WO2016117031A1 - 液晶表示装置の製造方法及び露光マスク - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a method for manufacturing a liquid crystal display device including a spacer between two plate-like members and an exposure mask.
- the liquid crystal display device includes a TFT substrate for driving a liquid crystal and a counter substrate facing the TFT substrate.
- the liquid crystal is sealed between the counter substrate and the TFT substrate.
- the counter substrate includes a translucent substrate, a light shielding layer formed on one surface of the translucent substrate, and a colored layer having RGB3 primary colors, RGBY4 primary colors, or RGBW4 primary colors. In the following, RGB three primary colors are exemplified.
- a plurality of openings are arranged in parallel in the light shielding layer. An opening is a non-light-shielding part, and between adjacent openings is a light-shielding part.
- Each opening provided in the light shielding layer is blocked by a colored layer of any one of the three primary colors RGB.
- the colored layer is formed from the periphery of the opening to the inside in order to reliably close the opening.
- a spacer is provided between the counter substrate and the TFT substrate for making the separation distance (cell gap) between the counter substrate and the TFT substrate uniform.
- Each pixel provided on the counter substrate includes sub-pixels for three colors of RGB.
- One subpixel has an opening of the light shielding layer and a colored layer that closes the opening.
- each pixel is a multi-pixel including two sub-pixels for each color (that is, a total of six)
- each multi-pixel is provided with a spacer.
- two sub-pixels of the same color included in each multi-pixel are referred to as two same-color sub-pixels.
- each spacer protrudes from a light shielding portion between two sub-pixels of the same color.
- a plurality of exposure masks each having a mask pattern corresponding to the colored layer of one color is used.
- the mask pattern includes a plurality of opening patterns.
- the mask pattern has a constant density of opening patterns.
- the mask pattern changes from dense to coarse from the center toward the periphery, and at the other end of the other exposure mask, the mask pattern is shifted from the periphery.
- the density of the opening pattern changes from coarse to dense toward the center.
- the density at one end of one exposure mask and the density at the other end of the other exposure mask complement each other (see Patent Document 1).
- One surface of the light-transmitting substrate is covered with a coloring material layer after the light shielding layer is formed.
- photolithography using one exposure mask and another exposure mask is sequentially performed on the coloring material layer.
- the mask pattern of each exposure mask is transferred to the coloring material layer.
- the range in which the mask pattern of one exposure mask is transferred and the range in which the mask pattern of another exposure mask is transferred partially overlap. Thereafter, the non-exposed areas of the coloring material layer are removed.
- the colored layers related to the two same-colored subpixels are patterned using either one of the exposure mask and the other exposure mask.
- the difference in film thickness between two sub-pixels of the same color is large.
- the difference in film thickness between two sub-pixels of the same color is large, if a spacer is arranged between the two sub-pixels of the same color, the cell gap cannot be made uniform.
- the present invention has been made in view of such circumstances, and a main object thereof is to provide a method of manufacturing a liquid crystal display device and an exposure mask capable of making the cell gap uniform.
- the method of manufacturing a liquid crystal display device includes two plate members facing each other with liquid crystal interposed therebetween, a spacer between the two plate members, and one or the other of the two plate members. And a coloring layer that is included in one or the other of the two plate-like members and closes the opening or faces the opening.
- a plurality of sub-pixels including a plurality of sub-pixels each having an opening and a colored layer, wherein the plurality of sub-pixels have the same color as sub-pixels adjacent in one direction, and the spacer
- a coloring material of one color is formed in the colored layer forming step of forming the colored layer.
- a material layer forming step of forming a layer, and a plurality of partial openings are closed or opened.
- a first transfer step of transferring the mask pattern to the first range of the coloring material layer by photolithography using a first exposure mask having a mask pattern corresponding to the colored layer of one color to be exposed to The first opening of the coloring material layer is formed by photolithography using a second exposure mask having a mask pattern corresponding to the colored layer of one color that should close the other opening or face the opening.
- the two sub-pixels of the same color adjacent to the spacer An opening pattern to be formed is formed, the opening pattern having a size corresponding to a plurality of sub-pixels of the same color adjacent in the one direction, and a plurality of adjacent openings in the one direction
- the number of sub-pixels of the same color is the same as the total number of sub-pixels of the same color included in the plurality of pixels.
- the pixel is a multi-pixel including two sub-pixels of the same color, and the plurality of sub-pixels of the same color adjacent in the one direction are: It is characterized by two sub-pixels included in at least one multi-pixel and one sub-pixel included in each of the two multi-pixels.
- An exposure mask includes two plate-like members facing each other with liquid crystal interposed therebetween, and a light-shielding layer that is included in one or the other of the two plate-like members and has a plurality of openings arranged in parallel. And a colored layer that is included in one or the other of the two plate-like members and closes the opening or is arranged facing the opening, and a plurality of subpixels having the opening and the colored layer A plurality of pixels are provided, and the plurality of sub-pixels are used when manufacturing a liquid crystal display device having the same color as a sub-pixel adjacent in one direction.
- the mask pattern includes an opening pattern having a size corresponding to a plurality of sub-pixels of the same color adjacent in the one direction, Multiple adjacent in one direction Same color number of sub-pixels is characterized in that it is the same as the total number of sub-pixels of the same color included in a plurality of the pixels.
- the mask pattern of the first exposure mask is transferred to the first range of the coloring material layer by photolithography using the first exposure mask, and coloring is performed by photolithography using the second exposure mask.
- the mask pattern of the second exposure mask is transferred to a second range that partially overlaps and is adjacent to the first range of the material layer. That is, in the method for manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention, so-called mask joining is performed when the colored layer is formed.
- the spacer is disposed between two sub-pixels of the same color that are adjacent in one direction.
- the mask pattern included in at least one of the first exposure mask and the second exposure mask includes an opening pattern in which a colored layer included in two subpixels of the same color adjacent to the spacer is to be formed. That is, the two sub-pixels of the same color adjacent to the spacer are not mask joint portions (non-mask joint portions). Therefore, the spacer arrangement position has a small difference in film thickness. In other words, the spacer is not disposed at a position where the difference in film thickness is large. Therefore, there is no possibility that the difference in film thickness adversely affects the cell gap via the spacer.
- the opening pattern to form the colored layer of the two subpixels of the same color adjacent to the spacer has a size corresponding to a plurality of subpixels of the same color adjacent in one direction.
- the number of sub-pixels of the same color that are adjacent in one direction is the same as the total number of sub-pixels of the same color that are included in the plurality of pixels. That is, the mask pattern included in at least one of the first exposure mask and the second exposure mask is different from the mask pattern included in the conventional exposure mask. This is because the size of the opening pattern of the exposure mask according to the present invention (so-called dot size) is a plurality of pixels, but the size of the opening pattern of the conventional exposure mask is one pixel.
- a colored layer is formed over two sub-pixels of the same color adjacent to the spacer. That is, the arrangement position of the spacer is a central portion in one direction of the colored layer. And the difference of the film thickness concerning the one direction center part of a colored layer is very small.
- the mask joint portion there are two adjacent colored layers that overlap each other due to the positional deviation of the first exposure mask or the second exposure mask, and a portion that is unnecessarily separated. Since the film thickness may differ between the double-exposed part and the part exposed only once, the difference in film thickness between the two sub-pixels is large.
- both ends in one direction of the colored layer at the position where the spacer is arranged are arranged between sub-pixels of the same color of two adjacent normal pixels. Since a light shielding part or a light shielding member (for example, a wiring part having a light shielding property) of the light shielding layer is generally arranged between the subpixels of the same color of two adjacent normal pixels, one direction of the colored layer Both ends can be shielded from light. Therefore, there is no possibility that the colored layer at the position where the spacer is disposed will adversely affect the display quality of the liquid crystal display device.
- the light shielding layer and the colored layer may be included in the same plate-like member.
- the colored layer closes the opening provided in the light shielding layer.
- the spacer may be provided on a plate-like member including the light-shielding layer and the colored layer, or may be provided on a plate-like member not including the light-shielding layer and the colored layer.
- the spacer may be provided on the light shielding portion of the light shielding layer, or provided on a portion other than the light shielding portion of the light shielding layer (for example, on the colored layer). It may be done.
- the light shielding layer and the colored layer may be included in different plate-like members.
- the colored layer is disposed facing the light shielding layer.
- the spacer may be provided on the plate-like member including the light-shielding layer, or may be provided on the plate-like member not including the light-shielding layer.
- the spacer may be provided on the light shielding portion of the light shielding layer, or may be provided on a portion other than the light shielding portion of the light shielding layer.
- the spacer may be provided on the colored layer, or may be provided on other than the colored layer.
- the arrangement position of the spacers may be on the light shielding part of the light shielding layer, on the colored layer, or any other place as long as it is not a mask joint part but a non-mask joint part.
- the spacer When the spacer is provided on the plate-like member including at least the colored layer, the spacer may be formed simultaneously with the colored layer, for example, or may be formed after the colored layer is formed.
- the openings and subpixels may have a one-to-one correspondence (a configuration in which one subpixel has one opening), or a configuration in which a plurality of subpixels correspond to one opening (a plurality of subpixels each) May have a part of one opening).
- At least two subpixels may be the same color. Alternatively, all of the plurality of subpixels included in the pixel may have different colors.
- Each pixel may be a multi-pixel or a normal pixel that is not a multi-pixel.
- the number of sub-pixels included in each pixel may be the same or different.
- Two sub-pixels of the same color that are adjacent in one direction may be included in each of the two pixels, or may be included in one pixel. That is, the spacer may be disposed between two adjacent pixels, or may be disposed inside one pixel.
- the number of spacers is not limited. Regarding a pixel including a subpixel adjacent to a spacer, the number of spacers may be the same as the number of subpixels included in the pixel (for example, three spacers for three subpixels) or may be different (for example, 2 or less spacers or 4 or more spacers for 3 subpixels). The number of corresponding spacers may be different between pixels including sub-pixels adjacent to the spacer.
- the opening pattern for forming the colored layer of the two subpixels of the same color adjacent to the spacer may be included in only one of the first exposure mask and the second exposure mask. And may be included in each of the second exposure masks. As long as the spacer is disposed at the non-mask joint, the shapes or sizes of the opening patterns may be the same or different from each other.
- the number of sub-pixels of the same color adjacent in one direction is the same as the total number of sub-pixels of the same color included in the plurality of multi-pixels.
- the opening pattern to form a colored layer of two sub-pixels of the same color adjacent to the spacer is ⁇ 2 ⁇ K ⁇ sub-pixels (K is a natural number) included in the K multi-pixels. ), And a size corresponding to each one sub-pixel included in each of the two multi-pixels.
- both ends of the colored layer at the position where the spacer is arranged are arranged between the two sub-pixels of the same color of each of the two multi-pixels. Since the light shielding part or light shielding member of the light shielding layer is generally disposed between the two sub-pixels of the same color of the multi-pixel, it is possible to shield both ends of the colored layer in one direction. Therefore, there is no possibility that the colored layer at the position where the spacer is disposed will adversely affect the display quality of the liquid crystal display device.
- the spacer is arranged at a position where the difference in film thickness is small, the cell gap of the liquid crystal display device is not affected by the large difference in film thickness. Therefore, the cell gap of the liquid crystal display device can be made uniform. Therefore, the display quality of the liquid crystal display device can be improved.
- the exposure mask of the present invention is suitable for manufacturing a liquid crystal display device according to the method for manufacturing a liquid crystal display device of the present invention.
- FIG. 1 It is sectional drawing which shows typically the structure of the liquid crystal display device manufactured according to the manufacturing method of the liquid crystal display device which concerns on Embodiment 1 of this invention. It is a front view which shows the structure of a liquid crystal display device typically. It is a front view which shows typically the structure of the opposing board
- Embodiment 1. 1 and 2 are a cross-sectional view and a front view schematically showing the configuration of the liquid crystal display device 1 manufactured according to the method of manufacturing a liquid crystal display device according to Embodiment 1 of the present invention.
- the polarizing plate 24, the protective glass 25, and the translucent substrate 41 described later are omitted.
- FIG. 3 is a front view schematically showing the configuration of the counter substrate 4 provided in the liquid crystal display device 1.
- the up / down / left / right directions of the counter substrate 4 shown in FIG. 3 are the up / down / left / right directions toward FIG. 3.
- the liquid crystal display device 1 is configured as a television receiver or a display.
- the liquid crystal display device 1 displays a color image using RGB three primary colors. In the following, when differentiating R, G, or B colors from each other, “r”, “g”, or “b” is added to the reference numerals.
- the liquid crystal display device 1 includes a liquid crystal panel 11 that constitutes a front portion of the liquid crystal display device 1 and an illumination device 12 that constitutes a rear portion of the liquid crystal display device 1.
- the liquid crystal panel 11 includes a diffusion plate 21, a polarizing plate 22, a TFT substrate 3 (plate-like member), a liquid crystal 23, a counter substrate 4 (plate-like member), a polarizing plate 24, and a protective glass 25 in front of the lighting device 12. In this order from back to front.
- the TFT substrate 3 includes a translucent substrate 31, a TFT layer 32, and an alignment film 33.
- the counter substrate 4 includes a transparent substrate 41, a BM 42, colored layers 43, 43,..., A transparent electrode portion 44, an alignment film 45, spacers 46, 46,.
- the liquid crystal panel 11 has a rectangular display area and a rectangular frame-shaped frame area (not shown) surrounding the display area.
- a plurality of multi-pixels 13, 13,... are arranged in parallel in the vertical direction and the horizontal direction.
- the horizontal arrangement of the multi-pixels 13, 13,... Is referred to as a row, and the vertical arrangement of the multi-pixels 13, 13,.
- the upper (and lower) rectangle in the two-dot chain line rectangle shown in FIG. 2 indicates the even pixels (and odd rows) of multi-pixels 13.
- 3 shows multi-pixels 13, 13,... In the Mth to ⁇ M + 4 ⁇ th rows and the Nth to ⁇ N + 3 ⁇ th columns.
- M and N are even numbers of M and N ⁇ 0.
- Each multi-pixel 13 includes sub-pixels 14, 14,... For three RGB colors (two per color, a total of six). 2 indicate the upper sub-pixels 14r, 14g, and 14b in the even-numbered multi-pixels 13 and the lower-right hatched portions in the even-numbered multi-pixels 13 in FIG. Lower sub-pixels 14r, 14g, and 14b are shown. Two sub-pixels 14 and 14 of the same color (that is, two sub-pixels 14 and 14 of the same color) included in each multi-pixel 13 are arranged in parallel in the vertical direction. The two same-color sub-pixels 14 and 14 of different colors are juxtaposed from left to right in the order of R color, G color, and B color. In the entire counter substrate 4, the sub-pixels 14, 14,... For the three colors RGB are arranged in a stripe shape in which the same colors are arranged in the vertical direction.
- two multi-pixels 13 adjacent to each other in the vertical direction are adjacent to each other, and the separation distance between them can be regarded as “0”. That is, the separation distance between the two same-color sub-pixels 14 and 14 is longer than the separation distance between two multi-pixels 13 and 13 that are adjacent in the vertical direction.
- FIG. 3 in order to easily distinguish the multi-pixels 13, 13,..., The two multi-pixels 13, 13 that are adjacent in the vertical direction are separated from each other, and the two pixels that are adjacent in the vertical direction are separated.
- the separation distance between the multi-pixels 13 and 13 is drawn so as to be longer than the separation distance between the two same-color sub-pixels 14 and 14.
- the diffusion plate 21 and the polarizing plate 22 included in the liquid crystal panel 11 have translucency and are rectangular.
- the diffusion plate 21 constitutes the last part of the liquid crystal panel 11.
- the polarizing plate 22 is laminated on the front surface of the diffusion plate 21.
- the translucent substrate 31 provided in the TFT substrate 3 is made of a rectangular glass plate.
- the translucent substrate 31 is laminated on the front surface of the polarizing plate 22.
- the TFT layer 32 is laminated on the front surface of the translucent substrate 31.
- the TFT layer 32 has a plurality of pixel electrodes 321, 321,... Having translucency, and each light-shielding property, and the same number of TFTs (not shown) as the pixel electrodes 321, 321,. Left and right gate bus lines and Cs bus lines (not shown).
- Each one pixel electrode 321 and TFT are electrically connected to each other, and constitute one subpixel 14.
- the alignment film 33 has translucency and is stacked in the display region on the front surface of the TFT layer 32.
- the translucent substrate 41 provided in the counter substrate 4 is made of a rectangular glass plate.
- the BM 42 is a black matrix and functions as a light shielding layer in the embodiment of the present invention.
- the BM 42 is stacked on the rear surface of the translucent substrate 41.
- a plurality of rectangular openings 47, 47,... are provided in the display area of the BM 42.
- a plurality of openings 47, 47,... are spaced apart from each other in the vertical direction and the horizontal direction. That is, the light shielding portion of the BM 42 is disposed between the two adjacent openings 47 and 47.
- the peripheral portion of each opening 47 is a light shielding portion of the BM 42, but the configuration of the opening 47 is not limited to this.
- the non-light-shielding part may be a range that is not adjacent to the other openings 47, 47,. That is, a part of the peripheral part of the opening 47 may coincide with a part of the peripheral part of the translucent substrate 41.
- Each of the colored layers 43 is translucent and has any one of RGB three primary colors.
- One colored layer 43 closes one opening 47.
- the colored layer 43 is formed from the periphery of the opening 47 to the inside in order to reliably close the opening 47.
- the transparent electrode portion 44 is laminated on the display area on the rear surface of the BM 42 and the colored layers 43, 43,.
- the alignment film 45 has translucency and is laminated on the rear surface of the transparent electrode portion 44.
- the alignment films 33 and 45 are for aligning liquid crystal molecule groups constituting the liquid crystal 23 in a certain direction.
- Each subpixel 14 includes an opening 47 and a colored layer 43 of the BM 42, and a pixel electrode 321 and a TFT of the TFT layer 32.
- the opening 47 included in each subpixel 14 is the upper half or the lower half of the opening 47.
- the front surface of the TFT substrate 3 more specifically, the front surface of the alignment film 33
- the rear surface of the counter substrate 4 more specifically, such that each pixel electrode 321 faces the upper half or the lower half of the opening 47.
- the rear surface of the alignment film 45 is opposed to each other.
- the light shielding portion of the BM 42 is not disposed between the two multi-pixels 13 adjacent to each other in the vertical direction.
- the resolution of the liquid crystal display device 1 is improved as compared with the case where the light shielding portion of the BM 42 is disposed between the two multi-pixels 13 adjacent in the vertical direction.
- the light-shielding part of BM42 may be arrange
- the transparent electrode portion 44 functions as a common electrode facing the pixel electrodes 321, 321,... Of the TFT layer 32.
- the TFT included in the TFT layer 32 is disposed so as to face the light shielding portion of the BM 42.
- the gate bus line of the TFT layer 32 is disposed opposite to the light shielding portion between the two same-color sub-pixels 14 and 14 in the BM 42.
- the Cs bus line included in the TFT layer 32 is disposed to face the boundary between the multi-pixels 13 and 13.
- the TFT substrate 3 and the counter substrate 4 which are disposed facing each other are bonded via a sealing portion (not shown).
- the sealing portion has a rectangular frame shape having a light shielding property, and is bonded to the frame regions of the TFT substrate 3 and the counter substrate 4 between the TFT substrate 3 and the counter substrate 4. Since the sealing portion is interposed between the TFT substrate 3 and the counter substrate 4, the TFT substrate 3 and the counter substrate 4 are arranged to face each other with an appropriate cell gap.
- Each spacer 46 and 49 is a columnar portion in the front-rear direction.
- the length of the spacer 49 is about half that of the spacer 46.
- the spacer 46 is located between the two same color sub-pixels 14r and 14r.
- the spacer 46 includes the same material as that of each of the colored layers 43g and 43b.
- the spacer 49 is located between the two same-color subpixels 14g and 14g and between the two same-color subpixels 14b and 14b.
- the spacer 49 positioned between the two same-color sub-pixels 14g and 14g contains the same material as that of the colored layer 43b.
- the spacer 49 positioned between the two same-color sub-pixels 14b and 14b contains the same material as that of the colored layer 43b.
- the spacers 46, 46,... are so-called main spacers and are interposed between the TFT substrate 3 and the counter substrate 4, and have an effect of making the cell gap uniform.
- the spacers 49, 49,... are so-called sub-spacers, and suppress an excessive shortening of the cell gap when an external force in the direction of shortening the cell gap is applied. As a result, it is possible to suppress the liquid crystal display device 1 from being excessively deformed and damaged when an external force in a direction to shorten the cell gap is applied.
- spacers 46, 49, 49 may be arranged for all the multi-pixels 13, 13,.
- spacers 46, 49, 49 are arranged for some of the multi-pixels 13, 13,. 46, 49, 49 are not arranged.
- spacers 46, 49, 49 are arranged for the multi-pixels 13, 13,... In the odd-numbered rows ( ⁇ M + 1 ⁇ row, ⁇ M + 3 ⁇ row,...), Respectively.
- the multi-pixels 13, 13,... In the rows (Mth row, ⁇ M + 2 ⁇ row, ⁇ M + 4 ⁇ row,...) Are not provided with spacers 46, 49, 49, respectively.
- the liquid crystal 23 included in the liquid crystal panel 11 has translucency.
- the liquid crystal 23 is sealed between the TFT substrate 3 and the counter substrate 4 and in a space surrounded by the sealing portion.
- the spacers 46, 46,... Penetrate the liquid crystal 23.
- Each of the polarizing plate 24 and the protective glass 25 has translucency and has a rectangular shape.
- the polarizing plate 24 is laminated on the front surface of the translucent substrate 41.
- the polarizing plates 22 and 24 transmit linearly polarized light orthogonal to each other.
- the protective glass 25 is laminated on the front surface of the polarizing plate 24.
- the illumination device 12 is a direct type or an edge light type backlight unit.
- the illumination device 12 illuminates the liquid crystal panel 11 from the rear side.
- the light emitted from the illumination device 12 is diffused by passing through the diffusion plate 21.
- the diffused light passes through the polarizing plate 22 and then enters the TFT substrate 3.
- the light incident on the TFT substrate 3 sequentially passes through the transparent substrate 31, the pixel electrode 321 of the TFT layer 32, and the alignment film 33, and then enters the liquid crystal 23.
- the light incident on the liquid crystal 23 on the front side of the pixel electrode 321 passes through the liquid crystal 23 as it is.
- a voltage is applied between each pixel electrode 321 of the TFT layer 32 and the transparent electrode portion 44, the light incident on the liquid crystal 23 on the front side of the pixel electrode 321 is polarized by the liquid crystal 23 and is then passed through the liquid crystal 23.
- Penetrate This is because the arrangement of the liquid crystal molecule groups constituting the liquid crystal 23 is changed by applying a voltage.
- the light transmitted through the liquid crystal 23 enters the counter substrate 4.
- the light that has entered the counter substrate 4 passes through the alignment film 45, the transparent electrode portion 44, the colored layer 43, and the translucent substrate 41 in this order, and then exits.
- the light transmitted through the liquid crystal 23 as it is is emitted from the counter substrate 4 and then blocked by the polarizing plate 24.
- the light polarized by the liquid crystal 23 is emitted from the counter substrate 4, then sequentially passes through the polarizing plate 24 and the protective glass 25, and is emitted to the outside. As a result, a color image is displayed in the display area of the liquid crystal panel 11.
- FIG. 4 is a front view for explaining a manufacturing method of the liquid crystal display device. Specifically, the manufacturing procedure of the counter substrate 4 is described.
- the exposure mask 5 is schematically shown on the upper side of FIG. 4, and the coloring material layer 40 is schematically shown on the lower side.
- the coloring material layer 40 is a coloring material layer for forming the coloring layers 43, 43,... Of any one of RGB three primary colors.
- the coloring material layer 40 may be configured using a photoresist, or may be configured such that a photoresist film (not shown) is formed on the surface of the coloring material layer 40.
- the exposure mask 5 has a left mask part 51, a center mask part 52, and a right mask part 53.
- the left mask portion 51, the central mask portion 52, and the right mask portion 53 have mask patterns 511, 521, and 531 corresponding to the colored layers 43, 43,.
- the R-color exposure mask 5r, the G-color exposure mask 5g, and the B-color exposure mask 5b have similar configurations.
- the mask patterns 511, 521, and 531 of the exposure mask 5r do not include the opening pattern in which the spacer 46 and the spacer 49 are to be formed.
- the mask patterns 511, 521 and 531 of the exposure mask 5g include an opening pattern in which the spacer 46 is to be formed and an opening pattern in which the spacer 49 located between the two same-color subpixels 14b and 14b is to be formed.
- the mask patterns 511, 521 and 531 of the exposure mask 5b include an opening pattern in which the spacer 46 is to be formed and an opening pattern in which the spacer 49 located between the two same-color subpixels 14g and 14g is to be formed. Yes.
- the R-color exposure mask 5r will be mainly described.
- the mask pattern 511 included in the left mask portion 51 includes opening patterns 512, 512,... Where the colored layers 43, 43,.
- the opening patterns 512, 512,... Are separated from each other by an appropriate length in the vertical and horizontal directions.
- the mask pattern 521 (and mask pattern 531) included in the central mask portion 52 (and the right mask portion 53) includes opening patterns 522, 522,... (And opening patterns 532, 532,).
- the mask patterns 511, 521, and 531 are transferred to the coloring material layer 40 by photolithography using the exposure mask 5, respectively.
- the opening patterns 512, 512,... For forming the colored layers 43, 43,. It is.
- the right end portion of the mask pattern 511 is a coarse / dense portion in which the density of the opening patterns 512, 512,... To be arranged in a matrix is changed, and the opening patterns 512, 512, from the central portion in the left-right direction toward the right end portion.
- the density of ... changes from dense to coarse.
- the arrow of the dashed-two dotted line shown in FIG. 4 has shown the direction from which the density of opening pattern 512,512, ... changes from dense to coarse.
- the mask pattern 511 of the left mask portion 51 is transferred to a predetermined range (a range indicated by rough rising to the right) of the left end portion of the coloring material layer 40.
- the opening patterns 522, 522,... For forming the colored layers 43, 43,.
- the left end portion of the mask pattern 521 is a coarse / dense portion, and the density of the opening patterns 522, 522,... Changes from dense to coarse from the center in the left-right direction toward the left end.
- the density of the opening patterns 522, 522,... At the left end portion of the mask pattern 521 and the density of the opening patterns 512, 512,.
- the right end portion of the mask pattern 521 is a coarse and dense portion, and the density of the opening patterns 522, 522,... The density of the opening patterns 522, 522,... At the right end of the mask pattern 521 and the density of the opening patterns 522, 522,.
- the mask pattern 521 of the central mask portion 52 is transferred to a predetermined range at the central portion in the left-right direction of the coloring material layer 40. More specifically, the mask pattern 521 of the central mask portion 52 is partially overlapped with the area to which the mask pattern 511 of the left mask portion 51 is transferred (the area indicated by the right-up rough hatching, the first area). Transferred to an adjacent range (a range indicated by fine hatching at the lower right, a second range). Further, the mask pattern 521 of the central mask portion 52 is a range adjacent to the right side, partially overlapping with a range (a range indicated by a fine hatching with a lower right angle, the first range) to which the mask pattern 521 of the central mask portion 52 is transferred. It is transferred to (range shown by fine hatching that rises to the right. Second range).
- the opening patterns 532, 532,... For forming the colored layers 43, 43,. It is.
- the left end portion of the mask pattern 531 is a coarse / dense portion, and the density of the opening patterns 532, 532,... Changes from dense to coarse from the center in the left-right direction toward the right end. ..
- the density of the opening patterns 522, 522,... At the right end of the mask pattern 521 of the central mask portion 52 complement each other. .
- the mask pattern 531 of the right mask portion 53 is transferred to a predetermined range at the right end portion of the coloring material layer 40. More specifically, the mask pattern 531 of the right mask portion 53 is partially overlapped with the area to which the mask pattern 521 of the central mask portion 52 is transferred (the area indicated by the fine hatching that rises to the right; the first area). Transferred to an adjacent range (a range indicated by rough hatching at the lower right, a second range).
- FIG. 4 shows a double exposure range D related to the left mask portion 51 and the central mask portion 52, a double exposure range D related to the central mask portions 52, and a double exposure range D related to the central mask portion 52 and the right mask portion 53.
- One exposure range D is illustrated.
- a case where the double exposure range D includes multi-pixels 13, 13,... For two columns is illustrated (see FIG. 3).
- FIG. 5 and 6 are front views schematically showing the configurations of the R-color first exposure mask and the second exposure mask according to Embodiment 1 of the present invention.
- the left and right mask portions 51r (and the central mask portion 52r) shown in FIG. 5 (and FIG. 6) are up and down and left and right directions toward FIG. 5 (and FIG. 6).
- the left mask portion 51r functions as the first exposure mask in the embodiment of the present invention
- the right mask portion 53r functions as the second exposure mask in the embodiment of the present invention.
- the center mask portion 52r functions as a second exposure mask in the relationship with the left mask portion 51r, functions as the first exposure mask in the relationship with the right mask portion 53, and the first exposure mask in the relationship with the center mask portion 52r. And function as one of the second exposure mask.
- FIG. 5 shows a left mask portion 51r as a first exposure mask for R color.
- the opening patterns 512, 512,... Included in the mask pattern 511 included in the left mask portion 51r are indicated by solid lines.
- opening patterns 522, 522,... Included in the mask pattern 521 included in the central mask portion 52r are indicated by two-dot chain lines.
- FIG. 6 shows a central mask portion 52r as a second exposure mask for R color.
- the opening patterns 522, 522,... Included in the mask pattern 521 included in the central mask portion 52r are indicated by solid lines.
- the opening patterns 512, 512,... Included in the mask pattern 511 included in the left mask portion 51r are indicated by two-dot chain lines.
- 5 and 6 corresponds to the arrangement in FIG. 3 and the arrangement of the sub-pixels 14 and the spacers 46 and 49 in FIG.
- the ⁇ N + 1 ⁇ -th column to the ⁇ N + 2 ⁇ -th column in the mask pattern 511 of the left-side mask portion 51r are coarse and dense portions at the right end portion of the left-side mask portion 51r.
- the density of the opening patterns 521, 521,... In the ⁇ N + 1 ⁇ column is equal to or higher than the density of the opening patterns 521, 521,.
- the ⁇ N + 1 ⁇ -th column to the ⁇ N + 2 ⁇ -th column in the mask pattern 521 of the central mask portion 52r are the dense portions at the left end portion of the central mask portion 52r.
- ⁇ N + 2 ⁇ column is equal to or higher than the density of the opening patterns 521, 521,.
- Each opening pattern 512 included in the mask pattern 511 included in the left mask portion 51r shown in FIG. 5 has a size corresponding to four sub-pixels 14r, 14r,.
- the number of subpixels 14r, 14r,... (4) is the same as the total number (4) of subpixels 14r, 14r,.
- each opening pattern 522 included in the mask pattern 521 included in the central mask portion 52r shown in FIG. 6 has a size corresponding to four sub-pixels 14r, 14r,.
- the mask patterns 511 and 521 include the opening patterns 512 and 522 in which one colored layer 43r extending over the two sub-pixels 14r and 14r of the same color adjacent to the spacer 46 is to be formed.
- the mask joint portion is indicated by a white arrow. The mask joint portion is not between the two same color sub-pixels 14r and 14r included in each of the multi-pixels 13 in the odd-numbered rows, but is the two same-color sub-portions included in each of the multi-pixels 13 in the even-numbered rows. It is between the pixels 14r and 14r.
- 14r,... (That is, sub-pixels 14r, 14r,... For two multi-pixels) are set as one unit, an opening pattern is set for each unit, and the set opening pattern is set to either the left mask portion 51r or the central mask portion 52r.
- the designer can use the two adjacent opening patterns 512 and 512 (or the opening patterns 522 and 522). ) May be combined into one opening pattern (opening pattern corresponding to sub-pixels corresponding to four multi-pixels).
- FIGS. 7 and 8 are front views schematically showing configurations of the first exposure mask and the second exposure mask for B color. 7 and 8 correspond to FIGS. 5 and 6.
- FIG. 7 shows a left mask portion 51b as a first exposure mask for B color
- FIG. 8 shows a central mask portion 52b as a second exposure mask for B color.
- the opening patterns 512, 512,... Included in the mask pattern 511 included in the left mask portion 51b are substantially the same as the opening patterns 512, 512,... Included in the mask pattern 511 included in the left mask portion 51r.
- the density distribution is different.
- the opening patterns 522, 522,... Included in the mask pattern 521 included in the central mask portion 52b are substantially the same as the opening patterns 522, 522,... Included in the mask pattern 521 included in the central mask portion 52r.
- the density distribution is different.
- 9 and 10 are front views schematically showing configurations of the first exposure mask and the second exposure mask for G color.
- 9 and 10 correspond to FIGS. 5 and 6.
- 9 shows a left mask portion 51g as a first exposure mask for G color
- FIG. 10 shows a central mask portion 52g as a second exposure mask for G color.
- an opening pattern 512 in which one colored layer 43g extending over the two subpixels 14g and 14g of the same color adjacent to the spacer 49 is to be formed. , 522 are included.
- Figure 2 also shows the mask joints with white arrows.
- the mask joint portion is located in the light shielding portion between the two sub-pixels 14 and 14 of the same color in the BM 42 and is not located in the boundary portion between the two multi-pixels 13 and 13 adjacent in the vertical direction.
- FIG. 11 to 16 are cross-sectional views for explaining a method for manufacturing a liquid crystal display device.
- 11 shows a light shielding layer forming step
- FIG. 12 shows an R color material layer forming step
- upper and lower sides of FIG. 13 show an R color first transfer step and a second transfer step
- FIG. FIG. 15 and FIG. 16 show the removal process for R color, G color, and B color.
- the mask joint portion is indicated by a white arrow.
- the opening 47 at the center in the left-right direction shown in FIGS. 11 to 16 constitutes the lower sub-pixel 14r in the multi-pixel 13 whose upper half is an even-numbered row (for example, M-row ⁇ N + 1 ⁇ -th column), and the lower half is The upper sub-pixel 14r in the multi-pixel 13 in the odd-numbered row (for example, ⁇ M + 1 ⁇ row ⁇ N + 1 ⁇ -th column) is configured.
- the boundary portion between the two sub-pixels 14r and 14r is indicated by a one-dot chain line.
- it may be the same as the conventional one except the colored layer forming step.
- the manufacturer manufactures the counter substrate 4 by performing the light shielding layer forming step and the colored layer forming step in this order.
- the colored layer forming step includes an R color material layer forming step, a first transfer step, a second transfer step, and a removing step, a G color material layer forming step, a first transfer step, a second transfer step, and A removing step, a B color material layer forming step, a first transferring step, a second transferring step, and a removing step.
- the manufacturer performs the material layer forming process for each color, the first transfer process, the second transfer process, and the removal process in this order.
- the manufacturer forms the BM 42 having a plurality of openings 47, 47,.
- the procedure for forming the BM 42 is the same as the procedure for forming the BM included in the conventional counter substrate.
- the BM mask joint portion related to the BM 42 is arranged between the two same-color subpixels 14 and 14, the two other than between the two same-color subpixels 14 and 14 adjacent to the spacers 46, 49 and 49 are used. It is desirable to arrange a BM mask joint between the same color sub-pixels 14 and 14. This is because the BM mask joint portion in the coloring material layer to be the BM 42 is exposed twice, so that the film thickness of the BM mask joint portion of the BM 42 is thicker than the film thickness other than the BM mask joint portion. If the spacer 46 located in the thick part of the BM 42 and the spacer 46 located in the thin part of the BM 42 are mixed, the lengths of the spacers 46, 46,. . Therefore, the cell gap becomes non-uniform.
- the manufacturer forms the colored material layer 40r inside the unoccluded openings 47, 47,... And on the rear surface side of the BM.
- the manufacturer exposes the coloring material layer 40r using the left mask portion 51r. At this time, the mask pattern 511 of the left mask portion 51r is transferred to a predetermined range at the left end portion of the coloring material layer 40r.
- the manufacturer exposes the coloring material layer 40r using the central mask portion 52r. At this time, the mask pattern 521 of the central mask portion 52r is transferred to a range adjacent to the right side, partially overlapping the range where the mask pattern 511 of the left side mask portion 51r in the coloring material layer 40r is transferred.
- the manufacturer further exposes the coloring material layer 40r using the central mask portion 52r.
- the mask pattern 521 of the central mask portion 52r is transferred to a range adjacent to the right side, partially overlapping the range where the mask pattern 521 of the central mask portion 52r in the coloring material layer 40r is transferred.
- the manufacturer exposes the coloring material layer 40r using the right mask portion 53r.
- the mask pattern 531 of the right mask portion 53r is transferred to a range adjacent to the right side, partially overlapping the range where the mask pattern 521 of the central mask portion 52r in the coloring material layer 40r is transferred.
- each colored layer 43r is disposed between the two same-color sub-pixels 14r and 14r included in the multi-pixel 13 in the even-numbered row.
- both ends in the vertical direction of the colored layer 43r are shielded from light.
- the difference in film thickness between the two same color sub-pixels 14r, 14r included in each multi-pixel 13 in the odd-numbered row is small (see FIG. 14). This is because, between the two same-color sub-pixels 14r and 14r included in the multi-pixel 13 in the odd-numbered row, the central portion in the vertical direction of one colored layer 43r is BM42 by one opening pattern 512. This is because it is formed on the light shielding portion (see FIG. 13). The difference in film thickness is small between the central portions in the vertical direction of each of the colored layers 43r, 43r,.
- the manufacturer performs the G color material layer forming process, the first transfer process, the second transfer process, in the same manner as the R color material layer forming process, the first transfer process, the second transfer process, and the removal process. And a removal step.
- the colored layer 43g, 43g,... The front half of the spacer 46 to be provided between the two same color sub-pixels 14r, 14r included in the odd-numbered multi-pixels 13, and the odd-numbered multi-pixels.
- a spacer 49 to be provided between the two same-color sub-pixels 14b and 14b included in the pixel 13 is formed (see FIG. 15).
- the manufacturer performs the B color material layer forming step, the first transfer step, and the second transfer step in the same manner as the R color material layer forming step, the first transfer step, the second transfer step, and the removal step. And a removing step.
- the coloring layer 43b, 43b,... The rear half of the spacer 46 to be provided between the two same color sub-pixels 14r, 14r included in the odd-numbered multi-pixels 13, and the odd-numbered multi-pixels.
- a spacer 49 to be provided between the two same-color sub-pixels 14g and 14g included in the pixel 13 is formed (see FIG. 16).
- the spacers 46 and 49 are arranged at positions where the difference in film thickness is small, and are not arranged at positions where the difference in film thickness is large. Since the spacers 46, 46,... Are interposed between the TFT substrate 3 and the counter substrate 4, the cell gap between the TFT substrate 3 and the counter substrate 4 can be made uniform. As a result, the display quality of the liquid crystal display device 1 can be improved. If the spacers 46 and 49 are arranged at positions where the difference in film thickness is large, the adverse effect of the difference in film thickness on the cell gap between the TFT substrate 3 and the counter substrate 4 via the spacers 46, 46,. Reach. That is, the cell gap cannot be made uniform.
- the configuration in which the spacer 46 or the mask joint is disposed between the two multi-pixels 13 and 13 adjacent in the vertical direction is the configuration in which the spacer 46 or the mask joint is disposed between the two same-color subpixels 14 and 14. More disadvantageous. This is because the light shielding portion of the BM 42 is not arranged between the two multi-pixels 13 adjacent to each other in the vertical direction, so that the spacer 46 or the mask joint portion is arranged at a position facing the inside of the opening 47. This is because the display quality of the liquid crystal display device 1 is adversely affected.
- the aperture ratio of the BM 42 is lowered. Further, when the liquid crystal 23 is sealed between the TFT substrate 3 and the counter substrate 4, the flow of the liquid crystal 23 is easily inhibited by the amount of the light shielding portion of the newly provided BM 42. Since the liquid crystal 23 whose flow is inhibited cannot sufficiently diffuse between the TFT substrate 3 and the counter substrate 4, the display quality of the liquid crystal display device 1 is adversely affected.
- the mask joint portion is arranged with four sub-pixels 14, 14,... Corresponding to two multi-pixels as one unit, so that two sub-pixels 14, Compared with the case where the mask joint portion is arranged with 14 as one unit, so-called mosaic unevenness becomes conspicuous.
- the liquid crystal display device 1 has, for example, 4k resolution, the degree of mosaic unevenness in the liquid crystal display device 1 is not much different from the degree of mosaic unevenness in the conventional full HD resolution liquid crystal display device. That is, there is no possibility that the mosaic unevenness of the liquid crystal display device 1 adversely affects the display quality. From the above, the liquid crystal display device 1 is more advantageous than the conventional liquid crystal display device.
- the spacers 46 and 49 are disposed on the single colored layer 43, but the present invention is not limited to this, and the spacers 46 and 49 may be disposed between the two colored layers 43 and 43.
- the non-mask joint for example, two identical colors included in the multi-pixel 13 in ⁇ M + 2 ⁇ rows and ⁇ N + 1 ⁇ columns.
- Sub-pixels 14 and 14 are disposed on the single colored layer 43, but the present invention is not limited to this, and the spacers 46 and 49 may be disposed between the two colored layers 43 and 43.
- the non-mask joint for example, two identical colors included in the multi-pixel 13 in ⁇ M + 2 ⁇ rows and ⁇ N + 1 ⁇ columns.
- the liquid crystal display devices 1 of the second to fifth embodiments described below have substantially the same configuration as the liquid crystal display device 1 of the first embodiment.
- differences from the first embodiment will be described, and other parts corresponding to those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals and description thereof will be omitted.
- FIG. FIG. 17 is a front view schematically showing the configuration of the counter substrate 4 included in the liquid crystal display device 1 manufactured according to the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the second embodiment of the present invention.
- FIG. 18 is a front view schematically showing a colored layer and spacers formed by the first exposure masks for three colors of RGB according to Embodiment 2 of the present invention.
- FIG. 19 is a front view schematically showing colored layers and spacers formed by the second exposure masks for RGB three colors.
- left mask portions 51r, 51g, and 51b and center mask portions 52r, 52g, and 52b are illustrated as first exposure masks and second exposure masks for three colors of RGB.
- the opening patterns 512, 512,... Included in the mask pattern 511 included in the left mask portion 51r are indicated by thick solid lines. Further, opening patterns 522, 522,... Included in the mask pattern 521 included in the central mask portion 52r are indicated by two-dot chain lines. 18 includes sub-pixels 14, 14,... Having colored layers 43, 43,... And spacers 46, 46,... Formed by the opening patterns 512, 512,. , And spacers 49, 49,... Are shown by thin solid lines, and the other subpixels 14, 14,..., Spacers 46, 46,.
- the opening patterns 522, 522,... Included in the mask pattern 521 included in the left mask portion 52r are indicated by thick solid lines. Further, opening patterns 522, 522,... Included in the mask pattern 521 included in the central mask portion 52r are indicated by two-dot chain lines. 19 includes subpixels 14, 14,... Having colored layers 43, 43,... Formed by the opening patterns 522, 522,... Of the left mask portions 52r, 52g, 52b, and spacers 46, 46,. , And spacers 49, 49,... Are shown by thin solid lines, and the other subpixels 14, 14,..., Spacers 46, 46,.
- FIGS. 18 and 19 corresponds to the arrangement in FIG. In FIG. 18 and FIG. 19, the mask joint portion is indicated by a white arrow.
- the liquid crystal display device 1 of the present embodiment every three rows, the rows at both ends in the vertical direction (that is, ⁇ M + (3 ⁇ k) ⁇ rows and ⁇ M + (3 ⁇ k + 2) ⁇
- the three pixels 46, 46,... are arranged for the multi-pixels 13, 13,... In the (row)), but the middle row in the vertical direction (ie, ⁇ M + (3 ⁇ k + 1) ⁇ row).
- the multi-pixels 13, 13,...) are not provided with spacers 46.
- k 0, 1, 2,.
- the mask patterns 511 and 521 have an opening pattern 512, in which one colored layer 43 r extending over the two sub-pixels 14 r and 14 r of the same color adjacent to the spacer 46 is to be formed.
- 522 is included.
- the opening patterns 512 and 522 have a size corresponding to six R-color sub-pixels 14r, 14r,. This number is the same as the total number of R subpixels 14r, 14r,... Included in the three multi-pixels 13, 13,. Further, this number is the total number of each of the two subpixels 14r and 14r included in each of the two multipixels 13 and each of the one subpixel 14r included in each of the two multipixels 13. Is the same.
- the space between the two R-color subpixels 14r, 14r adjacent to the spacer 46 is a non-mask joint.
- the G-color subpixels 14g and 14g adjacent to the spacer 49 and the B-color subpixels 14b and 14b adjacent to the spacer 49 are also non-mask joint portions.
- the sub-pixels 14, 14,... For three multi-pixels are set as one unit, and an opening pattern is set for each unit. It is determined in which of the left mask part 51 and the central mask part 52 the set opening pattern is arranged.
- the liquid crystal display device 1 as described above is manufactured in the same procedure as the liquid crystal display device 1 of the first embodiment. Further, since the number of spacers 46, 46,... Provided in the liquid crystal display device 1 of the present embodiment is larger than that of the liquid crystal display device 1 of the first embodiment, the cell gap can be surely made uniform.
- the mask joint (or non-mask joint) is arranged in a line in the left-right direction, so that the design of the exposure mask 5 is easy.
- the multi-pixels 13, 13,... Each provided with the spacers 46, 49, 49 and the multi-pixels 13, 13,. are arranged in parallel in the left-right direction, but these may be arranged in parallel in the up-down direction.
- FIG. FIG. 20 is a front view schematically showing the configuration of the counter substrate 4 included in the liquid crystal display device 1 manufactured according to the method of manufacturing a liquid crystal display device according to Embodiment 3 of the present invention.
- FIG. 21 is a front view schematically showing colored layers and spacers formed by the first exposure masks for three RGB colors according to Embodiment 3 of the present invention.
- FIG. 22 is a front view schematically showing colored layers and spacers formed by the second exposure masks for RGB three colors. 20 to 22 correspond to FIGS. 17 to 19 of the second embodiment.
- the spacers 46, 49, 49 are arranged, and the spacers 46, 49, 49 are arranged respectively. .. Are not arranged in a staggered arrangement.
- the mask patterns 511 and 521 include an opening pattern 512 and a single colored layer 43 r that are formed over two sub-pixels 14 r and 14 r of the same color adjacent to the spacer 46. 522 is included.
- the opening patterns 512 and 522 have sizes corresponding to the four R-color sub-pixels 14r, 14r,. This number is the same as the total number of R-color sub-pixels 14r, 14r,... Included in the two multi-pixels 13, 13. Further, this number is the same as the total number of the two sub-pixels 14r and 14r included in one multi-pixel 13 and one sub-pixel 14r included in each of the two multi-pixels 13. It is.
- the space between the two R-color subpixels 14r, 14r adjacent to the spacer 46 is a non-mask joint.
- the G-color subpixels 14g and 14g adjacent to the spacer 49 and the B-color subpixels 14b and 14b adjacent to the spacer 49 are also non-mask joint portions.
- the opening pattern is set for each unit with the sub-pixels 14, 14,. Then, it is determined which of the left mask part 51 and the center mask part 52 the set opening pattern is arranged.
- the liquid crystal display device 1 as described above is manufactured in the same procedure as the liquid crystal display device 1 of the first embodiment.
- the liquid crystal display device 1 of the present embodiment can improve the display quality of the liquid crystal display device 1 compared to the liquid crystal display device 1 of the first embodiment. This is because in the liquid crystal display device 1 of the first embodiment, the mask joint portions are arranged in a line (that is, the arrangement positions of the portions that may adversely affect the display quality are concentrated). This is because, in the liquid crystal display device 1 according to the embodiment, the mask joint portions are staggered (that is, the arrangement positions of the portions that may adversely affect the display quality are dispersed).
- FIG. 23 is a front view schematically showing the configuration of the counter substrate 4 included in the liquid crystal display device 1 manufactured according to the method of manufacturing a liquid crystal display device according to the fourth embodiment of the present invention.
- Corresponds to 3. 24 is a front view schematically showing colored layers and spacers formed by the first exposure masks for three colors of RGB according to Embodiment 4 of the present invention, and corresponds to FIG. 9 of Embodiment 1.
- FIG. FIG. 25 is a front view schematically showing a colored layer and spacers formed by the second exposure masks for three colors of RGB, and corresponds to FIG. 10 of the first embodiment.
- every third column two columns from the left side (that is, ⁇ N + (3 ⁇ k) ⁇ and ⁇ N + (3 ⁇ k) +1 ⁇
- spacers 46, 49, 49 are arranged on the odd-numbered rows ( ⁇ M + 1 ⁇ row, ⁇ M + 3 ⁇ row,...) Multi-pixels 13, 13,.
- the multi-pixels 13, 13,... Of the Mth line, ⁇ M + 2 ⁇ line, ⁇ M + 4 ⁇ line,...) are not provided with spacers 46, 49, 49.
- every third column has the same configuration as the liquid crystal display device 1 of the first embodiment for the two columns from the left.
- the spacers 46, 49, 49 are not arranged in the multi-pixels 13, 13,... On the right side (that is, ⁇ N + (3 ⁇ k) +2 ⁇ ) in every three columns.
- the mask patterns 511 and 521 include opening patterns 512 and 522 and opening patterns 513 and 523.
- the opening patterns 512 and 522 include ⁇ N + (3 ⁇ k) ⁇ rows and ⁇ N + (3 ⁇ k) +1 ⁇ rows including multi-pixels 13, 13,... Each provided with spacers 46, 49 and 49. Provided for the eyes.
- the opening patterns 513 and 523 are provided for the ⁇ N + (3 ⁇ k) +2 ⁇ -th column including only the multi-pixels 13, 13,... That are not provided with the spacers 46, 49, and 49, respectively. .
- the opening patterns 512 and 522 have sizes corresponding to the four R-color sub-pixels 14r, 14r,. This number is the same as the total number of R-color sub-pixels 14r, 14r,... Included in the two multi-pixels 13, 13. Further, this number is the same as the total number of the two sub-pixels 14r and 14r included in one multi-pixel 13 and one sub-pixel 14r included in each of the two multi-pixels 13. It is. Therefore, also in the present embodiment, the space between the two R-color subpixels 14r, 14r adjacent to the spacer 46 is a non-mask joint. Further, the G-color subpixels 14g and 14g adjacent to the spacer 49 and the B-color subpixels 14b and 14b adjacent to the spacer 49 are also non-mask joint portions.
- the opening patterns 513 and 523 have the same size as the opening pattern included in the conventional exposure mask. That is, the opening patterns 513 and 523 have a size corresponding to two R-color sub-pixels 14r and 14r adjacent in the vertical direction. This number is the same as the total number of R-color sub-pixels 14r and 14r included in one multi-pixel 13 and 13.
- the ⁇ N + (3 ⁇ k) ⁇ and ⁇ N + (3 ⁇ k) +1 ⁇ columns are used in the embodiment.
- the sub-pixels 14, 14,... For two multi-pixels are set as one unit, an opening pattern is set for each unit, and the set opening pattern is set in the left mask portion 51 and the central mask portion 52. Decide where to place it.
- the sub-pixels 14, 14,... It is determined in which of the left mask part 51 and the central mask part 52 the opened pattern is arranged.
- the shape and size of the opening patterns may be different from each other as long as the arrangement positions of the spacers 46, 49, and 49 are non-mask joint portions. Since the smaller the size of the opening pattern, the higher the display quality, the higher the display quality of the liquid crystal display device 1 of the present embodiment than the liquid crystal display device of the first embodiment.
- FIG. 26 is a front view schematically showing a configuration of counter substrate 4 included in liquid crystal display device 1 manufactured according to the method for manufacturing a liquid crystal display device according to Embodiment 5 of the present invention.
- FIG. 27 is a front view schematically showing colored layers and spacers formed by the first exposure masks for three RGB colors according to Embodiment 5 of the present invention.
- FIG. 28 is a front view schematically showing colored layers and spacers formed by the second exposure masks for RGB three colors. 26 to 28 correspond to FIGS. 17 to 19 of the second embodiment.
- the liquid crystal display device 1 of the present embodiment includes spacers 48, 48, 48 instead of the spacers 46, 49, 49 of the first embodiment.
- the spacers 46, 49, 49 are formed simultaneously with the colored layers 43, 43,...
- the same material as that constituting the colored layers 43, 43,. Is included.
- each spacer 48 is formed in the spacer forming step after the colored layers 43, 43,... Are formed in the colored layer forming step. Therefore, each spacer 48 may contain the same material as the material which comprises the colored layers 43, 43, ..., and the structure which consists of a completely different material from the material which comprises the colored layers 43, 43, ... may be sufficient as it.
- Each spacer 48 has the same shape and size as the spacer 46 of the first embodiment.
- the spacer 48 is located between the two same-color subpixels 14r and 14r, between the two same-color subpixels 14g and 14g, and between the two same-color subpixels 14b and 14b.
- three spacers 48, 48,... are arranged for each of the multi-pixels 13, 13,... In the odd-numbered rows ( ⁇ M + 1 ⁇ rows, ⁇ M + 3 ⁇ rows,). However, no single spacer 48 is arranged in each of the multi-pixels 13, 13,... In the even-numbered rows (M rows, ⁇ M + 2 ⁇ rows, ⁇ M + 4 ⁇ rows,).
- the exposure mask 5 has a mask pattern corresponding to the colored layers 43, 43,..., But does not have a mask pattern corresponding to the spacers 48, 48,.
- 29 to 31 are cross-sectional views for explaining a method of manufacturing a liquid crystal display device.
- 29 shows the first transfer process and the second transfer process for R color
- FIG. 30 shows the removal process for R color
- FIG. 31 shows the spacer formation process.
- 29, 30, and 31 correspond to FIGS. 13, 14, and 16 of the first embodiment.
- the manufacturer manufactures the counter substrate 4 by performing the light shielding layer forming step, the colored layer forming step, and the spacer forming step in this order.
- the light shielding layer forming step and the colored layer forming step of the present embodiment are the same as the light shielding layer forming step and the colored layer forming step of the first embodiment.
- the left mask part 51 and the central mask part 52 which do not have a mask pattern corresponding to the spacers 48, 48,... Are used in the colored layer forming process, the spacers 48, 48,. 48,... Are not formed.
- spacers 48,... are formed by photolithography.
- the spacers 48, 48,... May be formed by a technique other than photolithography. ..
- the counter substrate 4 in which the RGB three primary colors are arranged in a stripe shape is illustrated, but the present invention is not limited to this, and the counter substrate 4 in which the RGB three primary colors are arranged in a mosaic shape or a delta shape is also exemplified. Good.
- the case where the liquid crystal panel 11 includes multi-pixels is illustrated.
- the present invention is not limited to this, and the liquid crystal panel 11 may include normal pixels that are not multi-pixels. Good.
- the light shielding portion of the BM 42 is disposed between two normal pixels adjacent in the vertical direction, and the spacer is disposed between two normal pixels adjacent in the vertical direction.
- the spacer When each normal pixel is composed of three sub-pixels for three RGB colors, the spacer has an upper R-color (or G-color or B-color) sub-pixel and a lower R-color (or G-color or B-color). Between the sub-pixels.
- the counter substrate 4 includes the BM 42, the colored layers 43, 43,..., And the spacers 46, 46,.
- the TFT substrate 3 may include a BM corresponding to the coloring layers 43, 43,... And the spacers 46, 46,.
- three spacers 46, 46,... are arranged for one multi-pixel 13.
- the present invention is not limited to this. A configuration in which not more than four or not more than four spacers 46, 46,...
- the BM, the coloring layer, and the spacer are not limited to the configuration in which all are provided on either the TFT substrate 3 or the counter substrate 4.
- a BM may be provided on the TFT substrate 3 (or the counter substrate 4), and a spacer and a colored layer may be provided on the counter substrate 4 (or the TFT substrate 3).
- the colored layer cannot close the opening provided in the BM, the colored layer is arranged facing the opening.
- the TFT substrate 3 (or the counter substrate 4) may be provided with a BM and a colored layer, and the counter substrate 4 (or the TFT substrate 3) may be provided with a spacer.
- the BM and the spacer may be provided on the TFT substrate 3 (or the counter substrate 4), and the coloring layer may be provided on the counter substrate 4 (or the TFT substrate 3). Also in this case, since the colored layer cannot block the opening provided in the BM, the colored layer is arranged facing the opening.
- the liquid crystal display device may have a configuration in which one subpixel corresponds to the opening of the BM, or may have a configuration in which J (J is a plurality) subpixels correspond to the opening of the BM.
- the opening of the BM may be divided by a light shielding member (for example, a wiring portion having a light shielding property) other than the light shielding portion of the BM.
- This light-shielding member may be arranged on a plate-like member containing BM, or may be arranged on a plate-like member not containing BM.
- L L is a natural number of L ⁇ J
- the spacer may be disposed at a position where light is shielded by the light shielding portion of the BM, may be disposed at a position where light is shielded by the light shielding member, or may be disposed at a position where light is not shielded.
- the colored layer of a different color may respond
- the liquid crystal display device or the counter substrate may include components that are not disclosed in the first to fifth embodiments.
- the constituent elements (technical features) disclosed in each embodiment can be combined with each other, and a new technical feature can be formed by the combination.
- Liquid crystal display device Multi-pixel (pixel) 14 Sub-pixel 23 Liquid crystal 3 TFT substrate (plate-like member) 4 Counter substrate (plate-like member) 40 coloring material layer 41 translucent substrate 42 BM (light shielding layer) 43 Colored layer 46, 48 Spacer 47 Opening 51 Left mask part (first exposure mask) 52 Central mask (second exposure mask, first exposure mask) 53 Right mask part (second exposure mask)
Landscapes
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Abstract
セルギャップを均一にすることができる液晶表示装置の製造方法及び露光マスクを提供する。 スペーサ46は、上下方向に隣り合う2個の同色副画素14,14間に配される。着色層43,43,…の形成時にはいわゆるマスク継ぎが行なわれるが、スペーサ46に隣り合う2個の同色副画素14,14間は非マスク継ぎ部である。何故ならば、例えば左側マスク部51が有するマスクパターン511に、スペーサ46に隣り合う2個の同色副画素14,14が有する着色層43を形成すべき開口パターン512が含まれているからである。つまり、膜厚の差異が小さい位置にスペーサ46を配することができるので、液晶表示装置のセルギャップが、膜厚の大きな差異の影響を受けることがない。故に、液晶表示装置のセルギャップを均一にすることができる。
Description
本発明は、2枚の板状部材間のスペーサを備える液晶表示装置の製造方法及び露光マスクに関する。
液晶表示装置は、液晶駆動用のTFT基板と、TFT基板に対面する対向基板とを備えている。液晶は、対向基板とTFT基板との間に封入されている。
対向基板は、透光基板と、透光基板の一面に形成してある遮光層と、RGB3原色、RGBY4原色、又はRGBW4原色等を有する着色層とを備えている。以下では、RGB3原色を例示する。
遮光層には複数個の開口が並設されている。開口は非遮光部であり、隣り合う開口の間は遮光部である。
対向基板は、透光基板と、透光基板の一面に形成してある遮光層と、RGB3原色、RGBY4原色、又はRGBW4原色等を有する着色層とを備えている。以下では、RGB3原色を例示する。
遮光層には複数個の開口が並設されている。開口は非遮光部であり、隣り合う開口の間は遮光部である。
遮光層に設けられている各開口は、RGB3原色の何れか1色の着色層によって閉塞されている。着色層は、開口を確実に閉塞するために、開口の周縁部から内部に亘って形成される。
対向基板とTFT基板との間には、対向基板とTFT基板との間の離隔距離(セルギャップ)を均一にするためのスペーサが設けられている。
対向基板とTFT基板との間には、対向基板とTFT基板との間の離隔距離(セルギャップ)を均一にするためのスペーサが設けられている。
対向基板に設けられている各画素は、RGB3色分の副画素を含んでいる。1個の副画素は、遮光層の開口及び開口を閉塞する着色層を有する。
各画素が、1色につき2個ずつ(即ち計6個の)副画素を含んでいるマルチ画素である場合、各マルチ画素にはスペーサが配されている。以下では、各マルチ画素に含まれている同一色の2個の副画素を、2個の同色副画素という。
各スペーサは、例えば2個の同色副画素間の遮光部に突設される。
各画素が、1色につき2個ずつ(即ち計6個の)副画素を含んでいるマルチ画素である場合、各マルチ画素にはスペーサが配されている。以下では、各マルチ画素に含まれている同一色の2個の副画素を、2個の同色副画素という。
各スペーサは、例えば2個の同色副画素間の遮光部に突設される。
各色の着色層をフォトリソグラフィによって形成するためには、一の色の着色層に対応するマスクパターンを夫々が有する複数の露光マスクが用いられる。マスクパターンには、複数個の開口パターンが含まれている。
各露光マスクの中央部においては、マスクパターンは開口パターンの密度が一定である。一の露光マスクの一端部においては、マスクパターンは中央寄りから周縁寄りに向けて開口パターンの密度が密から粗に変化し、他の露光マスクの他端部においては、マスクパターンは周縁寄りから中央寄りに向けて開口パターンの密度が粗から密に変化する。一の露光マスクの一端部における粗密と他の露光マスクの他端部における粗密とは互いに補完し合う(特許文献1参照)。
各露光マスクの中央部においては、マスクパターンは開口パターンの密度が一定である。一の露光マスクの一端部においては、マスクパターンは中央寄りから周縁寄りに向けて開口パターンの密度が密から粗に変化し、他の露光マスクの他端部においては、マスクパターンは周縁寄りから中央寄りに向けて開口パターンの密度が粗から密に変化する。一の露光マスクの一端部における粗密と他の露光マスクの他端部における粗密とは互いに補完し合う(特許文献1参照)。
透光基板の一面は、遮光層が形成された後で、着色材料層で覆われる。
次に、この着色材料層に対して一の露光マスク及び他の露光マスクを用いたフォトリソグラフィが順に為される。この結果、着色材料層に、各露光マスクが有するマスクパターンが転写される。着色材料層において、一の露光マスクが有するマスクパターンが転写される範囲と、他の露光マスクが有するマスクパターンが転写される範囲とは部分的に重なる。
その後、着色材料層の非露光領域が除去される。
次に、この着色材料層に対して一の露光マスク及び他の露光マスクを用いたフォトリソグラフィが順に為される。この結果、着色材料層に、各露光マスクが有するマスクパターンが転写される。着色材料層において、一の露光マスクが有するマスクパターンが転写される範囲と、他の露光マスクが有するマスクパターンが転写される範囲とは部分的に重なる。
その後、着色材料層の非露光領域が除去される。
2個の同色副画素夫々に係る着色層が両方とも一の露光マスク及び他の露光マスクの何れか一方を用いてパターン形成された場合に比べると、2個の同色副画素夫々に係る着色層の一方が一の露光マスクを用いてパターン形成され、他方が他の露光マスクを用いてパターン形成された場合には、2個の同色副画素間同士の膜厚の差異が大きい。
2個の同色副画素間同士の膜厚の差異が大きい場合、2個の同色副画素間にスペーサを配置すると、セルギャップを均一にすることができない。
2個の同色副画素間同士の膜厚の差異が大きい場合、2個の同色副画素間にスペーサを配置すると、セルギャップを均一にすることができない。
つまり、一の露光マスクを用いてパターン形成された着色層と他の露光マスクを用いてパターン形成された着色層とが隣り合う部分(いわゆるマスク継ぎ部)にスペーサを配置することは、液晶表示装置の表示品位を低下させることにつながる。
かといって、膜厚の差異に応じてスペーサの長さを調整することは現実的ではない。
かといって、膜厚の差異に応じてスペーサの長さを調整することは現実的ではない。
本発明は斯かる事情に鑑みてなされたものであり、その主たる目的は、セルギャップを均一にすることができる液晶表示装置の製造方法及び露光マスクを提供することにある。
本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、液晶を介在して対面する2枚の板状部材と、該2枚の板状部材間のスペーサと、前記2枚の板状部材の一方又は他方に含まれ、複数個の開口が並設されている遮光層と、前記2枚の板状部材の一方又は他方に含まれ、前記開口を閉塞するか、又は前記開口に臨んで配置される着色層とを備え、前記開口及び着色層を有する副画素を複数個含む画素が複数個設けられており、複数個の副画素は、一方向に隣り合う副画素と同一色を有し、前記スペーサは、前記一方向に隣り合う同一色の2個の副画素の間に配置してある液晶表示装置を製造する方法において、前記着色層を形成する着色層形成工程では、一の色の着色材料層を形成する材料層形成工程と、複数個の一部の開口を閉塞するか、又は該開口に臨むべき一の色の着色層に対応するマスクパターンを有する第1露光マスクを用いたフォトリソグラフィにより、前記着色材料層の第1範囲に前記マスクパターンを転写する第1転写工程と、複数個の他部の開口を閉塞するか、又は該開口に臨むべき一の色の着色層に対応するマスクパターンを有する第2露光マスクを用いたフォトリソグラフィにより、前記着色材料層の前記第1範囲に部分的に重なって隣接する第2範囲に前記マスクパターンを転写する第2転写工程と、前記第1転写工程及び第2転写工程の終了後、前記着色材料層の非露光領域を除去する除去工程とを、複数色分繰り返し、前記第1露光マスク及び第2露光マスクの少なくとも一方が有するマスクパターンには、前記スペーサに隣り合う前記同一色の2個の副画素が有する着色層を形成すべき開口パターンが含まれており、該開口パターンは、前記一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素に対応する大きさを有し、前記一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素の個数は、複数個の前記画素に含まれている同一色の副画素の総数と同じであることを特徴とする。
本発明に係る液晶表示装置の製造方法は、前記画素は、同一色の副画素が2個ずつ含まれているマルチ画素であり、前記一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素は、少なくとも1個のマルチ画素に含まれている2個の副画素、及び2個のマルチ画素夫々に含まれている各1個の副画素であることを特徴とする。
本発明に係る露光マスクは、液晶を介在して対面する2枚の板状部材と、該2枚の板状部材の一方又は他方に含まれ、複数個の開口が並設されている遮光層と、前記2枚の板状部材の一方又は他方に含まれ、前記開口を閉塞するか、又は前記開口に臨んで配置される着色層とを備え、前記開口及び着色層を有する副画素を複数個含む画素が複数個設けられており、複数個の副画素は、一方向に隣り合う副画素と同一色を有する液晶表示装置を製造する場合に用いられ、一の色の前記着色層をフォトリソグラフィによって形成するためのマスクパターンを有する露光マスクにおいて、前記マスクパターンには、前記一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素に対応する大きさを有する開口パターンが含まれており、前記一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素の個数は、複数個の前記画素に含まれている同一色の副画素の総数と同じであることを特徴とする。
本発明にあっては、第1露光マスクを用いたフォトリソグラフィにより、着色材料層の第1範囲に、第1露光マスクのマスクパターンが転写され、第2露光マスクを用いたフォトリソグラフィにより、着色材料層の第1範囲に部分的に重なって隣接する第2範囲に、第2露光マスクのマスクパターンが転写される。つまり、本発明に係る液晶表示装置の製造方法においては、着色層の形成時に、いわゆるマスク継ぎが行なわれる。
スペーサは、一方向に隣り合う同一色の2個の副画素間に配される。第1露光マスク及び第2露光マスクの少なくとも一方が有するマスクパターンには、スペーサに隣り合う同一色の2個の副画素が有する着色層を形成すべき開口パターンが含まれている。つまり、スペーサに隣り合う同一色の2個の副画素間はマスク継ぎ部ではない(非マスク継ぎ部である)。従って、スペーサの配置位置は、膜厚の差異が小さい。
換言すれば、スペーサは、膜厚の差異が大きい位置には配されない。従って、膜厚の差異がスペーサを介してセルギャップに悪影響を与える虞はない。
換言すれば、スペーサは、膜厚の差異が大きい位置には配されない。従って、膜厚の差異がスペーサを介してセルギャップに悪影響を与える虞はない。
しかも、スペーサに隣り合う同一色の2個の副画素が有する着色層を形成すべき開口パターンは、一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素に対応する大きさを有する。一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素の個数は、複数個の画素に含まれている同一色の副画素の総数と同じである。つまり、第1露光マスク及び第2露光マスクの少なくとも一方が有するマスクパターンは、従来の露光マスクが有するマスクパターンとは異なる。何故ならば、本発明に係る露光マスクの開口パターンのサイズ(いわゆるドットサイズ)は複数画素分であるが、従来の露光マスクの開口パターンのサイズは1画素分だからである。
このような開口パターンを用いれば、スペーサに隣り合う同一色の2個の副画素に亘る着色層が形成される。つまり、スペーサの配置位置は着色層の一方向中央部である。そして、着色層の一方向中央部同士に係る膜厚の差異は非常に小さい。
一方、マスク継ぎ部においては、第1露光マスク又は第2露光マスクの位置ずれによって、隣り合う2個の着色層が重なり合っているところと無用に離隔しているところとがあったり、着色層における二重露光された部分と1回しか露光されなかった部分とで膜厚が異なったりすることがあるので、2個の副画素間同士に係る膜厚の差異が大きい。
一方、マスク継ぎ部においては、第1露光マスク又は第2露光マスクの位置ずれによって、隣り合う2個の着色層が重なり合っているところと無用に離隔しているところとがあったり、着色層における二重露光された部分と1回しか露光されなかった部分とで膜厚が異なったりすることがあるので、2個の副画素間同士に係る膜厚の差異が大きい。
マルチ画素以外の通常の画素の場合、スペーサが配される位置の着色層の一方向両端部は、隣り合う2個の通常の画素夫々の同一色の副画素間に配される。隣り合う2個の通常の画素夫々の同一色の副画素間には、一般に遮光層の遮光部又は遮光性部材(例えば遮光性を有する配線部)が配されているので、着色層の一方向両端部を遮光することができる。従って、スペーサが配される位置の着色層が、液晶表示装置の表示品位に悪影響を及ぼす虞はない。
ここで、遮光層と着色層とは、同一の板状部材に含まれていてもよい。この場合、着色層は、遮光層に設けられている開口を閉塞する。このとき、スペーサは、遮光層と着色層とを含む板状部材に設けられていてもよく、遮光層と着色層とを含まない板状部材に設けられていてもよい。遮光層と着色層とを含む板状部材に設けられている場合、スペーサは、遮光層の遮光部上に設けられていてもよく、遮光層の遮光部上以外(例えば着色層上)に設けられていてもよい。
また、遮光層と着色層とは、異なる板状部材に含まれていてもよい。この場合、着色層は、遮光層に臨んで配置される。このとき、スペーサは、遮光層を含む板状部材に設けられていてもよく、遮光層を含まない板状部材に設けられていてもよい。遮光層を含む板状部材に設けられている場合、スペーサは、遮光層の遮光部上に設けられていてもよく、遮光層の遮光部上以外に設けられていてもよい。着色層を含む板状部材に設けられている場合、スペーサは、着色層上に設けられていてもよく、着色層上以外に設けられていてもよい。
つまり、スペーサの配置位置は、マスク継ぎ部でなく、非マスク継ぎ部であれば、遮光層の遮光部上、着色層上、及びこれら以外の何れであってもよい。
少なくとも着色層を含む板状部材にスペーサが設けられている場合、スペーサは、例えば着色層と同時的に形成されてもよく、着色層の形成後に形成されてもよい。
開口と副画素とは一対一対応(1個の副画素が1個の開口を有する構成)でもよく、1個の開口に複数個の副画素が対応している構成(複数個の副画素夫々が1個の開口の一部分ずつを有する構成)でもよい。
少なくとも着色層を含む板状部材にスペーサが設けられている場合、スペーサは、例えば着色層と同時的に形成されてもよく、着色層の形成後に形成されてもよい。
開口と副画素とは一対一対応(1個の副画素が1個の開口を有する構成)でもよく、1個の開口に複数個の副画素が対応している構成(複数個の副画素夫々が1個の開口の一部分ずつを有する構成)でもよい。
画素に含まれている複数個の副画素の内、少なくとも2個の副画素が同一色であってもよい。又は、画素に含まれている複数個の副画素の全てが異なる色であってもよい。
各画素は、マルチ画素でもよく、マルチ画素ではない通常の画素でもよい。各画素に含まれている副画素の個数は、等しくてもよく、異なっていてもよい。
一方向に隣り合う同一色の2個の副画素は、2個の画素に1個ずつ含まれていてもよく、1個の画素に2個とも含まれていてもよい。つまり、スペーサは、隣り合う2個の画素間に配されていてもよく、1個の画素の内部に配されていてもよい。
各画素は、マルチ画素でもよく、マルチ画素ではない通常の画素でもよい。各画素に含まれている副画素の個数は、等しくてもよく、異なっていてもよい。
一方向に隣り合う同一色の2個の副画素は、2個の画素に1個ずつ含まれていてもよく、1個の画素に2個とも含まれていてもよい。つまり、スペーサは、隣り合う2個の画素間に配されていてもよく、1個の画素の内部に配されていてもよい。
スペーサの個数は限定されない。スペーサに隣り合う副画素を含む画素に関し、スペーサの個数は画素に含まれている副画素の個数と同じでもよく(例えば副画素3個に対してスペーサ3個)、異なっていてもよい(例えば副画素3個に対してスペーサ2個以下又は4個以上)。スペーサに隣り合う副画素を含む画素同士で、夫々に対応するスペーサの個数が異なっていてもよい。
スペーサに隣り合う同一色の2個の副画素が有する着色層を形成すべき開口パターンは、第1露光マスク及び第2露光マスクの何れか一方のみに含まれていてもよく、第1露光マスク及び第2露光マスク夫々に含まれていてもよい。スペーサの配置位置が非マスク継ぎ部でさえあれば、開口パターン同士の形状又はサイズは互いに同じでも異なっていてもよい。
スペーサに隣り合う同一色の2個の副画素が有する着色層を形成すべき開口パターンは、第1露光マスク及び第2露光マスクの何れか一方のみに含まれていてもよく、第1露光マスク及び第2露光マスク夫々に含まれていてもよい。スペーサの配置位置が非マスク継ぎ部でさえあれば、開口パターン同士の形状又はサイズは互いに同じでも異なっていてもよい。
本発明にあっては、一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素の個数は、複数個のマルチ画素に含まれている同一色の副画素の総数と同じである。
この場合、スペーサに隣り合う同一色の2個の副画素が有する着色層を形成すべき開口パターンは、K個のマルチ画素に含まれている{2×K}個の副画素(Kは自然数)、及び2個のマルチ画素夫々に含まれている各1個の副画素に対応する大きさを有する。
この場合、スペーサに隣り合う同一色の2個の副画素が有する着色層を形成すべき開口パターンは、K個のマルチ画素に含まれている{2×K}個の副画素(Kは自然数)、及び2個のマルチ画素夫々に含まれている各1個の副画素に対応する大きさを有する。
この結果、スペーサが配される位置の着色層の一方向両端部は、2個のマルチ画素夫々の2個の同色副画素間に配される。マルチ画素の2個の同色副画素間には、一般に遮光層の遮光部又は遮光性部材が配されているので、着色層の一方向両端部を遮光することができる。従って、スペーサが配される位置の着色層が、液晶表示装置の表示品位に悪影響を及ぼす虞はない。
本発明の液晶表示装置の製造方法による場合、スペーサは、膜厚の差異が小さい位置に配されるので、液晶表示装置のセルギャップが、膜厚の大きな差異の影響を受けることがない。故に、液晶表示装置のセルギャップを均一にすることができる。従って、液晶表示装置の表示品位を向上させることができる。
本発明の露光マスクは、本発明の液晶表示装置の製造方法に従って液晶表示装置を製造する場合に好適である。
以下、本発明を、その実施の形態を示す図面に基づいて詳述する。以下の説明では、図において矢符で示す上下、前後、及び左右を使用する。
実施の形態 1.
図1及び図2は、本発明の実施の形態1に係る液晶表示装置の製造方法に従って製造された液晶表示装置1の構成を模式的に示す断面図及び正面図である。ただし、図2は後述する偏光板24、保護ガラス25、及び透光基板41の図示を省略している。
図3は、液晶表示装置1が備える対向基板4の構成を模式的に示す正面図である。図3に示す対向基板4の上下左右方向は、図3に向かって上下左右方向である。
図1及び図2は、本発明の実施の形態1に係る液晶表示装置の製造方法に従って製造された液晶表示装置1の構成を模式的に示す断面図及び正面図である。ただし、図2は後述する偏光板24、保護ガラス25、及び透光基板41の図示を省略している。
図3は、液晶表示装置1が備える対向基板4の構成を模式的に示す正面図である。図3に示す対向基板4の上下左右方向は、図3に向かって上下左右方向である。
液晶表示装置1は、テレビジョン受信機又はディスプレイ等として構成されている。液晶表示装置1は、RGB三原色を用いてカラー画像を表示する。以下では、R色、G色、又はB色を有するもの同士を区別する場合、それらの符号に“r”、“g”、又は“b”を付す。
液晶表示装置1は、液晶表示装置1の前部を構成する液晶パネル11と、液晶表示装置1の後部を構成する照明装置12とを備えている。液晶パネル11は、拡散板21、偏光板22、TFT基板3(板状部材)、液晶23、対向基板4(板状部材)、偏光板24、及び保護ガラス25を、照明装置12よりも前側にて、後ろ側から前側へこの順に備えている。TFT基板3は、透光基板31、TFT層32、及び配向膜33を備えている。対向基板4は、透光基板41、BM42、着色層43,43,…、透明電極部44、配向膜45、スペーサ46,46,…、及びスペーサ49,49,…,を備えている。
液晶パネル11は、矩形状の表示領域と、表示領域を囲繞する矩形枠状の額縁領域(不図示)とを有する。液晶パネル11の表示領域には、多数個のマルチ画素13,13,…が、上下方向及び左右方向夫々に複数個ずつ並設されている。以下では、マルチ画素13,13,…の左右方向の並びを行といい、マルチ画素13,13,…の上下方向の並びを列という。
図1の左側(及び右側)には、液晶表示装置1における偶数行目(及び奇数行目)のマルチ画素13を含む部分が示されている。図2に示す二点鎖線の矩形の内、上側(及び下側)の矩形は偶数行目(及び奇数行目)のマルチ画素13を示している。図3には、M行目~{M+4}行目及びN列目~{N+3}列目のマルチ画素13,13,…が示されている。ここで、M,Nは、M,N≧0の偶数である。
図1の左側(及び右側)には、液晶表示装置1における偶数行目(及び奇数行目)のマルチ画素13を含む部分が示されている。図2に示す二点鎖線の矩形の内、上側(及び下側)の矩形は偶数行目(及び奇数行目)のマルチ画素13を示している。図3には、M行目~{M+4}行目及びN列目~{N+3}列目のマルチ画素13,13,…が示されている。ここで、M,Nは、M,N≧0の偶数である。
各マルチ画素13はRGB3色分(1色当たり2個。計6個)の副画素14,14,…を含んでいる。図2に示す右上がりのハッチングの部分は、偶数行目のマルチ画素13における上側の副画素14r,14g,14bを示しており、右下がりのハッチングの部分は、偶数行目のマルチ画素13における下側の副画素14r,14g,14bを示している。
各マルチ画素13に含まれている同一色の2個の副画素14,14(即ち、2個の同色副画素14,14)は、上下方向に並設されている。異なる色の2個の同色副画素14,14同士は、R色、G色、及びB色の順に左側から右側へ並置されている。対向基板4全体において、RGB3色分の副画素14,14,…は、同色同士が上下方向に並ぶストライプ状に配されている。
各マルチ画素13に含まれている同一色の2個の副画素14,14(即ち、2個の同色副画素14,14)は、上下方向に並設されている。異なる色の2個の同色副画素14,14同士は、R色、G色、及びB色の順に左側から右側へ並置されている。対向基板4全体において、RGB3色分の副画素14,14,…は、同色同士が上下方向に並ぶストライプ状に配されている。
図2に示すように、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13同士は隣接しており、両者間の離隔距離は“0”と見做せる。即ち、2個の同色副画素14,14間の離隔距離は、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間の離隔距離よりも長い。
しかしながら、図3では、マルチ画素13,13,…同士を区別し易くするために、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13同士が離隔しており、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間の離隔距離の方が2個の同色副画素14,14間の離隔距離よりも長いように描かれている。
しかしながら、図3では、マルチ画素13,13,…同士を区別し易くするために、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13同士が離隔しており、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間の離隔距離の方が2個の同色副画素14,14間の離隔距離よりも長いように描かれている。
液晶パネル11が備える拡散板21及び偏光板22は、夫々透光性を有し、各矩形状になしてある。拡散板21は液晶パネル11の最後部を構成している。偏光板22は拡散板21の前面に積層されている。
TFT基板3が備える透光基板31は矩形状のガラス板を用いてなる。透光基板31は偏光板22の前面に積層されている。
TFT層32は透光基板31の前面に積層されている。TFT層32は、各透光性を有する複数個の画素電極321,321,…、及び、各遮光性を有し、画素電極321,321,…と同数個の図示しないTFTと、各複数本の左右方向のゲートバスライン及びCsバスライン(各不図示)とを有する。各1個の画素電極321及びTFTは、互いに電気的に接続されており、1個の副画素14を構成している。
配向膜33は透光性を有し、TFT層32の前面における表示領域に積層されている。
TFT層32は透光基板31の前面に積層されている。TFT層32は、各透光性を有する複数個の画素電極321,321,…、及び、各遮光性を有し、画素電極321,321,…と同数個の図示しないTFTと、各複数本の左右方向のゲートバスライン及びCsバスライン(各不図示)とを有する。各1個の画素電極321及びTFTは、互いに電気的に接続されており、1個の副画素14を構成している。
配向膜33は透光性を有し、TFT層32の前面における表示領域に積層されている。
対向基板4が備える透光基板41は矩形状のガラス板を用いてなる。
BM42はブラックマトリクスであり、本発明の実施の形態における遮光層として機能する。BM42は透光基板41の後面に積層されている。
BM42における表示領域には、各矩形状の複数個の開口47,47,…が設けられている。開口47,47,…は、上下方向及び左右方向夫々に複数個ずつ、互いに離隔配置されている。即ち、隣り合う2個の開口47,47間には、BM42の遮光部が配されている。
本実施の形態における各開口47の周縁部はBM42の遮光部であるが、開口47の構成はこれに限定されるものではない。開口47の周縁部の内、他の開口47,47,…に隣り合わない範囲は非遮光部であってもよい。つまり、開口47の周縁部の一部が透光基板41の周縁部の一部に一致していてもよい。
BM42はブラックマトリクスであり、本発明の実施の形態における遮光層として機能する。BM42は透光基板41の後面に積層されている。
BM42における表示領域には、各矩形状の複数個の開口47,47,…が設けられている。開口47,47,…は、上下方向及び左右方向夫々に複数個ずつ、互いに離隔配置されている。即ち、隣り合う2個の開口47,47間には、BM42の遮光部が配されている。
本実施の形態における各開口47の周縁部はBM42の遮光部であるが、開口47の構成はこれに限定されるものではない。開口47の周縁部の内、他の開口47,47,…に隣り合わない範囲は非遮光部であってもよい。つまり、開口47の周縁部の一部が透光基板41の周縁部の一部に一致していてもよい。
着色層43夫々は透光性を有し、RGB3原色の何れか1色を有する。1個の着色層43は、1個の開口47を閉塞している。着色層43は、開口47を確実に閉塞するために、開口47の周縁部から内部に亘って形成されている。
透明電極部44は、BM42及び着色層43,43,…の後面における表示領域に積層されている。
配向膜45は透光性を有し、透明電極部44の後面に積層されている。配向膜33,45は、液晶23を構成する液晶分子群を一定方向に配列させるためのものである。
透明電極部44は、BM42及び着色層43,43,…の後面における表示領域に積層されている。
配向膜45は透光性を有し、透明電極部44の後面に積層されている。配向膜33,45は、液晶23を構成する液晶分子群を一定方向に配列させるためのものである。
各副画素14は、BM42の開口47及び着色層43と、TFT層32の画素電極321及びTFTとを有する。ただし、各副画素14が有する開口47は、開口47の上半分又は下半分である。このために、各画素電極321が開口47の上半分又は下半分に臨むようにして、TFT基板3の前面(更に詳細には、配向膜33の前面)と対向基板4の後面(更に詳細には、配向膜45の後面)とが対面配置されている。
上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にはBM42の遮光部は配されていない。従って、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にBM42の遮光部が配されている場合よりも、液晶表示装置1の解像度が向上する。なお、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にBM42の遮光部が配されていてもよい。
上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にはBM42の遮光部は配されていない。従って、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にBM42の遮光部が配されている場合よりも、液晶表示装置1の解像度が向上する。なお、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にBM42の遮光部が配されていてもよい。
透明電極部44は、TFT層32の画素電極321,321,…に対向する共通電極として機能する。
TFT層32が有するTFTは、BM42における遮光部に対向配置されている。TFT層32が有するゲートバスラインは、BM42における2個の同色副画素14,14間の遮光部に対向配置されている。TFT層32が有するCsバスラインは、マルチ画素13,13の境界部分に対向配置されている。
TFT層32が有するTFTは、BM42における遮光部に対向配置されている。TFT層32が有するゲートバスラインは、BM42における2個の同色副画素14,14間の遮光部に対向配置されている。TFT層32が有するCsバスラインは、マルチ画素13,13の境界部分に対向配置されている。
対面配置されているTFT基板3と対向基板4とは、図示しない封止部を介して接着されている。封止部は遮光性を有する矩形枠状であり、TFT基板3と対向基板4との間にて、TFT基板3及び対向基板4夫々の額縁領域に接着している。封止部がTFT基板3と対向基板4との間に介在することによって、TFT基板3と対向基板4とは適宜のセルギャップを有して対面配置される。
各スペーサ46,49は、前後方向の柱状部である。スペーサ49の長さはスペーサ46の半分程度である。
スペーサ46は、2個の同色副画素14r,14r間に位置している。スペーサ46は、着色層43g,43b夫々を構成する材料と同じ材料を含んでいる。
スペーサ49は、2個の同色副画素14g,14g間及び2個の同色副画素14b,14b間の何れかに位置している。2個の同色副画素14g,14g間に位置しているスペーサ49は、着色層43bを構成する材料と同じ材料を含んでいる。2個の同色副画素14b,14b間に位置しているスペーサ49は、着色層43bを構成する材料と同じ材料を含んでいる。
スペーサ46は、2個の同色副画素14r,14r間に位置している。スペーサ46は、着色層43g,43b夫々を構成する材料と同じ材料を含んでいる。
スペーサ49は、2個の同色副画素14g,14g間及び2個の同色副画素14b,14b間の何れかに位置している。2個の同色副画素14g,14g間に位置しているスペーサ49は、着色層43bを構成する材料と同じ材料を含んでいる。2個の同色副画素14b,14b間に位置しているスペーサ49は、着色層43bを構成する材料と同じ材料を含んでいる。
スペーサ46,46,…は、いわゆるメインスペーサであり、TFT基板3と対向基板4との間に介在して、セルギャップを均一にする効果を奏する。
スペーサ49,49,…は、いわゆるサブスペーサであり、セルギャップを短縮する方向の外力が加えられた場合にセルギャップの過剰な短縮を抑制する。この結果、セルギャップを短縮する方向の外力が加えられた場合に液晶表示装置1が過剰に変形し破損することが抑制される。
スペーサ49,49,…は、いわゆるサブスペーサであり、セルギャップを短縮する方向の外力が加えられた場合にセルギャップの過剰な短縮を抑制する。この結果、セルギャップを短縮する方向の外力が加えられた場合に液晶表示装置1が過剰に変形し破損することが抑制される。
ところで、従来の液晶表示装置においては、全てのマルチ画素13,13,…に対してスペーサ46,49,49が配されていることがある。
一方、液晶表示装置1においては、一部のマルチ画素13,13,…に対してはスペーサ46,49,49が配されているが、残部のマルチ画素13,13,…に対してはスペーサ46,49,49は配されていない。具体的には、奇数行目({M+1}行目、{M+3}行目、…)のマルチ画素13,13,…夫々に対してはスペーサ46,49,49が配されているが、偶数行目(M行目、{M+2}行目、{M+4}行目、…)のマルチ画素13,13,…夫々にはスペーサ46,49,49は配されていない。
一方、液晶表示装置1においては、一部のマルチ画素13,13,…に対してはスペーサ46,49,49が配されているが、残部のマルチ画素13,13,…に対してはスペーサ46,49,49は配されていない。具体的には、奇数行目({M+1}行目、{M+3}行目、…)のマルチ画素13,13,…夫々に対してはスペーサ46,49,49が配されているが、偶数行目(M行目、{M+2}行目、{M+4}行目、…)のマルチ画素13,13,…夫々にはスペーサ46,49,49は配されていない。
液晶パネル11が備える液晶23は、透光性を有する。液晶23は、TFT基板3と対向基板4との間、且つ、封止部に囲繞された空間に封入されている。スペーサ46,46,…は、液晶23を貫通している。
偏光板24及び保護ガラス25は夫々透光性を有し、各矩形状になしてある。
偏光板24は透光基板41の前面に積層されている。偏光板22,24は、互いに直交する直線偏光を夫々透過する。
保護ガラス25は偏光板24の前面に積層されている。
偏光板24は透光基板41の前面に積層されている。偏光板22,24は、互いに直交する直線偏光を夫々透過する。
保護ガラス25は偏光板24の前面に積層されている。
照明装置12は、直下型又はエッジライト型のバックライトユニットである。照明装置12は液晶パネル11を後ろ側から照明する。
照明装置12が発した光は、拡散板21を透過することによって拡散する。拡散した光は、偏光板22を透過してからTFT基板3に入射する。
照明装置12が発した光は、拡散板21を透過することによって拡散する。拡散した光は、偏光板22を透過してからTFT基板3に入射する。
TFT基板3に入射した光は、透光基板31、TFT層32の画素電極321、及び配向膜33を順に透過してから、液晶23に入射する。
TFT層32の各画素電極321と透明電極部44との間に電圧が印加されていない場合、画素電極321の前側の液晶23に入射した光は、そのまま液晶23を透過する。
一方、TFT層32の各画素電極321と透明電極部44との間に電圧が印加された場合、画素電極321の前側の液晶23に入射した光は、液晶23によって偏光されてから液晶23を透過する。何故ならば、電圧の印加によって、液晶23を構成する液晶分子群の配列が変化するからである。
TFT層32の各画素電極321と透明電極部44との間に電圧が印加されていない場合、画素電極321の前側の液晶23に入射した光は、そのまま液晶23を透過する。
一方、TFT層32の各画素電極321と透明電極部44との間に電圧が印加された場合、画素電極321の前側の液晶23に入射した光は、液晶23によって偏光されてから液晶23を透過する。何故ならば、電圧の印加によって、液晶23を構成する液晶分子群の配列が変化するからである。
液晶23を透過した光は、対向基板4に入射する。
対向基板4に入射した光は、配向膜45、透明電極部44、着色層43、及び透光基板41を順に透過してから出射する。
液晶23をそのまま透過した光は、対向基板4から出射した後、偏光板24によって遮断される。液晶23によって偏光された光は、対向基板4から出射した後、偏光板24、及び保護ガラス25を順に透過し、外部へ出射する。
以上の結果、液晶パネル11の表示領域にカラー画像が表示される。
対向基板4に入射した光は、配向膜45、透明電極部44、着色層43、及び透光基板41を順に透過してから出射する。
液晶23をそのまま透過した光は、対向基板4から出射した後、偏光板24によって遮断される。液晶23によって偏光された光は、対向基板4から出射した後、偏光板24、及び保護ガラス25を順に透過し、外部へ出射する。
以上の結果、液晶パネル11の表示領域にカラー画像が表示される。
図4は、液晶表示装置の製造方法を説明するための正面図であり、具体的には、対向基板4の製造手順を説明するためものである。図4の上側には露光マスク5が模式的に示してあり、下側には着色材料層40が模式的に示してある。
着色材料層40は、RGB3原色の何れか1色の着色層43,43,…を形成するための着色材料層である。着色材料層40はフォトレジストを用いてなる構成でもよく、着色材料層40の表面に不図示のフォトレジスト膜が形成してある構成でもよい。
着色材料層40は、RGB3原色の何れか1色の着色層43,43,…を形成するための着色材料層である。着色材料層40はフォトレジストを用いてなる構成でもよく、着色材料層40の表面に不図示のフォトレジスト膜が形成してある構成でもよい。
露光マスク5は、左側マスク部51と中央マスク部52と右側マスク部53とを有する。
左側マスク部51と中央マスク部52と右側マスク部53とは、RGB3原色の何れか1色の着色層43,43,…に対応するマスクパターン511,521,531を有する。
左側マスク部51と中央マスク部52と右側マスク部53とは、RGB3原色の何れか1色の着色層43,43,…に対応するマスクパターン511,521,531を有する。
R色用の露光マスク5r、G色用の露光マスク5g、及びB色用の露光マスク5bは互いに類似の構成である。
ただし、露光マスク5rのマスクパターン511,521,531には、スペーサ46及びスペーサ49を形成すべき開口パターンは含まれていない。
一方、露光マスク5gのマスクパターン511,521,531には、スペーサ46を形成すべき開口パターン及び2個の同色副画素14b,14b間に位置するスペーサ49を形成すべき開口パターンが含まれており、露光マスク5bのマスクパターン511,521,531には、スペーサ46を形成すべき開口パターン及び2個の同色副画素14g,14g間に位置するスペーサ49を形成すべき開口パターンが含まれている。
以下では、R色用の露光マスク5rについて主に説明する。
ただし、露光マスク5rのマスクパターン511,521,531には、スペーサ46及びスペーサ49を形成すべき開口パターンは含まれていない。
一方、露光マスク5gのマスクパターン511,521,531には、スペーサ46を形成すべき開口パターン及び2個の同色副画素14b,14b間に位置するスペーサ49を形成すべき開口パターンが含まれており、露光マスク5bのマスクパターン511,521,531には、スペーサ46を形成すべき開口パターン及び2個の同色副画素14g,14g間に位置するスペーサ49を形成すべき開口パターンが含まれている。
以下では、R色用の露光マスク5rについて主に説明する。
左側マスク部51が有するマスクパターン511には、着色層43,43,…を形成すべき開口パターン512,512,…が含まれている。開口パターン512,512,…同士は上下左右方向に適長離隔している。
同様に、中央マスク部52(及び右側マスク部53)が有するマスクパターン521(及びマスクパターン531)には、開口パターン522,522,…(及び開口パターン532,532,…)が含まれている。
マスクパターン511,521,531は、露光マスク5を用いたフォトリソグラフィによって着色材料層40に夫々転写される。
同様に、中央マスク部52(及び右側マスク部53)が有するマスクパターン521(及びマスクパターン531)には、開口パターン522,522,…(及び開口パターン532,532,…)が含まれている。
マスクパターン511,521,531は、露光マスク5を用いたフォトリソグラフィによって着色材料層40に夫々転写される。
左側マスク部51が有するマスクパターン511の左端部及び左右方向中央部においては、着色層43,43,…を形成すべき開口パターン512,512,…はマトリクス状に配置されており、密度が一定である。
マスクパターン511の右端部は、マトリクス状に配置すべき開口パターン512,512,…の密度が変化する粗密部であり、左右方向中央部寄りから右端部寄りに向けて、開口パターン512,512,…の密度が密から粗に変化する。図4に示す二点鎖線の矢符は、開口パターン512,512,…の密度が密から粗に変化する方向を示している。
左側マスク部51のマスクパターン511は、着色材料層40の左端部の所定の範囲(右上がりの粗いハッチングで示す範囲)に転写される。
マスクパターン511の右端部は、マトリクス状に配置すべき開口パターン512,512,…の密度が変化する粗密部であり、左右方向中央部寄りから右端部寄りに向けて、開口パターン512,512,…の密度が密から粗に変化する。図4に示す二点鎖線の矢符は、開口パターン512,512,…の密度が密から粗に変化する方向を示している。
左側マスク部51のマスクパターン511は、着色材料層40の左端部の所定の範囲(右上がりの粗いハッチングで示す範囲)に転写される。
中央マスク部52が有するマスクパターン521の左右方向中央部においては、着色層43,43,…を形成すべき開口パターン522,522,…はマトリクス状に配置されており、密度が一定である。
マスクパターン521の左端部は粗密部であり、左右方向中央部寄りから左端部寄りに向けて、開口パターン522,522,…の密度が密から粗に変化する。マスクパターン521の左端部における粗密部の開口パターン522,522,…の粗密と左側マスク部51の右端部における粗密部の開口パターン512,512,…の粗密とは互いに補完し合う。
マスクパターン521の左端部は粗密部であり、左右方向中央部寄りから左端部寄りに向けて、開口パターン522,522,…の密度が密から粗に変化する。マスクパターン521の左端部における粗密部の開口パターン522,522,…の粗密と左側マスク部51の右端部における粗密部の開口パターン512,512,…の粗密とは互いに補完し合う。
マスクパターン521の右端部は粗密部であり、左右方向中央部寄りから右端部寄りに向けて、開口パターン522,522,…の密度が密から粗に変化する。マスクパターン521の右端部における粗密部の開口パターン522,522,…の粗密と左端部における粗密部の開口パターン522,522,…の粗密とは互いに補完し合う。
中央マスク部52のマスクパターン521は、着色材料層40の左右方向中央部の所定の範囲に転写される。
更に詳細には、中央マスク部52のマスクパターン521は、左側マスク部51のマスクパターン511が転写される範囲(右上がりの粗いハッチングで示す範囲。第1範囲)に部分的に重なって右側に隣接する範囲(右下がりの細かいハッチングで示す範囲。第2範囲)に転写される。また、中央マスク部52のマスクパターン521は、中央マスク部52のマスクパターン521が転写される範囲(右下がりの細かいハッチングで示す範囲。第1範囲)に部分的に重なって右側に隣接する範囲(右上がりの細かいハッチングで示す範囲。第2範囲)に転写される。
更に詳細には、中央マスク部52のマスクパターン521は、左側マスク部51のマスクパターン511が転写される範囲(右上がりの粗いハッチングで示す範囲。第1範囲)に部分的に重なって右側に隣接する範囲(右下がりの細かいハッチングで示す範囲。第2範囲)に転写される。また、中央マスク部52のマスクパターン521は、中央マスク部52のマスクパターン521が転写される範囲(右下がりの細かいハッチングで示す範囲。第1範囲)に部分的に重なって右側に隣接する範囲(右上がりの細かいハッチングで示す範囲。第2範囲)に転写される。
右側マスク部53が有するマスクパターン531の右端部及び左右方向中央部においては、着色層43,43,…を形成すべき開口パターン532,532,…はマトリクス状に配置されており、密度が一定である。
マスクパターン531の左端部は粗密部であり、左右方向中央部寄りから右端部寄りに向けて、開口パターン532,532,…の密度が密から粗に変化する。マスクパターン531の左端部における粗密部の開口パターン532,532,…の粗密と中央マスク部52のマスクパターン521の右端部における粗密部の開口パターン522,522,…の粗密とは互いに補完し合う。
マスクパターン531の左端部は粗密部であり、左右方向中央部寄りから右端部寄りに向けて、開口パターン532,532,…の密度が密から粗に変化する。マスクパターン531の左端部における粗密部の開口パターン532,532,…の粗密と中央マスク部52のマスクパターン521の右端部における粗密部の開口パターン522,522,…の粗密とは互いに補完し合う。
右側マスク部53のマスクパターン531は、着色材料層40の右端部の所定の範囲に転写される。
更に詳細には、右側マスク部53のマスクパターン531は、中央マスク部52のマスクパターン521が転写される範囲(右上がりの細かいハッチングで示す範囲。第1範囲)に部分的に重なって右側に隣接する範囲(右下がりの粗いハッチングで示す範囲。第2範囲)に転写される。
更に詳細には、右側マスク部53のマスクパターン531は、中央マスク部52のマスクパターン521が転写される範囲(右上がりの細かいハッチングで示す範囲。第1範囲)に部分的に重なって右側に隣接する範囲(右下がりの粗いハッチングで示す範囲。第2範囲)に転写される。
マスクパターン同士が重なって転写される範囲を、以下では二重露光範囲Dという。図4には、左側マスク部51及び中央マスク部52に係る二重露光範囲Dと、中央マスク部52同士に係る二重露光範囲Dと、中央マスク部52及び右側マスク部53に係る二重露光範囲Dとが各1個例示されている。
本実施の形態では、二重露光範囲Dに2列分のマルチ画素13,13,…が含まれている場合を例示する(図3参照)。
本実施の形態では、二重露光範囲Dに2列分のマルチ画素13,13,…が含まれている場合を例示する(図3参照)。
図5及び図6は、本発明の実施の形態1に係るR色用の第1露光マスク及び第2露光マスクの構成を模式的に示す正面図である。図5(及び図6)に示す左側マスク部51r(及び中央マスク部52r)の上下左右方向は、図5(及び図6)に向かって上下左右方向である。
左側マスク部51rが本発明の実施の形態における第1露光マスクとして機能する場合、右側マスク部53rは本発明の実施の形態における第2露光マスクとして機能する。中央マスク部52rは、左側マスク部51rとの関係では第2露光マスクとして機能し、右側マスク部53との関係では第1露光マスクとして機能し、中央マスク部52rとの関係では第1露光マスク及び第2露光マスクの何れか一方として機能する。
左側マスク部51rが本発明の実施の形態における第1露光マスクとして機能する場合、右側マスク部53rは本発明の実施の形態における第2露光マスクとして機能する。中央マスク部52rは、左側マスク部51rとの関係では第2露光マスクとして機能し、右側マスク部53との関係では第1露光マスクとして機能し、中央マスク部52rとの関係では第1露光マスク及び第2露光マスクの何れか一方として機能する。
図5はR色用の第1露光マスクとしての左側マスク部51rを示している。
図5には、左側マスク部51rが有するマスクパターン511に含まれている開口パターン512,512,…が実線で示してある。また、中央マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…が二点鎖線で示してある。
また、図5には、開口パターン512,512,…によって形成される着色層43,43,…を有する副画素14,14,…が太い破線で示してあり、これ以外の副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い破線で示してある。
図5には、左側マスク部51rが有するマスクパターン511に含まれている開口パターン512,512,…が実線で示してある。また、中央マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…が二点鎖線で示してある。
また、図5には、開口パターン512,512,…によって形成される着色層43,43,…を有する副画素14,14,…が太い破線で示してあり、これ以外の副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い破線で示してある。
同様に、図6はR色用の第2露光マスクとしての中央マスク部52rを示している。
図6には、中央マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…が実線で示してある。また、左側マスク部51rが有するマスクパターン511に含まれている開口パターン512,512,…が二点鎖線で示してある。
また、図6には、開口パターン522,522,…によって形成される着色層43,43,…を有する副画素14,14,…が太い破線で示してあり、これ以外の副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い破線で示してある。
図6には、中央マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…が実線で示してある。また、左側マスク部51rが有するマスクパターン511に含まれている開口パターン512,512,…が二点鎖線で示してある。
また、図6には、開口パターン522,522,…によって形成される着色層43,43,…を有する副画素14,14,…が太い破線で示してあり、これ以外の副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い破線で示してある。
図5及び図6における各副画素14及びスペーサ46,49の配置は、図3における配置に対応している。
左側マスク部51rのマスクパターン511における{N+1}列目から{N+2}列目までは、左側マスク部51rの右端部における粗密部である。{N+1}列目の開口パターン521,521,…の密度は、{N+2}列目の開口パターン521,521,…の密度以上である。
中央マスク部52rのマスクパターン521における{N+1}列目から{N+2}列目までは、中央マスク部52rの左端部における粗密部である。{N+2}列目の開口パターン521,521,…の密度は、{N+1}列目の開口パターン521,521,…の密度以上である。
左側マスク部51r及び中央マスク部52rを仮想的に重ね合わせると、開口パターン512,512,…及び開口パターン522,522,…はマトリクス状に配置される。
中央マスク部52rのマスクパターン521における{N+1}列目から{N+2}列目までは、中央マスク部52rの左端部における粗密部である。{N+2}列目の開口パターン521,521,…の密度は、{N+1}列目の開口パターン521,521,…の密度以上である。
左側マスク部51r及び中央マスク部52rを仮想的に重ね合わせると、開口パターン512,512,…及び開口パターン522,522,…はマトリクス状に配置される。
図5に示す左側マスク部51rが有するマスクパターン511に含まれている各開口パターン512は、上下方向に隣り合う4個の副画素14r,14r,…に対応する大きさを有する。この副画素14r,14r,…の個数(4個)は、2個のマルチ画素13,13に含まれている副画素14r,14r,…の総数(4個)と同じである。
同様に、図6に示す中央マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている各開口パターン522は、上下方向に隣り合う4個の副画素14r,14r,…に対応する大きさを有する。
同様に、図6に示す中央マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている各開口パターン522は、上下方向に隣り合う4個の副画素14r,14r,…に対応する大きさを有する。
各1個の開口パターン512又は開口パターン522に対応する4個の副画素14r,14r,…は、奇数行目のマルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14rと、奇数行目のマルチ画素13の上側に隣り合う偶数行目のマルチ画素13に含まれている下側の副画素14rと、奇数行目のマルチ画素13の下側に隣り合う偶数行目のマルチ画素13に含まれている上側の副画素14rとである。
つまり、マスクパターン511,521には、スペーサ46に隣り合う同一色の2個の副画素14r,14rに亘る1個の着色層43rを形成すべき開口パターン512,522が含まれている。
換言すれば、スペーサ46に隣り合う同一色の2個の副画素14r,14r間は非マスク継ぎ部である。
図5及び図6には、マスク継ぎ部が白抜き矢符で示してある。マスク継ぎ部は、奇数行目の各マルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間にはなく、偶数行目の各マルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間にある。
換言すれば、スペーサ46に隣り合う同一色の2個の副画素14r,14r間は非マスク継ぎ部である。
図5及び図6には、マスク継ぎ部が白抜き矢符で示してある。マスク継ぎ部は、奇数行目の各マルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間にはなく、偶数行目の各マルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間にある。
露光マスク5の設計者は、粗密部のマスクパターン511,521を設計する場合に、奇数行目のマルチ画素13における2個の同色副画素14r,14rを含む上下方向4個の副画素14r,14r,…(即ちマルチ画素2画素分の副画素14r,14r,…)を1単位として、1単位毎に開口パターンを設定し、設定した開口パターンを左側マスク部51r及び中央マスク部52rの何れに配するかを決定する。
なお、例えば2個の開口パターン512,512同士(又は開口パターン522,522同士)が上下方向に隣り合う場合、設計者は、隣り合う2個の開口パターン512,512(又は開口パターン522,522)をまとめて、1個の開口パターン(マルチ画素4画素分の副画素に対応する開口パターン)としてもよい。
図7及び図8は、B色用の第1露光マスク及び第2露光マスクの構成を模式的に示す正面図である。図7及び図8は図5及び図6に対応する。
図7はB色用の第1露光マスクとしての左側マスク部51bを示し、図8はB色用の第2露光マスクとしての中央マスク部52bを示している。
図7はB色用の第1露光マスクとしての左側マスク部51bを示し、図8はB色用の第2露光マスクとしての中央マスク部52bを示している。
左側マスク部51bが有するマスクパターン511に含まれている開口パターン512,512,…は、左側マスク部51rが有するマスクパターン511に含まれている開口パターン512,512,…と略同様であるが、粗密の分布が異なる。
同様に、中央マスク部52bが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…は、中央マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…と略同様であるが、粗密の分布が異なる。
また、左側マスク部51b及び中央マスク部52bが有するマスクパターン511,521には、スペーサ49に隣り合う同一色の2個の副画素14b,14bに亘る1個の着色層43bを形成すべき開口パターン512,522が含まれている。
同様に、中央マスク部52bが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…は、中央マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…と略同様であるが、粗密の分布が異なる。
また、左側マスク部51b及び中央マスク部52bが有するマスクパターン511,521には、スペーサ49に隣り合う同一色の2個の副画素14b,14bに亘る1個の着色層43bを形成すべき開口パターン512,522が含まれている。
図9及び図10は、G色用の第1露光マスク及び第2露光マスクの構成を模式的に示す正面図である。図9及び図10は図5及び図6に対応する。
図9はG色用の第1露光マスクとしての左側マスク部51gを示し、図10はG色用の第2露光マスクとしての中央マスク部52gを示している。
左側マスク部51g及び中央マスク部52gが有するマスクパターン511,521にも、スペーサ49に隣り合う同一色の2個の副画素14g,14gに亘る1個の着色層43gを形成すべき開口パターン512,522が含まれている。
図9はG色用の第1露光マスクとしての左側マスク部51gを示し、図10はG色用の第2露光マスクとしての中央マスク部52gを示している。
左側マスク部51g及び中央マスク部52gが有するマスクパターン511,521にも、スペーサ49に隣り合う同一色の2個の副画素14g,14gに亘る1個の着色層43gを形成すべき開口パターン512,522が含まれている。
図2にも白抜き矢符にてマスク継ぎ部が示してある。マスク継ぎ部はBM42における2個の同色副画素14,14間の遮光部に位置し、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13の境界部分に位置することはない。
図11~図16は、液晶表示装置の製造方法を説明するための断面図である。図11は遮光層形成工程を示し、図12はR色用の材料層形成工程を示し、図13の上側及び下側はR色用の第1転写工程及び第2転写工程を示し、図14、図15、及び図16はR色用、G色用、及びB色用の除去工程を示している。図13~図16には、マスク継ぎ部が白抜き矢符で示してある。
図11~図16に示す左右方向中央部の開口47は、上半分が偶数行目(例えばM行{N+1}列目)のマルチ画素13における下側の副画素14rを構成し、下半分が奇数行目(例えば{M+1}行{N+1}列目)のマルチ画素13における上側の副画素14rを構成するものである。図13~図16には、2個の副画素14r,14rの境界部分を一点鎖線で示してある。
本実施の形態における液晶表示装置の製造方法に従う場合、着色層形成工程以外は従来のものと同様でよい。
本実施の形態における液晶表示装置の製造方法に従う場合、着色層形成工程以外は従来のものと同様でよい。
製造者は、遮光層形成工程及び着色層形成工程をこの順に実施することによって対向基板4を製造する。
着色層形成工程は、R色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程と、G色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程と、B色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程とを有する。製造者は、各色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程をこの順に実施する。
着色層形成工程は、R色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程と、G色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程と、B色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程とを有する。製造者は、各色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程をこの順に実施する。
図11に示す遮光層形成工程では、製造者は、透光基板41の後面に複数個の開口47,47,…が設けられているBM42を形成する。BM42の形成手順は、従来の対向基板が備えるBMの形成手順と同様である。
なお、2個の同色副画素14,14間にBM42に係るBMマスク継ぎ部を配する場合には、スペーサ46,49,49に隣り合う2個の同色副画素14,14間以外の2個の同色副画素14,14間にBMマスク継ぎ部を配する方が望ましい。何故ならば、BM42となすべき着色材料層におけるBMマスク継ぎ部は2回露光されるので、BM42のBMマスク継ぎ部の膜厚はBMマスク継ぎ部以外の膜厚よりも厚くなるからである。
仮に、BM42の厚い部分に位置するスペーサ46とBM42の薄い部分に位置するスペーサ46とが混在している場合、透光基板41からのスペーサ46,46,…夫々の長さのばらつきが大きくなる。従って、セルギャップが不均一になる。
仮に、BM42の厚い部分に位置するスペーサ46とBM42の薄い部分に位置するスペーサ46とが混在している場合、透光基板41からのスペーサ46,46,…夫々の長さのばらつきが大きくなる。従って、セルギャップが不均一になる。
図12に示すR色用の材料層形成工程では、製造者は、未閉塞の開口47,47,…の内部及びBM42の後面側に、着色材料層40rを形成する。
図13に示すR色用の第1転写工程では、製造者は、左側マスク部51rを用いて着色材料層40rを露光する。このとき、左側マスク部51rのマスクパターン511が、着色材料層40rの左端部の所定の範囲に転写される。
図13に示すR色用の第2転写工程では、製造者は、中央マスク部52rを用いて着色材料層40rを露光する。このとき、中央マスク部52rのマスクパターン521が、着色材料層40rにおける左側マスク部51rのマスクパターン511が転写された範囲に部分的に重なって右側に隣接する範囲に転写される。
図13に示すR色用の第2転写工程では、製造者は、中央マスク部52rを用いて着色材料層40rを露光する。このとき、中央マスク部52rのマスクパターン521が、着色材料層40rにおける左側マスク部51rのマスクパターン511が転写された範囲に部分的に重なって右側に隣接する範囲に転写される。
図示はしないが、製造者は、更に中央マスク部52rを用いて着色材料層40rを露光する。このとき、中央マスク部52rのマスクパターン521が、着色材料層40rにおける中央マスク部52rのマスクパターン521が転写された範囲に部分的に重なって右側に隣接する範囲に転写される。
図示はしないが、製造者は、右側マスク部53rを用いて着色材料層40rを露光する。このとき、右側マスク部53rのマスクパターン531が、着色材料層40rにおける中央マスク部52rのマスクパターン521が転写された範囲に部分的に重なって右側に隣接する範囲に転写される。
図示はしないが、製造者は、右側マスク部53rを用いて着色材料層40rを露光する。このとき、右側マスク部53rのマスクパターン531が、着色材料層40rにおける中央マスク部52rのマスクパターン521が転写された範囲に部分的に重なって右側に隣接する範囲に転写される。
図14に示すR色用の除去工程では、製造者は、着色材料層40rの非露光領域を除去する。以上の結果、着色層43r,43r,…が形成される。
各着色層43rの上下方向両端部夫々は、偶数行目のマルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間に配される。ここにはBM42における遮光部が存在するので、着色層43rの上下方向両端部が遮光される。
各着色層43rの上下方向両端部夫々は、偶数行目のマルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間に配される。ここにはBM42における遮光部が存在するので、着色層43rの上下方向両端部が遮光される。
奇数行目の各マルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間に係る膜厚の差異は小さい(図14参照)。
何故ならば、奇数行目のマルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間においては、1個の開口パターン512によって1個の着色層43rの上下方向中央部がBM42の遮光部上に形成されているからである(図13参照)。各1個の着色層43r,43r,…の上下方向中央部同士は、膜厚の差異が小さい。
何故ならば、奇数行目のマルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間においては、1個の開口パターン512によって1個の着色層43rの上下方向中央部がBM42の遮光部上に形成されているからである(図13参照)。各1個の着色層43r,43r,…の上下方向中央部同士は、膜厚の差異が小さい。
製造者は、R色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程と同様にして、G色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程とを実施する。この結果、着色層43g,43g,…と、奇数行目のマルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間に設けられるべきスペーサ46の前半分と、奇数行目のマルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14b,14b間に設けられるべきスペーサ49とが形成される(図15参照)。
更に製造者は、R色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程と同様にして、B色用の材料層形成工程、第1転写工程、第2転写工程、及び除去工程とを実施する。この結果、着色層43b,43b,…と、奇数行目のマルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14r,14r間に設けられるべきスペーサ46の後ろ半分と、奇数行目のマルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14g,14g間に設けられるべきスペーサ49とが形成される(図16参照)。
以上のような液晶表示装置1においては、各スペーサ46,49は、膜厚の差異が小さい位置に配されており、膜厚の差異が大きい位置には配されていない。
TFT基板3と対向基板4との間にはスペーサ46,46,…が介在するので、TFT基板3と対向基板4とのセルギャップを均一にすることができる。この結果、液晶表示装置1の表示品位を向上させることができる。
仮に、各スペーサ46,49が、膜厚の差異が大きい位置に配されている場合、スペーサ46,46,…を介してTFT基板3と対向基板4とのセルギャップに膜厚の差異の悪影響が及ぶ。即ち、セルギャップを均一にすることができない。
TFT基板3と対向基板4との間にはスペーサ46,46,…が介在するので、TFT基板3と対向基板4とのセルギャップを均一にすることができる。この結果、液晶表示装置1の表示品位を向上させることができる。
仮に、各スペーサ46,49が、膜厚の差異が大きい位置に配されている場合、スペーサ46,46,…を介してTFT基板3と対向基板4とのセルギャップに膜厚の差異の悪影響が及ぶ。即ち、セルギャップを均一にすることができない。
ここで、マスク継ぎ部のような膜厚の差異が大きい位置以外にスペーサ46を配置する為の他の手法について考察する。
仮に、マスク継ぎ部が2個の同色副画素14,14間に配されるとしても、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にスペーサ46が配されていれば、マスク継ぎ部に係る膜厚の差異がセルギャップを不均一にする虞はない。
また、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にマスク継ぎ部が配されていれば、マスク継ぎ部における膜厚の差異がセルギャップを不均一にする虞はない。
仮に、マスク継ぎ部が2個の同色副画素14,14間に配されるとしても、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にスペーサ46が配されていれば、マスク継ぎ部に係る膜厚の差異がセルギャップを不均一にする虞はない。
また、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にマスク継ぎ部が配されていれば、マスク継ぎ部における膜厚の差異がセルギャップを不均一にする虞はない。
しかしながら、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にスペーサ46又はマスク継ぎ部を配する構成は、2個の同色副画素14,14間にスペーサ46又はマスク継ぎ部を配する構成よりも不利である。何故ならば、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にはBM42の遮光部が配されていないので、スペーサ46又はマスク継ぎ部が開口47の内部に臨む位置に配されてしまい、液晶表示装置1の表示品位に悪影響が及ぶからである。
かといって、上下方向に隣り合う2個のマルチ画素13,13間にBM42の遮光部を配すれば、BM42の開口率が低下する。また、新たに設けられたBM42の遮光部の分だけ、TFT基板3と対向基板4との間に液晶23を封入する際に液晶23の流動が阻害され易くなる。流動が阻害された液晶23は、TFT基板3と対向基板4との間に十分に拡散することができないので、液晶表示装置1の表示品位に悪影響が及ぶ。
液晶表示装置1においては、マルチ画素2画素分4個の副画素14,14,…を1単位としてマスク継ぎ部を配するので、従来のようにマルチ画素1画素分2個の副画素14,14を1単位としてマスク継ぎ部を配する場合に比べると、いわゆるモザイクむらが顕著になる。
しかしながら、液晶表示装置1が例えば4k解像度であれば、液晶表示装置1におけるモザイクむらの程度は、従来のフルHD解像度の液晶表示装置におけるモザイクむらの程度と大差ない。即ち、液晶表示装置1のモザイクむらが表示品位に悪影響を及ぼす虞はない。
以上のことから、液晶表示装置1の方が従来の液晶表示装置よりも有利である。
しかしながら、液晶表示装置1が例えば4k解像度であれば、液晶表示装置1におけるモザイクむらの程度は、従来のフルHD解像度の液晶表示装置におけるモザイクむらの程度と大差ない。即ち、液晶表示装置1のモザイクむらが表示品位に悪影響を及ぼす虞はない。
以上のことから、液晶表示装置1の方が従来の液晶表示装置よりも有利である。
本実施の形態では、スペーサ46,49は1個の着色層43上に配されているが、これ限定されず、2個の着色層43,43間に配されていてもよい。この場合、スペーサ46,49を配するべき2個の着色層43,43間は、非マスク継ぎ部(例えば{M+2}行{N+1}列目のマルチ画素13に含まれている2個の同色副画素14,14間)でなければならない。
次に説明する実施の形態2~5の液晶表示装置1は、実施の形態1の液晶表示装置1と略同様の構成である。以下では、実施の形態1との差異について説明し、その他、実施の形態1に対応する部分には同一符号を付してそれらの説明を省略する。
実施の形態 2.
図17は、本発明の実施の形態2に係る液晶表示装置の製造方法に従って製造された液晶表示装置1が備える対向基板4の構成を模式的に示す正面図であり、実施の形態1の図3に対応する。
図18は、本発明の実施の形態2に係るRGB3色分の第1露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
図19は、RGB3色分の第2露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
本実施の形態では、RGB3色分の第1露光マスク及び第2露光マスクとして左側マスク部51r,51g,51b及び中央マスク部52r,52g,52bを例示する。
図17は、本発明の実施の形態2に係る液晶表示装置の製造方法に従って製造された液晶表示装置1が備える対向基板4の構成を模式的に示す正面図であり、実施の形態1の図3に対応する。
図18は、本発明の実施の形態2に係るRGB3色分の第1露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
図19は、RGB3色分の第2露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
本実施の形態では、RGB3色分の第1露光マスク及び第2露光マスクとして左側マスク部51r,51g,51b及び中央マスク部52r,52g,52bを例示する。
図18には、左側マスク部51rが有するマスクパターン511に含まれている開口パターン512,512,…が太い実線で示してある。また、中央マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…が二点鎖線で示してある。
また、図18には、左側マスク部51r,51g,51bの開口パターン512,512,…によって形成される着色層43,43,…を有する副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い実線で示してあり、これ以外の副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い破線で示してある。
また、図18には、左側マスク部51r,51g,51bの開口パターン512,512,…によって形成される着色層43,43,…を有する副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い実線で示してあり、これ以外の副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い破線で示してある。
図19には、左側マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…が太い実線で示してある。また、中央マスク部52rが有するマスクパターン521に含まれている開口パターン522,522,…が二点鎖線で示してある。
また、図19には、左側マスク部52r,52g,52bの開口パターン522,522,…によって形成される着色層43,43,…を有する副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い実線で示してあり、これ以外の副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い破線で示してある。
また、図19には、左側マスク部52r,52g,52bの開口パターン522,522,…によって形成される着色層43,43,…を有する副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い実線で示してあり、これ以外の副画素14,14,…とスペーサ46,46,…及びスペーサ49,49,…とが細い破線で示してある。
図18及び図19における各副画素14及びスペーサ46,49の配置は、図17における配置に対応している。
図18及び図19には、マスク継ぎ部が白抜き矢符で示してある。
図18及び図19には、マスク継ぎ部が白抜き矢符で示してある。
図17に示すように、本実施の形態の液晶表示装置1においては、3行毎に上下方向両端の行(即ち、{M+(3×k)}行目及び{M+(3×k+2)}行目)のマルチ画素13,13,…に対しては各3個のスペーサ46,46,…が配されているが、上下方向中央の行(即ち、{M+(3×k+1)}行目)のマルチ画素13,13,…にはスペーサ46は配されていない。ここで、k=0,1,2,…である。
図18及び図19に示すように、マスクパターン511,521には、スペーサ46に隣り合う同一色の2個の副画素14r,14rに亘る1個の着色層43rを形成すべき開口パターン512,522が含まれている。
開口パターン512,522は、上下方向に隣り合う6個のR色の副画素14r,14r,…に対応する大きさを有する。この個数は、3個のマルチ画素13,13,…に含まれているR色の副画素14r,14r,…の総数と同じである。また、この個数は、2個のマルチ画素13夫々に含まれている各2個の副画素14r,14r、及び2個のマルチ画素13夫々に含まれている各1個の副画素14rの総数と同じである。
開口パターン512,522は、上下方向に隣り合う6個のR色の副画素14r,14r,…に対応する大きさを有する。この個数は、3個のマルチ画素13,13,…に含まれているR色の副画素14r,14r,…の総数と同じである。また、この個数は、2個のマルチ画素13夫々に含まれている各2個の副画素14r,14r、及び2個のマルチ画素13夫々に含まれている各1個の副画素14rの総数と同じである。
故に、本実施の形態においても、スペーサ46に隣り合うR色の2個の副画素14r,14r間は非マスク継ぎ部である。
また、スペーサ49に隣り合うG色の2個の副画素14g,14g間、及びスペーサ49に隣り合うB色の2個の副画素14b,14b間も非マスク継ぎ部である。
また、スペーサ49に隣り合うG色の2個の副画素14g,14g間、及びスペーサ49に隣り合うB色の2個の副画素14b,14b間も非マスク継ぎ部である。
露光マスク5の設計者は、粗密部のマスクパターン511,521を設計する場合に、マルチ画素3画素分の副画素14,14,…を1単位として、1単位毎に開口パターンを設定し、設定した開口パターンを左側マスク部51及び中央マスク部52の何れに配するかを決定する。
以上のような液晶表示装置1は、実施の形態1の液晶表示装置1と同様の手順で製造される。
また、本実施の形態の液晶表示装置1が備えるスペーサ46,46,…の個数は実施の形態1の液晶表示装置1よりも多いので、セルギャップの確実な均一化を図ることができる。
以上のような液晶表示装置1は、実施の形態1の液晶表示装置1と同様の手順で製造される。
また、本実施の形態の液晶表示装置1が備えるスペーサ46,46,…の個数は実施の形態1の液晶表示装置1よりも多いので、セルギャップの確実な均一化を図ることができる。
実施の形態1,2においては、マスク継ぎ部(又は非マスク継ぎ部)は左右方向に一列に配されるので、露光マスク5の設計が容易である。
実施の形態1,2においては、夫々にスペーサ46,49,49が配されているマルチ画素13,13,…と夫々にスペーサ46,49,49が配されていないマルチ画素13,13,…とが左右方向に並設されているが、これらは上下方向に並設されていてもよい。
実施の形態1,2においては、夫々にスペーサ46,49,49が配されているマルチ画素13,13,…と夫々にスペーサ46,49,49が配されていないマルチ画素13,13,…とが左右方向に並設されているが、これらは上下方向に並設されていてもよい。
実施の形態 3.
図20は、本発明の実施の形態3に係る液晶表示装置の製造方法に従って製造された液晶表示装置1が備える対向基板4の構成を模式的に示す正面図である。
図21は、本発明の実施の形態3に係るRGB3色分の第1露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
図22は、RGB3色分の第2露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
図20~図22は、実施の形態2の図17~図19に対応する。
図20は、本発明の実施の形態3に係る液晶表示装置の製造方法に従って製造された液晶表示装置1が備える対向基板4の構成を模式的に示す正面図である。
図21は、本発明の実施の形態3に係るRGB3色分の第1露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
図22は、RGB3色分の第2露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
図20~図22は、実施の形態2の図17~図19に対応する。
図20に示すように、本実施の形態の液晶表示装置1においては、夫々にスペーサ46,49,49が配されているマルチ画素13,13,…と夫々にスペーサ46,49,49が配されていないマルチ画素13,13,…とが千鳥配置されている。
図21及び図22に示すように、マスクパターン511,521には、スペーサ46に隣り合う同一色の2個の副画素14r,14rに亘る1個の着色層43rを形成すべき開口パターン512,522が含まれている。
開口パターン512,522は、上下方向に隣り合う4個のR色の副画素14r,14r,…に対応する大きさを有する。この個数は、2個のマルチ画素13,13に含まれているR色の副画素14r,14r,…の総数と同じである。また、この個数は、1個のマルチ画素13に含まれている2個の副画素14r,14r、及び2個のマルチ画素13夫々に含まれている各1個の副画素14rの総数と同じである。
開口パターン512,522は、上下方向に隣り合う4個のR色の副画素14r,14r,…に対応する大きさを有する。この個数は、2個のマルチ画素13,13に含まれているR色の副画素14r,14r,…の総数と同じである。また、この個数は、1個のマルチ画素13に含まれている2個の副画素14r,14r、及び2個のマルチ画素13夫々に含まれている各1個の副画素14rの総数と同じである。
故に、本実施の形態においても、スペーサ46に隣り合うR色の2個の副画素14r,14r間は非マスク継ぎ部である。
また、スペーサ49に隣り合うG色の2個の副画素14g,14g間、及びスペーサ49に隣り合うB色の2個の副画素14b,14b間も非マスク継ぎ部である。
また、スペーサ49に隣り合うG色の2個の副画素14g,14g間、及びスペーサ49に隣り合うB色の2個の副画素14b,14b間も非マスク継ぎ部である。
、露光マスク5の設計者は、粗密部のマスクパターン511,521を設計する場合に、マルチ画素2画素分の副画素14,14,…を1単位として、1単位毎に開口パターンを設定し、設定した開口パターンを左側マスク部51及び中央マスク部52の何れに配するかを決定する。
以上のような液晶表示装置1は、実施の形態1の液晶表示装置1と同様の手順で製造される。
以上のような液晶表示装置1は、実施の形態1の液晶表示装置1と同様の手順で製造される。
本実施の形態の液晶表示装置1は、実施の形態1の液晶表示装置1よりも液晶表示装置1の表示品位を向上させることができる。
何故ならば、実施の形態1の液晶表示装置1においてはマスク継ぎ部が一列に配されている(即ち、表示品位に悪影響を及ぼし得る部分の配置位置が集中している)が、本実施の形態の液晶表示装置1においてはマスク継ぎ部が千鳥配置される(即ち、表示品位に悪影響を及ぼし得る部分の配置位置が分散している)からである。
何故ならば、実施の形態1の液晶表示装置1においてはマスク継ぎ部が一列に配されている(即ち、表示品位に悪影響を及ぼし得る部分の配置位置が集中している)が、本実施の形態の液晶表示装置1においてはマスク継ぎ部が千鳥配置される(即ち、表示品位に悪影響を及ぼし得る部分の配置位置が分散している)からである。
実施の形態 4.
図23は、本発明の実施の形態4に係る液晶表示装置の製造方法に従って製造された液晶表示装置1が備える対向基板4の構成を模式的に示す正面図であり、実施の形態1の図3に対応する。
図24は、本発明の実施の形態4に係るRGB3色分の第1露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図であり、実施の形態1の図9に対応する。
図25は、RGB3色分の第2露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図であり、実施の形態1の図10に対応する。
図23は、本発明の実施の形態4に係る液晶表示装置の製造方法に従って製造された液晶表示装置1が備える対向基板4の構成を模式的に示す正面図であり、実施の形態1の図3に対応する。
図24は、本発明の実施の形態4に係るRGB3色分の第1露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図であり、実施の形態1の図9に対応する。
図25は、RGB3色分の第2露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図であり、実施の形態1の図10に対応する。
図23に示すように、本実施の形態の液晶表示装置1においては、3列毎に左側から2列(即ち、{N+(3×k)}列目及び{N+(3×k)+1}列目)については、奇数行目({M+1}行目、{M+3}行目、…)のマルチ画素13,13,…夫々にスペーサ46,49,49が配されており、偶数行目(M行目、{M+2}行目、{M+4}行目、…)のマルチ画素13,13,…にはスペーサ46,49,49は配されていない。つまり、3列毎に左側から2列については実施の形態1の液晶表示装置1と同じ構成である。
一方、3列毎に右側の1列(即ち、{N+(3×k)+2}列目)のマルチ画素13,13,…にはスペーサ46,49,49は配されていない。
一方、3列毎に右側の1列(即ち、{N+(3×k)+2}列目)のマルチ画素13,13,…にはスペーサ46,49,49は配されていない。
図23及び図24に示すように、マスクパターン511,521には、開口パターン512,522と、開口パターン513,523とが含まれている。
開口パターン512,522は、夫々にスペーサ46,49,49が配されているマルチ画素13,13,…を含む{N+(3×k)}列目及び{N+(3×k)+1}列目に対して設けらえている。
開口パターン513,523は、夫々にスペーサ46,49,49が配されていないマルチ画素13,13,…のみを含む{N+(3×k)+2}列目列目に対して設けらえている。
開口パターン512,522は、夫々にスペーサ46,49,49が配されているマルチ画素13,13,…を含む{N+(3×k)}列目及び{N+(3×k)+1}列目に対して設けらえている。
開口パターン513,523は、夫々にスペーサ46,49,49が配されていないマルチ画素13,13,…のみを含む{N+(3×k)+2}列目列目に対して設けらえている。
開口パターン512,522は、上下方向に隣り合う4個のR色の副画素14r,14r,…に対応する大きさを有する。この個数は、2個のマルチ画素13,13に含まれているR色の副画素14r,14r,…の総数と同じである。また、この個数は、1個のマルチ画素13に含まれている2個の副画素14r,14r、及び2個のマルチ画素13夫々に含まれている各1個の副画素14rの総数と同じである。
故に、本実施の形態においても、スペーサ46に隣り合うR色の2個の副画素14r,14r間は非マスク継ぎ部である。
また、スペーサ49に隣り合うG色の2個の副画素14g,14g間、及びスペーサ49に隣り合うB色の2個の副画素14b,14b間も非マスク継ぎ部である。
故に、本実施の形態においても、スペーサ46に隣り合うR色の2個の副画素14r,14r間は非マスク継ぎ部である。
また、スペーサ49に隣り合うG色の2個の副画素14g,14g間、及びスペーサ49に隣り合うB色の2個の副画素14b,14b間も非マスク継ぎ部である。
開口パターン513,523は、従来の露光マスクに含まれている開口パターンと同様のサイズを有する。即ち、開口パターン513,523は、上下方向に隣り合う2個のR色の副画素14r,14rに対応する大きさを有する。この個数は、1個のマルチ画素13,13に含まれているR色の副画素14r,14rの総数と同じである。
露光マスク5の設計者は、粗密部のマスクパターン511,521を設計する場合に、{N+(3×k)}列目及び{N+(3×k)+1}列目については、実施の形態1の場合と同様に、マルチ画素2画素分の副画素14,14,…を1単位として、1単位毎に開口パターンを設定し、設定した開口パターンを左側マスク部51及び中央マスク部52の何れに配するかを決定する。
一方、{N+(3×k)+2}列目については、従来と同様に、マルチ画素1画素分の副画素14,14,…を1単位として、1単位毎に開口パターンを設定し、設定した開口パターンを左側マスク部51及び中央マスク部52の何れに配するかを決定する。
一方、{N+(3×k)+2}列目については、従来と同様に、マルチ画素1画素分の副画素14,14,…を1単位として、1単位毎に開口パターンを設定し、設定した開口パターンを左側マスク部51及び中央マスク部52の何れに配するかを決定する。
このように、スペーサ46,49,49の配置位置が非マスク継ぎ部でさえあれば、開口パターン同士の形状及びサイズは互いに異なっていてもよい。開口パターンのサイズが小さいほど表示品位の向上に寄与するので、本実施の形態の液晶表示装置1は、実施の形態1の液晶表示装置よりも表示品位が向上している。
実施の形態 5.
図26は、本発明の実施の形態5に係る液晶表示装置の製造方法に従って製造された液晶表示装置1が備える対向基板4の構成を模式的に示す正面図である。
図27は、本発明の実施の形態5に係るRGB3色分の第1露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
図28は、RGB3色分の第2露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
図26~図28は、実施の形態2の図17~図19に対応する。
図26は、本発明の実施の形態5に係る液晶表示装置の製造方法に従って製造された液晶表示装置1が備える対向基板4の構成を模式的に示す正面図である。
図27は、本発明の実施の形態5に係るRGB3色分の第1露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
図28は、RGB3色分の第2露光マスクによって形成される着色層及びスペーサを模式的に示す正面図である。
図26~図28は、実施の形態2の図17~図19に対応する。
本実施の形態の液晶表示装置1は、実施の形態1のスペーサ46,49,49に替えて、スペーサ48,48,48を備えている。
実施の形態1の場合、スペーサ46,49,49は、着色層形成工程において着色層43,43,…と同時的に形成されるので、着色層43,43,…を構成する材料と同じ材料を含んでいる。
本実施の形態の場合、各スペーサ48は、着色層形成工程において着色層43,43,…が形成された後で、スペーサ形成工程において形成される。従って、各スペーサ48は、着色層43,43,…を構成する材料と同じ材料を含んでいてもよく、着色層43,43,…を構成する材料とは全く異なる材料からなる構成でもよい。
実施の形態1の場合、スペーサ46,49,49は、着色層形成工程において着色層43,43,…と同時的に形成されるので、着色層43,43,…を構成する材料と同じ材料を含んでいる。
本実施の形態の場合、各スペーサ48は、着色層形成工程において着色層43,43,…が形成された後で、スペーサ形成工程において形成される。従って、各スペーサ48は、着色層43,43,…を構成する材料と同じ材料を含んでいてもよく、着色層43,43,…を構成する材料とは全く異なる材料からなる構成でもよい。
各スペーサ48は、実施の形態1のスペーサ46と同様の形状及び寸法を有する。スペーサ48は、2個の同色副画素14r,14r間、2個の同色副画素14g,14g間、及び2個の同色副画素14b,14b間の何れかに位置している。
液晶表示装置1においては、奇数行目({M+1}行目、{M+3}行目、…)のマルチ画素13,13,…夫々に対してはスペーサ48,48,…が3個ずつ配されているが、偶数行目(M行目、{M+2}行目、{M+4}行目、…)のマルチ画素13,13,…夫々にはスペーサ48は1個も配されていない。
露光マスク5は、着色層43,43,…に対応するマスクパターンを有しているが、スペーサ48,48,…に対応するマスクパターンは有していない。
液晶表示装置1においては、奇数行目({M+1}行目、{M+3}行目、…)のマルチ画素13,13,…夫々に対してはスペーサ48,48,…が3個ずつ配されているが、偶数行目(M行目、{M+2}行目、{M+4}行目、…)のマルチ画素13,13,…夫々にはスペーサ48は1個も配されていない。
露光マスク5は、着色層43,43,…に対応するマスクパターンを有しているが、スペーサ48,48,…に対応するマスクパターンは有していない。
図29~図31は、液晶表示装置の製造方法を説明するための断面図である。図29の上側及び下側はR色用の第1転写工程及び第2転写工程を示し、図30はR色用の除去工程を示し、図31はスペーサ形成工程を示している。図29、図30、及び図31は、実施の形態1の図13、図14、及び図16に対応する。
製造者は、遮光層形成工程、着色層形成工程、及びスペーサ形成工程をこの順に実施することによって対向基板4を製造する。本実施の形態の遮光層形成工程及び着色層形成工程は実施の形態1の遮光層形成工程及び着色層形成工程と同様である。ただし、着色層形成工程において用いられるのは、スペーサ48,48,…に対応するマスクパターンを有していない左側マスク部51及び中央マスク部52等であるので、着色層形成工程においてスペーサ48,48,…が形成されることはない。
製造者は、遮光層形成工程、着色層形成工程、及びスペーサ形成工程をこの順に実施することによって対向基板4を製造する。本実施の形態の遮光層形成工程及び着色層形成工程は実施の形態1の遮光層形成工程及び着色層形成工程と同様である。ただし、着色層形成工程において用いられるのは、スペーサ48,48,…に対応するマスクパターンを有していない左側マスク部51及び中央マスク部52等であるので、着色層形成工程においてスペーサ48,48,…が形成されることはない。
図31に示すスペーサ形成工程では、フォトリソグラフィによってスペーサ48,48,…が形成される。
なお、スペーサ48,48,…は、フォトリソグラフィ以外の手法によって形成されてもよい。また、スペーサ48,48,…は全てメインスペーサであるが、スペーサ48,48,…の一部に替えて、実施の形態1のスペーサ49,49,…が備えられていてもよい。
なお、スペーサ48,48,…は、フォトリソグラフィ以外の手法によって形成されてもよい。また、スペーサ48,48,…は全てメインスペーサであるが、スペーサ48,48,…の一部に替えて、実施の形態1のスペーサ49,49,…が備えられていてもよい。
本実施の形態1~5では、RGB3原色がストライプ状に配された対向基板4を例示しているが、これに限定されず、RGB3原色がモザイク状又はデルタ状に配された対向基板4でもよい。
また、本実施の形態1~5では、液晶パネル11がマルチ画素を備える場合を例示しているが、これに限定されず、液晶パネル11が、マルチ画素ではない通常の画素を備えていてもよい。この場合、上下方向に隣り合う2個の通常の画素間にはBM42の遮光部が配されており、スペーサは上下方向に隣り合う2個の通常の画素間に配される。各通常の画素がRGB3色分3個の副画素からなる場合、スペーサは、上側のR色(又はG色若しくはB色)の副画素と、下側のR色(又はG色若しくはB色)の副画素との間にある。
また、本実施の形態1~5では、液晶パネル11がマルチ画素を備える場合を例示しているが、これに限定されず、液晶パネル11が、マルチ画素ではない通常の画素を備えていてもよい。この場合、上下方向に隣り合う2個の通常の画素間にはBM42の遮光部が配されており、スペーサは上下方向に隣り合う2個の通常の画素間に配される。各通常の画素がRGB3色分3個の副画素からなる場合、スペーサは、上側のR色(又はG色若しくはB色)の副画素と、下側のR色(又はG色若しくはB色)の副画素との間にある。
本実施の形態1~3では、液晶表示装置1は、対向基板4がBM42、着色層43,43,…、及びスペーサ46,46,…を備えているが、これに限定されず、BM42、着色層43,43,…、及びスペーサ46,46,…に相当するBM、着色層、及びスペーサをTFT基板3が備えている構成でもよい。
本実施の形態1~3では、1個のマルチ画素13に対して3個のスペーサ46,46,…が配されているが、これに限定されず、1個のマルチ画素13に対して2個以下又は4個以下のスペーサ46,46,…が配されている構成でもよい。
本実施の形態1~3では、1個のマルチ画素13に対して3個のスペーサ46,46,…が配されているが、これに限定されず、1個のマルチ画素13に対して2個以下又は4個以下のスペーサ46,46,…が配されている構成でもよい。
BM、着色層、及びスペーサは、全てがTFT基板3及び対向基板4の何れか一方に設けられる構成に限定されるものではない。
例えば、TFT基板3(又は対向基板4)にBMが設けられており、対向基板4(又はTFT基板3)にスペーサ及び着色層が設けられていてもよい。この場合、着色層はBMに設けられた開口を閉塞することができないので、開口に臨んで配される。
例えば、TFT基板3(又は対向基板4)にBMが設けられており、対向基板4(又はTFT基板3)にスペーサ及び着色層が設けられていてもよい。この場合、着色層はBMに設けられた開口を閉塞することができないので、開口に臨んで配される。
或いは、TFT基板3(又は対向基板4)にBM及び着色層が設けられており、対向基板4(又はTFT基板3)にスペーサが設けられていてもよい。
さもなくば、TFT基板3(又は対向基板4)にBM及びスペーサが設けられており、対向基板4(又はTFT基板3)に着色層が設けられていてもよい。この場合も、着色層はBMに設けられた開口を閉塞することができないので、開口に臨んで配される。
さもなくば、TFT基板3(又は対向基板4)にBM及びスペーサが設けられており、対向基板4(又はTFT基板3)に着色層が設けられていてもよい。この場合も、着色層はBMに設けられた開口を閉塞することができないので、開口に臨んで配される。
本発明の実施の形態に係る液晶表示装置は、BMの開口に1個の副画素が対応する構成でもよく、BMの開口にJ(Jは複数)個の副画素が対応する構成でもよい。
BMの開口にJ個の副画素が対応する場合、BMの開口は、BMの遮光部以外の遮光性部材(例えば遮光性を有する配線部)によって分割されていてもよい。この遮光性部材は、BMが含まれている板状部材に配されていてもよく、BMが含まれていない板状部材に配されていてもよい。
BMの開口にJ個の副画素が対応する場合、BMの開口は、BMの遮光部以外の遮光性部材(例えば遮光性を有する配線部)によって分割されていてもよい。この遮光性部材は、BMが含まれている板状部材に配されていてもよく、BMが含まれていない板状部材に配されていてもよい。
BMの開口が遮光性部材によって分割されている場合、開口の分割された一部分に、J個の副画素の内のL(LはL<Jの自然数)個の副画素が対応する。スペーサは、BMの遮光部に遮光される位置に配されていてもよく、遮光性部材に遮光される位置に配されていてもよく、遮光されない位置に配されていてもよい。
BMの開口が遮光性部材によって分割されている場合、分割された一部分毎に異なる色の着色層が対応していてもよい。
BMの開口が遮光性部材によって分割されている場合、分割された一部分毎に異なる色の着色層が対応していてもよい。
今回開示された実施の形態は、全ての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述した意味ではなく、請求の範囲と均等の意味及び請求の範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。
また、本発明の効果がある限りにおいて、液晶表示装置又は対向基板に、実施の形態1~5に開示されていない構成要素が含まれていてもよい。
各実施の形態に開示されている構成要件(技術的特徴)はお互いに組み合わせ可能であり、組み合わせによって新しい技術的特徴を形成することができる。
また、本発明の効果がある限りにおいて、液晶表示装置又は対向基板に、実施の形態1~5に開示されていない構成要素が含まれていてもよい。
各実施の形態に開示されている構成要件(技術的特徴)はお互いに組み合わせ可能であり、組み合わせによって新しい技術的特徴を形成することができる。
1 液晶表示装置
13 マルチ画素(画素)
14 副画素
23 液晶
3 TFT基板(板状部材)
4 対向基板(板状部材)
40 着色材料層
41 透光基板
42 BM(遮光層)
43 着色層
46,48 スペーサ
47 開口
51 左側マスク部(第1露光マスク)
52 中央マスク部(第2露光マスク,第1露光マスク)
53 右側マスク部(第2露光マスク)
13 マルチ画素(画素)
14 副画素
23 液晶
3 TFT基板(板状部材)
4 対向基板(板状部材)
40 着色材料層
41 透光基板
42 BM(遮光層)
43 着色層
46,48 スペーサ
47 開口
51 左側マスク部(第1露光マスク)
52 中央マスク部(第2露光マスク,第1露光マスク)
53 右側マスク部(第2露光マスク)
Claims (3)
- 液晶を介在して対面する2枚の板状部材と、
該2枚の板状部材間のスペーサと、
前記2枚の板状部材の一方又は他方に含まれ、複数個の開口が並設されている遮光層と、
前記2枚の板状部材の一方又は他方に含まれ、前記開口を閉塞するか、又は前記開口に臨んで配置される着色層と
を備え、
前記開口及び着色層を有する副画素を複数個含む画素が複数個設けられており、
複数個の副画素は、一方向に隣り合う副画素と同一色を有し、
前記スペーサは、前記一方向に隣り合う同一色の2個の副画素の間に配置してある
液晶表示装置を製造する方法において、
前記着色層を形成する着色層形成工程では、
一の色の着色材料層を形成する材料層形成工程と、
複数個の一部の開口を閉塞するか、又は該開口に臨むべき一の色の着色層に対応するマスクパターンを有する第1露光マスクを用いたフォトリソグラフィにより、前記着色材料層の第1範囲に前記マスクパターンを転写する第1転写工程と、
複数個の他部の開口を閉塞するか、又は該開口に臨むべき一の色の着色層に対応するマスクパターンを有する第2露光マスクを用いたフォトリソグラフィにより、前記着色材料層の前記第1範囲に部分的に重なって隣接する第2範囲に前記マスクパターンを転写する第2転写工程と、
前記第1転写工程及び第2転写工程の終了後、前記着色材料層の非露光領域を除去する除去工程と
を、複数色分繰り返し、
前記第1露光マスク及び第2露光マスクの少なくとも一方が有するマスクパターンには、前記スペーサに隣り合う前記同一色の2個の副画素が有する着色層を形成すべき開口パターンが含まれており、
該開口パターンは、前記一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素に対応する大きさを有し、
前記一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素の個数は、複数個の前記画素に含まれている同一色の副画素の総数と同じであることを特徴とする液晶表示装置の製造方法。 - 前記画素は、同一色の副画素が2個ずつ含まれているマルチ画素であり、
前記一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素は、少なくとも1個のマルチ画素に含まれている2個の副画素、及び2個のマルチ画素夫々に含まれている各1個の副画素であることを特徴とする請求項1に記載の液晶表示装置の製造方法。 - 液晶を介在して対面する2枚の板状部材と、
該2枚の板状部材の一方又は他方に含まれ、複数個の開口が並設されている遮光層と、
前記2枚の板状部材の一方又は他方に含まれ、前記開口を閉塞するか、又は前記開口に臨んで配置される着色層と
を備え、
前記開口及び着色層を有する副画素を複数個含む画素が複数個設けられており、
複数個の副画素は、一方向に隣り合う副画素と同一色を有する
液晶表示装置を製造する場合に用いられ、一の色の前記着色層をフォトリソグラフィによって形成するためのマスクパターンを有する露光マスクにおいて、
前記マスクパターンには、前記一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素に対応する大きさを有する開口パターンが含まれており、
前記一方向に隣り合う複数個の同一色の副画素の個数は、複数個の前記画素に含まれている同一色の副画素の総数と同じであることを特徴とする露光マスク。
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