Detektoranordnung und Röntgentomographiegerät zur Durchführung von Phasenkontrastmessungen sowie Verfahren zur Durch- führung einer Phasenkontrastmessung
Die Erfindung betrifft eine Detektoranordnung und ein Röntgentomographiegerät zur Durchführung von Phasenkontrastmessungen sowie ein Verfahren zur Durchführung einer Phasenkon- trastmessung .
Für die Bildgebung durch ionisierende Strahlen, insbesondere durch Röntgenstrahlen, können hauptsächlich zwei Effekte betrachtet werden, die beim Durchtritt der Strahlung durch Ma- terie auftreten, nämlich die Absorption und die Phasenverschiebung der durch ein Objekt durchtretenden Strahlung. Es ist auch bekannt, dass in vielen Fällen beim Durchtritt eines Strahles durch ein Untersuchungsobjekt die Phasenverschiebung wesentlich stärker von geringen Unterschieden bezüglich der Dicke und der Zusammensetzung der durchdrungenen Materie abhängt als die Absorption. Grundsätzlich hängt die Größe beider Effekte jeweils von der Energie der Strahlung, der Dichte und der Kernladungszahl der durchstrahlten Materie ab.
Der Durchgang von Röntgenstrahlung durch Materie kann durch einen komplexen Brechungsindex beschrieben werden. Der nicht verschwindende Imaginärteil des Brechungsindex beschreibt die Stärke der Absorption eines Materials. Der nicht verschwindende Realteil des Brechungsindex führt zu einer Phasenver- Schiebung der durch ein Material durchlaufenden Röntgenwelle. Ziel der Phasenkontrast-Röntgenbildgebung ist es, zusätzlich zu Bildern der Absorptionsstärke, ausgedrückt durch den linearen Schwächungskoeffizienten oder den Imaginärteil des Brechungsindex, des mit Röntgenstrahlung durchstrahlten Objekts auch Bilder der lokalen Phase oder der lokalen Gradienten der Phase der durch das durchstrahlte Objekt laufenden Wellenfront zu messen.
Hierbei können analog zur Röntgenradiographie beziehungsweise Röntgentomographie sowohl projektive Bilder der Phasenverschiebung als auch tomographische Darstellungen der Phasenverschiebung auf Basis einer Vielzahl von projektiven Bildern berechnet werden.
Die Phase einer Röntgenwelle kann man dabei nicht direkt bestimmen, sondern nur durch Interferenz mit einer Referenzwelle. Die Phasenverschiebungen relativ zu den Referenzwellen beziehungsweise zu den benachbarten Strahlen können durch
Verwendung interferometrischer Gitter gemessen werden und zu projektiven und/oder tomographischen Aufnahmen zusammengesetzt werden.
Aus der EP 1 731 099 Al ist ein Aufbau eines Röntgentomogra- phiegerätes bekannt, welches sich zur Durchführung von Pha- senkontrastmessungen eignet. Bei diesem Aufbau werden insgesamt drei Gitter benötigt. Ein erstes Gitter GO, welches auch als Quellengitter bezeichnet wird, ist zwischen dem Brenn- fleck der Röntgenröhre und Position des Objekts platziert.
Das zweite Gitter Gl, welches als Beugungsgitter, Phasengitter oder als Talbotgitter bezeichnet wird, ist zwischen dem Objekt und dem Röntgenstrahlendetektor platziert. Das dritte Gitter G2 wird als Absorptionsgitter bezeichnet und ist zwi- sehen dem Beugungsgitter Gl und dem Röntgenstrahlendetektor angeordnet .
Das Quellengitter GO dient der Bereitstellung einer Vielzahl von Linienquellen, die sich räumlich teilkohärent zueinander verhalten. Das Beugungsgitter Gl dient einer Aufprägung eines räumlichen Phasenverschiebungsmusters auf die einlaufende Wellenfront und damit zur Erzeugung eines Interferenzmusters hinter dem Beugungsgitter Gl . In bestimmten Abständen von diesem Gitter Gl, bei den Talbotabständen, entsteht bei Ein- lauf einer ebenen Welle auf das Gitter Gl ein mehr oder minder scharfes Interferenzmuster. Das Absorptionsgitter G2 dient der Abtastung des Interferenzmusters. Die Gitter GO, Gl und G2 sind dabei parallel zueinander ausgerichtet.
Der Detektor ist zur ortsaufgelösten Erfassung der durch Wandlung von eintreffenden Strahlenquanten erzeugten elektrischen Signale pixelartig strukturiert. Die Aufnahme eines Ab- sorptionsbildes und eines Phasenkontrastbildes bzw. eines differentiellen Phasenkontrastbildes erfolgt bekanntermaßen über die Messung der Intensität in jedem Pixel des Detektors in Abhängigkeit von der relativen Position der Gitter GO, Gl und G2 zueinander. In dem bekannten Fall wird beispielsweise das Absorptionsgitter G2 schrittweise oder kontinuierlich senkrecht zur Strahlrichtung und senkrecht zur Schlitzrichtung verschoben. Die Intensität der Röntgenstrahlung wird für jedes Pixel in Form eines elektrischen Signals in Abhängigkeit der Gitterposition registriert. Es handelt sich dabei um ein moduliertes Signal, welches in dem jeweiligen Pixel die Stärke der Absorption im Strahlengang durch das Objekt zum Pixel vom ausgeleuchteten Teil des Gitters G2 repräsentiert. Aus der Position der Maxima und Minima des Intensitätsverlaufs im Pixel, welcher mit dem projizierten Gradienten des Realteils des Brechungsindex zusammenhängt, ist die lokale
Phasenverschiebung der Röntgenstrahlung berechenbar. Eine Integration dieser Gradienten entlang einer Zeile senkrecht zur Strahlrichtung und senkrecht zur Schlitzrichtung liefert die lokale mittlere Phase der Wellenfront nach Durchlaufen des Objekts projiziert auf das Pixel.
Nachteil der bekannten Methode ist, dass in dem Absorptionsgitter G2 Strahlenquanten, welche das Objekt passiert haben, absorbiert werden und somit für eine Bildgebung nicht mehr zur Verfügung stehen. Dadurch erhöht sich insbesondere die zur Bildgebung notwendige Dosis bzw. Patientendosis. Ein weiterer Nachteil ist darin zu sehen, dass Veränderungen in der Geometrie der Anordnung während der Messung der Intensität, beispielsweise bei Änderung einer relativen Position der Git- ter zueinander, durch mechanische Deformationen aufgrund von Fliehkräften, wie sie bei CT-Anwendungen entstehen, zu einer verfälschten Modulationskurve führen. Dies führt zu einer inkorrekten Bestimmung der Phase.
Davon ausgehend liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, eine Detektoranordnung, ein Röntgentomographiegerät und ein Verfahren zur Phasenkontrastmessung so auszugestalten, dass eine Dosisbelastung für ein zu untersuchendes Objekt bei gleichbleibender Bildqualität reduziert wird.
Diese Aufgabe wird durch eine Detektoranordnung gemäß den Merkmalen des Anspruchs 1, durch ein Röntgentomographiegerät mit den Merkmalen des nebengeordneten Anspruchs 12 sowie durch ein Verfahren zur Durchführung von Phasenkontrastmes- sungen mit den Merkmalen des nebengeordneten Anspruchs 15 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weitergestaltungen sind Gegenstand von Unteransprüchen.
Die erfindungsgemäße Detektoranordnung zur Durchführung von Phasenkontrastmessungen umfasst zumindest zwei hintereinander angeordnete Wandlerschichten, wobei zumindest die in Strahlenrichtung angeordnete erste Wandlerschicht jeweils abwech- selnd sensitive Bereiche mit einem für die Wandlung von eintreffenden Strahlenquanten in Signale hohen Absorptionsgrad und weniger sensitive Bereiche mit einem im Vergleich dazu niedrigeren Absorptionsgrad aufweist.
Unter Strahlenrichtung wird in diesem Zusammenhang die Richtung verstanden, aus der bei bestimmungsgemäßen Gebrauch der Detektoranordnung eine Röntgenstrahlung auf die Detektoranordnung trifft. Jede Wandlerschicht ist Teil eines Detektors der Detektoranordnung. Der Detektor umfasst sämtliche Bau- gruppen, die zur Wandlung der Röntgenstrahlen in elektrische Signale und zum Auslesen der elektrischen Signale benötigt werden. Je nachdem, welche Einheit im Folgenden betrachtet wird, können hintereinander angeordneten Wandlerschichten oder hintereinander angeordneten Detektoren gemeint sein. Un- ter dem Begriff , sensitiver Bereich' ist der Bereich einer Wandlerschicht zu verstehen, in welchem die Strahlenquanten mit der Wandlerschicht mit dem Ziel wechselwirken, um ein elektrisches Signal zu erzeugen. Unter dem Begriff , weniger
sensitive Bereich' ist nicht die zur Pixellierung der Wandlerschicht notwendige Maßnahme, insbesondere der Bereich von Septen gemeint. Hierunter sind vielmehr gezielt ausgebildete Bereiche zu verstehen, in denen die Strahlenquanten für eine Wandlung in Richtung einer zur ersten Wandlerschicht nach geschalteten zweiten Wandlerschicht passieren können.
Mit einer solchen Detektoranordnung kann auf das bisher eingesetzte Absorptionsgitter G2 bei einer Phasenkontrastmessung verzichtet werden. Es wurde erkannt, dass es für die Abtastung des erzeugten Interferenzmusters ausreicht, einen Teil der Strahlenquanten in einem räumlichen Muster in der ersten Wandlerschicht wechselwirken zu lassen, während der verbleibende Teil der Strahlenquanten, welcher in die Zwischenberei- che des Musters trifft, die erste Wandlerschicht passieren kann und in der in Strahlenrichtung dahinter angeordneten zweiten Wandlerschicht für eine Signalerzeugung zur Verfügung steht. Das räumliche Muster in der ersten Wandlerschicht wird durch jeweils abwechselnd sensitive Bereiche mit einem für die Wandlung von eintreffenden Strahlenquanten in Signale hohen Absorptionsgrad und weniger sensitive Bereiche mit einem im Vergleich dazu niedrigeren Absorptionsgrad gebildet. Die Wandlerschichten befinden sich in fester räumlicher Position und Orientierung zueinander.
Somit werden nahezu sämtliche durch das Objekt tretende Strahlenquanten für eine Bildgebung verwendet. Es gehen in diesem Fall also keine Strahlenquanten durch Absorption in einem Absorptionsgitter G2 ungenutzt verloren. Hierdurch ver- ringert sich die Röntgendosis, welche notwendig ist, um ein Phasenkontrastbild bei entsprechend gleicher Qualität zu erzeugen .
Durch die beiden hintereinander angeordneten Wandlerschichten und das in die erste Wandlerschicht eingeprägte Muster wird das Interferenzmuster bei jeder Messung an zwei unterschiedlichen Positionen abgetastet. Es werden gegenüber dem bekannten Aufbau dadurch nur halb so viele einzelne Messungen benö-
tigt. Die vorgeschlagene Maßnahme verkürzt somit auch die benötigte Aufnahmezeit. Hierdurch reduzieren sich auch die im rekonstruierten Bild vorhandenen Bewegungsartefakte.
Ein Röntgentomographiegerät mit einer solchen Detektoranordnung ist durch den Verzicht auf das Absorptionsgitter G2 darüber hinaus weniger komplex im Aufbau und weniger anfällig gegenüber mechanischer Beanspruchung, wie sie typischerweise bei Rotation eines Aufnahmesystem in einem Computertomogra- phiegerät auftritt. Die erfassten Signalverläufe und somit die daraus abgeleiteten lokalen Phasendifferenzen sind daher mit einer höheren Sicherheit bestimmbar.
Eine Strukturierung in sensitive und weniger sensitive Berei- che ist insbesondere lediglich für die erste Wandlerschicht erforderlich, so dass sich hier verfügbare Wandlerschichten ohne weitere Modifikationen einsetzen lassen.
In einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung weist die zweite Wandlerschicht ebenfalls solche sensitiven Bereiche und weniger sensitiven Bereiche auf, wobei in Strahlenrichtung jeweils hinter einem der sensitiven Bereiche der ersten Wandlerschicht eines der weniger sensitiven Bereiche der zweiten Wandlerschicht und entsprechend jeweils hinter einem der weniger sensitiven Bereiche der ersten Wandlerschicht eines der sensitiven Bereiche der zweiten Wandlerschicht folgt. Die Detektoren Dl und D2 können identisch gebaut sein, jedoch zueinander verschoben positioniert werden.
Der Absorptionsgrad der weniger sensitiven Bereiche ist in einer vorteilhaften Ausgestaltung der Erfindung wenigstens um einen Faktor 0,5 im Vergleich zu dem Absorptionsgrad der sensitiven Bereiche reduziert. Entscheidend ist dabei, dass die weniger sensitiven Bereiche im Vergleich zu den sensiti- ven Bereichen eine merklich geringere Absorptionswahrscheinlichkeit, von beispielsweise 50%, aufweisen. Besonders vorteilhaft wäre es im Sinne einer maximalen Dosiseinsparung,
dass die weniger sensitiven Bereiche für die verwendeten Röntgenstrahlen quasi transparent sind.
Sinnvolle Breiten der sensitiven Bereiche und/oder die weni- ger sensitiven Bereiche liegen in einem Bereich zwischen 100 nm und 100 μm. Die sensitiven Bereiche und/oder die weniger sensitiven Bereiche weisen vorzugsweise eine Breite von 0,5 μm bis 20 μm auf. Die Bereiche sind in diesem Fall so dimensioniert, dass ein erzeugtes Interferenzmuster ortsaufgelöst hinreichend genau abgetastet werden kann.
Die sensitiven Bereiche und die weniger sensitiven Bereiche sind vorteilhaft jeweils streifenförmig ausgebildet. Die Streifen der beiden Wandlerschichten können vorteilhaft pa- rallel zueinander verlaufen und werden bei Integration in ein Röntgentomographiegerät parallel zu den Streifen des ersten und zweiten Gitters GO und Gl ausgerichtet. Die beiden Wandlerschichten sind zudem vorzugsweise zur ortsaufgelösten Wandlung der eintreffenden Strahlenquanten in zueinander kor- respondierende Pixel strukturiert. Jedes Pixel deckt in einer weiteren vorteilhaften Ausgestaltung mehrere, vorzugsweise hundert, sensitive Bereiche und mehrere, vorzugsweise hundert, weniger sensitive Bereiche ab. Je nach Pixelgröße kann die Anzahl der sensitiven und weniger sensitiven Bereiche zwischen zehn und vierhundert betragen. Es wurde erkannt, dass sich mehrere sensitive und weniger sensitive Bereiche in jedem Pixel befinden können, ohne dass es zu einer merklichen Störung durch Streuung der Röntgenstrahlung zwischen den Bereichen kommt, und ohne dass es durch das Passieren der aus- gelösten Photo- oder Compton-Elektronen durch mehrere Bereiche zu merklichen Störungen kommt.
Die Erfinder haben weiterhin erkannt, dass auf Basis einer Auswertung zeitlich schnell hintereinander erfasster Signale bei fester Abtastgeometrie Bewegungsartefakte in dem rekonstruierten Bild erkannt und reduziert werden können. Hierzu muss während der Intensitätsaufnahme bei jeder fixen relati-
ven Position der Gitter und der Wanderschichten, das Intensitätssignal in schneller zeitlicher Folge abgetastet werden.
Hinter den Wandlerschichten ist nach einer vorteilhaften Aus- führung der Erfindung daher jeweils eine Ausleseelektronik angeordnet, die mit der jeweiligen Wandlerschicht elektrisch kontaktiert ist. Durch die damit verbundenen kurzen Signalleitungen sind Signale in einer schnellen zeitlichen Folge erfassbar. Es wäre aber ebenso denkbar, dass die Signale in einer Umverdrahtungsschicht über darin enthaltene Signalleitungen aus dem bestrahlten Bereich der Detektoranordnung herausgeführt und erst anschließend einer Ausleseelektronik zugeführt werden. Die Komponenten der Ausleseelektronik beeinflussen in diesem Fall die Signalerzeugung nicht in störender Weise. Die Komponenten müssen darüber hinaus nicht resistent gegenüber Röntgenstrahlung sein, so dass handelsübliche Komponenten eingesetzt werden können.
Es kann dann der zeitliche Intensitätsverlauf in quasi hin- tereinander liegenden Pixeln der beiden Wandlerschichten verglichen werden und es kann nach zeitlichen Korrelationen gesucht werden. Eine abnehmende Intensität in dem Pixel in der ersten Wandlerschicht bei gleichzeitig zunehmender Intensität im dahinterliegenden Pixel von der zweiten Wandlerschicht deutet auf eine Veränderung der Geometrie, z.B. als Folge einer Bewegung des Fokus oder des Gitters GO, einer Bewegung im Objekt oder einer Veränderung der Geometrie aufgrund von mechanischen Deformationen, hin. Diese Geometrieveränderung kann dann korrigiert und die Qualität der rekonstruierten Bilder (Absorptions- und Phasenbilder) verbessert werden.
Insbesondere in computertomographischer Geometrie kann dies wegen der dort zu erwartenden hohen Fliehkräfte wichtig sein. Da diese zeitliche Korrelationen der Signale in den Pixeln der beiden Wandlerschichten während einer jeden relativen Po- sition der Gitter, Foki, Detektoren zueinander während jedem Scan-Schritt ermittelt werden sollen, kann die zwischen dem Anfahren zweier relativer Positionen liegende Zeit dazu verwendet werden, die Detektoren auszulesen.
Zu diesem Zweck kann es vorteilhaft sein, wenn die Ausleseelektronik zu jedem Pixel zugeordnete Signalspeicher aufweist, die zur Zwischenspeicherung einer Folge von zeitlich schnell nacheinander erfassten elektrischen Signalen ausgestaltet sind.
Die Intensitätssignale können in diesem Fall in schneller zeitlicher Folge von beispielsweise einer Mikrosekunde lokal in einer Elektronik nahe der Elektrode des Halbleiterdetektors oder der Photodiode des Szintillationsdetektors analog oder digital zeitaufgelöst gespeichert und während des Anfah- rens der nächsten Position zur Abtastung des Interferenzmusters ausgelesen werden. Zum Beispiel können die Detektoren, wenn sie zählende Halbleiterdetektoren sind, nicht nur einen Zähler in jedem Pixel, sondern mehrere, beispielsweise 16 Zähler, enthalten. Diese Zähler werden nacheinander zum Zählen von Ereignissen in engen Zeitfenstern verwendet. Die Zählertiefe eines jeden einzelnen Zählers kann dadurch niedriger als die Zählertiefe bei Einsatz eines einzigen Zählers gewählt werden. Die Zähler werden nacheinander gefüllt. Während des Anfahrens der neuen relativen Position zwischen Gittern, Fokus und Detektoranordnung bzw. während des Einstellens einer folgenden Abtastgeometrie werden alle Zähler sämtlicher Pixel ausgelesen.
Bei integrierend arbeitenden Detektoren bietet sich die Verwendung einer Kette aus Kondensatoren an, die nacheinander mit der zu messenden Ladung gefüllt werden. Die Auslese und eventuelle Verstärkung und Digitalisierung des Intensitätssignals erfolgt während des Anfahrens der neuen relativen Position zwischen Gittern, Fokus und Detektoren.
Ein zweiter Aspekt der Erfindung betrifft ein Röntgentomogra- phiegerät zur Durchführung von Phasenkontrastmessungen, welches eine Röntgenquelle mit einem Kohärenzmittel zur Erzeugung quasi kohärenter Röntgenstrahlen, ein in Strahlenrichtung hinter einem Untersuchungsbereich angeordnetes Beugungs-
gitter zur Erzeugung eines Interferenzmusters und eine zuvor beschriebene Detektoranordnung umfasst, wobei der Detektoranordnung und/oder dem Beugungsgitter und/oder dem Kohärenzmittel ein Verstellmittel zugeordnet ist, mit welchem die rela- tiven Lagen von zumindest zwei dieser Komponenten senkrecht zur Strahlenrichtung kontinuierlich oder diskret veränderbar sind.
Das Kohärenzmittel ist in einem vorteilhaften Ausführungsbei- spiel ein Quellengitter. Das Quellengitter dient der Bereitstellung einer Vielzahl von Linienquellen, die sich räumlich teilkohärent zueinander verhalten.
Eine andere Möglichkeit der Bereitstellung mehrerer einzeln, räumlich kohärenter Quellen besteht darin, mehrere Foki, die in sich eine ausreichend große räumliche Kohärenzlänge zur Verfügung stellen, durch geeignete Elektronenoptik in der Röntgenröhre zu realisieren. Das Kohärenzmittel umfasst in diesem Fall also eine Elektronenoptik zur Erzeugung einer Vielzahl von Foki.
Alternativ dazu kann die kohärente Röntgenstrahlung auch mittels eines Fokus mit geringer Ausdehnung und entsprechend hoher Röntgenleistung erzeugt werden, beispielsweise durch Ver- wendung von Mikro- oder Nanofokus-Röntgenröhren .
Zur Einstellung von unterschiedlichen Abtastgeometrien kann das Quellengitter GO mit dem Verstellmittel senkrecht zur Strahlenrichtung verschoben werden, wobei dann in beiden De- tektoren der Detektoranordnung in jedem Pixel die Intensitäten in Anhängigkeit von der relativen Position der Gitter GO, Gl und der Detektoren aufgenommen werden. Es können auch die beiden Detektoren gemeinsam miteinander, also die Detektoranordnung als solche, seitlich, d.h. senkrecht zu den Streifen, verschoben werden, um das Interferenzmuster abzutasten. Es können auch die Foki in der Röntgenröhre mittels der Elektronenoptik durch Ablenkung des Elektronenstrahls verstellt werden .
Ein zweiter Aspekt der Erfindung betrifft ein Verfahren zur Durchführung von Phasenkontrastmessungen mit einem zuvor beschriebenen Röntgentomographiegerät , bei welchem an jeder Ab- tastposition für unterschiedliche relative Lagen senkrecht zur Strahlenrichtung zwischen zumindest zwei der Komponenten Kohärenzmittel, Beugungsgitter und Detektoranordnung elektrische Signale für die Pixel der beiden Wandlerschichten ausgelesen und zu einem Phasenkontrastbild verrechnet werden.
Vorzugsweise wird für die unterschiedlichen relativen Lagen der zumindest zwei Komponenten eine Folge von elektrischen Signalen für die Pixel der beiden Wandlerschichten erfasst und für eine Bewegungskorrektur des Phasenkontrastbildes ver- rechnet und/oder zur Erkennung und zur Korrektur einer veränderten Abtastgeometrie verwendet.
Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen und anhand von Zeichnungen näher erläutert. Dabei zeigen:
Fig. 1 in Seitenansicht einen Aufbau eines Grating-Inter- ferometers gemäß dem Stand der Technik,
Fig. 2 in Seitenansicht ein erstes Röntgentomographiegerät mit einer erfindungsgemäßer Detektoranordnung,
Fig. 3 in Seitenansicht ein zweites Röntgentomographiegerät mit der Detektoranordnung,
Fig. 4 in Seitenansicht ein drittes Röntgentomographiegerät mit der Detektoranordnung,
Fig. 5 in Seitenansicht ein viertes Röntgentomographiege- rät mit der Detektoranordnung,
Fig. 6 in Seitenansicht einen Ausschnitt aus einer ersten Detektoranordnung,
Fig. 7 in Seitenansicht einen Ausschnitt aus einer zweiten Detektoranordnung,
Fig. 8 in Seitenansicht einen Ausschnitt aus einem ersten oder zweiten Detektor der Detektoranordnung,
Fig. 9 in Aufsicht eine erste oder zweite Wandlerschicht mit strichliert eingezeichneter Pixelstruktur, und
Fig. 10 in Seitenansicht einen Ausschnitt aus einer dritten Detektoranordnung zur Verdeutlichung des Wechselwirkungsprinzips zwischen der Röntgenstrahlung und den Wandlerschichten.
In den Figuren sind gleiche oder funktionsgleiche Elemente mit gleichen Bezugszeichen bezeichnet. Bei sich wiederholenden Elementen in einer Figur ist jeweils nur ein Element aus Gründen der Übersichtlichkeit mit einem Bezugszeichen verse- hen. Die Darstellungen in den Figuren sind schematisch und nicht zwingend maßstabsgetreu, wobei Maßstäbe zwischen den Figuren variieren können.
Die Figur 1 zeigt in einer Seitenansicht einen prinzipiellen Aufbau eines Grating-Interferometers 24 gemäß dem Stand der
Technik. Zur Phasenkontrastmessung werden insgesamt drei Gitter GO, Gl, G2 benötigt. Eine von einem Fokus 20 einer Strahlenquelle 16, beispielsweise einer Röntgenröhre, ausgehende Röntgenstrahlung tritt durch das quellennahe erste Quellen- gitter GO. Das Quellengitter GO dient der Bereitstellung einer Vielzahl von Linienquellen, die sich räumlich teilkohärent zueinander verhalten. Dieses Gitter GO ist beispielsweise auf Basis eines Silizium-Substrats oder eines Polymer- Substrats hergestellt, in welches durch lithographische Ver- fahren, durch LIGA-Verfahren, oder durch Ätzverfahren zur
Ausbildung des Gitters GO Schlitze eingebracht sind. Der Abstand zwischen benachbarten Schlitzmitten, die Breite eines Schlitzes sowie die Dicke des verwendeten Substrats liegen in
einem Bereich der Größenordnung von Mikrometern. Die Schlitztiefe ist so groß wie möglich gewählt und beträgt in diesem Beispiel einige hundert Mikrometer. Die Schlitze sind mit einem vom Substrat verschiedenen Material mit vorzugsweise ho- hem Absorptionsvermögen für die zu verwendende Röntgenstrahlung gefüllt. Das Füllmaterial ist zum Beispiel Gold. Die auf diese Weise erzeugte quasi-kohärente Röntgenstrahlung durchdringt ein Objekt, wobei es beim Durchtritt durch das Objekt 22 zu einer Phasenverschiebung in Abhängigkeit des Objektauf- baus kommt.
Die so modifizierte Röntgenstrahlung passiert anschließend ein Beugungsgitter Gl . Das Beugungsgitter Gl dient einer Aufprägung eines räumlichen Phasenverschiebungsmusters auf die einlaufende Wellenfront und damit zur Erzeugung eines Interferenzmusters hinter dem Beugungsgitter Gl . In bestimmten Abständen von diesem Gitter Gl, den sogenannten Talbotabstän- den, entsteht beim Einlauf einer ebenen Welle in ganzzahligen Abständen auf das Gitter Gl ein konstruktives Interferenzmus- ter. Das Beugungsgitter Gl basiert beispielsweise auf einem
Silizium-Substrat oder Polymer-Substrat, aus dem durch photolithographische Methoden oder Ätzverfahren Stufen gebildet werden. Der Abstand, die Breite, die Höhe der Stufen im Substrat sowie die Dicke des verwendeten Substrats liegen in der Größenordnung von Mikrometern.
Das so ausgebildete Interferenzmuster wird mit Hilfe eines Absorptionsgitters G2 auf den nachgeschalteten Detektor 23 und dessen Pixel 13 bzw. Detektorelementen abgetastet. Es wird, ähnlich wie das Quellengitter GO auf Basis eines Silizium-Substrats oder Polymer-Substrats hergestellt, wobei Schlitze durch photolithographische Methoden oder Ätzverfahren gebildet werden. Der Abstand der Schlitzmitten voneinander und die Breite der Schlitze liegen in der Größenordnung von wenigen Mikrometern oder darunter. Die Dicke des verwendeten Substrats und die Schlitztiefe beträgt in dem vorliegenden Beispiel einige hundert Mikrometer. Die Schlitze sind mit einem vom Substrat verschiedenen Material mit vorzugswei-
se hohem Absorptionsvermögen für die zu verwendende Röntgenstrahlung gefüllt.
Die Schlitze des Quellengitters GO sind parallel zu den Schlitzen des Absorptionsgitters G2 und parallel zu den Stufen des Beugungsgitters Gl angeordnet. Die Gitter GO, Gl, G2 werden in Richtung ihrer Dicken durchstrahlt.
Die Phasenkontrastmessung erfolgt bekanntermaßen über die Messung der Intensität in jedem Pixel 13 des Detektors 23 in Abhängigkeit von der relativen Position der Gitter GO, Gl und G2 zueinander. In dem bekannten Fall wird beispielsweise das Absorptionsgitter G2 schrittweise senkrecht zur Strahlrichtung 8 und senkrecht zur Schlitzrichtung verschoben. Die In- tensität der Röntgenstrahlung wird für jedes Pixel 13 in Form eines elektrischen Signals in Abhängigkeit der Gitterposition registriert. Es handelt sich dabei um ein moduliertes Signal, welches in dem jeweiligen Pixel 13 die Stärke der Absorption im Strahlengang durch das Objekt 22 zum Pixel vom ausgeleuch- teten Teil des Absorptionsgitters G2 repräsentiert.
Betrachtet man beispielsweise ein bestimmtes Pixel 13 des Detektors 23 und trägt die gemessene Intensität als Funktion der Relativposition des Absorptionsgitters G2 auf, so erhält man einen periodischen, sinusförmig ähnlichen Verlauf der Intensität an diesem Pixel 13. Wertet man diese gemessenen Strahlungsintensitäten für jedes Pixel 13 in Abhängigkeit des Gitterversatzes aus, so lässt sich für jedes Pixel 13 die Phasenverschiebung und die relative Phasenverschiebung zwi- sehen den Pixeln bestimmen. Die Positionen der Maxima und Minima des Intensitätsverlaufs im Pixel 13 hängen nämlich mit dem projizierten Gradienten des Realteils des Brechungsindex zusammenhängt. Eine Integration dieser Gradienten entlang einer Zeile senkrecht zur Strahlenrichtung 8 und senkrecht zur Schlitzrichtung liefert die lokale mittlere Phaseverschiebung der Wellenfront nach Durchlaufen des Objekts 22 projiziert auf das Pixel 13.
Wie bereits zuvor diskutiert, besteht bei dem bekannten Gra- ting-Interferometer der Nachteil, dass Röntgenstrahlen von dem Absorptionsgitter G2 für eine Bildgebung ungenutzt absorbiert werden. Bei dem in der Figur 2 in einer Seitenansicht gezeigten Aufbau eines Aufnahmesystems eines Röntgentomogra- phiegerätes 15 wird dieser Nachteil weitgehend vermieden. Bei dem Röntgentomographiegerät 15 kann es sich beispielsweise um ein CT-Gerät, ein C-Bogen-Gerät, Mammographiegerät oder um ein Röntgengerät zur Objekt- oder Materialuntersuchung, bei- spielsweise einem Gepäckscanner, handeln.
Das Röntgentomographiegerät 15 zeichnet sich durch eine Detektoranordnung 1 aus, bei der zwei Wandlerschichten 2,3 in Strahlenrichtung 8 hintereinander angeordnet und so struktu- riert bzw. ausgestaltet sind, dass zu jeder Messung Messdaten zu dem Interferenzmuster erfasst werden, die den Messdaten an zwei benachbarten Verstellpositionen bei Verwendung eines herkömmlich Absorptionsgitters G2 entsprechen. Pro Messung werden also doppelt so viele Messwerte erfasst, als bei der gitterbasierten Ausmessung des Interferenzmusters. Hierdurch verdoppelt sich die insgesamt erforderliche Abtastgeschwindigkeit, was zu geringeren Bewegungsartefakten im Bild führt. Hinter jeder Wandlerschicht 2,3 ist jeweils eine Ausleseelektronik 4,5 angeordnet, die über elektrische Kontakte 21 mit der Wandlerschicht 2,3 elektrisch kontaktiert ist. Die damit verbundenen kurzen Signalführungen ermöglichen eine Erfassung der Signale in schneller Zeitabfolge. Die Einheit Wandlerschicht und Ausleseelektronik 2,4 und 3,5 stellt für sich jeweils einen Detektor 6,7 dar. Bei der Detektoranord- nung 1 handelt es sich also um zwei hintereinander angeordnete Detektoren 6,7. Der Detektoranordnung 1 sind Verstellmittel 18 zugeordnet, mit denen die gesamte Detektoranordnung 1 bei aufeinanderfolgenden Messungen auf die nächstkommende Abtastposition senkrecht zur Strahlenrichtung 8 verstellbar ist.
Bei den Detektoren 6,7 handelt es sich in dem vorliegendem Ausführungsbeispiel um zählende Halbleiterdetektoren, mit
welchen die Absorptionsereignisse zählend und/oder energieaufgelöst detektierbar sind. In diesem Fall sind die beiden Wandlerschichten 2,3 direkt konvertierend und umfassen ein dotiertes Halbleitermaterial auf Basis von Selen, Silizium, CdTe, CZT, GaAs oder HgI. Es kann jedoch ebenso ein indirekt konvertierender Detektor 6,7 zum Einsatz kommen. In diesem Fall erfolgt die Signalgenerierung also zweistufig über die Erzeugung von Lichtimpulsen mit einer Wandlerschicht 2,3 in Form eines Szintillators . Als szintillierendes Material kommt ein Plastikszintillator, NaI, CsI, Gadoliniumoxisulfid oder LSO in Frage.
So wie in der Figur 3 gezeigt, kann eine Abtastung des Interferenzmusters auch mit einer stationären Detektoranordnung 1 und einer Verstellung des Quellengitters GO erfolgen. In diesem Fall ist dem Quellengitter GO ein entsprechendes Verstellmittel 18 zugeordnet. In Figur 4 wird als Kohärenzmittel 17 anstelle des Quellengitters GO eine Elektronenoptik 19 zur Erzeugung einer Vielzahl von Foki 20 eingesetzt, wobei mit- tels eines der Elektronenoptik 19 zugeordneten Verstellmittels 18 die Foki 20 zur Abtastung des Interferenzmusters verstellt werden. Ebenso kann gemäß dem in Figur 5 gezeigten Ausführungsbeispiel bei stationärer Erzeugung eines eindimensionalen Foki-Arrays 20 natürlich auch die Detektoranordnung 1 über ein Verstellmittel 18 entsprechend verstellt werden.
Entscheidend ist lediglich, dass zwischen zwei Abtastpositionen die relativen Lagen zwischen zwei der Komponenten Quellengitter GO, Beugungsgitter Gl und Detektorenordnung 1 senkrecht zur Strahlenrichtung 8 verstellbar sind.
Die Figur 6 zeigt in Seitenansicht in Richtung der Streifen einen Ausschnitt einer erfindungsgemäßen Detektoranordnung 1 gemäß einem ersten Ausführungsbeispiel. Die Detektoren 6,7 sind zählende Halbleiterdetektoren. Die weniger sensitiven Bereiche 10,12 sind durch photolithographische Verfahren,
Ätzverfahren oder Lasern erzeugte Schlitze oder Kanäle in das Halbleitermaterial eingebracht. In diesen so gebildeten Bereichen werden die Röntgenstrahlen nicht oder so gut wie
nicht geschwächt und können den Detektor 6,7 passieren. Die Herstellung erfolgt also ausgehend von einer voll sensitiven Halbleiterschicht. Die sensitiven Bereiche 9,11 und weniger sensitiven Bereiche 10,12 bilden Streifen, die senkrecht zur Zeichenebene verlaufen. Die Streifen 9,10,11,12 sind gleich groß. Die Breite eines jeden Streifens 9,10,11,12 beträgt in diesem Beispiel 10 μm und liegt üblicher Weise in einem Bereich zwischen 0.5-20 μm. Die Streifen 9,10,11,12 können aber auch unterschiedlich groß sein und weisen eine Streifenbreite in einem Bereich von 0.5 μm bis 20 μm auf.
Die Detektoren 6,7 sind in einzelne Pixel 13 strukturiert. Zu diesem Zweck ist auf der in Strahlenrichtung 8 ersten Seite der Wandlerschicht 2,3 eine Gegenelektrode 25 und auf der zweiten Seite der Wandlerschicht 2,3 eine Pixelelektrode 26 angeordnet, zwischen denen zur Trennung der durch Wechselwirkungsprozesse mit eintreffenden Röntgenquanten freigesetzten Elektronen und Löcher, eine Spannung angelegt wird. Der Pi- xelpitch beträgt ungefähr zehn oder mehr Mikrometer, so dass mehrere sensitive und weniger sensitive Streifen 9,10,11,12 von einem Pixel 13 abdeckt werden. Darüber hinaus wäre es möglich, einen Halbleiterdetektor dadurch aufzubauen, dass die Stege der Wandlerschicht 2,3 einen n-dotierten Bereich an deren Spitze und einen p-dotierten Bereich an der dazu gege- nüberliegenden Seite der Wandlerschicht 2,3 zur Ausbildung des Pixels 13 aufweist.
Bei indirekt konvertierenden Detektoren 6,7 sind die Wandlerschichten 2,3 im Gegensatz dazu ein Szintillator, in welchem die weniger sensitiven Bereiche 10,12 durch Schlitzen, photolithographische Verfahren, Ätzverfahren oder durch Lasern erzeugte Schlitze oder Kanäle gebildet sind. Die weniger sensitiven Bereiche 10,12 können also an einer voll-sensitiven Wandlerschicht bzw. einem zunächst unstrukturierten Szintil- lator durchgeführt werden. Die Intensitätsmessung wird in Pixeln 13 von zum Beispiel einigen 10 μm Pixelpitch durch angekoppelte Photodioden realisiert.
Die Sammlung der freigesetzten Ladungsträger erfolgt in einem angekoppelten TFT-Array oder in einer über elektrische Kontake 21 in Form von Bump-Bonds oder von Wire-Bonds angekoppelten Auslese- und/oder Verarbeitungselektronik in Form eines ASICs. Die Halbleiterdetektoren können in einem integrierenden oder zählenden Modus betrieben werden.
Die Bereiche 9,10,11,12 der beiden Wandlerschichten 2,3 sind so zueinander versetzt angeordnet, dass jeweils unter einem weniger sensitiven Streifen 10 der ersten Wandlerschicht 2 ein sensitiver Streifen 11 der zweiten Wandlerschicht 3 angeordnet ist. Die Detektoranordnung 1 kann aus zwei gleich aufgebauten Detektoren 6,7 gebildet werden, die mit einem Versatz zueinander angeordnet sind.
Die Figur 7 zeigt eine Detektoranordnung 1, bei der die beiden Detektoren 6,7 nicht gleich aufgebaut sind. Die Position des Musters der Schlitze bzw. der sensitiven und weniger sensitiven Bereiche 9,10,11,12 bezüglich der Pixelelektrode 26 in der ersten Wandlerschicht 2 ist gegenüber der Position des Musters der Schlitze bzw. der sensitiven und weniger sensitiven Bereiche 9,10,11,12 bezüglich der Pixelelektrode 26 in der zweiten Wandlerschicht 3 verschoben.
Die Schlitze bzw. Kanäle, welche die weniger sensitiven Bereiche 10,12 bilden, können gemäß dem in Figur 8 gezeigten Ausführungsbeispiel mit einem Material 27 niedriger Absorptionsfähigkeit gefüllt werden, um die Oberflächen der sensitiven Bereiche 9,11 zu passivieren und/oder die mechanische Stabilität des Sensor zu erhöhen.
Die Figur 9 zeigt in Strahlenrichtung 8 blickend eine Aufsicht auf eine der beiden Wandlerschichten 2,3, wobei in gestrichelter Form die Struktur der Pixel 13 zu sehen ist. Ein Pixel 13 deckt entsprechend mehrere sensitive und weniger sensitive Streifen 9,10,11,12 ab.
Die Figur 10 zeigt in einer Seitenansicht das Wechselwirkungsprinzip von Röntgenstrahlen 28,29 mit einer Detektoranordnung 1, bei der die Detektoren 6,7 jeweils eine Wandlerschicht 2,3 in Form eines Szintillators und einem Array von Photodioden 30 umfasst. Röntgenstrahlen 28, die auf die sensitiven Streifen 9 der ersten Wandlerschicht 2 treffen, werden in Lichtimpulse 31 umgesetzt und von der mit dem Szintil- lator gekoppelten Photodiode 30 in elektrische Signale umgesetzt. Röntgenstrahlen 29, die auf die weniger sensitiven Streifen 10 der ersten Wandlerschicht 2 treffen, passieren den ersten Detektor 6 und werden anschließend in den sensitiven Streifen 11 der zweiten Wandlerschicht 3 in Lichtimpulse 31 umgesetzt und von der mit dem Szintillator gekoppelten Photodiode 30 in elektrische Signale umgesetzt.
Zusammenfassend kann Folgendes gesagt werden:
Die Erfindung betrifft eine Detektoranordnung 1 zur Durchführung von Phasenkontrastmessungen, umfassend zumindest zwei hintereinander angeordnete Wandlerschichten 2,3, wobei zumindest die in Strahlenrichtung 8 angeordnete erste Wandlerschicht 2 jeweils abwechselnd sensitive Bereiche 9 mit einem für die Wandlung von eintreffenden Strahlenquanten in Signale hohen Absorptionsgrad und weniger sensitive Bereiche 10 mit einem im Vergleich dazu niedrigeren Absorptionsgrad aufweist. Phasenkontrastbilder können auf diese Weise bei gleicher Bildqualität im Vergleich zu einer gitterbasierten Ausmessung eines erzeugten Interferenzmusters mit einer geringeren Rönt- gendosis innerhalb einer kürzeren Aufnahmezeit erzeugt wer- den. Darüber hinaus ermöglicht eine schnell erfasste Folge von Signalen eine Korrektur von Bewegungsartefakten im rekonstruierten Bild und/oder eine Erkennung und Korrektur von Änderungen der Abtastgeometrie. Die Erfindung betrifft außerdem ein entsprechendes Röntgentomographiegerät 15 und ein Verfah- ren zur Durchführung von Phasenkontrastmessungen.