WO2013147643A1 - Laser scanning system based on a resonance scanner - Google Patents
Laser scanning system based on a resonance scanner Download PDFInfo
- Publication number
- WO2013147643A1 WO2013147643A1 PCT/RU2012/001068 RU2012001068W WO2013147643A1 WO 2013147643 A1 WO2013147643 A1 WO 2013147643A1 RU 2012001068 W RU2012001068 W RU 2012001068W WO 2013147643 A1 WO2013147643 A1 WO 2013147643A1
- Authority
- WO
- WIPO (PCT)
- Prior art keywords
- laser
- lens
- scanning system
- laser scanning
- scanner
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B26/00—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements
- G02B26/08—Optical devices or arrangements for the control of light using movable or deformable optical elements for controlling the direction of light
- G02B26/10—Scanning systems
- G02B26/105—Scanning systems with one or more pivoting mirrors or galvano-mirrors
Definitions
- the invention relates to laser systems for processing materials.
- the objective of the invention is the creation of a laser scanning system based on a resonant scanner, which allows to obtain a uniform distribution of laser energy on the treated surface. Disclosure of invention
- a laser scanning system containing a sequentially installed radiation source, a resonant scanner with a mirror, a focusing lens, a resonant scanner is able to deflect laser radiation from the radiation source with high speed in a plane perpendicular to the optical axis of the laser scanning system, the focusing lens is located at a distance equal to its focal distance from the mirrors of the resonance scanner, behind the lens, at a distance from its focal plane of 0 - 5% of the focal length, an og ichitel scanning range transmissive central rays and limiting peripheral laser rays deflected mirror resonance scanner in the transverse direction of more than 95% of the maximum scanning angle.
- the focusing lens is located at a distance equal to its focal length from the mirror of the resonance scanner.
- laser beams deflected at different angles by a resonant scanner propagate in parallel behind the collecting lens.
- each laser beam is collected at a point.
- the scanning range limiter transmits 95% of the central rays along the optical axis and shields the extreme rays that form pulses with a large degree of overlap on the object. If you set the scanning range limiter in the back focal plane, then only a part of the rays cross the focal plane.
- the scanning range limiter is made of opaque material.
- An embodiment of the invention is the design of a scanning range limiter of opaque material.
- the scanning range limiter is made of ceramic. Ceramics is one of the most resistant to laser radiation materials.
- the scanning range limiter made of ceramic is a reliable element with a long service life.
- the system comprises a second collecting lens, a two-axis scanning system, a lens, a second collecting lens mounted in focus with the first lens, the first and second lenses form a telescopic beam expander.
- the laser system can include a telescopic beam expander, formed in this case by two lenses and a set scanning range limiter, a two-coordinate scanning system and a focusing lens.
- the technical result of the proposed technical solution is the creation of a laser scanning system based on a resonant scanner, which provides a uniform distribution of energy over the treated surface.
- Fig. 1. presents a diagram of a laser scanning system.
- Fig. 3 a photograph of a surface processed by a laser system based on a resonant scanner without a scanning range limiter is presented.
- Fig. 1 shows a laser scanning system containing a pulsed laser radiation source 1, a resonance scanner with a mirror 2, a collecting lens 3, a scanning range limiter 4.
- a collecting lens 3 is mounted so that the mirror of the resonance scanner 2 is located in the front focal plane of the collecting lens 3.
- Scan range limiter 4 is located near the rear focal plane of the collecting lens 3, at a distance from the rear focal plane of 3% of the focal length.
- the collecting lens 5 is mounted with the confocal collecting lens 3. Lenses 3 and 5 form a telescopic beam expander.
- the system also contains a two-coordinate scanning system 6, lens 7. When the system is turned on, the laser radiation from the source 1 enters the mirror of the resonant scanner 2, which deflects the radiation in the direction of the figure plane.
- the resonance scanner 2 deflects the radiation in a direction perpendicular to the optical axis.
- a parallel beam of laser radiation hits the mirror of the resonance scanner 2.
- parallel laser beams are focused at individual points.
- the scanning range limiter 4 is located close to the focus of the collecting lens 3, leaves 95% of the central part of the region where the radiation enters so as to shield the beams open near the boundary of the scan, forming repeatedly overlapping pulses at the object 8.
- the radiation passes through the lens 5.
- the two-coordinate scanning system b deflects the beam along the desired path.
- the lens 7 focuses the radiation on the sample 8.
- the arrow indicates the deviation of the radiation by a two-axis scanner.
- Fig. 2 The time dependence of the position of laser pulses rejected by a resonant scanner on the treated surface without a scanning range limiter is presented.
- the vertical axis represents the position of the pulses. It can be seen that near the boundaries of the scanning range, the pulses overlap. When the beam is uniformly advancing along the sample at the boundaries of the scanning range of the beam, the resonant scanner generates multiple pulse overlaps.
- Fig. 3 The experimental results of surface treatment of a material using a resonance scanner are presented. It can be seen that at the processing boundary, a larger amount of laser energy enters the material. The distribution of laser energy on the treated surface is uneven.
- the proposed technical solution is not limited to a system based on a pulsed laser, can be applied to systems based on a continuous laser.
- the scanning range limiter can be made in the form of a wedge or lens made of a transparent material.
- a laser scanning system based on a resonant scanner can be used in various technological processes.
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
- Mechanical Optical Scanning Systems (AREA)
Description
Лазерная сканирующая система на основе резонансного сканера. Laser scanning system based on a resonant scanner.
Описание изобретения Область техники Description of the invention
Изобретение относится к лазерным системам обработки материалов. The invention relates to laser systems for processing materials.
Предшествующий уровень техники State of the art
Известна лазерная система, патент США N°7817319, содержащая источник лазерного излучении, резонансный сканер. Принцип работы резонансного сканера таков, что отклонение луча в плоскости сканирования в направлении, перпендикулярном к оптической оси, происходит по синусоидальному закону. При сканировании вдоль квазилинейного участка синусоиды лазерные импульсы на объекте не перекрываются, при изменении направления сканирования на обратное скорость отклонения луча уменьшается до полной остановки. При этом возрастает степень перекрытия лазерных импульсов, на единицу обрабатываемой поверхности попадает большее число импульсов, что неприемлемо для некоторых применений. Таким образом, осуществление синусоидального сканирования без применения специальных средств приводит к недопустимой неравномерности (негомогенности) облучения обрабатываемого образца. Known laser system, US patent N ° 7817319, containing a laser source, a resonant scanner. The principle of operation of the resonant scanner is such that the deflection of the beam in the scanning plane in the direction perpendicular to the optical axis occurs according to a sinusoidal law. When scanning along a quasilinear section of a sinusoid, the laser pulses at the object do not overlap; when the scanning direction is reversed, the beam deflection rate decreases to a complete stop. At the same time, the degree of overlapping of laser pulses increases, and a larger number of pulses per unit of the surface to be treated, which is unacceptable for some applications. Thus, the implementation of a sinusoidal scan without the use of special tools leads to unacceptable unevenness (inhomogeneity) of irradiation of the treated sample.
Задачей изобретения является создание лазерной сканирующей системы на основе резонансного сканера, позволяющей получить равномерное распределение лазерной энергии на обрабатываемой поверхности. Раскрытие изобретения The objective of the invention is the creation of a laser scanning system based on a resonant scanner, which allows to obtain a uniform distribution of laser energy on the treated surface. Disclosure of invention
Лазерная сканирующая система, содержащая последовательно установленные источник излучения, резонансный сканер с зеркалом, фокусирующую линзу, резонансный сканер способен отклонять лазерное излучение от источника излучения с высокой скоростью в плоскости, перпендикулярной оптической оси лазерной сканирующей системы, фокусирующая линза расположена на расстоянии равном её фокусному расстоянию от зеркала резонансного сканера, за линзой, на расстоянии от её фокальной плоскости, составляющем 0 - 5 % от фокусного расстояния установлен ограничитель диапазона сканирования, пропускающий центральные лучи и ограничивающий периферийные лучи лазера, отклоненные зеркалом резонансного сканера в поперечном направлении более чем на 95% от максимального угла сканирования. Фокусирующая линза расположена на расстоянии равном ее фокусному расстоянию от зеркала резонансного сканера. При таком расположении лазерные пучки, отклоненные на различные углы резонансным сканером, распространяются параллельно за собирающей линзой. В задней фокальной плоскости линзы каждый пучок от лазера собирается в точку. Таким образом, в задней фокальной области линзы размер пятна лазерного излучения минимален, а лучи, отклоненные резонансным сканером, на различные углы параллельны. Ограничитель диапазона сканирования, пропускает 95% центральных лучей вдоль оптической оси и экранирует крайние лучи, формирующие на объекте импульсы с большой степенью перекрытия. Если установить ограничитель диапазона сканирования в задней фокальной плоскости, то фокальную плоскость пересечет только часть лучей. Если установить ограничитель на небольшом расстоянии от задней фокальной плоскости, до 5% от фокусного расстояния, то некоторые крайние лучи будут перекрыты полностью, а некоторые, более близкие к оптической оси будут перекрыты частично. Тем не менее, этого достаточно для получения равномерного распределения излучения на объекте, так как крайние лучи, формирующие перекрывающиеся импульсы не попадут на обрабатываемую поверхность. A laser scanning system containing a sequentially installed radiation source, a resonant scanner with a mirror, a focusing lens, a resonant scanner is able to deflect laser radiation from the radiation source with high speed in a plane perpendicular to the optical axis of the laser scanning system, the focusing lens is located at a distance equal to its focal distance from the mirrors of the resonance scanner, behind the lens, at a distance from its focal plane of 0 - 5% of the focal length, an og ichitel scanning range transmissive central rays and limiting peripheral laser rays deflected mirror resonance scanner in the transverse direction of more than 95% of the maximum scanning angle. The focusing lens is located at a distance equal to its focal length from the mirror of the resonance scanner. With this arrangement, laser beams deflected at different angles by a resonant scanner propagate in parallel behind the collecting lens. In the rear focal plane of the lens, each laser beam is collected at a point. Thus, in the rear focal region of the lens, the size of the laser spot is minimal, and the rays deflected by the resonance scanner are parallel at different angles. The scanning range limiter transmits 95% of the central rays along the optical axis and shields the extreme rays that form pulses with a large degree of overlap on the object. If you set the scanning range limiter in the back focal plane, then only a part of the rays cross the focal plane. If you set the limiter at a small distance from the rear focal plane, up to 5% of the focal length, then some extreme rays will be completely blocked, and some closer to the optical axis will be partially blocked. Nevertheless, this is sufficient to obtain a uniform distribution of radiation on the object, since the extreme rays forming the overlapping pulses will not fall on the surface to be treated.
Ограничитель диапазона сканирования выполнен из непрозрачного материала. Вариантом изобретения является исполнение ограничителя диапазона сканирования из непрозрачного материала. The scanning range limiter is made of opaque material. An embodiment of the invention is the design of a scanning range limiter of opaque material.
Ограничитель диапазона сканирования выполнен из керамики. Керамика является одним из наиболее стойких к лазерному излучению материалов. Ограничитель диапазона сканирования, выполненный из керамики является надежным элементом с длительным сроком эксплуатации. The scanning range limiter is made of ceramic. Ceramics is one of the most resistant to laser radiation materials. The scanning range limiter made of ceramic is a reliable element with a long service life.
Система содержит вторую собирающую линзу, систему двухкоординатного сканирования, объектив, вторая собирающая линза установлена софокусно первой линзе, первая и вторая линза образуют телескопический расширитель луча. Для точной управляемой обработки материала лазерная система может включать телескопический расширитель луча, образованный в данном случае двумя линзами и установленным ограничителем диапазона сканирования, систему двухкоординатного сканирования и фокусирующий объектив. Техническим результатом предлагаемого технического решения является создание лазерной сканирующей системы на основе резонансного сканера, обеспечивающей равномерное распределение энергии по обрабатываемой поверхности. The system comprises a second collecting lens, a two-axis scanning system, a lens, a second collecting lens mounted in focus with the first lens, the first and second lenses form a telescopic beam expander. For precise controlled processing of the material, the laser system can include a telescopic beam expander, formed in this case by two lenses and a set scanning range limiter, a two-coordinate scanning system and a focusing lens. The technical result of the proposed technical solution is the creation of a laser scanning system based on a resonant scanner, which provides a uniform distribution of energy over the treated surface.
Краткое описание чертежей Brief Description of the Drawings
На Fig.1. представлена схема лазерной сканирующей системы. In Fig. 1. presents a diagram of a laser scanning system.
На Fig.2. представлена зависимость от времени положения импульсов лазерного излучения, отклоненных резонансным сканером. In Fig. 2. The time dependence of the position of laser pulses rejected by a resonance scanner is presented.
На Fig.3. представлена фотография поверхности, обработанной лазерной системой на основе резонансного сканера без ограничителя диапазона сканирования. In Fig. 3. a photograph of a surface processed by a laser system based on a resonant scanner without a scanning range limiter is presented.
На Fig.4. представлена зависимость от времени положения импульсов лазерного излучения при работе сканера с установленным ограничителем диапазона сканирования. In Fig. 4. The time dependence of the position of laser radiation pulses during the operation of the scanner with the set scanning range limiter is presented.
Варианты осуществления изобретения Embodiments of the invention
На Fig.1. изображена лазерная сканирующая система, содержащая импульсный лазерный источник излучения 1, резонансный сканер с зеркалом 2, собирающую линзу 3, ограничитель диапазона сканирования 4. Собирающая линза 3 установлена так, что зеркало резонансного сканера 2 расположено в передней фокальной плоскости собирающей линзы 3. Ограничитель диапазона сканирования 4 расположен вблизи задней фокальной плоскости собирающей линзы 3, на расстоянии от задней фокальной плоскости, составляющем 3% от фокусного расстояния. Собирающая линза 5 установлена софокусно собирающей линзе 3. Линзы 3 и 5 образуют телескопический расширитель луча. Система содержит также систему двухкоординатного сканирования 6, объектив 7. При включении системы лазерное излучение от источника 1 попадает на зеркало резонансного сканера 2, отклоняющее излучение в направлении плоскости рисунка. Резонансный сканер 2 отклоняет излучение в перпендикулярном оптической оси направлении. На зеркало резонансного сканера 2 попадает параллельный пучок лазерного излучения. В задней фокальной плоскости собирающей линзы 3 параллельные пучки лазерного излучения фокусируются в отдельные точки. Ограничитель диапазона сканирования 4 расположен вблизи фокуса собирающей линзы 3, оставляет открытым 95% центральной части области, куда попадает излучение так, чтобы экранировать пучки вблизи границы сканирования, образующие многократно перекрывающиеся импульсы на объекте 8. Излучение проходит линзу 5. Система двухкоординатного сканирования б отклоняет луч по требуемой траектории. Объектив 7 фокусирует излучение на образец 8. Стрелкой показано отклонение излучения двухкооордитантным сканером. In Fig. 1. shows a laser scanning system containing a pulsed laser radiation source 1, a resonance scanner with a mirror 2, a collecting lens 3, a scanning range limiter 4. A collecting lens 3 is mounted so that the mirror of the resonance scanner 2 is located in the front focal plane of the collecting lens 3. Scan range limiter 4 is located near the rear focal plane of the collecting lens 3, at a distance from the rear focal plane of 3% of the focal length. The collecting lens 5 is mounted with the confocal collecting lens 3. Lenses 3 and 5 form a telescopic beam expander. The system also contains a two-coordinate scanning system 6, lens 7. When the system is turned on, the laser radiation from the source 1 enters the mirror of the resonant scanner 2, which deflects the radiation in the direction of the figure plane. The resonance scanner 2 deflects the radiation in a direction perpendicular to the optical axis. A parallel beam of laser radiation hits the mirror of the resonance scanner 2. In the rear focal plane of the collecting lens 3, parallel laser beams are focused at individual points. The scanning range limiter 4 is located close to the focus of the collecting lens 3, leaves 95% of the central part of the region where the radiation enters so as to shield the beams open near the boundary of the scan, forming repeatedly overlapping pulses at the object 8. The radiation passes through the lens 5. The two-coordinate scanning system b deflects the beam along the desired path. The lens 7 focuses the radiation on the sample 8. The arrow indicates the deviation of the radiation by a two-axis scanner.
На Fig.2. представлена зависимость от времени положения импульсов лазерного излучения, отклоненных резонансным сканером на обрабатываемой поверхности без ограничителя диапазона сканирования. По вертикальной оси отложены положения импульсов. Видно, что вблизи границ диапазона сканирования импульсы перекрываются. При равномерном продвижении луча по образцу на границах диапазона сканирования луча резонансным сканером образуются множественные перекрытия импульсов. На Fig.3. представлены экспериментальные результаты обработки поверхности материала с использованием резонансного сканера. Видно, что на границе обработки на материал попадает большее количество лазерной энергии. Распределение лазерной энергии по обрабатываемой поверхности неравномерно. In Fig. 2. The time dependence of the position of laser pulses rejected by a resonant scanner on the treated surface without a scanning range limiter is presented. The vertical axis represents the position of the pulses. It can be seen that near the boundaries of the scanning range, the pulses overlap. When the beam is uniformly advancing along the sample at the boundaries of the scanning range of the beam, the resonant scanner generates multiple pulse overlaps. In Fig. 3. The experimental results of surface treatment of a material using a resonance scanner are presented. It can be seen that at the processing boundary, a larger amount of laser energy enters the material. The distribution of laser energy on the treated surface is uneven.
На Fig.4. представлена зависимость от времени положения импульсов излучения с установленным ограничителем диапазона сканирования, пропускающим 95 % центральных импульсов. При таком небольшом ограничении получено значительно более равномерное распределение импульсов и, соответственно, лазерной энергии по обрабатываемой поверхности. In Fig. 4. The time dependence of the position of the radiation pulses is presented with the scan range limiter installed, transmitting 95% of the central pulses. With such a small restriction, a significantly more uniform distribution of pulses and, accordingly, laser energy over the treated surface is obtained.
Предлагаемое техническое решение не ограничивается системой на основе импульсного лазера, может быть применено для систем на основе непрерывного лазера. Ограничитель диапазона сканирования может быть выполнен в виде клина или линзы из прозрачного материала. The proposed technical solution is not limited to a system based on a pulsed laser, can be applied to systems based on a continuous laser. The scanning range limiter can be made in the form of a wedge or lens made of a transparent material.
Промышленная применимость Industrial applicability
Лазерная сканирующая система на основе резонансного сканера может использоваться в различных технологических процессах. A laser scanning system based on a resonant scanner can be used in various technological processes.
Claims
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE212012000262.6U DE212012000262U1 (en) | 2012-03-26 | 2012-12-14 | Laser scanning device (laser scanning system) with a resonance scanner |
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| RU2012111153/28A RU2492514C1 (en) | 2012-03-26 | 2012-03-26 | Resonant scanner-based laser scanning system |
| RU2012111153 | 2012-03-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| WO2013147643A1 true WO2013147643A1 (en) | 2013-10-03 |
Family
ID=49165011
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| PCT/RU2012/001068 Ceased WO2013147643A1 (en) | 2012-03-26 | 2012-12-14 | Laser scanning system based on a resonance scanner |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE212012000262U1 (en) |
| RU (1) | RU2492514C1 (en) |
| WO (1) | WO2013147643A1 (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170012111A (en) * | 2015-07-24 | 2017-02-02 | 엘피케이에프 레이저 앤드 일렉트로닉스 악티엔게젤샤프트 | Method and device for laser machining a substrate with multiple deflections of a laser radiation |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| RU2563448C1 (en) * | 2014-05-22 | 2015-09-20 | Общество С Ограниченной Ответственностью "Оптосистемы" | Ophthalmosurgical laser system |
| EP3788427B1 (en) | 2018-05-03 | 2024-10-23 | Thorlabs, Inc. | Laser scan head design for three scanning mirrors with optics |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6538230B2 (en) * | 2001-05-17 | 2003-03-25 | Preco Laser Systems, Llc | Method and apparatus for improving laser hole resolution |
| US6849825B2 (en) * | 2001-11-30 | 2005-02-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus |
| US7817319B2 (en) * | 2006-08-22 | 2010-10-19 | Gsi Group Corporation | System and method for employing a resonant scanner in an X-Y high speed drilling system to provide low net scanning velocity during drilling |
| RU2405514C1 (en) * | 2009-06-29 | 2010-12-10 | Виктор Александрович Сугробов | Device for surgical correction of ocular reflection anomalies |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH05313085A (en) * | 1992-05-08 | 1993-11-26 | Komatsu Ltd | Scanning device |
| JP2002346775A (en) * | 2001-05-29 | 2002-12-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Laser processing apparatus and method |
| CN1232380C (en) * | 2002-03-28 | 2005-12-21 | 三菱电机株式会社 | Laser machining apparatus |
-
2012
- 2012-03-26 RU RU2012111153/28A patent/RU2492514C1/en active
- 2012-12-14 DE DE212012000262.6U patent/DE212012000262U1/en not_active Expired - Lifetime
- 2012-12-14 WO PCT/RU2012/001068 patent/WO2013147643A1/en not_active Ceased
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6538230B2 (en) * | 2001-05-17 | 2003-03-25 | Preco Laser Systems, Llc | Method and apparatus for improving laser hole resolution |
| US6849825B2 (en) * | 2001-11-30 | 2005-02-01 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Laser irradiation apparatus |
| US7817319B2 (en) * | 2006-08-22 | 2010-10-19 | Gsi Group Corporation | System and method for employing a resonant scanner in an X-Y high speed drilling system to provide low net scanning velocity during drilling |
| RU2405514C1 (en) * | 2009-06-29 | 2010-12-10 | Виктор Александрович Сугробов | Device for surgical correction of ocular reflection anomalies |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20170012111A (en) * | 2015-07-24 | 2017-02-02 | 엘피케이에프 레이저 앤드 일렉트로닉스 악티엔게젤샤프트 | Method and device for laser machining a substrate with multiple deflections of a laser radiation |
| DE102015112151A1 (en) | 2015-07-24 | 2017-02-09 | Lpkf Laser & Electronics Ag | Method and device for laser processing of a substrate with multiple deflection of a laser radiation |
| KR101897337B1 (en) | 2015-07-24 | 2018-09-11 | 엘피케이에프 레이저 앤드 일렉트로닉스 악티엔게젤샤프트 | Method and device for laser machining a substrate with multiple deflections of a laser radiation |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE212012000262U1 (en) | 2014-12-02 |
| RU2492514C1 (en) | 2013-09-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI505891B (en) | Laser processing device | |
| KR100433896B1 (en) | Laser marking method and apparatus, and marked member | |
| CN1330453C (en) | Beam shaping unit and device for introducing light energy into a workpiece | |
| DK2976176T3 (en) | Method and apparatus for preparing a structure on the surfaces of components with a laser beam | |
| US10509215B2 (en) | Light-field microscope | |
| JP6395970B2 (en) | Laser processing apparatus and laser processing method | |
| WO2007072709A1 (en) | Laser material processing system | |
| CN107073655A (en) | Method and apparatus based on laser processing plane crystalline substrates, particularly Semiconductor substrate | |
| KR20160107298A (en) | Machining device and method for laser machining a surface | |
| RU2019104071A (en) | DEVICE AND METHOD FOR SKIN PROCESSING BASED ON RADIATION | |
| KR20100015913A (en) | Correction of optical elements by means of correction light emitted in a flat manner | |
| CN103955061A (en) | Uniform light spot surface scanning device of laser cleaning machine | |
| RU2492514C1 (en) | Resonant scanner-based laser scanning system | |
| JP5785248B2 (en) | Laser scanning system, hair cutting apparatus, and method thereof | |
| KR20110112283A (en) | Laser processing equipment | |
| ATE315454T1 (en) | DEVICE FOR SUBSTRATE TREATMENT USING LASER RADIATION | |
| WO2012098930A1 (en) | Laser processing apparatus | |
| CN112689785B (en) | Laser scanning device and laser processing device | |
| KR102018613B1 (en) | Acoustic-optic deflection system, laser processing apparatus including the same and method for blocking beams of acoustic-optic deflection system | |
| JP7366150B2 (en) | Method for producing an iridescent effect on the surface of a material and a device for carrying out the method | |
| JP6497894B2 (en) | Method and apparatus for forming fine periodic structure | |
| Erlandson et al. | Spatial filters for high power lasers | |
| RU2778397C1 (en) | Device for manufacturing a groove and method for manufacturing a groove | |
| KR102616094B1 (en) | Groove processing device and groove processing method | |
| JP5062025B2 (en) | Laser processing method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 121 | Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application |
Ref document number: 12873014 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |
|
| WWE | Wipo information: entry into national phase |
Ref document number: 2120120002626 Country of ref document: DE Ref document number: 212012000262 Country of ref document: DE |
|
| 122 | Ep: pct application non-entry in european phase |
Ref document number: 12873014 Country of ref document: EP Kind code of ref document: A1 |