリースの広がりを抑制できる放熱シート、その放熱シートを含む放熱シート積層体、その放熱シートを備える構造体及びその放熱シートを用いた発熱素子の放熱処理方法を提供することを目的とする。

　本発明者らは、上記の目的を達成すべく鋭意研究を進めたところ、放熱シートの表面に所定の溝を設けることにより、上記の目的を達成することができることを見出した。
　本発明は、上記の知見に基づくものであり、以下を要旨とする。
［１］第１の方向に延びる複数の第１の溝を表面に備える放熱シート。
［２］第１の溝に挟まれた部分の表面が平滑である上記［１］に記載の放熱シート。
［３］隣接する第１の溝の間の距離が１００～１５００μｍである上記［１］または［２］に記載の放熱シート。
［４］第１の溝の深さが５～２５μｍである上記［１］～［３］のいずれか１つに記載の放熱シート。
［５］第１の溝の幅が５～２５μｍである上記［１］～［４］のいずれか１つに記載の放熱シート。
［６］第１の溝が直線状に延びる溝である上記［１］～［５］のいずれか１つに記載の放熱シート。
［７］第１の方向とは異なる第２の方向に延び、第１の溝と交差する複数の第２の溝を、表面に、さらに備える上記［１］～［６］のいずれか１つに記載の放熱シート。
［８］第１の溝及び第２の溝に囲まれた部分の表面が平滑である上記［７］に記載の放熱シート。
［９］第１の方向及び第２の方向のなす角度が６０～１２０°である上記［７］または［８］に記載の放熱シート。
［１０］ガラス転移点が２００℃以上である樹脂を含む基材樹脂層を含有する上記［１］～［９］のいずれか１つに記載の放熱シート。
［１１］上記［１］～［１０］のいずれか１つに記載の放熱シート、及び放熱シートにおける溝を備えた表面の上に形成された放熱グリース層を含む放熱シート積層体。
［１２］上記［１］～［１０］のいずれか１つに記載の放熱シート、放熱シートに載置された発熱素子、及び放熱シート及び発熱素子の間に介在する放熱グリースを備える構造体。
［１３］上記［１］～［１０］のいずれか１つに記載の放熱シートにおける溝を備えた表面に放熱グリースを塗布する工程、及び放熱グリースを塗布した放熱シートの表面に発熱素子を配置する工程を含む発熱素子の放熱処理方法。

　本発明によれば、発熱素子と放熱シートとの間に放熱グリースを介在させたとき、放熱グリースの広がりを抑制できる放熱シート、その放熱シートを含む放熱シート積層体、その放熱シートを備える構造体及びその放熱シートを用いた発熱素子の放熱処理方法を提供することができる。

図１は、本発明の一実施形態の放熱シートの斜視図である。図２は、本発明の一実施形態の放熱シートの変形例の平面図である。図３（ａ）及び図３（ｂ）は本発明の一実施形態の放熱シートの他の変形例の平面図である。図４は、本発明の一実施形態の放熱シートの他の変形例の斜視図である。図５は、本発明の一実施形態の放熱シート積層体及び構造体を説明するための図である。図６は、本発明の一実施形態の放熱シート積層体及び構造体の変形例を説明するための図である。図７は、放熱グリースの広がり現象の評価試験に用いた評価用治具の分解図である。図８は、評価用治具における放熱グリースの広がりを説明するための図である。

　以下、本発明の実施形態について説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されない。
［放熱シート］
　図１を参照して、本発明の一実施形態の放熱シートを、第１の溝と第２の溝を有する放熱シートを例に、説明する。図１は、本発明の一実施形態の放熱シートの斜視図である。本発明の一実施形態の放熱シート１は、第１の方向Ａに延びる複数の第１の溝１０及び第１の方向Ａとは異なる第２の方向Ｂに延び、第１の溝１０と交差する複数の第２の溝２０を、表面２に備える。これにより、発熱素子と放熱シートとの間に放熱グリースを介在させたとき、放熱グリースの広がりを抑制できる。なお、発熱素子と放熱シートとの間に放熱グリースを介在させたとき、放熱グリースが広がる現象を以下、放熱グリースの広がり現象という。

　以下の説明は本発明を限定するものではないが、放熱グリースの広がり現象を抑制できるのは以下の理由によるものと考えられる。放熱シートの熱膨張により、放熱シートと発熱素子との間の接触界面における微小な隙間が小さくなると、隙間を充填していた余分な放熱グリースは、放熱シートの表面の溝の中に流れ、溝の中に保持される。一方、放熱シートの熱収縮により、放熱シートと発熱素子との間の接触界面における隙間が大きくなると、放熱シートの表面の溝の中に保持されていた放熱グリースが大きくなった隙間に供給される。このように、放熱シートが熱膨張及び熱収縮を起こしても、放熱グリースは、上記隙間の中及び溝の中の間を行き来するだけなので、放熱グリースが広がることを抑制できると考えられる。

　本発明の一実施形態の放熱シート１は、複数の第１の溝１０及び複数の第２の溝２０を表面２に備えている限り、複数の第１の溝１０及び複数の第２の溝２０を備えている表面はとくに限定されない。例えば、本発明の一実施形態の放熱シート１は、放熱シートの２つの主なる面２，３のうち、放熱シートの一方の面２のみに複数の第１の溝１０及び複数の第２の溝２０を備えているが、放熱シートの両方の面に複数の第１の溝及び複数の第２の溝を備えていてもよい。また、放熱シートの面全体に複数の第１の溝及び複数の第２の溝を備えていてもよいし、放熱シートの面の一部に複数の第１の溝及び複数の第２の溝を備えていてもよい。また、複数の第１の溝及び複数の第２の溝は、それぞれ等間隔に並んでいてもよいし、異なる間隔で並んでいてもよい。さらに、第１の溝及び第２の溝の起点と終点が放熱シートの外周に存在する必要はなく、さらに、起点と終点の少なくとも一方が放熱シートの外周になくてもよい。

（第１の溝及び第２の溝に囲まれた部分の表面）
　本発明の一実施形態の放熱シート１における第１の溝１０及び第２の溝２０に囲まれた部分の表面３０は平滑であることが好ましい。これにより、本発明の一実施形態の放熱シート１の表面２に複数の第１の溝１０及び複数の第２の溝２０を設けることにより生ずる放熱シート１の接触熱抵抗の上昇を抑制することができる。表面粗さをパラメータとして表面の平滑さを表した場合、第１の溝１０及び第２の溝２０に囲まれた部分の表面３０の表面粗さは、算術平均粗さ（Ｒａ）で、好ましくは１．４～３．０μｍであり、より好ましくは２．０～２．７μｍである。また、第１の溝１０及び第２の溝２０に囲まれた部分の表面３０の表面粗さは、十点平均粗さ（Ｒｚ）で、好ましくは１１～２５μｍであり、より好ましくは１５～２３μｍである。なお、算術平均粗さ（Ｒａ）及び十点平均粗さ（Ｒｚ）はＪＩＳ　Ｂ０６０１：２０１３に準拠して測定した値である。

（隣接する溝の間の距離）
　本発明の一実施形態の放熱シート１における隣接する第１の溝１０の間の距離Ｄ_１０は好ましくは１００～１５００μｍである。隣接する第１の溝１０の間の距離Ｄ_１０が１００μｍ以上であると、発熱素子及び放熱シート１の間の接触面積が大きくなり、発熱素子及び放熱シート１の間の密着性を高めることができ、これにより、放熱シート１の接触熱抵抗を低減することができる。隣接する第１の溝１０の間の距離Ｄ_１０が１５００μｍ以下であると、放熱グリースの広がり現象を効果的に抑制できる。このような観点から、隣接する第１の溝１０の間の距離Ｄ_１０は、より好ましくは２００～１３００μｍであり、さらに好ましくは２５０～１１００μｍである。また、同様の観点から隣接する第２の溝２０の間の距離Ｄ_２０は、好ましくは１００～１５００μｍであり、より好ましくは２００～１３００μｍであり、さらに好ましくは２５０～１１００μｍである。なお、上記の通り、第１の溝及び第２の溝は放熱シート全体に形成されても、放熱シートの一部に形成されてもよいが、隣接する溝の間の距離の上記いずれかの好ましい範囲で、第１の溝及び第２の溝が放熱シート全体に形成されるのが好ましい。

（溝の深さ）
　本発明の一実施形態の放熱シート１における第１の溝１０の深さＨ_１０は、好ましくは５～２５μｍである。第１の溝１０の深さＨ_１０が５μｍ以上であると、放熱グリースの広がり現象を抑制しながら発熱素子と放熱シートとの間の接触熱抵抗を低減するのに十分な量の放熱グリースを第１の溝１０の中に保持することができる。第１の溝１０の深さＨ_１０が２５μｍ以下であると、発熱素子と放熱シートとの間に介在していた放熱グリースの多くが第１の溝１０の中に保持され、発熱素子と放熱シートとの間に介在する放熱グリースが不足することを抑制できる。このような観点から、第１の溝１０の深さＨ_１０は、より好ましくは１０～２０μｍであり、さらに好ましくは１３～１８μｍである。同様の観点から、第２の溝２０の深さＨ_２０は、好ましくは５～２５μｍであり、より好ましくは１０～２０μｍであり、さらに好ましくは１３～１８μｍである。第１の溝１０の深さＨ_１０及び第２の溝の深さＨ_２０は、溝ごとに異なってもよいし、同じでもよい。溝の深さが溝ごとに異なっている場合、その差は小さい方が好ましい。また、第１の溝１０の深さＨ_１０と第２の溝２０の深さＨ_２０とは異なってもよいし、同じでもよい。溝の深さが第１の溝と第２の溝との間で異なっている場合、その差は小さい方が好ましい。また、一つの溝を通して溝の深さは同じであってもよいし、溝の深さが異なる部分があってもよい。溝の深さが異なる部分がある場合、その差は小さい方が好ましい。

（溝の幅）
　本発明の一実施形態の放熱シート１における第１の溝１０の幅Ｗ_１０は好ましくは５～２５μｍである。第１の溝１０の幅Ｗ_１０が５μｍ以上であると、放熱グリースの広がり現象をさらに抑制できる。第１の溝１０の幅Ｗ_１０が２５μｍ以下であると、発熱素子及び放熱シート１の間の接触面積が大きくなり、発熱素子及び放熱シート１の間の密着性を高めることができ、これにより、放熱シート１の熱抵抗を低減することができる。このような観点から、第１の溝１０の幅Ｗ_１０は、より好ましくは７～２０μｍであり、さらに好ましくは８～１５μｍである。同様の観点から、第２の溝２０の幅Ｗ_２０は、好ましくは５～２５μｍであり、より好ましくは７～２０μｍであり、さらに好ましくは８～１５μｍである。なお、第１の溝１０の幅Ｗ_１０は溝ごとに異なってもよいし、同じでもよい。また、第２の溝１０の幅Ｗ_２０は溝ごとに異なってもよいし、同じでもよい。溝の幅が溝ごとに異なっている場合、その差は小さい方が好ましい。第１の溝１０の幅Ｗ_１０と第２の溝２０の幅Ｗ_２０とは異なってもよいし、同じでもよい。溝の幅が第１の溝と第２の溝との間で異なっている場合、その差は小さい方が好ましい。また、一つの溝を通して溝の幅は同じであってもよいし、溝の幅が異なる部分があってもよい。溝の幅が異なる部分がある場合、その差は小さい方が好ましい。

（表面における溝の面積の割合）
　放熱シート１を厚さ方向に投影したときの面積（Ｓ）に対する、第１の溝１０及び第２の溝２０を厚さ方向に投影したときの面積（Ｓｇ）の割合（Ｓｇ／Ｓ×１００％）は、２～２０％であることが好ましい。上記面積の割合が２％以上であると、放熱グリースの広がり現象をより効果的に抑制することができる。また、上記面積の割合が２０％以下であると、発熱素子及び放熱シート１の間の接触面積を大きくすることができ、発熱素子及び放熱シート１の間の密着性をさらに高くすることができる。このような観点から、上記面積の割合は、より好ましくは３～１５％であり、さらに好ましくは４～１２％である。

（第１の方向及び第２の方向のなす角度）
　本発明の一実施形態の放熱シート１において、第１の溝１０が延びる方向である第１の方向Ａ及び第２の溝２０が延びる方向である第２の方向Ｂのなす角度が、図１に示すように９０°である。第１の方向Ａ及び第２の方向Ｂのなす角度が９０°であると、放熱グリースの広がり現象を、放熱シート１の面方向に対してより均一に抑制できる。

（溝の形状）
　本発明の一実施形態の放熱シート１において、図１に示すように、第１の溝１０及び第２の溝２０が直線状に延びる溝であることが好ましい。これにより、放熱シート及び発熱素子の間のギャップの中と溝の中との間の放熱グリースの移動がより容易になり、放熱グリースの広がり現象をより抑制することができる。なお、放熱シートの形成された全ての溝が直線状に延びる溝である必要はない。しかし、溝の全本数の５０％以上が直線状に延びる溝であることが好ましく、７０％以上が直線状に延びる溝であることがより好ましく、９０％以上が直線状に延びる溝であることがさらに好ましい。

（厚さ）
　本発明の一実施形態の放熱シート１の厚さは、好ましくは１００～１０００μｍである。本発明の一実施形態の放熱シート１の厚さが１００μｍ以上であると、放熱シート１は、発熱素子の実装面の凹凸に対して、より追従することができる。一方、本発明の一実施形態の放熱シート１の厚さが１０００μｍ以下であると、放熱シートの熱抵抗を低減することができる。このような観点から、本発明の一実施形態の放熱シート１の厚さは、より好ましくは１５０～６５０μｍである。

（放熱シートの成分）
　本発明の一実施形態の放熱シート１の成分は、放熱シートに通常に用いられている成分であれば、とくに限定されない。例えば、本発明の一実施形態の放熱シート１は、樹脂バインダー及び熱伝導率の高い充填材を含有することができる。

＜樹脂バインダー＞
　本発明の一実施形態の放熱シート１に使用する樹脂バインダーは、放熱シートに通常用いられる樹脂バインダーであれば、とくに限定されない。本発明の一実施形態の放熱シート１に使用する樹脂バインダーには、例えば、エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、フェノール樹脂、メラミン樹脂、ユリア樹脂、不飽和ポリエステル、フッ素樹脂、ウレタン樹脂、ポリアミド（例えば、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリエーテルイミド等）、ポリエステル（例えば、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート等）、ポリフェニレンエーテル、ポリフェニレンスルフィド、全芳香族ポリエステル、ポリスルホン、液晶ポリマー、ポリエーテルスルホン、ポリカーボネート、マレイミド変性樹脂、ＡＢＳ樹脂、ＡＡＳ（アクリロニトリル－アクリルゴム・スチレン）樹脂、ＡＥＳ（アクリロニトリル・エチレン・プロピレン・ジエンゴム－スチレン）樹脂等が挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。放熱シート１の取り扱いを容易にするという観点及び放熱シート１の柔軟性により放熱シート１の密着性をより高めるという観点から、樹脂バインダーはゴムまたはエラストマーであることが好ましい。これらの中で、耐熱性、耐候性、電気絶縁性及び化学的安定性の観点からシリコーン樹脂が好ましい。

　金属腐食の原因となるイオン性の不純物を含まず、反応後に副生成物を発生しないという観点から、本発明の一実施形態の放熱シート１に使用するシリコーン樹脂は、付加反応型シリコーン樹脂であることが好ましい。付加反応型シリコーン樹脂は、白金化合物を触媒として用いて、アルケニル基とケイ素原子に結合した水素原子との間のヒドロシリル化反応により硬化したものである。付加反応型シリコーンには、例えば旭化成ワッカーシリコーン株式会社製の商品名「ＬＲ３３０３－２０Ａ／Ｂ」のシリコーンがある。

＜充填材＞
　本発明の一実施形態の放熱シート１に使用する充填材は、放熱シートに通常用いられる充填材であれば、とくに限定されない。本発明の一実施形態の放熱シート１に使用する充填材には、例えば、無機系充填材、金属系充填材などが挙げられる。無機系充填材には、例えば、酸化亜鉛、アルミナ、窒化ホウ素、窒化アルミ、炭化ケイ素、窒化ケイ素などが挙げられる。金属系充填材には、例えば、アルミニウム、銀、銅などが挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。これらの中で、電気絶縁性の観点から無機系充填材が好ましく、無機系充填材の中で、熱伝導率及び化学的安定性の観点から窒化ホウ素がより好ましい。また、窒化ホウ素は熱伝導性に異方性を有するので、この熱伝導性の異方性を抑制した塊状窒化ホウ素粒子がさらに好ましい。なお、塊状窒化ホウ素粒子は、六方晶窒化ホウ素の鱗片状粒子を塊状に凝集させた粒子である。

　充填材の平均粒子径は、好ましくは１５～９０μｍである。充填材の平均粒子径が１５μｍ以上であると、充填材の含有量を高くすることができる。一方、充填材の平均粒子径が９０μｍ以下であると、放熱シートを薄くすることができる。このような観点から、充填材の平均粒子径は、より好ましくは２０～７０μｍであり、さらに好ましくは２５～５０μｍであり、とくに好ましくは２５～４５μｍである。なお、充填材の平均粒子径は、例えば、ベックマンコールター社製レーザー回折散乱法粒度分布測定装置、（ＬＳ－１３　３２０）を用いて測定することができる。充填材の平均粒子径には、測定処理の前にホモジナイザーをかけずに測定したものを採用することができる。なお、得られた平均粒子径は、例えば体積統計値による平均粒子径である。

　樹脂バインダー及び充填材の合計１００体積％に対する充填材の含有量は、３０～８５体積％が好ましく、４０～８０体積％がより好ましい。充填材の含有量が３０体積％以上の場合、放熱シート１の熱伝導率が向上し、十分な放熱性能が得られやすい。また、充填材の含有量が８５体積％以下の場合、放熱シートの成形時に空隙が生じやすくなることを抑制でき、放熱シート１の絶縁性や機械強度を高めることができる。

＜補強層＞
　本発明の一実施形態の放熱シート１は、補強層を備えていてもよい。補強層は、放熱シート１の機械的強度をさらに向上させる役目を担い、さらには放熱シート１が厚さ方向に圧縮されたとき、放熱シート１の平面方向への延伸を抑制し、絶縁性を確保する効果も奏する。補強層には、例えば、ガラスクロス、アルミナクロス、ポリエステル、ポリアミド、ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル樹脂などの樹脂フィルム、木綿、麻、アラミド繊維、セルロース繊維、ナイロン繊維、ポリオレフィン繊維などの布繊維メッシュクロス、アラミド繊維、セルロース繊維、ナイロン繊維、ポリオレフィン繊維などの不織布、ステンレス、銅、アルミニウムなどの金属繊維メッシュクロス、銅、ニッケル、アルミニウムなど金属箔などが挙げられる。これらは、１種を単独で、または２種以上を組み合わせて使用することができる。これらの中で、熱伝導性及び絶縁性の観点から、ガラスクロスが好ましい。

　補強層としてガラスクロスを用いる場合、一般に市販されているような開口部を有するガラスクロスを使用できる。熱伝導性の観点から、ガラスクロスの厚さは、好ましくは１０μｍ～１５０μｍ、より好ましくは１５～９０μｍ、さらに好ましくは２０～５０μｍである。ガラスクロスの厚さが１０μｍ以上の場合、ハンドリング時にガラスクロスが壊れるのを抑制することができる。一方、ガラスクロスの厚さが１５０μｍ以下の場合、ガラスクロスによる放熱シートの熱伝導率の低下を抑制することができる。市販されているガラスクロスでは繊維径が４～９μmのものがあり、これらを放熱シート１に使用することができる。またガラスクロスの引張強度は、例えば、１００～１０００Ｎ／２５ｍｍである。またガラスクロスの開口部の一辺の長さは、熱伝導性及び強度のバランスを取るという観点から、好ましくは０．１～１．０ｍｍである。放熱シート１に使用できるガラスクロスには、例えばユニチカ社製、商品名「Ｈ２５　Ｆ１０４」がある。

　なお、放熱シート１には、樹脂バインダー、充填材及び補強層以外の成分が含まれてもよい。その他の成分は添加剤、難燃剤、シリコーンオイル、シラン材、シランカップリング剤、白金触媒、硬化剤、着色剤等であり、放熱シート１の体積１００体積％中、例えば１０体積％以下、５体積％以下、好ましくは３体積％以下、より好ましくは１体積％以下であってよい。

＜基材樹脂層＞
　本発明の放熱シートは基材樹脂層を備えていてもよい。基材樹脂層は、放熱シートの耐熱性をさらに向上させる役目を担う。この場合、本発明の放熱シートは、上述の樹脂バインダー及び充填材を含有する樹脂組成物層と、この樹脂組成物層に隣接する基材樹脂層とを含む。そして、樹脂組成物層の一方の面に上述の溝が形成され、樹脂組成物層の他方の面側に基材樹脂層が配置されることが好ましい。また、樹脂組成物層は上述の補強層を備えていてもよい。

　基材樹脂層は、ガラス転移点が２００℃以上である樹脂を含むことが好ましい。ガラス転移点が２００℃以上であれば、十分な耐熱性が得られ、積層体の絶縁性や熱伝導性を良好に維持することができる。基材樹脂層は、塗膜から形成される層でも、フィルムから形成される層でもよい。

　基材樹脂層を構成する樹脂としては、ポリイミド、ポリアミドイミド、ポリアミド（特に芳香族ポリアミド）、ポリエーテルサルホン、ポリエーテルイミド、ポリエチレンナフタレート、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）又はテトラフルオロエチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体（ＰＦＡ）等が挙げられ、なかでもポリイミドが好ましい。また、単独あるいは数種類を組み合わせて使用することができる。

　基材樹脂層中の樹脂の含有量は特に限定されないが、下限については、７８体積％以上が好ましく、より好ましくは８０体積％以上、さらに好ましくは８２体積％以上である。上限については９２体積％以下が好ましく、より好ましくは９０体積％以下、さらに好ましくは８８体積％以下である。

　基材樹脂層は無機フィラーを含有することが好ましい。基材樹脂層が無機フィラーを含有することで、絶縁性、熱伝導性、ピール強度等を向上させることができる。特に、ピール強度が上がるのは、無機フィラーにより基材樹脂層と樹脂組成物層との界面に凹凸が形成され、アンカー効果が生じるためと推察される。無機フィラーとしては、上述の充填材と同様なものを使用することができる。

　基材樹脂層中の無機フィラーの含有量は特に限定されないが、下限については８体積％以上が好ましく、より好ましくは１０体積％以上、さらに好ましくは１２体積％以上である。上限については２２体積％以下が好ましく、より好ましくは２０体積％以下、さらに好ましくは１８体積％以下である。

　また、基材樹脂層中には、上述のその他の成分が少量含まれてもよいし、不純物が少量含まれてもよい。なお、基材樹脂層中において、上記樹脂と無機フィラーの合計含有量は９０体積％以上が好ましく、より好ましくは９５体積％以上、さらに好ましくは９７体積％以上である。

　基材樹脂層の厚みは、絶縁性、熱伝導性、加工性の観点から以下の範囲が好ましい。下限については０．０１０ｍｍ以上が好ましい。０．０１０ｍｍ以上とすることで、絶縁性をさらに改善できるとともに、加工性も改善できる。より好ましくは０．０１２ｍｍ以上、さらに好ましくは０．０１５ｍｍ以上である。上限については０．１００ｍｍ以下が好ましい。より好ましくは０．０７０ｍｍ以下、さらに好ましくは０．０５０ｍｍ以下である。

　基材樹脂層となるフィルムとしては、公知のフィルム作製方法に準じて作製できる。また、市場に販売されている製品を入手して用いてもよい。

　＜放熱シートの形態＞
　本発明の放熱シートの形態は特に限定されない。枚葉品でもロール品でもよい。

（放熱シートの製造方法）
　本発明の一実施形態の放熱シート１は、例えば、以下の工程１～工程５を有する製造方法で製造することができる。
（工程１）
　工程１では、硬化前の樹脂バインダー及び充填材を混合して放熱シート用組成物を作製する。

（工程２）
　工程２では、フィルム上に放熱シート用組成物を塗布する。塗布方法は特に限定されず、均一に塗布できるドクターブレード法、コンマコーター法、スクリーン印刷法、ロールコーター法などの公知の塗布方法を採用することができる。しかし、塗布した放熱シート用組成物の厚みを高い精度で制御できるという観点からドクターブレード法及びコンマコーター法が好ましい。なお、放熱シートが補強層を備える場合、フィルムの上に補強層を載置した後に、放熱シート用組成物を塗布することが好ましい。この場合、放熱シートの厚み方向中央に補強層が配置されるように、補強層の両面に放熱シート用組成物を塗布してもよい。
　また、基材樹脂層を備える放熱シートの場合には、基材樹脂層となる基材シート上に、樹脂組成物を塗布する。基材シートへの塗布方法としては、従来公知の方法、例えば、コーター法、ドクターブレード法、押出成形法、射出成形法、プレス成形法等を用いることができる。基材樹脂層を備える放熱シートの場合にも、放熱シートの厚み方向中央に基材樹脂層が配置されるように、基材樹脂層の両面に放熱シート用組成物を塗布してもよい。

（工程３）
　工程３では、有するフィルムに塗布した放熱シート用組成物を乾燥する。

（工程４）
　工程４では、乾燥した放熱シート用組成物を架橋させて、放熱シート前駆体シートを作製する。

（工程５）
　工程５では、第１の方向に延びる複数の第１の突条及び第１の方向とは異なる第２の方向に延び、第１の突条と交差する複数の第２の突条を表面に備える転写用シートを用意する。このような転写用シートは、例えば、シートをエンボス加工することにより作製できる。そして、転写用シートを放熱シート前駆体シートの上に載せた後、転写用シートの上から放熱シート前駆体シートを加熱加圧する。これにより、放熱シート前駆体シートに塑性変形が起こり、放熱シート前駆体シートの表面に第１の溝及び第２の溝が形成される。ここで、エンボス加工は放熱シート用組成物塗布側で行う。なお、放熱シート前駆体シートを加熱加圧するときの圧力を調節することにより、第１の溝及び第２の溝の深さを制御することができる。また、エンボス加工により放熱シート前駆体シートの表面に第１の溝及び第２の溝を直接形成してもよい。

（本発明の一実施形態の放熱シートの変形例）
　本発明の一実施形態の放熱シートは、以下のように変形することができる。
＜変形例１＞
　本発明の一実施形態の放熱シート１では、第１の溝１０が延びる方向である第１の方向Ａ及び第２の溝２０が延びる方向である第２の方向Ｂのなす角度が９０°であった。しかし、本発明の放熱シートでは、第１の溝が延びる方向である第１の方向及び第２の溝が延びる方向である第２の方向のなす角度は９０°に限定されない。例えば、図２に示す放熱シート１Ａのように、第１の溝１０Ａが延びる方向である第１の方向Ａ及び第２の溝２０Ａが延びる方向である第２の方向Ｂのなす角度が１２０°であってもよい。なお、放熱グリースの広がり現象を、放熱シート１の面方向に対してより均一に抑制できるという観点から、本発明の放熱シートにおける第１の溝が延びる方向である第１の方向及び第２の溝が延びる方向である第２の方向のなす角度は、好ましくは３０～１５０°であり、より好ましくは６０～１２０°であり、さらに好ましくは８０～１００°であり、とくに好ましくは９０°である。なお、１つの第１の溝において第２の溝との交点が複数ある場合、または、１つの第２の溝において第１の溝との交点が複数ある場合、各交点における第１の溝と第２の溝とのなす角度は同じでもよいし異なってもよい。

＜変形例２＞
　本発明の一実施形態の放熱シート１において、第１の溝１０及び第２の溝２０が直線状に延びる溝であった。しかし、第１の溝が第１の方向に延び、第２の溝が第２の方向に延びている限り、第１の溝及び第２の溝の形状は直線状に限定されない。例えば、図３（ａ）に示す放熱シート１Ｂのように、第１の溝１０Ｂが第１の方向Ａに波状に延びる溝であり、第２の溝２０Ｂが第２の方向Ｂに波状に延びる溝であってもよい。また、図３（ｂ）に示す放熱シート１Ｃのように、第１の溝１０Ｃが第１の方向Ａにジグザク状に延びる溝であり、第２の溝２０Ｃが第２の方向Ｂにジグザク状に延びる溝であってもよい。さらに、第１の溝１０Ｃが第１の方向Ａに延びた形状が、第２の溝２０Ｃが第２の方向に延びた形状と異なっていてもよい。

＜変形例３＞
　図１に示すように、本発明の一実施形態の放熱シート１において、第１の溝１０及び第２の溝２０の断面の形状は四角形であった。しかし、放熱シートの第１の溝及び第２の溝の断面の形状は四角形に限定されない。例えば、Ｕ字形、三角形、台形であってもよい。また、放熱シートの第１の溝の断面の形状は第２の溝の断面の形状と異なっていてもよい。

＜変形例４＞
　図１に示すように、本発明の一実施形態の放熱シート１は、第１の方向Ａに延びる複数の第１の溝１０及び第１の方向Ａとは異なる第２の方向Ｂに延び、第１の溝１０と交差する複数の第２の溝２０を、表面２に備えていた。しかし、図４に示すように、放熱シート１Ｄは、第１の方向Ａに延びる複数の第１の溝１０のみを表面２に備え、第２の溝２０を、表面２に備えなくてもよい。放熱シート１Ｄが、第１の方向Ａに延びる複数の第１の溝１０のみを表面２に備える場合も、放熱シート１Ｄは放熱グリースの広がり現象を抑制することができる。しかし、放熱シート１は、複数の第１の溝１０及び複数の第２の溝２０の両方を備えることが好ましい。なお、放熱シート１Ｄにおける第１の溝１０が設けられている領域、隣接する第１の溝１０の間の距離、第１の溝１０の深さＨ_１０、第１の溝１０の深さＨ_１０、第１の溝１０の幅Ｗ_１０、表面における溝の面積の割合、溝の形状、及び溝の断面形状等については、上述の本発明の一実施形態の放熱シート１における第１の溝１０が設けられている領域、隣接する第１の溝１０の間の距離、第１の溝１０の深さＨ_１０、第１の溝１０の深さＨ_１０、第１の溝１０の幅Ｗ_１０、表面における溝の面積の割合、溝の形状、及び溝の断面形状等と同様である。また、本発明の一実施形態の放熱シート１における第１の溝１０及び第２の溝２０に囲まれた部分の表面３０と同様に、放熱シート１Ｄにおける隣接する第１の溝１０に挟まれた部分の表面３０Ｄも平滑であることが好ましい。

　また、図示しないが、本発明の一実施形態の放熱シートは、第１の溝及び第２の溝に加え、第１の方向及び第２の方向とは異なる第３の方向に延び、第１の溝及び第２の溝と交差する複数の第３の溝を、表面に備えてもよい。この場合も放熱グリースの広がり現象を抑制することができる。さらに、本発明の一実施形態の放熱シートは、第１の溝、第２の溝及び第３の溝に加え、第１の方向、第２の方向及び第３の方向とは異なる第４の方向に延び、第１の溝、第２の溝及び第３の溝と交差する複数の第４の溝を、表面に備えてもよい。そして、本発明の一実施形態の放熱シートは、さらに、これらの方向と異なる、１つの方向または２つ以上の方向の複数の溝を表面に備えてもよい。

［放熱シート積層体］
　図５に示すように、本発明の一実施形態の放熱シート積層体１００は、本発明の一実施形態の放熱シート１、及び放熱シート１における第１の溝及び第２の溝を備えた表面の上に形成された放熱グリース層１１０を含む。これにより、発熱素子２１０と放熱シート１との間の接触熱抵抗を低減できるとともに、放熱グリースの広がり現象を抑制できる。

（放熱グリース）
　本発明の一実施形態の放熱シート積層体１００に使用される放熱グリース１１０は、放熱材料として通常用いられる放熱グリースであれば、とくに限定されない。放熱グリースは、例えば、液状ポリマー及び充填材を混練してペースト状にしたものである。充填材としては、例えば、上述の本発明の一実施形態の放熱シート１に用いた充填材と同じものを使用できる。これらの中で、電気絶縁性の観点から無機系充填材が好ましく、無機系充填材の中で、熱伝導率及び絶縁性、コストの観点からアルミナがより好ましい。また、アルミナの形状は球状、破砕状、板状、不定形等いずれでもよいが、流動性の観点から球状が特に好ましい。液状ポリマーには、例えば、ポリオレフィン、アルキル芳香族、脂環式化合物などの炭化水素油、ポリグリコール、フェニルエーテルなどのポリエーテル類、ジエステル、ポリオールエステルなどのエステル類、芳香族リン酸エステルなどのリン化合物、シリコーンなどのケイ素化合物、フッ素化ポリエーテルなどのハロゲン化合物、鉱物油、フロロシリコーン、アクリル樹脂、ウレタン樹脂などが挙げられる。これらの液状ポリマーの中で、耐熱性、耐候性、電気絶縁性及び化学的安定性の観点からシリコーンが好ましい。

　本発明の一実施形態の放熱シート積層体１００に使用される放熱グリース１１０の使用量は、溝の形状等が上記の好ましい範囲内であれば、放熱シート１８０ｍｍ×１００ｍｍ当たり１．５～８．０ｍｌであってよく、２．３～４．５ｍｌであってよく、２．６～３．８ｍｌであってよい。また、通常の放熱グリースの１０ｓ^－１のせん断速度における２５℃の粘度は、１５～１０００Ｐａ・ｓの範囲であれば効果的であり、上記範囲にするために例えば真空脱泡・混合という方法で調整してもよい。

（本発明の一実施形態の放熱シート積層体の変形例）
　本発明の一実施形態の放熱シート積層体は、以下のように変形することができる。
　図５に示す本発明の一実施形態の放熱シート積層体１００は、放熱シート１の一方の面側のみに放熱グリース１１０が配置されている。しかし、図６に示す放熱シート積層体１００Ａのように、放熱シート１Ｅの両方側に放熱グリース１１０，１２０が配置されてもよい。これにより、放熱シート１Ｅとヒートシンク３００との間の接触熱抵抗も低減することができる。なお、この場合、放熱シート１Ｅの両方の面に上述の第１の溝及び第２の溝が設けられている。

　本発明の一実施形態の放熱シート積層体の放熱シートとして、上述の本発明の一実施形態の放熱シートの変形例を用いてもよい。この場合も、放熱グリースの広がり現象を抑制できる。

［構造体］
　図５に示すように、本発明の一実施形態の構造体２００は、本発明の一実施形態の放熱シート１、放熱シート１に載置された発熱素子２１０、及び放熱シート１及び発熱素子２１０の間に介在する放熱グリース１１０を備える。これにより、発熱素子２１０と放熱シート１との間の接触熱抵抗を低減できるとともに、放熱グリースの広がり現象を抑制できる。なお、放熱シート１の放熱グリース１１０側の表面に上述の第１の溝及び第２の溝が設けられている。また、放熱グリース１１０には上述の放熱シート積層体に用いた放熱グリースと同様のものを使用できる。

（発熱素子）
　発熱素子には、例えば、パワーデバイス、トランジスタ、サイリスタ、ＣＰＵ、ＩＧＢＴモジュール、ダイオードなどが挙げられる。

（本発明の一実施形態の構造体の変形例）
　本発明の一実施形態の構造体は、以下のように変形することができる。
＜変形例１＞
　図５に示す本発明の一実施形態の構造体２００は、放熱シート１の一方の面側のみに放熱グリース１１０が配置されている。しかし、図６に示す構造体２００Ａのように、放熱シート１Ｅの両方側に放熱グリース１１０，１２０が配置されてもよい。これにより、放熱シート１Ｅとヒートシンク３００との間の接触熱抵抗も低減することができる。なお、この場合、放熱シート１Ｅの両方の面に上述の第１の溝及び第２の溝が設けられている。

＜変形例２＞
　発熱素子の代わりに発熱素子を実装した基板を放熱シートに載置してもよい。

＜変形例３＞
　本発明の一実施形態の構造体の放熱シートとして、上述の本発明の一実施形態の放熱シートの変形例を用いてもよい。この場合も、放熱グリースの広がり現象を抑制できる。

［発熱素子の放熱処理方法］
　本発明の発熱素子の放熱処理方法は、本発明の放熱シート１における第１の溝及び第２の溝を備えた表面に放熱グリースを塗布する工程、及び放熱グリースを塗布した放熱シートの表面に発熱素子を配置する工程を含む。これにより、発熱素子と放熱シートとの間の接触熱抵抗を低減できるとともに、放熱グリースの広がり現象を抑制できる。なお、放熱グリースの塗布には、例えば、自動ディスペンスやスクリーン印刷法が用いられる。

　以上の本発明の一実施形態の放熱シート１及びその変形例１Ａ～１Ｄは一つの形態に過ぎず、本発明の放熱シートを限定しない。また、本発明の一実施形態の放熱シート積層体１００及び構造体２００ならびにその変形例１００Ａ，２００Ａは一つの形態に過ぎず、本発明の放熱シート積層体及び構造体を限定しない。

　以下、本発明について、実施例及び比較例により、詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施例に限定されるものではない。

　実施例及び比較例の放熱シートに対して以下の評価を行った。
（放熱シートの厚さ）
　シックネスゲージ（株式会社ミツトヨ製、型番：５４７－３０１）を用いて放熱シートの厚さを任意に１０箇所測定し、その平均値をその放熱シートの厚さとした。

（第１の溝及び第２の溝に囲まれた部分の表面の表面粗さ）
　共焦点顕微鏡（株式会社キーエンス製、商品名「ＬＴ・９０１０Ｍ」）を用いて、計測長さ１０，０００μｍ、計測ピッチ１０μｍ、計測速度５００μｍの条件で、ＪＩＳ　Ｂ０６０１：２０１３に準拠して放熱シートの表面粗さを測定した。

（隣接する溝の間の距離）
　放熱シートの表面に溝を形成するために用いた転写用シートの隣接する突条の間の距離を、実施例または比較例の放熱シートにおける隣接する第１の溝の間の距離及び隣接する第２の溝の間の距離とした。

（溝の深さ）
　溝の深さは、放熱シートの面方向に対してＡｒを照射したイオンミリング処理により断面出しを行った後に、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で表面の溝を各５個ランダムに抽出し、溝の深さを計測し、その平均値を採用した。

（溝の幅）
　溝の幅は、放熱シートの面方向に対してＡｒを照射したイオンミリング処理により断面出しを行った後に、走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）で表面の溝を各５個ランダムに抽出し、溝の幅を計測し、その平均値を採用した。

（第１の方向及び第２の方向のなす角度）
　放熱シートの表面に溝を形成するために用いた転写用シートの２つの方向の突条のなす角度を、実施例または比較例の放熱シートにおける第１の方向及び第２の方向のなす角度とした。

（溝の形状）
　放熱シートの表面に溝を形成するために用いた転写用シートの突条の形状を、実施例または比較例の放熱シートにおける第１の溝及び第２の溝の形状とした。

（放熱グリースの広がり現象の評価試験）
　図７に示す放熱グリースの広がり現象の評価用治具４００を用いて放熱シートによる放熱グリースの広がり現象の抑制効果を調べた。まず、図７を参照して評価用治具４００を説明する。

　評価用治具４００は、放熱シート５００を載置するアルミニウム板４１０、アルミニウム板４１０と組み合わせて放熱シート５００及び放熱シートに滴下される放熱グリース６００を挟む透明なガラス板４２０、ガラス板４２０を固定する透明な樹脂製のガラス板固定板４３０、ならびにアルミニウム板４１０とガラス板４２０との間を締め付けるために用いるボルト４４０及びナット４５０を含む。アルミニウム板４１０には、ボルト４４０のネジ部４４１を通すための穴４１１が設けられている。ガラス板固定板４３０には、ガラス板４２０を嵌合するための中空部４３１と、ボルト４４０のネジ部４４１を通すための穴４３２が設けられている。なお、中空部４３１の深さは、ガラス板４２０の厚さよりも若干小さい。

　なお、アルミニウム板１１０には、材質Ａ－５０５２のアルミニウム板を使用した。アルミニウム板１１０の大きさは１８０ｍｍ×１００ｍｍ×１０ｍｍであった。また、ガラス板１２０の大きさは７０ｍｍ×５５ｍｍ×１０ｍｍであった。さらに、ガラス板固定板１３０には、塩ビ系樹脂を使用した。ガラス板固定板１３０の大きさは１８０ｍｍ×１００ｍｍ×３０ｍｍｍｍであった。

　次に放熱グリースの広がり現象の評価試験の方法を説明する。ボルト４４０のネジ部４４１を通すための穴５１０が設けられた放熱シート５００をアルミニウム板４１０に載置した。そして、アルミニウム板４１０に載置した放熱シート４１０の上に放熱グリース６００を１６ｍｌ滴下した。放熱シート５００における放熱グリース６００を滴下する位置は、放熱グリース６００の上に載置するガラス板４２０の中心に相当する位置であった。

　次に、ガラス板４２０を嵌め込んだガラス板固定板４３０を、放熱グリース６００を滴下した放熱シート５００の上に載置した。これにより、放熱グリース６００は放熱シート５００及びガラス板４２０により挟まれた。そして、アルミニウム板４１０の穴４１１、放熱シート５００の穴５１０、及びガラス板固定板４３０の穴４３１にボルト４４０のネジ部４４１を挿入した後、ナット４５０を用いて、アルミニウム板４１０とガラス板４２０との間を締め付けた。アルミニウム板４１０とガラス板４２０との間の単位面積当たりの締め付け力は０．２ＭＰａであった。図８に示すように、ガラス板４２０及びガラス板固定板４３０を通して放熱グリース６００の広がり具合を見ることができた。そして、ガラス板４２０及びガラス板固定板４３０を通して放熱グリース６００を撮影し、撮影した画像から広がった放熱グリース６００の面積（Ｓ１）を測定した。

　放熱シート５００及び放熱グリース６００を挟んだ評価用治具４００を水平にしてヒートサイクル試験を行った。－４０℃の温度で３０分保持及び１２５℃の温度で３０分保持を１サイクルとして、１００サイクルのヒートサイクル試験を行った。１００サイクルのヒートサイクル試験を行った評価用治具４００について、ガラス板４２０及びガラス板固定板４３０を通して放熱グリース６００を撮影し、撮影した画像から広がった放熱グリース６００の面積（Ｓ２）を測定した。そして、ヒートサイクル試験前の放熱グリースの面積（Ｓ１）に対する１００サイクルのヒートサイクル試験後の放熱グリースの面積（Ｓ２）の面積比（Ｓ２／Ｓ１）を算出した。なお、放熱グリースの広がり現象の評価試験には以下の放熱グリースを使用した。
放熱グリースの広がり現象の評価試験に使用した放熱グリース：デンカ株式会社製、商品名：ＧＦＣ－ＰＦ３、１０ｓ^－１のせん断速度における２５℃の粘度：２２Ｐａ・ｓ、滴下した量：３．２ｍｌ

　実施例及び比較例の放熱シートは以下のようにして作製した。
［実施例１］
（六方晶窒化ホウ素の作製）
　ホウ酸、メラミン、及び炭酸カルシウム（いずれも試薬特級）を、質量比７０：５０：５の割合で混合し、窒素ガス雰囲気中、室温から１４００℃までを１時間で昇温し、１４００℃で３時間保持してから１９００℃までを４時間で昇温し、１９００℃で２時間保持した後、室温まで冷却して六方晶窒化ホウ素を製造した。これを解砕した後、粉砕し、篩い分けして、塊状窒化ホウ素粒子を作製した。作製した塊状窒化ホウ素粒子の平均粒子径は５０μｍであった。

（放熱シート用組成物の作製）
　１１０ｇのシリコーン樹脂（旭化成ワッカーシリコーン株式会社製、型番：ＬＲ３３０３－２０Ａ）と１１０ｇのシリコーン樹脂（旭化成ワッカーシリコーン株式会社製、型番：ＬＲ３３０３－２０Ｂ）に、６５０ｇの作製した塊状窒化ホウ素粒子を添加した後、固形分濃度が６０ｗｔ％となるように粘度調整剤としてトルエンを添加し、タービン型撹拌翼を用いて攪拌機（ＨＥＩＤＯＮ社製、商品名：スリーワンモーター）で１５時間混合し、放熱シート用組成物を作製した。

（放熱シート前駆体シートの作製）
　上記の放熱シート用組成物をテフロン（登録商標）シート上にコンマコーターで片面当たり厚さ０．５ｍｍに塗工し、７５℃で５分乾燥させた。その後、平板プレス機（株式会社柳瀬製作所製）を用いて、温度１２０℃、圧力５０ｋｇｆ／ｃｍ^２の条件下で１０分間のプレスを行い、厚さ０．３０ｍｍのシートを作製した。次いでそれを常圧、１５０℃の温度で４時間の二次加熱を行い、放熱シート前駆体シートを作製した。

（放熱シート前駆体シートに対する溝の形成）
　第１の方向に延びる複数の第１の突条及び第１の方向とは異なる第２の方向に延び、第１の溝と交差する複数の第２の突条を表面に備える転写用シートを用意した。なお、転写用シートにおける隣接する第１の突条の間の距離及び隣接する第２の突条の間の距離は１．０ｍｍであった。また、第１の突条及び第２の突条の幅は１０μｍであった。さらに、第１の突条及び第２の突条の高さは２０μｍであった。また、第１の方向及び第２の方向のなす角度は９０°であった。さらに、第１の突条及び第２の突条は直線状に延びる突条であった。また、第１の突条及び第２の突条の断面の形状は四角形であった。

　放熱シート前駆体シートの上に上記転写用シートを載置した後、平板プレス機（株式会社柳瀬製作所製）を用いて、温度１６５℃、圧力１５０ｋｇｆ／ｃｍ^２の条件下で３０分間のプレスを行い、放熱シート前駆体シートの表面に溝を形成して、実施例１の放熱シートを作製した。

［実施例２］
　放熱シート前駆体シートの表面に溝を形成するときの平板プレス機の圧力を１５０ｋｇｆ／ｃｍ^２から２２０ｋｇｆ／ｃｍ^２に変更した以外は、実施例１と同様にして、実施例２の放熱シートを作製した。

［実施例３］
　放熱シート前駆体シートの表面に溝を形成するときの平板プレス機の圧力を１５０ｋｇｆ／ｃｍ^２から５０ｋｇｆ／ｃｍ^２に変更した以外は、実施例１と同様にして、実施例３の放熱シートを作製した。

［実施例４］
　放熱シート前駆体シート作成の際に、基材樹脂層としてのポリイミドフィルム（東レ・デュポン株式会社製、商品名Ｋａｐｔｏｎ　１００Ｈ、厚さ０．０２６ｍｍ）をテフロン（登録商標）シート上に配置した後、上記の放熱シート用組成物を、ポリイミドフィルム上にコンマコーターで厚さ０．２ｍｍ塗工し、７５℃で５分乾燥させ、ポリイミドフィルムの片面に放熱シート用組成物を塗工した。次に、ポリイミドフィルムが上側になるようにひっくり返して、放熱シート用組成物をポリイミドフィルム上にコンマコーターで厚さ０．２ｍｍに塗工し、７５℃で５分乾燥させ、両面に放熱シート用組成物を塗工した放熱シート用組成物のシートを作製した。それ以外は、実施例１と同様にして、実施例４の放熱シートを作製した。

［比較例１］
　放熱シート前駆体シートの表面に溝を形成しなかった以外は、実施例１と同様にして、比較例１の放熱シートを作製した。

　実施例１～３及び比較例１の放熱シートの評価結果を表１に示す。

　以上の評価結果から、放熱シートの表面に第１の方向に延びる複数の第１の溝、及び第２の方向に延び、第１の溝と交差する複数の第２の溝を設けることにより放熱グリースの広がり現象を抑制できることがわかった。
　また、ＪＩＳ　Ｃ２１１０に記載の方法に準拠し、実施例１及び実施例４の絶縁破壊電圧を、短時間破壊試験（室温：２３℃）にて評価した。その結果、実施例４の方が、絶縁破壊電圧が３ｋＶ程高かった。

１，１Ａ～１Ｅ，５００　放熱シート
２，３　表面（面）
１０，１０Ａ～１０Ｃ　第１の溝
２０，２０Ａ～２０Ｃ　第２の溝
３０　第１の溝及び第２の溝に囲まれた部分の表面
３０Ｄ　隣接する第１の溝に挟まれた部分の表面
１００，１００Ａ　放熱シート積層体
１１０，１２０，６００　放熱グリース（層）
２００，２００Ａ　構造体
２１０　発熱素子
３００　ヒートシンク
４００　放熱グリースの広がり現象の評価用治具
４１０　アルミニウム板
４２０　ガラス板
４３０　ガラス板固定板
４４０　ボルト
４５０　ナット

Claims

　第１の方向に延びる複数の第１の溝を表面に備える放熱シート。
　前記第１の溝に挟まれた部分の表面が平滑である請求項１に記載の放熱シート。
　隣接する前記第１の溝の間の距離が１００～１５００μｍである請求項１または２に記載の放熱シート。
　前記第１の溝の深さが５～２５μｍである請求項１～３のいずれか１項に記載の放熱シート。
　前記第１の溝の幅が５～２５μｍである請求項１～４のいずれか１項に記載の放熱シート。
　前記第１の溝が直線状に延びる溝である請求項１～５のいずれか１項に記載の放熱シート。
　前記第１の方向とは異なる第２の方向に延び、前記第１の溝と交差する複数の第２の溝を、表面に、さらに備える請求項１～６のいずれか１項に記載の放熱シート。
　前記第１の溝及び前記第２の溝に囲まれた部分の表面が平滑である請求項７に記載の放熱シート。
　前記第１の方向及び前記第２の方向のなす角度が６０～１２０°である請求項７または８に記載の放熱シート。
　ガラス転移点が２００℃以上である樹脂を含む基材樹脂層を含有する請求項１～９のいずれか１項に記載の放熱シート。
　請求項１～１０のいずれか１項に記載の放熱シート、及び
　前記放熱シートにおける前記溝を備えた表面の上に形成された放熱グリース層を含む放熱シート積層体。
　請求項１～１０のいずれか１項に記載の放熱シート、
　前記放熱シートに載置された発熱素子、及び
　前記放熱シート及び前記発熱素子の間に介在する放熱グリースを備える構造体。
　請求項１～１０のいずれか１項に記載の放熱シートにおける前記溝を備えた表面に放熱グリースを塗布する工程、及び
　前記放熱グリースを塗布した前記放熱シートの表面に発熱素子を配置する工程を含む発熱素子の放熱処理方法。