WO2019009392A1

WO2019009392A1 - 光学デバイス

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Publication number: WO2019009392A1
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Inventors: 達哉杉本; 智史鈴木; 恭輔港谷
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Abstract

本発明は、可動ミラーのミラー面の大型化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる光学デバイスを提供することを目的とする。本発明の光学デバイス（１０）は、主面を有するベース（１２）と、主面に平行な平面に沿ったミラー面を有する可動ミラー（１１）と、主面に垂直な第１方向に沿って移動可能となるように可動ミラーを支持する第１弾性支持部（１４）及び第２弾性支持部（１５）と、第１方向に沿って可動ミラーを移動させるアクチュエータ部（１６）と、第１方向に垂直な第２方向における可動ミラーの一方の側に配置された第１光学機能部（１７）と、を備える。第１弾性支持部（１４）は、可動ミラー（１１）から、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向における第１光学機能部の両側に、主面に沿って延在する一対の第１レバー（１４１）を有する。第２方向における一対の第１レバー（１４１）のそれぞれの長さ（Ａ１）は、ミラー面（１１ａ）の外縁と第１光学機能部（１７）の縁との間の最短距離（Ｄ１）よりも大きい。

Description

光学デバイス

　本開示は、光学デバイスに関する。

　ＭＥＭＳ（Micro　Electro　Mechanical　Systems）技術によってＳＯＩ（Silicon　On　Insulator）基板に干渉光学系が形成された光モジュールが知られている（例えば、特許文献１参照）。このような光モジュールは、高精度な光学配置が実現されたＦＴＩＲ（フーリエ変換型赤外分光分析器）を提供し得るため、注目されている。

特表２０１２－５２４２９５号公報

　しかし、上述したような光モジュールには、例えば可動ミラーのミラー面のサイズがＳＯＩ基板に対する深堀加工の達成度に依存する点で、次のような課題がある。すなわち、ＳＯＩ基板に対する深堀加工の達成度は最大でも５００μｍ程度であるため、可動ミラーのミラー面の大型化によってＦＴＩＲにおける感度を向上させるのには限界がある。その一方で、ミラー面の大型化に伴って可動ミラーが大型化すると、可動ミラーの可動性能が低下したり、他の光学機能部が設けられた場合に装置全体が大型化したりするおそれがある。

　本開示は、可動ミラーのミラー面の大型化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる光学デバイスを提供することを目的とする。

　本開示の一側面の光学デバイスは、主面を有するベースと、主面に平行な平面に沿ったミラー面を有する可動ミラーと、ベース及び可動ミラーに接続され、主面に垂直な第１方向に沿って移動可能となるように可動ミラーを支持する第１弾性支持部及び第２弾性支持部と、第１方向に沿って可動ミラーを移動させるアクチュエータ部と、第１方向から見た場合に、第１方向に垂直な第２方向における可動ミラーの一方の側に配置された第１光学機能部と、を備え、第１弾性支持部は、可動ミラーから、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向における第１光学機能部の両側に、主面に沿って延在する一対の第１レバーを有し、第２方向における一対の第１レバーのそれぞれの長さは、ミラー面の外縁と第１光学機能部の縁との間の最短距離よりも大きい。

　上記光学デバイスでは、可動ミラーが、ベースの主面に平行な平面に沿ったミラー面を有している。これにより、可動ミラーのミラー面の大型化を図ることができる。また、第１弾性支持部が、可動ミラーから第１光学機能部の両側に主面に沿って延在する一対の第１レバーを有しており、可動ミラーと第１光学機能部とが並ぶ方向における一対の第１レバーのそれぞれの長さが、ミラー面の外縁と第１光学機能部の縁との間の最短距離よりも大きい。これにより、可動ミラーと第１光学機能部との間の距離の増大が抑制されるため、装置全体の大型化を抑制することができる。更に、第１弾性支持部において一対の第１レバーのそれぞれの長さが確保されるため、可動ミラーの可動性能の低下を抑制することができる。以上により、上記光学デバイスによれば、可動ミラーのミラー面の大型化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、第３方向における一対の第１レバー間の最大距離は、第３方向における第１光学機能部の最大幅以上であってもよい。これによれば、可動ミラーと第１光学機能部との間の距離の増大の抑制と、一対の第１レバーのそれぞれの長さの確保とを、よりバランス良く実現することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、第１光学機能部の縁のうちミラー面に最も近い部分から、一対の第１レバーのそれぞれにおける可動ミラーとは反対側の端部までの距離は、第１光学機能部の縁のうちミラー面から最も遠い部分から、一対の第１レバーのそれぞれにおける可動ミラーとは反対側の端部までの距離よりも大きくてもよい。これによれば、可動ミラーと第１光学機能部との間の距離の増大の抑制と、一対の第１レバーのそれぞれの長さの確保とを、よりバランス良く実現することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、第１弾性支持部は、第３方向における第１光学機能部の両側から、可動ミラー側に、主面に沿って延在する一対の第２レバーを更に有し、一対の第１レバーのそれぞれにおける可動ミラー側の端部は、少なくとも１つのトーションバーを介して可動ミラーに接続されており、一対の第１レバーのそれぞれにおける可動ミラーとは反対側の端部は、少なくとも１つのトーションバーを介して一対の第２レバーのそれぞれにおける可動ミラーとは反対側の端部に接続されており、一対の第２レバーのそれぞれにおける可動ミラー側の端部は、少なくとも１つのトーションバーを介してベースに接続されていてもよい。これによれば、可動ミラーの可動範囲の増大、及び可動ミラーの可動効率の向上（可動ミラーの駆動に要する駆動力の低減）を図ることができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、一対の第１レバーのそれぞれにおける可動ミラー側の端部は、少なくとも１つのトーションバーを介して可動ミラーに接続されており、一対の第１レバーのそれぞれにおける可動ミラーとは反対側の端部は、少なくとも１つのトーションバーを介してベースに接続されていてもよい。これによれば、第１弾性支持部の構造の単純化を図ることができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、一対の第１レバーのそれぞれにおける可動ミラー側の端部は、第３方向に平行な同一の軸線上に配置された複数のトーションバーを介して可動ミラーに接続されていてもよい。これによれば、同一の軸線上に配置された複数のトーションバーのそれぞれの長さを短くすることができる。その結果、第２方向への可動ミラーの移動、及び第１方向に平行な軸線回りの可動ミラーの回転を抑制することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、アクチュエータ部は、可動ミラーの外縁に沿って配置された櫛歯電極を有してもよい。これによれば、櫛歯電極によって生じる静電気力を可動ミラーの駆動力として効率良く利用することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、櫛歯電極は、可動ミラーの外縁から離間しており、アクチュエータ部は、櫛歯電極と可動ミラーとを連結する連結部を更に有してもよい。これによれば、例えばミラー面が金属層の表面である場合に、当該金属層の櫛歯電極への付着を防止することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、可動ミラーは、ミラー面が設けられた本体部と、本体部に設けられ、第１方向から見た場合にミラー面を包囲する壁部と、を有してもよい。これによれば、壁部が梁として機能するため、本体部の薄型化を図りつつも、ミラー面の変形（反り、撓み等）を抑制することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、第１光学機能部は、ベースに設けられた光通過開口部であってもよい。これによれば、ベースの主面に垂直な第１方向から見た場合に第１光学機能部と重なる位置に、固定ミラー等の光学素子を配置することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、第１光学機能部は、ベースに設けられた固定ミラーであってもよい。これによれば、可動ミラー及び固定ミラーを備える光学デバイスを、装置全体の大型化を抑制しつつ、実現することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、ベース、可動ミラー、アクチュエータ部、第１弾性支持部、第２弾性支持部及び第１光学機能部は、ＳＯＩ基板によって構成されていてもよい。これによれば、各構成がＭＥＭＳ技術によって容易且つ高精度に形成された光学デバイスを得ることができる。

　本開示の一側面の光学デバイスは、第１方向から見た場合に、第２方向における可動ミラーの他方の側に配置された第２光学機能部を更に備え、第２弾性支持部は、可動ミラーから、第３方向における第２光学機能部の両側に、主面に沿って延在する一対の第３レバーを有し、第２方向における一対の第３レバーのそれぞれの長さは、ミラー面の外縁と第２光学機能部の縁との間の最短距離よりも大きくてもよい。これによれば、装置の多機能化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる。

　本開示によれば、可動ミラーのミラー面の大型化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる光学デバイスを提供することが可能となる。

図１は、一実施形態の光モジュールの縦断面図である。図２は、図１に示される光モジュールが備える光学デバイスの縦断面図である。図３は、図２に示される光学デバイスの平面図である。図４は、図２に示される光学デバイスの製造方法を説明するための図である。図５は、図２に示される光学デバイスの製造方法を説明するための図である。図６は、図２に示される光学デバイスの製造方法を説明するための図である。図７は、図２に示される光学デバイスの製造方法を説明するための図である。図８は、図２に示される光学デバイスの製造方法の変形例を説明するための図である。図９は、図２に示される光学デバイスの製造方法の変形例を説明するための図である。図１０は、図２に示される光学デバイスの製造方法の変形例を説明するための図である。図１１は、図２に示される光学デバイスの製造方法の変形例を説明するための図である。図１２は、光学デバイスの変形例の平面図である。図１３は、光学デバイスの変形例の平面図である。図１４は、光学デバイスの変形例の平面図である。図１５は、光学デバイスの変形例の平面図である。図１６は、光学デバイスの変形例の平面図である。図１７は、光学デバイスの変形例の平面図である。図１８は、光学デバイスの変形例の平面図である。図１９は、光学デバイスの変形例の平面図である。図２０は、光学デバイスの変形例の縦断面図である。図２１は、図２０に示される光学デバイスの変形例の平面図である。

　以下、本開示の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する部分を省略する。
［光モジュールの構成］

　図１に示されるように、光モジュール１は、ミラーユニット２及びビームスプリッタユニット３を備えている。ミラーユニット２は、光学デバイス１０及び固定ミラー２１を有している。光学デバイス１０は、可動ミラー１１を含んでいる。光モジュール１では、ビームスプリッタユニット３、可動ミラー１１及び固定ミラー２１によって、測定光Ｌ０について干渉光学系が構成されている。干渉光学系は、ここでは、マイケルソン干渉光学系である。

　光学デバイス１０は、可動ミラー１１に加え、ベース１２、駆動部１３、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８を含んでいる。ベース１２は、主面１２ａを有している。可動ミラー１１は、主面１２ａに平行な平面に沿ったミラー面１１ａを有している。可動ミラー１１は、主面１２ａに垂直なＺ軸方向（Ｚ軸に平行な方向、第１方向）に沿って移動可能となるようにベース１２において支持されている。駆動部１３は、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を移動させる。第１光学機能部１７は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に垂直なＸ軸方向（Ｘ軸に平行な方向、第２方向）における可動ミラー１１の一方の側に配置されている。第２光学機能部１８は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の他方の側に配置されている。第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８のそれぞれは、ベース１２に設けられた光通過開口部であり、Ｚ軸方向における一方の側及び他方の側に開口している。

　固定ミラー２１は、主面１２ａに平行な平面に沿ったミラー面２１ａを有している。固定ミラー２１は、ベース１２に対する位置が固定されている。ミラーユニット２においては、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び固定ミラー２１のミラー面２１ａが、Ｚ軸方向における一方の側（ビームスプリッタユニット３側）に向いている。

　ミラーユニット２は、光学デバイス１０及び固定ミラー２１に加え、支持体２２、サブマウント２３及びパッケージ２４を有している。パッケージ２４は、光学デバイス１０、固定ミラー２１、支持体２２及びサブマウント２３を収容している。パッケージ２４は、底壁２４１、側壁２４２及び天壁２４３を含んでいる。パッケージ２４は、例えば、直方体箱状に形成されている。パッケージ２４は、例えば、３０×２５×１０（厚さ）ｍｍ程度のサイズを有している。底壁２４１及び側壁２４２は、一体的に形成されている。天壁２４３は、Ｚ軸方向において底壁２４１と対向しており、側壁２４２に固定されている。天壁２４３は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。ミラーユニット２では、パッケージ２４によって空間Ｓが形成されている。空間Ｓは、例えば、パッケージ２４に設けられた通気孔や隙間等を介してミラーユニット２の外部に開放されている。このように空間Ｓが気密な空間でない場合、パッケージ２４内に存在する樹脂材料からのアウトガスや、パッケージ２４内に存在する水分等に起因するミラー面１１ａの汚染や曇り等を抑制することができる。なお、空間Ｓは、高い真空度が維持された気密な空間、或いは窒素等の不活性ガスが充填された気密な空間であってもよい。

　底壁２４１の内面には、サブマウント２３を介して、支持体２２が固定されている。支持体２２は、例えば、矩形板状に形成されている。支持体２２は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。支持体２２におけるサブマウント２３とは反対側の表面２２ａには、光学デバイス１０のベース１２が固定されている。つまり、ベース１２は、支持体２２によって支持されている。支持体２２の表面２２ａには、凹部２２ｂが形成されており、光学デバイス１０と天壁２４３との間には、隙間（空間Ｓの一部）が形成されている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動させられた際に、可動ミラー１１及び駆動部１３が支持体２２及び天壁２４３に接触することが防止される。

　サブマウント２３には、開口２３ａが形成されている。固定ミラー２１は、開口２３ａ内に位置するように、支持体２２におけるサブマウント２３側の表面２２ｃに配置されている。つまり、固定ミラー２１は、支持体２２におけるベース１２とは反対側の表面２２ｃに配置されている。固定ミラー２１は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の一方の側に配置されている。固定ミラー２１は、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第１光学機能部１７と重なっている。

　ミラーユニット２は、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を更に有している。各リードピン２５は、底壁２４１を貫通した状態で、底壁２４１に固定されている。各リードピン２５は、ワイヤ２６を介して駆動部１３と電気的に接続されている。ミラーユニット２では、可動ミラー１１をＺ軸方向に沿って移動させるための電気信号が、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して駆動部１３に付与される。

　ビームスプリッタユニット３は、パッケージ２４の天壁２４３によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３における光学デバイス１０とは反対側の表面２４３ａに光学樹脂４によって固定されている。光学樹脂４は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。

　ビームスプリッタユニット３は、ハーフミラー面３１、全反射ミラー面３２及び複数の光学面３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを有している。ビームスプリッタユニット３は、複数の光学ブロックが接合されることで構成されている。ハーフミラー面３１は、例えば誘電体多層膜によって形成されている。全反射ミラー面３２は、例えば金属膜によって形成されている。

　光学面３３ａは、例えばＺ軸方向に垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第１光学機能部１７及び固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３３ａは、Ｚ軸方向に沿って入射した測定光Ｌ０を透過させる。

　ハーフミラー面３１は、例えば光学面３３ａに対して４５°傾斜した面であり、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第１光学機能部１７及び固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。ハーフミラー面３１は、Ｚ軸方向に沿って光学面３３ａに入射した測定光Ｌ０の一部をＸ軸方向に沿って反射し且つ当該測定光Ｌ０の残部をＺ軸方向に沿って固定ミラー２１側に透過させる。

　全反射ミラー面３２は、ハーフミラー面３１に平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１と重なっている。全反射ミラー面３２は、ハーフミラー面３１によって反射された測定光Ｌ０の一部をＺ軸方向に沿って可動ミラー１１側に反射する。

　光学面３３ｂは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっている。光学面３３ｂは、全反射ミラー面３２によって反射された測定光Ｌ０の一部をＺ軸方向に沿って可動ミラー１１側に透過させる。

　光学面３３ｃは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３３ｃは、ハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の残部をＺ軸方向に沿って固定ミラー２１側に透過させる。

　光学面３３ｄは、例えばＸ軸方向に垂直な面であり、Ｘ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２と重なっている。光学面３３ｄは、測定光Ｌ１をＸ軸方向に沿って透過させる。測定光Ｌ１は、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び全反射ミラー面３２で順次に反射されてハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の一部と、固定ミラー２１のミラー面２１ａ及びハーフミラー面３１で順次に反射された測定光Ｌ０の残部との干渉光である。

　以上のように構成された光モジュール１では、光モジュール１の外部から光学面３３ａを介してビームスプリッタユニット３に測定光Ｌ０が入射すると、測定光Ｌ０の一部は、ハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２で順次に反射されて、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（後述する光路Ｐ１）上を逆方向に進行し、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過する。

　一方、測定光Ｌ０の残部は、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過した後、第１光学機能部１７を通過し、更に、支持体２２を透過して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の残部は、固定ミラー２１のミラー面２１ａで反射されて、同一の光路（後述する光路Ｐ２）上を逆方向に進行し、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１で反射される。

　ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の一部と、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１で反射された測定光Ｌ０の残部とは、干渉光である測定光Ｌ１となり、測定光Ｌ１は、ビームスプリッタユニット３から光学面３３ｄを介して光モジュール１の外部に出射する。光モジュール１によれば、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を高速で往復動させることができるので、小型且つ高精度のＦＴＩＲを提供することができる。

　支持体２２は、ビームスプリッタユニット３と可動ミラー１１との間の光路Ｐ１と、ビームスプリッタユニット３と固定ミラー２１との間の光路Ｐ２との間の光路差を補正する。具体的には、光路Ｐ１は、ハーフミラー面３１から、全反射ミラー面３２及び光学面３３ｂを順次に介して、基準位置に位置する可動ミラー１１のミラー面１１ａに至る光路であって、測定光Ｌ０の一部が進行する光路である。光路Ｐ２は、ハーフミラー面３１から、光学面３３ｃ及び第１光学機能部１７を順次に介して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに至る光路であって、測定光Ｌ０の残部が進行する光路である。支持体２２は、光路Ｐ１の光路長（光路Ｐ１が通る各媒質の屈折率を考慮した光路長）と光路Ｐ２の光路長（光路Ｐ２が通る各媒質の屈折率を考慮した光路長）との差が小さくなるように、光路Ｐ１と光路Ｐ２との間の光路差を補正する。なお、支持体２２は、例えば、ビームスプリッタユニット３を構成する各光学ブロックと同一の光透過性材料によって形成することができる。その場合、支持体２２の厚さ（Ｚ軸方向における長さ）は、Ｘ軸方向におけるハーフミラー面３１と全反射ミラー面３２との距離と同一とすることができる。
［光学デバイスの構成］

　図２及び図３に示されるように、ベース１２、可動ミラー１１の可動部、駆動部１３、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８は、ＳＯＩ基板５０によって構成されている。つまり、光学デバイス１０は、ＳＯＩ基板５０によって構成されている。光学デバイス１０は、例えば、矩形板状に形成されている。光学デバイス１０は、例えば、１５×１０×０．３（厚さ）ｍｍ程度のサイズを有している。ＳＯＩ基板５０は、支持層５１、デバイス層５２及び中間層５３を含んでいる。具体的には、支持層５１は、ＳＯＩ基板５０の第１シリコン層である。デバイス層５２は、ＳＯＩ基板５０の第２シリコン層である。中間層５３は、ＳＯＩ基板５０の絶縁層であり、支持層５１とデバイス層５２との間に配置されている。可動ミラー１１及び駆動部１３は、ＭＥＭＳ技術（パターニング及びエッチング）によってデバイス層５２の一部に一体的に形成されている。

　ベース１２は、支持層５１、デバイス層５２及び中間層５３によって形成されている。ベース１２の主面１２ａは、デバイス層５２における中間層５３とは反対側の表面である。ベース１２において主面１２ａと対向する主面１２ｂは、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面である。光モジュール１では、ベース１２の主面１２ａと支持体２２の表面２２ａとが互いに接合されている（図１参照）。

　可動ミラー１１は、可動部である本体部１１１及び壁部１１２を有している。本体部１１１は、デバイス層５２によって形成されている。本体部１１１における主面１２ｂ側の表面１１１ａには、金属膜が形成されることで、ミラー面１１ａが設けられている。壁部１１２は、支持層５１及び中間層５３によって形成されている。壁部１１２は、本体部１１１の表面１１１ａに設けられている。壁部１１２は、Ｚ軸方向から見た場合にミラー面１１ａを包囲している。一例として、壁部１１２は、Ｚ軸方向から見た場合に、本体部１１１の外縁の内側において当該外縁に沿うように、且つ、Ｚ軸方向から見た場合に、ミラー面１１ａの外縁の外側において当該外縁に沿うように、本体部１１１の表面１１１ａに設けられている。

　可動ミラー１１は、可動部である一対のブラケット１１３及び一対のブラケット１１４を更に有している。一対のブラケット１１３及び一対のブラケット１１４は、デバイス層５２によって形成されている。一対のブラケット１１３は、第１光学機能部１７側に突出するように、本体部１１１の側面のうち第１光学機能部１７側の領域に設けられている。各ブラケット１１３は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側にクランク状に屈曲した形状を呈している。一対のブラケット１１４は、第２光学機能部１８側（第１光学機能部１７とは反対側）に突出するように、本体部１１１の側面のうち第２光学機能部１８側の領域に設けられている。各ブラケット１１４は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１１３とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。

　駆動部１３は、第１弾性支持部１４、第２弾性支持部１５及びアクチュエータ部１６を有している。第１弾性支持部１４、第２弾性支持部１５及びアクチュエータ部１６は、デバイス層５２によって形成されている。

　第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５は、ベース１２及び可動ミラー１１に接続されている。第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５は、Ｚ軸方向に沿って移動可能となるように可動ミラー１１を支持している。

　第１弾性支持部１４は、一対の第１レバー１４１、一対の第２レバー１４２、複数のトーションバー１４３，１４４，１４５、複数のリンク１４６，１４７及び一対のブラケット１４８を含んでいる。一対の第１レバー１４１は、可動ミラー１１から、Ｚ軸方向及びＸ軸方向に垂直なＹ軸方向（Ｙ軸に平行な方向、第３方向）における第１光学機能部１７の両側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。本実施形態では、一対の第１レバー１４１は、可動ミラー１１と第１光学機能部１７との間から、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。一対の第１レバー１４１は、Ｚ軸方向から見た場合に、第１光学機能部１７の縁に沿って延在している。一対の第２レバー１４２は、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側から、可動ミラー１１側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。一対の第２レバー１４２は、Ｚ軸方向から見た場合に、一対の第１レバー１４１の外側においてＸ軸方向に沿って延在している。

　リンク１４６は、各第１レバー１４１における可動ミラー１１側の端部１４１ａ間に掛け渡されている。リンク１４７は、各第２レバー１４２における可動ミラー１１とは反対側の端部１４２ａ間に掛け渡されている。各リンク１４６，１４７は、Ｚ軸方向から見た場合に、第１光学機能部１７の縁に沿って延在している。一対のブラケット１４８は、可動ミラー１１側に突出するように、リンク１４６における可動ミラー１１側の側面に設けられている。各ブラケット１４８は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１１３とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。一方のブラケット１４８の先端部は、Ｙ軸方向において一方のブラケット１１３の先端部と対向している。他方のブラケット１４８の先端部は、Ｙ軸方向において他方のブラケット１１３の先端部と対向している。

　一方のブラケット１４８の先端部と一方のブラケット１１３の先端部との間、及び、他方のブラケット１４８の先端部と他方のブラケット１１３の先端部との間には、それぞれ、トーションバー１４３が掛け渡されている。互いに反対側にクランク状に屈曲したブラケット１４８とブラケット１１３との間に、トーションバー１４３が掛け渡されている。つまり、各第１レバー１４１の端部１４１ａは、一対のトーションバー１４３を介して可動ミラー１１に接続されている。一対のトーションバー１４３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　一方の第１レバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂと一方の第２レバー１４２の端部１４２ａとの間、及び、他方の第１レバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂと他方の第２レバー１４２の端部１４２ａとの間には、それぞれ、トーションバー１４４が掛け渡されている。つまり、各第１レバー１４１の端部１４１ｂは、一対のトーションバー１４４を介して各第２レバー１４２の端部１４２ａに接続されている。一対のトーションバー１４４は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　一方の第２レバー１４２における可動ミラー１１側の端部１４２ｂとベース１２との間、及び、他方の第２レバー１４２における可動ミラー１１側の端部１４２ｂとベース１２との間には、それぞれ、トーションバー１４５が掛け渡されている。つまり、各第２レバー１４２の端部１４２ｂは、一対のトーションバー１４５を介してベース１２に接続されている。一対のトーションバー１４５は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　第２弾性支持部１５は、一対の第３レバー１５１、一対の第４レバー１５２、複数のトーションバー１５３，１５４，１５５、複数のリンク１５６，１５７及び一対のブラケット１５８を含んでいる。一対の第３レバー１５１は、可動ミラー１１から、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の両側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。本実施形態では、一対の第３レバー１５１は、可動ミラー１１と第２光学機能部１８との間から、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の両側に延在している。一対の第３レバー１５１は、Ｚ軸方向から見た場合に、第２光学機能部１８の縁に沿って延在している。一対の第４レバー１５２は、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の両側から、可動ミラー１１側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。一対の第４レバー１５２は、Ｚ軸方向から見た場合に、一対の第３レバー１５１の外側においてＸ軸方向に沿って延在している。

　リンク１５６は、各第３レバー１５１における可動ミラー１１側の端部１５１ａ間に掛け渡されている。リンク１５７は、各第４レバー１５２における可動ミラー１１とは反対側の端部１５２ａ間に掛け渡されている。各リンク１５６，１５７は、Ｚ軸方向から見た場合に、第２光学機能部１８の縁に沿って延在している。一対のブラケット１５８は、可動ミラー１１側に突出するように、リンク１５６における可動ミラー１１側の側面に設けられている。各ブラケット１５８は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１１４とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。一方のブラケット１５８の先端部は、Ｙ軸方向において一方のブラケット１１４の先端部と対向している。他方のブラケット１５８の先端部は、Ｙ軸方向において他方のブラケット１１４の先端部と対向している。

　一方のブラケット１５８の先端部と一方のブラケット１１４の先端部との間、及び、他方のブラケット１５８の先端部と他方のブラケット１１４の先端部との間には、それぞれ、トーションバー１５３が掛け渡されている。互いに反対側にクランク状に屈曲したブラケット１５８とブラケット１１４との間に、トーションバー１５３が掛け渡されている。つまり、各第３レバー１５１の端部１５１ａは、一対のトーションバー１５３を介して可動ミラー１１に接続されている。一対のトーションバー１５３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　一方の第３レバー１５１における可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｂと一方の第４レバー１５２の端部１５２ａとの間、及び、他方の第３レバー１５１における可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｂと他方の第４レバー１５２の端部１５２ａとの間には、それぞれ、トーションバー１５４が掛け渡されている。つまり、各第３レバー１５１の端部１５１ｂは、一対のトーションバー１５４を介して各第４レバー１５２の端部１５２ａに接続されている。一対のトーションバー１５４は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　一方の第４レバー１５２における可動ミラー１１側の端部１５２ｂとベース１２との間、及び、他方の第４レバー１５２における可動ミラー１１側の端部１５２ｂとベース１２との間には、それぞれ、トーションバー１５５が掛け渡されている。つまり、各第４レバー１５２の端部１５２ｂは、一対のトーションバー１５５を介してベース１２に接続されている。一対のトーションバー１５５は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　第１光学機能部１７は、少なくとも、一対の第１レバー１４１及び複数のリンク１４６，１４７によって、画定されている。第１弾性支持部１４において、Ｘ軸方向における各第１レバー１４１の長さＡ１（第１光学機能部１７の両側において延在する部分の長さであり、例えば、Ｙ軸方向から見た第１光学機能部１７と重なる部分の長さ）は、ミラー面１１ａの外縁と第１光学機能部１７の縁との間の最短距離Ｄ１（Ｚ軸方向から見た場合における最短距離）よりも大きい。Ｙ軸方向における一対の第１レバー１４１間の最大距離Ｄ２は、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の最大幅Ｗ１（Ｚ軸方向から見た場合における最大幅）に等しい。第１光学機能部１７の縁のうちミラー面１１ａに最も近い部分から、各第１レバー１４１の端部１４１ｂまでの距離Ｄ３（Ｚ軸方向から見た場合における距離）は、第１光学機能部１７の縁のうちミラー面１１ａから最も遠い部分から、各第１レバー１４１の端部１４１ｂまでの距離Ｄ４（Ｚ軸方向から見た場合における距離）よりも大きい。

　第２光学機能部１８は、少なくとも、一対の第３レバー１５１及び複数のリンク１５６，１５７によって、画定されている。第２弾性支持部１５において、Ｘ軸方向における各第３レバー１５１の長さＡ２（第２光学機能部１８の両側において延在する部分の長さであり、例えば、Ｙ軸方向から見た第２光学機能部１８と重なる部分の長さ）は、ミラー面１１ａの外縁と第２光学機能部１８の縁との間の最短距離Ｄ５（Ｚ軸方向から見た場合における最短距離）よりも大きい。Ｙ軸方向における一対の第３レバー１５１間の最大距離Ｄ６は、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の最大幅Ｗ２（Ｚ軸方向から見た場合における最大幅）に等しい。第２光学機能部１８の縁のうちミラー面１１ａに最も近い部分から、各第３レバー１５１の端部１５１ｂまでの距離Ｄ７（Ｚ軸方向から見た場合における距離）は、第２光学機能部１８の縁のうちミラー面１１ａから最も遠い部分から、各第３レバー１５１の端部１５１ｂまでの距離Ｄ８（Ｚ軸方向から見た場合における距離）よりも大きい。

　第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有していない。ただし、第１弾性支持部１４のうち一対のブラケット１４８を除いた部分と、第２弾性支持部１５のうち一対のブラケット１５８を除いた部分とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有している。

　アクチュエータ部１６は、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を移動させる。アクチュエータ部１６は、可動ミラー１１の外縁に沿って配置された一対の櫛歯電極１６１及び一対の櫛歯電極１６２を有している。一方の櫛歯電極１６１は、可動ミラー１１の本体部１１１の側面のうち、一方のブラケット１１３と一方のブラケット１１４との間の領域１１１ｂに設けられている。他方の櫛歯電極１６１は、可動ミラー１１の本体部１１１の側面のうち、他方のブラケット１１３と他方のブラケット１１４との間の領域１１１ｃに設けられている。一方の櫛歯電極１６２は、ベース１２のデバイス層５２の側面うち、本体部１１１の領域１１１ｂから離間した状態で当該領域１１１ｂに沿うように延在する領域に設けられている。他方の櫛歯電極１６２は、ベース１２のデバイス層５２の側面うち、本体部１１１の領域１１１ｃから離間した状態で当該領域１１１ｃに沿うように延在する領域に設けられている。一方の櫛歯電極１６１及び一方の櫛歯電極１６２においては、一方の櫛歯電極１６１の各櫛歯が一方の櫛歯電極１６２の各櫛歯間に位置している。他方の櫛歯電極１６１及び他方の櫛歯電極１６２においては、他方の櫛歯電極１６１の各櫛歯が他方の櫛歯電極１６２の各櫛歯間に位置している。

　ベース１２には、複数の電極パッド１２１，１２２が設けられている。各電極パッド１２１，１２２は、デバイス層５２に至るようにベース１２の主面１２ｂに形成された開口１２ｃ内において、デバイス層５２の表面に形成されている。各電極パッド１２１は、第１弾性支持部１４及び可動ミラー１１の本体部１１１を介して、又は、第２弾性支持部１５及び可動ミラー１１の本体部１１１を介して、櫛歯電極１６１と電気的に接続されている。各電極パッド１２２は、デバイス層５２を介して、櫛歯電極１６２と電気的に接続されている。ワイヤ２６は、各電極パッド１２１，１２２と各リードピン２５との間に掛け渡されている。

　以上のように構成された光学デバイス１０では、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して、複数の電極パッド１２１と複数の電極パッド１２２との間に電圧が印加されると、例えばＺ軸方向における一方の側に可動ミラー１１を移動させるように、互いに対向する櫛歯電極１６１及び櫛歯電極１６２間に静電気力が生じる。このとき、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５において各トーションバー１４３，１４４，１４５，１５３，１５４，１５５が捩れて、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５に弾性力が生じる。光学デバイス１０では、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して駆動部１３に周期的な電気信号を付与することで、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１をその共振周波数レベルで往復動させることができる。このように、駆動部１３は、静電アクチュエータとして機能する。
［光学デバイスの製造方法］

　光学デバイス１０の製造方法の一例について、図４～図７を参照して説明する。図４～図７には、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面（図３参照）に沿った断面で各構成が示されている。

　まず、図４の（ａ）に示されるように、ＳＯＩ基板５０を準備する。続いて、所定のパターニングが施されたマスクを介して、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面にエッチングを施すことで、図４の（ｂ）に示されるように、支持層５１及び中間層５３における所定の領域を除去する。当該所定の領域は、可動ミラー１１、駆動部１３、第１光学機能部１７、第２光学機能部１８及び複数の開口１２ｃに対応する領域である（図３参照）。当該所定の領域の除去により、可動ミラー１１の壁部１１２、一対の開口１２ｃ等が形成される。図４の（ｂ）には、可動ミラー１１の壁部１１２及び一対の開口１２ｃが示されている。

　続いて、図５の（ａ）に示されるように、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面にハードマスク８０を接合する。ハードマスク８０には、複数の貫通孔８０ａが形成されている。複数の貫通孔８０ａは、複数の開口１２ｃに対応するように、ハードマスク８０に形成されている。つまり、複数の貫通孔８０ａは、１つの開口１２ｃと１つの貫通孔８０ａとが互いに連通するように、ハードマスク８０に形成されている。このようなハードマスク８０は、例えばシリコンによって形成可能である。続いて、図５の（ｂ）に示されるように、ハードマスク８０を介して金属を蒸着することで、複数の開口１２ｃ内におけるデバイス層５２の表面に、複数の電極パッド１２１，１２２を形成する（図３参照）。

　続いて、ハードマスク８０を取り外し、図６の（ａ）に示されるように、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面にハードマスク９０を接合する。ハードマスク９０には、貫通孔９０ａが形成されている。貫通孔９０ａは、可動ミラー１１の壁部１１２の開口に対応するように、ハードマスク９０に形成されている。つまり、貫通孔９０ａは、壁部１１２の開口と貫通孔９０ａとが互いに連通するように、ハードマスク９０に形成されている。このようなハードマスク９０は、例えばシリコンによって形成可能である。続いて、図６の（ｂ）に示されるように、ハードマスク９０を介して金属を蒸着することで、可動ミラー１１の壁部１１２の開口内におけるデバイス層５２の表面に、金属膜の表面であるミラー面１１ａを形成する。

　続いて、ハードマスク９０を取り外し、所定のパターニングが施されたマスクを介して、デバイス層５２における中間層５３とは反対側の表面にエッチングを施すことで、図７に示されるように、デバイス層５２における所定の領域を除去する。これにより、可動ミラー１１、駆動部１３、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８が形成される（図３参照）。

　以上により、光学デバイス１０が得られる。なお、光学デバイス１０の製造はウェハレベルで実施され、最後にダイシングが実施されることで複数の光学デバイス１０が同時に得られる。上述した光学デバイス１０の製造方法では、電極パッド１２１，１２２を形成した後にミラー面１１ａを形成しているが、ミラー面１１ａを形成した後に電極パッド１２１，１２２を形成してもよい。

　次に、光学デバイス１０の製造方法の変形例について、図８～図１１を参照して説明する。図８～図１１には、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面（図３参照）に沿った断面で各構成が示されている。

　まず、図８の（ａ）に示されるように、ＳＯＩ基板５０を準備する。続いて、所定のパターニングが施されたマスクを介して、デバイス層５２における中間層５３とは反対側の表面にエッチングを施すことで、図８の（ｂ）に示されるように、デバイス層５２における所定の領域を除去する。これにより、可動ミラー１１、駆動部１３、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８が形成される（図３参照）。図８の（ｂ）には、可動ミラー１１の本体部１１１が示されている。

　続いて、所定のパターニングが施されたマスクを介して、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面にエッチングを施すことで、図９に示されるように、支持層５１及び中間層５３における所定の領域を除去する。当該所定の領域は、可動ミラー１１、駆動部１３、第１光学機能部１７、第２光学機能部１８及び複数の開口１２ｃに対応する領域である（図３参照）。当該所定の領域の除去により、可動ミラー１１の壁部１１２、一対の開口１２ｃ等が形成される。図９には、可動ミラー１１の壁部１１２及び一対の開口１２ｃが示されている。

　続いて、図１０の（ａ）に示されるように、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面にハードマスク８０を接合する。ハードマスク８０には、複数の貫通孔８０ａが形成されている。複数の貫通孔８０ａは、複数の開口１２ｃに対応するように、ハードマスク８０に形成されている。つまり、複数の貫通孔８０ａは、１つの開口１２ｃと１つの貫通孔８０ａとが互いに連通するように、ハードマスク８０に形成されている。このようなハードマスク８０は、例えばシリコンによって形成可能である。続いて、図１０の（ｂ）に示されるように、ハードマスク８０を介して金属を蒸着することで、複数の開口１２ｃ内におけるデバイス層５２の表面に、複数の電極パッド１２１，１２２を形成する（図３参照）。

　続いて、ハードマスク８０を取り外し、図１１の（ａ）に示されるように、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面にハードマスク９０を接合する。ハードマスク９０には、貫通孔９０ａが形成されている。貫通孔９０ａは、可動ミラー１１の壁部１１２の開口に対応するように、ハードマスク９０に形成されている。つまり、貫通孔９０ａは、壁部１１２の開口と貫通孔９０ａとが互いに連通するように、ハードマスク９０に形成されている。このようなハードマスク９０は、例えばシリコンによって形成可能である。続いて、図１１の（ｂ）に示されるように、ハードマスク９０を介して金属を蒸着することで、可動ミラー１１の壁部１１２の開口内におけるデバイス層５２の表面に、金属膜の表面であるミラー面１１ａを形成する。続いて、図１１の（ｃ）に示されるように、ハードマスク９０を取り外す。

　以上により、光学デバイス１０が得られる。なお、光学デバイス１０の製造はウェハレベルで実施され、最後にダイシングが実施されることで複数の光学デバイス１０が同時に得られる。上述した光学デバイス１０の製造方法では、電極パッド１２１，１２２を形成した後にミラー面１１ａを形成しているが、ミラー面１１ａを形成した後に電極パッド１２１，１２２を形成してもよい。また、上述した光学デバイス１０の製造方法では、デバイス層５２のエッチングを行った後に、支持層５１のエッチングを行い、その後に、ハードマスク８０，９０を用いて金属膜（電極パッド１２２、ミラー面１１ａ）を形成しているが、支持層５１のエッチングを行った後に、デバイス層５２のエッチングを行い、その後に、ハードマスク８０，９０を用いて金属膜を形成してもよい。
［作用及び効果］

　光学デバイス１０では、可動ミラー１１がベース１２の主面１２ａに平行な平面に沿ったミラー面１１ａを有するため、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図ることができる。また、このようなミラー面１１ａを有する可動ミラー１１を、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５によってベース１２に接続して、Ｚ軸方向に駆動することで、光路長が変更され得る。

　上記構成では、第１及び第２弾性支持部１４，１５がベース１２に接続される部分から第１及び第２弾性支持部１４，１５が可動ミラーに接続される部分までの第１及び第２弾性支持部１４，１５のそれぞれの長さが大きいほど、可動ミラー１１の可動範囲が向上すると共に、可動ミラー１１の駆動に要する駆動力が低減されて可動効率も向上する。一方で、第１及び第２弾性支持部１４，１５の長さが大きいほど、第１及び第２弾性支持部１４，１５の配置スペースが拡大する。したがって、ベース１２に上記可動ミラー１１以外の第１及び第２光学機能部１７，１８を配置する場合、第１及び第２弾性支持部１４，１５の配置スペースを確保するために上記可動ミラー１１と第１及び第２光学機能部１７，１８との間の距離が拡大され、これによって光学デバイス１０が大型化するおそれがある。

　光学デバイス１０では、第１弾性支持部１４が、可動ミラー１１から第１光学機能部１７の両側に主面１２ａに沿って延在する一対の第１レバー１４１を有しており、可動ミラー１１と第１光学機能部１７とが並ぶ方向における一対の第１レバー１４１のそれぞれの長さが、ミラー面１１ａの外縁と第１光学機能部１７の縁との間の最短距離よりも大きい。これにより、可動ミラー１１と第１光学機能部１７との間の距離の増大が抑制されるため、装置全体の大型化を抑制することができる。更に、第１弾性支持部１４において一対の第１レバー１４１のそれぞれの長さが確保されるため、可動ミラー１１の可動性能の低下を抑制することができる。以上により、上記光学デバイス１０によれば、可動ミラー１１のミラー面１１ａの大型化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる。

　光学デバイス１０では、Ｙ軸方向における一対の第１レバー１４１間の最大距離が、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の最大幅に等しい。このため、可動ミラー１１と第１光学機能部１７との間の距離の増大の抑制と、一対の第１レバー１４１のそれぞれの長さの確保とを、よりバランス良く実現することができる。

　光学デバイス１０では、第１光学機能部１７の縁のうちミラー面１１ａに最も近い部分から、一対の第１レバー１４１のそれぞれにおける可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂまでの距離が、第１光学機能部１７の縁のうちミラー面１１ａから最も遠い部分から、一対の第１レバー１４１のそれぞれにおける可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｂまでの距離よりも大きい。これにより、可動ミラー１１と第１光学機能部１７との間の距離の増大の抑制と、一対の第１レバー１４１のそれぞれの長さの確保とを、よりバランス良く実現することができる。

　光学デバイス１０では、第１弾性支持部１４が、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側から可動ミラー１１側に主面１２ａに沿って延在する一対の第２レバー１４２を更に有しており、一対の第１レバー１４１、一対の第２レバー１４２及びベース１２の相互間の接続が、複数のトーションバー１４３，１４４，１４５を介して実現されている。同様に、第２弾性支持部１５が、一対の第３レバー１５１に加え、一対の第４レバー１５２を有しており、一対の第３レバー１５１、一対の第４レバー１５２及びベース１２の相互間の接続が、複数のトーションバー１５３，１５４，１５５を介して実現されている。これにより、可動ミラー１１の可動範囲の増大、及び可動ミラー１１の可動効率の向上（可動ミラー１１の駆動に要する駆動力の低減）を図ることができる。

　光学デバイス１０では、各第１レバー１４１における可動ミラー１１側の端部１４１ａが、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置された複数のトーションバー１４３を介して可動ミラー１１に接続されている。同様に、各第３レバー１５１における可動ミラー１１側の端部１５１ａが、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置された複数のトーションバー１５３を介して可動ミラー１１に接続されている。これにより、同一の軸線上に配置された各トーションバー１４３の長さを短くすることができる。同様に、同一の軸線上に配置された各トーションバー１４３の長さを短くすることができる。その結果、Ｘ軸方向への可動ミラー１１の移動、及びＺ軸方向に平行な軸線回りの可動ミラー１１の回転を抑制することができる。

　光学デバイス１０では、第１弾性支持部１４において、各第１レバー１４１における可動ミラー１１側の端部１４１ａ間にリンク１４６が掛け渡されており、各第２レバー１４２における可動ミラー１１とは反対側の端部１４２ａ間にリンク１４７が掛け渡されている。同様に、第２弾性支持部１５において、各第３レバー１５１における可動ミラー１１側の端部１５１ａ間にリンク１５６が掛け渡されており、各第４レバー１５２における可動ミラー１１とは反対側の端部１５２ａ間にリンク１５７が掛け渡されている。これにより、可動ミラー１１の移動の安定性を向上させることができる。また、各リンク１４６，１４７が、Ｚ軸方向から見た場合に、第１光学機能部１７の縁に沿って延在している。これにより、装置全体の大型化を抑制することができる。

　光学デバイス１０では、アクチュエータ部１６が、可動ミラー１１の外縁に沿って配置された櫛歯電極１６１，１６２を有している。これにより、櫛歯電極１６１，１６２によって生じる静電気力を可動ミラー１１の駆動力として効率良く利用することができる。

　光学デバイス１０では、可動ミラー１１の本体部１１１に、Ｚ軸方向から見た場合にミラー面１１ａを包囲する壁部１１２が設けられている。これにより、壁部１１２が梁として機能するため、本体部１１１の薄型化を図りつつも、ミラー面１１ａの変形（反り、撓み等）を抑制することができる。

　光学デバイス１０では、第１光学機能部１７が、ベース１２に設けられた光通過開口部である。これにより、ベース１２の主面１２ａに垂直なＺ軸方向から見た場合に第１光学機能部１７と重なる位置に、固定ミラー２１等の光学素子を配置することができる。

　光学デバイス１０では、ベース１２、可動ミラー１１、アクチュエータ部１６、第１弾性支持部１４、第２弾性支持部１５及び第１光学機能部１７が、ＳＯＩ基板によって構成されている。これにより、各構成がＭＥＭＳ技術によって容易且つ高精度に形成された光学デバイス１０を得ることができる。

　光学デバイス１０は、第２弾性支持部１５が、可動ミラー１１から第２光学機能部１８の両側に主面１２ａに沿って延在する一対の第３レバー１５１を有しており、可動ミラー１１と第２光学機能部１８とが並ぶ方向における一対の第３レバー１５１のそれぞれの長さが、ミラー面１１ａの外縁と第２光学機能部１８の縁との間の最短距離よりも大きい。これにより、装置の多機能化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる。

　光学デバイス１０の製造方法では、ハードマスク８０とハードマスク９０とを使い分けて、複数の電極パッド１２１，１２２とミラー面１１ａとを異なる工程で形成する。これにより、例えば、複数の電極パッド１２１，１２２を構成する金属膜の仕様と、ミラー面１１ａを構成する金属膜の仕様とが互いに異なる場合に、それぞれに適した金属膜を形成することができる。

　光学デバイス１０の製造方法では、所定のパターニングが施されたマスクを介して、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面にエッチングを施すことで、可動ミラー１１の壁部１１２を形成する。これにより、ミラー面１１ａを形成する際に、ミラー面１１ａを形成するための金属の飛散を壁部１１２によって防止することができる。このため、ミラー面１１ａを形成する際にミラー面１１ａの周辺への金属の付着が確実に防止され得る。したがって、製造効率を更に向上することができる。
［変形例］

　以上、本開示の一実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定されない。例えば、各構成の材料及び形状は、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。その一例として、駆動部１３は、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５の他に、ベース１２及び可動ミラー１１に接続されている弾性支持部を有していてもよい。

　固定ミラー２１は、光モジュール１のように第１光学機能部１７の直下のみに配置されるだけでなく、第２光学機能部１８の直下に設けられてもよい。この構成によって、第２光学機能部１８を第１光学機能部１７と同様に使用して装置の多機能化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる。光通過開口部である第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８は、空洞であってもよいし、測定光Ｌ０に対して光透過性を有する材料によって構成されていてもよい。

　図１２の（ａ）に示される構成では、可動ミラー１１のブラケット１１３，１１４、第１レバー１４１のブラケット１４８、及び第３レバー１５１のブラケット１５８が３つずつ設けられている。ブラケット１１３，１１４、ブラケット１４８、及びブラケット１５８のいずれも、Ｚ軸方向から見た場合に、３つのうち、２つは同一の側にクランク状に屈曲した形状を有しており、１つは他の２つとは反対側にクランク状に屈曲した形状を有している。

　図１２の（ａ）に示される構成では、第１弾性支持部１４は、３つのトーションバー１４３を有している。各トーションバー１４３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。互いに対向するブラケット１４８の先端部とブラケット１１３の先端部との間には、それぞれ、トーションバー１４３が掛け渡されている。互いに反対側にクランク状に屈曲したブラケット１４８とブラケット１１３との間に、トーションバー１４３が掛け渡されている。第２弾性支持部１５は、３つのトーションバー１５３を有している。３つのトーションバー１５３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。互いに対向するブラケット１５８の先端部とブラケット１１４の先端部との間には、それぞれ、トーションバー１５３が掛け渡されている。互いに反対側にクランク状に屈曲したブラケット１５８とブラケット１１４との間に、トーションバー１５３が掛け渡されている。第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有していない。

　図１２の（ａ）に示される構成では、第１レバー１４１及び第３レバー１５１のそれぞれが、同一の軸線上に配置された３つのトーションバー１４３，１５３を介して可動ミラー１１に接続されている。このように、光学デバイス１０は、可動ミラー１１のブラケット１１３，１１４、第１レバー１４１のブラケット１４８、及び第３レバー１５１のブラケット１５８のそれぞれが、３つ以上設けられている構成であってもよい。これによれば、図３に示されている構成よりも、同一の軸線上に配置された複数のトーションバー１４３，１５３のそれぞれの長さを短くすることができる。その結果、Ｘ軸方向への可動ミラー１１の移動を抑制することができる。

　図１２の（ｂ）に示される構成では、可動ミラー１１のブラケット１１３，１１４、第１レバー１４１のブラケット１４８、及び第３レバー１５１のブラケット１５８が１つずつ設けられている。ブラケット１１３及びブラケット１５８は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側にクランク状に屈曲した形状を有している。ブラケット１１４及びブラケット１４８は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、ブラケット１１３とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を有している。

　図１２の（ｂ）に示される構成では、第１弾性支持部１４は、トーションバー１４３を１つのみ有している。トーションバー１４３は、Ｙ軸方向に平行な軸線上に配置されている。互いに対向するブラケット１４８の先端部とブラケット１１３の先端部との間には、トーションバー１４３が掛け渡されている。第２弾性支持部１５は、トーションバー１５３を１つのみ有している。トーションバー１５３は、Ｙ軸方向に平行な軸線上に配置されている。互いに対向するブラケット１５８の先端部とブラケット１１４の先端部との間には、トーションバー１５３が掛け渡されている。第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有していない。図１２の（ｂ）に示される構成では、図３に示される構成よりも、構造の単純化が図られている。

　図１３の（ａ）に示される構成では、可動ミラー１１のブラケット１１３，１１４、第１レバー１４１のブラケット１４８、及び第３レバー１５１のブラケット１５８が２つずつ設けられている。ブラケット１１３，１１４、ブラケット１４８、及びブラケット１５８のいずれも、一方と他方とが互いに反対側にクランク状に屈曲した形状を有している。一対のトーションバー１４３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。互いに対向するブラケット１４８の先端部とブラケット１１３の先端部との間には、それぞれ、トーションバー１４３が掛け渡されている。互いに反対側にクランク状に屈曲したブラケット１４８とブラケット１１３との間に、トーションバー１４３が掛け渡されている。一対のトーションバー１５３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。互いに対向するブラケット１５８の先端部とブラケット１１４の先端部との間には、それぞれ、トーションバー１５３が掛け渡されている。互いに反対側にクランク状に屈曲したブラケット１５８とブラケット１１４との間に、トーションバー１５３が掛け渡されている。

　図１３の（ｂ）に示される構成では、アクチュエータ部１６は、一対の櫛歯電極１６１を支持する一対の電極支持部材１６３、及び、各電極支持部材１６３を介して櫛歯電極１６１と可動ミラー１１とを連結する一対の連結部１６４を更に有する。一対の電極支持部材１６３及び一対の連結部１６４は、デバイス層５２によって構成されている。一対の電極支持部材１６３及び一対の連結部１６４は、主面１２ａに平行なＹ軸方向において、本体部１１１の両側に１つずつ配置されている。

　各電極支持部材１６３は、可動ミラー１１の外縁に沿って配置されている。各電極支持部材１６３の端部１６３ａは第１光学機能部１７側に延在しており、各電極支持部材１６３の端部１６３ｂは第２光学機能部１８側に延在している。各櫛歯電極１６１は、対応する電極支持部材１６３の側面からＹ軸方向に延在して、対応する櫛歯電極１６２の各櫛歯間に位置している。一対の連結部１６４は、対応する櫛歯電極１６１を可動ミラー１１の各側に連結している。つまり、一対の櫛歯電極１６１は、ベース１２及び可動ミラー１１の外縁から離間していると共に、可動ミラー１１の外縁に沿って配置されている。これによれば、一対の櫛歯電極１６１が可動ミラー１１の外縁から離間しているため、ミラー面１１ａの成膜時に櫛歯電極１６１，１６２に金属が付着することを高度に防止することができる。

　図１３の（ｂ）に示される構成では、可動ミラー１１は、１つのブラケット１１３と１つのブラケット１１４を有している。ブラケット１１３及びブラケット１１４は、いずれも、Ｚ軸方向から見た場合に、互いに反対側にクランク状に屈曲した形状を有している。第１レバー１４１は、３つのブラケット１４８を有している。第３レバー１５１は、３つのブラケット１５８を有している。Ｚ軸方向から見た場合に、３つのブラケット１４８のうち、２つは矩形状を有しており、１つはブラケット１１３と反対側にクランク状に屈曲した形状を有している。Ｚ軸方向から見た場合に、３つのブラケット１５８のうち、２つは矩形状を有しており、１つはブラケット１１４と反対側にクランク状に屈曲した形状を有している。

　図１３の（ｂ）に示される構成では、クランク状に屈曲した形状のブラケット１４８の先端部とブラケット１１３の先端部との間には、トーションバー１４３が掛け渡されている。各矩形状のブラケット１４８と対応する電極支持部材１６３の第１光学機能部１７側の端部１６３ａとの間には、トーションバー１４３が掛け渡されている。つまり、３つのトーションバー１４３が、１つのクランク状に屈曲した形状のブラケット１４８と２つの矩形状のブラケット１４８とにそれぞれ接続されている。当該３つのトーションバー１４３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　図１３の（ｂ）に示される構成では、クランク状に屈曲した形状のブラケット１５８の先端部とブラケット１１４の先端部との間には、トーションバー１５３が掛け渡されている。各矩形状のブラケット１５８と対応する電極支持部材１６３の第２光学機能部１８側の端部１６３ｂとの間には、トーションバー１５３が掛け渡されている。つまり、３つのトーションバー１５３が、１つのクランク状に屈曲した形状のブラケット１５８と２つの矩形状のブラケット１５８とにそれぞれ接続されている。当該３つのトーションバー１５３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有していない。

　図１４～図１８に示される構成では、一対の第１レバー１４１のそれぞれにおける可動ミラー１１側の端部１４１ａが、トーションバー又はばねを介して可動ミラー１１に接続されている。一対の第１レバー１４１のそれぞれにおける可動ミラー１１と反対側の端部１４１ｂは、トーションバーを介してベース１２に接続されている。一対の第３レバー１５１のそれぞれにおける可動ミラー１１側の端部１５１ａは、トーションバー又はばねを介して可動ミラー１１に接続されている。一対の第３レバー１５１のそれぞれにおける可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｂは、トーションバーを介してベース１２に接続されている。図１４～図１８に示される構成では、一対の第２レバー１４２及び一対の第４レバー１５２は、設けられていない。したがって、この構成では、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５の構造の単純化を図ることができる。

　図１４～図１８に示される構成では、第１光学機能部１７は、一対の第１レバー１４１及び複数のリンク１４６，１４７等によって画定された光通過開口部ではなく、一対の第１レバー１４１等とは別にＳＯＩ基板５０に形成された光通過開口部である。この場合、Ｙ軸方向における一対の第１レバー１４１間の最大距離は、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の最大幅（Ｚ軸方向から見た場合における最大幅）よりも大きい。同様に、第２光学機能部１８は、一対の第３レバー１５１及び複数のリンク１５６，１５７等によって画定された光通過開口部ではなく、一対の第３レバー１５１等とは別にＳＯＩ基板５０に形成された光通過開口部である。この場合、Ｙ軸方向における一対の第３レバー１５１間の最大距離は、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の最大幅（Ｚ軸方向から見た場合における最大幅）よりも大きい。

　図１４の（ａ）に示される構成では、可動ミラー１１は、２つのブラケット１１３と２つのブラケット１１４を有している。ブラケット１１３及びブラケット１１４は、いずれも、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を有している。第１レバー１４１は、１つのブラケット１４８を有している。第３レバー１５１は、１つのブラケット１５８を有している。ブラケット１４８及びブラケット１５８はいずれも、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を有している。

　図１４の（ａ）に示される構成では、Ｙ軸方向において、ブラケット１４８の先端部は、２つのブラケット１１３の間に位置している。各ブラケット１１３の先端部とブラケット１４８の先端部との間には、トーションバー１４３が掛け渡されている。つまり、２つのトーションバー１４３が、１つのブラケット１４８に接続されている。当該２つのトーションバー１４３は、ブラケット１４８を挟んで、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　図１４の（ａ）に示される構成では、Ｙ軸方向において、ブラケット１５８の先端部は、２つのブラケット１１４の間に位置している。各ブラケット１１４の先端部とブラケット１５８の先端部との間には、トーションバー１５３が掛け渡されている。つまり、２つのトーションバー１５３が、１つのブラケット１５８に接続されている。当該２つのトーションバー１５３は、ブラケット１５８を挟んで、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　図１４の（ｂ）に示される構成では、可動ミラー１１は、１つのブラケット１１３と１つのブラケット１１４を有している。ブラケット１１３及びブラケット１１４は、いずれも、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を有している。第１レバー１４１は、２つのブラケット１４８を有している。第３レバー１５１は、２つのブラケット１５８を有している。ブラケット１４８及びブラケット１５８はいずれも、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を有している。

　図１４の（ｂ）に示される構成では、Ｙ軸方向において、ブラケット１１３の先端部は、２つのブラケット１４８の間に位置している。各ブラケット１４８の先端部とブラケット１１３の先端部との間には、トーションバー１４３が掛け渡されている。つまり、２つのトーションバー１４３が、１つのブラケット１１３に接続されている。当該２つのトーションバー１４３は、ブラケット１１３を挟んで、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　図１４の（ｂ）に示される構成では、Ｙ軸方向において、ブラケット１１４の先端部は、２つのブラケット１５８の間に位置している。各ブラケット１５８の先端部とブラケット１１４の先端部との間には、トーションバー１５３が掛け渡されている。つまり、２つのトーションバー１５３が、１つのブラケット１１４に接続されている。当該２つのトーションバー１５３は、ブラケット１５８を挟んで、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。図１４の（ａ）及び図１４の（ｂ）に示される構成では、構造の単純化を更に図ることができる。

　図１５の（ａ）及び（ｂ）並びに図１６に示される構成では、可動ミラー１１は、１つのブラケット１１３と１つのブラケット１１４を有している。ブラケット１１３及びブラケット１１４はいずれも、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を有している。第１レバー１４１は、２つのブラケット１４８を有している。第３レバー１５１は、２つのブラケット１５８を有している。ブラケット１４８及びブラケット１５８はいずれも、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を有している。Ｙ軸方向において、ブラケット１１３の先端部は、２つのブラケット１４８の間に位置している。Ｙ軸方向において、ブラケット１１４の先端部は、２つのブラケット１５８の間に位置している。

　図１５の（ａ）及び（ｂ）並びに図１６に示される構成では、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５のそれぞれが、トーションバー１４３，１５３の代わりに、複数のばね１４９，１５９を有する。複数のばね１４９，１５９は、１つのみの回転軸を有するトーションバー１４３，１５３と異なり、Ｙ軸方向に平行な複数の回転軸を有している。各ブラケット１４８の先端部とブラケット１１３の先端部との間には、ばね１４９が掛け渡されている。つまり、２つのばね１４９が、１つのブラケット１１３に接続されている。２つのブラケット１５８の先端部とブラケット１１４の先端部との間には、ばね１５９が掛け渡されている。つまり、２つのばね１５９が、１つのブラケット１１４に接続されている。図１５の（ａ）及び（ｂ）並びに図１６に示される構成では、ばね１４９，１５９がＹ軸方向に平行な複数の回転軸を有しているため、１つのみの回転軸を有するトーションバー１４３，１５３よりも、各回転軸における回転量が低減される。また、Ｘ軸方向に対する衝撃耐性を向上することができる。

　図１５の（ａ）に示される構成では、２つのばね１４９が同一の形状を有している。ばね１４９は、Ｚ軸方向から見た場合に、２つのＺ字形状部分に１つのＳ字形状部分が挟まれた形状を有している。Ｚ字形状部分はＹ軸方向に平行な１つの回転軸を有しており、Ｓ字形状部分はＹ軸方向に平行な３つの回転軸を有している。１つのブラケット１４８に一方のＺ形状部分の先端が接続され、当該一方のＺ字形状部分の他端にＳ字形状部分の一端が接続されている。Ｓ字形状部分の他端には他方のＺ字形状部分の先端が接続され、当該他方のＺ字形状部分の他端にブラケット１１３が接続されている。

　図１５の（ａ）に示される構成では、２つのばね１５９が同一の形状を有している。ばね１５９は、Ｚ軸方向から見た場合に、２つの逆Ｚ字形状部分に１つの逆Ｓ字形状部分（Ｓ字形状を左右反転した形状の部分）が挟まれた構成を有している。逆Ｚ字形状部分はＹ軸方向に平行な１つの回転軸を有しており、逆Ｓ字形状部分はＹ軸方向に平行な３つの回転軸を有している。１つのブラケット１５８に一方の逆Ｚ形状部分の先端が接続され、当該一方の逆Ｚ字形状部分の他端に逆Ｓ字形状部分の一端が接続されている。逆Ｓ字形状部分の他端には他方の逆Ｚ字形状部分の先端が接続され、当該他方の逆Ｚ字形状部分の他端にブラケット１１４が接続されている。第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関して、互いに対称の構造を有していない。

　図１５の（ｂ）及び図１６に示される構成では、一方のばね１４９は、Ｚ軸方向から見た場合に、２つのＺ字形状部分に１つのＳ字形状部分が挟まれた形状を有している。Ｚ字形状部分はＹ軸方向に平行な１つの回転軸を有しており、Ｓ字形状部分はＹ軸方向に平行な３つの回転軸を有している。他方のばね１４９は、Ｚ軸方向から見た場合に、２つの逆Ｚ字形状部分に１つの逆Ｓ字形状部分が挟まれた構成を有している。逆Ｚ字形状部分はＹ軸方向に平行な１つの回転軸を有しており、逆Ｓ字形状部分はＹ軸方向に平行な３つの回転軸を有している。一方のばね１４９のＺ字形状部分と他方のばね１４９の逆Ｚ字形状部分とが、それぞれブラケット１４８に接続されている。

　図１５の（ｂ）及び図１６に示される構成では、一方のばね１５９は、Ｚ軸方向から見た場合に、２つのＺ字形状部分に１つのＳ字形状部分が挟まれた形状を有している。Ｚ字形状部分はＹ軸方向に平行な１つの回転軸を有しており、Ｓ字形状部分はＹ軸方向に平行な３つの回転軸を有している。他方のばね１５９は、Ｚ軸方向から見た場合に、２つの逆Ｚ字形状部分に１つの逆Ｓ字形状部分が挟まれた構成を有している。逆Ｚ字形状部分はＹ軸方向に平行な１つの回転軸を有しており、逆Ｓ字形状部分はＹ軸方向に平行な３つの回転軸を有している。一方のばね１５９のＺ字形状部分と他方のばね１５９の逆Ｚ字形状部分とが、それぞれブラケット１５８に接続されている。

　図１５の（ｂ）に示される構造では、一方のばね１４９のＺ字形状部分は、一端がブラケット１４８に接続され、他端が一端よりも可動ミラー１１側においてＳ字形状部分に接続されている。他方のばね１４９の逆Ｚ字形状部分は、一端がブラケット１４８に接続され、他端が一端よりも可動ミラー１１側において逆Ｓ字形状部分に接続されている。一方のばね１５９のＺ字形状部分は、一端がブラケット１５８に接続され、他端が一端よりも可動ミラー１１側においてＳ字形状部分に接続されている。他方のばね１５９の逆Ｚ字形状部分は、一端がブラケット１５８に接続され、他端が一端よりも可動ミラー１１側において逆Ｓ字形状部分に接続されている。

　図１６に示される構造では、一方のばね１４９のＺ字形状部分は、一端がブラケット１４８に接続され、他端が一端よりも第１光学機能部１７側においてＳ字形状部分に接続されている。他方のばね１４９の逆Ｚ字形状部分は、一端がブラケット１４８に接続され、他端が一端よりも第１光学機能部１７側において逆Ｓ字形状部分に接続されている。一方のばね１５９のＺ字形状部分は、一端がブラケット１５８に接続され他端が一端よりも第２光学機能部１８側においてＳ字形状部分に接続されている。他方のばね１５９の逆Ｚ字形状部分は、一端がブラケット１５８に接続され他端が一端よりも第２光学機能部１８側において逆Ｓ字形状部分に接続されている。

　図１７の（ａ）に示される構成では、ブラケット１１３，１１４、ブラケット１４８、ブラケット１５８、トーションバー１４３、及びトーションバー１５３はいずれも、図１２の（ａ）と同様の構成を有している。第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有していない。可動ミラー１１のブラケット１１３，１１４、第１レバー１４１のブラケット１４８、及び第３レバー１５１のブラケット１５８が３つずつ設けられている。第１弾性支持部１４は、３つのトーションバー１４３を有している。第２弾性支持部１５は、３つのトーションバー１５３を有している。このように、光学デバイス１０は、可動ミラー１１のブラケット１１３，１１４、第１レバー１４１のブラケット１４８、及び第３レバー１５１のブラケット１５８のそれぞれが、３つ以上設けられている構成であってもよい。これによれば、図３に示されている構成よりも、同一の軸線上に配置された複数のトーションバー１４３，１５３のそれぞれの長さを短くすることができる。その結果、Ｘ軸方向への可動ミラー１１の移動を抑制することができる。

　図１７の（ｂ）に示される構成では、ブラケット１１３，１１４、ブラケット１４８、ブラケット１５８、トーションバー１４３、及びトーションバー１５３はいずれも、図１２の（ｂ）と同様の構成を有している。第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有していない。可動ミラー１１のブラケット１１３，１１４、第１レバー１４１のブラケット１４８、及び第３レバー１５１のブラケット１５８が１つずつ設けられている。第１弾性支持部１４は、トーションバー１４３を１つのみ有している。第２弾性支持部１５は、トーションバー１５３を１つのみ有している。これによれば、図３に示されている構成よりも、構造の単純化が図られている。

　図１８の（ａ）に示される構成では、ブラケット１１３，１１４、ブラケット１４８、ブラケット１５８、トーションバー１４３、及びトーションバー１５３はいずれも、図３と同様の構成を有している。第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有していない。可動ミラー１１のブラケット１１３，１１４、第１レバー１４１のブラケット１４８、及び第３レバー１５１のブラケット１５８が２つずつ設けられている。第１弾性支持部１４は、２つのトーションバー１４３を有している。第２弾性支持部１５は、２つのトーションバー１５３を有している。

　図１８の（ｂ）に示される構成では、ブラケット１１３，１１４、ブラケット１４８、ブラケット１４８、トーションバー１４３、及びトーションバー１５３はいずれも、図１３の（ａ）と同様の構成を有している。可動ミラー１１のブラケット１１３，１１４、第１レバー１４１のブラケット１４８、及び第３レバー１５１のブラケット１５８が２つずつ設けられている。第１弾性支持部１４は、２つのトーションバー１４３を有している。第２弾性支持部１５は、２つのトーションバー１５３を有している。

　図１９に示される構成では、可動ミラー１１は、一対のブラケット１１３及び一対のブラケット１１４の代わりに、一対のフランジ１１５，１１６を有している。一対のフランジ１１５，１１６は、デバイス層５２によって形成されている。各第１レバー１４１の端部１４１ａは、Ｙ軸方向においてフランジ１１５の両側に位置している。第１光学機能部１７は、少なくとも、フランジ１１５、一対の第１レバー１４１、及びリンク１４６によって、画定されている。各端部１４１ａとフランジ１１５との間には、トーションバー１４３が掛け渡されている。つまり、各第１レバー１４１の端部１４１ａは、一対のトーションバー１４３を介して可動ミラー１１に接続されている。一対のトーションバー１４３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　一対の第１レバー１４１は、可動ミラー１１から、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。一方の第１レバー１４１の端部１４１ｂと一方の第２レバー１４２の端部１４２ａとの間、及び、他方の第１レバー１４１の端部１４１ｂと他方の第２レバー１４２の端部１４２ａとの間には、それぞれ、トーションバー１４４が掛け渡されている。

　図１９に示される構成では、リンク１４６は、各第１レバー１４１の端部１４１ｂ間に掛け渡されている。リンク１４６は、第１光学機能部１７の縁に沿ってＹ軸方向に延在している。リンク１４７は、リンク１４６に対して第１光学機能部１７とは反対側において、リンク１４６に沿ってＹ軸方向に延在している。

　図１９に示される構成では、各第３レバー１５１の端部１５１ａは、Ｙ軸方向においてフランジ１１６の両側に位置している。第２光学機能部１８は、少なくとも、フランジ１１６、一対の第３レバー１５１、及びリンク１５６によって、画定されている。各端部１５１ａとフランジ１１６との間には、トーションバー１５３が掛け渡されている。つまり、各第３レバー１５１の端部１５１ａは、一対のトーションバー１５３を介して可動ミラー１１に接続されている。一対のトーションバー１５３は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　一対の第３レバー１５１は、可動ミラー１１から、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の両側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。一方の第３レバー１５１の端部１５１ｂと一方の第４レバー１５２の端部１５２ａとの間、及び、他方の第３レバー１５１の端部１５１ｂと他方の第４レバー１５２の端部１５２ａとの間には、それぞれ、トーションバー１５４が掛け渡されている。

　図１９に示される構成では、リンク１５６は、各第３レバー１５１の端部１５１ｂ間に掛け渡されている。リンク１５６は、第２光学機能部１８の縁に沿ってＹ軸方向に延在している。リンク１５７は、リンク１５６に対して第２光学機能部１８と反対側において、リンク１５６に沿ってＹ軸方向に延在している。

　図２０及び図２１に示される構成では、可動ミラー１１に壁部１１２が設けられておらず、本体部１１１における主面１２ａ側の表面に金属膜が形成されることで、ミラー面１１ａが設けられている。また、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の一方の側に、第１光学機能部１７として固定ミラー２１（ミラー面２１ａ）が設けられている。当該固定ミラー２１は、デバイス層５２の主面１２ａ上に設けられている。つまり、図２０及び図２１に示される構成では、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８として機能する光通過開口部がＳＯＩ基板５０に形成されていない。なお、図２０及び図２１に示される構成では、ブラケット１１３，１１４、ブラケット１４８、ブラケット１５８、トーションバー１４３、及びトーションバー１５３はいずれも、図１８と同様の構成を有している。図２０及び図２１に示される構成により、可動ミラー１１及び固定ミラー２１を備える光学デバイス１０を、装置全体の大型化を抑制しつつ、実現することができる。

　図２０及び図２１に示される構成では、可動ミラー１１が移動する領域が確保されていれば、第１光学機能部１７の直下に位置する固定ミラー２１及び支持体２２はなくてもよい。この構成では、上記実施形態において固定ミラー２１で反射される光が、第１光学機能部１７で反射される。この場合、ハーフミラー面３１で分割された光の光路差が補正されるように、第１光学機能部１７の前段部でビームスプリッタユニット３内の各光路Ｐ１，Ｐ２が調整されていることが好ましい。

　図２０及び図２１に示される構成において、固定ミラー２１は、Ｚ軸方向から見た場合に、第１光学機能部１７として、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の一方の側に設けられるだけでなく、第２光学機能部１８として、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の他方の側に設けられてもよい。この構成によって、第２光学機能部１８を第１光学機能部１７と同様に使用して装置の多機能化を図りつつも、可動ミラーの可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる。

　アクチュエータ部は、静電アクチュエータに限定されず、例えば、圧電式アクチュエータ、電磁式アクチュエータ等であってもよい。また、光モジュール１は、ＦＴＩＲを構成するものに限定されず、他の光学系を構成するものであってもよい。

　上述した一の実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。

　１０…光学デバイス、１１…可動ミラー、１１ａ…ミラー面、１２…ベース、１２ａ…主面、１４…第１弾性支持部、１５…第２弾性支持部、１６…アクチュエータ部、１７…第１光学機能部、１８…第２光学機能部、５０…ＳＯＩ基板、１１１…本体部、１１２…壁部、１４１…第１レバー、１４１ａ，１４１ｂ…端部、１４２…第２レバー、１４２ａ，１４２ｂ…端部、１４３，１４４，１４５…トーションバー、１５１…第３レバー、１６１，１６２…櫛歯電極、１６４…連結部。

Claims

　主面を有するベースと、
　前記主面に平行な平面に沿ったミラー面を有する可動ミラーと、
　前記ベース及び前記可動ミラーに接続され、前記主面に垂直な第１方向に沿って移動可能となるように前記可動ミラーを支持する第１弾性支持部及び第２弾性支持部と、
　前記第１方向に沿って前記可動ミラーを移動させるアクチュエータ部と、
　前記第１方向から見た場合に、前記第１方向に垂直な第２方向における前記可動ミラーの一方の側に配置された第１光学機能部と、を備え、
　前記第１弾性支持部は、前記可動ミラーから、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向における前記第１光学機能部の両側に、前記主面に沿って延在する一対の第１レバーを有し、
　前記第２方向における前記一対の第１レバーのそれぞれの長さは、前記ミラー面の外縁と前記第１光学機能部の縁との間の最短距離よりも大きい、光学デバイス。
　前記第３方向における前記一対の第１レバー間の最大距離は、前記第３方向における前記第１光学機能部の最大幅以上である、請求項１に記載の光学デバイス。
　前記第１光学機能部の前記縁のうち前記ミラー面に最も近い部分から、前記一対の第１レバーのそれぞれにおける前記可動ミラーとは反対側の端部までの距離は、前記第１光学機能部の前記縁のうち前記ミラー面から最も遠い部分から、前記一対の第１レバーのそれぞれにおける前記可動ミラーとは反対側の前記端部までの距離よりも大きい、請求項１又は２に記載の光学デバイス。
　前記第１弾性支持部は、前記第３方向における前記第１光学機能部の両側から、前記可動ミラー側に、前記主面に沿って延在する一対の第２レバーを更に有し、
　前記一対の第１レバーのそれぞれにおける前記可動ミラー側の端部は、少なくとも１つのトーションバーを介して前記可動ミラーに接続されており、
　前記一対の第１レバーのそれぞれにおける前記可動ミラーとは反対側の端部は、少なくとも１つのトーションバーを介して前記一対の第２レバーのそれぞれにおける前記可動ミラーとは反対側の端部に接続されており、
　前記一対の第２レバーのそれぞれにおける前記可動ミラー側の端部は、少なくとも１つのトーションバーを介して前記ベースに接続されている、請求項１～３のいずれか一項に記載の光学デバイス。
　前記一対の第１レバーのそれぞれにおける前記可動ミラー側の端部は、少なくとも１つのトーションバーを介して前記可動ミラーに接続されており、
　前記一対の第１レバーのそれぞれにおける前記可動ミラーとは反対側の端部は、少なくとも１つのトーションバーを介して前記ベースに接続されている、請求項１～３のいずれか一項に記載の光学デバイス。
　前記一対の第１レバーのそれぞれにおける前記可動ミラー側の前記端部は、前記第３方向に平行な同一の軸線上に配置された複数のトーションバーを介して前記可動ミラーに接続されている、請求項４又は５に記載の光学デバイス。
　前記アクチュエータ部は、前記可動ミラーの外縁に沿って配置された櫛歯電極を有する、請求項１～６のいずれか一項に記載の光学デバイス。
　前記櫛歯電極は、前記可動ミラーの前記外縁から離間しており、
　前記アクチュエータ部は、前記櫛歯電極と前記可動ミラーとを連結する連結部を更に有する、請求項７に記載の光学デバイス。
　前記可動ミラーは、
　前記ミラー面が設けられた本体部と、
　前記本体部に設けられ、前記第１方向から見た場合に前記ミラー面を包囲する壁部と、を有する、請求項１～８のいずれか一項に記載の光学デバイス。
　前記第１光学機能部は、前記ベースに設けられた光通過開口部である、請求項１～９のいずれか一項に記載の光学デバイス。
　前記第１光学機能部は、前記ベースに設けられた固定ミラーである、請求項１～９のいずれか一項に記載の光学デバイス。
　前記ベース、前記可動ミラー、前記アクチュエータ部、前記第１弾性支持部、前記第２弾性支持部及び前記第１光学機能部は、ＳＯＩ基板によって構成されている、請求項１～１１のいずれか一項に記載の光学デバイス。
　前記第１方向から見た場合に、前記第２方向における前記可動ミラーの他方の側に配置された第２光学機能部を更に備え、
　前記第２弾性支持部は、前記可動ミラーから、前記第３方向における前記第２光学機能部の両側に、前記主面に沿って延在する一対の第３レバーを有し、
　前記第２方向における前記一対の第３レバーのそれぞれの長さは、前記ミラー面の前記外縁と前記第２光学機能部の縁との間の最短距離よりも大きい、請求項１～１２のいずれか一項に記載の光学デバイス。