WO2016006433A1

WO2016006433A1 - 振動装置

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Publication number: WO2016006433A1
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Authority: WO
Inventors: 西村　俊雄
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
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Filing date: 2015-06-23
Publication date: 2016-01-14
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Abstract

　輪郭振動の高調波で振動し、振動特性に優れている、振動装置を提供する。　複数の振動部２ａ～２ｅが設けられており、かつ輪郭振動の高調波で振動する振動板２と、振動板２に、支持部４ａ，４ｂの第１の端部が連結されており、支持部４ａ，４ｂの第２の端部につなげられており、かつ振動板２を囲むように枠状の基部３が設けられており、屈曲振動部５を設けるように、基部３に、支持部４ａ，４ｂが延びる方向と交叉する方向に延びるスリット３ａが形成されており、屈曲振動部５の両端が基部３の残りの部分に連ねられており、連ねられている部分が屈曲振動部５の固定端とされており、屈曲振動部５の支持部４ａ，４ｂの第２の端部に連結されている部分と、屈曲振動部５の固定端までの長さが、振動板２における固有振動の周波数に対応する該屈曲振動の波長をλとしたとき、λ／４とされている、振動装置１。

Description

振動装置

　本発明は、輪郭振動の高調波で振動する振動板に、該振動板を支持するための支持部が連結されている振動装置に関する。

　従来、共振子等として、様々な振動モードを利用した振動装置が用いられている。このような振動装置では、振動板の振動を阻害しないように振動板を支持する必要がある。

　下記の特許文献１では、長さモードで振動する振動部の長さ方向に沿う面の中央に、Ｔ字状の支持部が連結されている。Ｔ字状の支持部は、第１の方向に延びる第１の部分と、第１の部分の一方の側面の中央に連結されており、第１の方向と直交する第２の方向に延びる第２の部分とを有する。この第２の部分の先端が振動部に連結されている。第１の部分の第２の部分に連結されている側の側面とは反対側の側面は、基部に設けられたスリットに臨んでいる。このスリットは、第１の部分の延びる方向に延ばされている。

　このＴ字状の支持部では、第２の部分から伝播してきた振動が、第１の部分の上記スリットに臨んでいる部分を屈曲振動させる。第１の部分の屈曲振動する部分が振動反射部を構成している。この振動反射部の長さ、すなわち第１の方向に沿う長さは、振動部から伝搬する主振動の波長λの１／４とされている。

　下記の特許文献２では、振動部の長さ方向に沿う面の中央に支持部が連結されている。支持部には、振動部を囲むように設けられた支持部が連結されている。特許文献２では、支持部の形状をＴ字状などの形状にすることにより、振動の漏洩を抑制し得るとされている。

　下記の非特許文献１では、輪郭振動の高調波で振動する振動板のノード点に複数対の支持部が連結する構造が開示されている。非特許文献１では、支持部を複数対とすることで支持部近傍のスプリアスモードが抑制され、主振動のＱ値が向上するとされている。

ＷＯ２０１０／１１０９１８特開平１０－１１７１２０号公報

"ＴＯＷＡＲＤ　ＵＬＴＩＭＡＴＥ　ＰＥＲＦＯＲＭＡＮＣＥ　ＩＮ　ＧＨＺ　ＭＥＭＳ　ＲＥＳＯＮＡＴＯＲＳ：ＬＯＷ　ＩＭＰＥＤＡＮＣＥ　ＡＮＤ　ＨＩＧＨ　Ｑ"　Ｂ．Ｐ．Ｈａｒｒｉｎｇｔｏｎ，　Ｍ．Ｓｈａｈｍｏｈａｍｍａｄｉ　ａｎｄ　Ｒ．Ａｂｄｏｌｖａｎｄ　Ｏｋｌａｈｏｍａ　Ｓｔａｔｅ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ，　Ｔｕｌｓａ，　Ｏｋｌａｈｏｍａ，　ＵＳＡ

　特許文献１に記載の振動装置では、上記振動反射部の長さが、λ／４とされている。そのため、振動が閉じ込められず、基部側に振動が漏洩しがちであった。

　また、Ｔ字状の支持部の第１の部分の両端に連ねられている保持部分の面積が小さかった。そのため、Ｔ字状の支持腕と保持部分との音響インピーダンス差が小さく、十分な音響反射効果が得られなかった。

　また、特許文献２に記載の振動装置では、支持部の形状及び寸法と、振動板において励振される振動の波長との関係については何ら考慮されていない。そのため、振動の漏洩を十分に抑制することができなかった。

　さらに、非特許文献１に記載の振動装置では、支持部に強固に固定されているため主振動もダンピングされることがあった。そのため、十分な振動特性を得ることができなかった。

　本発明の目的は、輪郭振動の高調波で振動し、振動特性に優れている、振動装置を提供することにある。

　本発明に係る振動装置は、複数の振動部が設けられており、かつ輪郭振動の高調波で振動する振動板と、第１の端部と上記第１の端部とは反対側の第２の端部とを有し、上記第１の端部が上記複数の振動部のうち少なくとも１つの振動部の振動のノードとなる部分に連結されており、上記振動板を支持している支持部と、上記支持部の上記第２の端部につなげられており、上記振動板を囲むように設けられた枠状の基部とを備え、両端が固定端とされている屈曲振動部が設けられるように、上記基部に、上記支持部が延びる方向と交叉する方向に延びるスリットが形成されており、上記屈曲振動部の両端が上記基部の残りの部分に連ねられており、該連ねられている部分が上記屈曲振動部の固定端とされており、上記屈曲振動部の上記支持部の上記第２の端部に連結されている部分と、該屈曲振動部の上記固定端までの長さが、上記振動板における固有振動の周波数に対応する該屈曲振動の波長をλとしたとき、λ／４とされている。

　本発明に係る振動装置のある特定の局面では、全体が板状体であり、上記振動板、上記支持部及び上記基部を構成するように、上記支持部が設けられている部分を除いて上記振動板を囲む、複数の貫通溝が上記板状体に形成されている。

　本発明に係る振動装置の別の特定の局面では、上記複数の振動部が、それぞれ、縮退半導体からなるＳｉ層と、上記Ｓｉ層上に積層されている励振部とを有し、該励振部が、圧電薄膜と、上記圧電薄膜に電圧を印加するための第１，第２の電極とを有する。

　本発明に係る振動装置の他の特定の局面では、上記振動板の外周縁と、上記基部との間の距離が、上記振動板の外周縁と上記屈曲振動部との間の距離と同等である。

　本発明に係る振動装置のさらに別の特定の局面では、上記振動板の外周縁と、上記基部との間の距離が、上記振動板の外周縁と上記屈曲振動部との間の距離よりも小さい。

　本発明に係る振動装置のさらに他の特定の局面では、上記支持部として、１対の支持部を有する。

　本発明に係る振動装置のさらに他の特定の局面では、上記支持部として、複数対の支持部を有する。

　本発明に係る振動装置では、上記のように、屈曲振動部の両端が基部の残りの部分に連ねられており、該連ねられている部分が固定端とされているため、十分な音響反射効果が得られる。よって、振動板から伝搬してきた輪郭振動の高調波の振動を屈曲振動部の振動により振動板側に振動を確実に閉じ込めることが可能となる。従って、振動特性を向上させることができる。

図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置の平面図であり、図１（ｂ）はその要部を示す正面断面図である。図２は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置の第１の変形例の部分切欠平面図である。図３は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置の第２の変形例の要部の正面断面図である。図４は、本発明の第１の実施形態における支持部と屈曲振動部との寸法関係を説明するための部分切欠平面図である。図５は、本発明の第２の実施形態に係る振動装置の平面図である。図６は、本発明の第３の実施形態に係る振動装置の平面図である。図７は、屈曲振動部の支持部に連結されている部分と、屈曲振動部の外側の固定端との間の長さＬｓと、Ｑとの関係を示す図である。図８は、本発明の第４の実施形態に係る振動装置の平面図である。図９は、本発明の第５の実施形態に係る振動装置の平面図である。

　以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

　図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る振動装置の平面図である。振動装置１は、長さ方向と幅方向とを有する矩形板状の振動板２を有する。振動板２は、輪郭振動の高調波で強く励振される。

　なお、本明細書において、輪郭振動とは、拡がり振動、幅方向寸法が変化する幅拡がり振動、並びに長さ方向に伸縮する振動の総称として用いるものとする。本実施形態においては、後述するように幅拡がり振動の高調波が利用されている。

　振動板２は、長さ方向と幅方向とを有する矩形板状の５つの振動部２ａ～２ｅが併設されることにより形成されている。５つの振動部２ａ～２ｅの幅方向は、振動板２の長さ方向と一致している。他方、５つの振動部２ａ～２ｅの長さ方向は、振動板２の幅方向と一致している。

　振動板２は、枠状の基部３に支持部４ａ，４ｂにより連結されている。基部３は、特に限定されないが外周縁が矩形の形状を有している。

　支持部４ａ，４ｂは、矩形板状の振動板２の１つの側面に連結されている。より具体的には、支持部４ａが、振動部２ｂの１つの側面中央に連結されており、支持部４ｂが振動部２ｄの1つの側面中央に連結されている。また、振動部２ｂ，２ｄの上記側面と反対側の側面にも、支持部４ａ，４ｂが連結されている。すなわち、２対の支持部４ａ，４ａ，４ｂ，４ｂが設けられている。

　支持部４ａ，４ｂは、振動板２に連結されている第１の端部と、基部３に連結されている第２の端部とを有する。第２の端部は、第１の端部と反対側である。

　支持部４ａ，４ｂの第２の端部は、屈曲振動部５に連結されている。ここで、屈曲振動部５とは、基部３にスリット３ａを設けることにより、スリット３ａと支持部４ａ，４ｂとの間に設けられている部分である。すなわち、基部３には、支持部４ａ，４ｂの延びる方向と直交する方向に延びるスリット３ａが設けられている。言い換えれば、矩形板状の振動板２の支持部４ａ，４ｂが連結されている側面と平行な方向に延びるように、スリット３ａが設けられている。

　スリット３ａと支持部４ａ，４ｂとの間の基部３部分が、屈曲振動部５を構成している。屈曲振動部５の外側縁がスリット３ａに臨んでいる。反対側の縁は貫通溝６に臨んでいる。より詳細には、矩形板状の基部３に貫通溝６を形成することにより、上記振動板２及び２対の支持部４ａ，４ａ，４ｂ，４ｂが設けられるように、貫通溝６は形成されている。

　言い換えれば、振動板２は貫通溝６を介して、枠状の基部３に囲まれている。これにより、振動板２の外周縁と、上記基部３との間の距離が、上記振動板２の外周縁と上記屈曲振動部５との間の距離と同等に形成されている。

　なお、図２に示す本発明に係る振動装置の第１の変形例のように、振動板２の外周縁と基部３との間の距離ｄ１が、振動板２の外周縁と屈曲振動部５との間の距離ｄ２よりも小さくなるように貫通溝６Ａを形成してもよい。この場合、固定端を示す破線Ａの外側の基部３の部分Ｂの面積をより一層大きくすることができる。そのため、後述する音響反射効果がより一層高められ、振動をより一層確実に閉じ込めることができる。

　図１（ａ）に戻り、屈曲振動部５は、上記スリット３ａが延びる方向に延ばされている。そして、図１（ａ）に破線Ａ，Ａで示す位置が屈曲振動部５の端部である。すなわち、屈曲振動部５の長さ方向端部は、屈曲振動部５のスリット３ａの長さ方向端部に一致している。言い換えれば、スリット３ａと貫通溝６との間の部分が屈曲振動部５を構成している。

　本実施形態では、振動板２は、図１（ｂ）に示す積層構造を有する。図１（ｂ）に示すように、振動板２は、５つの振動部２ａ～２ｅにより形成されている。以下、振動部２ａを例に挙げて説明する。

　振動部２ａでは、縮退半導体からなるＳｉ層１１上に、第１の電極１３が積層されている。図１（ｂ）においては、図示を省略しているが、Ｓｉ層１１と、第１の電極１３との間には、酸化ケイ素層が設けられていてもよい。また、第１の電極１３が、縮退半導体からなるＳｉ層１１で兼ねられていてもよい。

　酸化ケイ素層が積層されていることにより、周波数温度特性を改善することができる。なお、酸化ケイ素層は、Ｓｉ層１１の下側に設けられていてもよいし、第２の電極１４ａより上側に設けられていてもよい。また、Ｓｉ層１１の両面に形成されていてもよい。その場合には、Ｓｉ層の反りを抑制することができる。

　縮退半導体からなるＳｉ層１１は、Ｓｉにｎ型ドーピング剤をドープすることにより縮退半導体とされている。この場合のドーピング濃度は、５×１０^１９個／ｃｍ^３以上とされている。上記ドーピング剤については、特に限定されないが、ｎ型のドーピング剤として、リン（Ｐ）が好適に用いられる。リン（Ｐ）を用いた場合、容易にｎ型の縮退半導体を製造することができる。

　第１の電極１３上には、圧電薄膜１２及び第２の電極１４ａ～１４ｅがこの順に積層されている。第１の電極１３、圧電薄膜１２及び第２の電極１４ａ～１４ｅにより、励振部が形成されている。

　圧電薄膜１２は、厚み方向に配向している。従って、第２の電極１４ａ～１４ｅと、第１の電極１３との間に交番電界を印加することにより、励振部が励振される。また、Ｓｉ層１１は、上記のように縮退半導体であるＳｉからなる。そのため、振動部２ａは、いわゆるＭＥＭＳ構造を有する振動体である。振動部２ａは、幅拡がりモードで振動する。

　他の振動部２ｂ～２ｅについても、振動部２ａと同様に構成されている。振動部２ａ～２ｅにおいて、Ｓｉ層１１、圧電薄膜１２及び第１の電極１３は、共有されている。

　また、図１（ｂ）に示すように、振動部２ａ～２ｅにおいては、隣り合う振動部とは逆位相となるように交番電界が印加される。そのため、振動部２ａ～２ｅにおいては、隣り合う振動部同士が、逆位相で幅拡がりモードにより振動する。ここで、矩形板状の振動部２ａ～２ｅの幅方向は、矩形板状の振動板２の長さ方向と一致している。従って、振動板２は、輪郭振動のうち幅拡がり振動の高調波で強く励振されることとなる。

　なお、本実施形態においては、第２の電極１４ａ～１４ｅにのみ電位が与えられており、振動部２ａ～２ｅで共有されている第１の電極１３は、浮き電極とされている。図３に示す第１の実施形態に係る振動装置の第２の変形例のように、振動部２ａ～２ｅのそれぞれに第１の電極１３ａ～１３ｅが設けられていてもよい。この場合、図３に示すように、第２の電極１４ａ～１４ｅと、第１の電極１３ａ～１３ｅとのいずれにも、隣り合う電極同士に逆位相で電位が与えられる。

　図１（ａ）に戻り、振動部２ｂの幅方向中央には、支持部４ａが連結されている。振動部２ｂの幅方向の中央付近に振動のノードが位置するため、該ノードに支持部４ａが連結されている。同様に、振動部２ｄの幅方向の中央に位置する振動のノードに支持部４ｂが連結されている。

　すなわち、振動板２の振動は、支持部４ａ，４ｂに伝達され難い。加えて、本実施形態では、屈曲振動部５の作用により屈曲振動部５までの部分に振動を確実に閉じ込めることができる。それによって、振動特性を高めることができる。これを、以下において詳述する。

　本実施形態では、支持部４ａ，４ｂが延びる方向と、屈曲振動部５が延びる方向とは直交している。また、屈曲振動部５は、内側縁において貫通溝６に臨んでおり、外側縁がスリット３ａに臨んでいる。従って、支持部４ａ，４ｂを経由して振動板２から振動が伝達されると、屈曲振動部５は、基部３の面方向と直交する方向に屈曲振動する。この場合、屈曲振動部５の両端は固定端である。すなわち、屈曲振動部５の破線Ａで示す端部は基部３に連ねられているため、端部は固定端となる。

　本実施形態では、伝搬してきた振動は屈曲振動部５の振動に変換され、屈曲振動部５と基部３との界面が屈曲振動の固定端となる。そのため、屈曲振動がこの界面で反射され、基部３側への振動の伝達を効果的に抑制することができる。

　特に、破線Ａで示す固定端の外側の基部部分の面積が大きいため、基部３の音響インピーダンスを高めることができる。従って、破線Ａで示す部分における音響反射効果を高めることができる。それによって、振動の屈曲振動部５までの部分への閉じ込め性を高めることができる。

　上記のように、屈曲振動部５の両端、すなわち固定端が基部３の残りの部分に連ねられている。そのため、固定端の外側の基部部分の面積が大きくされている。この場合、固定端の外側の基部部分の面積が大きいほど好ましい。より具体的には、固定端の外側の基部３の残りの部分の面積は、屈曲振動部５の面積より大きいことが望ましい。

　図４は、支持部と屈曲振動部との寸法関係を説明するための部分切欠平面図である。図４では屈曲振動部５の両端を固定端として略図的に示す。

　本実施形態では、上記屈曲振動部５の支持部４ａの第２の端部に連結されている部分と、屈曲振動部５の固定端との間の距離である長さＬｓは、振動板２における固有振動の周波数に対応する屈曲振動の波長をλとしたとき、λ／４とされている。よって、それによっても、振動の閉じ込め性をより一層高めることができる。

　前述したように、本実施形態では、破線Ａで示す固定端の外側の基部部分の面積が大きいため、音響反射効果を高めることができ、閉じ込め性を高めることができる。また、上記距離Ｌｓがλ／４とされているため、閉じ込め性をより一層効果的に高める。これらを、図７を参照してより具体的に説明する。

　上記振動装置１として、以下の仕様で振動装置１を作製した。

　振動板２の平面形状：長さ＝５００μｍ、幅＝１４５μｍ
　支持部４ａ，４ｂの第１の端部と第２の端部とを結ぶ方向の長さＬ＝５μｍ、支持部４ａ，４ｂの幅方向寸法＝５μｍ
　屈曲振動部５の幅方向寸法＝５μｍ、長さ方向寸法＝２５μｍ
　Ｓｉ層１１の厚み＝１０μｍ
　Ｓｉ層におけるｎ型ドーピング剤であるＰのドーピング量＝１×１０^２０個／ｃｍ^３
　酸化ケイ素層の厚み＝０．３μｍ
　圧電薄膜１２：窒化アルミニウム膜、厚み＝０．８μｍ
　第１，第２の電極１３，１４ａ～１４ｅ：Ｍｏからなり、厚み＝０．１μｍ

　上記振動装置１において、前述した距離Ｌｓを種々変化させた。図７は、距離Ｌｓと振動のＱとの関係を示す図である。図７においては、比較として、屈曲振動部５を有しない従来例のＱの値が併せて示されている。

　図７から明らかなように、距離Ｌｓを変化させた場合、Ｑが変化することがわかる。特に、図７から明らかなように、本実施形態によれば、広い範囲で、従来例と比較して、Ｑが効果的に高められていることがわかる。このことは、屈曲振動部５の固定端側に連ねられている部分の面積が大きくなっているためと考えられる。すなわち、音響反射効果が高められ、閉じ込め性が改善しているためと考えられる。なお、図示していないが、本実施形態においては、距離Ｌｓに関わらず、従来例と同等の臨界結合係数ｋを有することが確認されている。

　また、図７から明らかなように、距離Ｌｓが変化すると、振動特性が変化する。特に、図７から、距離Ｌｓがλ／４である０．２５の場合、Ｑが非常に高くなることがわかる。他方、距離Ｌｓが０．５λすなわちλ／２付近では、Ｑが著しく低下する。

　よって、本実施形態では、距離Ｌｓがλ／４とされているため、より一層良好な振動特性を得ることができる。

　上述したように、本実施形態の振動装置１では、矩形板の拡がり振動モードの振動のノード部分に支持部４ａ，４ｂが連結されている。また、支持部４ａ，４ｂの第２の端部に屈曲振動部５が設けられている。さらに、屈曲振動部５の両端が固定端となるように屈曲振動部５における上記距離Ｌｓが上記特定の範囲とされている。そのため、振動を屈曲振動部５までの部分に確実に閉じ込めることができ、良好な振動特性を得ることができる。

　また、輪郭振動の基本波では、１つの振動部に対して１対の支持部で保持されるのに対し、本実施形態では、５つの振動部２ａ～２ｅに対して、２対の支持部４ａ，４ａ，４ｂ，４ｂで保持される。すなわち、輪郭振動の５倍波で振動し、２対の支持部４ａ，４ａ，４ｂ，４ｂで保持される。そのため、本実施形態に係る振動装置１では、面内振動方向の保持ロスが相対的に低減される。

　さらに、本実施形態においては、２対の支持部４ａ，４ａ，４ｂ，４ｂで保持されるため面外方向への変位の自由度も小さくなり、面外屈曲による保持ロスも低減される。また、複数の支持部で保持されるため、耐衝撃性も高めることができる。従って、より一層振動特性を高めることができる。

　第１の実施形態では、５つの振動部２ａ～２ｅに対して、２対の支持部４ａ，４ａ，４ｂ，４ｂで保持されていたが、図５に示す第２の実施形態の振動装置２１のように、５つの振動部２ａ～２ｅに対して、１対の支持部４，４で保持されていてもよい。第２の実施形態では、振動部２ｃの幅方向の中央に位置する振動のノードに、１対の支持部４，４が連結されている。すなわち、５つの振動部２ａ～２ｅに対して、１対の支持部４，４で保持されている。その他の点は、第１の実施形態と同様である。

　また、第１の実施形態及び第２の実施形態では、５つの振動部２ａ～２ｅを有する振動板２を用いたが、図６に示す第３の実施形態に係る振動装置３１のように、４つの振動部２ａ～２ｄを有する振動板２を用いてもよい。第３の実施形態においては、４つの振動部２ａ～２ｄに対して、２対の支持部４ａ，４ａ，４ｂ，４ｂで保持されている。すなわち、輪郭振動の４倍波で振動し、２対の支持部４ａ，４ａ，４ｂ，４ｂで保持されている。

　第２の実施形態及び第３の実施形態においても、矩形板の拡がり振動モードの振動のノード部分に支持部４又は支持部４ａ，４ｂが連結されている。また、支持部４又は支持部４ａ，４ｂの第２の端部に屈曲振動部５が設けられている。さらに、屈曲振動部５の両端が固定端となるように屈曲振動部５における上記距離Ｌｓが上記特定の範囲とされている。そのため、振動を屈曲振動部５までの部分に確実に閉じ込めることができ、良好な振動特性を得ることができる。

　また、本発明においては、図８に示す第４の実施形態に係る振動装置４１のように、支持部４ａ，４ｂには、支持部４ａ，４ｂに直交する方向に突出している動吸振部４ａ１，４ｂ１が設けられていてもよい。また、図９に示す第５の実施形態に係る振動装置５１のように、支持部４ａ，４ｂには、振動緩衝部４ａ２，４ｂ２が設けられていてもよい。

　第４，第５の実施形態に係る振動装置４１，５１においては、支持部４ａ，４ｂが動吸振部４ａ１，４ｂ１または振動緩衝部４ａ２，４ｂ２を有しているため、屈曲振動部５への振動の伝搬を抑えることができ、振動板２から伝搬してきた輪郭振動の高調波の振動を、より一層確実に閉じ込めることができる。

１，２１，３１，４１，５１…振動装置
２…振動板
２ａ～２ｅ…振動部
３…基部
３ａ…スリット
４，４ａ，４ｂ…支持部
４ａ１，４ｂ１…動吸振部
４ａ２，４ｂ２…振動緩衝部
５…屈曲振動部
６，６Ａ…貫通溝
１１…Ｓｉ層
１２…圧電薄膜
１３，１３ａ～１３ｅ…第１の電極
１４ａ～１４ｅ…第２の電極

Claims

　複数の振動部が設けられており、かつ輪郭振動の高調波で振動する振動板と、
　第１の端部と前記第１の端部とは反対側の第２の端部とを有し、前記第１の端部が前記複数の振動部のうち少なくとも１つの振動部の振動のノードとなる部分に連結されており、前記振動板を支持している支持部と、
　前記支持部の前記第２の端部につなげられており、前記振動板を囲むように設けられた枠状の基部とを備え、
　両端が固定端とされている屈曲振動部が設けられるように、前記基部に、前記支持部が延びる方向と交叉する方向に延びるスリットが形成されており、
　前記屈曲振動部の両端が前記基部の残りの部分に連ねられており、該連ねられている部分が前記屈曲振動部の固定端とされており、前記屈曲振動部の前記支持部の前記第２の端部に連結されている部分と、該屈曲振動部の前記固定端までの長さが、前記振動板における固有振動の周波数に対応する該屈曲振動の波長をλとしたとき、λ／４とされている、振動装置。
　全体が板状体であり、前記振動板、前記支持部及び前記基部を構成するように、前記支持部が設けられている部分を除いて前記振動板を囲む、複数の貫通溝が前記板状体に形成されている、請求項１に記載の振動装置。
　前記複数の振動部が、それぞれ、縮退半導体からなるＳｉ層と、前記Ｓｉ層上に積層されている励振部とを有し、該励振部が、圧電薄膜と、前記圧電薄膜に電圧を印加するための第１，第２の電極とを有する、請求項１または２に記載の振動装置。
　前記振動板の外周縁と、前記基部との間の距離が、前記振動板の外周縁と前記屈曲振動部との間の距離と同等である、請求項１～３のいずれか１項に記載の振動装置。
　前記振動板の外周縁と、前記基部との間の距離が、前記振動板の外周縁と前記屈曲振動部との間の距離よりも小さい、請求項１～３のいずれか１項に記載の振動装置。
　前記支持部として、１対の支持部を有する、請求項１～５のいずれか１項に記載の振動装置。
　前記支持部として、複数対の支持部を有する、請求項１～５のいずれか１項に記載の振動装置。