WO2016038730A1

WO2016038730A1 - 対基板作業装置及び対基板作業システム

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Publication number: WO2016038730A1
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Inventors: 瑞穂山本; 晋吾藤村; 淳郎高桑
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Abstract

　対基板作業システム１０において、対基板作業装置２０のＣＰＵ３２は、自装置でエラーが発生した場合にそのエラーに関するエラー関連情報を送信する。そして、ＣＰＵ３２は、他の対基板作業装置２０のエラーに関するエラー関連情報を受信して、受信されたエラー関連情報をＨＤＤ３５に記憶する。そして、エラーが発生した対基板作業装置２０（他の対基板作業装置２０）の電源オフを検出した場合に、記憶されたエラー関連情報に基づく情報（他装置エラー報知画面）を作業者に報知するよう表示操作部６０を制御する。これにより、エラーが発生した対基板作業装置２０の電源がオフされた場合に、他の対基板作業装置２０がエラーに関する情報を作業者に報知できる。

Description

対基板作業装置及び対基板作業システム

　本発明は、対基板作業装置及び対基板作業システムに関する。

　従来、部品を基板上に実装する実装装置などの対基板作業装置が知られている。例えば、特許文献１には、回路基板に電気部品を装着する電気部品装着機を複数含む電気回路板組立ラインが記載されている。この電気回路板組立ラインでは、作業者に指定された任意の電気部品装着機（マスタ装置）のディスプレイにおいて、他の電気部品装着機（スレーブ装置）の情報を取得可能である。

特許第５１８６０５５号

　ところで、対基板作業装置にエラーが発生した場合に、例えばエラーの対処などを目的として対基板作業装置の電源がオフされる場合がある。そして、電源がオフされると、その装置自身の表示パネルなどにはエラーに関する情報を表示できない場合が多い。これにより、作業者がエラーに関する情報を知ることができない場合があった。特許文献１では、マスタ装置のディスプレイでスレーブ装置の情報を取得する点は記載されているが、スレーブ装置の電源がオフされた場合については記載されていない。

　本発明はこのような課題に鑑みなされたものであり、エラーが発生した対基板作業装置の電源がオフされた場合に、エラーに関する情報を作業者に報知することを主目的とする。

　本発明は、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。

　本発明の第１の対基板作業装置は、
　基板に対する作業を行う対基板作業装置を複数備えた対基板作業システムに用いられる前記対基板作業装置であって、
　前記対基板作業システム中の他の対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、
　前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、
　情報を作業者に報知可能な報知手段と、
　前記他の対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、
　を備えたものである。

　この第１の対基板作業装置は、他の対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信して、受信されたエラー関連情報を記憶手段に記憶する。そして、その対基板作業装置（他の対基板作業装置）の電源オフを検出した場合に、記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう報知手段を制御する。これにより、エラーが発生した他の対基板作業装置の電源がオフされた場合に、本発明の第１の対基板作業装置がエラーに関する情報を作業者に報知できる。ここで、前記エラー情報受信手段は、前記エラー関連情報を前記他の対基板作業装置から取得してもよいし、例えば管理装置などの他の装置（前記他の対基板作業装置以外の装置）から取得してもよい。

　本発明の第１の対基板作業装置において、前記報知制御手段は、前記他の対基板作業装置との通信状態に基づいて該他の対基板作業装置の電源オフを検出してもよい。こうすれば、通信状態に基づいて他の対基板作業装置の電源オフを適切に検出することができる。この場合において、前記報知制御手段は、前記他の対基板作業装置との通信が切断されたときに、該他の対基板作業装置の電源オフを検出してもよい。

　本発明の第１の対基板作業装置において、前記報知制御手段は、トリガー信号を受信したか否かに基づいて前記他の対基板作業装置の電源オフを検出してもよい。こうすれば、トリガー信号の受信の有無に基づいて他の対基板作業装置の電源オフを適切に検出することができる。ここで、前記報知制御手段は、前記トリガー信号を前記他の対基板作業装置から取得してもよいし、例えば管理装置などの他の装置（前記他の対基板作業装置以外の装置）から取得してもよい。

　本発明の第２の対基板作業装置は、
　基板に対する作業を行う対基板作業装置を複数備えた対基板作業システムに用いられる前記対基板作業装置であって、
　自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段と、
　自装置の電源をオフする際に、トリガー信号を送信するトリガー信号送信手段と、
　を備えたものである。

　この第２の対基板作業装置は、自装置でエラーが発生した場合にそのエラーに関するエラー関連情報を送信する。そして、自装置の電源をオフする際に、トリガー信号を送信する。これにより、自装置のエラー関連情報を他の対基板作業装置が記憶可能になると共に、トリガー信号を送信することで自装置の電源がオフされることを他の対基板作業装置が検出可能になる。そのため、エラーが発生した対基板作業装置（本発明の第２の対基板作業装置）の電源がオフされた場合に、他の対基板作業装置がエラーに関する情報を作業者に報知できる。ここで、前記エラー情報送信手段は、前記エラー関連情報を他の対基板作業装置に送信してもよいし、例えば管理装置などの他の装置に送信してもよい。また、前記トリガー信号送信手段は、前記トリガー信号を他の対基板作業装置に送信してもよいし、例えば管理装置などの他の装置に送信してもよい。

　本発明の第２の対基板作業装置は、前記基板を搬送方向に搬送する搬送手段と、前記搬送方向に垂直な方向に引き出し可能なモジュールと、を備えていてもよい。ここで、「引き出し可能なモジュールを備える」とは、対基板作業装置全体が引出し可能なモジュールである場合を含む。

　本発明の第１の対基板作業システムは、
　自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段を備えた対基板作業装置と、
　前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、前記対基板作業装置との通信状態に基づいて前記対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
　を備えたものである。

　この第１の対基板作業システムは、対基板作業装置と、他の対基板作業装置と、を備えている。対基板作業装置は、自装置でエラーが発生した場合にそのエラーに関するエラー関連情報を送信する。そして、他の対基板作業装置は、通信状態に基づいて対基板作業装置の電源オフを検出する態様の本発明の第１の対基板作業装置と同様の装置である。そのため、本発明の第１の対基板作業システムでは、上述した本発明の第１の対基板作業装置と同様の効果が得られる。具体的には、エラーが発生した対基板作業装置の電源がオフされた場合に、他の対基板作業装置が電源オフを通信状態に基づいて検出して、他の対基板作業装置がエラーに関する情報を作業者に報知できる。

　本発明の第２の対基板作業システムは、
　自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段と、自装置の電源をオフする際に、トリガー信号を送信するトリガー信号送信手段と、を備えた対基板作業装置と、
　前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、前記対基板作業装置からの前記トリガー信号を受信したか否かに基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
　を備えたものである。

　この第２の対基板作業システムは、対基板作業装置と、他の対基板作業装置と、を備えている。対基板作業装置は、本発明の第２の対基板作業装置と同様の装置である。他の対基板作業装置は、トリガー信号を受信したか否かに基づいて対基板作業装置の電源オフを検出する態様の本発明の第１の対基板作業装置と同様の装置である。そのため、上述した本発明の第１及び第２の対基板作業装置と同様の効果が得られる。具体的には、エラーが発生した対基板作業装置の電源がオフされた場合に、他の対基板作業装置が電源オフをトリガー信号に基づいて検出して、他の対基板作業装置がエラーに関する情報を作業者に報知できる。

　本発明の第３の対基板作業システムは、
　自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段を備えた対基板作業装置と、
　前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、トリガー信号を受信したか否かに基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
　前記対基板作業装置との通信状態に基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に前記他の対基板作業装置に前記トリガー信号を送信する検出手段を有する管理装置と、
　を備えたものである。

　この第３の対基板作業システムは、対基板作業装置と、他の対基板作業装置と、管理装置と、を備えている。対基板作業装置は、自装置でエラーが発生した場合にそのエラーに関するエラー関連情報を送信する。他の対基板作業装置は、トリガー信号を受信したか否かに基づいて対基板作業装置の電源オフを検出する態様の本発明の第１の対基板作業装置と同様の装置である。そのため、上述した本発明の第１の対基板作業装置と同様の効果が得られる。具体的には、エラーが発生した対基板作業装置の電源がオフされた場合に、他の対基板作業装置が電源オフをトリガー信号に基づいて検出して、他の対基板作業装置がエラーに関する情報を作業者に報知できる。また、管理装置は、対基板作業装置との通信状態に基づいて対基板作業装置の電源オフを検出した場合に他の対基板作業装置にトリガー信号を送信する。そのため、対基板作業装置がトリガー信号を送信しない場合でも、他の対基板作業装置は管理装置からトリガー信号を受信して電源オフを検出することができる。

　本発明の第１～第３の対基板作業システムでは、前記対基板作業装置と前記他の対基板作業装置とが隣接配置されていてもよい。こうすれば、対基板作業装置でエラーに関する作業を行う作業者など対基板作業装置付近の作業者が、エラーに関する情報をより取得しやすくなる。

　本発明の第１～第３の対基板作業システムにおいて、前記対基板作業装置は、前記他の対基板作業装置との並び方向と直交する方向に引き出し可能なモジュールを有していてもよい。ここで、「引き出し可能なモジュールを有する」とは、対基板作業装置全体が引出し可能なモジュールである場合を含む。

　本発明の第１～第３の対基板作業システムは、前記対基板作業装置から前記エラー関連情報を受信して前記他の対基板作業装置に該エラー関連情報を送信するエラー情報送受信手段を有する管理装置、を備えていてもよい。こうすれば、例えば対基板作業装置と他の対基板作業装置とがエラー関連情報を直接送受信できない場合でも、管理装置を介してエラー関連情報の送受信を行うことができる。

　なお、本発明の第１～第３の対基板作業システムにおいて、対基板作業装置が送信するエラー関連情報と、他の対基板作業装置が受信するエラー関連情報とは、同じであってもよいし少なくとも一部が異なっていてもよい。例えば、対基板作業装置と他の対基板作業装置とが管理装置を介してエラー関連情報の送受信を行う場合に、管理装置は受信したエラー関連情報の一部を異ならせて他の対基板作業装置に送信してもよい。また、管理装置は、受信したエラー関連情報の全部を異ならせて（新たにエラー関連情報を作成する場合を含む）他の対基板作業装置に送信してもよい。

本実施形態の対基板作業システム１０の概略説明図。対基板作業装置２０ｂを引き出す様子を示す説明図。送信側処理ルーチンの一例を示すフローチャート。エラー情報送受信処理ルーチンの一例を示すフローチャート。受信側処理ルーチンの一例を示すフローチャート。作業者Ｐが対基板作業装置２０ｂのエラーに対処する様子を示す説明図。

　本発明の実施の形態を図面を参照しながら以下に説明する。図１は、対基板作業システム１０の概略説明図である。本実施形態の対基板作業システム１０は、基板に対する作業を行う複数の対基板作業装置２０と、対基板作業装置２０を支持する台であるベース７０ａ，７０ｂと、対基板作業に関する情報の管理や設定を行う管理装置８０と、を備えている。なお、本実施形態において、左右方向（Ｘ軸）、前後方向（Ｙ軸）及び上下方向（Ｚ軸）は、図１に示した通りとする。

　対基板作業システム１０は、複数の対基板作業装置２０として対基板作業装置２０ａ～２０ｄの４台を備えている。この４台の対基板作業装置２０ａ～２０ｄはこの順に左から右に隣り合って並べられて、実装ラインを構成している。また、これらの複数の対基板作業装置２０及び管理コンピュータ８０は、互いにＬＡＮ１１を介して接続されている。

　対基板作業装置２０ａは、対基板作業としての基板上への部品の実装処理を行う実装装置として構成された装置である。なお、実装処理とは、部品を基板上に載置、配置、装着、挿入、接合、接着する処理などを含む。この対基板作業装置２０ａは、図１に示すように、装置全体の制御を司る制御装置３１ａと、実装処理を実行する実装処理ユニット４０ａと、装置各部に給電する電源ユニット４５ａと、ＬＡＮ１１に接続された外部機器と双方向通信を行う通信部５０ａと、情報の表示や入力を行う表示操作部６０ａと、を備えている。制御装置３１ａは、ＣＰＵ３２ａを中心とするマイクロプロセッサとして構成されており、処理プログラムを記憶するＲＯＭ３３ａ、作業領域として用いられるＲＡＭ３４ａ、各種データを記憶するＨＤＤ３５ａ、などを備えている。また、制御装置３１ａは、図示しない入出力インタフェースを備えており、実装処理ユニット４０ａ，電源ユニット４５ａ，通信部５０ａと双方向通信可能に接続されている。実装処理ユニット４０ａは、基板を搬送方向（左右方向）に搬送する搬送部４１ａや部品を採取するヘッドなどを有している。表示操作部６０ａは、タッチパネル及び入力キーなどを備えており、作業者への各種情報の表示や作業者からの各種指示の入力を行う。表示操作部６０ａは、対基板作業装置２０ａの前方の上部に配設されている。

　対基板作業装置２０ｂ～２０ｄはいずれも対基板作業装置２０ａと同じ装置であるため、詳細な説明を省略する。なお、図１に示すように、対基板作業装置２０ｂの各構成要素は、対基板作業装置２０ａの各構成要素の末尾を「ａ」から「ｂ」に変えた符号を付して表記する。また、対基板作業装置２０ｃ，２０ｄが備える表示操作部は符号６０ｃ，６０ｄを付して表記する。表示操作部６０ａ～６０ｄを特に区別しない場合、表示操作部６０と表記する。同様に、対基板作業装置２０ａ～２０ｄの各々が備えるＣＰＵを特に区別しない場合、ＣＰＵ３２と表記する。対基板作業装置２０ａ～２０ｄの各々が備えるＨＤＤを特に区別しない場合、ＨＤＤ３５と表記する。

　なお、対基板作業装置２０ａ，２０ｂは、ベース７０ａ上に載置されており、ベース７０ａに対して前方（左右方向に垂直な方向）に引き出し可能なモジュールとして構成されている。同様に、対基板作業装置２０ｃ，２０ｄは、ベース７０ｂ上に載置されて、ベース７０ｂに対して前方に引き出し可能なモジュールとして構成されている。

　図２は、対基板作業装置２０ｂを引き出す様子を示す説明図である。図２（ａ）は、対基板作業装置２０ｂを引き出す前の様子を示しており、図２（ｂ）は、対基板作業装置２０ｂを引き出した後の様子を示している。図２（ｂ）に示すように、ベース７０ａは、前後方向に延びる左右一対のガイドレール７１ａ，７１ａと、ベース７０ａの後端部上面に配設され対基板作業装置２０ｂの後端を固定するストッパー７２ａと、を備えている。また、ベース７０ａは、対基板作業装置２０ｂの前後方向の移動を規制するレバー７３ａと、レバー７３ａを上方に突出させるか否かを切り替えるレバー駆動装置７４ａと、を備えている。対基板作業装置２０ｂは下面に図示しない車輪を備えており、この車輪がガイドレール７１ａ，７１ａに案内されることで前後方向にスライド可能である。レバー駆動装置７４ａは、例えば前後方向の駆動力を発生させるエアシリンダーなどを備えている。レバー駆動装置７４ａは、この駆動力でレバー７３ａを回転（回転軸はＸ軸）させて、レバー７３ａが上方に突出した状態になるか前後方向に沿って倒れた状態になるかを切り替える。対基板作業装置２０ｂがベース７０ａ上の固定位置（図２（ａ）の位置）に載置されている間は、レバー７３ａが上方に突出することで対基板作業装置２０ｂが固定されて前後に移動しないようになっている。また、作業者がレバー駆動装置７４ａを操作してレバー７３ａを倒した状態にすると、対基板作業装置２０ｂはガイドレール７１ａ，７１ａに沿って移動可能になり、作業者は対基板作業装置２０ｂを前方に引き出すことができる（図２（ｂ））。なお、図２（ｂ）に示すように、対基板作業装置２０ｂを引き出す際には、引き出された対基板作業装置２０ｂを下方から支持する移動台１７０を予めベース７０ａの前方に配置しておき、引き出した対基板作業装置２０ｂを移動台１７０上に載置する。移動台１７０は、ガイドレール１７１，１７１と、ストッパー１７２と、レバー１７３と、レバー駆動装置１７４と、を備えている。これらの構成要素はベース７０ａと同様であるため詳細な説明を省略する。また、移動台１７０は、複数の車輪１７５が下部に取り付けられており、これにより床上を移動可能に構成されている。

　なお、図示は省略するが、ベース７０ａは、対基板作業装置２０ａを載置する部分にも、ガイドレール７１ａ，ストッパー７２ａ，レバー７３ａ，レバー駆動装置７４ａと同様の構成要素を備えている。そのため、対基板作業装置２０ａも対基板作業装置２０ｂと同様に前方に引き出し可能である。ベース７０ｂについても、対基板作業装置２０ｃ，２０ｄを引き出し可能に支持している点以外はベース７０ａと同じ構成をしているため、詳細な説明を省略する。また、このような引き出し可能な対基板作業装置２０やベース７０の構成は公知であり、例えば特許第４７６３５１８号に記載されている。

　管理装置８０は、対基板作業に関する情報を管理するコンピュータである。管理装置８０は、ＣＰＵ８２，ＲＯＭ８３，ＲＡＭ８４及びＨＤＤ８５を備え装置全体の制御を司るコントローラ８１と、ＬＡＮ１１に接続された外部機器と双方向の通信を行う通信部８６とを備えている。また、管理装置８０は、作業者からの各種指示を入力するキーボード及びマウス等の入力デバイス８７と、各種情報を表示するディスプレイ８８とを備えている。ＨＤＤ８５には、生産ジョブデータが記憶されている。生産ジョブデータには、各対基板作業装置２０においてどの部品をどういう順番でどの基板種の基板へ実装するかや、そのように実装した基板を何枚作製するかなどの情報が含まれている。

　こうして構成された対基板作業システム１０では、管理装置８０が作業者からの開始指示を入力すると、管理装置８０が各対基板作業装置２０に生産ジョブデータを送信し、各対基板作業装置２０に実装処理の開始を指示する。管理装置８０からの開始指示を受信した各対基板作業装置２０は、搬送方向上流側（左側）から搬送された基板に対して生産ジョブデータに基づく部品の実装処理を行い、実装処理が完了した基板を下流側（右側）へ搬送する。これにより、対基板作業システム１０の上流側から搬送された基板に対して対基板作業装置２０ａ～２０ｄによりこの順で実装処理が行われ、その後、対基板作業装置２０ｄから基板が排出される。

　次に、対基板作業システム１０の動作のうち、対基板作業装置２０のいずれかで電源オフを要するエラーが生じ、そのエラーに関する情報を他の対基板作業装置２０で表示する場合の動作について説明する。以下では、例として、対基板作業装置２０ｂでエラーが生じた場合について説明する。図３は、対基板作業装置２０ｂの制御装置３１ｂのＣＰＵ３２ｂにより実行される送信側処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、制御装置３１ｂのＨＤＤ３５ｂに記憶され、対基板作業装置２０ｂの電源がオンされると実行される。

　このルーチンが実行されると、制御装置３１ｂのＣＰＵ３２ｂは、まず、自装置（対基板作業装置２０ｂ）に電源オフを要するエラーが発生しているか否かを判定する（ステップＳ１００）。ＣＰＵ３２ｂは、例えば実装処理ユニット４０ｂ，電源ユニット４５ｂ，通信部５０ｂから電源オフを要するエラーが発生した旨の信号を受信したか否かにより、この判定を行う。電源オフを要するエラーとは、エラーに対処するために対基板作業装置２０の電源をオフする必要のあるエラーのことである。電源オフを要するエラーとしては、特にこれに限るものではないが、例えばヒューズ断などが挙げられる。ステップＳ１００で電源オフを要するエラーが発生したときには、ＣＰＵ３２ｂは、管理装置８０に対基板作業装置２０ｂのエラーに関するエラー関連情報を送信する（ステップＳ１１０）。この処理では、ＣＰＵ３２ｂは、自装置を識別するための装置識別情報と、エラーの内容（例えばヒューズ断などのエラーの種別）と、を対応づけたエラー関連情報を作成して、管理装置８０にエラー関連情報を送信する。なお、ＣＰＵ３２ｂは、対基板作業装置２０ｂが実装処理中である場合には、実装処理を停止するよう実装処理ユニット４０ｂを制御してもよい。続いて、ＣＰＵ３２ｂは、自装置でエラーが発生した旨とエラーの内容とを作業者に報知する自装置エラー報知画面を表示するよう表示操作部６０ｂを制御する（ステップＳ１２０）。これにより、表示操作部６０ｂに自装置エラー報知画面が表示され、作業者にエラーについての情報が報知される。自装置エラー報知画面には、対基板作業装置２０ｂの電源をオフするよう作業者に促すメッセージや画像が含まれていてもよい。自装置エラー報知画面を確認した作業者は、エラーに対処する作業（例えば対基板作業装置２０ｂの電源オフ及びその後のヒューズ交換など）を開始する。

　ステップＳ１００で電源オフを要するエラーが発生していないとき、又はステップＳ１２０の後、ＣＰＵ３２ｂは、表示操作部６０ｂが作業者からの電源オフ操作を入力したか否かを判定し（ステップＳ１３０）、電源オフ操作を入力していないときにはステップＳ１００以降の処理を実行する。すなわち、ＣＰＵ３２ｂは、電源オフを要するエラーが発生したときにエラー関連情報の送信や自装置エラー報知画面の表示を行う処理を、電源オフ操作がなされるまで繰り返す。そして、ステップＳ１３０で電源オフ操作を入力したときには、ＣＰＵ３２ｂは、対基板作業装置２０ｂへの電力の供給を停止するよう電源ユニット４５ｂに制御信号を送信して（ステップＳ１４０）、本ルーチンを終了する。これにより、対基板作業装置２０ｂの電源がオフされ、表示操作部６０ｂの自装置エラー報知画面などが表示されない状態になる。また、対基板作業装置２０ｂと他の装置との通信が切断される。

　次に、対基板作業装置２０でのエラーの発生に関連する管理装置８０の動作について説明する。図４は、管理装置８０の制御装置８１のＣＰＵ８２により実行されるエラー情報送受信処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、制御装置８１のＨＤＤ８５に記憶され、管理装置８０の電源がオンされると実行される。

　このルーチンが実行されると、制御装置８１のＣＰＵ８２は、まず、ＬＡＮ１１を介して対基板作業装置２０ａ～２０ｄのいずれかから上述したエラー関連情報を受信したか否かを判定し（ステップＳ２００）、受信していないときには受信するまで待つ。エラー関連情報を受信したときには、ＣＰＵ８２は、受信したエラー関連情報に含まれる装置識別情報に基づいてエラーが発生した装置対基板作業装置２０に隣接する対基板作業装置２０を特定する（ステップＳ２１０）。ここで、ＨＤＤ８５には、例えば装置識別情報と、装置識別情報で表される対基板作業装置２０の実装ライン中の位置とを対応づけたテーブルなどの装置配列情報が予め記憶されているものとした。そして、ＣＰＵ８２は、この装置配列情報に基づいて隣接装置を特定する。例えば、対基板作業装置２０ｂからのエラー関連情報を受信したときには、ＣＰＵ８２は、対基板作業装置２０ｂに隣接する対基板作業装置２０ａ，２０ｃを隣接装置として特定する。続いて、ＣＰＵ８２は、受信したエラー関連情報内にエラーの対処法を追加して、ステップＳ２１０で特定した隣接装置に送信する（ステップＳ２２０）。ここで、ＨＤＤ８５には、エラーの内容とそのエラーの対処法とを対応づけたテーブルなどのエラー対応情報が予め記憶されているものとした。エラー対応情報は、例えばエラーの内容がヒューズ断である場合には、対基板作業装置２０内のヒューズの位置や交換作業の手順などを示す情報である。そして、ＣＰＵ８２は、受信したエラー関連情報に含まれるエラーの内容に対応する対処法をエラー対応情報に基づいて導出し、導出したエラーの対処法をエラー関連情報に追加して、隣接装置に送信する。ステップＳ２２０の処理を行うと、ＣＰＵ８２は、ステップＳ２００以降の処理を行う。これにより、ＣＰＵ８２は、エラー関連情報を受信したら隣接装置にエラー関連情報を送信する処理を、繰り返し行う。

　続いて、他の対基板作業装置２０（電源オフを要するエラーが発生した対基板作業装置２０とは別の対基板作業装置２０）の動作について説明する。以下では、例として、エラーが発生した対基板作業装置２０ｂに隣接する対基板作業装置２０ａの動作について説明する。図５は、対基板作業装置２０ａの制御装置３１ａのＣＰＵ３２ａにより実行される受信側処理ルーチンの一例を示すフローチャートである。このルーチンは、制御装置３１ａのＨＤＤ３５ａに記憶され、対基板作業装置２０ｂの電源がオンされると実行される。

　このルーチンが実行されると、対基板作業装置２０ａのＣＰＵ３２ａは、まず、ＬＡＮ１１を介して管理装置８０から上述したエラー関連情報を受信したか否かを判定する（ステップＳ３００）。エラー関連情報を受信したときには、ＣＰＵ３２ａは、受信したエラー関連情報をＨＤＤ３５ａに記憶する（ステップＳ３１０）。ステップＳ３００でエラー関連情報を受信していないとき、又はステップＳ３１０の後、ＣＰＵ３２ａは、隣接する対基板作業装置２０との通信の切断を検出したか否かを判定する（ステップＳ３２０）。例えば、ＣＰＵ３２ａは、隣接する装置（ここでは対基板作業装置２０ｂ）に対して通信可能か否かを確認する信号を送信し、所定時間内に対基板作業装置２０ｂからの返信がなかったときに通信の切断を検出する。あるいは、各対基板作業装置２０は定期的にビーコンを他の装置に送信しているものとし、隣接装置からのビーコンを受信しなくなったときにＣＰＵ３２が通信の切断を検出してもよい。ステップＳ３２０で通信が切断されていないときには、ＣＰＵ３２ａは、ステップＳ３００以降の処理を実行して、通信の切断を検出するまでエラー情報の受信及び記憶を繰り返す。ステップＳ３２０で通信の切断を検出したときには、ＣＰＵ３２ａは、通信の切断を検出した隣接装置のエラー関連情報をＨＤＤ３５ａから読み出して、エラー関連情報に基づく他装置エラー報知画面を表示操作部６０ａに表示させる（ステップＳ３３０）。この処理では、ＣＰＵ３２ａは、通信の切断を検出した隣接装置の装置識別情報を含むエラー関連情報がＨＤＤ３５ａに記憶されているかを調べ、記憶されているときにはそのエラー関連情報を読み出す。すなわち、通信の切断を検出した対基板作業装置２０以外の対基板作業装置２０のエラー関連情報がＨＤＤ３５ａに記憶されていたとしても、そのエラー関連情報は表示すべき情報ではないため、ＣＰＵ３２ａは読み出しを行わない。そして、ＣＰＵ３２ａは、読み出したエラー関連情報に含まれる装置識別情報，エラーの内容，エラーの対処方法に基づいて、どの対基板作業装置２０でどのようなエラーが発生したかの情報とそのエラーへの対処法とを作業者に報知する他装置エラー報知画面を表示するよう表示操作部６０ａを制御する。これにより、表示操作部６０ａに他装置エラー報知画面が表示され、作業者に対基板作業装置２０ｂのエラーについての情報が報知される。ステップＳ３３０の処理を行うと、ＣＰＵ３２ａは、Ｓ３００以降の処理を実行する。

　ここで、図３のステップＳ１２０で対基板作業装置２０ｂの表示操作部６０ｂに表示された自装置エラー報知画面を確認した作業者は、エラーに対処する作業を行う。具体的には、まず、表示操作部６０ｂを操作して対基板作業装置２０ｂの電源をオフにし、図２（ｂ）に示すように対基板作業装置２０ｂを引き出した状態にする。そして、対基板作業装置２０ｂの左右から作業者がエラーに対処する作業を行う。図６は、作業者Ｐが対基板作業装置２０ｂの左側からエラーに対処する様子を上から見た説明図である。上述したように、エラーが発生した対基板作業装置２０ｂ自体は電源がオフされているため、表示操作部６０ｂにはエラーに関する情報は表示されない。このとき、上述した受信側処理ルーチンを行うことで、対基板作業装置２０ａのＣＰＵ３２ａは対基板作業装置２０ｂの通信の切断を検出することにより電源オフを検出し、表示操作部６０ａに他装置エラー報知画面を表示する。そのため、図６に示すように、作業者Ｐは自身の左手側（後方）の表示操作部６０ａの他装置エラー報知画面を確認できる。このため、対基板作業装置２０ｂの電源をオフした後でも、表示操作部６０ｂの代わりに表示操作部６０ａを用いて作業者Ｐは対基板作業装置２０ｂのエラーの内容や対処法を確認することができ、エラーに適切に対処することができる。

　なお、上述したように対基板作業装置２０ａ～２０ｄはいずれも同じ装置であり、いずれも図３の送信側処理ルーチンと図５の受信側処理ルーチンとをそれぞれ実行する。例えば、対基板作業装置２０ｂで電源オフを要するエラーが発生したときには、図４のステップＳ２２０で説明したように管理装置８０は隣接装置である対基板作業装置２０ａ，２０ｃにそれぞれエラー関連情報を送信する。そのため、対基板作業装置２０ａと同様に対基板作業装置２０ｃでも受信側処理ルーチンによりエラー関連情報の受信，記憶及び対基板作業装置２０ｂとの通信断の検出が行われて、Ｓ３３０で表示操作部６０ｃに他装置エラー報知画面が表示される（図６参照）。これにより、作業者Ｐは対基板作業装置２０ｂの左右どちらから作業する場合でも、エラーの内容や対処法を確認しやすい。

　また、上記では例として対基板作業装置２０ｂで電源オフを要するエラーが発生したときについて説明したが、対基板作業装置２０ａ，２０ｃ，２０ｄのいずれかで電源オフを要するエラーが発生したときも同様である。例えば、対基板作業装置２０ｃで電源オフを要するエラーが発生したときには、対基板作業装置２０ｃの電源がオフされると、隣接装置である対基板作業装置２０ｂ，２０ｄの表示操作部６０ｂ，６０ｄで他装置エラー報知画面が表示される。なお、対基板作業装置２０ｂ，２０ｄの両方で電源オフを要するエラーが発生して両方の電源がオフされた場合、両者に共に隣接する対基板作業装置２０ｃの表示操作部６０ｃでは、対基板作業装置２０ｂのエラー関連情報に基づく情報と対基板作業装置２０ｄのエラー関連情報に基づく情報とを共に含む他装置エラー報知画面を表示してもよい。

　本実施形態の構成要素と本発明の構成要素との対応関係を明らかにする。本実施形態の図５のステップＳ３００を実行するＣＰＵ３２が本発明のエラー情報受信手段に相当し、ＨＤＤ３５がエラー情報記憶手段に相当し、表示操作部６０が報知手段に相当し、本実施形態の図５のステップＳ３２０，３３０を実行するＣＰＵ３２が報知制御手段に相当する。また、搬送部４１が搬送手段に相当し、図３のステップＳ１００，Ｓ１１０を実行するＣＰＵ３２が本発明のエラー情報送信手段に相当し、対基板作業装置２０が引き出し可能なモジュールに相当し、図４のステップＳ２００～Ｓ２２０を実行するＣＰＵ８２がエラー情報送受信手段に相当する。

　以上説明した対基板作業システム１０において、対基板作業装置２０のＣＰＵ３２は、自装置でエラーが発生した場合にそのエラーに関するエラー関連情報を送信する。そして、ＣＰＵ３２は、他の対基板作業装置２０のエラーに関するエラー関連情報を受信して、受信されたエラー関連情報をＨＤＤ３５に記憶する。そして、エラーが発生した対基板作業装置２０（他の対基板作業装置２０）の電源オフを検出した場合に、記憶されたエラー関連情報に基づく情報（他装置エラー報知画面）を作業者に報知するよう表示操作部６０を制御する。これにより、エラーが発生した対基板作業装置２０の電源がオフされた場合に、他の対基板作業装置２０がエラーに関する情報を作業者に報知できる。なお、本実施形態では、エラーが発生した対基板作業装置２０の電源がオフされると他の対基板作業装置２０は自動的に他装置エラー報知画面を表示する。そのため、他装置エラー報知画面を表示するよう他の対基板作業装置２０を作業者が操作する必要はない。

　また、対基板作業装置２０のＣＰＵ３２は、他の対基板作業装置２０との通信状態に基づいて対基板作業装置２０の電源オフを検出するため、通信状態に基づいて対基板作業装置２０の電源オフを適切に検出することができる。また、ＣＰＵ３２は、対基板作業装置２０との通信が切断されたときに、対基板作業装置２０の電源オフを検出する。

　さらに、エラーが発生した対基板作業装置２０と、その装置の他装置エラー報知画面を表示する対基板作業装置２０とが、隣接配置されている。そのため、エラーが発生した対基板作業装置２０でエラーに関する作業を行う作業者など、エラーが発生した対基板作業装置２０付近の作業者が、エラーに関する情報をより取得しやすくなる。また、対基板作業装置２０は、他の対基板作業装置２０との並び方向（左右方向）や基板の搬送方向（左右方向）と直交する方向（前方）に引き出し可能なモジュールとして構成されている。引き出された状態の対基板作業装置２０に対して対基板作業装置２０の並び方向（左右方向）から作業者が作業を行う場合、作業者は隣接する対基板作業装置２０の表示操作部６０（例えば図６における表示操作部６０ａ）を表示操作部６０の正面から確認できる位置におり、画面が比較的見やすい。一方、例えば対基板作業装置２０を引き出さずに対基板作業装置２０の前方から作業者が作業を行う場合、作業者は隣接する対基板作業装置２０の表示操作部６０を斜めから確認することになる。そのため、対基板作業装置２０が引き出し可能な場合には、隣接装置の表示操作部６０で他装置エラー報知画面を表示する意義が高い。

　さらにまた、管理装置８０のＣＰＵ８２は、対基板作業装置２０からエラー関連情報を受信して他の対基板作業装置２０にエラー関連情報を送信する。そのため、例えば対基板作業装置２０と他の対基板作業装置２０とがエラー関連情報を直接送受信できない場合でも、管理装置８０を介してエラー関連情報の送受信を行うことができる。また、ＣＰＵ８２は受信したエラー関連情報にエラーの対処法を追加して隣接装置に送信するため、対基板作業装置２０がエラーの対処法に関する情報を予め記憶しておく必要がない。

　なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。

　例えば、上述した実施形態では、隣接する対基板作業装置２０との通信の切断を検出したか否かをＣＰＵ３２が検出するが、他の対基板作業装置２０との通信状態に基づいてＣＰＵ３２が他の対基板作業装置２０の電源オフを検出すれば、これに限られない。また、通信状態に限らず、どのような方法でＣＰＵ３２が他の対基板作業装置２０の電源オフを検出してもよい。例えば、所定のトリガー信号を受信したか否かに基づいてＣＰＵ３２が他の対基板作業装置２０の電源オフを検出してもよい。例えば、エラーが発生した対基板作業装置２０のＣＰＵ３２は、図３のステップＳ１３０で電源オフの操作を入力したあとに、トリガー信号を隣接する対基板作業装置２０に送信してからステップＳ１４０を実行してもよい。この場合のトリガー信号を送信するＣＰＵ３２が、本発明のトリガー信号送信手段に相当する。そして、他の対基板作業装置２０のＣＰＵ３２は、図５のステップＳ３２０においてトリガー信号を受信したか否かを判定して、トリガー信号を受信したときにステップＳ３３０を実行してもよい。こうすれば、トリガー信号の受信の有無に基づいてＣＰＵ３２は他の対基板作業装置２０の電源オフを適切に検出することができる。なお、ステップＳ３３０では、ＣＰＵ３２は、ＨＤＤ３５に記憶されたエラー関連情報のうちいずれを読み出すかを、トリガー信号に含まれる装置識別情報に基づいて特定してもよいし、トリガー信号の送信元を判定して特定してもよい。トリガー信号には、いずれの対基板作業装置２０の電源がオフされるかを識別可能な情報（例えば上述した装置識別情報）と、トリガー信号を受信した対基板作業装置２０に対してＨＤＤ３５に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を表示させる旨の指令情報と、の少なくとも一方を含んでいてもよい。なお、エラーが発生した対基板作業装置２０のＣＰＵ３２がトリガー信号を送信する場合、隣接する対基板作業装置２０に直接送信してもよいし、管理装置８０に送信してもよい。後者の場合、管理装置８０のＣＰＵ８２がトリガー信号を隣接装置に送信すればよい。また、エラーが発生した対基板作業装置２０がトリガー信号を送信しなくともよく、この場合でも他の対基板作業装置２０がトリガー信号を受信できればよい。例えば、管理装置８０のＣＰＵ８２が対基板作業装置２０との通信状態に基づいて（例えばステップＳ３２０と同様の処理を実行して）対基板作業装置２０の電源オフを検出した場合に、その対基板作業装置２０に隣接する対基板作業装置２０にトリガー信号を送信してもよい。このような処理を行うＣＰＵ８２が、本発明の第３の対基板作業システムの検出手段に相当する。

　上述した実施形態では、管理装置８０のＣＰＵ８２がエラー関連情報を受信し、エラーの対処法を追加してから隣接装置に送信するが、これに限られない。例えばＣＰＵ８２は、受信したエラー関連情報をそのまま隣接装置に送信したり、受信したエラー関連情報の一部を削除したり、新たに作成したエラー関連情報（例えばエラーの対処法のみを含むエラー関連情報など）を隣接装置に送信したりしてもよい。また、エラーが発生した対基板作業装置２０のＣＰＵ３２は、ステップＳ１１０においてエラー関連情報を直接隣接する対基板作業装置２０に送信してもよい。

　上述した実施形態では、対基板作業装置２０全体が引き出し可能なモジュールとして構成されているが、これに限らず対基板作業装置２０の一部が引き出し可能なモジュールであってもよいし、対基板作業装置２０が引き出し不可能な装置であってもよい。

　上述した実施形態では、エラーが発生した対基板作業装置２０と、その装置が電源オフされたときに他装置エラー報知画面を表示する対基板作業装置２０とが隣接しているものとしたが、これに限られない。例えば、管理装置８０のＣＰＵ８２は図４のステップＳ２２０で隣接装置にのみエラー関連情報を送信するが、これに限らず隣接装置でない対基板作業装置２０にもエラー関連情報を送信してもよい。上述したトリガー信号を送信する変形例においても、同様である。

　上述した実施形態では、エラー関連情報には装置識別情報が含まれており、ＣＰＵ８２がこれに基づいてエラーが発生した装置の隣接装置を特定するものとしたが、これに限られない。例えば、エラーが発生した対基板作業装置２０の電源がオフされた場合に、この対基板作業装置２０の並び方向の一方（例えば左方向）に隣接する対基板作業装置２０においてのみ他装置エラー報知画面を表示するように対基板作業システム１０を構成する場合、装置識別情報を省略できる。例えば、対基板作業装置２０において、各々のＨＤＤ３５には自装置の右方向に隣接する対基板作業装置２０からのエラー関連情報のみが記憶され、自装置の右方向に隣接する対基板作業装置２０の電源オフのみをＣＰＵ３２が検出する場合には、エラー関連情報に装置識別情報が含まれる必要はない。

　上述した実施形態では、管理装置８０のＣＰＵ８２がエラー関連情報を隣接装置にのみ送信するものとしたが、これに限られない。例えば、ＣＰＵ８２はエラーが発生した対基板作業装置２０以外の全ての対基板作業装置２０にエラー関連情報を送信してもよい。この場合、対基板作業装置２０のＣＰＵ３２は、受信したエラー関連情報が自装置に隣接する対基板作業装置２０に関する情報でない場合には、ＨＤＤ３５にエラー関連情報を記憶しなくともよい。上述したトリガー信号を送信する変形例においても同様に、受信したトリガー信号が自装置に隣接する対基板作業装置２０に関するトリガー信号でない場合には、ＣＰＵ３２が他装置エラー報知画面の表示を行わなくてもよい。

　上述した実施形態では、対基板作業装置２０のＣＰＵ３２は表示操作部６０に他装置エラー報知画面を表示させることで作業者にエラー関連情報に基づく情報を報知するが、作業者に情報を報知できればこれに限られない。例えば、対基板作業装置２０は音声などにより作業者にエラー関連情報に基づく情報を報知してもよい。また、上述した実施形態では、ＣＰＵ３２は、どの対基板作業装置２０でどのようなエラーが発生したかの情報とそのエラーへの対処法とを含むエラー報知画面を表示するが、これに限らずどのような情報を報知してもよい。

　上述した実施形態では、対基板作業装置２０のＣＰＵ３２は、図３のステップＳ１３０において作業者からの電源オフ操作を入力したか否かを判定するが、これに限られない。例えば、電源オフを要するエラーが発生したときには、ＣＰＵ３２はステップＳ１１０でエラー関連情報を送信したあとにそのままステップＳ１４０を実行して、自動的に対基板作業装置２０の電源をオフしてもよい。

　上述した実施形態では、対基板作業装置２０のＣＰＵ３２は、電源オフを要するエラーが発生したときに、エラー関連情報を送信するが、これに限られない。例えば、ＣＰＵ３２は、電源オフを要するか否かに限らずエラーが発生したときにはエラー関連情報を送信してもよい。

　上述した実施形態では、対基板作業装置２０は基板上への部品の実装処理を行う実装装置としたが、基板に対する作業を行う装置であればこれに限られない。例えば、対基板作業装置２０は、基板や基板上の部品への粘性流体（接着剤など）の塗布を行う塗布装置であってもよいし、基板にスクリーン印刷により粘性流体などを塗布する印刷装置としてもよい。また、上述した実施形態では対基板作業システム１０を構成する対基板作業装置２０はいずれも同じ実装装置としたが、これに限らず対基板作業システム１０は異なる種類の対基板作業装置を備えていてもよい。

　上述した実施形態では、対基板作業システム１０として構成された対基板作業装置２０の動作について説明したが、本発明の対基板作業装置は対基板作業システム１０に用いられるものであれば対基板作業装置２０単体の状態であってもよい。

　本発明は、基板に対する実装処理などの作業を行う対基板作業装置の技術分野に利用可能である。

　１０　対基板作業システム、１１　ＬＡＮ、２０，２０ａ～２０ｄ　対基板作業装置、３１ａ，３１ｂ　制御装置、３２，３２ａ，３２ｂ　ＣＰＵ、３３ａ，３３ｂ　ＲＯＭ、３４ａ，３４ｂ　ＲＡＭ、３５，３５ａ，３５ｂＨＤＤ、４０ａ，４０ｂ　実装処理ユニット、４１，４１ａ，４１ｂ　搬送部、４５ａ，４５ｂ　電源ユニット、５０ａ，５０ｂ　通信部、６０，６０ａ～６０ｄ　表示操作部、７０ａ，７０ｂ　ベース、７１ａ　ガイドレール、７２ａ　ストッパー、７３ａ　レバー、７４ａ　レバー駆動装置、８０　管理装置、８１　制御装置、８２　ＣＰＵ、８３　ＲＯＭ、８４　ＲＡＭ、８５　ＨＤＤ、８６　通信部、８７　入力デバイス、８８　ディスプレイ、１７０　移動台、１７１　ガイドレール、１７２　ストッパー、１７３　レバー、１７４　レバー駆動装置、１７５　車輪、Ｐ　作業者。

Claims

　基板に対する作業を行う対基板作業装置を複数備えた対基板作業システムに用いられる前記対基板作業装置であって、
　前記対基板作業システム中の他の対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、
　前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、
　情報を作業者に報知可能な報知手段と、
　前記他の対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、
　を備えた対基板作業装置。
　前記報知制御手段は、前記他の対基板作業装置との通信状態に基づいて該他の対基板作業装置の電源オフを検出する、
　請求項１に記載の対基板作業装置。
　前記報知制御手段は、トリガー信号を受信したか否かに基づいて前記他の対基板作業装置の電源オフを検出する、
　請求項１に記載の対基板作業装置。
　基板に対する作業を行う対基板作業装置を複数備えた対基板作業システムに用いられる前記対基板作業装置であって、
　自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段と、
　自装置の電源をオフする際に、トリガー信号を送信するトリガー信号送信手段と、
　を備えた対基板作業装置。
　請求項４に記載の対基板作業装置であって、
　前記基板を搬送方向に搬送する搬送手段と、
　前記搬送方向に垂直な方向に引き出し可能なモジュールと、
　を備えた対基板作業装置。
　自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段を備えた対基板作業装置と、
　前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、前記対基板作業装置との通信状態に基づいて前記対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
　を備えた対基板作業システム。
　自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段と、自装置の電源をオフする際に、トリガー信号を送信するトリガー信号送信手段と、を備えた対基板作業装置と、
　前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、前記対基板作業装置からの前記トリガー信号を受信したか否かに基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
　を備えた対基板作業システム。
　自装置でエラーが発生した場合に該エラーに関するエラー関連情報を送信するエラー情報送信手段を備えた対基板作業装置と、
　前記対基板作業装置のエラーに関するエラー関連情報を受信するエラー情報受信手段と、前記受信されたエラー関連情報を記憶する記憶手段と、情報を作業者に報知可能な報知手段と、トリガー信号を受信したか否かに基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に、前記記憶手段に記憶されたエラー関連情報に基づく情報を作業者に報知するよう前記報知手段を制御する報知制御手段と、を備えた他の対基板作業装置と、
　前記対基板作業装置との通信状態に基づいて該対基板作業装置の電源オフを検出した場合に前記他の対基板作業装置に前記トリガー信号を送信する検出手段を有する管理装置と、
　を備えた対基板作業システム。
　前記対基板作業装置と前記他の対基板作業装置とが隣接配置されている、
　請求項６～８のいずれか１項に記載の対基板作業システム。
　前記対基板作業装置は、前記他の対基板作業装置との並び方向と直交する方向に引き出し可能なモジュールを有する、
　請求項６～９のいずれか１項に記載の対基板作業システム。
　請求項６～１０のいずれか１項に記載の対基板作業システムであって、
　前記対基板作業装置から前記エラー関連情報を受信して前記他の対基板作業装置に該エラー関連情報を送信するエラー情報送受信手段を有する管理装置、
　を備えた対基板作業システム。