WO2016122161A1

WO2016122161A1 - Board loading and transporting machine, and transfer system including same

Info

Publication number: WO2016122161A1
Application number: PCT/KR2016/000639
Authority: WO
Inventors: 박계정
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 2015-01-26
Filing date: 2016-01-21
Publication date: 2016-08-04
Anticipated expiration: 2017-07-26
Also published as: KR20160091737A; KR101694468B1

Abstract

The present invention relates to a board loading and transporting machine, and a board transfer system including the same, which are used to transport (circuit) boards and transfer the same to each process one by one and, more particularly, to a board transfer system, which can prevent defects such as scratching or chipping of the boards during transportation since transportation and movement to the transfer system are enabled through one board loading and transporting machine in a state in which the boards are loaded, minimizes damage such as scratching or chipping of the boards even during a process of loading or unloading the boards, can prevent two or more sheets of boards from being loaded or unloaded, can control the position of a loading/unloading part, according to the number of boards changing during a loading/unloading process, or the position of the loading/unloading part, according to the heights of each automated line for various board processes, and apply the same, and, specifically, reduces the time for a loading or unloading operation by applying a structure enabling a rotating and moving part for rotating and moving the boards to move to the next process immediately after the rotating and moving part loads the boards.

Description

Substrate loading transporter and transport system including the same

본 발명은 (회로)기판을 운송하고 이를 하나씩 공정 내로 이송시키는데 사용되는 기판 적재운송기 및 이를 포함하는 기판 이송시스템에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 하여 옮기는 과정에서의 긁힘과 찍힘 등과 같은 불량을 방지할 수 있으며, 또한 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 공정과정에서도 기판의 긁힘이나 찍힘 등의 손상을 최소화하고 2매 이상의 기판이 로딩 또는 언로딩되는 것을 방지할 수 있으며, 또한 로딩/언로딩 과정에서 변해가는 기판의 개수에 따라 로딩/언로딩부의 위치를 조절하거나 또는 다양한 기판공정 자동화라인별 높이에 따라 로딩/언로딩부의 위치를 조절하여 적용할 수 있으며, 특히 기판을 회전이동시키는 회전이동부가 기판을 로딩시킨 직후 바로 다음 과정으로 이동할 수 있는 구조를 적용하여 로딩 또는 언로딩 작업시간을 단축시키는 기판 이송시스템에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a substrate loading transporter used to transport (circuit) substrates and transfer them one by one into a process, and more particularly, to a transport and transfer system in which a substrate is loaded. It can be made through a single board loading transporter to prevent defects such as scratching and chipping in the transfer process, and also minimizes damage such as scratching or chipping of the board during the process of loading or unloading the board. It is possible to prevent more than one substrate from being loaded or unloaded, and also to adjust the position of the loading / unloading part according to the number of substrates changing during the loading / unloading process or to load / unload according to the height of various substrate process automation lines. It can be applied by adjusting the position of the unloading part, especially the rotation to move the substrate Relates to a substrate transfer system for the East applies to shorten the loading or unloading work with a structure that can move to the right after the next process in which loading a substrate.

기판, 일반적으로는 인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)은 기판 자체를 공장에서 생산한 이후, 이를 각각의 사용 용도에 맞도록 처리공정을 거치게 되는데, 이때 제작된 기판을 각각의 공정 단계에 공급하기 위해 기판을 적재, 운송하는 과정을 거치게 되는데, 이때 적용되는 방식은, 수십 또는 수백 장의 기판을 운송 전용으로 제작된 대차에 쌓아 운송한 후, 이를 다시 'L랙'이라고 부르는 L자형 적재부에 적재하여 바퀴가 달린 대차에 싣고 처리과정이 이루어지는 라인의 이송시스템까지 운송하는 방식을 사용하게 된다. The PCB, usually a printed circuit board (PCB), is produced at the factory itself and then processed to meet the needs of each application. The substrate is then supplied to each process step. In order to carry out the process of loading and transporting the substrate, the applied method is to stack and transport dozens or hundreds of substrates on a trolley made exclusively for transportation, and then to the L-shaped stack called 'L rack' again. It will be loaded and loaded on wheeled trucks and transported to the transport system on the line where the processing takes place.

그러나, 이와 같은 종래의 방식은, 공장에서 차량의 운송용 대차에 기판을 적재하여 운송하는 과정, 기판을 L랙으로 옮기거나 보관용 대차로 옮기는 과정, L랙에 옮겨진 상태에서 이송시스템까지 이동하고 기계에 로딩시키는 과정 등 여러 단계의 복잡한 적재/운송 과정을 거쳐야 하므로 적재 및 운송 과정에서만 많은 작업시간과 비용이 소요됨은 물론, 스크래치나 긁힘, 찍힘 등으로 인한 기판 불량이 다량 발생되는 문제를 안게 된다. However, such a conventional method includes a process of loading and transporting a substrate in a truck for transport of a vehicle at a factory, transferring a board to an L rack or a storage truck, and moving the L rack to a transport system and Since it is required to go through a complicated loading / transportation process of several steps such as loading in the air, it takes a lot of work time and cost only in the loading and transporting process, and also suffers from a problem that a large amount of substrate defects occur due to scratches, scratches, and stamps.

(특허 문헌)(Patent literature)

등록실용신안공보 제20-0200838호(2000. 10. 16. 공고) "기판의 자동 로딩장치" Utility Model Registration No. 20-0200838 (Notice of October 16, 2000) "Automatic Loading Device for Boards"

상기 (특허 문헌)에 개시된 종래기술의 경우에도, 도 1에 도시된 바와 같이 기판(2)을 별도의 L자형 랙(3)에 따로 적재하여 대차(6)를 통해 운송하는 방식으로, L자형 랙(3)에의 적재 및 운송과정이 복잡함은 물론 이송시스템의 랙 이송용 로울러(4)에 다시 대차(6)로부터 L자형 랙(3)을 옮겨야 하는 번거로움은 그대로 나타나고 있는바, 이와 같은 수작업으로 옮기는 과정에서 기스나 스크래치로 인한 기판 불량이 다량 발생하게 된다. 특히, 상기 (특허 문헌)에 개시된 종래기술의 경우, 도 2에 도시된 바와 같이 L자형 랙(3)에 적재된 기판(2)을 하나씩 기판 이송용 로울러(5)로 옮기는 과정은 도그(10)의 대략 90도 정도의 회전 왕복운동에 의해 이루어지고 있는데, 이와 같은 종래의 방식에서는 로딩과정에서 기판(2)이 기판 이송용 로울러(5)를 통해 완전히 도그(10)에서 벗어나 이후에야 비로소 다시 도그(10)는 랙(3)을 향해 회전을 할 수 있기 때문에, 그만큼 도그(10)의 왕복 회전운동의 간격이 커질 수밖에 없고 이로 인해 기판의 로딩(또는 언로딩) 작업시간이 지체되게 되는 구조적 문제를 안게 된다. In the case of the prior art disclosed in (Patent Document), as shown in FIG. 1, the substrate 2 is loaded in a separate L-shaped rack 3 and transported through the truck 6 in an L-shaped manner. In addition to the complicated loading and transportation process of the rack (3), the hassle of moving the L-shaped rack (3) from the trolley (6) to the rack transport roller (4) of the transfer system appears as it is. In the process of moving to a large amount of substrate defects due to scratches or scratches will occur. In particular, in the prior art disclosed in (Patent Document), as shown in FIG. 2, the process of moving the substrates 2 mounted on the L-shaped racks 3 to the substrate transfer rollers 5 one by one is carried out with a dog 10. This is achieved by a rotational reciprocating motion of about 90 degrees. In this conventional method, the substrate 2 is completely removed from the dog 10 through the substrate transfer roller 5 during the loading process and then again. Since the dog 10 can rotate toward the rack 3, the distance between the reciprocating rotational movement of the dog 10 will inevitably be increased, and this will delay the loading (or unloading) work time of the substrate. You have a problem.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, The present invention has been made to solve the above problems,

본 발명의 목적은 종래 기판의 운송을 위해 기판을 적재하는 L랙과 적재된 L랙을 탑재하여 이동시키는 대차가 각각 별개로 운용되어 적재와 운송이 번거로웠던 문제점을 개선하여, 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 되므로 기존 수작업으로 대차에서 L랙으로 옮기는 과정에서 기스나 찍힘 등으로 발생하는 기판 불량 문제를 해결할 수 있음은 물론, 물류공정을 단축시킬 수 있는 기판 적재운송기 및 이를 포함하는 이송시스템을 제공하는 것이다. An object of the present invention is to improve the problem that the loading and transport is cumbersome because the conventional operation of the L rack for loading the substrate and the loaded L rack for moving the substrate is separately operated, loading the substrate Since the transport from the state to the transport and transfer system can be made through a single board loading transporter, it can solve the problem of board defects caused by gas or stamping in the process of moving from the truck to the L rack by hand, and logistics. It is to provide a substrate loading transporter and a transport system including the same that can shorten the process.

본 발명의 다른 목적은 기판의 운송과정에서 기판을 견고하게 고정시킬 수 있는 구조를 갖는 기판 적재운송기를 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to provide a substrate loading transporter having a structure capable of firmly fixing a substrate in a transport process of the substrate.

본 발명의 또 다른 목적은 기판 이송시스템 내 기판 적재운송기의 진입과 고정을 가이드하거나 또는 이상상황시 진입을 차단하는 적재운송기 가이드부를 포함하여 기판이나 시스템 손상을 예방할 수 있는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다. Still another object of the present invention is to provide a substrate transfer system that can prevent damage to a substrate or system, including a guide for loading and fixing a substrate carrier in a substrate transfer system, or a loading carrier guide for blocking entry in an abnormal situation. .

본 발명의 또 다른 목적은 기판을 로딩 또는 언로딩 하는 과정에서 기판이 2매씩 로딩 또는 언로딩되는 것을 정확하게 감지하여 1매씩만 로딩 또는 언로딩될 수 있게 하므로, 공정의 효율성과 기판 불량 발생을 최소화하는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to accurately detect whether two substrates are loaded or unloaded in the process of loading or unloading a substrate so that only one sheet can be loaded or unloaded, thereby minimizing process efficiency and substrate defects. It is to provide a substrate transfer system.

본 발명의 또 다른 목적은 2매 이상의 기판 감지를 위해 로딩/언로딩부 및/또는 이송롤러 상에 2매 이상의 기판을 증폭감지 등의 방식으로 정확하게 감지할 수 있게 하는 구성 내지 2매 이상의 기판이 딸려왔을 시 이를 다시 원위치시키는 구성을 적용하여 2매 이상의 기판 로딩 또는 언로딩으로 인한 문제를 해결할 수 있는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다. Still another object of the present invention is to provide two or more substrates to accurately detect two or more substrates on the loading / unloading unit and / or the transfer roller by amplification detection or the like for detecting two or more substrates. It is to provide a substrate transfer system that can solve the problems caused by loading or unloading two or more substrates by applying a configuration that repositions when it comes back.

본 발명의 또 다른 목적은 기판 적재운송기를 이송시스템 내 정확한 위치에 고정시킨 상태에서 로딩/언로딩 과정에서 변해가는 기판의 개수에 따라 변화된 거리를 측정하여 로딩/언로딩부의 위치를 조절함으로써, 기판 적재운송기와 이송롤러 사이에서의 기판 로딩/언로딩을 신속,정확하게 스스로 판단하여 수행하는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다. Still another object of the present invention is to adjust the position of the loading / unloading unit by measuring the changed distance according to the number of substrates changing during the loading / unloading process while the substrate loading transporter is fixed at the correct position in the transfer system. It is to provide a substrate transfer system that judges the substrate loading / unloading between the loading transporter and the transfer roller quickly and accurately.

본 발명의 또 다른 목적은 로딩 또는 언로딩 과정에서의 로딩/언로딩부의 속도나 부드러운 회전을 제어하여 옮기는 과정에서의 기판 손상 등을 최소화하는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다. Still another object of the present invention is to provide a substrate transfer system that minimizes damage to a substrate during transfer by controlling the speed or smooth rotation of the loading / unloading portion during loading or unloading.

본 발명의 또 다른 목적은 로딩 또는 언로딩을 위해 기판을 옮겨 이동시키는 회전이동부에 기판의 양쪽 전체가 정확히 옮겨졌는지를 정확히 감지하는 구성 내지 회전과정에서 기판이 이탈되지 않게 하는 구성을 적용하여 기판 손상을 최소화하는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다. Still another object of the present invention is to apply a configuration to accurately detect whether both sides of the substrate is correctly transferred to the rotational movement to move the substrate for loading or unloading to the substrate is not separated in the rotation process It is to provide a substrate transfer system that minimizes damage.

본 발명의 또 다른 목적은 로딩 또는 언로딩 과정에서 기판 적재운송기의 적재부에 흐트러진 기판과 회전이동부의 회동과정에서의 간섭을 피할 수 있게 함과 아울러 흐트러진 기판을 정렬시킴으로써 목표치 기판 적재수량을 쌓을 수 있고 기판 손상을 최소화하는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다. Another object of the present invention is to avoid the interference in the rotation process of the substrate and the substrate displaced in the loading portion of the substrate loading transport during the loading or unloading process, and also to align the substrate displaced by stacking the target substrate loading quantity To provide a substrate transfer system that can minimize and damage the substrate.

본 발명의 또 다른 목적은 다양한 기판공정 자동화라인별 높이가 다른 경우에도 이송롤러의 위치만 자동화라인에 맞춰 세팅하면 동일한 기판 적재운송기 1종류만으로 로딩/언로딩부와 함께 다양한 높이의 기판공정 자동화라인에도 적용할 수 있는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다. Yet another object of the present invention is to set the position of the feed rollers according to the automation line even when the heights of the various substrate process automation lines are different. It is to provide a substrate transfer system that can be applied to.

본 발명의 또 다른 목적은 로딩/언로딩을 위해 기판 적재운송기와 이송롤러 사이에서 기판을 하나씩 회전이동시키는 회전이동부가 종래와 같이 로딩과정에서 기판이 이송롤러를 완전히 이동할때까지 기다려 다음 과정을 진행하는 것이 아니라 기판을 로딩시킨 직후 바로 다음 과정으로 이동할 수 있는 구조를 적용하여, 로딩 또는 언로딩 작업시간을 단축시키는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다. It is still another object of the present invention to wait for the substrate to move the transfer roller completely during the loading process in the loading process, as the conventional rotary moving unit rotates the substrate one by one between the substrate carrier and the transfer roller for loading / unloading. It is to provide a substrate transfer system that reduces the loading or unloading operation time by applying a structure that can move to the next process immediately after loading the substrate rather than proceeding.

본 발명의 또 다른 목적은 이송롤러와 기판 적재운송기에 각각 간섭방지슬릿과 슬릿부를 형성하여 상기 회전이동부의 기판 이송과정 내지 360도 회전작업과정이 원활하게 수행되도록 하는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다. Still another object of the present invention is to provide a substrate transfer system for smoothly performing a substrate transfer process to a 360-degree rotation operation process by forming an interference preventing slit and a slit part in a transfer roller and a substrate loading transporter, respectively. .

본 발명의 또 다른 목적은 로딩 또는 언로딩 과정에서 기판 적재운송기를 교체하는 과정 동안 기판이 임시로 적재될 수 있게 하는 버퍼를 추가로 포함하여 기판 적재운송기의 교체 과정에서도 기판의 이송작업이 연속적으로 수행될 수 있게 하는 기판 이송시스템을 제공하는 것이다.Still another object of the present invention is to further include a buffer for temporarily loading a substrate during the process of replacing the substrate carrier in the loading or unloading process. It is to provide a substrate transfer system that can be performed.

상술한 본 발명의 목적을 달성하기 위한 기판 적재운송기 및 이를 포함하는 이송시스템은 다음과 같은 구성을 포함한다. Substrate loading transporter and a transport system including the same for achieving the above object of the present invention includes the following configuration.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재운송기는 기판이 적재되는 적재부; 및 기판이 적재된 상기 적재부를 이동시키는 이동부;를 포함하여, 상기 적재부에 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 되므로 기존 수작업으로 대차에서 L랙으로 옮기는 반복 과정에서 발생하는 기판의 기스나 찍힘 등으로 인한 손상을 최소화하고, 물류공정을 단축시키는 것을 특징으로 한다. A substrate loading transporter according to an embodiment of the present invention includes a loading portion on which the substrate is loaded; And a moving unit for moving the loading unit on which the substrate is loaded. Since the transfer of the substrate to the transportation unit and the transfer system can be performed through a single substrate loading transporter in the state where the substrate is loaded in the loading unit, the vehicle can be manually loaded. It is characterized by minimizing the damage due to substrates, stamps, etc. generated during the repetitive process to move to L rack, and shortens the logistics process.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 적재운송기에 있어서 상기 적재부는 적재되는 기판의 배면과 접촉하는 배면접촉부와, 적재되는 기판의 밑면과 접촉하는 밑면접촉부를 포함하며, 상기 배면접촉부는 기판이 배면접촉부쪽으로 쏠리도록 기울어져 형성되고 상기 밑면접촉부 역시 전면에서 후면으로 갈수록 기울어지게 형성되는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate loading transporter according to the present invention, the loading portion includes a back contact portion in contact with the rear surface of the substrate being loaded, and a bottom contact portion in contact with the bottom surface of the substrate being loaded, the back contact portion The substrate is inclined so as to be directed toward the rear contact portion, and the bottom contact portion is also characterized in that the inclined toward the rear from the front side.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 적재운송기에 있어서 상기 적재부는 일정 간격으로 상기 밑면접촉부의 전면에서 후면까지 연장되어 관통형성되는 슬릿부와, 상기 슬릿부 사이에 위치하는 중간접촉부를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate loading transporter according to the present invention, the loading portion extends from the front surface to the rear surface of the bottom contact portion at a predetermined interval and is formed through the intermediate between the slit portion and the slit portion; It characterized in that it comprises a contact.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 적재운송기에 있어서 상기 이동부는 기판 적재운송기의 운송과정에서 전후로 배열되는 기판 적재운송기끼리의 결합고정을 위해 전면에 형성되는 돌부와, 후면에 형성되는 홈부를 포함하여, 앞쪽에 위치한 기판 적재운송기의 홈부에 뒤쪽에 위치한 기판 적재운송기의 돌부가 삽입되어 결합고정되는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate loading transporter according to the present invention, the moving part is formed on the front and the rear portion for fixing the coupling between the substrate loading transporters arranged back and forth in the transport process of the substrate loading transporter, Including the groove portion formed, the projection of the substrate loading transporter located in the rear portion of the substrate loading transporter located in the front portion is characterized in that the coupling is fixed.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 적재운송기에 있어서 상기 이동부는 기판 적재운송기의 운송과정에서 적재된 기판을 묶는 로프가 걸려 고정되는 밴딩부을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate loading transporter according to the present invention, the moving part may further include a banding part to which a rope for fixing the loaded substrate is fixed in a transport process of the substrate loading transporter.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 적재운송기에 있어서 상기 이동부는 기판 적재운송기가 이송시스템에 위치된 상태에서 이동부의 이동을 방지하고 견고하게 고정시킬 수 있도록 이송시스템의 고정수단이 체결결합되는 고정부를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate loading transporter according to the present invention, the moving part is a fixing means of the transporting system so as to prevent and firmly fix the movement of the moving part while the substrate loading transporter is located in the transporting system. It characterized in that it comprises a fastening coupled to.

본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송시스템은 기판이 적재되는 적재부 및 기판이 적재된 상기 적재부를 이동시키는 이동부를 포함하는 기판 적재운송기; 상기 기판 적재운송기의 적재부에 적재된 기판을 하나씩 이송롤러에 로딩(loading)시키거나 또는 이송롤러로부터 이송되어 오는 기판을 하나씩 상기 적재부에 언로딩(unloading)시키는 로딩/언로딩부; 상기 로딩/언로딩부를 통해 로딩된 기판을 기판공정 자동화라인으로 이송시키거나 또는 기판공정 자동화라인으로부터 기판을 언로딩시키기 위해 상기 로딩/언로딩부로 이송시키는 이송롤러;를 포함하는 것을 특징으로 한다. A substrate transfer system according to an embodiment of the present invention includes a substrate loading transporter including a loading unit on which a substrate is loaded and a moving unit to move the loading unit on which a substrate is loaded; A loading / unloading unit for loading the substrates loaded on the loading unit of the substrate loading transporter into the transfer rollers one by one or unloading the substrates conveyed from the transfer rollers into the loading unit one by one; And a transfer roller which transfers the substrate loaded through the loading / unloading unit to the substrate processing automation line or transfers the substrate loaded to the loading / unloading unit to unload the substrate from the substrate processing automation line.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템은 상기 로딩/언로딩부 앞에 상기 기판 적재운송기가 정확히 위치될 수 있도록 가이드하는 적재운송기 가이드부;를 추가로 포함하고, 상기 적재운송기 가이드부는, 상기 로딩/언로딩부가 정상 작동상태가 아니거나 진입하는 기판 적재운송기와 로딩/언로딩부 간 충돌 위험이 있는 경우 상기 기판 적재운송기의 진입을 차단하는 진입차단기를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, the substrate transport system according to the present invention further includes a loading transport guide unit for guiding the substrate loading transporter to be accurately positioned in front of the loading / unloading unit; The guide part may include an inlet breaker for blocking the entry of the substrate loading transporter when the loading / unloading part is not in a normal operation state or when there is a risk of collision between the loading / unloading part and the substrate loading transporter. .

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 적재운송기 가이드부는, 진입하는 기판 적재운송기의 측면과의 마찰을 최소화하는 마찰저감부와, 정위치된 기판 적재운송기의 고정을 위해 기판 적재운송기의 고정부에 체결 결합되는 고정수단을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transport system according to the present invention, the loading transport guide portion, the friction reducing portion to minimize the friction with the side of the substrate loading transport to enter, and the position of the substrate loading transport It characterized in that it further comprises a fixing means coupled to the fixed portion of the substrate loading transporter for fixing.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템은 상기 로딩/언로딩부와 이송롤러의 동작을 제어하는 제어부;를 추가로 포함하며, 상기 로딩/언로딩부는, 로딩 또는 언로딩을 위해 상기 적재부와 이송롤러 사이에서 기판을 하나씩 회전이동시키는 회전이동부와, 로딩 또는 언로딩 과정에서 상기 적재부에 적재된 기판의 적재량이 변화함에 따른 길이(거리)변화를 측정하고 이를 활용하여 상기 회전이동부의 위치를 정확하게 조절하는 간격조절부를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, the substrate transfer system according to the invention further comprises a control unit for controlling the operation of the loading / unloading unit and the transfer roller, the loading / unloading unit, loading or unloading unit Rotation moving unit for rotating the substrate one by one between the loading unit and the transfer roller for loading and measuring the change in length (distance) as the loading amount of the substrate loaded in the loading unit during the loading or unloading process It characterized in that it comprises a spacing control unit for precisely adjusting the position of the rotary moving unit.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 간격조절부는, 상기 회전이동부의 전후방향 이동을 가이드하는 전후가이드부와, 상기 회전이동부의 상하방향 이동을 가이드하는 상하가이드부와, 상기 회전이동부를 전후방향으로 구동시키는 전후구동부와, 상기 회전이동부를 상하방향 구동시키는 상하구동부를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to still another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the gap adjusting part may include a front and rear guide part for guiding the front and rear movement of the rotational movement part, and guide the vertical movement of the rotational movement part. And a vertical guide part, a front and rear drive part for driving the rotational moving part in the front and rear direction, and a vertical drive part for driving the rotational moving part in the vertical direction.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 회전이동부는, 로딩 또는 언로딩 대상이 되는 기판의 밑면을 지지하는 밑면지지부와, 상기 밑면지지부에 밑면이 지지된 기판의 전면을 지지하는 전면지지부와, 상기 밑면지지부와 전면지지부를 포함하는 회전이동부를 회전축을 중심으로 회전이동시키는 회전모터를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the rotational moving portion is a bottom support for supporting the bottom of the substrate to be loaded or unloaded, and the bottom support is supported on the bottom And a rotation motor for rotating the rotational moving part including the bottom support part and the front support part around the axis of rotation.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 밑면지지부와 전면지지부는 일정 간격 이격된 복수 개로 형성되고, 상기 적재부는 복수 개의 상기 밑면지지부와 전면지지부가 간섭되지 않고 적재부를 지나갈 수 있도록 일정 간격으로 밑면접촉부의 전면에서 후면까지 연장되어 관통형성되는 슬릿부를 포함하고, 상기 이송롤러는 복수 개의 상기 전면지지부가 이송롤러와 간섭되지 않도록 전면지지부가 지나가는 일정 공간을 형성하는 간섭방지슬릿을 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the bottom support part and the front support part are formed in a plurality of spaced apart at regular intervals, and the loading part is not interfered with the plurality of the bottom support part and the front support part. It includes a slit that extends from the front surface to the rear surface of the bottom contact portion at a predetermined interval so as to pass through the loading portion, wherein the feed roller forms a predetermined space through which the front support portion passes so that a plurality of the front support portions do not interfere with the feed roller; It characterized in that it comprises an interference prevention slit.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 제어부는, 상기 회전이동부가 상기 이송롤러로 기판을 로딩시킨 직후 이송롤러에서 아직 기판이 이송되지 않은 상태에서도 상기 전면지지부를 상기 간섭방지슬릿을 통해 아래로 이동시켜 다시 기판 적재운송기쪽으로 회전이동시킴으로써, 로딩 또는 언로딩 공정 싸이클을 단축시키는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the control unit is the front surface even if the substrate is not yet transferred from the transfer roller immediately after the rotary movement unit loads the substrate into the transfer roller. By moving the support downward through the anti-interference slit to rotate again toward the substrate loading transport, it characterized in that the loading or unloading process cycle is shortened.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 회전이동부는, 로딩 또는 언로딩시 먼저 적재부에 적재된 기판을 밀어 정렬시킨 다음, 로딩을 위해 상기 적재부에 적재된 기판을 상기 밑면지지부쪽으로 당기는 흡착부 또는 언로딩을 위해 상기 밑면지지부에 지지된 기판을 적재부쪽으로 미는 밀착부를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the rotary moving unit, when loading or unloading, first aligns the substrate loaded in the loading unit, and then the loading unit for loading And an adhesion part for pulling the loaded substrate toward the bottom support part or an adhesion part for pushing the substrate supported on the bottom support part toward the loading part for unloading.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 회전이동부는, 상기 흡착부를 통해 밑면지지부쪽으로 이동한 기판의 전면을 압박하여 움직이지 못하도록 하는 푸시부와, 상기 푸시부가 기판의 전면을 압박한 상태에서 회전이동부와 기판 사이의 거리를 측정하는 거리측정부를 포함하고, 상기 제어부는, 상기 거리측정부를 통해 측정된 회전이동부와 기판 사이의 거리를 바탕으로 2장 이상의 기판이 상기 밑면지지부쪽으로 이동되었는지 여부를 판단하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the rotational movement portion, the push portion to prevent the movement by pressing the front surface of the substrate moved to the bottom support portion through the adsorption portion, the push It includes a distance measuring unit for measuring the distance between the rotational moving portion and the substrate while pressing the front surface of the additional substrate, the control unit, based on the distance between the rotational moving portion and the substrate measured through the distance measuring unit It is characterized by determining whether or not the above substrate is moved toward the bottom support.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 회전이동부는, 상기 거리측정부를 통해 측정된 회전이동부와 기판 사이의 거리를 바탕으로 기판이 회전이동부에 충돌이 예상되는 경우 돌출되어 기판을 보호하는 충돌방지부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the rotational moving part, the substrate collides with the rotational moving part based on the distance between the rotational moving part and the substrate measured by the distance measuring unit This is characterized in that it further comprises an anti-collision that protrudes to protect the substrate.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 적재부는 적재되는 기판의 배면과 접촉하는 배면접촉부와, 적재되는 기판의 밑면과 접촉하는 밑면접촉부를 포함하며, 상기 배면접촉부는 기판이 배면접촉부쪽으로 쏠리도록 기울어져 형성되고 상기 밑면접촉부 역시 전면에서 후면으로 갈수록 기울어지게 형성되며, 상기 회전이동부의 전후방향 이동을 가이드하는 전후가이드부 역시 상기 밑면접촉부의 기울기와 동일한 기울기로 기울어지게 형성되는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the mounting portion includes a back contact portion in contact with the back surface of the substrate being loaded, and a bottom contact portion in contact with the bottom surface of the substrate being loaded, The contact portion is formed to be inclined so that the substrate is directed toward the rear contact portion, and the bottom contact portion is also formed to be inclined from the front side to the rear side, and the front and rear guide portions for guiding the front and rear movement of the rotary movement portion also have the same slope as the bottom contact portion. It is characterized by being inclined to.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 이송롤러는, 상기 간섭방지슬릿을 중심으로 간섭방지슬릿 좌우 양측과 전방에 각각 위치하는 주이송롤러와, 상기 주이송롤러를 회동시키는 회동모터를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to still another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the feed rollers may include main feed rollers positioned at both the left and right sides and the front of the interference prevention slit with respect to the interference prevention slit, and the main feed. And a rotating motor for rotating the roller.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 간섭방지슬릿은 일정 간격 이격된 상기 전면지지부에 상응하여 일정 간격 이격되어 형성되고, 상기 간섭방지슬릿 사이에는 기판의 원활한 이송을 위해 보조롤러가 위치하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the anti-interference slits are formed to be spaced apart at regular intervals corresponding to the front support parts spaced at regular intervals, and the interference prevention slits are smoothly formed between the anti-interference slits. It is characterized in that the auxiliary roller is positioned for the transfer.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 이송롤러는, 상기 보조롤러를 상기 주이송롤러의 회동에 연동하여 회동시키는 회동연결부재를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the feed roller further comprises a rotation connecting member for rotating the auxiliary roller in conjunction with the rotation of the main feed roller. do.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 이송롤러는, 이송롤러 위를 이동하는 기판의 배열을 중앙으로 정렬시키거나 또는 이상으로 판정된 기판을 좌측 또는 우측의 한쪽 방향으로 정렬시키는 기판어레이부를 이송롤러의 좌우에 각각 포함하는 것을 특징으로 한다. According to still another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the transfer roller is configured to align the arrangement of the substrates moving on the transfer roller to the center or to determine the substrate on the left or right side. It characterized in that it comprises a substrate array portion to be aligned in one direction on the left and right of the feed roller, respectively.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 회전이동부는 로딩 과정에서 기판이 상기 밑면지지부로부터 벗어나 이송롤러상에서 이송되는지를 탐지하거나 또는 언로딩 과정에서 기판이 상기 이송롤러로부터 상기 밑면지지부까지 이송되었는지를 탐지하는 제1탐지부를 포함하고, 상기 제어부는 상기 제1탐지부의 정보를 바탕으로 기판을 로딩시킨 직후 상기 전면지지부를 상기 간섭방지슬릿을 통해 아래로 이동시켜 다시 기판 적재운송기쪽으로 회전이동시키는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the rotatable moving part detects whether the substrate is transported on the transfer roller from the bottom support in the loading process or the substrate is unloaded in the unloading process. And a first detector for detecting whether the roller is transferred from the feed roller to the bottom support, wherein the controller moves the front support downward through the interference prevention slit immediately after loading the substrate based on the information of the first detector. It is characterized in that the rotational movement toward the substrate loading transport again.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 이송롤러는 로딩 과정에서 기판이 이송롤러상에서 기판의 크기 이상만큼의 거리를 이송하였는지를 탐지하는 제2탐지부를 포함하고, 상기 제어부는 상기 제2탐지부의 정보를 바탕으로 기판이 이송롤러상에서 기판의 크기 이상만큼의 거리를 이송하지 않은 상태에서 다른 기판이 이송롤러상에 로딩되는 것을 방지하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the transfer roller includes a second detection unit for detecting whether the substrate transfers a distance of more than the size of the substrate on the transfer roller in the loading process, The controller may be configured to prevent another substrate from being loaded onto the transfer roller in a state where the substrate does not transfer a distance greater than or equal to the size of the substrate on the transfer roller based on the information of the second detection unit.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템은 언로딩 과정에서 상기 기판 적재운송기를 교체하는 과정 동안 기판이 임시로 적재될 수 있게 하는 버퍼;를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, the substrate transfer system according to the present invention further comprises a buffer for allowing the substrate to be temporarily loaded during the process of replacing the substrate loading transport in the unloading process do.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 버퍼는 상기 기판 적재운송기와 로딩/언로딩부 사이에서 상기 기판 적재운송기를 교체시에만 버퍼판이 이동하여 기판 적재운송기를 교체하는 과정에서 적재부에 적재될 기판을 버퍼판에 임시로 적재하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the buffer is moved between the substrate loading transporter and the loading / unloading unit only when the substrate loading transporter is replaced by a buffer plate. The substrate to be loaded in the loading process in the process of replacement is characterized in that the temporary loading on the buffer plate.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 버퍼는 상기 버퍼판에 회전롤러를 포함하여, 버퍼판에 적재되어 있던 기판이 교체된 기판 적재운송기로 이동하는 과정에서 기판과의 마찰을 최소화하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the buffer includes a rotating roller on the buffer plate, in the process of moving the substrate loaded on the buffer plate is replaced substrate transporter It is characterized by minimizing friction with the substrate.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 이송롤러는 로딩 또는 언로딩을 위해 이송롤러 상을 이동하는 기판이 2매 이상인지 여부를 탐지하는 이매(2매)감지유닛을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the transfer roller detects whether two or more substrates moving on the transfer roller for loading or unloading are two or more sheets (two sheets). Characterized in that it further comprises a detection unit.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 이매(2매)감지유닛은 상기 이송롤러를 지나는 기판의 상면을 터치하는 감지롤러와, 상기 감지롤러의 상하이동에 연동하여 상하이동하는 롤러프레임과, 상기 롤러프레임에 일단이 연결되며 지렛대 원리로 회전축을 중심으로 타단이 상기 일단보다 더 크게 회동하게 되는 편심회동부와, 상기 편심회동부 타단의 움직인 거리를 측정,감지하는 리미트센서를 포함하는 것을 특징으로 한다. According to still another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the double sheet sensing unit includes a sensing roller for touching an upper surface of the substrate passing through the conveying roller, and a moving roller of the sensing roller. A roller frame moving in conjunction with one another and the roller frame, one end of which is connected to the roller frame, and an eccentric pivot unit, the other end of which is rotated larger than the one end about the rotation axis on the principle of a lever, and the movement distance of the other end of the eccentric pivot unit is measured. It is characterized by including a limit sensor to detect.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 제어부는, 로딩을 위해 상기 흡착부를 통해 적재부에 적재된 기판을 상기 밑면지지부쪽으로 당기는 과정에서 일정 부분 딸려와 적재부에 흐트러져 있는 기판에, 로딩을 위한 회전이동부의 회동과정에서 밑면지지부 내지 배면지지부가 간섭되어 기판이 손상되는 것을 방지하도록, 상기 흡착부를 통해 흡착하여 당겨온 기판을 밑면지지부 내지 배면지지부에 안착시킨 회전이동부를 먼저 일정 간격 후진시킨 다음 로딩을 위해 회동시키는 회전이동부위치제어모듈을 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the control unit is accompanied by a predetermined portion in the process of pulling the substrate loaded on the loading unit through the suction unit toward the bottom support portion for loading; In order to prevent the substrate from being damaged by the interference between the bottom support and the back support during the rotation of the rotary moving part for loading, the substrate, which is attracted and pulled through the adsorption part, is placed on the bottom support or the back support. It characterized in that it further comprises a rotary mover position control module that rotates the rotary mover first at a predetermined interval and then rotates for loading.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 회전이동부는, 로딩을 위해 상기 흡착부를 통해 적재부에 적재된 기판을 상기 밑면지지부쪽으로 당기는 과정에서 일정 부분 딸려와 적재부에 흐트러져 있는 기판을 밀어 다시 정위치시키는 기판정렬부를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the rotational moving portion comes with a portion in the process of pulling the substrate loaded on the loading portion through the adsorption portion toward the bottom support portion for loading; It further comprises a substrate aligning portion for pushing back the substrate disturbed by the mounting portion.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 회전이동부는 상기 흡착부에 의해 당겨오거나 밀어지는 기판(80)의 저면과 접촉되는 분리용롤러를 추가로 포함하고, 상기 분리용롤러는 상기 흡착부에 의해 적재부에서 기판이 당겨오는 과정에서는 분리용롤러가 회전하지 않으면서 반대로 적재부쪽으로 기판이 밀어지는 과정에서는 분리용롤러가 회전하도록 하는 원웨이베어링을 포함하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the rotational moving part further includes a separation roller in contact with the bottom surface of the substrate 80 that is pulled or pushed by the adsorption part. The separation roller includes a one-way bearing which allows the separation roller to rotate in the process of pushing the substrate toward the loading unit while the separation roller does not rotate in the process of pulling the substrate from the loading unit by the adsorption unit. Characterized in that.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 거리측정부는 레이저센서를 활용하여 기판의 좌우측에 각각 대응되는 양측 2곳에서 거리를 측정함으로써, 2장 이상의 기판이 상기 밑면지지부쪽으로 이동되었는지 여부를 정확히 판단하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the distance measuring unit measures the distance at two places corresponding to each of the left and right sides of the substrate by using a laser sensor, so that two or more substrates are It is characterized by accurately determining whether or not moved to the bottom support.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 제어부는 로딩을 위해 상기 흡착부를 통해 기판이 밑면지지부쪽으로 옮겨지면 상기 회전이동부를 일정 정도 상향 회동시킨 다음 다시 하향 회동시켜 상기 거리측정부 레이저센서와 기판이 이루는 각이 최적화되도록 하고, 상기 거리측정부는 복수 개의 상기 밑면지지부마다 근접한 위치에서 기판과의 거리를 측정하여, 2장 이상의 기판이 상기 밑면지지부쪽으로 이동되었는지 여부를 정확히 판단하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, if the substrate is moved toward the bottom support part through the adsorption part for loading, the controller rotates the rotational movement part upward and then rotates downward again. By optimizing the angle between the distance measuring unit laser sensor and the substrate, the distance measuring unit measures the distance to the substrate at a position close to each of the plurality of the bottom support, whether two or more substrates are moved toward the bottom support It is characterized by judging exactly.

본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 본 발명에 따른 기판 이송시스템에 있어서 상기 회전이동부는 상기 밑면지지부의 타단에 기판의 배면을 지지하는 배면지지부를 추가로 포함하거나 또는 상기 밑면지지부에 기판의 저면이 삽입되는 별도의 홈부를 추가로 형성하는 것을 특징으로 한다. According to another embodiment of the present invention, in the substrate transfer system according to the present invention, the rotational moving part further includes a back support for supporting the back of the substrate on the other end of the bottom support, or the bottom support on the substrate. It is characterized in that the additional groove portion is further formed to be inserted into the bottom.

본 발명은 앞서 본 실시예와 하기에 설명할 구성과 결합, 사용관계에 의해 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다. The present invention can obtain the following effects by the configuration, combination, and use relationship described above with the present embodiment.

본 발명은 종래 기판의 운송을 위해 기판을 적재하는 L랙과 적재된 L랙을 탑재하여 이동시키는 대차가 각각 별개로 운용되어 적재와 운송이 번거로웠던 문제점을 개선하여, 기판을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기를 통해 이루어질 수 있게 되므로 기존 수작업으로 대차에서 L랙으로 옮기는 과정에서 기스나 찍힘 등으로 발생하는 기판 불량 문제를 해결할 수 있음은 물론, 물류공정을 단축시킬 수 있는 효과를 갖는다. The present invention improves the problem that the loading and transportation is cumbersome because the conventional L rack for loading the substrate and the loaded L rack for moving the substrate is operated separately, and in the state of loading the substrate. Since the transfer to the transportation and transfer system can be made through a single board loading transporter, it can solve the problem of substrate defects caused by gas or stamping in the process of moving from the truck to the L rack by hand, and also the logistics process. It has an effect that can be shortened.

본 발명은 기판의 운송과정에서 기판을 견고하게 고정시킬 수 있는 효과를 갖는다. The present invention has the effect of firmly fixing the substrate in the transport process of the substrate.

본 발명은 기판 이송시스템 내 기판 적재운송기의 진입과 고정을 가이드하거나 또는 이상상황시 진입을 차단하는 적재운송기 가이드부를 포함하여 기판이나 시스템 손상을 예방할 수 있는 효과를 갖는다. The present invention has an effect of preventing the damage to the substrate or the system, including the loading transport guide portion for guiding the entry and fixation of the substrate loading transport in the substrate transport system or blocking the entry in an abnormal situation.

본 발명은 기판을 로딩하는 과정에서 기판이 2매씩 로딩되는 것을 정확하게 감지하여 1매씩만 로딩될 수 있게 하므로, 공정의 효율성과 다음 공정에서의 파손 발생이나 불량 발생을 방지할 수 있는 효과를 갖는다. According to the present invention, since the substrate is accurately detected by loading two sheets in the process of loading the substrate, only one sheet can be loaded, and thus the efficiency of the process and the occurrence of breakage or failure in the next process can be prevented.

본 발명은 2매 이상의 기판 감지를 위해 로딩/언로딩부 및/또는 이송롤러 상에 2매 이상의 기판을 증폭감지 등의 방식으로 정확하게 감지할 수 있게 하는 구성 내지 2매 이상의 기판이 딸려왔을 시 이를 다시 원위치시키는 구성을 적용하여 어떠한 경우에도 2매 이상의 기판이 로딩되는 것을 방지하여 2매 이상의 기판 로딩으로 인한 문제를 해결하는 효과를 갖는다. The present invention, when the two or more substrates have been provided with a configuration that can accurately detect the two or more substrates on the loading / unloading unit and / or the transfer roller for the detection of two or more substrates by amplification detection, etc. Applying the configuration to re-introduced in any case to prevent the loading of two or more substrates has the effect of solving the problem caused by the loading of two or more substrates.

본 발명은 기판 적재운송기를 이송시스템 내 정확한 위치에 고정시킨 상태에서 로딩/언로딩 과정에서 변해가는 기판의 개수에 따라 실시간으로 변화되는 정확한 거리를 측정하여 그에 따라 로딩/언로딩부의 위치를 조절함으로써, 기판 적재운송기와 이송롤러 사이에서의 기판 로딩/언로딩을 신속,정확하게 스스로 판단하여 수행하는 효과를 갖는다. The present invention by measuring the exact distance that is changed in real time according to the number of substrates that change in the loading / unloading process while the substrate loading transporter is fixed at the correct position in the transfer system by adjusting the position of the loading / unloading unit accordingly In addition, the substrate loading / unloading between the substrate loading transporter and the transport roller has an effect of performing self-judgment quickly and accurately.

본 발명은 로딩 또는 언로딩 과정에서의 로딩/언로딩부의 속도나 부드러운 회전을 제어하여 옮기는 과정에서의 기판 손상 등을 방지하는 효과를 갖는다. The present invention has the effect of preventing damage to the substrate in the process of moving by controlling the speed or smooth rotation of the loading / unloading portion during the loading or unloading process.

본 발명은 로딩 또는 언로딩을 위해 기판을 옮겨 이동시키는 회전이동부에 기판의 양쪽 전체가 정확히 옮겨졌는지를 정확히 감지하는 구성 내지 회전과정에서 기판이 이탈되지 않게 하는 구성을 적용하여 기판 손상을 방지하는 효과를 갖는다. The present invention prevents damage to the substrate by applying a configuration to accurately detect whether both sides of the substrate is correctly transferred to the rotational movement to move the substrate for loading or unloading to prevent the substrate from being separated during the rotation process Has an effect.

본 발명은 로딩 또는 언로딩 과정에서 기판 적재운송기의 적재부에 흐트러진 기판과 회전이동부의 회동과정에서의 간섭을 피할 수 있게 함과 아울러 흐트러진 기판을 정렬시킴으로써 목표치 기판 적재수량을 쌓을 수 있고 기판 손상을 방지하는 효과를 갖는다. The present invention can avoid the interference during the rotation process of the substrate and the displaced portion of the substrate loading transport during the loading or unloading process, and also by aligning the distorted substrates can accumulate the target substrate loading quantity and damage the substrate Has the effect of preventing.

본 발명은 다양한 기판공정 자동화라인별 높이가 다른 경우에도 이송롤러의 위치만 자동화라인에 맞춰 세팅하면 동일한 기판 적재운송기 1종류만으로 로딩/언로딩부와 함께 다양한 높이의 기판공정 자동화라인에도 적용할 수 있는 효과를 갖는다. The present invention can be applied to a substrate processing automation line of various heights together with a loading / unloading unit with only one type of substrate loading transporter if only the position of the transfer roller is set according to the automation line even when the height of each substrate processing automation line is different. Has the effect.

본 발명은 로딩/언로딩을 위해 기판 적재운송기와 이송롤러 사이에서 기판을 하나씩 회전이동시키는 회전이동부가 종래와 같이 로딩과정에서 기판이 이송롤러를 완전히 이동할때까지 기다려 다음 과정을 진행하는 것이 아니라 기판을 로딩시킨 직후 바로 다음 과정으로 이동할 수 있는 구조를 적용하여, 로딩 또는 언로딩 작업시간을 단축시키는 효과를 갖는다. The present invention does not proceed until the next process by waiting for the substrate to completely move the transfer roller during the loading process in the loading process as the conventional rotation movement unit for moving the substrate one by one between the substrate loading transport and the transfer roller for loading / unloading Applying a structure that can move to the next process immediately after loading the substrate, has the effect of reducing the loading or unloading operation time.

본 발명은 이송롤러와 기판 적재운송기에 각각 간섭방지슬릿과 슬릿부를 형성하여 상기 회전이동부의 기판 이송과정 내지 360도 회전작업과정이 원활하게 수행되도록 하는 효과를 갖는다. The present invention has an effect of smoothly performing the substrate transfer process to the 360-degree rotation work process of the rotation moving unit by forming the interference prevention slit and the slit portion in the transport roller and the substrate loading transport, respectively.

본 발명은 로딩 또는 언로딩 과정에서 기판 적재운송기를 교체하는 과정 동안 기판이 임시로 적재될 수 있게 하는 버퍼를 추가로 포함하여 기판 적재운송기의 교체 과정에서도 기판의 이송작업이 연속적으로 수행될 수 있게 하는 효과를 갖는다. The present invention further includes a buffer that allows the substrate to be temporarily loaded during the process of replacing the substrate carrier in the loading or unloading process so that the substrate transfer operation can be continuously performed even during the replacement of the substrate carrier. Has the effect.

도 1은 종래 대차와 L랙을 도시한 참고도1 is a reference diagram showing a conventional truck and L rack

도 2는 종래 L랙을 이용한 이송시스템의 구조도2 is a structural diagram of a transport system using a conventional L rack

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재운송기의 측면도3 is a side view of a substrate loading transporter according to an embodiment of the present invention;

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재운송기의 평면도Figure 4 is a plan view of a substrate loading transporter according to an embodiment of the present invention

도 5는 운송과정에서 기판 적재운송기가 연결된 상태를 도시한 참고도5 is a reference diagram illustrating a state in which a substrate loading transporter is connected in a transport process;

도 6은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 이송시스템의 측면도6 is a side view of a substrate transfer system according to an embodiment of the present invention;

도 7은 도 6에 사용되는 로딩/언로딩부의 측면도7 is a side view of the loading / unloading unit used in FIG.

도 8은 로딩/언로딩부의 평면도8 is a plan view of a loading / unloading unit;

도 9는 도 7의 회전이동부의 상세도9 is a detailed view of the rotary mover of FIG.

도 10은 도 7의 회전이동부의 다른 예를 도시한 상세도10 is a detailed view showing another example of the rotary mover of FIG.

도 11은 도 6에 사용되는 이송롤러의 평면도11 is a plan view of the feed roller used in FIG.

도 12는 로딩 과정에서 기판이 회전이동부로 이동하는 상태를 도시한 참고도12 is a reference diagram showing a state in which the substrate is moved to the rotary mover during the loading process

도 13은 로딩 과정에서 기판이 이송롤러로 로딩된 상태를 도시한 참고도FIG. 13 is a reference diagram illustrating a state in which a substrate is loaded by a transfer roller in a loading process; FIG.

도 14는 로딩 과정에서 기판이 이송롤러에 로딩된 직후 회전이동부가 이동하는 상태를 도시한 참고도14 is a reference diagram showing a state in which the rotary moving unit is moved immediately after the substrate is loaded on the feed roller in the loading process

도 15는 언로딩 과정에서 이송롤러로 이송된 기판을 언로딩하기 위해 회전이동부가 이동하는 상태를 도시한 참고도15 is a reference diagram showing a state in which the rotary mover moves to unload the substrate transferred to the feed roller in the unloading process

도 16은 언로딩 과정에서 기판이 회전이동부에서 적재부로 이동하는 상태를 도시한 참고도FIG. 16 is a reference diagram illustrating a state in which a substrate moves from a rotation moving part to a loading part in an unloading process.

도 17은 적재운송기 가이드부를 도시한 참고도17 is a reference diagram showing a loading transport guide portion

도 18은 버퍼가 이동하여 버퍼에 기판이 적재되는 상태를 도시한 참고도18 is a reference diagram illustrating a state in which a substrate is loaded in the buffer by moving the buffer;

도 19는 버퍼에 적재된 기판이 적재부로 이동하는 상태를 도시한 참고도19 is a reference diagram illustrating a state in which a substrate loaded in a buffer moves to a loading unit;

도 20은 이매(2매)감지유닛을 도시한 상세도20 is a detailed view showing a double sheet (2 sheets) detecting unit;

도 21은 회전이동부의 측면에서의 세부 구성을 도시한 상세도21 is a detailed view showing a detailed configuration of the side surface of the rotary mover;

도 22는 회전이동부의 정면에서의 세부 구성을 도시한 상세도Fig. 22 is a detailed view showing the detailed configuration of the front side of the rotatable moving part.

도 23은 로딩 또는 언로딩 작업의 반복에 따라 적재부에 기판이 흐트러진 상태를 도시한 참고도FIG. 23 is a diagram illustrating a state in which a substrate is disturbed in a loading part in accordance with repetition of loading or unloading operations. FIG.

도 24는 회전이동부위치제어모듈의 제어하에 회전이동부가 후진 후 회동하는 상태를 도시한 참고도24 is a reference diagram showing a state in which the rotary mover rotates after reversing under the control of the rotary mover position control module.

도 25는 회전이동부가 들어 올려진 후 다시 내려와 2매 이상의 기판 여부를 확인하는 과정을 도시한 참고도FIG. 25 is a reference diagram illustrating a process of checking whether two or more substrates come down after the rotary mover is lifted up

도 26은 기판정렬부가 적재부 기판을 정렬하는 상태를 도시한 참고도26 is a reference diagram showing a state in which the substrate alignment unit aligns the loading unit substrate;

*도면에서 사용되는 부호의 설명* Explanation of symbols used in the drawings

30: 기판 적재운송기 310: 적재부30: substrate loading transporter 310: loading part

311: 배면접촉부 312: 밑면접촉부311: back contact 312: bottom contact

313: 슬릿부 314: 중간접촉부313: slit portion 314: intermediate contact portion

320: 이동부 321: 돌부320: moving unit 321: protrusion

322: 홈부 323: 밴딩부322: groove portion 323: bending portion

324: 로프 325: 고정부324: rope 325: fixing part

326: 보호부재 327: 전복방지보조바퀴326: protection member 327: rollover assist wheel

328: 정위치돌부328: fixed position protrusion

40: 로딩/언로딩부 410: 회전이동부40: loading / unloading unit 410: rotary moving unit

411: 밑면지지부 412: 전면지지부411: bottom support 412: front support

413: 배면지지부 414: 회전모터413: rear support 414: rotary motor

415: 흡착부 415-1: 분리용롤러415: adsorption unit 415-1: separation roller

416: 푸시부 416-1: 기판정렬부416: push portion 416-1: substrate alignment portion

417: 거리측정부 418: 충돌방지부417: distance measuring unit 418: collision avoidance

419: 제1탐지부 420: 간격조절부419: first detecting unit 420: gap adjusting unit

421: 전후가이드부 422: 상하가이드부421: front and rear guide portion 422: upper and lower guide portion

423: 전후구동부 424: 상하구동부423: front and rear drive part 424: up and down drive part

50: 이송롤러 510: 주이송롤러50: feed roller 510: main feed roller

520: 간섭방지슬릿 530: 보조롤러520: anti-interference slit 530: auxiliary roller

540: 회동모터 550: 기판어레이부540: rotation motor 550: substrate array unit

560: 회동연결부재 570: 제2탐지부560: rotation connecting member 570: second detection unit

580: 이매(2매)감지유닛 581: 감지롤러580: double sheet detection unit 581: detection roller

582: 롤러프레임 583: 편심회동부582: roller frame 583: eccentric rotating part

584: 회전축 585: 리미트센서584: axis of rotation 585: limit sensor

586: 손잡이 587: 제2손잡이586: handle 587: second handle

60: 제어부60: control unit

70: 적재운송기 가이드부 710: 진입차단기70: loading transport guide portion 710: inlet breaker

720: 마찰저감부 730: 고정수단720: friction reducing unit 730: fixing means

740: 정위치홈부 80: 기판740: positioning groove portion 80: the substrate

90: 버퍼 910: 버퍼판90: buffer 910: buffer plate

920: 회전롤러 930: 내외 구동부920: rotating roller 930: internal and external drive unit

*종래기술에 관련된 부호* Code related to the prior art

2: 기판 3: L자형 랙2: board 3: L-shaped rack

4: 랙이송용 로울러 5: 기판이송용 로울러4: Roller transport roller 5: Board transport roller

6: 대차 10: 도그6: bogie 10: dog

이하에서는 본 발명에 따른 기판 적재운송기 및 이를 포함하는 이송시스템의 바람직한 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 하기에서 본 발명을 설명함에 있어서 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하도록 한다. 명세서 전체에서, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다. Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, preferred embodiments of a substrate loading transporter and a transport system including the same according to the present invention will be described in detail. In the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. Throughout the specification, when a part is said to "include" a certain component, it means that it may further include other components, without excluding other components unless specifically stated otherwise.

인쇄회로기판(PCB, Printed Circuit Board)은 기판 자체를 공장에서 생산한 이후, 이를 각각의 사용 용도에 맞도록 처리공정을 거치게 되는데, 이때 제작된 기판을 각각의 공정 단계에 공급하기 위해 기판을 적재, 운송하는 과정을 거치게 되는데, 본 발명은 이에 사용되는 기판 적재운송기 및 이를 포함하는 이송시스템에 관한 것이다. Printed Circuit Boards (PCBs) are produced at the factory themselves, and then processed to meet their respective needs. At this time, the boards are loaded to supply the manufactured boards to the respective process steps. The present invention relates to a substrate loading transporter and a transport system including the same.

도 3 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재운송기(30)는 기판(80)이 적재되는 적재부(310); 및 기판(80)이 적재된 상기 적재부(310)를 이동시키는 이동부(320);를 포함하여, 상기 적재부(310)에 기판(80)을 적재한 상태에서 운송과 이송시스템까지의 이동이 하나의 기판 적재운송기(30)를 통해 이루어질 수 있게 되므로 물류공정을 단축시키는 것을 특징으로 한다. 3 to 5, the substrate loading transporter 30 according to an embodiment of the present invention includes a loading unit 310 on which the substrate 80 is loaded; And a moving unit 320 for moving the loading unit 310 on which the substrate 80 is loaded, and moving to a transportation and transfer system in a state in which the substrate 80 is loaded in the loading unit 310. It can be made through this one substrate loading transporter 30, characterized in that to shorten the logistics process.

앞서, 종래기술의 문제점으로 언급한 바와 같이, 도 1을 참조하면, 수십 장의 기판을 별도의 운송용 대차에 따로 적재하여 운송하다가, 운송 후 기판을 'L랙(3)'이라고 부르는 L자형 적재부에 옮기거나 또는 별도의 보관용 대차로 옮기게 되고, 다시 L랙(3)을 이송시스템에 로딩하여 사용하는 과정을 반복하는 종래의 방식은, 공장에서 운송, 그리고 다시 L랙(3)에 기판을 옮겨 적재하는 과정, L랙(3)을 처리과정이 이루어지는 이송시스템으로 옮겨 시스템에 위치시키는 과정(일 예로, L랙(3)을 대차(6)에 결합하거나 옮겨놓는 과정(도 2 참조)) 등 여러 단계의 복잡한 적재/운송 과정을 거쳐야 하므로 적재 및 운송 과정에서만 많은 작업시간과 비용이 소요되는 문제를 안게 된다. As mentioned above as a problem of the prior art, referring to FIG. 1, the dozens of boards are transported by being loaded separately in a separate transport trolley, and after transportation, the L-shaped loading unit which calls the boards 'L rack 3'. In the conventional method, which is transferred to a separate storage trolley, the process of repeating the process of loading and using the L rack 3 into the transfer system is carried out at the factory, and then back to the L rack 3. Transfer process, the process of placing the L rack (3) to the transfer system where the processing takes place (for example, the process of coupling or replacing the L rack (3) to the bogie 6 (see Fig. 2)) This involves a lot of complicated loading / transportation processes, and therefore, a lot of work time and costs are required only in the loading and transportation process.

이러한 문제를 근본적으로 해결할 수 있도록, 본 발명에 따른 기판 적재운송기(30)는 도 3에 도시된 바와 같이, 기판(80)이 정렬,적재되는 적재부(310)와 기판(80)이 적재된 상기 적재부(310)를 목적하는 장소로 이동시키는 이동부(320)가 일체로 형성된 기판 적재운송기(30)를 통해, 공장에서의 기판 적재 및 출하에서부터 하나의 기판 적재운송기(30)를 통해 적재에서부터 운송까지 이루어지고 더욱이 기판의 처리과정이 이루어지는 이송시스템에까지 이동부(320)가 포함된 하나의 기판 적재운송기(30)를 이용하여 기판을 이동시킬 수 있게 됨으로써 물류공정을 단축시킬 수 있게 된다. 즉, 종래와 같이 운송용 대차에서 L랙으로 옮기고 이를 다시 대차에 올려 결합시키고 마지막에는 이송시스템으로 여러 차례 다시 L랙을 옮기는 복잡한 과정을 생략하고, 처음부터 마지막까지 하나의 기판 적재운송기(30)를 통해 일련의 적재 및 운송과정이 이루어지므로 적재 및 운송에 소요되던 시간과 비용(노동력)을 획기적으로 절감시키게 된다. In order to fundamentally solve this problem, the substrate loading transporter 30 according to the present invention, as shown in Figure 3, the loading unit 310 and the substrate 80 on which the substrate 80 is aligned and loaded are loaded. Through the substrate stacking transporter 30 in which the moving unit 320 for moving the stacking unit 310 to a desired place is integrally formed, the stacking unit 310 is loaded through a single board stacking transporter 30 from substrate loading and shipping at the factory. It is possible to shorten the logistics process by being able to move the substrate by using a single substrate loading transporter 30 including the moving unit 320 to the transport system is made from the transport to further processing of the substrate. That is, as in the prior art, the transfer from the transport truck to the L rack and combine it again to the balance, and at the end of the complicated process of moving the L rack again several times to the transport system, and omits one substrate loading transporter 30 from the beginning to the end Through a series of loading and transport processes, the time and cost (labor power) required for loading and transporting are greatly reduced.

한편, 상기 적재부(310)는 적재되는 기판(80)의 배면과 접촉하는 배면접촉부(311)와, 적재되는 기판(80)의 밑면과 접촉하는 밑면접촉부(312)와, 일정 간격으로 상기 밑면접촉부(312)의 전면에서 후면까지 연장되어 관통형성되는 슬릿부(313)와, 상기 슬릿부(313) 사이에 위치하는 중간접촉부(314)를 포함할 수 있다. On the other hand, the mounting portion 310 is a back contact portion 311 in contact with the back surface of the substrate 80 to be loaded, a bottom contact portion 312 in contact with the bottom surface of the substrate 80 to be loaded, and the bottom surface at regular intervals It may include a slit portion 313 extending from the front side to the rear side of the contact portion 312 and the intermediate contact portion 314 positioned between the slit portion 313.

이때, 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 배면접촉부(311)는 적재되는 기판(80)이 배면접촉부(311)쪽으로 쏠리도록 기울어져 형성되고, 아울러 상기 밑면접촉부(312) 역시 전면(바깥쪽)에서 후면(안쪽)으로 갈수록 기울어지게 형성됨으로써, 운송과정에서도 기판(80)이 안정적으로 적재될 수 있게 함은 물론(또한, 도 5에 도시된 바와 같이, 적재된 기판(80)이 경사짐으로 인해 전후로 배열된 기판 적재운송기(30) 사이에 형성된 공간에 별도의 보호부재(326)를 가로질러 배치할 수도 있게 된다. 이때, 보호부재(326)의 배치를 위해 도 5에 도시된 바와 같이 별도의 받침대나 턱이 형성될 수 있다), 후술할 회전이동부(410)를 이용한 로딩 또는 언로딩 과정에서도 흡착부(415)를 이용해 기판(80)을 한 장씩 흡착하여 옮기는데에도 유리하게 된다. 한편, 적재된 기판(80)이 경사짐으로 인해 안정적으로 적재될 수 있으나, 혹시 경사진 부분을 이동함에 있어 기판 적재운송기(30)가 뒤로 쏠려 넘어지는 것을 방지하기 위한 추가적 구성으로, 도 3 등에 도시된 바와 같이, 전복방지보조바퀴(327)를 추가로 포함할 수 있는데, 이는 기판 적재운송기(30)의 배면측에서 이동을 위한 기존 바퀴보다 약간 지면에서 뜨도록 위치하여, 평상시에는 지면과 닿지 않다가 경사진 부분을 오르거나 또는 기판 적재운송기(30)가 뒤로 넘어가려고 하는 경우에 지면과 닿아 기판 적재운송기(30)가 안정적으로 경사진 부분을 오르게 하거나 또는 전복되는 것을 방지하게 된다. At this time, as shown in Figure 3, the back contact portion 311 is formed to be inclined so that the substrate 80 to be loaded is directed toward the back contact portion 311, and the bottom contact portion 312 is also the front (outer) As it is formed to be inclined toward the rear side (inside), the substrate 80 can be stably loaded even during the transportation process (also, as shown in FIG. 5, as the loaded substrate 80 is inclined). Due to this, it may be arranged across the separate protective member 326 in the space formed between the substrate carriers 30, which are arranged back and forth, as shown in Figure 5 for the arrangement of the protective member 326. A pedestal or jaw of the can be formed), even in the loading or unloading process using the rotary moving unit 410 to be described later, it is advantageous to absorb and move the substrate 80 one by one using the adsorption unit 415. On the other hand, the loaded substrate 80 may be stably loaded due to the inclination, but in an additional configuration for preventing the substrate loading transporter 30 from falling back in case of moving the inclined portion, FIG. As shown, it may further include an anti-overturning wheel 327, which is positioned to float slightly on the ground than the existing wheels for movement on the rear side of the substrate loading transporter 30, usually not in contact with the ground If it does not climb the inclined portion or the substrate stacking carrier 30 is going to fall back to the ground to prevent the substrate stacking transporter 30 to rise or tilt over the inclined portion stably.

또한, 후술할 바와 같이, 로딩 또는 언로딩 과정에서 작동하는 회전이동부(410)의 밑면지지부(411)나 전면지지부(412)의 구성 등이 회전이동 과정에서 상기 적재부(310)와 간섭되지 않고 원활하게 이동할 수 있게 하기 위해, 일정 간격으로 상기 밑면접촉부(312)의 전면에서 후면까지 연장되어 관통형성되는 슬릿부(313)를 포함하는데, 그 작용과정에 대해서는 후술하도록 한다. 또한, 상기 슬릿부(313) 사이에는 별도의 중간접촉부(314)가 위치할 수 있는데, 이는 상대적으로 작은 크기의 기판(80)인 경우 상기 슬릿부(313)보다 작게 되면 적재부(310)에 적재시 문제될 수 있으므로 이를 방지하기 위해 작은 크기의 기판(80)을 적재할 수 있도록 형성되는 구성이다. In addition, as will be described later, the configuration of the bottom support 411 or the front support 412 of the rotary moving unit 410 operating in the loading or unloading process does not interfere with the loading unit 310 during the rotational movement. In order to be able to move smoothly without moving, it includes a slit portion 313 extending from the front to the rear of the bottom contact portion 312 at a predetermined interval to be penetrated, which will be described later. In addition, a separate intermediate contact portion 314 may be located between the slit portions 313, which is smaller than the slit portion 313 when the substrate 80 is a relatively small size. Since it may be a problem when loading, it is a configuration that can be formed to load a small size of the substrate 80 to prevent this.

한편, 상기 이동부(320)는 기판 적재운송기(30)의 운송과정에서 도 5에 도시된 바와 같이, 전후로 배열되는 기판 적재운송기(30)끼리의 결합고정을 위해, 기판 적재운송기(30)의 전면(전방)에 형성되는 돌부(321)와, 그와 대향되는 후면(후방)에 형성되는 홈부(322)를 포함하여, 기판 적재운송기(30)들의 전후로 배열시 앞쪽에 위치한 기판 적재운송기(30)의 홈부(322)에 뒤쪽에 위치한 기판 적재운송기(30)의 돌부(321)가 삽입되어 기판 적재운송기(30)들간 결합고정되는 특징을 갖게 된다. Meanwhile, as illustrated in FIG. 5, the moving part 320 is configured to fix the coupling between the substrate loading transporters 30 arranged back and forth, as shown in FIG. 5 in the transportation process of the substrate loading transporter 30. A substrate loading transporter 30 located in front of the substrate stacking transporters 30, including a protrusion 321 formed on the front surface (front side) and a groove portion 322 formed on the rear surface (rear side) facing the front surface. The protrusion 321 of the substrate loading transporter 30 located at the rear side of the groove portion 322 is inserted into the groove 322 to have the coupling fixing between the substrate loading transporters 30.

또한, 상기 이동부(320)는 기판 적재운송기(30)의 운송과정에서 적재된 기판(80)을 묶는 로프(324)가 걸려 고정되는 밴딩부(323)을 추가로 포함함으로써, 기판(80)을 묶는 로프(324)가 운송 과정에서 위치를 이탈하는 등의 경우를 방지할 수 있으며, 추가적으로 기판 적재운송기(30)가 이송시스템에 위치된 상태에서 이동부(320)의 이동을 방지하고 견고하게 고정될 수 있도록 후술할 이송시스템의 고정수단(730)이 체결결합되는 부위인 고정부(325)를 포함함으로써, 기판 적재운송기(30)이 이송시스템 내에 견고히 고정된 상태에서 기판(80)의 로딩 또는 언로딩 과정이 수행될 수 있도록 한다. 이때, 추가적으로 도 6 및 17에 도시된 바와 같이, 상기 이동부(320)에는 정위치돌부(328)가, 후술할 적재운송기 가이드부(70)에는 정위치홈부(740)가 형성되어, 기판 적재운송기(30)가 이송시스템에 위치하는 과정에서 상기 정위치돌부(328)가 정위치홈부(740)에 정확히 끼워지는 원리는 통해 기판 적재운송기(30)를 정확한 위치에 위치시킬 수 있게 함은 물론, 기판 적재운송기(30)의 정위치과정에서 충격이 이송시스템에 전달되는 것을 상기 정위치홈부(740)를 통해 완충시킬 수 있게 할 수 있다. In addition, the moving part 320 further includes a banding part 323 to which the rope 324 that binds the loaded substrate 80 is fixed in the process of transporting the substrate loading transporter 30, thereby providing a substrate 80. Rope 324 tying the wire can be prevented from moving out of position in the transport process, and additionally prevent the movement of the moving unit 320 in the state that the substrate loading transporter 30 is located in the transport system and firmly By including a fixing part 325 is a portion to which the fixing means 730 of the transfer system to be described later coupled to be fixed, loading the substrate 80 in a state that the substrate loading transporter 30 is firmly fixed in the transfer system Or allow the unloading process to be performed. At this time, as shown in Figures 6 and 17, the moving portion 320, the fixed position projection 328, the loading transport guide portion 70 to be described later formed in the groove position 740, the substrate loading In the process of positioning the transporter 30 in the transport system, the exact position protrusion 328 is accurately fitted to the right position groove 740 through the substrate loading transporter 30 can be positioned in the correct position, as well as In this case, the shock is transmitted to the transfer system in the process of positioning the substrate stacking transporter 30 through the positioning groove 740.

한편, 도 6 내지 도 26을 참조하면, 앞서 설명한 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 적재운송기(30)를 포함하는(가 적용되는) 기판 이송시스템은, 기판(80)이 적재되는 적재부(310) 및 기판(80)이 적재된 상기 적재부(310)를 이동시키는 이동부(320)를 포함하는 기판 적재운송기(30); 상기 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)에 적재된 기판(80)을 하나씩 이송롤러(50)에 로딩(loading)시키거나 또는 이송롤러(50)로부터 이송되어 오는 기판(80)을 하나씩 상기 적재부(310)에 언로딩(unloading)시키는 로딩/언로딩부(40); 상기 로딩/언로딩부(40)를 통해 로딩된 기판(80)을 기판공정 자동화라인으로 이송시키거나 또는 기판공정 자동화라인으로부터 기판(80)을 언로딩시키기 위해 상기 로딩/언로딩부(40)로 이송시키는 이송롤러(50); 상기 로딩/언로딩부(40)와 이송롤러(50)의 동작을 제어하는 제어부(60); 및 상기 로딩/언로딩부(40) 앞에 상기 기판 적재운송기(30)가 정확히 위치될 수 있도록 가이드하는 적재운송기 가이드부(70);를 포함할 수 있다. 상기 기판 적재운송기(30)는 앞서 설명한 것과 동일한 구성이므로, 이하에서는 구체적 설명은 생략토록 한다. Meanwhile, referring to FIGS. 6 to 26, a substrate transfer system including (subjected to) a substrate loading transporter 30 according to an embodiment of the present invention described above may include a loading portion on which a substrate 80 is loaded. A substrate stacking transporter (30) comprising a moving portion (320) for moving the stacking portion (310) on which the substrate (310) and the substrate (80) are mounted; The substrates 80 loaded on the loading unit 310 of the substrate loading transporter 30 are loaded to the transfer roller 50 one by one or the substrates 80 transferred from the transfer roller 50 one by one. A loading / unloading unit 40 for unloading the loading unit 310; The loading / unloading portion 40 to transfer the substrate 80 loaded through the loading / unloading portion 40 to the substrate processing automation line or to unload the substrate 80 from the substrate processing automation line. Feed roller 50 for feeding to; A control unit 60 for controlling the operation of the loading / unloading unit 40 and the transfer roller 50; And a loading transporter guide unit 70 for guiding the substrate loading transporter 30 to be accurately positioned in front of the loading / unloading unit 40. Since the substrate loading transporter 30 has the same configuration as described above, a detailed description thereof will be omitted.

먼저, 상기 기판 적재운송기(30)를 이송시스템 내에 위치시킬 수 있도록 가이드 및 고정하는 상기 적재운송기 가이드부(70)는, 도 17을 참조하면, 상기 로딩/언로딩부(40)가 정상 작동상태가 아니거나 또는 진입하는 기판 적재운송기(30)와 로딩/언로딩부(40) 간 충돌 위험이 있는 경우 상기 기판 적재운송기(30)의 진입을 차단하는 진입차단기(710)와, 진입하는 기판 적재운송기(30)의 측면과의 마찰을 최소화하는 마찰저감부(720)와, 정위치된 기판 적재운송기(30)의 고정을 위해 상기 기판 적재운송기(30)의 고정부(325)에 체결 결합되는 고정수단(730)을 포함할 수 있다. First, as shown in FIG. 17, the loading / unloading unit 40 is operated in a normal operating state. Referring to FIG. 17, the loading / transporter guide unit 70 guides and fixes the substrate loading transporter 30 to be positioned in a transport system. If there is a risk of collision between the substrate loading transporter 30 and the loading / unloading unit 40 is not entering or entering the circuit breaker 710 to block the entry of the substrate loading transporter 30, the substrate loading The friction reducing unit 720 to minimize the friction with the side of the transporter 30, and is fastened to the fixed portion 325 of the substrate loading transporter 30 for fixing the in-place substrate loading transporter 30 It may include a fixing means (730).

상기 진입차단기(710)는 기판 적재운송기(30)를 이송시스템 내에 위치시키기 위해 진입하는 과정에서 상기 로딩/언로딩부(40)가 정상 작동상태가 아니거나 또는 진입하는 기판 적재운송기(30)와 로딩/언로딩부(40) 간 충돌 위험이 있는 경우 상기 기판 적재운송기(30)의 진입을 차단할 수 있도록 적재운송기 가이드부(70) 상에 형성되는 구성으로, 기판 적재운송기(30)의 진입을 차단해야 하는 경우 (상기 제어부(60)의 제어 하에)적재운송기 가이드부(70)의 공간 내로 돌출되어 기판 적재운송기(30)의 이동부(320)가 더 이상 적재운송기 가이드부(70) 내부 공간으로 진입하지 못하도록 한다. The inlet breaker 710 and the substrate loading transporter 30, the loading / unloading unit 40 is not in a normal operating state or enters in the process of entering the substrate loading transporter 30 in the transport system; When there is a risk of collision between the loading / unloading unit 40, the substrate loading transporter 30 is formed on the loading transporter guide unit 70 to block entry of the substrate transporting device 30. If it is to be blocked (under the control of the control unit 60) protrudes into the space of the carrier transporter guide 70, the moving unit 320 of the substrate loading transporter 30 is no longer the internal space of the transporter guide unit 70 Do not enter

상기 마찰저감부(720)는 진입하는 기판 적재운송기(30)의 측면과의 마찰을 최소화하는 구성으로, 일 예로 도 17에 도시된 바와 같은 볼베어링 등이 적용될 수 있으며, 다른 예로는 회전롤러 등도 활용될 수 있다. The friction reducing unit 720 is configured to minimize friction with the side of the substrate loading transporter 30 to enter, for example, a ball bearing as shown in FIG. 17 may be applied, and other examples may also use a rotating roller. Can be.

상기 고정수단(730)은 이송시스템 내 정위치된 기판 적재운송기(30)의 고정을 위해 상기 기판 적재운송기(30)의 고정부(325)에 체결 결합되는 구성으로, 일 예로 상기 고정부(325)가 환봉 등으로 형성되는 경우 그에 따라 상기 고정수단(730)은 환봉에 체결되는 클램프 등이 활용될 수 있다. 또한, 진입하는 기판 적재운송기(30)가 정위치에 위치하는 것을 감지하는 센서수단 등이 정위치 감지신호를 보냄에 따라 해당 신호에 맞게 상기 제어부(60)가 상기 고정수단(730)을 동작시킬 수 있다. The fixing means 730 is configured to be coupled to the fixing portion 325 of the substrate loading transporter 30 to fix the substrate loading transporter 30 positioned in the transport system. For example, the fixing part 325 ) Is formed of a round bar, etc. Accordingly, the fixing means 730 may be utilized to clamp the fastening rod. In addition, as the sensor means for detecting that the incoming substrate loading transporter 30 is in the correct position sends a position detection signal, the controller 60 may operate the fixing means 730 according to the corresponding signal. Can be.

한편, 본 발명에서 상기 적재운송기 가이드부(70)는 상기 기판 적재운송기(30)와 적재운송기 가이드부(70) 간의 충돌시 그 충격이 상기 로딩/언로딩부(40) 내지 이송롤러(50)로 전달되는 것을 방지할 수 있도록, 적재운송기 가이드부(70)를 상기 로딩/언로딩부(40) 및 이송롤러(50)가 장착되는 본체프레임과 분리되어 완전히 독립된 구조로 바닥에 (일 예로, 앵커 등을 사용하여)고정되는 구조를 취하게 된다. 또한, 추가적으로 앞서 설명한 바와 같이, 별도의 정위치홈부(740) 구성을 통해 충격을 완충할 수 있게 할 수도 있다. On the other hand, in the present invention, the loading transporter guide unit 70 is the impact of the loading / unloading unit 40 to the transport roller 50 during the collision between the substrate loading transporter 30 and the loading transporter guide unit 70 In order to prevent the transfer to the transport guide unit 70, the loading / unloading unit 40 and the transport roller 50 is separated from the main frame is mounted on the floor in a completely independent structure (for example, Anchors, etc.). In addition, as described above, it may be possible to buffer the shock through the configuration of the separate position groove 740.

상기 로딩/언로딩부(40)는 상기 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)에 적재된 기판(80)을 하나씩 이송롤러(50)에 로딩(loading)시키거나 이송롤러(50)로부터 이송되어 오는 기판(80)을 하나씩 상기 적재부(310)에 언로딩(unloading)시키기 위해 도 6에 도시된 바와 같이, 기판 적재운송기(30)와 이송롤러(50) 사이에 위치하게 되는 구성이다. The loading / unloading unit 40 loads the substrates 80 loaded on the loading unit 310 of the substrate loading transporter 30 one by one to the transfer roller 50 or from the transfer roller 50. As shown in FIG. 6, the substrate 80, which is transferred, is unloaded to the loading unit 310 one by one, and is positioned between the substrate loading transporter 30 and the transfer roller 50. .

이를 위해 상기 로딩/언로딩부(40)는, 도 7 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 로딩 또는 언로딩을 위해 적재부(310)와 이송롤러(50) 사이에서 기판(80)을 하나씩 회전이동시키는 회전이동부(410) 및 로딩 또는 언로딩 과정에서 상기 적재부(310)에 적재된 기판(80)의 적재량이 변화함에 따라 로딩/언로딩부(40)의 위치를 조절하는 간격조절부(420)를 포함할 수 있다. To this end, the loading / unloading unit 40 rotates the substrate 80 one by one between the loading unit 310 and the transfer roller 50 for loading or unloading, as shown in FIGS. 7 to 10. Rotation moving unit 410 for moving and the gap adjusting unit for adjusting the position of the loading / unloading unit 40 as the loading amount of the substrate 80 loaded on the loading unit 310 in the loading or unloading process changes 420 may be included.

상기 간격조절부(420)는, 상기 회전이동부(410)의 전후방향 이동을 가이드하는 전후가이드부(421)와, 상기 회전이동부(410)의 상하방향 이동을 가이드하는 상하가이드부(422)와, 상기 회전이동부(410)를 전후방향으로 구동시키는 전후구동부(423)와, 상기 회전이동부(410)를 상하방향 구동시키는 상하구동부(424)를 포함할 수 있다. The gap adjusting part 420 may include a front and rear guide part 421 for guiding the front and rear movement of the rotation movement part 410 and a vertical guide part 422 for guiding the vertical movement of the rotation movement part 410. ), A front and rear driving part 423 for driving the rotation moving part 410 in the front and rear direction, and a vertical driving part 424 for driving the rotation moving part 410 in the vertical direction.

즉, 상기 전후구동부(423)는 상기 전후가이드부(421)를 따라 상기 회전이동부(410) 전체를 전후방향으로 이동시키게 되며, 상기 상하구동부(424)는 상기 상하가이드부(422)를 따라 상기 회전이동부(410)를 상하방향으로 이동시키게 된다. 이와 같은 상기 회전이동부(410)의 전후 및 상하방향 이동과 함께 후술할 바와 같은 회전이동부(410)의 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)의 회전축을 중심으로 한 회전이동이 병행되면, 상기 로딩/언로딩부(40)는 적재부(310)와 이송롤러(50) 사이에서 적재된 기판(80)의 적재량의 변화 내지 이송롤러(50)의 높이 변화에 능동적으로 대응하면서 기판(80) 하나하나를 로딩 또는 언로딩 시킬 수 있는 특징을 갖게 된다. That is, the front and rear driving part 423 moves the entire rotary movement part 410 along the front and rear guide part 421 in the front and rear direction, and the vertical driving part 424 is along the vertical guide part 422. The rotation moving part 410 is moved in the vertical direction. When the rotational movement around the rotational axis of the bottom support portion 411 and the front support portion 412 of the rotary mover 410 as described later together with the front and rear and the vertical movement of the rotary mover 410 as described above In addition, the loading / unloading unit 40 may actively change the loading amount of the substrate 80 loaded between the loading unit 310 and the transfer roller 50 to a change in the height of the transfer roller 50 while the substrate ( 80) It has the feature to load or unload one by one.

상기 회전이동부(410)는 로딩 또는 언로딩을 위해 적재부(310)와 이송롤러(50) 사이에서 기판(80)을 하나씩 잡고 회전이동시켜 적재부(310)에서 이송롤러(50)로 또는 이송롤러(50)에서 적재부(310)로 옮기는 구성으로, 이를 위해 보다 구체적으로 도 7 및 도 9를 참조하면, 상기 회전이동부(410)는 로딩 또는 언로딩 대상이 되는 기판(80)의 밑면을 지지하는 밑면지지부(411)와, 상기 밑면지지부(411)에 밑면이 지지된 기판(80)의 전면을 지지하는 전면지지부(412)와, 상기 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)를 포함하는 회전이동부(410)를 회전축을 중심으로 회전이동시키는 회전모터(414)를 포함할 수 있다. The rotary mover 410 is rotated by holding the substrate 80 one by one between the loading portion 310 and the transfer roller 50 for loading or unloading from the loading portion 310 to the transfer roller 50 or With the configuration of moving from the transfer roller 50 to the loading unit 310, for this purpose in more detail with reference to Figures 7 and 9, the rotary moving unit 410 of the substrate 80 to be loaded or unloaded A bottom support part 411 supporting a bottom surface, a front support part 412 supporting a front surface of the substrate 80 supported by a bottom support part 411, and a bottom support part 411 and a front support part 412. It may include a rotation motor 414 for rotating the rotational movement 410 including a rotation axis about the rotation axis.

즉, 상기 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)는 '」'형태로 형성되어 로딩 또는 언로딩 대상이 되는 기판(80)의 밑면과 전면을 각각 지지하게 되는데, 이때 상기 회전이동부(410)는 로딩을 위해 상기 적재부(310)에 적재된 기판(80)을 상기 밑면지지부(411)쪽으로 당기는 흡착부(415) 구성을 포함하여, 상기 적재부(310)의 슬릿부(313)에 상기 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)를 위치시킨 상태에서 상기 흡착부(415)를 적재부(310)에 적재된 기판(80)의 전면에 부착하여 기판(80) 한 장을 흡착하여 상기 밑면지지부(411)쪽으로 당겨 이동시킨 후 상기 회전이동부(410)를 회동시켜 이송롤러(50)에 기판(80)을 로딩시키게 된다. 상기 흡측부(415)는 여러 개의 흡착부(415)가 병렬적으로 배열되는 형태로 형성될 수 있는데, 이 경우 복수 개의 각 흡착부(415)마다 기판을 당기는 흡착량(흡착력)을 조절할 수 있도록 하여 만약 기판에 회로 형성을 위한 홀이 천공되어 있고 이 홀이 형성된 부위에 맞닿아 흡착하는 흡착부에서는 상대적으로 흡착력을 약하게 하여 홀을 통해 그 뒤편의 기판까지 흡착되어 딸려오는 경우를 방지할 수 있게 한다. 한편, 로딩을 위한 상기 회전이동부(410)의 회동 과정에서 상기 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)에 위치한 기판(80)이 떨어지는 경우를 방지할 수 있도록 도 10에 도시된 바와 같이, 밑면지지부(411)의 타단(상기 전면지지부(412)가 형성되는 단의 반대측 단)에 기판(80)의 배면을 지지하는 배면지지부(413)를 추가로 포함하거나 또는 밑면지지부(411)에 기판(80)의 저면이 삽입될 수 있도록 함입형성되는 별도의 홈부(미도시)를 형성할 수 있다. That is, the bottom support part 411 and the front support part 412 are formed in a '' 'shape to support the bottom and front surfaces of the substrate 80 to be loaded or unloaded, respectively. ) Includes a suction part 415 configured to pull the substrate 80 loaded on the loading part 310 toward the bottom support part 411 for loading, and to the slit part 313 of the loading part 310. In the state where the bottom support portion 411 and the front support portion 412 are positioned, the adsorption portion 415 is attached to the front surface of the substrate 80 loaded on the loading portion 310 to adsorb a single substrate 80. After pulling toward the bottom support part 411, the rotation moving part 410 is rotated to load the substrate 80 onto the feed roller 50. The suction part 415 may be formed in such a manner that a plurality of adsorption parts 415 are arranged in parallel, in this case, to adjust the amount of adsorption (adsorption force) pulling the substrate for each of the plurality of adsorption parts 415. If a hole is formed in the board for circuit formation, and the adsorption part adsorbed by contacting with the hole is formed, the adsorption force is relatively weakened to prevent the adsorbed back to the substrate through the hole. do. On the other hand, as shown in Figure 10 to prevent the case that the substrate 80 located on the bottom support 411 and the front support 412 in the rotation process of the rotary mover 410 for loading, The other end of the bottom support part 411 (an opposite end to the end on which the front support part 412 is formed) further includes a back support part 413 for supporting the back of the substrate 80 or the substrate at the bottom support part 411. A separate groove portion (not shown) may be formed to be recessed to insert the bottom of the 80.

한편, 상기 흡착부(415)를 통해 적재부(310)에 적재된 기판(80)을 정확히 한 장씩만 옮겼는지를 정확히 하기 위한 추가적 구성들을 포함할 수 있는데, 이를 위해 상기 회전이동부(410)는 도 12에 도시된 바와 같이, 상기 흡착부(415)를 통해 밑면지지부(411)쪽으로 이동한 기판(80)의 전면을 압박하여 움직이지 못하도록 하는 푸시부(416)와, 상기 푸시부(416)가 기판(80)의 전면을 압박한 상태에서 회전이동부(410)와 기판(80) 사이의 거리를 측정하는 거리측정부(417)를 포함하고, 상기 제어부(60)는 상기 거리측정부(417)를 통해 측정된 회전이동부(410)와 기판(80) 사이의 거리를 바탕으로 2장 이상의 기판(80)이 상기 밑면지지부(411)쪽으로 이동되었는지 여부를 판단하게 된다. 상기 구성을 도 21 및 도 22를 참조하여 보다 구체적으로 설명하면, 상기 푸시부(416)는 도 21에 도시된 바와 같이 상기 흡착부(415)를 통해 밑면지지부(411)쪽으로 이동한 기판(80)과 거의 수직을 이룰 수 있도록 약간 경사지게 배치된 상태에서 작동시 전방으로 돌출되어 기판(80)의 전면을 압박하게 된다. 기판(80)의 전면이 상기 푸시부(416)에 의해 압박된 상태 즉, 휘어지지 못하도록 고정된 상태에서, 상기 거리측정부(417) 일 예로, 거리 측정 레이저센서는 상기 기판(80) 전면까지의 거리를 측정하여 1매가 아닌 2매 이상의 기판(80)이 상기 흡착부(415)를 통해 밑면지지부(411)쪽으로 이동되었는지 여부를 판별하게 된다. 이때, 상기 거리측정부(417) 레이저센서는 도 22에 도시된 바와 같이 상기 전면지지부(412)(또는 밑면지지부(411))쪽에 가장 근접하여 양측에 2개 형성될 수 있는데, 이는 한쪽에서 측정하는 것에 비해 양측에서 측정하여 정확성을 높일 수 있게 함(또한, 기판(80)의 어느 일측만이 밑면지지부(411)쪽으로 당겨 온 경우 같은 상황에서도 측정의 정확성을 높일 수 있음)은 물론, 가능한 한 후술할 배면지지부(413)(또는 밑면지지부(411)에 형성된 홈부)에 걸리게 되는 기판(80) 부위에 가장 가까운 부위 즉, 가장 변형이 안되는 부분에 대한 거리 측정을 통해 측정의 정확성을 높여 두께가 아주 얇은 기판(80)인 경우에도 2매 여부를 정확히 판별할 수 있도록 하기 위함이다. 즉, 상기 푸시부(416)를 통해 기판(80)의 전면을 압박하여 정확히 고정시킨 상태에서 거리측정부(417) 레이저센서를 활용하여 회전이동부(410)와 기판(80) 사이의 거리를 측정(이때, 상기 레이저센서는 기판(80)의 저면으로부터 20mm이내의 높이에서 측정하는 것이 바람직한데, 이는 기판(80)에서의 회로 형성에 따른 천공이 보통 저면으로부터 20mm이내에는 없기 때문에 정확도를 높일 수 있기 때문임)하여 흡착부(415)를 통해 밑면지지부(411)쪽으로 이동된 기판(80)이 한 장인지 아니면 2장 이상인지를 (제어부(60)를 통해)판별하게 되고, 한 장인 경우에는 회전이동부(410)를 회동시켜 로딩 과정을 진행하게 되지만, 2장 이상인 경우에는 상기 흡착부(415)를 통해 기판(80)을 다시 적재부(310)쪽으로 민 다음, 다시 흡착부(415)를 이용해 기판(80) 한 장을 밑면지지부(411)쪽으로 이동시키는 작업을 수행하게 된다. 또한, 기판(80)의 두께가 아주 얇은 경우 등에 있어서는 보다 정확성을 높일 수 있도록, 제어부(60)의 제어하에 로딩을 위해 상기 흡착부(415)를 통해 기판(80)이 밑면지지부(411)쪽으로 옮겨지면 일단 상기 회전이동부(410)를 일정 정도 상향 회동시킨 다음 다시 하향 회동시켜 상기 거리측정부(417) 레이저센서와 기판(80)이 이루는 각이 최적화되도록 한 상태에서, 상기 거리측정부(417)가 복수 개의 상기 밑면지지부(411)마다 근접한 위치에서 기판(80)과의 거리를 측정하도록 함으로써 2장 이상의 기판(80)이 상기 밑면지지부(411)쪽으로 이동되었는지 여부를 정확히 판별할 수 있도록 한다. 즉, 기판(80)의 두께가 아주 얇은 경우에 있어서는 측정의 정확성이 더욱 요구되는바, 레이저 센서와 기판이 이루는 각 자체도 최적화한 다음 측정이 이루어질 수 있도록 하기 위해 상기 회전이동부(410)를 움직여 측정대상 기판(80)을 최적화 위치로 옮기는 공정을 선행토록 하는 것이다. 또한, 도 21 및 도 22에 도시된 바와 같이, 상기 흡착부(415) 아래쪽에는 상기 흡착부(415)에 의해 당겨오거나 밀어지는 기판(80)의 저면과 접촉되는 분리용롤러(415-1)를 추가로 포함할 수 있는데, 상기 분리용롤러(415-1)에는 원웨이베어링(미도시)이 설치되어 상기 흡착부(415)가 기판(80)을 당기는 과정에서는 기판(80)의 저면과 접촉하게 되는 상기 분리용롤러(415-1)가 회전하지 않으면서 상기 흡착부(415)에 의해 혹시 2매 이상의 기판(80)이 딸려올 시에 상기 분리용롤러(415-1)에 걸려 1매만이 이동될 수 있게 하는 역할을 수행하며, 반대로 상기 흡착부(415)가 기판(80)을 미는 과정에서는 기판(80)의 저면과 접촉하는 상기 분리용롤러(415-1)가 회동하여 기판(80)이 원활하게 기판 적재운송기(30)쪽으로 이동될 수 있게 한다. 그리고, 분리용롤러(415-1)의 하부에는 별도로 분리용롤러(415-1)상을 지나는 기판(80)의 무게에 따라 분리용롤러(415-1)가 상하로 유동가능케하는 탄성수단(미도시)을 추가로 포함하여, 분리용롤러(415-1)가 기판(80)들의 다양한 무게에 따라 위치를 조절하여 2매 이상의 기판(80) 분리작용의 효율성을 높일 수 있게 한다. On the other hand, through the adsorption unit 415 may include additional components for accurately correcting whether only one sheet of the substrate 80 loaded on the loading unit 310, for this purpose, the rotational movement unit 410 As shown in FIG. 12, the push unit 416 for pressing the front surface of the substrate 80 moved toward the bottom support 411 through the adsorption unit 415 and the push unit 416 and the push unit 416. ) Includes a distance measuring unit 417 for measuring the distance between the rotary moving unit 410 and the substrate 80 in a state in which the front surface of the substrate 80 is pressed, and the control unit 60 includes the distance measuring unit Based on the distance between the rotation moving part 410 and the substrate 80 measured through 417, it is determined whether two or more substrates 80 are moved toward the bottom support part 411. 21 and 22, the push unit 416 moves toward the bottom support part 411 through the adsorption part 415 as illustrated in FIG. 21. In a state in which it is slightly inclined so as to be substantially perpendicular to), it protrudes forward during operation to press the front surface of the substrate 80. In a state where the front surface of the substrate 80 is pressed by the push unit 416, that is, fixed to prevent bending, the distance measuring unit 417 may be, for example, a distance measuring laser sensor to the front surface of the substrate 80. By measuring the distance of the two or more substrates 80 instead of one is determined whether the movement to the base support portion 411 through the adsorption portion 415. In this case, as shown in FIG. 22, the distance measuring unit 417 laser sensors may be formed on two sides closest to the front support part 412 (or the bottom support part 411), which is measured on one side. Of course, it is possible to increase the accuracy by measuring from both sides (in addition, if only one side of the substrate 80 is pulled toward the bottom support 411 can increase the accuracy of the measurement in the same situation), of course, as possible By increasing the accuracy of the measurement by measuring the distance to the portion closest to the portion of the substrate 80 to be caught by the back support portion 413 (or the groove portion formed on the bottom support portion 411) which will be described later, the portion that is not deformed, the thickness is increased. Even in the case of a very thin substrate 80, it is to be able to accurately determine whether two sheets. That is, the distance between the rotary mover 410 and the substrate 80 by using the laser sensor of the distance measuring unit 417 in the state of pressing the front surface of the substrate 80 through the push unit 416 is fixed accurately. Measurement (at this time, the laser sensor is preferably measured at a height of 20mm or less from the bottom of the substrate 80, which increases the accuracy because the perforation due to the circuit formation on the substrate 80 is usually not within 20mm from the bottom) And one board or two or more boards 80 moved to the bottom support part 411 through the adsorption part 415 (via the control part 60), and one sheet. In this case, although the loading process is performed by rotating the rotary mover 410, in the case of two or more sheets, the substrate 80 is pushed back to the loading unit 310 through the adsorption unit 415, and then the adsorption unit 415 is performed again. 1 sheet of substrate 80 toward bottom support 411 You will perform a move operation. In addition, in the case where the thickness of the substrate 80 is very thin, the substrate 80 may be moved toward the bottom support portion 411 through the adsorption portion 415 for loading under the control of the controller 60 so as to increase the accuracy. Once moved, the rotation movement unit 410 is rotated upward by a predetermined degree and then rotated downward again so that the angle formed by the distance measuring unit 417 laser sensor and the substrate 80 is optimized. In order to accurately determine whether two or more substrates 80 are moved toward the bottom support part 411 by measuring the distance from the substrate 80 at a position close to each of the bottom support parts 411. do. That is, in the case where the thickness of the substrate 80 is very thin, the accuracy of the measurement is further required. In order to optimize the angles formed by the laser sensor and the substrate and then measure the rotation movement unit 410, The process of moving the substrate 80 to be measured to an optimized position by moving it is performed in advance. In addition, as shown in FIGS. 21 and 22, the separation roller 415-1 in contact with the bottom surface of the substrate 80 that is pulled or pushed by the adsorption unit 415 under the adsorption unit 415. The separation roller 415-1 may be further provided with a one-way bearing (not shown), and the adsorption part 415 pulls the substrate 80 in the process of pulling the substrate 80 and the bottom surface of the substrate 80. When the separation roller 415-1, which is in contact with the separation roller 415-1, is not rotated and is caught by the adsorption unit 415, the separation roller 415-1 is caught by one. Only the medium can be moved. On the contrary, when the adsorption part 415 pushes the substrate 80, the separation roller 415-1 in contact with the bottom surface of the substrate 80 rotates to form a substrate. 80 can be smoothly moved to the substrate loading transporter (30). And, the lower portion of the separation roller 415-1, the elastic means for allowing the separation roller 415-1 to move up and down in accordance with the weight of the substrate 80 passing separately on the separation roller 415-1 ( In addition, the separation roller 415-1 may adjust the position according to various weights of the substrates 80 to increase the efficiency of separating two or more substrates 80.

또한, 상기 흡착부(415)는 로딩 과정에서 적재부(310)에 적재된 기판(80)의 로딩이 완료되어 다른 기판 적재운송기(30)로의 교체가 필요한지 여부에 대한 판단을 위해 기능할 수 있다. 즉, 적재부(310)의 모든 기판(80)이 로딩이 완료된 경우, 상기 흡착부(415)는 적재부(310)의 배면접촉부(311)에 닿아 이를 당기게 되는데, 기판 적재운송기(30)는 견고하게 고정된 상태이므로 복수 회 당기는 과정을 통해 흡착부(415)를 통해 당겨오는 기판(80)이 없는 경우 이 신호를 수신한 상기 제어부(60)는 적재된 기판(80)의 로딩이 완료되어 다른 기판 적재운송기(30)로의 교체가 필요한 시점으로 판단하게 된다. 따라서, 로딩 과정에서 자동으로 기판 적재운송기(30)의 교체 시점을 판별하여 이를 통지할 수 있게 된다. In addition, the adsorption unit 415 may function to determine whether the loading of the substrate 80 loaded in the loading unit 310 is completed in the loading process, so that it is necessary to replace the other substrate loading transporter 30. . That is, when the loading of all the substrates 80 of the loading unit 310 is completed, the adsorption unit 415 touches and pulls the back contact portion 311 of the loading unit 310, the substrate loading transporter 30 Since there is no substrate 80 that is pulled through the adsorption unit 415 through a plurality of pulling processes because it is firmly fixed, the controller 60 receiving this signal completes loading of the loaded substrate 80. It is determined that the time required to replace the other substrate loading transporter 30. Therefore, in the loading process, it is possible to automatically determine the replacement time of the substrate loading transporter 30 and notify it.

한편, 로딩이 아닌 언로딩을 위해서는, 상기 회전이동부(410)는 이송롤러(50)로부터의 언로딩 이후 상기 밑면지지부(411)에 지지된 기판(80)을 적재부(310)쪽으로 미는 밀착부(미도시)를 추가로 포함할 수 있는데, 이때 필요에 따라서는 상기 흡착부(415)가 밀착부(미도시)의 기능까지 동시에 수행할 수도 있게 된다. On the other hand, for unloading rather than loading, the rotation moving part 410 is in close contact with the substrate 80 supported by the bottom support 411 after the unloading from the transfer roller 50 toward the loading part 310 A part (not shown) may be additionally included, whereby the adsorption part 415 may simultaneously perform the function of the contact part (not shown) as necessary.

또한, 상기 거리측정부(417)를 활용하여 작업 공정 과정에서 기판(80)이 회전이동부(410)에 충돌이 예상되는 경우, 회전이동부(410) 전면으로부터 돌출되어 충돌이 예상되는 기판(80)을 막아 기판(80)을 보호하는 충돌방지부(418)를 추가로 포함할 수 있다. 이때, 상기 충돌방지부(418)는 기판(80)을 보호할 수 있는 연질 재질로 형성되는 것이 바람직하며, 필요시 회전이동부(410) 전면으로부터 돌출되는 구조나 또는 고정적으로 회전이동부(410) 전면에도 돌출된 구조 등을 취할 수 있다. In addition, when the substrate 80 is expected to collide with the rotary moving unit 410 in the course of the work process using the distance measuring unit 417, the substrate is projected to protrude from the front surface of the rotary moving unit 410 ( An anti-collision part 418 may be further included to block the 80 to protect the substrate 80. In this case, the anti-collision part 418 is preferably formed of a soft material that can protect the substrate 80, and if necessary, a structure that protrudes from the front surface of the rotary moving part 410 or fixedly rotates the moving part 410. ) The protruding structure can also be taken on the front surface.

한편, 상기 회전이동부(410)의 전후방향 이동을 가이드하는 전후가이드부(421) 역시 상기 적재부(310)의 밑면접촉부(312)의 기울어진 기울기와 동일한 기울기로 기울어지게 형성되는 것이 바람직한데, 이는 앞서 설명한 바와 같이, 로딩시 기판(80)의 한 장씩 분리시키는 과정의 효율성과 언로딩시 적재부(310)를 향해 이동한 기판(80)이 자연스럽게 적재부(310)쪽으로 향하도록 하는 것과 기타 로딩 또는 언로딩 과정에서의 작업의 편의성을 증대시키게 된다. On the other hand, the front and rear guide portion 421 for guiding the front and rear movement of the rotary movement unit 410 is also preferably formed to be inclined at the same inclination and inclination of the bottom contact portion 312 of the loading portion 310. As described above, the efficiency of the separation process of the substrate 80 at the time of loading and the substrate 80 moved toward the loading unit 310 during unloading are naturally directed toward the loading unit 310. This will increase the ease of operation during other loading or unloading processes.

또한, 도 23을 참조하면, 상기 흡착부(415)로 적재된 기판(80)을 당겨 하나씩 회전이동부(410)와 간격조절부(420)의 작용을 통해 로딩시키는 과정이 연속적으로 이루어지게 되면, 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)에 가지런히 적재되어 있던 기판(80)들 중 외곽부에 위치하던 기판(80)들은 도 23에 도시된 바와 같이 흐트러지게 되는데(상기 로딩/언로딩부(40)쪽으로 일부가 튀어나오게 되는데), 이 상태에서 그냥 단순하게 상기와 같은 회전이동부(410)와 간격조절부(420)의 동작 과정을 그대로 반복하게 되면, 회전이동부(410)의 밑면지지부(411) 내지 배면지지부(413)에 흐트러진 기판(80)(로딩 또는 언로딩되는 기판(80)의 바로 다음 순서에 있는 기판)이 긁히거나 부딪혀 손상되는 문제가 발생할 수 있다. 이를 방지하기 위해 상기 제어부(60)는 별도의 회전이동부위치제어모듈(미도시)을 통해, 도 24에 도시된 바와 같이, 상기 흡착부(415)를 통해 흡착하여 당겨온 기판(80)을 밑면지지부(411) 및/또는 배면지지부(413)에 안착시킨 회전이동부(410)를 먼저 일정 간격 후진시킨(①방향) 다음, 로딩을 위해 회동시킴(②방향)으로써, 회전이동부(410)의 밑면지지부(411) 내지 배면지지부(413)에 흐트러진 기판(80)(로딩 또는 언로딩되는 기판(80)의 바로 다음 순서에 있는 기판)이 긁히거나 부딪혀 손상되는 것을 방지할 수 있도록 한다. 한편, 상기 회전이동부(410)를 통해 로딩하고자 하는 기판(80)을 들어올린 상태에서 밑면지지부(411) 및/또는 배면지지부(413)에 안착된 기판(80)이 1매인지 2매 이상인지를 판별하여야 하는 경우, 도 25에 도시된 바와 같이, 상기 회전이동부(410)로 기판(80)을 약간 들어올린 상태에서 상기 푸시부(416)를 통해 기판(80)을 압박한 후 거리측정부(417)로 측정하여 판별하게 되는데, 이때에 상기 회전이동부위치제어모듈(미도시)을 통해 회전이동부(410)를 먼저 일정 간격 후진시킨 다음 회전이동부(410)를 약간 들어올리거나 또는 회전이동부(410)를 먼저 일정 간격 후진시킨 후 회전이동부(410)를 좀 더 들어올리고 이후 다시 약간 아래로 내려놓는 방식을 취함으로써, 역시 회전이동부(410)의 밑면지지부(411) 내지 배면지지부(413)에 흐트러진 기판(80)(로딩 또는 언로딩되는 기판(80)의 바로 다음 순서에 있는 기판)이 긁히거나 부딪혀 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다. 측정 결과 2매 이상의 기판(80)이 밑면지지부(411) 및/또는 배면지지부(413)에 안착된 경우, 제어부(60)는 (필요에 따라 후술할 기판정렬부(416-1)를 통해 기판(80)들을 푸시하여 먼저 약간의 충격을 가한 이후)상기 회전이동부(410)를 다소 빠르게 내려놓아 기판(80)의 무게를 이용하여 기판(80)의 밑면이 적재부(310)에 다소 강하게 충돌하여 접합된 2매 이상의 기판(80)들이 분리될 수 있도록 하며, 이후 다시 후술할 기판정렬부(416-1)를 통해 기판(80)들을 푸시하거나 또는 분리용롤러(415-1) 하단에 위치하는 블로워(417-1)를 통해 고압의 공기를 분사하여 접합된 2매 이상의 기판(80)들이 분리될 수 있도록 한다. In addition, referring to Figure 23, when the process of loading through the action of the rotary moving unit 410 and the gap adjusting unit 420 by pulling the substrate 80 loaded to the adsorption unit 415 is made continuously In addition, among the substrates 80 that have been neatly stacked on the loading unit 310 of the substrate loading transporter 30, the substrates 80 positioned on the outer portion of the substrate loading transporter 30 are distorted as shown in FIG. 23 (the loading / unloading). If a portion is protruded toward the loading unit 40), in this state, simply repeat the operation process of the rotary moving unit 410 and the gap adjusting unit 420 as described above, the rotary moving unit 410 The substrate 80 (the substrate in the next order of the substrate 80 being loaded or unloaded) that is scattered on the bottom support part 411 to the back support part 413 may be scratched or bumped and damaged. In order to prevent this, the control unit 60 uses a separate rotary mover position control module (not shown), as shown in FIG. 24, to attract and pull the substrate 80 attracted through the adsorption unit 415. The rotary mover 410, which is seated on the bottom support 411 and / or the rear support 413, is first retracted by a predetermined distance (1 direction), and then rotated for loading (2 direction), thereby causing the rotational moving part 410 to move. It is possible to prevent the substrate 80 (the substrate in the next order of the substrate 80 being loaded or unloaded) from the bottom support part 411 to the back support part 413 of the c) from being scratched or hit and damaged. Meanwhile, in the state in which the substrate 80 to be loaded is lifted through the rotation moving part 410, one or more substrates 80 seated on the bottom support part 411 and / or the rear support part 413 are two or more. If it is necessary to determine whether, as shown in FIG. 25, the substrate 80 is pushed through the push unit 416 while the substrate 80 is slightly lifted by the rotation moving unit 410, and then the distance is increased. Measurement by the measuring unit 417 is determined, and at this time, through the rotary moving unit position control module (not shown), the rotary moving unit 410 is first reversed at a predetermined interval, and then the rotary moving unit 410 is slightly lifted up. Alternatively, by rotating the moving part 410 first at a predetermined interval and then lifting the rotating part 410 a little further and then lowering it back a little below, the bottom support part 411 of the rotating part 410 is also taken. To the substrate 80 (loaded or unloaded) on the back support 413 Immediately substrate in the following order of the plate 80) can be prevented from being scratched and damaged hit. As a result of the measurement, when two or more substrates 80 are seated on the bottom support 411 and / or the back support 413, the control unit 60 uses the substrate through the substrate alignment unit 416-1 to be described later as necessary. After pushing the 80 to apply a slight impact first, the rotary moving part 410 is lowered somewhat faster so that the bottom surface of the substrate 80 is somewhat stronger to the loading part 310 by using the weight of the substrate 80. The two or more substrates 80 joined by collision may be separated, and then the substrates 80 are pushed through the substrate alignment unit 416-1, which will be described later, or below the separation roller 415-1. High pressure air is blown through the blower 417-1 located so that two or more substrates 80 bonded to each other can be separated.

한편, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 흡착부(415)로 적재된 기판(80)을 당겨 하나씩 회전이동부(410)와 간격조절부(420)의 작용을 통해 로딩시키는 과정이 연속적으로 이루어지게 되면, 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)에 가지런히 적재되어 있던 기판(80)들 중 외곽부에 위치하던 기판(80)들은 도 23에 도시된 바와 같이 흐트러지게 되는데(상기 로딩/언로딩부(40)쪽으로 일부가 튀어나오게 되는데), 이 상태에서 상기 흡착부(415)를 통해 기판(80)을 당기게 되면 2매 이상의 기판(80)들이 따라올 가능성이 커지고 또는 기판(80)의 좌우가 불균형하게 딸려와 상기 밑면지지부(411)에 기판(80)의 좌측 또는 우측이 걸리지 않게 되는 상황도 발생하게 된다. 따라서, 이를 방지하기 위한 구성으로, 상기 회전이동부(410)는 추가적으로 좌우 양측에서 적재부(310)에 흐트러져 있는 기판(80)의 좌우측을 밀어 기판(80)들을 정위치시키는 기판정렬부(416-1)를 추가로 포함할 수 있다. 상기 기판정렬부(416-1)는 도 22에 도시된 바와 같이, 기판(80)의 좌우 가장자리 근처를 압박할 수 있도록 좌우로 일정 간격 이격되어 위치하며 도 21에 도시된 바와 같이, 적재부(310)에 적재된 기판(80)의 하부를 압박할 수 있는 높이에 형성되는 것이 바람직하다. 따라서, 상기 흡착부(415)를 통해 기판(80)을 흡착하여 당기기 전, 먼저 도 26에 도시된 바와 같이, 상기 기판정렬부(416-1)를 이용하여 적재부(310)의 기판(80)들의 하부를 가압하여 기판(80)을 정렬시킴으로써, 2매 이상의 기판(80)이 로딩되는 것 내지 기판(80)의 좌측 또는 우측 중 어느 하나가 밑면지지부(411)에 걸리지 않게 되는 상황을 미연에 방지할 수 있게 된다. 또한, 상기 기판정렬부(416-1)는 후술할 바와 같이 언로딩 과정에서는 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)에 언로딩되는 기판(80)들의 양쪽 좌우측을 밀어주면서 간격 없이 촘촘히 적재될 수 있도록 작용한다. On the other hand, as described above, when the process of loading through the action of the rotary moving unit 410 and the gap adjusting unit 420 by pulling the substrate 80 loaded in the adsorption unit 415 is made continuously, The substrates 80 located at the outer side of the substrates 80 that are neatly stacked on the loading unit 310 of the substrate loading transporter 30 are distorted as shown in FIG. 23 (the loading / unloading). Some parts stick out toward the part 40), and in this state, when the substrate 80 is pulled through the adsorption part 415, the possibility that two or more substrates 80 are followed is increased or left and right of the substrate 80 There is also a situation that is unbalanced and the left or right of the substrate 80 is not caught by the bottom support 411. Accordingly, in order to prevent this, the rotation moving part 410 further pushes the left and right sides of the substrate 80, which are distracted from the loading part 310, on both left and right sides thereof, thereby aligning the substrates 80. -1) may be further included. As shown in FIG. 22, the substrate alignment unit 416-1 is spaced apart from the left and right by a predetermined interval so as to press near the left and right edges of the substrate 80 and as shown in FIG. 21. It is preferably formed at a height capable of pressing the lower portion of the substrate 80 mounted on the 310. Therefore, before the substrate 80 is attracted and pulled through the adsorption unit 415, as shown in FIG. 26, the substrate 80 of the loading unit 310 is formed using the substrate alignment unit 416-1. By aligning the substrate 80 by pressing the lower portion of the), the situation that the two or more substrates 80 are loaded, either the left or the right side of the substrate 80 is not caught by the bottom support 411 is not disclosed. Will be prevented. In addition, the substrate aligning unit 416-1 is tightly loaded without gaps while pushing both left and right sides of the substrates 80 unloaded to the loading unit 310 of the substrate loading transporter 30 during the unloading process as will be described later. It works to be.

상기 이송롤러(50)는 상기 로딩/언로딩부(40)를 통해 로딩된 기판(80)을 기판공정 자동화라인으로 이송시키거나 또는 기판공정 자동화라인으로부터 기판(80)을 언로딩시키기 위해 상기 로딩/언로딩부(40)로 이송시키는 구성으로, 이를 위해 상기 이송롤러는, 도 11에 도시된 바와 같이, 상기 회전이동부(410)의 복수 개의 상기 전면지지부(412)가 이송롤러(50)와 간섭되지 않도록 전면지지부(412)가 지나가는 일정 공간을 형성하는 간섭방지슬릿(520)과, 상기 간섭방지슬릿(520)을 중심으로 간섭방지슬릿(520) 좌우 양측과 전방에 각각 위치하는 주이송롤러(510)와, 상기 주이송롤러(510)를 회동시키는 회동모터(540)와, 상기 간섭방지슬릿(520) 사이에서 기판(80)의 원활한 이송을 위해 형성되는 보조롤러(530)와, 이송롤러(50) 위를 이동하는 기판의 배열을 정렬시키는 기판어레이부(550)를 이송롤러의 좌우측에 각각 포함할 수 있다. The transfer roller 50 transfers the substrate 80 loaded through the loading / unloading unit 40 to a substrate processing automation line or to unload the substrate 80 from the substrate processing automation line. / To the unloading portion 40, the feed roller for this purpose, as shown in Figure 11, the plurality of the front support portion 412 of the rotary moving portion 410 is a feed roller 50 Interference prevention slit 520 forming a predetermined space through which the front support 412 passes so as not to interfere with the main transport, respectively located on the left and right sides and front of the interference prevention slit 520 around the interference prevention slit 520 An auxiliary roller 530 formed to smoothly transport the substrate 80 between the roller 510, the rotation motor 540 for rotating the main feed roller 510, and the interference prevention slit 520; Substrate word for aligning the arrangement of the substrate moving on the feed roller 50 The chin 550 may include each of the right and left sides of the transport roller.

상기 간섭방지슬릿(520)은 적재부(310)와 이송롤러(50) 사이에서 회전이동하면서 기판(80)을 이동시키는 상기 회전이동부(410)의 복수 개의 상기 전면지지부(412)가 이송롤러(50)와 간섭되지 않도록 이송롤러(50)상에 전면지지부(412)가 지나가는 일정 공간을 형성하는 구성으로, 상기 전면지지부(412)가 이송롤러(50)를 통과하게 되는 부위의 길이와 폭을 고려하여 형성될 수 있다. The anti-interference slit 520 is a plurality of the front support portion 412 of the rotary moving part 410 to move the substrate 80 while moving between the loading portion 310 and the transfer roller 50 is a transfer roller The length and width of the portion through which the front support part 412 passes through the feed roller 50 is configured to form a predetermined space through which the front support part 412 passes on the feed roller 50 so as not to interfere with the 50. It may be formed in consideration of.

본 발명의 기판 이송시스템은 상기 회전이동부(410)의 상하/좌우로의 이동가능한 구조와 함께 회전이동부(410)의 복수 개의 전면지지부(412)가 이송롤러(50)상을 통과할 수 있도록 하는 상기 간섭방지슬릿(520)의 구성을 통해, 앞서 설명한 바와 같이 기판(80)을 이송롤러(50) 상에 로딩시킨 직후 바로 회전이동부(410)의 전면지지부(412)가 하측으로 이동하여 적재부(310)를 향해 되돌아가거나 또는 로딩시킨 직후 바로 아래 방향으로 360도 회전하여 적재부(310)를 향해 되돌아갈 수 있게 되므로, 종래와 같이 기판(80)을 이송롤러에 로딩시킨 다음 이송롤러에서 기판(80)이 이동될 때까지 대기한 다음 다시 원래 왔던 궤적과 동일한 궤적으로 방향만 반대방향으로 되돌아가는 싸이클에 따라 기판(80)을 로딩시키는 작업공정에 비해, 한 싸이클의 공정시간을 대폭 단축시킬 수 있게 된다. In the substrate transfer system of the present invention, a plurality of front support parts 412 of the rotary mover 410 may pass on the transfer roller 50 together with the movable structure of the rotary mover 410 up and down / left and right. Through the configuration of the anti-interference slit 520, as described above, the front support portion 412 of the rotary moving part 410 is moved immediately after loading the substrate 80 on the feed roller 50 as described above. After returning to the loading section 310 or immediately after loading it can be rotated 360 degrees in the downward direction immediately back to the loading section 310, so as to load the substrate 80 to the transfer roller as in the prior art Compared to the process of waiting for the substrate 80 to move in the roller and then loading the substrate 80 according to the cycle of returning to the opposite direction with the same trajectory as the original trajectory, the process time of one cycle is reduced. Greatly reduced It can be so.

이때, 상기 회전이동부(410)는 로딩 과정에서 기판(80)이 상기 밑면지지부(411)로부터 벗어나 이송롤러(50)상에서 이송을 시작하였는지를 탐지하는 제1탐지부(419)를 포함하고, 상기 제어부(60)는 상기 제1탐지부(419)의 정보를 바탕으로 기판(80)을 로딩시킨 직후(즉, 기판(80)이 상기 밑면지지부(411)로부터 벗어나 이송롤러(50)상에서 이송을 시작한 직후) 상기 전면지지부(412)를 상기 간섭방지슬릿(520)을 통해 아래로 이동시켜 다시 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)쪽으로 회전이동시킴으로써 보다 정확하게 상기 동작과정이 이루어져 공정 시간을 최대한 단축시킬 수 있게 한다. 또한, 상기 제1탐지부(419)는 언로딩 과정에서는 기판(80)이 상기 이송롤러(50)로부터 상기 밑면지지부(411)까지 완전히 이송되었는지를 탐지하는 기능으로 작동할 수 있다. In this case, the rotation moving unit 410 includes a first detection unit 419 for detecting whether the substrate 80 started to move on the transfer roller 50 from the bottom support 411 in the loading process, The controller 60 immediately transfers the substrate 80 based on the information of the first detection unit 419 (that is, the substrate 80 moves away from the bottom support 411 and moves on the feed roller 50). Immediately after the start) by moving the front support portion 412 down through the interference prevention slit 520 again to the rotating portion toward the loading portion 310 of the substrate loading transporter 30, the operation process is made more accurately Make it as short as possible. In addition, the first detection unit 419 may operate as a function of detecting whether the substrate 80 is completely transferred from the transfer roller 50 to the bottom support 411 in the unloading process.

상기 주이송롤러(510)는 상기 간섭방지슬릿(520)을 중심으로 간섭방지슬릿(520) 좌우 양측과 필요에 따라 전방에도 각각 위치하여 롤러들의 회전작용에 따라 그 상부의 기판(80)을 소정의 위치로 이동시키는 구성으로, 상기 주이송롤러(510)의 회전을 위한 구동력은 주이송롤러(510)에 연결된 회동모터(540)로부터 전달된다. The main feed roller 510 is located at both the left and right sides of the interference prevention slit 520 and the front side as needed, respectively, and the substrate 80 on the upper portion thereof is predetermined according to the rotation of the rollers. In a configuration for moving to the position of, the driving force for the rotation of the main feed roller 510 is transmitted from the rotation motor 540 connected to the main feed roller 510.

상기 보조롤러(530)는 상기 간섭방지슬릿(520) 사이에서 기판(80)의 원활한 이송을 위해 형성되는 구성으로, 필요에 따라 상기 보조롤러(530)의 롤러로 구동력을 받아 회전할 수 있도록 형성할 수 있는데, 이를 위해, 일 예로, 상기 보조롤러(530)를 상기 주이송롤러(510)의 회동에 연동하여 회동시키는 회동연결부재(560)를 추가로 포함할 수 있다. 상기 회동연결부재(560)는 도 11에 도시된 바와 같이 상기 주이송롤러(510)와 보조롤러(530)를 연결시켜 주이송롤러(510)의 회전력을 그대로 보조롤러(530)에 전달시켜 보조롤러(530)도 연동하여 회전할 수 있게 하는 구성으로, 주이송롤러(510)와 보조롤러(530) 사이 그리고 보조롤로()와 보조롤러(530) 사이에 각각 연결될 수 있다. The auxiliary roller 530 is formed to smoothly transport the substrate 80 between the interference preventing slits 520, and formed to rotate by receiving a driving force with the roller of the auxiliary roller 530 as necessary. To this end, for example, the auxiliary roller 530 may further include a rotation connecting member 560 to rotate in conjunction with the rotation of the main feed roller 510. As shown in FIG. 11, the pivot connection member 560 connects the main feed roller 510 and the sub roller 530 to transfer the rotational force of the main feed roller 510 to the sub roller 530 as it is. The roller 530 is also configured to rotate in conjunction with, and may be connected between the main feed roller 510 and the auxiliary roller 530 and between the auxiliary roller () and the auxiliary roller 530, respectively.

상기 기판어레이부(550)는 이송롤러(50) 위를 이동하는 기판(80)의 배열을 정렬시키기 위해 이송롤러 좌우측에서 각각 푸시 형태로 돌출되어 기판(80)을 정렬시키는 구성으로, 상기 이송롤러(50) 상을 이동하는 기판이 정렬되어 이동되도록 이송롤러(50)의 좌우측에서 각각 위치하고 있다가 일정 시간 간격으로 이송롤러(50)의 중앙부를 향해 푸시 형태로 돌출되면서 이송롤러(50)를 지나는 기판의 양측을 동시에 밀어 기판(80)을 이송롤러(50)의 중앙부에 위치하도록 맞추게 된다. 이때, 상기 이송롤러(50)에는 좌우 양측에 각각 2개, 총 4개 정도의 센서(미도시)가 일정 간격으로 배열되어 기판(80)의 일측으로의 쏠림에 따라 기판어레이부(550)의 좌우측 푸시속도를 달리 조절할 수 있게도 한다. 한편, 상기 기판어레이부(550)는 불량 기판(80)을 구분지을 수 있게 하는 작업도 수행할 수 있는데, 일 예로, 기판공정 자동화라인에서 불량 기판(80)으로 판명된 불량 기판(80)이 언로딩되는 경우에 있어, 상기 제어부(60)는 불량 기판(80)이 위치하는 순서에 대한 정보를 수신한 후, 불량 기판(80)이 이송롤러(50) 상을 지나게 되는 경우 이송롤러(50)의 좌우측에 위치하는 상기 기판어레이부(550)의 좌측 또는 우측 중 어느 한쪽만 작동되도록 하거나 또는 어느 한쪽과 다른 한쪽의 푸시 속도의 차이를 두어 불량 기판(80)만 이송롤러(50)의 중앙부가 아닌 한쪽 측면으로 몰아, 향후 언로딩되어 기판 적재운송기(30)에 적재된 기판(80)들 중 한쪽으로 치우져 적재된 것들만을 불량 기판(80)으로 쉽게 구별할 수 있게 되는 것이다. 이때, 상기 이송롤러(50)에는 평상시에는 하측에 위치하고 있다가, 기판(80)의 센터링 정렬 내지 불량 기판(80)에 대한 좌측 또는 우측으로의 이송시에만 돌출되면서, 좌우방향으로 회전하는 롤러들로 이루어진 좌우롤러부(미도시)를 추가로 포함하여, 기판(80)의 센터링 정렬 내지 불량 기판(80)에 대한 좌측 또는 우측으로의 이송시 기판(80)이 용이하게 좌 또는 우 방향으로 이동할 수 있도록 보조할 수 있다. The substrate array unit 550 is configured to align the substrate 80 by protruding in a push form from the left and right sides of the transfer roller to align the arrangement of the substrate 80 moving on the transfer roller 50. 50 is positioned on the left and right sides of the transfer roller 50 so that the substrate moving on the line is aligned and moved to pass through the feed roller 50 while protruding in a push form toward the center of the feed roller 50 at regular intervals. Both sides of the substrate are pushed at the same time to align the substrate 80 to be positioned at the center of the transfer roller 50. In this case, two or four sensors (not shown) are arranged at predetermined intervals on the transfer roller 50 at both left and right sides thereof, so that the substrate array unit 550 of the substrate roller 550 is moved toward one side of the substrate 80. It also allows you to adjust the left and right push speeds differently. On the other hand, the substrate array unit 550 may also perform a task to distinguish the defective substrate 80, for example, the defective substrate 80 that is found to be a defective substrate 80 in the substrate processing automation line In the case of the unloading, the control unit 60 receives the information on the order in which the defective substrate 80 is positioned, and then transfers the feeding roller 50 when the defective substrate 80 passes over the feeding roller 50. Only one of the left side or the right side of the substrate array unit 550 located at the left and right sides of the panel) or the difference between the push speeds of either side and the other side of the bad substrate 80 only the central portion of the feed roller 50 Instead of driving to one side, only those that are unloaded and loaded to one side of the substrates 80 loaded on the substrate loading transporter 30 can be easily distinguished as a defective substrate 80. At this time, the transfer roller 50 is usually located on the lower side, while the rollers rotate in the left and right while protruding only when the centering alignment of the substrate 80 or the transfer to the left or right with respect to the defective substrate 80 Further comprising a left and right roller portion (not shown), the substrate 80 is easily moved in the left or right direction when transferring the centering alignment of the substrate 80 to the left or right with respect to the defective substrate 80 You can help.

한편, 기판(80)의 로딩 과정에서 이송롤러(50)에 로딩된 기판(80)이 아직 이송롤러(50)를 빠져나가지 않은 상태에서 추가로 다른 기판(80)이 이송롤러(50)에 로딩되는 경우가 발생하는 것을 방지하기 위한 추가적 구성을 포함하는데, 이를 위해 상기 이송롤러(50)는 로딩 과정에서 기판(80)이 이송롤러(50)상에서 기판(80)의 크기 이상만큼의 거리를 이송하였는지를 탐지하는 제2탐지부(570)(일 예로, 레이저 센서 등)를 포함하고, 상기 제어부(60)는 상기 제2탐지부(570)의 정보를 바탕으로 기판(80)이 이송롤러(50)상에서 기판(80)의 크기 이상만큼의 거리를 이송하지 않은 상태에서 다른 기판(80)이 이송롤러(50)상에 로딩되는 것을 방지하게 된다. 즉, 앞서 상기 제1탐지부(419)로부터 기판(80)의 크기 정도 이격된 거리에 상기 제2탐지부(570)가 위치하게 되면, 상기 제1탐지부(419)로부터 탐지된 기판(80)이 아직 제2탐지부(570)를 완전히 지나가지 않은 상태를 상기 제어부(60)는 기판(80)이 이송롤러(50)상에서 기판(80)의 크기 이상만큼의 거리를 이송하지 않은 상태로 판단하게 되고, 이때 다른 기판(80)이 이송롤러(50)에 로딩되는 경우에는 이를 방지하게 하고, 기판(80)이 상기 제2탐지부(570)를 완전히 지난 후 로딩 과정이 재게되도록 한다. Meanwhile, another substrate 80 is loaded on the transfer roller 50 while the substrate 80 loaded on the transfer roller 50 has not yet exited the transfer roller 50 in the loading process of the substrate 80. In this case, the feed roller 50 transfers a distance of more than the size of the substrate 80 on the feed roller 50 in the loading process. And a second detection unit 570 (for example, a laser sensor, etc.) for detecting whether or not it has been detected. The control unit 60 includes the substrate 80 having the transfer roller 50 based on the information of the second detection unit 570. The other substrate 80 is prevented from being loaded onto the transfer roller 50 in a state in which the distance of more than the size of the substrate 80 is not transferred. That is, when the second detector 570 is positioned at a distance that is spaced about the size of the substrate 80 from the first detector 419, the substrate 80 detected from the first detector 419. ) Has not yet passed completely through the second detection unit 570, the control unit 60 is a state in which the substrate 80 does not transfer a distance greater than or equal to the size of the substrate 80 on the transfer roller 50 In this case, when another substrate 80 is loaded on the transfer roller 50, this is prevented, and the loading process is restarted after the substrate 80 completely passes the second detection unit 570.

또한, 상기 이송롤러(50) 상에서 추가적으로 2매 이상의 기판(80)이 로딩 또는 언로딩 되고 있는지를 최종적으로 감지하는 이매(2매)감지유닛(580)을 추가로 포함할 수 있다. 상기 이매(2매)감지유닛(580)은, 도 20 등에 도시된 바와 같이 이송롤러(50)상에서 이송롤러(50)를 따라 로딩 또는 언로딩을 위해 이동하는 기판(80)의 두께를 감지하여 기판(80)이 1매인지 2매 이상인지를 감지하게 된다. 이를 위해, 상기 이매(2매)감지유닛(580)은 도 20에 도시된 바와 같이, 이송롤러(50)를 지나는 기판(80)의 상면을 터치하는 감지롤러(581)와, 상기 감지롤러(581)의 상하이동에 연동하여 상하이동하는 롤러프레임(582)과, 상기 롤러프레임(582)에 일단이 연결되며 지렛대 원리로 회전축(584)을 중심으로 타단이 상기 일단보다 더 크게 회동하게 되는 편심회동부(583)와, 상기 편심회동부(583) 타단의 움직인 거리를 측정,감지하는 리미트센서(585)를 포함할 수 있다. 이와 같은 구조를 통해, 도 20에 도시된 바와 같이, 만약 상기 감지롤러(581)에 2매 이상의 기판(80)이 지나가게 되면 감지롤러(581) 및 그에 연동하는 롤러프레임(582)이 기판(80)이 1매일때보다 더 높이 상승하게 되고, 이때 상기 편심회동부(583)는 지렛대 원리를 통해 롤러프레임(582)에 연결된 일단보다 타단의 회동이 증폭되어 나타나게 되고, 이를 상기 리미트센서(585)를 통해 정확히 감지할 수 있게 되므로, 기판(80)의 두께가 얇은 경우에 있어서도 상기와 같은 증폭감지를 통해 정확히 2매 이상의 기판(80)이 로딩 또는 언로딩 되고 있는지 여부를 정확하게 판별할 수 있게 되므로, 2매 이상의 기판(80)이 동시에 로딩 또는 언로딩됨으로 인해 발생하는 문제를 미연에 방지할 수 있게 한다. 이때, 상기 이매감지유닛(580)에는 상기 감지롤러(581)의 위치를 기판(80)의 두께에 맞춰 조정할 수 있게 하는 제2손잡이(587)와, 상기 리미트센서(585)의 위치를 기판(80)의 두께에 맞춰 조정할 수 있게 하는 손잡이(586)를 추가로 포함하여 다양한 기판(80)의 두께에 대응할 수 있도록 할 수 있다. 즉, 먼저 상기 제2손잡이(587)를 통해 상기 감지롤러(581)가 기판(80)의 두께에 맞춰 기판(80) 1장이 통과시에는 움직이지 않도록 하고(즉, 1장 통과시 기판(80)의 상면과 접촉하지 않도록 하여 정상적인 1장의 기판(80) 통과시에는 기판의 상면에 기스 등이 발생하지 않도록 하며) 2장 이상의 기판(80)이 통과하는 경우에만 감지롤러(581)가 기판과 접촉하여 상향 이동할 수 있도록 셋팅하고, 상기 손잡이(586)를 통해서는 역시 기판(80)의 두께에 맞춰 기판(80)이 2장 이상 통과시 상기 감지롤러(581)가 상향이동하고 그에 따라 상기 편심회동부(583)의 타단의 회동이 증폭되어 움직이는 거리를 상기 리미트센서(585)가 감지할 수 있도록 리미트센서(585)의 위치를 셋팅하게 되면, 다양한 두께의 기판(80)이 사용되는 경우에도 정확하게 2매 이상의 기판(80) 여부를 감지할 수 있게 된다. In addition, the transfer roller 50 may further include a double sheet (2 sheets) detecting unit 580 for finally detecting whether two or more substrates 80 are loaded or unloaded. The double sheet detecting unit 580 senses the thickness of the substrate 80 moving for loading or unloading along the feed roller 50 on the feed roller 50 as shown in FIG. 20. It is detected whether the substrate 80 is one sheet or two sheets or more. To this end, the double sheet (2 sheets) detecting unit 580, as shown in Figure 20, the detection roller 581 for touching the upper surface of the substrate 80 passing through the transfer roller 50, and the detection roller ( 581 is an eccentricity in which the roller frame 582 and the roller frame 582 which are moved in conjunction with the shangdong are connected to the roller frame 582 and the other end is rotated more than the one end about the rotating shaft 584 by the lever principle. The rotating unit 583 and the limit sensor 585 for measuring and detecting the moving distance of the other end of the eccentric rotating unit 583 may be included. Through such a structure, as shown in FIG. 20, if two or more substrates 80 pass through the sensing roller 581, the sensing roller 581 and the roller frame 582 interlocked with the sensing roller 581 are formed of a substrate ( 80 is raised higher than when one sheet, and the eccentric rotation part 583 is the amplified rotation of the other end than the one connected to the roller frame 582 through the lever principle, and the limit sensor (585) Since it is possible to accurately detect the substrate 80, even when the thickness of the substrate 80 is thin, it is possible to accurately determine whether two or more substrates 80 are loaded or unloaded correctly through the amplification detection as described above. Therefore, it is possible to prevent a problem caused by loading or unloading two or more substrates 80 at the same time. In this case, the double sheet detecting unit 580 includes a second handle 587 for adjusting the position of the sensing roller 581 according to the thickness of the substrate 80, and a position of the limit sensor 585. A handle 586 may be further included to adjust the thickness of the substrate 80 to correspond to the thickness of the various substrates 80. That is, first, the sensing roller (581) through the second handle (587) to match the thickness of the substrate 80 so that one substrate 80 does not move when passing (that is, the substrate 80 when passing one sheet) ) So that no gas or the like is generated on the upper surface of the substrate during normal passage of one substrate 80.) The sensing roller 581 is connected to the substrate only when two or more substrates 80 pass. The sensing roller 581 is moved upward when two or more substrates 80 pass through the handle 586 to match the thickness of the substrate 80 through the handle 586. When the position of the limit sensor 585 is set so that the limit sensor 585 can sense the movement distance of the rotation of the other end of the pivoting part 583, the substrate 80 having various thicknesses is used. Can accurately detect whether two or more substrates 80 It is.

이하에서는, 도 12 내지 도 16을 참조하여, 본 발명의 기판 이송시스템을 이용한 기판(80)의 로딩과 언로딩 과정에 대해 설명하도록 한다. Hereinafter, the loading and unloading process of the substrate 80 using the substrate transfer system of the present invention will be described with reference to FIGS. 12 to 16.

먼저, 도 12 내지 도 14를 참조하여 로딩 과정을 설명하면, 기판(80)을 적재한 기판 적재운송기(30)가 적재운송기 가이드부(70)를 통해 이송시스템 내 정위치 고정된 상태에서, 도 12에 도시된 바와 같이, 로딩/언로딩부(40)의 회전이동부(410)는 적재부(310)쪽으로 먼저 회전이동하여 적재된 기판(80)들 중 맨 앞에 있는 기판(80) 하나를 상기 흡착부(415)를 사용하여 밑면지지부(411)쪽으로 당겨 이동시키게 된다. 이때, 상기 밑면지지부(411)는 적재부(310)의 슬릿부(313)를 활용하여 밑면접촉부(312)보다 아래에 위치한 상태이다. 이후, 앞서 설명한 바와 같이 상기 푸시부(416)와 거리측정부(417)를 통해 밑면지지부(411)쪽으로 당겨 이동된 기판(80)이 1장인지를 확인한 후, 1장으로 확인되면 상기 간격조절부(420) 및 회전모터(414)의 동시 작용을 통해 상기 회전이동부(410)는 회전이동하면서 도 13에 도시된 바와 같이, 기판(80)을 이송롤러(50)로 로딩시키게 된다. 기판(80)이 이송롤러(50)에 로딩된 직후, 상기 제1탐지부(419)를 통해 로딩된 기판이 이송롤러(50)상에서 이송되어 상기 밑면지지부(411)로부터 이탈된 것이 확인되면, 도 14에 도시된 바와 같이 상기 간격조절부(420)는 상기 밑면지지부(411)와 전면지지부(412)를 하측 방향으로 이동시킨 후 다시 로딩시 방향과 반대방향 궤적으로 회전이동부(410)를 회전이동시켜 적재부(310)를 향하도록 하거나, 다른 예로는 로딩시 방향 그대로 회전이동부(410)를 360도 회전이동시켜 적재부(310)를 향하도록 하게 된다. First, the loading process will be described with reference to FIGS. 12 to 14. In the state where the substrate loading transporter 30 having the substrate 80 loaded thereon is fixed in the transport system through the loading transporter guide unit 70, FIG. As shown in FIG. 12, the rotation moving part 410 of the loading / unloading part 40 rotates first toward the loading part 310 to move one of the substrates 80 in front of the loaded substrates 80. The suction part 415 is pulled and moved toward the bottom support part 411. At this time, the bottom support portion 411 is positioned below the bottom contact portion 312 by utilizing the slit portion 313 of the loading portion 310. Thereafter, as described above, after checking whether the substrate 80 is pulled toward the bottom support part 411 through the push part 416 and the distance measuring part 417 and there is one piece, the gap adjusting part is confirmed as one piece. Through the simultaneous action of the 420 and the rotary motor 414, the rotary moving unit 410 is rotated to load the substrate 80 into the transfer roller 50, as shown in FIG. Immediately after the substrate 80 is loaded on the conveying roller 50, when the substrate loaded through the first detecting part 419 is conveyed on the conveying roller 50 and separated from the bottom support part 411, As shown in FIG. 14, the gap adjusting part 420 moves the bottom support part 411 and the front support part 412 in the downward direction, and then moves the rotation moving part 410 in the opposite direction to the loading direction. Or rotated to face the loading unit 310, or in another example, to move the rotation moving unit 410 360 degrees to the loading unit 310 as it is in the loading direction.

또한, 도 15 및 도 16을 참조하여 언로딩 과정을 설명하면, 기판공정 자동화라인으로부터 상기 이송롤러(50)로 기판(80)의 이송이 이루어지고 있는 상태에서도(즉, 종래에는 기판(80)을 언로딩시키기 위해서는 본 발명의 회전이동부(410)의 전면지지부(412)와 같은 구성이 먼저 이송롤러(50) 상에 위치된 상태에서라야 이송롤러(50)로의 기판(80)의 이송이 이루어지게 되는 것과 차이가 있음), 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 간격조절부(420) 및 회전모터(414)는 회전이동부(410)를 회전이동과 함께 상기 이송롤러(50)의 하측으로부터 이송롤러(50)의 간섭방지슬릿(520)을 통해 이송롤러(50)상으로 이동할 수 있게 함으로써, 언로딩 공정 시간을 단축할 수 있게 된다. 이후, 이송롤러(50)로의 이송이 완료된 기판(80)을 상기 회전이동부(410)가 상기 전면지지부(412) 및 밑면지지부(411)(필요에 따라 배면지지부(413)도 추가됨)로 지지한 상태에서 회전이동하여 적재부(310)까지 언로딩시키게 된다. 이후에는, 도 16에 도시된 바와 같이, 상기 밀착부(미도시)를 이용해 적재부(310)쪽으로 언로딩된 기판(80)을 밀어 적재부(310)에 적재된 다른 기판(80)들에 밀착되도록 이동시키게 되고, 이후 다시 상기 회전이동부(410)는 언로딩시 방향과 반대방향 궤적으로 이송롤러(50)를 향해 회전이동하거나 다른 예로는 언로딩시 방향 그대로 360도 회전하여 이송롤러(50)를 향해 회전이동하게 된다. 한편, 언로딩시 기판의 적재부(310)에 적재되는 기판(80)이 밀착되지 못하여 하나의 기판 적재운송기(30)에 정해진 적재물량을 다 적재하지 못하는 문제가 발생하게 되는바, 본 발명에서는, 상기 기판정렬부(416-1)를 활용하여 이를 방지하게 되는데, 구체적으로 상기 회전이동부(410)을 통해 하나의 기판(80)을 적재부(310)에 적재시키기 전 먼저 상기 기판정렬부(416-1)로 적재부(310)에 기 적재된 기판(80)들을 가압하여 밀착시키고 이후 회전이동부(410)를 통해 하나의 기판(80)을 언로딩시킨 후 다시 한 번 기판정렬부(416-1)로 적재부(310)에 기 적재된 기판(80)들을 가압하여 밀착시키는 과정을 반복함으로써, 상기 기판정렬부(416-1)를 이용해 하나의 기판 적재운송기(30)에 정해진 적재물량을 정확히 채울 수 있게 한다. In addition, the unloading process will be described with reference to FIGS. 15 and 16, even when the substrate 80 is being transferred from the substrate processing automation line to the transfer roller 50 (that is, the substrate 80 is conventionally used). In order to unload the structure, such as the front support portion 412 of the rotary mover 410 of the present invention is first placed on the feed roller 50, the transfer of the substrate 80 to the feed roller 50 is made 15), as shown in FIG. 15, the gap adjusting unit 420 and the rotating motor 414 move the rotary moving unit 410 from the lower side of the feed roller 50 together with the rotational movement. By allowing the transfer roller 50 to move on the transfer roller 50 through the interference preventing slit 520, the unloading process time can be shortened. Subsequently, the rotation moving part 410 supports the substrate 80 on which the transfer to the feed roller 50 is completed by the front support part 412 and the bottom support part 411 (back support part 413 is added as necessary). Rotational movement in one state is to be unloaded up to the loading portion (310). Subsequently, as shown in FIG. 16, the unloaded substrate 80 is pushed toward the loading part 310 by using the contact part (not shown) to other substrates 80 loaded on the loading part 310. The rotating movement part 410 is rotated toward the feed roller 50 in a direction opposite to the direction when unloading, or in another example, the rotating movement part 410 is rotated 360 degrees as it is unloading. Rotates toward 50). Meanwhile, when unloading, the substrate 80 loaded on the loading unit 310 of the substrate does not come into close contact with each other, thereby causing a problem in that it is impossible to load a predetermined load amount in one substrate loading transporter 30. By using the substrate aligning unit 416-1, this is prevented. Specifically, the substrate aligning unit is first loaded before loading one substrate 80 to the loading unit 310 through the rotation moving unit 410. Pressing the substrates 80 pre-loaded on the loading unit 310 with 416-1 and then closely contacting each other, and then unloading one substrate 80 through the rotation moving unit 410, and then again the substrate alignment unit By repeating the process of pressurizing and closely contacting the substrates 80 pre-loaded on the loading unit 310 with 416-1, the substrate alignment unit 416-1 is used to determine one substrate loading transporter 30. Make sure the load is filled accurately.

한편, 본 발명에 따른 상기 기판 이송시스템은, 도 18 및 도 19에 도시된 바와 같이, 언로딩 과정에서 기판(80)의 적재가 완료된 상기 기판 적재운송기(30)를 빈 기판 적재운송기(30)로 교체하는 과정 동안 기판(80)이 임시로 적재될 수 있게 하는 버퍼(90);를 추가로 포함하여 기판 적재운송기(30)를 교체하는 과정 동안에도 언로딩 공정이 연속적으로 수행될 수 있게 할 수 있다. On the other hand, the substrate transfer system according to the present invention, as shown in Figure 18 and 19, the substrate loading transporter 30, the substrate loading transporter 30 is completed, the loading of the substrate 80 is completed in the unloading process 30 And a buffer 90 which allows the substrate 80 to be temporarily loaded during the replacement process. The unloading process may be continuously performed even during the process of replacing the substrate loading transporter 30. Can be.

언로딩 과정에서, 상기 버퍼(90)는 상기 기판 적재운송기(30)와 로딩/언로딩부(40) 사이에서 상기 기판 적재운송기(30)를 교체시에만 버퍼판(910)이 이동하여 기판 적재운송기(30)를 교체하는 과정에서 적재부(310)에 적재될 기판(80)을 상기 버퍼판(910)에 임시로 적재할 수 있도록 하는데, 이를 위해 일 예로, 상기 적재운송기 가이드부(70)쪽에 위치한 상기 버퍼판(910)은 이를 내측 또는 외측으로 이동시키는 내외 구동부(930)의 작동에 의해, 적재가 완료된 기판 적재운송기(30)의 교체가 필요한 경우 상기 버퍼판(910)이 내측으로 이동하여, 도 18에 도시된 바와 같이, 이후에 언로딩되는 기판(80)부터는 상기 버퍼판(910)에 적재가 이루어지게 되고, 적재부(310)가 빈 기판 적재운송기(30)로의 교체가 완료된 이후에는 다시 상기 버퍼판(910)이 외측으로 이동하면서 도 19에 도시된 바와 같이, 버퍼판(910)에 적재되어 있던 기판(80)들이 적재부(310)에 (이동)적재되면서 이후에는 원래대로 언로딩되는 기판(80)이 적재부(310)에 적재되게 된다. 이때, 앞서 설명한 바와 같이, 상기 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)가 경사지게 기울어져 배치되어 있기 때문에, 적재부(310)의 상대적으로 높은 말단 부위에 상기 버퍼판(910)이 간섭되는 경우가 발생할 수 있는바, 이를 방지하기 위해 별도로 상기 버퍼판(910)을 상하로 이동시키는 상하구동부(미도시)를 구비하여, 기판 적재운송기(30)의 진입 또는 진출시에는 상기 버퍼판(910)을 상향 이동시켜 적재부(310) 말단과 간섭되는 것을 방지하고, 기판 적재운송기(30)가 완전히 완전히 빠져나간 이후에는 다시 버퍼판(910)을 하향 이동시켜 버퍼판(910)을 이용한 연속적인 언로딩 작업이 수행되도록 한다. In the unloading process, the buffer 90 moves the buffer plate 910 only when the substrate loading transporter 30 is replaced between the substrate loading transporter 30 and the loading / unloading unit 40. In the process of replacing the transporter 30, the substrate 80 to be loaded on the stacker 310 may be temporarily loaded on the buffer plate 910. For this purpose, for example, the transporter guide unit 70 may be used. The buffer plate 910 located on the side is moved by the inner and outer driving unit 930 for moving it inward or outward, so that the buffer plate 910 is moved inward when the loading of the substrate loading transporter 30 is completed. As shown in FIG. 18, the unloaded substrate 80 is loaded on the buffer plate 910, and the loading unit 310 is replaced with the empty substrate stacking carrier 30. Afterwards, the buffer plate 910 is moved to the outside again in FIG. 19. As shown, the substrate 80, which was loaded on the buffer plate 910, is (moved) loaded on the loading portion 310, and then the substrate 80, which is unloaded as it is, is loaded on the loading portion 310. . At this time, as described above, since the loading portion 310 of the substrate loading transporter 30 is disposed to be inclined inclined, the buffer plate 910 interferes with the relatively high end portion of the loading portion 310. If a case may occur, and a vertical drive unit (not shown) for moving the buffer plate 910 up and down separately to prevent this, the buffer plate 910 when entering or exiting the substrate loading transporter 30. ) Is moved upward to prevent interference with the end of the stacking unit 310, and after the substrate stacking transporter 30 has completely exited, the buffer plate 910 is moved downward again to continuously operate the buffer plate 910. Allow unloading to be performed.

이때, 상기 버퍼판(910)에는 회전롤러(920)를 포함하여, 버퍼판(910)에 적재되어 있던 기판(80)이 교체된 기판 적재운송기(30)의 적재부(310)로 이동하는 과정에서 버퍼판(910)과 기판(80)과의 마찰을 최소화하여 기판(80)을 보호할 수 있도록 한다. At this time, the buffer plate 910 includes a rotating roller 920, the process of moving to the loading unit 310 of the substrate loading transporter 30, the substrate 80 that was loaded on the buffer plate 910 is replaced In order to minimize the friction between the buffer plate 910 and the substrate 80 to protect the substrate (80).

이상에서, 출원인은 본 발명의 바람직한 실시예들을 설명하였지만, 이와 같은 실시예들은 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 일 실시예일 뿐이며 본 발명의 기술적 사상을 구현하는 한 어떠한 변경예 또는 수정예도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 해석되어야 한다. In the above, the Applicant has described preferred embodiments of the present invention, but these embodiments are merely one embodiment for implementing the technical idea of the present invention, and any changes or modifications may be made as long as the technical idea of the present invention is implemented. Should be interpreted as being within the scope.

Claims

A loading unit on which a substrate is loaded; And

Including; a moving unit for moving the mounting portion loaded with a substrate;

The substrate loading transporter, characterized in that the movement to the transport and transfer system in the state in which the substrate is loaded in the loading unit can be made through one substrate loading transporter, thereby shortening the logistics process.

The method of claim 1,

The loading portion includes a back contact portion contacting the back surface of the substrate being loaded, and a bottom contact portion contacting the bottom surface of the substrate being loaded, wherein the back contact portion is formed to be inclined so as to be directed toward the back contact portion, and the bottom contact portion is also from the front side. The substrate loading transporter, characterized in that the inclined toward the rear.

The method of claim 2,

And the stacking portion includes a slit portion extending from the front surface to the rear surface of the bottom contact portion at a predetermined interval and an intermediate contact portion disposed between the slit portions.

The method of claim 1,

The moving part includes a protrusion formed at the front side and a groove formed at the rear side to secure the coupling between the substrate stacking carriers arranged back and forth in the transporting process of the substrate stacking transporter, and located at the rear of the groove of the substrate loading transporter located at the front side. Substrate loading transporter, characterized in that the protrusion of the substrate loading transporter is inserted and fixed.

The method of claim 4, wherein

The moving part further comprises a banding part to which a rope is fixed to bind the loaded substrate in the transport process of the substrate loading transporter.

The method of claim 4, wherein

And the moving part includes a fixing part to which the fixing means of the transfer system is fastened to prevent the moving part of the moving part and to securely fix the moving part in the state where the substrate loading transporter is located in the transfer system.

A substrate loading transporter including a loading unit on which a substrate is loaded and a moving unit to move the loading unit on which a substrate is loaded;

A loading / unloading unit for loading the substrates loaded on the loading unit of the substrate loading transporter into the transfer rollers one by one or unloading the substrates conveyed from the transfer rollers into the loading unit one by one;

A transfer roller which transfers the substrate loaded through the loading / unloading unit to a substrate processing automation line or transfers the substrate loaded to the loading / unloading unit to unload the substrate from the substrate processing automation line. system.

The method of claim 7, wherein the transfer system,

And a loading transporter guide unit for guiding the substrate loading transporter to be accurately positioned in front of the loading / unloading unit.

The load transporter guide unit may include an entry breaker to block the entry of the board load transporter when the loading / unloading unit is not in a normal operation state or there is a risk of collision between the board load transporter and the load / unloader. Characterized by a transfer system.

The method of claim 8,

The load transporter guide part further includes a friction reducing part for minimizing friction with the side of the substrate load transporter to enter, and fastening means coupled to a fixing part of the substrate load transporter to fix the in-place substrate load transporter. Transfer system, characterized in that.

The method of claim 7, wherein the transfer system,

And a control unit for controlling the operation of the loading / unloading unit and the transfer roller.

The loading / unloading unit may include a rotary moving unit rotating the substrate one by one between the loading unit and the transfer roller for loading or unloading, and changing the loading amount of the substrate loaded in the loading unit in the loading or unloading process. Transfer system, characterized in that it comprises a spacing adjuster for precisely adjusting the position of the rotary moving unit according to the distance change.

The method of claim 10,

The gap adjusting unit includes a front and rear guide part for guiding the front and rear movement of the rotational movement part, a vertical guide part for guiding the vertical movement of the rotational movement part, and a front and rear drive part for driving the rotational movement part in the front and rear direction. And a vertical driving unit configured to drive the rotary moving unit in a vertical direction.

The method of claim 10,

The rotatable moving part may include a bottom support part supporting a bottom of a substrate to be loaded or unloaded, a front support part supporting a front surface of the substrate supported by the bottom support part, and a bottom support part and a front support part. Transfer system comprising a rotation motor for rotating the rotational movement around the rotation axis.

The method of claim 12,

The bottom support portion and the front support portion is formed of a plurality of spaced apart at regular intervals,

The stacking portion includes a slit portion extending from the front surface to the rear surface of the bottom contact portion at a predetermined interval so that a plurality of the bottom support portion and the front support portion can pass through the stacking portion without interference.

The conveying roller is a conveying system, characterized in that it comprises an interference preventing slit to form a predetermined space passing through the front support so that the plurality of the front support does not interfere with the conveying roller.

The method of claim 13,

The control unit may move the front support part downwardly through the interference prevention slit and then rotate toward the substrate loading transporter even after the rotation moving part loads the substrate into the feed roller, even when the substrate is not yet transferred from the feed roller. Thereby shortening the loading or unloading process cycle.

The method of claim 12,

The rotatable moving part includes an adsorption part for pulling the substrate loaded on the loading part toward the bottom support part for loading or an adhesion part for pushing the substrate supported on the bottom support part for the loading part toward the loading part,

The adsorption unit transfer system, characterized in that to adjust the amount of adsorption pulling the substrate.

The method of claim 13,

The rotatable moving part may include a push part that prevents movement by pressing the front surface of the substrate moved to the bottom support part through the adsorption part, and measures the distance between the rotatable moving part and the substrate while the push part presses the front surface of the substrate. Including distance measuring unit,

And the control unit determines whether two or more substrates are moved toward the bottom support based on the distance between the rotational moving unit and the substrate measured by the distance measuring unit.

The method of claim 16,

The rotation moving part further includes a collision preventing part protruding when the substrate is expected to collide with the rotating moving part based on the distance between the rotating moving part and the substrate measured by the distance measuring part to protect the substrate. Conveying system.

The method of claim 11,

The loading portion includes a back contact portion contacting the back surface of the substrate being loaded, and a bottom contact portion contacting the bottom surface of the substrate being loaded, wherein the back contact portion is formed to be inclined so as to be directed toward the back contact portion, and the bottom contact portion is also from the front side. It is formed to be tilted toward the rear side,

The front and rear guide parts for guiding the front and rear movement of the rotational moving part are also inclined at the same inclination as the inclination of the bottom contact part.

The method of claim 13,

The feed roller may include a main feed roller positioned at left and right sides and front and rear sides of the interference preventing slit, a rotation motor for rotating the main feed roller, and smooth transfer of a substrate between the interference preventing slits. A transport system comprising a secondary roller positioned for.

The method of claim 19,

The transfer roller, the transfer system characterized in that it comprises a substrate array portion for aligning the arrangement of the substrate to move on the transfer roller to the left and right of the transfer roller, respectively.

The method of claim 19,

The transfer roller further comprises a double sheet (2 sheets) detecting unit for detecting whether there are two or more substrates moving on the transfer roller for loading or unloading.

The method of claim 21,

The double sheet sensing unit includes a sensing roller that touches an upper surface of the substrate when two or more substrates pass through the feed roller, a roller frame which moves in synchronism with the shanghai of the sensing roller, and the roller frame. One end is connected to the eccentric pivot part and the other end is rotated larger than the one end around the rotation axis in the principle of the lever, characterized in that it comprises a limit sensor for measuring and detecting the movement distance of the other end of the eccentric pivot part Conveying system.

The method of claim 14,

The rotatable moving part includes a first detecting part which detects whether the substrate is transported from the bottom support part on the transport roller in the loading process or detects whether the substrate is transferred from the transport roller to the bottom support part in the unloading process,

And the control unit moves the front support part downwardly through the interference prevention slit immediately after loading the substrate based on the information of the first detection unit, and rotates it back toward the substrate loading transporter.

The method of claim 23,

The transfer roller includes a second detection unit for detecting whether the substrate transfers a distance of at least the size of the substrate on the transfer roller in the loading process,

And the control unit prevents another substrate from being loaded onto the transfer roller while the substrate does not transfer a distance greater than or equal to the size of the substrate on the transfer roller based on the information of the second detection unit.

The method of claim 10, wherein the transfer system,

And a buffer which allows the substrate to be temporarily loaded during the process of replacing the substrate carrier in the unloading process.

The method of claim 25,

The buffer may be configured to temporarily load a substrate to be loaded on the buffer plate in the process of replacing the substrate load transporter by moving the buffer plate only when the substrate load transport is replaced between the substrate load transporter and the loading / unloading unit. Characterized by a transfer system.

The method of claim 26,

The buffer includes a rotating roller in the buffer plate, the transfer system, characterized in that to minimize the friction with the substrate in the process of moving the substrate loaded on the buffer board substrate replaced.

The method of claim 22,

The double sheet sensing unit further includes a second handle for allowing the position of the sensing roller to be adjusted to the thickness of the substrate. The transfer roller is characterized in that the detection roller is in contact with the upper surface of the substrate only when two or more substrates pass through without contacting the upper surface, thereby minimizing damage to the substrate with the detection of two or more substrates.

The method of claim 15,

The control unit, along with a predetermined portion in the process of pulling the substrate loaded on the loading unit through the adsorption unit toward the bottom support portion for loading to the substrate distracted in the loading portion, the bottom support portion in the rotation process of the rotational movement for loading; In order to prevent the back support from interfering and damaging the substrate, the moving parts of the substrate adsorbed and pulled through the adsorption part are first retracted at a predetermined interval so as not to interfere with the substrate of the loading part. And a rotational moving position control module that rotates for next loading.

The method of claim 15,

The rotatable moving part further includes a substrate aligning part which comes with a predetermined portion in the process of pulling the substrate loaded on the loading part through the adsorption part toward the bottom support part and pushes the substrate distracted on the loading part for reloading. Transfer system, characterized in that.

The method of claim 30,

When the substrate is pulled toward the bottom supporting part, the rotary moving part moves the rotary moving part upward once and then determines whether two or more substrates are moved to the bottom supporting part by using the distance measuring part. The substrate was separated while the bottom surface of the substrate collided with the loading part by rapidly moving the rotating movement part to the opposite side, and was pressed again by hitting the substrate using the substrate alignment part or by spraying high pressure air through a blower. A transfer system, wherein the substrate is completely separated.

The method of claim 15,

The rotatable moving part further comprises a separation roller in contact with the bottom surface of the substrate being pulled or pushed by the adsorption part,

The separation roller is a one-way bearing that allows the separation roller to rotate in the process of pushing the substrate toward the loading unit while the separation roller does not rotate in the process of pulling the substrate from the loading unit by the adsorption unit. A conveying system, characterized in that the roller comprises elastic means for allowing the flow up and down in accordance with the weight of the substrate.

The method of claim 16,

The distance measuring unit measures distances at two locations corresponding to the left and right sides of the substrate by using a laser sensor, thereby accurately determining whether two or more substrates are moved toward the bottom support, and thus loading two or more substrates. Transfer system, characterized in that to prevent.

The method of claim 33, wherein

The control unit, when the substrate is moved to the bottom support portion through the adsorption portion for loading to rotate the rotary moving part to a certain degree and then rotates downward again to optimize the angle between the distance measuring unit laser sensor and the substrate,

The distance measuring unit may measure and provide a distance to the substrate at a position closest to each of the plurality of bottom support portions, and accurately determine whether two or more substrates are moved toward the bottom support portion by comparing the provided data. Conveying system.

The method of claim 12,

The rotatable moving part may further include a rear support part supporting the rear surface of the substrate at the other end of the bottom support part, or further comprising a separate groove part into which the bottom surface of the substrate is inserted into the bottom support part. .