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WO2011125663A1 - モリブデン合金およびその製造方法 - Google Patents

モリブデン合金およびその製造方法 Download PDF

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WO2011125663A1
WO2011125663A1 PCT/JP2011/057864 JP2011057864W WO2011125663A1 WO 2011125663 A1 WO2011125663 A1 WO 2011125663A1 JP 2011057864 W JP2011057864 W JP 2011057864W WO 2011125663 A1 WO2011125663 A1 WO 2011125663A1
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molybdenum
molybdenum alloy
additive
average particle
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PCT/JP2011/057864
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Inventor
由夏 西面
俊之 澤田
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Sanyo Special Steel Co Ltd
Original Assignee
Sanyo Special Steel Co Ltd
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C27/00—Alloys based on rhenium or a refractory metal not mentioned in groups C22C14/00 or C22C16/00
    • C22C27/04—Alloys based on tungsten or molybdenum
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
    • B22F3/12—Both compacting and sintering
    • B22F3/14—Both compacting and sintering simultaneously
    • B22F3/15—Hot isostatic pressing
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
    • C22C—ALLOYS
    • C22C1/00—Making non-ferrous alloys
    • C22C1/04—Making non-ferrous alloys by powder metallurgy
    • C22C1/045—Alloys based on refractory metals

Definitions

  • the present invention relates to a molybdenum alloy and a method for producing the same, and more particularly, to a molybdenum alloy used as a material for a member used in a high temperature environment where strength is required at a high temperature of 2000 ° C. or higher and a method for producing the same. .
  • Mo, W, and alloys thereof have a melting point of 2000 ° C. or higher, and have been conventionally used mainly as electronic members, electrode materials, filament materials, and the like. In recent years, these alloys are expected to be used as materials for structural members focused on their excellent high-temperature strength and corrosion resistance. However, since Mo and W have very high melting points and poor workability, it has been difficult to produce products by ordinary methods such as melting and processing. Therefore, in general, various members are manufactured by a powder sintering method.
  • the relative density of a sintered body obtained by a general powder sintering method is about 90%, and a large number of pores remain inside. It is known that the properties such as strength and corrosion resistance of these metal sintered bodies depend greatly on the density, and the bubbles inside the sintered body significantly reduce the strength, or the corrosive solution or gas penetrates into the internal bubbles. And the corrosion resistance is significantly impaired. On the other hand, if the sintering temperature is too high, the crystal grains are coarsened, and there is a problem that the strength is lowered and becomes brittle. Therefore, at present, the density is increased by plastic working such as hot rolling or hot forging.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 9-196570.
  • this patent document 1 does not explicitly mention the occurrence of swelling.
  • the method of Patent Document 1 has a complicated processing process, and is produced by a material plate manufacturing process by rolling and hot spinning drawing, which causes an increase in cost when manufacturing a large member.
  • the present inventors now mix one or two or more additive powders of Nb, Ta and W in an amount of 20 to 50 atomic% with respect to the molybdenum (Mo) powder as a matrix, By solidification molding, even when used at a high temperature of 2000 ° C., it suppresses the occurrence of local swelling and coarsening of the crystal grains, thereby extending the service life of the member and providing a large member without requiring complicated processing steps. It was found that can be easily produced.
  • the object of the present invention is to suppress the occurrence of local expansion and crystal grain coarsening even when used at a high temperature of 2000 ° C., thereby realizing a long life of the member and without requiring a complicated processing step. It is an object of the present invention to provide a molybdenum alloy and a method for producing the same that make it possible to easily produce a large member.
  • one or more additive powders of Nb, Ta and W in an amount of 20 to 50 atomic% with respect to the molybdenum powder are added to the molybdenum (Mo) powder to be a matrix.
  • a molybdenum alloy obtained by mixing and solidification forming is provided.
  • it includes a molybdenum powder as a matrix and one or more additive powders of 20 to 50 atomic% of Nb, Ta and W with respect to the molybdenum powder.
  • a method for producing a molybdenum alloy comprising solidifying and forming a mixed powder obtained by hot isostatic pressing (HIP).
  • Molybdenum alloy The molybdenum alloy according to the present invention is obtained by mixing an additive powder as a second phase with a molybdenum (Mo) powder as a matrix and solidifying and molding.
  • the molybdenum (Mo) powder used as the matrix is pure molybdenum powder, and the inclusion of inevitable impurities is allowed.
  • the molybdenum powder preferably has an average particle size of 6 to 30 ⁇ m, more preferably 10 to 20 ⁇ m.
  • the average particle size of the matrix is 6 ⁇ m or more, filling at the time of molding becomes extremely good, a density sufficient for practical use is obtained, and the strength is improved. In addition, it is possible to effectively avoid an increase in the amount of oxygen in molybdenum which causes the occurrence of blistering.
  • the average particle size of the matrix is 30 ⁇ m or less, the dispersion state of the second phase is improved, and local density reduction can be effectively prevented.
  • the additive powder to be the second phase is one or more of Nb, Ta and W, and inclusion of inevitable impurities is allowed.
  • This additive powder is added in an amount of 20 to 50 atomic%, preferably 20 to 40 atomic%, with respect to the molybdenum powder as a matrix.
  • the reason for using Nb, Ta and / or W as an additive powder is that the first phase particles do not melt at high temperature and secondly, the second phase particles satisfying two conditions of excellent high temperature strength are dispersed, thereby dispersing the matrix phase. It is to suppress the coarsening of the crystal grains of the molybdenum phase and increase the strength at high temperature. If the amount of additive powder added is less than 20 atomic%, sufficient strength may not be obtained with respect to the generated gas pressure. Moreover, when the addition amount exceeds 50 atomic%, the effect is saturated.
  • the average particle size of the added metal powder is preferably 15 to 50 ⁇ m, more preferably 30 to 50 ⁇ m. If the average grain size is 15 ⁇ m or more, the weakly localized parts due to the notch effect at the crystal grain boundary are reduced, and gas is prevented from collecting through the grain boundary, thereby sufficiently improving the swelling suppression effect. Can be made. When the average particle size is 50 ⁇ m or less, it is possible to prevent a decrease in sinterability and obtain a sufficiently high density after HIP.
  • the average particle diameter of the molybdenum powder and the additive powder is D50, which is a 50% diameter in a volume-based particle diameter distribution measured by a laser diffraction method.
  • the molybdenum alloy obtained by mixing and solidifying such raw material powder is composed of one or more of Nb, Ta and W, the balance Mo and inevitable impurities.
  • a manufacturing method of a molybdenum alloy according to the present invention includes a molybdenum powder as a matrix and one or more additive powders of 20 to 50 atomic% of Nb, Ta and W with respect to the molybdenum powder. Solidifying the mixed powder with a hot isostatic press (HIP).
  • HIP hot isostatic press
  • This HIP treatment is preferably carried out by holding the mixed powder at a treatment temperature of 1100 to 2100 ° C. and a pressure of 50 to 300 MPa for 30 minutes to 24 hours, more preferably a treatment temperature of 1200 to 1700 ° C. and a pressure. It is carried out by holding at 100 to 200 MPa for 1 to 10 hours.
  • the processing temperature is 1100 ° C. or higher, the density is significantly increased, and when the temperature is 2100 ° C. or lower, an increase in cost in practical equipment can be avoided.
  • the SC container melts at the processing temperature. Therefore, a container having the same dimensions as the SC container is prepared using a commercially available high melting point material such as molybdenum, niobium or tantalum. It is preferable to use for HIP processing.
  • the pressure is 50 MPa or more, a sufficiently high density can be obtained, and if the pressure is 300 MPa or less, an increase in cost in practical equipment can be avoided. Furthermore, when the holding time is 30 minutes or more, a sufficient density can be obtained, and when it is 24 hours or less, the coarsening of crystal grains can be effectively prevented.
  • one or more additive powders of Nb, Ta and W having an average particle size of 15 to 50 ⁇ m are mixed with 20 to 50 atomic% of the molybdenum powder as a matrix to obtain a HIP molded body. Therefore, it is possible to suppress swelling generated in a high temperature environment of about 2000 ° C. Furthermore, the effect of refining crystal grains can be obtained by the addition of the second phase, and non-equal axis crystal grains can be obtained by manufacturing by the HIP method, so that the life of the member can be extended.
  • Evaluation 1 Molded body density Relative density (%) was evaluated for the fabricated molded body. This relative density was determined by comparatively evaluating the density of the formed compact and the compact density of the pure molybdenum compact. The results are shown in Table 1.
  • Evaluation 2 Evaluation in accordance with the actual use environment
  • the molded body was subjected to heat treatment at 2000 ° C. in an inert atmosphere using a carbon heater.
  • the molded body subjected to this heat treatment was evaluated for swelling after heat treatment at 2000 ° C. and the crystal grain size of molybdenum as a matrix.
  • No. No. 20 is pure Mo, swelling is observed after heat treatment at 2000 ° C., and the crystal grain size is large after heat treatment.
  • No. 13 has a small addition amount, swelling after 2000 ° C. heat treatment is observed, and the crystal grain size after heat treatment is slightly large.
  • No. 14 since the average particle size of the additive powder was small, swelling was observed after heat treatment at 2000 ° C.
  • No. 15 since the average particle size of the Mo powder is small, swelling is observed after heat treatment at 2000 ° C.
  • No. No. 16 has a large average particle size of Mo powder and a small amount of additive powder added, so the molding density is low, and swelling after 2000 ° C. heat treatment is observed, and the crystal particle size after heat treatment is slightly large.
  • No. 17 the amount of additive powder added was small and the average particle size of the additive powder was small, so swelling was observed after heat treatment at 2000 ° C., and the crystal grain size after heat treatment was slightly large.
  • No. No. 18 has a low molding density because the average particle size of the Mo powder is small and the average particle size of the additive powder is large.
  • No. No. 19 has a large average particle diameter of Mo powder and a large amount of additive powder added, so that the molding density is low and the crystal grain diameter after heat treatment is large.
  • the conventional method requires a high-temperature heat treatment step when used for a high-temperature melting application (about 2000 ° C.), which causes an increase in cost.
  • the present invention is extremely excellent in that it is not necessary. Has an effect.

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Abstract

　２０００℃の高温使用時においても局部的膨れ発生および結晶粒粗大化を抑制して部材の長寿命化を実現し、かつ、複雑な加工工程を必要とすることなく大型部材を容易に作製することを可能とする、モリブデン合金およびその製造方法が提供される。このモリブデン合金は、マトリックスとなるモリブデン（Ｍｏ）粉末に、モリブデン粉末に対して２０～５０原子％の量のＮｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上の添加粉末を混合し、固化成形して得られるものである。

Description

モリブデン合金およびその製造方法 関連出願の相互参照
　この出願は、２０１０年４月１日に出願された日本国特許出願２０１０－８４８０１号に基づく優先権を主張するものであり、その全体の開示内容が参照により本明細書に組み込まれる。
　本発明は、モリブデン合金およびその製造方法に関するものであり、より詳しくは、２０００℃以上の高温において強度が要求される高温環境で使用される部材の材料として使用されるモリブデン合金およびその製造方法に関する。
　Ｍｏ、Ｗ、およびこれらの合金は２０００℃以上の融点を有し、主に電子部材、電極材、フィラメント材等として従来用いられてきた。これらの合金には、近年、その優れた高温強度および耐食性に着目された構造用部材の材料としての用途が期待されている。しかし、ＭｏおよびＷは融点が非常に高く、かつ、加工性が悪いため、通常の溶解や加工といった方法で製品を作ることは困難であった。したがって、一般には粉末焼結法により各種部材を製造しているのが現状である。
　しかしながら、一般的な粉末焼結法で得られる焼結体の相対密度は９０％程度で、その内部には多数の気孔が残留している。これら金属焼結体の強度や耐食性等の特性は密度に大きく依存することが知られており、焼結体内部の気泡は強度を著しく低下させたり、内部の気泡に腐食性溶液やガスが浸透して耐食性を著しく害したりする。一方、焼結温度が高すぎると結晶粒が粗大化してしまい、強度が低下して脆くなるという問題がある。従って、通常は熱間圧延や熱間鍛造といった塑性加工により高密度化を図っているのが現状である。
　これらの方法で作製された部材は、高温での使用により等軸結晶粒を生成するため、高温強度の低下が著しく、耐久性悪化の原因となっている。また、Ｍｏは耐酸化性に非常に乏しいために、成形体中の酸素含有量が非常に高くなる。その結果、２０００℃程度の高温環境で使用する場合には、酸素起因と考えられるガスの発生により、部材の一部分または全体的に局部的な膨らみが発生する場合がある。
　この問題に対して、例えば特許文献１（特開平９－１９６５７０号公報）に開示されているように、タングステン（Ｗ）の添加により結晶粒の粗大化を抑制することが知られている。しかし、この特許文献１は膨れ発生については明確に言及していない。また、この特許文献１の方法は、加工工程が複雑であり、圧延による素材板の作製工程と熱間スピニング絞り加工により作製が行われるため、大型部材の作製時にはコストが増加する原因となる。
特開平９－１９６５７０号公報
　本発明者らは、今般、マトリックスとなるモリブデン（Ｍｏ）粉末に、モリブデン粉末に対して２０～５０原子％の量のＮｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上の添加粉末を混合し、固化成形することにより、２０００℃の高温使用時においても局部的膨れ発生および結晶粒粗大化を抑制して部材の長寿命化を実現し、かつ、複雑な加工工程を必要とすることなく大型部材を容易に作製できるとの知見を得た。
　したがって、本発明の目的は、２０００℃の高温使用時においても局部的膨れ発生および結晶粒粗大化を抑制して部材の長寿命化を実現し、かつ、複雑な加工工程を必要とすることなく大型部材を容易に作製することを可能とする、モリブデン合金およびその製造方法を提供することにある。
　すなわち、本発明の一態様によれば、マトリックスとなるモリブデン（Ｍｏ）粉末に、モリブデン粉末に対して２０～５０原子％の量のＮｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上の添加粉末を混合し、固化成形して得られるモリブデン合金が提供される。
　また、本発明の別の一態様によれば、マトリックスとなるモリブデン粉末と、モリブデン粉末に対して２０～５０原子％のＮｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上の添加粉末とを含んでなる混合粉末を熱間静水圧プレス（ＨＩＰ）にて固化成形することを含んでなる、モリブデン合金の製造方法が提供される。
モリブデン合金
　本発明によるモリブデン合金は、マトリックスとなるモリブデン（Ｍｏ）粉末に、第２相となる添加粉末を混合し、固化成形して得られるものである。
　マトリックスとなるモリブデン（Ｍｏ）粉末は、純モリブデンの粉末であり、不可避不純物の含有は許容される。モリブデン粉末は６～３０μｍの平均粒径を有するのが好ましく、より好ましくは１０～２０μｍである。マトリックスの平均粒径が６μｍ以上であると、成形時の充填が極めて良くなり、実用として要求されるのに十分な密度が得られ、強度が向上する。また、モリブデン中の酸素量が増加して膨れの発生の要因となるのを効果的に回避することができる。マトリックスの平均粒径が３０μｍ以下であると、第２相の分散状態が良くなり、局所的な密度低下を効果的に防止することができる。
　第２相となる添加粉末は、Ｎｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上の粉末であり、不可避不純物の含有は許容される。この添加粉末はマトリックスとなるモリブデン粉末に対して２０～５０原子％、好ましくは２０～４０原子％の量で添加される。Ｎｂ，Ｔａおよび／またはＷを添加粉末として用いる理由は、第１に高温で溶融しないこと、第２に高温強度に優れることの２つの条件を満たす第２相粒子を分散させることにより、マトリックスのモリブデン相の結晶粒粗大化を抑制し、かつ、高温での強度を高めることにある。添加粉末の添加量が２０原子％未満であると発生ガス圧力に対して十分な強度が得られない場合がある。また、添加量が５０原子％を超えるとその効果が飽和する。
　添加金属粉末の平均粒径は１５～５０μｍであるのが好ましく、より好ましくは３０～５０μｍである。平均粒径が１５μｍ以上であると結晶粒界での切欠効果などによる局部的に強度の弱い部分を減らして、粒界を通りガスが集まるのを抑制し、それによって膨れ抑制効果を十分に向上させることができる。平均粒径が５０μｍ以下であると、焼結性の低下を防止してＨＩＰ後に十分に高い密度を得ることができる。なお、モリブデン粉末および添加粉末の平均粒径はレーザー回折法により測定した体積基準粒径分布における５０％径であるＤ５０である。
　このような原料粉末を混合し、固化成形して得られるモリブデン合金は、Ｎｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上と、残部Ｍｏおよび不可避不純物とからなる（consisting of）のが好ましい。
　製造方法
　本発明によるモリブデン合金の製造方法は、マトリックスとなるモリブデン粉末と、モリブデン粉末に対して２０～５０原子％のＮｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上の添加粉末とを含んでなる混合粉末を熱間静水圧プレス（ＨＩＰ）にて固化成形することを含んでなる。
　このＨＩＰ処理は、混合粉末を、処理温度１１００～２１００℃および圧力５０～３００ＭＰａの条件下で３０分～２４時間保持することにより行われるのが好ましく、より好ましくは処理温度１２００～１７００℃および圧力１００～２００ＭＰａで１～１０時間保持することにより行われる。処理温度が１１００℃以上であると密度が有意に高くなり、２１００℃以下の温度であると実用設備上のコストアップを回避することができる。なお、ＨＩＰ温度が１４００℃を超える条件では、ＳＣ製容器が処理温度により溶融するため、市販のモリブデンやニオブやタンタルなど高融点材料の板を用いてＳＣ製容器と同寸法の容器を作成し、ＨＩＰ処理に用いることが好ましい。
　また、圧力が５０ＭＰａ以上であると十分に高い密度を得ることができ、３００ＭＰａ以下の圧力であれば実用設備上のコストアップを回避することができる。さらに、保持時間が３０分以上であると十分な密度を得ることができ、２４時間以下であると結晶粒の粗大化を効果的に防止することができる。
　上述したように、平均粒径１５～５０μｍのＮｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上の添加粉末を、マトリックスとなるモリブデン粉末に対し、２０～５０原子％混合し、ＨＩＰ成形体とすることで２０００℃程度の高温環境において発生する膨れを抑制できる。さらには、第二相添加により結晶粒微細化効果が得られ、ＨＩＰ法により作製することで非等軸結晶粒となるため、部材の長寿命化が実現できる。
　以下、本発明について実施例によって具体的に説明する。表１に示すモリブデン粉末に対する各種添加粉末を混合した組成の粉末２０ｋｇを直径２５０ｍｍで高さ８０ｍｍの円柱形状のＨＩＰ用鉄カプセルに充填して脱気封入した。このカプセルを、処理温度１３５０℃、圧力１４７ＭＰａ、保持時間５時間、および圧力媒体Ａｒの条件でＨＩＰ処理に付し、直径２００ｍｍで厚さ４０ｍｍの成形体を作製した。こうして得られた成形体について以下の評価を行った。
評価１：成形体密度
　作製した成形体について相対密度（％）を評価した。この相対密度は、作製した成形体の密度を、純モリブデン成形体の成形体密度と比較評価することにより決定した。その結果を表１に示す。
評価２：実使用環境に合わせた評価
　実使用環境に合わせた評価を行うために、カーボンヒーターを用いて２０００℃、不活性雰囲気にて、成形体に熱処理を実施した。この熱処理を施した成形体について、２０００℃熱処理後の膨れ、およびマトリックスであるモリブデンの結晶粒径を評価した。これらの結果を表１に示す。
　腫れに関しては、２０００℃熱処理後のガスによる部材の局部的な膨れの有無を目視にて観察した。その結果、局部的な腫れが観察されなかったものを○と、局部的な腫れが観察されたものを×と評価した。
　熱処理後結晶粒径（μｍ）に関しては、研磨面を腐食し光学顕微鏡写真を撮影し、この写真に一定長さの試験直線を引き、この直線と結晶粒界との交点の数を測定し、［試験直線長さ（μｍ）］／［交点の数（個）］により評価した。
Figure JPOXMLDOC01-appb-T000001
　表１に示すように、Ｎｏ．２０は純Ｍｏの場合であって、２０００℃熱処理後膨れが観察され、熱処理後結晶粒径が大きい。Ｎｏ．１３は添加量が少ないために、２０００℃熱処理後膨れが観察され、かつ熱処理後結晶粒径がやや大きい。Ｎｏ．１４は添加粉末の平均粒径が小さいために、２０００℃熱処理後膨れが観察された。Ｎｏ．１５はＭｏ粉末の平均粒径が小さいために、２０００℃熱処理後膨れが観察される。
　Ｎｏ．１６はＭｏ粉末の平均粒径が大きく、かつ添加粉末の添加量が少ないために、成形密度が低く、かつ２０００℃熱処理後膨れが観察され、熱処理後結晶粒径がやや大きい。Ｎｏ．１７は添加粉末の添加量が少なく、かつ添加粉末の平均粒径が小さいために、２０００℃熱処理後膨れが観察され、熱処理後結晶粒径がやや大きい。Ｎｏ．１８はＭｏ粉末の平均粒径が小さく、かつ添加粉末の平均粒径が大きいために、成形密度が低い。
　Ｎｏ．１９はＭｏ粉末の平均粒径が大きく、かつ添加粉末の添加量が多いために、成形密度が低く、熱処理後結晶粒径が大きい。これに対し、Ｎｏ．１～１２はいずれもＭｏ粉末の平均粒径、添加粉末の添加量、添加粉末の平均粒径が本発明の好適範囲の条件を満たしていることから、成形体密度が高く、２０００℃熱処理後膨れが観察されず、かつ熱処理後結晶粒径は小さいことが分かる。
　このように、Ｍｏ粉末に、高温強度の高いＷ粉末等を添加することで、発生ガス圧力に対する十分に高い強度が得られ、部材の変形を抑制できる。また、２０００℃の高温使用時においても局部的膨れ発生および結晶粒粗大化を抑制して部材の長寿命化を実現するともに、複雑な加工工程を必要せず、大型部材の作製も容易となる。さらに従来法では、高温溶解の用途（約２０００℃）への使用の際には、高温熱処理工程が必要となりコストアップの原因となっていたが、本発明ではそれを必要としない等の極めて優れた効果を奏する。

Claims (8)

  1. 　マトリックスとなるモリブデン（Ｍｏ）粉末に、モリブデン粉末に対して２０～５０原子％の量のＮｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上の添加粉末を混合し、固化成形して得られるモリブデン合金。
  2. 　前記モリブデン粉末が６～３０μｍの平均粒径を有する、請求項１に記載のモリブデン合金。
  3. 　前記添加粉末が１５～５０μｍの平均粒径を有する、請求項１または２に記載のモリブデン合金。
  4. 　前記モリブデン合金が、Ｎｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上と、残部Ｍｏおよび不可避不純物とからなる（consisting of）、請求項１または２に記載のモリブデン合金。
  5. 　マトリックスとなるモリブデン粉末と、モリブデン粉末に対して２０～５０原子％のＮｂ，ＴａおよびＷの１種または２種以上の添加粉末とを含んでなる混合粉末を熱間静水圧プレス（ＨＩＰ）にて固化成形することを含んでなる、モリブデン合金の製造方法。
  6. 　前記モリブデン粉末が６～３０μｍの平均粒径を有する、請求項５に記載のモリブデン合金。
  7. 　前記添加粉末が１５～５０μｍの平均粒径を有する、請求項５または６に記載のモリブデン合金。
  8. 　前記熱間静水圧プレス（ＨＩＰ）処理が、前記混合粉末を、処理温度１１００～２１００℃および圧力５０～３００ＭＰａの条件下で３０分～２４時間保持することにより行われる、請求項５または６に記載の方法。
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