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WO2013183376A1 - 搬送システム及び搬送システムでの物品の一時保管方法 - Google Patents

搬送システム及び搬送システムでの物品の一時保管方法 Download PDF

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WO2013183376A1
WO2013183376A1 PCT/JP2013/061746 JP2013061746W WO2013183376A1 WO 2013183376 A1 WO2013183376 A1 WO 2013183376A1 JP 2013061746 W JP2013061746 W JP 2013061746W WO 2013183376 A1 WO2013183376 A1 WO 2013183376A1
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WO
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track
buffer
local carriage
traveling vehicle
overhead traveling
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/JP2013/061746
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
達司 太田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Machinery Ltd
Original Assignee
Murata Machinery Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Machinery Ltd filed Critical Murata Machinery Ltd
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Priority to EP13800180.5A priority patent/EP2860136B1/en
Priority to CN201380025043.9A priority patent/CN104302562B/zh
Priority to JP2014519875A priority patent/JP5880991B2/ja
Priority to US14/404,661 priority patent/US9520313B2/en
Priority to SG11201407386YA priority patent/SG11201407386YA/en
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    • H01L21/67769—Storage means

Definitions

  • the present invention relates to a transport system and a temporary storage method of articles in the transport system, and more particularly to temporary storage of articles in a transport system including an overhead traveling vehicle, a local carriage, a buffer, and a load port.
  • Patent Document 1 EP2450297A
  • the article can be carried in / out from the load port without waiting for the overhead traveling vehicle to arrive.
  • the overhead traveling vehicle carries in / out articles from / to the buffer
  • the local cart carries in / out articles from / to the buffer and the load port.
  • Patent Document 2 JP2011-207621A also proposes a similar system.
  • Patent Document 3 discloses a buffer in which shelves are arranged vertically so that a dolly cart mounted on an elevator can enter and exit from the shelves. This buffer is arranged near the load port so that the overhead traveling vehicle can carry in and out the article, and several articles are stored. If it does in this way, the goods which a processing apparatus requires can be carried in to a buffer beforehand.
  • Patent Document 4 JP2009-62153A discloses that a rail that can be raised and lowered is provided in a buffer, and a cart having a fork is run along the rail. In this buffer, shelves are arranged up and down, and articles can be carried in and out of the shelves by raising and lowering the rails and running the carriage. Patent Document 4 also discloses that this buffer is connected to the overhead traveling vehicle system and arranged near the load port.
  • Patent Document 2 proposes to provide a buffer for moving an article laterally from an overhead traveling vehicle. However, in order to allow the local cart to access the buffer, a mechanism for moving the article to the local cart is required. On the other hand, the buffers of Patent Documents 3 and 4 are not configured to be connected to a local carriage.
  • An object of the present invention is to increase the capacity of a buffer in a transfer system in which a track of a local carriage is provided directly below a track of an overhead traveling vehicle.
  • An additional object of the present invention is to prevent competition between the loading / unloading of articles into / from the buffer of the overhead traveling vehicle and the conveyance of articles between the load port and the buffer by the local carriage.
  • the overhead traveling vehicle and the local carriage both transfer articles between the same transfer destination,
  • the track of the overhead traveling vehicle The track of the local carriage just below the track of the overhead traveling vehicle, A transfer destination directly below both the track of the overhead traveling vehicle and the track of the local carriage,
  • An overhead traveling vehicle having a lifting platform that travels on the track of the overhead traveling vehicle and moves up and down while supporting an article
  • a local carriage having a lifting platform that travels along the track of the local carriage and moves up and down while supporting an article
  • the buffer is A plurality of cells containing articles;
  • the track of the overhead traveling vehicle The track of the local carriage just below the track of the overhead traveling vehicle, A transfer destination directly below both the track of the overhead traveling vehicle and the track of the local carriage, An overhead traveling vehicle having a lifting platform that travels on the track of the overhead traveling vehicle and moves up and down while supporting an article; And a local carriage having a lifting platform that moves up and down while supporting the article while traveling on the track of the local carriage,
  • a buffer that is connected to the track of the local carriage and can pass the article to and from the local carriage at a position other than directly below the track of the local carriage, and has a plurality of cells and means for conveying the article in the buffer.
  • the overhead traveling vehicle carries items in and out of the buffer cell for loading and unloading items
  • the transport means in the buffer transports articles between the cells of the buffer
  • the local cart transports articles between the
  • a buffer is provided other than directly below the track of the local carriage to increase the buffer capacity.
  • This buffer is connected to the track of the local carriage so that the article can be transferred to and from the local carriage, and has a cell for loading and unloading below the track of the overhead traveling car, so that the article can be transferred to and from the overhead traveling car. It can be handed over. Therefore, the article can be moved along the route of the overhead traveling vehicle-buffer-local cart, and becomes a buffer between the overhead traveling vehicle and the local cart. Note that in this specification, the description related to the transport system also applies to the temporary storage method of articles in the transport system.
  • the transfer destination is a load port of a processing apparatus for processing an article
  • the trajectory of the local carriage enters the buffer.
  • the processing apparatus is, for example, a semiconductor processing apparatus or an inspection apparatus. If it does in this way, both an overhead traveling vehicle and a local trolley can transfer articles between load ports, and can accommodate many articles in a buffer. The local cart then enters the buffer and moves the article between the buffer and the load port.
  • the plurality of cells are arranged in the buffer along the vertical direction and the horizontal direction, and include a rail on which the local carriage can run, and the track of the local carriage enters any of the cells
  • the buffer has an elevator including a rail on which the local carriage can run, and the local carriage is movable between cells via the elevator, and the transfer means includes a cell rail, an elevator, and a local carriage. If it does in this way, a local trolley will enter into each cell in a buffer via an elevator, and can carry in / out goods. Since cells can be arranged vertically and horizontally, for example, a large capacity buffer can be obtained.
  • the plurality of cells are arranged in the buffer along a vertical direction and a horizontal direction, and the trajectory of the local carriage enters one of the cells, and the buffer extends along a vertical guide.
  • a horizontal guide that moves up and down and a fork that moves along the horizontal guide are provided, and the conveying means includes the horizontal guide and the fork.
  • the fork that moves in the vertical and horizontal directions can transport articles between cells, and the articles can be moved between the local carriage and each cell by entering the trajectory of the local carriage into one of the cells. .
  • the cell in which the track of the local carriage enters is a cell below the carry-in / out cell. If it does in this way, carrying in / out of the goods by an overhead traveling vehicle and the carrying in / out of goods to a load port by a local cart will not compete.
  • the buffer is provided immediately below the second trajectory of the local carriage arranged in parallel with the first trajectory and the second trajectory. And a shifter for moving a local carriage between the first track and the second track. In this way, a system including a buffer having a capacity corresponding to the length of the second track is obtained.
  • the container of a buffer is notched and shown.
  • orbit of an overhead traveling vehicle is notched and it shows except the buffer on the track
  • Side view of a modified transport system It is a top view of the conveyance system of a modification, and shows the track of an overhead traveling vehicle by cutting away. It is a side view with a partial notch part of the conveyance system of 2nd Example, and the container of a buffer is notched and shown.
  • the track of an overhead traveling vehicle is notched and shown.
  • orbit of an overhead traveling vehicle is notched and shown.
  • FIGS. 1 and 2 show an embodiment and a modification of the transport system
  • FIGS. 1 and 2 show the first embodiment.
  • the overhead traveling vehicle 2 transports an article 20 such as FOUP in a semiconductor factory, for example, and the local cart 4 supplies and carries the article 20 to and from one or a plurality of processing devices 12.
  • Reference numeral 6 denotes a track of an overhead traveling vehicle, which includes a traveling rail and a power supply rail.
  • Reference numeral 8 denotes a track of the local carriage 4, which includes a pair of rails 26 and 26 shown in FIG.
  • the processing apparatus 12 includes one to a plurality of load ports 14.
  • Reference numeral 16 denotes a ceiling of a clean room or the like, and the tracks 6 and 8 and the buffer 10 are supported by support columns 45 to 47.
  • the track 6 of the overhead traveling vehicle is at the highest position, the track 8 of the local carriage is directly below, and the load port 14 is directly below the tracks 6 and 8.
  • the processing device 12 includes an inspection device in addition to the processing device, and a load port 14 is provided on the front surface of the processing device 12, and the overhead traveling vehicle 2, the local cart 4, and the ground are connected to the load port 14.
  • the person who moves the item delivers the article 20.
  • a display and an operation panel are provided on the front surface of the processing device 12 to monitor the operating status of the processing device 12 and to control the processing device 12 manually.
  • the overhead traveling vehicle 2 and the local cart 4 transfer the article 20 by raising and lowering the elevators 18 and 22 that chuck the head of the article 20 by the suspension material 24.
  • the track 8 of the local carriage may be a monorail, but preferably comprises a pair of rails 26, 26.
  • the width of the gap 28 between the rails 26, 26 is larger than the depth of the article 20, and the article 20
  • the gap 28 between the rails 26 and 26 can be passed along with the elevator 18 in the vertical direction. Therefore, the overhead traveling vehicle 2 can deliver articles to the load port 14 and the buffer 10 even if the tracks 6 and 8 and the load port 14 are arranged so as to overlap in the vertical direction.
  • the buffer 10 includes an elevator 34 and a shelf holder 36, and 38 is a rail for the local carriage 4 to move in the buffer 10, and is provided on the elevator 34 and the shelf holder 36.
  • the local carriage 4 moves up and down in the buffer 10 by the elevator 34, travels along the rail 38, and enters and exits between the shelf holder 36 and the elevator 34.
  • the local carriage 4 moves the elevator 22 up and down and transfers the article 20 to and from the shelf holder 36.
  • the local carriage 4 travels between the portion directly above the load port 14 and the shelf holder 36 inside the buffer 10.
  • the overhead traveling vehicle 2 carries the article 20 into the carry-in cell 40 and carries the article 20 from the carry-out cell 42.
  • Reference numeral 44 denotes a container for the buffer 10.
  • the buffer 10 has a large capacity because the shelf supports 36 can be arranged vertically and horizontally.
  • the trajectory 8 extends from the top of the buffer 10 to the cell 37 at the second stage, and more generally to the cells excluding the uppermost cell.
  • the carry-in / out of the article 20 by the overhead traveling vehicle 2 and the carry-in / out of the article 20 to / from the load port by the local carriage 4 do not compete. .
  • an empty space for, for example, one stage of the article 20 is generated above the track 8, and the overhead traveling vehicle 2 uses this space as a buffer 35.
  • the buffer 10 is shared among a plurality of processing apparatuses, the chain line trajectory 30 in FIG. 1 is provided.
  • the track 8 When it is desired to increase the difference in height between the load port 14 and the track 8, the track 8 is connected to the loading cell 40.
  • the track 8 When the track 8 is connected to the unloading cell 42, when the local cart 4 travels to the upper part of the load port 14, an article prepared for unloading is unloaded first from the unloading cell 42, and then the local cart 4 is loaded to the load port 14. It will run to the top of the.
  • the track 8 is connected to the carry-in cell 40, such trouble does not occur.
  • the traveling direction of the local carriage 4 in the buffer 10 is parallel to the direction of the track 8 (longitudinal direction of the buffer 10).
  • the buffer 50 of the modification which made these orthogonally cross is shown in FIG. 3, FIG. 4, and the buffer 50 is suitable for installing in the clearance gap between processing apparatuses.
  • the buffer 50 of the modified example is the same as the buffer 10 of FIGS.
  • the traveling direction of the local carriage 4 changes by 90 ° inside and outside the buffer 50. Therefore, a turntable 52 is provided on the second stage cell 37 from the position connected to the track 8 to support the rail 38, and the rail 38 in the cell 37 is rotated by 90 °. Since the overhead traveling vehicle 2 has one cell vertically overlapping the track 6, the overhead traveling vehicle 2 carries in and out articles from the carry-in / out cell 54.
  • FIG. 5 shows a second embodiment, in which 60 is a new buffer, and for example, shelf supports 62 are arranged in the vertical direction and the horizontal direction to support the article 20.
  • 60 is a new buffer, and for example, shelf supports 62 are arranged in the vertical direction and the horizontal direction to support the article 20.
  • a moving unit 68 including a fork 70 moves along the horizontal guide 66.
  • the moving unit 68 moves vertically and horizontally as a whole, and the articles 20 can be transferred to and from an arbitrary shelf holder 62 by moving the fork 70 up and down together with the moving unit 68.
  • the lifting guide 64, the horizontal guide 66, etc. are arranged on the heel side, and the shelf holder 62 is arranged on the near side.
  • the fork 70 can be lifted and lowered without interfering with the article 20 on the shelf support 62.
  • the fork 70 is moved horizontally by making the upper surface of the fork 70 lower than the bottom surface of the shelf holder 62, the fork 70 can be disposed below the desired shelf holder 62. Then, by raising the fork 70, the article 20 is loaded onto the fork 70 from the shelf holder 62.
  • the fork 70 can be moved to a desired height by returning the fork 70 to the vicinity of the lifting guide 64 and moving the lifting body 65 up and down.
  • the bottom surface of the fork 70 is made higher than the upper surface of the shelf receiver 62, the fork is moved onto the shelf receiver 62, and then lowered to bring the article 20 onto the shelf receiver 62.
  • the return from here is the same as in the case of loading. Since the moving unit 68 cannot also be used as a local carriage, for example, the track 8 is extended into the cell 37 in the second stage from the top, and the article 20 is transloaded between the moving unit 68 and the local carriage 4 via the cell 37.
  • FIG. 6 shows a second modification, which is the same as the embodiment of FIG.
  • the buffer 60 ′ is disposed in the gap between the processing devices 12 and 12.
  • the buffer 60 ' unlike the modified examples of FIGS. 3 and 4, no turntable is required.
  • a plurality of shelves 62 are arranged in the vertical direction and in the depth direction between the processing devices 12 and 12 (the left-right direction in FIG. 6).
  • FIG. 7 shows a third embodiment, which is the same as the embodiment of FIGS.
  • a buffer 80 is provided near the ceiling in the passage of the clean room and at the same height parallel to the track 8.
  • the rail 26 is provided on the upper stage of the buffer 80, the local carriage 4 travels, and a plurality of cells (not shown) including shelf holders are provided on the lower stage to support the article 20.
  • a bridge 82 is provided to connect the track 8 on the front surface of the processing apparatus 12 and the buffer 80, and a shifter 84 including the rail 26 moves in the bridge 82 between the track 8 side and the buffer 80 side.
  • the capacity of the buffer can be increased.
  • the buffer 80 has a large capacity because there is no position where the buffer cannot be provided for the load port 14.
  • the buffer capacity can be increased.
  • the track 8 is connected to the cell 37, etc., other than the cells 40, 42, 54 for carrying in / out of the overhead traveling vehicle 2
  • the article is carried in / out by the overhead traveling vehicle 2 and the load port by the local carriage 4 is connected.
  • both the overhead traveling vehicle 2 and the local cart 4 may carry articles in and out of the buffer and the load port.
  • the buffer 35 is not provided in the upper part of the track 8 immediately above the load port 14.

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Description

搬送システム及び搬送システムでの物品の一時保管方法
　この発明は搬送システム及び搬送システムでの物品の一時保管方法に関し、特に天井走行車とローカル台車とバッファ及びロードポートを備えた搬送システムでの物品の一時保管に関する。
　発明者は、天井走行車の走行レールの直下でかつロードポートの直上にローカル台車の軌道を配置すると共に、ロードポートの直上部を除いてローカル台車の軌道の直下にバッファを配置する搬送システムを提案した（特許文献１：EP2450297A）。このシステムでは、ローカル台車がロードポートへ物品を搬出入するので、天井走行車が到着するのを待たずにロードポートから物品を搬出入できる。そして例えば天井走行車はバッファとの間で物品を搬出入し、ローカル台車はバッファとロードポートとの間で物品を搬出入する。特許文献２（JP2011-207621A）も類似のシステムを提案している。
　物品の一時保管に関して他の先行技術を説明する。特許文献３（US2011/31091A）は、棚の間口を上下に配列し、エレベータに搭載したドーリー台車を間口に出入りさせるようにしたバッファを開示している。天井走行車が物品を搬出入できるように、このバッファをロードポートの付近に配置し、数個の物品を保管する。このようにすると、処理装置が必要とする物品を予めバッファまで搬入しておくことができる。特許文献４（JP2009-62153A）は、バッファ内に昇降自在なレールを設け、レールに沿ってフォークを備えた台車を走行させることを開示している。このバッファでは、上下に棚の間口を配列し、レールの昇降と台車の走行とにより、棚へ物品を搬出入できる。特許文献４も、このバッファを天井走行車システムに接続して、ロードポートの付近に配置することを開示している。
EP2450297A JP2011-207621A US2011/31091A JP2009-62153A
　しかしながら特許文献１のシステムでバッファの容量を大きくすると、ローカル台車の軌道が長くなる。このためバッファの容量に限界がある。この点について特許文献２は、天井走行車から物品を横移動させて搬出入するバッファを設けることを提案している。しかしこのバッファにローカル台車がアクセスできるようにするには、ローカル台車に物品を横移動させる機構が必要である。一方、特許文献３，４のバッファはローカル台車と接続するように構成されていない。
　この発明の課題は、天井走行車の軌道の直下にローカル台車の軌道が設けられている搬送システムにおいて、バッファの容量を大きくすることにある。
　この発明の追加の課題は、天井走行車のバッファへの物品の搬出入と、ローカル台車によるロードポートとバッファ間の物品の搬送とが競合しないようにすることにある。
　この発明の搬送システムでは、天井走行車とローカル台車が共に同じ移載先との間で物品を移載し、
　天井走行車の軌道と、
　天井走行車の軌道の直下にあるローカル台車の軌道と、
　天井走行車の軌道とローカル台車の軌道との双方の直下にある移載先と、
　天井走行車の軌道を走行すると共に、物品を支持しながら昇降させる昇降台を有する天井走行車と、
　ローカル台車の軌道を走行すると共に、物品を支持しながら昇降させる昇降台を有するローカル台車と、
　ローカル台車の軌道の直下以外に設けられ、前記ローカル台車の軌道と接続されて、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在なバッファ、とが設けられ、
　前記バッファは、
　　物品を収容する複数のセルと、
　　前記天井走行車の軌道の下方に設けられて、天井走行車が物品を搬出入するための搬出入用のセルと、
　　セル間で物品を搬送するための搬送手段、とを備えている。
　この発明の搬送システムでの物品の一時保管方法では、
　天井走行車の軌道と、
　天井走行車の軌道の直下にあるローカル台車の軌道と、
　天井走行車の軌道とローカル台車の軌道との双方の直下にある移載先と、
　天井走行車の軌道を走行すると共に、物品を支持しながら昇降させる昇降台を有する天井走行車と、
　ローカル台車の軌道を走行すると共に、物品を支持しながら昇降させる昇降台を有するローカル台車とを備え、
　天井走行車とローカル台車が共に同じ移載先との間で物品を移載する、搬送システムのために、
　ローカル台車の軌道の直下以外の位置に、前記ローカル台車の軌道と接続されて前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在で、複数のセルと、バッファ内での物品の搬送手段とを有するバッファが設けられ、
　天井走行車はバッファの物品搬出入用のセルとの間で物品を搬出入し、
　バッファ内の搬送手段はバッファのセル間で物品を搬送し、
　ローカル台車はバッファのセルと前記移載先との間で物品を搬送する。
　この発明では、ローカル台車の軌道の直下以外にバッファを設けて、バッファの容量を増加させる。このバッファは、ローカル台車の軌道と接続されてローカル台車との間で物品を受け渡し自在で、かつ天井走行車の軌道の下方に搬出入用のセルを有して天井走行車との間でも物品を受け渡し自在である。そこで天井走行車－バッファ－ローカル台車の経路で物品を移動させることができ、天井走行車とローカル台車間のバッファとなる。なおこの明細書で、搬送システムに関する記載はそのまま搬送システムでの物品の一時保管方法にも当てはまる。
　好ましくは、前記移載先は物品を処理する処理装置のロードポートであり、前記ローカル台車の軌道がバッファ内に入り込んでいる。処理装置は例えば半導体の加工装置、検査装置である。このようにすると、天井走行車とローカル台車は共にロードポートとの間で物品を移載し、かつ多数の物品をバッファに収容できる。そしてローカル台車はバッファ内へ入り込み、物品をバッファとロードポートとの間で移動させる。
　好ましくは、前記複数のセルは上下方向と水平方向とに沿って前記バッファ内に配列され、かつローカル台車が走行自在なレールを備え、さらにいずれかのセル内へ前記ローカル台車の軌道が入り込み、バッファは、ローカル台車が走行自在なレールを備えるエレベータを有して、ローカル台車はエレベータを介してセル間を移動自在で、前記搬送手段は、セルのレールとエレベータとローカル台車とから成る。このようにすると、ローカル台車はエレベータを介してバッファ内の各セルへ入り込んで、物品を搬出入できる。そしてセルを例えば上下左右に配置できるので、大きな容量のバッファが得られる。
　また好ましくは、前記複数のセルは上下方向と水平方向とに沿って前記バッファ内に配列され、さらにいずれかのセル内へ前記ローカル台車の軌道が入り込み、バッファは、鉛直方向のガイドに沿って昇降する水平なガイドと、前記水平なガイドに沿って移動するフォークとを備え、前記搬送手段は、前記水平なガイドと前記フォークとから成る。上下方向と水平方向とに移動するフォークにより、セル間での物品の搬送ができ、いずれかのセルにローカル台車の軌道を入り込ませることにより、ローカル台車と各セルとの間で物品を移動できる。
　より好ましくは、前記ローカル台車の軌道が入り込んでいるセルは、前記搬出入用のセルよりも下方のセルである。このようにすると、天井走行車による物品の搬出入と、ローカル台車によるロードポートへの物品の搬出入とが競合しなくなる。
　また好ましくは、前記ローカル台車の軌道を第１の軌道として、前記バッファは、前記第１の軌道と平行に配置されたローカル台車の第２の軌道と、前記第２の軌道の直下に設けられたセルとを備え、さらに前記第１の軌道と前記第２の軌道との間でローカル台車を移動させるシフターを備えている。このようにすると第２の軌道の長さに応じた容量のバッファを備えたシステムが得られる。
実施例の搬送システムの側面図で、バッファの容器を切り欠いて示す。 実施例の搬送システムの平面図で、天井走行車の軌道を切り欠き、ローカル台車の軌道上のバッファを除いて示す。 変形例の搬送システムの側面図 変形例の搬送システムの平面図で、天井走行車の軌道を切り欠いて示す。 第２の実施例の搬送システムの部分切欠部付き側面図で、バッファの容器を切り欠いて示す。 第２の変形例の搬送システムの平面図で、天井走行車の軌道を切り欠いて示す。 第３の実施例の搬送システムの平面図で、天井走行車の軌道を切り欠いて示す。
　以下に本発明を実施するための最適実施例を示す。この発明の範囲は、特許請求の範囲の記載に基づき、明細書の記載とこの分野での周知技術とを参酌し、当業者の理解に従って定められるべきである。
　図１～図７に搬送システムの実施例と変形例とを示し、図１，図２に最初の実施例を示す。各図において、天井走行車２は例えば半導体工場内でFOUP等の物品２０を搬送し、ローカル台車４は、１個あるいは複数個の処理装置１２に対して、物品２０の供給と搬出とを行う。６は天井走行車の軌道で、走行レールと給電レールとから成り、８はローカル台車４の軌道で、図２などに示す一対のレール２６，２６から成る。また処理装置１２は１個～複数個のロードポート１４を備えている。１６はクリーンルームなどの天井で、支柱４５～４７により、軌道６，８とバッファ１０とが支持されている。天井走行車の軌道６が最も高い位置にあり、その直下にローカル台車の軌道８があり、ロードポート１４は軌道６，８の直下にある。
　処理装置１２はここでは加工装置の他に検査装置も含むものとし、処理装置１２の前面にはロードポート１４が設けられ、ロードポート１４との間で、天井走行車２、ローカル台車４、及び地上を移動する人が物品２０を受け渡しする。処理装置１２の前面にはロードポート１４の他に、図示しないディスプレイと操作パネルなどが設けられ、処理装置１２の稼働状況を監視し、かつ人手で処理装置１２を制御できるようにする。また天井走行車２，ローカル台車４は、吊持材２４により物品２０の頭部をチャックする昇降台１８，２２を昇降させて、物品２０を移載する。
　ローカル台車の軌道８はモノレールでも良いが、好ましくは一対のレール２６，２６から成り、レール２６，２６間の隙間２８の幅は物品２０の奥行きよりも大きく、物品２０は、天井走行車２の昇降台１８と共に、レール２６，２６間の隙間２８を鉛直方向に通過できる。これらのため、軌道６，８とロードポート１４とが鉛直方向に重なるように配置しても、天井走行車２はロードポート１４及びバッファ１０に対して物品の受け渡しができる。
　バッファ１０はエレベータ３４と棚受３６とを備え、３８はローカル台車４がバッファ１０内を移動するためのレールで、エレベータ３４と棚受３６とに設けられている。ローカル台車４は、エレベータ３４によりバッファ１０内を昇降し、レール３８に沿って走行して棚受３６とエレベータ３４間を出入りする。ローカル台車４は、昇降台２２を昇降させて、棚受３６との間で物品２０を移載する。そしてローカル台車４は、ロードポート１４の直上部とバッファ１０の内部の棚受３６との間を走行する。天井走行車２は搬入セル４０へ物品２０を搬入し、搬出セル４２から物品２０を搬出する。図１の太い矢印はエレベータ３４の昇降方向を、細い矢印は天井走行車２との間での物品２０の搬出入方向を示す。また４４はバッファ１０の容器である。バッファ１０は、棚受３６を上下左右に配列できるので、大容量である。
　バッファ１０の例えば上から２段目のセル３７へ、より一般的には最上段のセルを除くセルへ軌道８が延びている。搬入セル４０と搬出セル４２とを除くセルへ軌道８を接続することにより、天井走行車２による物品２０の搬出入と、ローカル台車４によるロードポートへの物品２０の搬出入とが競合しなくなる。このようにすると、軌道８の上部に物品２０の例えば１段分の空スペースが生じるので、このスペースをバッファ３５として天井走行車２が使用する。なおバッファ１０を複数の処理装置間で共有する場合、図１の鎖線の軌道３０を設ける。またロードポート１４と軌道８間の高さの差を大きくしたい場合、搬入セル４０に軌道８を接続する。搬出セル４２に軌道８を接続すると、ローカル台車４がロードポート１４の上部へ走行する場合、搬出用に用意してある物品を搬出セル４２から先に搬出し、次いでローカル台車４がロードポート１４の上部へ走行することになる。これに対して搬入セル４０に軌道８を接続すると、このような手間が生じない。
　図１，図２の実施例では、バッファ１０内でのローカル台車４の走行方向と、軌道８の方向（バッファ１０の長手方向）とが平行である。これに対して、これらを直交させた変形例のバッファ５０を図３，図４に示し、バッファ５０は処理装置間の隙間等に設置するのに適している。変形例のバッファ５０は、特に指摘する点以外は、図１，図２のバッファ１０と同様である。ローカル台車４の走行方向はバッファ５０の内外で９０°変化する。そこで軌道８に接続した上から第２段のセル３７にターンテーブル５２を設けて、レール３８を支持させ、セル３７内のレール３８を９０°回転させる。また天井走行車２の軌道６と上下に重なるセルは１個なので、天井走行車２は搬出入セル５４から物品の搬入と搬出とを行う。
　図５は第２の実施例を示し、６０は新たなバッファで、例えば上下方向と左右方向とに棚受６２が配列されて、物品２０を支持する。バッファ６０内に棚受６２の無い空スペースが有り、このスペースに昇降ガイド６４が設けられて、水平ガイド６６を取り付けた昇降体６５が昇降する。水平ガイド６６に沿って、フォーク７０を備えた移動部６８が移動する。移動部６８は全体として上下左右に移動し、フォーク７０を移動部６８と共に昇降させることにより、任意の棚受６２との間で物品２０を移載できる。
　図５の紙面に垂直な方向に沿って、昇降ガイド６４、水平ガイド６６等は奧側に、棚受６２は手前側に配置されている。そして移動部６８を昇降体６５側へ復帰させると、フォーク７０は棚受６２上の物品２０と干渉せずに昇降できる。またフォーク７０の上面を棚受６２の底面よりも低くして、フォーク７０を水平移動させると、フォーク７０を所望の棚受６２の下部へ配置できる。そしてフォーク７０を上昇させることにより、物品２０を棚受６２からフォーク７０上へ荷積みする。次いで、フォーク７０を昇降ガイド６４の付近へ復帰させ、昇降体６５を昇降させることにより、フォーク７０を所望の高さへ移動させることができる。棚受６２へ物品を荷下ろしする場合、フォーク７０の底面を棚受６２の上面よりも高くして、フォークを棚受６２の上へ移動させ、次いで下降させると、物品２０を棚受６２上へ荷下ろしできる。ここからの復帰は、荷積みの場合と同様である。移動部６８はローカル台車を兼用できないので、例えば上から２段目のセル３７内へ軌道８を延ばし、セル３７を介して移動部６８とローカル台車４の間で物品２０を積み替える。
　図６は第２の変形例を示し、特に指摘する点以外は図５の実施例と同様である。バッファ６０’は処理装置１２，１２間の隙間に配置されている。そしてバッファ６０’では、図３，図４の変形例とは異なり、ターンテーブルは不要である。棚受６２は鉛直方向と処理装置１２，１２間の奥行き方向（図６の左右方向）とに、各々複数個ずつ配置する。
　図７は第３の実施例を示し、特に指摘する点以外は図１，図２の実施例と同様である。クリーンルームの通路内の天井付近に、軌道８と平行で同じ高さに、バッファ８０が設けられている。バッファ８０の上段にレール２６が設けられて、ローカル台車４が走行し、棚受を備える図示しないセルが下段に複数設けられて、物品２０を支持する。処理装置１２の前面の軌道８とバッファ８０とを接続するため、ブリッジ８２が設けられ、レール２６を備えるシフター８４が軌道８側とバッファ８０側との間で、ブリッジ８２内を移動する。この実施例では、軌道８の直下のバッファとバッファ８０とを利用できるので、バッファの容量を大きくできる。特にバッファ８０では、ロードポート１４のためにバッファを設けることができない位置が無いので、大容量である。
　実施例では以下の効果が得られる。
1)　バッファの容量を大きくできる。
2)　天井走行車２との搬出入用のセル４０，４２，５４以外の、セル３７等に軌道８を接続すると、天井走行車２による物品の搬出入と、ローカル台車４によるロードポートへの搬出入とが競合しない。
3)　なお天井走行車からの物品の搬入用のセル４０に軌道８を接続しても、天井走行車２とローカル台車４との競合を少なくできる。
　物品の搬出入は、ロードポートへはローカル台車のみが物品を搬出入し、ローカル台車４と天井走行車２がバッファを介して物品をやり取りする例を説明した。しかし天井走行車２もローカル台車４も、共にバッファとロードポートとに物品を搬出入するようにしても良い。その場合、ロードポート１４の直上部では、軌道８の上部にバッファ３５を設けないようにする。
２　天井走行車　　４　ローカル台車　　６　天井走行車の軌道
８　ローカル台車の軌道　　９　レール　　１０　バッファ
１２　処理装置　　１４　ロードポート　　１６　天井
１８，２２　昇降台　　２０　物品　　２４　吊持材　　２６　レール
２８　隙間　　３０　軌道　　３４　エレベータ　　３５　バッファ
３６　棚受　　３７　セル　　３８　レール　　４０　搬入セル
４２　搬出セル　　４４　容器　　４５～４７　支柱　　５０　バッファ
５２　ターンテーブル　　５４　搬出入セル　　６０　バッファ
６２　棚受　　６４　昇降ガイド　　６５　昇降体　　６６　水平ガイド
６８　移動部　　７０　フォーク　　８０　バッファ
８２　ブリッジ　　８４　シフター

Claims (8)

  1. 　天井走行車とローカル台車が共に同じ移載先との間で物品を移載する、搬送システムであって、
    　天井走行車の軌道と、
    　天井走行車の軌道の直下にあるローカル台車の軌道と、
    　天井走行車の軌道とローカル台車の軌道との双方の直下にある移載先と、
    　天井走行車の軌道を走行すると共に、物品を支持しながら昇降させる昇降台を有する天井走行車と、
    　ローカル台車の軌道を走行すると共に、物品を支持しながら昇降させる昇降台を有するローカル台車と、
    　ローカル台車の軌道の直下以外に設けられ、前記ローカル台車の軌道と接続されて、前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在なバッファ、とを備え、
    　前記バッファは、
    　　物品を収容する複数のセルと、
    　　前記天井走行車の軌道の下方に設けられて、天井走行車が物品を搬出入するための搬出入用のセルと、
    　　セル間で物品を搬送するための搬送手段、とを備えている搬送システム。
  2. 　前記移載先は物品を処理する処理装置のロードポートであり、
    　前記ローカル台車の軌道がバッファ内に入り込んでいることを特徴とする、請求項１の搬送システム。
  3. 　前記複数のセルは上下方向と水平方向とに沿って前記バッファ内に配列され、かつローカル台車が走行自在なレールを備え、さらにいずれかのセル内へ前記ローカル台車の軌道が入り込み、
    　バッファは、ローカル台車が走行自在なレールを備えるエレベータを有して、ローカル台車はエレベータを介してセル間を移動自在で、
    　前記搬送手段は、セルのレールとエレベータとローカル台車とから成ることを特徴とする、請求項２の搬送システム。
  4. 　前記複数のセルは上下方向と水平方向とに沿って前記バッファ内に配列され、さらにいずれかのセル内へ前記ローカル台車の軌道が入り込み、
    　バッファは、鉛直方向のガイドに沿って昇降する水平なガイドと、前記水平なガイドに沿って移動するフォークとを備え、
    　前記搬送手段は、前記水平なガイドと前記フォークとから成ることを特徴とする、請求項２の搬送システム。
  5. 　前記ローカル台車の軌道が入り込んでいるセルは、前記搬出入用のセルよりも下方のセルであることを特徴とする、請求項３の搬送システム。
  6. 　前記ローカル台車の軌道が入り込んでいるセルは、前記搬出入用のセルよりも下方のセルであることを特徴とする、請求項４の搬送システム。
  7. 　前記ローカル台車の軌道を第１の軌道として、前記バッファは、前記第１の軌道と平行に配置されたローカル台車の第２の軌道と、前記第２の軌道の直下に設けられたセルとを備え、さらに前記第１の軌道と前記第２の軌道との間でローカル台車を移動させるシフターを備えていることを特徴とする、請求項２の搬送システム。
  8. 　天井走行車の軌道と、
    　天井走行車の軌道の直下にあるローカル台車の軌道と、
    　天井走行車の軌道とローカル台車の軌道との双方の直下にある移載先と、
    　天井走行車の軌道を走行すると共に、物品を支持しながら昇降させる昇降台を有する天井走行車と、
    　ローカル台車の軌道を走行すると共に、物品を支持しながら昇降させる昇降台を有するローカル台車とを備え、
    　天井走行車とローカル台車が共に同じ移載先との間で物品を移載する、搬送システムのために、
    　ローカル台車の軌道の直下以外の位置に、前記ローカル台車の軌道と接続されて前記ローカル台車との間で物品を受け渡し自在で、複数のセルと、バッファ内での物品の搬送手段とを有するバッファが設けられ、
    　天井走行車はバッファの物品搬出入用のセルとの間で物品を搬出入し、
    　バッファ内の搬送手段はバッファのセル間で物品を搬送し、
    　ローカル台車はバッファのセルと前記移載先との間で物品を搬送する、
    搬送システムでの物品の一時保管方法。
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