WO2013084475A1 - Lens unit and method for manufacturing same - Google Patents
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Definitions
- the present invention relates to a method of manufacturing a lens unit having a plurality of lens optical surfaces arranged side by side in the optical axis direction, and a lens unit obtained thereby.
- a technology for manufacturing an optical lens having high heat resistance by forming a resin layer including a lens portion functioning as an optical lens on the surface of a glass substrate using a curable resin is known.
- a method of manufacturing an optical lens to which this technique is applied a method of manufacturing a so-called “wafer lens” in which a plurality of lens portions made of a curable resin are formed on the surface of a glass substrate has been proposed. After manufacturing the wafer lens, the glass substrate of the wafer lens is cut and divided for each lens portion, whereby a large number of optical lenses can be obtained at one time.
- a curable resin material is interposed between a master mold in which a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of a lens optical surface are arranged and a glass substrate.
- a method of forming a lens portion made of a curable resin on a glass substrate by curing the material can be mentioned. That is, the shapes of the master mold and the lens portion change in the order of negative shape ⁇ positive shape (hereinafter referred to as “NP method”).
- NP method negative shape ⁇ positive shape
- Patent Documents 1 and 2 describe a method of manufacturing a wafer lens using a master mold and one type of intermediate mold (submaster mold).
- a resin molding having a negative lens molding surface is molded on a substrate using a master molding die having a positive lens molding surface corresponding to the shape of the lens optical surface.
- a sub master mold is produced.
- a wafer lens is manufactured by molding a lens portion made of a curable resin on a glass substrate using a submaster mold. That is, the shapes of the master mold, the sub master mold, and the lens portion change in the order of positive shape ⁇ negative shape ⁇ positive shape (hereinafter referred to as “PNP method”).
- Patent Document 2 also describes a method of manufacturing a wafer lens using a master mold and two types of intermediate molds (a sub master mold and a sub sub master mold).
- a resin molded product having a positive lens molding surface is molded on a substrate using a master molding die having a negative lens molding surface corresponding to the shape of the lens optical surface.
- a sub master mold is produced.
- a resin molded product having a negative lens molding surface is molded on the substrate, thereby producing a sub sub master mold.
- a wafer lens is manufactured by molding a lens portion made of a curable resin on a glass substrate using a sub-submaster mold. That is, the shapes of the master mold, the sub master mold, the sub sub master mold, and the lens portion change in the order of negative shape ⁇ positive shape ⁇ negative shape ⁇ positive shape (hereinafter referred to as “NPNP method”).
- the number of times the master mold is used can be reduced by molding the lens section using the intermediate mold instead of directly molding the lens section using the master mold.
- the expensive master mold can be prevented from being deteriorated, and the manufacturing cost can be reduced.
- the sub-master mold is a) a dispensing process in which a resin material is supplied onto the substrate or the master mold, and b) the master mold and the substrate are brought close to each other to follow the shape of the molding surface of the master mold.
- a sandwiching step of sandwiching the resin material between the two c) a solidification step of solidifying the resin material sandwiched between the master mold and the substrate, and d) separating the master mold and the substrate and bonding them to the substrate
- the molded resin product is manufactured by a molding process including a mold release process for releasing the resin molded product from the master mold.
- a manufacturing method of the sub master mold a “direct method (collective molding method)” and a “step and repeat method” are assumed.
- the direct method for example, when a wafer lens is manufactured using a disk-shaped glass substrate (glass wafer) having an 8-inch diameter, a large (full wafer size) having a diameter larger than this is used.
- the master mold By using the master mold, the dispensing process, the clamping process, the solidifying process, and the mold releasing process are performed once to produce a sub master mold.
- the number of lens molding surfaces equal to or greater than the number of lens molding surfaces formed on the sub-master molding die (for example, 5000) is formed on the master molding die.
- a sub-master mold is produced by repeating a dispensing process, a clamping process, a solidifying process, and a mold releasing process using a small master mold (see, for example, Patent Document 3). ).
- the master mold has a smaller number (for example, 1 to 100) of lenses than the number of lens portions of the wafer lens to be manufactured (that is, the number of lens molding surfaces formed on the sub-master mold). A molding surface is formed.
- a lens unit having a configuration in which a plurality of lens optical surfaces are arranged side by side is adopted.
- Such a lens unit having a plurality of lens optical surfaces can be configured by combining a plurality of types of lens portions obtained by dividing a wafer lens. For example, a first wafer lens and a second wafer lens are respectively produced and bonded together with a spacer interposed therebetween, and the obtained laminated body is divided for each lens unit.
- a lens unit having a lens optical surface can be manufactured.
- a lens unit having a plurality of lens optical surfaces arranged in the optical axis direction particularly a lens unit obtained by laminating a plurality of wafer lenses
- the desired optical performance is obtained because the number of lens optical surfaces is large. Therefore, it is required that each lens optical surface is accurately reproduced in an intended shape and is correctly arranged at an intended position.
- the NPNP method is advantageous in terms of reproducibility of the lens shape, although it is advantageous in terms of cost because it undergoes two transfers to obtain a sub-submaster mold. For this reason, when all the lens optical surfaces of the lens unit having a plurality of lens optical surfaces described above are manufactured by the NPNP method, there is a problem that it is difficult to obtain sufficient required performance as the entire lens unit. On the other hand, in such a lens unit having a plurality of lens optical surfaces, since the functions required for each lens optical surface are different, the shape of each lens optical surface is different.
- the lens optics located closest to the image side It is required to increase the effective diameter of the surface. For this reason, the lens optical surface on the most image side has a relatively large tolerance for the shape and position, and even if manufactured by the NPNP method, the optical performance of the lens unit as a whole is unlikely to deteriorate. That is, there is room for adopting the NPNP method depending on the lens optical surface.
- a lens part is molded by individually placing a resin material on each lens molding surface of the mold for molding the lens part, the spread of the resin material around the lens part during molding of the lens part is controlled.
- an annular protrusion may be formed on the mold.
- an annular concave portion is formed around the lens portion, reflecting the convex shape of the molding die.
- protrusions serving as leg portions may be formed around the lens portion. Also in this case, a concave portion is formed between the lens portion and the leg portion.
- the lens optical surface located closest to the image side is required to have an increased effective diameter.
- the concave portion formed around the lens optical surface is very fine and steep. .
- a plurality of lens molding surfaces are repeatedly formed on a single mold, which causes a problem of processing defects due to tool wear. This problem is particularly noticeable when using a tool having a small radius of curvature at the tip. This is because a tool having a small radius of curvature at the tip end is likely to be worn out and the processing time tends to be long. For this reason, in practical use, when a master mold is manufactured, a tip having an excessively small radius of curvature cannot be used, and it becomes more difficult to process a fine recess.
- the direct manufacturing method that simultaneously forms all lens molding surfaces of the sub-master mold is a step-and-repeat method that forms the lens molding surface of the sub-master mold in multiple steps.
- the accuracy (shape accuracy and position accuracy) of the lens optical surface finally formed is excellent.
- the shape and position of the lens optical surface is formed as intended, and optical performance that meets the demand for higher performance. Can be manufactured.
- the direct manufacturing method when the sub-master molds of all the lens parts included in the lens unit are formed by the direct manufacturing method, there arises a problem that the manufacturing cost of the lens unit is greatly increased. That is, in the direct manufacturing method, it is necessary to prepare a large master mold with a full wafer size, but as the number of lens molding surfaces increases, the processing becomes more difficult and the processing time becomes longer. The production of a large master mold used in the process may require several times to 10 times as much time and cost as a small master mold used in the step-and-repeat method. As a result, a large master mold used for the direct method is very expensive.
- the lens unit diameter can be reduced to reduce the size of the lens unit, the number of lens units per wafer lens can be increased to increase the number of lens units obtained at one time, and the lens unit height can be increased. If the lens optical surface has a complicated shape to improve performance, or if irregularities are provided around the lens for the purpose of molding or preventing scratches, the difficulty of processing the master mold will increase further. However, the processing of the master mold itself may be substantially difficult.
- the present invention is created by focusing on the fact that there are lens optical surfaces with relatively large tolerances in shape and position because the functions required for each lens optical surface are different and the shape of each lens optical surface is different. It came to.
- the method of manufacturing a lens unit according to the present invention includes selecting a PNP method and an NPNP method according to the tolerance of the shape and position when forming a lens optical surface, and / or a direct method and One of the step-and-repeat methods is selected.
- the manufacturing method of the lens unit of the present invention is a manufacturing method of a lens unit having a plurality of lens optical surfaces including a first lens optical surface and a second lens optical surface arranged side by side in the optical axis direction.
- the first lens optical surface includes a first master molding die and a resin material having a first molding surface including a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of the first lens optical surface.
- the third molding surface includes a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of the first lens optical surface by molding using the first sub-master molding die and the resin material.
- Sub-subma A first resin layer having a first surface including a plurality of the first lens optical surfaces by performing a molding using a sub-submaster molding die and a curable resin material.
- Forming a first wafer lens manufacturing method wherein the second lens optical surface includes a plurality of positive lens molding surfaces corresponding to the shape of the second lens optical surface. 5th including a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of the second lens optical surface by molding using a second master molding die having a fourth molding surface and a resin material.
- the method for manufacturing a lens unit according to the present invention is a method for manufacturing a lens unit having a plurality of lens optical surfaces including a first lens optical surface and a second lens optical surface arranged side by side in the optical axis direction.
- the first lens optical surface and the second lens optical surface are molded by using a master molding die having a lens molding surface corresponding to the shape of the lens optical surface and a resin material.
- the first sub-master mold corresponding to the first lens optical surface has a first or second lens molding surface having a shape corresponding to the shape of the first lens optical surface.
- a master mold one or two or more resin moldings are repeatedly formed to form a plurality of resin moldings on one substrate, and the step-and-repeat method is used to form the second lens optical surface.
- the corresponding second sub-master mold uses the second master mold having a plurality of lens molding surfaces corresponding to the shape of the second lens optical surface to form all the resin moldings simultaneously. Thus, it is produced by a direct method in which a plurality of resin moldings are formed on one substrate.
- the lens unit of the present invention is manufactured by the above-described method for manufacturing a lens unit of the present invention.
- the present invention it is possible to manufacture a lens unit that can meet the demand for higher optical performance while suppressing an increase in cost.
- FIG. 1A is a sectional view of a lens unit according to the first and fourth embodiments of the present invention
- FIG. 1B is a bottom view of the lens unit according to the first and fourth embodiments.
- It is. 2A to 2C are cross-sectional views showing a procedure for forming the first resin layer.
- 3A to 3C are cross-sectional views showing a procedure for forming the second resin layer.
- 4A to 4D are cross-sectional views showing a procedure for forming the fourth resin layer.
- 6A to 6C are cross-sectional views showing a procedure for forming the third resin layer.
- FIG. 7A to 7D are cross-sectional views showing a procedure for manufacturing the lens unit.
- 8A to 8C are schematic views showing how a master mold is produced. It is sectional drawing of the lens unit which concerns on the 2nd Embodiment and 5th Embodiment of this invention.
- FIG. 10A is a cross-sectional view of a lens unit according to the third and sixth embodiments of the present invention
- FIG. 10B is a bottom view of the lens unit according to the third and sixth embodiments. It is.
- a manufacturing method PNP method / NPNP method, direct method / step and step and step and step and operation
- Select Repeat method
- FIG. 1A is a cross-sectional view of the lens unit according to the first embodiment (a cross-sectional view taken along line AA shown in FIG. 1B), and FIG. 1B is a bottom view of the lens unit according to the first embodiment. is there.
- the lens unit 100 of the present embodiment includes a first resin layer 110 including a first lens portion 110a and its peripheral portion 110b, a second lens portion 120a and its peripheral portion 120b.
- the second resin layer 120 including the third lens portion 130a and the peripheral portion 130b thereof, the fourth resin layer 140 including the fourth lens portion 140a and the peripheral portion 140b thereof.
- the first resin layer 110 is formed on one surface of the first substrate 150, and the second resin layer 120 is formed on the other surface of the first substrate 150.
- the third resin layer 130 is formed on one surface of the second substrate 160, and the fourth resin layer 140 is formed on the other surface of the second substrate 160.
- a first spacer 170 is disposed between the first substrate 150 and the second substrate 160, and the second resin layer 120 and the third resin layer 130 facing each other are separated from each other.
- the second spacer 180 is disposed on the surface of the second substrate 160 where the fourth resin layer 140 is formed. The second spacer 180 controls the distance between the fourth resin layer 140 and the imaging surface of an imaging element (not shown).
- the lens unit 100 has an adhesive layer for adhering the spacer, and may have a diaphragm, an infrared cut coat, or the like.
- the first substrate 150 and the second substrate 160 are used for alignment marks for forming a resin layer including a lens portion on both surfaces of the substrate and for alignment when a wafer lens is laminated as will be described later.
- An alignment mark may be provided. For convenience of explanation, illustration and explanation thereof are omitted.
- the first lens unit 110a, the second lens unit 120a, the third lens unit 130a, and the fourth lens unit 140a are respectively a first lens optical surface 110a ′, a second lens optical surface 120a ′, and a third lens unit.
- Lens optical surface 130a 'and fourth lens optical surface 140a', and from the object side (upper side in the figure) to the image side (lower side in the figure) so that the optical axes of the lens optical surfaces coincide with each other. are arranged in order.
- the shape of each lens optical surface is different depending on the required function.
- the first lens optical surface 110a ' has a convex shape with respect to the object side.
- the second lens optical surface 120a ' has a concave shape with respect to the image side.
- the third lens optical surface 130a ' has a convex shape with respect to the object side at the center and a concave shape with respect to the object side.
- the center of the fourth lens optical surface 140a ' is concave with respect to the image side, and the periphery thereof is convex with respect to the image side.
- Each of the lens optical surfaces 110a ', 120a', 130a ', and 140a' has an aspherical shape. Further, each lens optical surface 110a ', 120a', 130a ', 140a' has an effective diameter and an outer diameter that increase in order from the object side.
- the peripheral portions 110b, 120b, 130b, and 140b include annular recesses C1, C2, C3, and C4, which will be described later.
- the tolerance (shape error and position error) of each lens optical surface is different for each lens optical surface. For example, when comparing a lens optical surface with a small effective diameter with a lens optical surface with a large effective diameter, the lens optical surface with a large effective diameter is more affected by the shape and position error of the lens optical surface (deterioration of optical performance). Is relatively small. That is, in the present embodiment, the fourth lens unit 140 positioned closest to the image side has a large allowable error, and the other lens units 110, 120, and 130 have a small allowable error.
- the first resin layer 110, the second resin layer 120, the third resin layer 130, and the fourth resin layer 140 are made of a curable resin such as a photocurable resin or a thermosetting resin.
- a curable resin such as a photocurable resin or a thermosetting resin.
- the photocurable resin include acrylic resin, allyl ester resin, and epoxy resin.
- the acrylic resin and the allyl ester resin can be obtained by radical polymerization of a curable resin material such as an acrylic resin composition or an allyl ester resin composition containing a polymerizable monomer and a radical polymerization initiator.
- the epoxy resin is obtained by cationic polymerization of an epoxy resin composition containing a polymerizable monomer and a cationic polymerization initiator.
- the first substrate 150 and the second substrate 160 are light-transmitting flat plate members or substantially flat plate members.
- Examples of the substrate include a glass substrate and a transparent resin substrate.
- the first spacer 170 and the second spacer 180 are substantially plate-like members having through holes formed at positions corresponding to the lens portions.
- Examples of the spacer include a resin substrate, a metal substrate, a glass substrate and the like in which through holes are formed by etching or machining.
- concentric concave portions C1, C2 are formed in the peripheral portions 110b, 120b, 130b, 140b of the respective lens portions, reflecting the shape of convex portions described later provided in the mold.
- C3 and C4 are formed.
- the fourth lens optical surface 140a ′ located closest to the image side is configured so that the effective diameter thereof is larger than those of the other lens optical surfaces 110a ′, 120a ′, and 130a ′. ing.
- the radius of curvature of the concave portion C4 formed around the fourth lens optical surface 140a ′ positioned closest to the image side is set to the other lens optical surfaces 110a ′,
- the radius of curvature of the recesses C1, C2, and C3 formed around 120a ′ and 130a ′ is set smaller.
- the fourth resin layer 140 including the fourth lens portion 140a located closest to the image side includes a recess C4 having a radius of curvature smaller than 0.1 mm.
- the first resin layer 110, the second resin layer 120, and the third resin layer 130 including the other lens portions 110a, 120a, and 130a include a recess having a radius of curvature of 0.1 mm or more. Does not include a recess smaller than 0.1 mm.
- a sub master mold is produced using a master mold having a lens molding surface corresponding to the shape of the lens optical surface.
- a lens portion including the lens optical surface is obtained.
- a plurality of wafer lenses are produced.
- the resin layer (fourth resin layer 140) including the concave portion having a radius of curvature smaller than 0.1 mm is negative.
- One feature is that it is formed using a positive master mold. That is, the fourth resin layer 140 including a recess having a radius of curvature smaller than 0.1 mm is formed by sequentially using a negative master molding die, a positive sub master molding die, and a negative sub sub master molding die.
- the first resin layer 110, the second resin layer 110, and the third resin layer 130 that do not include a recess having a radius of curvature smaller than 0.1 mm are a positive master molding die and a negative sub master molding die.
- PNP method sequentially used
- the number of lens portions included in one surface of the wafer lens is not particularly limited. However, from the viewpoint of manufacturing a large number of lens units at a low cost, for example, about 1000 to 20000 is preferable, and 2000 to 10000 is preferable. More preferred is about 3000 to 5000.
- the sub master mold, the sub sub master mold, and the wafer lens are all manufactured by forming a resin molding on the substrate. These include: a) a dispensing step of supplying a resin material onto at least one of the substrate and the mold; b) bringing the resin material so as to follow the shape of the molding surface of the mold by bringing the mold and the substrate close to each other. A sandwiching step of sandwiching between the two, c) a solidifying step of solidifying the resin material interposed between the mold and the substrate, and d) a resin molded product bonded to the substrate by separating the mold and the substrate. It is manufactured by a molding process including a mold release process for releasing from the mold.
- the lens portion and the peripheral portion formed on the substrate in the wafer lens are molded products made of a curable resin.
- the molding part (resin molding having a molding surface) formed on the substrate in the sub master molding die and the sub sub master molding die may be a molding made of a curable resin, or molding of a thermoplastic resin. It may be a thing.
- the curable resin the curable resin described above can be used.
- thermoplastic resins include alicyclic hydrocarbon resins, acrylic resins, polycarbonate resins, polyester resins, polyether resins, polyamide resins, polyimide resins, and the like.
- ultraviolet rays may be irradiated when a photocurable resin material is used as the resin material, and infrared rays may be irradiated when a thermosetting resin material is used. Further, when a thermoplastic resin is used as the resin material, the molten resin may be cooled and solidified.
- the wafer lens substrate is a transparent substrate such as a glass substrate or a transparent resin substrate.
- the substrate of the sub master mold and the sub sub master mold may not necessarily be transparent. Examples of these mold substrates include glass substrates, resin substrates, metal substrates, and the like.
- the master mold is made of metal, metal glass, glass or the like.
- a plurality of lens molding surfaces having a shape corresponding to the shape of the lens optical surface of the lens portion is formed on the surface of the master mold by diamond cutting or the like.
- the lens portion (the first resin layer 110, the second resin layer 120, and the third resin layer 130) with a small tolerance is small.
- the sub master mold is manufactured by the direct method (batch molding method), and for the lens portion (fourth resin layer 140) having a large tolerance, the sub master mold is manufactured by the step-and-repeat method.
- a direct method (using a large master mold of a full wafer size)
- a sub master mold is formed by a batch molding method.
- the “direct method (collective molding method)” means a method of forming a plurality of resin molded products on one substrate by simultaneously forming all the resin molded products. That is, in the “direct method”, a sub-master mold is manufactured by performing a dispensing process, a clamping process, a solidifying process, and a mold releasing process once using a large master mold having a full wafer size. In this case, the number of lens molding surfaces equal to or more than the number of lens molding surfaces formed on the sub-master molding die is formed on the master molding die. And a lens part is formed using this submaster mold, or the subsubmaster mold produced using this submaster mold.
- a sub master mold is formed by a step-and-repeat method using a small master mold.
- the “step and repeat method” means a method of forming a plurality of resin moldings on one substrate by repeatedly forming one or more resin moldings. That is, in the “step and repeat method”, a sub-master mold is manufactured by repeating the dispensing process, the clamping process, the solidifying process, and the mold releasing process while moving the small master mold (see FIG. 5).
- the master molding die is formed with a smaller number (for example, 1 to 100) of lens molding surfaces than the number of lens molding surfaces formed on the sub-master molding die.
- a lens part is formed using this submaster mold or a subsubmaster mold produced using this submaster mold.
- the sub master mold, the sub sub master mold, and the lens portion are all described using an example of a photocurable resin material.
- the resin material may be solidified by a suitable method.
- FIG. 2 is a cross-sectional view showing a procedure for forming the first resin layer 110.
- the first resin layer 110 is formed by a direct manufacturing method.
- the first resin layer 110 is formed using a positive master molding die and a negative sub master molding die (PNP format).
- PNP format positive master molding die
- a positive lens molding surface 212a corresponding to the shape of the first lens optical surface 110a ′ and a positive peripheral portion corresponding to the shape of the peripheral surface 110b ′.
- a full wafer size master molding die (second master molding die) 210 having a resin molding surface (fourth molding surface) 212 including a plurality of molding surfaces 212b the master molding die 210 and the glass substrate 222 are used.
- the resin material 223 is interposed therebetween, and the resin material 223 is cured by irradiating light from the glass substrate 222 side, whereby a negative-shaped resin molding surface corresponding to the shape of the first resin layer 110 (fifth A sub-master mold 220 having a full wafer size having a (molding surface) 224 is produced.
- the photocurable resin material 109 is sandwiched between the full-wafer sized submaster mold 220 and the glass substrate (first substrate) 150, and the glass substrate 150 side and / or Alternatively, the first resin layer 110 is formed by irradiating light from the glass substrate 222 side to cure the resin material 109.
- a wafer lens 230 having a plurality of first resin layers 110 is obtained.
- an appropriate amount of the resin material is individually arranged on each molding surface for the lens corresponding to the lens optical surface on either the molding die or the substrate, and then the molding die and the substrate are brought close to each other. And the resin material is solidified.
- the master mold used for the direct method has a lens mold number equal to or more than the number of lens portions formed on the wafer lens, that is, 1000 to 20000, more preferably 2000 to 10,000, and still more preferably 3000 to 5000. A surface is formed.
- FIG. 3 is a cross-sectional view showing a procedure for forming the second resin layer 120.
- the second resin layer 120 is also formed by a direct manufacturing method.
- the second resin layer 120 is also formed using a positive master molding die and a negative sub master molding die (PNP format).
- PNP format positive master molding die and a negative sub master molding die (PNP format).
- a positive lens molding surface 312a corresponding to the shape of the second lens optical surface 120a ′ and a positive peripheral portion corresponding to the shape of the peripheral surface 120b ′.
- a full wafer size master molding die (second master molding die) 310 having a resin molding surface (fourth molding surface) 312 including a plurality of molding surfaces 312b
- the master molding die 310 and the glass substrate 322 are used.
- the resin material 323 is interposed therebetween, and the resin material 323 is cured by irradiating light from the glass substrate 322 side, whereby a negative-shaped resin molding surface corresponding to the shape of the second resin layer 120 (the fifth A sub-master mold 320 having a full wafer size having a (molding surface) 324 is produced.
- an alignment mark (not shown) formed on the glass substrate 150 is formed by sub-master mold 320 having a full wafer size and a glass substrate (first substrate) 150 (wafer lens 230) on which the first resin layer 110 is formed. After alignment by reference or the like, as shown in FIG.
- a curable resin material 119 is sandwiched between the sub-master mold 320 and the back surface of the glass substrate 150, and the glass substrate 322 and / or the sub-master.
- the second resin layer 120 is formed by irradiating light from the mold 220 side and curing the resin material 119.
- a second resin layer 120 is formed on the other surface of one substrate 150. By doing so, handling of the wafer lens 230 is facilitated. Before forming the first resin layer 110, the second resin layer 120 may be formed.
- FIG. 4 is a cross-sectional view showing a procedure for forming the fourth resin layer 140.
- the fourth resin layer 140 is formed by the NPNP method using a negative master mold.
- the fourth resin layer 140 is formed by a step-and-repeat manufacturing method. First, as shown in FIG. 4A, a negative lens molding surface 412a corresponding to the shape of the fourth lens optical surface 140a ′ and a negative peripheral portion corresponding to the shape of the peripheral surface 140b ′ are used.
- first master molding die 410 having a resin molding surface (first molding surface) 412 including a plurality of molding surfaces 412b
- the master molding die 410 and the glass substrate 422 By interposing a resin material 423 therebetween and irradiating light from the glass substrate 422 side to cure the resin material 423 on the substrate 422, a positive-shaped resin molding surface corresponding to the shape of the fourth resin layer 140 (first Sub-master mold 420 having a second molding surface 424 is produced.
- first master molding die first master molding die
- first molding surface first molding surface
- first molding surface first molding surface 412 including a plurality of molding surfaces 412b
- submaster molding is performed by a “step and repeat method” in which a dispensing process, a clamping process, a solidification process, and a mold release process are repeated using a small master molding die 410.
- a mold 420 is produced.
- the master mold is formed with a smaller number (for example, 1 to 200) of lens molding surfaces than the number of lens molding surfaces formed on the sub-master mold.
- a resin material 433 is interposed between the full-wafer sized sub-master mold 420 and the glass substrate 432, and light is irradiated from the glass substrate 422 side and / or the glass substrate 432 side.
- a sub-submaster mold 430 having a negative-shaped resin molding surface (third molding surface) 434 corresponding to the shape of the fourth resin layer 140 is produced.
- a curable resin material 139 is sandwiched between the sub-submaster mold 430 of full wafer size and the glass substrate (second substrate) 160, and the glass substrate 432 side and / or the glass substrate
- the fourth resin layer 140 is formed by curing the resin material 139 by irradiating light from the substrate 160 side.
- FIG. 4D a wafer lens 440 having a plurality of fourth resin layers 140 is obtained.
- the fourth lens optical surface 140a ′ has a larger effective diameter and is closest to the image pickup surface of the image pickup device, etc., so that the tolerance for the lens shape and position compared to other lens optical surfaces is increased. Is relatively large. Therefore, it is appropriate to form the fourth lens optical surface 140a ′ by the NPNP method from the viewpoint of tolerance, and the usage frequency of the master mold 410 is not reduced without degrading the optical performance of the entire lens unit 100. Can be reduced.
- the master mold 410 for molding the fourth resin layer 140 a mold having a number of lens molding surfaces 412a smaller than the total number of the fourth lens optical surfaces 140 ′ is used. Therefore, it is more advantageous in terms of cost than using a full wafer size master mold.
- the number of lens molding surfaces 412a of the master mold 410 is too small, the number of step-and-repeat operations using the master mold increases, so in practice, a plurality of lens molding surfaces in a matrix form. It is necessary to use the master mold 410 in which 412a is arranged (for example, 10 ⁇ 10), and the master mold is still expensive. Therefore, it is useful to reduce the cost by adopting the NPNP method as in this embodiment.
- the lens portion including the lens optical surface with a small tolerance (the first resin layer 110, the second resin layer 120, and the third resin layer described later). 130) is formed by a direct manufacturing method.
- the lens portion (fourth resin layer 140) including the lens optical surface having a large tolerance is formed by a step-and-repeat manufacturing method.
- step-and-repeat manufacturing method a plurality of molding surfaces of the sub-master molding die are manufactured in a plurality of times, so that the shape error and position error of each molding surface may increase. For this reason, the shape error and the position error of the wafer lens may be increased to some extent.
- step-and-repeat manufacturing method since the size of the master mold is small, the manufacturing cost of the master mold is low.
- the function required for each lens optical surface is different, so the shape is different for each lens optical surface.
- the lens optics located closest to the image side It is required to increase the effective diameter of the surface.
- a lens portion (first resin layer 110, second resin layer including a lens optical surface with a small tolerance). 120 and the third resin layer 130) are formed by a direct manufacturing method, and a lens portion (fourth resin layer 140) including a lens optical surface having a large tolerance is formed by a step-and-repeat manufacturing method. To do.
- the number of lens molding surfaces 412a in the small master mold 410 is preferably about 0.1 to 10% of the total number of lenses of the wafer lens, for example about 1 to 200, preferably Is about 1 to 100.
- the number of lens molding surfaces 412a is one (that is, a single core)
- the number of steps and repeats is increased, but lathe processing can be used to manufacture the master mold 410, so that the master mold 410
- the processing time, the difficulty of processing, and the production cost are greatly improved.
- the number of molding surfaces 412a for the lens is plural, a multi-axis processing machine, a tool rotating shaft, and the like are required to produce the master mold 410, which is a more complicated manufacturing method than the case of a single core. Since the number of step-and-repeats during the production of the sub master mold can be greatly reduced as compared with the case of a single core, the manufacturing time of the wafer lens can be shortened and the master mold can be hardly deteriorated.
- a concave portion C4 reflecting a convex portion for controlling the spread of the resin provided in the mold is formed around the lens portion 140a of the fourth resin layer 140. Since the effective diameter of the lens optical surface 140a 'of the fourth resin layer 140 is the largest, the concave portion C4 has a fine structure with a small minimum radius of curvature. Thus, the 4th resin layer 140 has a complicated surface shape. Therefore, it is necessary to process the master mold 412 into a complicated shape corresponding to the complicated surface shape, and it is difficult to produce the master mold 412. However, in the present embodiment, the master molding die 410 used for forming the fourth resin layer 140 is made small so that the master molding die can be easily manufactured.
- FIG. 6 is a cross-sectional view showing a procedure for forming the third resin layer 130.
- the third resin layer 130 is formed by a direct manufacturing method.
- the third resin layer 130 is formed using a positive master molding die and a negative sub-master molding die (PNP format).
- PNP format positive sub-master molding die
- the resin material 523 is interposed therebetween, and the resin material 523 is cured by irradiating light from the glass substrate 522 side, whereby a negative-shaped resin molding surface corresponding to the shape of the third resin layer 130 (the fifth A full wafer size sub-master mold 520 having a molding surface 524 is produced.
- the sub master mold 520 and the glass substrate (second substrate) 160 (wafer lens 440) on which the fourth resin layer 140 is formed are referred to an alignment mark (not shown) formed on the glass substrate 160. After alignment, as shown in FIG.
- a curable resin material 129 is sandwiched between the sub-master mold 520 and the back surface of the glass substrate 160, and light is emitted from the glass substrate 522 side and / or the glass substrate 432 side.
- the third resin layer 130 is formed by curing the resin material 129 by irradiation.
- a wafer lens 530 having a plurality of third resin layers 130 on one surface and a plurality of fourth resin layers 140 on the other surface is obtained.
- the second sub-master mold 430 is released before the second sub-master mold 430 is released.
- a third resin layer 130 is formed on the other surface of the substrate 160.
- the third resin layer 134 may be formed before forming the fourth resin layer 144.
- FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining the second step of laminating the wafer lens and other members of 2) above and the third step of dividing the laminate including the wafer lens of 3) above.
- the wafer lens 530 formed with 140 and the second spacer 180 are laminated in this order and fixed to obtain a laminated body.
- an adhesive layer (not shown) is formed between the constituent members, and these constituent members are bonded and fixed to each other.
- alignment may be performed by referring to alignment marks (not shown) formed on the first substrate 150 and the second substrate 160.
- a fixing sheet 610 having an adhesive layer is attached to the lower surface of the second spacer 180 of the laminate thus obtained.
- the laminated body is divided (cut) for each lens unit 100 using a cutting blade 620 or the like.
- a cutting blade 620 or the like it is preferable to completely cut only the lens unit 100 without completely cutting the fixing sheet 610.
- FIG. 7D a plurality of lens units 100 fixed on the fixing sheet 610 can be manufactured.
- the lens unit 100 shown in FIG. 1 can be obtained by removing the fixing sheet 610.
- the resin layer (fourth resin layer 140) including a recess having a radius of curvature smaller than 0.1 mm includes a negative master mold, a positive submaster mold, and a negative mold. It is formed using a sub-submaster mold of the mold (NPNP method).
- the resin layer (the first resin layer 110, the second resin layer 120, and the third resin layer 130) that does not include a recess having a radius of curvature smaller than 0.1 mm is formed of a positive master mold and a negative mold. It is formed using a sub master mold (PNP method). The reason why the manufacturing procedure is changed depending on the minimum radius of curvature of the concave portion of the resin layer will be described with reference to FIG.
- the minimum value of the radius of curvature of the tip of a tool currently on the market is about 0.03 mm. Therefore, a recess having a curvature radius smaller than 0.03 mm, which is the minimum curvature radius of the tip portion of the commercial tool, cannot be formed in the master mold. Further, as described above, when a master mold is manufactured, a plurality of lens molding surfaces are repeatedly formed on one mold, so that the occurrence of processing defects due to tool wear becomes a problem. This problem is particularly problematic when using a tool having a small radius of curvature at the tip. Therefore, in practical use, it is preferable to use a tool having a radius of curvature of 0.1 mm or more. As a result, the minimum radius of curvature of the concave portion that can be formed in the master mold is at most 0.1 mm.
- FIG. 8A shows that when the minimum curvature radius R2 of the recess to be processed into the positive master mold 720P is equal to or larger than the curvature radius R1 of the tip of the processing tool 710 (R2 ⁇ R1), the master mold 720P is changed. It shows how it is processed. In this case, as shown in the figure, by processing the master mold 720P so that the tool 710 enters the recess, the recess having the curvature radius R2 can be appropriately formed.
- FIG. 8B is a schematic diagram showing how a negative master molding die 720N for molding a resin layer including a recess is produced using a tool 710.
- FIG. 8B As shown in this figure, when forming a molding surface corresponding to a resin layer having a recess in a negative master molding die 720N, a convex portion having a shape obtained by inverting the recess formed in the resin layer is master-molded. The mold 720N is formed. And when forming a convex part in this way, even if it uses the tool 710 with the front-end
- FIG. 8C shows the processing of the master mold 720P in the case where the minimum curvature radius R2 of the recess (shown by a broken line) to be processed into the positive master mold 720P is smaller than the curvature radius R1 of the tip portion of the processing tool 710. The state of is shown. As shown in this figure, the radius of curvature R1 of the tool 710 is larger than the minimum radius of curvature R2 of the recess to be formed, and the tool 710 interferes with the master mold 720P. Can not.
- the minimum radius of curvature R2 of the recess formed in the master mold is greater than or equal to the radius of curvature R1 of the machining tool, or a convex is formed on the master mold, or the radius of curvature of the tool tip is formed on the master mold. If there is no need to form a recess having a radius of curvature smaller than R1, it is possible to perform processing appropriately. Therefore, in the manufacturing method of the lens unit of the present embodiment, the resin layer (fourth resin layer 140) including the concave portion that has the minimum curvature radius R2 smaller than 0.1 mm and falls below the curvature radius R1 of the processing tool is obtained.
- the negative master molding die is selected, and a negative master molding die, a positive sub master molding die and a negative sub sub master molding die are used (NPNP method).
- NPNP method a positive master molding die with a small number of intermediate molding dies, so that the tolerance for the shape is small and the minimum radius of curvature R2 is
- a positive master mold and a negative sub master mold are used. (PNP method).
- the manufacturing method of the sub-master mold is varied according to the accuracy (allowable error) required for the lens part, so that the manufacturing cost is not impaired without impairing the optical performance of the lens unit. Can be reduced.
- a lens unit is manufactured by combining two wafer lenses
- the number of wafer lenses is not particularly limited.
- a lens unit may be manufactured using one wafer lens (see the third embodiment), or a lens unit may be manufactured using three or more wafer lenses (second embodiment). See form).
- the first to third resin layers are formed by a “direct method” in which a dispensing process, a sandwiching process, a solidifying process, and a releasing process are performed once using a large master mold.
- a dispensing process, a sandwiching process, a solidifying process, and a releasing process are performed once using a large master mold.
- the fourth resin layer by the “step and repeat method” in which the dispensing process, the clamping process, the solidifying process and the releasing process are repeated using a small master mold.
- a sub-master mold as an intermediate mold was produced.
- the fourth resin layer is formed by the NPNP method using a sub-master molding die formed by the step-and-repeat method.
- the tolerance of the fourth resin layer is large, the deterioration of the optical performance is suppressed.
- cost reduction can be realized.
- the frequency of use of a small master mold is increased to perform step-and-repeat.
- the frequency of use can be lowered.
- whether the sub-master mold for each resin layer is manufactured by the direct method or the step-and-repeat method may be determined in consideration of the optical performance and the manufacturing cost. For example, if the number of lens portions per wafer lens is not so large, a sub-master mold for the fourth resin layer may be produced by the direct method, and if the optical performance is acceptable.
- the sub-master mold for the third resin layer may be produced by a step-and-repeat method.
- the fourth resin layer may be formed by the PNP method if a slight decrease in optical performance is avoided, or the first resin layer to the third resin layer may be formed if the optical performance permits. Any of these may be formed by the NPNP method.
- the NPNP format using the sub-sub master mold is superior in terms of reducing manufacturing costs because a larger number of intermediate molds (sub-sub master molds) can be produced from one master mold.
- the number of times of transfer from the master mold to the wafer lens is 3, the shape error and the position error are likely to increase.
- the PNP format that does not use the sub-sub master mold is suitable for manufacturing a lens portion having a small tolerance because the number of transfers from the master mold to the wafer lens is two. Therefore, by appropriately combining these, an increase in manufacturing cost can be avoided without impairing optical performance.
- the lens optical surface (fourth resin layer) located closest to the imaging surface has a large tolerance, so that the NPNP format using the sub-submaster mold is used from the viewpoint of reducing the manufacturing cost. Is preferably formed.
- FIG. 9 is a cross-sectional view showing the lens unit of the second embodiment.
- the lens unit 800 includes a first resin layer 805 including a lens portion, a second resin layer 810 including a lens portion, a third resin layer 815 including a lens portion, and a lens portion.
- Fourth resin layer 820, fifth resin layer 825 including a lens portion, first substrate 830, second substrate 835, third substrate 840, first spacer 845, second spacer 850 and third The spacer 855 is provided.
- the first resin layer 805 is formed on one surface of the first substrate 830.
- the second resin layer 810 is formed on one surface of the second substrate 835, and the third resin layer 815 is formed on the other surface of the second substrate 835.
- the fourth resin layer 820 is formed on one surface of the third substrate 840, and the fifth resin layer 825 is formed on the other surface of the third substrate 840.
- a first spacer 845 is disposed between the first substrate 830 and the second substrate 835, and the first substrate 830 and the second resin layer 810 facing each other are separated from each other.
- a second spacer 850 is disposed between the second substrate 835 and the third substrate 840, and the third resin layer 815 and the fourth resin layer 820 facing each other are separated from each other.
- the third spacer 855 is disposed on the surface of the third substrate 840 where the fifth resin layer 825 is formed. The third spacer 855 controls the interval between the fifth resin layer 825 and an imaging surface of an imaging element (not shown).
- the first resin layer 805, the second resin layer 810, and the third resin layer 815 do not include a recess having a radius of curvature smaller than 0.1 mm, and a positive master molding die and a negative sub master molding die are used. It is formed using (PNP method). Further, the sub-master molds corresponding to the first resin layer 805, the second resin layer 810, and the third resin layer 815 are manufactured by a direct method.
- the fourth resin layer 820 and the fifth resin layer 825 include a concave portion having a radius of curvature smaller than 0.1 mm, and are provided with a negative master molding die, a positive sub master molding die, and a negative sub sub master molding die. It is formed using (NPNP method).
- the sub master mold corresponding to the fourth resin layer 820 and the fifth resin layer 825 is manufactured by a step-and-repeat method.
- the steps of laminating wafer lenses and the like and dividing (cutting) the laminated body are the same as the procedures described in the first embodiment.
- the lens optical surface manufactured by the first wafer lens manufacturing method using the sub-submaster mold is not limited to the lens optical surface positioned closest to the image side, and may be another lens optical surface.
- a plurality of lens optical surfaces may be manufactured by a first wafer lens manufacturing method using a sub-submaster mold.
- the lens optical surface manufactured by the step-and-repeat manufacturing method is not limited to the lens optical surface located closest to the image side, and may be another lens optical surface.
- a plurality of lens optical surfaces may be manufactured by a step-and-repeat manufacturing method. Further, it is not always necessary that all wafer lenses have lens portions on both sides as in the first embodiment, and a form in which wafer lenses having lens portions on only one side are laminated as in this embodiment. It may be.
- the manufacturing method of the lens unit of the present embodiment can obtain the same effects as those of the first embodiment.
- the lens unit 900 includes a first resin layer 910 including a first lens portion 910a and a peripheral portion 910b thereof, and a second resin including a second lens portion 920a and a leg portion 920b.
- a resin layer 920 and a first substrate 930 are included.
- the first resin layer 910 is formed on one surface of the first substrate 930, and the second resin layer 920 is formed on the other surface of the first substrate 930.
- the second resin layer 920 includes a second lens portion 920a and leg portions 920b protruding along the optical axis direction of the second lens portion 920a.
- the leg portion 920b functions as a spacer and controls the interval between the second resin layer 920 (second lens portion 920a) and the imaging surface of an imaging element (not shown).
- the leg portion 920b prevents the second lens portion 920a from coming into contact with another member and being damaged in various steps after forming the second lens portion 920a, such as each step in manufacturing the imaging lens module. It also functions as a protective member.
- the leg part 920b is cyclic
- the first resin layer 910 includes a recess C1 similar to the first resin layer 110 of the first embodiment between the first lens portion 910a and the peripheral portion 910b. However, it does not include a recess having a curvature radius smaller than 0.1 mm, and is formed using a positive master molding die and a negative sub master molding die (PNP method). Further, the sub master mold corresponding to the first resin layer 910 is manufactured by a direct method.
- the second resin layer 920 (the second lens portion 920a and the leg portion 920b) is integrally molded.
- the second resin layer 920 includes a concave portion C2 having a radius of curvature smaller than 0.1 mm at a connection portion between the second lens portion 920a and the leg portion 920b, and is a negative master molding die or a positive sub master molding die. And a negative type sub-submaster mold (NPNP method).
- NPNP method negative type sub-submaster mold
- the sub master mold corresponding to the second resin layer 920 is manufactured by a step-and-repeat method. That is, the second resin layer 920 has a steep concave portion C2 around the lens portion 920a.
- the portion of the master mold corresponding to the concave portion is a convex portion. Processing with a tool is possible in the same manner as described in the first embodiment and the second embodiment.
- the manufacturing method of the lens unit 900 of the present embodiment does not include a step of laminating wafer lenses or the like, but includes a step of dividing (cutting) the wafer lens.
- the process of dividing the wafer lens is the same as the procedure described in the first embodiment.
- the manufacturing method of the lens unit of the present embodiment can obtain the same effects as those of the first embodiment.
- the method for manufacturing a lens unit of the present invention is useful, for example, in manufacturing an imaging lens unit.
- Photocurable resin material 110 805, 910 First resin layer 110 ′ Surface of first resin layer 110a, 910a First lens portion 110a ′ first Lens optical surfaces 110b, 910b Peripheral part 110b 'of the first lens part Surfaces 120,810,920 of the first lens part 120', surface of the second resin layer 120a, 920a 2nd lens part 120a '2nd lens optical surface 120b Peripheral part of 2nd lens part 120b' Surface of peripheral part of 2nd lens part 130,815 3rd resin layer 130 'Surface of 3rd resin layer 130a Third lens part 130a 'Third lens optical surface 130b Third lens part peripheral part 130b' Third lens part peripheral part 140,820 Fourth resin layer 140 ′ Fourth resin layer surface 140a Fourth lens portion 140a ′ Fourth lens optical surface 140b Fourth lens portion peripheral portion 140b ′ Fourth lens portion peripheral portion surface 150 , 830, 930 First substrate 160, 835 Second substrate 1
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Abstract
Description
本発明は、光軸方向に並んで配置される複数のレンズ光学面を有するレンズユニットの製造方法およびそれにより得られるレンズユニットに関する。 The present invention relates to a method of manufacturing a lens unit having a plurality of lens optical surfaces arranged side by side in the optical axis direction, and a lens unit obtained thereby.
光学レンズの製造分野においては、光学レンズとして機能するレンズ部を含む樹脂層を、硬化性樹脂を用いてガラス基板の表面に形成することで、耐熱性の高い光学レンズを製造する技術が知られている。この技術を適用した光学レンズの製造方法として、ガラス基板の表面に硬化性樹脂からなるレンズ部を複数形成した、いわゆる「ウエハレンズ」を製造する方法が提案されている。ウエハレンズを製造した後、ウエハレンズのガラス基板を切断してレンズ部ごとに分割することで、多数の光学レンズを一度に得ることができる。 In the field of optical lens manufacturing, a technology for manufacturing an optical lens having high heat resistance by forming a resin layer including a lens portion functioning as an optical lens on the surface of a glass substrate using a curable resin is known. ing. As a method of manufacturing an optical lens to which this technique is applied, a method of manufacturing a so-called “wafer lens” in which a plurality of lens portions made of a curable resin are formed on the surface of a glass substrate has been proposed. After manufacturing the wafer lens, the glass substrate of the wafer lens is cut and divided for each lens portion, whereby a large number of optical lenses can be obtained at one time.
ウエハレンズの製造方法としては、レンズ光学面の形状に対応するネガ形状のレンズ用成形面が複数並んで配置されたマスター成形型とガラス基板との間に硬化性樹脂材料を介在させ、この樹脂材料を硬化させることで、硬化性樹脂からなるレンズ部をガラス基板上に成形する方法が挙げられる。つまり、マスター成形型およびレンズ部の形状が、ネガ形状→ポジ形状の順序で変化する(以下「NP方式」という)。しかし、マスター成形型は、金属などの硬質母材を切削などの加工を行うことによって作製されるため、ウエハレンズのサイズが大きくなると(例えば8インチ径)、加工に手間がかかり、マスター成形型が著しく高価なものとなってしまう。このため、現実的にはNP方式の採用は難しい。ウエハレンズの別の製造方法としては、マスター成形型を用いて作製された中間成形型を用いて、硬化性樹脂からなるレンズ部をガラス基板上に成形する方法もある(例えば、特許文献1,2参照)。 As a method of manufacturing a wafer lens, a curable resin material is interposed between a master mold in which a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of a lens optical surface are arranged and a glass substrate. A method of forming a lens portion made of a curable resin on a glass substrate by curing the material can be mentioned. That is, the shapes of the master mold and the lens portion change in the order of negative shape → positive shape (hereinafter referred to as “NP method”). However, since the master mold is manufactured by cutting a hard base material such as a metal, when the size of the wafer lens is increased (for example, 8 inch diameter), it takes time and effort to process the master mold. Becomes extremely expensive. For this reason, it is actually difficult to adopt the NP method. As another method for producing a wafer lens, there is a method of molding a lens portion made of a curable resin on a glass substrate using an intermediate mold produced using a master mold (for example, Patent Document 1, Patent Document 1). 2).
特許文献1,2には、マスター成形型および1種類の中間成形型(サブマスター成形型)を用いてウエハレンズを製造する方法が記載されている。この製造方法では、まず、レンズ光学面の形状に対応するポジ形状のレンズ用成形面を有するマスター成形型を用いて、ネガ形状のレンズ用成形面を有する樹脂成形物を基板上に成形することで、サブマスター成形型を作製する。次いで、サブマスター成形型を用いて、硬化性樹脂からなるレンズ部をガラス基板上に成形することで、ウエハレンズを製造する。つまり、マスター成形型、サブマスター成形型およびレンズ部の形状が、ポジ形状→ネガ形状→ポジ形状という順序で変化する(以下「PNP方式」という)。
また、特許文献2には、マスター成形型および2種類の中間成形型(サブマスター成形型およびサブサブマスター成形型)を用いてウエハレンズを製造する方法も記載されている。この製造方法では、まず、レンズ光学面の形状に対応するネガ形状のレンズ用成形面を有するマスター成形型を用いて、ポジ形状のレンズ用成形面を有する樹脂成形物を基板上に成形することで、サブマスター成形型を作製する。次いで、サブマスター成形型を用いて、ネガ形状のレンズ用成形面を有する樹脂成形物を基板上に成形することで、サブサブマスター成形型を作製する。最後に、サブサブマスター成形型を用いて、硬化性樹脂からなるレンズ部をガラス基板上に成形することで、ウエハレンズを製造する。つまり、マスター成形型、サブマスター成形型、サブサブマスター成形型およびレンズ部の形状が、ネガ形状→ポジ形状→ネガ形状→ポジ形状という順序で変化する(以下「NPNP方式」という)。
このようにマスター成形型を用いてレンズ部を直接成形するのではなく、中間成形型を用いてレンズ部を成形することで、マスター成形型の使用回数を低減することができる。その結果、高価なマスター成形型の劣化を防ぐことができ、製造コストを低減することができる。 In this way, the number of times the master mold is used can be reduced by molding the lens section using the intermediate mold instead of directly molding the lens section using the master mold. As a result, the expensive master mold can be prevented from being deteriorated, and the manufacturing cost can be reduced.
通常、サブマスター成形型は、a)基板またはマスター成形型の上に樹脂材料を供給するディスペンス工程、b)マスター成形型と基板とを互いに接近させて、マスター成形型の成形面の形状に倣うように樹脂材料を両者の間に挟持する挟持工程、c)マスター成形型と基板とで挟まれた樹脂材料を固化させる固化工程、およびd)マスター成形型と基板とを離して、基板に接合された樹脂成形物をマスター成形型から離型する離型工程、を含む成形工程により製造される。サブマスター成形型の製造方法としては、「ダイレクト方式(一括成形方式)」と「ステップアンドリピート方式」とが想定される。 Usually, the sub-master mold is a) a dispensing process in which a resin material is supplied onto the substrate or the master mold, and b) the master mold and the substrate are brought close to each other to follow the shape of the molding surface of the master mold. A sandwiching step of sandwiching the resin material between the two, c) a solidification step of solidifying the resin material sandwiched between the master mold and the substrate, and d) separating the master mold and the substrate and bonding them to the substrate The molded resin product is manufactured by a molding process including a mold release process for releasing the resin molded product from the master mold. As a manufacturing method of the sub master mold, a “direct method (collective molding method)” and a “step and repeat method” are assumed.
「ダイレクト方式(一括成形方式)」では、例えば、8インチ径の円板状のガラス基板(ガラスウエハ)を用いてウエハレンズを作製する場合、これ以上の径を持つ大型(フルウエハサイズ)のマスター成形型を用いて、ディスペンス工程、挟持工程、固化工程および離型工程を1回行うことで、サブマスター成形型を作製する。この場合、マスター成形型には、サブマスター成形型に形成するレンズ用成形面と同数以上(例えば、5000個)のレンズ用成形面が形成されている。一方、「ステップアンドリピート方式」では、小型のマスター成形型を用いて、ディスペンス工程、挟持工程、固化工程および離型工程を繰り返すことで、サブマスター成形型を作製する(例えば、特許文献3参照)。この場合、マスター成形型には、作製しようとするウエハレンズのレンズ部の数(つまり、サブマスター成形型に形成するレンズ用成形面の数)よりも少数(例えば、1~100個)のレンズ用成形面が形成されている。 In the “direct method (batch molding method)”, for example, when a wafer lens is manufactured using a disk-shaped glass substrate (glass wafer) having an 8-inch diameter, a large (full wafer size) having a diameter larger than this is used. By using the master mold, the dispensing process, the clamping process, the solidifying process, and the mold releasing process are performed once to produce a sub master mold. In this case, the number of lens molding surfaces equal to or greater than the number of lens molding surfaces formed on the sub-master molding die (for example, 5000) is formed on the master molding die. On the other hand, in the “step-and-repeat method”, a sub-master mold is produced by repeating a dispensing process, a clamping process, a solidifying process, and a mold releasing process using a small master mold (see, for example, Patent Document 3). ). In this case, the master mold has a smaller number (for example, 1 to 100) of lenses than the number of lens portions of the wafer lens to be manufactured (that is, the number of lens molding surfaces formed on the sub-master mold). A molding surface is formed.
近年、携帯電話機やスマートフォン、タブレット型端末などの携帯電子機器に搭載される撮像用レンズに対しても、高い光学性能を有することが求められており、高性能化のために物体側から像側に複数のレンズ光学面を並べて配置した構成のレンズユニットが採用されるようになっている。このような複数のレンズ光学面を有するレンズユニットは、ウエハレンズを分割して得られるレンズ部を複数種類組み合わせることで構成されうる。たとえば、第1のウエハレンズおよび第2のウエハレンズをそれぞれ作製し、これらをスペーサ―を介在させた状態で接着し、得られた積層体をレンズユニットごとに分割することで、上述した複数のレンズ光学面を有するレンズユニットを製造することができる。 In recent years, imaging lenses mounted on portable electronic devices such as mobile phones, smartphones, and tablet terminals are also required to have high optical performance. From the object side to the image side for high performance. A lens unit having a configuration in which a plurality of lens optical surfaces are arranged side by side is adopted. Such a lens unit having a plurality of lens optical surfaces can be configured by combining a plurality of types of lens portions obtained by dividing a wafer lens. For example, a first wafer lens and a second wafer lens are respectively produced and bonded together with a spacer interposed therebetween, and the obtained laminated body is divided for each lens unit. A lens unit having a lens optical surface can be manufactured.
このように光軸方向に並ぶ複数のレンズ光学面を有するレンズユニット、特に、複数のウエハレンズを積層して得られるレンズユニットでは、レンズ光学面の数が多いため、所期の光学性能を得るために、各レンズ光学面が、意図した形状に正確に再現され、また、意図した位置に正しく配置されていることが求められる。 Thus, in a lens unit having a plurality of lens optical surfaces arranged in the optical axis direction, particularly a lens unit obtained by laminating a plurality of wafer lenses, the desired optical performance is obtained because the number of lens optical surfaces is large. Therefore, it is required that each lens optical surface is accurately reproduced in an intended shape and is correctly arranged at an intended position.
(PNP方式とNPNP方式)
NPNP方式は、サブサブマスター成形型を得るために2回の転写を経るため、コスト面では有利であるものの、レンズ形状の再現性という点では不利である。このため、上述した複数のレンズ光学面を有するレンズユニットの全てのレンズ光学面をNPNP方式で作製すると、レンズユニット全体として十分な要求性能が得られにくくなるという問題がある。一方で、このような複数のレンズ光学面を有するレンズユニットにおいては、各レンズ光学面に求められる機能が異なるため、レンズ光学面ごとにその形状が異なっている。たとえば、撮像装置に搭載される撮像用レンズユニットでは、シェーディングの発生を防ぐべく、撮像素子の撮像面に結像する光束の主光線入射角度を小さくするために、最も像側に位置するレンズ光学面の有効径を大きくすることが求められる。このため、最も像側のレンズ光学面は、形状や位置についての許容誤差が比較的大きく、NPNP方式で作製したとしてもレンズユニット全体としては光学性能が低下しにくい。すなわち、レンズ光学面によっては、NPNP方式を採用する余地が残されている。
(PNP and NPNP methods)
The NPNP method is advantageous in terms of reproducibility of the lens shape, although it is advantageous in terms of cost because it undergoes two transfers to obtain a sub-submaster mold. For this reason, when all the lens optical surfaces of the lens unit having a plurality of lens optical surfaces described above are manufactured by the NPNP method, there is a problem that it is difficult to obtain sufficient required performance as the entire lens unit. On the other hand, in such a lens unit having a plurality of lens optical surfaces, since the functions required for each lens optical surface are different, the shape of each lens optical surface is different. For example, in an imaging lens unit mounted on an imaging device, in order to prevent the occurrence of shading, in order to reduce the chief ray incident angle of the light beam that forms an image on the imaging surface of the imaging device, the lens optics located closest to the image side It is required to increase the effective diameter of the surface. For this reason, the lens optical surface on the most image side has a relatively large tolerance for the shape and position, and even if manufactured by the NPNP method, the optical performance of the lens unit as a whole is unlikely to deteriorate. That is, there is room for adopting the NPNP method depending on the lens optical surface.
また、近年、レンズユニットの小型化が強く求められている。ここで、レンズ部の周囲に凹凸形状を形成する場合に、レンズユニットの小型化を実現しようとすると、レンズ部周囲の凹凸形状を微細化しなければならないことになる。このため、マスター成形型の作成が難しくなりつつある。 In recent years, there has been a strong demand for miniaturization of lens units. Here, in the case where the uneven shape is formed around the lens portion, if the size of the lens unit is to be reduced, the uneven shape around the lens portion must be made fine. For this reason, it is becoming difficult to create a master mold.
たとえば、レンズ部を成形するための成形型の各レンズ用成形面に個別に樹脂材料を配置してレンズ部を成形する場合、レンズ部の成形時におけるレンズ部周囲への樹脂材料の拡がりを制御するために、当該成形型に環状の凸部を形成することがある。この場合、成形の結果、成形型の凸部形状を反映して、レンズ部の周囲に環状の凹部が形成される。また、レンズ光学面の傷防止などの目的でレンズ部の周囲に脚部となる突起を形成する場合がある。この場合も、レンズ部と脚部との間に凹部が形成される。前述の通り、撮像用レンズユニットに含まれる複数のレンズ光学面のうち、最も像側に位置するレンズ光学面は、その有効径を大きくすることが求められる。しかし、レンズユニットが大型化しないようにするためには、周辺部のサイズを小さくしなければならないので、このようなレンズ光学面の周囲に形成される凹部は非常に微細で急峻なものとなる。 For example, when a lens part is molded by individually placing a resin material on each lens molding surface of the mold for molding the lens part, the spread of the resin material around the lens part during molding of the lens part is controlled. In order to do so, an annular protrusion may be formed on the mold. In this case, as a result of molding, an annular concave portion is formed around the lens portion, reflecting the convex shape of the molding die. In addition, for the purpose of preventing scratches on the lens optical surface, protrusions serving as leg portions may be formed around the lens portion. Also in this case, a concave portion is formed between the lens portion and the leg portion. As described above, of the plurality of lens optical surfaces included in the imaging lens unit, the lens optical surface located closest to the image side is required to have an increased effective diameter. However, in order not to increase the size of the lens unit, it is necessary to reduce the size of the peripheral portion. Therefore, the concave portion formed around the lens optical surface is very fine and steep. .
上述した凹部が周囲に形成されたレンズ部を複数有するウエハレンズを、ポジ型のマスター成形型(金型)およびネガ型のサブマスター成形型(樹脂型)を用いて製造する場合(PNP形式)、ポジ型のマスター成形型の成形面に、上述した凹部に対応する凹部を設ける必要がある。このようにマスター成形型に微細な凹部を設けるためには、その先端部の曲率半径が凹部の最小曲率半径よりも小さい工具を使用する必要がある。これらの凹部の最小曲率半径が、現在入手可能な工具の加工限界を下回ると、凹部をマスター成形型に形成することはできない。 When manufacturing a wafer lens having a plurality of lens portions each having the above-described concave portion formed by using a positive master mold (mold) and a negative sub-master mold (resin mold) (PNP format) It is necessary to provide a recess corresponding to the above-described recess on the molding surface of the positive master mold. Thus, in order to provide a fine recess in the master mold, it is necessary to use a tool whose radius of curvature at the tip is smaller than the minimum radius of curvature of the recess. If the minimum curvature radius of these recesses is below the processing limit of currently available tools, the recesses cannot be formed in the master mold.
また、マスター成形型を作製する場合には、1つの型に複数のレンズ用成形面を繰り返し形成するため、工具の磨耗による加工不良の発生が問題となる。この問題は、先端部の曲率半径が小さい工具を使用する際に特に顕著となる。先端部の曲率半径が小さい工具は、先端部が摩耗しやすく、加工時間も長くなりやすいからである。このため、実用上は、マスター成形型を作製する際には、先端部の曲率半径が過度に小さいものは使用できず、微細な凹部の加工はより困難になる。 Also, when producing a master mold, a plurality of lens molding surfaces are repeatedly formed on a single mold, which causes a problem of processing defects due to tool wear. This problem is particularly noticeable when using a tool having a small radius of curvature at the tip. This is because a tool having a small radius of curvature at the tip end is likely to be worn out and the processing time tends to be long. For this reason, in practical use, when a master mold is manufactured, a tip having an excessively small radius of curvature cannot be used, and it becomes more difficult to process a fine recess.
(ダイレクト方式とステップアンドリピート方式)
一方、前述の通り、ウエハレンズの製造方法としては、ダイレクト方式でサブマスター成形型を作製する方法と、ステップアンドリピート方式でサブマスター成形型を作製する方法とが想定される。なお、以下の説明では、ダイレクト方式で作製されたサブマスター成形型を用いてウエハレンズを製造する方法を「ダイレクト方式の製造方法」と称し、ステップアンドリピート方式で作製されたサブマスター成形型を用いてウエハレンズを製造する方法を「ステップアンドリピート方式の製造方法」と称することがある。
(Direct method and step-and-repeat method)
On the other hand, as described above, as a method for manufacturing a wafer lens, a method of manufacturing a submaster mold by a direct method and a method of manufacturing a submaster mold by a step-and-repeat method are assumed. In the following description, a method of manufacturing a wafer lens using a submaster mold manufactured by the direct method is referred to as a “direct method manufacturing method”, and a submaster mold manufactured by the step-and-repeat method is referred to as a “direct method”. A method of manufacturing a wafer lens using the same may be referred to as a “step-and-repeat manufacturing method”.
これらの方法を比較すると、サブマスター成形型のすべてのレンズ用成形面を同時に形成するダイレクト方式の製造方法は、サブマスター成形型のレンズ用成形面を複数回に分けて形成するステップアンドリピート方式の製造方法に比べて、最終的に形成されるレンズ光学面の精度(形状精度および位置精度)が優れている。このため、レンズユニットに含まれる各レンズ部をダイレクト方式の製造方法で形成することにより、レンズ光学面の形状や位置が意図した通りに形成され、高性能化の要請にも応えられる、光学性能に優れたレンズユニットを製造することができる。 Comparing these methods, the direct manufacturing method that simultaneously forms all lens molding surfaces of the sub-master mold is a step-and-repeat method that forms the lens molding surface of the sub-master mold in multiple steps. Compared with this manufacturing method, the accuracy (shape accuracy and position accuracy) of the lens optical surface finally formed is excellent. For this reason, by forming each lens part included in the lens unit with a direct manufacturing method, the shape and position of the lens optical surface is formed as intended, and optical performance that meets the demand for higher performance. Can be manufactured.
しかしながら、レンズユニットに含まれるすべてのレンズ部のサブマスター成形型をダイレクト方式の製造方法で形成した場合、レンズユニットの製造コストが大幅に増大してしまうという問題が生じる。すなわち、ダイレクト方式の製造方法では、フルウエハサイズの大型のマスター成形型を準備しなければならないが、レンズ用成形面の個数が増えるほど、加工が難しく、かつ加工時間が長くなるため、ダイレクト方式に用いる大型のマスター成形型の作製は、ステップアンドリピート方式に用いる小型のマスター成形型に比べて数倍~10倍以上の時間および費用を要することがある。その結果、ダイレクト方式に用いる大型のマスター成形型は、非常に高価なものとなる。また、レンズユニットを小型化するためにレンズ部の径を小さくしたり、一度に得られるレンズユニットの数を多くするためにウエハレンズあたりのレンズ部の個数を増やしたり、さらに、レンズユニットの高性能化を図るためにレンズ光学面に複雑な形状を持たせたり、成形の都合や傷防止などの目的でレンズ部周囲に凹凸などを設けたりすると、マスター成形型の加工の難易度がさらに上昇し、マスター成形型の加工自体が実質的に困難になることもあり得る。 However, when the sub-master molds of all the lens parts included in the lens unit are formed by the direct manufacturing method, there arises a problem that the manufacturing cost of the lens unit is greatly increased. That is, in the direct manufacturing method, it is necessary to prepare a large master mold with a full wafer size, but as the number of lens molding surfaces increases, the processing becomes more difficult and the processing time becomes longer. The production of a large master mold used in the process may require several times to 10 times as much time and cost as a small master mold used in the step-and-repeat method. As a result, a large master mold used for the direct method is very expensive. In addition, the lens unit diameter can be reduced to reduce the size of the lens unit, the number of lens units per wafer lens can be increased to increase the number of lens units obtained at one time, and the lens unit height can be increased. If the lens optical surface has a complicated shape to improve performance, or if irregularities are provided around the lens for the purpose of molding or preventing scratches, the difficulty of processing the master mold will increase further. However, the processing of the master mold itself may be substantially difficult.
本発明の目的は、製造コストを抑制しつつ、高い光学性能を持つレンズユニットの提供の要請に応えられる、レンズユニットの製造方法を提供することである。また、本発明の他の目的は、この製造方法によって得られるレンズユニットを提供することである。 An object of the present invention is to provide a method of manufacturing a lens unit that can meet a demand for providing a lens unit having high optical performance while suppressing manufacturing cost. Another object of the present invention is to provide a lens unit obtained by this manufacturing method.
本発明者は、複数のレンズ光学面を有するレンズユニットにおいては、所期の光学性能を得るために、各レンズ光学面が意図した形状で正しい位置に形成されていることが求められる一方で、各レンズ光学面に求められる機能が異なり、レンズ光学面ごとにその形状が異なるため、形状や位置の許容誤差が比較的大きいレンズ光学面が存在していることに着目し、本発明を創出するに至った。本発明のレンズユニットの製造方法は、レンズ光学面を形成する際に、その形状や位置の許容誤差に応じて、PNP方式およびNPNP方式のいずれかを選択すること、および/または、ダイレクト方式およびステップアンドリピート方式のいずれかを選択することを特徴とする。 In the lens unit having a plurality of lens optical surfaces, the inventor is required to form each lens optical surface in the intended position in the correct position in order to obtain the desired optical performance, The present invention is created by focusing on the fact that there are lens optical surfaces with relatively large tolerances in shape and position because the functions required for each lens optical surface are different and the shape of each lens optical surface is different. It came to. The method of manufacturing a lens unit according to the present invention includes selecting a PNP method and an NPNP method according to the tolerance of the shape and position when forming a lens optical surface, and / or a direct method and One of the step-and-repeat methods is selected.
すなわち、本発明のレンズユニットの製造方法は、光軸方向に並んで配置される第1のレンズ光学面および第2のレンズ光学面を含む、複数のレンズ光学面を有するレンズユニットの製造方法であって、前記第1のレンズ光学面は、前記第1のレンズ光学面の形状に対応するネガ形状のレンズ用成形面を複数含む第1の成形面を有する第1のマスター成形型および樹脂材料を用いて成形を行うことで、前記第1のレンズ光学面の形状に対応するポジ形状のレンズ用成形面を複数含む第2の成形面を有する第1のサブマスター成形型を作製する工程と、前記第1のサブマスター成形型および樹脂材料を用いて成形を行うことで、前記第1のレンズ光学面の形状に対応するネガ形状のレンズ用成形面を複数含む第3の成形面を有するサブサブマスター成形型を作製する工程と、前記サブサブマスター成形型および硬化性樹脂材料を用いて成形を行うことで、前記第1のレンズ光学面を複数含む第1の表面を有する第1の樹脂層を形成する工程と、を含む、第1のウエハレンズの製造方法により形成され、前記第2のレンズ光学面は、前記第2のレンズ光学面の形状に対応するポジ形状のレンズ用成形面を複数含む第4の成形面を有する第2のマスター成形型および樹脂材料を用いて成形を行うことで、前記第2のレンズ光学面の形状に対応するネガ形状のレンズ用成形面を複数含む第5の成形面を複数有する第2のサブマスター成形型を作製する工程と、前記第2のサブマスター成形型および硬化性樹脂材料を用いて成形を行うことで、前記第2のレンズ光学面を複数含む第2の表面を有する第2の樹脂層を形成する工程と、を含む、第2のウエハレンズの製造方法により形成される、ことを特徴とする。 That is, the manufacturing method of the lens unit of the present invention is a manufacturing method of a lens unit having a plurality of lens optical surfaces including a first lens optical surface and a second lens optical surface arranged side by side in the optical axis direction. The first lens optical surface includes a first master molding die and a resin material having a first molding surface including a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of the first lens optical surface. Forming a first sub master mold having a second molding surface including a plurality of positive lens molding surfaces corresponding to the shape of the first lens optical surface by molding using The third molding surface includes a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of the first lens optical surface by molding using the first sub-master molding die and the resin material. Sub-subma A first resin layer having a first surface including a plurality of the first lens optical surfaces by performing a molding using a sub-submaster molding die and a curable resin material. Forming a first wafer lens manufacturing method, wherein the second lens optical surface includes a plurality of positive lens molding surfaces corresponding to the shape of the second lens optical surface. 5th including a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of the second lens optical surface by molding using a second master molding die having a fourth molding surface and a resin material. Forming a second sub-master mold having a plurality of molding surfaces, and molding the second lens optical surface by using the second sub-master mold and the curable resin material. Containing second surface And forming a second resin layer having, formed by the manufacturing method of the second wafer lens, it is characterized.
また、本発明のレンズユニットの製造方法は、光軸方向に並んで配置される第1のレンズ光学面および第2のレンズ光学面を含む複数のレンズ光学面を有するレンズユニットの製造方法であって、前記第1のレンズ光学面および前記第2のレンズ光学面は、レンズ光学面の形状に対応するレンズ用成形面を有するマスター成形型と樹脂材料とを用いて成形を行うことで、前記レンズ光学面の形状に対応するレンズ用成形面を複数有するサブマスター成形型を作製する工程と、前記サブマスター成形型、または前記サブマスター成形型を用いて作製されたサブサブマスター成形型と、硬化性樹脂材料とを用いて成形を行うことで、前記レンズ光学面を含むレンズ部を複数有するウエハレンズを作製する工程と、を含む、ウエハレンズの製造方法により形成され、前記第1のレンズ光学面に対応する第1のサブマスター成形型は、前記第1のレンズ光学面の形状に対応する形状のレンズ用成形面を1または2以上有する第1のマスター成形型を用いて、1または2以上の樹脂成形物を繰り返し形成することで1の基板上に複数の樹脂成形物を形成するステップアンドリピート方式で作製され、前記第2のレンズ光学面に対応する第2のサブマスター成形型は、前記第2のレンズ光学面の形状に対応する形状のレンズ用成形面を複数有する第2のマスター成形型を用いて、すべての樹脂成形物を同時に形成することで1の基板上に複数の樹脂成形物を形成するダイレクト方式で作製される、ことを特徴とする。 The method for manufacturing a lens unit according to the present invention is a method for manufacturing a lens unit having a plurality of lens optical surfaces including a first lens optical surface and a second lens optical surface arranged side by side in the optical axis direction. The first lens optical surface and the second lens optical surface are molded by using a master molding die having a lens molding surface corresponding to the shape of the lens optical surface and a resin material. A step of producing a sub-master mold having a plurality of molding surfaces for lenses corresponding to the shape of the lens optical surface, the sub-master mold, or a sub-sub-master mold produced using the sub-master mold, and curing Forming a wafer lens having a plurality of lens portions including the lens optical surface by molding using a functional resin material. And the first sub-master mold corresponding to the first lens optical surface has a first or second lens molding surface having a shape corresponding to the shape of the first lens optical surface. Using a master mold, one or two or more resin moldings are repeatedly formed to form a plurality of resin moldings on one substrate, and the step-and-repeat method is used to form the second lens optical surface. The corresponding second sub-master mold uses the second master mold having a plurality of lens molding surfaces corresponding to the shape of the second lens optical surface to form all the resin moldings simultaneously. Thus, it is produced by a direct method in which a plurality of resin moldings are formed on one substrate.
本発明のレンズユニットは、上記本発明のレンズユニットの製造方法により製造されることを特徴とする。 The lens unit of the present invention is manufactured by the above-described method for manufacturing a lens unit of the present invention.
本発明によれば、コストの増大を抑制しつつ、光学性能の高性能化への要請に応えられるレンズユニットを製造することができる。 According to the present invention, it is possible to manufacture a lens unit that can meet the demand for higher optical performance while suppressing an increase in cost.
以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.
本発明の各実施形態に係るレンズユニットの製造方法では、レンズ光学面を形成する際に、その形状や位置の許容誤差に応じて、製造方式(PNP方式/NPNP方式、およびダイレクト方式/ステップアンドリピート方式)を選択する。 In the method of manufacturing a lens unit according to each embodiment of the present invention, when forming a lens optical surface, a manufacturing method (PNP method / NPNP method, direct method / step and step and step and step and operation) is performed according to the tolerance of the shape and position. Select (Repeat method).
(第1の実施形態)
図1Aは、第1の実施形態に係るレンズユニットの断面図(図1Bに示されるA-A線の断面図)であり、図1Bは、第1の実施形態に係るレンズユニットの底面図である。これらの図に示されるように、本実施形態のレンズユニット100は、第1のレンズ部110aおよびその周辺部110bを含む第1の樹脂層110と、第2のレンズ部120aおよびその周辺部120bを含む第2の樹脂層120と、第3のレンズ部130aおよびその周辺部130bを含む第3の樹脂層130と、第4のレンズ部140aおよびその周辺部140bを含む第4の樹脂層140と、第1の基板150と、第2の基板160と、第1のスペーサ170と、第2のスペーサ180とを有する。
(First embodiment)
1A is a cross-sectional view of the lens unit according to the first embodiment (a cross-sectional view taken along line AA shown in FIG. 1B), and FIG. 1B is a bottom view of the lens unit according to the first embodiment. is there. As shown in these drawings, the
第1の樹脂層110は、第1の基板150の一方の面上に形成されており、第2の樹脂層120は、第1の基板150の他方の面上に形成されている。同様に、第3の樹脂層130は、第2の基板160の一方の面上に形成されており、第4の樹脂層140は、第2の基板160の他方の面上に形成されている。第1の基板150と第2の基板160との間には第1のスペーサ170が配置されており、互いに対向する第2の樹脂層120と第3の樹脂層130とが離間している。第2のスペーサ180は、第2の基板160の第4の樹脂層140が形成されている面上に配置されている。第2のスペーサ180は、第4の樹脂層140と図示しない撮像素子の撮像面との間隔を制御する。
The
レンズユニット100は、スペーサを接着するための接着層を有しており、この他にも、絞りや赤外線カットコートなどを有していてもよい。また、第1の基板150および第2の基板160には、レンズ部を含む樹脂層を基板の両面に位置合わせして形成するためのアライメントマークや、後述するウエハレンズ積層時の位置合わせ用のアライメントマークが設けられていてもよい。説明の便宜上、これらについては図示およびその説明を省略する。
The
第1のレンズ部110a、第2のレンズ部120a、第3のレンズ部130aおよび第4のレンズ部140aは、それぞれ第1のレンズ光学面110a’、第2のレンズ光学面120a’、第3のレンズ光学面130a’および第4のレンズ光学面140a’を有しており、各レンズ光学面の光軸が一致するように、物体側(図中上側)から像側(図中下側)に順に配置されている。各レンズ光学面の形状は、要求される機能に応じてそれぞれ異なっている。本実施形態では、第1のレンズ光学面110a’は、物体側に対して凸形状である。第2のレンズ光学面120a’は、像側に対して凹形状である。第3のレンズ光学面130a’は、中心部が物体側に対して凸形状であり、その周囲が物体側に対して凹形状である。第4のレンズ光学面140a’は、中心が像側に対して凹形状であり、その周辺が像側に対して凸である。各レンズ光学面110a’、120a’、130a’、140a’は、いずれも非球面形状である。また、各レンズ光学面110a’、120a’、130a’、140a’は、物体側から順に有効径および外径が大きくなっている。周辺部110b、120b、130b、140bは、それぞれ、後述する環状の凹部C1、C2、C3、C4を含んでいる。各周辺部の表面110b’、120b’、130b’、140b’と、各レンズ光学面110a’、120a’、130a’、140a’とで、それぞれ、樹脂層表面(第2の表面)110’、120’、130’、樹脂層表面(第1の表面)140’が構成されている。
The
各レンズ光学面の許容誤差(形状誤差および位置誤差)は、レンズ光学面ごとに異なる。たとえば、有効径が小さいレンズ光学面と有効径が大きいレンズ光学面とを比較すると、有効径が大きいレンズ光学面の方が、レンズ光学面の形状や位置の誤差による影響(光学性能の低下)が相対的に小さい。すなわち、本実施形態では、最も像側に位置する第4のレンズ部140は、許容誤差が大きく、その他のレンズ部110、120、130は、許容誤差が小さい。
The tolerance (shape error and position error) of each lens optical surface is different for each lens optical surface. For example, when comparing a lens optical surface with a small effective diameter with a lens optical surface with a large effective diameter, the lens optical surface with a large effective diameter is more affected by the shape and position error of the lens optical surface (deterioration of optical performance). Is relatively small. That is, in the present embodiment, the
第1の樹脂層110、第2の樹脂層120、第3の樹脂層130および第4の樹脂層140は、光硬化性樹脂や熱硬化性樹脂などの硬化性樹脂からなる。光硬化性樹脂の例には、アクリル樹脂やアリルエステル樹脂、エポキシ樹脂などが含まれる。アクリル樹脂やアリルエステル樹脂は、重合性単量体およびラジカル系重合開始剤を含むアクリル樹脂組成物やアリルエステル樹脂組成物などの硬化性樹脂材料をラジカル重合させることにより得られる。エポキシ樹脂は、重合性単量体およびカチオン系重合開始剤を含むエポキシ樹脂組成物をカチオン重合させることにより得られる。
The
第1の基板150および第2の基板160は、光透過性の平板状または略平板状の部材である。基板の例には、ガラス基板や、透明樹脂基板などが含まれる。
The
第1のスペーサ170および第2のスペーサ180は、レンズ部に対応する位置に貫通孔が形成された略平板状の部材である。スペーサの例には、樹脂基板、金属基板、ガラス基板などに、エッチングや機械加工などで貫通孔を形成したものが含まれる。
The
図1Aにおいて破線で示されるように、成形型に設けられた後述する凸部の形状を反映して、各レンズ部の周辺部110b、120b、130b、140bには、同心円状の凹部C1、C2、C3、C4が形成されている。また、シェーディングの発生を防ぐために、最も像側に位置する第4のレンズ光学面140a’は、その有効径が他のレンズ光学面110a’、120a’、130a’よりも大きくなるように構成されている。さらに、レンズユニット全体のサイズが大きくならないようにするため、最も像側に位置する第4のレンズ光学面140a’の周囲に形成される凹部C4の曲率半径は、その他のレンズ光学面110a’、120a’、130a’の周囲に形成される凹部C1、C2、C3の曲率半径よりも小さくしてある。具体的には、本実施形態では、最も像側に位置する第4のレンズ部140aを含む第4樹脂層140は、曲率半径が0.1mmより小さい凹部C4を含んでいる。一方、その他のレンズ部110a、120a、130aを含む、第1樹脂層110、第2樹脂層120、第3樹脂層130は、曲率半径が0.1mm以上の凹部を含んでいるが、曲率半径が0.1mmより小さい凹部を含んでいない。
As indicated by broken lines in FIG. 1A, concentric concave portions C1, C2 are formed in the
次に、本実施形態のレンズユニットの製造方法について説明する。 Next, a method for manufacturing the lens unit of this embodiment will be described.
本実施形態のレンズユニットの製造方法は、1)2以上のウエハレンズを作製する第1の工程と、2)2以上のウエハレンズおよびその他の部材を積層し、固定することで積層体を得る第2の工程と、3)ウエハレンズを含む積層体をレンズユニットごとに分割する第3の工程とを有する。 In the manufacturing method of the lens unit of the present embodiment, 1) a first step for producing two or more wafer lenses, and 2) a laminate is obtained by laminating and fixing two or more wafer lenses and other members. A second step, and 3) a third step of dividing the laminated body including the wafer lens for each lens unit.
上記1)のウエハレンズを作製する工程では、まず、レンズ光学面の形状に対応するレンズ用成形面を有するマスター成形型を用いてサブマスター成形型を作製する。次いで、得られたサブマスター成形型、または前記サブマスター成形型を用いて作製されたサブサブマスター成形型と硬化性樹脂材料とを用いて成形を行うことで、前記レンズ光学面を含むレンズ部を複数有するウエハレンズを作製する。 In the step 1) for producing the wafer lens, first, a sub master mold is produced using a master mold having a lens molding surface corresponding to the shape of the lens optical surface. Next, by performing molding using the obtained sub-master molding die, or a sub-sub-master molding die produced using the sub-master molding die and a curable resin material, a lens portion including the lens optical surface is obtained. A plurality of wafer lenses are produced.
特に、本実施形態のレンズユニットの製造方法は、上記1)のウエハレンズを作製する工程において、曲率半径が0.1mmより小さい凹部を含む樹脂層(第4の樹脂層140)については、ネガ型のマスター成形型を使用して形成し、曲率半径が0.1mm以下の凹部を含まない樹脂層(第1の樹脂層110、第2の樹脂層110および第3の樹脂層130)については、ポジ型のマスター成形型を使用して形成することを一つの特徴とする。すなわち、曲率半径が0.1mmより小さい凹部を含む第4の樹脂層140は、ネガ型のマスター成形型、ポジ型のサブマスター成形型およびネガ型のサブサブマスター成形型を順次使用して形成される(NPNP方式)。一方、曲率半径が0.1mmより小さい凹部を含まない第1の樹脂層110、第2の樹脂層110および第3の樹脂層130は、ポジ型のマスター成形型およびネガ型のサブマスター成形型を順次使用して形成される(PNP方式)。ここで、ウエハレンズの一方の面に含まれるレンズ部の個数は、特に限定されないが、多数のレンズユニットを低コストで製造する観点からは、例えば1000~20000個程度が好ましく、2000~10000個程度がより好ましく、3000~5000個程度が特に好ましい。
In particular, in the manufacturing method of the lens unit of the present embodiment, in the step of manufacturing the wafer lens of 1), the resin layer (fourth resin layer 140) including the concave portion having a radius of curvature smaller than 0.1 mm is negative. For resin layers (
サブマスター成形型、サブサブマスター成形型およびウエハレンズは、いずれも基板上に樹脂成形物を形成することで製造される。これらは、a)基板および成形型の少なくとも一方の上に樹脂材料を供給するディスペンス工程、b)成形型と基板とを互いに接近させて、成形型の成形面の形状に倣うように樹脂材料を両者の間に挟持する挟持工程、c)成形型と基板との間に介在する樹脂材料を固化させる固化工程、およびd)成形型と基板とを離して、基板に接合された樹脂成形物を成形型から離型する離型工程、を含む成形工程により製造される。 The sub master mold, the sub sub master mold, and the wafer lens are all manufactured by forming a resin molding on the substrate. These include: a) a dispensing step of supplying a resin material onto at least one of the substrate and the mold; b) bringing the resin material so as to follow the shape of the molding surface of the mold by bringing the mold and the substrate close to each other. A sandwiching step of sandwiching between the two, c) a solidifying step of solidifying the resin material interposed between the mold and the substrate, and d) a resin molded product bonded to the substrate by separating the mold and the substrate. It is manufactured by a molding process including a mold release process for releasing from the mold.
前述の通り、ウエハレンズにおいて基板上に形成されるレンズ部および周辺部は、硬化性樹脂からなる成形物である。一方、サブマスター成形型およびサブサブマスター成形型において基板上に形成される成形部(成形面を有する樹脂成形物)は、硬化性樹脂からなる成形物であってもよいし、熱可塑性樹脂の成形物であってもよい。硬化性樹脂としては、前述の硬化性樹脂を使用することができる。一方、熱可塑性樹脂の例には、脂環式炭化水素系樹脂やアクリル樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリエステル樹脂、ポリエーテル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂などが含まれる。上記c)の固化工程では、樹脂材料として光硬化性樹脂材料を使用する場合は紫外線を照射し、熱硬化性樹脂材料を使用する場合は赤外線を照射すればよい。また、樹脂材料として熱可塑性樹脂を使用する場合は、溶融状態の樹脂を冷却して固化させればよい。 As described above, the lens portion and the peripheral portion formed on the substrate in the wafer lens are molded products made of a curable resin. On the other hand, the molding part (resin molding having a molding surface) formed on the substrate in the sub master molding die and the sub sub master molding die may be a molding made of a curable resin, or molding of a thermoplastic resin. It may be a thing. As the curable resin, the curable resin described above can be used. On the other hand, examples of thermoplastic resins include alicyclic hydrocarbon resins, acrylic resins, polycarbonate resins, polyester resins, polyether resins, polyamide resins, polyimide resins, and the like. In the solidifying step c), ultraviolet rays may be irradiated when a photocurable resin material is used as the resin material, and infrared rays may be irradiated when a thermosetting resin material is used. Further, when a thermoplastic resin is used as the resin material, the molten resin may be cooled and solidified.
また、ウエハレンズの基板は、ガラス基板や透明樹脂基板などの透明基板である。一方、サブマスター成形型およびサブサブマスター成形型の基板は、必ずしも透明でなくてもよい。これらの成形型の基板の例には、ガラス基板や樹脂基板、金属基板などが含まれる。 The wafer lens substrate is a transparent substrate such as a glass substrate or a transparent resin substrate. On the other hand, the substrate of the sub master mold and the sub sub master mold may not necessarily be transparent. Examples of these mold substrates include glass substrates, resin substrates, metal substrates, and the like.
マスター成形型は、金属や金属ガラス、ガラスなどからなる。マスター成形型の表面には、ダイヤモンド切削などにより、レンズ部のレンズ光学面の形状に対応する形状の複数のレンズ用成形面が形成されている。 The master mold is made of metal, metal glass, glass or the like. A plurality of lens molding surfaces having a shape corresponding to the shape of the lens optical surface of the lens portion is formed on the surface of the master mold by diamond cutting or the like.
本実施形態のレンズユニットの製造方法は、このウエハレンズを作製する工程において、許容誤差の小さいレンズ部(第1の樹脂層110、第2の樹脂層120および第3の樹脂層130)については、サブマスター成形型をダイレクト方式(一括成形方式)で作製し、許容誤差の大きいレンズ部(第4の樹脂層140)については、サブマスター成形型をステップアンドリピート方式で作製することを一つの特徴とする。
In the method of manufacturing the lens unit according to the present embodiment, in the process of manufacturing the wafer lens, the lens portion (the
具体的には、第1の樹脂層110、第2の樹脂層120および第3の樹脂層130を有するウエハレンズの製造工程では、フルウエハサイズの大型のマスター成形型を用いて、ダイレクト方式(一括成形方式)でサブマスター成形型が形成される。ここで「ダイレクト方式(一括成形方式)」とは、すべての樹脂成形物を同時に形成することで、1の基板上に複数の樹脂成形物を形成する方式を意味する。すなわち、「ダイレクト方式」では、フルウエハサイズの大型のマスター成形型を用いて、ディスペンス工程、挟持工程、固化工程および離型工程を1回行うことで、サブマスター成形型を作製する。この場合、マスター成形型には、サブマスター成形型に形成するレンズ用成形面と同数以上のレンズ用成形面が形成されている。そして、このサブマスター成形型、またはこのサブマスター成形型を用いて作製されたサブサブマスター成形型を用いてレンズ部が形成される。
Specifically, in the manufacturing process of a wafer lens having the
一方、第4の樹脂層140を有するウエハレンズの製造工程では、小型のマスター成形型を用いて、ステップアンドリピート方式でサブマスター成形型が形成される。ここで「ステップアンドリピート方式」とは、1または2以上の樹脂成形物を繰り返し形成することで、1の基板上に複数の樹脂成形物を形成する方式を意味する。すなわち、「ステップアンドリピート方式」では、小型のマスター成形型を移動させながら、ディスペンス工程、挟持工程、固化工程および離型工程を繰り返すことで、サブマスター成形型を作製する(図5参照)。この場合、マスター成形型には、サブマスター成形型に形成するレンズ用成形面の数よりも少数(例えば、1~100個)のレンズ用成形面が形成されている。そして、このサブマスター成形型またはこのサブマスター成形型を用いて作製されたサブサブマスター成形型を用いてレンズ部が形成される。
On the other hand, in the manufacturing process of the wafer lens having the
以下、図2~図6を参照して、上記1)のウエハレンズを作製する第1の工程について具体的に説明する。なお、以下では、サブマスター成形型、サブサブマスター成形型およびレンズ部は、いずれも光硬化性樹脂材料を用いて作製する例を説明しているが、他の種類の樹脂材料を用いた場合はそれに適した方法で樹脂材料を固化させればよいことは言うまでもない。 Hereinafter, with reference to FIGS. 2 to 6, the first step of producing the wafer lens of 1) will be specifically described. In the following description, the sub master mold, the sub sub master mold, and the lens portion are all described using an example of a photocurable resin material. However, when other types of resin materials are used, Needless to say, the resin material may be solidified by a suitable method.
図2は、第1の樹脂層110を形成する手順を示す断面図である。前述の通り、第1の樹脂層110は、ダイレクト方式の製造方法で形成される。また、第1の樹脂層110は、ポジ型のマスター成形型およびネガ型のサブマスター成形型を使用して形成される(PNP形式)。まず、図2Aに示されるように、第1のレンズ光学面110a’の形状に対応するポジ形状のレンズ用成形面212aと、周辺部の表面110b’の形状に対応するポジ形状の周辺部用成形面212bとをそれぞれ複数含む樹脂成形面(第4の成形面)212を有するフルウエハサイズのマスター成形型(第2のマスター成形型)210を用いて、このマスター成形型210とガラス基板222との間に樹脂材料223を介在させ、ガラス基板222側から光照射して樹脂材料223を硬化させることで、第1の樹脂層110の形状に対応するネガ形状の樹脂成形面(第5の成形面)224を有するフルウエハサイズのサブマスター成形型220を作製する。次いで、図2Bに示されるように、フルウエハサイズのサブマスター成形型220とガラス基板(第1の基板)150との間に光硬化性樹脂材料109を挟持して、ガラス基板150側および/またはガラス基板222側から光照射して樹脂材料109を硬化させることにより、第1の樹脂層110を形成する。以上の手順により、図2Cに示されるように、第1の樹脂層110を複数有するウエハレンズ230を得る。なお、成形時には、成形型または基板のいずれかに、レンズ光学面に対応するレンズ用成形面ごとに樹脂材料を適量ずつ個別に配置した上で、成形型と基板とを接近させ樹脂材料を両者の間に挟持し、樹脂材料を固化させるようにしている。以下に説明する各樹脂層120、130、140についても同様である。また、ダイレクト方式に用いるマスター成形型には、ウエハレンズに形成されるレンズ部の個数以上、すなわち、1000~20000個、より好ましくは2000~10000個、さらに好ましくは3000~5000個のレンズ用成形面が形成されている。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a procedure for forming the
図3は、第2の樹脂層120を形成する手順を示す断面図である。第2の樹脂層120も、ダイレクト方式の製造方法で形成される。また、第2の樹脂層120も、ポジ型のマスター成形型およびネガ型のサブマスター成形型を使用して形成される(PNP形式)。まず、図3Aに示されるように、第2のレンズ光学面120a’の形状に対応するポジ形状のレンズ用成形面312aと、周辺部の表面120b’の形状に対応するポジ形状の周辺部用成形面312bとをそれぞれ複数含む樹脂成形面(第4の成形面)312を有するフルウエハサイズのマスター成形型(第2のマスター成形型)310を用いて、このマスター成形型310とガラス基板322との間に樹脂材料323を介在させ、ガラス基板322側から光照射して樹脂材料323を硬化させることで、第2の樹脂層120の形状に対応するネガ形状の樹脂成形面(第5の成形面)324を有するフルウエハサイズのサブマスター成形型320を作製する。次いで、フルウエハサイズのサブマスター成形型320と、第1の樹脂層110を形成したガラス基板(第1の基板)150(ウエハレンズ230)とをガラス基板150に形成された図示しないアライメントマークを参照するなどして位置合わせした後、図3Bに示されるように、サブマスター成形型320とガラス基板150の裏面との間に硬化性樹脂材料119を挟持し、ガラス基板322および/またはサブマスター成形型220側から光照射して樹脂材料119を硬化させることにより、第2の樹脂層120を形成する。以上の手順により、図3Cに示されるように、一方の面に複数の第1の樹脂層110を有し、他方の面に複数の第2の樹脂層120を有するウエハレンズ330を得る。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a procedure for forming the
なお、本実施形態においては、図3Bに示されるように、第1の基板150の一方の面に第1の樹脂層110を形成した後、サブマスター成形型220を離型する前に、第1の基板150の他方の面に第2の樹脂層120を形成している。このようにすることで、ウエハレンズ230の取扱いが容易になる。第1の樹脂層110を形成する前に、第2の樹脂層120を形成してもよい。
In the present embodiment, as shown in FIG. 3B, after the
図4は、第4の樹脂層140を形成する手順を示す断面図である。第4の樹脂層140は、ネガ型のマスター成形型を使用して、NPNP方式で形成される。また、本実施形態においては、第4の樹脂層140は、ステップアンドリピート方式の製造方法で形成される。まず、図4Aに示されるように、第4のレンズ光学面140a’の形状に対応するネガ形状のレンズ用成形面412aと、周辺部の表面140b’の形状に対応するネガ形状の周辺部用成形面412bとをそれぞれ複数含む樹脂成形面(第1の成形面)412を有する小型のマスター成形型(第1のマスター成形型)410を用いて、このマスター成形型410とガラス基板422との間に樹脂材料423を介在させ、ガラス基板422側から光照射して基板422上の樹脂材料423を硬化させることで、第4の樹脂層140の形状に対応するポジ形状の樹脂成形面(第2の成形面)424を有するサブマスター成形型420を作製する。図4Aに示される例では、図5に示すように、小型のマスター成形型410を用いて、ディスペンス工程、挟持工程、固化工程および離型工程を繰り返す「ステップアンドリピート方式」により、サブマスター成形型420を作製している。マスター成形型には、サブマスター成形型に形成するレンズ用成形面の数よりも少数(例えば、1~200個)のレンズ用成形面が形成されている。次いで、図4Bに示されるように、フルウエハサイズのサブマスター成形型420とガラス基板432との間に樹脂材料433を介在させ、ガラス基板422側および/またはガラス基板432側から光照射して樹脂材料433を硬化させることにより、第4の樹脂層140の形状に対応するネガ形状の樹脂成形面(第3の成形面)434を有するサブサブマスター成形型430を作製する。次いで、図4Cに示されるように、フルウエハサイズのサブサブマスター成形型430とガラス基板(第2の基板)160との間に硬化性樹脂材料139を挟持し、ガラス基板432側および/またはガラス基板160側から光照射して樹脂材料139を硬化させることにより、第4の樹脂層140を形成する。以上の手順により、図4Dに示されるように、第4の樹脂層140を複数有するウエハレンズ440を得る。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a procedure for forming the
ここで、第4のレンズ光学面140a’は、有効径が大きいことと撮像素子の撮像面に最も近いことなどに起因して、他のレンズ光学面に比べてレンズ形状および位置についての許容誤差が比較的大きい。したがって、第4のレンズ光学面140a’をNPNP方式で形成することは、許容誤差の観点からも適切であり、レンズユニット100全体としての光学性能を低下させることなく、マスター成形型410の使用頻度を低減することができる。なお、本実施形態においては、第4の樹脂層140を成形するためのマスター成形型410として、第4のレンズ光学面140’の総数よりも少ない数のレンズ用成形面412aを有するものを用いているので、フルウエハサイズのマスター成形型を用いる場合よりはコスト面で有利である。しかしながら、マスター成形型410のレンズ用成形面412aの数が少なすぎると、マスター成形型を用いたステップアンドリピートの回数が増大してしまうため、実際には、マトリクス状に複数のレンズ用成形面412aが配置された(例えば、10×10個)マスター成形型410を用いる必要があり、マスター成形型が高価であることには変わりがない。したがって、本実施形態のように、NPNP方式を採用することでコスト低減を図ることは有用である。
Here, the fourth lens
このように、本実施形態のレンズユニットの製造方法では、許容誤差が小さいレンズ光学面を含むレンズ部(第1の樹脂層110、第2の樹脂層120、および、後述する第3の樹脂層130)が、ダイレクト方式の製造方法で形成される。一方、許容誤差が大きいレンズ光学面を含むレンズ部(第4の樹脂層140)は、ステップアンドリピート方式の製造方法で形成される。
As described above, in the method of manufacturing the lens unit according to the present embodiment, the lens portion including the lens optical surface with a small tolerance (the
ダイレクト方式の製造方法では、サブマスター成形型のすべての成形面を同時に形成するため、各成形面の形状誤差および位置誤差が小さい。このため、形状誤差および位置誤差の小さいウエハレンズを作製することができる。その一方で、ダイレクト方式の製造方法では、フルウエハサイズの大きなマスター成形型を作製しなければならないため、マスター成形型の製造コストが顕著に増大してしまう。 In the direct manufacturing method, since all the molding surfaces of the sub-master mold are formed simultaneously, the shape error and position error of each molding surface are small. For this reason, a wafer lens having a small shape error and position error can be manufactured. On the other hand, in the direct manufacturing method, a master mold having a large full wafer size must be manufactured, so that the manufacturing cost of the master mold is remarkably increased.
これに対し、ステップアンドリピート方式の製造方法では、サブマスター成形型の複数の成形面を複数回に分けて製造するため、各成形面の形状誤差および位置誤差が大きくなることがある。このため、ウエハレンズの形状誤差および位置誤差がある程度大きくなってしまうことがある。一方で、ステップアンドリピート方式の製造方法では、マスター成形型のサイズが小さいため、マスター成形型の製造コストが低い。 On the other hand, in the step-and-repeat manufacturing method, a plurality of molding surfaces of the sub-master molding die are manufactured in a plurality of times, so that the shape error and position error of each molding surface may increase. For this reason, the shape error and the position error of the wafer lens may be increased to some extent. On the other hand, in the step-and-repeat manufacturing method, since the size of the master mold is small, the manufacturing cost of the master mold is low.
本実施形態のレンズユニットのように、光軸方向に並ぶ複数のレンズ光学面を有するレンズユニットにおいては、各レンズ光学面に求められる機能が異なるため、レンズ光学面ごとにその形状が異なっている。たとえば、撮像装置に搭載される撮像用レンズユニットでは、シェーディングの発生を防ぐべく、撮像素子の撮像面に結像する光束の主光線入射角度を小さくするために、最も像側に位置するレンズ光学面の有効径を大きくすることが求められる。 In the lens unit having a plurality of lens optical surfaces arranged in the optical axis direction as in the lens unit of the present embodiment, the function required for each lens optical surface is different, so the shape is different for each lens optical surface. . For example, in an imaging lens unit mounted on an imaging device, in order to prevent the occurrence of shading, in order to reduce the chief ray incident angle of the light beam that forms an image on the imaging surface of the imaging device, the lens optics located closest to the image side It is required to increase the effective diameter of the surface.
そこで、本実施形態においては、レンズユニットの光学性能を損なうことなく、製造コストを低減させるために、許容誤差が小さいレンズ光学面を含むレンズ部(第1の樹脂層110、第2の樹脂層120および第3の樹脂層130)は、ダイレクト方式の製造方法で形成し、許容誤差が大きいレンズ光学面を含むレンズ部(第4の樹脂層140)は、ステップアンドリピート方式の製造方法で形成することとしている。
Therefore, in the present embodiment, in order to reduce the manufacturing cost without impairing the optical performance of the lens unit, a lens portion (
なお、小型のマスター成形型410におけるレンズ用成形面412aの数は、ウエハレンズ全体のレンズ個数の0.1~10%程度の数であることが好ましく、例えば1~200個程度であり、好ましくは1~100個程度である。特に、レンズ用成形面412aの数を1個(すなわち、単コア)とする場合は、ステップアンドリピートの回数は増えるものの、マスター成形型410の作製に旋盤加工を使用できるので、マスター成形型410の加工時間、加工難易度および作製コストが大幅に改善される。一方、レンズ用成形面412aの数が複数個の場合は、マスター成形型410の作製に多軸加工機や工具回転軸などが必要となり、単コアの場合よりも複雑な製造方法となるものの、単コアの場合よりもサブマスター成形型作製時のステップアンドリピートの回数を大きく減らすことができるので、ウエハレンズの製造時間を短縮し、かつ、マスター成形型を劣化しにくくすることができる。
The number of
また、第4の樹脂層140のレンズ部140aの周辺には、成形型に設けられた樹脂の広がりを制御するための凸部を反映した凹部C4が形成されている。第4の樹脂層140のレンズ光学面140a’の有効径は最も大きいので、凹部C4は最小曲率半径が小さい、微細な構造を有している。このように、第4の樹脂層140は、複雑な表面形状を有している。したがって、マスター成形型412もその複雑な表面形状に対応した複雑な形状に加工を施す必要があり、マスター成形型412の作製は困難である。しかしながら、本実施形態においては、第4の樹脂層140を形成するために用いるマスター成形型410を小型のものとすることで、マスター成形型の作製を容易にしている。
Further, a concave portion C4 reflecting a convex portion for controlling the spread of the resin provided in the mold is formed around the
図6は、第3の樹脂層130を形成する手順を示す断面図である。第3の樹脂層130は、ダイレクト方式の製造方法で形成される。また、第3の樹脂層130は、ポジ型のマスター成形型およびネガ型のサブマスター成形型を使用して形成される(PNP形式)。まず、図6Aに示されるように、第3のレンズ光学面130a’の形状に対応するポジ形状のレンズ用成形面512aと、周辺部の表面130b’の形状に対応するポジ形状の周辺部用成形面512bとをそれぞれ複数含む樹脂成形面(第4の成形面)512を有するフルウエハサイズのマスター成形型(第2のマスター成形型)510を用いて、このマスター成形型510とガラス基板522との間に樹脂材料523を介在させ、ガラス基板522側から光照射して樹脂材料523を硬化させることで、第3の樹脂層130の形状に対応するネガ形状の樹脂成形面(第5の成形面)524を有するフルウエハサイズのサブマスター成形型520を作製する。次いで、サブマスター成形型520と、第4樹脂層140を形成したガラス基板(第2の基板)160(ウエハレンズ440)とをガラス基板160に形成された図示しないアライメントマークを参照するなどして位置合わせした後、図6Bに示されるように、サブマスター成形型520とガラス基板160の裏面との間に硬化性樹脂材料129を挟持し、ガラス基板522側および/またはガラス基板432側から光照射して樹脂材料129を硬化させることにより、第3の樹脂層130を形成する。以上の手順により、図6Cに示されるように、一方の面に複数の第3の樹脂層130を有し、他方の面に複数の第4の樹脂層140を有するウエハレンズ530を得る。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a procedure for forming the
なお、本実施形態では、図6Bに示されるように、第2の基板160の一方の面に第4の樹脂層140を形成した後、サブサブマスター成形型430を離型する前に、第2の基板160の他方の面に第3の樹脂層130を形成している。第4の樹脂層144を形成する前に、第3樹脂層134を形成してもよい。
In the present embodiment, as shown in FIG. 6B, after the
図7は、上記2)のウエハレンズおよびその他の部材を積層する第2の工程と、上記3)のウエハレンズを含む積層体を分割する第3の工程を説明するための断面図である。 FIG. 7 is a cross-sectional view for explaining the second step of laminating the wafer lens and other members of 2) above and the third step of dividing the laminate including the wafer lens of 3) above.
まず、図7Aに示されるように、第1の樹脂層110および第2の樹脂層120を形成したウエハレンズ330と、第1のスペーサ170と、第3の樹脂層130および第4の樹脂層140を形成したウエハレンズ530と、第2のスペーサ180とをこの順に積層し、固定して、積層体を得る。通常は、各構成部材の間に接着層(図示せず)を形成して、これらの構成部材を互いに接着固定する。なお、積層体を得るに当たっては、第1の基板150や第2の基板160に形成した図示しないアライメントマークを参照するなどして位置合わせを行えばよい。こうして得られた積層体の第2のスペーサ180の下面に、粘着層を有する固定用シート610を貼りつける。
First, as shown in FIG. 7A, the
次いで、図7Bおよび図7Cに示されるように、切断刃物620などを使用して、積層体をレンズユニット100ごとに分割(切断)する。このとき、取扱いを容易にする観点から、固定用シート610を完全に切断することなくレンズユニット100のみを完全に切断することが好ましい。以上の手順により、図7Dに示されるように、固定用シート610上に固定された、複数のレンズユニット100を製造することができる。この後、固定用シート610を除去することで、図1に示されるレンズユニット100を得ることができる。
Next, as shown in FIG. 7B and FIG. 7C, the laminated body is divided (cut) for each
本実施形態のレンズユニットの製造方法では、曲率半径が0.1mmより小さい凹部を含む樹脂層(第4の樹脂層140)は、ネガ型のマスター成形型、ポジ型のサブマスター成形型およびネガ型のサブサブマスター成形型を使用して形成される(NPNP方式)。一方、曲率半径が0.1mmより小さい凹部を含まない樹脂層(第1の樹脂層110、第2の樹脂層120および第3の樹脂層130)は、ポジ型のマスター成形型およびネガ型のサブマスター成形型を使用して形成される(PNP方式)。このように、樹脂層の凹部の最小曲率半径によって製造手順を変える理由を、図8を参照して説明する。
In the manufacturing method of the lens unit of the present embodiment, the resin layer (fourth resin layer 140) including a recess having a radius of curvature smaller than 0.1 mm includes a negative master mold, a positive submaster mold, and a negative mold. It is formed using a sub-submaster mold of the mold (NPNP method). On the other hand, the resin layer (the
現在市販されている工具の先端部の曲率半径の最小値は、0.03mm程度である。したがって、マスター成形型には、市販工具の先端部の最小の曲率半径である0.03mmより小さい曲率半径の凹部を形成することができない。また、前述の通り、マスター成形型を作製する場合には、1つの型に複数のレンズ用成形面を繰り返し形成するため、工具の磨耗による加工不良の発生が問題となる。この問題は、先端部の曲率半径が小さい工具を使用する際に特に問題となる。このため、実用上は、曲率半径が0.1mm以上の工具を使用することが好ましく、結果的に、マスター成形型に形成できる凹部の最小曲率半径はせいぜい0.1mmである。 The minimum value of the radius of curvature of the tip of a tool currently on the market is about 0.03 mm. Therefore, a recess having a curvature radius smaller than 0.03 mm, which is the minimum curvature radius of the tip portion of the commercial tool, cannot be formed in the master mold. Further, as described above, when a master mold is manufactured, a plurality of lens molding surfaces are repeatedly formed on one mold, so that the occurrence of processing defects due to tool wear becomes a problem. This problem is particularly problematic when using a tool having a small radius of curvature at the tip. Therefore, in practical use, it is preferable to use a tool having a radius of curvature of 0.1 mm or more. As a result, the minimum radius of curvature of the concave portion that can be formed in the master mold is at most 0.1 mm.
図8Aは、ポジ型のマスター成形型720Pに加工しようとする凹部の最小曲率半径R2が、加工工具710の先端部の曲率半径R1以上である場合に(R2≧R1)、マスター成形型720Pを加工する様子を示している。この場合、図に示すように、工具710が凹部内に入り込むようにしてマスター成形型720Pを加工することで、適切に曲率半径R2の凹部を形成することができる。
FIG. 8A shows that when the minimum curvature radius R2 of the recess to be processed into the
図8Bは、凹部を含む樹脂層を成形するためのネガ型のマスター成形型720Nを、工具710を用いて作製する様子を示す模式図である。この図に示されるように、凹部を有する樹脂層に対応する成形面を、ネガ型のマスター成形型720Nに形成する場合、樹脂層に形成される凹部を反転させた形状の凸部をマスター成形型720Nに形成することになる。そして、このように凸部を形成する場合は、この図に示されるように、凹部の最小曲率半径R2よりも大きな曲率半径R1を有する先端部を持つ工具710を使用しても、マスター成形型720Nに適切な加工を行うことができる。
FIG. 8B is a schematic diagram showing how a negative master molding die 720N for molding a resin layer including a recess is produced using a
図8Cは、ポジ型のマスター成形型720Pに加工しようとする凹部(破線で示す)の最小曲率半径R2が、加工工具710の先端部の曲率半径R1より小さい場合における、マスター成形型720Pの加工の様子を示している。この図に示されるように、工具710の曲率半径R1が形成しようとする凹部の最小曲率半径R2よりも大きく、工具710がマスター成形型720Pに干渉してしまうため、適切な加工を行うことができない。
FIG. 8C shows the processing of the
このように、マスター成形型に形成する凹部の最小曲率半径R2が加工工具の曲率半径R1以上であるか、マスター成形型に凸部を形成するか、マスター成形型には工具先端部の曲率半径R1よりも小さい曲率半径を有する凹部を形成する必要がないか、のいずれかであれば、適切に加工を行うことができる。したがって、本実施形態のレンズユニットの製造方法では、最小曲率半径R2が0.1mmより小さく、加工工具の曲率半径R1を下回ってしまうような凹部を含む樹脂層(第4の樹脂層140)は、ネガ型のマスター成形型を選択し、ネガ型のマスター成形型、ポジ型のサブマスター成形型およびネガ型のサブサブマスター成形型を使用して形成される(NPNP方式)。一方、レンズ部の精度を向上させる観点からは、中間成形型が介在する回数が少ない、ポジ型のマスター成形型を使用することが好ましいため、形状についての許容誤差が小さく、最小曲率半径R2が0.1mm以下の凹部を含まない樹脂層(第1の樹脂層110、第2の樹脂層120および第3樹脂層130)は、ポジ型のマスター成形型およびネガ型のサブマスター成形型を使用して形成される(PNP方式)。
In this way, the minimum radius of curvature R2 of the recess formed in the master mold is greater than or equal to the radius of curvature R1 of the machining tool, or a convex is formed on the master mold, or the radius of curvature of the tool tip is formed on the master mold. If there is no need to form a recess having a radius of curvature smaller than R1, it is possible to perform processing appropriately. Therefore, in the manufacturing method of the lens unit of the present embodiment, the resin layer (fourth resin layer 140) including the concave portion that has the minimum curvature radius R2 smaller than 0.1 mm and falls below the curvature radius R1 of the processing tool is obtained. The negative master molding die is selected, and a negative master molding die, a positive sub master molding die and a negative sub sub master molding die are used (NPNP method). On the other hand, from the viewpoint of improving the accuracy of the lens portion, it is preferable to use a positive master molding die with a small number of intermediate molding dies, so that the tolerance for the shape is small and the minimum radius of curvature R2 is For the resin layer (the
以上のように、本実施形態に係るレンズユニットの製造方法では、すべてのレンズ光学面が、樹脂製の中間成形型を用いて成形されるので、必要な光学性能を維持しつつ、コスト増大を抑制することができる。また、ウエハレンズを作製する工程において、最終的に得ようとするレンズ部を含む樹脂層の形状に応じて、ポジ型のマスター成形型を使用するか、ネガ型のマスター成形型を使用するかを選択しているため、先端部のRが0.1mm超の工具を使用しても、各レンズ光学面が高精度に形成されたレンズユニットを製造することができる。特に、第4の樹脂層は、NPNP方式で成形されるので、中間成形型の介在回数が他の樹脂層よりも多くなるが、許容誤差が大きいため光学性能が低下しにくいといえる。また、ウエハレンズを作製する工程において、レンズ部に求められる精度(許容誤差)に応じて、サブマスター成形型の製造方式を異ならせているため、レンズユニットの光学性能を損なうことなく、製造コストを低減させることができる。 As described above, in the method of manufacturing the lens unit according to the present embodiment, all lens optical surfaces are molded using the resin intermediate mold, so that the cost can be increased while maintaining the necessary optical performance. Can be suppressed. Whether to use a positive master mold or a negative master mold depending on the shape of the resin layer including the lens part to be finally obtained in the process of manufacturing the wafer lens. Therefore, even if a tool having a tip R of more than 0.1 mm is used, a lens unit in which each lens optical surface is formed with high accuracy can be manufactured. In particular, since the fourth resin layer is molded by the NPNP method, the number of intervening intermediate molds is greater than that of other resin layers, but it can be said that the optical performance is hardly deteriorated because of a large tolerance. Also, in the process of manufacturing the wafer lens, the manufacturing method of the sub-master mold is varied according to the accuracy (allowable error) required for the lens part, so that the manufacturing cost is not impaired without impairing the optical performance of the lens unit. Can be reduced.
なお、本実施形態では、2枚のウエハレンズを組み合わせてレンズユニットを製造する例について説明したが、ウエハレンズの枚数は特に限定されない。たとえば、1枚のウエハレンズを用いてレンズユニットを製造してもよいし(第3の実施形態参照)、3枚以上のウエハレンズを用いてレンズユニットを製造してもよい(第2の実施形態参照)。 In this embodiment, an example in which a lens unit is manufactured by combining two wafer lenses has been described, but the number of wafer lenses is not particularly limited. For example, a lens unit may be manufactured using one wafer lens (see the third embodiment), or a lens unit may be manufactured using three or more wafer lenses (second embodiment). See form).
また、本実施形態では、基板の両面にレンズ部が形成されているウエハレンズを使用してレンズユニットを製造する例について説明したが、基板の片面にのみレンズ部が形成されているウエハレンズを使用してもよい(第2の実施形態参照)。 In this embodiment, an example in which a lens unit is manufactured using a wafer lens in which lens portions are formed on both surfaces of the substrate has been described. However, a wafer lens in which a lens portion is formed only on one surface of the substrate is described. You may use (refer 2nd Embodiment).
また、本実施形態では、大型のマスター成形型を用いて、ディスペンス工程、挟持工程、固化工程および離型工程を1回行う「ダイレクト方式」により、第1~第3の樹脂層を成形するためのサブマスター成形型を作製し、小型のマスター成形型を用いて、ディスペンス工程、挟持工程、固化工程および離型工程を繰り返す「ステップアンドリピート方式」により、第4の樹脂層を形成するための中間成形型としてのサブマスター成形型を作製した。第4の樹脂層は、ステップアンドリピート方式で成形されたサブマスター成形型を用いるNPNP方式で形成されることになるが、第4の樹脂層の許容誤差が大きいため、光学性能の低下を抑えつつ低コスト化を実現することができる。また、特に、第4の樹脂層については、ステップアンドリピートを行うために小型のマスター成形型の使用頻度が高くなるところ、サブサブマスター成形型を用いるNPNP方式で成形を行うため、マスター成形型の使用頻度を低くすることができる。しかしながら、各樹脂層のサブマスター成形型を、ダイレクト方式とステップアンドリピート方式のどちらの方式で作製するかは、光学性能と製造コストとを勘案して決定すればよい。たとえば、一のウエハレンズ当たりのレンズ部の個数があまり多くないのであれば、第4の樹脂層のサブマスター成形型をダイレクト方式で作製してもよいし、光学性能的に許容できるのであれば、第3の樹脂層のサブマスター成形型をステップアンドリピート方式で作製してもよい。 In the present embodiment, the first to third resin layers are formed by a “direct method” in which a dispensing process, a sandwiching process, a solidifying process, and a releasing process are performed once using a large master mold. For forming the fourth resin layer by the “step and repeat method” in which the dispensing process, the clamping process, the solidifying process and the releasing process are repeated using a small master mold. A sub-master mold as an intermediate mold was produced. The fourth resin layer is formed by the NPNP method using a sub-master molding die formed by the step-and-repeat method. However, since the tolerance of the fourth resin layer is large, the deterioration of the optical performance is suppressed. However, cost reduction can be realized. In particular, for the fourth resin layer, the frequency of use of a small master mold is increased to perform step-and-repeat. However, since the molding is performed by the NPNP method using the sub-sub master mold, The frequency of use can be lowered. However, whether the sub-master mold for each resin layer is manufactured by the direct method or the step-and-repeat method may be determined in consideration of the optical performance and the manufacturing cost. For example, if the number of lens portions per wafer lens is not so large, a sub-master mold for the fourth resin layer may be produced by the direct method, and if the optical performance is acceptable. The sub-master mold for the third resin layer may be produced by a step-and-repeat method.
また、例えば、光学性能の低下を少しでも避けるのであれば、PNP方式で第4の樹脂層を形成してもよいし、光学性能上許されるのであれば、第1樹脂層~第3樹脂層のいずれかをNPNP方式で形成してもよい。 In addition, for example, the fourth resin layer may be formed by the PNP method if a slight decrease in optical performance is avoided, or the first resin layer to the third resin layer may be formed if the optical performance permits. Any of these may be formed by the NPNP method.
サブサブマスター成形型を使用するNPNP形式は、1つのマスター成形型からより多数の中間型(サブサブマスター成形型)を作製することができるため、製造コストを低減する点で優れている。一方で、マスター成形型からウエハレンズまでの転写回数が3回となるため、形状誤差および位置誤差が大きくなりやすい。これに対し、サブサブマスター成形型を使用しないPNP形式は、マスター成形型からウエハレンズまでの転写回数が2回となるため、許容誤差が小さいレンズ部の製造に適している。そこで、これらを適切に組み合わせることで、光学性能を損なうことなく、製造コストの増大を回避することができる。 The NPNP format using the sub-sub master mold is superior in terms of reducing manufacturing costs because a larger number of intermediate molds (sub-sub master molds) can be produced from one master mold. On the other hand, since the number of times of transfer from the master mold to the wafer lens is 3, the shape error and the position error are likely to increase. On the other hand, the PNP format that does not use the sub-sub master mold is suitable for manufacturing a lens portion having a small tolerance because the number of transfers from the master mold to the wafer lens is two. Therefore, by appropriately combining these, an increase in manufacturing cost can be avoided without impairing optical performance.
本実施形態に示したように、最も撮像面側に位置するレンズ光学面(第4の樹脂層)は、許容誤差が大きいため、製造コスト低減の観点から、サブサブマスター成形型を使用するNPNP形式で形成されることが好ましい。 As shown in the present embodiment, the lens optical surface (fourth resin layer) located closest to the imaging surface has a large tolerance, so that the NPNP format using the sub-submaster mold is used from the viewpoint of reducing the manufacturing cost. Is preferably formed.
(第2の実施形態)
第1の実施形態では、2層構造のレンズユニットを製造する例を示したが、第2の実施形態では3層構造のレンズユニットを製造する例を示す。各構成部材の素材などは、第1の実施形態の各構成部材と同様であり、詳しい説明は省略する。
(Second Embodiment)
In the first embodiment, an example of manufacturing a lens unit having a two-layer structure is shown. However, in the second embodiment, an example of manufacturing a lens unit having a three-layer structure is shown. The material of each constituent member is the same as that of each constituent member of the first embodiment, and detailed description thereof is omitted.
図9は、第2の実施形態のレンズユニットを示す断面図である。この図に示されるように、レンズユニット800は、レンズ部を含む第1の樹脂層805、レンズ部を含む第2の樹脂層810、レンズ部を含む第3の樹脂層815、レンズ部を含む第4の樹脂層820、レンズ部を含む第5の樹脂層825、第1の基板830、第2の基板835、第3の基板840、第1のスペーサ845、第2のスペーサ850および第3のスペーサ855を有する。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing the lens unit of the second embodiment. As shown in this figure, the
第1の樹脂層805は、第1の基板830の一方の面上に形成されている。また、第2の樹脂層810は、第2の基板835の一方の面上に形成されており、第3の樹脂層815は、第2の基板835の他方の面上に形成されている。同様に、第4の樹脂層820は、第3の基板840の一方の面上に形成されており、第5の樹脂層825は、第3の基板840の他方の面上に形成されている。第1の基板830と第2の基板835との間には第1のスペーサ845が配置されており、互いに対向する第1の基板830と第2の樹脂層810とが離間している。同様に、第2の基板835と第3の基板840との間には第2のスペーサ850が配置されており、互いに対向する第3の樹脂層815と第4の樹脂層820とが離間している。第3のスペーサ855は、第3の基板840の第5の樹脂層825が形成されている面上に配置されている。第3のスペーサ855は、第5の樹脂層825と図示しない撮像素子の撮像面との間隔を制御する。
The
第1の樹脂層805、第2の樹脂層810および第3の樹脂層815は、曲率半径が0.1mmより小さい凹部を含まず、ポジ型のマスター成形型およびネガ型のサブマスター成形型を使用して形成される(PNP方式)。また、第1の樹脂層805、第2の樹脂層810および第3の樹脂層815のそれぞれに対応するサブマスター成形型は、ダイレクト方式で作製される。
The
第4の樹脂層820および第5の樹脂層825は、曲率半径が0.1mmより小さい凹部を含み、ネガ型のマスター成形型、ポジ型のサブマスター成形型およびネガ型のサブサブマスター成形型を使用して形成される(NPNP方式)。また、第4の樹脂層820および第5の樹脂層825に対応するサブマスター成形型は、ステップアンドリピート方式で作製される。
The
本実施形態のレンズユニット800の製造方法において、ウエハレンズなどを積層する工程および積層体を分割(切断)する工程は、第1の実施形態で説明した手順と同様である。
In the method of manufacturing the
このように、サブサブマスター成形型を用いる第1のウエハレンズの製造方法で作製されるレンズ光学面は、最も像側に位置するレンズ光学面に限らず、他のレンズ光学面であってもよい。また、本実施形態のように、複数のレンズ光学面を、サブサブマスター成形型を用いる第1のウエハレンズの製造方法で作製してもよい。また、本実施形態のように、ステップアンドリピート方式の製造方法で作製されるレンズ光学面は、最も像側に位置するレンズ光学面に限らず、他のレンズ光学面であってもよい。また、本実施形態のように、複数のレンズ光学面を、ステップアンドリピート方式の製造方法で作製してもよい。また、必ずしも第1の実施形態のように、すべてのウエハレンズが両面にレンズ部を有している必要はなく、本実施形態のように、片面のみにレンズ部を有するウエハレンズを積層した形態であってもよい。 As described above, the lens optical surface manufactured by the first wafer lens manufacturing method using the sub-submaster mold is not limited to the lens optical surface positioned closest to the image side, and may be another lens optical surface. . Further, as in the present embodiment, a plurality of lens optical surfaces may be manufactured by a first wafer lens manufacturing method using a sub-submaster mold. Further, as in the present embodiment, the lens optical surface manufactured by the step-and-repeat manufacturing method is not limited to the lens optical surface located closest to the image side, and may be another lens optical surface. Further, as in the present embodiment, a plurality of lens optical surfaces may be manufactured by a step-and-repeat manufacturing method. Further, it is not always necessary that all wafer lenses have lens portions on both sides as in the first embodiment, and a form in which wafer lenses having lens portions on only one side are laminated as in this embodiment. It may be.
本実施形態のレンズユニットの製造方法は、第1の実施形態と同様の効果を得られる。 The manufacturing method of the lens unit of the present embodiment can obtain the same effects as those of the first embodiment.
(第3の実施形態)
第1の実施形態では、2層構造のレンズユニットを製造する例を示したが、第3の実施形態では1層構造のレンズユニットを製造する例を示す。各構成部材の素材などは、第1の実施形態の各構成部材と同様であり、詳しい説明を省略する。
(Third embodiment)
In the first embodiment, an example of manufacturing a lens unit having a two-layer structure is shown. However, in the third embodiment, an example of manufacturing a lens unit having a single-layer structure is shown. The material of each constituent member is the same as that of each constituent member of the first embodiment, and detailed description thereof is omitted.
図10Aは、第3の実施形態に係るレンズユニットの断面図(図10Bに示されるA-A線の断面図)であり、図10Bは、第3の実施形態に係るレンズユニットの底面図である。これらの図に示されるように、レンズユニット900は、第1のレンズ部910aおよびその周辺部910bを含む第1の樹脂層910と、第2のレンズ部920aおよび脚部920bを含む第2の樹脂層920と、第1の基板930とを有する。
10A is a cross-sectional view of the lens unit according to the third embodiment (cross-sectional view taken along line AA shown in FIG. 10B), and FIG. 10B is a bottom view of the lens unit according to the third embodiment. is there. As shown in these drawings, the
第1の樹脂層910は、第1の基板930の一方の面上に形成されており、第2の樹脂層920は、第1の基板930の他方の面上に形成されている。また、第2の樹脂層920は、第2のレンズ部920aと、第2のレンズ部920aの光軸方向に沿って突出している脚部920bとを有する。脚部920bは、スペーサとして機能し、第2の樹脂層920(第2のレンズ部920a)と図示しない撮像素子の撮像面との間隔を制御する。脚部920bは、撮像レンズモジュールを作製する際の各工程など、第2のレンズ部920aを形成した後の様々な工程において、第2のレンズ部920aが別部材に接触して傷つくことを防止するための保護部材としても機能する。なお、本実施形態においては、脚部920bを環状としているが、必ずしも連続している必要はなく、離散的に形成されていてもよい。
The
図10に示されるように、第1の樹脂層910は、第1のレンズ部910aと周辺部910bとの間に、第1の実施形態の第1の樹脂層110と同様の凹部C1を含んでいるが、曲率半径が0.1mmより小さい凹部を含まず、ポジ型のマスター成形型およびネガ型のサブマスター成形型を使用して形成される(PNP方式)。また、第1の樹脂層910に対応するサブマスター成形型は、ダイレクト方式で作製される。
As shown in FIG. 10, the
第2の樹脂層920(第2のレンズ部920aおよび脚部920b)は、一体として成形される。第2の樹脂層920は、第2のレンズ部920aと脚部920bとの接続部分に曲率半径が0.1mmより小さい凹部C2を含み、ネガ型のマスター成形型、ポジ型のサブマスター成形型およびネガ型のサブサブマスター成形型を使用して形成される(NPNP方式)。また、第2の樹脂層920に対応するサブマスター成形型は、ステップアンドリピート方式で作製される。つまり、第2の樹脂層920は、レンズ部920a周辺に急峻な凹部C2を有しているが、NPNP方式で形成されるため、この凹部に対応するマスター成形型の部位は凸部となり、第1の実施形態や第2の実施形態で説明したのと同様に工具による加工が可能である。
The second resin layer 920 (the
本実施形態のレンズユニット900の製造方法には、ウエハレンズなどを積層する工程は含まれないが、ウエハレンズを分割(切断)する工程は含まれる。ウエハレンズを分割する工程は、第1の実施形態で説明した手順と同様である。
The manufacturing method of the
本実施形態のレンズユニットの製造方法は、第1の実施形態と同様の効果を得られる。 The manufacturing method of the lens unit of the present embodiment can obtain the same effects as those of the first embodiment.
本出願は、2011年12月6日出願の特願2011-266782および2011年12月6日出願の特願2011-266783に基づく優先権を主張する。当該出願明細書および図面に記載された内容は、すべて本願明細書に援用される。 This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2011-266782 filed on December 6, 2011 and Japanese Patent Application No. 2011-266783 filed on December 6, 2011. The contents described in the application specification and the drawings are all incorporated herein by reference.
本発明のレンズユニットの製造方法は、例えば撮像用レンズユニットの製造などにおいて有用である。 The method for manufacturing a lens unit of the present invention is useful, for example, in manufacturing an imaging lens unit.
100,800,900 レンズユニット
109,119,129,139 光硬化性樹脂材料
110,805,910 第1の樹脂層
110’ 第1の樹脂層の表面
110a,910a 第1のレンズ部
110a’ 第1のレンズ光学面
110b,910b 第1のレンズ部の周辺部
110b’ 第1のレンズ部の周辺部の表面
120,810,920 第2の樹脂層
120’ 第2の樹脂層の表面
120a,920a 第2のレンズ部
120a’ 第2のレンズ光学面
120b 第2のレンズ部の周辺部
120b’ 第2のレンズ部の周辺部の表面
130,815 第3の樹脂層
130’ 第3の樹脂層の表面
130a 第3のレンズ部
130a’ 第3のレンズ光学面
130b 第3のレンズ部の周辺部
130b’ 第3のレンズ部の周辺部の表面
140,820 第4の樹脂層
140’ 第4の樹脂層の表面
140a 第4のレンズ部
140a’ 第4のレンズ光学面
140b 第4のレンズ部の周辺部
140b’ 第4のレンズ部の周辺部の表面
150,830,930 第1の基板
160,835 第2の基板
170,845 第1のスペーサ
180,850 第2のスペーサ
210,310,410,510 マスター成形型
212,312,412,512 マスター成形型の樹脂成形面
212a,312a,412a,512a マスター成形型のレンズ用成形面
212b,312b,412b,512b マスター成形型の周辺部用成形面
220,320,420,520 サブマスター成形型
222,322,422,522 サブマスター成形型の基板
223,323,423,433,523 樹脂材料
224,324,424,524 サブマスター成形型の樹脂成形面
224a,324a,424a,524a サブマスター成形型のレンズ用成形面
224b,324b,424b,524b サブマスター成形型の周辺部用成形面
230 第1のレンズ部を有するウエハレンズ
330 第1のレンズ部および第2のレンズ部を有するウエハレンズ
430 サブサブマスター成形型
432 サブサブマスター成形型の基板
434 サブサブマスター成形型の樹脂成形面
434a サブサブマスター成形型のレンズ用成形面
434b サブサブマスター成形型の周辺部用成形面
440 第4のレンズ部を有するウエハレンズ
530 第3のレンズ部および第4のレンズ部を有するウエハレンズ
610 固定用シート
620 切断刃物
710 工具
720P ポジ型のマスター成形型
720N ネガ型のマスター成形型
825 第5の樹脂層
840 第3の基板
855 第3のスペーサ
920b 脚部
C1,C2,C3,C4 凹部
100, 800, 900 Lens unit 109, 119, 129, 139 Photocurable resin material 110, 805, 910 First resin layer 110 ′ Surface of first resin layer 110a, 910a First lens portion 110a ′ first Lens optical surfaces 110b, 910b Peripheral part 110b 'of the first lens part Surfaces 120,810,920 of the first lens part 120', surface of the second resin layer 120a, 920a 2nd lens part 120a '2nd lens optical surface 120b Peripheral part of 2nd lens part 120b' Surface of peripheral part of 2nd lens part 130,815 3rd resin layer 130 'Surface of 3rd resin layer 130a Third lens part 130a 'Third lens optical surface 130b Third lens part peripheral part 130b' Third lens part peripheral part 140,820 Fourth resin layer 140 ′ Fourth resin layer surface 140a Fourth lens portion 140a ′ Fourth lens optical surface 140b Fourth lens portion peripheral portion 140b ′ Fourth lens portion peripheral portion surface 150 , 830, 930 First substrate 160, 835 Second substrate 170, 845 First spacer 180, 850 Second spacer 210, 310, 410, 510 Master mold 212, 312, 412, 512 Master mold Resin molding surface 212a, 312a, 412a, 512a Master molding lens molding surface 212b, 312b, 412b, 512b Master molding die peripheral molding surface 220, 320, 420, 520 Submaster molding die 222, 322, 422 , 522 Sub-master mold substrate 223, 323, 423, 433, 523 Resin Materials 224, 324, 424, 524 Sub-master molding die resin molding surfaces 224a, 324a, 424a, 524a Sub-master molding lens molding surfaces 224b, 324b, 424b, 524b Sub-master molding peripheral molding surfaces 230 Wafer lens having first lens portion 330 Wafer lens having first lens portion and second lens portion 430 Sub-sub master mold 432 Sub-sub master mold substrate 434 Sub-sub master mold resin molding surface 434a Sub-sub master molding Mold surface for mold 434b Mold surface for peripheral portion of sub-sub master mold 440 Wafer lens having fourth lens portion 530 Wafer lens having third lens portion and fourth lens portion 610 Fixing sheet 620 Cutting blade 710 Tool 7 0P positive master mold 720N negative of the master mold 825 fifth resin layer 840 third substrate 855 third spacer 920b legs C1, C2, C3, C4 recess
Claims (20)
前記第1のレンズ光学面は、
前記第1のレンズ光学面の形状に対応するネガ形状のレンズ用成形面を複数含む第1の成形面を有する第1のマスター成形型および樹脂材料を用いて成形を行うことで、前記第1のレンズ光学面の形状に対応するポジ形状のレンズ用成形面を複数含む第2の成形面を有する第1のサブマスター成形型を作製する工程と、
前記第1のサブマスター成形型および樹脂材料を用いて成形を行うことで、前記第1のレンズ光学面の形状に対応するネガ形状のレンズ用成形面を複数含む第3の成形面を有するサブサブマスター成形型を作製する工程と、
前記サブサブマスター成形型および硬化性樹脂材料を用いて成形を行うことで、前記第1のレンズ光学面を複数含む第1の表面を有する第1の樹脂層を形成する工程と、
を含む、第1のウエハレンズの製造方法により形成され、
前記第2のレンズ光学面は、
前記第2のレンズ光学面の形状に対応するポジ形状のレンズ用成形面を複数含む第4の成形面を有する第2のマスター成形型および樹脂材料を用いて成形を行うことで、前記第2のレンズ光学面の形状に対応するネガ形状のレンズ用成形面を複数含む第5の成形面を複数有する第2のサブマスター成形型を作製する工程と、
前記第2のサブマスター成形型および硬化性樹脂材料を用いて成形を行うことで、前記第2のレンズ光学面を複数含む第2の表面を有する第2の樹脂層を形成する工程と、
を含む、第2のウエハレンズの製造方法により形成される、
レンズユニットの製造方法。 A method for manufacturing a lens unit having a plurality of lens optical surfaces, including a first lens optical surface and a second lens optical surface arranged side by side in the optical axis direction,
The first lens optical surface is:
By performing molding using a first master molding die having a first molding surface including a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of the first lens optical surface and a resin material, the first Producing a first sub-master mold having a second molding surface including a plurality of positive lens molding surfaces corresponding to the shape of the lens optical surface;
A sub-sub having a third molding surface including a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of the first lens optical surface by molding using the first sub-master molding die and the resin material. Producing a master mold; and
Forming a first resin layer having a first surface including a plurality of first lens optical surfaces by molding using the sub-submaster mold and the curable resin material;
Including a first wafer lens manufacturing method,
The second lens optical surface is:
By performing molding using a second master mold having a fourth molding surface including a plurality of positive lens molding surfaces corresponding to the shape of the second lens optical surface and a resin material, the second Producing a second sub-master mold having a plurality of fifth molding surfaces including a plurality of negative lens molding surfaces corresponding to the shape of the lens optical surface;
Forming a second resin layer having a second surface including a plurality of the second lens optical surfaces by molding using the second sub-master mold and the curable resin material;
Formed by a second wafer lens manufacturing method,
A manufacturing method of a lens unit.
前記第2の表面は、前記第2のマスター成形型を作製するための工具の先端部の曲率半径より小さい曲率半径を持つ凹部を含まない、
請求項1に記載のレンズユニットの製造方法。 The first surface includes a recess having a radius of curvature smaller than a radius of curvature of a tip portion of a tool for producing the first master mold.
The second surface does not include a recess having a radius of curvature smaller than the radius of curvature of the tip of a tool for producing the second master mold.
The manufacturing method of the lens unit of Claim 1.
前記第2の表面は、曲率半径が0.1mmより小さい凹部を含まない、
請求項1に記載のレンズユニットの製造方法。 The first surface includes a recess having a radius of curvature of less than 0.1 mm;
The second surface does not include a recess having a radius of curvature of less than 0.1 mm;
The manufacturing method of the lens unit of Claim 1.
前記第2のサブマスター成形型は、前記第2のマスター成形型を用いて、すべての樹脂成形物を同時に形成することで1の基板上に複数の樹脂成形物を形成するダイレクト方式で作製される、
請求項1~5のいずれか一項に記載のレンズユニットの製造方法。 The first sub-master mold is a step-and-step that forms a plurality of resin moldings on one substrate by repeatedly forming one or more resin moldings using the first master molding die. Produced by repeat method,
The second sub-master mold is produced by a direct method in which a plurality of resin molded products are formed on one substrate by simultaneously forming all the resin molded products using the second master mold. The
The method for manufacturing a lens unit according to any one of claims 1 to 5.
前記第1のレンズ光学面および前記第2のレンズ光学面は、
レンズ光学面の形状に対応するレンズ用成形面を有するマスター成形型と樹脂材料とを用いて成形を行うことで、前記レンズ光学面の形状に対応するレンズ用成形面を複数有するサブマスター成形型を作製する工程と、
前記サブマスター成形型、または前記サブマスター成形型を用いて作製されたサブサブマスター成形型と、硬化性樹脂材料とを用いて成形を行うことで、前記レンズ光学面を含むレンズ部を複数有するウエハレンズを作製する工程と、
を含む、ウエハレンズの製造方法により形成され、
前記第1のレンズ光学面に対応する第1のサブマスター成形型は、前記第1のレンズ光学面の形状に対応する形状のレンズ用成形面を1または2以上有する第1のマスター成形型を用いて、1または2以上の樹脂成形物を繰り返し形成することで1の基板上に複数の樹脂成形物を形成するステップアンドリピート方式で作製され、
前記第2のレンズ光学面に対応する第2のサブマスター成形型は、前記第2のレンズ光学面の形状に対応する形状のレンズ用成形面を複数有する第2のマスター成形型を用いて、すべての樹脂成形物を同時に形成することで1の基板上に複数の樹脂成形物を形成するダイレクト方式で作製される、
レンズユニットの製造方法。 A method of manufacturing a lens unit having a plurality of lens optical surfaces including a first lens optical surface and a second lens optical surface arranged side by side in the optical axis direction,
The first lens optical surface and the second lens optical surface are:
Sub master mold having a plurality of lens molding surfaces corresponding to the shape of the lens optical surface by molding using a master molding die having a lens molding surface corresponding to the shape of the lens optical surface and a resin material A step of producing
A wafer having a plurality of lens portions including the lens optical surface by molding using the sub-master mold or the sub-sub-master mold produced using the sub-master mold and a curable resin material. Producing a lens;
Including a wafer lens manufacturing method,
The first sub-master mold corresponding to the first lens optical surface is a first master mold having one or more lens molding surfaces having a shape corresponding to the shape of the first lens optical surface. Using one or two or more resin moldings to form a plurality of resin moldings on a single substrate, thereby producing a step-and-repeat method,
The second sub-master mold corresponding to the second lens optical surface is a second master mold having a plurality of lens molding surfaces having a shape corresponding to the shape of the second lens optical surface. Produced by the direct method of forming a plurality of resin moldings on one substrate by forming all the resin moldings simultaneously.
A manufacturing method of a lens unit.
前記脚部と前記第1のレンズ光学面との間に凹部を有する、
請求項18または請求項19に記載のレンズユニット。
A leg projecting in the direction of the lens optical axis around the first lens optical surface;
A concave portion between the leg portion and the first lens optical surface;
The lens unit according to claim 18 or 19.
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Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009172773A (en) * | 2008-01-21 | 2009-08-06 | Aji Kk | Manufacturing method of optical component, manufacturing method of mold, manufacturing apparatus of optical component and manufacturing apparatus of mold |
| JP2009226638A (en) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Konica Minolta Opto Inc | Method for manufacturing wafer lens |
| JP2011043605A (en) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Konica Minolta Opto Inc | Wafer lens, wafer lens laminate, method for manufacturing wafer lens, imaging lens and method for manufacturing imaging lens |
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Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009172773A (en) * | 2008-01-21 | 2009-08-06 | Aji Kk | Manufacturing method of optical component, manufacturing method of mold, manufacturing apparatus of optical component and manufacturing apparatus of mold |
| JP2009226638A (en) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Konica Minolta Opto Inc | Method for manufacturing wafer lens |
| JP2011043605A (en) * | 2009-08-20 | 2011-03-03 | Konica Minolta Opto Inc | Wafer lens, wafer lens laminate, method for manufacturing wafer lens, imaging lens and method for manufacturing imaging lens |
| WO2011055655A1 (en) * | 2009-11-05 | 2011-05-12 | コニカミノルタオプト株式会社 | Image pickup device, optical unit, wafer lens laminated body, and method for manufacturing wafer lens laminated body |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017222161A (en) * | 2016-04-28 | 2017-12-21 | アンテルヨン ウエハー オプティクス ビー.ブイ. | Duplication tool |
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