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WO2014181194A3 - Appareil et procédé de production en phase condensée de trisilylamine - Google Patents

Appareil et procédé de production en phase condensée de trisilylamine Download PDF

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WO2014181194A3
WO2014181194A3 PCT/IB2014/001629 IB2014001629W WO2014181194A3 WO 2014181194 A3 WO2014181194 A3 WO 2014181194A3 IB 2014001629 W IB2014001629 W IB 2014001629W WO 2014181194 A3 WO2014181194 A3 WO 2014181194A3
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WO
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trisilylamine
condensed
condensed phase
phase production
synthesis
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PCT/IB2014/001629
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Inventor
Cole J. Ritter, Iii
Matthew Damien STEPHENS
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Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
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Air Liquide SA
LAir Liquide SA pour lEtude et lExploitation des Procedes Georges Claude
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Abstract

La présente invention concerne un procédé par lots, en phase condensée, pour la synthèse de trisilylamine (TSA). Selon l'invention, un procédé de synthèse amélioré consiste à incorporer un solvant pour aider à favoriser une réaction en phase condensée entre de l'ammoniac gazeux (ou liquide) et du monochlorosilane (MCS) liquéfié, avec de bons rendements. Ce procédé favorise l'élimination de sous-produits résiduaires, avec un temps d'arrêt de réacteur faible à nul, une réduction sensible de la contamination par des matières solides en aval, et l'obtention d'un produit de pureté élevée provenant d'une distillation de première passe.
PCT/IB2014/001629 2013-03-28 2014-03-25 Appareil et procédé de production en phase condensée de trisilylamine Ceased WO2014181194A2 (fr)

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