[go: up one dir, main page]

WO2013161640A1 - 流体制御装置 - Google Patents

流体制御装置 Download PDF

Info

Publication number
WO2013161640A1
WO2013161640A1 PCT/JP2013/061369 JP2013061369W WO2013161640A1 WO 2013161640 A1 WO2013161640 A1 WO 2013161640A1 JP 2013061369 W JP2013061369 W JP 2013061369W WO 2013161640 A1 WO2013161640 A1 WO 2013161640A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
passage
row
fluid control
block
rows
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
PCT/JP2013/061369
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
敏之 稲田
隆博 松田
睦典 小艾
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujikin Inc
Original Assignee
Fujikin Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujikin Inc filed Critical Fujikin Inc
Priority to KR1020147030997A priority Critical patent/KR101710769B1/ko
Priority to CN201380021762.3A priority patent/CN104704283B/zh
Priority to US14/395,850 priority patent/US9850920B2/en
Publication of WO2013161640A1 publication Critical patent/WO2013161640A1/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Ceased legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0807—Manifolds
    • F15B13/0817—Multiblock manifolds
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K27/00—Construction of housing; Use of materials therefor
    • F16K27/003—Housing formed from a plurality of the same valve elements
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0807—Manifolds
    • F15B13/0814—Monoblock manifolds
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0871—Channels for fluid
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
    • F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
    • F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
    • F15B13/06—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with two or more servomotors
    • F15B13/08—Assemblies of units, each for the control of a single servomotor only
    • F15B13/0803—Modular units
    • F15B13/0878—Assembly of modular units
    • F15B13/0896—Assembly of modular units using different types or sizes of valves
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/8593—Systems
    • Y10T137/877—With flow control means for branched passages
    • Y10T137/87885—Sectional block structure

Definitions

  • the present invention relates to a fluid control device, and more particularly, to a fluid control device formed by a plurality of fluid control devices and a plurality of passage blocks.
  • a pipe or a joint is formed by arranging a line in which a plurality of fluid control devices are arranged adjacent to each other and attached to a support member in parallel on a base member. Integration that constitutes a fluid control device without intervention is in progress.
  • Patent Document 1 as such a fluid control device, an upper layer formed by arranging a plurality of fluid control devices arranged in series in a plurality of rows, and a plurality of upper layers. And a lower layer having a plurality of passage blocks for connecting the fluid control device.
  • FIG. 12 shows a conventional fluid control device targeted by the fluid control device of the present invention.
  • FIG. 12 shows one row of the upper layer and the lower layer arranged in a plurality of rows in parallel.
  • the conventional fluid control device includes, as a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage, from the left side (inlet side), the inlet side third on-off valve (91), the pressure regulator (92), the filter (93), the inlet side first A 1 on-off valve (94), an inlet side second on-off valve (95), a mass flow controller (96) and an outlet side first on-off valve (97) are used.
  • a pipe (103) for supplying process gas is connected to the inlet-side third on-off valve (91).
  • the mass flow controller (96) is composed of a mass flow controller main body (96a), and inlet side and outlet side protruding portions (96b) (96c) provided on both side surfaces of the mass flow controller main body (96a).
  • Each fluid control device (91), (92), (93), (94), (95), (96), and (97) has a passage that opens downward, and a plurality of various shapes are arranged in the lower stage. Are connected by block joints (or passage blocks).
  • the conventional fluid control device has a V-shaped passage (99a) as a plurality of block joints (passage blocks) and has adjacent fluid control devices (91) (92) (93) (94) (95) (96b) (96c) (97) is connected between the six block joints (99) and the two block joints (99) having the V-shaped passage (99a), and the inlet side second on-off valve (95) is provided.
  • a block joint (100) to be supported and a block joint (101) with a pipe joint (101a) supporting the outlet side end of the outlet side first on-off valve (97) are provided.
  • the block joint (101) is provided over all of the plurality of lines (sometimes referred to as “manifold block joint”), and other block joints (99) are provided separately for each line. Parts are used.
  • the manifold block joint (100) is normally used as a purge gas line, and the manifold block joint (101) is used as a process gas line and a purge gas line.
  • the block joint (99) having the V-shaped passage (99a) is connected to the adjacent fluid control devices (91) (92) (93) (94) (95) (96b) (96c ) (97) is connected, there is a problem that the number increases.
  • the size of the manifold block joints (100) (101) provided over all of the plurality of lines is set according to the number of rows, and when the number of rows increases or decreases, the manifold block joints (100) (101) There was a problem that it was necessary to change (100) (101).
  • connection between the lower layer block joint (99) and the upper layer fluid control device (91) (92) (93) (94) (95) (96b) (96c) (97) is via a seal.
  • the number of seal portions increases.
  • the conventional fluid control apparatus has a problem that the number of parts is increased, and it takes much time to make changes such as increasing or decreasing the number of rows.
  • An object of the present invention is to provide a fluid control device capable of easily making changes such as reducing the number of parts and increasing or decreasing the number of rows.
  • the fluid control apparatus includes an upper layer formed by arranging one row in which a plurality of fluid control devices are arranged in series in parallel, and a plurality of fluid control devices in the upper layer. And a lower layer having a plurality of passage blocks for connecting to each other, the passage block of the lower layer has at least one double row passage block arranged over a plurality of rows
  • the double-row passage block supports at least two fluid control devices over at least two rows of a part of all the rows of the upper layer, and the double-row passage block has a series shape in the double-row passage block.
  • One row of the upper tier includes, for example, a flow controller as a main component, two on-off valves arranged on the inlet side of the flow controller, and one on-off arranged on the outlet side of the flow controller It consists of a valve.
  • a filter, a pressure regulator, etc. are added to the upper layer as needed.
  • a thermal mass flow controller such as a mass flow controller or a pressure flow controller called FCS is used.
  • the multi-row passage block is, for example, for 2-row, 3-row, 4-row, 5-row, etc., and may be one kind of these, or two or more kinds may be used.
  • “Over a part of at least two rows of all the rows in the upper layer” means, for example, when the upper layer has six rows, instead of using a multi-row passage block for six rows, for two rows Means three, three for three rows, or one for two rows and one for four rows.
  • the passage blocks that is, manifold block joints
  • the size is set according to the number of rows. Therefore, for example, when the number of rows increases or decreases (for example, when the number of rows is changed from 6 to 8), it is necessary to change the manifold block joint.
  • the existing 6 rows (3 for 2 rows, 2 for 3 rows, or 1 for 2 rows and 1 for 4 rows) are left as they are, Two new rows can be formed using double row passage blocks for two rows. Therefore, the time and labor of change is reduced.
  • the connection between adjacent rows can be made in the multi-row passage block, so that the number of seal portions can be reduced.
  • a lower layer passage block it further includes a single row passage block that supports at least two upper members supported by the double row passage block for one row, and includes at least one multiple row passage block, and It is preferable that at least one single row passage block is used in combination.
  • the passages opened on the upper surfaces of the passage blocks in adjacent rows are connected by an inverted U-shaped pipe.
  • a fluid control device in the upper layer has a flow controller for controlling the flow rate provided with overhangs on the inlet and outlet sides of the flow controller body, and two types of double-row passage blocks are used.
  • the at least two fluid control devices supported by the first double-row passage block are the inlet side overhanging portion of the flow rate controller and the two inlet side opening / closing valves arranged in series therewith.
  • the at least two fluid control devices supported by the second double-row passage block may be an outlet side overhang portion of the flow rate controller and one outlet side on-off valve arranged in series therewith. preferable.
  • the flow rate controller and the on-off valve provided at the inlet / outlet have a basic configuration, and the number of parts in this portion is reduced by using a multi-row passage block. The number of parts in the whole can be greatly reduced.
  • a passage block having a V-shaped passage is used as a lower layer passage block in order to perform series connection, and a passage block having such a V-shaped passage may be used. It does not have to be.
  • top and bottom refer to the top and bottom of FIG. 1.
  • the top and bottom are for convenience, and the fluid control device of the present invention can be used either horizontally or vertically.
  • the double row passage block supporting at least two fluid control devices over at least two rows of a part of all rows of the upper layer, Reduction is possible.
  • a lateral passage for communicating the passages of the fluid control devices in adjacent rows is provided in the passage block for double rows, so that connections between adjacent rows can be made in the passage block for multiple rows. This can be done and the number of seals can be reduced.
  • FIG. 1 is a side view showing an embodiment of a fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIG. 2 is a side view showing another embodiment of the fluid control apparatus according to the present invention.
  • FIG. 3 is a view showing one embodiment of a first double-row passage block used in the fluid control apparatus according to the present invention together with an inlet-side on-off valve, wherein (a) is a side view, and (b) is a side view. It is a top view.
  • 4A and 4B are views showing the first double-row passage block from which the inlet side opening / closing valve is removed from FIG. 3, wherein FIG. 4A is a side view and FIG. 4B is a plan view.
  • FIG. 4A is a side view
  • FIG. 4B is a plan view.
  • FIG. 5 is a view showing one embodiment of a second double-row passage block used in the fluid control apparatus according to the present invention together with an outlet side on-off valve, wherein (a) is a side view, and (b) is a side view. It is a top view.
  • 6A and 6B are views showing a second double-row passage block in which the outlet side opening / closing valve is removed from FIG. 5, in which FIG. 6A is a side view and FIG. 6B is a plan view.
  • FIG. 7 is a view showing one embodiment of a first single-row passage block used in the fluid control apparatus according to the present invention together with an inlet-side on-off valve, where (a) is a side view, and (b) is a side view. It is a top view.
  • FIGS. 10A and 10B are views showing the first single-row passage block from which the inlet side opening / closing valve is removed from FIG. 7, wherein FIG. 8A is a side view and FIG. 8B is a plan view.
  • FIG. 9 is a view showing one embodiment of a second single-row passage block used in the fluid control apparatus according to the present invention, together with an outlet-side on-off valve, wherein (a) is a side view, and (b) is a side view. It is a top view.
  • FIGS. 10A and 10B are views showing a second single-row passage block from which the outlet-side on-off valve is removed from FIG. 9, wherein FIG. 10A is a side view and FIG. 10B is a plan view.
  • FIG. 11 is a perspective view showing an example of a configuration for connecting adjacent passage blocks in parallel.
  • FIG. 12 is a side view showing a conventional fluid control apparatus.
  • FIG. 1 shows a first embodiment of the fluid control apparatus of the present invention.
  • the fluid control device is used in a semiconductor manufacturing device or the like, and an upper layer formed by arranging a plurality of fluid control devices arranged in series in a plurality of rows, and an upper layer And a lower layer having a plurality of passage blocks for connecting a plurality of fluid control devices.
  • FIG. 1 one row of fluid control devices is shown.
  • One row (1) of the fluid control device includes, as a plurality of fluid control devices arranged in the upper stage, in order from the left side (inlet side), an inlet side third on-off valve (11), a pressure regulator (12), a filter ( 13) An inlet-side first on-off valve (14), an inlet-side second on-off valve (15), a mass flow controller (16), and an outlet-side on-off valve (17) are used.
  • a pipe (23) for supplying process gas is connected to the inlet-side third on-off valve (11).
  • the mass flow controller (16) includes a mass flow controller main body (16a) and an inlet side overhanging portion (16b) and an outlet side overhanging portion (16c) provided on both side surfaces of the mass flow controller main body (16a).
  • the inlet of the mass flow controller (16) is provided in the inlet side overhanging portion (16b), and the outlet of the mass flow controller (16) is provided in the outlet side overhanging portion (16c).
  • Each fluid control device (11), (12), (13), (14), (15), (16), and (17) has a passage that opens downward, and the passages have various shapes arranged in the lower stage. Connected by blocks.
  • the fluid control device is arranged as a plurality of passage blocks arranged in the lower stage and supporting the upper layer fluid control device (11) (12) (13) (14) (15) (16b) (16c) (17), Two block joints (passage block) (20) having a V-shaped passage (20a) and connecting adjacent fluid control devices (inlet side third on-off valve (11), pressure regulator (12) and filter (13)) And the lower stage corresponding to the outlet side end of the filter (13), the inlet side first on-off valve (14), the inlet side second on-off valve (15), and the inlet side overhanging part (16b) of the mass flow controller (16)
  • the first multi-row passage block (21) which is a member, and the lower member corresponding to the outlet side overhanging portion (16c) and the outlet side opening / closing valve (17) of the mass
  • the block joint (20) having the V-shaped passage (20a), the inlet side third on-off valve (11), the pressure regulator (12), and the filter (13) are coupled by a bolt (30) from above. .
  • an inlet side overhanging portion (16b) and an outlet side overhanging portion (16c) of the mass flow controller (16), a first multi-row passage block (21), and a second multi-row passage block (22) Are connected by bolts (30) from above.
  • the inlet-side first on-off valve (14), the inlet-side second on-off valve (15), and the first multi-row passage block (21) are a block valve type that is screwed and integrated without using bolts. ing.
  • the outlet side on-off valve (17) and the second multi-row passage block (22) are of a block valve type in which they are screwed together without using bolts.
  • the first multi-row passage block (21) and the second multi-row passage block (22) are characteristic portions of the fluid control device, as will be described later.
  • FIG. 2 shows a second embodiment of the fluid control apparatus of the present invention.
  • the mass flow controller (caloric flow controller), which is a flow controller, is changed to an FCS (pressure flow controller) as compared to the first embodiment.
  • FCS pressure flow controller
  • the inlet side first on-off valve (14), the inlet side second On-off valve (15), FCS (18) and outlet side on-off valve (17) are used.
  • the FCS (18) includes an FCS main body (18a) and overhang portions (18b) (18c) provided on both side surfaces of the FCS main body (18a).
  • the inlet of the FCS (18) is provided in the inlet side overhanging part (18b), and the outlet of the FCS (18) is provided in the outlet side overhanging part (18c).
  • the inlet-side first on-off valve (14) is also provided as a plurality of passage blocks arranged at the lower stage and supporting the upper-layer fluid control devices (14) (15) (18b) (18c) (17). ), A first multi-row passage block (21) which is a lower member corresponding to the inlet-side second on-off valve (15) and the inlet-side overhanging portion (18b) of the FCS (18), and the FCS (18 ) Outlet-side overhanging portion (18c) and second-row passage block (22) corresponding to the outlet-side on-off valve (17).
  • the process gas supply pipe (24) is connected to the first multi-row passage block (21).
  • the first multi-row passage block (21) and the second multi-row passage block (22) in the second embodiment have the same configuration as that of the first embodiment, and these are the same in the second embodiment. This is a characteristic part of the fluid control device.
  • FIG. 3 shows a state in which the inlet-side first on-off valve (14) and the inlet-side second on-off valve (15) are attached
  • FIG. 4 shows a state in which they are removed.
  • the first double-row passage block (21) includes an inlet side overhanging portion (16b) (18b) of a flow rate controller (16) (18) as an upper member and two inlets arranged in series therewith. Side open / close valves (14) and (15) are supported over three rows.
  • the first double-row passage block (21) has a first opening and closing of the first row so as to correspond to the first row (rows (1) and (2) shown in FIGS. 1 and 2).
  • a sixth passage (36) is provided which extends upward from the vicinity of the end of the three passages (33) and opens on the upper surface.
  • the first double-row passage block (21) has a seventh passage (37) leading to the inlet port (14a) of the first on-off valve (14) in the second row so as to correspond to the second row. And an eighth passage (38) branched from the seventh passage (37) and opened to the upper surface in the vicinity of the inlet end, and an outlet port (14b) of the first opening / closing valve (14) in the second row.
  • the first double row passage block (21) has a thirteenth passage (43) leading to the inlet port (14a) of the first on-off valve (14) in the third row so as to correspond to the third row.
  • a fourteenth passage (44) branched from the thirteenth passage (43) and opened to the upper surface in the vicinity of the inlet end, and a first passage leading to the outlet port (14b) of the first on-off valve (14) in the third row.
  • the fifth passage (35), the eleventh passage (41), the seventeenth passage (47) and the eighteenth passage (48) are portions corresponding to the conventional manifold block joint (100), and are adjacent to the fluid control devices in the adjacent rows.
  • the second on-off valve (15) serves as a lateral passage for communicating with each other, and is used as a purge gas line. Except for these lateral passages (35), (41), (47), and (48), a longitudinal passage is formed to connect the passages of the fluid control device arranged in series.
  • the second double-row passage block (22) shown in FIG. 5 and FIG. 6 includes an outlet side overhanging portion (16c) (18c) of a flow rate controller (16) (18) as an upper member and a series shape thereof.
  • the outlet-side on-off valve (17) disposed in is supported over three rows.
  • an inlet port (17) of the first-row outlet-side on-off valve (17) opens to the upper surface near the inlet-side end so as to correspond to the first row.
  • the first passage (51) leading to 17a) and the second passage (52) opening to the upper surface near the outlet end and leading to the outlet port (17b) of the outlet-side on-off valve (17) in the first row Is provided.
  • the inlet port (17) of the second row outlet-side on-off valve (17) opens to the upper surface near the inlet side end so as to correspond to the second row.
  • the inlet port (17) of the third row outlet-side on-off valve (17) opens to the upper surface in the vicinity of the inlet-side end so as to correspond to the third row.
  • the portion of the conventional example corresponding to the place where the first double-row passage block (21) is used is V-shaped. Since there are three block joints (99) with passages (99a) in one row, there are nine in three rows, and a total of 10 block joints (99) (100) with manifold block joints (100) added to this. It is necessary. In the embodiment shown in FIG. 1, these block joints (99) and (100) are replaced by one first double row passage block (21), so that the number of parts is greatly reduced. .
  • the inlet-side first on-off valve (14) and the inlet-side second on-off valve (15) can be attached to the first double-row passage block (21) without providing a seal portion. Therefore, the conventional sealing part provided between the inlet side first on-off valve (94) and the inlet side second on-off valve (95) and the block joint (99) (100) can be eliminated.
  • the internal volume of the passage changes by using the first double row passage block (21) and the second double row passage block (22).
  • thick broken lines A ⁇ b> 1 and A ⁇ b> 2 correspond to the passage inner volumes on the inlet side and outlet side primary indicated by the thick broken lines J ⁇ b> 1 and J ⁇ b> 2 in FIG. 12 showing the conventional example.
  • the passage inner volumes on the inlet side and the outlet side primary shown are respectively reduced. It is preferable that the volume of the primary passage on the inlet side and the outlet side is as small as possible from the viewpoint of improving the gas replaceability and reducing the amount of impure gas released.
  • Use of the double-row passage blocks (21), (22) Therefore, the length of the passage can be minimized, and the internal volume can be reduced by 10 to 20% compared to the conventional case.
  • the first double-row passage block (21) and the second double-row passage block (22) for the three rows are used, the required number of rows It may not be possible.
  • the first single row passage block having a shape corresponding to the first double row passage block (21) and the second double row passage block (22) for the three rows. (25) and a second single row passage block (26) are used.
  • the first single row passage block (25) has a first passage (31) leading to the inlet port (14a) of the first on-off valve (14) of the first row. And a second passage (32) branched from the first passage (31) and opened to the upper surface near the inlet end, and a second passage leading to the outlet port (14b) of the first on-off valve (14) in the first row.
  • a sixth passage (36) is also provided.
  • the second single-row passage block (26) opens to the upper surface near the inlet-side end and opens to the inlet port (17) of the first-row outlet-side on-off valve (17).
  • the second single-row passage block (26) in combination, for example, five for three rows and one for single-row can be used for a total of 16 rows. It is also possible to use 4 rows and 4 single rows for a total of 16 rows. The latter is suitable, for example, when there are four lines of corrosive lines.
  • the first double-row passage block (21) and the second double-row passage block (22) are for three rows arranged over three rows. Is not limited to three rows, and may be a two-row passage block, a four-row passage block, and a five-row passage block.
  • FIG. 11 shows an example of connection between adjacent first double-row passage blocks (21) and first single-row passage blocks (25).
  • the passages opened on the upper surfaces of the passage blocks (21) and (25) in adjacent rows are connected by a first inverted U-shaped pipe (27) and a second inverted U-shaped pipe (28).
  • the opening connected is the opening of the fifth passage (35) of the first double row passage block (21) shown in FIGS. 3 and 4, and the first single row passage shown in FIGS. It is an opening of the fifth passage (35) of the block (25).
  • a pipe joint (29) for supplying purge gas is connected to the second inverted U-shaped pipe (28).
  • the reverse U-shaped pipes (27) and (28) and the fifth passage (35), the eleventh passage (41) and the seventeenth passage (47) in the double-row passage block (21) allow purge gas to flow in all rows. Supply becomes possible.
  • the double-row passage block (21) (22) and the single-row passage block (25) (26) It is easy to set the number of columns by using together, and the number of columns can be easily increased or decreased.
  • a fluid control device formed by a plurality of fluid control devices and a plurality of passage blocks, it is possible to easily make changes such as reducing the number of parts and increasing or decreasing the number of rows. Therefore, it is possible to provide a fluid control apparatus that is more suitable for use in a semiconductor manufacturing apparatus or the like.

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Valve Housings (AREA)
  • Pipeline Systems (AREA)

Description

流体制御装置
　この発明は、流体制御装置に関し、特に、複数の流体制御機器および複数の通路ブロックによって形成された流体制御装置に関する。
　半導体製造装置で使用される流体制御装置においては、複数の流体制御機器が隣り合うように配置されて支持部材に取り付けられたラインをベース部材上に並列状に設置することにより、パイプや継手を介さずに流体制御装置を構成する集積化が進んでいる。特許文献１には、このような流体制御装置として、複数の流体制御機器が直列状に配置された１つの列が複数並列状に配置されることにより形成された上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有している下段層とを備えたものが開示されている。
　図１２に、この発明の流体制御装置が対象とする従来の流体制御装置を示す。図１２は、複数列並列状に配置される上段層および下段層の１列分を示している。
　従来の流体制御装置は、上段に配置された複数の流体制御機器として、左側（入口側）から、入口側第３開閉弁(91)、プレッシャーレギュレータ(92)、フィルタ(93)、入口側第１開閉弁(94)、入口側第２開閉弁(95)、マスフローコントローラ(96)および出口側第１開閉弁(97)が使用されている。入口側第３開閉弁(91)には、プロセスガス供給用の配管(103)が接続されている。
　マスフローコントローラ(96)は、マスフローコントローラ本体(96a)と、マスフローコントローラ本体(96a)の両側面に設けられた入口側および出口側の張出部(96b)(96c)とからなる。
　各流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96)(97)は、下方に開口する通路を有しており、この通路が下段に配された種々形状の複数のブロック継手（または通路ブロック）によって接続される。従来の流体制御装置は、複数のブロック継手（通路ブロック）として、Ｖ字状通路(99a)を有し隣り合う流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96b)(96c)(97)を接続する６つのブロック継手(99)と、Ｖ字状通路(99a)を有する２つのブロック継手(99)の間に配されて入口側第２開閉弁(95)を支持するブロック継手(100)と、出口側第１開閉弁(97)の出口側端部を支持している管継手(101a)付きのブロック継手(101)とを備えている。
　２つのブロック継手(99)の間に配されて入口側第２開閉弁(95)を支持するブロック継手(100)および出口側第１開閉弁(97)の出口側端部を支持しているブロック継手(101)は、複数のラインの全てにわたって設けられているもの(「マニホールドブロック継手」と称されることがある）で、これ以外のブロック継手(99)は、各ラインごとに、別の部品が使用されている。マニホールドブロック継手(100)は、通常、パージガスラインとして使用され、マニホールドブロック継手(101)は、プロセスガスラインおよび、パージガスラインとして使用される。る。
特開２００２－３４９７９７号公報
　上記従来の流体制御装置によると、Ｖ字状通路(99a)を有するブロック継手(99)は、隣り合う流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96b)(96c)(97)を接続することから、数が多くなるという問題があった。また、複数のラインの全てにわたって設けられているマニホールドブロック継手(100)(101)は、列の数によって、その大きさが設定されており、列の数が増減する際には、マニホールドブロック継手(100)(101)を変更することが必要という問題があった。また、下段層のブロック継手(99)と上段層の流体制御機器(91)(92)(93)(94)(95)(96b)(96c)(97)との接続は、シール部を介して行う必要があり、シール部が多くなるという問題もあった。そのため、従来の流体制御装置では、部品数が多くなり、また、列の数を増減する等の変更を行うのに多くの手間がかかるという問題があった。
  この発明の目的は、部品数を削減し、列の数を増減する等の変更を容易に行うことができる流体制御装置を提供することにある。
  この発明による流体制御装置は、複数の流体制御機器が直列状に配置された１つの列が少なくとも３列並列状に配置されることにより形成された上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有している下段層とを備えた流体制御装置において、下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置された少なくとも１つの複列用通路ブロックを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって少なくとも２つの流体制御機器を支持しており、複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられていることを特徴とするものである。
　上段層の１つの列は、例えば、メインの構成要素となる流量制御器と、流量制御器の入口側に配置された２つの開閉弁と、流量制御器の出口側に配置された１つの開閉弁とからなるものとされる。上段層には、必要に応じて、フィルタ、プレッシャーレギュレータなどが追加される。流量制御器としては、マスフローコントローラのような熱式質量流量制御器やＦＣＳと称されている圧力式流量制御器などが使用される。
　複数列用通路ブロックは、例えば、２列用、３列用、４列用、５列用などとされ、これらのうちの１種類とされてもよく、２種類以上が使用されてもよい。
　複数列用通路ブロックを使用することで、下段層に必要な通路ブロックの数（部品数）を削減することができる。
　「上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって」は、例えば、上段層が６列の場合、６列用の複数列用通路ブロックを使用するのではなく、２列用を３つ、３列用を２つ、または、２列用と４列用とを１つずつ使用することを意味している。
　従来、複数列にわたって使用される通路ブロック（すなわちマニホールドブロック継手）は、全ての列にわたって配置されるものであるので、列の数によって、その大きさが設定されている。したがって、例えば、列の数が増減する際（例えば６列から８列に変更される際）には、マニホールドブロック継手を変更することが必要であった。この発明による流体制御装置では、上記の例では、既存の６列分（２列用３つ、３列用２つ、または、２列用と４列用１つずつ）は、そのままにして、２列用の複列用通路ブロックを使用して、新たな２列を形成することができる。したがって、変更の手間が低減する。
　また、複数列用通路ブロックの使用により、隣り合う列間の接続を複数列用通路ブロック内で行うことができるので、シール部の数を減らすことができる。
　下段層の通路ブロックとして、複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの上段部材を１列分だけ支持する単列用通路ブロックをさらに有しており、少なくとも１つの複数列用通路ブロックおよび少なくとも１つの単列用通路ブロックが併用されていることが好ましい。
　併用することで、種々の組合せが可能になり、列の数や配置などの要求仕様に容易に対応することができる。また、列の数を１つだけ増加する場合に対応するには、複数列用通路ブロックの組合せによっても対応は可能であるが、この場合には、既存の分を一部取り外すことが必要になることがあり、１つの単列用通路ブロックを使用することで、既存の分をそのまま残しての対応が可能になる。
　また、隣り合う列の通路ブロックの上面に開口する通路同士が逆Ｕ字状配管によって接続されていることが好ましい。
　逆Ｕ字状配管を使用することで、複列用通路ブロックおよび単列用通路ブロックを併用しての列数の設定が容易になり、また、列数の増減も容易に行うことができる。
　上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、複列用通路ブロックが２種類使用されて、第１の複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの流体制御機器は、流量制御器の入口側張出部およびこれに直列状に配置された２つの入口側開閉弁であり、第２の複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの流体制御機器は、流量制御器の出口側張出部およびこれに直列状に配置された１つの出口側開閉弁であることが好ましい。
　流体制御装置において、流量制御器とその出入口に設けられる開閉弁は、基本の構成となっており、複数列用通路ブロックを使用して、この部分の部品数を低減することで、流体制御装置全体における部品数の大幅低減が可能となる。
　下段層の通路ブロックとして、従来、直列接続を行うために、Ｖ字状通路を有する通路ブロックが使用されており、このようなＶ字状通路を有する通路ブロックが使用されてもよく、使用されなくてもよい。
　なお、この明細書において、上下は図１の上下をいうものとするが、この上下は便宜的なもので、この発明の流体制御装置は、水平および垂直のいずれでの使用も可能である。
　この発明の流体制御装置によると、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって少なくとも２つの流体制御機器を支持する複列用通路ブロックが使用されることにより、部品数の削減が可能となる。また、複列用通路ブロック内に、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路が設けられていることで、隣り合う列間の接続を複数列用通路ブロック内で行うことができ、シール部の数を減らすことができる。また、全ての列にわたって配置される従来の通路ブロックを使用するものに比べて、列の増減の際の変更の手間を低減することができる。
図１は、この発明による流体制御装置の１実施形態を示す側面図である。 図２は、この発明による流体制御装置の他の実施形態を示す側面図である。 図３は、この発明による流体制御装置で使用されている第１の複列用通路ブロックの１実施形態を入口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図４は、図３から入口側開閉弁を取り除いた第１の複列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図５は、この発明による流体制御装置で使用されている第２の複列用通路ブロックの１実施形態を出口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図６は、図５から出口側開閉弁を取り除いた第２の複列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図７は、この発明による流体制御装置で使用されている第１の単列用通路ブロックの１実施形態を入口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図８は、図７から入口側開閉弁を取り除いた第１の単列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図９は、この発明による流体制御装置で使用されている第２の単列用通路ブロックの１実施形態を出口側開閉弁とともに示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図１０は、図９から出口側開閉弁を取り除いた第２の単列用通路ブロックを示す図で、（ａ）は、側面図、（ｂ）は、平面図である。 図１１は、並列状に隣り合う通路ブロック同士を接続する構成の一例を示す斜視図である。 図１２は、従来の流体制御装置を示す側面図である。
(1)：流体制御装置、(16)：マスフローコントローラ（流量制御器）、(18)：ＦＣＳ（流量制御器）、(21)：第１の複数列用通路ブロック、(22)：第２の複数列用通路ブロック、(25)：第１の単列用通路ブロック、(26)：第２の単列用通路ブロック
  この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。
　図１は、この発明の流体制御装置の第１実施形態を示している。流体制御装置は、半導体製造装置等において用いられるもので、複数の流体制御機器が直列状に配置された１つの列が複数並列状に配置されることにより形成された上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有している下段層とを備えている。図１には、流体制御装置の１つの列が示されている。
　流体制御装置の１つの列(1)は、上段に配置された複数の流体制御機器として、左側（入口側）から順に、入口側第３開閉弁(11)、プレッシャーレギュレータ(12)、フィルタ(13)、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)、マスフローコントローラ(16)および出口側開閉弁(17)が使用されている。入口側第３開閉弁(11)には、プロセスガス供給用の配管(23)が接続されている。
　マスフローコントローラ(16)は、マスフローコントローラ本体(16a)と、マスフローコントローラ本体(16a)の両側面に設けられた入口側張出部(16b)および出口側張出部(16c)とからなる。入口側張出部(16b)にマスフローコントローラ(16)の入口が、出口側張出部(16c)にマスフローコントローラ(16)の出口がそれぞれ設けられている。
　各流体制御機器(11)(12)(13)(14)(15)(16)(17)は、下方に開口する通路を有しており、この通路が下段に配された種々形状の通路ブロックによって接続されている。上記流体制御装置は、下段に配置されて上段層の流体制御機器(11)(12)(13)(14)(15)(16b)(16c)(17)を支持する複数の通路ブロックとして、Ｖ字状通路(20a)を有し隣り合う流体制御機器（入口側第３開閉弁(11)、プレッシャーレギュレータ(12)およびフィルタ(13)を接続する２つのブロック継手（通路ブロック）(20)と、フィルタ(13)の出口側端部、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)およびマスフローコントローラ(16)の入口側張出部(16b)に対応する下段部材とされている第１の複数列用通路ブロック(21)と、マスフローコントローラ(16)の出口側張出部(16c)および出口側開閉弁(17)に対応する下段部材とされている第２の複数列用通路ブロック(22)とを備えている。
　Ｖ字状通路(20a)を有するブロック継手(20)と入口側第３開閉弁(11)、プレッシャーレギュレータ(12)およびフィルタ(13)とは、上方からのボルト(30)によって結合されている。また、マスフローコントローラ(16)の入口側張出部(16b)および出口側張出部(16c)と第１の複数列用通路ブロック(21)および第２の複数列用通路ブロック(22)とは、上方からのボルト(30)によって結合されている。入口側第１開閉弁(14)および入口側第２開閉弁(15)と第１の複数列用通路ブロック(21)とは、ボルトを使用せずにねじ込んで一体化するブロックバルブタイプとされている。また、出口側開閉弁(17)と第２の複数列用通路ブロック(22)とは、ボルトを使用せずにねじ込んで一体化するブロックバルブタイプとされている。
　第１の複数列用通路ブロック(21)および第２の複数列用通路ブロック(22)が、後述するように、上記流体制御装置の特徴部分となっている。
　図２は、この発明の流体制御装置の第２実施形態を示している。第２実施形態の流体制御装置では、第１実施形態に対し、流量制御器であるマスフローコントローラ（熱量式流量制御器）がＦＣＳ（圧力式流量制御器）に変更されている。
　この実施形態の流体制御装置の１つの列(2)では、上段に配置された複数の流体制御機器として、左側（入口側）から順に、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)、ＦＣＳ(18)および出口側開閉弁(17)が使用されている。
　ＦＣＳ(18)は、ＦＣＳ本体(18a)と、ＦＣＳ本体(18a)の両側面に設けられた張出部(18b)(18c)とからなる。入口側張出部(18b)にＦＣＳ(18)の入口が、出口側張出部(18c)にＦＣＳ(18)の出口がそれぞれ設けられている。
　この実施形態では、また、下段に配置されて上段層の流体制御機器(14)(15)(18b)(18c)(17)を支持する複数の通路ブロックとして、入口側第１開閉弁(14)、入口側第２開閉弁(15)およびＦＣＳ(18)の入口側張出部(18b)に対応する下段部材とされている第１の複数列用通路ブロック(21)と、ＦＣＳ(18)の出口側張出部(18c)および出口側開閉弁(17)に対応する第２の複数列用通路ブロック(22)とを備えている。
　第１の複数列用通路ブロック(21)には、プロセスガス供給用の配管(24)が接続されている。
　第２実施形態における第１の複数列用通路ブロック(21)および第２の複数列用通路ブロック(22)は、第１実施形態のものと同じ構成であり、これらが第２実施形態においても、流体制御装置の特徴部分となっている。
　第１の複数列用通路ブロック(21)の詳細な構成を図３および図４に示す。
　図３は、入口側第１開閉弁(14)および入口側第２開閉弁(15)が取り付けられた状態を示し、図４は、これらが取り外された状態を示している。
　第１の複列用通路ブロック(21)は、上段部材としての流量制御器(16)(18)の入口側張出部(16b)(18b)およびこれに直列状に配置された２つの入口側開閉弁(14)(15)を３つの列にわたって支持している。
　第１の複列用通路ブロック(21)には、第１の列（図１および図２に示している列(1)(2)）に対応するように、第１の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第１通路(31)と、第１通路(31)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第２通路(32)と、第１の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第３通路(33)と、第３通路(33)の中間部から上方にのびて第１の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第４通路(34)と、上面に開口し第１の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第５通路(35)と、第３通路(33)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第６通路(36)とが設けられている。
　第１の複列用通路ブロック(21)には、第２の列に対応するように、第２の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第７通路(37)と、第７通路(37)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第８通路(38)と、第２の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第９通路(39)と、第９通路(39)の中間部から上方にのびて第２の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第１０通路(40)と、第５通路(35)に通じかつ第２の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第１１通路(41)と、第９通路(39)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第１２通路(42)とが設けられている。
　第１の複列用通路ブロック(21)には、第３の列に対応するように、第３の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第１３通路(43)と、第１３通路(43)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第１４通路(44)と、第３の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第１５通路(45)と、第１５通路(45)の中間部から上方にのびて第３の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第１６通路(46)と、第１１通路(41)に通じかつ第３の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第１７通路(47)と、上面に開口し第３の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第１８通路(48)と、第１５通路(45)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第１９通路(49)とが設けられている。
　第５通路(35)、第１１通路(41)、第１７通路(47)および第１８通路(48)は、従来のマニホールドブロック継手(100)に対応する部分で、隣り合う列の流体制御機器としての第２開閉弁(15)同士を連通するための横方向通路となっており、パージガスラインとして使用される。これらの横方向通路(35)(41)(47)(48)以外が直列に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路を形成している。
　図５および図６に示す第２の複列用通路ブロック(22)は、上段部材としての流量制御器(16)(18)の出口側張出部(16c)(18c)およびこれに直列状に配置された出口側開閉弁(17)を３つの列にわたって支持している。
　第２の複列用通路ブロック(22)には、第１の列に対応するように、入口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第１通路(51)と、出口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第２通路(52)とが設けられている。
　第２の複列用通路ブロック(22)には、第２の列に対応するように、入口側端部近傍の上面に開口し第２の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第３通路(53)と、第２通路(52)に通じかつ第２の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第４通路(54)とが設けられている。
　第２の複列用通路ブロック(22)には、第３の列に対応するように、入口側端部近傍の上面に開口し第３の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第６通路(56)と、第４通路(54)に通じかつ第３の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第７通路(57)とが設けられている。
　図１に示した実施形態と図１２に示した従来例とを比較した場合、第１の複列用通路ブロック(21)を使用している箇所に対応する従来例の箇所では、Ｖ字状通路(99a)を有するブロック継手(99)が１列に３つあるので、３列では９つとなり、これにマニホールドブロック継手(100)を加えた計１０のブロック継手(99)(100)が必要となっている。図１に示した実施形態では、これらのブロック継手(99)(100)が１つの第１の複列用通路ブロック(21)で置き換えられていることにより、部品数が大幅に削減されている。
　入口側第１開閉弁(14)および入口側第２開閉弁(15)の第１の複列用通路ブロック(21)への取付けは、図３に示すように、シール部を設けずに可能であるので、従来の入口側第１開閉弁(94)および入口側第２開閉弁(95)とブロック継手(99)(100)との間に設けられているシール部をなくすことができる。
　また、図１に示した実施形態と図１２に示した従来例とを比較した場合、第２の複列用通路ブロック(22)を使用している箇所に対応する従来例の箇所では、３列で３つのブロック継手(99)および１つのマニホールドブロック継手(101)が使用されている。図１に示した実施形態では、これらのブロック継手(99)(101)が１つの第２の複列用通路ブロック(22)で置き換えられており、この箇所においても、部品数が大幅に削減されている。また、出口側開閉弁(17)の第２の複列用通路ブロック(22)への取付けは、図５に示すように、シール部を設けずに可能であるので、従来の出口側開閉弁(97)とブロック継手(99)(101)との間に設けられているシール部をなくすことができる。
　上記の第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)を使用することで、通路の内容積が変化する。具体的には、従来例を示す図１２において太線の破線Ｊ１およびＪ２で示している入口側および出口側１次における通路内容積に対し、図１に示す実施形態において太線の破線Ａ１およびＡ２で示している入口側および出口側１次における通路内容積がそれぞれ減少している。入口側および出口側１次の通路内容積は、ガスの置換性の向上および不純ガス放出量の減少の点から、極力小さいことが好ましく、上記複列用通路ブロック(21)(22)の使用によって、通路を最短にすることが可能であり、内容積を従来比１０～２０％減少させることができる。
　複数列の流体制御装置を構成する場合、上記３列用の第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)だけを使用したのでは、所要の列数にできない場合がある。これに対応するために、上記３列用の第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)に対応する形状とされた第１の単列用通路ブロック(25)および第２の単列用通路ブロック(26)が使用される。
　第１の単列用通路ブロック(25)には、図７および図８に示すように、第１の列の第１開閉弁(14)の入口ポート(14a)に通じる第１通路(31)と、第１通路(31)から分岐して入口端部近傍の上面に開口する第２通路(32)と、第１の列の第１開閉弁(14)の出口ポート(14b)に通じる第３通路(33)と、第３通路(33)の中間部から上方にのびて第１の列の第２開閉弁(15)の出口ポート(15b)に通じる第４通路(34)と、上面に開口し第１の列の第２開閉弁(15)の入口ポート(15a)に通じる第５通路(35)と、第３通路(33)の端部近傍から上方にのびて上面に開口している第６通路(36)とが設けられている。
　第２の単列用通路ブロック(26)には、図９および図１０に示すように、入口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の入口ポート(17a)に通じる第１通路(51)と、出口側端部近傍の上面に開口し第１の列の出口側開閉弁(17)の出口ポート(17b)に通じる第２通路(52)とが設けられている。
　第１の複列用（３列用）通路ブロック(21)および第２の複列用（３列用）通路ブロック(22)とこれに対応する第１の単列用通路ブロック(25)および第２の単列用通路ブロック(26)とを併用することにより、例えば、３列用を５つ、単列用を１つ使用して、全部で１６列とすることができ、また、３列用を４つ、単列用を４つ使用して、全部で１６列とすることもできる。後者は、例えば、腐食性ラインが４系統ある場合に適している。
　なお、上記において、第１の複列用通路ブロック(21)および第２の複列用通路ブロック(22)は、３列にわたって配置される３列用とされているが、複列用通路ブロックは、３列用に限られるものではなく、２列用通路ブロック、４列用通路ブロック、５列用通路ブロックとしてもよい。
　隣り合う第１の複列用通路ブロック(21)および第１の単列用通路ブロック(25)同士の接続の例を図１１に示す。図１１において、隣り合う列の通路ブロック(21)(25)の上面に開口する通路同士が第１逆Ｕ字状配管(27)および第２逆Ｕ字状配管(28)で接続されている。接続されている開口は、図３および図４に示す第１の複列用通路ブロック(21)の第５通路(35)の開口と、図７および図８に示す第１の単列用通路ブロック(25)の第５通路(35)の開口とされている。第２逆Ｕ字状配管(28)には、これにパージガスを供給するための管継手(29)が接続されている。逆Ｕ字状配管(27)(28)および複列用通路ブロック(21)内の第５通路(35)、第１１通路(41)および第１７通路(47)によって、全ての列にパージガスの供給が可能となる。
　第１逆Ｕ字状配管(27)および第２逆Ｕ字状配管(28)を使用することで、複列用通路ブロック(21)(22)および単列用通路ブロック(25)(26)を併用しての列数の設定が容易になり、列数の増減も容易に行うことができる。
　この発明によると、複数の流体制御機器および複数の通路ブロックによって形成された流体制御装置において、部品数を削減し、列の数を増減する等の変更を容易に行うことができる。したがって、半導体製造装置等で使用するのにより適した流体制御装置を提供できる。

Claims (4)

  1. 　複数配置される流体制御機器からなる上段層と、上段層の複数の流体制御機器を接続するための複数の通路ブロックを有する下段層からなり、上段層と下段層で構成される列が並列状に複数配置される流体制御装置において、
    　下段層の通路ブロックとして、複数の列にわたって配置された少なくとも１つの複列用通路ブロックを有しており、複列用通路ブロックは、上段層の全ての列のうちの一部の少なくとも２つの列にわたって少なくとも２つの流体制御機器を支持しており、複列用通路ブロック内には、直列状に並ぶ流体制御機器の通路同士を連通するための縦方向通路と、隣り合う列の流体制御機器の通路同士を連通するための横方向通路とが設けられていることを特徴とする流体制御装置。
  2. 　下段層の通路ブロックとして、複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの上段部材を１列分だけ支持する単列用通路ブロックをさらに有しており、少なくとも１つの複数列用通路ブロックおよび少なくとも１つの単列用通路ブロックが併用されていることを特徴とする請求項１の流体制御装置。
  3. 　隣り合う列の通路ブロックの上面に開口する通路同士が逆Ｕ字状配管によって接続されていることを特徴とする請求項１または２の流体制御装置。
  4. 　上段層の流体制御機器として、流量制御器本体の入口側および出口側に張出部が設けられた流量を制御するための流量制御器を有しており、複列用通路ブロックが２種類使用されて、第１の複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの流体制御機器は、流量制御器の入口側張出部およびこれに直列状に配置された２つの入口側開閉弁であり、第２の複列用通路ブロックが支持している少なくとも２つの流体制御機器は、流量制御器の出口側張出部およびこれに直列状に配置された１つの出口側開閉弁であることを特徴とする請求項１から３までのいずれかに記載の流体制御装置。
PCT/JP2013/061369 2012-04-27 2013-04-17 流体制御装置 Ceased WO2013161640A1 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020147030997A KR101710769B1 (ko) 2012-04-27 2013-04-17 유체 제어 장치
CN201380021762.3A CN104704283B (zh) 2012-04-27 2013-04-17 流体控制装置
US14/395,850 US9850920B2 (en) 2012-04-27 2013-04-17 Fluid control apparatus

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012-102968 2012-04-27
JP2012102968A JP6012247B2 (ja) 2012-04-27 2012-04-27 流体制御装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2013161640A1 true WO2013161640A1 (ja) 2013-10-31

Family

ID=49482963

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2013/061369 Ceased WO2013161640A1 (ja) 2012-04-27 2013-04-17 流体制御装置

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9850920B2 (ja)
JP (1) JP6012247B2 (ja)
KR (1) KR101710769B1 (ja)
CN (1) CN104704283B (ja)
TW (1) TWI577917B (ja)
WO (1) WO2013161640A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2020203281A1 (ja) * 2019-03-29 2020-10-08
JP2023536809A (ja) * 2020-07-27 2023-08-30 ジュスン エンジニアリング カンパニー リミテッド 基板処理装置用ブロックバルブ及び基板処理装置
WO2024190207A1 (ja) * 2023-03-10 2024-09-19 カヤバ株式会社 インレットハウジング

Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140020779A1 (en) * 2009-06-10 2014-01-23 Vistadeltek, Llc Extreme flow rate and/or high temperature fluid delivery substrates
WO2013046660A1 (ja) * 2011-09-30 2013-04-04 株式会社フジキン ガス供給装置
JP6186275B2 (ja) * 2013-12-27 2017-08-23 株式会社フジキン 流体制御装置
JP6486035B2 (ja) * 2014-08-28 2019-03-20 株式会社フジキン マニホールドバルブおよび流体制御装置
RU2691784C2 (ru) * 2015-04-01 2019-06-18 Сандвик Интеллекчуал Проперти Аб Блок управления для горной машины
JP6539482B2 (ja) * 2015-04-15 2019-07-03 株式会社フジキン 遮断開放器
US10895329B2 (en) * 2016-09-12 2021-01-19 Fujikin Incorporated Fluid control system, base block used for same, and method for manufacturing fluid control system
KR20190122233A (ko) * 2017-03-28 2019-10-29 가부시키가이샤 후지킨 이음매 블록 및 이것을 사용한 유체제어장치
CN111316026A (zh) * 2017-10-31 2020-06-19 株式会社富士金 阀装置
MY208215A (en) 2017-12-05 2025-04-24 Siw Eng Pte Ltd Fluid control device and connector for fluid control device
JP6992183B2 (ja) * 2017-12-05 2022-02-03 鑑鋒國際股▲ふん▼有限公司 流体制御装置及び流体制御装置用の継手
JP7444787B2 (ja) 2018-05-07 2024-03-06 ラム リサーチ コーポレーション 構成可能な分散インターロック－システム
WO2020090347A1 (ja) * 2018-10-31 2020-05-07 株式会社フジキン 流体供給システム
US11996301B2 (en) 2019-04-15 2024-05-28 Lam Research Corporation Modular-component system for gas delivery
DE102019208495A1 (de) * 2019-06-12 2020-12-17 Sms Group Gmbh Hydraulische Steuereinrichtung im Walzwerksbau
JP7425462B2 (ja) * 2019-10-31 2024-01-31 株式会社フジキン 流体制御装置および半導体製造装置
CN115380181A (zh) 2020-06-05 2022-11-22 浙江联控技术有限公司 一种集成式多通电磁阀、车辆热管理系统及车辆
FR3116000B1 (fr) * 2020-11-10 2023-06-02 Novasep Process Assemblage de modules fluidiques
JP7687791B2 (ja) * 2021-03-15 2025-06-03 東京エレクトロン株式会社 温調ユニット及び処理装置
CN115218564B (zh) * 2021-04-16 2024-06-11 浙江三花汽车零部件有限公司 一种连接装置及一种集成组件
US20230139688A1 (en) * 2021-10-29 2023-05-04 Applied Materials, Inc. Modular multi-directional gas mixing block
US12044307B2 (en) * 2021-12-15 2024-07-23 Ford Global Technologies, Llc Unitized valve body having connection orifices
US12060898B2 (en) * 2021-12-15 2024-08-13 Ford Global Technologies, Llc Unitized valve body having connection orifices
KR20240137654A (ko) 2022-03-22 2024-09-20 가부시키가이샤 후지킨 유량 제어 장치의 배기 구조, 배기 방법 및 그것을 구비한 가스 공급 시스템 및 가스 공급 방법
US20250092989A1 (en) * 2023-09-20 2025-03-20 Lincoln Industrial Corporation Lubricant distribution system with valve mount

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002349797A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Fujikin Inc 流体制御装置
JP2005069305A (ja) * 2003-08-22 2005-03-17 Fujikin Inc 流体制御装置
JP2006009969A (ja) * 2004-06-25 2006-01-12 Kitz Sct:Kk 集積化ガス制御装置用流路ブロックとその製造方法並びに集積化ガス制御装置
WO2011040268A1 (ja) * 2009-09-30 2011-04-07 株式会社堀場エステック 流量算出システム、集積型ガスパネル装置及びベースプレート

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2731080B2 (ja) * 1991-05-31 1998-03-25 株式会社本山製作所 ガス制御装置
US5992463A (en) * 1996-10-30 1999-11-30 Unit Instruments, Inc. Gas panel
JP3997338B2 (ja) * 1997-02-14 2007-10-24 忠弘 大見 流体制御装置
JPH10300000A (ja) * 1997-02-28 1998-11-13 Benkan Corp 集積化ガス制御装置
JP3737869B2 (ja) * 1997-05-13 2006-01-25 シーケーディ株式会社 プロセスガス供給ユニット
US6152175A (en) * 1997-06-06 2000-11-28 Ckd Corporation Process gas supply unit
EP1132669B1 (en) * 2000-03-10 2004-10-13 Tokyo Electron Limited Fluid control apparatus
JP2003185039A (ja) * 2001-12-12 2003-07-03 Asahi Organic Chem Ind Co Ltd マニホールドバルブ
JP2004183771A (ja) * 2002-12-03 2004-07-02 Fujikin Inc 流体制御装置
JP4780555B2 (ja) * 2005-09-12 2011-09-28 株式会社フジキン 流体制御装置
JP2007327542A (ja) * 2006-06-07 2007-12-20 Surpass Kogyo Kk 流体機器ユニット構造
JP4624491B2 (ja) * 2006-09-26 2011-02-02 シーケーディ株式会社 流体機器モジュール
WO2008045835A2 (en) * 2006-10-08 2008-04-17 Insight Process Solutions Flow control systems and control valves therefor
US7806143B2 (en) * 2007-06-11 2010-10-05 Lam Research Corporation Flexible manifold for integrated gas system gas panels
JP2010196792A (ja) * 2009-02-25 2010-09-09 Ihara Science Corp 流体制御装置

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002349797A (ja) * 2001-05-23 2002-12-04 Fujikin Inc 流体制御装置
JP2005069305A (ja) * 2003-08-22 2005-03-17 Fujikin Inc 流体制御装置
JP2006009969A (ja) * 2004-06-25 2006-01-12 Kitz Sct:Kk 集積化ガス制御装置用流路ブロックとその製造方法並びに集積化ガス制御装置
WO2011040268A1 (ja) * 2009-09-30 2011-04-07 株式会社堀場エステック 流量算出システム、集積型ガスパネル装置及びベースプレート

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPWO2020203281A1 (ja) * 2019-03-29 2020-10-08
JP7699819B2 (ja) 2019-03-29 2025-06-30 株式会社フジキン 濃度測定装置
US12424468B2 (en) 2019-03-29 2025-09-23 Fujikin Incorporated Concentration measurement device
JP2023536809A (ja) * 2020-07-27 2023-08-30 ジュスン エンジニアリング カンパニー リミテッド 基板処理装置用ブロックバルブ及び基板処理装置
WO2024190207A1 (ja) * 2023-03-10 2024-09-19 カヤバ株式会社 インレットハウジング

Also Published As

Publication number Publication date
KR20150000498A (ko) 2015-01-02
CN104704283A (zh) 2015-06-10
US9850920B2 (en) 2017-12-26
US20150075660A1 (en) 2015-03-19
CN104704283B (zh) 2018-04-27
TW201407077A (zh) 2014-02-16
KR101710769B1 (ko) 2017-02-27
JP6012247B2 (ja) 2016-10-25
TWI577917B (zh) 2017-04-11
JP2013231460A (ja) 2013-11-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6012247B2 (ja) 流体制御装置
JP5868219B2 (ja) 流体制御装置
TWI564502B (zh) Integrated gas supply device
JP6147113B2 (ja) 流体制御装置用継手および流体制御装置
TW524945B (en) A fluid control device
US8434522B2 (en) Fluid control apparatus
US11493162B2 (en) Joint and fluid control device
JP4780555B2 (ja) 流体制御装置
JP4288629B2 (ja) 集積形流体制御装置
US20090114295A1 (en) Gas-panel assembly
JP6630496B2 (ja) マニホールドブロックおよび流体制御装置
JP6518501B2 (ja) 流体制御装置用継手、流体制御装置用開閉弁および流体制御装置
JP6085492B2 (ja) プロセスガス分流供給装置
JP2018084255A (ja) 流体制御装置
JP3858155B2 (ja) 流体制御装置
CN205136685U (zh) 一种高效率组装的流体控制装置
CN112912652A (zh) 流体供给系统
JP2010196792A (ja) 流体制御装置
JP2021505826A (ja) 流体制御装置及び流体制御装置用の継手

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 13782287

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

WWE Wipo information: entry into national phase

Ref document number: 14395850

Country of ref document: US

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

ENP Entry into the national phase

Ref document number: 20147030997

Country of ref document: KR

Kind code of ref document: A

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 13782287

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1