[go: up one dir, main page]

WO2018147205A1 - めっきの前処理方法、めっき方法、めっき前処理物及びめっき物 - Google Patents

めっきの前処理方法、めっき方法、めっき前処理物及びめっき物 Download PDF

Info

Publication number
WO2018147205A1
WO2018147205A1 PCT/JP2018/003725 JP2018003725W WO2018147205A1 WO 2018147205 A1 WO2018147205 A1 WO 2018147205A1 JP 2018003725 W JP2018003725 W JP 2018003725W WO 2018147205 A1 WO2018147205 A1 WO 2018147205A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
plating
plated
acid
silane coupling
coupling agent
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2018/003725
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
竹林 仁
太田 直人
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toyo Tanso Co Ltd
Original Assignee
Toyo Tanso Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toyo Tanso Co Ltd filed Critical Toyo Tanso Co Ltd
Priority to JP2018553162A priority Critical patent/JP6513308B2/ja
Publication of WO2018147205A1 publication Critical patent/WO2018147205A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/18Pretreatment of the material to be coated

Definitions

  • the present invention relates to a pretreatment method for plating, a plating method, a pretreatment product for plating, and a plated product.
  • Patent Document 1 As a method for plating graphite, a pretreatment for plating that oxidizes or heats the surface of a member to be plated is performed. A method is described. There are a wide variety of stains on the member to be plated such as metal, and electrolytic degreasing as described in Non-Patent Document 1 used for removal and surface activation is well known. Although one may be considered, when the member to be plated is a carbon material, the effect is not recognized so much and the adhesion reliability is poor.
  • the plating film is formed by the conventional pretreatment. Even so, the adhesion was small and the reliability was poor.
  • the main object of the present invention is to improve the adhesion of a plating film formed on a member to be plated having a surface inert to plating to the member to be plated.
  • the silane coupling agent is chemically bonded to the surface of the member to be plated.
  • At least one of a plurality of functional groups of a polyfunctional compound capable of forming a chelate complex with a metal ion constituting the plating film is chemically bonded to the silane coupling agent.
  • a functional group capable of chelating complex with the metal constituting the plating film is arranged on the surface of the member to be plated.
  • the plating pretreatment method according to the present invention even if the member to be plated is a member having a surface that is inactive to plating, high adhesion to the member to be plated and uniform plating Formation of the film can be realized.
  • the polyfunctional compound preferably has a plurality of carboxyl groups.
  • the polyfunctional compound has three or more functional groups capable of binding to metal ions constituting the plating film.
  • the polyfunctional compound is ethylenediaminetetraacetic acid, ethylenediamine-N, N′-diacetic acid, ethylenediamine-N, N′-diacetic acid-N, N′-dipropionic acid hydrate.
  • Hydroxyethylethylenediaminetriacetic acid diethylenetriaminepentaacetic acid, triethylenetetraminehexaacetic acid, diethylenetriaminepentaacetic acid, nitrilotriacetic acid, hydroxyethyliminodiacetic acid, L-aspartic acid-NNN-diacetic acid, hydroxyiminodisuccinic acid, trans -1,2-diaminocyclohexane-N, N, N ', N'-tetraacetic acid monohydrate, O, O'-bis (2-aminoethyl) ethylene glycol-N, N, N', N'- It is preferably at least one selected from the group consisting of tetraacetic acid.
  • a silane coupling agent a silane having at least one functional group selected from the group consisting of a primary amino group, an epoxy group and an isocyanate group in at least one of the chain and the terminal It is preferable to use a coupling agent.
  • an inorganic member capable of introducing a hydroxyl group may be used as a member to be plated.
  • a carbon material in the plating pretreatment method according to the present invention, a carbon material, an aluminum nitride material, or a silicon nitride material may be used as a member to be plated.
  • carbon material includes “graphite material”.
  • a pretreatment process for performing the plating pretreatment method according to the present invention is performed.
  • a plating process for forming a plating film is performed by plating the surface of the member to be plated that has undergone the pretreatment process.
  • the plating method according to the present invention it is preferable to perform a step of oxidizing the surface of the member to be plated in the pretreatment step.
  • the pre-plating product according to the present invention includes a member to be plated, a silane coupling agent chemically bonded to the surface of the member to be plated, and a plating film in which at least one of a plurality of functional groups is bonded to the silane coupling agent. And a polyfunctional compound capable of forming a chelate complex.
  • the plated product according to the present invention constitutes a plated film in which a member to be plated, a silane coupling agent chemically bonded to the surface of the member to be plated, and at least one of a plurality of functional groups are bonded to the silane coupling agent.
  • the adhesion of a plating film formed on a member to be plated having a surface inactive to plating to the member to be plated can be improved.
  • a plating method for plating a member to be plated includes a pretreatment step of bonding a chelating agent to the surface of the member to be plated, and plating the surface of the member to be plated to which the chelating agent is bonded. And a plating step for forming a plating film.
  • the chelating agent is composed of a polyfunctional compound capable of forming a chelate complex with the metal constituting the plating film.
  • the polyfunctional compound preferably has a plurality of carboxyl groups.
  • the polyfunctional compound preferably has three or more functional groups that can bind to the metal constituting the plating film, and more preferably has four or more functional groups. However, if the number of functional groups that can be bonded to the metal constituting the plating film is too large, the metal cannot be properly provided due to steric hindrance, and thus the plating film may not be formed properly. Accordingly, the compound capable of forming a chelate complex preferably has 6 or less functional groups capable of binding to the metal constituting the plating film.
  • polyfunctional compounds preferably used include ethylenediaminetetraacetic acid, ethylenediamine-N, N′-diacetic acid, ethylenediamine-N, N′-diacetic acid-N, N′-dipropionic acid hydrate, hydroxyethyl Ethylenediaminetriacetic acid, diethylenetriaminepentaacetic acid, triethylenetetraminehexaacetic acid, diethylenetriaminepentaacetic acid, nitrilotriacetic acid, hydroxyethyliminodiacetic acid, L-aspartic acid-NNN-diacetic acid, hydroxyiminodisuccinic acid, trans-1, 2-diaminocyclohexane-N, N, N ′, N′-tetraacetic acid monohydrate, O, O′-bis (2-aminoethyl) ethylene glycol-N, N, N ′, N′-tetraacetic acid, etc. Is mentioned
  • the member to be plated which is a member to be plated is not particularly limited.
  • an inorganic member into which a hydroxyl group can be introduced may be used.
  • specific examples of the member to be plated include a carbon material, an aluminum nitride material, a silicon nitride material, and the like.
  • the shape dimension of the member to be plated is not particularly limited.
  • the member to be plated may be, for example, a sheet shape, a powder shape, a spherical shape, a rectangular parallelepiped shape, a cubic shape, a column shape, or the like.
  • the silane coupling agent can be appropriately selected according to the member to be plated and the polyfunctional compound.
  • Examples of the silane coupling agent preferably used when the member to be plated is graphite include, for example, an epoxy silane coupling agent, an amino silane coupling agent, and an isocyanate silane coupling agent.
  • a silane coupling agent having at least one functional group selected from the group consisting of a primary amino group, an epoxy group, and an isocyanate group in the chain and at least one of the ends is more preferably used.
  • An amino-based silane coupling agent having an amino group is more preferably used.
  • Specific examples of amino-based silane coupling agents having an amino group at the end include, for example, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N-2- (aminoethyl) -3-aminopropyl Examples include trimethoxysilane, 3-aminopropyltrimethoxysilane, and 3-aminopropyltriethoxysilane.
  • silane coupling agent Only one kind of the silane coupling agent may be used, or a plurality of kinds may be used.
  • a condensing agent In order to promote the reaction between the silane coupling agent and the polyfunctional compound, a condensing agent may be used.
  • the condensing agent preferably used include, for example, a triazine condensing agent, a carbodiimide condensing agent, an imidazole condensing agent, a phosphonium condensing agent, a uronium condensing agent, a hauronium condensing agent, and the like.
  • triazine-based condensing agents are more preferably used.
  • Specific examples of the triazine-based condensing agent include, for example, DMT-MM (4- (4,6-Dimethoxy-1,3,5-triazin-2-yl) -4-methylmorpholine Chloride n-Hydrate) and the like. .
  • ⁇ Plating treatment> when plating is performed on a member to be plated, first, pre-plating treatment is performed. Specifically, the silane coupling agent is chemically bonded to the surface of the member to be plated. At least one of a plurality of functional groups of a polyfunctional compound capable of forming a chelate complex with a metal ion constituting the plating film is chemically bonded to the silane coupling agent.
  • the polyfunctional compound is preferably bonded to the surface of the member to be plated so that three or more functional groups capable of binding to the metal constituting the plating film are formed, and the functional group capable of binding to the metal constituting the plating film More preferably, the polyfunctional compound is bonded to the surface of the member to be plated so that four or more are formed.
  • the silane coupling agent When it is difficult to directly bond the silane coupling agent to the surface of the member to be plated, it is preferable to subject the surface of the member to be plated to oxidation prior to the treatment of the surface of the member to be plated with the silane coupling agent. . By doing so, since a hydroxyl group can be arranged on the surface of the member to be plated, the silane coupling agent is easily bonded.
  • the method of oxidation treatment is not particularly limited. For example, wet oxidation treatment may be performed using nitric acid, hydrochloric acid, sulfuric acid, or a mixed acid of two or more thereof, or oxygen plasma oxidation treatment may be performed.
  • the above-mentioned condensing agent may be used.
  • the pre-plating treatment includes a member to be plated, a silane coupling agent bonded to the member to be plated, and a polyfunctional compound capable of forming a chelate complex with the metal ions constituting the plating film bonded to the silane coupling agent.
  • a member to be plated a silane coupling agent bonded to the member to be plated
  • a polyfunctional compound capable of forming a chelate complex with the metal ions constituting the plating film bonded to the silane coupling agent a polyfunctional compound capable of forming a chelate complex with the metal ions constituting the plating film bonded to the silane coupling agent.
  • a plated film is formed by plating the surface of the member to be plated to which the polyfunctional compound is bonded. That is, after performing the pretreatment process which performs the pretreatment method mentioned above, the plating process which forms a plating film is performed.
  • the plating can be performed, for example, by an electrolytic plating method or an electroless plating method.
  • the type of plating film is not particularly limited.
  • the plating film is, for example, Cu plating film, Ni plating film, Fe plating film, Cr plating film, Ag plating film, Au plating film, Pd plating film, Sn plating film, Cu, Ni, Fe, Cr, Ag, Au, It may be a plating film made of an alloy containing at least one element selected from the group consisting of Pd and Sn. Moreover, you may form the laminated body of a some plating film.
  • FIG. 1 shows a plating process in the case of using graphite as a member to be plated, 3-aminopropyltrimethoxysilane as a silane coupling agent, DMT-MM as a condensing agent, and EDTA as a polyfunctional compound.
  • FIG. 2 is a schematic cross-sectional view of the manufactured plated product.
  • the plated article 1 includes a member to be plated 10 and a plating film 11 provided on the surface of the member to be plated 10.
  • the metal constituting the plating film 11 and the polyfunctional compound are bonded to the surface 10a of the member to be plated 10 on which the plating film 11 is formed.
  • this polyfunctional compound the adhesion, uniformity and homogeneity between the member to be plated 10 and the plating film 11 are improved.
  • the polyfunctional compound capable of forming a chelate complex with the metal constituting the plating film 11 is arranged on the surface of the plating pretreatment object. Therefore, by using the plating pretreatment method of this embodiment, even if the member to be plated 10 is a member having a surface that is inactive with respect to the plating film, the high adhesion of the plating film 11 to the member to be plated 10. A uniform and uniform plating film 11 can be formed.
  • the polyfunctional compound capable of forming a chelate complex has three or more functional groups capable of binding to the metal constituting the plating film 11. It is preferable to have four or more.
  • the plating method of the present embodiment for example, when the surface of the member to be plated 10 is smooth, that is, when the arithmetic average roughness (Ra) defined in JIS B0601-2001 is small, The plating film 11 having high adhesion can be formed.
  • the arithmetic average roughness (Ra) of the member to be plated 10 may be, for example, 5 ⁇ m or less, 3 or less, or 1 or less.
  • Example 1 An isotropic graphite material (IG-43: CIP-A manufactured by Toyo Tanso Co., Ltd.) was immersed in a 0.5 M nitric acid aqueous solution at room temperature for 1 hour, washed with water and dried. Next, it was immersed in a methanol solution containing 1% by mass of 3-aminopropyltrimethoxysilane (silane coupling agent: CP-A) for 1 hour to introduce aminopropyl groups.
  • silane coupling agent: CP-A 3-aminopropyltrimethoxysilane
  • methanol containing 1 mmol of ethylenediaminetetraacetic acid (EDTA: chelating agent) and 1.1-fold mol of triazine-based condensing agent (DMT-MM) as a condensing agent is an isotropic graphite material having aminopropyl groups introduced. It was immersed in the solution and allowed to react for another hour, washed with diluted hydrochloric acid and dried to obtain a graphite material having EDTA introduced on the surface. Electrolytic copper plating was performed on the graphite material having the EDTA introduced on the surface thereof to obtain a graphite material coated with a copper plating film having a thickness of 8 ⁇ m.
  • the plating film had a homogeneous film quality.
  • the adhesion of the obtained plated film was evaluated by cutting a right-angled lattice pattern in accordance with the crosscut test described in JIS K5600-5-6-1999, the number of peeling was 0/25 cells.
  • the plated film was peeled off at the cut edges and intersections, but the state was judged as 2 according to the classification method described in JIS.
  • Example 2 A graphite material having EDTA introduced on the surface was obtained in the same manner as in Example 1 except that the isotropic graphite material was changed to CIP-B (ISEM-8 manufactured by Toyo Tanso Co., Ltd.). Electrolytic copper plating was performed on the graphite material in which EDTA was introduced on the surface to obtain a graphite material coated with a copper plating film. There was no unevenness in the plating film, and the plating film had a homogeneous film quality. The resulting plated film had a crosscut test result of 0/25 and a classification of 2.
  • Example 3 CIP-A was immersed in a 1.0 M nitric acid aqueous solution at room temperature for 1 hour, washed with water and dried. Next, it was immersed in a methanol solution containing 1% by mass of CP-A for 1 hour to introduce aminopropyl groups. Thereafter, the isotropic graphite material into which the aminopropyl group was introduced was immersed in a methanol solution containing 1 mmol of EDTA and 1.1-fold mol of DMT-MM as a condensing agent, and further reacted for 1 hour. After washing and drying, a graphite material having EDTA introduced on the surface was obtained.
  • Electrolytic copper plating was performed on the graphite material having the EDTA introduced on the surface thereof to obtain a graphite material coated with a copper plating film having a thickness of 8 ⁇ m. There was no unevenness in the plating film, and the plating film had a homogeneous film quality. The resulting plated film had a crosscut test result of 0/25 and a classification of 1.
  • Example 4 CIP-A was immersed in a 1.0 M nitric acid aqueous solution at room temperature for 1 hour, washed with water and dried. Next, it was immersed in a methanol solution containing 1% by mass of N-2 (aminoethyl) 3-aminopropylmethyldimethoxysilane (silane coupling agent: CP-B) for 1 hour to introduce aminopropyl groups.
  • silane coupling agent: CP-B silane coupling agent
  • the isotropic graphite material into which the aminopropyl group was introduced was converted to 1 mmol of trans-1,2-diaminocyclohexane-N, N, N ′, N′-tetraacetic acid monohydrate (CyDTA: chelating agent), Graphite in which CyDTA is introduced on the surface by immersing in a methanol solution containing 1.1-fold moles of triazine-based condensing agent (DMT-MM) as a condensing agent, reacting for 1 hour, washing and drying with dilute hydrochloric acid Obtained material.
  • CyDTA chelating agent
  • Electrolytic copper plating was performed on the graphite material having CyDTA introduced on the surface thereof to obtain a graphite material coated with a copper plating film having a thickness of 8 ⁇ m. There was no unevenness in the plating film, and the plating film had a homogeneous film quality. The resulting plated film had a crosscut test result of 0/25 and a classification of 0.
  • Example 5 A graphite material coated with a copper plating film was obtained in the same manner as in Example 3 except that 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane (CP-C) was used as the silane coupling agent.
  • CP-C 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane
  • Example 6 A graphite material coated with a copper plating film was obtained in the same manner as in Example 4 except that the plating method was electroless plating. Electroless plating was washed with water CIP-A, was immersed in the pretreatment solution PdCl 2 as the SnCl 2 and activator as a sensitizer is added, copper sulfate as the source of copper ions, EDTA as a complexing agent Used and reduced with formaldehyde. The substrate surface was coated with copper having a uniform thickness of 2 ⁇ m. The resulting plated film had a crosscut test result of 0/25 and a classification of 1.
  • Example 7 A graphite material coated with copper was obtained in the same manner as in Example 4 except that the chelating agent was diethylenetriaminepentaacetic acid (DTPA). The resulting plated film had a crosscut test result of 0/25 and a classification of 0. (Example 8) Coated with copper in the same manner as in Example 4 except that the chelating agent was O, O′-bis (2-aminoethyl) ethylene glycol-N, N, N ′, N′-tetraacetic acid (EGTA). A graphite material was obtained. The resulting plated film had a crosscut test result of 0/25 and a classification of 1.
  • DTPA diethylenetriaminepentaacetic acid
  • Example 9 A graphite material coated with copper was obtained in the same manner as in Example 4 except that the chelating agent was triethylenetetramine hexaacetic acid (TTHA). The resulting plated film had a crosscut test result of 0/25 and a classification of 0.
  • TTHA triethylenetetramine hexaacetic acid
  • Comparative Example 7 The surface treatment was not performed on CIP-B, and electroless copper plating was performed in the same manner as in Comparative Example 2.
  • the crosscut test result of the plating film was 12/25, and the classification was 5.
  • Plated object 10 Plated member 10a: Surface of the member to be plated 11: Plated film

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemically Coating (AREA)
  • Electroplating Methods And Accessories (AREA)

Abstract

めっきに対して不活性な表面を有する被めっき部材の上に形成されためっき膜の被めっき部材に対する密着性を改善する。 シランカップリング剤を被めっき部材の表面に化学的に結合させる。めっき膜を構成する金属イオンとキレート錯体を形成可能な多官能化合物の複数の官能基の少なくとも一つをシランカップリング剤に化学的に結合させる。

Description

めっきの前処理方法、めっき方法、めっき前処理物及びめっき物
 本発明は、めっきの前処理方法、めっき方法、めっき前処理物及びめっき物に関する。
 炭素材料のような部材に対してめっきを行いたいという要望がある一方、炭素材料は化学的に不活性な表面を有するため、均質で密着性に優れためっき膜を形成することは従来から難しいと考えられている。そのような難点を克服することを目的として、例えば、特許文献1には、黒鉛に対してめっきを行う方法として、被めっき部材の表面を酸化したり、加熱したりするめっきの前処理を行う方法が記載されている。金属などの被めっき部材には多種多様な汚れが存在しており、その除去や表面活性化のために用いられる非特許文献1に記載のような電解脱脂は周知であり、上記の酸化工程の一つとも考えられるが、被めっき部材が炭素材料の場合に効果はあまり認められず、密着信頼性に乏しいものであった。
特開2015-503032号公報
榎本英彦、めっき分野における洗浄技術、真空、43巻6号、667~671頁、2000年
 このように、黒鉛等の不活性な表面を有する被めっき部材の上に形成されためっき膜の被めっき部材に対する密着性を改善したいという要望があるものの、従来の前処理ではめっき膜が形成されたとしてもその密着力は小さく、信頼性に乏しいものであった。
 本発明の主な目的は、めっきに対して不活性な表面を有する被めっき部材の上に形成されためっき膜の被めっき部材に対する密着性を改善することにある。
 本発明に係るめっき前処理方法では、シランカップリング剤を被めっき部材の表面に化学的に結合させる。めっき膜を構成する金属イオンとキレート錯体を形成可能な多官能化合物の複数の官能基の少なくとも一つをシランカップリング剤に化学的に結合させる。このため、本発明に係るめっき前処理方法により作成されためっき前処理物では、被めっき部材の表面に、めっき膜を構成する金属とキレート錯体可能な官能基が配される。よって、本発明に係るめっき前処理方法を用いることにより、被めっき部材がめっきに対して不活性な表面を有する部材であったとしても、めっき膜の被めっき部材に対する高い密着性、均質なめっき膜の形成を実現することができる。
 本発明に係るめっき前処理方法では、多官能化合物が、カルボキシル基を複数有することが好ましい。
 本発明に係るめっき前処理方法では、多官能化合物が、めっき膜を構成する金属イオンと結合し得る官能基を3つ以上有することが好ましい。
 本発明に係るめっき前処理方法では、多官能化合物が、エチレンジアミン四酢酸、エチレンジアミン-N,N’-二酢酸、エチレンジアミン-N,N’-二酢酸-N,N’-ジプロピオン酸水和物、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、ニトリロ三酢酸、ヒドロキシエチルイミノ二酢酸、L-アスパラギン酸-N-N-二酢酸、ヒドロキシイミノジコハク酸、trans-1,2-ジアミノシクロヘキサン-N,N,N’,N’-四酢酸一水和物、O,O’-ビス(2-アミノエチル)エチレングリコール-N,N,N’,N’-四酢酸からなる群から選ばれた少なくとも1種であることが好ましい。
 本発明に係るめっき前処理方法では、シランカップリング剤として、鎖中及び末端の少なくとも一方に第一級アミノ基、エポキシ基及びイソシアネート基からなる群から選択された少なくとも1つの官能基を有するシランカップリング剤を用いることが好ましい。
 本発明に係るめっき前処理方法では、被めっき部材として、ヒドロキシル基が導入可能な無機部材を用いてもよい。
 本発明に係るめっき前処理方法では、被めっき部材として、炭素材料、窒化アルミ材料または窒化ケイ素材料を用いてもよい。なお、本発明において、「炭素材料」には、「黒鉛材料」が含まれるものとする。
 本発明に係るめっき方法では、本発明に係るめっきの前処理方法を行う前処理工程を行う。前処理工程を行った被めっき部材の表面にめっきを施すことによりめっき膜を形成するめっき工程を行う。
 本発明に係るめっき方法では、前処理工程において被めっき部材の表面を酸化する工程を行うことが好ましい。
 本発明に係るめっき前処理物は、被めっき部材と、被めっき部材の表面に化学的に結合したシランカップリング剤と、複数の官能基の少なくとも一つがシランカップリング剤と結合した、めっき膜を構成する金属イオンとキレート錯体を形成可能な多官能化合物とを備える。
 本発明に係るめっき物は、被めっき部材と、被めっき部材の表面に化学的に結合したシランカップリング剤と、複数の官能基の少なくとも一つがシランカップリング剤と結合した、めっき膜を構成する金属イオンとキレート錯体を形成可能な多官能化合物と、多官能器化合物のシランカップリング剤と結合していない複数の官能基と結合しているめっき膜とを備える。
 本発明によれば、めっきに対して不活性な表面を有する被めっき部材の上に形成されためっき膜の被めっき部材に対する密着性を改善することができる。
めっき処理工程の一例を示す図である。 本発明の一実施形態に係るめっき物の模式的断面図である。
 以下、本発明を実施した好ましい形態の一例について説明する。但し、下記の実施形態は、単なる例示である。本発明は、下記の実施形態に何ら限定されない。
 (めっき法)
 本実施形態において、被めっき部材に対してめっきを行うめっき方法は、キレート剤を被めっき部材の表面に結合させる前処理工程と、キレート剤を結合させた被めっき部材の表面にめっきを施すことによりめっき膜を形成するめっき工程とを備えている。
 <キレート剤>
 キレート剤は、めっき膜を構成する金属とキレート錯体を形成可能な多官能化合物からなる。
 多官能化合物としては、カルボキシル基を複数有するものであることが好ましい。
 多官能化合物は、めっき膜を構成する金属と結合し得る官能基を3つ以上有するものであることが好ましく、4つ以上有するものであることがより好ましい。但し、めっき膜を構成する金属と結合し得る官能基の数が多すぎると、立体障害により金属が好適に配意できなくなるため、めっき膜が好適に形成されなくなる虞がある。従って、キレート錯体を形成可能な化合物は、めっき膜を構成する金属と結合し得る官能基を6つ以下有していることが好ましい。
 好ましく用いられる多官能化合物の具体例としては、エチレンジアミン四酢酸、エチレンジアミン-N,N’-二酢酸、エチレンジアミン-N,N’-二酢酸-N,N’-ジプロピオン酸水和物、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、ニトリロ三酢酸、ヒドロキシエチルイミノ二酢酸、L-アスパラギン酸-N-N-二酢酸、ヒドロキシイミノジコハク酸、trans-1,2-ジアミノシクロヘキサン-N,N,N’,N’-四酢酸一水和物、O,O’-ビス(2-アミノエチル)エチレングリコール-N,N,N’,N’-四酢酸等が挙げられる。これらの化合物の1種のみを用いてもよいし、複数種類を用いてもよい。
 <被めっき部材>
 本発明において、めっきされる部材である被めっき部材は、特に限定されない。被めっき部材として、ヒドロキシル基が導入可能な無機部材を用いてもよい。本発明において、被めっき部材としては、具体的には、例えば、炭素材料や窒化アルミ材料、窒化ケイ材料等が挙げられる。
 被めっき部材の形状寸法は、特に限定されない。被めっき部材は、例えば、シート状、粉末状、球状、直方体状、立方体状、柱状等であってもよい。
 <シランカップリング剤>
 シランカップリング剤は、被めっき部材及び多官能化合物に応じて適宜選択することができる。被めっき部材が例えば黒鉛である場合に好ましく用いられるシランカップリング剤としては、例えば、エポキシ系シランカップリング剤、アミノ系シランカップリング剤、イソシアネート系シランカップリング剤等が挙げられる。
 これらのなかでも、鎖中及び末端の少なくとも一方に第一級アミノ基、エポキシ基及びイソシアネート基からなる群より選択された少なくとも1つの官能基を有するシランカップリング剤がより好ましく用いられ、末端にアミノ基を有するアミノ系シランカップリング剤がさらに好ましく用いられる。末端にアミノ基を有するアミノ系シランカップリング剤の具体例としては、例えば、N-2-(アミノエチル)-3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N-2-(アミノエチル)-3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリメトキシシラン、3-アミノプロピルトリエトキシシラン等が挙げられる。
 上記シランカップリング剤の1種のみを用いてもよいし、複数種類を用いてもよい。
 <縮合剤>
 シランカップリング剤と多官能化合物との反応を促進するために、縮合剤を用いてもよい。好ましく用いられる縮合剤の具体例としては、例えば、トリアジン系縮合剤、カルボジイミド系縮合剤、イミダゾール系縮合剤、ホスホニウム系縮合剤、ウロニウム系縮合剤、ハロウロニウム系縮合剤等が挙げられる。
 これらのなかでも、トリアジン系縮合剤がより好ましく用いられる。トリアジン系縮合剤の具体例としては、例えば、DMT-MM(4-(4,6-Dimethoxy-1,3,5-triazin-2-yl)-4-methylmorpholinium Chloride n-Hydrate)等が挙げられる。
 <めっき処理>
 本実施形態において、被めっき部材に対してめっきを行うに際しては、まず、めっき前処理を行う。具体的には、シランカップリング剤を被めっき部材の表面に化学的に結合させる。めっき膜を構成する金属イオンとキレート錯体を形成可能な多官能化合物の複数の官能基の少なくとも一つをシランカップリング剤に化学的に結合させる。めっき膜を構成する金属と結合し得る官能基が3つ以上形成されるように、多官能化合物を被めっき部材の表面に結合させることが好ましく、めっき膜を構成する金属と結合し得る官能基が4つ以上形成されるように、多官能化合物を被めっき部材の表面に結合させることがより好ましい。
 シランカップリング剤を被めっき部材の表面に直接結合させることが困難な場合は、シランカップリング剤による被めっき部材の表面の処理に先立って、被めっき部材の表面の酸化処理を行うことが好ましい。そうすることにより、被めっき部材の表面にヒドロキシル基を配することができるため、シランカップリング剤が結合しやすくなる。酸化処理の方法は、特に限定されない。例えば、硝酸、塩酸、硫酸、それらのうちの2種以上の混酸を用いて湿式酸化処理を行ってもよいし、酸素プラズマ酸化処理を行ってもよい。
 また、シランカップリング剤と多官能化合物との縮合反応を促進する観点から、上述の縮合剤を用いてもよい。
 (めっき処理前物)
 上述の工程を行うことにより、めっき処理前物を製造することができる。めっき処理前物は、被めっき部材と、被めっき部材に結合したシランカップリング剤と、シランカップリング剤と結合した、めっき膜を構成する金属イオンとキレート錯体を形成可能な多官能化合物とを備えている。被めっき部材や、シランカップリング剤、めっき膜を構成する多官能化合物の詳細に関しては、前述の通りである。
 最後に、多官能化合物が結合した被めっき部材の表面にめっきを施すことにより、めっき膜を形成する。すなわち、上述した前処理方法を行う前処理工程を行った後に、めっき膜を形成するめっき工程を行う。めっきは、例えば、電解めっき法により行うこともできるし、無電解めっき法により行うこともできる。
 めっき膜の種類は、特に限定されない。めっき膜は、例えば、Cuめっき膜、Niめっき膜、Feめっき膜、Crめっき膜、Agめっき膜、Auめっき膜、Pdめっき膜、Snめっき膜やCu,Ni,Fe,Cr,Ag,Au、Pd及びSnからなる群から選ばれた少なくとも一種の元素を含む合金からなるめっき膜等であってもよい。また、複数のめっき膜の積層体を形成してもよい。
 図1に、被めっき部材として黒鉛を、シランカップリング剤として3-アミノプロピルトリメトキシシランを、縮合剤としてDMT-MMを、多官能化合物としてEDTAを用いた場合のめっき処理工程を示す。
 (めっき物)
 図2に、製造されためっき物の模式的断面図を示す。図2に示すように、めっき物1は、被めっき部材10と、被めっき部材10の表面上に設けられためっき膜11とを備えている。被めっき部材10のめっき膜11が形成されている表面10aには、めっき膜11を構成している金属と多官能化合物が結合している。この多官能化合物により、被めっき部材10とめっき膜11との密着性、均一性及び均質性が向上されている。
 以上説明したように、本実施形態では、めっき膜11を構成する金属とキレート錯体を形成可能な多官能化合物がめっき前処理物の表面に配される。よって、本実施形態のめっき前処理方法を用いることにより、被めっき部材10がめっき膜に対して不活性な表面を有する部材であったとしても、めっき膜11の被めっき部材10に対する高い密着性、均一かつ均質なめっき膜11の形成を実現することができる。
 めっき膜11の被めっき部材10に対するより高い密着性を実現する観点から、キレート錯体を形成可能な多官能化合物が、めっき膜11を構成する金属と結合し得る官能基を3つ以上有することが好ましく、4つ以上有することがより好ましい。
 上記本実施形態のめっき方法によれば、例えば、被めっき部材10の表面が平滑である場合、すなわち、JIS B0601-2001で規定される算術平均粗さ(Ra)が小さな場合であっても、高い密着力を有するめっき膜11を形成することができる。被めっき部材10の算術平均粗さ(Ra)は、例えば、5μm以下であってもよく、3以下であってもよく、1以下であってもよい。
 以下、本発明について、具体的な実施例に基づいて、さらに詳細に説明するが、本発明は以下の実施例に何ら限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲において適宜変更して実施することが可能である。
 (実施例1)
 等方性黒鉛材料(東洋炭素製 IG-43:CIP-A)を0.5Mの硝酸水溶液に室温で1時間浸漬させた後、水洗・乾燥した。次に、1質量%の3-アミノプロピルトリメトキシシラン(シランカップリング剤:CP-A)を含むメタノール溶液に1時間浸漬させ、アミノプロピル基を導入した。その後、アミノプロピル基が導入された等方性黒鉛材料を1mmolのエチレンジアミン四酢酸(EDTA:キレート剤)と、縮合剤として1.1倍モルのトリアジン系縮合剤(DMT-MM)とを含むメタノール溶液に浸漬し、さらに1時間反応させ、これを希塩酸で洗浄・乾燥して表面にEDTAが導入された黒鉛材料を得た。このEDTAが表面に導入された黒鉛材料に対して電解銅めっきを行い、厚さ8μmの銅めっき膜で被覆された黒鉛材料を得た。めっき膜にむらはなく、めっき膜は、均質な膜質を有していた。得られためっき膜の密着性をJIS K5600-5-6-1999記載のクロスカット試験に準じて直角の格子パターンを切り込んで評価したところ、剥離数は0個/25マスであった。めっき膜はカットの縁や交差点において剥がれているが、その状態はJIS記載の分類法に従って2と判断された。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000001
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000002

 (実施例2)
 等方性黒鉛材料をCIP-B(東洋炭素製 ISEM-8)に変更する以外は実施例1と同様の方法で表面にEDTAが導入された黒鉛材料を得た。このEDTAが表面に導入された黒鉛材料に対して電解銅めっきを行い、銅めっき膜で被覆された黒鉛材料を得た。めっき膜にむらはなく、めっき膜は、均質な膜質を有していた。得られためっき膜のクロスカット試験結果は0/25、分類は2であった。
 (実施例3)
 CIP-Aを1.0Mの硝酸水溶液に室温で1時間浸漬させた後、水洗・乾燥した。次に、1質量%のCP-Aを含むメタノール溶液に1時間浸漬させ、アミノプロピル基を導入した。その後、アミノプロピル基が導入された等方性黒鉛材料を1mmolのEDTAと、縮合剤として1.1倍モルのDMT-MMとを含むメタノール溶液に浸漬し、さらに1時間反応させ、これを希塩酸で洗浄・乾燥して表面にEDTAが導入された黒鉛材料を得た。このEDTAが表面に導入された黒鉛材料に対して電解銅めっきを行い、厚さ8μmの銅めっき膜で被覆された黒鉛材料を得た。めっき膜にむらはなく、めっき膜は、均質な膜質を有していた。得られためっき膜のクロスカット試験結果は0/25、分類は1であった。
 (実施例4)
 CIP-Aを1.0Mの硝酸水溶液に室温で1時間浸漬させた後、水洗・乾燥した。次に、1質量%のN-2(アミノエチル)3-アミノプロピルメチルジメトキシシラン(シランカップリング剤:CP-B)を含むメタノール溶液に1時間浸漬させ、アミノプロピル基を導入した。その後、アミノプロピル基が導入された等方性黒鉛材料を1mmolのtrans-1,2-ジアミノシクロヘキサン-N,N,N’,N’-四酢酸一水和物(CyDTA:キレート剤)と、縮合剤として1.1倍モルのトリアジン系縮合剤(DMT-MM)とを含むメタノール溶液に浸漬し、さらに1時間反応させ、これを希塩酸で洗浄・乾燥して表面にCyDTAが導入された黒鉛材料を得た。このCyDTAが表面に導入された黒鉛材料に対して電解銅めっきを行い、厚さ8μmの銅めっき膜で被覆された黒鉛材料を得た。めっき膜にむらはなく、めっき膜は、均質な膜質を有していた。得られためっき膜のクロスカット試験結果は0/25、分類は0であった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000003
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000004

 (実施例5)
 シランカップリング剤を3-グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(CP-C)としたこと以外は実施例3と同様にして銅めっき膜で被覆された黒鉛材料を得た。得られためっき膜のクロスカット試験結果は0/25、分類は0であった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-C000005

 (実施例6)
 めっき法を無電解めっきとしたこと以外は実施例4と同様にして銅めっき膜で被覆された黒鉛材料を得た。無電解めっきは、CIP-Aを水洗した後、センシタイザーとなるSnClとアクティベーターとなるPdClが添加された前処理液に浸漬し、銅イオン源として硫酸銅を、錯化剤としてEDTAを用いてホルムアルデヒドで還元することで行った。基材表面には厚さは2μmの均一な膜厚の銅が被覆された。得られためっき膜のクロスカット試験結果は0/25、分類は1であった。
(実施例7)
 キレート剤をジエチレントリアミン五酢酸(DTPA)としたこと以外は実施例4と同様にして銅で被覆された黒鉛材料を得た。得られためっき膜のクロスカット試験結果は0/25、分類は0であった。
(実施例8)
 キレート剤をO,O’-ビス(2-アミノエチル)エチレングリコール-N,N,N’,N’-四酢酸(EGTA)としたこと以外は実施例4と同様にして銅で被覆された黒鉛材料を得た。得られためっき膜のクロスカット試験結果は0/25、分類は1であった。
(実施例9)
 キレート剤をトリエチレンテトラミン六酢酸(TTHA)としたこと以外は実施例4と同様にして銅で被覆された黒鉛材料を得た。得られためっき膜のクロスカット試験結果は0/25、分類は0であった。
 (比較例1)
 CIP-Aを1.0Mの硝酸水溶液に室温で1時間浸漬させた後、水洗・乾燥した。次に、1質量%のCP-Aを含むメタノール溶液に1時間浸漬させ、アミノプロピル基を導入した。CP-Aが表面に導入された黒鉛材料に対して電解銅めっきを行い、厚さ8μmの銅めっき膜で被覆された黒鉛材料を得た。めっき膜にむらはなく、めっき膜は、均質な膜質を有していた。得られためっき膜のクロスカット試験結果は1/25、分類は3であった。
 (比較例2)
 CIP-Aを1.0Mの硝酸水溶液に室温で1時間浸漬させた後、水洗・乾燥した。次に、1質量%のCP-Bを含むメタノール溶液に1時間浸漬させ、アミノプロピル基を導入した。CP-Bが表面に導入された黒鉛材料に対して電解銅めっきを行い、銅めっき膜で被覆された黒鉛材料を得た。めっき膜にむらはなく、めっき膜は、均質な膜質を有していた。得られためっき膜のクロスカット試験結果は2/25、分類は3であった。
 (比較例3)
 CP-AをCP-Cとしたこと以外は実施例5と同様にしてCP-Cが表面に導入された黒鉛材料に対して電解銅めっきを行い、銅めっき膜で被覆された黒鉛材料を得た。めっき膜にむらはなく、めっき膜は、均質な膜質を有していた。得られためっき膜のクロスカット試験結果は2/25、分類は3であった。
(比較例4)
 CIP-Aを0.5Mの硝酸水溶液に室温で1時間浸漬させた後、水洗・乾燥してから電解銅めっきを行い、厚さ8μmの銅めっき膜で被覆された黒鉛材料を得た。得られためっき膜には、部分的なはがれが観察され、めっき膜は、均質な膜質を有していなかった。めっき膜のクロスカット試験結果は11/25、分類は3であった。
(比較例5)
 CIP-Aに対して表面処理を行わず、等方性黒鉛材料に対して厚さ8μmの電解銅めっきを行った。得られためっき膜には、部分的なはがれが観察され、めっき膜は、均質な膜質を有していなかった。めっき膜のクロスカット試験結果は7/25、分類は4であった。
(比較例6)
 CIP-Aに対して表面処理を行わず、実施例5と同様に無電解銅めっきを行った。めっき膜のクロスカット試験結果は10/25、分類は5であった。
 (比較例7)
 CIP-Bに対して表面処理を行わず、比較例2と同様に無電解銅めっきを行った。めっき膜のクロスカット試験結果は12/25、分類は5であった。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000006
1  :めっき物
10 :被めっき部材
10a:被めっき部材の表面
11 :めっき膜

Claims (11)

  1.  シランカップリング剤を被めっき部材の表面に化学的に結合させる工程と、
     めっき膜を構成する金属イオンとキレート錯体を形成可能な多官能化合物の複数の官能基の少なくとも一つをシランカップリング剤に化学的に結合させる工程と、
     を含む、めっき前処理方法。
  2.  前記多官能化合物が、カルボキシル基を複数有する、請求項1に記載のめっき前処理方法。
  3.  前記多官能化合物が、めっき膜を構成する金属イオンと結合し得る官能基を3つ以上有する、請求項1または2に記載のめっき前処理方法。
  4.  前記多官能化合物が、エチレンジアミン四酢酸、エチレンジアミン-N,N’-二酢酸、エチレンジアミン-N,N’-二酢酸-N,N’-ジプロピオン酸水和物、ヒドロキシエチルエチレンジアミン三酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、トリエチレンテトラミン六酢酸、ジエチレントリアミン五酢酸、ニトリロ三酢酸、ヒドロキシエチルイミノ二酢酸、L-アスパラギン酸-N-N-二酢酸、ヒドロキシイミノジコハク酸、trans-1,2-ジアミノシクロヘキサン-N,N,N’,N’-四酢酸一水和物、O,O’-ビス(2-アミノエチル)エチレングリコール-N,N,N’,N’-四酢酸からなる群から選ばれた少なくとも1種である、請求項1~3のいずれか一項に記載のめっき前処理方法。
  5.  前記シランカップリング剤として、鎖中及び末端の少なくとも一方に第一級アミノ基、エポキシ基及びイソシアネート基からなる群から選択された少なくとも1つの官能基を有するシランカップリング剤を用いる、請求項1~4のいずれか一項に記載のめっきの前処理方法。
  6.  前記被めっき部材として、ヒドロキシル基が導入可能な無機部材を用いる、請求項1~5のいずれか一項に記載のめっき前処理方法。
  7.  前記被めっき部材として、炭素材料、窒化アルミ材料または窒化ケイ素材料を用いる、請求項6に記載のめっき前処理方法。
  8.  請求項1~7のいずれか一項に記載のめっき前処理方法を行う前処理工程と、
     前記前処理工程を行った前記被めっき部材の表面にめっきを施すことによりめっき膜を形成するめっき工程と、
     を備える、めっき方法。
  9.  前記前処理工程において前記被めっき部材の表面を酸化する工程を行う、請求項8に記載のめっき方法。
  10.  被めっき部材と、
     被めっき部材の表面に化学的に結合したシランカップリング剤と、
     複数の官能基の少なくとも一つが前記シランカップリング剤と結合した、めっき膜を構成する金属イオンとキレート錯体を形成可能な多官能化合物と、
     を備える、めっき前処理物。
  11.  被めっき部材と、
     被めっき部材の表面に化学的に結合したシランカップリング剤と、
     複数の官能基の少なくとも一つが前記シランカップリング剤と結合した、めっき膜を構成する金属イオンとキレート錯体を形成可能な多官能化合物と、
     前記多官能器化合物の前記シランカップリング剤と結合していない複数の官能基と結合しているめっき膜と、
     を備える、めっき物。
PCT/JP2018/003725 2017-02-13 2018-02-05 めっきの前処理方法、めっき方法、めっき前処理物及びめっき物 Ceased WO2018147205A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2018553162A JP6513308B2 (ja) 2017-02-13 2018-02-05 めっきの前処理方法、めっき方法、めっき前処理物及びめっき物

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2017024451 2017-02-13
JP2017-024451 2017-02-13

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2018147205A1 true WO2018147205A1 (ja) 2018-08-16

Family

ID=63108058

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2018/003725 Ceased WO2018147205A1 (ja) 2017-02-13 2018-02-05 めっきの前処理方法、めっき方法、めっき前処理物及びめっき物

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JP6513308B2 (ja)
TW (1) TW201840910A (ja)
WO (1) WO2018147205A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021166709A1 (ja) * 2020-02-20 2021-08-26 東京エレクトロン株式会社 基板液処理方法及び基板液処理装置
JP2022132188A (ja) * 2021-02-26 2022-09-07 Jsr株式会社 多層配線基板の製造方法、積層膜形成用キット及び組成物
JP2022132189A (ja) * 2021-02-26 2022-09-07 Jsr株式会社 多層配線基板の製造方法、積層膜形成用キット及び組成物

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0456776A (ja) * 1990-06-25 1992-02-24 Hitachi Chem Co Ltd 無電解めっきの前処理液
WO2004024984A1 (ja) * 2002-09-10 2004-03-25 Nikko Materials Co., Ltd. 金属めっき方法および前処理剤
JP2010109202A (ja) * 2008-10-31 2010-05-13 Fujitsu Ltd 回路基板の製造方法及び回路基板
JP5857386B2 (ja) * 2011-09-02 2016-02-10 地方独立行政法人 大阪市立工業研究所 無電解めっきの前処理皮膜形成用組成物

Family Cites Families (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005213576A (ja) * 2004-01-29 2005-08-11 Nikko Materials Co Ltd 無電解めっき前処理剤、それを用いる無電解めっき方法、及び無電解めっき物
JP5087763B2 (ja) * 2005-09-13 2012-12-05 国立大学法人 香川大学 金属被膜を有するプラスチック成形体とその製造方法およびそれらを用いた物品
JP2012046781A (ja) * 2010-08-25 2012-03-08 Hyogo Prefecture 高周波回路用ポリテトラフルオロエチレン基板の銅メッキ方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0456776A (ja) * 1990-06-25 1992-02-24 Hitachi Chem Co Ltd 無電解めっきの前処理液
WO2004024984A1 (ja) * 2002-09-10 2004-03-25 Nikko Materials Co., Ltd. 金属めっき方法および前処理剤
JP2010109202A (ja) * 2008-10-31 2010-05-13 Fujitsu Ltd 回路基板の製造方法及び回路基板
JP5857386B2 (ja) * 2011-09-02 2016-02-10 地方独立行政法人 大阪市立工業研究所 無電解めっきの前処理皮膜形成用組成物

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021166709A1 (ja) * 2020-02-20 2021-08-26 東京エレクトロン株式会社 基板液処理方法及び基板液処理装置
JPWO2021166709A1 (ja) * 2020-02-20 2021-08-26
US20230055960A1 (en) * 2020-02-20 2023-02-23 Tokyo Electron Limited Substrate liquid processing method and substrate liquid processing apparatus
JP7451676B2 (ja) 2020-02-20 2024-03-18 東京エレクトロン株式会社 基板液処理方法及び基板液処理装置
JP2022132188A (ja) * 2021-02-26 2022-09-07 Jsr株式会社 多層配線基板の製造方法、積層膜形成用キット及び組成物
JP2022132189A (ja) * 2021-02-26 2022-09-07 Jsr株式会社 多層配線基板の製造方法、積層膜形成用キット及び組成物
JP7648560B2 (ja) 2021-02-26 2025-03-18 Jsr株式会社 多層配線基板の製造方法、積層膜形成用キット及び組成物
JP7682819B2 (ja) 2021-02-26 2025-05-26 Jsr株式会社 多層配線基板の製造方法、積層膜形成用キット及び組成物

Also Published As

Publication number Publication date
JPWO2018147205A1 (ja) 2019-02-14
TW201840910A (zh) 2018-11-16
JP6513308B2 (ja) 2019-05-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
WO2018147205A1 (ja) めっきの前処理方法、めっき方法、めっき前処理物及びめっき物
CN101319318B (zh) 无电镀金浴、无电镀金方法及电子部件
CN103628050B (zh) 一种在金属表面制备石墨烯/硅烷复合薄膜的方法
TWI273146B (en) Method for manufacturing copper-resin composite material
US9136244B2 (en) Semiconductor package having a metal member and a resin mold, which are bonded to a silane coupling agent and an intermediate layer of an oxide film
KR20100103015A (ko) 리드 프레임 및 그 제조방법
CN101319316A (zh) 一种在铝及铝合金表面化学镀镍的方法
CN101319319A (zh) 无电镀金浴、无电镀金方法及电子部件
JP7336170B1 (ja) 積層体の製造方法
CN101548029A (zh) 耐热老化特性优良的金属包覆聚酰亚胺树脂基板的制造方法
WO2014042829A1 (en) Direct electroless palladium plating on copper
JP4792045B2 (ja) パラジウム層を堆積する方法およびこのためのパラジウム浴
JP2003013278A (ja) 金めっき液
CN103726037A (zh) 一种化学浸钯液
CN1302235A (zh) 低浸蚀碱性锌酸盐组合物与锌酸化铝的方法
US9875984B2 (en) Substrate surface metallization method and substrate having metallized surface manufactured by the same
CN109576683B (zh) 一种聚合物薄膜表面化学镀的方法
TW201233755A (en) Adhesion promoting composition for metal leadframes
US9514965B2 (en) Substrate surface metallization method and substrate having metallized surface manufactured by the same
JP5978587B2 (ja) 半導体パッケージ及びその製造方法
US9888585B2 (en) Method for manufacturing wiring structure, copper displacement plating solution, and wiring structure
JP7682770B2 (ja) 銀焼結接合のためのめっき方法、銀焼結接合のためのめっき皮膜、パワーモジュール用基板、半導体素子及び半導体装置
JP7249804B6 (ja) 銀めっき液組成物
TWI804539B (zh) 無電鍍金鍍浴
JP2013104087A (ja) ニッケルメッキ液

Legal Events

Date Code Title Description
ENP Entry into the national phase

Ref document number: 2018553162

Country of ref document: JP

Kind code of ref document: A

121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 18751432

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 18751432

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1