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WO2015133283A1 - ブロア - Google Patents

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Publication number
WO2015133283A1
WO2015133283A1 PCT/JP2015/054534 JP2015054534W WO2015133283A1 WO 2015133283 A1 WO2015133283 A1 WO 2015133283A1 JP 2015054534 W JP2015054534 W JP 2015054534W WO 2015133283 A1 WO2015133283 A1 WO 2015133283A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
diaphragm
blower
blower chamber
piezoelectric
chamber
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2015/054534
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
田中伸拓
横井宏之
佐々木雅啓
栗原潔
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2016506418A priority Critical patent/JP6061054B2/ja
Priority to GB1611722.8A priority patent/GB2538413B/en
Publication of WO2015133283A1 publication Critical patent/WO2015133283A1/ja
Priority to US15/258,306 priority patent/US10221845B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B45/00—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids
    • F04B45/04—Pumps or pumping installations having flexible working members and specially adapted for elastic fluids having plate-like flexible members, e.g. diaphragms
    • F04B45/047—Pumps having electric drive
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B17/00—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors
    • F04B17/003—Pumps characterised by combination with, or adaptation to, specific driving engines or motors driven by piezoelectric means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/16—Casings; Cylinders; Cylinder liners or heads; Fluid connections
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B53/00—Component parts, details or accessories not provided for in, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B23/00 or F04B39/00 - F04B47/00
    • F04B53/10—Valves; Arrangement of valves

Definitions

  • the present invention relates to a blower that transports gas.
  • Patent Document 1 discloses a piezoelectric drive pump.
  • This pump includes a piezoelectric disk, a disk to which the piezoelectric disk is bonded, and a main body that forms a cavity together with the disk.
  • the main body is formed with an inflow port through which gas flows in and an outflow port through which gas flows out.
  • the inflow port is provided between the central axis of the cavity and the outer periphery of the cavity.
  • the outlet is provided on the central axis of the cavity. The outlet is provided with a valve that prevents gas from flowing from the outside to the inside of the cavity.
  • this pump causes the disk to bend and vibrate with a piezoelectric disk. Thereby, gas flows in into a cavity from an inflow port, and the gas in a cavity is discharged from an outflow port.
  • a vortex is generated near the outlet of the cavity.
  • the vortex disturbs the pressure vibration of the cavity and reduces the pressure amplitude of the cavity.
  • the pump of Patent Document 1 has a problem that the discharge pressure is lowered by the vortex generated near the outlet of the cavity (blower chamber), and a high discharge pressure cannot be realized.
  • An object of the present invention is to provide a blower that can weaken a vortex generated near the outlet of a blower chamber and suppress a decrease in discharge pressure.
  • the blower of the present invention has the following configuration in order to solve the above problems.
  • the blower of the present invention includes an actuator and a housing.
  • the actuator includes a diaphragm and a driving body.
  • the diaphragm has a first main surface and a second main surface.
  • the driving body is provided on at least one main surface of the first main surface and the second main surface of the diaphragm. Further, the driving body causes the diaphragm to bend and vibrate concentrically.
  • the housing is joined to the diaphragm to form a blower chamber together with the actuator.
  • at least one of the diaphragm and the housing includes a vent hole that communicates the center of the blower chamber with the outside of the blower chamber, and a recess that is a part of the blower chamber and forms a communication space that communicates with the vent hole. .
  • the communication space is a part of the blower chamber.
  • the blower chamber When the space between the diaphragm and the housing is in contact with an opening having an aperture ratio of 50% or more, the blower chamber has a space inside the opening when the first main surface of the diaphragm is viewed from the front. When the space between the diaphragm and the housing is not in contact with the opening having an aperture ratio of 50% or more, the space between the diaphragm and the casing is indicated.
  • the aperture ratio is defined as the ratio at which the space between the diaphragm and the casing communicates with the outside of the joined body of the diaphragm and the casing.
  • An opening that allows communication between the space sandwiched between the diaphragm and the casing and the outside is provided in the diaphragm and / or the casing.
  • the diaphragm and the casing are formed to have the shortest distance a.
  • the driver vibrates the diaphragm at the resonance frequency f.
  • the resonance frequency f of the diaphragm is determined by the thickness of the diaphragm, the material of the diaphragm, and the like.
  • J 0 ′ (k 0 ) 0 obtained by differentiating the first type Bessel function.
  • A is an opening in the diaphragm when the first main surface is viewed from the center axis of the diaphragm when the space between the diaphragm and the housing is in contact with the opening having an aperture ratio of 50% or more. If the space between the diaphragm and the housing is not in contact with the opening with an aperture ratio of 50% or more, the housing in the diaphragm is separated from the central axis of the diaphragm. The shortest distance to the edge of the area inside the joint with the body.
  • the blower having this configuration has a high discharge pressure and a high discharge flow rate. Can be realized.
  • the blower with this configuration has a communication space near the vent hole in the blower chamber, vortices generated near the vent hole in the blower chamber are weakened in the communication space. Thereby, it can suppress that the pressure vibration of a blower chamber is disturbed by a vortex.
  • the shortest distance a and the resonance frequency f satisfy the relationship of 0.9 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.1 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ).
  • a valve for preventing gas from flowing from the outside to the inside of the blower chamber is provided in the ventilation hole of the housing.
  • the number of zero crossings of the vibration displacement of the diaphragm preferably matches the number of zero crossings of the pressure change in the blower chamber.
  • each point of the diaphragm corresponding to the center axis of the blower chamber to the outer periphery of the blower chamber is displaced by vibration.
  • the pressure at each point of the blower chamber changes due to the vibration of the diaphragm from the central axis of the diaphragm to the outer periphery of the blower chamber.
  • the blower having this configuration can transmit the vibration energy of the diaphragm to the gas in the blower chamber with almost no loss. Therefore, the blower having this configuration can realize a high discharge pressure and a high discharge flow rate.
  • the driving body is preferably a piezoelectric body.
  • FIG. 1 is an external perspective view of a piezoelectric blower 100 according to a first embodiment of the present invention. It is an external appearance perspective view of the piezoelectric blower 100 shown in FIG.
  • FIG. 2 is a sectional view taken along line SS of the piezoelectric blower 100 shown in FIG.
  • FIG. 2 is a cross-sectional view of the piezoelectric blower 100 taken along the line SS when the piezoelectric blower 100 shown in FIG. 1 is operated at the resonance frequency (fundamental wave) of the primary mode.
  • FIG. 2 is a diagram showing the relationship between the pressure change at each point in the blower chamber 31 and the displacement at each point of the diaphragm 41 in the piezoelectric blower 100 shown in FIG. 1.
  • FIG. 1 is an external perspective view of a piezoelectric blower 100 according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a sectional view taken along line SS of the piezoelectric blower 100 shown in FIG.
  • FIG. 2 is a diagram showing a relationship between radius a ⁇ resonance frequency f and pressure amplitude in the piezoelectric blower 100 shown in FIG. 1. It is sectional drawing of the piezoelectric blower 150 which concerns on the comparative example of 1st Embodiment of this invention. It is sectional drawing of the piezoelectric blower 160 which concerns on the modification of 1st Embodiment of this invention. It is sectional drawing of the piezoelectric blower 200 which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 10 is a diagram showing the relationship between the pressure change at each point in the blower chamber 231 and the displacement at each point in the diaphragm 241 in the piezoelectric blower 200 shown in FIG.
  • FIG. 14 is a diagram showing the relationship between the pressure change at each point in the blower chamber 331 and the displacement at each point in the diaphragm 341 in the piezoelectric blower 300 shown in FIG. 13. It is sectional drawing of the piezoelectric blower 350 which concerns on the comparative example of 3rd Embodiment of this invention.
  • FIG. 18 is a diagram showing the relationship between the pressure change at each point in the blower chamber 431 and the displacement at each point of the diaphragm 441 in the piezoelectric blower 400 shown in FIG. 17.
  • top-plate part 618 It is sectional drawing of the top-plate part 618 which concerns on the 2nd modification of the top-plate part 18 shown in FIG. It is sectional drawing of the top-plate part 718 which concerns on the 3rd modification of the top-plate part 18 shown in FIG. It is sectional drawing of the top-plate part 818 which concerns on the 4th modification of the top-plate part 18 shown in FIG. It is sectional drawing of the top-plate part 918 which concerns on the 5th modification of the top-plate part 18 shown in FIG.
  • FIG. 1 is an external perspective view of the piezoelectric blower 100 according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is an external perspective view of the piezoelectric blower 100 shown in FIG.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view taken along line SS of the piezoelectric blower 100 shown in FIG.
  • the piezoelectric blower 100 includes a housing 17, a diaphragm 41, and a piezoelectric element 42 in order from the top, and has a structure in which these are stacked in order.
  • the piezoelectric element 42 corresponds to the “driving body” of the present invention.
  • the diaphragm 41 has a disc shape and is made of, for example, stainless steel (SUS). In the present embodiment, the thickness of the diaphragm 41 is, for example, 0.6 mm. The diameter of the vent hole 24 is, for example, 0.6 mm.
  • the diaphragm 41 has a first main surface 40A and a second main surface 40B.
  • the second main surface 40B of the diaphragm 41 is joined to the tip of the housing 17. Accordingly, the diaphragm 41 is sandwiched from the thickness direction of the diaphragm 41 together with the housing 17 to form a cylindrical blower chamber 31.
  • the diaphragm 41 and the housing 17 are formed so that the blower chamber 31 has a radius a.
  • the radius a of the blower chamber 31 is 6.1 mm.
  • the diaphragm 41 has an opening 62 that allows the outer periphery of the blower chamber 31 to communicate with the outside of the blower chamber 31.
  • the shape of the opening 62 is a sector having an arc 62A, as shown in FIG.
  • the opening 62 is formed over substantially the entire circumference of the diaphragm 41 so as to surround the blower chamber 31. Therefore, the aperture ratio of the opening 62 in this embodiment is about 90%.
  • the diaphragm 41 includes an outer peripheral portion 34, a plurality of beam portions 35, and a vibrating portion 36.
  • the outer peripheral portion 34 has an annular shape.
  • the vibration part 36 has a disk shape.
  • the vibrating portion 36 is disposed in the opening of the outer peripheral portion 34 with a gap between the vibrating portion 36 and the outer peripheral portion 34.
  • the plurality of beam portions 35 are provided in a gap between the outer peripheral portion 34 and the vibrating portion 36, and connect the vibrating portion 36 and the outer peripheral portion 34.
  • the vibration part 36 is supported hollowly via the beam part 35 and is movable up and down in the thickness direction.
  • the aperture ratio is defined as the ratio at which the space between the diaphragm and the casing communicates with the outside of the joined body of the diaphragm and the casing.
  • the aperture ratio refers to the entire circumference of the area of the diaphragm 41 located inside the ring formed by connecting all the openings 62 when the second main surface 40B of the diaphragm 41 is viewed from the front. Is the ratio of the total arc length on the diaphragm 41 side of all the openings 62 to the length of.
  • the blower chamber 31 is viewed from the front side of the first main surface 40A of the diaphragm 41. , Refers to the space inside the opening 62 (more precisely, the space inside the ring formed by connecting all the openings 62).
  • the vibration plate 41 is formed by punching a metal plate, for example.
  • the piezoelectric element 42 has a disc shape and is made of, for example, lead zirconate titanate ceramic. Electrodes are formed on both main surfaces of the piezoelectric element 42.
  • the piezoelectric element 42 is bonded to the first main surface 40A on the opposite side to the blower chamber 31 of the diaphragm 41, and expands and contracts according to the applied AC voltage.
  • the joined body of the piezoelectric element 42 and the diaphragm 41 constitutes a piezoelectric actuator 90.
  • the housing 17 is formed in a U-shaped cross section with an opening at the bottom.
  • the tip of the housing 17 is joined to the diaphragm 41.
  • the casing 17 is made of, for example, metal.
  • the housing 17 includes a disc-shaped top plate portion 18 facing the second main surface 40B of the vibration plate 41, and an annular side wall portion 19 connected to the top plate portion 18. A part of the top plate portion 18 constitutes the top surface of the blower chamber 31.
  • the top plate 18 has a columnar vent 24 that allows the center of the blower chamber 31 to communicate with the outside of the blower chamber 31.
  • the central portion of the blower chamber 31 is a portion overlapping the piezoelectric element 42 when the first main surface 40A of the diaphragm 41 is viewed from the front.
  • the top plate portion 18 has a thick top portion 29 and a thin top portion 28 located on the inner peripheral side of the thick top portion 29.
  • the top plate portion 18 has a vent hole 24 in the thin top portion 28 that allows the central portion of the blower chamber 31 to communicate with the outside of the blower chamber 31.
  • the thickness of the thick top portion 29 is, for example, 0.55 mm
  • the thickness of the thin top portion 28 is, for example, 0.05 mm.
  • the diameter of the vent hole 24 is, for example, 0.6 mm.
  • the central portion of the blower chamber 31 is a portion overlapping the piezoelectric element 42 when the first main surface 40A of the diaphragm 41 is viewed from the front.
  • a concave portion 26 that is a part of the blower chamber 31 and that constitutes a cavity 25 that communicates with the vent hole 24 is formed on the vibration plate 41 side of the top plate portion 18.
  • the cavity 25 is a cylindrical communication space.
  • the diameter of the cavity 25 is, for example, 3.0 mm, and the thickness of the cavity 25 is, for example, 0.5 mm.
  • FIGS. 4A and 4B are cross-sectional views of the SS line of the piezoelectric blower 100 when the piezoelectric blower 100 shown in FIG. 1 is operated at the resonance frequency (fundamental wave) of the primary mode.
  • 4A is a view when the volume of the blower chamber 31 is increased most
  • FIG. 4B is a view when the volume of the blower chamber 31 is decreased most.
  • the arrows in the figure indicate the flow of air.
  • FIG. 5 shows the pressure at each point of the blower chamber 31 applied from the central axis C of the diaphragm 41 to the outer periphery of the blower chamber 31 at the moment when the piezoelectric blower 100 shown in FIG. 1 is in the state shown in FIG.
  • FIG. 4 is a diagram illustrating a relationship between a change and displacement of each point of the diaphragm 41 that configures from the central axis C of the diaphragm 41 to the outer periphery of the blower chamber 31.
  • FIG. 5 is a diagram obtained by simulation.
  • FIG. 6 is a diagram showing the relationship between radius a ⁇ resonance frequency f and pressure amplitude in the piezoelectric blower 100 shown in FIG.
  • FIG. 6 is a diagram in which the pressure amplitude is obtained by changing radius a ⁇ resonance frequency f by simulation.
  • the dotted lines in FIG. 6 indicate the lower limit, upper limit, and maximum value of a range that satisfies the relationship of 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ). ing.
  • the lower limit is 104 m / s
  • the upper limit is 156 m / s
  • the maximum is 130 m / s.
  • an alternate long and short dash line in FIG. 6 indicates a lower limit and an upper limit of a range satisfying the relationship of 0.9 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.1 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ). ing.
  • the lower limit is 117 m / s, and the upper limit is 143 m / s.
  • the pressure amplitude shown in FIG. 6 is normalized by the vibration speed at the center of the piezoelectric element 42. Since the failure limit of the piezoelectric element 42 is the upper limit, the pressure amplitude when the vibration speed is 1 m / s is graphed in the measurement shown in FIG.
  • the radius a of the blower chamber 31 is determined from the central axis C of the diaphragm 41 because the space S sandwiched between the diaphragm 41 and the casing 17 is in contact with the opening 62 having an aperture ratio of 50% or more.
  • the region of the diaphragm 41 inside the opening 62 (more precisely, the diaphragm 41 inside the ring formed by connecting all the openings 62) Is the shortest distance to the end F of the region.
  • the resonance frequency f of the diaphragm 41 is 21.7 kHz.
  • the resonance frequency f of the diaphragm 41 is determined by the thickness of the diaphragm 41, the material of the diaphragm 41, and the like.
  • the sound velocity c of air is 340 m / s. k 0 is 2.40.
  • the first type Bessel function J 0 (x) is expressed by the following mathematical formula.
  • each point of the diaphragm 41 constituting from the central axis C of the diaphragm 41 to the outer periphery of the blower chamber 31 is displaced by vibration. Then, as indicated by the solid line in FIG. 5, the pressure at each point in the blower chamber 31 changes due to the vibration of the diaphragm 41 from the central axis C of the diaphragm 41 to the outer periphery of the blower chamber 31.
  • the number of zero crossings of the vibration displacement of the diaphragm 41 is zero in the range from the central axis C of the diaphragm 41 to the outer periphery of the blower chamber 31.
  • the number of zero crossings of the pressure change is also zero. Therefore, the number of zero crossings of the vibration displacement of the diaphragm 41 matches the number of zero crossings of the pressure change in the blower chamber 31.
  • the vibration node F of the diaphragm 41 coincides with the pressure vibration node of the blower chamber 31, and pressure resonance occurs. Further, even when the relationship of 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) is satisfied, the vibration node F of the vibration plate 41 has a blower chamber. It almost coincides with 31 pressure vibration nodes.
  • the piezoelectric blower 100 is used for sucking a liquid having a high viscosity such as a runny nose or sputum.
  • the vibration speed of the piezoelectric element needs to be 2 m / s or less. Since suction of a runny nose and sputum requires a pressure of 20 kPa or more, the piezoelectric blower 100 needs a pressure amplitude of 10 kPa / (m / s) or more. As shown in FIG. 6, the pressure amplitude becomes maximum when af is 130 m / s.
  • a pressure amplitude of 20 kPa / (m / s) or more is obtained. Even at 104 m / s and 156 m / s, which are shifted by ⁇ 20% from 130 m / s, a pressure amplitude of 10 kPa / (m / s) or more can be obtained.
  • the piezoelectric blower 100 has high viscosity such as runny nose and sputum It is possible to realize a high discharge pressure and a high discharge flow rate that can be used for an application for sucking a liquid.
  • the piezoelectric blower 100 has an extremely high discharge pressure and an extremely high discharge. Flow rate can be realized.
  • the piezoelectric blower 100 has a cavity 25 near the vent hole 24 of the blower chamber 31. Therefore, in the piezoelectric blower 100, vortices generated near the vent hole 24 in the blower chamber 31 are weakened in the cavity 25. Thereby, it can suppress that the pressure vibration of the blower chamber 31 is disturbed by the vortex.
  • the piezoelectric blower 100 can weaken the vortex generated near the vent hole 24 of the blower chamber 31 and suppress the discharge pressure from being lowered.
  • each point of the vibration plate 41 is displaced according to the pressure change at each point of the blower chamber 31.
  • the piezoelectric blower 100 can transmit the vibration energy of the diaphragm 41 to the air in the blower chamber 31 with almost no loss. Therefore, the piezoelectric blower 100 can realize a high discharge pressure and a high discharge flow rate.
  • the piezoelectric blower 100 since the outer periphery of the blower chamber 31 becomes a node of pressure vibration of the blower chamber 31, the outer peripheral pressure of the blower chamber 31 is always atmospheric pressure. Therefore, even if the outer periphery of the blower chamber 31 communicates with the outside of the blower chamber 31 through the large opening 62, the piezoelectric blower 100 can prevent the discharge pressure and the discharge flow rate from decreasing.
  • the piezoelectric blower 100 can prevent the opening 62 from being clogged with dust or the like by the large opening 62. That is, the piezoelectric blower 100 can prevent the discharge pressure and the discharge flow rate from being reduced by dust or the like.
  • the piezoelectric blower 100 according to the first embodiment of the present invention and the piezoelectric blower 150 according to the comparative example of the first embodiment of the present invention will be compared.
  • FIG. 7 is a cross-sectional view of a piezoelectric blower 150 according to a comparative example of the first embodiment of the present invention.
  • the piezoelectric blower 150 is different from the piezoelectric blower 100 in that a cavity 25 communicating with the vent hole 24 is formed on the side of the top plate portion 168 of the housing 167 opposite to the vibration plate 41. This cavity 25 is not part of the blower chamber 181. Since the other points are the same, the description is omitted.
  • the piezoelectric blower 100 of the present embodiment it is possible to weaken the vortex generated near the vent hole 24 of the blower chamber 31 and suppress the discharge pressure from being lowered.
  • the top plate 18 may be provided with a valve 80 for preventing gas from flowing from the outside of the blower chamber 31 to the inside through the vent hole 24 (see FIG. 8). ).
  • the valve 80 when the valve 80 is provided in the vent hole 24 of the housing 17, nonlinear pressure fluctuations are generated in the blower chamber 31 by opening and closing the valve 80. Therefore, vortices are likely to occur near the vent hole 24 in the blower chamber 31. Therefore, the cavity 25 is particularly effective in the piezoelectric blower 160 provided with the valve 80.
  • FIG. 9 is a sectional view of the piezoelectric blower 200 according to the second embodiment of the present invention.
  • the piezoelectric blower 200 is different from the piezoelectric blower 100 in that the dimensions of the vibration plate 241 and the housing 217 and the reinforcing plate 70 are provided.
  • the piezoelectric blower 200 includes a housing 217, a vibration plate 241, a reinforcing plate 70, and a piezoelectric element 42 in order from the top, and has a structure in which these are stacked in order.
  • the diaphragm 241 has a disk shape and is made of, for example, stainless steel (SUS). In the present embodiment, the thickness of the diaphragm 241 is, for example, 0.1 mm.
  • the diaphragm 241 has a first main surface 240A and a second main surface 240B.
  • the second main surface 240B of the diaphragm 241 is joined to the tip of the housing 217. Thereby, the diaphragm 241 is sandwiched from the thickness direction of the diaphragm 241 together with the casing 217 to form a cylindrical blower chamber 231.
  • the diaphragm 241 and the housing 217 are formed so that the blower chamber 231 has a radius a.
  • the radius a of the blower chamber 231 is 6.1 mm.
  • the diaphragm 241 has an opening 262 that allows the outer periphery of the blower chamber 231 to communicate with the outside of the blower chamber 231.
  • the opening 262 is formed over substantially the entire circumference of the diaphragm 241 so as to surround the blower chamber 231. Therefore, the region inside the opening 262 in the second main surface 240B of the diaphragm 241 constitutes the bottom surface of the blower chamber 231.
  • the diaphragm 241 is formed, for example, by punching a metal plate.
  • the reinforcing plate 70 has a disc shape and is made of, for example, stainless steel.
  • the reinforcing plate 70 is joined to the first main surface 240 ⁇ / b> A of the diaphragm 241.
  • the diameter of the reinforcing plate 70 is, for example, 11 mm, and the thickness of the reinforcing plate 70 is, for example, 0.5 mm.
  • the piezoelectric element 42 is joined to the main surface 240C of the reinforcing plate 70 on the opposite side to the blower chamber 231.
  • a joined body of the piezoelectric element 42, the reinforcing plate 70, and the vibration plate 241 constitutes a piezoelectric actuator 290.
  • the diaphragm 241 and the reinforcing plate 70 constitute the “diaphragm” of the present invention.
  • the first main surface 240A corresponds to the “first main surface” of the present invention, and the main surface 240C corresponds to the “second main surface” of the present invention.
  • the housing 217 is formed in a U-shaped cross section with an opening at the bottom.
  • the tip of the housing 217 is joined to the diaphragm 241.
  • the housing 217 is made of, for example, metal.
  • the housing 217 includes a disk-shaped top plate portion 218 that faces the second main surface 240 ⁇ / b> B of the diaphragm 241, and an annular side wall portion 19 that is connected to the top plate portion 218. A part of the top plate portion 218 constitutes the top surface of the blower chamber 231.
  • the top plate part 218 has a cylindrical air hole 24 that communicates the center of the blower chamber 231 with the outside of the blower chamber 231.
  • the central portion of the blower chamber 231 is a portion that overlaps the piezoelectric element 42 when the first main surface 240A of the diaphragm 241 is viewed from the front.
  • the top plate part 218 includes a thick top part 229 and a thin top part 28 located on the inner peripheral side of the thick top part 229.
  • the top plate portion 218 has a vent hole 24 in the thin top portion 28 that allows the central portion of the blower chamber 231 to communicate with the outside of the blower chamber 231.
  • the thickness of the thick part 229 is 0.2 mm, for example.
  • the thickness of the thin top portion 28 is, for example, 0.05 mm.
  • the central portion of the blower chamber 231 is a portion overlapping the piezoelectric element 42 when the first main surface 240A of the diaphragm 241 is viewed from the front.
  • a concave portion 226 that forms a cavity 225 that is a part of the blower chamber 231 and communicates with the vent hole 24 is formed on the vibration plate 241 side of the top plate portion 218.
  • the cavity 225 has a cylindrical shape.
  • the diameter of the cavity 225 is, for example, 2.0 mm, and the thickness of the cavity 225 is, for example, 0.15 mm.
  • FIG. 10 shows the pressure change at each point of the blower chamber 231 from the central axis C of the diaphragm 241 to the outer periphery of the blower chamber 231 at a predetermined moment during the driving of the piezoelectric blower 200 shown in FIG. It is a figure which shows the relationship with the displacement of each point of the diaphragm 241 which comprises from the central axis C to the outer periphery of the blower chamber 231.
  • FIG. FIG. 10 is a diagram obtained by simulation.
  • the pressure change at each point of the blower chamber 231 and the displacement of each point of the diaphragm 241 are normalized by the displacement of the center of the diaphragm 241 on the central axis C of the diaphragm 241. Indicated by value.
  • the vibration plate 241 is bent and deformed, and the volume of the blower chamber 231 is periodically changed.
  • the radius a of the blower chamber 231 is determined from the central axis C of the diaphragm 241 because the space S sandwiched between the diaphragm 241 and the housing 217 is in contact with the opening 262 having an aperture ratio of 50% or more.
  • the region of the diaphragm 241 inside the opening 262 (more precisely, the diaphragm 241 inside the ring formed by connecting all the openings 262) Is the shortest distance to the end F of the region.
  • the resonance frequency f is 47.0 kHz.
  • the sound velocity c of air is 340 m / s. k 0 is 5.52.
  • each point of the diaphragm 241 constituting the center axis C of the diaphragm 241 to the outer periphery of the blower chamber 231 is displaced by vibration. 10 the pressure at each point in the blower chamber 231 changes due to the vibration of the diaphragm 241 from the central axis C of the diaphragm 241 to the outer periphery of the blower chamber 231.
  • the number of zero crossing points of the vibration displacement of the diaphragm 241 is one.
  • the number of zero crossings of the pressure change is also one. Therefore, the number of zero crossings of the vibration displacement of the diaphragm 241 matches the number of zero crossings of the pressure change in the blower chamber 231.
  • the vibration node F of the diaphragm 241 coincides with the pressure vibration node of the blower chamber 231, and pressure resonance occurs. Furthermore, even when the relationship of 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) is satisfied, the vibration node F of the diaphragm 241 is reduced in the blower chamber. It almost coincides with the pressure vibration node of H.231.
  • the piezoelectric blower 200 is used for sucking a liquid having a high viscosity such as a runny nose or sputum.
  • the vibration speed of the piezoelectric element needs to be 2 m / s or less. Since suction of a runny nose and sputum requires a pressure of 20 kPa or more, the piezoelectric blower 200 needs a pressure amplitude of 10 kPa / (m / s) or more.
  • the pressure is 10 kPa / (m / s) or more. Amplitude can be obtained.
  • the piezoelectric blower 200 satisfies the relationship of 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ), the viscosity of the runny nose and sputum is high. It is possible to realize a high discharge pressure and a high discharge flow rate that can be used for an application for sucking a liquid.
  • the piezoelectric blower 200 satisfies the relationship of 0.9 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.1 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ), the extremely high discharge pressure and the extremely high discharge Flow rate can be realized.
  • the piezoelectric blower 200 has a cavity 225 near the vent hole 24 of the blower chamber 231. Therefore, in the piezoelectric blower 200, vortices generated near the vent hole 24 in the blower chamber 231 are weakened in the cavity 225. Thereby, it can suppress that the pressure vibration of the blower chamber 231 is disturbed by the vortex.
  • the piezoelectric blower 200 can weaken the vortex generated near the vent hole 24 of the blower chamber 231 and suppress the discharge pressure from being lowered.
  • the piezoelectric blower 200 can transmit the vibration energy of the diaphragm 241 to the air in the blower chamber 231 with almost no loss. Therefore, the piezoelectric blower 200 can realize a high discharge pressure and a high discharge flow rate.
  • the piezoelectric blower 200 the outer periphery of the blower chamber 231 becomes a node of pressure vibration of the blower chamber 231, and therefore the outer peripheral pressure of the blower chamber 231 is always atmospheric pressure. Therefore, even if the outer periphery of the blower chamber 231 communicates with the outside of the blower chamber 231 through the large opening 262, the piezoelectric blower 200 can prevent the discharge pressure and the discharge flow rate from decreasing.
  • the piezoelectric blower 200 can prevent dust and the like from being clogged in the opening 262 by the large opening 262. That is, the piezoelectric blower 200 can prevent the discharge pressure and the discharge flow rate from being reduced by dust or the like.
  • the piezoelectric blower 200 according to the second embodiment of the present invention and the piezoelectric blower 250 according to the comparative example of the second embodiment of the present invention will be compared.
  • FIG. 11 is a cross-sectional view of a piezoelectric blower 250 according to a comparative example of the second embodiment of the present invention.
  • the piezoelectric blower 250 is different from the piezoelectric blower 200 in that a cavity 225 communicating with the vent hole 24 is formed on the opposite side of the top plate portion 268 of the housing 267 from the vibration plate 41.
  • This cavity 225 is not part of the blower chamber 281. Since the other points are the same, the description is omitted.
  • the piezoelectric blower 200 of the present embodiment it is possible to weaken the vortex generated near the vent hole 24 of the blower chamber 231 and suppress the discharge pressure from being lowered.
  • the top plate 218 may be provided with a valve 80 that prevents gas from flowing from the outside of the blower chamber 231 to the inside through the vent hole 24 (see FIG. 12). ).
  • the valve 80 when the valve 80 is provided in the vent hole 24 of the housing 217, non-linear pressure fluctuation is generated in the blower chamber 231 by opening and closing the valve 80. Therefore, vortices are likely to occur near the vent hole 24 of the blower chamber 231. Therefore, the cavity 225 is particularly effective in the piezoelectric blower 260 provided with the valve 80.
  • FIG. 13 is a cross-sectional view of a piezoelectric blower 300 according to a third embodiment of the present invention.
  • the piezoelectric blower 300 is different from the piezoelectric blower 200 in the dimensions of the diaphragm 341 and the housing 317 and in that the opening is not provided in the diaphragm 341.
  • the opening ratio of the outer periphery of the blower chamber 331 is 0%. Therefore, the space S sandwiched between the diaphragm 341 and the housing 317 is not in contact with the opening having an opening ratio of 50% or more (in other words, the shielded ratio exceeds 50% in any ring). ), The blower chamber 331 indicates a space S sandwiched between the diaphragm 341 and the housing 317.
  • the piezoelectric blower 300 includes a housing 317, a vibration plate 341, a reinforcing plate 70, and a piezoelectric element 42 in order from the top, and has a structure in which these are stacked in order.
  • the diaphragm 341 has a disc shape and is made of, for example, stainless steel (SUS). In the present embodiment, the thickness of the diaphragm 341 is, for example, 0.1 mm.
  • the diaphragm 341 has a first main surface 340A and a second main surface 340B.
  • the second main surface 340B of the diaphragm 341 is joined to the tip of the housing 317. Thereby, the diaphragm 341 is sandwiched from the thickness direction of the diaphragm 341 together with the housing 317 to form a cylindrical blower chamber 331.
  • the diaphragm 341 and the housing 317 are formed so that the blower chamber 331 has a radius a.
  • the radius a of the blower chamber 331 is, for example, 9.4 mm.
  • a region on the inner side of the second main surface 340B of the diaphragm 341 from the joint portion with the housing 317 constitutes the bottom surface of the blower chamber 331.
  • the reinforcing plate 70 is joined to the first main surface 340 ⁇ / b> A on the side opposite to the blower chamber 331 of the vibration plate 341.
  • the diameter of the reinforcing plate 70 is, for example, 11 mm, and the thickness of the reinforcing plate 70 is, for example, 0.5 mm.
  • the piezoelectric element 42 is joined to the main surface 340C on the opposite side of the blower chamber 331 of the reinforcing plate 70.
  • a joined body of the piezoelectric element 42, the reinforcing plate 70 and the vibration plate 341 constitutes a piezoelectric actuator 390.
  • the diaphragm 341 and the reinforcing plate 70 constitute the “diaphragm” of the present invention.
  • the main surface 340C corresponds to the “second main surface” of the present invention.
  • the housing 317 is formed in a U-shaped cross section with an opening at the bottom.
  • the tip of the housing 317 is joined to the diaphragm 341.
  • the housing 317 is made of metal, for example.
  • the housing 317 includes a disk-shaped top plate portion 318 facing the second main surface 340 ⁇ / b> B of the diaphragm 341, and an annular side wall portion 19 connected to the top plate portion 318. A part of the top plate portion 318 constitutes the top surface of the blower chamber 331.
  • the top plate portion 318 has a columnar vent 24 that allows the blower chamber 331 to communicate with the outside of the blower chamber 331.
  • the top plate portion 318 has a thick top portion 329 and a thin top portion 28 located on the inner peripheral side of the thick top portion 329.
  • the top plate portion 318 has a vent hole 24 in the thin top portion 28 that allows the central portion of the blower chamber 331 to communicate with the outside of the blower chamber 331.
  • the thickness of the thick part 329 is, for example, 0.3 mm.
  • the thickness of the thin top portion 28 is, for example, 0.05 mm.
  • the central portion of the blower chamber 331 is a portion that overlaps the piezoelectric element 42 when the first main surface 340A of the diaphragm 341 is viewed from the front.
  • a concave portion 326 that forms a cavity 325 that is part of the blower chamber 331 and communicates with the vent hole 24 is formed on the top plate portion 318 on the vibration plate 341 side.
  • the cavity 325 has a cylindrical shape.
  • the diameter of the cavity 325 is, for example, 3.0 mm, and the thickness of the cavity 325 is, for example, 0.25 mm.
  • FIG. 14 shows the pressure change at each point of the blower chamber 331 from the central axis C of the diaphragm 341 to the outer periphery of the blower chamber 331 at a predetermined moment during the driving of the piezoelectric blower 300 shown in FIG. It is a figure which shows the relationship between the displacement of each point of the diaphragm 341 which comprises from the central axis C to the outer periphery of the blower chamber 331.
  • FIG. FIG. 14 is a diagram obtained by simulation.
  • the pressure change at each point in the blower chamber 331 and the displacement at each point of the diaphragm 341 are normalized by the displacement of the center of the diaphragm 341 on the center axis C of the diaphragm 341. Indicated by value.
  • the vibration plate 341 is bent and deformed, and the volume of the blower chamber 331 is periodically changed.
  • the relationship of 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) is satisfied.
  • the radius a of the blower chamber 331 is such that the space S sandwiched between the vibration plate 341 and the housing 317 is not in contact with the opening having an opening ratio of 50% or more. This is the shortest distance to the end J of the region on the inner side of the joint portion of the diaphragm 341 with the housing 317.
  • the resonance frequency f is 24.0 kHz.
  • the sound velocity c of air is 340 m / s. k 0 is 3.83.
  • each point of the diaphragm 341 constituting the center axis C of the diaphragm 341 to the outer periphery of the blower chamber 331 is displaced by vibration.
  • the pressure at each point in the blower chamber 331 changes due to the vibration of the diaphragm 341 from the central axis C of the blower chamber 331 to the outer periphery of the blower chamber 331.
  • the number of zero crossing points of the vibration displacement of the diaphragm 341 is one.
  • the number of zero crossings of the pressure change is also one. Therefore, the number of zero crossings of the vibration displacement of the diaphragm 341 matches the number of zero crossings of the pressure change in the blower chamber 331.
  • the vibration node of the diaphragm 341 coincides with the pressure vibration node of the blower chamber 331, and pressure resonance occurs. Furthermore, even when the relationship of 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) is satisfied, the vibration node of the vibration plate 341 causes the blower chamber 331 to It almost coincides with the pressure oscillation node.
  • the piezoelectric blower 300 is used for sucking a highly viscous liquid such as a runny nose or sputum.
  • the vibration speed of the piezoelectric element needs to be 2 m / s or less. Since suction of a runny nose and sputum requires a pressure of 20 kPa or more, the piezoelectric blower 300 needs a pressure amplitude of 10 kPa / (m / s) or more.
  • the piezoelectric blower 300 has a pressure of 10 kPa / (m / s) or more when the relationship of 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) is satisfied. Amplitude can be obtained. Therefore, when the piezoelectric blower 300 satisfies the relationship of 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ), the viscosity of the runny nose and sputum is high. It is possible to realize a high discharge pressure and a high discharge flow rate that can be used for an application for sucking a liquid.
  • the piezoelectric blower 300 satisfies the relationship of 0.9 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.1 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ), the extremely high discharge pressure and the extremely high discharge Flow rate can be realized.
  • the piezoelectric blower 300 has a cavity 325 near the vent hole 24 of the blower chamber 331. Therefore, in the piezoelectric blower 300, vortices generated near the vent hole 24 in the blower chamber 331 are weakened in the cavity 325. Thereby, it can suppress that the pressure vibration of the blower chamber 331 is disturbed by the vortex.
  • the piezoelectric blower 300 can weaken the vortex generated near the vent hole 24 of the blower chamber 331 and suppress the discharge pressure from being lowered.
  • the displacement distribution of each point of the diaphragm 341 is close to the pressure change distribution of each point of the blower chamber 331. That is, when the diaphragm 341 vibrates, each point of the diaphragm 341 is displaced in accordance with the pressure change of each point of the blower chamber 331.
  • the piezoelectric blower 300 can transmit the vibration energy of the diaphragm 341 to the air in the blower chamber 331 with almost no loss. Therefore, the piezoelectric blower 300 can realize a high discharge pressure and a high discharge flow rate.
  • the piezoelectric blower 300 according to the third embodiment of the present invention and the piezoelectric blower 350 according to the comparative example of the third embodiment of the present invention will be compared.
  • FIG. 15 is a cross-sectional view of a piezoelectric blower 350 according to a comparative example of the third embodiment of the present invention.
  • the piezoelectric blower 350 is different from the piezoelectric blower 300 in that a cavity 325 communicating with the vent hole 24 is formed on the opposite side of the top plate portion 368 of the housing 367 from the vibration plate 41. This cavity 325 is not part of the blower chamber 381. Since the other points are the same, the description is omitted.
  • wind force (mN) of the air flowing out from the vent hole 24 of the piezoelectric blower 300 are shown below.
  • the piezoelectric blower 300 of this embodiment it is possible to weaken the vortex generated near the vent hole 24 of the blower chamber 331 and suppress the discharge pressure from being lowered.
  • the top plate portion 318 is provided with a valve 80 that prevents gas from flowing from the outside of the blower chamber 331 to the inside through the vent hole 24, so that the diaphragm 341 and the housing 317
  • An opening 324 having an opening ratio of 50% or less may be provided in the part (see FIG. 16).
  • the shape of the opening 324 is cylindrical. And when the front view is seen from the one main surface of the top-plate part 318, the shape of the opening part 324 is a circle.
  • FIG. 17 is a cross-sectional view of a piezoelectric blower 400 according to a fourth embodiment of the present invention.
  • the piezoelectric blower 400 is different from the piezoelectric blower 300 in the dimensions of the diaphragm 441 and the housing 417. Since other configurations are the same, description thereof is omitted.
  • the blower chamber 431 is also cylindrical, and the radius a of the blower chamber 431 is, for example, 10.3 mm.
  • the diaphragm 441 and the housing 417 are formed so that the blower chamber 431 has a radius a.
  • the diaphragm 441 has a first main surface 440A and a second main surface 440B.
  • a joined body of the piezoelectric element 42, the reinforcing plate 70, and the vibration plate 441 constitutes a piezoelectric actuator 490.
  • a concave portion 326 is formed that constitutes a cavity 325 that is part of the blower chamber 331 and communicates with the vent hole 24.
  • FIG. 18 shows the pressure change at each point in the blower chamber 431 from the central axis C of the vibration plate 441 to the outer periphery of the blower chamber 431 at a predetermined moment during the driving of the piezoelectric blower 400 shown in FIG. It is a figure which shows the relationship with the displacement of each point of the diaphragm 441 which comprises from the central axis C to the outer periphery of the blower chamber 431.
  • FIG. FIG. 18 is a diagram obtained by simulation.
  • the pressure change at each point in the blower chamber 431 and the displacement at each point of the diaphragm 441 are normalized by the displacement of the center of the diaphragm 441 on the central axis C of the diaphragm 441. Indicated by value.
  • the vibration plate 441 is bent and deformed, and the volume of the blower chamber 431 changes periodically.
  • the resonance frequency f is 36.3 kHz.
  • the sound velocity c of air is 340 m / s. k 0 is 7.02.
  • each point of the diaphragm 441 constituting the center axis C of the diaphragm 441 to the outer periphery of the blower chamber 431 is displaced by vibration.
  • the pressure at each point in the blower chamber 431 changes due to the vibration of the diaphragm 441 from the central axis C of the diaphragm 441 to the outer periphery of the blower chamber 431.
  • the number of zero crossing points of the vibration displacement of the diaphragm 441 is two.
  • the number of zero crossings of the pressure change is also two. Therefore, the number of zero crossings of the vibration displacement of the diaphragm 441 matches the number of zero crossings of the pressure change in the blower chamber 431.
  • the vibration node of the diaphragm 441 coincides with the pressure vibration node of the blower chamber 431, and pressure resonance occurs. Further, even when the relationship of 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) is satisfied, the vibration node of the vibration plate 441 becomes the blower chamber 431. It almost coincides with the pressure oscillation node.
  • the piezoelectric blower 400 is used for sucking a highly viscous liquid such as a runny nose or sputum.
  • the vibration speed of the piezoelectric element needs to be 2 m / s or less. Since suction of a runny nose and sputum requires a pressure of 20 kPa or more, the piezoelectric blower 400 needs a pressure amplitude of 10 kPa / (m / s) or more.
  • the piezoelectric blower 400 has a pressure of 10 kPa / (m / s) or more when the relationship 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) is satisfied. Amplitude can be obtained. Therefore, when the piezoelectric blower 400 satisfies the relationship of 0.8 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.2 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ), the viscosity of the runny nose and sputum is high. It is possible to realize a high discharge pressure and a high discharge flow rate that can be used for an application for sucking a liquid.
  • the piezoelectric blower 400 satisfies the relationship of 0.9 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ) ⁇ af ⁇ 1.1 ⁇ (k 0 c) / (2 ⁇ ), the extremely high discharge pressure and the extremely high discharge Flow rate can be realized.
  • the piezoelectric blower 400 has a cavity 325 near the vent hole 24 of the blower chamber 431. Therefore, in the piezoelectric blower 400, the vortex generated near the vent hole 24 in the blower chamber 431 is weakened in the cavity 325. Thereby, it can suppress that the pressure vibration of the blower chamber 431 is disturbed by the vortex.
  • the piezoelectric blower 400 can weaken the vortex generated near the vent hole 24 of the blower chamber 431 and suppress the discharge pressure from being lowered.
  • the displacement distribution of each point of the diaphragm 441 is close to the pressure change distribution of each point of the blower chamber 431. That is, when the diaphragm 441 vibrates, each point of the diaphragm 441 is displaced in accordance with a pressure change at each point of the blower chamber 431.
  • the piezoelectric blower 400 can transmit the vibration energy of the diaphragm 441 to the air in the blower chamber 431 with almost no loss. Therefore, the piezoelectric blower 400 can realize a high discharge pressure and a high discharge flow rate.
  • the piezoelectric blower 400 of the fourth embodiment the same effect as that of the piezoelectric blower 300 of the third embodiment can be obtained.
  • the piezoelectric blower 400 according to the fourth embodiment of the present invention and the piezoelectric blower 450 according to the comparative example of the fourth embodiment of the present invention will be compared.
  • FIG. 19 is a cross-sectional view of a piezoelectric blower 450 according to a comparative example of the fourth embodiment of the present invention.
  • the piezoelectric blower 450 is different from the piezoelectric blower 400 in that a cavity 325 communicating with the vent hole 24 is formed on the opposite side of the top plate portion 468 of the housing 467 from the vibration plate 41. This cavity 325 is not part of the blower chamber 481. Since the other points are the same, the description is omitted.
  • wind force (mN) of the air flowing out from the vent hole 24 of the piezoelectric blower 400 are shown below.
  • the piezoelectric blower 400 of the present embodiment it is possible to weaken the vortex generated near the vent hole 24 of the blower chamber 431 and suppress the discharge pressure from being lowered.
  • the top plate portion 418 is provided with a valve 80 for preventing gas from flowing from the outside of the blower chamber 431 to the inside through the vent hole 24, so that the diaphragm 441 and the housing 417
  • An opening 424 having an opening ratio of 50% or less may be provided in the part (see FIG. 20).
  • the shape of the opening 424 is cylindrical. And when the front view is seen from the one main surface of the diaphragm 441, the shape of the opening part 424 is a circle.
  • the shape of the opening 62 is a sector shape having an arc 62A as shown in FIG. The openings 62 form an annular shape when all the openings 62 are connected.
  • the cavity 325 is particularly effective in the piezoelectric blower 460 provided with the valve 80.
  • air is used as the fluid, but the present invention is not limited to this. It can be applied even if the fluid is a gas other than air.
  • the diaphragms 41, 241, 341, 441 and the reinforcing plate 70 are made of SUS, but are not limited thereto.
  • the piezoelectric element 42 is provided as a drive source for the blower, but the present invention is not limited to this.
  • it may be configured as a blower that performs a pumping operation by electromagnetic drive.
  • the piezoelectric element 42 is made of lead zirconate titanate ceramic, but is not limited thereto.
  • it may be composed of a lead-free piezoelectric ceramic material such as potassium sodium niobate and alkali niobate ceramics.
  • the piezoelectric element 42 is joined to the first main surface 40A on the opposite side of the blower chamber 31 of the diaphragm 41, but the present invention is not limited to this.
  • the piezoelectric element 42 may be bonded to the second main surface 40B of the diaphragm 41 on the blower chamber 31 side, or the two piezoelectric elements 42 may be the first main surface 40A of the diaphragm 41. And it may be joined to the second main surface 40B.
  • the casing 17 constitutes a blower chamber sandwiched from the thickness direction of the vibration plate 41 together with the piezoelectric actuator composed of at least one piezoelectric element 42 and the vibration plate 41.
  • the piezoelectric element 42 is joined to the main surface 240C on the opposite side of the blower chamber 231 of the reinforcing plate 70, but is not limited thereto.
  • the piezoelectric element 42 may be bonded to the second main surface 240B of the diaphragm 241 on the blower chamber 231 side, or the two piezoelectric elements 42 may be connected to the main surface 240C of the reinforcing plate 70 and the second main surface 240C.
  • the diaphragm 241 may be joined to the second main surface 240B.
  • the housing 217 constitutes a blower chamber sandwiched from the thickness direction of the diaphragm 241 together with a piezoelectric actuator composed of at least one piezoelectric element 42 and the diaphragm 241.
  • the piezoelectric element 42 is joined to the main surface 340C on the opposite side of the blower chamber 331 of the reinforcing plate 70, but is not limited thereto.
  • the piezoelectric element 42 may be bonded to the second main surface 340B of the vibration plate 341, or the two piezoelectric elements 42 may include the main surface 340C of the reinforcing plate 70 and the first surface of the vibration plate 341. 2 may be joined to the main surface 340B.
  • the housing 317 constitutes a blower chamber sandwiched from the thickness direction of the vibration plate 341 together with the piezoelectric actuator composed of at least one piezoelectric element 42, the reinforcing plate 70, and the vibration plate 341.
  • the piezoelectric element 42 is joined to the main surface 440C on the opposite side of the blower chamber 431 of the reinforcing plate 70, but is not limited thereto.
  • the piezoelectric element 42 may be bonded to the second main surface 440B of the vibration plate 441, or the two piezoelectric elements 42 may be connected to the main surface 440C of the reinforcing plate 70 and the first main surface of the vibration plate 441. It may be joined to the two main surfaces 440B.
  • the housing 417 forms a blower chamber sandwiched from the thickness direction of the vibration plate 441 together with a piezoelectric actuator including at least one piezoelectric element 42, the reinforcing plate 70, and the vibration plate 341.
  • the disk-shaped piezoelectric element 42, the disk-shaped diaphragm 41, the disk-shaped reinforcing plate 70, the disk-shaped top plate portion 18 and the like are used.
  • the present invention is not limited to this. Absent.
  • these shapes may be rectangular or polygonal.
  • the vibration plate of the piezoelectric blower is bent and vibrated at a frequency such as the primary mode and the tertiary mode.
  • the present invention is not limited to this.
  • the diaphragm may be bent and vibrated in an odd-order vibration mode that is a third-order mode or more that forms a plurality of vibration antinodes.
  • the shape of the blower chambers 31, 231, 331, 431 is a cylindrical shape, it is not restricted to this.
  • the shape of the blower chamber may be a regular prism shape. In this case, the shortest distance a from the central axis of the diaphragm to the outer periphery of the blower chamber is used instead of the radius a of the blower chamber.
  • one circular ventilation hole 24 is provided in the top plate portions 18, 218, 318, and 418, but this is not restrictive.
  • a plurality of vent holes 524 to 724 may be provided as shown in FIGS. 21 to 23.
  • the vent holes 624 to 824 shown in FIGS. May be.
  • the columnar cavities 25, 225, and 325 are provided in the top plate portions 18, 218, 318, and 418 by the recesses 26, 226, and 326.
  • the present invention is not limited to this.
  • the cavity may be provided, for example, by a concave portion 526 with an R as shown in FIG. 25, or by a concave portion 626, 726 with a taper as shown in FIGS.
  • a two-stage structure may be provided by polygonal recesses 826 and 926.
  • the opening 62 is provided in the vibration plate 41 or the opening 262 is provided in the vibration plate 241, but the present invention is not limited to this.
  • the opening part may be provided in the top plate part or side wall part of the housing.
  • the air holes 24 are provided in the housings 17, 217, 317, and 417, but the present invention is not limited to this.
  • a vent hole may be provided in the diaphragm.
  • the recesses 26, 226, and 326 are provided in the housings 17, 217, 317, and 417, but the present invention is not limited to this.
  • the recess may be provided in the diaphragm.
  • blower chamber 240A ... first main surface 240B 2nd main surface 240C ... Main surface 241 ... Diaphragm 250, 260 ... Piezoelectric blower 262 ... Opening 267 ... Housing 268 ... Top plate 281 ... Blower chamber 290 ... Piezoelectric actuator 300 ... Piezoelectric blower 317 ... Housing 3 8 ... Top plate 324 ... Opening 325 ... Cavity 326 ... Recess 329 ... Thick top 331 ... Blower chamber 340A ... First main surface 340B ... Second main surface 340C ... Main surface 341 ... Diaphragm 350, 360 ...

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Abstract

　圧電ブロア（１００）は、筐体（１７）、振動板（４１）、及び圧電素子（４２）を備えている。振動板（４１）は、筐体（１７）とともに円柱形状のブロア室（３１）を構成する。振動板（４１）および筐体（１７）は、ブロア室（３１）が半径ａとなるよう形成されている。圧電素子（４２）は、振動板（４１）を共振周波数ｆで同心円状に屈曲振動させる。筐体（１７）の振動板（４１）側には、ブロア室（３１）の一部であり、通気孔（２４）と連通するキャビティ（２５）を構成する凹部（２６）が形成されている。ブロア室（３１）の半径ａと振動板（４１）の共振周波数ｆとは、ブロア室（３１）を通過する空気の音速をｃとし、第１種ベッセル関数Ｊ０（ｋ０）＝０、又はＪ０´（ｋ０）＝０の関係を満たす値を（ｋ０）としたとき、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす。

Description

ブロア
　本発明は、気体の輸送を行うブロアに関するものである。
　従来から、気体の輸送を行うブロアが各種知られている。例えば特許文献１には、圧電駆動のポンプが開示されている。
　このポンプは、圧電ディスクと、圧電ディスクが接合された円盤と、円盤とともに空洞を構成する本体と、を備えている。この本体には、気体が流入する流入口と、気体が流出する流出口とが形成されている。流入口は、空洞の中心軸と空洞の外周との間に設けられている。流出口は、空洞の中心軸に設けられている。この流出口には、空洞の外部から内部へ気体が流れることを防ぐ弁が設けられている。
　このポンプは、動作時、圧電ディスクによって円盤を屈曲振動させる。これにより、流入口から空洞内へ気体が流入し、空洞内の気体が流出口から吐出される。
特許４７９５４２８号公報
　しかしながら、特許文献１のポンプでは、動作時、流速の大きい気体が、流出口から流出したり、流出口から空洞内へ流入したりする。特に、特許文献１のポンプでは弁が設けられているため、弁の開閉によって非線形な圧力変動が空洞内に生じる。
　そのため、空洞の流出口近くで渦が発生する。そして、この渦によって空洞の圧力振動が乱され、空洞の圧力振幅が小さくなる。
　したがって、特許文献１のポンプでは、空洞（ブロア室）の流出口近くで発生する渦によって吐出圧力が低下し、高い吐出圧力を実現できないという問題がある。
　本発明は、ブロア室の流出口近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できるブロアを提供することを目的とする。
　本発明のブロアは、前記課題を解決するために以下の構成を備えている。
　本発明のブロアは、アクチュエータと、筐体と、を備えている。アクチュエータは、振動板と、駆動体と、を有する。振動板は、第１主面と第２主面とを有する。駆動体は、振動板の第１主面および第２主面の少なくとも一方の主面に設けられている。また、駆動体は、振動板を同心円状に屈曲振動させる。
　筐体は、振動板と接合して、アクチュエータとともにブロア室を構成する。また、振動板と筺体の少なくとも一方は、ブロア室の中央をブロア室の外部と連通させる通気孔と、ブロア室の一部であり、通気孔と連通する連通空間を構成する凹部と、を有する。連通空間は、ブロア室の一部である。
　このブロア室は、振動板と筐体で挟まれた空間が開口率５０％以上の開口部と接している場合、振動板の第１主面を正面視してその開口部より内側の空間を指し、振動板と筐体で挟まれた空間が開口率５０％以上の開口部と接していない場合、振動板と筺体で挟まれた空間を指す。
　なお、開口率は、振動板と筐体で挟まれた空間が、振動板と筐体の接合体の外部と連通している比率で定義される。振動板と筐体で挟まれた空間と外部を連通させる開口部は、振動板または筺体、またはその両方に設けられる。
　ブロア室の中心軸からブロア室の外周までの最短距離ａと振動板の共振周波数ｆとは、ブロア室を通過する気体の音速をｃとし、第１種ベッセル関数Ｊ０（ｋ０）＝０、又はＪ０´（ｋ０）＝０の関係を満たす値をｋ０としたとき、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす。
　この構成において、振動板および筐体は、最短距離ａとなるよう形成されている。駆動体は、振動板を共振周波数ｆで振動させる。振動板の共振周波数ｆは、振動板の厚み、振動板の材料などによって定まる。
　なお、ｋ０は、振動板と筐体で挟まれた空間が開口率５０％以上の開口部と接している場合、第１種ベッセル関数Ｊ０（ｋ０）＝０の関係を満たす値とし、振動板と筐体で挟まれた空間が開口率５０％以上の開口部と接していない場合、第１種ベッセル関数を微分したＪ０´（ｋ０）＝０を満たす値とする。
　また、ａは、振動板と筐体で挟まれた空間が開口率５０％以上の開口部と接している場合、振動板の中心軸から、第１主面を正面視して振動板における開口部より内側にある領域の端までの最短距離とし、振動板と筐体で挟まれた空間が開口率５０％以上の開口部と接していない場合、振動板の中心軸から、振動板における筐体との接合部分より内側にある領域の端までの最短距離とする。
　ここで、ａｆ＝（ｋ０ｃ）／（２π）である場合、振動板の振動の節の内、最も外側の節が、ブロア室の圧力振動の節と一致し、圧力共振が生じる。さらに、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合でも、振動板の振動の節の内、最も外側の節が、ブロア室の圧力振動の節とほぼ一致する。
　そのため、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、この構成のブロアは、高い吐出圧力および高い吐出流量を実現できる。
　この構成のブロアは、ブロア室の通気孔近くに連通空間を有するため、ブロア室の通気孔近くで発生する渦が連通空間で弱まる。これにより、ブロア室の圧力振動が渦によって乱されることを抑制できる。
　したがって、この構成のブロアによれば、ブロア室の通気孔近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できる。
　なお、最短距離ａと共振周波数ｆとが０．９×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．１×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たすことが、さらに好ましい。
　また、筐体の通気孔には、ブロア室の外部から内部へ気体が流れることを防ぐ弁が設けられていることが好ましい。
　筐体の通気孔に弁が設けられている場合、弁の開閉によって非線形な圧力変動がブロア室内に生じる。そのため、ブロア室の通気孔近くで渦が発生し易くなる。したがって、前記連通空間は、弁が設けられているこの構成のブロアにおいて、特に有効である。
　また、振動板の中心軸からブロア室の外周までの範囲において、振動板の振動変位のゼロ交差点の個数は、ブロア室の圧力変化のゼロ交差点の個数と一致することが好ましい。ここで、ブロア室の中心軸からブロア室の外周までに対応する振動板の各点は、振動によって変位する。また、振動板の中心軸からブロア室の外周にかけて、ブロア室の各点の圧力は、振動板の振動によって変化する。
　この構成では、振動板の振動時において、振動板の各点の変位分布が、ブロア室の各点の圧力変化分布に近い分布となる。すなわち、振動板の振動時において、振動板の各点は、ブロア室の各点の圧力変化に合わせて、変位する。
　よって、この構成のブロアは、振動板の振動エネルギーを殆ど損なうことなく、ブロア室の気体に伝えることができる。したがって、この構成のブロアは、高い吐出圧力および高い吐出流量を実現できる。
　なお、ブロア室の各点の圧力変化分布ｕ（ｒ）は、振動板の中心軸からの距離をｒとしたとき、ｕ（ｒ）＝Ｊ０（ｋ０ｒ／ａ）の式で表される。
　また、駆動体は、圧電体であることが好ましい。
　この発明によれば、ブロア室の流出口近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できる。
本発明の第１実施形態に係る圧電ブロア１００の外観斜視図である。 図１に示す圧電ブロア１００の外観斜視図である。 図１に示す圧電ブロア１００のＳ－Ｓ線の断面図である。 図１に示す圧電ブロア１００を１次モードの共振周波数（基本波）で動作させた時における圧電ブロア１００のＳ－Ｓ線の断面図である。 図１に示す圧電ブロア１００における、ブロア室３１の各点の圧力変化と振動板４１の各点の変位との関係を示す図である。 図１に示す圧電ブロア１００における、半径ａ×共振周波数ｆと、圧力振幅との関係を示す図である。 本発明の第１実施形態の比較例に係る圧電ブロア１５０の断面図である。 本発明の第１実施形態の変形例に係る圧電ブロア１６０の断面図である。 本発明の第２実施形態に係る圧電ブロア２００の断面図である。 図９に示す圧電ブロア２００における、ブロア室２３１の各点の圧力変化と振動板２４１の各点の変位との関係を示す図である。 本発明の第２実施形態の比較例に係る圧電ブロア２５０の断面図である。 本発明の第２実施形態の変形例に係る圧電ブロア２６０の断面図である。 本発明の第３実施形態に係る圧電ブロア３００の断面図である。 図１３に示す圧電ブロア３００における、ブロア室３３１の各点の圧力変化と振動板３４１の各点の変位との関係を示す図である。 本発明の第３実施形態の比較例に係る圧電ブロア３５０の断面図である。 本発明の第３実施形態の変形例に係る圧電ブロア３６０の断面図である。 本発明の第４実施形態に係る圧電ブロア４００の断面図である。 図１７に示す圧電ブロア４００における、ブロア室４３１の各点の圧力変化と振動板４４１の各点の変位との関係を示す図である。 本発明の第４実施形態の比較例に係る圧電ブロア４５０の断面図である。 本発明の第４実施形態の変形例に係る圧電ブロア４６０の断面図である。 図１に示す筐体１７の第１変形例に係る筐体５１７の平面図である。 図１に示す筐体１７の第２変形例に係る筐体６１７の平面図である。 図１に示す筐体１７の第３変形例に係る筐体７１７の平面図である。 図１に示す筐体１７の第４変形例に係る筐体８１７の平面図である。 図３に示す天板部１８の第１変形例に係る天板部５１８の断面図である。 図３に示す天板部１８の第２変形例に係る天板部６１８の断面図である。 図３に示す天板部１８の第３変形例に係る天板部７１８の断面図である。 図３に示す天板部１８の第４変形例に係る天板部８１８の断面図である。 図３に示す天板部１８の第５変形例に係る天板部９１８の断面図である。
《本発明の第１実施形態》
　以下、本発明の第１実施形態に係る圧電ブロア１００について説明する。
　図１は、本発明の第１実施形態に係る圧電ブロア１００の外観斜視図である。図２は、図１に示す圧電ブロア１００の外観斜視図である。図３は、図１に示す圧電ブロア１００のＳ－Ｓ線の断面図である。
　圧電ブロア１００は、上から順に、筐体１７、振動板４１、及び圧電素子４２を備え、それらが順に積層された構造を有している。
　なお、圧電素子４２が本発明の「駆動体」に相当する。
　振動板４１は、円板状であり、例えばステンレススチール（ＳＵＳ）から構成されている。本実施形態において、振動板４１の厚みは例えば、０．６ｍｍである。通気孔２４の直径は例えば、０．６ｍｍである。振動板４１は、第１主面４０Ａと第２主面４０Ｂとを有する。
　振動板４１の第２主面４０Ｂは、筐体１７の先端に接合している。これにより、振動板４１は、筐体１７とともに振動板４１の厚み方向から挟んで円柱形状のブロア室３１を構成する。また、振動板４１および筐体１７は、ブロア室３１が半径ａとなるよう形成されている。例えば本実施形態においてブロア室３１の半径ａは、６．１ｍｍである。
　さらに、振動板４１は、ブロア室３１の外周をブロア室３１の外部と連通させる開口部６２を有する。開口部６２の形状は、図２に示すように、弧６２Ａを有する扇形である。開口部６２は、ブロア室３１を囲むよう、振動板４１のほぼ全周にわたって形成されている。そのため、本実施形態における開口部６２の開口率は、約９０％である。これにより、振動板４１は、外周部３４と、複数の梁部３５と、振動部３６と、を備えている。外周部３４は円環状である。振動部３６は円板状である。振動部３６は、外周部３４の開口内に、外周部３４との間に隙間を空けた状態で配置されている。複数の梁部３５は、外周部３４と振動部３６との間の隙間に設けられ、振動部３６と外周部３４との間を連結している。
　したがって、振動部３６は、梁部３５を介して中空に支持されており、厚み方向に上下動自在となっている。
　ここで、開口率とは、振動板と筐体で挟まれた空間が、振動板と筐体の接合体の外部と連通している比率で定義される。本実施形態において開口率とは、振動板４１の第２主面４０Ｂを正面視したときにおける、全ての開口部６２を結んで構成される円環より内側にある振動板４１の領域の外周一周の長さに対する、全ての開口部６２の振動板４１側の弧の長さの合計の割合である。
　よって、振動板４１と筐体１７で挟まれた空間Ｓが開口率５０％以上の開口部６２と接しているため、ブロア室３１は、振動板４１の第１主面４０Ａを正面視して、開口部６２より内側の空間（より正確には、全ての開口部６２を結んで構成される円環より内側の空間）を指す。
　また、全ての開口部６２を結んで構成される円環より内側にある振動部３６の通気孔２４側の主面は、ブロア室３１の底面を構成する。振動板４１は例えば、金属板に対して打ち抜き加工を施すことにより形成される。
　圧電素子４２は、円板形状であり、例えばチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成されている。圧電素子４２の両主面には、電極が形成されている。圧電素子４２は、振動板４１のブロア室３１とは逆側の第１主面４０Ａに接合されており、印加された交流電圧に応じて伸縮する。圧電素子４２及び振動板４１の接合体は、圧電アクチュエータ９０を構成する。
　筐体１７は、下方が開口した断面コ字状に形成されている。筐体１７の先端は、振動板４１に接合している。筐体１７は、例えば金属から構成されている。
　筐体１７は、振動板４１の第２主面４０Ｂに対向する円板状の天板部１８と、天板部１８に接続する円環状の側壁部１９と、を有する。天板部１８の一部は、ブロア室３１の天面を構成する。
　天板部１８は、ブロア室３１の中央部をブロア室３１の外部と連通させる円柱形状の通気孔２４を有する。ブロア室３１の中央部とは、振動板４１の第１主面４０Ａを正面視して圧電素子４２と重なる部分である。
　天板部１８は、厚天部２９と、厚天部２９の内周側に位置する薄天部２８と、を有する。天板部１８は、ブロア室３１の中央部をブロア室３１の外部と連通させる通気孔２４を薄天部２８に有する。厚天部２９の厚みは例えば、０．５５ｍｍであり、薄天部２８の厚みは例えば、０．０５ｍｍである。通気孔２４の直径は例えば、０．６ｍｍである。
　ブロア室３１の中央部とは、振動板４１の第１主面４０Ａを正面視して圧電素子４２と重なる部分である。
　また、天板部１８の振動板４１側には、ブロア室３１の一部であり、通気孔２４と連通するキャビティ２５を構成する凹部２６が形成されている。キャビティ２５は、円柱形状の連通空間である。キャビティ２５の直径は例えば、３．０ｍｍであり、キャビティ２５の厚みは例えば、０．５ｍｍである。
　以下、圧電ブロア１００の動作時における空気の流れについて説明する。
　図４（Ａ）（Ｂ）は、図１に示す圧電ブロア１００を１次モードの共振周波数（基本波）で動作させた時における圧電ブロア１００のＳ－Ｓ線の断面図である。図４（Ａ）は、ブロア室３１の容積が最も増大したときの図であり、図４（Ｂ）は、ブロア室３１の容積が最も減少したときの図である。ここで、図中の矢印は、空気の流れを示している。
　また、図５は、図１に示す圧電ブロア１００が図４（Ｂ）に示す状態にある瞬間の、振動板４１の中心軸Ｃからブロア室３１の外周にかけるブロア室３１の各点の圧力変化と、振動板４１の中心軸Ｃからブロア室３１の外周までを構成する振動板４１の各点の変位と、の関係を示す図である。図５は、シミュレーションによって求めた図である。
　ここで、図５において、ブロア室３１の各点の圧力変化と振動板４１の各点の変位とは、ブロア室３１の中心軸Ｃ上にある振動板４１の中心の変位で規格化された値で示されている。なお、図５に示す、ブロア室３１の各点の圧力変化分布ｕ（ｒ）については、後に説明する。
　また、図６は、図１に示す圧電ブロア１００における、半径ａ×共振周波数ｆと、圧力振幅との関係を示す図である。図６は、シミュレーションによって、半径ａ×共振周波数ｆを変化させて圧力振幅を求めた図である。図６の点線は、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす範囲の下限と上限、及び最大値を示している。下限値は１０４ｍ／ｓであり、上限値は１５６ｍ／ｓであり、最大値は１３０ｍ／ｓである。
　同様に、図６の一点鎖線は、０．９×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．１×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす範囲の下限と上限を示している。下限値は１１７ｍ／ｓであり、上限値は１４３ｍ／ｓである。
　なお、図６に示す圧力振幅は、圧電素子４２中心部の振動速度で規格化している。圧電素子４２の破損限界が上限となるため、図６に示す測定では振動速度=１ｍ/ｓの時の圧力振幅をグラフ化している。
　図３に示す状態において、１次モードの共振周波数（基本波）の交流駆動電圧が圧電素子４２の両主面の電極に印加されると、圧電素子４２は、伸縮し、振動板４１を１次モードの共振周波数ｆで同心円状に屈曲振動させる。
　これにより、図４（Ａ）（Ｂ）に示すように、振動板４１が屈曲変形してブロア室３１の体積が周期的に変化する。
　なお、ブロア室３１の半径ａと振動板４１の共振周波数ｆとは、ブロア室３１を通過する空気の音速をｃとし、第１種ベッセル関数Ｊ０（ｋ０）＝０の関係を満たす値をｋ０としたとき、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす。
　本実施形態において、ブロア室３１の半径ａは、振動板４１と筐体１７で挟まれた空間Ｓが開口率５０％以上の開口部６２と接しているため、振動板４１の中心軸Ｃから、第１主面４０Ａを正面視して、開口部６２より内側にある振動板４１の領域（より正確には、全ての開口部６２を結んで構成される円環より内側にある振動板４１の領域）の端Ｆまでの最短距離である。振動板４１の共振周波数ｆは、２１．７ｋＨｚである。振動板４１の共振周波数ｆは、振動板４１の厚み、振動板４１の材料などによって定まる。空気の音速ｃは、３４０ｍ／ｓである。ｋ０は、２．４０である。第１種ベッセル関数Ｊ０（ｘ）は、以下の数式で示される。
Figure JPOXMLDOC01-appb-M000001
　また、ブロア室３１の各点の圧力変化分布ｕ（ｒ）は、振動板４１の中心軸Ｃからの距離をｒとしたとき、ｕ（ｒ）＝Ｊ０（ｋ０ｒ／ａ）の式で表される。
　図４（Ａ）に示すように、振動板４１が圧電素子４２側へ屈曲すると、ブロア室３１の容積が増大する。これに伴い、圧電ブロア１００の外部の空気が通気孔２４及び開口部６２を介してブロア室３１内に吸引される。
　図４（Ｂ）に示すように、振動板４１がブロア室３１側へ屈曲すると、ブロア室３１の容積が減少する。これに伴い、ブロア室３１内の空気が通気孔２４及び開口部６２から吐出される。
　また、図４（Ａ）（Ｂ）及び図５の点線に示すように、振動板４１の中心軸Ｃからブロア室３１の外周までを構成する振動板４１の各点は、振動によって変位する。そして、図５の実線に示すように、振動板４１の中心軸Ｃからブロア室３１の外周にかけて、ブロア室３１の各点の圧力は、振動板４１の振動によって変化する。
　図５の点線と実線に示すように、振動板４１の中心軸Ｃからブロア室３１の外周までの範囲において、振動板４１の振動変位のゼロ交差点の個数は０個であり、ブロア室３１の圧力変化のゼロ交差点の個数も０個である。そのため、振動板４１の振動変位のゼロ交差点の個数は、ブロア室３１の圧力変化のゼロ交差点の個数と一致している。
　よって、圧電ブロア１００では、振動板４１の振動時において、振動板４１の各点の変位分布が、ブロア室３１の各点の圧力変化分布に近い分布となっている。
　ここで、ａｆ＝（ｋ０ｃ）／（２π）である場合、振動板４１の振動の節Ｆが、ブロア室３１の圧力振動の節と一致し、圧力共振が生じる。さらに、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合でも、振動板４１の振動の節Ｆが、ブロア室３１の圧力振動の節とほぼ一致する。
　圧電ブロア１００は、例えば鼻水や痰などの粘度の高い液体を吸引する用途に使用される。長期駆動に伴う圧電素子破損を防ぐためには、圧電素子の振動速度は２ｍ／ｓ以下とする必要がある。鼻水や痰の吸引には２０ｋＰａ以上の圧力が必要なため、圧電ブロア１００には、１０ｋＰａ／（ｍ／ｓ）以上の圧力振幅が必要である。図６に示すように、圧力振幅は、ａｆが１３０ｍ／ｓであるときに最大となる。１３０ｍ／ｓから±１０％ずれた１１７ｍ／ｓ及び１４３ｍ／ｓては、圧力振幅は、２０ｋＰａ／（ｍ／ｓ）以上得られる。１３０ｍ／ｓから±２０％ずれた１０４ｍ／ｓ及び１５６ｍ／ｓでも、圧力振幅は、１０ｋＰａ／（ｍ／ｓ）以上得られる。
　そのため、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、圧電ブロア１００は、鼻水や痰などの粘度の高い液体を吸引する用途に使用することが可能な、高い吐出圧力および高い吐出流量を実現できる。
　さらに、０．９×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．１×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、圧電ブロア１００は、極めて高い吐出圧力及び極めて高い吐出流量を実現できる。
　また、圧電ブロア１００は、ブロア室３１の通気孔２４近くにキャビティ２５を有する。そのため、圧電ブロア１００では、ブロア室３１の通気孔２４近くで発生する渦がキャビティ２５で弱まる。これにより、ブロア室３１の圧力振動が渦によって乱されることを抑制できる。
　したがって、圧電ブロア１００は、ブロア室３１の通気孔２４近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できる。
　また、圧電ブロア１００では、振動板４１の振動時において、振動板４１の各点の変位分布は、ブロア室３１の各点の圧力変化分布に近い。すなわち、振動板４１の振動時において、振動板４１の各点は、ブロア室３１の各点の圧力変化に合わせて、変位している。
　そのため、圧電ブロア１００は、振動板４１の振動エネルギーを殆ど損なうことなく、ブロア室３１の空気に伝えることができる。したがって、圧電ブロア１００は、高い吐出圧力および高い吐出流量を実現できる。
　また、圧電ブロア１００では、ブロア室３１の外周がブロア室３１の圧力振動の節となるため、ブロア室３１の外周の圧力は常に大気圧となる。そのため、ブロア室３１の外周が大きな開口部６２によってブロア室３１の外部と連通していても、圧電ブロア１００は、吐出圧力や吐出流量が低下することを防止できる。
　また、圧電ブロア１００は、大きな開口部６２によって、粉塵等が開口部６２に詰まることを防止できる。すなわち、圧電ブロア１００は、吐出圧力や吐出流量が粉塵等によって低下することを防止できる。
　以下、本発明の第１実施形態に係る圧電ブロア１００と本発明の第１実施形態の比較例に係る圧電ブロア１５０とを比較する。
　図７は、本発明の第１実施形態の比較例に係る圧電ブロア１５０の断面図である。圧電ブロア１５０が圧電ブロア１００と相違する点は、筐体１６７の天板部１６８における振動板４１とは逆側に、通気孔２４と連通するキャビティ２５が形成されている点である。このキャビティ２５は、ブロア室１８１の一部でない。その他の点に関しては同じであるため、説明を省略する。
　次に、圧電ブロア１５０と圧電ブロア１００とに対して共振周波数ｆ（２１．７ｋＨｚ）の５０Ｖｐｐの正弦波交流電圧を印加した条件で、圧電ブロア１５０の通気孔２４から流出する空気の風力（ｍＮ）と、圧電ブロア１００の通気孔２４から流出する空気の風力（ｍＮ）と、を測定した結果を以下に示す。
　実験により、圧電ブロア１５０では空気の風力が７４４．８（ｍＮ）であるのに対し、圧電ブロア１００では空気の風力が１２４４．６（ｍＮ）であることが明らかとなった。
　以上の結果になった理由は、圧電ブロア１００では、ブロア室３１の通気孔２４近くで発生する渦がキャビティ２５で弱まり、ブロア室３１の圧力振動が渦によって乱されることを抑制できたためであると考えられる。
　したがって、本実施形態の圧電ブロア１００によれば、ブロア室３１の通気孔２４近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できる。
　なお、前記第１実施形態において、天板部１８には、ブロア室３１の外部から通気孔２４を介して内部へ気体が流れることを防ぐ弁８０が設けられていても構わない（図８参照）。
　図８に示すように筐体１７の通気孔２４に弁８０が設けられている場合、弁８０の開閉によって非線形な圧力変動がブロア室３１内に生じる。そのため、ブロア室３１の通気孔２４近くで渦が発生し易くなる。したがって、前記キャビティ２５は、弁８０が設けられている圧電ブロア１６０において、特に有効である。
《本発明の第２実施形態》
　以下、本発明の第２実施形態に係る圧電ブロア２００について説明する。
　図９は、本発明の第２実施形態に係る圧電ブロア２００の断面図である。圧電ブロア２００が圧電ブロア１００と相違する点は、振動板２４１及び筐体２１７の寸法と、補強板７０を備える点と、である。
　圧電ブロア２００は、上から順に、筐体２１７、振動板２４１、補強板７０、及び圧電素子４２を備え、それらが順に積層された構造を有している。
　振動板２４１は、円板状であり、例えばステンレススチール（ＳＵＳ）から構成されている。本実施形態において、振動板２４１の厚みは例えば、０．１ｍｍである。振動板２４１は、第１主面２４０Ａと第２主面２４０Ｂとを有する。
　振動板２４１の第２主面２４０Ｂは、筐体２１７の先端に接合している。これにより、振動板２４１は、筐体２１７とともに振動板２４１の厚み方向から挟んで円柱形状のブロア室２３１を構成する。また、振動板２４１および筐体２１７は、ブロア室２３１が半径ａとなるよう形成されている。例えば本実施形態においてブロア室２３１の半径ａは、６．１ｍｍである。
　さらに、振動板２４１は、ブロア室２３１の外周をブロア室２３１の外部と連通させる開口部２６２を有する。開口部２６２は、ブロア室２３１を囲むよう、振動板２４１のほぼ全周にわたって形成されている。そのため、振動板２４１の第２主面２４０Ｂにおける開口部２６２より内側の領域は、ブロア室２３１の底面を構成する。振動板２４１は例えば、金属板に対して打ち抜き加工を施すことにより形成される。
　補強板７０は、円板形状であり、例えばステンレススチールで構成されている。補強板７０は、振動板２４１の第１主面２４０Ａに接合されている。補強板７０の直径は例えば、１１ｍｍであり、補強板７０の厚みは例えば、０．５ｍｍである。
　圧電素子４２は、補強板７０のブロア室２３１とは逆側の主面２４０Ｃに接合されている。圧電素子４２、補強板７０及び振動板２４１の接合体は、圧電アクチュエータ２９０を構成する。
　なお、本実施形態では、振動板２４１及び補強板７０が、本発明の「振動板」を構成する。そして、第１主面２４０Ａが、本発明の「第１主面」に相当し、主面２４０Ｃが、本発明の「第２主面」に相当する。
　筐体２１７は、下方が開口した断面コ字状に形成されている。筐体２１７の先端は、振動板２４１に接合している。筐体２１７は、例えば金属から構成されている。
　筐体２１７は、振動板２４１の第２主面２４０Ｂに対向する円板状の天板部２１８と、天板部２１８に接続する円環状の側壁部１９と、を有する。天板部２１８の一部は、ブロア室２３１の天面を構成する。
　天板部２１８は、ブロア室２３１の中央部をブロア室２３１の外部と連通させる円柱状の通気孔２４を有する。ブロア室２３１の中央部とは、振動板２４１の第１主面２４０Ａを正面視して圧電素子４２と重なる部分である。
　天板部２１８は、厚天部２２９と、厚天部２２９の内周側に位置する薄天部２８と、を有する。天板部２１８は、ブロア室２３１の中央部をブロア室２３１の外部と連通させる通気孔２４を薄天部２８に有する。厚天部２２９の厚みは例えば、０．２ｍｍである。薄天部２８の厚みは例えば、０．０５ｍｍである。
　ブロア室２３１の中央部とは、振動板２４１の第１主面２４０Ａを正面視して圧電素子４２と重なる部分である。
　また、天板部２１８の振動板２４１側には、ブロア室２３１の一部であり、通気孔２４と連通するキャビティ２２５を構成する凹部２２６が形成されている。キャビティ２２５は、円柱形状である。キャビティ２２５の直径は例えば、２．０ｍｍであり、キャビティ２２５の厚みは例えば、０．１５ｍｍである。
　以下、圧電ブロア２００の動作時における空気の流れについて説明する。
　図１０は、図９に示す圧電ブロア２００の駆動中における所定の瞬間の、振動板２４１の中心軸Ｃからブロア室２３１の外周にかけるブロア室２３１の各点の圧力変化と、振動板２４１の中心軸Ｃからブロア室２３１の外周までを構成する振動板２４１の各点の変位と、の関係を示す図である。図１０は、シミュレーションによって求めた図である。
　ここで、図１０において、ブロア室２３１の各点の圧力変化と振動板２４１の各点の変位とは、振動板２４１の中心軸Ｃ上にある振動板２４１の中心の変位で規格化された値で示されている。図１０に示す、ブロア室２３１の各点の圧力変化分布ｕ（ｒ）は、振動板２４１の中心軸Ｃからの距離をｒとしたとき、ｕ（ｒ）＝Ｊ０（ｋ０ｒ／ａ）の式で表される。
　図９に示す状態において、３次モードの共振周波数の交流駆動電圧が圧電素子４２の両主面の電極に印加されると、圧電素子４２は、伸縮し、振動板２４１及び補強板７０を３次モードの共振周波数ｆで同心円状に屈曲振動させる。
　これにより、図４（Ａ）（Ｂ）に示す圧電ブロア１００と同様に、振動板２４１が屈曲変形してブロア室２３１の体積が周期的に変化する。
　なお、ブロア室２３１の半径ａと振動板２４１の共振周波数ｆとは、ブロア室２３１を通過する空気の音速をｃとし、第１種ベッセル関数Ｊ０（ｋ０）＝０の関係を満たす値をｋ０としたとき、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす。
　本実施形態において、ブロア室２３１の半径ａは、振動板２４１と筐体２１７で挟まれた空間Ｓが開口率５０％以上の開口部２６２と接しているため、振動板２４１の中心軸Ｃから、第１主面２４０Ａを正面視して、開口部２６２より内側にある振動板２４１の領域（より正確には、全ての開口部２６２を結んで構成される円環より内側にある振動板２４１の領域）の端Ｆまでの最短距離である。共振周波数ｆは、４７．０ｋＨｚである。空気の音速ｃは、３４０ｍ／ｓである。ｋ０は、５．５２である。
　図１０の点線に示すように、振動板２４１の中心軸Ｃからブロア室２３１の外周までを構成する振動板２４１の各点は、振動によって変位する。そして、図１０の実線に示すように、振動板２４１の中心軸Ｃからブロア室２３１の外周にかけて、ブロア室２３１の各点の圧力は、振動板２４１の振動によって変化する。
　図１０の点線と実線に示すように、振動板２４１の中心軸Ｃからブロア室２３１の外周までの範囲において、振動板２４１の振動変位のゼロ交差点の個数は１個であり、ブロア室２３１の圧力変化のゼロ交差点の個数も１個である。そのため、振動板２４１の振動変位のゼロ交差点の個数は、ブロア室２３１の圧力変化のゼロ交差点の個数と一致している。
　よって、圧電ブロア２００では、振動板２４１の振動時において、振動板２４１の各点の変位分布が、ブロア室２３１の各点の圧力変化分布に近い分布となっている。
　ここで、ａｆ＝（ｋ０ｃ）／（２π）である場合、振動板２４１の振動の節Ｆが、ブロア室２３１の圧力振動の節と一致し、圧力共振が生じる。さらに、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合でも、振動板２４１の振動の節Ｆが、ブロア室２３１の圧力振動の節とほぼ一致する。
　圧電ブロア２００は、例えば鼻水や痰などの粘度の高い液体を吸引する用途に使用される。長期駆動に伴う圧電素子破損を防ぐためには、圧電素子の振動速度は２ｍ／ｓ以下とする必要がある。鼻水や痰の吸引には２０ｋＰａ以上の圧力が必要なため、圧電ブロア２００には、１０ｋＰａ／（ｍ／ｓ）以上の圧力振幅が必要である。
　圧電ブロア２００は、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、１０ｋＰａ／（ｍ／ｓ）以上の圧力振幅を得ることができる。
　そのため、圧電ブロア２００は、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、鼻水や痰などの粘度の高い液体を吸引する用途に使用することが可能な、高い吐出圧力および高い吐出流量を実現できる。
　さらに、圧電ブロア２００は、０．９×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．１×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、極めて高い吐出圧力及び極めて高い吐出流量を実現できる。
　また、圧電ブロア２００は、ブロア室２３１の通気孔２４近くにキャビティ２２５を有する。そのため、圧電ブロア２００では、ブロア室２３１の通気孔２４近くで発生する渦がキャビティ２２５で弱まる。これにより、ブロア室２３１の圧力振動が渦によって乱されることを抑制できる。
　したがって、圧電ブロア２００は、ブロア室２３１の通気孔２４近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できる。
　また、圧電ブロア２００では、振動板２４１の振動時において、振動板２４１の各点の変位分布は、ブロア室２３１の各点の圧力変化分布に近い。すなわち、振動板２４１の振動時において、振動板２４１の各点は、ブロア室２３１の各点の圧力変化に合わせて、変位している。
　そのため、圧電ブロア２００は、振動板２４１の振動エネルギーを殆ど損なうことなく、ブロア室２３１の空気に伝えることができる。したがって、圧電ブロア２００は、高い吐出圧力および高い吐出流量を実現できる。
　また、圧電ブロア２００では、ブロア室２３１の外周がブロア室２３１の圧力振動の節となるため、ブロア室２３１の外周の圧力は常に大気圧となる。そのため、ブロア室２３１の外周が大きな開口部２６２によってブロア室２３１の外部と連通していても、圧電ブロア２００は、吐出圧力や吐出流量が低下することを防止できる。
　また、圧電ブロア２００は、大きな開口部２６２によって、粉塵等が開口部２６２に詰まることを防止できる。すなわち、圧電ブロア２００は、吐出圧力や吐出流量が粉塵等によって低下することを防止できる。
　従って、第２実施形態の圧電ブロア２００によれば、前記第１実施形態の圧電ブロア１００と同様の効果を奏する。
　以下、本発明の第２実施形態に係る圧電ブロア２００と本発明の第２実施形態の比較例に係る圧電ブロア２５０とを比較する。
　図１１は、本発明の第２実施形態の比較例に係る圧電ブロア２５０の断面図である。圧電ブロア２５０が圧電ブロア２００と相違する点は、筐体２６７の天板部２６８における振動板４１とは逆側に、通気孔２４と連通するキャビティ２２５が形成されている点である。このキャビティ２２５は、ブロア室２８１の一部でない。その他の点に関しては同じであるため、説明を省略する。
　次に、圧電ブロア２５０と圧電ブロア２００とに対して共振周波数ｆ（４７．０ｋＨｚ）の３０Ｖｐｐの正弦波交流電圧を印加した条件で、圧電ブロア２５０の通気孔２４から流出する空気の風力（ｍＮ）と、圧電ブロア２００の通気孔２４から流出する空気の風力（ｍＮ）と、を測定した結果を以下に示す。
　実験により、圧電ブロア２５０では空気の風力が１１３６．８（ｍＮ）であるのに対し、圧電ブロア２００では空気の風力が１９６０（ｍＮ）であることが明らかとなった。
　以上の結果になった理由は、圧電ブロア２００では、ブロア室２３１の通気孔２４近くで発生する渦がキャビティ２２５で弱まり、ブロア室２３１の圧力振動が渦によって乱されることを抑制できたためであると考えられる。
　したがって、本実施形態の圧電ブロア２００によれば、ブロア室２３１の通気孔２４近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できる。
　なお、前記第２実施形態において、天板部２１８には、ブロア室２３１の外部から通気孔２４を介して内部へ気体が流れることを防ぐ弁８０が設けられていても構わない（図１２参照）。
　図１２に示すように筐体２１７の通気孔２４に弁８０が設けられている場合、弁８０の開閉によって非線形な圧力変動がブロア室２３１内に生じる。そのため、ブロア室２３１の通気孔２４近くで渦が発生し易くなる。したがって、前記キャビティ２２５は、弁８０が設けられている圧電ブロア２６０において、特に有効である。
《本発明の第３実施形態》
　以下、本発明の第３実施形態に係る圧電ブロア３００について説明する。
　図１３は、本発明の第３実施形態に係る圧電ブロア３００の断面図である。圧電ブロア３００が圧電ブロア２００と相違する点は、振動板３４１及び筐体３１７の寸法と、開口部が振動板３４１に設けられていない点と、である。
　圧電ブロア３００では、ブロア室３３１の外周がブロア室３３１の外部と連通していないため、ブロア室３３１の外周の開口率は０％である。よって、振動板３４１と筐体３１７で挟まれた空間Ｓが開口率５０％以上の開口部と接していないため（言い換えれば、遮蔽されている割合が、どの円環内でも５０％を超えるため）、ブロア室３３１は、振動板３４１と筺体３１７で挟まれた空間Ｓを指す。
　圧電ブロア３００は、上から順に、筐体３１７、振動板３４１、補強板７０、及び圧電素子４２を備え、それらが順に積層された構造を有している。
　振動板３４１は、円板状であり、例えばステンレススチール（ＳＵＳ）から構成されている。本実施形態において、振動板３４１の厚みは例えば、０．１ｍｍである。振動板３４１は、第１主面３４０Ａと第２主面３４０Ｂとを有する。
　振動板３４１の第２主面３４０Ｂは、筐体３１７の先端に接合している。これにより、振動板３４１は、筐体３１７とともに振動板３４１の厚み方向から挟んで円柱形状のブロア室３３１を構成する。また、振動板３４１および筐体３１７は、ブロア室３３１が半径ａとなるよう形成されている。本実施形態においてブロア室３３１の半径ａは例えば、９．４ｍｍである。
　さらに、そのため、振動板３４１の第２主面３４０Ｂにおける筐体３１７との接合部分より内側の領域は、ブロア室３３１の底面を構成する。
　補強板７０は、振動板３４１のブロア室３３１とは逆側の第１主面３４０Ａに接合されている。補強板７０の直径は例えば、１１ｍｍであり、補強板７０の厚みは例えば、０．５ｍｍである。
　圧電素子４２は、補強板７０のブロア室３３１とは逆側の主面３４０Ｃに接合されている。圧電素子４２、補強板７０及び振動板３４１の接合体は、圧電アクチュエータ３９０を構成する。
　なお、本実施形態では、振動板３４１及び補強板７０が、本発明の「振動板」を構成する。そして、主面３４０Ｃが、本発明の「第２主面」に相当する。
　筐体３１７は、下方が開口した断面コ字状に形成されている。筐体３１７の先端は、振動板３４１に接合している。筐体３１７は、例えば金属から構成されている。
　筐体３１７は、振動板３４１の第２主面３４０Ｂに対向する円板状の天板部３１８と、天板部３１８に接続する円環状の側壁部１９と、を有する。天板部３１８の一部は、ブロア室３３１の天面を構成する。
　天板部３１８は、ブロア室３３１をブロア室３３１の外部と連通させる円柱状の通気孔２４を有する。
　天板部３１８は、厚天部３２９と、厚天部３２９の内周側に位置する薄天部２８と、を有する。天板部３１８は、ブロア室３３１の中央部をブロア室３３１の外部と連通させる通気孔２４を薄天部２８に有する。厚天部３２９の厚みは例えば、０．３ｍｍである。薄天部２８の厚みは例えば、０．０５ｍｍである。
　ブロア室３３１の中央部とは、振動板３４１の第１主面３４０Ａを正面視して圧電素子４２と重なる部分である。
　また、天板部３１８の振動板３４１側には、ブロア室３３１の一部であり、通気孔２４と連通するキャビティ３２５を構成する凹部３２６が形成されている。キャビティ３２５は、円柱形状である。キャビティ３２５の直径は例えば、３．０ｍｍであり、キャビティ３２５の厚みは例えば、０．２５ｍｍである。
　以下、圧電ブロア３００の動作時における空気の流れについて説明する。
　図１４は、図１３に示す圧電ブロア３００の駆動中における所定の瞬間の、振動板３４１の中心軸Ｃからブロア室３３１の外周にかけるブロア室３３１の各点の圧力変化と、振動板３４１の中心軸Ｃからブロア室３３１の外周までを構成する振動板３４１の各点の変位と、の関係を示す図である。図１４は、シミュレーションによって求めた図である。
　ここで、図１４において、ブロア室３３１の各点の圧力変化と振動板３４１の各点の変位とは、振動板３４１の中心軸Ｃ上にある振動板３４１の中心の変位で規格化された値で示されている。図１４に示す、ブロア室３３１の各点の圧力変化分布ｕ（ｒ）は、振動板３４１の中心軸Ｃからの距離をｒとしたとき、ｕ（ｒ）＝Ｊ０（ｋ０ｒ／ａ）の式で表される。
　図１３に示す状態において、３次モードの共振周波数（基本波）の交流駆動電圧が圧電素子４２の両主面の電極に印加されると、圧電素子４２は、伸縮し、振動板３４１及び補強板７０を３次モードの共振周波数ｆで同心円状に屈曲振動させる。
　これにより、図４（Ａ）（Ｂ）に示す圧電ブロア１００と同様に、振動板３４１が屈曲変形してブロア室３３１の体積が周期的に変化する。
　なお、ブロア室３３１の半径ａと振動板３４１の共振周波数ｆとは、ブロア室３３１を通過する空気の音速をｃとし、第１種ベッセル関数を微分したＪ０´（ｋ０）＝０の関係を満たす値をｋ０としたとき、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす。
　本実施形態において、ブロア室３３１の半径ａは、振動板３４１と筐体３１７で挟まれた空間Ｓが開口率５０％以上の開口部と接していないため、振動板３４１の中心軸Ｃから、振動板３４１における筐体３１７との接合部分より内側にある領域の端Ｊまでの最短距離である。共振周波数ｆは、２４．０ｋＨｚである。空気の音速ｃは、３４０ｍ／ｓである。ｋ０は、３．８３である。
　図１４の点線に示すように、振動板３４１の中心軸Ｃからブロア室３３１の外周までを構成する振動板３４１の各点は、振動によって変位する。そして、図１４の実線に示すように、ブロア室３３１の中心軸Ｃからブロア室３３１の外周にかけて、ブロア室３３１の各点の圧力は、振動板３４１の振動によって変化する。
　図１４の点線と実線に示すように、振動板３４１の中心軸Ｃからブロア室３３１の外周までの範囲において、振動板３４１の振動変位のゼロ交差点の個数は１個であり、ブロア室３３１の圧力変化のゼロ交差点の個数も１個である。そのため、振動板３４１の振動変位のゼロ交差点の個数は、ブロア室３３１の圧力変化のゼロ交差点の個数と一致している。
　よって、圧電ブロア３００では、振動板３４１の振動時において、振動板３４１の各点の変位分布が、ブロア室３３１の各点の圧力変化分布に近い分布となっている。
　ここで、ａｆ＝（ｋ０ｃ）／（２π）である場合、振動板３４１の振動の節が、ブロア室３３１の圧力振動の節と一致し、圧力共振が生じる。さらに、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合でも、振動板３４１の振動の節が、ブロア室３３１の圧力振動の節とほぼ一致する。
　圧電ブロア３００は、例えば鼻水や痰などの粘度の高い液体を吸引する用途に使用される。長期駆動に伴う圧電素子破損を防ぐためには、圧電素子の振動速度は２ｍ／ｓ以下とする必要がある。鼻水や痰の吸引には２０ｋＰａ以上の圧力が必要なため、圧電ブロア３００には、１０ｋＰａ／（ｍ／ｓ）以上の圧力振幅が必要である。
　圧電ブロア３００は、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、１０ｋＰａ／（ｍ／ｓ）以上の圧力振幅を得ることができる。そのため、圧電ブロア３００は、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、鼻水や痰などの粘度の高い液体を吸引する用途に使用することが可能な、高い吐出圧力および高い吐出流量を実現できる。
　さらに、圧電ブロア３００は、０．９×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．１×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、極めて高い吐出圧力及び極めて高い吐出流量を実現できる。　また、圧電ブロア３００は、ブロア室３３１の通気孔２４近くにキャビティ３２５を有する。そのため、圧電ブロア３００では、ブロア室３３１の通気孔２４近くで発生する渦がキャビティ３２５で弱まる。これにより、ブロア室３３１の圧力振動が渦によって乱されることを抑制できる。
　したがって、圧電ブロア３００は、ブロア室３３１の通気孔２４近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できる。
　また、圧電ブロア３００では、振動板３４１の振動時において、振動板３４１の各点の変位分布は、ブロア室３３１の各点の圧力変化分布に近い。すなわち、振動板３４１の振動時において、振動板３４１の各点は、ブロア室３３１の各点の圧力変化に合わせて、変位している。
　そのため、圧電ブロア３００は、振動板３４１の振動エネルギーを殆ど損なうことなく、ブロア室３３１の空気に伝えることができる。したがって、圧電ブロア３００は、高い吐出圧力および高い吐出流量を実現できる。
　以下、本発明の第３実施形態に係る圧電ブロア３００と本発明の第３実施形態の比較例に係る圧電ブロア３５０とを比較する。
　図１５は、本発明の第３実施形態の比較例に係る圧電ブロア３５０の断面図である。圧電ブロア３５０が圧電ブロア３００と相違する点は、筐体３６７の天板部３６８における振動板４１とは逆側に、通気孔２４と連通するキャビティ３２５が形成されている点である。このキャビティ３２５は、ブロア室３８１の一部でない。その他の点に関しては同じであるため、説明を省略する。
　次に、圧電ブロア３５０と圧電ブロア３００とに対して共振周波数ｆ（２４．０ｋＨｚ）の６０Ｖｐｐの正弦波交流電圧を印加した条件で、圧電ブロア３５０の通気孔２４から流出する空気の風力（ｍＮ）と、圧電ブロア３００の通気孔２４から流出する空気の風力（ｍＮ）と、を測定した結果を以下に示す。
　実験により、圧電ブロア３５０では空気の風力が１５０９．２（ｍＮ）であるのに対し、圧電ブロア３００では空気の風力が２４６９．６（ｍＮ）であることが明らかとなった。
　以上の結果になった理由は、圧電ブロア３００では、ブロア室３３１の通気孔２４近くで発生する渦がキャビティ３２５で弱まり、ブロア室３３１の圧力振動が渦によって乱されることを抑制できたためであると考えられる。
　したがって、本実施形態の圧電ブロア３００によれば、ブロア室３３１の通気孔２４近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できる。
　なお、前記第３実施形態において、天板部３１８には、ブロア室３３１の外部から通気孔２４を介して内部へ気体が流れることを防ぐ弁８０が設けられ、振動板３４１や筺体３１７の一部に、開口率５０％以下の開口部３２４が設けられていても構わない（図１６参照）。開口部３２４の形状は円柱状である。そして、天板部３１８の一方主面から正面視したとき、開口部３２４の形状は円である。
　図１６に示すように筐体３１７の通気孔２４に弁８０が設けられている場合、弁８０の開閉によって非線形な圧力変動がブロア室３３１内に生じる。そのため、ブロア室３３１の通気孔２４近くで渦が発生し易くなる。したがって、前記キャビティ３２５は、弁８０が設けられている圧電ブロア３６０において、特に有効である。
《本発明の第４実施形態》
　以下、本発明の第４実施形態に係る圧電ブロア４００について説明する。
　図１７は、本発明の第４実施形態に係る圧電ブロア４００の断面図である。圧電ブロア４００が圧電ブロア３００と相違する点は、振動板４４１及び筐体４１７の寸法である。その他の構成は同じであるため、説明を省略する。
　本実施形態において、ブロア室４３１も円柱形状であり、ブロア室４３１の半径ａは例えば、１０．３ｍｍである。振動板４４１及び筐体４１７は、ブロア室４３１が半径ａとなるよう形成されている。
　振動板４４１は、第１主面４４０Ａと第２主面４４０Ｂとを有する。圧電素子４２、補強板７０及び振動板４４１の接合体は、圧電アクチュエータ４９０を構成する。
　天板部４１８の振動板４４１側には、ブロア室３３１の一部であり、通気孔２４と連通するキャビティ３２５を構成する凹部３２６が形成されている。
　以下、圧電ブロア４００の動作時における空気の流れについて説明する。
　図１８は、図１７に示す圧電ブロア４００の駆動中における所定の瞬間の、振動板４４１の中心軸Ｃからブロア室４３１の外周にかけるブロア室４３１の各点の圧力変化と、振動板４４１の中心軸Ｃからブロア室４３１の外周までを構成する振動板４４１の各点の変位と、の関係を示す図である。図１８は、シミュレーションによって求めた図である。
　ここで、図１８において、ブロア室４３１の各点の圧力変化と振動板４４１の各点の変位とは、振動板４４１の中心軸Ｃ上にある振動板４４１の中心の変位で規格化された値で示されている。図１８に示す、ブロア室４３１の各点の圧力変化分布ｕ（ｒ）は、振動板４４１の中心軸Ｃからの距離をｒとしたとき、ｕ（ｒ）＝Ｊ０（ｋ０ｒ／ａ）の式で表される。
　図１７に示す状態において、３次モードの共振周波数（基本波）の交流駆動電圧が圧電素子４２の両主面の電極に印加されると、圧電素子４２は、伸縮し、振動板４４１及び補強板７０を３次モードの共振周波数ｆで同心円状に屈曲振動させる。
　これにより、図４（Ａ）（Ｂ）に示す圧電ブロア１００と同様に、振動板４４１が屈曲変形してブロア室４３１の体積が周期的に変化する。
　なお、ブロア室４３１の半径ａと振動板４４１の共振周波数ｆとは、ブロア室４３１を通過する空気の音速をｃとし、第１種ベッセル関数を微分したＪ０´（ｋ０）＝０の関係を満たす値をｋ０としたとき、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす。本実施形態において、共振周波数ｆは、３６．３ｋＨｚである。空気の音速ｃは、３４０ｍ／ｓである。ｋ０は、７．０２である。
　図１８の点線に示すように、振動板４４１の中心軸Ｃからブロア室４３１の外周までを構成する振動板４４１の各点は、振動によって変位する。そして、図１８の実線に示すように、振動板４４１の中心軸Ｃからブロア室４３１の外周にかけて、ブロア室４３１の各点の圧力は、振動板４４１の振動によって変化する。
　図１８の点線と実線に示すように、振動板４４１の中心軸Ｃからブロア室４３１の外周までの範囲において、振動板４４１の振動変位のゼロ交差点の個数は２個であり、ブロア室４３１の圧力変化のゼロ交差点の個数も２個である。そのため、振動板４４１の振動変位のゼロ交差点の個数は、ブロア室４３１の圧力変化のゼロ交差点の個数と一致している。
　よって、圧電ブロア４００では、振動板４４１の振動時において、振動板４４１の各点の変位分布が、ブロア室４３１の各点の圧力変化分布に近い分布となっている。
　ここで、ａｆ＝（ｋ０ｃ）／（２π）である場合、振動板４４１の振動の節が、ブロア室４３１の圧力振動の節と一致し、圧力共振が生じる。さらに、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合でも、振動板４４１の振動の節が、ブロア室４３１の圧力振動の節とほぼ一致する。
　圧電ブロア４００は、例えば鼻水や痰などの粘度の高い液体を吸引する用途に使用される。長期駆動に伴う圧電素子破損を防ぐためには、圧電素子の振動速度は２ｍ／ｓ以下とする必要がある。鼻水や痰の吸引には２０ｋＰａ以上の圧力が必要なため、圧電ブロア４００には、１０ｋＰａ／（ｍ／ｓ）以上の圧力振幅が必要である。
　圧電ブロア４００は、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、１０ｋＰａ／（ｍ／ｓ）以上の圧力振幅を得ることができる。そのため、圧電ブロア４００は、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、鼻水や痰などの粘度の高い液体を吸引する用途に使用することが可能な、高い吐出圧力および高い吐出流量を実現できる。
　さらに、圧電ブロア４００は、０．９×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．１×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす場合、極めて高い吐出圧力及び極めて高い吐出流量を実現できる。
　また、圧電ブロア４００は、ブロア室４３１の通気孔２４近くにキャビティ３２５を有する。そのため、圧電ブロア４００では、ブロア室４３１の通気孔２４近くで発生する渦がキャビティ３２５で弱まる。これにより、ブロア室４３１の圧力振動が渦によって乱されることを抑制できる。
　したがって、圧電ブロア４００は、ブロア室４３１の通気孔２４近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できる。
　また、圧電ブロア４００では、振動板４４１の振動時において、振動板４４１の各点の変位分布は、ブロア室４３１の各点の圧力変化分布に近い。すなわち、振動板４４１の振動時において、振動板４４１の各点は、ブロア室４３１の各点の圧力変化に合わせて、変位している。
　そのため、圧電ブロア４００は、振動板４４１の振動エネルギーを殆ど損なうことなく、ブロア室４３１の空気に伝えることができる。したがって、圧電ブロア４００は、高い吐出圧力および高い吐出流量を実現できる。
　従って、第４実施形態の圧電ブロア４００によれば、前記第３実施形態の圧電ブロア３００と同様の効果を奏する。
　以下、本発明の第４実施形態に係る圧電ブロア４００と本発明の第４実施形態の比較例に係る圧電ブロア４５０とを比較する。
　図１９は、本発明の第４実施形態の比較例に係る圧電ブロア４５０の断面図である。圧電ブロア４５０が圧電ブロア４００と相違する点は、筐体４６７の天板部４６８における振動板４１とは逆側に、通気孔２４と連通するキャビティ３２５が形成されている点である。このキャビティ３２５は、ブロア室４８１の一部でない。その他の点に関しては同じであるため、説明を省略する。
　次に、圧電ブロア４５０と圧電ブロア４００とに対して共振周波数ｆ（３６．３ｋＨｚ）の３０Ｖｐｐの正弦波交流電圧を印加した条件で、圧電ブロア４５０の通気孔２４から流出する空気の風力（ｍＮ）と、圧電ブロア４００の通気孔２４から流出する空気の風力（ｍＮ）と、を測定した結果を以下に示す。
　実験により、圧電ブロア４５０では空気の風力が８２３．２（ｍＮ）であるのに対し、圧電ブロア４００では空気の風力が１２４４．６（ｍＮ）であることが明らかとなった。
　以上の結果になった理由は、圧電ブロア４００では、ブロア室４３１の通気孔２４近くで発生する渦がキャビティ３２５で弱まり、ブロア室４３１の圧力振動が渦によって乱されることを抑制できたためであると考えられる。
　したがって、本実施形態の圧電ブロア４００によれば、ブロア室４３１の通気孔２４近くで発生する渦を弱め、吐出圧力が低下することを抑制できる。
　なお、前記第４実施形態において、天板部４１８には、ブロア室４３１の外部から通気孔２４を介して内部へ気体が流れることを防ぐ弁８０が設けられ、振動板４４１や筺体４１７の一部に、開口率５０％以下の開口部４２４が設けられていても構わない（図２０参照）。開口部４２４の形状は円柱状である。そして、振動板４４１の一方主面から正面視したとき、開口部４２４の形状は円である。一方、振動板４１の一方主面から正面視したとき、開口部６２の形状は図２に示すように、弧６２Ａを有する扇形である。開口部６２は、全ての開口部６２を結んだときに円環形状を構成する。
　図２０に示すように筐体４１７の通気孔２４に弁８０が設けられている場合、弁８０の開閉によって非線形な圧力変動がブロア室４３１内に生じる。そのため、ブロア室４３１の通気孔２４近くで渦が発生し易くなる。したがって、前記キャビティ３２５は、弁８０が設けられている圧電ブロア４６０において、特に有効である。
《その他の実施形態》
　前記実施形態では流体として空気を用いているが、これに限るものではない。当該流体が、空気以外の気体であっても適用できる。
　また、前記実施形態では、振動板４１、２４１、３４１、４４１や補強板７０はＳＵＳから構成されているが、これに限るものではない。例えば、アルミニウム、チタン、マグネシウム、銅などの他の材料から構成してもよい。
　また、前記実施形態ではブロアの駆動源として圧電素子４２を設けたが、これに限るものではない。例えば、電磁駆動でポンピング動作を行うブロアとして構成されていても構わない。
　また、前記実施形態では、圧電素子４２はチタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスから構成されているが、これに限るものではない。例えば、ニオブ酸カリウムナトリウム系及びアルカリニオブ酸系セラミックス等の非鉛系圧電体セラミックスの圧電材料などから構成してもよい。
　また、前記第１実施形態では、圧電素子４２は、振動板４１のブロア室３１とは逆側の第１主面４０Ａに接合されているが、これに限るものではない。実施の際は、例えば、圧電素子４２が振動板４１のブロア室３１側の第２主面４０Ｂに接合されていてもよいし、２枚の圧電素子４２が振動板４１の第１主面４０Ａ及び第２主面４０Ｂに接合されていてもよい。この場合、筐体１７は、少なくとも１枚の圧電素子４２及び振動板４１から構成される圧電アクチュエータとともに、振動板４１の厚み方向から挟んでブロア室を構成する。
　同様に、前記第２実施形態では、圧電素子４２は、補強板７０のブロア室２３１とは逆側の主面２４０Ｃに接合されているが、これに限るものではない。実施の際は、例えば、圧電素子４２が振動板２４１のブロア室２３１側の第２主面２４０Ｂに接合されていてもよいし、２枚の圧電素子４２が、補強板７０の主面２４０Ｃ及び振動板２４１の第２主面２４０Ｂに接合されていてもよい。この場合、筐体２１７は、少なくとも１枚の圧電素子４２及び振動板２４１から構成される圧電アクチュエータとともに、振動板２４１の厚み方向から挟んでブロア室を構成する。
　同様に、前記第３実施形態では、圧電素子４２は、補強板７０のブロア室３３１とは逆側の主面３４０Ｃに接合されているが、これに限るものではない。実施の際は、例えば、圧電素子４２が振動板３４１の第２主面３４０Ｂに接合されていてもよいし、２枚の圧電素子４２が、補強板７０の主面３４０Ｃ及び振動板３４１の第２主面３４０Ｂに接合されていてもよい。この場合、筐体３１７は、少なくとも１枚の圧電素子４２、補強板７０、及び振動板３４１から構成される圧電アクチュエータとともに、振動板３４１の厚み方向から挟んでブロア室を構成する。
　同様に、前記第４実施形態では、圧電素子４２は、補強板７０のブロア室４３１とは逆側の主面４４０Ｃに接合されているが、これに限るものではない。実施の際は、例えば、圧電素子４２が振動板４４１の第２主面４４０Ｂに接合されていてもよいし、２枚の圧電素子４２が、補強板７０の主面４４０Ｃ及び振動板４４１の第２主面４４０Ｂに接合されていてもよい。この場合、筐体４１７は、少なくとも１枚の圧電素子４２、補強板７０、及び振動板３４１から構成される圧電アクチュエータとともに、振動板４４１の厚み方向から挟んでブロア室を構成する。
　また、前記実施形態では円板状の圧電素子４２、円板状の振動板４１、円板状の補強板７０、及び円板状の天板部１８等を用いたが、これに限るものではない。例えば、これらの形状が矩形や多角形であってもよい。
　また、前記実施形態では、ｋ０が２．４０、３．８３、５．５２、７．０２の条件を用いたが、これに限るものではない。８．６５、１０．１７、１１．７９、１３．３２、１４．９３など、ｋ０は、Ｊ０（ｋ０）＝０やＪ０´（ｋ０）＝０の関係を満たす値であれば良い。
　また、前記実施形態では、１次モード及び３次モード等の周波数で圧電ブロアの振動板を屈曲振動させたが、これに限るものではない。実施の際は、複数の振動の腹を形成する、３次モード以上の奇数次の振動モードで振動板を屈曲振動させても良い。
　また、前記実施形態では、ブロア室３１、２３１、３３１、４３１の形状が円柱形状であるが、これに限るものではない。実施の際は、ブロア室の形状が正角柱形状であっても良い。この場合、ブロア室の半径ａの代わりに、振動板の中心軸からブロア室の外周までの最短距離ａを使用する。
　また、前記実施形態では、天板部１８、２１８、３１８、４１８において、１つの円形の通気孔２４が設けられているが、これに限るものではない。実施の際は、例えば図２１～図２３に示すように複数の通気孔５２４～７２４が設けられていてもよく、例えば図２２～図２４に示す通気孔６２４～８２４のように、円形でなくてもよい。
　また、前記実施形態では、天板部１８、２１８、３１８、４１８において、円柱形のキャビティ２５、２２５、３２５が凹部２６、２２６、３２６によって設けられているが、これに限るものではない。実施の際は、キャビティが例えば、図２５に示すようにＲが付いた凹部５２６によって設けられていてもよいし、図２６、図２７に示すようにテーパーが付いた凹部６２６、７２６によって設けられていてもよいし、図２８、図２９に示すように二段構造で多角形の凹部８２６、９２６によって設けられていてもよい。
　また、前記実施形態では、開口部６２が振動板４１に設けられていたり、開口部２６２が振動板２４１に設けられていたりするが、これに限るものではない。実施の際は、開口部が筐体の天板部や側壁部に設けられていてもよい。
　また、前記実施形態では、通気孔２４が筺体１７、２１７、３１７、４１７に設けられているが、これに限るものではない。実施の際は、通気孔が振動板に設けられていてもよい。
　同様に、前記実施形態では、凹部２６、２２６、３２６が筺体１７、２１７、３１７、４１７に設けられているが、これに限るものではない。実施の際は、凹部が振動板に設けられていてもよい。
　最後に、前記実施形態の説明は、すべての点で例示であって、制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上述の実施形態ではなく、特許請求の範囲によって示される。さらに、本発明の範囲には、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
ａ…半径
Ｃ…中心軸
Ｆ…節
１７…筐体
１８…天板部
１９…側壁部
２４…通気孔
２５…キャビティ
２６…凹部
２８…薄天部
２９…厚天部
３１…ブロア室
３４…外周部
３５…梁部
３６…振動部
４０Ａ…第１主面
４０Ｂ…第２主面
４１…振動板
４２…圧電素子
６２…開口部
７０…補強板
８０…弁
９０…圧電アクチュエータ
１００、１５０、１６０…圧電ブロア
１６７…筐体
１６８…天板部
１８１…ブロア室
２００…圧電ブロア
２１７…筐体
２１８…天板部
２２５…キャビティ
２２６…凹部
２２９…厚天部
２３１…ブロア室
２４０Ａ…第１主面
２４０Ｂ…第２主面
２４０Ｃ…主面
２４１…振動板
２５０、２６０…圧電ブロア
２６２…開口部
２６７…筐体
２６８…天板部
２８１…ブロア室
２９０…圧電アクチュエータ
３００…圧電ブロア
３１７…筐体
３１８…天板部
３２４…開口部
３２５…キャビティ
３２６…凹部
３２９…厚天部
３３１…ブロア室
３４０Ａ…第１主面
３４０Ｂ…第２主面
３４０Ｃ…主面
３４１…振動板
３５０、３６０…圧電ブロア
３６７…筐体
３６８…天板部
３８１…ブロア室
３９０…圧電アクチュエータ
４００…圧電ブロア
４１７…筐体
４１８…天板部
４２４…開口部
４３１…ブロア室
４４０Ａ…第１主面
４４０Ｂ…第２主面
４４０Ｃ…主面
４４１…振動板
４５０、４６０…圧電ブロア
４６７…筐体
４６８…天板部
４８１…ブロア室
４９０…圧電アクチュエータ
５１７…筐体
５２４…通気孔
６１７…筐体
６２４…通気孔
７１７…筐体
７２４…通気孔
８１７…筐体
８２４…通気孔

Claims (7)

  1. 　第１主面と第２主面とを有する振動板と、前記振動板の前記第１主面および前記第２主面の少なくとも一方の主面に設けられ、前記振動板を同心円状に屈曲振動させる駆動体と、を有するアクチュエータと、
    　前記振動板と接合して、前記アクチュエータとともにブロア室を構成する筺体と、を備え、
    　前記振動板と前記筺体の少なくとも一方は、前記ブロア室の中央を前記ブロア室の外部と連通させる通気孔と、前記ブロア室の一部であり、前記通気孔と連通する連通空間を構成する凹部と、を有し、
    　前記ブロア室の中心軸から前記ブロア室の外周までの最短距離ａと前記振動板の共振周波数ｆとは、前記ブロア室を通過する気体の音速をｃとし、第１種ベッセル関数Ｊ０（ｋ０）＝０、又はＪ０´（ｋ０）＝０の関係を満たす値をｋ０としたとき、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす、ブロア。
  2. 　前記振動板と前記筐体で挟まれた空間が開口率５０％以上の開口部と接しているとき、
    　前記開口部は、前記振動板と前記筺体の少なくとも一方に設けられ、
    　前記振動板の中心軸から、前記第１主面を正面視して前記振動板における前記開口部より内側にある領域の端までの最短距離ａと前記振動板の共振周波数ｆとは、前記ブロア室を通過する気体の音速をｃとし、第１種ベッセル関数Ｊ０（ｋ０）＝０の関係を満たす値をｋ０としたとき、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす、請求項１に記載のブロア。
  3. 　前記振動板と前記筐体で挟まれた空間が開口率５０％以上の開口部と接していないとき、
    　前記振動板の中心軸から、前記振動板における前記筐体との接合部分より内側にある領域の端までの最短距離ａと前記振動板の共振周波数ｆとは、前記ブロア室を通過する気体の音速をｃとし、第１種ベッセル関数Ｊ０´（ｋ０）＝０の関係を満たす値をｋ０としたとき、０．８×（ｋ０ｃ）／（２π）≦ａｆ≦１．２×（ｋ０ｃ）／（２π）の関係を満たす、請求項１に記載のブロア。
  4. 　前記通気孔は、前記筺体に設けられている、請求項１から３のいずれかに記載のブロア。
  5. 　前記通気孔には、前記ブロア室の外部から内部へ前記気体が流れることを防ぐ弁が設けられている、請求項１から４のいずれかに記載のブロア。
  6. 　前記振動板の中心軸から前記ブロア室の外周までに対応する前記振動板の各点は、振動によって変位し、
    　前記振動板の中心軸から前記ブロア室の外周にかけて、前記ブロア室の各点の圧力は、前記振動板の振動によって変化し、
    　前記振動板の中心軸から前記ブロア室の外周までの範囲において、前記振動板の振動変位のゼロ交差点の個数は、前記ブロア室の圧力変化のゼロ交差点の個数と一致する、請求項１から５のいずれかに記載のブロア。
  7. 　前記駆動体は、圧電体である、請求項１から６のいずれか１項に記載のブロア。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150192119A1 (en) * 2014-01-08 2015-07-09 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Piezoelectric blower
JP2019082166A (ja) * 2017-10-27 2019-05-30 研能科技股▲ふん▼有限公司 ガス輸送装置
WO2019111982A1 (ja) * 2017-12-08 2019-06-13 株式会社村田製作所 ポンプ

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2019073739A1 (ja) * 2017-10-10 2019-04-18 株式会社村田製作所 ポンプ、流体制御装置
US11464140B2 (en) 2019-12-06 2022-10-04 Frore Systems Inc. Centrally anchored MEMS-based active cooling systems
US12089374B2 (en) 2018-08-10 2024-09-10 Frore Systems Inc. MEMS-based active cooling systems
US11456234B2 (en) 2018-08-10 2022-09-27 Frore Systems Inc. Chamber architecture for cooling devices
JP7120196B2 (ja) * 2019-09-30 2022-08-17 株式会社村田製作所 流体制御装置
US11802554B2 (en) 2019-10-30 2023-10-31 Frore Systems Inc. MEMS-based airflow system having a vibrating fan element arrangement
US11796262B2 (en) 2019-12-06 2023-10-24 Frore Systems Inc. Top chamber cavities for center-pinned actuators
US11510341B2 (en) 2019-12-06 2022-11-22 Frore Systems Inc. Engineered actuators usable in MEMs active cooling devices
US12193192B2 (en) 2019-12-06 2025-01-07 Frore Systems Inc. Cavities for center-pinned actuator cooling systems
US12033917B2 (en) 2019-12-17 2024-07-09 Frore Systems Inc. Airflow control in active cooling systems
WO2021126791A1 (en) 2019-12-17 2021-06-24 Frore Systems Inc. Mems-based cooling systems for closed and open devices
JP7616233B2 (ja) * 2020-09-30 2025-01-17 株式会社村田製作所 流体制御装置
CN116325139A (zh) 2020-10-02 2023-06-23 福珞尔系统公司 主动式热沉

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006297295A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Sony Corp 噴流発生装置及び電子機器
JP2012528981A (ja) * 2009-06-03 2012-11-15 ザ テクノロジー パートナーシップ ピーエルシー ディスク状キャビティを備えるポンプ
JP2012528980A (ja) * 2009-06-03 2012-11-15 ザ テクノロジー パートナーシップ ピーエルシー 流体ディスクポンプ
JP2013532246A (ja) * 2010-02-03 2013-08-15 ケーシーアイ ライセンシング インコーポレイテッド 方形波ドライバを備える流体ディスクポンプ
US20130236338A1 (en) * 2012-03-07 2013-09-12 Kci Licensing, Inc. Disc pump with advanced actuator
US20140010673A1 (en) * 2012-07-05 2014-01-09 Kci Licensing, Inc. Systems and methods for supplying reduced pressure using a disc pump with electrostatic actuation
US20140050604A1 (en) * 2011-02-03 2014-02-20 The Technology Partnership Plc. Pump

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4648807A (en) * 1985-05-14 1987-03-10 The Garrett Corporation Compact piezoelectric fluidic air supply pump
US4708600A (en) * 1986-02-24 1987-11-24 Abujudom Ii David N Piezoelectric fluid pumping apparatus
US6179586B1 (en) * 1999-09-15 2001-01-30 Honeywell International Inc. Dual diaphragm, single chamber mesopump
JP2010242764A (ja) * 2003-06-17 2010-10-28 Seiko Epson Corp ポンプ
US20060232166A1 (en) * 2005-04-13 2006-10-19 Par Technologies Llc Stacked piezoelectric diaphragm members
GB0508194D0 (en) 2005-04-22 2005-06-01 The Technology Partnership Plc Pump
JP2007120488A (ja) * 2005-09-27 2007-05-17 Alps Electric Co Ltd ダイヤフラムポンプ
WO2009051166A1 (ja) * 2007-10-16 2009-04-23 Murata Manufacturing Co., Ltd. 振動装置および圧電ポンプ
EP2306019A4 (en) * 2008-05-30 2014-10-15 Murata Manufacturing Co PIEZOELECTRIC MICRO FAN
EP2484906B1 (en) * 2009-10-01 2019-08-28 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric micro-blower
AU2012312898B2 (en) * 2011-09-21 2016-11-17 Solventum Intellectual Properties Company Dual -cavity pump
GB201322103D0 (en) * 2013-12-13 2014-01-29 The Technology Partnership Plc Fluid pump
DE112016002205B4 (de) * 2015-06-11 2021-09-16 Murata Manufacturing Co., Ltd. Pumpe

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006297295A (ja) * 2005-04-21 2006-11-02 Sony Corp 噴流発生装置及び電子機器
JP2012528981A (ja) * 2009-06-03 2012-11-15 ザ テクノロジー パートナーシップ ピーエルシー ディスク状キャビティを備えるポンプ
JP2012528980A (ja) * 2009-06-03 2012-11-15 ザ テクノロジー パートナーシップ ピーエルシー 流体ディスクポンプ
JP2013532246A (ja) * 2010-02-03 2013-08-15 ケーシーアイ ライセンシング インコーポレイテッド 方形波ドライバを備える流体ディスクポンプ
US20140050604A1 (en) * 2011-02-03 2014-02-20 The Technology Partnership Plc. Pump
US20130236338A1 (en) * 2012-03-07 2013-09-12 Kci Licensing, Inc. Disc pump with advanced actuator
US20140010673A1 (en) * 2012-07-05 2014-01-09 Kci Licensing, Inc. Systems and methods for supplying reduced pressure using a disc pump with electrostatic actuation

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150192119A1 (en) * 2014-01-08 2015-07-09 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Piezoelectric blower
JP2019082166A (ja) * 2017-10-27 2019-05-30 研能科技股▲ふん▼有限公司 ガス輸送装置
JP7094842B2 (ja) 2017-10-27 2022-07-04 研能科技股▲ふん▼有限公司 ガス輸送装置
WO2019111982A1 (ja) * 2017-12-08 2019-06-13 株式会社村田製作所 ポンプ

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