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WO2016051718A1 - 低反射コーティング、低反射コーティング付ガラス板、低反射コーティングを有するガラス板、ガラス基板、および光電変換装置 - Google Patents

低反射コーティング、低反射コーティング付ガラス板、低反射コーティングを有するガラス板、ガラス基板、および光電変換装置 Download PDF

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WO2016051718A1
WO2016051718A1 PCT/JP2015/004782 JP2015004782W WO2016051718A1 WO 2016051718 A1 WO2016051718 A1 WO 2016051718A1 JP 2015004782 W JP2015004782 W JP 2015004782W WO 2016051718 A1 WO2016051718 A1 WO 2016051718A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
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reflection coating
low
fine particles
low reflection
silica fine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2015/004782
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
瑞穂 小用
竜一 田代
河津　光宏
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Original Assignee
Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Nippon Sheet Glass Co Ltd filed Critical Nippon Sheet Glass Co Ltd
Priority to JP2016551515A priority Critical patent/JP6487933B2/ja
Publication of WO2016051718A1 publication Critical patent/WO2016051718A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D7/00—Features of coating compositions, not provided for in group C09D5/00; Processes for incorporating ingredients in coating compositions
    • C09D7/40—Additives
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C01—INORGANIC CHEMISTRY
    • C01B—NON-METALLIC ELEMENTS; COMPOUNDS THEREOF; METALLOIDS OR COMPOUNDS THEREOF NOT COVERED BY SUBCLASS C01C
    • C01B33/00—Silicon; Compounds thereof
    • C01B33/113—Silicon oxides; Hydrates thereof
    • C01B33/12—Silica; Hydrates thereof, e.g. lepidoic silicic acid
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D1/00—Coating compositions, e.g. paints, varnishes or lacquers, based on inorganic substances
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C09—DYES; PAINTS; POLISHES; NATURAL RESINS; ADHESIVES; COMPOSITIONS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; APPLICATIONS OF MATERIALS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • C09D—COATING COMPOSITIONS, e.g. PAINTS, VARNISHES OR LACQUERS; FILLING PASTES; CHEMICAL PAINT OR INK REMOVERS; INKS; CORRECTING FLUIDS; WOODSTAINS; PASTES OR SOLIDS FOR COLOURING OR PRINTING; USE OF MATERIALS THEREFOR
    • C09D183/00—Coating compositions based on macromolecular compounds obtained by reactions forming in the main chain of the macromolecule a linkage containing silicon, with or without sulfur, nitrogen, oxygen, or carbon only; Coating compositions based on derivatives of such polymers
    • C09D183/04—Polysiloxanes
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00—Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/10—Semiconductor bodies
    • H10F77/16—Material structures, e.g. crystalline structures, film structures or crystal plane orientations
    • H10F77/169—Thin semiconductor films on metallic or insulating substrates
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
    • Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
    • Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy

Definitions

  • the present invention relates to a low reflection coating, a glass plate with a low reflection coating, a glass plate having a low reflection coating, a glass substrate, and a photoelectric conversion device.
  • a low reflection coating is formed on the surface of a substrate such as glass or ceramic in order to transmit more light or prevent glare due to reflection for the purpose of improving the function of the substrate.
  • Low reflection coating is used for glass for vehicle, show window or glass plate used for photoelectric conversion device.
  • a so-called thin film type solar cell which is a kind of photoelectric conversion device, uses a glass plate in which a photoelectric conversion layer and a back surface thin film electrode made of a base film, a transparent conductive film, amorphous silicon, and the like are sequentially laminated, but a low reflection coating is laminated. It is formed on the main surface opposite to the main plane, that is, the main surface on the side where sunlight enters. Thus, in the solar cell in which the low reflection coating is formed on the sunlight incident side, more sunlight is guided to the photoelectric conversion layer or the solar cell element, and the power generation amount is improved.
  • the most commonly used low-reflection coating is a dielectric film formed by vacuum deposition, sputtering, chemical vapor deposition (CVD), etc., but a fine particle-containing film containing fine particles such as silica fine particles should be used as the low-reflection coating.
  • the fine particle-containing film is formed by applying a coating liquid containing fine particles on a transparent substrate by dipping, flow coating, spraying, or the like.
  • Patent Document 1 a coating liquid containing fine particles and a binder precursor is applied to a glass plate having surface irregularities by a spray method, dried at 400 ° C. and then 610 ° C. 8
  • a cover glass for a photoelectric conversion device obtained through a baking process for a minute is disclosed.
  • the low reflection coating applied to the cover glass can improve the average transmittance of light having a wavelength of 380 to 1100 nm by at least 2.37%.
  • Patent Document 2 a sol containing tetraethoxysilane, aluminum acetylacetonate, and colloidal silica is attached to a glass plate by a dip coating method, and heat treatment is performed at 680 ° C. for 180 seconds.
  • a glass substrate coated therewith is disclosed.
  • the low reflection coating applied to the glass substrate can improve the average transmittance of light having a wavelength of 300 to 1100 nm by 2.5%.
  • Patent Document 3 includes colloidal silica having a dispersion particle size larger than the average primary particle size and a shape factor and an aspect ratio of more than 1 to some extent, tetraalkoxysilane, and aluminum nitrate.
  • a coating-coated silicon substrate obtained by applying a coating composition containing the coating composition on a silicon substrate using a spin coater and performing a drying process at 100 ° C. for 1 minute is disclosed. Although there is no description about the improvement of the average light transmittance by this film, this film has a refractive index of 1.40 or less.
  • the transmittance gain is an increase in transmittance by applying a low-reflection coating with respect to transmittance, for example, average transmittance in a predetermined wavelength range. Specifically, it is determined as a value obtained by subtracting the transmittance before applying the coating from the transmittance when the coating is applied to the substrate.
  • a photoelectric conversion device when manufacturing a photoelectric conversion device using a glass plate, a photoelectric conversion device is manufactured by using a glass plate that has been previously coated with a low reflection coating.
  • the applied low reflection coating may be unintentionally damaged or soiled in the manufacturing process of the photoelectric conversion device, or the low reflection characteristics may be deteriorated.
  • the present invention provides a low-reflection coating having a high transmittance gain, a low-reflection coating excellent in wear resistance, and a photoelectric conversion device using a glass plate not provided with the low-reflection coating. Is suitable for being applied to the surface on which light is incident on the photoelectric conversion device, and provides a low reflection coating having the above characteristics (high transmittance gain and / or excellent wear resistance). Objective.
  • the present invention provides a low reflection coating that can be suitably applied to at least one of the main surfaces of a substrate.
  • the low reflection coating is a film in which solid spherical silica fine particles are fixed by a binder mainly composed of a metal oxide,
  • the silica fine particles include silica fine particles having an average particle diameter of 200 to 600 nm,
  • the binder includes silica as a metal oxide,
  • a low-reflection coating characterized in that a transmittance gain obtained by applying the low-reflection coating to a substrate is 1.5% or more.
  • the transmittance gain is an increase in the average transmittance of the substrate having the low reflection coating with respect to the average transmittance of the substrate before the low reflection coating, with respect to the average transmittance in the wavelength region of 380 to 850 nm.
  • the low reflection coating of the present invention includes solid silica fine particles having an average particle diameter in a predetermined range and a binder mainly composed of a metal oxide, by applying the low reflection coating of the present invention to a substrate.
  • the obtained transmittance gain is 1.5% or more.
  • the low reflection coating of the present invention contains silica fine particles having an average particle size of 200 to 600 nm, the low reflection coating of the present invention has excellent wear resistance and / or high transmittance gain.
  • the first aspect of the low reflection coating of the present invention comprises a porous film in which solid spherical silica fine particles are fixed by a binder mainly composed of a metal oxide.
  • the binder may further contain an aluminum compound, and the metal oxide as the main component is preferably silica.
  • the “main component” means a component that is contained most on a mass basis.
  • the silica fine particles fixed by the binder include silica fine particles having an average particle size of 200 to 600 nm and silica fine particles having an average particle size of 80 to 150 nm, both of which are substantially spherical primary particles.
  • the silica fine particles fixed by the binder are preferably composed of silica fine particles having an average particle diameter in the two ranges. Since silica has a higher hardness than organic polymer materials and a relatively low refractive index, the apparent refractive index of a porous film composed of a binder and silica fine particles can be reduced.
  • primary particles made of silica and having a uniform particle size are produced at a low cost on a commercial scale, and are excellent in quantity, quality, and cost availability.
  • the “average particle size” is determined by observing a cross section of the low reflection coating using a scanning electron microscope SEM. Specifically, for any 50 particles that can observe the entire particle, the maximum diameter and the minimum diameter are measured, and the average value is used as the particle diameter of each particle. The average value of the particle diameters of the 50 particles is expressed as “ Determined as "average particle size”.
  • the silica fine particles having an average particle diameter of 200 to 600 nm are preferably 2 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of silica fine particles fixed by the binder.
  • the silica fine particles having an average particle diameter of 200 to 600 nm are in the above-mentioned range, the low reflection coating has both a high transmittance gain of 1.5% or more and a high wear resistance.
  • the amount is less than 2 parts by mass, the wear resistance is deteriorated, and when the amount exceeds 30 parts by mass, the transmittance gain is decreased.
  • the aluminum compound preferably contained in the binder is preferably derived from a water-soluble inorganic aluminum compound added to a coating solution for forming a low reflection coating, and more preferably derived from aluminum halide or aluminum nitrate.
  • the preferred aluminum halide is aluminum chloride.
  • the content of the aluminum compound in the low reflection coating is 2 to 7% by mass, preferably 5 to 7% by mass, when the aluminum compound is converted to Al 2 O 3 .
  • the content of silica fine particles in the low reflection coating is 55 to 75% by mass, preferably 60 to 70% by mass, and the silica content in the binder is 25 to 45% by mass, and 30 to 40% by mass. % Is preferred.
  • the content ratio of the silica fine particles in the low reflection coating and the silica in the binder is in the range of 80:20 to 30:70, preferably in the range of 70:30 to 60:40, expressed as a mass ratio.
  • This content ratio can increase the reflectance gain of the low-reflection coating as the content ratio of the silica fine particles increases. This is because gaps between the silica fine particles and between the silica fine particles and the transparent substrate become large.
  • the content ratio of the silica fine particles is larger than the limit, the durability of the low reflective film coating is lowered.
  • silica in the binder has a function of adhering between the silica fine particles or between the silica fine particles and the transparent substrate, but if the content ratio of the silica fine particles is too large, the effect becomes poor. On the other hand, when the content ratio of the silica fine particles is smaller than the limit, the above-mentioned voids are too small, and the reflectance gain of the low reflection coating is lowered.
  • the transmittance gain obtained by applying the low reflection coating to the substrate may be 1.5% or more, preferably 2.5% or more. it can.
  • the second aspect of the low reflection coating of the present invention comprises a film in which solid spherical silica fine particles are fixed by a binder containing silica as a main component.
  • the silica fine particles fixed by the binder are composed of silica fine particles having an average particle diameter of 200 to 600 nm. Since silica has a higher hardness than organic polymer materials and a relatively low refractive index, the apparent refractive index of the porous layer composed of the binder and the silica fine particles can be further reduced.
  • primary particles made of silica and having a uniform particle size are produced at a low cost on a commercial scale, and are excellent in quantity, quality, and cost availability.
  • the binder may consist essentially of silica.
  • the term “substantially composed of silica” means that a small amount of components other than silica in the binder is allowed as long as the effect to be obtained by the present invention is not impaired. To do.
  • the silica content in the binder is 99% or more, preferably 99.5% or more, and more preferably 99.9% or more.
  • the content of silica fine particles in the low reflection coating is 55 to 70% by mass, preferably 60 to 70% by mass, and the silica content in the binder is 30 to 45% by mass, and 30 to 40% by mass. % Is preferred.
  • the content ratio of the silica fine particles in the low reflection coating and the silica in the binder is in the range of 75:25 to 30:70, preferably in the range of 70:30 to 60:40, expressed as a mass ratio.
  • This content ratio can increase the reflectance gain of the low-reflection coating as the content ratio of the silica fine particles increases. This is because gaps between the silica fine particles and between the silica fine particles and the transparent substrate become large.
  • the content ratio of the silica fine particles is larger than the limit, the durability of the low reflection coating is lowered.
  • silica in the binder has a function of adhering between the silica fine particles or between the silica fine particles and the transparent substrate, but if the content ratio of the silica fine particles is too large, the effect becomes poor. On the other hand, when the content ratio of the silica fine particles is smaller than the limit, the above-mentioned voids are too small, and the reflectance gain of the low reflection coating is lowered.
  • the transmittance gain obtained by applying the low reflection coating to the substrate may be 1.5% or more, preferably 2.5% or more.
  • high wear resistance can be obtained.
  • a third aspect of the low-reflection coating of the present invention is a film in which solid spherical silica fine particles are fixed by a binder having a refractive index of 1.5 to 1.8 at a wavelength of 550 nm. It consists of silica fine particles having an average particle diameter of 200 to 600 nm.
  • the binder contains silica as a main component.
  • the binder further includes a high refractive index component.
  • the silica fine particles are arranged on the main plane, and the binder has a diameter (average particle size) of the silica fine particles from the main plane. It exists between the main plane and the silica fine particles at a thickness of 30% to 70% of the diameter.
  • the thickness of the binder is less than 30%, the wear resistance deteriorates and the transmittance gain decreases, and when it exceeds 70%, the transmittance gain decreases rapidly.
  • Silica as fine particles has a higher hardness than organic polymer materials and a relatively low refractive index, so that the apparent refractive index of a porous layer made of a binder and silica fine particles can be reduced.
  • primary particles made of silica and having a uniform particle size are produced at a low cost on a commercial scale, and are excellent in quantity, quality, and cost availability.
  • the high refractive index component contained in the binder is preferably a compound of one or more metals selected from the group consisting of titanium, zirconium, niobium, zinc, chromium, aluminum, cadmium, strontium, yttrium, europium, and lanthanum. More preferably, they are titanium oxide, zirconium oxide, or aluminum oxide.
  • the transmittance gain obtained by applying the low reflection coating to the substrate may be 1.5% or more, preferably 2.5% or more. it can.
  • a hydrolyzable silicon compound typified by silicon alkoxide can be used as a silica source in the binder.
  • the silicon alkoxide include tetramethoxysilane, tetraethoxysilane, and tetraisopropoxysilane.
  • These hydrolyzable silicon compounds may be made into binders by hydrolysis and condensation polymerization by a so-called sol-gel method.
  • the silica in the binder is derived from a hydrolyzable silicon compound or a hydrolyzate of a hydrolyzable silicon compound added to a coating solution for forming a low reflection coating.
  • the hydrolyzable silicon compound includes, for example, a compound represented by the following formula (I).
  • X is at least one selected from an alkoxyl group, an acetoxy group, an alkenyloxy group, an amino group, and a halogen atom.
  • the hydrolyzable silicon compound added to the coating solution is preferably tetraalkoxysilane.
  • Hydrolysis of the hydrolyzable silicon compound can be carried out as appropriate, but is preferably carried out in a solution containing silica fine particles.
  • it is preferable to prepare a coating liquid by sequentially adding a hydrolysis catalyst and silicon alkoxide while stirring a solution containing silica fine particles.
  • an acid and a base can be used for a hydrolysis catalyst, it is preferable to use an acid, especially an inorganic acid, and it is more preferable to use hydrochloric acid. This is because the acidity is better than the basicity, and the dispersibility of the silica fine particles is better and the stability of the coating liquid is also better. Furthermore, chlorine ions derived from hydrochloric acid increase the concentration of chlorine ions in the coating solution, and thus promote the effect brought about by the aluminum chloride added to the coating solution described above.
  • the low reflection coating of the present invention can be formed by applying a coating liquid, drying and curing.
  • a method for supplying these coating solutions any known method such as spin coating, roll coating, bar coating, dip coating, spray coating, etc. can be used, but spray coating is excellent in terms of mass productivity, Roll coating and bar coating are more suitable in terms of homogeneity of the appearance of the coating film in addition to mass production.
  • the maximum temperature experienced by the substrate is 350 ° C. or less, and the time that the substrate is at a temperature of 200 ° C. or more is 5 minutes or less. .
  • the maximum temperature experienced by the substrate is 250 ° C. or lower, and the time during which the substrate is at a temperature of 100 ° C. or higher is 2 Is less than a minute.
  • the substrate to which the low reflection coating according to the first aspect, the second aspect, or the third aspect of the present invention can be suitably applied may be an uncoated glass plate.
  • a photoelectric conversion device can be provided using this glass plate.
  • the main plane of the glass plate on which the low reflection coating is formed is the main surface on which light is incident.
  • the glass plate may be a float plate glass having a smoothness with an arithmetic average roughness Ra of the main surface of, for example, 1 nm or less, preferably 0.5 nm or less.
  • the arithmetic average roughness Ra is a value defined in JIS (Japanese Industrial Standards) B0601-1994.
  • the glass plate may be a template glass having irregularities on the surface thereof, and the average interval Sm of the irregularities is 0.3 mm or more and 2.5 mm or less, further 0.3 mm or more, particularly 0.4 mm or more, especially It is preferably 0.45 mm or more, 2.5 mm or less, more preferably 2.1 mm or less, particularly 2.0 mm or less, and particularly preferably 1.5 mm or less.
  • the average interval Sm means the average value of the intervals of one mountain and valley obtained from the point where the roughness curve intersects the average line.
  • the surface irregularities of the template glass plate preferably have a maximum height Ry of 0.5 ⁇ m to 10 ⁇ m, particularly 1 ⁇ m to 8 ⁇ m, together with the average interval Sm in the above range.
  • the average interval Sm and the maximum height Ry are values defined in JIS (Japanese Industrial Standards) B0601-1994.
  • a glass plate may be the same composition as normal plate glass and building plate glass, it is preferable that a coloring component is not included as much as possible.
  • the content of iron oxide which is a typical coloring component, is preferably 0.06% by mass or less, particularly preferably 0.02% by mass or less in terms of Fe 2 O 3 .
  • the substrate to which the low reflection coating of the first aspect, the second aspect, or the third aspect of the present invention can be suitably applied may be a glass substrate with a transparent conductive film.
  • This glass substrate with a transparent conductive film has, for example, a transparent conductive film on one main plane (a main plane opposite to the main plane on which the low-reflective coating is to be formed) of any of the glass plates described above.
  • one or more underlayers, for example, a transparent conductive layer mainly composed of fluorine-doped tin oxide may be laminated in order on the main plane of the glass plate.
  • a photoelectric conversion device using this glass substrate can be provided.
  • the main plane of the glass plate on which the low reflection coating is formed is the main surface on which light is incident.
  • the transmittance curve (transmission spectrum) of the substrate before and after the formation of the low reflection coating was measured.
  • the average transmittance was calculated by averaging the transmittance at a wavelength of 380 to 850 nm.
  • the increment of the average transmittance of the substrate with the low reflection coating with respect to the average transmittance of the substrate before the low reflection coating was defined as the transmittance gain.
  • a reciprocating wear test was performed on the substrate on which the low-reflection coating according to each example was formed and the substrate according to Comparative Example 1 using a reciprocating wear tester manufactured by Daiei Kagaku Seiki Seisakusho.
  • the substrate on which the low reflection coating according to each Example was formed and the substrate according to Comparative Example 1 were fixed with a jig.
  • the substrate on which the low reflection coating was formed with the low reflection coating side facing upward was fixed with a jig.
  • a circular surface of a disc-shaped wear piece CS-10F having a diameter of 19 mm was brought into contact with the surface of the low reflection coating or the substrate, and a load of 4N was applied.
  • the contact area between the wearer CS-10F and the surface of the low reflection coating or the substrate was 284 mm 2 .
  • the wearer CS-10F was reciprocated linearly 50 times with respect to the surface of the low reflection coating or the substrate.
  • the speed of the wearer at this time was set to 120 mm / second, and the stroke width of the wearer was set to 120 mm.
  • the peeling state of the low reflection coating was visually confirmed, and the case where there was no peeling of the low reflection coating was evaluated as “ ⁇ ”.
  • the low reflection coating according to each example and comparative example was observed using a field emission scanning electron microscope (FE-SEM) (manufactured by Hitachi, Ltd., model: S-4500). From the FE-SEM photograph of the cross section of the low-reflection coating obliquely from 30 ° above, the average value of the thickness of the low-reflection coating at five measurement points was calculated as the film thickness (average film thickness) of the low-reflection coating.
  • FE-SEM field emission scanning electron microscope
  • Example 1 ⁇ Preparation of coating solution> Silica fine particle dispersion (Quarton PL-7, substantially spherical primary particles having an average particle diameter of 125 nm, solid content concentration 23 wt%, manufactured by Fuso Chemical Industry Co., Ltd.) 55.1 parts by mass, silica fine particle dispersion (Quarton PL-20) Approximately spherical primary particles having an average particle size of 220 to 370 nm, solid content concentration of 20% by weight, manufactured by Fuso Chemical Co., Ltd.) 1.6 parts by mass, 1-methoxy-2-propanol (solvent) 18.0 parts by mass, 1 part by mass of 1N hydrochloric acid (hydrolysis catalyst) is stirred and mixed, and further, 24.3 parts by mass of tetraethoxysilane (ethyl orthosilicate, manufactured by Tama Chemical Co., Ltd.) is added while stirring, and the temperature is kept at 40 ° C.
  • tetraethoxysilane e
  • stock A the mass obtained by converting the silica fine particles to the SiO 2
  • the ratio of the mass obtained by converting the silicon oxide component contained in the binder SiO 2 is 65: A 35, average particle size 200 to silica particles per 100 parts by weight
  • the silica fine particle of ⁇ 500 nm was 2.5 parts by mass.
  • coating liquid A1 60.0 g of the above-mentioned stock solution A, 3.0 g of propylene glycol (solvent), 84.2 g of 1-methoxy-2-propanol (solvent), aluminum chloride aqueous solution (concentration 47.6% by weight as AlCl 3.
  • coating liquid A1 the solid content concentration of silicon oxide (derived from silica fine particles and tetraalkoxysilane) converted to SiO 2 is 8.0% by weight, and silicon oxide converted to SiO 2 is 100 parts by mass.
  • the aluminum compound converted to Al 2 O 3 was 5 parts by mass.
  • Example 1 the low reflective coating was formed in the main surface in which the transparent conductive film is not formed by using the glass plate with a transparent conductive film as a substrate.
  • This glass plate is composed of a normal soda lime silicate composition, and a transparent conductive film including a transparent conductive layer is formed on one main plane using an on-line CVD method. It was a glass plate. This glass plate is cut into a size of 200 mm ⁇ 300 mm, immersed in an alkaline solution (alkaline cleaning solution LBC-1, manufactured by Reybold Co., Ltd.), washed with an ultrasonic cleaner, washed with deionized water, and then at room temperature. A glass plate for drying to form a low reflection coating was obtained. When the transmission characteristics of the substrate before applying the low-reflection coating were evaluated as described above, the average transmittance was 80.0%.
  • Example 1 the coating liquid A1 was applied to the main surface of the glass plate on which the transparent conductive film was not applied, using a roll coater. At this time, the film thickness of the coating solution was adjusted to 1 to 5 ⁇ m. Next, the coating liquid applied to the glass plate was dried with hot air and cured. This hot air drying uses a belt-conveying hot-air drying device, the hot air set temperature is 300 ° C., the distance between the hot air discharge nozzle and the glass plate is set to 5 mm, and the conveying speed is set to 0.5 m / min. This was done by reciprocating the plate twice and passing under the nozzle four times.
  • the time during which the glass plate coated with the coating solution was in contact with hot air was 140 seconds, and the maximum temperature reached on the glass surface coated with the coating solution of the glass plate was 199 ° C.
  • the glass plate after drying and curing was allowed to cool to room temperature, and a low reflection coating was applied to the glass plate.
  • Example 2 ⁇ Preparation of coating solution> Silica fine particle dispersion (KE-W30, substantially spherical primary particles having an average particle diameter of 300 nm, solid concentration 20.5% by weight, manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.) 63.4 parts by mass, 1-methoxy-2-propanol (solvent ) 11.3 parts by mass, 1.0 part by mass of 1N hydrochloric acid (hydrolysis catalyst) was stirred and mixed, and 24.3 parts by mass of tetraethoxysilane (same as that used in Example 1) was added while stirring. Then, the mixture was stirred for 8 hours while keeping the temperature at 40 ° C.
  • KE-W30 substantially spherical primary particles having an average particle diameter of 300 nm, solid concentration 20.5% by weight, manufactured by Nippon Shokubai Co., Ltd.
  • the ratio of the mass of silica fine particles converted to SiO 2 to the mass of silicon oxide components contained in the binder converted to SiO 2 was 65:35.
  • the above-mentioned stock solution B102.0 g and propylene glycol (solvent) 48.0 g were mixed with stirring to obtain a coating solution B1.
  • the solid content concentration obtained by converting silicon oxide (derived from silica fine particles and tetraalkoxysilane) into SiO 2 was 13.6% by weight.
  • Example 2 ⁇ Formation of low reflection film>
  • the low reflection coating was applied in the same procedure as in Example 1 except that the above-described coating liquid B1 was used, and the above-described characteristics were evaluated. The results are shown in Table 1.
  • Example 3 ⁇ Preparation of coating solution> Silica fine particle dispersion (Quatron PL-20, substantially spherical primary particles having an average particle size of 220 to 370 nm, the same as that used in Example 1) 71.2 parts by mass, 1-methoxy-2-propanol (solvent) 7 .8 parts by mass, 1.0 part by mass of 1N hydrochloric acid (hydrolysis catalyst) was mixed by stirring, and further 20.0 parts by mass of tetraethoxysilane (same as that used in Example 1) was added while stirring. Subsequently, the mixture was stirred for 8 hours while keeping the temperature at 40 ° C. to hydrolyze tetraethoxysilane to obtain a stock solution C. In Stock Solution C, the ratio of the mass of silica fine particles converted to SiO 2 to the mass of silicon oxide components contained in the binder converted to SiO 2 was 71.2: 28.8.
  • the mass ratio of the solid content concentration obtained by converting silicon oxide (derived from tetraalkoxysilane) into SiO 2 in the binder and the solid content concentration obtained by converting titanium oxide into TiO 2 was 75:25.
  • the refractive index of this binder at a wavelength of 550 nm was 1.6.
  • Example 3 ⁇ Formation of low reflection film>
  • a low-reflection coating was applied in the same procedure as in Example 1 except that the above-described coating liquid C1 was used, and the above-described characteristics were evaluated. The results are shown in Table 1.
  • Comparative Example 1 As Comparative Example 1, the same glass plate with a transparent conductive film as used in Examples 1 to 3 was used as the substrate, and the main plane on which the transparent conductive film was not formed was not subjected to the low reflection coating. Using. Prior to evaluation, it was washed and dried in the same manner as in Examples 1 to 3.
  • the low-reflective coating only by curing with hot air drying has a high transmittance gain of 1.5% or more and excellent wear resistance equivalent to the glass substrate surface before coating. I was able to get it.
  • a low-reflection coating exhibiting a high transmittance gain and / or excellent wear resistance, and preferably having a low-reflection property having such excellent characteristics even when the curing temperature is low.
  • a coating can be provided.

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Abstract

　本発明の低反射コーティングは、基板の主表面の少なくとも片方に好適に施され得る。低反射コーティングは、中実な球状のシリカ微粒子が、金属酸化物を主成分とするバインダによって固定されてなる膜である。シリカ微粒子として、平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子を含む。バインダは、金属酸化物としてシリカを含む。低反射コーティングを基板に施すことにより得られる透過率ゲインが１．５％以上である。透過率ゲインは、波長域３８０～８５０ｎｍにおける平均透過率に関し、低反射コーティングを施す前の基板の平均透過率に対する、低反射コーティングを施した基板の平均透過率の増分、である。

Description

低反射コーティング、低反射コーティング付ガラス板、低反射コーティングを有するガラス板、ガラス基板、および光電変換装置
　本発明は、低反射コーティング、低反射コーティング付ガラス板、低反射コーティングを有するガラス板、ガラス基板、および光電変換装置に関する。
　ガラス、セラミックなどの基材の表面には、その基材の用途における機能改善を目的として、光をより多く透過させるため、または反射による眩惑を防止するために、低反射コーティングが形成される。
　低反射コーティングは、車両用ガラス、ショーウィンドウまたは光電変換装置に用いるガラス板などに利用される。光電変換装置の一種であるいわゆる薄膜型太陽電池では、下地膜、透明導電膜、アモルファスシリコンなどからなる光電変換層および裏面薄膜電極を順次積層したガラス板を用いるが、低反射コーティングはこれら積層した主平面とは対向する主表面、つまり太陽光が入射する側の主表面に形成される。このように太陽光の入射側に低反射コーティングが形成された太陽電池では、より多くの太陽光が光電変換層または太陽電池素子に導かれ、その発電量が向上することになる。
　最もよく用いられる低反射コーティングは、真空蒸着法、スパッタリング法、化学蒸着法（ＣＶＤ法）などによる誘電体膜であるが、シリカ微粒子などの微粒子を含む微粒子含有膜が低反射コーティングとして用いられることもある。微粒子含有膜は、微粒子を含むコーティング液を、ディッピング法、フローコート法、スプレー法などによって透明基体上に塗布することにより成膜される。
　例えば、特開２０１４－０３２２４８号公報（特許文献１）には、表面凹凸を有するガラス板に、微粒子とバインダ前駆体とを含むコーティング液をスプレー法により塗布し、４００℃で乾燥後６１０℃８分間の焼成工程を経て得られた光電変換装置用カバーガラスが開示されている。このカバーガラスに施された低反射コーティングによって、波長３８０～１１００ｎｍの光の平均透過率を少なくとも２．３７％向上させることができる。
　さらに、特表２０１３－５３７８７３号公報（特許文献２）には、テトラエトキシシラン、アルミニウムアセチルアセトネート、コロイドシリカを含むゾルを浸漬被覆法によりガラス板に付着させ、６８０℃１８０秒間の熱処理を行なうことで被覆されたガラス基板が開示されている。このガラス基板に施された低反射コーティングによって、波長３００～１１００ｎｍの光の平均透過率を２．５％向上させることができる。
　また、特開２０１４－０１５５４３号公報（特許文献３）には、平均一次粒子径より分散粒子径が大きく、形状係数とアスペクト比が１よりある程度以上大きいコロイダルシリカと、テトラアルコキシシラン、硝酸アルミニウムを含むコーティング組成物を、スピンコーターを用いてシリコン基板上に塗布し、１００℃１分間の乾燥工程を経て得られた被膜付きシリコン基板が開示されている。この被膜による光の平均透過率の向上については記載がないが、この被膜は１．４０以下の屈折率を有する。
特開２０１４－０３２２４８号公報 特表２０１３－５３７８７３号公報 特開２０１４－０１５５４３号公報
　ところで、低反射コーティングの効果について、透過率ゲインと呼ばれる性能が重要である。透過率ゲインとは、透過率、例えば所定の波長範囲の平均透過率に関し、低反射コーティングを施すことによる透過率の増分のことである。具体的には、基板に該コーティングを施した際の透過率から、該コーティングを施す前のそれを差し引いた値として求める。
　たとえば、光電変換装置にガラス板が用いられ、その光入射側表面に低反射コーティングが施される場合、透過率ゲインが高いほど、そのガラス板を透過する光線量が増加し、光電変換装置の効率が向上する。
　一方、ガラス板を用いた光電変換装置を製造する際、ガラス板にあらかじめ低反射コーティングを施したものを用いて光電変換装置を製造することが行われている。しかし、この方法では、施された低反射コーティングが、光電変換装置の製造工程において意図せず破損又は汚損したり、低反射特性が劣化したりする可能性がある。
　本発明は、かかる事情に鑑み、透過率ゲインの高い低反射コーティング、および耐摩耗性に優れた低反射コーティングを提供すること、ならびに、低反射コーティングを施していないガラス板をもちいて光電変換装置を製造した後、その光電変換装置への光が入射する表面に施すのに適し、上記の特性（高い透過率ゲインおよび／または優れた耐摩耗性）を備えた低反射コーティングを提供することを目的とする。
　本発明は、基板の主表面の少なくとも片方に好適に施され得る低反射コーティングにおいて、
　前記低反射コーティングは、中実な球状のシリカ微粒子が、金属酸化物を主成分とするバインダによって固定されてなる膜であって、
　前記シリカ微粒子として、平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子を含み、
　前記バインダは、金属酸化物としてシリカを含み、
　前記低反射コーティングを基板に施すことにより得られる透過率ゲインが１．５％以上であることを特徴とする低反射コーティングを提供する。
　ここで、透過率ゲインは、波長域３８０～８５０ｎｍにおける平均透過率に関し、前記低反射コーティングを施す前の前記基板の平均透過率に対する、前記低反射コーティングを施した前記基板の平均透過率の増分、として定義される。
　本発明の低反射コーティングは、所定の範囲の平均粒径を有する中実なシリカ微粒子と、金属酸化物を主成分とするバインダとを含むので、本発明の低反射コーティングを基板に施すことにより得られる透過率ゲインが１．５％以上である。さらに、本発明の低反射コーティングは、平均粒径が２００～６００ｎｍのシリカ微粒子を含むので、本発明の低反射コーティングは、耐摩耗性に優れ、および／または高い透過率ゲインが得られる。
　（第１の様態）
　本発明の低反射コーティングの第１の様態は、中実な球状のシリカ微粒子が、金属酸化物を主成分とするバインダによって固定されてなる多孔質膜からなる。バインダはアルミニウム化合物をさらに含んでもよく、主成分である金属酸化物は好ましくはシリカである。なお、本明細書において、「主成分」とは質量基準で最も多く含まれる成分を意味する。
　バインダによって固定されているシリカ微粒子は、平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子と、平均粒径が８０～１５０ｎｍであるシリカ微粒子とを含み、いずれも略球状の一次粒子である。バインダによって固定されているシリカ微粒子は、好ましくは当該２つの範囲の平均粒径のシリカ微粒子からなる。シリカは有機ポリマ材料より硬度が高く、屈折率が比較的低いため、バインダとシリカ微粒子からなる多孔質膜の見かけの屈折率を低減することができる。さらに、シリカからなる略球形で粒径がよく揃った一次粒子は、商業的スケールで低コストで生産されており、量、質、及びコスト的な入手性に優れる。本明細書において、「平均粒径」とは、走査型電子顕微鏡ＳＥＭを用いて低反射コーティンの断面を観察することによって求められる。具体的に、粒子の全体を観察できる任意の５０個の粒子についてその最大径及び最小径を測定してその平均値を各粒子の粒径とし、５０個の粒子の粒径の平均値を「平均粒径」と決定する。
　前述の２種類のシリカ微粒子に関し、バインダによって固定されているシリカ微粒子の合計量１００質量部に対して、平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子が２～３０質量部であることが好ましい。平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子が前述の範囲であると、低反射コーティングは１．５％以上の高い透過率ゲインと、高い耐摩耗性を共に備える。２質量部を下回ると、耐摩耗性が劣化し、３０質量部を超えると透過率ゲインが低下する。
　バインダに好ましく含まれるアルミニウム化合物は、低反射コーティングを形成するためのコーティング液に添加された水溶性の無機アルミニウム化合物に由来することが好ましく、ハロゲン化アルミニウム又は硝酸アルミニウムに由来することがより好ましい。この場合、好ましいハロゲン化アルミニウムは塩化アルミニウムである。低反射コーティングにおけるアルミニウム化合物の含有率は、アルミニウム化合物をＡｌ２Ｏ３に換算して、２～７質量％であり、５～７質量％であることが好ましい。
　低反射コーティングにおけるシリカ微粒子の含有率は、５５～７５質量％であり、６０～７０質量％であることが好ましく、バインダにおけるシリカの含有率は、２５～４５質量％であり、３０～４０質量％であることが好ましい。
　低反射コーティングにおけるシリカ微粒子と、バインダにおけるシリカとの含有比は、質量比で表わして８０：２０～３０：７０の範囲であり、好ましくは７０：３０～６０：４０の範囲である。この含有比は、シリカ微粒子の含有比が大きくなるほど、低反射コーティングの反射率ゲインを大きくすることができる。なぜなら、シリカ微粒子間やシリカ微粒子と透明基板との間の空隙が大きくなるからである。一方、シリカ微粒子の含有比が限度を超えて大きい場合、低反射膜コーティングの耐久性が低下する。なぜなら、バインダにおいてシリカはシリカ微粒子間やシリカ微粒子と透明基板との間を接着する働きがあるが、シリカ微粒子の含有比が大きすぎると、その効果が乏しくなるからである。他方、シリカ微粒子の含有比が限度を超えて小さくなると、前述の空隙が小さくなりすぎるため、低反射コーティングの反射率ゲインが低下してしまう。
　これにより、本発明の第１の態様の低反射コーティングによれば、低反射コーティングを基板に施すことにより得られる透過率ゲインを１．５％以上、好ましくは２．５％以上とすることができる。
　（第２の様態）
　本発明の低反射コーティングの第２の様態は、中実な球状のシリカ微粒子が、シリカを主成分とするバインダによって固定されてなる膜からなる。バインダによって固定されているシリカ微粒子は、平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子からなる。シリカは有機ポリマ材料より硬度が高く、屈折率が比較的低いため、バインダとシリカ微粒子からなる多孔質層の見かけの屈折率をさらに低減することができる。さらに、シリカからなる略球形で粒径がよく揃った一次粒子は、商業的スケールで低コストで生産されており、量、質、及びコスト的な入手性に優れる。バインダは、実質的にシリカからなっていてもよい。なお、本明細書において「実質的にシリカからなるバインダ」とは、本発明により得られるべき効果が損なわれない程度であればバインダにおけるシリカ以外の成分の少量の含有が許容されることを意味する。例えば、バインダにおけるシリカの含有率は９９％以上であり、好ましくは９９．５％以上であり、より好ましくは９９．９％以上である。
　低反射コーティングにおけるシリカ微粒子の含有率は、５５～７０質量％であり、６０～７０質量％であることが好ましく、バインダにおけるシリカの含有率は、３０～４５質量％であり、３０～４０質量％であることが好ましい。
　低反射コーティングにおけるシリカ微粒子と、バインダにおけるシリカの含有比は、質量比で表わして７５：２５～３０：７０の範囲であり、好ましくは７０：３０～６０：４０の範囲である。この含有比は、シリカ微粒子の含有比が大きくなるほど低反射コーティングの反射率ゲインを大きくすることができる。なぜなら、シリカ微粒子間やシリカ微粒子と透明基板との間の空隙が大きくなるからである。一方、シリカ微粒子の含有比が限度を超えて大きい場合、低反射コーティングの耐久性が低下する。なぜなら、バインダにおいてシリカはシリカ微粒子間やシリカ微粒子と透明基板との間を接着する働きがあるが、シリカ微粒子の含有比が大きすぎると、その効果が乏しくなるからである。他方、シリカ微粒子の含有比が限度を超えて小さくなると、前述の空隙が小さくなりすぎるため、低反射コーティングの反射率ゲインが低下してしまう。
　これにより、本発明の第２の態様の低反射コーティングによれば、低反射コーティングを基板に施すことにより得られる透過率ゲインを１．５％以上、好ましくは２．５％以上とすることができるとともに、高い耐摩耗性を得ることができる。
　（第３の様態）
　本発明の低反射コーティングの第３の様態は、中実な球状のシリカ微粒子が、波長５５０ｎｍにおける屈折率が１．５～１．８のバインダによって固定されてなる膜からなり、シリカ微粒子は、平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子からなる。例えば、バインダは、シリカを主成分として含む。また、例えば、バインダは、高屈折率成分をさらに含む。
　好ましくは、第３の様態の本発明の低反射コーティングを、その主平面の少なくとも片方に有するガラス板において、シリカ微粒子は主平面上に配列され、バインダは主平面からシリカ微粒子の直径（平均粒径）の３０％～７０％の厚みで主平面とシリカ微粒子の間に存在する。バインダの厚みが、３０％より少ない場合、耐摩耗性が劣化すると共に透過率ゲインが低下し、７０％を超えると透過率ゲインが急速に低下する。
　微粒子としてのシリカは有機ポリマ材料より硬度が高く、屈折率が比較的低いため、バインダとシリカ微粒子からなる多孔質層の見かけの屈折率を低減することができる。さらに、シリカからなる略球形で粒径がよく揃った一次粒子は、商業的スケールで低コストで生産されており、量、質、及びコスト的な入手性に優れる。
　バインダに含まれる高屈折率成分は、チタン、ジルコニウム、ニオブ、亜鉛、クロム、アルミニウム、カドミウム、ストロンチウム、イットリウム、ユーロピウム、およびランタンからなる群から選ばれた１以上の金属の化合物であることが好ましく、より好ましくはチタン酸化物、ジルコニウム酸化物、またはアルミニウム酸化物である。
　これにより、本発明の第３の態様の低反射コーティングによれば、低反射コーティングを基板に施すことにより得られる透過率ゲインを１．５％以上、好ましくは２．５％以上とすることができる。
　本発明の第１の態様、第２の態様、または第３の態様の低反射コーティングにおいて、バインダにおけるシリカの供給源としては、シリコンアルコキシドに代表される加水分解性シリコン化合物を用いることができる。シリコンアルコキシドとしては、テトラメトキシシラン、テトラエトキシシラン、テトライソプロポキシシランを例示できる。これら加水分解性シリコン化合物は、いわゆるゾルゲル法により加水分解及び縮重合してバインダとすればよい。例えば、バインダにおけるシリカは、低反射コーティングを形成するためのコーティング液に添加された、加水分解性シリコン化合物または加水分解性シリコン化合物の加水分解物に由来する。加水分解性シリコン化合物は、例えば、下記式（Ｉ）に示す化合物を含む。ここで、Ｘは、アルコキシル基、アセトキシ基、アルケニルオキシ基、アミノ基、及びハロゲン原子から選ばれる少なくとも１つである。
　ＳｉＸ４（Ｉ）
　コーティング液に添加された加水分解性シリコン化合物は、好ましくはテトラアルコキシシランである。
　加水分解性シリコン化合物の加水分解は、適宜実施することができるが、シリカ微粒子が存在する溶液中で実施することが好ましい。そのシリカ微粒子の表面に存在するシラノール基と、シリコンアルコキシドなど加水分解性シリコン化合物が加水分解して生成したシラノール基との縮重合反応が促進され、シリカ微粒子の結合力向上に寄与するバインダの割合が高まるためである。具体的には、シリカ微粒子を含む溶液を撹拌しながら、加水分解触媒及びシリコンアルコキシドを順次添加することにより、コーティング液を調製することが好ましい。なお、加水分解触媒には酸及び塩基いずれを用いることもできるが、酸、とくに無機酸を用いることが好しく、塩酸を用いることがさらに好ましい。なぜなら、塩基性より酸性の方が、シリカ微粒子の分散性がよく、またコーティング液の安定性にも優れるからである。さらに、塩酸由来の塩素イオンは、コーティング液中での塩素イオンの濃度を高めるため、前述したコーティング液に添加した塩化アルミニウムがもたらす効果をより促進するからである。
　本発明の低反射コーティングは、コーティング液を塗布し、乾燥させ、硬化させて形成することができる。これらコーティング液を供給する方法には、公知の任意の方法、例えばスピンコーティング、ロールコーティング、バーコーティング、ディップコーティング、スプレーコーティングなど、を用いることができるが、スプレーコーティングは量産性の点で優れ、ロールコーティングやバーコーティングが量産性に加えて塗膜外観の均質性の点でより適している。
　低反射コーティングを形成するためのコーティング液を基板に塗布した後の加熱工程において、基板が経験する最高温度が３５０℃以下であり、基板が２００℃以上の温度にある時間が５分以下である。
　好ましくは、低反射コーティングを形成するためのコーティング液を前記基板に塗布した後の加熱工程において、基板が経験する最高温度が２５０℃以下であり、基板が１００℃以上の温度にある時間が２分以下である。
　本発明の第１の態様、第２の態様、または第３の態様の低反射コーティングを好適に施すことができる基板は、コーティングを施していないガラス板であってよい。このガラス板を用いて光電変換装置を提供できる。この場合、低反射コーティングが形成されているガラス板の主平面は光が入射する主表面である。ガラス板は、その主表面の算術平均粗さＲａがたとえば１ｎｍ以下、好ましくは０．５ｎｍ以下の平滑性を有するフロート板ガラスであってもよい。ここで算術平均粗さＲａは、ＪＩＳ（日本工業規格）　Ｂ０６０１－１９９４に規定された値である。
　一方で、ガラス板は、その表面に凹凸を有する型板ガラスであってもよく、その凹凸の平均間隔Ｓｍは０．３ｍｍ以上２．５ｍｍ以下、さらに０．３ｍｍ以上、特に０．４ｍｍ以上、とりわけ０．４５ｍｍ以上であることが好ましく、２．５ｍｍ以下、さらに２．１ｍｍ以下、特に２．０ｍｍ以下、とりわけ１．５ｍｍ以下であることが好ましい。ここで、平均間隔Ｓｍは、粗さ曲線が平均線と交差する点から求めた山谷一周期の間隔の平均値を意味する。さらには型板ガラス板の表面凹凸は、上記範囲の平均間隔Ｓｍとともに、０．５μｍ～１０μｍ、特に１μｍ～８μｍの最大高さＲｙを有することが好ましい。ここで平均間隔Ｓｍと最大高さＲｙは、ＪＩＳ（日本工業規格）　Ｂ０６０１－１９９４に規定された値である。
　なお、ガラス板は、通常の型板ガラスや建築用板ガラスと同様の組成であってよいが、着色成分を極力含まないことが好ましい。ガラス板において、代表的な着色成分である酸化鉄の含有率は、Ｆｅ２Ｏ３に換算して、０．０６質量％以下、特に０．０２質量％以下が好適である。
　他方、本発明の第１の態様、第２の態様、または第３の態様の低反射コーティングを好適に施すことができる基板は、透明導電膜付ガラス基板であってよい。この透明導電膜付ガラス基板は、例えば上述の何れかのガラス板の一方の主平面（低反射コーティングが形成されるべき主平面と反対側の主平面）に、透明導電膜を有する。また、例えば、透明導電膜付ガラス基板は、ガラス板の主平面に、１層以上の下地層、例えばフッ素ドープ酸化スズを主成分とする透明導電層が順に積層されていてもよい。このガラス基板を用いた光電変換装置を提供できる。この場合、低反射コーティングが形成されているガラス板の主平面は光が入射する主表面である。
　以下、実施例により、本発明をさらに詳細に説明する。まず、各実施例、各比較例において、基板上に形成した低反射コーティングの各特性の評価方法を説明する。
　（透過特性）
　分光光度計（ＵＶ－３１００ＰＣ、株式会社島津製作所製）を用い、低反射コーティングの形成前後における基板の透過率曲線（透過スペクトル）をそれぞれ測定した。平均透過率は、波長３８０～８５０ｎｍにおける透過率を平均化して算出した。低反射コーティングを施した基板の平均透過率の、該低反射コーティングを施す前の基板の平均透過率に対する増分を透過率ゲインとした。
　（耐摩耗性）
　大栄科学精器製作所社製の往復摩耗試験機を用いて各実施例に係る低反射コーティングが形成された基板及び比較例１に係る基板について往復摩耗試験を行った。まず、各実施例に係る低反射コーティングが形成された基板及び比較例１に係る基板を治具で固定した。ここで、各実施例では、低反射コーティング側を上向きにして低反射コーティングが形成された基板を治具で固定した。次に、直径１９ｍｍの円板状の摩耗子ＣＳ－１０Ｆの円形面を低反射コーティング又は基板の表面に接触させて４Ｎの荷重を加えた。このとき、摩耗子ＣＳ－１０Ｆと低反射コーティング又は基板の表面との接触面積は、２８４ｍｍ２であった。この状態で摩耗子ＣＳ－１０Ｆを低反射コーティング又は基板の表面に対して５０回直線的に往復運動させた。このときの摩耗子の速度を１２０ｍｍ／秒に設定し、摩耗子のストローク幅を１２０ｍｍに設定した。往復摩耗試験後に、低反射コーティングの剥離状態を目視にて確認し、低反射コーティングの剥離がない場合を「〇」と評価した。
　（膜厚）
　各実施例及び比較例に係る低反射コーティングを電界放射型走査型電子顕微鏡（ＦＥ－ＳＥＭ）（日立製作所社製、型式：Ｓ－４５００）を用いて観察した。低反射コーティングの３０°斜め上方からの断面におけるＦＥ－ＳＥＭ写真から、測定点５点における低反射コーティングの厚みの平均値を、低反射コーティングの膜厚（平均膜厚）として算出した。
　（実施例１）
　＜コーティング液の調製＞
　シリカ微粒子分散液（クォートロンＰＬ－７、平均粒径１２５ｎｍの略球状の一次粒子、固形分濃度２３重量％、扶桑化学工業株式会社製）５５．１質量部、シリカ微粒子分散液（クォートロンＰＬ－２０、平均粒径２２０～３７０ｎｍの略球状の一次粒子、固形分濃度２０重量％、扶桑化学工業株式会社製）１．６質量部、１－メトキシ－２－プロパノール（溶媒）１８．０質量部、１Ｎ塩酸（加水分解触媒）１質量部を撹拌混合し、さらに撹拌しながらテトラエトキシシラン（正珪酸エチル、多摩化学工業株式会社製）２４．３質量部、を添加し、引き続き４０℃に保温しながら８時間撹拌してテトラエトキシシランを加水分解し、原液Ａを得た。原液Ａにおいて、シリカ微粒子をＳｉＯ２に換算した質量と、バインダに含まれる酸化ケイ素成分をＳｉＯ２に換算した質量の比は、６５：３５であり、シリカ微粒子合計１００質量部に対する平均粒径２００～５００ｎｍのシリカ微粒子は２．５質量部であった。
　前述の原液Ａ６０．０ｇ、プロピレングリコール（溶媒）３．０ｇ、１－メトキシ－２－プロパノール（溶媒）８４．２ｇ、塩化アルミニウム水溶液（ＡｌＣｌ３として濃度４７．６重量％。塩化アルミニウム６水和物（試薬グレード、シグマアルドリッチ社製）を脱イオン水に溶解）２．８ｇを撹拌混合し、コーティング液Ａ１を得た。コーティング液Ａ１において、ケイ素の酸化物（シリカ微粒子とテトラアルコキシシランに由来）をＳｉＯ２に換算した固形分濃度は８．０重量％であり、ＳｉＯ２に換算したケイ素の酸化物を１００質量部としたときのＡｌ２Ｏ３に換算したアルミニウム化合物は５質量部であった。
　＜低反射膜の形成＞
　実施例１では、透明導電膜付ガラス板を基板として、透明導電膜が形成されていない方の主平面に低反射コーティングを形成した。このガラス板は、通常のソーダライムシリケート組成からなり、オンラインＣＶＤ法を用い、片方の主平面に透明導電層を含む透明導電膜が形成されており、厚み３．２ｍｍの日本板硝子株式会社製のガラス板であった。このガラス板を２００ｍｍ×３００ｍｍの寸法に切断し、アルカリ溶液（アルカリ性洗浄液ＬＢＣ－１、レイボルド株式会社製）に浸漬して超音波洗浄機を用いて洗浄し、脱イオン水で水洗したのち常温で乾燥させて低反射コーティングを形成するためのガラス板とした。低反射コーティングを施す前のこの基板の透過特性を前述のとおり評価したところ、平均透過率８０．０％であった。
　実施例１においては、ロールコーターを用い、前述のガラス板の透明導電膜が施されていない側の主表面にコーティング液Ａ１を塗布した。なお、このとき塗布液の膜厚が１～５μｍになるようにした。次いでこのガラス板に塗布したコーティング液を、熱風で乾燥させ、かつ、硬化させた。この熱風乾燥は、ベルト搬送式の熱風乾燥装置を用い、熱風の設定温度を３００℃、熱風吐出ノズルとガラス板との間の距離を５ｍｍ、搬送速度を０．５ｍ／分に設定し、ガラス板を２回往復させてノズルの下を４回通過させることで行なった。このとき、コーティング液が塗布されたガラス板が熱風に触れている時間は１４０秒であり、ガラス板のコーティング液が塗布されたガラス面における最高到達温度は１９９℃だった。乾燥及び硬化後のガラス板は室温まで放冷し、ガラス板に低反射コーティングを施した。
　こうして得た低反射コーティングについて、前述の各特性を評価した。その結果を表１に示す。
　（実施例２）
　＜コーティング液の調製＞
　シリカ微粒子分散液（ＫＥ－Ｗ３０、平均粒径３００ｎｍの略球状の一次粒子、固形分濃度２０．５重量％、株式会社日本触媒製）６３．４質量部、１－メトキシ－２－プロパノール（溶媒）１１．３質量部、１Ｎ塩酸（加水分解触媒）１．０質量部を撹拌混合し、さらに撹拌しながらテトラエトキシシラン（実施例１で用いたものと同じ）２４．３質量部、を添加し、引き続き４０℃に保温しながら８時間撹拌してテトラエトキシシランを加水分解し、原液Ｂを得た。原液Ｂにおいて、シリカ微粒子をＳｉＯ２に換算した質量と、バインダに含まれる酸化ケイ素成分をＳｉＯ２に換算した質量の比は、６５：３５であった。
　前述の原液Ｂ１０２．０ｇ、プロピレングリコール（溶媒）４８．０ｇを撹拌混合し、コーティング液Ｂ１を得た。コーティング液Ｂ１において、ケイ素の酸化物（シリカ微粒子とテトラアルコキシシランに由来）をＳｉＯ２に換算した固形分濃度は１３．６重量％であった。
　＜低反射膜の形成＞
　実施例２では、前述のコーティング液Ｂ１を用いた以外は実施例１と同じ手順で、低反射コーティングを施し、前述の各特性を評価した。その結果を表１に示す。
　（実施例３）
　＜コーティング液の調製＞
　シリカ微粒子分散液（クォートロンＰＬ－２０、平均粒径２２０～３７０ｎｍの略球状の一次粒子、実施例１で用いたものと同じ）７１．２質量部、１－メトキシ－２－プロパノール（溶媒）７．８質量部、１Ｎ塩酸（加水分解触媒）１．０質量部を撹拌混合し、さらに撹拌しながらテトラエトキシシラン（実施例１で用いたものと同じ）２０．０質量部、を添加し、引き続き４０℃に保温しながら８時間撹拌してテトラエトキシシランを加水分解し、原液Ｃを得た。原液Ｃにおいて、シリカ微粒子をＳｉＯ２に換算した質量と、バインダに含まれる酸化ケイ素成分をＳｉＯ２に換算した質量の比は、７１．２：２８．８であった。
　前述の原液Ｃ５０．２ｇ、プロピレングリコール（溶媒）２．０ｇ、１－メトキシ－２－プロパノール（溶媒）４３．０質量部、チタニアゾル（ＰＣ－２０１、ＴｉＯ２として固形分濃度２０質量％、住友化学株式会社製）４．８ｇを撹拌混合し、コーティング液Ｃ１を得た。コーティング液Ｃ１において、ケイ素の酸化物（シリカ微粒子とテトラアルコキシシランに由来）をＳｉＯ２に換算した固形分濃度とチタンの酸化物をＴｉＯ２に換算した固形分濃度との合計は１１．０重量％であった。バインダにおけるケイ素の酸化物（テトラアルコキシシランに由来）をＳｉＯ２に換算した固形分濃度と、チタンの酸化物をＴｉＯ２に換算した固形分濃度との質量比は、７５：２５であった。このバインダの波長５５０ｎｍにおける屈折率は１．６であった。
　＜低反射膜の形成＞
　実施例３では、前述のコーティング液Ｃ１を用いた以外は実施例１と同じ手順で、低反射コーティングを施し、前述の各特性を評価した。その結果を表１に示す。
　（比較例１）
　比較例１として、実施例１～３で用いたものと同じ透明導電膜付ガラス板を基板であって、透明導電膜が形成されていない方の主平面について、低反射コーティングを施さないものを用いた。評価に先立ち、実施例１～３と同様に洗浄し乾燥させた。
　実施例１～３が示すとおり、熱風乾燥による硬化のみによる低反射コーティングは、１．５％以上の高い透過率ゲインと、コーティングを施す前のガラス基板表面と同程度の優れた耐摩耗性を得ることができた。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　本発明によれば、高い透過率ゲインを示し、および／または摩耗性に優れた低反射コーティングを提供でき、好ましくは硬化温度が低温である場合であっても、こうした優れた特性を有する低反射コーティングを提供できる。

Claims (19)

  1. 　基板の主表面の少なくとも片方に好適に施され得る低反射コーティングにおいて、
    　前記低反射コーティングは、中実な球状のシリカ微粒子が、金属酸化物を主成分とするバインダによって固定されてなる膜であって、
    　前記シリカ微粒子として、平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子を含み、
    　前記バインダは、金属酸化物としてシリカを含み、
    　前記低反射コーティングを基板に施すことにより得られる透過率ゲインが１．５％以上であることを特徴とする低反射コーティング。
    　ここで、透過率ゲインは、波長域３８０～８５０ｎｍにおける平均透過率に関し、前記低反射コーティングを施す前の前記基板の平均透過率に対する、前記低反射コーティングを施した前記基板の平均透過率の増分、である。
  2. 　前記バインダにおけるシリカが、前記低反射コーティングを形成するためのコーティング液に添加された、加水分解性シリコン化合物または加水分解性シリコン化合物の加水分解物に由来し、
    　前記加水分解性シリコン化合物が、下記式（Ｉ）に示す化合物を含む、
    　請求項１に記載の低反射コーティング。
    　ＳｉＸ４（Ｉ）
    　ここで、Ｘは、アルコキシル基、アセトキシ基、アルケニルオキシ基、アミノ基、及びハロゲン原子から選ばれる少なくとも１つである。
  3. 　前記加水分解性シリコン化合物が、テトラアルコキシシランである、請求項２に記載の低反射コーティング。
  4. 　前記低反射コーティングを形成するためのコーティング液を前記基板に塗布した後の加熱工程において、
    　前記基板が経験する最高温度が３５０℃以下であり、
    　前記基板が２００℃以上の温度にある時間が５分以下である、
    　請求項１～３のいずれか１項に記載の低反射コーティング。
  5. 　前記低反射コーティングを形成するためのコーティング液を前記基板に塗布した後の加熱工程において、
    　前記基板が経験する最高温度が２５０℃以下であり、
    　前記基板が１００℃以上の温度にある時間が２分以下である、
    　請求項４に記載の低反射コーティング。
  6. 　前記中実な球状のシリカ微粒子として、さらに平均粒径が８０～１５０ｎｍであるシリカ微粒子を含み、
    　前記バインダは、金属酸化物としてシリカを主成分として含み、
    　前記バインダは多孔質であり、
    　前記低反射コーティングにおける成分の含有率が、質量％表示で、
    　前記シリカ微粒子　５５～７５％
    　前記バインダにおけるシリカ　２５～４５％
    である、
    　請求項１に記載の低反射コーティング。
  7. 　前記バインダはアルミニウム化合物をさらに含み、
    　前記低反射コーティングにおける含有率が、質量％表示で、前記アルミニウム化合物をＡｌ２Ｏ３に換算して２～７％である、請求項１に記載の低反射コーティング。
  8. 　前記アルミニウム化合物が、前記低反射コーティングを形成するためのコーティング液に添加された、水溶性の無機アルミニウム化合物に由来する、請求項７に記載の低反射コーティング。
  9. 　前記無機アルミニウム化合物が、ハロゲン化アルミニウム又は硝酸アルミニウムである、請求項８に記載の低反射コーティング。
  10. 　前記無機アルミニウム化合物が、塩化アルミニウムである、請求項８に記載の低反射コーティング。
  11. 　前記中実な球状のシリカ微粒子は、平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子と、平均粒径が８０～１５０ｎｍであるシリカ微粒子とからなり、
    　前記シリカ微粒子の合計量１００質量部に対して、前記平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子が２～３０質量部である、
    　請求項６～１０のいずれか１項に記載の低反射コーティング。
  12. 　前記中実な球状のシリカ微粒子は、
    　平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子からなり、
    　前記バインダは、前記金属酸化物としてシリカを主成分として含み、
    　前記低反射コーティングにおける成分の含有率が、質量％表示で、
    　　前記シリカ微粒子　５５～７０％
    　　前記バインダにおけるシリカ　３０～４５％
    である、請求項１に記載の低反射コーティング。
  13. 　前記中実な球状のシリカ微粒子が、平均粒径が２００～６００ｎｍであるシリカ微粒子からなり、
    　前記バインダは、金属酸化物としてシリカを主成分として含み、
    　前記バインダは、高屈折率成分をさらに含み
    　前記バインダの波長５５０ｎｍにおける屈折率が１．５～１．８である、
    　請求項１に記載の低反射コーティング。
  14. 　前記バインダに含まれる前記高屈折率成分は、チタン、ジルコニウム、ニオブ、亜鉛、クロム、アルミニウム、カドミウム、ストロンチウム、イットリウム、ユーロピウム、ランタンからなる群から選ばれた１以上の金属の化合物である、請求項１３に記載の低反射コーティング。
  15. 　前記選ばれた１以上の金属の化合物が、チタン酸化物、ジルコニウム酸化物、またはアルミニウム酸化物である、請求項１４に記載の低反射コーティング。
  16. 　請求項１３に記載の低反射コーティングを、その主平面の少なくとも片方に有するガラス板であって、
    　前記シリカ微粒子は前記主平面上に配列され、
    　前記バインダは前記主平面から前記シリカ微粒子の直径の３０％～７０％の厚みで前記主平面と前記シリカ微粒子の間に存在する、
    　低反射コーティング付ガラス板。
  17. 　請求項１に記載の低反射コーティングを有するガラス板。
  18. 　請求項１６に記載の低反射コーティング付ガラス板または請求項１７に記載の低反射コーティングを有するガラス板を用いたガラス基板であって、該低反射コーティングが形成されている主平面とは反対側の主平面に透明導電膜が形成されたガラス基板。
  19. 　請求項１６に記載の低反射コーティング付ガラス板または請求項１７に記載の低反射コーティングを有するガラス板を用いた光電変換装置であって、該低反射コーティングが形成されている前記ガラス板の主平面が、光が入射する主表面である、光電変換装置。
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