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WO2012046360A1 - 板ガラスの搬送装置とそれを備えた面取り装置 - Google Patents

板ガラスの搬送装置とそれを備えた面取り装置 Download PDF

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WO2012046360A1
WO2012046360A1 PCT/JP2011/001727 JP2011001727W WO2012046360A1 WO 2012046360 A1 WO2012046360 A1 WO 2012046360A1 JP 2011001727 W JP2011001727 W JP 2011001727W WO 2012046360 A1 WO2012046360 A1 WO 2012046360A1
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WO
WIPO (PCT)
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plate glass
chamfering
grindstone
glass
grinding
Prior art date
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Ceased
Application number
PCT/JP2011/001727
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English (en)
French (fr)
Inventor
守正 久下
田中　秀幸
京史 辻田
一典 高原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kawasaki Heavy Industries Ltd
Kawasaki Motors Ltd
Original Assignee
Kawasaki Heavy Industries Ltd
Kawasaki Jukogyo KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
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Publication date
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Priority to KR1020137006674A priority patent/KR101404366B1/ko
Priority to US13/876,051 priority patent/US9296080B2/en
Publication of WO2012046360A1 publication Critical patent/WO2012046360A1/ja
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    • B65G51/02—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases
    • B65G51/03—Directly conveying the articles, e.g. slips, sheets, stockings, containers or workpieces, by flowing gases over a flat surface or in troughs
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    • C03B33/00—Severing cooled glass
    • C03B33/02—Cutting or splitting sheet glass or ribbons; Apparatus or machines therefor
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    • B65G2249/00—Aspects relating to conveying systems for the manufacture of fragile sheets
    • B65G2249/04—Arrangements of vacuum systems or suction cups
    • B65G2249/045—Details of suction cups suction cups

Definitions

  • the present invention relates to a transport device that transports a plate glass used for a glass substrate for liquid crystal display, a plasma display panel, and the like in a horizontal state.
  • flat glass used in liquid crystal displays and the like
  • FPD flat panel display
  • the plate glass or the like used is manufactured from a plate glass (mother glass) having a size that allows a plurality of sheets of a predetermined size to be taken.
  • Such a plate glass generally employs a method of attaching a protective sheet to the glass surface in order to protect the surface from cullet generated during the processing step, particles generated as a result of processing, and the like.
  • a thickness of such plate glass for example, a thickness of about 0.7 mm is manufactured.
  • Such a plate glass is conveyed horizontally in a horizontal state, cut into a predetermined size in a plurality of processing steps, and then subjected to chamfering processing such as grinding and polishing of the cut edge, thereby maintaining a predetermined plate glass Is produced.
  • a plate glass is sandwiched and sent by an endless conveyor belt (for example, see Patent Document 2), and a plate glass clamping member is provided on the upper and lower opposing surfaces of two upper and lower endless rotating chains.
  • a plate glass clamping member is provided on the upper and lower opposing surfaces of two upper and lower endless rotating chains.
  • a plate glass is sandwiched and sent by these plate glass clamping members (for example, see Patent Document 3).
  • the plate glass used for the flat panel display and the like as described above is required to have high quality because the surface is clean and free from wrinkles and dirt.
  • surface quality such as warpage and undulation of the plate glass is required to be high in terms of being flat (flat) without warping and undulation.
  • the pattern surface of this type of glass sheet refers to the surface on which various thin film layers such as semiconductors are formed, for example, for a liquid crystal display using TFTs (thin film transistors).
  • various thin film layers such as amorphous silicon, insulators, and semiconductors are formed on a thin alkali-free glass substrate and subjected to pattern processing to form display electrodes and wiring for driving TFTs and liquid crystals.
  • Very high cleanliness is required compared to the surface (referred to as the anti-pattern surface in this specification and claims).
  • Patent Documents 1 to 3 described above since the lower surface and the upper surface of the plate glass are sandwiched and sent by a belt, when dust or the like is sandwiched between the pattern surface of the plate glass and the belt, a protective sheet is attached to the glass surface as described above. Even if it is pasted, the pattern surface will be wrinkled by the pinched dust.
  • an object of the present invention is to provide a sheet glass conveying apparatus that can stably feed a sheet glass without scratching the pattern surface.
  • a sheet glass conveyance device is a conveyance device that sends plate glass in a horizontal state, and a belt unit that supports the opposite pattern surface of the plate glass and sends the plate glass in the conveyance direction; And a fluid guide that is disposed at a position facing the belt portion and that applies a predetermined fluid pressure toward the pattern surface of the plate glass, and the feed mechanism is configured with a fluid pressure of the fluid guide.
  • the plate glass is pressed against the belt portion, and the plate glass is sandwiched between the belt portion in a non-contact state with the pattern surface of the plate glass.
  • Fluid in the specification and claims refers to a fluid containing liquid, air, or the like that can maintain a high cleanliness of the surface of the glass sheet, such as “pure water”.
  • the plate glass can be conveyed while being sandwiched between the belt portion and the fluid guide without bringing a belt or the like into contact with the pattern surface of the plate glass. Therefore, stable conveyance can be performed while maintaining high quality on the surface without wrinkling the pattern surface of the plate glass.
  • the feeding mechanism may be disposed in the center portion in the width direction of the plate glass, and a fluid guide that is supported in a non-contact manner by forming a fluid layer between the plate glass surfaces at both ends of the plate glass may be disposed.
  • the “sheet glass width direction” in the specification and claims refers to a direction orthogonal to the conveying direction of the sheet glass to be sent in a horizontal state. If it does in this way, the cost reduction of a conveying apparatus can further be aimed at by making a feed mechanism only into the center part of the width direction of a plate glass.
  • the pattern surface of the plate glass may be transported upward.
  • the contact state between the belt portion and the plate glass is maintained by the weight of the plate glass, and the plate portion is stabilized by the belt portion in a non-contact state with the pattern surface of the plate glass. Can be transported.
  • a sheet glass chamfering apparatus includes any one of the above-described conveying apparatuses, and has a chamfering machine that grinds and polishes an edge of the sheet glass conveyed by the conveying apparatus, and the belt portion in the conveying direction. It has a guide part to guide. With this configuration, it is possible to accurately perform grinding and polishing of the edge (edge portion) while conveying the plate glass in a non-contact state with the pattern surface, and to suppress the deterioration of the yield due to wrinkles on the pattern surface. Can do.
  • the chamfering machine may have a grindstone portion arranged so as to be able to chamfer both sides in the feeding direction of the plate glass. If it does in this way, the both ends edge of the plate glass conveyed with a conveying apparatus can be ground and grind
  • the chamfering machine may have a square chamfering machine that grinds and polishes corners of the plate glass. “Corners” in the specification and claims refers to the four corners of a square plate glass. If it does in this way, the chamfering of the corner part of plate glass can be continuously performed by incorporating it into the work of chamfering the edges of the four sides.
  • the chamfered line may be chamfered in a straight line or a curved line.
  • the square chamfering machine includes a grindstone portion having a grinding grindstone and a polishing grindstone, and the grindstone portion has a rearrangement mechanism that positions the grinding grindstone or the grindstone on the edge of the plate glass. Good. If it does in this way, the corner part of the plate glass conveyed with a conveying apparatus can be ground and grind
  • two chamfering devices may be arranged in the conveying direction of the plate glass, and a reversing machine that rotates the plate glass 90 degrees in a horizontal plane may be provided between the two chamfering devices.
  • the plate glass is rotated 90 degrees in the horizontal plane with a reversing machine.
  • the four sides of the plate glass can be continuously chamfered. That is, the cycle time of the chamfering operation can be shortened.
  • the chamfering device includes a long side chamfering device and a short side chamfering device, the long side chamfering device includes an R chamfering grindstone and a grindstone having a polishing grindstone, and the short chamfering device includes an R chamfering chamfering device.
  • R chamfering in the document of this specification and claims refers to chamfering in a semicircular shape so that the center part of the plate thickness section protrudes.
  • the plate glass since the plate glass can be supported and conveyed by fluid pressure in a non-contact state with the pattern surface, it can be conveyed with a high yield while maintaining the high quality of the surface of the plate glass. It becomes possible to improve.
  • FIG. 1 is a cross-sectional view orthogonal to the conveyance direction of a chamfering apparatus according to a first embodiment provided with the conveyance apparatus of the present invention.
  • FIG. 2 is an enlarged side view of the belt portion shown in FIG. 1 in the conveyance direction.
  • FIG. 3 is an enlarged view of the pattern surface supporting water guide portion shown in FIG. 1.
  • FIG. 4 is a cross-sectional view orthogonal to the transport direction of the chamfering device according to the second embodiment provided with the transport device of the present invention.
  • FIG. 5 is a cross-sectional view of the central portion in the conveying direction of the belt portion shown in FIG. 6 is a cross-sectional view taken along the line VI-VI shown in FIG. FIG.
  • FIG. 7A is a plan view schematically showing a first arrangement example of a chamfering apparatus according to the present invention
  • FIG. 7B is a plan view showing another example of a chamfering machine in the chamfering apparatus.
  • FIG. 8 is a plan view schematically showing a second arrangement example of the chamfering apparatus according to the present invention.
  • FIG. 9 is a cross-sectional view of the chamfering machine shown in FIGS. 10 is a cross-sectional view at the time of polishing by the chamfering machine shown in FIG.
  • a chamfering device that chamfers the edge 5 while conveying the plate glass 1 will be described as an example.
  • a feeding mechanism 40 is provided at the center of the sheet glass 1 in the conveyance direction, and the pattern surface 2 of the sheet glass 1 is conveyed upward.
  • a water guide will be described as an example of the fluid guide.
  • the thickness etc. of the plate glass 1 are exaggerated for convenience.
  • the transport device 10 is provided with a belt portion 11 that supports the lower surface of the glass sheet 1 at the center in the width direction.
  • the belt portion 11 is configured such that a metal belt 14 (for example, a stainless steel belt) moves on a belt receiver 13 provided on an upper portion of a rectangular frame 12.
  • the metal belt 14 has a rubber plate 15 attached to the outer peripheral surface.
  • the straightness with respect to the conveyance direction of the plate glass 1 by the belt portion 11 is performed by maintaining the straightness in the conveyance direction of the metal belt 14.
  • the straightness in the conveyance direction of the metal belt 14 is maintained by guiding the side rollers 16 and 17 (guide portions) provided on the frame 12 so as to restrict the movement of the metal belt 14 in the width direction.
  • These side rollers 16 and 17 are rotatably supported on an upper portion of a support bracket 18 provided on the frame 12.
  • the right side roller 16 serves as a reference side roller 16 serving as a reference side guide portion
  • the opposite side roller 17 holds the support bracket 18 with a spring 19 provided on the frame 12.
  • the metal belt 14 is driven by a drive pulley (not shown) provided at the end.
  • the drive pulley is driven by a servo motor, and its speed and position are controlled. Thereby, even when conveying the several plate glass 1 simultaneously, disorder does not arise in each.
  • the surface of the rubber plate 15 of the belt portion 11 is formed in an uneven shape.
  • the surface of the rubber plate 15 of this embodiment is formed in a concavo-convex shape by providing grooves 20 in the direction intersecting the transport direction at equal intervals in the transport direction.
  • the groove 20 discharges water between the rubber plate 15 and the plate glass 1, and keeps the frictional resistance with the plate glass 1 by the convex portion.
  • the size, shape, arrangement pitch, and the like of the grooves 20 are merely examples, and other sizes, shapes, arrangement pitches may be used. Moreover, it may replace with this groove
  • the glass sheet 1 is formed on the non-pattern surface 3 by the width direction both ends water guide 25 and the width direction intermediate part water guide 26. Other than the central part is supported.
  • the width direction intermediate portion water guide 26 prevents non-contact support of the glass sheet 1 and deformation due to bending.
  • the width direction intermediate portion water guide 26 is appropriately arranged according to the size of the glass sheet 1.
  • a water film is formed by supplying water W between the upper surface of these width direction both-ends water guide 25 and width direction middle part water guide 26, and a sheet glass lower surface, and plate glass 1 is formed through this water film. It is configured to support from below.
  • the width direction both-ends water guide 27 is provided so that the said width direction both-ends water guide 25 and the plate glass 1 may be opposed.
  • the width direction both end water guides 27 are disposed with a slight gap from the upper surface of the sheet glass 1, and water W is supplied from the width direction both end water guides 27 to the sheet glass 1, A water film is formed between the water guides 27 at both ends in the width direction and the plate glass 1, and the plate glass 1 is supported in a non-contact manner by the water guides 25 at both ends in the width direction via this water film.
  • a pattern surface supporting water guide 30 is provided above the central portion in the width direction of the plate glass 1 so as to face the belt portion 11.
  • the pattern surface supporting water guide 30 is disposed so as to have a slight gap with respect to the upper surface of the sheet glass 1 and is disposed in a non-contact state with the sheet glass 1.
  • the pattern surface support water guide 30 is provided with a water supply port 31 for supplying water W of a predetermined pressure at the upper part.
  • a water storage section 32 having a predetermined volume is provided below the water supply port 31.
  • a pressure storage portion 34 for supplying water from a supply hole 33 whose diameter is enlarged on the way is provided below the water storage portion 32.
  • the pressure accumulating section 34 is configured such that water leaks from a slight gap between the pattern surface supporting water guide 30 and the upper surface of the plate glass 1.
  • the volume of the pressure accumulating portion 34 is calculated so that a predetermined water pressure (fluid pressure) acts on the upper surface of the plate glass 1 by water accumulated in the pressure accumulating portion 34.
  • a plurality of pattern surface supporting water guides 30 are provided at predetermined intervals in the conveying direction of the glass sheet 1, and the intervals are arranged at intervals as shown by two-dot chain lines in FIG. ing.
  • the pattern surface supporting water guides 30 By providing the pattern surface supporting water guides 30 at predetermined intervals, the plate glass 1 having a limited length in the conveying direction can be kept pressed against the belt portion 11 by the plurality of pattern surface supporting water guides 30. I have to.
  • the plate glass 1 is pressed against the rubber plate 15 of the belt portion 11 by the water pressure corresponding to the area of the pressure accumulating portion 34 by the water W supplied to the pattern surface supporting water guide 30.
  • the reaction force of the pressing force received by the rubber plate 15 is received by the belt receiver 13.
  • the pressing force to the plate glass 1 is adjusted by adjusting the water pressure. By pressing the plate glass 1 against the belt portion 11 with water pressure in this way, the plate glass 1 is moved together with the belt portion 11 by a frictional force with the rubber plate 15 proportional to the water pressure.
  • the plate glass 1 is supported by being sandwiched from above and below by the pattern surface supporting water guide 30 and the belt portion 11 without being in contact with the pattern surface 2, and is moved integrally with the belt portion 11.
  • the chamfering device 45 is provided by providing the transport device 10 with a chamfering function.
  • the chamfering device 45 includes a chamfering machine 50 so as to grind and polish the edge 5 in the width direction of the plate glass 1 fed in a non-contact state to the pattern surface 2 as described above.
  • the chamfering machines 50 are arranged to face each other so that two opposing sides of the plate glass 1 are ground and polished simultaneously.
  • the chamfering machine 50 is provided with a cylindrical grinding wheel 52 (grinding wheel part) below a driving machine (motor) 51.
  • the grinding wheel 52 includes a plurality of rounded chamfering wheels 53 arranged in the vertical direction.
  • a five-stage grinding wheel 53 is provided.
  • the grindstone 53 abrasive grains having a predetermined particle size suitable for chamfering the plate glass 1 are used.
  • the grindstone 53 is a grindstone having a cross-section having a concave portion that matches the chamfered shape of the plate glass 1 in order to round the chamfer of the edge of the plate glass 1 into a semicircular shape in which the central portion of the plate thickness protrudes.
  • the shape of the grindstone 53 is not limited.
  • the grindstone 53 is a grindstone in which the recessed portions provided in parallel are independent, and the edge of the glass sheet 1 is brought into contact with the edge of the plate glass 1 by rotating the entire grindstone by the drive unit 51. Is ground in an R shape. According to this grinding wheel 52, even if some of the R chamfering grindstones 53 are worn, the other R chamfering grindstones 53 can perform the grinding work.
  • the central portion in the width direction of the glass sheet 1 is not applied by the water pressure from the pattern surface supporting water guide 30 on the rubber plate 15 of the belt portion 11. While supporting in contact with each other, both ends in the width direction of the glass sheet 1 are supported in a non-contact manner by the water guides 25 and 27 in the width direction and the water guide 26 in the width direction, so that the height of the pattern surface 2 of the glass sheet 1 is high. It can be accurately conveyed by the belt portion 11 while maintaining the quality.
  • the sheet glass 1 can be transported with its surface maintained in high quality and the edges thereof can be chamfered, the yield and productivity can be improved.
  • FIG. 4 shows a chamfering device 60 according to a second embodiment in which the belt unit 11 is different from the first embodiment.
  • the transport device 10 of the first embodiment an example in which the metal belt 14 is used for the belt portion 11 has been shown.
  • a special belt portion 61 that contacts the lower surface of the plate glass 1 is used in the transport device 55 of the second embodiment.
  • a simple timing belt 62 is employed in the transport device 55 of the second embodiment.
  • symbol is attached
  • the timing belt 62 is a timing belt in which teeth are provided on both the outer surface and the inner surface.
  • the outer tooth portion 63 is for keeping the frictional resistance by discharging water between the timing belt 62 and the plate glass 1 from between the tooth portions 63 in a state in contact with the plate glass 1.
  • the inner surface toothed portion 64 meshes with a driving pulley (not shown) at the end of the timing belt 62 to accurately feed the timing belt 62.
  • the inner surface tooth portion 64 of the timing belt 62 is provided with a cut groove serving as a guide portion 65 in the longitudinal direction of the central portion in the width direction.
  • the guide portion 65 is adapted to follow a guide pulley 66 rotatably supported by a support member 67 provided on the frame 12.
  • the guide pulley 66 is rotatably supported by the frame 12.
  • the guide belt 65 is guided along the guide portion 65 of the timing belt 62 in the conveying direction, thereby ensuring the straightness of the timing belt 62 in the conveying direction.
  • the special timing belt 62 in which the tooth portions 63 and 64 are provided on both the outer surface and the inner surface is taken as an example, but other belts may be used as long as they have the same configuration.
  • the conveying device 55 is configured such that the central portion in the width direction of the glass sheet 1 on the timing belt 62 of the belt portion 61 is water pressure from the pattern surface supporting water guide 30 described above. While supporting in a non-contact manner, both end portions in the width direction of the plate glass 1 are supported in a non-contact manner by the water guides 25 and 27 in the width direction and the water guide 26 in the width direction intermediate portion. It can be accurately conveyed by the belt portion 61 while maintaining high quality.
  • the chamfering device 60 when the chamfering device 60 is provided with the chamfering function in the transport device 55, the upper and lower surfaces of the both ends in the width direction of the plate glass 1 are supported by the water guides 25 and 27 in the width direction both ends. According to the chamfering device 60 provided with the conveying device 55, even if the cutting powder of the grinding wheels 52 on both sides is scattered on the surface of the plate glass 1 by centrifugal force, it can be prevented from flowing and adhering with water. .
  • the sheet glass 1 can be transported with its surface maintained in high quality and its edges can be chamfered, so that it is possible to improve yield and productivity.
  • FIG. 7 and 8 are drawings showing examples of arrangement of the chamfering devices 45 and 60.
  • FIG. FIG. 7 shows an arrangement of a long side chamfering device 70 for chamfering the long side of the rectangular plate glass 1 on the upstream side, and a reversing machine 71 for rotating the plate glass 1 90 degrees in the horizontal plane on the downstream side,
  • the left direction in the figure is the carry-in side
  • the right direction is the carry-out side
  • the plate glass 1 is conveyed from the left direction to the right direction.
  • These chamfering devices 70 and 72 have the same configuration as the chamfering device 45 or 60 described above, but in the following description, the main configuration will be described with different reference numerals.
  • the position of the glass sheet 1 carried into the long side chamfering device 70 is first adjusted by the reference roller 74 of the alignment device 73 with respect to one side in the feed direction.
  • the alignment-adjusted plate glass 1 is polished by the polishing grindstone 76 after the two long sides are rounded by a grinding grindstone 75 (R chamfering grindstone) while being sent in the transport direction.
  • the plate glass 1 whose long sides are chamfered by the long side chamfering device 70 is sent to the reversing machine 71, and is rotated 90 degrees in the horizontal plane by the reversing machine 71.
  • the plate glass 1 rotated 90 degrees by the reversing machine 71 is conveyed to the short edge chamfering device 72.
  • the glass sheet 1 carried into the short side chamfering device 72 is first adjusted in position by the reference roller 74 of the alignment device 73 with respect to one side in the feed direction, and also by the square chamfering device 80. Square chamfering of the four corners 6 of the plate glass 1 is performed.
  • the glass plate 1 that has been subjected to the alignment adjustment and the chamfering of the four corners 6 by the chamfering machine 80 is conveyed by the short chamfering device 72, and the short side is chamfered by the grinding whetstone 75, and then the polishing whetstone Polished by 76.
  • four corner chamfering machines 80 are provided.
  • the plate glass 1 may be sent to corner the corners 6 at the two rear ends.
  • the glass sheet 1 whose peripheral edge is ground and polished in this way is carried out to a subsequent process.
  • the chamfering of the four corners 6 is performed in the short chamfering device 72 having a short conveyance distance, the time required for the chamfering work and the chamfering work of the two short sides, The time required for the chamfering operation can be made the same. Accordingly, it is possible to perform the chamfering work of the plate glass 1 efficiently by continuously chamfering the entire circumference while conveying the plate glass 1 with the long side chamfering device 70 and the short side chamfering device 72.
  • FIG. 8 shows the arrangement of the long side chamfering device 70 and the short side chamfering device 72 in FIG. Since the configuration is the same, the same configuration is described with the same reference numeral.
  • the glass sheet 1 carried into the short-side chamfering device 72 is first adjusted in position by the reference roller 74 of the alignment device 73 with respect to one side in the feed direction, and also by the square chamfering machine 80. Chamfering of the four corners 6 is performed.
  • the glass plate 1 that has been subjected to the alignment adjustment and the chamfering of the four corners 6 by the chamfering machine 80 is conveyed by the short chamfering device 72, and the short side is chamfered by the grinding whetstone 75, and then the polishing whetstone Polished by 76.
  • the plate glass 1 whose short sides are chamfered by the short side chamfering device 72 is sent to the reversing machine 71 and rotated 90 degrees in the horizontal plane by the reversing machine 71.
  • the plate glass 1 rotated 90 degrees by the reversing machine 71 is conveyed to the long side chamfering device 70.
  • the glass sheet 1 carried into the long side chamfering device 70 is first adjusted in position by the reference roller 74 of the alignment device 73 with respect to one side in the feed direction.
  • the plate glass 1 whose alignment has been adjusted is polished by the grinding stone 76 after the two long sides are chamfered by the grinding stone 75 while being sent in the conveying direction.
  • the glass sheet 1 whose peripheral edge is ground and polished in this way is carried out to a subsequent process.
  • the time required for the chamfering work for the corners and the chamfering for the two short sides and the time required for the chamfering work for the two long sides can be made the same.
  • the plate glass 1 carried out from the said chamfering apparatuses 70 and 72 is grind
  • FIGS. 9 and 10 are configuration examples of the corner chamfering machine 80 shown in FIGS.
  • a chamfering grindstone 81 for grinding the corner 6 in a straight line or a curved line and a polishing grindstone 82 for polishing the ground surface are provided on the same axis, and the same driving machine 83 (motor or the like).
  • a polishing grindstone 82 is mounted below the grinding grindstone 81.
  • a rearrangement mechanism for changing the position of the grinding wheel 81 and the polishing wheel 82 in the axial direction is provided.
  • this rearrangement mechanism a mechanism for moving the entire corner chamfering machine 80 in the axial direction or the like is employed.
  • the chamfering machine 80 is moved (raised) in the axial direction as shown in FIG. 10 to bring the polishing wheel 82 to the position of the plate glass 1.
  • polishing can be performed with the same trajectory. Thereby, a grinding operation and a polishing operation can be performed quickly and continuously.
  • the corner polishing operation the corner chamfered portion of the plate glass 1 can be polished and finished with high accuracy, and the quality of the product can be improved.
  • the plate glass 1 can be transported by the transport devices 10 and 55 without bringing a structure into contact with the pattern surface 2 of the plate glass 1, so Can be reliably prevented.
  • the edge 5 and the four corners 6 of the four sides of the plate glass 1 can be quickly ground and polished, the plate glass 1 having a high chamfer finish on the entire periphery can be manufactured.
  • the chamfering finish of the peripheral edge is made high quality, it is possible to prevent the plate glass 1 from being cracked in the subsequent process, so that the yield can be improved and the productivity can be improved.
  • the plate glass 1 can be continuously fed, and the cycle time required for the chamfering operation of the plate glass 1 can be shortened.
  • the water guide has been described as an example of the fluid guide.
  • the air guide may be an air guide and is not limited to the configuration of the above embodiment.
  • the sheet glass conveying device according to the present invention can be used for a chamfering device for chamfering while feeding plate glass, a plate glass reversing device, or the like.

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Abstract

板ガラス（１）の反パターン面を支持して板ガラス（１）を搬送方向に送るベルト部（１１）と、このベルト部（１１）と対向する位置に配置され、前記板ガラス（１）のパターン面（２）に向けて所定圧の水圧を作用させパターン面支持水ガイド（３０）とを有する送り機構（４０）を備え、該送り機構（４０）は、前記パターン面支持水ガイド（３０）の水圧で前記板ガラス（１）を前記ベルト部（１１）に押圧して、この板ガラス（１）のパターン面（２）に非接触の状態で、この板ガラス（１）を前記ベルト部（１１）との間で挟持するように構成し、板ガラス（１）のパターン面を疵付けることなく安定して送ることができる板ガラスの搬送装置（１０）を提供する。

Description

板ガラスの搬送装置とそれを備えた面取り装置
　本発明は、液晶ディスプレイ用ガラス基板やプラズマディスプレイパネル等に用いられる板ガラスを水平状態で搬送する搬送装置に関する。
　従来、液晶ディスプレイ等に使用される板ガラス（この明細書及び特許請求の範囲の書類中における「板ガラス」は、液晶パネル、プラズマパネル、有機ＥＬパネルなどのフラットパネルディスプレイ（Flat Panel Display；ＦＰＤ）に用いられる板ガラス等をいう）は、複数枚の所定サイズ板ガラスが取れる大きさの板ガラス（マザーガラス）から製作されている。
　このような板ガラスは、加工工程中で発生するカレットや加工の結果発生するパーティクル等から表面を保護するために、ガラス表面に保護シートを貼り付ける方法が一般的に採用されている。このような板ガラスの厚みとしては、例えば、約０．７ｍｍ程度の薄さのものが製造されている。
　そして、このような板ガラスを横向きの水平状態で搬送し、複数の加工工程において所定サイズに切断後、その切断端縁の研削・研磨等の面取り加工を施すことによって所定の強度を保った製品板ガラスが製作されている。
　この種の板ガラスを搬送する先行技術として、端面加工機における板材を、下部無端ベルトと上部無端ベルトとによって挟持し、下部無端ベルトの上側移行部上面に上部無端ベルトの下側移行部下面を圧接して上部無端ベルトと下部無端ベルトを同速度で移行させるようにしたものがある（例えば、特許文献１参照）。
　また、他の先行技術として、無端のコンベヤーベルトで板ガラスを挟持して送るようにしたものや（例えば、特許文献２参照）、上下２対の無端回動チェーンの上下対向面に板ガラス挟持部材を設け、これらの板ガラス挟持部材によって板ガラスを挟持して送るようにしたものもある（例えば、特許文献３参照）。
日本国　特開平６－１２６５８３号公報 日本国　特開昭５３－７１３９６号公報 日本国　特開昭５５－１２９７５３号公報
　ところで、上記したようなフラットパネルディスプレイ等に用いられる板ガラスは、表面に疵や汚れがなく綺麗であることにつき高い品質が求められる。また、板ガラスの反り、うねり等の表面精度についても、反りやうねりがなく水平（フラット）であることにつき高い品質が求められる。
　特に、この種の板ガラスのパターン面（この明細書及び特許請求の範囲の書類中では、半導体等の各種薄膜層を形成する面をいう）は、例えば、ＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を使用する液晶ディスプレイの場合、薄板の無アルカリガラス基板上にアモルファスシリコン、絶縁体、半導体等の各種の薄膜層を形成してパターン加工を施し、ＴＦＴや液晶駆動用の表示電極、配線を形成するため、他方のバック面（この明細書及び特許請求の範囲の書類中では、反パターン面をいう）に比べて非常に高い清浄度等が要求される。
　しかしながら、上記した特許文献１～３では、板ガラスの下面と上面をベルトで挟んで送るため、板ガラスのパターン面とベルトとの間に粉塵等を挟むと、上記したようにガラス表面に保護シートを貼り付けていたとしても、その挟んだ粉塵でパターン面に疵を付けてしまう。
　特に、板ガラスを送りながら端縁を研削する工程においては、その研削粉などを挟み込み、それによってパターン面に疵を付けてしまうおそれが高い。このパターン面に疵を付けてしまうと、その板ガラスは廃棄処分しなければならず、歩留まりの悪化を招き生産性が低下する。
　そこで、本発明は、板ガラスのパターン面を疵付けることなく安定して送ることができる板ガラスの搬送装置を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明に係る板ガラスの搬送装置は、板ガラスを水平状態で送る搬送装置であって、前記板ガラスの反パターン面を支持して該板ガラスを搬送方向に送るベルト部と、該ベルト部と対向する位置に配置され、前記板ガラスのパターン面に向けて所定の流体圧を作用させる流体ガイドと、を有する送り機構を備え、該送り機構は、前記流体ガイドの流体圧で前記板ガラスを前記ベルト部に押圧して、該板ガラスのパターン面に非接触の状態で該板ガラスを前記ベルト部との間で挟持するように構成されている。この明細書及び特許請求の範囲の書類中における「流体」は、「純水」等の板ガラス表面の高い清浄度を保てる液体や空気等を含む流体をいう。この構成により、板ガラスのパターン面にベルトなどを接触させることなく、この板ガラスをベルト部と流体ガイドとによって挟持した状態で搬送することができる。よって、板ガラスのパターン面に疵を付けることなく表面の高品質を保って安定した搬送ができる。
　また、前記板ガラスの幅方向中央部に前記送り機構を配置し、前記板ガラスの両端部に、該板ガラス表面との間に流体層を形成して非接触で支持する流体ガイドを配設してもよい。この明細書及び特許請求の範囲の書類中における「板ガラスの幅方向」は、水平状態で送る板ガラスの搬送方向と直交する方向をいう。このようにすれば、送り機構を板ガラスの幅方向中央部のみとすることで更に搬送装置のコスト低減も図ることができる。
　また、前記板ガラスのパターン面を上方に向けて搬送するように構成してもよい。このようにすれば、流体ガイドからの流体圧による押圧力に加えて板ガラスの自重でベルト部と板ガラスとの接触状態を保ち、板ガラスのパターン面に非接触の状態でベルト部により板ガラスを安定して搬送することができる。
　一方、本発明に係る板ガラスの面取り装置は、前記いずれかの搬送装置を備え、該搬送装置で搬送する前記板ガラスの端縁を研削及び研磨する面取り機を有するとともに、前記ベルト部を搬送方向にガイドするガイド部を有している。この構成により、パターン面に非接触の状態で板ガラスを搬送しながら端縁（エッジ部）の研削及び研磨を正確に行うことができ、パターン面に疵が付くことによる歩留まりの悪化を抑止することができる。
　また、前記面取り機は、前記板ガラスの送り方向両側部を面取りできるように配置された砥石部を有していてもよい。このようにすれば、搬送装置で搬送する板ガラスの両端縁を砥石部で二辺同時に研削及び研磨することができる。
　また、前記面取り機は、前記板ガラスの隅部を研削及び研磨する角面取り機を有していてもよい。この明細書及び特許請求の範囲の書類中における「隅部」は、四角形の板ガラスの四隅をいう。このようにすれば、板ガラスの隅部の角面取りを、四辺の端縁面取りの作業に組込んで連続的に行うことができる。角面取りの線は、直線または曲線状に面取りを行うようにしてもよい。
　また、前記角面取り機は、研削砥石と研磨砥石とを有する砥石部を備え、該砥石部は、前記研削砥石又は研磨砥石を前記板ガラスの端縁に位置させる配置替え機構を有していてもよい。このようにすれば、搬送装置で搬送する板ガラスの隅部を、角面取り機で研削及び研磨することができ、板ガラスの隅部における仕上げを高精度で行うことができる。
　また、前記板ガラスの搬送方向に前記面取り装置を２台配置し、該２台の面取り装置の間に前記板ガラスを水平面内で９０度回転させる反転機を備えてもよい。この場合は、搬送方向上流側の面取り装置で板ガラスの二辺端縁を面取り加工した後、反転機で板ガラスを水平面内で９０度回転させる。その後、下流側の面取り装置で板ガラスの他の二辺端縁を面取り加工すれば、板ガラスの四辺を連続的に面取り加工できる。つまり、面取り作業のサイクルタイムを縮めることが可能となる。
　また、前記面取り装置は、長辺面取り装置と短辺面取り装置とで構成され、前記長辺面取り装置は、Ｒ面取り砥石、研磨砥石を有する砥石部を備え、前記短辺面取り装置は、Ｒ面取り砥石、研磨砥石、角面取り砥石とを有する砥石部を備えていてもよい。この明細書及び特許請求の範囲の書類中における「Ｒ面取り」は、板厚断面の中央部が突出するような半円状に面取りすることをいう。このようにすれば、板ガラスの送り時間が短い短辺面取り装置において、板ガラスの短辺二辺の端縁面取りと角面取りとを行うことで、長辺面取り装置と短辺面取り装置とで板ガラスの送り速度変化を抑えて連続的な面取り作業を効率良く行うことができる。
　本発明によれば、板ガラスを、パターン面に非接触の状態で流体圧によって支持して搬送することができるので、板ガラスの表面の高品質を保って歩留まり良く搬送することができ、生産性を向上させることが可能となる。
図１は、本発明の搬送装置を備えた第１実施形態に係る面取り装置の搬送方向と直交する断面図である。 図２は、図１に示すベルト部の搬送方向における拡大側面図である。 図３は、図１に示すパターン面支持水ガイド部分の拡大図である。 図４は、本発明の搬送装置を備えた第２実施形態に係る面取り装置の搬送方向と直交する断面図である。 図５は、図４に示すベルト部の搬送方向における中央部断面図である。 図６は、図５に示すVI－VI断面図である。 図７(a) は、本発明に係る面取り装置の第１配置例を模式的に示す平面図であり、(b) は、その面取り装置における角面取り機の別な例を示す平面図である。 図８は、本発明に係る面取り装置の第２配置例を模式的に示す平面図である。 図９は、図７，８に示す面取り機の他の例による研削時の断面図である。 図１０は、図９に示す面取り機による研磨時の断面図である。
　以下、本発明の実施形態の例を図面に基づいて説明する。以下の実施形態の例では、板ガラス１を搬送しながら端縁５の面取りを行う面取り装置を例に説明する。以下の実施形態では、板ガラス１の搬送方向中央部に送り機構４０を備え、板ガラス１のパターン面２を上方に向けて搬送する例を説明する。また、流体ガイドとして水ガイドを例に説明する。なお、板ガラス１の厚み等は、便宜上誇張して示している。
　図１に示すように、搬送装置１０としては、幅方向中央部に板ガラス１の下面を支持するベルト部１１が設けられている。このベルト部１１は、矩形状のフレーム１２の上部に設けられたベルト受け１３上を金属製ベルト１４（例えば、ステンレス製ベルト）が移動するようになっている。この金属製ベルト１４には、外周面にゴム板１５が貼り付けられている。金属製ベルト１４の外周にゴム板１５を一体的に設けることにより、金属製ベルト１４によって板ガラス１の正確な搬送方向位置制御ができるようにし、ゴム板１５によって板ガラス１と柔接触するようにしている。
　このベルト部１１による板ガラス１の搬送方向に対する真直性は、上記金属製ベルト１４の搬送方向真直性を保つことで行っている。この金属製ベルト１４の搬送方向真直度は、フレーム１２に設けられたサイドローラ１６，１７（ガイド部）で金属製ベルト１４の幅方向移動を規制するようにガイドすることで保たれている。これらのサイドローラ１６，１７は、フレーム１２に設けられた支持ブラケット１８の上部に回転可能に支持されている。
　そして、図示する例では、右側のサイドローラ１６が基準側ガイド部となる基準側サイドローラ１６となっており、反対側のサイドローラ１７は、フレーム１２に設けられたバネ１９で支持ブラケット１８をフレーム１２方向に引張ることで所定の押圧力で金属製ベルト１４に押付けられている。これにより、金属製ベルト１４が基準側サイドローラ１６に案内されて正確な位置で移動するようにして、ベルト部１１の幅方向移動を規制している。
　また、金属製ベルト１４は、端部に設けられた駆動プーリ（図示略）によって駆動されている。駆動プーリは、サーボモータで駆動されており、速度及び位置が制御されている。これにより、複数の板ガラス１を同時に搬送する場合でも各々に乱れが生じることはない。
　図２に示すように、上記ベルト部１１のゴム板１５の表面は凹凸状に形成されている。この実施形態のゴム板１５の表面は、搬送方向と交差する方向の溝２０を搬送方向に等間隔で設けることによって凹凸状に形成されている。この溝２０により、ゴム板１５と板ガラス１との間の水を排出し、凸部によって板ガラス１との摩擦抵抗を保つようにしている。溝２０の大きさ、形状、配設ピッチ等は一例を示したものであり、他の大きさ、形状、配設ピッチであってもよい。また、この溝２０に代えて、板ガラス１との間の水で摩擦抵抗が低下するのを防止できる凹状部などを採用してもよい。
　一方、図１に示すように、上記板ガラス１は、幅方向中央部における上記ベルト部１１による支持に加え、幅方向両端部水ガイド２５と幅方向中間部水ガイド２６とによって反パターン面３の中央部以外が支持されている。幅方向中間部水ガイド２６は、板ガラス１の非接触支持と、撓みによる変形を防止している。この幅方向中間部水ガイド２６は、板ガラス１のサイズに応じて適宜配置される。
　そして、これらの幅方向両端部水ガイド２５及び幅方向中間部水ガイド２６の上面と板ガラス下面との間に水Wを供給することにより水膜を形成し、この水膜を介して板ガラス１を下方から支持するように構成されている。
　また、上記幅方向両端部水ガイド２５と板ガラス１を挟んで対向するように、幅方向両端部水ガイド２７が設けられている。この幅方向両端部水ガイド２７は、板ガラス１の上面と僅かな隙間を設けて配置されており、この幅方向両端部水ガイド２７から板ガラス１との隙間に水Ｗが供給され、この水によって幅方向両端部水ガイド２７と板ガラス１との間に水膜を形成し、この水膜を介して板ガラス１を上記幅方向両端部水ガイド２５とによって非接触で支持している。
　一方、上記ベルト部１１と対向するように、板ガラス１の幅方向中央部の上方にはパターン面支持水ガイド３０が設けられている。このパターン面支持水ガイド３０は、板ガラス１の上面と僅かな隙間を有するように配置されており、板ガラス１とは非接触の状態で配置されている。
　図３にも示すように、パターン面支持水ガイド３０には、上部に所定圧の水Ｗを供給する水供給口３１が設けられている。この水供給口３１の下方には、所定体積の貯水部３２が設けられている。また、この貯水部３２の下方には、途中で径が拡がる供給穴３３から水を供給する貯圧部３４が設けられている。この貯圧部３４は、パターン面支持水ガイド３０と板ガラス１の上面との間の僅かな隙間から水が漏れ出るようになっている。なお、貯圧部３４の体積は、貯圧部３４に溜められた水によって板ガラス１の上面に所定の水圧（流体圧）が作用するように計算されている。
　なお、このパターン面支持水ガイド３０は、図２のように板ガラス１の搬送方向に所定間隔で複数個が設けられており、その間隔は図２に二点鎖線で示すような間隔で配置されている。このパターン面支持水ガイド３０を所定間隔で設けることにより、搬送方向の長さが限られている板ガラス１を複数個のパターン面支持水ガイド３０でベルト部１１に向けて押圧した状態を保てるようにしている。
　そして、このパターン面支持水ガイド３０に供給された水Ｗによる上記貯圧部３４の面積に応じた水圧により、板ガラス１が上記ベルト部１１のゴム板１５に押圧されている。ゴム板１５が受ける押圧力の反力は、ベルト受け１３によって受けられている。板ガラス１への押圧力は、水圧の調節により調節される。このようにして水圧で板ガラス１をベルト部１１に押圧することにより、板ガラス１は水圧に比例したゴム板１５との間の摩擦力でベルト部１１と一緒に移動するようにしている。
　従って、板ガラス１は、パターン面２には非接触の状態で、パターン面支持水ガイド３０とベルト部１１とによって上下方向から挟んで支持されて、ベルト部１１と一体的に移動させられる。
　上記ベルト部１１とパターン面支持水ガイド３０とによって板ガラス１を上下方向から挟持して搬送する構成が、板ガラス１の送り機構４０であり、この送り機構４０によって板ガラス１を搬送する装置が搬送装置１０である。
　また、図示する例は、上記搬送装置１０に面取り機能を備えさせることで面取り装置４５としている。この面取り装置４５は、上記したようにパターン面２に非接触の状態で送られる板ガラス１の幅方向端縁５を研削及び研磨するように面取り機５０を備えている。この実施形態では、板ガラス１の対向する二辺を同時に研削及び研磨するように面取り機５０が対向配置されている。
　この面取り機５０は、駆動機（モータ）５１の下方に円筒形の研削砥石５２（砥石部）が設けられている。研削砥石５２は、縦方向に複数段のＲ面取り砥石５３が並設されたものであり、この実施形態では５段の砥石５３が設けられている。この砥石５３としては、板ガラス１の面取りに適した所定粒度の砥粒が用いられる。また、この砥石５３は、板ガラス１の端縁を板厚中央部が突出する半円状にＲ面取りするために、板ガラス１の面取り形状と合う凹状部を有する断面の砥石となっている。砥石５３は、形状が限定されるものではない。
　上記砥石５３は、並設した各凹状部が独立した砥石となっており、駆動機５１によって砥石全体を回転させながら板ガラス１の端縁に接触させることで、各凹状部によって板ガラス１の端縁がＲ状に研削されるようになっている。この研削砥石５２によれば、一部のＲ面取り砥石５３が磨耗しても他のＲ面取り砥石５３によって研削作業を行うことができる。
　以上のような第１実施形態の面取り装置４５によれば、搬送装置１０としては、ベルト部１１のゴム板１５上に板ガラス１の幅方向中央部をパターン面支持水ガイド３０からの水圧で非接触支持するとともに、この板ガラス１の幅方向両端部も幅方向両端部水ガイド２５，２７と幅方向中間部水ガイド２６とによって非接触で支持しているので、板ガラス１のパターン面２の高品質を保った状態でベルト部１１によって正確に搬送することができる。
　また、上記搬送装置１０に面取り機能を備えさせた面取り装置４５とした場合、板ガラス１の幅方向両端部の上下面を幅方向両端部水ガイド２５，２７で支持しているため、両側方の研削砥石５２の切削粉が遠心力で板ガラス１の表面に飛散したとしても水で流され、付着することを防止することができる。
　従って、板ガラス１の表面の高品質を保った状態で搬送し、その端縁を面取り仕上げすることができるので、歩留まりの向上と生産性の向上を図ることが可能となる。
　図４は、上記第１実施形態とベルト部１１が異なる第２実施形態の面取り装置６０である。上記第１実施形態の搬送装置１０では、ベルト部１１に金属製ベルト１４を用いた例を示したが、この第２実施形態の搬送装置５５では、板ガラス１の下面と接するベルト部６１に特殊なタイミングベルト６２を採用している。なお、上記第１実施形態と同一の構成には同一符号を付し、その説明は省略する。
　図５に示すように、このタイミングベルト６２は、外面及び内面の両面に歯部が設けられたタイミングベルトとなっている。外面歯部６３は、板ガラス１と接した状態で、タイミングベルト６２と板ガラス１との間の水を歯部６３の間から排出して摩擦抵抗を保つためのものである。内面歯部６４は、タイミングベルト６２の端部において駆動用プーリ（図示略）と噛合して、タイミングベルト６２を正確に送るためのものである。
　また、図６に示すように、このタイミングベルト６２の内面歯部６４には、幅方向中央部の長手方向に、ガイド部６５となる切込み溝が設けられている。このガイド部６５は、フレーム１２に設けられた支持材６７によって回転可能に支持されたガイドプーリ６６が沿うようになっている。このガイドプーリ６６は、フレーム１２に回転可能に支持されている。このガイドプーリ６６にタイミングベルト６２のガイド部６５を沿わせて搬送方向に送ることで、タイミングベルト６２の搬送方向真直度を確保している。このタイミングベルト６２の搬送方向真直度を保つことにより、タイミングベルト６２と一体的に送られる板ガラス１の搬送方向真直度を保つようにしている。
　なお、この実施形態では、外面及び内面の両面に歯部６３，６４が設けられた特殊タイミングベルト６２を例にしているが、同様の構成であれば他のベルトであってもよい。
　以上のような第２実施形態の面取り装置６０によっても、搬送装置５５としては、ベルト部６１のタイミングベルト６２上に板ガラス１の幅方向中央部を上述したパターン面支持水ガイド３０からの水圧で非接触支持するとともに、この板ガラス１の幅方向両端部も幅方向両端部水ガイド２５，２７と幅方向中間部水ガイド２６とによって非接触で支持しているので、板ガラス１のパターン面２の高品質を保った状態でベルト部６１によって正確に搬送することができる。
　また、この実施形態でも、搬送装置５５に面取り機能を備えさせた面取り装置６０とした場合、板ガラス１の幅方向両端部の上下面を幅方向両端部水ガイド２５，２７で支持しているため、搬送装置５５を備えた面取り装置６０によれば、両側方の研削砥石５２の切削粉が遠心力で板ガラス１の表面に飛散したとしても水で流され、付着することを防止することができる。
　従って、この実施形態でも、板ガラス１の表面の高品質を保った状態で搬送し、その端縁を面取り仕上げすることができるので、歩留まりの向上と生産性の向上を図ることが可能となる。
　図７，８は、上記面取り装置４５，６０の配置例を示す図面である。図７は、長方形状の板ガラス１の長辺を面取りする長辺面取り装置７０を上流側に配置し、その後流側に、板ガラス１を水平面内で９０度回転させる反転機７１と、板ガラス１の短辺を面取りする短辺面取り装置７２とを順に配置した例である。図の左方向が搬入側で右方向が搬出側であり、左方向から右方向に板ガラス１が搬送される。これらの面取り装置７０，７２は、上述した面取り装置４５又は６０と同様の構成であるが、以下の説明では主要な構成に別符号を付して説明する。
　図７に示す構成の場合、長辺面取り装置７０に搬入された板ガラス１が、まずアライメント装置７３の基準ローラ７４によって送り方向一辺を基準にして位置調節される。このアライメント調節された板ガラス１は、搬送方向に送られながら、長辺の二辺が研削砥石７５（Ｒ面取り砥石）によってＲ面取りされた後、研磨砥石７６によって研磨される。
　この長辺面取り装置７０で長辺が面取りされた板ガラス１は、反転機７１へと送られ、この反転機７１によって水平面内で９０度回転させられる。反転機７１で９０度回転させられた板ガラス１は、短辺面取り装置７２へと搬送される。
　短辺面取り装置７２に搬入された板ガラス１は、図７(a) に示す構成では、まずアライメント装置７３の基準ローラ７４によって送り方向一辺を基準にして位置調節されるとともに、角面取り機８０による板ガラス１の四隅部６の角面取りが行われる。アライメント調節と角面取り機８０による四隅部６の角面取りが行われた板ガラス１は、短辺面取り装置７２で搬送されながら、短辺の二辺が研削砥石７５によってＲ面取りされた後、研磨砥石７６によって研磨される。図７(a) に示す構成では、角面取り機８０を４台設けた例を示しているが、図７(b) に示す短辺面取り装置７２のように、角面取り機８０を２台設けて、搬送方向の前端２箇所の隅部６を角面取りした後、板ガラス１を送って後端２箇所の隅部６を角面取りするようにしてもよい。
　そして、このようにして周縁が研削及び研磨された板ガラス１は、後工程へと搬出される。この構成によれば、搬送距離の短い短辺面取り装置７２において四隅部６の角面取りを行っているため、この角面取り作業と短辺二辺の面取り作業に要する時間と、長辺二辺の面取り作業に要する時間とを同様にすることができる。従って、長辺面取り装置７０と短辺面取り装置７２とで板ガラス１を搬送しながら全周を面取りする作業を連続的に行って、板ガラス１の面取り作業を効率的に行うことが可能となる。
　図８は、上記図７における長辺面取り装置７０と短辺面取り装置７２との配置が前後逆になったものである。構成としては同一であるため、同一の構成には同一符号を付して説明する。
　図示するように、この構成の場合、短辺面取り装置７２に搬入された板ガラス１は、まずアライメント装置７３の基準ローラ７４によって送り方向一辺を基準にして位置調節されるとともに、角面取り機８０による四隅部６の角面取りが行われる。アライメント調節と角面取り機８０による四隅部６の角面取りが行われた板ガラス１は、短辺面取り装置７２で搬送されながら、短辺の二辺が研削砥石７５によってＲ面取りされた後、研磨砥石７６によって研磨される。
　この短辺面取り装置７２で短辺が面取りされた板ガラス１は、反転機７１へと送られ、この反転機７１によって水平面内で９０度回転させられる。反転機７１で９０度回転させられた板ガラス１は、長辺面取り装置７０へと搬送される。
　長辺面取り装置７０に搬入された板ガラス１は、まずアライメント装置７３の基準ローラ７４によって送り方向一辺を基準にして位置調節される。このアライメント調節された板ガラス１は、搬送方向に送られながら、長辺の二辺が研削砥石７５によってＲ面取りされた後、研磨砥石７６によって研磨される。
　そして、このようにして周縁が研削及び研磨された板ガラス１は、後工程へと搬出される。この構成によっても、上記したように、角面取り作業と短辺二辺の面取り作業に要する時間と、長辺二辺の面取り作業に要する時間とを同様にすることができ、板ガラス１を搬送しながら全周を面取りする作業を連続的に行って、板ガラス１の面取り作業を効率的に行うことが可能となる。
　上記図７又は図８における面取り装置７０，７２の構成は、上流の工程から搬入される板ガラス１の向きによって決定される。そして、上記面取り装置７０，７２から搬出される板ガラス１は、四辺の端縁５と四隅部６の全周が研削及び研磨されているため、仕上げ精度の高い板ガラス１として後流の工程へ搬出される。
　図９，１０は、上記図７，８に示す角面取り機８０の構成例である。角面取り機８０としては、隅部６を直線または曲線状に研削する角面取り用研削砥石８１と、その研削面を磨く研磨砥石８２とを同軸上に具備させ、同一の駆動機８３（モータ等）で駆動するように構成されている。図示する例では、研削砥石８１の下方に研磨砥石８２を装着している。この構成の場合、研削砥石８１と研磨砥石８２とを軸方向に位置変更する配置替え機構を具備させる。この配置替え機構としては、角面取り機８０の全体を軸方向に移動させる機構などが採用される。
　このようにすれば、図９に示すように、研削砥石８１で研削後、図１０に示すように、角面取り機８０を軸方向に移動（上昇）させて研磨砥石８２を板ガラス１の位置に配置替えした後、同じ軌跡で研磨することができる。これにより、研削作業と研磨作業とを連続して迅速に行うことができる。しかも、隅部の研磨作業を行うことで、板ガラス１の角面取り部分も高精度で研磨して仕上げることができ、製品の品質向上を図ることができる。
　以上のように、上記面取り装置４５，６０によれば、板ガラス１のパターン面２に構造物を接触させることなく搬送装置１０，５５で板ガラス１を搬送できるため、板ガラス１のパターン面２に疵が付くのを確実に防止することができる。
　また、板ガラス１の四辺の端縁５及び四隅部６を迅速に研削及び研磨して面取りすることができるので、周縁全体の面取り仕上げが高い板ガラス１を製造することができる。しかも、周縁の面取り仕上げを高品質とすることで、後工程における板ガラス１の割れ等を防ぐことができるので、歩留まりを向上させて生産性の向上を図ることが可能となる。
　さらに、上記したような面取り装置４５，６０によれば、板ガラス１を連続送りすることができ、板ガラス１の面取り作業に要するサイクルタイムを縮めることが可能となる。
　なお、上記実施形態では、搬送装置１０，５５を面取り装置４５，６０に適用した例を説明したが、板ガラス１を水平状態で搬送する構成であれば他の装置にも適用することができ、面取り装置４５，６０に限定されるものではない。
　また、上記実施形態では、板ガラス１の幅方向中央部のみに送り機構４０を設けた例を説明したが、送り機構４０を幅方向に複数列設けるような構成であってもよく、上記実施形態の構成に限定されるものではない。
　さらに、上記実施形態では、流体ガイドとして水ガイドを例に説明したが、空気ガイドであってもよく、上記実施形態の構成に限定されるものではない。
　さらに、上記実施形態は一例を示しており、本発明の要旨を損なわない範囲での種々の変更は可能であり、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。
　本発明に係る板ガラスの搬送装置は、板ガラスを送りながら面取りする面取り装置や、板ガラスの反転装置などに利用できる。
　１　板ガラス
　２　パターン面
　３　反パターン面
　５　端縁
　６　隅部
　１０　搬送装置
　１１　ベルト部
　１３　ベルト受け
　１４　金属製ベルト
　１５　ゴム板
　１６　サイドローラ（基準側ガイド部）
　１７　サイドローラ（ガイド部）
　１９　バネ
　２０　溝
　２５　幅方向両端部水ガイド（流体ガイド）
　２６　幅方向中間部水ガイド
　２７　幅方向両端部水ガイド（流体ガイド）
　３０　パターン面支持水ガイド（流体ガイド）
　３２　貯水部
　３３　供給穴
　３４　貯圧部
　４０　送り機構
　４５　面取り装置
　５０　面取り機
　５１　駆動機
　５２　研削砥石
　５３　Ｒ面取り砥石
　５５　搬送装置
　６０　面取り装置
　６１　ベルト部
　６２　タイミングベルト
　６３　外面歯部
　６４　内面歯部
　６５　ガイド部
　６６　ガイドプーリ
　７０　長辺面取り装置
　７１　反転機
　７２　短辺面取り装置
　７３　アライメント装置
　７４　基準ローラ
　７５　研削砥石（Ｒ面取り砥石）
　７６　研磨砥石
　８０　角面取り機
　８１　研削砥石（角面取り砥石）
　８２　研磨砥石（角面取り砥石）
　　Ｗ　水（流体）

Claims (9)

  1. 　板ガラスを水平状態で送る搬送装置であって、
    　前記板ガラスの反パターン面を支持して該板ガラスを搬送方向に送るベルト部と、
    　該ベルト部と対向する位置に配置され、前記板ガラスのパターン面に向けて所定の流体圧を作用させる流体ガイドと、を有する送り機構を備え、
    　該送り機構は、前記流体ガイドの流体圧で前記板ガラスを前記ベルト部に押圧して、該板ガラスのパターン面に非接触の状態で該板ガラスを前記ベルト部との間で挟持するように構成されていることを特徴とする板ガラスの搬送装置。
  2. 　前記板ガラスの幅方向中央部に前記送り機構を配置し、
    　前記板ガラスの両端部に、該板ガラス表面との間に流体層を形成して非接触で支持する流体ガイドを配設した請求項１に記載の板ガラスの搬送装置。
  3. 　前記板ガラスのパターン面を上方に向けて搬送するように構成した請求項１又は２に記載の板ガラスの搬送装置。
  4. 　請求項１～３のいずれか１項に記載の搬送装置を備え、
    　該搬送装置で搬送する前記板ガラスの端縁を研削及び研磨する面取り機を有するとともに、
    　前記ベルト部を搬送方向にガイドするガイド部を有していることを特徴とする板ガラスの面取り装置。
  5. 　前記面取り機は、前記板ガラスの送り方向両側部に対向して配置された砥石部を有している請求項４に記載の板ガラスの面取り装置。
  6. 　前記面取り機は、前記板ガラスの隅部を研削及び研磨する角面取り機を有している請求項４又は５に記載の板ガラスの面取り装置。
  7. 　前記角面取り機は、研削砥石と研磨砥石とを有する砥石部を備え、
    　該砥石部は、前記研削砥石又は研磨砥石を前記板ガラスの端縁に位置させる配置替え機構を有している請求項６に記載の板ガラスの面取り装置。
  8. 　前記板ガラスの搬送方向に前記面取り装置を２台配置し、該２台の面取り装置の間に前記板ガラスを水平面内で９０度回転させる反転機を備えた請求項４～７のいずれか１項に記載の板ガラスの面取り装置。
  9. 　前記面取り装置は、長辺面取り装置と短辺面取り装置とで構成され、
    　前記長辺面取り装置は、Ｒ面取り砥石、研磨砥石を有する砥石部を備え、
    　前記短辺面取り装置は、Ｒ面取り砥石、研磨砥石、角面取り砥石とを有する砥石部を備えている請求項８に記載の板ガラスの面取り装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013073156A1 (ja) * 2011-11-14 2013-05-23 川崎重工業株式会社 板材の搬送システム
CN104625951A (zh) * 2015-03-02 2015-05-20 侯如升 一种桥式耙斗装岩机表面打磨头
CN114146969A (zh) * 2021-12-15 2022-03-08 西安电子科技大学 一种多功能集成电路用的清洁维护设备
CN115213791A (zh) * 2022-06-21 2022-10-21 南京彼奥电子科技有限公司 一种旋磁铁氧体介质陶瓷加工用砂磨机及其抛光方法

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5741481B2 (ja) * 2012-02-21 2015-07-01 坂東機工株式会社 ガラス板の両サイド加工装置
US9051128B2 (en) * 2012-11-21 2015-06-09 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd Transmission device and transmission method for glass substrate
KR101385769B1 (ko) * 2013-03-15 2014-04-18 주식회사 에이유테크 직결기어 컨베이어 구조
JP6238117B2 (ja) * 2013-09-19 2017-11-29 旭硝子株式会社 板状体の加工方法
DE102014213953A1 (de) * 2014-07-17 2016-01-21 Schott Ag Verfahren zur hochpräzisen Eckenkonturierung von Flachglassubstraten im Durchlauf
EP3012066B1 (en) * 2014-10-20 2019-11-27 Biesse S.p.A. Bilateral machine for machining edges of plates with integrated corner radiusing devices
JP6457802B2 (ja) * 2014-12-05 2019-01-23 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス板の製造方法、および、ガラス板の製造装置
KR102414804B1 (ko) * 2014-12-19 2022-06-29 에이지씨 가부시키가이샤 유리판의 모따기 장치, 유리판의 모따기 방법, 및 유리판의 제조 방법
JP6514542B2 (ja) * 2015-03-26 2019-05-15 ＡｖａｎＳｔｒａｔｅ株式会社 ガラス基板の製造方法
FR3049943B1 (fr) * 2016-04-06 2020-08-28 Saint Gobain Dispositif de convoyage et de maintien de feuilles de verre notamment dans une installation de lavage, et procede de mise en oeuvre
JP7317441B2 (ja) * 2019-04-15 2023-07-31 株式会社ディスコ 面取り加工装置
CN111113247B (zh) * 2019-12-16 2021-06-08 安徽墙煌彩铝科技有限公司 一种可除尘的铝单板抛光设备
TW202208110A (zh) * 2020-08-25 2022-03-01 日商日本電氣硝子股份有限公司 玻璃板的製造方法、玻璃板的定位裝置以及玻璃板的製造裝置

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001151318A (ja) * 1999-09-13 2001-06-05 Press Gijutsu Kenkyusho:Kk 加工用送り装置
JP2003063643A (ja) * 2001-08-30 2003-03-05 Nippon Sekkei Kogyo:Kk 薄板の搬送方法及び装置
JP2003341828A (ja) * 2002-05-27 2003-12-03 Shiraitekku:Kk 供給装置

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3800477A (en) * 1972-01-14 1974-04-02 J Jendrisak Apparatus for seaming the edges of glass sheets
US3827189A (en) * 1973-04-10 1974-08-06 Engelhard Min & Chem Sheet glass seaming machine
FR2237244A1 (ja) * 1973-07-12 1975-02-07 Intercontinental Trading Cy
JPS5371396A (en) 1976-12-06 1978-06-24 Fukuyama Tetsukoushiyo Kk Plate glass double corner rounding high speed grinding machine
US4228617A (en) * 1977-12-31 1980-10-21 Bando Kiko Co., Ltd Method for grinding glass plates and the like through numerical control and beveling machine therefor
JPS55129753A (en) 1979-03-29 1980-10-07 Ajinomoto Co Inc Measuring method of degree of deterioration of fat and oil
JPS6165762A (ja) * 1984-09-06 1986-04-04 Nippon Sheet Glass Co Ltd 板状体の端面研磨装置
US4658550A (en) * 1985-06-11 1987-04-21 Acc Automation, Inc. Apparatus for seaming glass
US4908996A (en) * 1987-09-22 1990-03-20 Abraxas, Incorporated Method for machine polishing ophthalmic lenses to a translucent finish
JPH06126583A (ja) 1992-10-19 1994-05-10 Nippon Sheet Glass Co Ltd 端面加工機における板材の搬送方法及びその装置
US5711700A (en) * 1994-02-22 1998-01-27 Inland Diamond Products Co. Process to edge and polish polycarbonate and CR 39 lenses with diamond wheels
US5626511A (en) * 1994-10-03 1997-05-06 National Optronics, Inc. Combination lens edger, polisher, and safety beveler, tool therefor and use thereof
DE19649488A1 (de) * 1996-11-29 1997-11-06 Schott Glaswerke Vorrichtung zur Handhabung von dünnen Glasscheiben
US6325704B1 (en) * 1999-06-14 2001-12-04 Corning Incorporated Method for finishing edges of glass sheets
ITMI991382A1 (it) * 1999-06-21 2000-12-21 Bavelloni Z Spa Macchina automatica bilaterale per la lavorazione dei bordi di lastredi vetro materiali lapidei e simili
US6428390B1 (en) * 1999-06-29 2002-08-06 Corning Incorporated Method and apparatus for edge finishing glass sheets
JP2004154893A (ja) * 2002-11-06 2004-06-03 Mitsubishi Materials Techno Corp 板硝子の研磨方法および研磨装置
JP4161272B2 (ja) * 2003-12-16 2008-10-08 株式会社ダイフク 搬送装置
US7235002B1 (en) * 2006-01-23 2007-06-26 Guardian Industries Corp. Method and system for making glass sheets including grinding lateral edge(s) thereof

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001151318A (ja) * 1999-09-13 2001-06-05 Press Gijutsu Kenkyusho:Kk 加工用送り装置
JP2003063643A (ja) * 2001-08-30 2003-03-05 Nippon Sekkei Kogyo:Kk 薄板の搬送方法及び装置
JP2003341828A (ja) * 2002-05-27 2003-12-03 Shiraitekku:Kk 供給装置

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2013073156A1 (ja) * 2011-11-14 2013-05-23 川崎重工業株式会社 板材の搬送システム
CN104625951A (zh) * 2015-03-02 2015-05-20 侯如升 一种桥式耙斗装岩机表面打磨头
CN114146969A (zh) * 2021-12-15 2022-03-08 西安电子科技大学 一种多功能集成电路用的清洁维护设备
CN115213791A (zh) * 2022-06-21 2022-10-21 南京彼奥电子科技有限公司 一种旋磁铁氧体介质陶瓷加工用砂磨机及其抛光方法
CN115213791B (zh) * 2022-06-21 2024-02-02 南京彼奥电子科技有限公司 一种旋磁铁氧体介质陶瓷加工用砂磨机及其抛光方法

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