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WO2015012005A1 - 複合基板及びその製法 - Google Patents

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WO2015012005A1
WO2015012005A1 PCT/JP2014/065182 JP2014065182W WO2015012005A1 WO 2015012005 A1 WO2015012005 A1 WO 2015012005A1 JP 2014065182 W JP2014065182 W JP 2014065182W WO 2015012005 A1 WO2015012005 A1 WO 2015012005A1
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WO
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substrate
polarization
composite
piezoelectric
piezoelectric substrate
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PCT/JP2014/065182
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English (en)
French (fr)
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知義 多井
裕二 堀
喬紘 山寺
良祐 服部
鈴木　健吾
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NGK Insulators Ltd
NGK Ceramic Device Co Ltd
Original Assignee
NGK Insulators Ltd
NGK Ceramic Device Co Ltd
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Priority to DE112014003430.4T priority patent/DE112014003430B4/de
Priority to JP2015528189A priority patent/JP6567970B2/ja
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    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00—Metal working
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Definitions

  • the present invention relates to a composite substrate and a manufacturing method thereof.
  • An acoustic wave device is one in which an IDT (Interdigital Transducer) electrode is formed on one surface of a piezoelectric substrate and takes out a signal in a specific frequency band.
  • IDT Interdigital Transducer
  • a composite substrate in which a thin piezoelectric substrate is bonded to a support substrate having a small thermal expansion coefficient has been used for the purpose of improving the temperature characteristics of an acoustic wave device.
  • a composite substrate for example, a substrate using lithium tantalate or lithium niobate as a piezoelectric substrate and silicon or quartz as a support substrate is known (see Patent Document 1).
  • an IDT electrode is formed on a polarization plus surface of a piezoelectric substrate, and a composite substrate is bonded to a support substrate on the polarization minus surface.
  • the piezoelectric substrate and the support substrate are first bonded by a direct bonding method, and then the surface of the piezoelectric substrate is ground and polished to thin the piezoelectric substrate.
  • the bonding surface of the piezoelectric substrate and the bonding surface of the support substrate are irradiated with an argon beam.
  • the arithmetic average roughness Ra after irradiation is about 0.5 nm when an area of 10 ⁇ m square is measured with an AFM (atomic force microscope).
  • the bonding strength when bonded by the direct bonding method becomes stronger as the arithmetic average roughness Ra of the bonded surface becomes smaller after the surface oxide film and moisture adsorbate are completely removed and the surface is activated. Therefore, it has been desired to reduce the arithmetic average roughness Ra of the joint surface as much as possible.
  • the present invention has been made to solve such problems, and has as its main object to increase the bonding strength when the piezoelectric substrate and the support substrate are bonded by the direct bonding method in the composite substrate.
  • the composite substrate of the present invention is A piezoelectric substrate in which one surface is a polarization minus surface and the other surface is a polarization plus surface; A support substrate joined by direct joining to the polarization plus surface of the piezoelectric substrate; It is equipped with.
  • the polarization plus surface of the piezoelectric substrate is directly bonded to one surface of the support substrate.
  • the piezoelectric plus surface When the removal amount of the surface of the substrate is the same, the former has a better value for the surface roughness than the latter. For this reason, the former has stronger bonding strength when bonded by the direct bonding method than the latter.
  • the process for direct bonding include irradiation with an ion beam of an inert gas (such as argon), irradiation with plasma or a neutral atom beam, and the like.
  • the polarization minus surface of the piezoelectric substrate is etched with a strong acid, and the etching rate with the strong acid is larger in the polarization minus surface than in the polarization plus surface, and the polarization
  • the support substrate may be larger than the minus surface.
  • the surface of the piezoelectric substrate is a polarization minus surface having a high etching rate with strong acid.
  • the time required to etch the surface of the piezoelectric substrate by the strong acid by a predetermined thickness that is, the time for immersing the entire composite substrate in the strong acid when etching is compared with the case where the surface of the piezoelectric substrate is a polarization plus surface.
  • the support substrate since the support substrate has a higher etching rate than the polarization minus surface of the piezoelectric substrate, the support substrate is also etched when the entire composite substrate is immersed in a strong acid.
  • the time of immersion in strong acid is shorter than the case where the surface of the piezoelectric substrate is a polarization plus surface, the progress of etching of the support substrate can be suppressed to a level that does not affect the bonding strength. it can. Therefore, the bonding strength between the support substrate and the piezoelectric substrate can be sufficiently ensured even after the surface of the piezoelectric substrate in the composite substrate is etched with strong acid.
  • the strong acid is preferably hydrofluoric acid or hydrofluoric acid. If hydrofluoric acid or hydrofluoric acid is used, the surface (polarization minus surface) of the piezoelectric substrate can be etched relatively quickly.
  • the support substrate preferably has a smaller thermal expansion coefficient than the piezoelectric substrate. In this way, when an acoustic wave device is manufactured using this composite substrate, the change in the frequency characteristics with respect to the temperature change of the acoustic wave device is suppressed by reducing the change in size of the piezoelectric substrate when the temperature changes. Can do.
  • the piezoelectric substrate is preferably a lithium tantalate (LT) substrate or a lithium niobate (LN) substrate
  • the support substrate is preferably a silicon substrate or a glass substrate. Since the LT substrate and the LN substrate have a large polarization vector, the difference in etching rate due to strong acid between the polarization plus surface and the polarization minus surface is likely to be large, and the significance of applying the present invention is high.
  • the silicon substrate and the glass substrate have a higher etching rate with a strong acid than the LT substrate and the LN substrate, and it is highly necessary to shorten the time of immersion in the strong acid to suppress the progress of etching. High significance to do.
  • the method for producing a composite substrate of the present invention is obtained by directly joining a polarization plus surface of a piezoelectric substrate, one surface of which is a polarization minus surface and the other surface is a polarization plus surface, and one surface of a support substrate by a direct joining method. It includes a joining process for manufacturing.
  • the polarization plus surface of the piezoelectric substrate and one side of the support substrate are directly joined.
  • the surface For the roughness the former is a better value than the latter. For this reason, the former has stronger bonding strength when bonded by the direct bonding method than the latter.
  • the composite substrate manufacturing method of the present invention further includes a thinning step of grinding and polishing the polarization minus surface of the piezoelectric substrate among the composite substrates obtained in the joining step, and a polarization minus surface after the thinning step.
  • An etching step of etching the generated work-affected layer with a strong acid, and the etching rate by the strong acid is larger in the polarization minus surface than in the polarization plus surface as the piezoelectric substrate and the support substrate, and the polarization minus A substrate having a larger support substrate than the surface may be used.
  • a work-affected layer (a layer that has been changed in material properties by grinding and polishing) is generated on the polarization minus surface.
  • the work-affected layer is removed by etching with a strong acid.
  • the time required for etching the work-affected layer generated on the surface of the piezoelectric substrate with a strong acid that is, the time for immersing the entire composite substrate in the strong acid during the etching is such that the surface of the piezoelectric substrate is polarized plus surface. Shorter than the case.
  • the support substrate since the support substrate has a higher etching rate than the polarization minus surface of the piezoelectric substrate, the support substrate is also etched when the entire composite substrate is immersed in a strong acid.
  • the time of immersion in strong acid is shorter than the case where the surface of the piezoelectric substrate is a polarization plus surface, the progress of etching of the support substrate can be suppressed to a level that does not affect the bonding strength. it can. Therefore, the bonding strength between the support substrate and the piezoelectric substrate can be sufficiently ensured even after the surface of the piezoelectric substrate in the composite substrate is etched with strong acid.
  • hydrofluoric acid or hydrofluoric acid it is preferable to use hydrofluoric acid or hydrofluoric acid as the strong acid. If hydrofluoric acid or hydrofluoric acid is used, the surface of the piezoelectric substrate can be etched relatively quickly.
  • a substrate having a smaller thermal expansion coefficient than the piezoelectric substrate as the support substrate.
  • the change in the frequency characteristics with respect to the temperature change of the acoustic wave device is suppressed by reducing the change in size of the piezoelectric substrate when the temperature changes. Can do.
  • an LT substrate or an LN substrate is prepared as the piezoelectric substrate, and a silicon substrate or a glass substrate is prepared as the support substrate. Since the LT substrate and the LN substrate have a large polarization vector, the difference in etching rate due to strong acid between the polarization plus surface and the polarization minus surface is likely to be large, and the significance of applying the present invention is high. In addition, the silicon substrate and the glass substrate have a higher etching rate with a strong acid than the LT substrate and the LN substrate, and it is highly necessary to shorten the time of immersion in the strong acid to suppress the progress of etching. High significance to do.
  • FIG. 1 is a perspective view of a composite substrate 10.
  • FIG. 3 Explanatory drawing of the cut angle of the wafer cut out from the piezoelectric single crystal.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a manufacturing process of the composite substrate 10.
  • FIG. 3 is a perspective view schematically showing a manufacturing process of the composite substrate 10.
  • 1 is a perspective view of a 1-port SAW resonator 30 manufactured using a composite substrate 10.
  • FIG. 1 is a perspective view of a composite substrate 10 of the present embodiment.
  • the composite substrate 10 is obtained by directly bonding a piezoelectric substrate 12 and a support substrate 14 to each other.
  • the direct bonding method first, the bonded surfaces of both the substrates 12 and 14 are washed and then irradiated with an ion beam of an inert gas such as argon, and then the bonded substrates 12 and 14 are attached. The method to match is mentioned.
  • the piezoelectric substrate 12 is a substrate capable of propagating surface acoustic waves (SAW).
  • SAW surface acoustic waves
  • LT or LN is preferred. This is because LT and LN have high SAW propagation speed and a large electromechanical coupling coefficient, and are therefore suitable as high-frequency and wideband frequency acoustic wave devices.
  • the thickness of the piezoelectric substrate 12 is not particularly limited, but may be 0.2 to 50 ⁇ m, for example.
  • the piezoelectric substrate 12 has a polarization minus surface 12a on one surface and a polarization plus surface 12b on the other surface.
  • the rate of etching with strong acid is greater on the polarization minus surface 12a than on the polarization plus surface 12b.
  • the piezoelectric substrate 12 is directly joined to the support substrate 14 at the polarization plus surface 12b, and the polarization minus surface 12a appears on the surface.
  • the polarization minus surface 12a of the piezoelectric substrate 12 is etched with a strong acid.
  • Table 1 shows the rates when various LTs and LNs were etched at 65 ° C. using hydrofluoric acid. In any of the substrates, the etching rate is larger on the polarization minus surface than on the polarization plus surface.
  • the cut angles in Table 1 will be described with reference to FIG. FIG. 2A shows a state before the piezoelectric single crystal is cut into a wafer, where the X-axis is the left-right direction, the Y-axis is the up-down direction, and the Z-axis is the direction perpendicular to the paper surface. This piezoelectric single crystal is spontaneously polarized in the c-axis direction, that is, the Z-axis direction.
  • “LT36 ° Y” in Table 1 is a 36 ° rotation Y-cut LT, and as shown in FIG. 2B, the X axis is the rotation axis, and the Y axis and the Z axis are rotated 36 ° in the same direction. This means that when the Y ′ axis and the Z ′ axis are newly set, the wafer is cut so that the Y ′ axis is in the normal direction of the upper surface.
  • the propagation direction of the elastic wave is the X-axis direction.
  • the support substrate 14 has a thermal expansion coefficient smaller than that of the piezoelectric substrate 12 and is bonded directly to the back surface of the piezoelectric substrate 12 by bonding. By making the support substrate 14 have a smaller thermal expansion coefficient than that of the piezoelectric substrate 12, the change in size of the piezoelectric substrate 12 when the temperature changes is suppressed, and the composite substrate 10 is used as an elastic wave device. The temperature change of the frequency characteristic can be suppressed.
  • the support substrate 14 is made of a material (for example, 10 to 50 ⁇ m / hr) having a higher etching rate with a strong acid than the polarization minus surface 12 a of the piezoelectric substrate 12. Examples of the material of the support substrate 14 include silicon and glass (such as borosilicate glass and quartz glass).
  • the thickness of the support substrate 14 is not particularly limited, but may be, for example, 200 to 1200 ⁇ m.
  • FIGS. 3 and 4 are a cross-sectional view and a perspective view schematically showing the manufacturing process of the composite substrate 10.
  • a disk-shaped piezoelectric substrate 12 having an orientation flat (OF) and a support substrate 14 having the same shape are prepared (see FIGS. 3A and 4A).
  • the bonding surfaces of both the substrates 12 and 14 are washed to remove dirt adhering to the bonding surfaces.
  • the polarization plus surface 12b is used as a bonding surface.
  • an inert gas such as argon
  • the substrates 12 and 14 are bonded together after being aligned in vacuum so that the OFs of the substrates 12 and 14 match at room temperature (see FIGS. 3B and 4B).
  • the surface of the piezoelectric substrate 12 becomes a polarization minus surface 12a.
  • the surface of the piezoelectric substrate 12 is ground and polished to a predetermined thickness, so that the thinned piezoelectric substrate 12 is obtained (see FIGS. 3C and 4C).
  • a work-affected layer 12c is generated on the surface of the piezoelectric substrate 12 after grinding and polishing.
  • the work-affected layer 12c is a layer that has been changed in material properties by grinding and polishing.
  • the entire bonded substrate is immersed in a strong acid, and the work-affected layer 12c of the piezoelectric substrate 12 is removed by etching to obtain a further thinned piezoelectric substrate 12, thereby obtaining the composite substrate 10 (FIG. 3D). And FIG. 4 (d)).
  • FIG. 5 shows a state where the composite substrate 10 is an aggregate of 1-port SAW resonators 30 that are surface acoustic wave devices.
  • the 1-port SAW resonator 30 is formed by forming IDT (Interdigital Transducer) electrodes 32 and 34 and a reflective electrode 36 on the surface of the piezoelectric substrate 12 by photolithography.
  • IDT Interdigital Transducer
  • the polarization plus surface 12b of the piezoelectric substrate 12 is directly bonded to one surface of the support substrate.
  • the former has a surface roughness of the surface irradiated with the ion beam. It is a better value than the latter. For this reason, the former has stronger bonding strength when bonded by the direct bonding method than the latter.
  • the surface of the piezoelectric substrate 12 is a polarization minus surface 12a having a high etching rate with a strong acid. Therefore, the time required to etch the surface of the piezoelectric substrate 12 by a strong acid by a predetermined thickness, that is, the time for immersing the entire composite substrate 10 in the strong acid during the etching is such that the surface of the piezoelectric substrate 12 is polarized plus surface. It becomes shorter than the case of 12b.
  • the support substrate 14 has an etching rate larger than that of the polarization minus surface 12a of the piezoelectric substrate 12, when the entire composite substrate 10 is immersed in a strong acid, the support substrate 14 is also etched.
  • the immersion time in the strong acid is shorter than that in the case where the surface of the piezoelectric substrate 12 is the polarization plus surface 12b, so that the progress of the etching of the support substrate 14 is reduced to an extent that does not affect the bonding strength. Can be suppressed. Therefore, the bonding strength between the support substrate 14 and the piezoelectric substrate 12 can be sufficiently ensured even after the surface of the piezoelectric substrate 12 in the composite substrate 10 is etched with strong acid.
  • various LTs and LNs shown in Table 1 are illustrated as the piezoelectric substrate 12.
  • the piezoelectric minus substrate has a higher etching rate with a strong acid on the polarization minus surface than the polarization plus surface, the above description is given.
  • the same effects as those of the embodiment described above can be obtained.
  • silicon or glass is exemplified as the support substrate 14, the same effects as those of the above-described embodiment can be obtained if the substrate has a higher etching rate with strong acid than the polarization minus surface of the piezoelectric substrate 12.
  • the piezoelectric substrate 12 and the support substrate 14 are bonded together by direct bonding using an ion beam.
  • a method using plasma or a neutral atom beam may be adopted. .
  • Japanese Unexamined Patent Application Publication No. 2004-186938 discloses a local battery between a back electrode and an IDT electrode in an acoustic wave device having a back electrode on the surface opposite to the surface on which the IDT electrode is formed.
  • IDT electrodes on the polarization minus surface of the piezoelectric substrate.
  • this publication does not mention that a composite substrate is used for an acoustic wave device, and the surface of the piezoelectric substrate is obtained by bonding the piezoelectric substrate and the supporting substrate by a direct bonding method using an ion beam or by etching using a strong acid. There is no description of removing the work-affected layer.
  • Example 1 As a piezoelectric substrate, an LT42 ° Y plate (thickness 250 ⁇ m) was prepared in which the propagation direction of elastic waves was the X-axis direction, and the Y-axis and Z-axis were rotated 42 ° using the X-axis as the rotation axis. Further, a Si (111) plate (thickness: 230 ⁇ m) was prepared as a support substrate. Both substrates were put into a vacuum chamber of 2 ⁇ 10 ⁇ 6 (Pa), and an argon beam was irradiated on the polarization plus surface of the piezoelectric substrate and one surface of the support substrate for 60 seconds.
  • a vacuum chamber 2 ⁇ 10 ⁇ 6 (Pa)
  • the irradiated surfaces of both substrates were brought into contact with each other, pressurized with 2000 kg, and both substrates were bonded by direct bonding.
  • the arithmetic average roughness Ra of the polarization plus surface of the piezoelectric substrate irradiated with an argon beam under the same conditions was measured by AFM (measurement area was 10 ⁇ m square) and found to be 0.3 nm.
  • the removal amount of the polarization plus surface at this time was 1 nm.
  • the joined body was taken out from the vacuum chamber, and the piezoelectric substrate was ground to 30 ⁇ m.
  • the piezoelectric substrate was polished to 25 ⁇ m with a tin surface plate while dropping diamond slurry (particle diameter 1 ⁇ m). Further, while dropping colloidal silica (particle diameter 20 nm), the piezoelectric substrate was polished to 20 ⁇ m with a urethane pad.
  • the bonding strength of the bonded body after polishing was evaluated by a crack opening method, the surface energy was 1.8 J / cm 2 .
  • the polished bonded body was immersed in 65 ° C. hydrofluoric acid for 1 minute, and the work-affected layer on the surface of the piezoelectric substrate was removed by etching to obtain a composite substrate.
  • the etching amount at this time is 20 nm, the surface roughness after etching is 0.3 nm in Ra, the length of peeling of the bonded interface after etching (the length of peeling progressed from the outer peripheral edge of the bonded interface toward the center of the substrate, In FIG. 3 (d)), it was 0.1 mm.
  • Example 1 In Example 1, the polarization minus surface of the piezoelectric substrate and the one surface of the support substrate were directly joined.
  • the arithmetic average roughness Ra of the polarization minus surface of the piezoelectric substrate irradiated with the argon beam was measured by AFM (measurement area was 10 ⁇ m square), and was 0.5 nm. Further, the removal amount of the polarization minus surface at this time was 1 nm.
  • the surface energy was 1.5 J / cm 2 .
  • a composite substrate was obtained in the same manner as in Example 1 except that the polarization plus surface side of the piezoelectric substrate was ground and polished and then immersed in hydrofluoric acid for 10 minutes to etch the work-affected layer.
  • the etching amount at this time was 23 nm
  • the surface roughness after etching was 0.5 nm in Ra
  • the length of peeling at the bonding interface after etching was 0.5 mm.
  • Example 1 compared to Comparative Example 1, the bonding strength between the piezoelectric substrate and the support substrate could be increased. Moreover, in Example 1, compared with Comparative Example 1, the etching time for removing substantially the same amount of the work-affected layer could be shortened to 1/10. Therefore, in Example 1, the amount by which the support substrate was etched during the etching was suppressed, and peeling of the bonding interface could be suppressed to 1/5 compared to Comparative Example 1.
  • the present invention can be used for an acoustic wave device such as a SAW filter.

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Abstract

複合基板１０は、圧電基板１２と支持基板１４とがイオンビームを用いた直接接合により接合されたものである。圧電基板１２は、一方の面が分極マイナス面１２ａ、もう一方の面が分極プラス面１２ｂである。強酸によるエッチングのレートは、分極プラス面１２ｂよりも分極マイナス面１２ａの方が大きい。圧電基板１２は、分極プラス面１２ｂで支持基板１４と直接接合されており、分極プラス面１２ｂが表面に現れている。また、圧電基板１２の分極マイナス面１２ａは、強酸によってエッチングされたものである。支持基板１４は、圧電基板１２の分極マイナス面１２ａよりも強酸によるエッチングのレートが大きな材質で作製されている。

Description

複合基板及びその製法
　本発明は、複合基板及びその製法に関する。
　弾性波デバイスは、圧電基板の片面にＩＤＴ（Interdigital Transducer）電極が形成されたものであり、特定の周波数帯域の信号を取り出すものである。近年、弾性波デバイスの温度特性を改善する目的で、熱膨張係数の小さな支持基板上に薄い圧電基板を接合した複合基板が用いられている。こうした複合基板としては、例えば、圧電基板としてタンタル酸リチウムやニオブ酸リチウム、支持基板としてシリコンや石英を用いたものが知られている（特許文献１参照）。
特開２００６－３１９６７９号公報
　ところで、複合基板は、一般に、圧電基板の分極プラス面にＩＤＴ電極が形成され、分極マイナス面で支持基板と接合される。また、複合基板を製造するにあたっては、まず圧電基板と支持基板とを直接接合法で接合し、次に圧電基板の表面を研削・研磨して圧電基板を薄くする。直接接合法で接合する場合、圧電基板の接合面及び支持基板の接合面にアルゴンビームを照射する。この際、圧電基板の分極マイナス面にアルゴンビームを照射すると、照射後の算術平均粗さＲａは、ＡＦＭ（原子間力顕微鏡）で１０μｍ四方の面積を測定したとき０．５ｎｍ程度となる。
　しかしながら、直接接合法で接合したときの接合強度は、表面の酸化膜や水分などの吸着物を完全に除去し表面を活性化した上で、接合面の算術平均粗さＲａが小さいほど強くなるため、接合面の算術平均粗さＲａをできるだけ小さくすることが望まれていた。
　本発明はこのような課題を解決するためになされたものであり、複合基板において圧電基板と支持基板とを直接接合法で接合したときの接合強度を強くすることを主目的とする。
　本発明の複合基板は、
　一方の面が分極マイナス面、もう一方の面が分極プラス面である圧電基板と、
　前記圧電基板の前記分極プラス面と直接接合により接合された支持基板と、
　を備えたものである。
　この複合基板では、圧電基板の分極プラス面が支持基板の片面と直接接合されている。ここで、圧電基板の分極プラス面に直接接合のための処理を施したあとの分極プラス面と、分極マイナス面に直接接合のための処理を施したあとの分極マイナス面とを比較すると、圧電基板の表面の除去量が同じ時、表面粗さは前者の方が後者よりも良好な値となる。このため、前者の方が後者よりも直接接合法で接合したときの接合強度が強くなる。なお、直接接合のための処理としては、例えば、不活性ガス（アルゴンなど）のイオンビームの照射のほか、プラズマや中性原子ビームの照射などが挙げられる。
　本発明の複合基板において、前記圧電基板の前記分極マイナス面は、強酸によりエッチングされたものであり、前記強酸によるエッチングレートは、前記分極プラス面よりも前記分極マイナス面の方が大きく、前記分極マイナス面よりも前記支持基板の方が大きいものとしてもよい。この複合基板では、圧電基板の分極プラス面が支持基板の片面と接合されているため、圧電基板の表面は強酸によるエッチングのレートの大きな分極マイナス面である。そのため、圧電基板の表面を所定厚さだけ強酸によりエッチングするのに必要な時間、つまり、エッチングする際に複合基板全体を強酸に浸漬する時間は、圧電基板の表面が分極プラス面の場合に比べて短くなる。ここで、支持基板は圧電基板の分極マイナス面よりもエッチングレートが大きいため、複合基板全体を強酸に浸漬すると支持基板もエッチングされる。しかし、上述したように、強酸に浸漬する時間は、圧電基板の表面が分極プラス面の場合に比べて短いため、支持基板のエッチングの進行度合いを接合強度に影響のない程度に低く抑えることができる。したがって、複合基板において圧電基板表面を強酸によってエッチングした後も支持基板と圧電基板との接合強度を十分確保することができる。
　本発明の複合基板において、前記強酸は、フッ硝酸又はフッ酸が好ましい。フッ硝酸又はフッ酸を用いれば、圧電基板の表面（分極マイナス面）を比較的速やかにエッチングすることができる。
　本発明の複合基板において、前記支持基板は、前記圧電基板よりも熱膨張係数の小さいものが好ましい。こうすれば、この複合基板を用いて弾性波デバイスを作製した場合、温度が変化したときの圧電基板の大きさの変化を小さくして弾性波デバイスの温度変化に対する周波数特性の変化を抑制することができる。
　本発明の複合基板において、前記圧電基板は、タンタル酸リチウム（ＬＴ）基板又はニオブ酸リチウム（ＬＮ）基板であり、前記支持基板は、シリコン基板又はガラス基板であることが好ましい。ＬＴ基板やＬＮ基板は分極ベクトルが大きいため、分極プラス面及び分極マイナス面の強酸によるエッチングレートの差が大きくなりやすく、本発明を適用する意義が高い。また、シリコン基板やガラス基板は、ＬＴ基板やＬＮ基板に比べて強酸によるエッチングレートが大きく、強酸に浸漬する時間を短くしてエッチングの進行度合いを低く抑える必要性が高いため、本発明を適用する意義が高い。
　本発明の複合基板の製法は、一方の面が分極マイナス面、もう一方の面が分極プラス面である圧電基板の分極プラス面と支持基板の片面とを直接接合法で接合することにより複合基板を製造する接合工程を含むものである。
　この複合基板の製法では、圧電基板の分極プラス面と支持基板の片面とを直接接合する。ここで、圧電基板の分極プラス面に直接接合のための処理を施したあとの分極プラス面と、分極マイナス面に直接接合のための処理を施したあとの分極マイナス面とを比較すると、表面粗さは前者の方が後者よりも良好な値となる。このため、前者の方が後者よりも直接接合法で接合したときの接合強度が強くなる。
　本発明の複合基板の製法は、更に、前記接合工程で得られた複合基板のうち前記圧電基板の前記分極マイナス面を研削・研磨する薄板化工程と、前記薄板化工程後に前記分極マイナス面に発生した加工変質層を強酸によってエッチングするエッチング工程と、を含み、前記圧電基板及び前記支持基板として、前記強酸によるエッチングレートが前記分極プラス面よりも前記分極マイナス面の方が大きく、前記分極マイナス面よりも前記支持基板の方が大きいものを使用してもよい。薄板化工程では、分極マイナス面に加工変質層（研削・研磨によって材質的に変化した層）が発生する。エッチング工程では、この加工変質層を強酸によってエッチングして除去する。その際、圧電基板の表面に生じた加工変質層を強酸によりエッチングするのに必要な時間、つまり、エッチングする際に複合基板全体を強酸に浸漬する時間は、圧電基板の表面が分極プラス面の場合に比べて短くなる。ここで、支持基板は圧電基板の分極マイナス面よりもエッチングレートが大きいため、複合基板全体を強酸に浸漬すると支持基板もエッチングされる。しかし、上述したように、強酸に浸漬する時間は、圧電基板の表面が分極プラス面の場合に比べて短いため、支持基板のエッチングの進行度合いを接合強度に影響のない程度に低く抑えることができる。したがって、複合基板において圧電基板表面を強酸によってエッチングした後も支持基板と圧電基板との接合強度を十分確保することができる。
　本発明の複合基板の製法において、前記強酸としてフッ硝酸又はフッ酸を用いることが好ましい。フッ硝酸又はフッ酸を用いれば、圧電基板の表面を比較的速やかにエッチングすることができる。
　本発明の複合基板の製法において、前記支持基板として前記圧電基板よりも熱膨張係数の小さいものを用意するのが好ましい。こうすれば、この複合基板を用いて弾性波デバイスを作製した場合、温度が変化したときの圧電基板の大きさの変化を小さくして弾性波デバイスの温度変化に対する周波数特性の変化を抑制することができる。
　本発明の複合基板の製法において、前記圧電基板として、ＬＴ基板又はＬＮ基板を用意し、前記支持基板として、シリコン基板又はガラス基板を用意するのが好ましい。ＬＴ基板やＬＮ基板は分極ベクトルが大きいため、分極プラス面及び分極マイナス面の強酸によるエッチングレートの差が大きくなりやすく、本発明を適用する意義が高い。また、シリコン基板やガラス基板は、ＬＴ基板やＬＮ基板に比べて強酸によるエッチングレートが大きく、強酸に浸漬する時間を短くしてエッチングの進行度合いを低く抑える必要性が高いため、本発明を適用する意義が高い。
複合基板１０の斜視図。 圧電単結晶から切り出したウェハーのカット角度の説明図。 複合基板１０の製造工程を模式的に示す断面図。 複合基板１０の製造工程を模式的に示す斜視図。 複合基板１０を用いて作製した１ポートＳＡＷ共振子３０の斜視図。
　次に、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は本実施形態の複合基板１０の斜視図である。
　複合基板１０は、圧電基板１２と支持基板１４とが直接接合により接合されたものである。直接接合方法の一例としては、まず、両基板１２，１４の接合面を洗浄後アルゴン等の不活性ガスのイオンビームを照射することで接合面を活性化させ、その後両基板１２，１４を貼り合わせる方法が挙げられる。
　圧電基板１２は、弾性表面波（ＳＡＷ）を伝搬可能な基板である。この圧電基板１２の材質としては、タンタル酸リチウム（ＬＴ）、ニオブ酸リチウム（ＬＮ）、ニオブ酸リチウム－タンタル酸リチウム固溶体単結晶、水晶、ホウ酸リチウム、酸化亜鉛、窒化アルミニウム、ランガサイト（ＬＧＳ）、ランガテイト（ＬＧＴ）などが挙げられる。このうち、ＬＴ又はＬＮが好ましい。ＬＴやＬＮは、ＳＡＷの伝搬速度が速く、電気機械結合係数が大きいため、高周波数且つ広帯域周波数用の弾性波デバイスとして適しているからである。圧電基板１２の厚さは、特に限定するものではないが、例えば、０．２～５０μｍとしてもよい。この圧電基板１２は、一方の面が分極マイナス面１２ａ、もう一方の面が分極プラス面１２ｂである。強酸（例えばフッ硝酸やフッ酸）によるエッチングのレートは、分極プラス面１２ｂよりも分極マイナス面１２ａの方が大きい。圧電基板１２は、分極プラス面１２ｂで支持基板１４と直接接合されており、分極マイナス面１２ａが表面に現れている。また、圧電基板１２の分極マイナス面１２ａは、強酸によってエッチングされたものである。
　ここで、各種のＬＴ及びＬＮについて、６５℃でフッ硝酸を用いてエッチングしたときのレートを表１に示す。いずれの基板においても、エッチングレートは分極プラス面よりも分極マイナス面の方が大きな値になっている。表１中のカット角度について、図２を参照しながら説明する。図２（ａ）は圧電単結晶をウェハーに切断する前の状態であって、Ｘ軸が左右方向、Ｙ軸が上下方向，Ｚ軸が紙面に垂直方向である。この圧電単結晶は、ｃ軸方向、つまりＺ軸方向に自発分極している。例えば、表１中の「ＬＴ３６°Ｙ」は、３６°回転ＹカットＬＴであり、図２（ｂ）に示すようにＸ軸を回転軸として、Ｙ軸及びＺ軸を同方向に３６°回転させて新たにＹ’軸及びＺ’軸としたときに、Ｙ’軸が上面の法線方向となるように切断したウェハーであることを意味する。なお、弾性波の伝搬方向はＸ軸方向である。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　支持基板１４は、圧電基板１２よりも熱膨張係数が小さいものであり、圧電基板１２の裏面に直接接合により接合されている。支持基板１４を圧電基板１２よりも熱膨張係数が小さいものとすることで、温度が変化したときの圧電基板１２の大きさの変化を抑制し、複合基板１０を弾性波デバイスとして用いた場合における周波数特性の温度変化を抑制することができる。支持基板１４は、圧電基板１２の分極マイナス面１２ａよりも強酸によるエッチングのレートが大きな材質（例えば１０～５０μｍ／ｈｒ）で作製されている。こうした支持基板１４の材質としては、シリコンやガラス（ホウ珪酸ガラスや石英ガラス等）などが挙げられる。また、支持基板１４の厚さは、特に限定するものではないが、例えば、２００～１２００μｍとしてもよい。
　次に、複合基板１０の製法について、図３及び図４を用いて以下に説明する。図３及び図４は複合基板１０の製造工程を模式的に示す断面図及び斜視図である。
　まず、オリエンテーションフラット（ＯＦ）を有する円盤状の圧電基板１２と、これと同形状の支持基板１４とを用意する（図３（ａ）及び図４（ａ）参照）。次に、両基板１２，１４の接合面を洗浄し、該接合面に付着している汚れを除去する。このとき、圧電基板１２については、分極プラス面１２ｂを接合面とする。次に、両基板１２，１４の接合面にアルゴン等の不活性ガスのイオンビームを照射することで、残留した不純物（酸化膜や吸着物等）を除去すると共に接合面を活性化させる。その後、真空中、常温で両基板１２，１４のＯＦが一致するように位置合わせをした上で両基板１２，１４を貼り合わせる（図３（ｂ）及び図４（ｂ）参照）。その結果、圧電基板１２の表面は分極マイナス面１２ａとなる。次に、圧電基板１２の表面を所定の厚さになるまで研削・研磨して、薄板化された圧電基板１２とする（図３（ｃ）及び図４（ｃ）参照）。研削・研磨後の圧電基板１２の表面には、加工変質層１２ｃが発生する。加工変質層１２ｃは、研削・研磨によって材質的に変化した層である。その後、接合された基板全体を強酸に浸漬して圧電基板１２の加工変質層１２ｃをエッチングにより除去して更に薄板化した圧電基板１２とすることにより、複合基板１０を得る（図３（ｄ）及び図４（ｄ）参照）。
　こうして得られた複合基板１０は、この後、一般的なフォトリソグラフィ技術を用いて、多数の弾性表面波デバイスの集合体としたあと、ダイシングにより１つ１つの弾性表面波デバイスに切り出される。複合基板１０を弾性表面波デバイスである１ポートＳＡＷ共振子３０の集合体としたときの様子を図５に示す。１ポートＳＡＷ共振子３０は、フォトリソグラフィ技術により、圧電基板１２の表面にＩＤＴ（Interdigital Transducer)電極３２，３４と反射電極３６とが形成されたものである。
　以上説明した本実施形態の複合基板１０では、圧電基板１２の分極プラス面１２ｂが支持基板１４の片面と直接接合されている。ここで、圧電基板１２の分極プラス面１２ｂにイオンビームを照射したときと分極マイナス面１２ａにイオンビームを照射したときとを比較すると、イオンビームを照射した面の表面粗さは前者の方が後者よりも良好な値となる。このため、前者の方が後者よりも直接接合法で接合したときの接合強度が強くなる。
　また、圧電基板１２の表面は強酸によるエッチングのレートの大きな分極マイナス面１２ａである。そのため、圧電基板１２の表面を所定厚さだけ強酸によりエッチングするのに必要な時間、つまり、エッチングする際に複合基板１０の全体を強酸に浸漬する時間は、圧電基板１２の表面が分極プラス面１２ｂの場合に比べて短くなる。ここで、支持基板１４は圧電基板１２の分極マイナス面１２ａよりもエッチングレートが大きいため、複合基板１０の全体を強酸に浸漬すると支持基板１４もエッチングされる。しかし、上述したように、強酸に浸漬する時間は、圧電基板１２の表面が分極プラス面１２ｂの場合に比べて短いため、支持基板１４のエッチングの進行度合いを接合強度に影響のない程度に低く抑えることができる。したがって、複合基板１０において圧電基板１２の表面を強酸によってエッチングした後も支持基板１４と圧電基板１２との接合強度を十分確保することができる。
　なお、本発明は上述した実施形態に何ら限定されることはなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の態様で実施し得ることはいうまでもない。
　例えば、上述した実施形態では、圧電基板１２として表１に示す各種のＬＴやＬＮを例示したが、分極プラス面よりも分極マイナス面の方が強酸によるエッチングレートの大きい圧電基板であれば、上述した実施形態と同様の効果が得られる。また、支持基板１４としてシリコンやガラスを例示したが、圧電基板１２の分極マイナス面よりも強酸によるエッチングレートの大きな基板であれば、上述した実施形態と同様の効果が得られる。
　上述した実施形態では、圧電基板１２と支持基板１４とをイオンビームを用いる直接接合により貼り合わせたが、イオンビームを用いる方法以外に、プラズマや中性原子ビームを用いる方法を採用してもよい。
　ところで、特開２００４－１８６９３８号公報には、圧電基板のＩＤＴ電極が形成された面とは反対側の面に裏面電極を備えた弾性波デバイスにおいて、裏面電極とＩＤＴ電極との間の局部電池効果に起因する電極腐食を抑えるために、圧電基板の分極マイナス面にＩＤＴ電極を形成することが提案されている。しかし、この公報には、弾性波デバイスに複合基板を用いることは記載がなく、また、イオンビームによる直接接合法で圧電基板と支持基板とを接合することや強酸を用いたエッチングにより圧電基板表面の加工変質層を除去することも記載がない。このため、複合基板の接合強度を強くするという課題や複合基板の接合界面が強酸を用いたエッチングにより剥離するという課題がなく、その課題を解決する技術についても当然記載がない。したがって、本発明はこの公報に基づいて当業者が容易に想到し得るものではない。
［実施例１］
　圧電基板として、弾性波の伝搬方向がＸ軸方向であり、Ｘ軸を回転軸としてＹ軸及びＺ軸を４２°回転させたＬＴ４２°Ｙ板（厚さ２５０μｍ）を用意した。また、支持基板として、Ｓｉ（１１１）板（厚さ２３０μｍ）を用意した。両基板を２×１０-6（Ｐａ）の真空チャンバーに投入し、圧電基板の分極プラス面及び支持基板の片面にアルゴンビームを６０秒照射した。照射後、両基板の照射面同士をコンタクトさせ、２０００ｋｇで加圧し、直接接合により両基板を接合した。これと同じ条件でアルゴンビームを照射した圧電基板の分極プラス面の算術平均粗さＲａをＡＦＭ（測定面積は１０μｍ四方）で測定したところ、０．３ｎｍであった。またこのときの分極プラス面の除去量は、１ｎｍであった。接合体を真空チャンバーから取り出し、圧電基板を３０μｍまで研削した。その後、ダイヤモンドスラリー（粒径１μｍ）を滴下しながら錫定盤で圧電基板を２５μｍまで研磨した。更に、コロイダルシリカ（粒径２０ｎｍ）を滴下しながら、ウレタンパッドで圧電基板を２０μｍまで研磨した。研磨後の接合体の接合強度をクラックオープニング法にて評価したところ、表面エネルギーは１．８Ｊ／ｃｍ2であった。その後、研磨後の接合体を６５℃のフッ硝酸に１分間浸漬し、圧電基板表面の加工変質層をエッチングにより除去して複合基板を得た。このときのエッチング量は２０ｎｍ、エッチング後の表面粗さはＲａで０．３ｎｍ、エッチング後の接合界面の剥離の長さ（接合界面の外周縁から基板中心に向かって剥離が進んだ長さ、図３（ｄ）参照）は０．１ｍｍであった。
［比較例１］
　実施例１において、圧電基板の分極マイナス面と支持基板の片面とを直接接合した。アルゴンビームを照射した圧電基板の分極マイナス面の算術平均粗さＲａをＡＦＭ（測定面積は１０μｍ四方）で測定したところ、０．５ｎｍであった。またこのときの分極マイナス面の除去量は、１ｎｍであった。研磨後の接合体の接合強度をクラックオープニング法にて評価したところ、表面エネルギーは１．５Ｊ／ｃｍ2であった。接合体につき、圧電基板の分極プラス面側を研削・研磨したあとフッ硝酸に１０分間浸漬して加工変質層をエッチングした以外は、実施例１と同様にして複合基板を得た。このときのエッチング量は２３ｎｍ、エッチング後の表面粗さはＲａで０．５ｎｍ、エッチング後の接合界面の剥離の長さは０．５ｍｍであった。
　実施例１では、比較例１に比べて、圧電基板と支持基板との接合強度を強くすることができた。また、実施例１では、比較例１に比べて、ほぼ同量の加工変質層を除去するためのエッチング時間を１０分の１に短縮することができた。そのため、実施例１では、エッチング時に支持基板がエッチングされる量が抑制され、接合界面の剥離を比較例１に比べて５分の１に抑制することができた。
　この出願は、２０１３年７月２５日に出願された日本国特許出願第２０１３－１５４５０５号を優先権主張の基礎としており、引用によりその内容の全てが本明細書に含まれる。
　なお、上述した実施例は本発明を何ら限定するものでないことは言うまでもない。
　本発明は、ＳＡＷフィルタなどの弾性波デバイスに利用可能である。
１０　複合基板、１２　圧電基板、１２ａ　分極マイナス面、１２ｂ　分極プラス面、１２ｃ　加工変質層、１４　支持基板、３０　１ポートＳＡＷ共振子、３２，３４　ＩＤＴ電極、３６　反射電極。

Claims (10)

  1. 　一方の面が分極マイナス面、もう一方の面が分極プラス面である圧電基板と、
    　前記圧電基板の前記分極プラス面と直接接合により接合された支持基板と、
    　を備えた複合基板。
  2. 　前記圧電基板の前記分極マイナス面は、強酸によりエッチングされたものであり、
    　前記強酸によるエッチングレートは、前記分極プラス面よりも前記分極マイナス面の方が大きく、前記分極マイナス面よりも前記支持基板の方が大きい、
    　請求項１に記載の複合基板。
  3. 　前記強酸は、フッ硝酸又はフッ酸である、
    　請求項２に記載の複合基板。
  4. 　前記支持基板は、前記圧電基板よりも熱膨張係数が小さい、
    　請求項１～３のいずれか１項に記載の複合基板。
  5. 　前記圧電基板は、タンタル酸リチウム基板又はニオブ酸リチウム基板であり、前記支持基板は、シリコン基板又はガラス基板である、
    　請求項１～４のいずれか１項に記載の複合基板。
  6. 　一方の面が分極マイナス面、もう一方の面が分極プラス面である圧電基板の分極プラス面と支持基板の片面とを直接接合法で接合することにより複合基板を製造する接合工程を含む、複合基板の製法。
  7. 　前記接合工程で得られた複合基板のうち前記圧電基板の前記分極マイナス面を研削・研磨する薄板化工程と、
    　前記薄板化工程後に前記分極マイナス面に発生した加工変質層を強酸によってエッチングするエッチング工程と、
    　を含み、
    　前記圧電基板及び前記支持基板として、前記強酸によるエッチングレートが前記分極プラス面よりも前記分極マイナス面の方が大きく、前記分極マイナス面よりも前記支持基板の方が大きいものを使用する、
    　請求項６に記載の複合基板の製法。
  8. 　前記強酸としてフッ硝酸又はフッ酸を用いる、
    　請求項７に記載の複合基板の製法。
  9. 　前記支持基板として前記圧電基板よりも熱膨張係数が小さいものを使用する、
    　請求項６～８のいずれか１項に記載の複合基板の製法。
  10. 　前記圧電基板としてタンタル酸リチウム基板又はニオブ酸リチウム基を用意し、板前記支持基板としてシリコン基板又はガラス基板を使用する、
    　請求項６～９のいずれか１項に記載の複合基板の製法。
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