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WO2010018963A3 - Contacteur pour la vérification d’un dispositif à semi-conducteurs - Google Patents

Contacteur pour la vérification d’un dispositif à semi-conducteurs Download PDF

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WO2010018963A3
WO2010018963A3 PCT/KR2009/004455 KR2009004455W WO2010018963A3 WO 2010018963 A3 WO2010018963 A3 WO 2010018963A3 KR 2009004455 W KR2009004455 W KR 2009004455W WO 2010018963 A3 WO2010018963 A3 WO 2010018963A3
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contactor
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lower substrate
testing
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Abstract

La présente invention concerne un contacteur pour la vérification d’un dispositif semi-conducteur, comportant un substrat supérieur, un substrat intermédiaire, et un substrat inférieur superposés en couches, le substrat supérieur, le substrat intermédiaire, et le substrat inférieur étant des stratifiés cuivrés présentant une pluralité de trous correspondant à des conducteurs en forme de billes du dispositif à semi-conducteurs, et chacun des trous présente une paroi intérieure revêtue d’un film de métallisation contenant un métal conducteur. Une couche de silicium d’isolation est formée sur les deux faces du substrat intermédiaire. Le substrat inférieur est réalisé en stratifié cuivré rigide. Ainsi, on peut obtenir un contacteur pour la vérification d’un dispositif à semi-conducteurs avec une durabilité, une résistance à l’usure, une résistance à l’abrasion, et une durée de vie prolongée. De manière spécifique, étant donné que le matériau du substrat inférieur est défini sous la forme d’un stratifié cuivré rigide, le substrat inférieur peut fonctionner comme un substrat de renfort pour assurer le support de l’ensemble du contacteur.
PCT/KR2009/004455 2008-08-12 2009-08-11 Contacteur pour la vérification d’un dispositif à semi-conducteurs Ceased WO2010018963A2 (fr)

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