WO2019009393A1

WO2019009393A1 - 光学デバイス及びその製造方法

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Publication number: WO2019009393A1
Application number: PCT/JP2018/025635
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Inventors: 達哉杉本; 智史鈴木; 恭輔港谷
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Filing date: 2018-07-06
Publication date: 2019-01-10
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Abstract

本発明は、スティッキングの発生を抑制しつつ、可動部を所定方向に沿って大きく移動させることができる光学デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。本発明の光学デバイス（１０）は、ベース（１２）と、光学機能部（１１ａ）を有する可動部（１１）と、可動部（１１）が第１方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部（１４，１５）と、ベース（１２）に設けられた第１櫛歯電極（１６１）と、可動部（１１）及び弾性支持部（１４，１５）の少なくとも一方に設けられた複数の第２櫛歯を有する第２櫛歯電極（１６２）と、を備える。弾性支持部（１４，１５）は、第１方向に垂直な第２方向に沿って延在するトーションバー（１４７，１５７）と、トーションバー（１４７，１５７）が接続されたレバー（１４１，１５１）と、を有する。第２櫛歯電極（１６２）は、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方のうちトーションバー（１４７，１５７）よりも光学機能部側（１１ａ）に位置する部分に設けられている。隣り合う第１櫛歯（１６１ａ）と第２櫛歯（１６２ａ）とは、第２方向、又は、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向のうち、可動部の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っている。

Description

光学デバイス及びその製造方法

　本開示は、例えばＭＥＭＳ（Micro　Electro　Mechanical　Systems）デバイスとして構成される光学デバイス及びその製造方法に関する。

　ＭＥＭＳデバイスとして、ベースと、光学機能部を有する可動部と、ベースと可動部との間に接続され、可動部が所定方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部と、ベースに設けられ、複数の第１櫛歯を有する第１櫛歯電極と、弾性支持部に設けられ、複数の第１櫛歯と互い違いに配置された複数の第２櫛歯を有する第２櫛歯電極と、を備える光学デバイスが知られている（例えば特許文献１参照）。このような光学デバイスでは、弾性支持部が、可動部が所定方向に沿って移動する際に捩れ変形するトーションバーを含んで構成される場合がある。

Thilo Sandner, Thomas Grasshoff, Harald Schenk，and Andreas Kenda, "Out-of-plane translatory MEMS actuator with extraordinary large stroke for optical path length modulation in miniaturized FTIR Spectrometers", SENSOR+TEST Conferences 2011, Proceedings IRS2, pp.151-156

　上述したような光学デバイスでは、可動部が所定方向に沿って大きく移動するように弾性支持部を構成すると、所定方向に垂直な方向にも可動部が移動し易くなる傾向がある。所定方向に垂直な方向に可動部が移動し易くなると、第２櫛歯がそれに隣り合う第１櫛歯に接触する現象（いわゆるスティッキング）が発生し、所定方向に沿った可動部の移動に支障をきたすおそれがある。

　本開示は、スティッキングの発生を抑制しつつ、可動部を所定方向に沿って大きく移動させることができる光学デバイス及びその製造方法を提供することを目的とする。

　本開示の一側面の光学デバイスは、ベースと、光学機能部を有する可動部と、ベースと可動部との間に接続され、可動部が第１方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部と、ベースに設けられ、複数の第１櫛歯を有する第１櫛歯電極と、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方に設けられ、複数の第１櫛歯と互い違いに配置された複数の第２櫛歯を有する第２櫛歯電極と、を備え、弾性支持部は、第１方向に垂直な第２方向に沿って延在するトーションバーと、トーションバーが接続されたレバーと、を有し、第２櫛歯電極は、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方のうちトーションバーよりも光学機能部側に位置する部分に設けられており、隣り合う第１櫛歯と第２櫛歯とは、第２方向、又は、第１方向及び第２方向に垂直な第３方向のうち、可動部の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っている。

　本開示の一側面の光学デバイスは、ベースと、光学機能部を有する可動部と、ベースと可動部との間に接続され、可動部が第１方向に沿って移動可能となるように可動部を支持する弾性支持部と、ベースに設けられ、複数の第１櫛歯を有する第１櫛歯電極と、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方に設けられ、複数の第１櫛歯と互い違いに配置された複数の第２櫛歯を有する第２櫛歯電極と、を備え、弾性支持部は、第１方向に垂直な第２方向に沿って延在するトーションバーと、トーションバーが接続されたレバーと、を有し、第２櫛歯電極は、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方のうちトーションバーよりも光学機能部側に位置する部分に設けられており、隣り合う第１櫛歯と第２櫛歯とは、第１方向に垂直な方向のうち可動部の外力耐性が最も高い方向において互いに向かい合っている。

　これらの光学デバイスでは、弾性支持部がトーションバーとレバーと含んで構成されており、第２櫛歯電極が、可動部及び弾性支持部の少なくとも一方のうちトーションバーよりも光学機能部側に位置する部分に設けられている。これにより、第１櫛歯電極と第２櫛歯電極との間に大きな静電気力を発生させなくても、可動部を第１方向に沿って大きく移動させることができる。更に、隣り合う第１櫛歯と第２櫛歯とが、可動部の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っている。これにより、可動部が第１方向に沿って移動した際に、第２櫛歯がそれに隣り合う第１櫛歯に接触し難くなる。以上により、これらの光学デバイスによれば、スティッキングの発生を抑制しつつ、可動部を所定方向（第１方向）に沿って大きく移動させることができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、弾性支持部は、第３方向における可動部の両側に一対配置されていてもよい。例えば弾性支持部が可動部の周りに３つ以上配置されている場合に比べ、弾性支持部が可動部の両側に一対配置されている場合には、より簡易な構成で、可動部を第１方向に沿って大きく移動させることができる。その一方で、例えば弾性支持部が可動部の周りに３つ以上配置されている場合に比べ、弾性支持部が可動部の両側に一対配置されている場合には、第１方向に垂直な方向にも可動部が移動し易くなる傾向があるが、隣り合う第１櫛歯と第２櫛歯とが、可動部の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っているので、スティッキングの発生を抑制することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、第２方向又は第３方向のうち可動部の外力耐性が高い方向は、第２方向であり、弾性支持部は、トーションバーよりも光学機能部側において、第１方向に垂直な平面に沿って延在する電極支持部材を更に有し、第２櫛歯電極は、電極支持部材に沿って設けられていてもよい。これによれば、可動部の外力耐性が高い方向が第２方向である場合に、適切な位置に（すなわち、第１櫛歯電極と第２櫛歯電極との間に大きな静電気力を発生させなくても、可動部を第１方向に沿って大きく移動させることができる位置に）第２櫛歯電極を効率良く（すなわち、余計な領域をとらないように）配置することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスでは、第２方向又は第３方向のうち可動部の外力耐性が高い方向は、第３方向であり、第２櫛歯電極は、可動部の外縁に沿って設けられていてもよい。これによれば、可動部の外力耐性が高い方向が第３方向である場合に、適切な位置に（すなわち、第１櫛歯電極と第２櫛歯電極との間に大きな静電気力を発生させなくても、可動部を第１方向に沿って大きく移動させることができる位置に）第２櫛歯電極を効率良く（すなわち、余計な領域をとらないように）配置することができる。

　本開示の一側面の光学デバイスの製造方法は、上述した光学デバイスに対応するモデルを作成し、モデルにおいて、第２方向又は第３方向のうち可動部の外力耐性が高い方向を計測するステップと、可動部の外力耐性が高い方向を計測した結果、モデルにおいて、隣り合う第１櫛歯と第２櫛歯とが可動部の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っていた場合に、モデルに対応するように光学デバイスを製造するステップと、を備える。

　本開示の一側面の光学デバイスの製造方法は、上述した光学デバイスに対応するモデルを作成し、モデルにおいて、第１方向に垂直な方向のうち可動部の外力耐性が最も高い方向を計測するステップと、可動部の外力耐性が最も高い方向を計測した結果、モデルにおいて、隣り合う第１櫛歯と第２櫛歯とが可動部の外力耐性が最も高い方向において互いに向かい合っていた場合に、モデルに対応するように光学デバイスを製造するステップと、を備える。

　これらの光学デバイスの製造方法によれば、スティッキングの発生を抑制しつつ、可動部を所定方向（第１方向）に沿って大きく移動させることができる光学デバイスを効率良く得ることができる。

　本開示によれば、スティッキングの発生を抑制しつつ、可動部を所定方向に沿って大きく移動させることができる光学デバイス及びその製造方法を提供することが可能となる。

図１は、一実施形態の光学デバイスを備える光モジュールの縦断面図である。図２は、図１に示される光学デバイスの縦断面図である。図３は、図２に示される光学デバイスの平面図である。図４は、可動ミラーの移動量に対するＹ軸方向周りにおけるトーションバー及び非線形性緩和バネの変形量の変化を示すグラフである。図５は、可動ミラーの移動量に対するＸ軸方向におけるトーションバー及び非線形性緩和バネの変形量の変化を示すグラフである。図６の（ａ）及び（ｂ）は、比較例の光学デバイスの模式図である。図７の（ａ）及び（ｂ）は、図３に示される光学デバイスの模式図である。図８は、非線形性が存在する場合及び存在しない場合のそれぞれにおける可動ミラーの移動量と可動ミラーに作用する復元力との関係を示すグラフである。図９は、実施形態及び比較例のそれぞれにおける可動ミラーの移動量と可動ミラーに作用する復元力との関係を示すグラフである。図１０は、非線形性が小さい場合における可動ミラーの駆動周波数と移動量との関係を示すグラフである。図１１は、非線形性が大きい場合における可動ミラーの駆動周波数と移動量との関係を示すグラフである。図１２は、変形例の光学デバイスの平面図である。

　以下、本開示発明の実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、各図において、同一又は相当要素には同一符号を付し、重複する部分を省略する。
［光モジュールの構成］

　図１に示されるように、光モジュール１は、ミラーユニット２及びビームスプリッタユニット３を備えている。ミラーユニット２は、光学デバイス１０及び固定ミラー２１を有している。光学デバイス１０は、可動ミラー（可動部）１１を含んでいる。光モジュール１では、ビームスプリッタユニット３、可動ミラー１１及び固定ミラー２１によって、測定光Ｌ０について干渉光学系が構成されている。干渉光学系は、ここでは、マイケルソン干渉光学系である。

　光学デバイス１０は、可動ミラー１１に加え、ベース１２、駆動部１３、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８を含んでいる。ベース１２は、主面１２ａを有している。可動ミラー１１は、主面１２ａに平行な平面に沿ったミラー面（光学機能部）１１ａを有している。可動ミラー１１は、主面１２ａに垂直なＺ軸方向（Ｚ軸に平行な方向、第１方向）に沿って移動可能となるようにベース１２において支持されている。駆動部１３は、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を移動させる。第１光学機能部１７は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｚ軸方向に垂直なＸ軸方向（Ｘ軸に平行な方向、第３方向）における可動ミラー１１の一方の側に配置されている。第２光学機能部１８は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の他方の側に配置されている。第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８のそれぞれは、ベース１２に設けられた光通過開口部であり、Ｚ軸方向における一方の側及び他方の側に開口している。なお、光モジュール１では、第２光学機能部１８は、光通過開口部として用いられていない。光学デバイス１０が他の装置に適用される場合には、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８の少なくとも一方が光学機能部として用いられることもあるし、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８の両方が光学機能部として用いられないこともある。

　固定ミラー２１は、主面１２ａに平行な平面に沿ったミラー面２１ａを有している。固定ミラー２１のベース１２に対する位置は、固定されている。ミラーユニット２においては、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び固定ミラー２１のミラー面２１ａが、Ｚ軸方向における一方の側（ビームスプリッタユニット３側）に向いている。

　ミラーユニット２は、光学デバイス１０及び固定ミラー２１に加え、支持体２２、サブマウント２３及びパッケージ２４を有している。パッケージ２４は、光学デバイス１０、固定ミラー２１、支持体２２及びサブマウント２３を収容している。パッケージ２４は、底壁２４１、側壁２４２及び天壁２４３を含んでいる。パッケージ２４は、例えば、直方体箱状に形成されている。パッケージ２４は、例えば、３０×２５×１０（厚さ）ｍｍ程度のサイズを有している。底壁２４１及び側壁２４２は、一体的に形成されている。天壁２４３は、Ｚ軸方向において底壁２４１と対向しており、側壁２４２に固定されている。天壁２４３は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。ミラーユニット２では、パッケージ２４によって空間Ｓが形成されている。空間Ｓは、例えば、パッケージ２４に設けられた通気孔や隙間等を介してミラーユニット２の外部に開放されている。このように空間Ｓが気密な空間でない場合、パッケージ２４内に存在する樹脂材料からのアウトガスや、パッケージ２４内に存在する水分等に起因するミラー面１１ａの汚染や曇り等を抑制することができる。なお、空間Ｓは、高い真空度が維持された気密な空間、或いは窒素等の不活性ガスが充填された気密な空間であってもよい。

　底壁２４１の内面には、サブマウント２３を介して、支持体２２が固定されている。支持体２２は、例えば、矩形板状に形成されている。支持体２２は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。支持体２２におけるサブマウント２３とは反対側の表面２２ａには、光学デバイス１０のベース１２が固定されている。つまり、ベース１２は、支持体２２によって支持されている。支持体２２の表面２２ａには、凹部２２ｂが形成されており、光学デバイス１０と天壁２４３との間には、隙間（空間Ｓの一部）が形成されている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動させられた際に、可動ミラー１１及び駆動部１３が支持体２２及び天壁２４３に接触することが防止される。

　サブマウント２３には、開口２３ａが形成されている。固定ミラー２１は、開口２３ａ内に位置するように、支持体２２におけるサブマウント２３側の表面２２ｃに配置されている。つまり、固定ミラー２１は、支持体２２におけるベース１２とは反対側の表面２２ｃに配置されている。固定ミラー２１は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の一方の側に配置されている。固定ミラー２１は、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第１光学機能部１７と重なっている。

　ミラーユニット２は、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を更に有している。各リードピン２５は、底壁２４１を貫通した状態で、底壁２４１に固定されている。各リードピン２５は、ワイヤ２６を介して駆動部１３と電気的に接続されている。ミラーユニット２では、可動ミラー１１をＺ軸方向に沿って移動させるための電気信号が、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して駆動部１３に付与される。

　ビームスプリッタユニット３は、パッケージ２４の天壁２４３によって支持されている。具体的には、ビームスプリッタユニット３は、天壁２４３における光学デバイス１０とは反対側の表面２４３ａに光学樹脂４によって固定されている。光学樹脂４は、測定光Ｌ０に対して光透過性を有している。

　ビームスプリッタユニット３は、ハーフミラー面３１、全反射ミラー面３２及び複数の光学面３３ａ，３３ｂ，３３ｃ，３３ｄを有している。ビームスプリッタユニット３は、複数の光学ブロックが接合されることで構成されている。ハーフミラー面３１は、例えば誘電体多層膜によって形成されている。全反射ミラー面３２は、例えば金属膜によって形成されている。

　光学面３３ａは、例えばＺ軸方向に垂直な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第１光学機能部１７及び固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３３ａは、Ｚ軸方向に沿って入射した測定光Ｌ０を透過させる。

　ハーフミラー面３１は、例えば光学面３３ａに対して４５度傾斜した面であり、Ｚ軸方向から見た場合に、光学デバイス１０の第１光学機能部１７及び固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。ハーフミラー面３１は、Ｚ軸方向に沿って光学面３３ａに入射した測定光Ｌ０の一部をＸ軸方向に沿って反射し且つ当該測定光Ｌ０の残部をＺ軸方向に沿って固定ミラー２１側に透過させる。

　全反射ミラー面３２は、ハーフミラー面３１に平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっており且つＸ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１と重なっている。全反射ミラー面３２は、ハーフミラー面３１によって反射された測定光Ｌ０の一部をＺ軸方向に沿って可動ミラー１１側に反射する。

　光学面３３ｂは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に可動ミラー１１のミラー面１１ａと重なっている。光学面３３ｂは、全反射ミラー面３２によって反射された測定光Ｌ０の一部をＺ軸方向に沿って可動ミラー１１側に透過させる。

　光学面３３ｃは、光学面３３ａに平行な面であり、Ｚ軸方向から見た場合に固定ミラー２１のミラー面２１ａと重なっている。光学面３３ｃは、ハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の残部をＺ軸方向に沿って固定ミラー２１側に透過させる。

　光学面３３ｄは、例えばＸ軸方向に垂直な面であり、Ｘ軸方向から見た場合にハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２と重なっている。光学面３３ｄは、測定光Ｌ１をＸ軸方向に沿って透過させる。測定光Ｌ１は、可動ミラー１１のミラー面１１ａ及び全反射ミラー面３２で順次に反射されてハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の一部と、固定ミラー２１のミラー面２１ａ及びハーフミラー面３１で順次に反射された測定光Ｌ０の残部との干渉光である。

　以上のように構成された光モジュール１では、光モジュール１の外部から光学面３３ａを介してビームスプリッタユニット３に測定光Ｌ０が入射すると、測定光Ｌ０の一部は、ハーフミラー面３１及び全反射ミラー面３２で順次に反射されて、可動ミラー１１のミラー面１１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の一部は、可動ミラー１１のミラー面１１ａで反射されて、同一の光路（後述する光路Ｐ１）上を逆方向に進行し、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過する。

　一方、測定光Ｌ０の残部は、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過した後、第１光学機能部１７を通過し、更に、支持体２２を透過して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに向かって進行する。そして、測定光Ｌ０の残部は、固定ミラー２１のミラー面２１ａで反射されて、同一の光路（後述する光路Ｐ２）上を逆方向に進行し、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１で反射される。

　ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１を透過した測定光Ｌ０の一部と、ビームスプリッタユニット３のハーフミラー面３１で反射された測定光Ｌ０の残部とは、干渉光である測定光Ｌ１となり、測定光Ｌ１は、ビームスプリッタユニット３から光学面３３ｄを介して光モジュール１の外部に出射する。光モジュール１によれば、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を高速で往復動させることができるので、小型且つ高精度のＦＴＩＲ（フーリエ変換型赤外分光分析器）を提供することができる。

　支持体２２は、ビームスプリッタユニット３と可動ミラー１１との間の光路Ｐ１と、ビームスプリッタユニット３と固定ミラー２１との間の光路Ｐ２との間の光路差を補正する。具体的には、光路Ｐ１は、ハーフミラー面３１から、全反射ミラー面３２及び光学面３３ｂを順次に介して、基準位置に位置する可動ミラー１１のミラー面１１ａに至る光路であって、測定光Ｌ０の一部が進行する光路である。光路Ｐ２は、ハーフミラー面３１から、光学面３３ｃ及び第１光学機能部１７を順次に介して、固定ミラー２１のミラー面２１ａに至る光路であって、測定光Ｌ０の残部が進行する光路である。支持体２２は、光路Ｐ１の光路長（光路Ｐ１が通る各媒質の屈折率を考慮した光路長）と光路Ｐ２の光路長（光路Ｐ２が通る各媒質の屈折率を考慮した光路長）との差が小さくなるように、光路Ｐ１と光路Ｐ２との間の光路差を補正する。なお、支持体２２は、例えば、ビームスプリッタユニット３を構成する各光学ブロックと同一の光透過性材料によって形成することができる。その場合、支持体２２の厚さ（Ｚ軸方向における長さ）は、Ｘ軸方向におけるハーフミラー面３１と全反射ミラー面３２との距離と同一とすることができる。
［光学デバイスの構成］

　図２及び図３に示されるように、可動ミラー１１のうちミラー面１１ａ以外の部分、ベース１２、駆動部１３、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８は、ＳＯＩ（Silicon　On　Insulator）基板５０によって構成されている。つまり、光学デバイス１０は、ＳＯＩ基板５０によって構成されている。光学デバイス１０は、例えば、矩形板状に形成されている。光学デバイス１０は、例えば、１５×１０×０．３（厚さ）ｍｍ程度のサイズを有している。ＳＯＩ基板５０は、支持層５１、デバイス層５２及び中間層５３を含んでいる。具体的には、支持層５１は、ＳＯＩ基板５０の第１シリコン層である。デバイス層５２は、ＳＯＩ基板５０の第２シリコン層である。中間層５３は、ＳＯＩ基板５０の絶縁層であり、支持層５１とデバイス層５２との間に配置されている。可動ミラー１１及び駆動部１３は、ＭＥＭＳ技術（パターニング及びエッチング）によってデバイス層５２の一部に一体的に形成されている。

　ベース１２は、支持層５１、デバイス層５２及び中間層５３によって形成されている。ベース１２の主面１２ａは、デバイス層５２における中間層５３とは反対側の表面である。ベース１２において主面１２ａと対向する主面１２ｂは、支持層５１における中間層５３とは反対側の表面である。光モジュール１では、ベース１２の主面１２ａと支持体２２の表面２２ａとが互いに接合されている（図１参照）。

　可動ミラー１１は、本体部１１１、環状部１１２、一対の連結部１１３、及び壁部１１４を有している。本体部１１１、環状部１１２、一対の連結部１１３は、デバイス層５２によって形成されている。本体部１１１は、Ｚ軸方向から見た場合に円形状を呈しているが、八角形状等の任意の形状に形成されてもよい。本体部１１１における主面１２ｂ側の表面１１１ａには、金属膜が形成されることで、ミラー面１１ａが設けられている。環状部１１２は、Ｚ軸方向から見た場合に本体部１１１を包囲するように環状に形成されている。環状部１１２の内縁及び外縁は、Ｚ軸方向から見た場合に八角形状を呈しているが、円形状等の任意の形状に形成されてもよい。一対の連結部１１３は、本体部１１１に対して、Ｚ軸方向及びＸ軸方向に垂直なＹ軸方向（Ｙ軸に平行な方向、第２方向）の一方の側と他方の側とにそれぞれ配置されている。各連結部１１３は、本体部１１１と環状部１１２とを互いに連結している。

　壁部１１４は、支持層５１及び中間層５３によって形成されている。壁部１１４は、内側壁部１１４ａ、外側壁部１１４ｂ及び一対の連結部１１４ｃを有している。内側壁部１１４ａは、本体部１１１の表面１１１ａに設けられている。内側壁部１１４ａは、Ｚ軸方向から見た場合にミラー面１１ａを包囲している。一例として、内側壁部１１４ａは、Ｚ軸方向から見た場合に、本体部１１１の外縁の内側において当該外縁に沿うように、且つ、Ｚ軸方向から見た場合に、ミラー面１１ａの外縁の外側において当該外縁に沿うように、本体部１１１の表面１１１ａに設けられている。

　外側壁部１１４ｂは、環状部１１２における主面１２ｂ側の表面１１２ａに設けられている。一例として、外側壁部１１４ｂは、Ｚ軸方向から見た場合に、環状部１１２の外縁の内側において当該外縁に沿うように、且つ、Ｚ軸方向から見た場合に、環状部１１２の内縁の外側において当該内縁に沿うように、環状部１１２の表面１１２ａに設けられている。一対の連結部１１４ｃは、一対の連結部１１３における主面１２ｂ側の表面にそれぞれ設けられている。各連結部１１４ｃは、内側壁部１１４ａと外側壁部１１４ｂとを互いに連結している。

　可動ミラー１１は、一対のブラケット１１６を更に有している。各ブラケット１１６は、デバイス層５２によって形成されている。各ブラケット１１６は、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。一方のブラケット１１６は、第１光学機能部１７側に突出するように、環状部１１２における第１光学機能部１７側の表面に設けられている。他方のブラケット１１６は、第２光学機能部１８側（第１光学機能部１７とは反対側）に突出するように、環状部１１２における第２光学機能部１８側の表面に設けられている。

　駆動部１３は、第１弾性支持部（弾性支持部）１４、第２弾性支持部（弾性支持部）１５及びアクチュエータ部１６を有している。第１弾性支持部１４、第２弾性支持部１５及びアクチュエータ部１６は、デバイス層５２によって形成されている。

　第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５は、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の両側に一対配置されている。第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５のそれぞれは、ベース１２と可動ミラー１１との間に接続されている。第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５は、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動可能となるように可動ミラー１１を支持している。

　第１弾性支持部１４は、一対のレバー１４１、一対のブラケット１４２、リンク１４３、一対の電極支持部材１４４、一対のブラケット１４５、リンク１４６、一対の第１トーションバー（トーションバー）１４７、一対の第２トーションバー１４８、及び一対の非線形性緩和バネ１４９を含んでいる。一対のレバー１４１は、可動ミラー１１側から、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側に、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。本実施形態では、一対のレバー１４１は、可動ミラー１１と第１光学機能部１７との間から、Ｙ軸方向における第１光学機能部１７の両側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。

　各レバー１４１は、可動ミラー１１側に配置された第１部分１４１ａと、第１部分１４１ａに対して可動ミラー１１とは反対側に配置された第２部分１４１ｂと、を有している。一対のレバー１４１において、第１部分１４１ａは、可動ミラー１１から遠ざかるほど互いに離れるように傾斜して延在している。各第２部分１４１ｂは、Ｘ軸方向に沿って延在している。

　一対のブラケット１４２は、可動ミラー１１側に突出するように、第１部分１４１ａにおける可動ミラー１１側の表面に設けられている。各ブラケット１４２は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側にクランク状に屈曲した形状を呈している。リンク１４３は、各レバー１４１における可動ミラー１１側の端部１４１ｃ間に掛け渡されている。リンク１４３は、Ｙ軸方向に沿って延在している。

　各電極支持部材１４４は、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。一方の電極支持部材１４４は、一方のレバー１４１と可動ミラー１１との間に延在し、Ｙ軸方向において可動ミラー１１よりも外側に突出している。他方の電極支持部材１４４は、他方のレバー１４１と可動ミラー１１との間に延在し、Ｙ軸方向において可動ミラー１１よりも外側に突出している。一対の電極支持部材１４４は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。

　一対のブラケット１４５は、第１光学機能部１７側に突出するように、電極支持部材１４４における第１光学機能部１７側の表面に設けられている。各ブラケット１４５は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１４２とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。一方のブラケット１４５の先端部は、Ｙ軸方向において一方のブラケット１４２の先端部と向かい合っている。他方のブラケット１４５の先端部は、Ｙ軸方向において他方のブラケット１４２の先端部と向かい合っている。

　リンク１４６は、各電極支持部材１４４における内側の端部間に掛け渡されている。リンク１４６は、Ｚ軸方向から見た場合に、可動ミラー１１側に向けて開口した略Ｕ字状を呈している。リンク１４６は、Ｙ軸方向において可動ミラー１１の一方のブラケット１１６と向かい合っている。より詳細には、リンク１４６は、Ｘ軸方向に延在し、Ｙ軸方向において互いに向かい合う一対の辺部１４６ａを有しており、一方のブラケット１１６は、一対の辺部１４６ａ間に配置されている。

　一方のブラケット１４２の先端部と一方のブラケット１４５の先端部との間、及び、他方のブラケット１４２の先端部と他方のブラケット１４５の先端部との間には、それぞれ、第１トーションバー１４７が掛け渡されている。互いに反対側にクランク状に屈曲したブラケット１４２とブラケット１４５との間に、第１トーションバー１４７が掛け渡されている。一方の第１トーションバー１４７は、一方のブラケット１４２を介して一方のレバー１４１の端部１４１ｃに接続されており、Ｙ軸方向に沿って延在している。他方の第１トーションバー１４７は、他方のブラケット１４２を介して他方のレバー１４１の端部１４１ｃに接続されており、Ｙ軸方向に沿って延在している。一対の第１トーションバー１４７は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　一方のレバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｄとベース１２との間、及び、他方のレバー１４１における可動ミラー１１とは反対側の端部１４１ｄとベース１２との間には、それぞれ、第２トーションバー１４８が掛け渡されている。つまり、各レバー１４１の端部１４１ｄは、第２トーションバー１４８を介してベース１２に接続されている。各レバー１４１の端部１４１ｄには、Ｙ軸方向における外側に突出した突出部１４１ｅが設けられており、第２トーションバー１４８は、突出部１４１ｅに接続されている。一方の第２トーションバー１４８は、一方の突出部１４１ｅを介して一方のレバー１４１の端部１４１ｄに接続されており、Ｙ軸方向に沿って延在している。他方の第２トーションバー１４８は、他方の突出部１４１ｅを介して他方のレバー１４１の端部１４１ｄに接続されており、Ｙ軸方向に沿って延在している。一対の第２トーションバー１４８は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　一対の非線形性緩和バネ１４９は、可動ミラー１１の一方のブラケット１１６に対してＹ軸方向の一方の側と他方の側とにそれぞれ配置されている。各非線形性緩和バネ１４９は、一方のブラケット１１６を介して可動ミラー１１に接続されると共に、リンク１４６、電極支持部材１４４及びブラケット１４５を介して第１トーションバー１４７に接続されている。つまり、各非線形性緩和バネ１４９は、可動ミラー１１と第１トーションバー１４７との間に接続されている。各非線形性緩和バネ１４９は、一方のブラケット１１６とリンク１４６の一対の辺部１４６ａとの間に掛け渡された一対の板状部１４９ａを有している。

　各板状部１４９ａは、Ｘ軸方向に垂直な平板状を呈している。一の非線形性緩和バネ１４９において、一対の板状部１４９ａは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。一対の非線形性緩和バネ１４９において、Ｘ軸方向における一方の側に位置する板状部１４９ａは、Ｘ軸方向に垂直な一の平面に沿って配置されており、Ｘ軸方向における他方の側に位置する板状部１４９ａは、Ｘ軸方向に垂直な他の平面に沿って配置されている。

　各板状部１４９ａは、例えば、長さ（Ｙ軸方向における長さ）３８０μｍ、幅（Ｘ軸方向における長さ）５～１０μｍ、厚さ（Ｚ軸方向における長さ）７０μｍ程度に形成されている。各板状部１４９ａの長さは、第１トーションバー１４７の長さ及び第２トーションバー１４８の長さのそれぞれよりも長い。各板状部１４９ａの幅は、第１トーションバー１４７の幅及び第２トーションバー１４８の幅のそれぞれよりも狭い。なお、板状部１４９ａにおけるブラケット１１６側及び辺部１４６ａ側の少なくとも一方の端部に、当該端部から離れるほど幅が広がる拡幅部が設けられている場合には、板状部１４９ａの長さとは、当該拡幅部を含めない板状部１４９ａの長さを意味する。この点は、第１トーションバー１４７及び第２トーションバー１４８、並びに、後述する第１トーションバー１５７、第２トーションバー１５８及び板状部１５９ａのそれぞれについても同様である。

　第２弾性支持部１５は、一対のレバー１５１、一対のブラケット１５２、リンク１５３、一対の電極支持部材１５４、一対のブラケット１５５、リンク１５６、一対の第１トーションバー（トーションバー）１５７、一対の第２トーションバー１５８、及び一対の非線形性緩和バネ１５９を含んでいる。一対のレバー１５１は、可動ミラー１１側からＹ軸方向における第２光学機能部１８の両側に、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在している。本実施形態では、一対のレバー１５１は、可動ミラー１１と第２光学機能部１８との間から、Ｙ軸方向における第２光学機能部１８の両側に、ベース１２の主面１２ａに沿って延在している。

　各レバー１５１は、可動ミラー１１側に配置された第１部分１５１ａと、第１部分１５１ａに対して可動ミラー１１とは反対側に配置された第２部分１５１ｂと、を有している。一対のレバー１５１において、第１部分１５１ａは、可動ミラー１１から遠ざかるほど互いに離れるように傾斜して延在している。各第２部分１５１ｂは、Ｘ軸方向に沿って延在している。

　一対のブラケット１５２は、可動ミラー１１側に突出するように、第１部分１５１ａにおける可動ミラー１１側の表面に設けられている。各ブラケット１５２は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１４２とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。リンク１５３は、各レバー１５１における可動ミラー１１側の端部１５１ｃ間に掛け渡されている。リンク１５３は、Ｙ軸方向に沿って延在している。

　各電極支持部材１５４は、Ｚ軸方向から見た場合に矩形状を呈している。一方の電極支持部材１５４は、一方のレバー１５１と可動ミラー１１との間に延在し、Ｙ軸方向において可動ミラー１１よりも外側に突出している。他方の電極支持部材１５４は、他方のレバー１５１と可動ミラー１１との間に延在し、Ｙ軸方向において可動ミラー１１よりも外側に突出している。一対の電極支持部材１５４は、Ｚ軸方向から見た場合に、Ｙ軸方向に平行な同一の中心線上に配置されている。

　一対のブラケット１５５は、第２光学機能部１８側に突出するように、電極支持部材１５４における第２光学機能部１８側の表面に設けられている。各ブラケット１５５は、Ｚ軸方向から見た場合に、同一の側（ただし、各ブラケット１５２とは反対側）にクランク状に屈曲した形状を呈している。一方のブラケット１５５の先端部は、Ｙ軸方向において一方のブラケット１５２の先端部と向かい合っている。他方のブラケット１５５の先端部は、Ｙ軸方向において他方のブラケット１５２の先端部と向かい合っている。

　リンク１５６は、各電極支持部材１５４における内側の端部間に掛け渡されている。リンク１５６は、Ｚ軸方向から見た場合に、可動ミラー１１側に向けて開口した略Ｕ字状を呈している。リンク１５６は、Ｙ軸方向において可動ミラー１１の他方のブラケット１１６と向かい合っている。より詳細には、リンク１５６は、Ｘ軸方向に延在し、Ｙ軸方向において互いに向かい合う一対の辺部１５６ａを有しており、他方のブラケット１１６は、一対の辺部１５６ａ間に配置されている。

　一方のブラケット１５２の先端部と一方のブラケット１５５の先端部との間、及び、他方のブラケット１５２の先端部と他方のブラケット１５５の先端部との間には、それぞれ、第１トーションバー１５７が掛け渡されている。互いに反対側にクランク状に屈曲したブラケット１５２とブラケット１５５との間に、第１トーションバー１５７が掛け渡されている。一方の第１トーションバー１５７は、一方のブラケット１５２を介して一方のレバー１５１の端部１５１ｃに接続されており、Ｙ軸方向に沿って延在している。他方の第１トーションバー１５７は、他方のブラケット１５２を介して他方のレバー１５１の端部１５１ｃに接続されており、Ｙ軸方向に沿って延在している。一対の第１トーションバー１５７は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　一方のレバー１５１における可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｄとベース１２との間、及び、他方のレバー１５１における可動ミラー１１とは反対側の端部１５１ｄとベース１２との間には、それぞれ、第２トーションバー１５８が掛け渡されている。つまり、各レバー１５１の端部１５１ｄは、第２トーションバー１５８を介してベース１２に接続されている。各レバー１５１の端部１５１ｄには、Ｙ軸方向における外側に突出した突出部１５１ｅが設けられており、第２トーションバー１５８は、突出部１５１ｅに接続されている。一方の第２トーションバー１５８は、一方の突出部１５１ｅを介して一方のレバー１５１の端部１５１ｄに接続されており、Ｙ軸方向に沿って延在している。他方の第２トーションバー１５８は、他方の突出部１５１ｅを介して他方のレバー１５１の端部１５１ｄに接続されており、Ｙ軸方向に沿って延在している。一対の第２トーションバー１５８は、Ｙ軸方向に平行な同一の軸線上に配置されている。

　一対の非線形性緩和バネ１５９は、可動ミラー１１の他方のブラケット１１６に対してＹ軸方向の一方の側と他方の側とにそれぞれ配置されている。各非線形性緩和バネ１５９は、他方のブラケット１１６を介して可動ミラー１１に接続されると共に、リンク１５６、電極支持部材１５４及びブラケット１５５を介して第１トーションバー１５７に接続されている。つまり、各非線形性緩和バネ１５９は、可動ミラー１１と第１トーションバー１５７との間に接続されている。各非線形性緩和バネ１５９は、他方のブラケット１１６とリンク１５６の一対の辺部１５６ａとの間に掛け渡された一対の板状部１５９ａを有している。

　各板状部１５９ａは、Ｘ軸方向に垂直な平板状を呈している。一の非線形性緩和バネ１５９において、一対の板状部１５９ａは、Ｘ軸方向において互いに向かい合っている。一対の非線形性緩和バネ１５９において、Ｘ軸方向における一方の側に位置する板状部１５９ａは、Ｘ軸方向に垂直な一の平面に沿って配置されており、Ｘ軸方向における他方の側に位置する板状部１５９ａは、Ｘ軸方向に垂直な他の平面に沿って配置されている。

　各板状部１５９ａは、例えば、板状部１４９ａと同一の形状に形成されている。各板状部１５９ａの長さは、第１トーションバー１５７の長さ及び第２トーションバー１５８の長さのそれぞれよりも長い。各板状部１５９ａの幅は、第１トーションバー１５７の幅及び第２トーションバー１５８の幅のそれぞれよりも狭い。

　第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８は、それぞれ、ＳＯＩ基板５０に形成された光通過開口部である。第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８は、それぞれ、Ｚ軸方向から見た場合に断面円形状を呈しているが、断面八角形状等の任意の形状に形成されてもよい。第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８は、空洞であってもよいし、測定光Ｌ０に対して光透過性を有する材料によって構成されていてもよい。

　第１弾性支持部１４と第２弾性支持部１５とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有していない。ただし、第１弾性支持部１４のうち一対のブラケット１４２及び一対のブラケット１４５を除いた部分と、第２弾性支持部１５のうち一対のブラケット１５２及び一対のブラケット１５５を除いた部分とは、可動ミラー１１の中心を通り且つＸ軸方向に垂直な平面に関しても、また、可動ミラー１１の中心を通り且つＹ軸方向に垂直な平面に関しても、互いに対称の構造を有している。

　アクチュエータ部１６は、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１を移動させる。アクチュエータ部１６は、一対の第１櫛歯電極１６１、一対の第２櫛歯電極１６２、一対の第１櫛歯電極１６３、及び一対の第２櫛歯電極１６４を有している。第１櫛歯電極１６１，１６３は、位置が固定された固定側の櫛歯電極であり、第２櫛歯電極１６２，１６４は、可動ミラー１１の移動に伴って移動する可動側の櫛歯電極である。

　一対の第１櫛歯電極１６１は、ベース１２に設けられている。具体的には、一方の第１櫛歯電極１６１は、ベース１２のデバイス層５２における一方の電極支持部材１４４と向かい合う表面に設けられている。他方の第１櫛歯電極１６１は、デバイス層５２における他方の電極支持部材１４４と向かい合う表面に設けられている。各第１櫛歯電極１６１は、Ｙ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第１櫛歯１６１ａを有している。各第１櫛歯１６１ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

　一対の第２櫛歯電極１６２は、第１弾性支持部１４のうち一対の第１トーションバー１４７よりもＸ軸方向においてミラー面１１ａ側に位置する部分に設けられている。具体的には、一方の第２櫛歯電極１６２は、一方の電極支持部材１４４における可動ミラー１１側の表面及びレバー１４１側の表面のそれぞれに設けられている。他方の第２櫛歯電極１６２は、他方の電極支持部材１４４における可動ミラー１１側の表面及びレバー１４１側の表面のそれぞれに設けられている。各第２櫛歯電極１６２は、Ｚ軸方向から見た場合に、可動ミラー１１とレバー１４１との間に位置する部分を有している。各第２櫛歯電極１６２は、Ｙ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第２櫛歯１６２ａを有している。各第２櫛歯１６２ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

　一方の第１櫛歯電極１６１及び一方の第２櫛歯電極１６２においては、複数の第１櫛歯１６１ａと複数の第２櫛歯１６２ａとが互い違いに配置されている。つまり、一方の第１櫛歯電極１６１の各第１櫛歯１６１ａが一方の第２櫛歯電極１６２の各第２櫛歯１６２ａ間に位置している。他方の第１櫛歯電極１６１及び他方の第２櫛歯電極１６２においては、複数の第１櫛歯１６１ａと複数の第２櫛歯１６２ａとが互い違いに配置されている。つまり、他方の第１櫛歯電極１６１の各第１櫛歯１６１ａが他方の第２櫛歯電極１６２の各第２櫛歯１６２ａ間に位置している。一対の第１櫛歯電極１６１及び一対の第２櫛歯電極１６２において、隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとは、Ｙ軸方向において互いに向かい合っている。互いに隣り合う第１櫛歯１６１ａ及び第２櫛歯１６２ａ間の距離は、例えば数μｍ程度である。

　一対の第１櫛歯電極１６３は、ベース１２に設けられている。具体的には、一方の第１櫛歯電極１６３は、ベース１２のデバイス層５２における一方の電極支持部材１５４と向かい合う表面に設けられている。他方の第１櫛歯電極１６３は、デバイス層５２における他方の電極支持部材１５４と向かい合う表面に設けられている。各第１櫛歯電極１６３は、Ｙ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第１櫛歯１６３ａを有している。各第１櫛歯１６３ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

　一対の第２櫛歯電極１６４は、第２弾性支持部１５のうち一対の第１トーションバー１５７よりもＸ軸方向においてミラー面１１ａ側に位置する部分に設けられている。具体的には、一方の第２櫛歯電極１６４は、一方の電極支持部材１５４における可動ミラー１１側の表面及びレバー１５１側の表面のそれぞれに設けられている。他方の第２櫛歯電極１６４は、他方の電極支持部材１５４における可動ミラー１１側の表面及びレバー１５１側の表面のそれぞれに設けられている。各第２櫛歯電極１６４は、Ｚ軸方向から見た場合に、可動ミラー１１とレバー１５１との間に位置する部分を有している。各第２櫛歯電極１６４は、Ｙ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第２櫛歯１６４ａを有している。各第２櫛歯１６４ａは、Ｙ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

　一方の第１櫛歯電極１６３及び一方の第２櫛歯電極１６４においては、複数の第１櫛歯１６３ａと複数の第２櫛歯１６４ａとが互い違いに配置されている。つまり、一方の第１櫛歯電極１６３の各第１櫛歯１６３ａが一方の第２櫛歯電極１６４の各第２櫛歯１６４ａ間に位置している。他方の第１櫛歯電極１６３及び他方の第２櫛歯電極１６４においては、複数の第１櫛歯１６３ａと複数の第２櫛歯１６４ａとが互い違いに配置されている。つまり、他方の第１櫛歯電極１６３の各第１櫛歯１６３ａが他方の第２櫛歯電極１６４の各第２櫛歯１６４ａ間に位置している。一対の第１櫛歯電極１６３及び一対の第２櫛歯電極１６４において、隣り合う第１櫛歯１６３ａと第２櫛歯１６４ａとは、Ｙ軸方向において互いに向かい合っている。互いに隣り合う第１櫛歯１６３ａ及び第２櫛歯１６４ａ間の距離は、例えば数μｍ程度である。

　ベース１２には、複数の電極パッド１２１，１２２が設けられている。各電極パッド１２１，１２２は、デバイス層５２に至るようにベース１２の主面１２ｂに形成された開口１２ｃ内において、デバイス層５２の表面に形成されている。各電極パッド１２１は、デバイス層５２を介して、第１櫛歯電極１６１又は第１櫛歯電極１６３と電気的に接続されている。各電極パッド１２２は、第１弾性支持部１４及び可動ミラー１１の本体部１１１を介して、又は、第２弾性支持部１５及び可動ミラー１１の本体部１１１を介して、第２櫛歯電極１６２又は第２櫛歯電極１６４と電気的に接続されている。ワイヤ２６は、各電極パッド１２１，１２２と各リードピン２５との間に掛け渡されている。

　以上のように構成された光学デバイス１０では、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して、複数の電極パッド１２１と複数の電極パッド１２２との間に電圧が印加されると、例えばＺ軸方向における一方の側に可動ミラー１１を移動させるように、互いに対向する第１櫛歯電極１６１，１６３と第２櫛歯電極１６２，１６４との間に静電気力が生じる。このとき、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５において各トーションバー１４７，１４８，１５７，１５８が捩れて、第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５に弾性力が生じる。光学デバイス１０では、複数のリードピン２５及び複数のワイヤ２６を介して駆動部１３に周期的な電気信号を付与することで、Ｚ軸方向に沿って可動ミラー１１をその共振周波数レベルで往復動させることができる。このように、駆動部１３は、静電アクチュエータとして機能する。
［トーションバーと非線形緩和バネとの関係］

　図４は、Ｚ軸方向における可動ミラー１１の移動量に対するＹ軸方向周りにおける第１トーションバー１４７、第２トーションバー１４８及び非線形性緩和バネ１４９の変形量の変化を示すグラフである。図５は、Ｚ軸方向における可動ミラー１１の移動量に対するＸ軸方向における第１トーションバー１４７、第２トーションバー１４８及び非線形性緩和バネ１４９の変形量の変化を示すグラフである。なお、Ｙ軸方向周りにおける第１トーションバー１４７、第２トーションバー１４８及び非線形性緩和バネ１４９の変形量とは、例えば、捩れ量（捩れ角度）の絶対値を意味する。Ｘ軸方向における第１トーションバー１４７、第２トーションバー１４８及び非線形性緩和バネ１４９の変形量とは、例えば、撓み量の絶対値を意味する。Ｙ軸方向周りにおける非線形性緩和バネ１４９の変形量とは、例えば、当該非線形性緩和バネ１４９を構成する一の板状部１４９ａのＹ軸方向周りにおける変形量を意味する。Ｘ軸方向における非線形性緩和バネ１４９の変形量とは、例えば、当該非線形性緩和バネ１４９を構成する一の板状部１４９ａのＸ軸方向における変形量を意味する。Ｙ軸方向周りにおける或る部材の変形量とは、当該部材の中心を通り且つＹ軸に平行な軸線を中心とする円の周方向における当該部材の変形量を意味する。

　図４に示されるように、可動ミラー１１がＺ軸方向に移動すると、第１トーションバー１４７、第２トーションバー１４８及び非線形性緩和バネ１４９は、それぞれ、Ｙ軸方向周りに同一の方向に変形する。可動ミラー１１の移動量が増加すると、Ｙ軸方向周りにおける第１トーションバー１４７、第２トーションバー１４８及び非線形性緩和バネ１４９の変形量は、それぞれ、直線的に増加する。各部材のＹ軸方向周りにおける変形量を比較すると、可動ミラー１１の移動量が同一である場合、第１トーションバー１４７の変形量は、第２トーションバー１４８の変形量よりも小さく、非線形性緩和バネ１４９の変形量は、第１トーションバー１４７の変形量及び第２トーションバー１４８の変形量のそれぞれよりも遙かに小さい。

　図５に示されるように、可動ミラー１１がＺ軸方向に移動すると、非線形性緩和バネ１４９がＸ軸方向に大きく変形する一方、第１トーションバー１４７及び第２トーションバー１４８は、Ｘ軸方向にほとんど変形しない。第１トーションバー１４７が変形する方向は、非線形性緩和バネ１４９が変形する方向と同一であり、第２トーションバー１４８が変形する方向とは反対である。可動ミラー１１の移動量が増加すると、Ｘ軸方向における非線形性緩和バネ１４９の変形量は、二次関数的に増加する。各部材のＸ軸方向における変形量を比較すると、可動ミラー１１の移動量が同一である場合、第１トーションバー１４７の変形量は、第２トーションバー１４８の変形量と略同程度であり、非線形性緩和バネ１４９の変形量は、第１トーションバー１４７の変形量及び第２トーションバー１４８の変形量のそれぞれよりも遙かに大きい。

　このように、非線形性緩和バネ１４９は、可動ミラー１１がＺ軸方向に移動した状態において、Ｙ軸方向周りにおける非線形性緩和バネ１４９の変形量がＹ軸方向周りにおけるトーションバー１４７，１４８のそれぞれの変形量よりも小さくなり、且つ、Ｘ軸方向における非線形性緩和バネ１４９の変形量がＸ軸方向におけるトーションバー１４７，１４８のそれぞれの変形量よりも大きくなるように、構成されている。同様に、非線形性緩和バネ１５９は、可動ミラー１１がＺ軸方向に移動した状態において、Ｙ軸方向周りにおける非線形性緩和バネ１５９の変形量がＹ軸方向周りにおけるトーションバー１５７，１５８のそれぞれの変形量よりも小さくなり、且つ、Ｘ軸方向における非線形性緩和バネ１５９の変形量がＸ軸方向におけるトーションバー１５７，１５８のそれぞれの変形量よりも大きくなるように、構成されている。なお、このような各部材のＹ軸方向周りにおける変形量及びＸ軸方向における変形量の関係は、可動ミラー１１の所定の可動範囲内において満たされていればよい。

　図６は、比較例の光学デバイスの模式図であり、図７は、上記実施形態の光学デバイス１０の模式図である。図６及び図７では、Ｙ軸方向から見た場合の光学デバイス１０の構成の一部が簡略化されて示されている。比較例は、上記実施形態の光学デバイス１０において非線形性緩和バネ１４９，１５９が設けられておらず、各ブラケット１１６と電極支持部材１４４，１５４とが剛性を有する部材によって接続されている例に相当する。比較例の可動ミラー１０１１、レバー１１４１，１１５１、第１トーションバー１１４７，１１５７、第２トーションバー１１４８，１１５８は、上記実施形態の光学デバイス１０の可動ミラー１１、レバー１４１，１５１、第１トーションバー１４７，１５７、第２トーションバー１４８，１５８にそれぞれ対応する。

　以下、第１トーションバー１１５７側を例に挙げて説明するが、第１トーションバー１１４７側についても同様である。図６に示されるように、比較例において可動ミラー１０１１がＺ軸方向に移動する場合、第２トーションバー１１５８の捩れ変形のみによって第１トーションバー１１５７が移動すると仮定すると、第１トーションバー１１５７は位置Ｂに移動し、位置Ａと位置Ｂとの間の距離Ｌだけ可動ミラー１０１１から遠ざかることとなる。そのため、実際には、第１トーションバー１１５７及び第２トーションバー１１５８が距離Ｌの分だけＸ軸方向に曲げ変形する。つまり、比較例においては、可動ミラー１０１１がＺ軸方向に移動する際に、第１トーションバー１１５７及び第２トーションバー１１５８が曲がりながら捩れる。このため、第１トーションバー１１５７及び第２トーションバー１１５８の捩れ変形に非線形性が生じる。このような非線形性が存在すると、後述するように、可動ミラー１１の制御特性が低下するおそれがある。

　これに対し、図７に示されるように、光学デバイス１０において可動ミラー１１がＺ軸方向に移動した場合、非線形性緩和バネ１５９が第１トーションバー１５７及び第２トーションバー１５８よりも小さくＹ軸方向周りに変形しつつ、第１トーションバー１５７及び第２トーションバー１５８よりも大きくＸ軸方向に変形する。これにより、第１トーションバー１５７及び第２トーションバー１５８のＸ軸方向への曲げ変形を抑制することができ、その結果、第１トーションバー１５７及び第２トーションバー１５８の捩れ変形に非線形性が生じるのを抑制することができる。

　ここで、図８～図１１を参照しつつ、第１トーションバー１４７，１５７及び第２トーションバー１４８，１５８の捩れ変形に非線形性が存在する場合に生じる課題について説明する。図８では、非線形性が存在しない場合における可動ミラー１１の移動量と可動ミラー１１に作用する復元力との関係が破線で示され、非線形性が存在する場合における当該関係が実線で示されている。図８及び図９に示されるように、光学デバイス１０のように非線形性が存在しない（低減されている）場合、Ｚ軸方向における可動ミラー１１の移動量が増加すると、可動ミラー１１に作用する復元力は直線的に増加する。一方、比較例のように非線形性が存在する場合、Ｚ軸方向における可動ミラー１１の移動量が増加すると、可動ミラー１１に作用する復元力は加速度的に増加し、光学デバイス１０の場合よりも大きくなる。比較例のような特性を有するバネは、ハードニング型のバネ（又は漸硬バネ）と呼ばれる。

　図１０及び図１１は、非線形性が小さい場合と大きい場合のそれぞれについて可動ミラー１１の駆動周波数と移動量との関係を示すグラフである。図１０及び図１１では、非線形性が存在しない場合の周波数特性が破線で示され、非線形性が存在する場合の周波数特性が実線で示されている。図１０及び図１１に示されるように、非線形性が存在する場合、非線形性が存在しない場合と比べて、周波数特性が歪み、グラフのピークにおける可動ミラー１１の移動量が小さくなる。そのため、可動ミラー１１を同一の移動量だけ移動させるためには、非線形性が存在する場合の方が大きな力が必要となり、可動ミラー１１の制御特性が低下する。なお、図１０及び図１１では周波数特性の一例が示されているが、周波数特性はこのようになるとは限らない。

　また、図１１に示されるように、非線形性が大きくなると、同一の駆動周波数に対して点Ｘ１及び点Ｘ２の２つの解（重解）が存在する場合がある。この場合、駆動周波数を比較的小さな初期値から増加させる制御を行う場合と、駆動周波数を比較的大きな初期値から減少させる制御を行う場合とで、可動ミラー１１の挙動が異なる。また、重解に対応する周波数を含む周波数範囲において連続動作させると、衝撃や振動等の外部的な影響によって、可動ミラー１１の移動量が点Ｘ１に対応する移動量となったり、点Ｘ２に対応する移動量になったりすることで、動作が不安定となる。そのため、制御が複雑化し、可動ミラー１１の制御特性が低下するおそれがある。更に、非線形性が存在する場合、可動ミラー１１の動作波形を例えば正弦波状に制御する場合に、動作波形に第３高調波（狙いの周波数の３倍の周波数成分）が加わることで、動作波形を所望の形状に制御することが困難となり、このことによっても、可動ミラー１１の制御特性が低下するおそれがある。このように、第１トーションバー１４７，１５７及び第２トーションバー１４８，１５８の捩れ変形に非線形性が存在すると、可動ミラー１１の制御特性が低下するおそれがある。これに対し、上述のとおり、光学デバイス１０によれば、そのような非線形性の発生を抑制することができ、可動ミラー１１の制御特性の低下を抑制することができる。
［可動部の外力耐性と各第１櫛歯及び各第２櫛歯との関係］

　図３を参照しつつ、可動ミラー１１の外力耐性と各第１櫛歯１６１ａ，１６３ａ及び各第２櫛歯１６２ａ，１６４ａとの関係について説明する。上述した光学デバイス１０では、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の外力耐性よりも、Ｙ軸方向における可動ミラー１１の外力耐性のほうが高い。隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとは、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が高い方向（Ｙ軸方向）において互いに向かい合っている。同様に、隣り合う第１櫛歯１６３ａと第２櫛歯１６４ａとは、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が高い方向（Ｙ軸方向）において互いに向かい合っている。ここでは、各第１櫛歯１６１ａ，１６３ａ及び各第２櫛歯１６２ａ，１６４ａは、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が高い方向（Ｙ軸方向）に垂直な平面に沿って延在している。上述した光学デバイス１０では、一対の第２櫛歯電極１６２は、一対の第１トーションバー１４７よりもミラー面１１ａ側において、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する一対の電極支持部材１４４に沿って設けられており、一対の第２櫛歯電極１６４は、一対の第１トーションバー１５７よりもミラー面１１ａ側において、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する一対の電極支持部材１５４に沿って設けられている。

　ここで、可動ミラー１１の外力耐性とは、Ｚ軸方向に垂直な方向に沿って可動ミラー１１に一定の大きさの外力（例えば加速度等）を作用させた場合に、当該外力を作用させた方向に沿って可動ミラー１１が移動する移動量に相当し、当該移動量が小さいほど外力耐性が高いと表現される特性である。換言すれば、可動ミラー１１の外力耐性とは、Ｚ軸方向に垂直な方向に沿って可動ミラー１１を一定の移動量だけ移動させるに要する外力の大きさに相当し、当該外力の大きさが大きいほど外力耐性が高いと表現される特性である。

　可動ミラー１１の外力耐性は、Ｚ軸方向に垂直な方向における可動ミラー１１の固有振動数から知得することが可能であり、当該固有振動数が高い方向ほど外力耐性が高い方向となる。一例として、上述した光学デバイス１０では、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の固有振動数が２６００Ｈｚ程度であるのに対し、Ｙ軸方向における可動ミラー１１の固有振動数が４３００Ｈｚ程度であり、このことから、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の外力耐性よりも、Ｙ軸方向における可動ミラー１１の外力耐性のほうが高いことが分かる。参考として、上述した光学デバイス１０では、Ｚ軸方向における可動ミラー１１の固有振動数が３００Ｈｚ程度である。なお、上述したＸ軸方向における可動ミラー１１の固有振動数は、板状部１４９ａの幅（Ｘ軸方向における長さ）を１０μｍとした場合の解析結果である。板状部１４９ａの幅を５μｍとした場合、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の固有振動数は１１００Ｈｚ程度となるが、Ｙ軸方向における可動ミラー１１の固有振動数及びＺ軸方向における可動ミラー１１の固有振動数は殆ど変化しない。
［光学デバイスの製造方法］

　上述した光学デバイス１０の製造方法について説明する。まず、光学デバイス１０に対応するモデルを作成し、作成したモデルにおいて、Ｙ軸方向又はＸ軸方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が高い方向を計測する（計測するステップ）。具体的には、コンピュータを用いてシミュレーションモデルを作成し、当該シミュレーションモデルを用いて動作解析を行い、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向を計測する。或いは、モデルとして実際に光学デバイスを試作し、当該光学デバイスを用いて動作解析を行い、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向を計測する。続いて、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向を計測した結果、作成したモデルにおいて、隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとが可動ミラー１１の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っており、隣り合う第１櫛歯１６３ａと第２櫛歯１６４ａとが可動ミラー１１の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っていた場合には、作成したモデルに対応するように光学デバイス１０を製造する（製造するステップ）。
［作用及び効果］

　上述した光学デバイス１０及びその製造方法の作用及び効果について説明する。光学デバイス１０では、第１弾性支持部１４が第１トーションバー１４７とレバー１４１と含んで構成されており、第２櫛歯電極１６２が、第１弾性支持部１４のうち第１トーションバー１４７よりもミラー面１１ａ側に位置する部分（具体的には、電極支持部材１４４）に設けられている。同様に、第２弾性支持部１５が第１トーションバー１５７とレバー１５１と含んで構成されており、第２櫛歯電極１６４が、第２弾性支持部１５のうち第１トーションバー１５７よりもミラー面１１ａ側に位置する部分（具体的には、電極支持部材１５４）に設けられている。これにより、第１櫛歯電極１６１と第２櫛歯電極１６２との間に発生する静電気力、及び第１櫛歯電極１６３と第２櫛歯電極１６４との間に発生する静電気力を抑えつつも、可動ミラー１１をＺ軸方向に沿って大きく移動させることができる。更に、隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとが、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が高いＹ軸方向において互いに向かい合っている。同様に、隣り合う第１櫛歯１６３ａと第２櫛歯１６４ａとが、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が高いＹ軸方向において互いに向かい合っている。これにより、可動ミラー１１がＺ軸方向に沿って移動した際に、第２櫛歯１６２ａがそれに隣り合う第１櫛歯１６１ａに接触し難くなり、第２櫛歯１６４ａがそれに隣り合う第１櫛歯１６３ａに接触し難くなる。以上により、光学デバイス１０によれば、スティッキングの発生を抑制しつつ、可動ミラー１１を所定方向（Ｚ軸方向）に沿って大きく移動させることができる。

　光学デバイス１０では、一対の第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５が、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の両側に配置されている。例えば弾性支持部が可動ミラー１１の周りに３つ以上配置されている場合に比べ、一対の第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５が可動ミラー１１の両側に配置されている場合には、より簡易な構成で、可動ミラー１１をＺ軸方向に沿って大きく移動させることができる。その一方で、例えば弾性支持部が可動ミラー１１の周りに３つ以上配置されている場合に比べ、一対の第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５が可動ミラー１１の両側に配置されている場合には、Ｚ軸方向に垂直な方向にも可動ミラー１１が移動し易くなる傾向がある。しかし、隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとが、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っており、隣り合う第１櫛歯１６３ａと第２櫛歯１６４ａとが、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っている。そのため、スティッキングの発生を抑制することができる。

　特に、第１弾性支持部１４に非線形性緩和バネ１４９が設けられており、第２弾性支持部１５に非線形性緩和バネ１５９が設けられていると、上述したように非線形性は緩和されるものの、Ｚ軸方向に垂直な方向にも可動ミラー１１が移動し易くなる傾向がある。そのため、隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとを、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が高い方向において互いに向かい合わせると共に、隣り合う第１櫛歯１６３ａと第２櫛歯１６４ａとを、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が高い方向において互いに向かい合わせることは、極めて有効である。

　光学デバイス１０では、第１弾性支持部１４が、第１トーションバー１４７よりもミラー面１１ａ側において、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する電極支持部材１４４を有し、第２櫛歯電極１６２が、電極支持部材１４４に沿って設けられている。同様に、第２弾性支持部１５が、第１トーションバー１５７よりもミラー面１１ａ側において、Ｚ軸方向に垂直な平面に沿って延在する電極支持部材１５４を有し、第２櫛歯電極１６４が、電極支持部材１５４に沿って設けられている。これにより、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向がＹ軸方向である光学デバイス１０において、適切な位置に（すなわち、第１櫛歯電極１６１と第２櫛歯電極１６２との間及び第１櫛歯電極１６３と第２櫛歯電極１６４との間に大きな静電気力を発生させなくても、可動ミラー１１をＺ軸方向に沿って大きく移動させることができる位置に）第２櫛歯電極１６２，１６４を効率良く（すなわち、余計な領域をとらないように）配置することができる。

　光学デバイス１０の製造方法によれば、スティッキングの発生を抑制しつつ、可動ミラー１１を所定方向（Ｚ軸方向）に沿って大きく移動させることができる光学デバイス１０を効率良く得ることができる。
［変形例］

　以上、本開示の一実施形態について説明したが、本開示は、上記実施形態に限定されない。例えば、各構成の材料及び形状には、上述した材料及び形状に限らず、様々な材料及び形状を採用することができる。

　図１２は、変形例の光学デバイス１０の平面図である。図１２に示されるように、変形例の光学デバイス１０は、一対の電極支持部材１４４及び一対の電極支持部材１５４をそれぞれ第１弾性支持部１４及び第２弾性支持部１５が有していない点、並びに、一対の第１櫛歯電極１６１及び一対の第２櫛歯電極１６２が可動ミラー１１の外縁に沿って配置されている点で、上記実施形態の光学デバイス１０と主に相違している。

　変形例の光学デバイス１０において、一対の第１櫛歯電極１６１は、ベース１２に設けられている。具体的には、一対の第１櫛歯電極１６１は、ベース１２のデバイス層５２において、環状部１１２におけるＹ軸方向の外側の表面１１２ａ，１１２ａと向かい合う表面にそれぞれ設けられている。各第１櫛歯電極１６１は、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第１櫛歯１６１ａを有している。各第１櫛歯１６１ａは、Ｘ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

　変形例の光学デバイス１０において、一対の第２櫛歯電極１６２は、可動ミラー１１の外縁に沿って設けられている。具体的には、一対の第２櫛歯電極１６２は、環状部１１２におけるＹ軸方向の外側の表面１１２ａ，１１２ａにそれぞれ設けられている。この例では、各第２櫛歯電極１６２は、Ｚ軸方向から見た場合に、環状部１１２の表面１１２ａの全体にわたって配置されている。各第２櫛歯電極１６２は、Ｘ軸方向に垂直な平面に沿って延在する複数の第２櫛歯１６２ａを有している。各第２櫛歯１６２ａは、Ｘ軸方向に所定の間隔を空けて並んで配置されている。

　一方の第１櫛歯電極１６１及び一方の第２櫛歯電極１６２においては、複数の第１櫛歯１６１ａと複数の第２櫛歯１６２ａとが互い違いに配置されている。つまり、一方の第１櫛歯電極１６１の各第１櫛歯１６１ａが一方の第２櫛歯電極１６２の各第２櫛歯１６２ａ間に位置している。他方の第１櫛歯電極１６１及び他方の第２櫛歯電極１６２においては、複数の第１櫛歯１６１ａと複数の第２櫛歯１６２ａとが互い違いに配置されている。つまり、他方の第１櫛歯電極１６１の各第１櫛歯１６１ａが他方の第２櫛歯電極１６２の各第２櫛歯１６２ａ間に位置している。互いに隣り合う第１櫛歯１６１ａ及び第２櫛歯１６２ａ間の距離は、例えば数μｍ程度である。

　変形例の光学デバイス１０では、Ｙ軸方向における可動ミラー１１の外力耐性よりも、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の外力耐性のほうが高い。隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとは、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が高い方向（Ｘ軸方向）において互いに向かい合っている。ここでは、各第１櫛歯１６１ａ及び各第２櫛歯１６２ａは、Ｘ軸方向又はＹ軸方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が高い方向（Ｘ軸方向）に垂直な平面に沿って延在している。

　一例として、変形例の光学デバイス１０では、Ｙ軸方向における可動ミラー１１の固有振動数が４３００Ｈｚ程度であるのに対し、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の固有振動数が４９００Ｈｚ程度であり、このことから、Ｙ軸方向における可動ミラー１１の外力耐性よりも、Ｘ軸方向における可動ミラー１１の外力耐性のほうが高いことが分かる。参考として、変形例の光学デバイス１０では、Ｚ軸方向における可動ミラー１１の固有振動数が３００Ｈｚ程度である。

　以上説明したように、変形例の光学デバイス１０では、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向がＸ軸方向であり、第２櫛歯電極１６２が可動ミラー１１の外縁に沿って設けられていている。これにより、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向がＸ軸方向である光学デバイス１０において、適切な位置に（すなわち、第１櫛歯電極１６１と第２櫛歯電極１６２との間に大きな静電気力を発生させなくても、可動ミラー１１をＺ軸方向に沿って大きく移動させることができる位置に）第２櫛歯電極１６２を効率良く（すなわち、余計な領域をとらないように）配置することができる。

　また、上記実施形態の光学デバイス１０において、隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとは、Ｚ軸方向に垂直な方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が最も高い方向において互いに向かい合っていてもよい。同様に、隣り合う第１櫛歯１６３ａと第２櫛歯１６４ａとは、Ｚ軸方向に垂直な方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が最も高い方向において互いに向かい合っていてもよい。そのような光学デバイス１０は、次のように製造することができる。まず、光学デバイス１０に対応するモデルを作成し、作成したモデルにおいて、Ｚ軸方向に垂直な方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が最も高い方向を計測する。続いて、可動ミラー１１の外力耐性が最も高い方向を計測した結果、作成したモデルにおいて、隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとが可動ミラー１１の外力耐性が最も高い方向において互いに向かい合っており、隣り合う第１櫛歯１６３ａと第２櫛歯１６４ａとが可動ミラー１１の外力耐性が最も高い方向において互いに向かい合っていた場合には、作成したモデルに対応するように光学デバイス１０を製造する。

　同様に、変形例の光学デバイス１０において、隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとは、Ｚ軸方向に垂直な方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が最も高い方向において互いに向かい合っていてもよい。そのような光学デバイス１０は、次のように製造することができる。まず、光学デバイス１０に対応するモデルを作成し、作成したモデルにおいて、Ｚ軸方向に垂直な方向のうち可動ミラー１１の外力耐性が最も高い方向を計測する。続いて、可動ミラー１１の外力耐性が最も高い方向を計測した結果、作成したモデルにおいて、隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとが可動ミラー１１の外力耐性が最も高い方向において互いに向かい合っていた場合には、作成したモデルに対応するように光学デバイス１０を製造する。

　また、第２櫛歯電極１６２は、可動ミラー１１及び第１弾性支持部１４の少なくとも一方のうちＸ軸方向において第１トーションバー１４７よりもミラー面１１ａ側に位置する部分に設けられていればよい。同様に、第２櫛歯電極１６４は、可動ミラー１１及び第２弾性支持部１５の少なくとも一方のうちＸ軸方向において第１トーションバー１５７よりもミラー面１１ａ側に位置する部分に設けられていればよい。また、駆動部１３は、３つ以上の弾性支持部を有していてもよい。光学デバイス１０は、可動ミラー１１に代えて、ミラー面１１ａ以外の他の光学機能部が設けられた可動部を備えていてもよい。他の光学機能部としては、例えば、レンズ等が挙げられる。

　また、第１弾性支持部１４は、一対のレバーを更に有していてもよい。一例として、一対のレバーは、第１光学機能部１７の両側に配置され、Ｘ軸方向に沿って延在するものである。一方のレバーにおけるミラー面１１ａとは反対側の端部は、一方の第２トーションバー１４８を介して一方のレバー１４１の突出部１４１ｅに接続される。他方のレバーにおけるミラー面１１ａとは反対側の端部は、他方の第２トーションバー１４８を介して他方のレバー１４１の突出部１４１ｅに接続される。一対のレバーのそれぞれにおけるミラー面１１ａ側の端部は、ベース１２に固定されてもよいし、或いは、トーションバーを介してベース１２に接続されてもよい。一対のレバーのそれぞれにおけるミラー面１１ａ側の端部がベース１２に固定される場合、例えば、一対のレバーは、曲げ変形させられる。これらの点は、第２弾性支持部１５についても同様である。

　非線形性緩和バネ１４９は、上記実施形態のものに限定されない。例えば、Ｙ軸方向における板状部１４９ａの長さは、トーションバー１４７，１４８の長さと同一又はそれ以下であってもよい。板状部１４９ａの幅（Ｘ軸方向における長さ）は、トーションバー１４７，１４８の幅と同一又はそれ以上であってもよい。板状部１４９ａは、任意の方向に延在していてもよい。非線形性緩和バネ１４９は、単一の又は３つ以上の板状部１４９ａを含んでいてもよい。上記実施形態では一対の非線形性緩和バネ１４９が第１弾性支持部１４に設けられていたが、単一の又は３つ以上の非線形性緩和バネ１４９が設けられていてもよい。非線形性緩和バネ１４９は、板状部１４９ａを含むことなく構成されていてもよい。これらの点は、非線形性緩和バネ１５９についても同様である。

　固定ミラー２１は、光モジュール１のように第１光学機能部１７の直下のみに配置されるだけでなく、第２光学機能部１８の直下に設けられてもよい。この構成によって、第２光学機能部１８を第１光学機能部１７と同様に使用して装置の多機能化を図りつつも、可動ミラー１１の可動性能の低下及び装置全体の大型化を抑制することができる。固定ミラー２１は、デバイス層５２の主面１２ａ上に設けられていてもよい。この場合、第１光学機能部１７及び第２光学機能部１８として機能する光通過開口部がＳＯＩ基板５０に形成されない。光モジュール１は、ＦＴＩＲを構成するものに限定されず、他の光学系を構成するものであってもよい。

　また、上記実施形態において、隣り合う第１櫛歯１６１ａと第２櫛歯１６２ａとは、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っていればよい。つまり、互いに向かい合う第１櫛歯１６１ａの側面と第２櫛歯１６２ａの側面とが、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っていればよい。一例として、第１櫛歯１６１ａ及び第２櫛歯１６２ａの少なくとも一方が、可動ミラー１１の外力耐性が高い方向に垂直な平面に対して傾斜して延在していてもよい。或いは、第１櫛歯１６１ａ及び第２櫛歯１６２ａの少なくとも一方が、Ｚ軸方向から見た場合に弧状に湾曲した形状を有していてもよい。これらの点は、第１櫛歯１６３ａ及び第２櫛歯１６４ａについても同様である。

　上述した一の実施形態又は変形例における各構成は、他の実施形態又は変形例における各構成に任意に適用することができる。

　１０…光学デバイス、１１…可動ミラー（可動部）、１１ａ…ミラー面（光学機能部）、１２…ベース、１４…第１弾性支持部（弾性支持部）、１５…第２弾性支持部（弾性支持部）、１４１，１５１…レバー、１４４，１５４…電極支持部材、１４７，１５７…第１トーションバー（トーションバー）、１６１，１６３…第１櫛歯電極、１６１ａ，１６３ａ…第１櫛歯、１６２，１６４…第２櫛歯電極、１６２ａ，１６４ａ…第２櫛歯。

Claims

　ベースと、
　光学機能部を有する可動部と、
　前記ベースと前記可動部との間に接続され、前記可動部が第１方向に沿って移動可能となるように前記可動部を支持する弾性支持部と、
　前記ベースに設けられ、複数の第１櫛歯を有する第１櫛歯電極と、
　前記可動部及び前記弾性支持部の少なくとも一方に設けられ、前記複数の第１櫛歯と互い違いに配置された複数の第２櫛歯を有する第２櫛歯電極と、を備え、
　前記弾性支持部は、前記第１方向に垂直な第２方向に沿って延在するトーションバーと、前記トーションバーが接続されたレバーと、を有し、
　前記第２櫛歯電極は、前記可動部及び前記弾性支持部の少なくとも一方のうち前記トーションバーよりも前記光学機能部側に位置する部分に設けられており、
　隣り合う前記第１櫛歯と前記第２櫛歯とは、前記第２方向、又は、前記第１方向及び前記第２方向に垂直な第３方向のうち、前記可動部の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っている、光学デバイス。
　前記弾性支持部は、前記第３方向における前記可動部の両側に一対配置されている、請求項１に記載の光学デバイス。
　前記第２方向又は前記第３方向のうち前記可動部の外力耐性が高い方向は、前記第２方向であり、
　前記弾性支持部は、前記トーションバーよりも前記光学機能部側において、前記第１方向に垂直な平面に沿って延在する電極支持部材を更に有し、
　前記第２櫛歯電極は、前記電極支持部材に沿って設けられている、請求項１又は２に記載の光学デバイス。
　前記第２方向又は前記第３方向のうち前記可動部の外力耐性が高い方向は、前記第３方向であり、
　前記第２櫛歯電極は、前記可動部の外縁に沿って設けられている、請求項１又は２に記載の光学デバイス。
　ベースと、
　光学機能部を有する可動部と、
　前記ベースと前記可動部との間に接続され、前記可動部が第１方向に沿って移動可能となるように前記可動部を支持する弾性支持部と、
　前記ベースに設けられ、複数の第１櫛歯を有する第１櫛歯電極と、
　前記可動部及び前記弾性支持部の少なくとも一方に設けられ、前記複数の第１櫛歯と互い違いに配置された複数の第２櫛歯を有する第２櫛歯電極と、を備え、
　前記弾性支持部は、前記第１方向に垂直な第２方向に沿って延在するトーションバーと、前記トーションバーが接続されたレバーと、を有し、
　前記第２櫛歯電極は、前記可動部及び前記弾性支持部の少なくとも一方のうち前記トーションバーよりも前記光学機能部側に位置する部分に設けられており、
　隣り合う前記第１櫛歯と前記第２櫛歯とは、前記第１方向に垂直な方向のうち前記可動部の外力耐性が最も高い方向において互いに向かい合っている、光学デバイス。
　請求項１～４のいずれか一項に記載の光学デバイスに対応するモデルを作成し、前記モデルにおいて、前記第２方向又は前記第３方向のうち前記可動部の外力耐性が高い方向を計測するステップと、
　前記可動部の外力耐性が高い方向を計測した結果、前記モデルにおいて、隣り合う前記第１櫛歯と前記第２櫛歯とが前記可動部の外力耐性が高い方向において互いに向かい合っていた場合に、前記モデルに対応するように前記光学デバイスを製造するステップと、を備える光学デバイスの製造方法。
　請求項５に記載の光学デバイスに対応するモデルを作成し、前記モデルにおいて、前記第１方向に垂直な方向のうち前記可動部の外力耐性が最も高い方向を計測するステップと、
　前記可動部の外力耐性が最も高い方向を計測した結果、前記モデルにおいて、隣り合う前記第１櫛歯と前記第２櫛歯とが前記可動部の外力耐性が最も高い方向において互いに向かい合っていた場合に、前記モデルに対応するように前記光学デバイスを製造するステップと、を備える光学デバイスの製造方法。