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WO2018139214A1 - 光結合装置及びその製造方法 - Google Patents

光結合装置及びその製造方法 Download PDF

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WO2018139214A1
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fiber
mode field
optical waveguide
optical fiber
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基博 中原
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TDK Corp
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    • G02B6/4201—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/421—Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical component consisting of a short length of fibre, e.g. fibre stub

Definitions

  • the present disclosure relates to an optical coupling device and a manufacturing method thereof.
  • Patent Document 1 An optical coupling device for connecting an optical element array and an optical fiber has been proposed (see, for example, Patent Document 1).
  • a short fiber is interposed between the end face of the optical circuit and the optical fiber so that highly efficient optical coupling can be performed.
  • the optical coupling device of Patent Document 1 performs physical contact connection that makes surface contact between cores of an optical fiber and a short fiber without a gap.
  • the optical coupling device disclosed in Patent Document 1 has a microcapillary fixed on a V-groove substrate.
  • an object of the present disclosure is to enable highly efficient optical coupling between an end face of an optical circuit and an optical fiber without using a V-groove substrate.
  • An optical coupling device includes: Optical fiber, A high NA optical waveguide having a higher numerical aperture than the optical fiber; A mode field converter having a mode field diameter larger than the other end of the high NA optical waveguide, and coupling the optical fiber and the high NA optical waveguide; A capillary having a through hole for holding the high NA optical waveguide and the mode field conversion unit, and the other end of the high NA optical waveguide is disposed at an end of the through hole; Is provided.
  • the manufacturing method of the optical coupling device is as follows: A fusion splicing step in which the optical fiber and the connection portion of the high NA optical waveguide having a higher numerical aperture than the optical fiber are heated and fused, and then the optical fiber and the high NA optical waveguide are pulled in a direction of separating; The other end of the high NA optical waveguide is inserted through an opening having a large inner diameter of two openings constituting the through hole of the capillary, the connecting portion is disposed in the through hole, and the end of the through hole is inserted into the end of the through hole.
  • FIG. 2 shows a configuration example of an optical coupling device according to the first embodiment. It is explanatory drawing of an arrangement
  • FIG. 1 shows a configuration example of an optical coupling device according to the disclosure.
  • the disclosed optical coupling device includes an optical fiber 11, a high NA fiber 12 that functions as a high NA optical waveguide, a mode field conversion unit PS, and a capillary 13.
  • a case where the material of the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 is quartz glass will be described.
  • the high NA fiber 12 is an optical fiber having a higher numerical aperture (NA) than the optical fiber 11.
  • the end 123 which is the other end of the high NA fiber 12 is connected to an optical circuit (reference numeral 15 shown in FIG. 5 described later).
  • the end 123 of the high NA fiber 12 is preferably subjected to 8 ° polishing or an antireflection film in order to avoid reflection at the end 123.
  • the dopant of the high NA fiber 12 includes at least one material that increases the refractive index, and examples of such a material include Ta, Ge, Ti, and Zr. Since the refractive index increases when Ta, Ti, and Zr are added in a small amount, the mode field diameter of the high NA fiber 12 at the end 123 can be further reduced by adding at least one of Ta, Ti, and Zr. it can.
  • the high NA fiber 12 may contain at least one material having a negative coefficient of thermal expansion in order to suppress an increase in strain due to an increase in the coefficient of thermal expansion due to the additive material. For example, Sn and Hf can be exemplified.
  • the combination of the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 is arbitrary, but it is desirable that the mode field diameter of the high NA fiber 12 substantially matches the mode field diameter of the optical circuit 15.
  • the mode field diameter is 10 ⁇ m and the mode field diameter of the optical circuit (reference numeral 15 shown in FIG. 5 described later) is 3.2 ⁇ m
  • the high NA fiber 12 has a mode field diameter of 3.2 ⁇ m.
  • High NA single mode fiber can be used.
  • the NA of the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 is not limited.
  • the NA of the optical fiber 11 is 0.13
  • the NA of the high NA fiber 12 is an arbitrary value from 0.41 to 0.72. It is.
  • the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 may be single mode fibers or multimode fibers.
  • the clad diameters of the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 may be the same or different.
  • the mode field conversion unit PS is a portion where one end of the high NA fiber 12 and the optical fiber 11 are connected, and has a larger mode field diameter than the other end of the high NA fiber 12.
  • the mode field diameter of the mode field conversion unit PS is preferably equal to the mode field diameter of the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 at the connection portion, and the mode field diameter is the same as the other end of the optical fiber 11 and the high NA fiber 12. However, it is preferable that the mode field diameter is equal to or larger than the mode field diameter of the optical fiber 11.
  • the mode field conversion unit PS is preferably formed by fusion-connecting the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 having a uniform mode field diameter.
  • the dopant added to the core is diffused by local heating, and the core expands in a bell-shaped distribution.
  • the mode field diameter of the mode field converter PS is larger than the other end of the high NA fiber 12, and the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 which are different fibers can be connected with low loss. The allowable range of axis deviation can be expanded.
  • the capillary 13 has a through hole, and the mode field conversion unit PS is disposed in the through hole.
  • the capillary 13 preferably holds the entire high NA fiber 12.
  • the end 123 of the high NA fiber 12 and the end 133 of the capillary 13 are preferably arranged on the same plane. This facilitates alignment when connecting the disclosed optical coupling device to the optical circuit.
  • the inner diameter W 133 near the end 123 of the high NA fiber 12 is preferably substantially equal to the cladding diameter of the high NA fiber 12.
  • the inner diameter W 133 is preferably 126 ⁇ W 133 ⁇ 127 ⁇ m.
  • the inner diameter W 134 of the mode field converter PS is preferably larger than the inner diameter W 133 near the end 123 of the high NA fiber 12. This is because it can be accommodated even if the clad diameter of the part where the fusion splicing is performed becomes large.
  • the length of the high-NA fiber 12 is L 12
  • when the cladding diameter of the high NA fiber 12 is 125 [mu] m, inner diameter W 134 from the end 134 at a distance of L 134 is 127 [mu] m ⁇ W 134 ⁇ 152 microns Is preferred.
  • the gap between the inner wall surface of the through hole and the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 is filled with an adhesive.
  • the mode field conversion part PS can be protected using the capillary 13.
  • the inner diameter on the end 134 side is preferably larger than the inner diameter on the end 133 side.
  • the inner diameter of the through hole gradually increases from the mode field conversion portion PS to the end portion 134 side.
  • filling of the adhesive into the gap between the inner wall surface of the through hole of the capillary 13 and the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 becomes easy. For example, even when bubbles are formed in the adhesive filled in the recessed portion as shown in FIG. 3, the bubbles can be easily removed.
  • the mode field converter PS can be disposed in the through hole.
  • the through hole having the inner diameter W 133 and the inner diameter W 134 can be formed by performing a process of expanding the inner diameter of the through hole of the inner diameter W 133 .
  • a process of expanding the inner diameter of the through hole of the inner diameter W 133 For example, it is possible to exemplify excavation in a through hole using a drill or melting of the inner wall of the through hole by etching using hydrofluoric acid.
  • the inner diameter of the through hole can be made constant.
  • etching the inner diameter of the through hole can be increased as the end portion 134 is approached.
  • the manufacturing method of the optical coupling device will be described.
  • the manufacturing method of the optical coupling device according to the present disclosure includes a connection process, an arrangement process, and a fixing process in order.
  • the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 are fusion-connected.
  • the diameter of the mode field conversion unit PS becomes thick as shown in FIG. Therefore, in the connection process of the present disclosure, the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 in the mode field conversion unit PS are heated, and after the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 are fused, as shown in FIG. It is preferable to pull the fiber 11 and the high NA fiber 12 in the direction of separating them. Thereby, it can prevent that the diameter of the mode field conversion part PS becomes thick. In this case, as shown in FIG. 3, the claddings 112 and 122 in the mode field conversion unit PS are recessed.
  • the open end 123 of the high NA fiber 12 is inserted into the opening on the end 134 side of the two openings constituting the through hole of the capillary 13, and the mode field conversion unit PS is placed in the through hole. Deploy.
  • the mode field conversion part PS is fixed in the through hole using an adhesive.
  • ultraviolet curable resin is injected into the gap 131 shown in FIG. 1 from the end 134 side, and ultraviolet rays are irradiated from the side surface 135 of the capillary 13. Thereby, the mode field conversion part PS can be fixed in the through hole.
  • the length of the end 123 of the high NA fiber 12 is adjusted to the position of the end 133 of the capillary 13, and the end 123 of the high NA fiber 12 is polished. At this time, it is preferable to apply 8 ° polishing or an antireflection film to the end portion 123.
  • FIG. 4 shows another embodiment of the optical coupling device according to the disclosure.
  • the coating 113 of the optical fiber 11 is disposed in the capillary 13.
  • the capillary 13 has a taper for disposing the coating 113 in the through hole.
  • the length of the optical fiber 11 from the coating 113 to the mode field conversion unit PS is made shorter than the distance L 134 from the end 134 to the mode field conversion unit PS.
  • FIG. 5 shows a connection example of the optical coupling device according to the disclosure to the optical circuit.
  • An end 133 of the capillary 13 is connected to the optical circuit 15. Since the high NA fiber 12 having a small mode field diameter is arranged at the end 133 of the capillary 13, the light from the optical fiber 11 can be easily coupled to the optical waveguide made of glass. Thereby, the optical coupling device according to the present disclosure can easily perform high-efficiency optical coupling between the optical waveguide made of the glass material and the optical fiber 11 without using the V-groove substrate.
  • the optical circuit 15 is, for example, a PLC (Planar Lightwave Circuit) chip using quartz glass (SiO 2 ).
  • a PLC chip having an optical waveguide with a relative refractive index difference of 0.3% and a mode field diameter of 10 ⁇ m, or a relative refractive index difference of 1 is used.
  • a small PLC chip having an optical waveguide of 2% and a mode field diameter of 2 to 5 ⁇ m can be applied to the optical circuit 15.
  • the optical circuit 15 is not limited to a PLC chip using quartz glass (SiO 2 ), but may be a PLC chip using silicon (Si) as a substrate. Furthermore, the optical circuit 15 is not limited to a PLC chip, and may be an optical fiber or an arbitrary optical element. For example, instead of the optical circuit 15, it can be used for coupling to a light emitting element such as a semiconductor laser or a light receiving element such as a PD (PhotoDiode).
  • a light emitting element such as a semiconductor laser
  • PD PhotoDiode
  • the optical fiber 11 is held in the capillary 13 with the high NA fiber 12 disposed at the end portion 123, and the gap 141 between the casing 14 and the capillary 13 is hermetically sealed. Airtight sealing can be performed. For this reason, it can also be used for airtight sealing of micro ICR (Integrated Coherent) and micro ITLA (Integrable Tunable Laser Assembly).
  • micro ICR Integrated Coherent
  • micro ITLA Intelligent Tunable Laser Assembly
  • the material of the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 may be plastic.
  • the high NA fiber 12 is a plastic optical fiber
  • the high NA fiber 12 in which the mode field diameter of the mode field conversion unit PS is larger than the mode field diameter of the end 123 is used. Further, in the connection step, bonding is performed using an arbitrary adhesive instead of fusion splicing.
  • FIG. 6 illustrates a configuration example of the optical coupling device according to the present disclosure.
  • the optical coupling device according to the disclosure includes an optical fiber 11, a PLC 22 that functions as a high NA optical waveguide, and a capillary 23.
  • the NA of the PLC 22 is higher than that of the optical fiber 11.
  • the end portion 223 of the PLC 22 is connected to the optical circuit 15 similarly to the high NA fiber 12 shown in FIG. By interposing the PLC 22 between the optical fiber 11 and the optical circuit, the light from the optical fiber 11 can be coupled to the optical circuit 15 with low loss.
  • the end portion 223 of the PLC 22 is preferably subjected to 8 ° polishing or an antireflection film in order to avoid reflection at the end portion 223.
  • the mode field conversion unit PS is a part where one end of the PLC 22 and the optical fiber 11 are connected, and has a larger mode field diameter than the other end of the PLC 22.
  • the mode field diameter of the mode field conversion unit PS is preferably equal to the mode field diameter of the optical fiber 11 and the PLC 22 at the connection portion, and the mode field diameter is an intermediate mode field diameter between the optical fiber 11 and the other end of the PLC 22. However, it is preferably equal to the mode field diameter of the optical fiber 11 or larger than the mode field diameter of the optical fiber 11.
  • the PLC 22 since the mode field diameter of the PLC 22 depends on the shape of the core such as a square or a rectangle, the PLC 22 preferably has a refractive index or a core shape so that the mode field diameter in the mode field conversion unit PS becomes a desired value. .
  • the material of the optical fiber 11 and the PLC 22 may be quartz glass or plastic.
  • the material of the optical fiber 11 and the PLC 22 is quartz glass, the same dopant as that of the first embodiment can be used as the dopant of the PLC 22.
  • the PLC 22 may be one in which quartz glass is laminated on a silicon (Si) substrate.
  • the mode field conversion unit PS may be formed by fusion-bonding the optical fiber 11 and the PLC 22 having a uniform mode field diameter as in the first embodiment. Good.
  • FIG. 7 an example of the shape of the optical fiber 11 and PLC22 is shown.
  • the diameter W 11 of the optical fiber 11 and the length of the diagonal line of the PLC 22 may be equal.
  • the diameter W11 of the optical fiber 11 and the height W22L of the PLC 22 may be equal.
  • the diameter W11 of the optical fiber 11 and the width W22H of the PLC 22 may be equal.
  • the width W 22H of the PLC 22 may be larger than the diameter W 11 of the optical fiber 11.
  • the height W 22L of the PLC 22 may be larger than the diameter W 11 of the optical fiber 11.
  • the center of the height W 22L of the PLC 22 or the center of the width W 22H may not coincide with the center of the optical fiber 11.
  • the end of the high NA fiber 12 or the PLC 22 on the optical circuit 15 side may be connected to a polarization maintaining optical fiber.
  • the extinction ratio at the time of connecting the optical fiber 11 and the polarization maintaining optical fiber can be improved.
  • optical fiber 11 only the case where there is one optical fiber 11 has been described for easy understanding, but a multi-channel in which two or more optical fibers 11 are arranged may be used.
  • the optical fiber 11 and the high NA fiber 12 or the PLC 22 may be arranged one-dimensionally or two-dimensionally.
  • the outer shape of the capillary 13 or 23 is not limited to a circle or a rectangle, and may be an arbitrary shape.
  • a ferrule may be provided outside the capillary 13 or 23 so that the high NA fiber 12 or the PLC 22 can be easily connected to other optical components.
  • This disclosure can be applied to the information and communication industry.
  • optical fiber 111 core 112: clad 113: coating 12: high NA fiber 22: PLC 121, 221: Core 122, 222: Clad 123: End of high NA fiber 13: Capillary 131, 231: Gap 133, 134, 233, 234: End 135, 235: Side surface 14: Housing 141: Gap 15: Optical circuit

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Abstract

本開示は、Ｖ溝基板を用いることなく、光回路の端面と光ファイバとの間での高効率な光結合を可能にすることを目的とする。　本開示は、光ファイバ（１１）と、高ＮＡ光導波路（１２、２２）と、高ＮＡ光導波路（１２、２２）の他端よりも大きいモードフィールド径を有するモードフィールド変換部（ＰＳ）と、高ＮＡ光導波路（１２、２２）及びモードフィールド変換部（ＰＳ）を保持する貫通孔を有するキャピラリ（１３）と、を備え、貫通孔の端部に高ＮＡ光導波路（１２、２２）の他端が配置されている、光結合装置である。

Description

光結合装置及びその製造方法
　本開示は、光結合装置及びその製造方法に関する。
　光素子アレイと光ファイバとを接続するための光結合装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。特許文献１の光結合装置は、光回路の端面と光ファイバとの間に高効率な光結合が出来るよう、短尺ファイバが介在されている。
　特許文献１の光結合装置は、光ファイバと短尺ファイバとのコア間を隙間なく面接触させるフィジカルコンタクト接続を行う。このときの光ファイバ及び短尺ファイバの光軸を一致させるため、特許文献１の光結合装置は、Ｖ溝基板上にマイクロキャピラリを固定している。
特開２０００－１２１８７１号公報
　光モジュールの小型化や部品点数削減の観点からは、Ｖ溝基板を省略することが望ましい。一方で、光回路の端面と光ファイバとの間に高効率な光結合が求められている。
　そこで、本開示は、Ｖ溝基板を用いることなく、光回路の端面と光ファイバとの間での高効率な光結合を可能にすることを目的とする。
　本開示に係る光結合装置は、
　光ファイバと、
　前記光ファイバよりも開口数の高い高ＮＡ光導波路と、
　前記高ＮＡ光導波路の他端よりも大きいモードフィールド径を有し、前記光ファイバと前記高ＮＡ光導波路を結合させるモードフィールド変換部と、
　前記高ＮＡ光導波路及び前記モードフィールド変換部を保持する貫通孔を有し、前記貫通孔の端部に前記高ＮＡ光導波路の他端が配置されているキャピラリと、
　を備える。
　本開示に係る光結合装置の製造方法は、
　光ファイバ及び前記光ファイバよりも開口数の高い高ＮＡ光導波路の接続部分を加熱して融着した後に、前記光ファイバ及び前記高ＮＡ光導波路を引き離す方向にけん引する、融着接続工程と、
　キャピラリの貫通孔を構成する２つの開口のうちの内径の大きな開口から前記高ＮＡ光導波路の他端を挿入し、前記接続部分が前記貫通孔内に配置されかつ前記貫通孔の端部に前記高ＮＡ光導波路の他端が配置されるように、前記高ＮＡ光導波路及び前記接続部分を前記貫通孔内に配置する、配置工程と、
　接着剤を用いて、前記接続部分を前記貫通孔内に固定する、固定工程と、
　を順に有する。
　本開示によれば、Ｖ溝基板を用いることなく、光回路と光ファイバとの間での高効率な光結合を可能にすることができる。
実施形態１に係る光結合装置の構成例を示す。 配置工程の説明図である。 実施形態１に係るモードフィールド変換部の拡大図を示す。 実施形態１に係る光結合装置の別形態を示す。 光回路への接続例を示す。 実施形態２に係る光結合装置の構成例を示す。 実施形態２に係る光結合装置の構成例を示す。
　以下、本開示の実施形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。なお、本開示は、以下に示す実施形態に限定されるものではない。これらの実施の例は例示に過ぎず、本開示は当業者の知識に基づいて種々の変更、改良を施した形態で実施することができる。なお、本明細書及び図面において符号が同じ構成要素は、相互に同一のものを示すものとする。
（実施形態１）
　図１に、開示に係る光結合装置の構成例を示す。開示に係る光結合装置は、光ファイバ１１と、高ＮＡ光導波路として機能する高ＮＡファイバ１２と、モードフィールド変換部ＰＳと、キャピラリ１３と、を備える。本実施形態では、光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２の素材が石英ガラスである場合について説明する。
　高ＮＡファイバ１２は、光ファイバ１１よりも開口数（ＮＡ：Ｎｕｍｅｒｉｃａｌ　Ａｐｅｒｔｕｒｅ）の高い光ファイバである。高ＮＡファイバ１２の他端である端部１２３は、光回路（後述する図５に示す符号１５）と接続される。光ファイバ１１と光回路の間に高ＮＡファイバ１２を介在させることで、光ファイバ１１からの光を光回路に低損失で結合させることができる。高ＮＡファイバ１２の端部１２３は、端部１２３での反射を避けるため、８°研磨や反射防止膜を施されていることが好ましい。
　高ＮＡファイバ１２のドーパントは屈折率を高める少なくとも１種類の物質を含み、そのような物質としては、例えば、Ｔａ、Ｇｅ、Ｔｉ及びＺｒが例示できる。Ｔａ、Ｔｉ、Ｚｒは少量添加で屈折率が高くなるため、Ｔａ、Ｔｉ又はＺｒの少なくともいずれかを添加することで、端部１２３での高ＮＡファイバ１２のモードフィールド径をさらに小さくすることができる。また、高ＮＡファイバ１２は、添加物質による熱膨張係数の増大により歪みが増加することを抑えるために、負の熱膨張係数を有する少なくとも１種類の物質を含んでいてもよく、そのような物質としては、例えば、Ｓｎ及びＨｆが例示できる。
　光ファイバ１１と高ＮＡファイバ１２の組み合わせは、任意であるが、高ＮＡファイバ１２のモードフィールド径は、光回路１５のモードフィールド径と略一致していることが望ましい。例えば、モードフィールド径が１０μｍのシングルモードファイバであり、光回路（後述する図５に示す符号１５）のモードフィールド径が３．２μｍの場合、高ＮＡファイバ１２として、モードフィールド径が３．２μｍの高ＮＡシングルモードファイバを用いることができる。
　光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２のＮＡは限定されるものではなく、例えば、光ファイバ１１のＮＡが０．１３の場合、高ＮＡファイバ１２のＮＡは０．４１～０．７２の任意の値である。なお、光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２は、シングルモードファイバであってもよいし、マルチモードファイバであってもよい。また光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２のクラッド径は、同一であってもよいが、異なってもよい。
　モードフィールド変換部ＰＳは、高ＮＡファイバ１２の一端と光ファイバ１１とが接続された部分であり、高ＮＡファイバ１２の他端より大きいモードフィールド径を有する。モードフィールド変換部ＰＳのモードフィールド径は、接続部分における光ファイバ１１と高ＮＡファイバ１２のモードフィールド径が等しいことが好ましく、そのモードフィールド径は、光ファイバ１１と高ＮＡファイバ１２の他端との中間のモードフィールド径であってもよいが、光ファイバ１１のモードフィールド径と等しいか、或いは、光ファイバ１１のモードフィールド径よりも大きいことが好ましい。
　モードフィールド変換部ＰＳは、光ファイバ１１とモードフィールド径の均一な高ＮＡファイバ１２を融着接続することによって形成されていることが好ましい。融着接続を行うと、局所加熱によってコアに添加されているドーパントが拡散し、釣鐘状分布でコアが拡大する。このため、モードフィールド変換部ＰＳのモードフィールド径が高ＮＡファイバ１２の他端より大きいモードフィールド径になり、異種ファイバである光ファイバ１１と高ＮＡファイバ１２を低損失で接続することができるとともに、軸ずれの許容範囲を広げることができる。
　キャピラリ１３は、貫通孔を有し、貫通孔内にモードフィールド変換部ＰＳが配置されている。キャピラリ１３は、高ＮＡファイバ１２の全体を保持することが好ましい。この場合、高ＮＡファイバ１２の端部１２３とキャピラリ１３の端部１３３とが同一面上に配置されていることが好ましい。これにより、開示に係る光結合装置を光回路に接続する際のアライメントが容易になる。
　高ＮＡファイバ１２の端部１２３付近の内径Ｗ１３３は高ＮＡファイバ１２のクラッド径にほぼ等しいことが好ましい。例えば、高ＮＡファイバ１２のクラッド径が１２５μｍの場合、内径Ｗ１３３は１２６≦Ｗ１３３≦１２７μｍであることが好ましい。
　モードフィールド変換部ＰＳの内径Ｗ１３４は、高ＮＡファイバ１２の端部１２３付近の内径Ｗ１３３よりも大きいことが好ましい。融着接続を行った部分のクラッド径が大きくなっても収容できるようにするためである。例えば、高ＮＡファイバ１２の長さがＬ１２であり、高ＮＡファイバ１２のクラッド径が１２５μｍである場合、端部１３４からＬ１３４の距離における内径Ｗ１３４は１２７μｍ＜Ｗ１３４≦１５２μｍであることが好ましい。
　貫通孔の内壁面と光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２との間の隙間には接着剤が充填されている。これにより、キャピラリ１３を用いてモードフィールド変換部ＰＳを保護することができる。この場合、端部１３４側の内径が端部１３３側の内径よりも大きいことが好ましい。特に、図１には明示されていないが、モードフィールド変換部ＰＳから端部１３４側にかけて、貫通孔の内径が徐々に大きくなっていることが好ましい。これにより、キャピラリ１３の貫通孔の内壁面と光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２との間の隙間への接着剤の充填が容易になる。例えば、図３に示すような凹みの部分に充填された接着剤に気泡が形成された場合でも、気泡の除去を容易に行うことができる。また、光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２の延伸径にばらつきが出ても、モードフィールド変換部ＰＳを貫通孔内に配置することができる。
　内径Ｗ１３３及び内径Ｗ１３４を有する貫通孔は、内径Ｗ１３３の貫通孔の内径を広げる加工を行うことで、形成することができる。例えば、ドリルを用いた貫通孔内の掘削や、フッ酸を用いたエッチングによる貫通孔の内壁の溶融が例示できる。ドリルを用いることで、貫通孔の内径を一定にすることができる。エッチングを用いることで、端部１３４に近くなるに従って貫通孔の内径を広げることができる。
　光結合装置の製造方法について説明する。本開示に係る光結合装置の製造方法は、接続工程と、配置工程と、固定工程と、を順に有する。
　接続工程では、光ファイバ１１と高ＮＡファイバ１２を融着接続する。ここで、通常、融着接続を行うと、図２に示すように、モードフィールド変換部ＰＳの径が太くなる。そこで、本開示の接続工程では、モードフィールド変換部ＰＳにおける光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２を加熱し、光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２が融着された後に、図２に示すように、光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２を引き離す方向にけん引することが好ましい。これにより、モードフィールド変換部ＰＳの径が太くなるのを防ぐことができる。この場合、図３に示すように、モードフィールド変換部ＰＳにおけるクラッド１１２及び１２２に凹みができる。
　配置工程では、キャピラリ１３の貫通孔を構成する２つの開口のうちの端部１３４側の開口に高ＮＡファイバ１２の開放された端部１２３を挿入し、モードフィールド変換部ＰＳを貫通孔内に配置する。
　固定工程では、接着剤を用いて、モードフィールド変換部ＰＳを貫通孔内に固定する。例えば、図１に示す隙間１３１に端部１３４側から紫外線硬化性樹脂を注入し、キャピラリ１３の側面１３５から紫外線を照射する。これにより、モードフィールド変換部ＰＳを貫通孔内に固定することができる。
　固定工程の後、高ＮＡファイバ１２の端部１２３の長さをキャピラリ１３の端部１３３の位置に合わせ、高ＮＡファイバ１２の端部１２３を研磨する。このとき、端部１２３に８°研磨や反射防止膜を施すことが好ましい。
　図４に、開示に係る光結合装置の別形態を示す。開示に係る光結合装置は、光ファイバ１１の被覆１１３がキャピラリ１３内に配置されている。キャピラリ１３は、貫通孔内に、被覆１１３を配置するためのテーパを有する。
　光結合装置の別形態の場合、接続工程では、被覆１１３からモードフィールド変換部ＰＳまでの光ファイバ１１の長さを、端部１３４からモードフィールド変換部ＰＳまでの距離Ｌ１３４より短くする。
　図５に、開示に係る光結合装置の光回路への接続例を示す。キャピラリ１３の端部１３３が光回路１５に接続される。モードフィールド径の小さな高ＮＡファイバ１２がキャピラリ１３の端部１３３に配置されているため、光ファイバ１１からの光をガラス素材の光導波路に容易に結合させることができる。これにより、本開示に係る光結合装置は、Ｖ溝基板を用いることなく、ガラス素材の光導波路と光ファイバ１１との間での高効率な光結合を容易に行うことができる。
　光回路１５は、例えば、石英ガラス（ＳｉＯ２）を用いたＰＬＣ（Ｐｌａｎａｒ　Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ　Ｃｉｒｃｕｉｔ）チップである。本開示は、キャピラリ１３の端部１３３におけるモードフィールド径が小さいため、比屈折率差が０．３％でありかつモードフィールド径が１０μｍの光導波路を有するＰＬＣチップや、比屈折率差が１．２％でありかつモードフィールド径が２～５μｍの光導波路を有する小型のＰＬＣチップを、光回路１５に適用することができる。
　光回路１５は、石英ガラス（ＳｉＯ２）を用いたＰＬＣチップに限らず、ケイ素（Ｓｉ）を基板に用いたＰＬＣチップであってもよい。さらに、光回路１５は、ＰＬＣチップに限らず、光ファイバや任意の光学素子であってもよい。例えば、光回路１５に代えて、半導体レーザなどの発光素子や、ＰＤ（ＰｈｏｔｏＤｉｏｄｅ）などの受光素子への結合用にも用いることができる。
　また、高ＮＡファイバ１２が端部１２３に配置された状態で光ファイバ１１がキャピラリ１３内に保持されており、筐体１４とキャピラリ１３の隙間１４１を気密封止することで筐体１４内の気密封止を行うことができる。このため、マイクロＩＣＲ（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｏｈｅｒｅｎｔ）やマイクロＩＴＬＡ（Ｉｎｔｅｇｒａｂｌｅ　Ｔｕｎａｂｌｅ　Ｌａｓｅｒ　Ａｓｓｅｍｂｌｙ）の気密封止にも用いることができる。
　なお、光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２の素材は、プラスチックであってもよい。高ＮＡファイバ１２がプラスチック光ファイバの場合、端部１２３のモードフィールド径よりもモードフィールド変換部ＰＳのモードフィールド径が大きい高ＮＡファイバ１２を用いる。また、接続工程において、融着接続ではなく、任意の接着剤を用いて接着する。
（実施形態２）
　図６に、本開示に係る光結合装置の構成例を示す。開示に係る光結合装置は、光ファイバ１１と、高ＮＡ光導波路として機能するＰＬＣ２２と、キャピラリ２３と、を備える。
　ＰＬＣ２２のＮＡは、光ファイバ１１よりも高い。ＰＬＣ２２の端部２２３は、図５に示す高ＮＡファイバ１２と同様に、光回路１５と接続される。光ファイバ１１と光回路の間にＰＬＣ２２を介在させることで、光ファイバ１１からの光を光回路１５に低損失で結合させることができる。ＰＬＣ２２の端部２２３は、端部２２３での反射を避けるため、８°研磨や反射防止膜を施されていることが好ましい。以下、実施形態１と異なる点について説明する。
　モードフィールド変換部ＰＳは、ＰＬＣ２２の一端と光ファイバ１１とが接続された部分であり、ＰＬＣ２２の他端より大きいモードフィールド径を有する。モードフィールド変換部ＰＳのモードフィールド径は、接続部分における光ファイバ１１とＰＬＣ２２のモードフィールド径が等しいことが好ましく、そのモードフィールド径は、光ファイバ１１とＰＬＣ２２の他端との中間のモードフィールド径であってもよいが、光ファイバ１１のモードフィールド径と等しいか、或いは、光ファイバ１１のモードフィールド径よりも大きいことが好ましい。なお、ＰＬＣ２２のモードフィールド径は正方形や長方形などコアの形状に依存するため、ＰＬＣ２２は、モードフィールド変換部ＰＳにおけるモードフィールド径が所望の値になるような屈折率やコア形状を有することが好ましい。
　光ファイバ１１及びＰＬＣ２２の素材は、石英ガラスであってもよいし、プラスチックであってもよい。光ファイバ１１及びＰＬＣ２２の素材が石英ガラスである場合、ＰＬＣ２２のドーパントとして、実施形態１と同様のものを用いることができる。また、ＰＬＣ２２は、ケイ素（Ｓｉ）の基板上に石英ガラスが積層されたものであってもよい。
　光ファイバ１１及びＰＬＣ２２の素材が石英ガラスである場合、実施形態１と同様に、モードフィールド変換部ＰＳは、光ファイバ１１とモードフィールド径の均一なＰＬＣ２２を融着接続することによって形成してもよい。
　図７に、光ファイバ１１及びＰＬＣ２２の形状の一例を示す。図７（Ａ）に示すように、光ファイバ１１の直径Ｗ１１とＰＬＣ２２の対角線の長さが等しくてもよい。また、図７（Ｂ）及び図７（Ｃ）に示すように、光ファイバ１１の直径Ｗ１１とＰＬＣ２２の高さＷ２２Ｌが等しくてもよい。図７（Ｂ）に示すように、光ファイバ１１の直径Ｗ１１とＰＬＣ２２の幅さＷ２２Ｈが等しくてもよい。図７（Ｃ）に示すように、ＰＬＣ２２の幅さＷ２２Ｈは、光ファイバ１１の直径Ｗ１１よりも大きくてもよい。また、ＰＬＣ２２の高さＷ２２Ｌは光ファイバ１１の直径Ｗ１１より大きくてもよい。ＰＬＣ２２の高さＷ２２Ｌの中心、あるいは、幅Ｗ２２Ｈの中心は光ファイバ１１の中心と一致しなくてもよい。
　なお、前述の各実施形態において、高ＮＡファイバ１２又はＰＬＣ２２の光回路１５側の端部は、偏波保持光ファイバに接続されていてもよい。これにより、光ファイバ１１と偏波保持光ファイバとを接続する際の消光比を改善することができる。
　また、本開示においては、理解が容易になるよう、光ファイバ１１が１本の場合についてのみ説明したが、２本以上の光ファイバ１１が配列されている多チャネルであってもよい。この場合、光ファイバ１１及び高ＮＡファイバ１２又はＰＬＣ２２は、１次元に配列されていてもよいし、２次元に配列されていてもよい。
　また、キャピラリ１３又は２３の外形は円形又は方形に限定されず、任意の形状であってもよい。例えば、高ＮＡファイバ１２又はＰＬＣ２２と他の光部品との接続が容易になるよう、キャピラリ１３又は２３の外側にフェルールが設けられていてもよい。
　本開示は情報通信産業に適用することができる。
１１：光ファイバ
１１１：コア
１１２：クラッド
１１３：被覆
１２：高ＮＡファイバ
２２：ＰＬＣ
１２１、２２１：コア
１２２、２２２：クラッド
１２３：高ＮＡファイバの端部
１３：キャピラリ
１３１、２３１：隙間
１３３、１３４、２３３、２３４：端部
１３５、２３５：側面
１４：筐体
１４１：隙間
１５：光回路

Claims (8)

  1. 　光ファイバと、
    　前記光ファイバよりも開口数の高い高ＮＡ光導波路と、
    　前記高ＮＡ光導波路の他端よりも大きいモードフィールド径を有し、前記光ファイバと前記高ＮＡ光導波路を結合させるモードフィールド変換部と、
    　前記高ＮＡ光導波路及び前記モードフィールド変換部を保持する貫通孔を有し、前記貫通孔の端部に前記高ＮＡ光導波路の他端が配置されているキャピラリと、
    　を備える光結合装置。
  2. 　前記高ＮＡ光導波路は、石英ガラスを用いた光ファイバ又はＰＬＣ（Ｐｌａｎａｒ　Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ　Ｃｉｒｃｕｉｔ）であり、
    　前記高ＮＡ光導波路のコアは、Ｔａ、Ｇｅ、Ｔｉ及びＺｒの少なくとも１種の元素を含む、
    　請求項１に記載の光結合装置。
  3. 　前記高ＮＡ光導波路の前記一端と前記光ファイバとが融着接続されており、
    　前記高ＮＡ光導波路の前記一端が前記モードフィールド変換部として機能する、
    　請求項２に記載の光結合装置。
  4. 　前記モードフィールド変換部は、前記高ＮＡ光導波路のクラッドに凹みを有する、
    　請求項３に記載の光結合装置。
  5. 　前記高ＮＡ光導波路のコアは、Ｓｎ及びＨｆの少なくとも１種の元素を含む、
    　請求項３又は４に記載の光結合装置。
  6. 　前記高ＮＡ光導波路は、前記他端よりも前記一端のモードフィールド径が大きい光ファイバ又はＰＬＣ（Ｐｌａｎａｒ　Ｌｉｇｈｔｗａｖｅ　Ｃｉｒｃｕｉｔ）であり、
    　前記高ＮＡ光導波路の前記一端と前記光ファイバとが接着されており、
    　前記高ＮＡ光導波路の前記一端が前記モードフィールド変換部として機能する、
    　請求項１又は２に記載の光結合装置。
  7. 　前記モードフィールド変換部の配置されている前記貫通孔の内径が、前記高ＮＡ光導波路の前記他端の配置されている前記貫通孔の内径よりも大きい、
    　請求項１から６のいずれかに記載の光結合装置。
  8. 　光ファイバ及び前記光ファイバよりも開口数の高い高ＮＡ光導波路の接続部分を加熱して融着した後に、前記光ファイバ及び前記高ＮＡ光導波路を引き離す方向にけん引する、融着接続工程と、
    　キャピラリの貫通孔を構成する２つの開口のうちの内径の大きな開口から前記高ＮＡ光導波路の他端を挿入し、前記接続部分が前記貫通孔内に配置されかつ前記貫通孔の端部に前記高ＮＡ光導波路の他端が配置されるように、前記高ＮＡ光導波路及び前記接続部分を前記貫通孔内に配置する、配置工程と、
    　接着剤を用いて、前記接続部分を前記貫通孔内に固定する、固定工程と、
    　を順に有する光結合装置の製造方法。
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