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WO2010090190A1 - レーザ露光装置 - Google Patents

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WO2010090190A1
WO2010090190A1 PCT/JP2010/051447 JP2010051447W WO2010090190A1 WO 2010090190 A1 WO2010090190 A1 WO 2010090190A1 JP 2010051447 W JP2010051447 W JP 2010051447W WO 2010090190 A1 WO2010090190 A1 WO 2010090190A1
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WO
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fly
eye lens
laser light
lens
laser
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PCT/JP2010/051447
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English (en)
French (fr)
Inventor
祐二 棚田
大助 石井
梶山　康一
水村　通伸
畑中　誠
浩平 松井
池田　武司
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V Technology Co Ltd
Toppan Inc
Original Assignee
Toppan Printing Co Ltd
V Technology Co Ltd
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    • G03F7/70583—Speckle reduction, e.g. coherence control or amplitude/wavefront splitting

Definitions

  • the present invention relates to a laser exposure apparatus including a fly-eye lens in which a plurality of condensing lenses are arranged in a plane substantially orthogonal to the optical axis of laser light, and more specifically, interference fringes of laser light generated by the fly-eye lens. And a laser exposure apparatus that enables uniform exposure by reducing illuminance unevenness of laser light.
  • a conventional laser exposure apparatus includes a beam expander that expands the diameter of the laser beam and a fly that equalizes the intensity distribution of the laser beam with the expanded diameter in order to uniformly irradiate the object with the laser beam.
  • Optical integrators such as eye lenses are used.
  • an optical path difference adjusting member is provided between the beam expander and the fly-eye lens in order to reduce interference fringes caused by interference of the light transmitted through the fly-eye lens due to the coherency of the laser light.
  • the optical path difference adjusting member is provided only between the beam expander and the fly-eye lens, so that the interference fringes due to the transmitted light of the fly-eye lens are completely removed.
  • the present invention addresses such problems, averages the interference fringes of the laser light produced by the fly-eye lens, and reduces the unevenness of the illuminance of the laser light to enable uniform exposure.
  • the purpose is to provide.
  • a laser exposure apparatus includes a laser light source that emits laser light and a plurality of lenses arranged in a plane substantially orthogonal to the optical axis of the laser light, and temporarily emits emitted light.
  • a first fly-eye lens that diverges radially after condensing and expands a cross-sectional shape of the laser light; and a first fly-eye lens disposed on the laser light incident side of the first fly-eye lens.
  • First phase difference generating means for generating a phase difference in the laser light respectively incident on each of the condenser lenses, and a condenser for emitting the first fly-eye lens and converting the laser light having an enlarged cross-sectional shape into parallel light
  • a second fly-eye that has a lens and a plurality of lenses arranged side by side in a plane substantially orthogonal to the optical axis of the condenser lens, and uniformizes the light intensity distribution in the illumination area of the photomask by the laser light.
  • a second phase difference occurrence that causes a phase difference in the laser light that is disposed on the laser light incident side of the second fly-eye lens and is incident on each condenser lens of the second fly-eye lens.
  • laser light is radiated from the laser light source, and incident on the first phase difference generating means disposed on the laser light incident side of the first fly-eye lens without expanding the beam diameter
  • the first phase difference generating means generates a phase difference between the laser beams respectively incident on the plurality of condensing lenses arranged in a plane substantially orthogonal to the optical axis of the first fly-eye lens.
  • the coherency of the laser light emitted from the fly-eye lens is reduced, the light emitted from each condenser lens is once condensed by the first fly-eye lens, and then diverged radially to expand the cross-sectional shape of the laser light.
  • the laser light whose cross-sectional shape is enlarged by the lens is converted into parallel light, and the second fly-eye lens is arranged on the optical axis of the second fly-eye lens by the second phase difference generating means arranged on the laser light incident side of the second fly-eye lens.
  • the second phase difference generating means arranged on the laser light incident side of the second fly-eye lens.
  • Nearly orthogonal plane A phase difference is caused in the laser light respectively incident on the plurality of condensing lenses arranged side by side to reduce the coherency of the laser light emitted from the second fly-eye lens again, and the second fly-eye lens reduces the light intensity.
  • the photomask is irradiated with a uniform distribution.
  • a transparent parallel plane rotating plate that is inclined with respect to the optical axis and rotates about the optical axis is provided on the laser beam incident side of the condenser lens.
  • a laser which is provided on the laser beam incident side of the condenser lens and is rotated around the optical axis of the transparent parallel plane rotating plate arranged to be inclined with respect to the optical axis and incident on the second fly-eye lens. The incident angle of light is changed.
  • the first and second phase difference generating means are used for the plurality of laser beams respectively incident on the condensing lenses of the first and second raiai lenses. Since the phase difference is generated and the coherency of the laser light emitted from the first and second fly-eye lenses is reduced, interference fringes generated in the illumination area can be reduced as compared with the prior art. Further, as compared with the case where one fly-eye lens is used, the intensity distribution of the laser light can be made more uniform, and the illuminance unevenness can be further reduced. Therefore, the photomask can be uniformly illuminated to enable uniform exposure, and a fine pattern can be easily exposed on the object to be exposed. In addition, since the first fly-eye lens has both a laser beam homogenizing function and a beam diameter expanding function, it is not necessary to provide a separate beam expander, and the number of parts can be reduced.
  • the incident angle of the laser beam incident on the second fly-eye lens can be changed during exposure. Therefore, the illumination area on the photomask by the laser light emitted from each condensing lens of the second fly-eye lens can be finely moved in accordance with the rotation of the parallel plane rotating plate, and is generated in the illumination area on the photomask.
  • the interference fringes of the laser light can be averaged and made inconspicuous. Thereby, the illumination intensity nonuniformity of a laser beam can be reduced further, and a to-be-exposed body can be exposed more uniformly.
  • FIG. 1 is a front view showing a first embodiment of a laser exposure apparatus according to the present invention.
  • This laser exposure apparatus exposes an object to be exposed by irradiating a laser beam through a photomask, and includes a laser light source 1, a first fly-eye lens 2, a first optical path difference adjusting member 3, A first condenser lens 4, a parallel plane rotating plate 5, a second fly's eye lens 6, a second optical path difference adjusting member 7, and a second condenser lens 8 are provided.
  • the laser light source 1 is an ultraviolet pulse laser oscillator, and an excimer laser or a YAG laser can be used.
  • a first fly-eye lens 2 is provided in front of the laser light source 1 in the radiation direction of the laser light.
  • the first fly-eye lens 2 once functions to condense the laser light emitted from the laser light source 1 and then diverge it radially to expand the cross-sectional shape of the laser light.
  • the light intensity distribution in the incident side surface of the second fly's eye lens 6 is made uniform, and a plurality of condensing lenses 2a are arranged in a plane substantially orthogonal to the optical axis of the laser beam, for example, 3 vertical ⁇ 3 horizontal. They are arranged in a matrix.
  • a first optical path difference adjusting member 3 is provided on the laser light incident side of the first fly-eye lens 2.
  • the first optical path difference adjusting member 3 reduces the coherency of the laser light emitted from the first fly-eye lens 2 and emits a plurality of laser lights emitted from the respective condensing lenses 2 a of the first fly-eye lens 2. Is to suppress interference on the incident side surface of the second fly-eye lens 6, and a phase difference is applied to a plurality of laser beams respectively incident on the condenser lenses 2 a of the first fly-eye lens 2. This is the first phase difference generating means to be generated.
  • the first optical path difference adjusting member 3 is different in length in the axial direction parallel to the optical axis and has a refractive index of 1 corresponding to each condenser lens 2a of the first fly-eye lens 2.
  • a larger rod-shaped transparent member 3a such as quartz glass or transparent glass, is provided, and the optical path lengths of a plurality of laser beams respectively incident on the condenser lenses 2a of the first fly-eye lens 2 are provided. It plays a function of changing.
  • a first condenser lens 4 is provided on the downstream side of the first fly-eye lens 2 in the traveling direction of the laser light.
  • the first condenser lens 4 is a plano-convex lens in which the radial laser beam emitted from the first fly-eye lens 2 is converted into parallel light, and the light incident side is flat.
  • the first fly-eye lens 2 is arranged so as to substantially match the rear focal position.
  • a parallel plane rotating plate 5 is provided on the optical path between the first fly-eye lens 2 and the first condenser lens 4.
  • the plane-parallel rotating plate 5 is for changing the incident angle of laser light incident on a second fly's eye lens 6 described later, and is provided with a transparent, for example, glass disc tilted with respect to the optical axis. This rotates around the optical axis. Thereby, the illumination area of the laser light on the photomask 9 is finely moved, and the interference fringes of the laser light generated by the second fly-eye lens 6 generated on the photomask 9 are averaged to be inconspicuous. Further, the illuminance unevenness of the laser light emitted from the first fly-eye lens 3 through the first optical path difference adjusting member 3 is reduced.
  • FIG. 2 is an explanatory diagram showing the relationship between the position of the plane-parallel rotating plate 5, the incident angle of the laser light incident on the second fly-eye lens 6, and changes in the illumination area on the photomask 9.
  • the plane-parallel rotating plate 5 rotates around the optical axis
  • the plane-parallel rotating plate 5 reciprocates as indicated by arrows in the front view of FIG.
  • the parallel plane rotating plate 5 is located at the position indicated by the solid line in FIG. 5A
  • the laser light is refracted by the parallel plane rotating plate 5 as indicated by the solid line, and the laser beam is refracted at a constant incident angle.
  • the light enters the condenser lens 6 a of the second fly-eye lens 6.
  • the laser light is refracted by the plane-parallel rotating plate 5 as indicated by the broken line, which is different from the above.
  • the light enters the condenser lens 6a at an incident angle.
  • the illumination area 10 on the photomask 9 illuminated by the laser beam emitted from the second fly-eye lens 6 moves from the area indicated by the solid line to the area indicated by the broken line in FIG.
  • the intensity unevenness of the laser light emitted from the first fly-eye lens 2 is reduced.
  • the illumination area 10 on the photomask 9 is finely moved, and the light and dark pattern of the interference fringes and the illuminance unevenness generated on the photomask 9 due to the interference of the plurality of laser beams emitted from the second fly-eye lens 6 Can be averaged and made inconspicuous.
  • a second fly-eye lens 6 is provided on the downstream side of the first condenser lens 4 in the traveling direction of the laser light.
  • the second fly-eye lens 6 makes the light intensity distribution in the illumination area 10 of the photomask 9 uniform, and a plurality of condensing lenses in a plane substantially perpendicular to the optical axis of the first condenser lens 4.
  • 6a is arranged in a matrix of, for example, 12 vertical x 4 horizontal, and is a double fly-eye lens in which two identical fly-eye lenses are combined.
  • a second optical path difference adjusting member 7 is provided on the laser beam incident side of the second fly-eye lens 6.
  • the second optical path difference adjusting member 7 reduces the coherency of the laser light emitted from the second fly-eye lens 6 and emits a plurality of laser lights emitted from the respective condenser lenses 6 a of the second fly-eye lens 6.
  • the second optical path difference adjusting member 7 has different lengths in the axial direction parallel to the optical axis, corresponding to the four columns of condensing lenses 6a of the second fly-eye lens 6, respectively.
  • a plate-shaped transparent member 7a having a refractive index larger than 1 such as quartz glass or transparent glass is formed by superimposing them in the horizontal direction and vertically incident on each condenser lens 6a of the second fly-eye lens 6. It functions to change the optical optical path length between columns adjacent to each other in the horizontal direction of the laser beams in the columns.
  • a second condenser lens 8 is provided on the downstream side of the second fly-eye lens 6 in the traveling direction of the laser light.
  • the second condenser lens 8 is used to convert the laser light emitted from the second fly-eye lens 6 into parallel light so as to enter the photomask 9 vertically, and the two light incident sides are flat. It is configured by combining plano-convex lenses, and is arranged such that its front focal position substantially matches the rear focal position of the second fly-eye lens 6.
  • reference numerals 11, 12, and 13 denote planar reflection mirrors that bend the optical path.
  • the laser light emitted from the laser light source 1 is reflected by the two reflecting mirrors 11 and 12 and enters the first optical path difference adjusting member 3.
  • the first optical path difference adjusting member 3 corresponds to each condenser lens 2 a of the first fly-eye lens 2, and has a plurality of refractive indexes greater than 1, each having a different axial length parallel to the optical axis. Therefore, the plurality of laser beams emitted from the plurality of transparent members 3a of the first optical path difference adjusting member 3 are out of phase with each other.
  • the plurality of laser beams emitted from the plurality of transparent members 3 a of the first optical path difference adjusting member 3 are respectively incident on the corresponding condensing lenses 2 a of the first fly-eye lens 2.
  • the plurality of laser beams emitted from the respective condensing lenses 2a of the first fly-eye lens 2 are condensed at the rear focal points of the respective condensing lenses 3a and then radiate radially.
  • the laser beams incident on the condenser lenses 2a of the first fly-eye lens 2 are out of phase with each other, so that the coherency of the laser beams emitted from the first fly-eye lens 2 is reduced. .
  • the second fly-eye lens 6 illuminated by the plurality of laser beams emitted from the respective condensing lenses 2a, the interference of the respective laser beams is suppressed, the generation of interference fringes is suppressed, and the second fly-eye lens is suppressed.
  • the lens 6 is illuminated substantially uniformly.
  • the radial laser beam emitted from the first fly-eye lens 3 is collimated by the first condenser lens 4 and then enters the second fly-eye lens 6 through the second optical path difference adjusting member 7. .
  • the laser beam incident side of the first condenser lens 4 is provided with a parallel plane rotating plate 5 in which a transparent disk made of, for example, glass is inclined with respect to the optical axis, and this is centered on the optical axis. Since it is rotating, the position of the chief ray of the laser beam that is refracted by the parallel plane rotating plate 5 and emitted therefrom is incident on the first condenser lens 4 as shown in FIG. 2A. It changes in the radial direction of the lens 4. As a result, the incident angle of the laser light incident on the second fly-eye lens 6 changes as shown in FIG. At the same time, the illuminance unevenness of the laser light incident on the second fly's eye lens 6 is averaged.
  • the laser light emitted from the first condenser lens 4 has a second optical path difference formed by combining a plurality of transparent members 7a each having a different axial length parallel to the optical axis and a refractive index larger than 1.
  • the second fly-eye lens 6 is illuminated by being divided into a plurality of laser beams.
  • the optical optical path length of each laser beam passing through each transparent member 7a of the second optical path difference adjusting member 7 is different, between each laser beam emitting the second optical path difference adjusting member 7, There is a phase difference.
  • each condenser lens 6a of the second fly's eye lens 6 is once condensed at the focal point of each condenser lens 6a, and then radiates and enters the plane reflecting mirror 13.
  • the laser light is reflected by the plane reflection mirror 13, is then made parallel light by the second condenser lens 8, and enters the photomask 9 substantially perpendicularly to illuminate the photomask 9 uniformly.
  • the second optical path difference adjusting member 7 is configured by superimposing plate-like transparent members 7a having different lengths in the optical axis direction and long in the vertical direction in the horizontal direction.
  • the laser light having the same phase is incident on the condensing lenses 6a arranged in the vertical direction of the fly-eye lens 6 of No. 2, and the phase of the condensing lenses 6a arranged in the horizontal direction is made incident on the condensing lenses 6a arranged in the horizontal direction. Since different laser beams are incident, the in-phase laser beams emitted from the condenser lenses 6 a arranged in the vertical direction of the second fly-eye lens 6 are incident on the illumination region 10 on the photomask 9.
  • the parallel plane rotating plate 5 is provided on the incident side of the first condenser lens 4 and is rotated about its optical axis.
  • the incident angle of the laser light incident on the eye lens 6 changes. Therefore, as shown in FIG. 2B, the illumination area 10 by the laser light on the photomask 9 is finely moved, the light and dark patterns of the interference fringes are averaged and become inconspicuous, and the illuminance unevenness of the laser light is averaged. , Uniform exposure can be performed.
  • FIG. 3 is a front view showing a second embodiment of the laser exposure apparatus according to the present invention.
  • the second embodiment is different from the first embodiment in that a collimation mirror 14 is arranged at the position of the plane reflection mirror 13 in place of the second condenser lens 8.
  • the front focal position of the collimation mirror 14 is substantially matched with the rear focal position of the second fly-eye lens 6.
  • the laser light emitted from the second fly-eye lens 6 can be converted into parallel light and incident perpendicularly on the photomask 9.
  • the second optical path difference adjusting member 7 corresponds to each of the four columns of condensing lenses 6a of the second fly-eye lens 6 and is parallel to the optical axis.
  • the plate-like transparent members 7a having different lengths in the axial direction are formed by superimposing them in the lateral direction
  • the present invention is not limited to this, and each of the second fly-eye lenses 6 is collected. It may be formed by combining rod-shaped transparent members having different lengths in the axial direction parallel to the optical axis corresponding to the optical lens 6a. In this case, since the phases of the laser beams emitted from the condenser lenses 6a of the second fly-eye lens 6 are all different, the possibility that the laser beams interfere with each other on the photomask 9 is reduced.
  • phase difference generating means is an optical path difference adjusting member.
  • present invention is not limited to this, and a phase plate provided corresponding to each condenser lens of the fly-eye lens. There may be.

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Abstract

　本発明は、レーザ光の断面形状を拡大する第１のフライアイレンズ２と、第１のフライアイレンズ２のレーザ光の入射側に配置され、第１のフライアイレンズ２の各集光レンズ２ａに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第１の光路差調整部材３と、第１のフライアイレンズ３を射出したレーザ光を平行光にするコンデンサーレンズ４と、レーザ光によるフォトマスクの照明領域内の光強度分布を均一化する第２のフライアイレンズ６と、第２のフライアイレンズ６のレーザ光の入射側に配置され、第２のフライアイレンズ６の各集光レンズ６ａに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第２の光路差調整部材７と、を備えたものである。これにより、フライアイレンズにより生じるレーザ光の干渉縞を平均化すると共に、レーザ光の照度ムラを低減する。

Description

レーザ露光装置
　本発明は、レーザ光の光軸に略直交する面内に複数の集光レンズを並べて配置したフライアイレンズを備えて成るレーザ露光装置に関し、詳しくは、フライアイレンズにより生じるレーザ光の干渉縞を平均化すると共に、レーザ光の照度ムラを低減して均一な露光を可能にするレーザ露光装置に係るものである。
　従来のレーザ露光装置は、レーザ光を被露光体に均一に照射させるために、レーザ光の径を拡大するビームエキスパンダ、及び径が拡大されたレーザ光の強度分布を均一化するためのフライアイレンズ等のオプティカルインテグレータ等が用いられている。更に、レーザ光のコヒーレンシー（可干渉性）によりフライアイレンズの透過光が干渉して発生する干渉縞を低減させるために、ビームエキスパンダとフライアイレンズとの間に光路差調整部材を設けたものがある（例えば、特許文献１参照）。
特開２００４－１２７５７号公報
　しかし、このような従来のレーザ露光装置においては、光路差調整部材がビームエキスパンダとフライアイレンズとの間だけに設けられているため、フライアイレンズの透過光による干渉縞を完全には除去することができず、僅かに残った干渉縞により被露光体上に照度ムラが発生して微細なパターンの形成を困難にしていた。
　そこで、本発明は、このような問題点に対処し、フライアイレンズにより生じるレーザ光の干渉縞を平均化すると共に、レーザ光の照度ムラを低減して均一な露光を可能にするレーザ露光装置を提供することを目的とする。
　上記目的を達成するために、本発明によるレーザ露光装置は、レーザ光を放射するレーザ光源と、前記レーザ光の光軸に略直交する面内に複数のレンズが並べて配置され、射出光を一旦集光した後、放射状に発散させてレーザ光の断面形状を拡大する第１のフライアイレンズと、前記第１のフライアイレンズのレーザ光の入射側に配置され、前記第１のフライアイレンズの各集光レンズに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第１の位相差生起手段と、前記第１のフライアイレンズを射出し断面形状が拡大されたレーザ光を平行光にするコンデンサーレンズと、前記コンデンサーレンズの光軸に略直交する面内に複数のレンズが並べて配置され、レーザ光によるフォトマスクの照明領域内の光強度分布を均一化する第２のフライアイレンズと、前記第２のフライアイレンズのレーザ光の入射側に配置され、前記第２のフライアイレンズの各集光レンズに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第２の位相差生起手段と、を備えたものである。
　このような構成により、レーザ光源からレーザ光を放射し、そのビーム径を拡大せずに第１のフライアイレンズのレーザ光の入射側に配置された第１の位相差生起手段に入射させ、該第１の位相差生起手段で第１のフライアイレンズの光軸に略直交する面内に並べて配置された複数の集光レンズに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせて第１のフライアイレンズを射出するレーザ光のコヒーレンシーを低下させ、第１のフライアイレンズで各集光レンズの射出光を一旦集光した後、放射状に発散させてレーザ光の断面形状を拡大し、コンデンサーレンズでこの断面形状が拡大されたレーザ光を平行光にし、第２のフライアイレンズのレーザ光の入射側に配置された第２の位相差生起手段で第２のフライアイレンズの光軸に略直交する面内に並べて配置された複数の集光レンズに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせて第２のフライアイレンズを射出するレーザ光のコヒーレンシーを再度低下させ、第２のフライアイレンズで光強度分布を均一化してフォトマスクに照射させる。
　また、前記コンデンサーレンズのレーザ光の入射側に、光軸に対して傾いて配置され、光軸を中心に回転する透明な平行平面回転板を設けた。これにより、コンデンサーレンズのレーザ光の入射側に設けられ、光軸に対して傾いて配置された透明な平行平面回転板を光軸を中心に回転し、第２のフライアイレンズに入射するレーザ光の入射角度を変化させる。
　請求項１に係るレーザ露光装置の発明によれば、第１及び第２の二つの位相差生起手段で第１及び第２のライアイレンズの各集光レンズに夫々入射する複数のレーザ光に位相差を生じさせて、第１及び第２のフライアイレンズを射出するレーザ光のコヒーレンシーを低減させているので、照明領域に発生する干渉縞を従来技術に増して低減することができる。また、一つのフライアイレンズを使用した場合に比べて、レーザ光の強度分布をより均一化して照度ムラをより低減することができる。したがって、フォトマスクを均一に照明して均一な露光を可能にし、被露光体に微細なパターンの露光を容易に行なうことができる。また、第１のフライアイレンズは、レーザ光の均一化機能とビーム径拡大機能の両方を有しているので、別にビームエキスパンダを備える必要が無く、部品点数を減らすことができる。
　また、請求項２に係る発明によれば、第２のフライアイレンズに入射するレーザ光の入射角度を露光中に変化させることができる。したがって、第２のフライアイレンズの各集光レンズを射出したレーザ光によるフォトマスク上の照明領域を平行平面回転板の回転に伴って微動させることができ、フォトマスク上の照明領域に発生するレーザ光の干渉縞を平均化して目立たなくすることができる。これにより、レーザ光の照度ムラをより一層低減することができ、被露光体をより均一に露光することができる。
本発明によるレーザ露光装置の第１の実施形態を示す正面図である。 上記レーザ露光装置の平行平面回転板の位置と、第２のフライアイレンズに入射するレーザ光の入射角度及びフォトマスク上の照明領域の変化との関係を示す説明図である。 本発明によるレーザ露光装置の第２の実施形態を示す正面図である。
　以下、本発明の実施形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。図１は本発明によるレーザ露光装置の第１の実施形態を示す正面図である。このレーザ露光装置は、フォトマスクを介して被露光体にレーザ光を照射して露光するもので、レーザ光源１と、第１のフライアイレンズ２と、第１の光路差調整部材３と、第１のコンデンサーレンズ４と、平行平面回転板５と、第２のフライアイレンズ６と、第２の光路差調整部材７と、第２のコンデンサーレンズ８とを備えて成る。
　上記レーザ光源１は、紫外線パルスレーザ発振器であり、エキシマレーザ又はＹＡＧレーザ等を使用することができる。
　上記レーザ光源１のレーザ光の放射方向前方には、第１のフライアイレンズ２が設けられている。この第１のフライアイレンズ２は、レーザ光源１から放射されたレーザ光を一旦集光した後、放射状に発散させてレーザ光の断面形状を拡大するビームエキスパンダの機能を果たすと共に、後述の第２のフライアイレンズ６の入射側面内における光強度分布を均一化するもので、レーザ光の光軸に略直交する面内に複数の集光レンズ２ａを例えば縦３個×横３個のマトリクス状に並べて配置したものである。
　上記第１のフライアイレンズ２のレーザ光の入射側には、第１の光路差調整部材３が設けられている。この第１の光路差調整部材３は、第１のフライアイレンズ２を射出したレーザ光のコヒーレンシーを低減して、第１のフライアイレンズ２の各集光レンズ２ａを射出した複数のレーザ光が第２のフライアイレンズ６の入射側面上で干渉するのを抑制するためのものであり、第１のフライアイレンズ２の各集光レンズ２ａに夫々入射する複数のレーザ光に位相差を生じさせる第１の位相差生起手段となるものである。
　具体的には、第１の光路差調整部材３は、第１のフライアイレンズ２の各集光レンズ２ａに対応して、光軸に平行な軸方向の長さが夫々異なり屈折率が１よりも大きいロッド状の透明部材３ａ、例えば石英ガラスや透明ガラス等を設けたものであり、第１のフライアイレンズ２の各集光レンズ２ａに夫々入射する複数のレーザ光の光学的光路長を変える機能を果たしている。
　上記レーザ光の進行方向にて第１のフライアイレンズ２の下流側には、第１のコンデンサーレンズ４が設けられている。この第１のコンデンサーレンズ４は、第１のフライアイレンズ２を射出した放射状のレーザ光を平行光にするためのものであり、光の入射側が平らな平凸レンズで、その前焦点位置を第１のフライアイレンズ２の後焦点位置に略合致させて配置されている。
　上記第１のフライアイレンズ２と第１のコンデンサーレンズ４との間の光路上には、平行平面回転板５が設けられている。この平行平面回転板５は、後述の第２のフライアイレンズ６に入射するレーザ光の入射角度を変えるためのものであり、透明な例えばガラスの円板が光軸に対して傾けて設けられ、これが光軸を中心に回転するようになっている。これにより、フォトマスク９上のレーザ光の照明領域を微動させて、フォトマスク９上に発生する第２のフライアイレンズ６によるレーザ光の干渉縞を平均化して目立たなくしている。また、第１の光路差調整部材３を経て第１のフライアイレンズ３から放射されるレーザ光の照度ムラを低減させている。
　図２は平行平面回転板５の位置と、第２のフライアイレンズ６に入射するレーザ光の入射角度及びフォトマスク９上の照明領域の変化との関係を示す説明図である。平行平面回転板５が光軸を中心に回転したとき、平行平面回転板５は、図２（ａ）の正面図において矢印で示すように往復移動する。この場合、平行平面回転板５が同図（ａ）に実線で示す位置にあるときは、レーザ光は、この平行平面回転板５により実線で示すように屈折されて、一定の入射角度で第２のフライアイレンズ６の集光レンズ６ａに入射する。
　一方、平行平面回転板５が回転して、図２（ａ）に破線で示す位置に達したときには、レーザ光は、この平行平面回転板５により破線で示すように屈折されて、上記と異なる入射角度で上記集光レンズ６ａに入射することになる。その結果、第２のフライアイレンズ６を射出したレーザ光により照明されるフォトマスク９上の照明領域１０は、同図（ｂ）に実線で示す領域から破線で示す領域に移動する。このように、平行平面回転板５を回転して第２のフライアイレンズ６に入射するレーザ光の入射角度を変化させることにより、第１のフライアイレンズ２を射出したレーザ光の強度ムラを平均化すると共に、フォトマスク９上の照明領域１０を微動させて、第２のフライアイレンズ６を射出した複数のレーザ光の干渉によりフォトマスク９上に発生する干渉縞の明暗模様及び照度ムラを平均化させ、目立たなくすることができる。
　上記レーザ光の進行方向にて第１のコンデンサーレンズ４の下流側には、第２のフライアイレンズ６が設けられている。この第２のフライアイレンズ６は、フォトマスク９の照明領域１０内における光強度分布を均一化するもので、第１のコンデンサーレンズ４の光軸に略直交する面内に複数の集光レンズ６ａを例えば縦１２個×横４個のマトリクス状に並べて配置したもので、同じフライアイレンズを二つ組み合わせたダブルフライアイレンズである。
　上記第２のフライアイレンズ６のレーザ光の入射側には、第２の光路差調整部材７が設けられている。この第２の光路差調整部材７は、第２のフライアイレンズ６を射出したレーザ光のコヒーレンシーを低減して、第２のフライアイレンズ６の各集光レンズ６ａを射出した複数のレーザ光がフォトマスク９上で干渉するのを抑制するためのものであり、第２のフライアイレンズ６の各集光レンズ６ａに夫々入射する複数のレーザ光に位相差を生じさせる第２の位相差生起手段となるものである。
　具体的には、第２の光路差調整部材７は、第２のフライアイレンズ６の縦４列の集光レンズ６ａに夫々対応して、光軸に平行な軸方向の長さが夫々異なり屈折率が１よりも大きい板状の透明部材７ａ、例えば石英ガラスや透明ガラス等を横方向に重ね合わせて形成され、第２のフライアイレンズ６の各集光レンズ６ａに夫々入射する縦４列のレーザ光の横方向に隣り合う列間の光学的光路長を変える機能を果たすものである。
　上記レーザ光の進行方向にて第２のフライアイレンズ６の下流側には、第２のコンデンサーレンズ８が設けられている。この第２のコンデンサーレンズ８は、第２のフライアイレンズ６を射出したレーザ光を平行光にして、フォトマスク９に垂直に入射させるためのものであり、光の入射側が平らな二枚の平凸レンズを組み合わせて構成され、その前焦点位置を第２のフライアイレンズ６の後焦点位置に略合致させて配置されている。なお、図１において、符号１１，１２，１３は、光路を折り曲げる平面反射ミラーである。
　次に、このように構成されたレーザ露光装置の動作について説明する。
　レーザ光源１から放射されたレーザ光は、二つの反射ミラー１１，１２で反射されて、第１の光路差調整部材３に入射する。この第１の光路差調整部材３は、第１のフライアイレンズ２の各集光レンズ２ａに対応して、光軸に平行な軸方向の長さが夫々異なり屈折率が１よりも大きい複数の透明部材３ａを組み合わせて構成したものであるため、第１の光路差調整部材３の複数の透明部材３ａを射出する複数のレーザ光は、互いに位相がずれたものとなっている。
　第１の光路差調整部材３の複数の透明部材３ａを射出した複数のレーザ光は、第１のフライアイレンズ２の対応する集光レンズ２ａに夫々入射する。そして、第１のフライアイレンズ２の各集光レンズ２ａを射出した複数のレーザ光は、夫々各集光レンズ３ａの後焦点に集光した後、放射状に発散する。この場合、第１のフライアイレンズ２の各集光レンズ２ａに入射する各レーザ光は、互いに位相がずれているため、第１のフライアイレンズ２を射出するレーザ光のコヒーレンシーが低減される。したがって、各集光レンズ２ａを射出した複数のレーザ光によって照明される第２のフライアイレンズ６上では、各レーザ光の干渉が抑制されて干渉縞の発生が抑制され、第２のフライアイレンズ６が略均一に照明されることになる。
　第１のフライアイレンズ３を射出した放射状のレーザ光は、第１のコンデンサーレンズ４により平行光にされた後、第２の光路差調整部材７を経て第２のフライアイレンズ６に入射する。このとき、第１のコンデンサーレンズ４のレーザ光の入射側には、透明な例えばガラスの円板を光軸に対して傾けて配置した平行平面回転板５が設けられ、これが光軸を中心に回転しているため、平行平面回転板５で屈折されてこれを射出するレーザ光の主光線の第１のコンデンサーレンズ４に入射する位置は、図２（ａ）に示すように第１のコンデンサーレンズ４の半径方向に変化することになる。これにより、同図（ａ）に示すように、第２のフライアイレンズ６に入射するレーザ光の入射角度が変化する。同時に、第２のフライアイレンズ６に入射するレーザ光の照度ムラが平均化される。
　一方、第１のコンデンサーレンズ４を射出したレーザ光は、光軸に平行な軸方向の長さが夫々異なり屈折率が１よりも大きい複数の透明部材７ａを組み合わせて構成した第２の光路差調整部材７において、複数のレーザ光に分割されて第２のフライアイレンズ６を照明する。このとき、第２の光路差調整部材７の各透明部材７ａを通過する各レーザ光の光学的光路長が異なるために、第２の光路差調整部材７を射出する各レーザ光間には、位相差が生じている。したがって、第２のフライアイレンズ６を射出するレーザ光のコヒーレンシーが低減され、第２のフライアイレンズ６の各集光レンズ６ａを射出してフォトマスク９に照射する各レーザ光の干渉が抑制されることになる。
　第２のフライアイレンズ６の各集光レンズ６ａを射出したレーザ光は、夫々各集光レンズ６ａの焦点に一旦集光した後、放射状に発散して平面反射ミラー１３に入射する。そして、レーザ光は、平面反射ミラー１３で反射された後、第２のコンデンサーレンズ８によって平行光にされてフォトマスク９に略垂直に入射し、フォトマスク９上を均一に照明する。
　ここで、上記第１の実施形態においては、第２の光路差調整部材７が光軸方向の長さが異なり縦方向に長い板状の透明部材７ａを横方向に重ね合わせて構成され、第２のフライアイレンズ６の縦方向に並んだ各集光レンズ６ａに対しては、同位相のレーザ光が入射するようにし、横方向に並んだ各集光レンズ６ａに対しては、位相の異なったレーザ光が入射するようにしているため、フォトマスク９上の照明領域１０には、第２のフライアイレンズ６の縦方向に並んだ各集光レンズ６ａから射出した同位相のレーザ光による干渉縞が僅かながら発生するおそれがある。しかし、上記第１の実施形態においては、第１のコンデンサーレンズ４の入射側に平行平面回転板５を設けて、これをその光軸を中心に回転するようにしているので、第２のフライアイレンズ６に入射するレーザ光の入射角度が変化する。そのため、図２（ｂ）に示すようにフォトマスク９上のレーザ光による照明領域１０が微動して、上記干渉縞の明暗模様が平均化されて目立たなくなると共にレーザ光の照度ムラが平均化され、均一な露光を行うことができる。
　図３は本発明によるレーザ露光装置の第２の実施形態を示す正面図である。この第２の実施形態において、第１の実施形態と異なる点は、第２のコンデンサーレンズ８に替えて平面反射ミラー１３の位置にコリメーションミラー１４を配置したものである。この場合、コリメーションミラー１４の前焦点位置を第２のフライアイレンズ６の後焦点位置に略合致させる。これにより、第２のフライアイレンズ６を射出したレーザ光を平行光にして、フォトマスク９に垂直に入射させることができる。
　なお、上記第１及び第２の実施形態においては、第２の光路差調整部材７が第２のフライアイレンズ６の縦４列の集光レンズ６ａに夫々対応して、光軸に平行な軸方向の長さが夫々異なる板状の透明部材７ａを横方向に重ね合わせて形成したものである場合について説明したが、本発明はこれに限られず、第２のフライアイレンズ６の各集光レンズ６ａに対応して光軸に平行な軸方向の長さが夫々異なるロッド状の透明部材を組み合わせて形成したものであってもよい。この場合、第２のフライアイレンズ６の各集光レンズ６ａを射出する各レーザ光の位相が全て異なるため、各レーザ光がフォトマスク９上で干渉するおそれは少なくなる。
　また、上記実施形態においては、位相差生起手段が光路差調整部材である場合について説明したが、本発明はこれに限られず、フライアイレンズの各集光レンズに対応して設けた位相板であってもよい。
　１…レーザ光源
　２…第１のフライアイレンズ（フライアイレンズ）
　２ａ…第１のフライアイレンズの集光レンズ
　３…第１の光路差調整部材（第１の位相差生起手段）
　３ａ…第１の光路差調整部材の透明部材
　４…第１のコンデンサーレンズ
　５…平行平面回転板
　６…第２のフライアイレンズ
　６ａ…第２のフライアイレンズの集光レンズ
　７…第２の光路差調整部材（第２の位相差生起手段）
　７ａ…第２の光路差調整部材の透明部材
　８…第２のコンデンサーレンズ
　９…フォトマスク
　１０…フォトマスク上の照明領域

Claims (2)

  1. 　レーザ光を放射するレーザ光源と、
    　前記レーザ光の光軸に略直交する面内に複数のレンズが並べて配置され、射出光を一旦集光した後、放射状に発散させてレーザ光の断面形状を拡大する第１のフライアイレンズと、
    　前記第１のフライアイレンズのレーザ光の入射側に配置され、前記第１のフライアイレンズの各集光レンズに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第１の位相差生起手段と、
    　前記第１のフライアイレンズを射出し断面形状が拡大されたレーザ光を平行光にするコンデンサーレンズと、
    　前記コンデンサーレンズの光軸に略直交する面内に複数のレンズが並べて配置され、レーザ光によるフォトマスクの照明領域内の光強度分布を均一化する第２のフライアイレンズと、
    　前記第２のフライアイレンズのレーザ光の入射側に配置され、前記第２のフライアイレンズの各集光レンズに夫々入射するレーザ光に位相差を生じさせる第２の位相差生起手段と、
    を備えたことを特徴とするレーザ露光装置。
  2. 　前記コンデンサーレンズのレーザ光の入射側に、光軸に対して傾いて配置され、光軸を中心に回転する透明な平行平面回転板を設けたことを特徴とする請求項１記載のレーザ露光装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102269936A (zh) * 2011-06-01 2011-12-07 长春理工大学 一种仿真飞蛾复眼光学减反射结构图案的方法和系统
US9134537B2 (en) 2011-04-05 2015-09-15 V Technology Co., Ltd. Laser lighting device
US10281730B2 (en) 2015-10-11 2019-05-07 Dolby Laboratories Licensing Corporation Optical system for image projectors

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6002964B2 (ja) * 2012-01-31 2016-10-05 株式会社ブイ・テクノロジー レーザ照明装置
JP5803222B2 (ja) * 2011-04-05 2015-11-04 株式会社ブイ・テクノロジー レーザ照明装置
JP6345963B2 (ja) * 2014-03-28 2018-06-20 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 光照射装置および描画装置
CN108037641A (zh) * 2017-12-14 2018-05-15 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种基于有效光强分布的蛾眼结构制备系统及其制备方法
JP2021009274A (ja) * 2018-07-09 2021-01-28 レーザーテック株式会社 光源、検査装置、ｅｕｖ光の生成方法及び検査方法
CN118742858A (zh) * 2021-12-22 2024-10-01 尤利塔股份公司 用于改进周期性图案的曝光均匀性的方法和装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01259533A (ja) * 1988-04-11 1989-10-17 Nikon Corp 露光装置
JPH04225214A (ja) * 1990-12-27 1992-08-14 Nikon Corp 照明光学装置および投影露光装置並びに露光方法および素子製造方法
JPH1062710A (ja) * 1996-08-22 1998-03-06 Nikon Corp 照明光学系
JP2003218017A (ja) * 2001-11-16 2003-07-31 Ricoh Co Ltd レーザ照明光学系及びそれを用いた露光装置、レーザ加工装置、投射装置

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6885433B2 (en) * 1990-11-15 2005-04-26 Nikon Corporation Projection exposure apparatus and method
US5742426A (en) * 1995-05-25 1998-04-21 York; Kenneth K. Laser beam treatment pattern smoothing device and laser beam treatment pattern modulator
JP3826047B2 (ja) * 2002-02-13 2006-09-27 キヤノン株式会社 露光装置、露光方法、及びそれを用いたデバイス製造方法
JP3969197B2 (ja) 2002-06-06 2007-09-05 石川島播磨重工業株式会社 レーザ照射装置
JP2007206566A (ja) * 2006-02-03 2007-08-16 Seiko Epson Corp プロジェクタ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01259533A (ja) * 1988-04-11 1989-10-17 Nikon Corp 露光装置
JPH04225214A (ja) * 1990-12-27 1992-08-14 Nikon Corp 照明光学装置および投影露光装置並びに露光方法および素子製造方法
JPH1062710A (ja) * 1996-08-22 1998-03-06 Nikon Corp 照明光学系
JP2003218017A (ja) * 2001-11-16 2003-07-31 Ricoh Co Ltd レーザ照明光学系及びそれを用いた露光装置、レーザ加工装置、投射装置

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9134537B2 (en) 2011-04-05 2015-09-15 V Technology Co., Ltd. Laser lighting device
CN102269936A (zh) * 2011-06-01 2011-12-07 长春理工大学 一种仿真飞蛾复眼光学减反射结构图案的方法和系统
US10281730B2 (en) 2015-10-11 2019-05-07 Dolby Laboratories Licensing Corporation Optical system for image projectors
US10545351B2 (en) 2015-10-11 2020-01-28 Dolby Laboratories Licensing Corporation Optical system for image projectors
US10845607B2 (en) 2015-10-11 2020-11-24 Dolby Laboratories Licensing Corporation Optical system for image projectors
US11307428B2 (en) 2015-10-11 2022-04-19 Dolby Laboratories Licensing Corporation Optical system for image projectors

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