WO2016189740A1

WO2016189740A1 - ロボットシステム、教示治具及び教示方法

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Publication number: WO2016189740A1
Application number: PCT/JP2015/065439
Authority: WO
Inventors: 昌稔古市
Original assignee: Yaskawa Electric Corp
Current assignee: Yaskawa Electric Corp
Priority date: 2015-05-28
Filing date: 2015-05-28
Publication date: 2016-12-01
Anticipated expiration: 2017-11-28

Abstract

ロボットシステム１は、軸線（Ａｘ３）まわりに回転可能なハンド（２０），（３０）を有するロボット（１０）と、ロボット（１０）を制御するためのコントローラ（１００）と、を備える。コントローラ（１００）は、ハンド（３０）を移動させるようにロボット（１０）を制御する際に、ハンド（３０）から軸線（Ａｘ３）までの距離及びハンド（２０）から軸線（Ａｘ３）までの距離の相対差を示す第一相対値を用いるように構成されている。

Description

ロボットシステム、教示治具及び教示方法

　本開示は、ロボットシステム、教示治具及び教示方法に関する。

　特許文献１には、複数のアームを備え、その各々によって半導体ウェハ等の基板を搬送する搬送ロボットに対して教示作業を行うシステムが開示されている。

特開２００２－３１３８７２号公報

　本開示は、効率よく教示作業を行うことができるロボットシステム、教示治具及び教示方法を提供することを目的とする。

　本開示に係るロボットシステムは、第一軸線まわりに回転可能な第一ハンド及び第二ハンドを有するロボットと、ロボットを制御するためのコントローラと、を備え、コントローラは、第二ハンドを移動させるようにロボットを制御する際に、第一ハンドから第一軸線までの距離及び第二ハンドから第一軸線までの距離の相対差を示す第一相対値を用いるように構成されている。

　本開示に係る教示方法は、第一軸線まわりに回転可能な第一ハンド及び第二ハンドを有するロボットのいずれか一方のハンドに着脱自在に取り付けられる第一検出機構と、他方のハンドに着脱自在に取り付けられる第二検出機構とを備え、第一検出機構は、第一検出対象と、第一検出対象から第一軸線までの距離を変更可能とする可変機構とを有し、第二検出機構は、第一検出対象から第一軸線までの距離の変化に応じて第一検出対象を検出する第一センサを含む少なくとも一つのセンサを有する。

　本開示に係る教示方法は、第一軸線まわりに回転可能な第一ハンド及び第二ハンドを有するロボットと、ロボットを制御するためのコントローラとを備えるロボットシステムを用い、第一ハンドから第一軸線までの距離及び第二ハンドから第一軸線までの距離の相対差を示す第一相対値をコントローラに取得させること、を含む。

　本開示によれば、効率よく教示作業を行うことができる。

ロボットシステムの全体構成を示す模式図である。第一相対値に基づく目標値の設定例を示す平面図である。第二相対値に基づく目標値の設定例を示す平面図である。コントローラのハードウェア構成図である。第一検出機構及び第二検出機構の斜視図である。第一検出機構の斜視図である。第一検出機構の平面図である。第一検出機構及び第二検出機構が重なった状態を示す斜視図である。第三検出機構の斜視図である。第一検出機構及び第三検出機構が重なった状態を示す斜視図である。第一相対値及び第二相対値の記録手順を示すフローチャートである。第二相対値の検出中における第一検出機構及び第二検出機構を示す平面図である。第一相対値の検出中における第一検出機構及び第二検出機構を示す平面図である。教示値の記録手順を示すフローチャートである。第三検出機構の配置例を示す斜視図である。教示値の検出中における第二検出機構及び第三検出機構を示す平面図である。教示値の検出中における第二検出機構及び第三検出機構を示す平面図である。

　以下、実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。

〔ロボットシステム〕
　本実施形態に係るロボットシステム１は、ワークＷに対する作業を自動実行するものである。作業内容及びワークＷの種類に特に制限はないが、一例として、以下では作業内容がワークＷの搬送であり、ワークＷが円形の基板（例えば半導体ウェハ）であるものとする。円形とは、周縁の一部に切欠き（例えば、ノッチ又はオリエンテーションフラット）、出っ張り等が形成されたものも含み、周縁の大半が同一の円周をなしていれば円形であるものとする。

　図１に示すように、ロボットシステム１は、ロボット１０と、ロボット１０を制御するためのコントローラ１００とを備える。

（ロボット）
　ロボット１０は、第一軸線まわりに回転可能な複数のハンドを有する。一例として、ロボット１０は、基台１１と、昇降部１２と、第一アーム１３と、第二アーム１４と、ハンド２０，３０とを有する。

　基台１１は、ロボット１０の配置領域の床面に固定される。昇降部１２は、基台１１から鉛直上方に突出しており、鉛直な軸線Ａｘ１に沿って昇降可能である。第一アーム１３は、昇降部１２の上端部に接続されている。第一アーム１３は、昇降部１２の上端部から水平方向に延びており、軸線Ａｘ１まわりに揺動可能である。第二アーム１４は、第一アーム１３の先端部に接続されている。第二アーム１４は、第一アーム１３の先端部から水平方向に延びており、軸線Ａｘ１に平行な軸線Ａｘ２まわりに揺動可能である。

　ハンド２０，３０は、第二アーム１４の先端部に接続されている。ハンド２０，３０は、それぞれ第二アーム１４の先端部から水平方向に張り出しており、軸線Ａｘ２に平行な軸線Ａｘ３（上記「第一軸線」に相当）まわりに回転可能である。ハンド３０はハンド２０の下に設けられていてもよいし、ハンド２０の上に設けられていてもよい。

　ロボット１０は、軸線Ａｘ１に沿って昇降部１２を昇降させるアクチュエータ、軸線Ａｘ１まわりに第一アーム１３を搖動させるアクチュエータ、軸線Ａｘ２まわりに第二アーム１４を搖動させるアクチュエータ、軸線Ａｘ３まわりにハンド２０を回転させるアクチュエータ、及び軸線Ａｘ３まわりにハンド３０を回転させるアクチュエータを有するが、これらのアクチュエータの図示は省略する。アクチュエータとしては、例えば電動モータを動力源とする電動式のアクチュエータが挙げられる。

　ハンド２０，３０は、それぞれワークＷを保持する。昇降部１２、第一アーム１３及び第二アーム１４は、ハンド２０，３０に保持されたワークＷを搬送する。ロボット１０の構成はここに例示したものに限られず、共通な一軸線（上記「第一軸線」に相当）まわりに回転可能な複数のハンドを有するものであればどのようなものであってもよい。例えばロボット１０は、共通な一軸線まわりに回転可能な三つ以上のハンドを有してもよい。

（ハンド）
　続いて、ハンド２０，３０の構成について更に詳細に説明する。ハンド２０は、基部２１と、指部２２，２３と、爪部２２ａ，２３ａと、可動爪部２４とを有する。基部２１は水平な板状部分であり、第二アーム１４の先端部に接続され、水平方向に張り出している。指部２２，２３は、基部２１から二股に分かれて更に張り出している。以下、指部２２，２３の中間部を通り、軸線Ａｘ３に直交する軸線をハンド２０の中心軸線ＣＬ１とする。爪部２２ａ，２３ａは、指部２２，２３の先端部にそれぞれ設けられ、指部２２，２３から上方に突出している。可動爪部２４は、中心軸線ＣＬ１に沿って往復可能となるように基部２１上に設けられ、爪部２２ａ，２３ａに対向している。

　ハンド２０は、中心軸線ＣＬ１に沿って可動爪部２４を往復させるアクチュエータを更に有するが、このアクチュエータの図示は省略する。アクチュエータとしては、例えば電動モータを動力源とする電動式のアクチュエータ、流体圧を動力源とする圧力駆動式のアクチュエータ等が挙げられる。

　基部２１及び指部２２，２３は、ワークＷを支持する。爪部２２ａ，２３ａ及び可動爪部２４はワークＷの周縁を取り囲む。可動爪部２４はワークＷを爪部２２ａ，２３ａ側に押し付ける。これによりワークＷが保持される（図２参照）。

　ハンド３０も、ハンド２０と同様に、基部３１と、指部３２，３３と、爪部３２ａ，３３ａと、可動爪部３４とを有する。以下、指部３２，３３の中間部を通り、軸線Ａｘ３に直交する軸線をハンド３０の中心軸線ＣＬ２とする。可動爪部３４は、中心軸線ＣＬ２に沿って往復する。

　ハンド２０，３０の構成は、ここに例示したものに限られない。ハンド２０，３０は、ワークＷを保持可能であればどのように構成されてもよい。例えばハンド２０，３０は、爪部によりワークＷを把持する代わりに、ワークＷを吸着して保持するように構成されていてもよい。

（コントローラ）
　コントローラ１００は、ハンド２０，３０によりワークＷを保持し、ワークＷを保持したハンド２０，３０を移動させることでワークＷを搬送するようにロボット１０を制御する。コントローラ１００は、複数のハンドのいずれか一つを第一ハンドとして制御し、他のハンドを第二ハンドとして制御する。いずれのハンドを第一ハンドとするかに制限はないが、以下では、ハンド２０が第一ハンドとして制御され、ハンド３０が第二ハンドとして制御されるものとして説明する。

　コントローラ１００は、ハンド３０を移動させるようにロボット１０を制御する際に、ハンド２０から軸線Ａｘ３までの距離及びハンド３０から軸線Ａｘ３までの距離の相対差を示す第一相対値を用いるように構成されている。ハンド２０から軸線Ａｘ３までの距離は、例えば中心軸線ＣＬ１に沿う方向における距離であり、ハンド２０の所定部位から軸線Ａｘ３までの距離である。ハンド３０から軸線Ａｘ３までの距離は、例えば中心軸線ＣＬ２に沿う方向における距離であり、ハンド３０の所定部位から軸線Ａｘ３までの距離である。上記「所定部位」は、ハンド２０とハンド３０とで同一であれば、ハンド２０，３０のどの部位であってもよい。「所定部位」の具体例としては、爪部２２ａ，２３ａの中間位置ＣＰ１及び爪部３２ａ，３３ａの中間位置ＣＰ２が挙げられる。第一相対値は、ハンド２０，３０の構成部材の加工誤差及び組み付け誤差等によって生じる。

　コントローラ１００は、ハンド３０を移動させるようにロボット１０を制御する際に、軸線Ａｘ３まわりのハンド２０の角度及び軸線Ａｘ３まわりのハンド３０の角度の相対差を示す第二相対値を更に用いるように構成されていてもよい。軸線Ａｘ３まわりのハンド２０，３０の角度は、例えば、基準線に対する中心軸線ＣＬ１，ＣＬ２の回転角度である。基準線は任意に設定可能である。例えば第二アーム１４に対して１８０°をなす線を基準線としてもよい。軸線Ａｘ３まわりのハンド２０の角度及び軸線Ａｘ３まわりのハンド３０の角度の相対差とは、軸線Ａｘ３まわりのハンド２０の角度と軸線Ａｘ３まわりのハンド３０の角度とを同一の角度目標値に一致させた状態において、ハンド２０，３０がなす角度（例えば中心軸線ＣＬ１，ＣＬ２がなす角度）である。第二相対値は、ハンド２０及びハンド３０の構成部材の加工誤差及び組み付け誤差等によって生じる。

　コントローラ１００は、ハンド３０を移動させるようにロボット１０を制御する際に、ハンド２０の位置決め誤差を補正するための教示値を更に用いるように構成されていてもよい。

　コントローラ１００は、上記第一相対値、上記第二相対値及び上記教示値を取得するように構成されていてもよい。

　ロボットシステム１は、コントローラ１００のユーザインタフェースとしてコンソール２００を更に備えてもよい。コンソール２００は、コントローラ１００に接続されており、ユーザからコントローラ１００への入力情報を取得し、コントローラ１００からユーザへの出力情報を表示する。コンソール２００の具体例としては、キーボード、マウス及びモニタが挙げられる。コンソール２００は表示部と入力部とが一体化した所謂ティーチングペンダントであってもよいし、タッチパネルディスプレイであってもよい。

　以下、コントローラ１００の具体的な構成例について説明する。コントローラ１００は、機能モジュールとして、相対値記録部１１１と、教示値記録部１１２と、制御部１１３とを有する。

　相対値記録部１１１は、上記第一相対値及び第二相対値を記録する。相対値記録部１１１は、記録するための第一相対値及び第二相対値を取得するように構成されていてもよい。例えば相対値記録部１１１は、コンソール２００から第一相対値及び第二相対値を取得するように構成されていてもよいし、教示手順の説明にて後述するように、制御部１１３から第二相対値を取得するように構成されていてもよい。

　教示値記録部１１２は、上記教示値を記録する。教示値記録部１１２は、記録するための教示値を取得するように構成されていてもよい。例えば教示値記録部１１２は、コンソール２００から教示値を取得するように構成されていてもよいし、教示手順の説明にて後述するように、制御部１１３から教示値を取得するように構成されていてもよい。

　制御部１１３は、教示値記録部１１２に記録された教示値を用いてハンド２０を移動させるようにロボット１０を制御する。例えば、制御部１１３は、上記教示値に基づいて、ワークＷを搬送するためのハンド２０の移動経路を算出する。次に、制御部１１３は、算出した移動経路に沿ってハンド２０を移動させるための各可動部の動作目標値を算出する。次に、制御部１１３は、各可動部を動作目標値に従って動作させるようにロボット１０を制御する。

　制御部１１３は、教示値記録部１１２に記録された教示値と、相対値記録部１１１に記録された第一相対値及び第二相対値とを用いてハンド３０を移動させるようにロボット１０を制御する。例えば、制御部１１３は、上記教示値に基づいて、ワークＷを搬送するためのハンド３０の移動経路を算出する。次に、制御部１１３は、算出した移動経路に沿ってハンド３０を移動させるための各可動部の動作目標値を設定する。この際に、制御部１１３は上記第一相対値及び第二相対値を用いる。

　図２及び図３を参照し、第一相対値及び第二相対値の利用例を説明する。図２に示すように、例えば制御部１１３は、ハンド２０から軸線Ａｘ３までの距離Ｄ１に第一相対値Ｄｒを加算して距離Ｄ２を算出する。その後、制御部１１３は、距離Ｄ１を距離Ｄ２に置き換えた上で、ハンド２０を移動させる場合と同様の演算を行って各可動部の動作目標値を算出する。その後、制御部１１３は、図３に示すように、軸線Ａｘ３まわりのハンド３０の角度目標値（ハンド３０の動作目標値）θ１から第二相対値θｒを減算して角度目標値θ２を算出する。次に、制御部１１３は、角度目標値θ１を角度目標値θ２に置き換えた上で、各可動部を動作目標値に従って動作させるようにロボット１０を制御する。

　なお、距離Ｄ１に第一相対値Ｄｒを加算するのは、第一相対値Ｄｒがハンド２０側を基準としている場合である。第一相対値Ｄｒがハンド３０側を基準としている場合、距離Ｄ２は、距離Ｄ１から第一相対値Ｄｒを減算することで算出される。角度目標値θ２から第二相対値θｒを減算するのは、第二相対値θｒがハンド２０側を基準としている場合である。第二相対値θｒがハンド３０側を基準としている場合、角度目標値θ２は、角度目標値θ１に第二相対値θｒを加算することで算出される。また、「加算」及び「減算」は、一方側を正方向とし、各値に正負の符号が付いている場合の「加算」及び「減算」であり、絶対値における「加算」及び「減算」とは異なる場合がある。例えば、角度目標値θ２の演算を絶対値で表すと、角度目標値θ１と第二相対値θｒの方向が逆向きである場合には、角度目標値θ２は角度目標値θ１に第二相対値θｒを加算した値となる（図３参照）。

　コントローラ１００のハードウェアは、例えば一つ又は複数の制御用のコンピュータにより構成される。コントローラ１００は、ハードウェア上の構成として、例えば図４に示す回路１２０を有する。回路１２０は、プロセッサ１２１と、メモリ１２２と、ストレージ１２３と、入出力ポート１２４と、ドライバ１２５とを有する。ドライバ１２５は、ロボット１０の各種アクチュエータを駆動するための回路である。入出力ポート１２４は、外部信号の入出力を行うのに加え、ドライバ１２５に対する信号の入出力も行う。プロセッサ１２１は、メモリ１２２及びストレージ１２３の少なくとも一方と協働してプログラムを実行し、入出力ポート１２４を介した信号の入出力を実行することで、上述した機能モジュールを構成する。

　なお、コントローラ１００のハードウェア上の構成は、必ずしもプログラムの実行により機能モジュールを構成するものに限られない。例えばコントローラ１００は、専用の論理回路により、又はこれを集積したＡＳＩＣ（Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ　Ｓｐｅｃｉｆｉｃ　Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ　Ｃｉｒｃｕｉｔ）によりこれらの機能モジュールを構成するものであってもよい。

（教示治具）
　ロボットシステム１は、教示治具の一例として、第一相対値を検出するための第一検出機構及び第二検出機構を更に備えてもよい。以下、図５～図８を参照し、第一検出機構４０及び第二検出機構５０について詳細に説明する。図５に示すように、第一検出機構４０は、上記第一ハンド及び上記第二ハンドのいずれか一方のハンドに設けられ、第二検出機構５０は他方のハンドに設けられる。第一検出機構４０は上記一方のハンドに対して着脱自在に設けられてもよく、第二検出機構５０は上記他方のハンドに対して着脱自在に設けられてもよい。一例として、以下では、第二ハンドとして制御されるハンド３０に第一検出機構４０が着脱自在に設けられ、第一ハンドとして制御されるハンド２０に第二検出機構５０が着脱自在に設けられるものとする。

　第一検出機構４０は、第一検出対象と、第一検出対象から軸線Ａｘ３までの距離を変更可能とする可変機構とを有する。第一検出対象から軸線Ａｘ３までの距離は、例えば中心軸線ＣＬ２に沿う方向における距離である。第一検出機構４０は、第二検出対象を更に有してもよい。

　図５及び図６に示すように、第一検出機構４０は、例えば支持板４１と、第一凸部４２と、可変機構ＶＳ１と、第二凸部４３と、目盛板４４と、位置決め凸部４６とを有する。支持板４１は、例えばワークＷと同径の円板であり、ワークＷを保持するのと同様にハンド３０により保持可能である。例えば支持板４１は、基部３１及び指部３２，３３により支持され、爪部３２ａ，３３ａ及び可動爪部３４により保持される。支持板４１をハンド３０に保持・解放させることにより、第一検出機構４０がハンド３０に対して着脱される。以下、第一検出機構４０の説明における「上下」は、ハンド３０に装着された状態での上下を意味する。

　第一凸部４２は支持板４１の上面に設けられており、支持板４１に対して垂直な円柱状の外周面４２ａを有する。第一凸部４２は、支持板４１の中心に対して爪部２２ａ，２３ａ寄りに位置している。外周面４２ａは上記第一検出対象として機能する。

　可変機構ＶＳ１は、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離を変更可能とする。可変機構ＶＳ１は、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離の変化が、軸線Ａｘ３まわりの外周面４２ａの移動を伴うように、外周面４２ａを拘束してもよい。例えば可変機構ＶＳ１は、軸線Ａｘ３に平行な軸線Ａｘ４（第二軸線）まわりに回転自在となるように第一凸部４２を保持し、軸線Ａｘ４は外周面４２ａの中心軸線ＣＬ３に対して偏心していてもよい（図７参照）。この場合、軸線Ａｘ４まわりに第一凸部４２を回転させると、軸線Ａｘ３まわりの外周面４２ａの移動を伴いながら、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離が変化する。

　なお、外周面４２ａの拘束構造はここに例示するものに限られない。例えば、平面視における外周面４２ａの形状を楕円形にし、軸線Ａｘ４を外周面４２ａの中心軸線ＣＬ３に一致させてもよい。この場合、軸線Ａｘ４と中心軸線ＣＬ３とが一致していても、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離の変化が軸線Ａｘ３まわりの外周面４２ａの移動を伴う。また、可変機構ＶＳ１は、軸線Ａｘ４まわりに回転自在となるように第一凸部４２を保持するのに代えて、平面視で中心軸線ＣＬ１に傾斜する線に沿って第一凸部４２を案内するように構成されていてもよい。この場合も、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離の変化が軸線Ａｘ３まわりの外周面４２ａの移動を伴う。

　目盛板４４は、軸線Ａｘ４を中心とする円板であり、第一凸部４２の下部に一体化されている。すなわち目盛板４４は、第一凸部４２と共に回転する。図７に示すように、目盛板４４の上面及び支持板４１の上面には、第一凸部４２の回転角度を視認可能とする目盛４５が設けられる。第一凸部４２の回転角度を示す数値を目盛４５に添えて表示してもよい。また、後述するように、第一凸部４２の回転角度は第一相対値に相関するので、第一凸部４２の回転角度を示す数値に代えて、回転角度に対応する第一相対値を示す数値を表示してもよい。

　図５及び図６に示すように、第二凸部４３は、支持板４１の上面に設けられており、支持板４１に対して垂直な円柱状の外周面４３ａを有する。第二凸部４３は、支持板４１の中心に位置している。外周面４３ａは、上記第二検出対象として機能する。

　位置決め凸部４６は、支持板４１の下面に設けられている。位置決め凸部４６は、第一凸部４２が適切に配置されると指部３２，３３のいずれか一方の指部に接するように配置されている。このため、上記一方の指部に位置決め凸部４６が接するように支持板４１を配置することにより、第一凸部４２を正確に配置することが可能となる。

　第二検出機構５０は、第一検出対象から軸線Ａｘ３までの距離の変化に応じて第一検出対象を検出する第一センサを含む少なくとも一つのセンサを有する。上記少なくとも一つのセンサは、ハンド２０，３０の軸線Ａｘ３まわりの相対角度の変化に応じて第二検出対象を検出する第二センサを更に含んでもよい。

　一例として、第二検出機構５０は、第一センサ５１と、第二センサ５２と、支持板５３とを有する。支持板５３は、基部５４と、二股に分かれて基部５４から張り出す指部５５，５６とを有する。基部５４の外周において、指部５５，５６の逆側には、ワークＷと同径の円周部５４ａが形成されている。指部５５，５６の先端には、円周部５４ａと同心で同径の円周部５５ａ，５６ａがそれぞれ形成されている。指部５５，５６が並ぶ方向における支持板５３の幅は、指部２２，２３が並ぶ方向におけるハンド２０の幅と同等であってもよい。支持板５３の幅とハンド２０の幅とが同等であれば、ハンド２０に対する支持板５３の位置合わせが容易となる。指部５６の中間部には、指部５５側に張り出した張出部５７が形成されている。支持板５３は、円周部５５ａ，５６ａが爪部２２ａ，２３ａにそれぞれ対向し、円周部５４ａが可動爪部２４に対向するように、基部２１及び指部２２，２３上に配置される。この状態で、可動爪部２４により支持板５３を爪部２２ａ，２３ａ側に押し付けることにより、支持板５３が保持される。支持板５３をハンド２０に保持・解放させることにより、第二検出機構５０がハンド２０に対して着脱される。以下、第二検出機構５０の説明における「上下」は、ハンド２０に装着された状態での上下を意味する。

　第一センサ５１は、例えば透過型の光センサであり、投光部から受光部に出射した光の受光状況に応じて、投光部及び受光部の間の物体を検出する。具体例として、第一センサ５１は、投光部５１ａと、受光部５１ｂと、アンプ５１ｃとを有する。投光部５１ａ及び受光部５１ｂは、指部５５，５６の先端部にそれぞれ設けられ、互いに対向している。投光部５１ａは、受光部５１ｂ側に光を出射する。アンプ５１ｃは基部５４上に設けられており、光ファイバ（不図示）を介して投光部５１ａ及び受光部５１ｂに接続される。アンプ５１ｃは、出射用の光を光ファイバ経由で投光部５１ａに送り、受光部５１ｂに入射した光を光ファイバ経由で受光する。

　第二センサ５２は、例えば透過型の光センサであり、投光部から受光部に出射した光の受光状況に応じて、投光部及び受光部の間の物体を検出する。具体例として、第二センサ５２は、投光部５２ａと、受光部５２ｂと、アンプ５２ｃとを有する。投光部５２ａ及び受光部５２ｂは、張出部５７の先端部及び基部５４にそれぞれ設けられ、互いに対向している。投光部５２ａは、受光部５２ｂ側に光を出射する。アンプ５２ｃは基部５４上に設けられており、光ファイバ（不図示）を介して投光部５２ａ及び受光部５２ｂに接続される。アンプ５２ｃは、出射用の光を光ファイバ経由で投光部５２ａに送り、受光部５２ｂに入射した光を光ファイバ経由で受光する。

　図４に示すように、第一センサ５１及び第二センサ５２は、コントローラ１００に接続されていてもよい。図５に示すように、コントローラ１００の制御部１１３は、第一センサ５１及び第二センサ５２から出力される検出結果を取得するように構成されていてもよい。

　第一センサ５１及び第二センサ５２は、透過型の光センサに限られない。第一センサ５１及び第二センサ５２は、第一検出対象及び第二検出対象をそれぞれ検出可能であればどのようなセンサであってもよい。例えば第一センサ５１及び第二センサ５２は、反射型の光センサであってもよいし、ダイヤルゲージのように接触型のセンサであってもよい。

　図８に示すように、第一検出機構４０及び第二検出機構５０は、ハンド２０及びハンド３０が重なった状態で用いられる。第一センサ５１は、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離の変化に応じて外周面４２ａを検出する。例えば、軸線Ａｘ３から遠ざかって投光部５１ａ及び受光部５１ｂの間に進入した外周面４２ａにより、投光部５１ａから受光部５１ｂへの入射光が所定の割合で遮られると、第一センサ５１が外周面４２ａを検出する。所定の割合は適宜設定可能であり、例えば５０％である。

　第二センサ５２は、ハンド２０，３０の軸線Ａｘ３まわりの相対角度の変化に応じて外周面４３ａを検出する。具体的に、第二センサ５２は、上記相対角度の変化に応じて外周面４３ａが投光部５２ａ及び受光部５２ｂの間に進入するのに応じて、外周面４３ａを検出する。例えば第二センサ５２は、投光部５２ａ及び受光部５２ｂの間に進入した外周面４３ａにより、受光部５２ｂへの入射光が所定の割合で遮られるのに応じて外周面４３ａを検出する。所定の割合は適宜設定可能であり、例えば５０％である。

　ロボットシステム１は、教示治具の一例として、上記教示値記録部１１２（図１参照）に教示値を取得させるための第三検出機構を更に備えてもよい。以下、図９を参照し、第三検出機構６０について詳細に説明する。第三検出機構６０は、ハンド２０を移動させるべき場所に配置される。例えば、第三検出機構６０は、ハンド２０による保持対象のワークＷが配置される場所に配置される。第三検出機構６０は、第三検出対象及び第四検出対象を有する。

　一例として、第三検出機構６０は、第三凸部６１と、第四凸部６２と、支持板６３とを有する。支持板６３は、ワークＷが配置される箇所に配置可能な大きさの板である。以下、第三検出機構６０の説明における「上下」は、ワークＷが配置される箇所に支持板６３が配置された状態での上下を意味する。

　第三凸部６１は、支持板６３の上面に設けられており、支持板６３に対して垂直な円柱状の外周面６１ａを有する。第四凸部６２は、第三凸部６１と異なる位置において支持板６３の上面に設けられている。第四凸部６２の周面のうち、第三凸部６１の逆側に面する部分には、外周面６１ａと同心の円周面６２ａが形成されている。第四凸部６２は、第二検出機構５０に合わせて配置されている。例えば第四凸部６２は、第三凸部６１及び第四凸部６２を指部５５，５６の間に配置し、円周部５４ａ，５５ａ，５６ａの中心と、外周面６１ａの中心とを一致させた場合に、円周面６２ａが第一センサ５１により検出されるように配置されている。支持板６３は、例えば円形であってもよいし、多角形であってもよい。支持板６３と外周面６１ａとが同心であってもよい。

　図１０に示すように、第三検出機構６０は、第二検出機構５０をハンド２０に装着した状態で用いられる。外周面６１ａは第三検出対象として機能し、第二センサ５２による検出対象となる。円周面６２ａは第四検出対象として機能し、第一センサ５１による検出対象となる。

〔教示手順〕
　続いて、教示方法の一例として、ロボットシステム１に対する教示手順について説明する。

（相対値記録手順）
　ロボットシステム１に対する教示手順は、第一相対値をコントローラ１００に取得させること、を含む。この教示手順は、第二相対値をコントローラ１００に取得させることを更に含んでもよい。以下、第一相対値及び第二相対値の両方をコントローラ１００に取得させる手順について詳細に説明する。

　図１１に示すように、本手順は、ステップＳ０１～ステップＳ０６を含む。ステップＳ０１では、オペレータが、軸線Ａｘ３まわりのハンド２０，３０の角度を仮合わせするようにロボットシステム１を操作する。例えば、オペレータは、軸線Ａｘ３まわりのハンド２０，３０の角度を同一の角度目標値に一致させる指令をコンソール２００に入力する。これに応じ、コントローラ１００がロボット１０を制御する。具体的には、制御部１１３が、ハンド２０，３０の角度を同一の角度目標値に一致させるようにロボット１０を制御する。

　ステップＳ０２では、オペレータが、ステップＳ０１の実行後のハンド２０，３０に第二検出機構５０及び第一検出機構４０をそれぞれ装着する。例えば、オペレータは、ハンド３０上に第一検出機構４０を配置した後、可動爪部３４により支持板４１を爪部３２ａ，３３ａ側に押し付ける指令をコンソール２００に入力する。これに応じ、コントローラ１００がロボット１０を制御する。具体的には、制御部１１３が、可動爪部３４により支持板４１を爪部３２ａ，３３ａ側に押し付けるようにロボット１０を制御する。次に、オペレータは、ハンド２０上に第二検出機構５０を配置した後、可動爪部２４により支持板５３を爪部２２ａ，２３ａ側に押し付ける指令をコンソール２００に入力する。これに応じ、コントローラ１００がロボット１０を制御する。具体的には、制御部１１３が、可動爪部２４により支持板５３を爪部２２ａ，２３ａ側に押し付けるようにロボット１０を制御する。

　ステップＳ０３，Ｓ０４は、第二相対値を取得する指令をオペレータがコンソール２００に入力することで開始され、コントローラ１００により実行される。ステップＳ０３では、制御部１１３が、ハンド２０，３０の少なくとも一方を軸線Ａｘ３まわりに回転させることで、ハンド２０，３０の軸線Ａｘ３まわりの相対角度を変化させるようにロボット１０を制御する（図１２参照）。なお、ここでの「相対角度」は、第二相対値がゼロであると仮定した場合の相対角度を意味する。制御部１１３は、投光部５２ａから受光部５２ｂに向かう光束ＬＦ２が外周面４３ａにより遮られ、第二センサ５２により外周面４３ａが検出されると、ハンド２０，３０を停止させるようにロボット１０を制御する。

　ステップＳ０４では、制御部１１３が、第二センサ５２により外周面４３ａが検出されたときの上記相対角度に基づいて第二相対値を取得し、教示値記録部１１２に記録する。例えば制御部１１３は、ハンド２０側を基準とした上記相対角度の正負を逆転させた値を、ハンド２０側を基準とした第二相対値として取得する。このように、本手順は、ハンド２０，３０の軸線Ａｘ３まわりの相対角度を変化させ、第二センサ５２により外周面４３ａが検出されたときの上記相対角度に基づいて第二相対値をコントローラ１００に取得させることを含む。

　ステップＳ０５では、オペレータが第一凸部４２を回転させる（図１３参照）。
これにより、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離が変化する。オペレータは、投光部５１ａから受光部５１ｂに向かう光束ＬＦ１が外周面４２ａにより遮られ、第一センサ５１により外周面４２ａが検出されるまで第一凸部４２を回転させる。

　ステップＳ０６では、オペレータが、第一センサ５１により検出されたときの外周面４２ａの位置に基づいて第一相対値をコントローラに取得させる。例えばオペレータは、第一相対値がゼロである場合に第一センサ５１により検出されるべき外周面４２ａの位置と、第一センサ５１により実際に検出されたときの外周面４２ａの位置との差を第一相対値としてコンソール２００に入力する。これにより、コントローラ１００が第一相対値を取得する。具体的には、相対値記録部１１１が第一相対値を取得し、記録する。このように、本手順は、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離を変更し、第一センサ５１により検出されたときの外周面４２ａの位置に基づいて第一相対値をコントローラ１００に取得させることを含む。なお、外周面４２ａの位置は、中心軸線ＣＬ２に沿う方向における位置を意味する。本手順は、ロボットシステム１の工場出荷前に実行されてもよいし、工場出荷後において、当該ロボットシステム１を設置する際に実行されてもよい。

（教示値記録手順）
　ロボットシステム１に対する教示手順は、ハンド２０の位置決め誤差を補正するための教示値をコントローラ１００に取得させることを更に含んでもよい。以下、教示値をコントローラ１００に取得させる手順について詳細に説明する。

　図１４に示すように、本手順は、ステップＳ１１～Ｓ１５を含む。ステップＳ１１では、オペレータが、ハンド２０に第二検出機構５０を装着し、第三検出機構６０を配置する。第二検出機構５０を装着する手順は上記ステップＳ０２と同様である。オペレータは、ハンド２０を移動させるべき場所に第三検出機構６０を配置する。ハンド２０を移動させるべき場所としては、ハンド２０による保持対象のワークＷが配置される場所が挙げられる。一例として、オペレータは、複数のワークＷを多段に収容するためのカセット７０のスロット７１に第三検出機構６０を配置する（図１５参照）。この際オペレータは、第三凸部６１よりも奥側に第四凸部６２を配置する。

　ステップＳ１２では、オペレータが、ハンド２０を第三検出機構６０上に配置するようにロボットシステム１を操作する。例えば、オペレータは、ハンド２０を第三検出機構６０側に移動させる指令をコンソール２００に入力する。これに応じ、コントローラ１００がロボット１０を制御する。具体的には、制御部１１３が、コンソール２００に入力された指令に応じてハンド２０を移動させるようにロボット１０を制御する。オペレータは、ハンド２０が第三検出機構６０上に位置し、第三凸部６１及び第四凸部６２が指部５５，５６の間に配置されるまでロボットシステム１の操作を継続する。

　ステップＳ１３～Ｓ１５は、教示値を取得する指令をオペレータがコンソール２００に入力することで開始され、コントローラ１００により実行される。ステップＳ１３では、制御部１１３が、ハンド２０を軸線Ａｘ３まわりに回転させるようにロボット１０を制御する（図１６参照）。制御部１１３は、投光部５２ａから受光部５２ｂに向かう光束ＬＦ２が外周面６１ａにより遮られ、第二センサ５２により外周面６１ａが検出されると、ハンド２０を停止させるようにロボット１０を制御する。

　ステップＳ１４では、制御部１１３が、ハンド２０を中心軸線ＣＬ１に沿って移動させるようにロボット１０を制御する（図１７参照）。制御部１１３は、投光部５１ａから受光部５１ｂに向かう光束ＬＦ１が円周面６２ａにより遮られ、第二センサ５２により円周面６２ａが検出されると、ハンド２０を停止させるようにロボット１０を制御する。

　ステップＳ１５では、第二センサ５２により外周面６１ａが検出され、第一センサ５１により円周面６２ａが検出されたときのロボット１０の状態に基づいて、ハンド２０の位置決め誤差を補正するための教示値を制御部１１３が取得し、教示値記録部１１２に記録する。例えば制御部１１３は、ステップＳ１３，Ｓ１４を経て停止したハンド２０の位置を算出し、これを教示値として教示値記録部１１２に記録する。なお、制御部１１３が算出するハンド２０の位置は、例えばロボット１０を基準とした座標系におけるハンド２０の位置である。

　このように、本手順は、ハンド２０を移動させること、目標位置に対する位置が既知である指標が第二検出機構５０の少なくとも一つのセンサにより検出されたときのロボット１０の状態に基づいて、ハンド２０の位置決め誤差を補正するための教示値を取得すること、を含む。本手順は、ロボットシステム１の工場出荷後において、当該ロボットシステム１を設置する際に実行される。本手順は、上記ステップＳ０１～Ｓ０６の前後のいずれで実行されてもよい。

〔本実施形態の効果〕
　以上に説明したように、ロボットシステム１は、軸線Ａｘ３まわりに回転可能なハンド２０，３０を有するロボット１０と、ロボット１０を制御するためのコントローラ１００と、を備える。コントローラ１００は、ハンド３０を移動させるようにロボット１０を制御する際に、ハンド３０から軸線Ａｘ３までの距離及びハンド２０から軸線Ａｘ３までの距離の相対差を示す第一相対値を用いるように構成されている。

　ロボットシステム１によれば、ハンド２０の目標位置が正確に定まっていれば、第一相対値を用いてハンド３０の目標位置も正確に算出可能である。このため、目標位置を定めるための教示をハンド２０，３０に対して個別に実行する必要がない。従って、効率よく教示作業を行うことができる。

　コントローラ１００は、ハンド３０を移動させるようにロボット１０を制御する際に、軸線Ａｘ３まわりのハンド２０の角度及び軸線Ａｘ３まわりのハンド３０の角度の相対差を示す第二相対値を更に用いるように構成されていてもよい。この場合、軸線Ａｘ３まわりの偏角方向及び動径方向の２方向における相対差に基づいてハンド３０の目標位置を算出できるので、ハンド３０の位置決め精度が向上する。

　ロボットシステム１は、ハンド２０，３０のいずれか一方のハンドに設けられる第一検出機構４０と、他方のハンドに設けられる第二検出機構５０とを更に備えてもよい。第一検出機構４０は、第一検出対象としての外周面４２ａと、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離を変更可能とする可変機構ＶＳ１とを有する。第二検出機構５０は、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離の変化に応じて外周面４２ａを検出する第一センサ５１を含む少なくとも一つのセンサを有する。
コントローラ１００は、第一相対値を取得することを更に実行するように構成されていてもよい。この場合、第一センサ５１に検出されるときの外周面４２ａの位置に基づいて第一相対値を容易に検出し、コントローラに取得させることができる。このように、第一相対値を容易に教示できるので、更に効率よく教示作業を行うことができる。

　第一検出機構４０は、第二検出対象としての外周面４３ａを更に有してもよく、第二検出機構５０の少なくとも一つのセンサは、ハンド２０，３０の軸線Ａｘ３まわりの相対角度の変化に応じて外周面４３ａを検出する第二センサ５２を更に含んでもよい。コントローラ１００は、第二相対値を取得することを更に実行するように構成されていてもよい。この場合、第二相対値も容易に検出し、コントローラに取得させることができる。従って、第一相対値及び第二相対値の両方を容易に教示できるので、更に効率よく教示作業を行うことができる。

　コントローラ１００は、ハンド２０，３０の軸線Ａｘ３まわりの相対角度を変化させるようにロボット１０を制御し、第二センサ５２により外周面４３ａが検出されたときの相対角度に基づいて第二相対値を取得してもよい。この場合、第二相対値が自動的に取得されるので、更に効率よく教示作業を行うことができる。

　第一検出機構４０は、上記一方のハンドに対して着脱自在に設けられ、第二検出機構５０は、上記他方のハンドに対して着脱自在に設けられてもよい。この場合、第一検出機構４０及び第二検出機構５０をハンドに常設する場合に比べ、ハンド２０，３０の構成を単純化できる。

　可変機構ＶＳ１は、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離の変化が、軸線Ａｘ３まわりの外周面４２ａの移動を伴うように、外周面４２ａを拘束してもよい。この場合、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離を変化させるための操作量が大きくなるので、当該距離の微調整が容易となる。

　可変機構ＶＳ１は、軸線Ａｘ３に平行な軸線Ａｘ４まわりに回転自在となるように外周面４２ａを保持し、軸線Ａｘ４は外周面４２ａの中心軸線ＣＬ３に対して偏心していてもよい。この場合、外周面４２ａから軸線Ａｘ３までの距離を変化させるための操作量を大きくする構成を、単純な回転機構で実現できる。

　コントローラ１００は、ハンド３０を移動させるようにロボット１０を制御する際に、ハンド２０の位置決め誤差を補正するための教示値を更に用いるように構成されていてもよい。この場合、ハンド２０の位置決め誤差を補正するための教示値と、第一相対値とを用いることで、ハンド３０の位置決め誤差をも補正できる。従って、更に効率よく教示作業を行うことができる。

　第二検出機構５０はハンド２０に設けられ、コントローラ１００は、ハンド２０を移動させるようにロボット１０を制御し、目標位置に対する位置が既知である指標が第二検出機構５０の少なくとも一つのセンサにより検出されたときのロボット１０の状態に基づいて、ハンド２０の位置決め誤差を補正するための教示値を取得することを更に実行し、ハンド３０を移動させるようにロボット１０を制御する際に、ハンド２０の位置決め誤差を補正するための教示値を更に用いるように構成されていてもよい。この場合、教示値が自動的に取得されるので、更に効率よく教示作業を行うことができる。

　以上、実施形態について説明したが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で様々な変更が可能である。

　本開示は、ワークに対する作業を自動実行するロボットシステムに利用可能である。

　１…ロボットシステム、１０…ロボット、２０，３０…ハンド、４０…第一検出機構、４２ａ…外周面（第一検出対象）、４３ａ…外周面（第二検出対象）、５０…第二検出機構、５１…第一センサ、５２…第二センサ、１００…コントローラ、Ａｘ３…軸線（第一軸線）、Ａｘ４…軸線（第二軸線）、ＣＬ３…中心軸線、ＶＳ１…可変機構、Ｗ…ワーク。

Claims

　第一軸線まわりに回転可能な第一ハンド及び第二ハンドを有するロボットと、前記ロボットを制御するためのコントローラと、を備え、
　前記コントローラは、
　前記第二ハンドを移動させるように前記ロボットを制御する際に、前記第一ハンドから前記第一軸線までの距離及び前記第二ハンドから前記第一軸線までの距離の相対差を示す第一相対値を用いるように構成されている、ロボットシステム。
　前記コントローラは、
　前記第二ハンドを移動させるように前記ロボットを制御する際に、前記第一軸線まわりの前記第一ハンドの角度及び前記第一軸線まわりの前記第二ハンドの角度の相対差を示す第二相対値を更に用いるように構成されている、請求項１記載のロボットシステム。
　前記第一ハンド及び前記第二ハンドのいずれか一方のハンドに設けられる第一検出機構と、他方のハンドに設けられる第二検出機構とを更に備え、
　前記第一検出機構は、第一検出対象と、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離を変更可能とする可変機構とを有し、
　前記第二検出機構は、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離の変化に応じて前記第一検出対象を検出する第一センサを含む少なくとも一つのセンサを有し、
　前記コントローラは、前記第一相対値を取得することを更に実行するように構成されている、請求項１又は２記載のロボットシステム。
　前記第一ハンド及び前記第二ハンドのいずれか一方のハンドに設けられる第一検出機構と、他方のハンドに設けられる第二検出機構とを備え、
　前記第一検出機構は、第一検出対象と、第二検出対象と、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離を変更可能とする可変機構とを有し、
　前記第二検出機構は、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離の変化に応じて前記第一検出対象を検出する第一センサと、前記第一ハンド及び前記第二ハンドの前記第一軸線まわりの相対角度の変化に応じて前記第二検出対象を検出する第二センサとを含む複数のセンサを有し、
　前記コントローラは、前記第一相対値及び前記第二相対値を取得することを更に実行するように構成されている、請求項２記載のロボットシステム。
　前記コントローラは、前記第一ハンド及び前記第二ハンドの前記第一軸線まわりの相対角度を変化させるように前記ロボットを制御し、前記第二センサにより前記第二検出対象が検出されたときの前記相対角度に基づいて前記第二相対値を取得する、請求項４記載のロボットシステム。
　前記第一検出機構は、前記一方のハンドに対して着脱自在に設けられ、
　前記第二検出機構は、前記他方のハンドに対して着脱自在に設けられる、請求項３～５のいずれか一項記載のロボットシステム。
　前記可変機構は、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離の変化が、前記第一軸線まわりの前記第一検出対象の移動を伴うように、前記第一検出対象を拘束する、請求項３～６のいずれか一項記載のロボットシステム。
　前記可変機構は、前記第一軸線に平行な第二軸線まわりに回転自在となるように前記第一検出対象を保持し、前記第二軸線は前記第一検出対象の中心に対して偏心している、請求項７記載のロボットシステム。
　前記コントローラは、
　前記第二ハンドを移動させるように前記ロボットを制御する際に、前記第一ハンドの位置決め誤差を補正するための教示値を更に用いるように構成されている、請求項１～８のいずれか一項記載のロボットシステム。
　前記第二検出機構は前記第一ハンドに設けられ、
　前記コントローラは、
　前記第一ハンドを移動させるように前記ロボットを制御し、目標位置に対する位置が既知である指標が前記第二検出機構の少なくとも一つの前記センサにより検出されたときの前記ロボットの状態に基づいて、前記第一ハンドの位置決め誤差を補正するための教示値を取得することを更に実行し、
　前記第二ハンドを移動させるように前記ロボットを制御する際に、前記第一ハンドの位置決め誤差を補正するための教示値を更に用いるように構成されている、請求項３～８のいずれか一項記載のロボットシステム。
　第一軸線まわりに回転可能な第一ハンド及び第二ハンドを有するロボットのいずれか一方のハンドに着脱自在に取り付けられる第一検出機構と、他方のハンドに着脱自在に取り付けられる第二検出機構とを備え、
　前記第一検出機構は、第一検出対象と、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離を変更可能とする可変機構とを有し、
　前記第二検出機構は、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離の変化に応じて前記第一検出対象を検出する第一センサを含む少なくとも一つのセンサを有する、教示治具。
　前記第一検出機構は、第二検出対象を更に有し、
　前記第二検出機構は、前記第一ハンド及び前記第二ハンドの前記第一軸線まわりの相対角度の変化に応じて前記第二検出対象を検出する第二センサを更に含む複数の前記センサを有する、請求項１１記載の教示治具。
　前記可変機構は、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離の変化が、前記第一軸線まわりの前記第一検出対象の移動を伴うように、前記第一検出対象を拘束する、請求項１１又は１２記載の教示治具。
　前記可変機構は、前記第一軸線に平行な第二軸線まわりに回転自在となるように前記第一検出対象を保持し、前記第二軸線は前記第一検出対象の中心に対して偏心している、請求項１３記載の教示治具。
　第一軸線まわりに回転可能な第一ハンド及び第二ハンドを有するロボットと、前記ロボットを制御するためのコントローラとを備えるロボットシステムを用い、
　前記第一ハンドから前記第一軸線までの距離及び前記第二ハンドから前記第一軸線までの距離の相対差を示す第一相対値を前記コントローラに取得させること、を含む教示方法。
　前記第一軸線まわりの前記第一ハンドの角度及び前記第一軸線まわりの前記第二ハンドの角度の相対差を示す第二相対値を前記コントローラに取得させることを更に含む、請求項１５記載の教示方法。
　前記第一ハンド及び前記第二ハンドのいずれか一方のハンドに設けられ、第一検出対象と、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離を変更可能とする可変機構とを有する第一検出機構と、
　前記第一ハンド及び前記第二ハンドの他方のハンドに設けられ、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離の変化に応じて前記第一検出対象を検出する第一センサを含む少なくとも一つのセンサを有する第二検出機構と、を用い、
　前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離を変更し、前記第一センサにより検出されたときの前記第一検出対象の位置に基づいて前記第一相対値を前記コントローラに取得させる、請求項１５又は１６記載の教示方法。
　前記第一ハンド及び前記第二ハンドのいずれか一方のハンドに設けられ、第一検出対象と、第二検出対象と、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離を変更可能とする可変機構とを有する第一検出機構と、
　前記第一ハンド及び前記第二ハンドの他方のハンドに設けられ、前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離の変化に応じて前記第一検出対象を検出する第一センサと、前記第一ハンド及び前記第二ハンドの前記第一軸線まわりの相対角度の変化に応じて前記第二検出対象を検出する第二センサとを含む複数のセンサを有する第二検出機構と、を用い、
　前記第一検出対象から前記第一軸線までの距離を変更し、前記第一センサにより検出されたときの前記第一検出対象の位置に基づいて前記第一相対値を前記コントローラに取得させ、
　前記第一ハンド及び前記第二ハンドの前記第一軸線まわりの相対角度を変化させ、前記第二センサにより前記第二検出対象が検出されたときの前記相対角度に基づいて前記第二相対値を前記コントローラに取得させる、請求項１６記載の教示方法。
　前記第一ハンド及び前記第二ハンドのいずれか一方のハンドに前記第一検出機構を装着すること、
　前記第一ハンド及び前記第二ハンドの他方のハンドに前記第二検出機構を装着すること、を更に含む、請求項１７又は１８記載の教示方法。
　前記第一ハンドの位置決め誤差を補正するための教示値を前記コントローラに取得させることを更に含む、請求項１５～１９のいずれか一項記載の教示方法。
　前記第一ハンドに設けられた前記第二検出機構を用い、
　前記第一ハンドを移動させること、
　目標位置に対する位置が既知である指標が前記第二検出機構の少なくとも一つの前記センサにより検出されたときの前記ロボットの状態に基づいて、前記第一ハンドの位置決め誤差を補正するための教示値を取得すること、を更に含む、請求項１７～１９のいずれか一項記載の教示方法。