WO2018043644A1 - 太陽電池および太陽電池の製造方法 - Google Patents
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Definitions
- This disclosure relates to a solar cell and a method for manufacturing a solar cell.
- a thin-film solar cell generally has a structure in which a plurality of solar cell elements arranged on a substrate are electrically connected in series (see, for example, the description of JP-A-2007-317858).
- a solar cell and a method for manufacturing the solar cell are disclosed.
- the solar cell includes a plurality of solar cell elements, a connection portion, and a transparent portion.
- the plurality of solar cell elements include a first solar cell element and a second solar cell element that are arranged in a plane along the first direction and are adjacent to each other.
- the connection portion electrically connects the first solar cell element and the second solar cell element.
- the transparent part is located between the connection part and the second solar cell element.
- Each of the solar cell elements includes a first electrode layer, a second electrode layer, and a semiconductor layer located between the first electrode layer and the second electrode layer.
- the first electrode layer of the first solar cell element and the first electrode layer of the second solar cell element are arranged with a first gap in between.
- the second electrode layer of the first solar cell element and the second electrode layer of the second solar cell element are arranged with a second gap in between.
- the second gap exists at a position shifted in the first direction from the first gap.
- the connection portion electrically connects the second electrode layer of the first solar cell element and the first electrode layer of the second solar cell element.
- the transparent portion is present at a position shifted in the first direction from the connection portion between the second electrode layer of the first solar cell element and the first electrode layer of the second solar cell element.
- the translucency is higher than that of the semiconductor layer, and at least one of the first electrode layer and the second electrode layer is higher in translucency than the semiconductor layer.
- One embodiment of a method for manufacturing a solar cell includes steps (a) to (d).
- a substrate is prepared.
- a first first electrode layer and a second first electrode layer arranged in a plane along the first direction on the surface of the substrate are formed.
- a semiconductor region for a perovskite solar cell is formed on the first first electrode layer and the second first electrode layer.
- a connection portion and a second electrode layer are formed.
- the connecting portion is located in a gap between the first semiconductor layer and the second semiconductor layer arranged in a plane along the first direction in the semiconductor region, and the second first electrode layer. Is in an electrically connected state.
- the second electrode layer is located on the first semiconductor layer and is electrically connected to the connection portion. After the semiconductor region is formed, a part of the semiconductor region located on the second first electrode layer is heated, so that the translucency of the part is increased.
- FIG. 1 is a plan view showing a configuration of an example of a solar cell according to the first embodiment.
- FIG. 2 is a cross-sectional view showing a cross section of the solar cell along the line II-II in FIG.
- FIG. 3 is a flowchart showing a flow according to an example of a method for manufacturing a solar cell.
- FIG. 4 is a cross-sectional view showing an example of a state in the middle of manufacturing a solar cell.
- FIG. 5 is a cross-sectional view showing an example of a state in the middle of manufacturing a solar cell.
- FIG. 6 is a cross-sectional view showing an example of a state in the middle of manufacturing a solar cell.
- FIG. 1 is a plan view showing a configuration of an example of a solar cell according to the first embodiment.
- FIG. 2 is a cross-sectional view showing a cross section of the solar cell along the line II-II in FIG.
- FIG. 3 is a flowchart showing a flow according
- FIG. 7 is a cross-sectional view showing an example of a state in the middle of manufacturing a solar cell.
- FIG. 8 is a cross-sectional view showing an example of a state in the middle of manufacturing a solar cell.
- FIG. 9 is a cross-sectional view showing an example of a state in the middle of manufacturing a solar cell.
- FIG. 10 is a cross-sectional view showing an example of a state in the middle of manufacturing a solar cell.
- FIG. 11 is a cross-sectional view showing a cross section of an example of the solar cell according to the second embodiment.
- FIG. 12 is a cross-sectional view showing a cross section of an example of the solar cell according to the third embodiment.
- FIG. 13 is sectional drawing which shows the cross section of an example of the solar cell concerning 4th Embodiment.
- FIG. 14 is a cross-sectional view showing a cross section of an example of the solar cell according to the fifth embodiment.
- FIG. 15 is a cross-sectional view illustrating a configuration of an example of a solar cell.
- each solar cell element 12 has a configuration in which a first electrode layer 12a, a semiconductor layer 12b having a PN junction or a PIN junction, and a second electrode layer 12c are stacked. Furthermore, between the adjacent solar cell elements 12, the first electrode layer 12 a and the second electrode layer 12 c are electrically connected, so that the adjacent solar cell elements 12 are electrically connected in series. Yes. Specifically, a portion (also referred to as a connection portion) 14 that electrically connects the first electrode layer 12a and the second electrode layer 12c exists between adjacent solar cell elements 12, for example.
- a region separating the first electrode layers 12a also referred to as a first separation region
- a region separating the second electrode layers 12c Da2, which is also referred to as a second separation region
- the dead space can be a region that does not use incident light.
- This dead space can be generated, for example, when the second isolation region Da2 is formed by scribing or the like after the first electrode layer 12a, the semiconductor layer 12b, and the second electrode layer 12c are stacked on the substrate 13.
- a dead space can be formed by forming the connection portion 14 and the second separation region Da2 apart from each other so that the connection portion 14 is not scraped by scribing or the like.
- the inventors of the present application have created a technology that can effectively use incident light for a thin-film solar cell.
- the solar cell 1 includes, for example, a substrate 3, a plurality of solar cell elements 2, a connection portion 4, and a transparent portion 5.
- a perovskite solar cell is employed.
- the substrate 3 can play a role of supporting the plurality of solar cell elements 2 and a role of protecting the plurality of solar cell elements 2.
- the substrate 3 for example, if the substrate 3 has translucency with respect to light in a specific range of wavelengths, the light transmitted through the substrate 3 can be incident on the plurality of solar cell elements 2.
- a flat plate having a rectangular board surface is employed.
- a resin such as glass or acrylic or polycarbonate is employed as the material of the substrate 3, the substrate 3 having translucency with respect to light in a specific range of wavelengths can be realized.
- the glass for example, a material having high light transmittance such as white plate glass, tempered glass, and heat ray reflective glass can be employed.
- the light having a wavelength in a specific range refers to a wavelength in a range in which the solar cell element 2 can perform photoelectric conversion.
- the plurality of solar cell elements 2 are arranged in a plane along the + X direction as the first direction.
- arranging in a plane means that each solar cell element 2 is located and a plurality of solar cell elements 2 are arranged along a virtual or actual plane.
- the plurality of solar cell elements 2 are arranged along the surface of the substrate 3 on the substrate 3.
- the plurality of solar cell elements 2 include five solar cell elements 2 arranged along the first direction (+ X direction) on the substrate 3.
- the five solar cell elements 2 include, for example, a first solar cell element 21, a second solar cell element 22, a third solar cell element 23, a fourth solar cell element 24, and a fifth sun, which are arranged in order in the + X direction.
- a battery element 25 is included.
- the plurality of solar cell elements 2 includes an nth solar cell element 2n (n is a natural number of 1 to 5).
- each solar cell element 2 has a strip shape with the + Y direction as the longitudinal direction.
- Each solar cell element 2 includes a first electrode layer 2a, a semiconductor layer 2b, and a second electrode layer 2c.
- first electrode layer 2a and the second electrode layer 2c have higher translucency with respect to light in a specific range of wavelengths than the semiconductor layer 2b, in each solar cell element 2, Incident light can pass through at least one of the first electrode layer 2a and the second electrode layer 2c. As a result, incident light can be applied to the semiconductor layer 2b.
- the first electrode layer 2 a is located on the substrate 3. In other words, the first electrode layer 2a is located closer to the substrate 3 than the second electrode layer 2c.
- the first electrode layer 2a can collect charges generated by photoelectric conversion in response to light irradiation on the semiconductor layer 2b.
- the substrate 3 has translucency
- the first electrode layer 2a has higher translucency with respect to light with a specific range of wavelengths than the semiconductor layer 2b, for example, light with a specific range of wavelengths can be transmitted.
- the light can enter the semiconductor layer 2b through the substrate 3 and the first electrode layer 2a.
- substrate 3 which has translucency comprises the front surface as a light-receiving surface can be implement
- the specific range is used.
- the transparent conductive oxide can include, for example, indium tin oxide (ITO), fluorine-doped tin oxide (FTO), zinc oxide (ZnO), or the like.
- the five first electrode layers 2a are arranged in a plane in order in the + X direction.
- the first electrode layer 2a of the m-th solar cell element 2m (m is a natural number from 1 to 4) and the first electrode layer 2a of the (m + 1) -th solar cell element 2 (m + 1) have a gap (first They are also lined up across G1.
- the first electrode layer 2a of the first solar cell element 21 and the first electrode layer 2a of the second solar cell element 22 are aligned with a gap (also referred to as a first gap) G1.
- Each first gap G1 has a longitudinal direction along the + Y direction.
- there is a first groove portion P1 having the substrate 3 as a bottom surface and two end surfaces of the two first electrode layers 2a sandwiching the first gap G1 facing each other as side surfaces.
- the semiconductor layer 2b is located between the first electrode layer 2a and the second electrode layer 2c.
- the semiconductor layer 2b of the mth solar cell element 2m is located on the ⁇ X direction end of the first electrode layer 2a of the (m + 1) th solar cell elements 2 (m + 1) adjacent in the + X direction.
- the semiconductor layer 2b of the first solar cell element 21 is located on the ⁇ X direction end of the first electrode layer 2a of the adjacent second solar cell elements 22 in the + X direction.
- the semiconductor layer 2b has, for example, a structure in which a semiconductor layer having a perovskite structure (also referred to as a perovskite semiconductor) (perovskite semiconductor layer) and a hole transport layer (HTL) are stacked.
- a semiconductor layer having a perovskite structure also referred to as a perovskite semiconductor
- a hole transport layer HTL
- the semiconductor layer 2b is a perovskite semiconductor
- the light having a specific range of wavelengths includes visible light and infrared light.
- the perovskite semiconductor can include, for example, a halide organic-inorganic perovskite semiconductor.
- the halide organic-inorganic perovskite semiconductor can be composed of an organic perovskite such as CH 3 NH 3 PbI 3 , for example.
- the organic perovskite can be formed, for example, by applying a raw material liquid on the first electrode layer 2a located on the substrate 3 and drying it.
- the organic perovskite is a thin film having crystallinity.
- the first gap G1 is also filled with the raw material liquid, and a part of the perovskite semiconductor can be formed also in the first gap G1 by drying.
- the raw material liquid can be generated, for example, by dissolving the halogenated alkylamine and lead halide as raw materials in a solvent.
- the hole transport layer (HTL) can collect and output holes.
- a material for the hole transport layer (HTL) for example, spiro-OMeTAD, which is a soluble diamine derivative, is employed.
- the PIN junction is used. Regions can be formed. In the PIN junction region, power generation can be performed by photoelectric conversion according to light irradiation.
- the semiconductor layer 2b for example, an n-type semiconductor layer may be located between the perovskite semiconductor layer and the first electrode layer 2a. At this time, the PIN junction region can be formed only by the semiconductor layer 2b.
- the second electrode layer 2c is located on the semiconductor layer 2b.
- the second electrode layer 2c can collect charges generated by photoelectric conversion in accordance with light irradiation on the semiconductor layer 2b.
- the second electrode layer 2c has higher translucency with respect to light in a specific range of wavelengths than the semiconductor layer 2b, for example, light incident from the side opposite to the substrate 3 is incident on the second electrode layer. 2c can be transmitted and incident on the semiconductor layer 2b.
- the solar cell 1 in which both surfaces in the ⁇ Z directions are light receiving surfaces can be realized. As a result, the incident light on the solar cell 1 can be used effectively.
- the transparent conductive oxide may include, for example, indium tin oxide (ITO), fluorine-doped tin oxide (FTO), zinc oxide (ZnO), or the like.
- the five second electrode layers 2c are arranged in a plane in order in the + X direction.
- the second electrode layer 2c of the mth solar cell element 2m and the second electrode layer 2c of the (m + 1) th solar cell element 2 (m + 1) are arranged with a gap (also referred to as a second gap) G2 therebetween.
- the second electrode layer 2c of the first solar cell element 21 and the second electrode layer 2c of the second solar cell element 22 are arranged with a gap (second gap) G2 interposed therebetween.
- Each second gap G2 has, for example, a longitudinal direction along the + Y direction.
- a third groove portion P3 having the bottom surface of the first electrode layer 2a is configured.
- the second electrode layer 2c protrudes in the + X direction rather than the first electrode layer 2a. From another point of view, the second gap G2 exists at a position shifted in the first direction (+ X direction) from the first gap G1.
- the connection unit 4 electrically connects two adjacent solar cell elements 2 among the plurality of solar cell elements 2 in series.
- the mth connecting portion 4m electrically connects the mth solar cell element 2m and the (m + 1) th solar cell element 2 (m + 1).
- the first connection unit 41 electrically connects the first solar cell element 21 and the second solar cell element 22.
- the mth connection portion 4m electrically connects the second electrode layer 2c of the mth solar cell element 2m and the first electrode layer 2a of the (m + 1) th solar cell element 2 (m + 1).
- the first connection portion 41 electrically connects the second electrode layer 2 c of the first solar cell element 21 and the first electrode layer 2 a of the second solar cell element 22.
- the some solar cell element 2 can be electrically connected in series.
- the connecting portion 4 is located between the semiconductor layer 2b and the transparent portion 5 in the + X direction.
- the second groove portion P2 having the + X direction end surface of the semiconductor layer 2b and the ⁇ X direction end surface of the transparent portion 5 as both side surfaces and the ⁇ Z direction surface of the first electrode layer 2a as the bottom surface is formed.
- the second groove portion P2 has a longitudinal direction along the + Y direction.
- the connection part 4 is filled in this 2nd groove part P2.
- the transparent part 5 has higher translucency with respect to light of a specific range of wavelengths than the semiconductor layer 2b.
- the transparent part 5 can be formed, for example, by locally heating a part of the perovskite semiconductor layer.
- the m-th transparent portion 5m is located between the m-th connecting portion 4m of the m-th solar cell element 2m and the (m + 1) -th solar cell element 2 (m + 1).
- the first transparent portion 51 is located between the first connection portion 41 of the first solar cell element 21 and the second solar cell element 22. More specifically, the m-th transparent portion 5m is located between the second electrode layer 2c of the m-th solar cell element 2m and the first electrode layer 2a of the (m + 1) th solar cell element 2 (m + 1). It exists in the position which shifted
- the first transparent portion 51 is positioned in the first direction from the first connection portion 41 between the second electrode layer 2 c of the first solar cell element 21 and the first electrode layer 2 a of the second solar cell element 22 ( + X direction).
- the presence of such a transparent portion 5 can reduce, for example, dead space that absorbs incident light but cannot perform photoelectric conversion according to the incident light and does not contribute to power generation. Thereby, incident light can be used effectively.
- the first electrode layer 2a has a portion (also referred to as a first protruding portion) 2ae protruding in the ⁇ X direction from the semiconductor layer 2b and the second electrode layer 2c. ing.
- the semiconductor layer 2b and the second electrode layer 2c protrude in the + X direction from the first electrode layer 2a.
- an output first conductor W1 having a first polarity is electrically connected.
- an output second conductor W2 having the second polarity is electrically connected.
- the second polarity is a positive electrode.
- the second polarity is a negative electrode.
- the solar cell 1 can be manufactured by performing the first step ST1 to the fifth step ST5 in the order described.
- a substrate 3 is prepared as shown in FIG.
- the substrate 3 for example, a flat plate having translucency with respect to light in a specific range of wavelengths and having a rectangular board surface is employed.
- a plurality of first electrode layers 2a arranged in a plane along the first direction (+ X direction) are formed on the surface of the substrate 3.
- the electrode layer 2 a 0 is formed on one surface of the substrate 3.
- the electrode layer 2a0 can be formed by sputtering or vapor deposition, for example.
- the electrode layer 2a0 can be made of a transparent conductive oxide such as ITO, FTO, or ZnO.
- the thickness of the electrode layer 2a0 can be set to about 10 nm to 1000 nm, for example.
- the electrode layer 2a0 is separated into a plurality of first electrode layers 2a.
- a plurality of first electrode layers 2a are formed by forming a plurality of first groove portions P1 (first gaps G1).
- first to fifth first electrode layers 2a arranged in a plane along the first direction (+ X direction) on the surface of the substrate 3 are formed.
- the plurality of first groove portions P1 (first gaps G1) can be formed by, for example, irradiating a region of a desired pattern in the electrode layer 2a0 with a laser.
- Each first groove portion P1 (each first gap G1) can be formed such that the longitudinal direction is the + Y direction.
- each first groove portion P1 is set to about 30 ⁇ m to 300 ⁇ m, for example.
- the width of each first electrode layer 2a in the first direction (+ X direction) is set to, for example, about 1 mm to 10 mm.
- the first groove portion P1 (first gap G1) may be formed by, for example, scribing.
- a semiconductor region 2b0 for a perovskite solar cell is formed on the plurality of first electrode layers 2a.
- the plurality of first electrode layers 2a include, for example, first to fifth first electrode layers 2a.
- the semiconductor region 2b0 can be formed by, for example, application of a raw material liquid and drying.
- the semiconductor region 2b0 has a structure in which a plurality of layers including a perovskite semiconductor layer and a hole transport layer are stacked.
- the hole transport layer may be formed on the perovskite semiconductor layer by applying and drying the second raw material liquid.
- the thickness of the semiconductor region 2b0 can be set to, for example, about 100 nm to 2000 nm.
- the semiconductor region 2b0 enters the plurality of first groove portions P1 (first gaps G1).
- the semiconductor region 2b0 is separated into a plurality of semiconductor layers 2b.
- a plurality of semiconductor layers 2b are formed by forming a plurality of second groove portions P2.
- the first to fifth semiconductor layers 2b arranged in a plane along the first direction (+ X direction) on the plurality of first electrode layers 2a are formed.
- the m-th second groove portion P2 is scribed, for example, in a region of a desired pattern at a position shifted in the + X direction from the m-th first groove portion P1 in the semiconductor region 2b0.
- the m-th second groove P2 is formed so as to be separated from the m-th first groove P1 by about 10 ⁇ m to 100 ⁇ m in the + X direction.
- Each second groove P2 can be formed such that the longitudinal direction is the + Y direction.
- the width of each second groove portion P2 is set to about 30 ⁇ m to 300 ⁇ m, for example.
- connection part 4 and the second electrode layer 2c are formed.
- the electrode layer 2c0 is formed on the semiconductor region 2b0.
- the electrode layer 2c0 can be formed by, for example, sputtering or vapor deposition.
- the electrode layer 2c0 can be made of, for example, a transparent conductive oxide such as ITO, FTO, or ZnO.
- the thickness of the electrode layer 2c0 can be set to about 10 nm to 1000 nm, for example.
- the electrode layer 2c0 enters the second groove portion P2 related to the semiconductor region 2b0. Thereby, the 1st connection part 41, the 2nd connection part 42, the 3rd connection part 43, and the 4th connection part 44 are formed.
- the mth semiconductor layer 2b and the (m + 1) th semiconductor layer 2b are located in the gap (second groove portion P2).
- a connecting portion 4m is formed.
- the m-th connection portion 4m is in a state of being electrically connected to the (m + 1) th first electrode layer 2a.
- the first connection portion 41 is in a state of being electrically connected to the second first electrode layer 2a.
- the electrode layer 2c0 is separated into a plurality of second electrode layers 2c.
- a plurality of second electrode layers 2c are formed by forming a plurality of third groove portions P3 (second gaps G2).
- P3 second gaps G2
- the first to fifth lines arranged in a plane along the first direction (+ X direction) on the first to fifth semiconductor layers 2b arranged in a plane along the first direction (+ X direction).
- a second electrode layer 2c is formed.
- the mth second electrode layer 2c is located on the mth semiconductor layer 2b.
- the first second electrode layer 2c is located on the first semiconductor layer 2b.
- the mth second electrode layer 2c is in a state of being electrically connected to the mth connection portion 4m.
- the first second electrode layer 2 c is in a state of being electrically connected to the first connection portion 41.
- the m-th third groove portion P3 (second gap G2) is scribed, for example, in a region of a desired pattern at a position shifted in the + X direction from the m-th second groove portion P2 in the semiconductor region 2b0. Or the like.
- the mth third groove P3 is formed to be separated from the mth second groove P2 by about 10 ⁇ m to 100 ⁇ m in the + X direction.
- the width of each third groove portion P3 (each second gap G2) is set to about 10 ⁇ m to 100 ⁇ m, for example.
- the width in the first direction (+ X direction) of each second electrode layer 2c is, for example, about 1 mm to 10 mm.
- the m-th third groove portion P3 (second gap G2) in the first direction (+ X direction) is first than the m-th first gap G1 and the m-th connection portion 4m in the first direction (+ X direction). It exists in a position shifted in the direction (+ X direction). At this time, an mth portion Ds1 that becomes a dead space of the semiconductor region 2b0 may be formed between the mth connection portion 4m and the mth third groove portion P3 (second gap G2).
- the mth second electrode layer 2c is located from above the mth semiconductor layer 2b to above the mth portion Ds1.
- the portion Ds1 serving as the dead space of the semiconductor region 2b0 is heated, so that the transparent portion 5 having improved translucency with respect to light in a specific range of wavelengths in the portion Ds1 is formed.
- the m-th portion Ds1 located on the (m + 1) -th first electrode layer 2a in the semiconductor region 2b0 is heated, so that the wavelength in a specific range in the m-th portion.
- the transparent portion 5 in which the translucency with respect to light is higher than that of the semiconductor region 2b0 is formed.
- the heating of the part Ds1 can be realized by, for example, local laser irradiation.
- the band gap of the perovskite semiconductor constituting part of Ds1 is increased by, for example, heating at a relatively low temperature of about 100 ° C. to 200 ° C. with a laser.
- the perovskite semiconductor can be changed to a wide-gap semiconductor that has higher translucency with respect to light in a specific range of wavelengths than the original perovskite semiconductor.
- Pb-I such as CH 3 NH 3 PbI 3 , CsPbI 3 and NH 2 CHNH 2 PbI 3 is used.
- the hole transport layer constituting part of Ds1 may be made of a material having high translucency with respect to light in a specific range of wavelengths. For this reason, the part Ds1 as a dead space can be made transparent by heating at a relatively low temperature by applying small energy.
- a compound having a perovskite crystal structure or a crystal structure similar to this crystal structure is represented by a general formula of ABX 3 , A 2 BX 4 , AB′X 4 , A′BX 4 .
- A represents monovalent cations such as CH 3 NH 3 + , CH (NH 2 ) 2 + , and Cs +, for example.
- a ′ and B represent divalent cations such as Pb 2+ and Sn 2+ .
- B ′ represents a trivalent cation such as Bi 3+ or Sb 3+ .
- X represents a monovalent anion such as Cl ⁇ , Br ⁇ and I ⁇ .
- the laser output is set to about 0.1 W to 1 W, for example.
- the wavelength of the laser beam light is set to, for example, about 400 nm to 700 nm.
- the diameter of the laser beam is set to, for example, about 40 ⁇ m.
- the scanning speed of the laser beam is set to 1200 mm / second, for example.
- Light having a wavelength of 400 nm to 700 nm is not absorbed by the TCO but can be absorbed by the perovskite semiconductor. Thereby, a perovskite semiconductor can be heated locally.
- the transparent portion 5 By forming the transparent portion 5 as described above, for example, although the incident light is absorbed, the dead space that does not contribute to power generation because the photoelectric conversion according to the incident light cannot be performed can be reduced. . Thereby, incident light can be used effectively.
- the presence of the transparent portion 5 absorbs incident light, but the dead space that does not contribute to power generation because photoelectric conversion according to the incident light cannot be performed is reduced. Can do. Thereby, incident light can be used effectively.
- the dead space is reduced due to the presence of the transparent portion 5, a part of the incident light that has been lost due to the presence of the dead space can be easily emitted from the back surface as the non-light-receiving surface of the solar cell 1. .
- a see-through solar cell having a large amount of transmitted light and an excellent appearance can be realized.
- the substrate 3 may be located on the back side instead of the front side.
- a solar cell 1A according to the second embodiment shown in FIG. 11 has a configuration in which the top and bottom of the solar cell 1 according to the first embodiment shown in FIG. 2 are inverted.
- the solar cell 1A according to the second embodiment includes a substrate 3, for example.
- a plurality of solar cell elements 2 are arranged along the surface of the substrate 3 on the substrate 3.
- the first electrode layer 2a is located closer to the substrate 3 than the second electrode layer 2c.
- the 2nd electrode layer 2c has the translucency with respect to the light of the wavelength of a specific range rather than the semiconductor layer 2b. If such a configuration is employed, for example, in the solar cell 1A in which the opposite side of the substrate 3 is the front surface as the light receiving surface, incident light can be effectively used.
- the first embodiment and the second embodiment there may be a reflecting portion that reflects light in a specific range of wavelengths that is transmitted through the transparent portion 5 and enters the semiconductor layer 2b.
- a reflecting portion that reflects light in a specific range of wavelengths that is transmitted through the transparent portion 5 and enters the semiconductor layer 2b.
- a specific range that passes through the transparent part 5 There may be a reflection part capable of reflecting light of a wavelength. If such a configuration is adopted, for example, light transmitted through the transparent portion 5 can be reflected by the reflecting portion and incident on the semiconductor layer 2b. At this time, the light reflected by the reflecting portion can be used for photoelectric conversion by the semiconductor layer 2b. Thereby, incident light can be used effectively.
- the second electrode layer 2c transmits the transparent portion 5. It can serve as an electrode layer (also referred to as a metal electrode layer) as a reflection part capable of reflecting light having a specific range of wavelengths.
- the first electrode layer 2a if a metal that does not transmit light with respect to light in a specific range is used as the material of the first electrode layer 2a, the first electrode layer 2a becomes the transparent portion 5. It can play a role as a metal electrode layer as a reflection part capable of reflecting light in a specific range of wavelengths that passes through.
- any one of the first electrode layer 2a and the second electrode layer 2c may be a metal electrode layer that can reflect light in a specific range of wavelengths that are transmitted through the transparent portion 5. Conceivable.
- the material of the metal electrode layer for example, a metal material excellent in conductivity and light reflection characteristics such as aluminum can be adopted.
- a metal material excellent in conductivity and light reflection characteristics such as aluminum
- at least a part of light having a wavelength in a specific range that passes through the transparent portion 5 can be reflected by the surface of the metal electrode layer and incident on the semiconductor layer 2b.
- the light reflected by the metal electrode layer can be used for photoelectric conversion by the semiconductor layer 2b.
- the incident light with respect to the solar cells 1 and 1A can be used effectively.
- the configuration in which the light transmitted through the transparent portion 5 is reflected and incident on the semiconductor layer 2b does not become large and can be easily realized.
- the second electrode layer 2c has higher translucency with respect to light in a specific range of wavelengths than the semiconductor layer 2b, the light is applied to the back side as the non-light receiving surface.
- a reflection part that reflects the light may be added.
- a solar cell 1 ⁇ / b> B to which a reflection part Bs ⁇ b> 1 that can scatter light by irregularly reflecting light, such as a white back sheet, may be employed.
- the reflecting portion Bs1 may be supported by a sealing material 6 such as ethylene vinyl acetate copolymer (EVA), for example.
- EVA ethylene vinyl acetate copolymer
- part of the incident light that has been optically lost due to the presence of the dead space so far is transmitted through the transparent portion 5 in accordance with the reduction of the dead space.
- light that passes through the transparent part 5 can be reflected by the reflecting part Bs1 and incident on the semiconductor layer 2b.
- light can be absorbed in a region on the back surface side of the semiconductor layer 2b in the solar cell 1.
- a part of the light absorbed here can be used for photoelectric conversion. For this reason, incident light can be used effectively.
- a solar cell 1 ⁇ / b> C having a portion (also referred to as a reflection portion) Mr ⁇ b> 1 where the substrate 3 reflects light with respect to light irradiation from the + Z side is provided. It may be adopted. With such a configuration, part of the incident light that has been optically lost due to the presence of the dead space so far is transmitted through the transparent portion 5 in accordance with the reduction of the dead space. And the light which permeate
- first embodiment and the second embodiment for example, one or more types of other suns different from the plurality of solar cell elements 2 that receive light transmitted through the plurality of solar cell elements 2 arranged in a plane.
- Battery element Sc1 may exist.
- a plurality of suns are arranged on an imaginary straight line that passes through a part of the first electrode layer 2 a and a part of the second electrode layer 2 c that are located across the transparent part 5.
- a solar cell 1D including one or more other solar cell elements Sc1 different from the battery element 2 may be employed.
- each of the first electrode layer 2a and the second electrode layer 2c only needs to have higher translucency with respect to light in a specific range of wavelengths than the semiconductor layer 2b.
- the 1st electrode layer 2a and the 2nd electrode layer 2c should just be comprised with materials, such as TCO whose translucency with respect to the light of the wavelength of a specific range is higher than the semiconductor layer 2b.
- a plurality of solar cell elements 2 as top cells absorb visible light and near infrared light and use them for photoelectric conversion.
- a configuration in which the other solar cell element Sc1 forming the bottom cell absorbs infrared light having a wavelength longer than that of near-infrared light and uses it for photoelectric conversion can be considered.
- this other solar cell element Sc1 for example, one having a semiconductor layer made of silicon crystal can be considered.
- tandem solar cell 1D When the tandem solar cell 1D is employed, for example, light transmitted through the transparent portion 5 can be used for photoelectric conversion in the other solar cell element Sc1, so that incident light is effectively used to increase power generation. Can do. As a result, conversion efficiency can be increased.
- the semiconductor region 2b0 after the semiconductor region 2b0 is formed, at any timing, a part Ds1 of the semiconductor region 2b0 or this part Ds1
- the part corresponding to may be clarified by heating.
- the portion Ds1 of the semiconductor region 2b0 is made transparent by heating after the third groove portion P3 is formed in the semiconductor region 2b0, the semiconductor layer 2b constituting the solar cell element 2 is unlikely to deteriorate.
- a part Ds1 of the semiconductor region 2b0 may be heated by contact of a member or the like.
- the plurality of second electrode layers 2c are preliminarily formed in the third groove portion P3 by patterning by vapor deposition using a mask or the like. You may form with the form which has (2nd gap
- the third groove portion P3 (second gap G2) may be anything that separates the plurality of second electrode layers 2c from each other, and reaches the semiconductor region 2b0. It does not have to be. For this reason, for example, the step of scribing the electrode layer 2c0 and the semiconductor region 2b0 can be omitted.
- the plurality of semiconductor layers 2b are preliminarily formed in the second groove portion P2 by patterning by a coating method using a mask or the like. You may form in the form which has. In this case, the step of forming the second groove portion P2 by scribing or the like after the semiconductor region 2b0 is formed can be omitted.
- the solar cells 1, 1A, 1B, 1C, and 1D according to the first embodiment, the second embodiment, the third embodiment, and the fourth embodiment, for example, six or more solar cell elements 2 are arranged in a plane. Alternatively, two or more and four or less solar cell elements 2 may be arranged in a plane.
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Abstract
太陽電池は、複数の素子と接続部と透明部とを備える。複数の素子は、第1方向に沿って平面的に並ぶ第1素子と第2素子とを含む。接続部は、第1素子と第2素子とを電気的に接続している。透明部は、接続部と第2素子との間に位置する。各素子は、第1電極層と第2電極層とそれらの間の半導体層とを有する。第1素子と第2素子との間で第1電極層が第1間隙を挟む。第1素子と第2素子との間で第2電極層が第2間隙を挟む。第2間隙は、第1間隙よりも第1方向にずれている。接続部は、第1素子の第2電極層と第2素子の第1電極層とを電気的に接続している。透明部は、第1素子の第2電極層と第2素子の第1電極層との間で、接続部よりも第1方向にずれた位置に存在し且つ半導体層よりも透光性が高い。第1電極層および第2電極層の1以上の電極層が、半導体層よりも透光性が高い。
Description
本開示は、太陽電池および太陽電池の製造方法に関する。
太陽電池には、結晶系の太陽電池と、薄膜系の太陽電池とがある。薄膜系の太陽電池は、一般に、基板上に並ぶ複数の太陽電池素子が電気的に直列に接続された構造を有する(例えば、特開2007-317858号公報の記載を参照)。
太陽電池および太陽電池の製造方法が開示される。
太陽電池の一態様は、複数の太陽電池素子と、接続部と、透明部と、を備える。前記複数の太陽電池素子は、第1方向に沿って平面的に並んでおり且つ隣り合う第1太陽電池素子と第2太陽電池素子とを含む。前記接続部は、前記第1太陽電池素子と前記第2太陽電池素子とを電気的に接続している。前記透明部は、前記接続部と前記第2太陽電池素子との間に位置している。各前記太陽電池素子は、第1電極層と、第2電極層と、前記第1電極層と前記第2電極層との間に位置している半導体層と、を有している。前記第1太陽電池素子の前記第1電極層と、前記第2太陽電池素子の前記第1電極層とが、第1間隙を挟んで並んでいる。前記第1太陽電池素子の前記第2電極層と、前記第2太陽電池素子の前記第2電極層とが、第2間隙を挟んで並んでいる。前記第2間隙は、前記第1間隙よりも前記第1方向にずれた位置に存在している。前記接続部は、前記第1太陽電池素子の前記第2電極層と前記第2太陽電池素子の前記第1電極層とを電気的に接続している。前記透明部は、前記第1太陽電池素子の前記第2電極層と前記第2太陽電池素子の前記第1電極層との間において、前記接続部よりも前記第1方向にずれた位置に存在しており、且つ前記半導体層よりも透光性が高く、前記第1電極層および前記第2電極層のうちの少なくとも一方の電極層が、前記半導体層よりも透光性が高い。
太陽電池の製造方法の一態様は、工程(a)から工程(d)を有する。前記工程(a)では、基板を準備する。前記工程(b)では、前記基板の表面の上において第1方向に沿って平面的に並ぶ1番目の第1電極層と2番目の第1電極層とを形成する。前記工程(c)では、前記1番目の第1電極層および前記第2番目の第1電極層の上にペロブスカイト太陽電池用の半導体領域を形成する。前記工程(d)では、接続部と、第2電極層と、を形成する。前記接続部は、前記半導体領域のうちの前記第1方向に沿って平面的に並ぶ1番目の半導体層と2番目の半導体層との間隙に位置しており且つ前記2番目の第1電極層に電気的に接続している状態にある。前記第2電極層は、前記1番目の半導体層の上に位置しており且つ前記接続部と電気的に接続している状態にある。前記半導体領域を形成した後に、前記半導体領域のうちの前記2番目の第1電極層の上に位置している一部分を加熱することで、該一部分における透光性を高める。
薄膜系の太陽電池としては、例えば、図15で示されるように、基板13上に、複数の太陽電池素子12が並んでいる太陽電池11が採用される。ここでは、各太陽電池素子12は、第1電極層12aと、PN接合あるいはPIN接合を有する半導体層12bと、第2電極層12cと、が積層された構成を有する。さらに、隣り合う太陽電池素子12の間において、第1電極層12aと第2電極層12cとが電気的に接続されることで、この隣り合う太陽電池素子12が電気的に直列に接続されている。具体的には、隣り合う太陽電池素子12の間には、例えば、第1電極層12aと第2電極層12cとを電気的に接続する部分(接続部とも言う)14が存在している。また、隣り合う太陽電池素子12の間には、例えば、第1電極層12a同士を分離している領域(第1分離領域とも言う)Da1および第2電極層12c同士を分離している領域(第2分離領域とも言う)Da2が存在している。
ところで、接続部14と第2分離領域Da2との間には、入射光を吸収するものの、この入射光に応じた光電変換を行うことができずに発電に寄与しないデッドスペースとしての一部分Ds1が存在し得る。換言すれば、デッドスペースは、入射光を利用していない領域となり得る。このデッドスペースは、例えば、基板13上に第1電極層12aと半導体層12bと第2電極層12cとが積層された後に、スクライビングなどによって第2分離領域Da2が形成される際に生じ得る。ここでは、例えば、スクライビングなどによって接続部14が削られないように、接続部14と第2分離領域Da2とが離れた位置に形成されることで、デッドスペースが形成され得る。
そこで、本願発明者らは、薄膜系の太陽電池について、入射光を有効的に利用することができる技術を創出した。
これについて、以下、各種実施形態を図面に基づいて説明する。図面においては同様な構成および機能を有する部分に同じ符号が付されており、下記説明では重複説明が省略される。また、図面は模式的に示されたものである。図1、図2および図4から図14には、右手系のXYZ座標系が付されている。このXYZ座標系では、複数の太陽電池素子2が並んでいる方向が+X方向とされ、隣り合う太陽電池素子2の間に位置している第3溝部P3の長手方向が+Y方向とされ、+X方向と+Y方向との両方に直交する方向が+Z方向とされている。
<1.第1実施形態>
<1-1.太陽電池>
第1実施形態に係る太陽電池1を、図1および図2に基づいて説明する。
<1-1.太陽電池>
第1実施形態に係る太陽電池1を、図1および図2に基づいて説明する。
図1および図2で示されるように、太陽電池1は、例えば、基板3と、複数の太陽電池素子2と、接続部4と、透明部5と、を備えている。第1実施形態では、ペロブスカイト太陽電池が採用されている。
基板3は、複数の太陽電池素子2を支持する役割と、複数の太陽電池素子2を保護する役割と、を果たすことができる。ここで、例えば、基板3が、特定範囲の波長の光に対する透光性を有していれば、基板3を透過した光が、複数の太陽電池素子2に入射され得る。基板3としては、例えば、矩形状の盤面を有する平板が採用される。基板3の素材として、例えば、ガラスあるいはアクリルまたはポリカーボネートなどの樹脂が採用されれば、特定範囲の波長の光に対して透光性を有する基板3が実現され得る。ガラスとしては、例えば、白板ガラス、強化ガラスおよび熱線反射ガラスなどといった光透過率の高い材料が採用され得る。本明細書において特定範囲の波長の光とは、太陽電池素子2が光電変換し得る範囲の波長をいう。
複数の太陽電池素子2は、第1方向としての+X方向に沿って平面的に並んでいる。ここで、平面的に並ぶとは、仮想あるいは実際の平面に沿って、各太陽電池素子2が位置しており且つ複数の太陽電池素子2が並んでいることを意味する。第1実施形態では、複数の太陽電池素子2は、基板3上において基板3の表面に沿って並んでいる。より具体的には、複数の太陽電池素子2は、基板3上において第1方向(+X方向)に沿って並んでいる5つの太陽電池素子2を含んでいる。5つの太陽電池素子2には、例えば、+X方向において順に並んでいる、第1太陽電池素子21、第2太陽電池素子22、第3太陽電池素子23、第4太陽電池素子24および第5太陽電池素子25が含まれている。換言すれば、複数の太陽電池素子2には、第n太陽電池素子2n(nは1から5の自然数)が含まれている。
第1実施形態では、各太陽電池素子2は、+Y方向を長手方向とする短冊状の形態を有している。各太陽電池素子2は、第1電極層2aと、半導体層2bと、第2電極層2cと、を有している。ここでは、例えば、第1電極層2aおよび第2電極層2cの少なくとも一方の電極層が、半導体層2bよりも特定範囲の波長の光に対する透光性が高ければ、各太陽電池素子2において、入射光が第1電極層2aおよび第2電極層2cの少なくとも一方の電極層を透過し得る。その結果、入射光が、半導体層2bに照射され得る。
第1電極層2aは、基板3の上に位置している。換言すれば、第1電極層2aは、第2電極層2cよりも基板3の近くに位置している。第1電極層2aは、半導体層2bに対する光の照射に応じて光電変換によって生じた電荷を集めることができる。ここで、例えば、基板3が透光性を有する場合、第1電極層2aが、半導体層2bよりも特定範囲の波長の光に対する透光性が高ければ、例えば、特定範囲の波長の光が基板3と第1電極層2aとを介して半導体層2bに入射され得る。これにより、透光性を有する基板3が受光面としての前面を構成する太陽電池1が実現され得る。
具体的には、例えば、第1電極層2aの素材として、特定範囲の波長の光に対して透光性を有する透明導電性酸化物(TCO:Transparent Conductive Oxide)が採用されれば、特定範囲の波長の光が基板3と第1電極層2aとを介して半導体層2bに入射され得る。透明導電性酸化物には、例えば、酸化インジウムスズ(ITO:Indium Tin Oxide)、フッ素ドープ酸化スズ(FTO:Fluorine-doped tin oxide)または酸化亜鉛(ZnO)などが含まれ得る。
第1実施形態では、基板3の上において、5つの第1電極層2aが、+X方向に順に平面的に並んでいる。ここで、第m太陽電池素子2m(mは1から4の自然数)の第1電極層2aと、第(m+1)太陽電池素子2(m+1)の第1電極層2aとが、間隙(第1間隙ともいう)G1を挟んで並んでいる。例えば、第1太陽電池素子21の第1電極層2aと、第2太陽電池素子22の第1電極層2aとが、間隙(第1間隙ともいう)G1を挟んで並んでいる。各第1間隙G1は、+Y方向に沿った長手方向を有している。また、基板3を底面とし、第1間隙G1を挟む2つの第1電極層2aの互いに対向している状態にある2つの端面を側面とする第1溝部P1が存在している。
半導体層2bは、第1電極層2aと第2電極層2cとの間に位置している。第m太陽電池素子2mの半導体層2bは、+X方向における隣の第(m+1)太陽電池素子2(m+1)のうちの第1電極層2aの-X方向の端部上にかけて位置している。例えば、第1太陽電池素子21の半導体層2bは、+X方向における隣の第2太陽電池素子22のうちの第1電極層2aの-X方向の端部上にかけて位置している。
半導体層2bは、例えば、ペロブスカイト構造を有する半導体(ペロブスカイト半導体ともいう)の層(ペロブスカイト半導体層)と、正孔輸送層(HTL:Hole Transport Layer)と、が積層された構造を有している。半導体層2bがペロブスカイト半導体である場合、特定範囲の波長の光とは、可視光および赤外光を含むものである。
ペロブスカイト半導体は、例えば、ハライド系有機-無機ペロブスカイト半導体を含み得る。ハライド系有機-無機ペロブスカイト半導体は、例えば、CH3NH3PbI3などの有機ペロブスカイトによって構成され得る。有機ペロブスカイトは、例えば、基板3上に位置している第1電極層2aの上に原料液が塗布されて、乾燥されることで形成され得る。ここでは、有機ペロブスカイトは、結晶性を有する薄膜である。このとき、例えば、第1間隙G1にも原料液が充填され、乾燥によって第1間隙G1にもペロブスカイト半導体の一部が形成され得る。ここで、原料液は、例えば、原料であるハロゲン化アルキルアミンとハロゲン化鉛とが溶媒に溶かされることで生成され得る。
正孔輸送層(HTL)は、正孔を収集して出力することができる。正孔輸送層(HTL)の素材としては、例えば、可溶性ジアミン誘導体であるspiro-OMeTADなどが採用される。
ここでは、例えば、ペロブスカイト半導体が、真性半導体(i型半導体)であり、正孔輸送層が、p型半導体であり、第1電極層2aを構成するTCOがn型半導体であれば、PIN接合領域が形成され得る。PIN接合領域では、光の照射に応じた光電変換によって発電が行われ得る。半導体層2bにおいて、例えば、ペロブスカイト半導体層と、第1電極層2aとの間に、n型半導体の層が位置していてもよい。このとき、半導体層2bのみでPIN接合領域が形成され得る。
第2電極層2cは、半導体層2bの上に位置している。第2電極層2cは、半導体層2bに対する光の照射に応じた光電変換によって生じた電荷を集めることができる。ここで、例えば、第2電極層2cが、半導体層2bよりも特定範囲の波長の光に対する透光性が高ければ、例えば、基板3とは逆側から入射される光が、第2電極層2cを透過して半導体層2bに入射され得る。これにより、±Z方向の両面が受光面である太陽電池1が実現され得る。その結果、太陽電池1に対する入射光が有効に利用され得る。
具体的には、例えば、第2電極層2cの素材として、特定範囲の波長の光に対して透光性を有する透明導電性酸化物(TCO)が採用されれば、特定範囲の波長の光が第2電極層2cを介して半導体層2bに入射され得る。透明導電性酸化物には、例えば、酸化インジウムスズ(ITO)、フッ素ドープ酸化スズ(FTO)または酸化亜鉛(ZnO)などが含まれ得る。
第1実施形態では、5つの第2電極層2cが、+X方向に順に平面的に並んでいる。ここでは、第m太陽電池素子2mの第2電極層2cと、第(m+1)太陽電池素子2(m+1)の第2電極層2cとが、間隙(第2間隙ともいう)G2を挟んで並んでいる。例えば、第1太陽電池素子21の第2電極層2cと、第2太陽電池素子22の第2電極層2cとが、間隙(第2間隙)G2を挟んで並んでいる。各第2間隙G2は、例えば、+Y方向に沿った長手方向を有している。また、第1電極層2aを底面とする第3溝部P3を構成している。各太陽電池素子2において、第1電極層2aよりも第2電極層2cの方が+X方向に飛び出している。別の観点から言えば、第2間隙G2は、第1間隙G1よりも第1方向(+X方向)にずれた位置に存在している。
接続部4は、複数の太陽電池素子2のうちの隣り合う2つの太陽電池素子2を電気的に直列に接続している。第1実施形態では、第m接続部4mが、第m太陽電池素子2mと第(m+1)太陽電池素子2(m+1)とを電気的に接続している。例えば、第1接続部41が、第1太陽電池素子21と第2太陽電池素子22とを電気的に接続している。より具体的には、第m接続部4mは、第m太陽電池素子2mの第2電極層2cと第(m+1)太陽電池素子2(m+1)の第1電極層2aとを電気的に接続している。例えば、第1接続部41は、第1太陽電池素子21の第2電極層2cと第2太陽電池素子22の第1電極層2aとを電気的に接続している。これにより、複数の太陽電池素子2が電気的に直列に接続され得る。
また、接続部4は、+X方向において、半導体層2bと透明部5との間に位置している。別の観点から言えば、半導体層2bの+X方向の端面および透明部5の-X方向の端面を両側面とし、第1電極層2aの-Z方向の面を底面とする第2溝部P2が存在している。この第2溝部P2は、+Y方向に沿った長手方向を有する。そして、例えば、この第2溝部P2に接続部4が充填されている。
透明部5は、半導体層2bよりも特定範囲の波長の光に対する透光性が高い。透明部5は、例えば、ペロブスカイト半導体層の一部が局所的に加熱されることで、形成され得る。
第1実施形態では、第m透明部5mは、第m太陽電池素子2mの第m接続部4mと第(m+1)太陽電池素子2(m+1)との間に位置している。例えば、第1透明部51は、第1太陽電池素子21の第1接続部41と第2太陽電池素子22との間に位置している。より具体的には、第m透明部5mは、第m太陽電池素子2mの第2電極層2cと第(m+1)太陽電池素子2(m+1)の第1電極層2aとの間において、第m接続部4mよりも第1方向(+X方向)にずれた位置に存在している。例えば、第1透明部51は、第1太陽電池素子21の第2電極層2cと第2太陽電池素子22の第1電極層2aとの間において、第1接続部41よりも第1方向(+X方向)にずれた位置に存在している。このような透明部5の存在によって、例えば、入射光を吸収するものの、この入射光に応じた光電変換を行うことができずに発電に寄与しないデッドスペースが減少し得る。これにより、入射光が有効に利用され得る。
ところで、第1太陽電池素子21には、第1電極層2aは、半導体層2bおよび第2電極層2cよりも、-X方向に突出している部分(第1突出部とも言う)2aeが存在している。第5太陽電池素子25では、半導体層2bおよび第2電極層2cは、第1電極層2aよりも+X方向に突出している。そして、第1電極層2aおよび半導体層2bよりも、+X方向に突出している部分(第2突出部とも言う)2ceが存在している。第1突出部2ae上には、第1の極性の出力用の第1導体W1が電気的に接続されている。第2突出部2ce上には、第2の極性の出力用の第2導体W2が電気的に接続されている。ここで、例えば、第1の極性が負極であれば、第2の極性が正極となる。例えば、第1の極性が正極であれば、第2の極性が負極となる。
<1-2.太陽電池の製造方法>
次に、太陽電池1の製造方法について、図3から図10に基づいて説明する。
次に、太陽電池1の製造方法について、図3から図10に基づいて説明する。
太陽電池1は、例えば、図3で示されるように、第1工程ST1から第5工程ST5がこの記載の順に実行されることで、製造され得る。
例えば、第1工程ST1では、図4で示されるように、基板3が準備される。基板3として、例えば、特定範囲の波長の光に対する透光性を有し且つ矩形状の盤面を有する平板が採用される。
第2工程ST2では、基板3の表面の上において、第1方向(+X方向)に沿って平面的に並ぶ複数の第1電極層2aが形成される。
ここでは、まず、図5で示されるように、基板3の一方の盤面上に電極層2a0が形成される。電極層2a0は、例えば、スパッタリングまたは蒸着などによって形成され得る。電極層2a0は、例えば、ITO、FTOまたはZnOなどの透明導電性酸化物によって構成され得る。このとき、電極層2a0の厚さは、例えば、10nmから1000nm程度に設定され得る。
次に、図6で示されるように、電極層2a0が、複数の第1電極層2aに分離される。例えば、複数の第1溝部P1(第1間隙G1)が形成されることで、複数の第1電極層2aが形成される。これにより、例えば、基板3の表面の上において第1方向(+X方向)に沿って平面的に並ぶ1番目から5番目の第1電極層2aが形成される。複数の第1溝部P1(第1間隙G1)は、例えば、電極層2a0のうちの所望のパターンの領域にレーザーが照射されることで、形成され得る。各第1溝部P1(各第1間隙G1)は、長手方向が+Y方向となるように形成され得る。ここで、各第1溝部P1(各第1間隙G1)の幅は、例えば、30μmから300μm程度に設定される。また、各第1電極層2aの第1方向(+X方向)における幅は、例えば、1mmから10mm程度に設定される。第1溝部P1(第1間隙G1)は、例えば、スクライビングなどによって形成されてもよい。
第3工程ST3では、図7で示されるように、複数の第1電極層2aの上にペロブスカイト太陽電池用の半導体領域2b0が形成される。複数の第1電極層2aには、例えば、1番目から5番目の第1電極層2aが含まれる。
半導体領域2b0は、例えば、原料液の塗布および乾燥などによって形成され得る。ここでは、半導体領域2b0は、ペロブスカイト半導体層と正孔輸送層とを含む複数層が積層された構造を有する。この場合、例えば、第1原料液の塗布および乾燥によってペロブスカイト半導体層が形成された後に、このペロブスカイト半導体層の上に第2原料液の塗布および乾燥によって正孔輸送層が形成され得る。このとき、半導体領域2b0の厚さは、例えば、100nmから2000nm程度に設定され得る。
このとき、複数の第1溝部P1(第1間隙G1)内にも半導体領域2b0が入り込んだ状態となる。また、第1実施形態では、図8で示されるように、半導体領域2b0が、複数の半導体層2bに分離される。例えば、複数の第2溝部P2が形成されることで、複数の半導体層2bが形成される。これにより、例えば、複数の第1電極層2aの上において第1方向(+X方向)に沿って平面的に並ぶ1番目から5番目の半導体層2bが形成される。第1方向(+X方向)において、m番目の第2溝部P2は、例えば、半導体領域2b0のうちのm番目の第1溝部P1よりも+X方向にずれた位置の所望のパターンの領域に、スクライビングなどによって形成され得る。このとき、例えば、m番目の第2溝部P2は、+X方向においてm番目の第1溝部P1から10μmから100μm程度離れるように形成される。各第2溝部P2は、長手方向が+Y方向となるように形成され得る。ここで、各第2溝部P2の幅は、例えば、30μmから300μm程度に設定される。
第4工程ST4では、接続部4および第2電極層2cが形成される。
ここでは、まず、図9で示されるように、半導体領域2b0の上に電極層2c0が形成される。ここで、例えば、電極層2c0は、例えば、スパッタリングまたは蒸着などによって形成され得る。電極層2c0は、例えば、ITO、FTOまたはZnOなどの透明導電性酸化物によって構成され得る。電極層2c0の厚さは、例えば、10nmから1000nm程度に設定され得る。このとき、半導体領域2b0に係る各第2溝部P2に、電極層2c0が入り込んだ状態となる。これにより、第1接続部41、第2接続部42、第3接続部43および第4接続部44が形成される。換言すれば、半導体領域2b0のうちの第1方向(+X方向)におけるm番目の半導体層2bと(m+1)番目の半導体層2bとの間隙(第2溝部P2)に位置している、第m接続部4mが形成される。このとき、第m接続部4mは、(m+1)番目の第1電極層2aに電気的に接続している状態にある。例えば、第1接続部41は、2番目の第1電極層2aに電気的に接続している状態にある。
次に、図10で示されるように、電極層2c0が、複数の第2電極層2cに分離される。例えば、複数の第3溝部P3(第2間隙G2)が形成されることで、複数の第2電極層2cが形成される。これにより、例えば、第1方向(+X方向)に沿って平面的に並ぶ1番目から5番目の半導体層2b上において第1方向(+X方向)に沿って平面的に並ぶ1番目から5番目の第2電極層2cが形成される。具体的には、m番目の半導体層2bの上にm番目の第2電極層2cが位置している。例えば、1番目の半導体層2bの上に1番目の第2電極層2cが位置している。そして、m番目の第2電極層2cは、第m接続部4mと電気的に接続されている状態にある。例えば、1番目の第2電極層2cは、第1接続部41と電気的に接続されている状態にある。
ここで、m番目の第3溝部P3(第2間隙G2)は、例えば、半導体領域2b0のうちのm番目の第2溝部P2よりも+X方向にずれた位置の所望のパターンの領域に、スクライビングなどによって形成され得る。このとき、例えば、m番目の第3溝部P3は、+X方向においてm番目の第2溝部P2から10μmから100μm程度離れるように形成される。ここで、各第3溝部P3(各第2間隙G2)の幅は、例えば、10μmから100μm程度に設定される。これにより、各第2電極層2cの第1方向(+X方向)における幅は、例えば、1mmから10mm程度となる。そして、第1方向(+X方向)におけるm番目の第3溝部P3(第2間隙G2)は、第1方向(+X方向)におけるm番目の第1間隙G1および第m接続部4mよりも第1方向(+X方向)にずれた位置に存在している。このとき、第m接続部4mとm番目の第3溝部P3(第2間隙G2)との間に、半導体領域2b0のデッドスペースとなるm番目の一部分Ds1が形成され得る。ここでは、m番目の第2電極層2cは、m番目の半導体層2bの上からm番目の一部分Ds1の上にかけて位置している。
第5工程ST5では、半導体領域2b0のデッドスペースとなる一部分Ds1が加熱されることで、この一部分Ds1における特定範囲の波長の光に対する透光性が高められた透明部5が形成される。ここでは、例えば、半導体領域2b0のうちの(m+1)番目の第1電極層2aの上に位置しているm番目の一部分Ds1が加熱されることで、このm番目の一部分における特定範囲の波長の光に対する透光性が半導体領域2b0よりも高められた透明部5が形成される。一部分Ds1の加熱は、例えば、局所的なレーザーの照射によって実現され得る。
ここでは、一部分Ds1を構成するペロブスカイト半導体は、例えば、レーザーによる100℃から200℃程度の比較的低温の加熱によって、バンドギャップが拡がる。その結果、ペロブスカイト半導体は、元のペロブスカイト半導体よりも特定範囲の波長の光に対する透光性が高いワイドギャップ半導体に変化し得る。このように加熱に応じて特定範囲の波長の光に対する透光性が向上するペロブスカイト半導体の素材としては、例えば、CH3NH3PbI3、CsPbI3およびNH2CHNH2PbI3などのPb-Iの結合を有するペロブスカイト半導体が考えられる。ペロブスカイト半導体のPb-Iの結合が加熱による構造変化で状態が変わり、バンドギャップが高くなると考えられる。また、一部分Ds1を構成する正孔輸送層は、特定範囲の波長の光に対する透光性が高い素材によって構成され得る。このため、小さなエネルギーの付与による比較的低温の加熱によって、デッドスペースとしての一部分Ds1が透明化され得る。
具体的には、ペロブスカイト型の結晶構造あるいはこの結晶構造に類似する結晶構造を有する化合物は、ABX3,A2BX4,AB’X4,A’BX4の一般式で表される。ここで、Aは、例えば、CH3NH3
+,CH(NH2)2
+,Cs+などの1価のカチオンを示す。A’およびBは、Pb2+,Sn2+などの2価のカチオンを示す。B’は、Bi3+,Sb3+などの3価のカチオンを示す。Xは、Cl-,Br-,I-などの1価のアニオンを示す。
そして、これらの化合物は、例えば、加熱によって、式(1)から式(4)の反応式に従った分解を生じる。
ABX3 → AX + BX2 ・・・(1)
A2BX4 → 2AX + BX2 ・・・(2)
AB’X4 → AX + B’X3 ・・・(3)
A’BX4 → A’X2 + BX2 ・・・(4)。
A2BX4 → 2AX + BX2 ・・・(2)
AB’X4 → AX + B’X3 ・・・(3)
A’BX4 → A’X2 + BX2 ・・・(4)。
ここで、レーザーの照射によってペロブスカイト半導体を透明化する際には、レーザーの出力は、例えば、0.1Wから1W程度に設定される。レーザービームの光の波長は、例えば、400nmから700nm程度に設定される。レーザービームの光束の径は、例えば、40μm程度に設定される。レーザービームのスキャンの速度は、例えば、1200mm/秒に設定される。400nmから700nmの波長の光は、TCOには吸収されず、ペロブスカイト半導体には吸収され得る。これにより、ペロブスカイト半導体を局所的に加熱することができる。
以上のようにして、透明部5が形成されることで、例えば、入射光を吸収するものの、この入射光に応じた光電変換を行うことができずに発電に寄与しないデッドスペースが減少し得る。これにより、入射光が有効に利用され得る。
<1-3.第1実施形態のまとめ>
第1実施形態に係る太陽電池1では、例えば、透明部5の存在によって、入射光を吸収するものの、この入射光に応じた光電変換を行うことができずに発電に寄与しないデッドスペースが減少し得る。これにより、入射光が有効利用され得る。
第1実施形態に係る太陽電池1では、例えば、透明部5の存在によって、入射光を吸収するものの、この入射光に応じた光電変換を行うことができずに発電に寄与しないデッドスペースが減少し得る。これにより、入射光が有効利用され得る。
例えば、透明部5の存在によってデッドスペースが減少されれば、デッドスペースの存在によって光損失となっていた入射光の一部が、太陽電池1の非受光面としての裏面から出射されやすくなり得る。これにより、例えば、透過光が多く、外観に優れた、シースルーの太陽電池が実現され得る。
<2.他の実施形態>
本開示は上述の第1実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
本開示は上述の第1実施形態に限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良などが可能である。
<2-1.第2実施形態>
上記第1実施形態において、例えば、図11で示されるように、基板3が前面側でなく、裏面側に位置していてもよい。図11で示される第2実施形態に係る太陽電池1Aは、図2で示された第1実施形態に係る太陽電池1の上下が反転された構成を有している。
上記第1実施形態において、例えば、図11で示されるように、基板3が前面側でなく、裏面側に位置していてもよい。図11で示される第2実施形態に係る太陽電池1Aは、図2で示された第1実施形態に係る太陽電池1の上下が反転された構成を有している。
ここでは、第2実施形態に係る太陽電池1Aは、例えば、基板3を備えている。ここで、複数の太陽電池素子2が、基板3上においてこの基板3の表面に沿って並んでいる。第1電極層2aは、第2電極層2cよりも基板3の近くに位置している。そして、第2電極層2cは、半導体層2bよりも特定範囲の波長の光に対する透光性が高い。このような構成が採用されれば、例えば、基板3の反対側が受光面としての前面である太陽電池1Aにおいて、入射光を有効利用することができる。
<2-2.第3実施形態>
上記第1実施形態および第2実施形態において、例えば、透明部5を透過する特定範囲の波長の光を反射させて半導体層2bに入射させる反射部が存在していてもよい。換言すれば、透明部5を挟んで位置している第1電極層2aの一部と第2電極層2cの一部とを通る仮想的な直線上に、透明部5を透過する特定範囲の波長の光を反射可能な反射部が存在していてもよい。このような構成が採用されれば、例えば、透明部5を透過した光が反射部で反射されて半導体層2bに入射され得る。このとき、反射部で反射された光は半導体層2bで光電変換に利用され得る。これにより、入射光が有効利用され得る。
上記第1実施形態および第2実施形態において、例えば、透明部5を透過する特定範囲の波長の光を反射させて半導体層2bに入射させる反射部が存在していてもよい。換言すれば、透明部5を挟んで位置している第1電極層2aの一部と第2電極層2cの一部とを通る仮想的な直線上に、透明部5を透過する特定範囲の波長の光を反射可能な反射部が存在していてもよい。このような構成が採用されれば、例えば、透明部5を透過した光が反射部で反射されて半導体層2bに入射され得る。このとき、反射部で反射された光は半導体層2bで光電変換に利用され得る。これにより、入射光が有効利用され得る。
例えば、上記第1実施形態において、第2電極層2cの素材として、特定範囲の波長の光に対して透光性を有しない金属が採用されば、第2電極層2cが透明部5を透過する特定範囲の波長の光を反射可能である反射部としての電極層(金属電極層ともいう)としての役割を果たし得る。また、例えば、上記第2実施形態において、第1電極層2aの素材として、特定範囲の波長の光に対して透光性を有しない金属が採用されば、第1電極層2aが透明部5を透過する特定範囲の波長の光を反射可能である反射部としての金属電極層としての役割を果たし得る。換言すれば、第1電極層2aおよび第2電極層2cのうちの何れか一方の電極層を、透明部5を透過する特定範囲の波長の光を反射可能である金属電極層とすることが考えられる。
金属電極層の素材としては、例えば、アルミニウムなどの導電性と光の反射特性とに優れた金属材料が採用され得る。この場合、例えば、透明部5を透過する特定範囲の波長の光の少なくとも一部が、金属電極層の表面で反射されて、半導体層2bに入射され得る。このとき、例えば、金属電極層で反射された光は半導体層2bで光電変換に利用され得る。これにより、太陽電池1,1Aに対する入射光が有効に利用され得る。また、例えば、透明部5を透過した光を反射させて半導体層2bに入射させる構成が、大掛かりなものとならず、容易に実現され得る。
また、例えば、上記第1実施形態において、第2電極層2cが半導体層2bよりも特定範囲の波長の光に対する高い透光性を有していれば、非受光面としての裏面側に、光を反射させる反射部が追加されてもよい。例えば、図12で示されるように、白いバックシートなど、光を乱反射させることで光を散乱させることが可能な反射部Bs1が追加された太陽電池1Bが採用されてもよい。このとき、反射部Bs1は、例えば、エチレン酢酸ビニルコポリマー(EVA)などの封止材6などで支持されればよい。このような構成により、これまでデッドスペースの存在によって光損失となっていた入射光の一部が、デッドスペースの減少に応じて、透明部5を透過する。そして、例えば、透明部5を透過する光が、反射部Bs1で反射されて、半導体層2bに入射され得る。このとき、太陽電池1のうちの半導体層2bの裏面側の領域において光が吸収され得る。ここで吸収された光の一部は、光電変換に利用され得る。このため、入射光が有効利用され得る。
また、例えば、上記第2実施形態において、図13で示されるように、基板3が+Z側からの光の照射に対して光を反射する部分(反射部ともいう)Mr1を有する太陽電池1Cが採用されてもよい。このような構成により、これまでデッドスペースの存在によって光損失となっていた入射光の一部が、デッドスペースの減少に応じて、透明部5を透過する。そして、透明部5を透過する光が、反射部Mr1で反射されて、太陽電池1のうちの半導体層2bの裏面側の領域において吸収され得る。ここで吸収された入射光の一部は、光電変換に利用され得る。このため、入射光が有効利用され得る。
<2-3.第4実施形態>
上記第1実施形態および第2実施形態において、例えば、平面的に並んでいる複数の太陽電池素子2を透過する光を受光する、複数の太陽電池素子2とは異なる1種類以上の他の太陽電池素子Sc1が存在していてもよい。例えば、図14で示されるように、透明部5を挟んで位置している第1電極層2aの一部と第2電極層2cの一部とを通る仮想的な直線上に、複数の太陽電池素子2とは異なる1種類以上の他の太陽電池素子Sc1を備える太陽電池1Dが採用されてもよい。このとき、例えば、第1電極層2aおよび第2電極層2cのそれぞれが、半導体層2bよりも特定範囲の波長の光に対する透光性が高ければよい。例えば、特定範囲の波長の光に対する透光性が半導体層2bよりも高いTCOなどの素材によって第1電極層2aおよび第2電極層2cが構成されていればよい。
上記第1実施形態および第2実施形態において、例えば、平面的に並んでいる複数の太陽電池素子2を透過する光を受光する、複数の太陽電池素子2とは異なる1種類以上の他の太陽電池素子Sc1が存在していてもよい。例えば、図14で示されるように、透明部5を挟んで位置している第1電極層2aの一部と第2電極層2cの一部とを通る仮想的な直線上に、複数の太陽電池素子2とは異なる1種類以上の他の太陽電池素子Sc1を備える太陽電池1Dが採用されてもよい。このとき、例えば、第1電極層2aおよび第2電極層2cのそれぞれが、半導体層2bよりも特定範囲の波長の光に対する透光性が高ければよい。例えば、特定範囲の波長の光に対する透光性が半導体層2bよりも高いTCOなどの素材によって第1電極層2aおよび第2電極層2cが構成されていればよい。
ここで、例えば、トップセルとしての複数の太陽電池素子2が、可視光および近赤外光を吸収して光電変換に利用するものとする。このとき、ボトムセルを成す他の太陽電池素子Sc1が、例えば、近赤外光よりも長波長の赤外光を吸収して光電変換に利用する構成が考えられ得る。この他の太陽電池素子Sc1としては、例えば、シリコンの結晶で構成される半導体層を有するものが考えられる。
上記タンデム式の太陽電池1Dが採用される場合、例えば、透明部5を透過する光が他の太陽電池素子Sc1における光電変換に利用され得るため、入射光が有効利用されて発電量を増やすことができる。その結果、変換効率が増大し得る。
<3.その他>
上記第1実施形態、第2実施形態、第3実施形態および第4実施形態において、例えば、半導体領域2b0が形成された後であれば、何れのタイミングで半導体領域2b0の一部分Ds1あるいはこの一部分Ds1に対応する部分が加熱によって透明化されてもよい。例えば、半導体領域2b0に第3溝部P3が形成された後に、半導体領域2b0の一部分Ds1が加熱によって透明化されれば、太陽電池素子2を構成する半導体層2bの劣化が生じにくい。
上記第1実施形態、第2実施形態、第3実施形態および第4実施形態において、例えば、半導体領域2b0が形成された後であれば、何れのタイミングで半導体領域2b0の一部分Ds1あるいはこの一部分Ds1に対応する部分が加熱によって透明化されてもよい。例えば、半導体領域2b0に第3溝部P3が形成された後に、半導体領域2b0の一部分Ds1が加熱によって透明化されれば、太陽電池素子2を構成する半導体層2bの劣化が生じにくい。
上記第1実施形態、第2実施形態、第3実施形態および第4実施形態において、例えば、レーザービームの照射の代わりに、スリット状の赤外光の照射、あるいは加熱されたワイヤーまたは刃状の部材の接触などによって、半導体領域2b0の一部分Ds1が加熱されてもよい。
上記第1実施形態、第2実施形態、第3実施形態および第4実施形態において、例えば、複数の第2電極層2cが、マスクなどを用いた蒸着などによるパターンニングによって、予め第3溝部P3(第2間隙G2)を有する形態で形成されてもよい。このような構成が採用される場合には、例えば、第3溝部P3(第2間隙G2)が、複数の第2電極層2cを相互に分離するものであればよく、半導体領域2b0まで到達していなくてよい。このため、例えば、電極層2c0および半導体領域2b0に対するスクライブの工程が省略され得る。
上記第1実施形態、第2実施形態、第3実施形態および第4実施形態において、例えば、複数の半導体層2bが、マスクなどを用いた塗布法などによるパターンニングによって、予め第2溝部P2を有する形態で形成されてもよい。この場合には、半導体領域2b0が形成された後にスクライビングなどによって第2溝部P2が形成される工程が省略され得る。
上記第1実施形態、第2実施形態、第3実施形態および第4実施形態に係る太陽電池1,1A,1B,1C,1Dにおいて、例えば、6つ以上の太陽電池素子2が平面的に並んでいてもよいし、2つ以上で且つ4つ以下の太陽電池素子2が平面的に並んでいてもよい。
上記各実施形態をそれぞれ構成する全部または一部を、適宜、矛盾しない範囲で組み合わせ可能であることは、言うまでもない。
1,1A,1B,1C,1D,11 太陽電池
2,12 太陽電池素子
2a,12a 第1電極層
2a0 電極層
2b,12b 半導体層
2b0 半導体領域
2c,12c 第2電極層
2c0 電極層
2m 第m太陽電池素子
2n 第n太陽電池素子
3,13 基板
4.14 接続部
4m 第m接続部
21 第1太陽電池素子
22 第2太陽電池素子
23 第3太陽電池素子
24 第4太陽電池素子
25 第5太陽電池素子
41 第1接続部
42 第2接続部
43 第3接続部
44 第4接続部
5 透明部
5m 第m透明部
Bs1 反射部
Ds1 一部分(デッドスペース)
G1 第1間隙
G2 第2間隙
Mr1 反射部
P1 第1溝部
P2 第2溝部
P3 第3溝部
Sc1 他の太陽電池素子
2,12 太陽電池素子
2a,12a 第1電極層
2a0 電極層
2b,12b 半導体層
2b0 半導体領域
2c,12c 第2電極層
2c0 電極層
2m 第m太陽電池素子
2n 第n太陽電池素子
3,13 基板
4.14 接続部
4m 第m接続部
21 第1太陽電池素子
22 第2太陽電池素子
23 第3太陽電池素子
24 第4太陽電池素子
25 第5太陽電池素子
41 第1接続部
42 第2接続部
43 第3接続部
44 第4接続部
5 透明部
5m 第m透明部
Bs1 反射部
Ds1 一部分(デッドスペース)
G1 第1間隙
G2 第2間隙
Mr1 反射部
P1 第1溝部
P2 第2溝部
P3 第3溝部
Sc1 他の太陽電池素子
Claims (7)
- 第1方向に沿って平面的に並んでおり且つ隣り合う第1太陽電池素子と第2太陽電池素子とを含む複数の太陽電池素子と、
前記第1太陽電池素子と前記第2太陽電池素子とを電気的に接続している接続部と、
前記接続部と前記第2太陽電池素子との間に位置している透明部と、を備え、
各前記太陽電池素子は、第1電極層と、第2電極層と、前記第1電極層と前記第2電極層との間に位置している半導体層と、を有し、
前記第1太陽電池素子の前記第1電極層と、前記第2太陽電池素子の前記第1電極層とが、第1間隙を挟んで並んでおり、
前記第1太陽電池素子の前記第2電極層と、前記第2太陽電池素子の前記第2電極層とが、第2間隙を挟んで並んでおり、
前記第2間隙は、前記第1間隙よりも前記第1方向にずれた位置に存在し、
前記接続部は、前記第1太陽電池素子の前記第2電極層と前記第2太陽電池素子の前記第1電極層とを電気的に接続しており、
前記透明部は、前記第1太陽電池素子の前記第2電極層と前記第2太陽電池素子の前記第1電極層との間において、前記接続部よりも前記第1方向にずれた位置に存在しており、且つ前記半導体層よりも透光性が高く、
前記第1電極層および前記第2電極層のうちの少なくとも一方の電極層が、前記半導体層よりも透光性が高い、太陽電池。 - 請求項1に記載の太陽電池であって、
透光性を有する基板、を備え、
前記複数の太陽電池素子は、前記基板上において該基板の表面に沿って並んでおり、
前記第1電極層は、前記第2電極層よりも前記基板の近くに位置しており且つ前記半導体層よりも透光性が高い、太陽電池。 - 請求項1に記載の太陽電池であって、
基板、を備え、
前記複数の太陽電池素子は、前記基板上において該基板の表面に沿って並んでおり、
前記第1電極層は、前記第2電極層よりも前記基板の近くに位置しており、
前記第2電極層は、前記半導体層よりも透光性が高い、太陽電池。 - 請求項1から請求項3の何れか1つの請求項に記載の太陽電池であって、
前記第1電極層および前記第2電極層のそれぞれが、前記半導体層よりも透光性が高く、
前記透明部を挟んで位置している前記第1電極層の一部と前記第2電極層の一部とを通る仮想的な直線上に、前記複数の太陽電池素子とは異なる1種類以上の太陽電池素子、を備える、太陽電池。 - 請求項1から請求項3の何れか1つの請求項に記載の太陽電池であって、
前記透明部を挟んで位置している前記第1電極層の一部と前記第2電極層の一部とを通る仮想的な直線上に、前記透明部を透過する光を反射可能な反射部、を備える、太陽電池。 - 請求項1から請求項3および請求項5の何れか1つの請求項に記載の太陽電池であって、
前記第1電極層および前記第2電極層のうちの何れか一方の電極層が、前記透明部を透過する光を反射可能である金属電極層、を含む太陽電池。 - 基板を準備すること、
前記基板の表面の上において第1方向に沿って平面的に並ぶ1番目の第1電極層と2番目の第1電極層とを形成すること、
前記1番目の第1電極層および前記第2番目の第1電極層の上にペロブスカイト太陽電池用の半導体領域を形成すること、
前記半導体領域のうちの前記第1方向に沿って平面的に並ぶ1番目の半導体層と2番目の半導体層との間隙に位置しており且つ前記2番目の第1電極層に電気的に接続している状態にある接続部と、前記1番目の半導体層の上に位置しており且つ前記接続部と電気的に接続している状態にある第2電極層と、を形成すること、を有し、
前記半導体領域を形成した後に、前記半導体領域のうちの前記2番目の第1電極層の上に位置している一部分を加熱することで、該一部分における透光性を高める、太陽電池の製造方法。
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